JP2525855B2 - Superconducting material - Google Patents

Superconducting material

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JP2525855B2 JP63071270A JP7127088A JP2525855B2 JP 2525855 B2 JP2525855 B2 JP 2525855B2 JP 63071270 A JP63071270 A JP 63071270A JP 7127088 A JP7127088 A JP 7127088A JP 2525855 B2 JP2525855 B2 JP 2525855B2
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直治 藤森
敬三 原田
秀夫 糸▲崎▼
三郎 田中
修示 矢津
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    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E40/00Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
    • Y02E40/60Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は超電導部材に関する。詳細には、より高い超
電導臨界温度を発揮する新規な超電導部材の構成に関す
る。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a superconducting member. More specifically, it relates to the structure of a novel superconducting member that exhibits a higher superconducting critical temperature.

従来の技術 超電導現象下で物質は完全な反磁性を示し、内部で有
限な定常電流が流れているにも関わらず電位差が現れな
くなる。そこで、超電導体は電力損失の全くない伝送媒
体として各種の応用が提案されている。
Conventional technology Under the superconducting phenomenon, a substance shows complete diamagnetism, and the potential difference disappears even though a finite steady current flows inside. Therefore, various applications have been proposed for a superconductor as a transmission medium having no power loss.

即ち、MHD発電、電力送電、電力貯蔵等の電力分野、
或いは、磁気浮上列車、電磁気推進船舶等の動力分野、
更に、磁場、マイクロ波、放射線等の超高感度センサと
してNMR、π中間子治療、高エネルギー物理実験装置な
どの計測の分野等、極めて多くの利用分野を挙げること
ができる。
That is, MHD power generation, power transmission, power storage and other power fields,
Alternatively, power fields such as magnetic levitation trains and electromagnetic propulsion vessels,
Furthermore, as ultra-sensitive sensors for magnetic fields, microwaves, radiation, etc., there are numerous fields of application, such as the fields of measurement such as NMR, pion therapy, and high energy physics experimental equipment.

また、ジョセフソン素子に代表されるエレクトロニク
スの分野でも、単なる消費電力の低減のみならず、極め
て高速な動作を実現し得る技術として期待されている。
Also, in the field of electronics represented by Josephson devices, it is expected as a technology that can realize not only simple power consumption but also extremely high-speed operation.

ところで、超電導現象は超低温下においてのみ観測さ
れている。従来の超電導材料として最も高い超電導臨界
温度Tcを有するといわれているNb3Geにおいても23.2Kに
止まっていた。
By the way, the superconducting phenomenon has been observed only under ultra-low temperature. Even Nb 3 Ge, which is said to have the highest superconducting critical temperature Tc as a conventional superconducting material, remained at 23.2K.

そこで、従来は、超電導現象を実現するために、沸点
が4.2Kの液体ヘリウムを用いて超電導材料をTc以下まで
冷却していた。しかしながら、液体ヘリウムの使用は、
液化設備を含めた冷却設備による技術的負担並びにコス
ト的負担が極めて大きく、超電導技術の実用化への妨げ
となっていた。
Therefore, conventionally, in order to realize the superconducting phenomenon, liquid helium having a boiling point of 4.2K was used to cool the superconducting material to Tc or lower. However, the use of liquid helium has
The technical burden and cost burden of the cooling equipment including the liquefaction equipment were extremely large, which hindered the practical application of the superconducting technology.

一方、近年に到ってII a族元素あるいはIII a族元素
の酸化物を含む焼結体が高いTcを有する超電導体となり
得ることが報告され、非低温超電導体による超電導技術
の実用化が俄かに促進されようとしている。
On the other hand, it has been reported in recent years that a sintered body containing an oxide of a group IIa element or a group IIIa element can be a superconductor having a high Tc, and practical application of the superconducting technology by a non-low temperature superconductor is expected. Is being promoted.

既に報告されている例では、ペロブスカイト型酸化物
と類似した結晶構造を有すると考えられる〔La,Ba〕2Cