JP2529070B2 - Photoelectric conversion camera - Google Patents

Photoelectric conversion camera

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JP2529070B2
JP2529070B2 JP4344434A JP34443492A JP2529070B2 JP 2529070 B2 JP2529070 B2 JP 2529070B2 JP 4344434 A JP4344434 A JP 4344434A JP 34443492 A JP34443492 A JP 34443492A JP 2529070 B2 JP2529070 B2 JP 2529070B2
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JP
Japan
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subject
image
imaging
plate
optical axis
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Inventor
信之 曽我
敏正 高村
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株式会社スタビック
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は光電変換カメラに係り、
特に被写体の所定の被写体面を撮像するための光電変換
カメラに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photoelectric conversion camera,
In particular, the present invention relates to a photoelectric conversion camera for capturing an image of a predetermined subject surface of a subject.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、種々の産品の外観形状、表面状
態、表面に記載された表示等を検査する場合、光電変換
カメラ、例えばCCD(Charge Coupled Device ;電荷
転送素子)カメラ等を用いて製品の表面を撮像し、その
映像を観察する検査方法が行われている。
2. Description of the Related Art In recent years, when inspecting the external shape, surface condition, and indications on the surface of various products, photoelectric conversion cameras such as CCD (Charge Coupled Device) cameras are used for products. An inspection method is used in which an image of the surface of an image is observed and the image is observed.

【0003】従来のCCDカメラを用いた製品表面の検
査方法を、図4(a)〜(c)を用いて説明する。ここ
で、図4(a)はCCDカメラ等の配置を示す概略図、
図4(b)は製品の検査すべき表面(以下、「検査面」
という)に記載された表示を示す図、図4(c)はCC
Dカメラによって撮像された検査面の映像を示す図であ
る。
A conventional method for inspecting the surface of a product using a CCD camera will be described with reference to FIGS. Here, FIG. 4A is a schematic view showing the arrangement of a CCD camera,
Fig. 4 (b) shows the surface of the product to be inspected (hereinafter referred to as "inspection surface").
Fig. 4 (c) is a view showing the display described in
It is a figure which shows the image | video of the inspection surface imaged by the D camera.

【0004】製品50の検査面52に、照射用光源54
から所定の光が照射される。そしてこの照射光が製品5
0の検査面52で反射され、その反射光がCCDカメラ
56の結像レンズ58に入射される。この結像レンズ5
8を通過した光は、結像レンズ58の焦点面に光軸に対
して垂直に設けられたCCD板60上に結像する。従っ
て、検査面52上の点A、B、Cは、それぞれCCD板
60上の点A″、B″、C″として結像し、撮像され
る。ここで、点Aは製品50の検査面52の上端の点、
点Bは検査面52の下端の点、点Cは検査面52と結像
レンズ58の光軸との交点である。
A light source 54 for irradiation is provided on the inspection surface 52 of the product 50.
Is irradiated with predetermined light. And this irradiation light is product 5
The light is reflected by the inspection surface 52 of 0, and the reflected light is incident on the imaging lens 58 of the CCD camera 56. This imaging lens 5
The light passing through 8 forms an image on a CCD plate 60 which is provided on the focal plane of the imaging lens 58 perpendicularly to the optical axis. Therefore, the points A, B, and C on the inspection surface 52 are imaged and imaged as the points A ″, B ″, and C ″ on the CCD plate 60. Here, the point A is the inspection surface of the product 50. The uppermost point of 52,
Point B is the lower end of the inspection surface 52, and point C is the intersection of the inspection surface 52 and the optical axis of the imaging lens 58.

【0005】このようにしてCCDカメラ56により撮
像された製品50の検査面52の映像は、例えばCCD
カメラ56に接続したモニターテレビやVTR等を使用
して観察される。
The image of the inspection surface 52 of the product 50 imaged by the CCD camera 56 in this manner is, for example, a CCD.
It is observed using a monitor TV or VTR connected to the camera 56.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上記従来のCCDカメ
ラ56を用いた検査方法において、図5(a)に示され
るように、製品50の検査面52が結像レンズ58の光
軸に対して垂直となっている場合、当然CCD板60も
光軸に対して垂直であるため、検査面52とCCD板6
0とは平行になる。従って、結像レンズ58の中心をO
とすると、△AOCと△A″OC″、△BOCと△B″
OC″はそれぞれ相似となるため、 AC:A″C″=C:C″O=CB:C″B″ が成立し、従って、 AC:CB=A″C″:C″B″ が成立する。即ち、製品50の検査面52の表示は歪み
なくCCD板60上に結像し、CCDカメラ56よっ
て撮像された映像に歪みが生じることはない。
In the inspection method using the conventional CCD camera 56, as shown in FIG. 5A, the inspection surface 52 of the product 50 is aligned with the optical axis of the imaging lens 58. When it is vertical, naturally the CCD plate 60 is also vertical to the optical axis, so that the inspection surface 52 and the CCD plate 6 are
It is parallel to 0. Therefore, the center of the imaging lens 58 is set to O
Then, ΔAOC and ΔA ″ OC ″, ΔBOC and ΔB ″
OC "Since the respective similarity, AC: A" C "= C O: C" O = CB: C "B" is established, therefore, AC: CB = A "C ": C "B" is satisfied To do. That is, the display of the inspection surface 52 of the product 50 without distortion is imaged on the CCD board 60, no distortion occurs in the image captured <br/> Te by the CCD camera 56.

【0007】しかしながら、上記図4(a)に示される
ようにCCDカメラ56等を配置する場合、その配置
上、照射用光源54と製品50とCCDカメラ56とを
一直線上に並べることは困難である。そのため、製品5
0の検査面52に対して照射光が斜めに入射するように
照射用光源54を配置し、検査面52から斜めに反射す
る反射光の延長上にCCDカメラ56を配置しなければ
ならない。
However, when the CCD camera 56 and the like are arranged as shown in FIG. 4A, it is difficult to arrange the irradiation light source 54, the product 50, and the CCD camera 56 in a straight line because of the arrangement. is there. Therefore, product 5
The irradiation light source 54 must be arranged so that the irradiation light is obliquely incident on the inspection surface 52 of 0, and the CCD camera 56 must be arranged on the extension of the reflected light obliquely reflected from the inspection surface 52.

【0008】このような場合、図5(b)に示されるよ
うに、製品50の検査面52が結像レンズ58の光軸に
対して垂直でなくなり、角度θ(ここで、θ<π/2)
をなす。このため、検査面52とCCD板60とは平行
にならず、従って、 AC:A″C″=C:C″O=CB:C″B″ が成立せず、 AC:CB≠A″C″:C″B″ となる。即ち、製品50の検査面52の表示に対して、
CCD板60上に結像したその光学像にはB″からA″
の方向に向かって縮小するような歪みが生じ、従ってC
CDカメラ56よって撮像された映像にも同様の歪み
が生じる。
In such a case, as shown in FIG. 5B, the inspection surface 52 of the product 50 is not perpendicular to the optical axis of the imaging lens 58, and the angle θ (here, θ <π / 2)
Make Therefore, not parallel to the test surface 52 and the CCD plate 60, therefore, AC: A "C" = C O: C "O = CB: C" B " is not satisfied, AC: CB ≠ A" C ″: C ″ B ″ That is, with respect to the display of the inspection surface 52 of the product 50,
The optical image formed on the CCD plate 60 has B ″ to A ″.
Distortion that reduces in the direction of
Therefore a similar distortion in the captured image to the CD camera 56 occurs.

【0009】このため、製品50の検査面52の表示
が、例えば図4(b)に示されるような123の数字で
ある場合、CCDカメラ56よって撮像された映像は
図4(c)に示されるような歪んだ123の数字とな
り、その映像に歪みが生じる。尚、図4(c)では、一
方向に生じる歪みを図示したが、実際には、この一方向
と直交する方向にも歪みが生じる場合もある。
[0009] Therefore, the display of the inspection surface 52 of the product 50, for example, when a 123 numbers as shown in FIG. 4 (b), images that are thus imaged on the CCD camera 56 in FIG. 4 (c) The resulting number is distorted 123 and the image is distorted. Although the distortion generated in one direction is illustrated in FIG. 4C, the distortion may actually occur in the direction orthogonal to the one direction.

【0010】従って、CCDカメラ56よって撮像さ
れた映像にこうした歪みが生じることにより、製品50
の検査面52の外観形状、表面状態、表面に記載された
表示等を正確に検査することが困難であるという問題が
あった。そこで本発明は、被写体の被写体面が結像手段
の光軸に対して垂直でない場合であっても、歪みを生じ
ることなく撮像することができる光電変換カメラを提供
することを目的とする。
Accordingly, by this distortion in the images that are thus imaged on the CCD camera 56, the product 50
However, there is a problem that it is difficult to accurately inspect the external shape, surface condition, display, etc. of the inspection surface 52. Therefore, it is an object of the present invention to provide a photoelectric conversion camera capable of capturing an image without causing distortion even when the subject surface of the subject is not perpendicular to the optical axis of the image forming unit.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】図1は、本発明の原理を
説明するための光電変換カメラを示す概略断面図であ
る。光電変換カメラ10は、結像光学系12とこの結像
光学系12の焦点面に設けられた撮像板14とを有して
いる。そして結像光学系12は、被写体16の被写体面
18からの光を集束し、被写体面18の光学像を撮像板
14上に結像させ、撮像板14は、その結像された被写
体面18の光学像を撮像する。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a photoelectric conversion camera for explaining the principle of the present invention. The photoelectric conversion camera 10 has an image forming optical system 12 and an image pickup plate 14 provided on the focal plane of the image forming optical system 12. Then, the imaging optical system 12 focuses the light from the object surface 18 of the object 16 and forms an optical image of the object surface 18 on the image pickup plate 14, and the image pickup plate 14 makes the imaged object surface 18. The optical image of.

【0012】ここで、被写体16の被写体面18が光電
変換カメラ10の結像光学系12の光軸に対して垂直で
なく、角度θ(但し、θ≠π/2)をなしている場合
に、光電変換カメラ10の撮像板14も同様に結像光学
系12の光軸に対して角度θをなしている点に、即ち撮
像板14が被写体面18にほぼ平行に設置されている点
に、本発明の特徴がある。
Here, when the object surface 18 of the object 16 is not perpendicular to the optical axis of the imaging optical system 12 of the photoelectric conversion camera 10 and forms an angle θ (where θ ≠ π / 2). Similarly, the image pickup plate 14 of the photoelectric conversion camera 10 also forms an angle θ with respect to the optical axis of the imaging optical system 12, that is, the image pickup plate 14 is installed substantially parallel to the object plane 18. There is a feature of the present invention.

【0013】尚、被写体16の被写体面18と光電変換
カメラ10の結像光学系12の光軸とのなす角度θが常
に一定であれば、撮像板14を結像光学系12の光軸に
対して角度θをなすように固定すればよい。また、被写
体16の種類によって被写体面18と結像光学系12の
光軸とのなす角度θが変化する場合は、撮像板14の角
度を変化させる角度可変手段20を設け、この角度可変
手段20を用いて撮像板14が結像光学系12の光軸と
なす角度θを調整すればよい。
If the angle θ between the subject surface 18 of the subject 16 and the optical axis of the image forming optical system 12 of the photoelectric conversion camera 10 is always constant, the image pickup plate 14 is set to the optical axis of the image forming optical system 12. It may be fixed so as to form an angle θ. Further, when the angle θ formed by the object plane 18 and the optical axis of the imaging optical system 12 changes depending on the type of the object 16, an angle changing means 20 for changing the angle of the image pickup plate 14 is provided. The angle θ formed by the imaging plate 14 and the optical axis of the imaging optical system 12 may be adjusted by using.

【0014】また、撮像板14は、電荷結合素子を搭載
したチップであってもよいし、そうしたチップを組み込
んだ基板であってもよい。
The image pickup plate 14 may be a chip on which a charge coupled device is mounted or a substrate on which such a chip is incorporated.

【0015】[0015]

【作用】本発明の作用を、図2(a)〜(c)を用いて
説明する。ここで、図2(a)は上記図1の光電変換カ
メラの作用を説明するための概念図、図2(b)は被写
体16の被写体面18に記載された表示を示す図、図2
(c)は撮像板14上に結像された被写体面18の映像
を示す図である。尚、説明を容易にするため、結像光学
系12を結像レンズで図示した。
The operation of the present invention will be described with reference to FIGS. Here, FIG. 2A is a conceptual diagram for explaining the operation of the photoelectric conversion camera of FIG. 1, and FIG. 2B is a diagram showing a display displayed on the subject surface 18 of the subject 16.
FIG. 7C is a diagram showing an image of the object surface 18 formed on the image pickup plate 14. Note that the imaging optical system 12 is illustrated as an imaging lens for ease of explanation.

【0016】本発明では、被写体16の被写体面18が
結像光学系12の光軸に対して垂直でなく、角度θ(但
し、θ≠π/2)をなしており、また撮像板14も結像
光学系12の光軸に対して垂直でなく、角度θをなして
いるため、被写体面18と撮像板14とは平行になって
いる。従って、点Aを被写体16の被写体面18の上端
の点、点Bを被写体面18の下端の点、点Cを被写体面
18と結像光学系12の光軸との交点とすると、被写体
面18上の点A、B、Cが被写体面18に平行な撮像板
14上の点A′、B′、C′として結像される。そして
結像光学系12の中心Oに対して、△AOCと△A′O
C′、△BOCと△B′OC′△AOBと△A′OB′
とが点対称となるため、 AC:A′C′=C0:C′O=CB:C′B′ が成立し、従って、 AC:CB=A′C′:C′B′ が成立する。
In the present invention, the object surface 18 of the object 16 is not perpendicular to the optical axis of the imaging optical system 12 and forms an angle θ (where θ ≠ π / 2), and the image pickup plate 14 is also included. The subject plane 18 and the imaging plate 14 are parallel to each other because they are not perpendicular to the optical axis of the imaging optical system 12 and form an angle θ. Therefore, assuming that point A is the upper end point of the subject surface 18 of the subject 16, point B is the lower end point of the subject surface 18, and point C is the intersection of the subject surface 18 and the optical axis of the imaging optical system 12, the subject surface The points A, B, and C on 18 are imaged as points A ', B', and C'on the imaging plate 14 parallel to the object plane 18. Then, with respect to the center O of the imaging optical system 12, ΔAOC and ΔA′O
C ', ΔBOC and ΔB'OC' ΔAOB and ΔA'OB '
Since and are point-symmetrical, AC: A'C '= C0: C'O = CB: C'B' holds, and thus AC: CB = A'C ': C'B' holds.

【0017】即ち、被写体16の被写体面18の表示は
歪みなく撮像板14上に結像する。このため、被写体面
18の表示が例えば図2(b)に示されるような123
の数字であれば、撮像板14上に結像し、光電変換カメ
ラ10よって撮像される映像も、図2(c)に示され
るように、縦方向及び横方向のいずれの方向にも歪みの
ない123の数字となり、その映像に歪みが生じること
はない。
That is, the display of the object surface 18 of the object 16 is imaged on the image pickup plate 14 without distortion. Therefore, the display of the object plane 18 is 123 as shown in FIG.
If the numbers, and forms an image on the imaging plate 14, the image is thus captured to the photoelectric conversion camera 10 also, as shown in FIG. 2 (c), longitudinal and skew in any direction transverse There is no number of 123, and the image is not distorted.

【0018】[0018]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説
明する。図3(a)は本発明の一実施例によるCCDカ
メラ等の配置を示す概略図、図3(b)はそのCCDカ
メラのCCD板の角度可変手段を示す断面図である。例
えばベルトコンベア等によって搬送されてくる製品30
の検査面32を、所定の光で斜めから照射するように、
照射用光源34が設置されている。そしてこの照射用光
源34からの照射光が製品30の検査面32で反射され
た反射光の進行方向に、CCDカメラ36が設置されて
いる。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below based on examples. FIG. 3A is a schematic view showing the arrangement of a CCD camera and the like according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3B is a sectional view showing the angle varying means of the CCD plate of the CCD camera. For example, a product 30 conveyed by a belt conveyor or the like
To irradiate the inspection surface 32 of with a predetermined light obliquely,
An irradiation light source 34 is installed. A CCD camera 36 is installed in the traveling direction of the reflected light reflected from the inspection surface 32 of the product 30 by the irradiation light from the irradiation light source 34.

【0019】このCCDカメラ36は、製品30の検査
面32からの反射光が入射する結像レンズ38と、この
結像レンズ38の焦点面に設けられ、結像レンズ38を
通過した光が結像するCCD板40とを有している。ま
た、このCCD板40は、受光した光のエネルギーを電
荷に変換する画素が2次元マトリックス状に配置されて
いる感光部と、光電変換された電荷を走査する転送部と
を有しているものであり、具体的には、CCDを搭載し
たチップであってもよいし、そうしたCCDチップを組
み込んだ基板であってもよい。
The CCD camera 36 is provided on the focal plane of the imaging lens 38, on which the reflected light from the inspection surface 32 of the product 30 is incident, and the light passing through the imaging lens 38 is combined. And a CCD plate 40 for imaging. Further, the CCD plate 40 has a photosensitive section in which pixels for converting received light energy into electric charges are arranged in a two-dimensional matrix, and a transfer section for scanning photoelectrically converted electric charges. Specifically, it may be a chip on which a CCD is mounted or a substrate on which such a CCD chip is incorporated.

【0020】更に、このCCD板40はCCDカメラ3
6の筐体42に揺動自在に設置されており、角度可変手
段44により、結像レンズ38の光軸に対してなす角度
θを調整することができるようになっている。この角度
可変手段44は、例えば図3(b)に示されるように構
成される。即ち、CCDカメラ36の筐体46に揺動自
在に設置されたCCD板40の近傍に固定ブロック46
が設けられ、この固定ブロック46に開けられたねじ穴
にスライド用ビス48が螺合され、スライド用ビス48
の先端がCCD板40に当接するようになっている。そ
してこのようなスライド用ビス48が少なくとも3組設
置されており、各組のスライド用ビス48を回転スライ
ドさせて、結像レンズ38の光軸に対するCCD板40
のなす角度θを調整することができるようになってい
る。即ち、垂直方向及び水平方向のいずれの方向にもそ
のCCD板40のなす角度θの補正が可能である。
Further, this CCD plate 40 is used for the CCD camera 3
The angle varying means 44 is capable of adjusting the angle θ formed with respect to the optical axis of the imaging lens 38. The angle varying means 44 is configured as shown in FIG. 3 (b), for example. That is, the fixed block 46 is provided near the CCD plate 40 that is swingably installed in the housing 46 of the CCD camera 36.
Is provided, and the screw for slide 48 is screwed into the screw hole opened in the fixed block 46, and the screw for slide 48
The tip of the contact plate is in contact with the CCD plate 40. At least three sets of such sliding screws 48 are installed, and each set of sliding screws 48 is rotationally slid so that the CCD plate 40 with respect to the optical axis of the imaging lens 38 is rotated.
It is possible to adjust the angle θ formed by. That is, the angle θ formed by the CCD plate 40 can be corrected in both the vertical direction and the horizontal direction.

【0021】従って、実際に、CCDカメラ36によっ
て製品30の検査面32を撮像する場合には、角度可変
手段44を用いて、CCDカメラ36のCCD板40が
検査面32に平行になるように調整する。即ち、検査面
32が結像レンズ38の光軸に対して角度θをなしてい
るときは、CCD板40も結像レンズ38の光軸に対し
て角度θをなすようにする。
Therefore, when the inspection surface 32 of the product 30 is actually imaged by the CCD camera 36, the angle varying means 44 is used so that the CCD plate 40 of the CCD camera 36 is parallel to the inspection surface 32. adjust. That is, when the inspection surface 32 makes an angle θ with the optical axis of the imaging lens 38, the CCD plate 40 also makes an angle θ with the optical axis of the imaging lens 38.

【0022】また、図示はしないが、CCDカメラ36
にはモニターテレビやVTR等が接続されており、これ
らモニターテレビやVTR等を使用して、CCDカメラ
36よって撮像された製品30の検査面32の映像を観
察することができるようになっている。このように本実
施例によれば、角度可変手段44を用いてCCDカメラ
36のCCD板40を製品30の検査面32に平行にな
るように調整することができるため、検査面32上の点
A、B、Cは歪みなくCCD板40上の点A′、B′、
C′として結像し、撮像される。従って、製品30の検
査面32の外観形状、表面状態、表面に記載された表示
等を正確に検査することが可能となる。
Although not shown, the CCD camera 36
A monitor TV, a VTR, etc. are connected to the monitor TV, the VTR, etc. can be used to observe the image of the inspection surface 32 of the product 30 imaged by the CCD camera 36. . As described above, according to this embodiment, the CCD plate 40 of the CCD camera 36 can be adjusted to be parallel to the inspection surface 32 of the product 30 by using the angle varying means 44. A, B, and C are points A ′, B ′ on the CCD plate 40 without distortion,
An image is formed and imaged as C '. Therefore, it becomes possible to accurately inspect the external shape, surface condition, display, etc. of the inspection surface 32 of the product 30.

【0023】尚、上記実施例においては、角度可変手段
44として、揺動自在に設置されたCCD板40に当接
する3組のスライド用ビス48を用いた場合を示した
が、これに限定されず、種々の方法を用いることが可能
であることは言うまでもない。また、この角度可変手段
を自動化してもよい。また、製品30の検査面32が常
に一定である場合、即ちその検査面32が結像レンズ3
8の光軸に対してなす角度θが常に一定である場合、C
CD板40を結像レンズ38の光軸に対して角度θをな
すように固定すればよい。
In the above-described embodiment, the case where the three sets of sliding screws 48 that come into contact with the swingably installed CCD plate 40 are used as the angle changing means 44, but the present invention is not limited to this. Needless to say, various methods can be used. Further, the angle varying means may be automated. When the inspection surface 32 of the product 30 is always constant, that is, the inspection surface 32 is the imaging lens 3
When the angle θ formed with respect to the optical axis of 8 is always constant, C
The CD plate 40 may be fixed so as to form an angle θ with the optical axis of the imaging lens 38.

【0024】更に、上記実施例においては、製品30の
検査面32に対して照射用光源34とCCDカメラ36
を同一側に設け、検査面32からの反射光をCCDカメ
ラ36に入射しているが、この製品30がガラス板等の
透明なものである場合、照射用光源34とCCDカメラ
36を反対側に設け、検査面32を通過した透過光をC
CDカメラ36に入射してもよい。
Further, in the above embodiment, the light source 34 for irradiation and the CCD camera 36 are applied to the inspection surface 32 of the product 30.
Are provided on the same side, and the reflected light from the inspection surface 32 is incident on the CCD camera 36. However, when the product 30 is a transparent glass plate or the like, the irradiation light source 34 and the CCD camera 36 are on the opposite side. And the transmitted light that has passed through the inspection surface 32 is
It may be incident on the CD camera 36.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、被写体の
光学像を結像させる結像手段と、結像された被写体の光
学像を撮像する撮像板とを備えた光電変換カメラにおい
て、撮像板が被写体の被写体面に平行に設置されている
ことにより、たとえ被写体の被写体面が結像手段の光軸
に対して垂直でない場合であっても、その被写体面を歪
みを生じることなく撮像することができる。
As described above, according to the present invention, in the photoelectric conversion camera provided with the image forming means for forming the optical image of the subject and the image pickup plate for taking the optical image of the formed subject, Since the imaging plate is installed parallel to the subject surface of the subject, even if the subject surface of the subject is not perpendicular to the optical axis of the image forming unit, the subject surface is imaged without distortion. can do.

【0026】これにより、被写体面の外観形状、表面状
態、表面に記載された表示等を正確に検査することが可
能となる。
This makes it possible to accurately inspect the external shape of the subject surface, the surface condition, the display on the surface, and the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の原理を説明するための光電変換カメラ
を示す概略断面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a photoelectric conversion camera for explaining the principle of the present invention.

【図2】本発明による光電変換カメラの作用を説明する
ための図である。
FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of the photoelectric conversion camera according to the present invention.

【図3】本発明の一実施例によるCCDカメラを用いた
検査方法を説明するための図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating an inspection method using a CCD camera according to an embodiment of the present invention.

【図4】従来のCCDカメラを用いた検査方法を説明す
るための図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining an inspection method using a conventional CCD camera.

【図5】従来のCCDカメラの作用を説明するための図
である。
FIG. 5 is a diagram for explaining the operation of a conventional CCD camera.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…光電変換カメラ 12…結像光学系 14…撮像板 16…被写体 18…被写体面 20…角度可変手段 30…製品 32…検査面 34…照射用光源 36…CCDカメラ 38…結像レンズ 40…CCD板 42…CCDカメラの筐体 44…角度可変手段 46…固定ブロック 48…スライド用ビス 50…製品 52…検査面 54…照射用光源 56…CCDカメラ 58…結像レンズ 60…CCD板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Photoelectric conversion camera 12 ... Imaging optical system 14 ... Imaging plate 16 ... Subject 18 ... Subject plane 20 ... Angle changing means 30 ... Product 32 ... Inspection surface 34 ... Irradiation light source 36 ... CCD camera 38 ... Imaging lens 40 ... CCD plate 42 ... CCD camera housing 44 ... Angle varying means 46 ... Fixed block 48 ... Sliding screw 50 ... Product 52 ... Inspection surface 54 ... Irradiation light source 56 ... CCD camera 58 ... Imaging lens 60 ... CCD plate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−95538(JP,A) 特開 平4−172436(JP,A) 特開 平4−203915(JP,A) 特開 昭63−179206(JP,A) 特開 昭59−3304(JP,A) 特開 平4−50828(JP,A) 特開 平4−366938(JP,A) 実開 昭52−16936(JP,U) ─────────────────────────────────────────────────── --- Continuation of the front page (56) References JP-A-3-95538 (JP, A) JP-A-4-172436 (JP, A) JP-A-4-203915 (JP, A) JP-A-63- 179206 (JP, A) JP 59-3304 (JP, A) JP 4-50828 (JP, A) JP 4-366938 (JP, A) Actual development Sho 52-16936 (JP, U)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 被写体の被写体面に対して光軸が傾いて
おり、前記被写体からの光を集束して、前記被写体の光
学像を焦点面に結像する結像手段と、 前記結像手段の焦点面に設けられ、結像された前記被写
体の光学像を撮像する撮像板と 前記撮像板が前記被写体の被写体面にほぼ平行になるよ
うに、前記撮像板が前記結像手段の光軸に対してなす角
度を調整する角度調整手段と を有する ことを特徴とする
光電変換カメラ。
1. The optical axis is tilted with respect to the subject plane of the subject.
Cage, and focuses the light from the object, and an imaging means for imaging an optical image of the object on the focal plane, provided on the focal plane of the imaging means, the optical image of the said object The image pickup plate for taking an image and the image pickup plate are substantially parallel to the subject plane of the subject.
Angle formed by the imaging plate with respect to the optical axis of the image forming means.
A photoelectric conversion camera , comprising: an angle adjusting unit for adjusting a degree .
【請求項2】 被写体の被写体面に対して斜めの方向か
ら照射する照射手段により照明された被写体を撮像する
光電変換カメラであって、 前記照射手段により照射された照射光が前記被写体で反
射する反射光を受光するように前記被写体の被写体面に
対して光軸が傾いており、前記反射 光を集束して、前記
被写体の光学像を焦点面に結像する結像手段と、 前記結像手段の焦点面に設けられ、結像された前記被写
体の光学像を撮像する撮像板と 前記撮像板が前記被写体の被写体面にほぼ平行になるよ
うに、 前記撮像板が前記結像手段の光軸に対してなす角
を調整する角度調整手段とを有することを特徴とする
光電変換カメラ。
2. A direction oblique to the object plane of the object
Imaging the subject illuminated by the illumination means
A photoelectric conversion camera, wherein the irradiation light emitted by the irradiation means is reflected by the subject.
On the subject surface of the subject so that it receives the reflected light
The optical axis is tilted with respect to the image forming means for focusing the reflected light to form an optical image of the subject on a focal plane, and the image forming means provided on the focal plane of the image forming means. The imaging plate that captures the optical image of the subject and the imaging plate are substantially parallel to the subject surface of the subject.
As described above, the photoelectric conversion camera is provided with an angle adjusting unit that adjusts an angle formed by the imaging plate with respect to the optical axis of the image forming unit.
【請求項3】 被写体の被写体面に対して斜めの方向か
ら照射する照射手段により照明された被写体を撮像する
光電変換カメラであって、 前記照射手段による照射光が前記被写体で透過する透過
光を受光するように前記被写体の被写体面に対して光軸
が傾いており、前記透過 光を集束して、前記被写体の光
学像を焦点面に結像する結像手段と、 前記結像手段の焦点面に設けられ、結像された前記被写
体の光学像を撮像する撮像板と 前記撮像板が前記被写体の被写体面にほぼ平行になるよ
うに、 前記撮像板が前記結像手段の光軸に対してなす角
を調整する角度調整手段とを有することを特徴とする
光電変換カメラ。
3. A direction oblique to the subject plane of the subject
Imaging the subject illuminated by the illumination means
A photoelectric conversion camera, wherein light emitted by the irradiation means is transmitted by the subject
The optical axis with respect to the subject plane of the subject to receive light
An image forming means for focusing the transmitted light to form an optical image of the subject on a focal plane; and an optical image of the subject formed on the focal plane of the image forming means. The image pickup plate that picks up the image of the object and the image pickup plate are substantially parallel to the subject surface of the subject.
As described above, the photoelectric conversion camera is provided with an angle adjusting unit that adjusts an angle formed by the imaging plate with respect to the optical axis of the image forming unit.
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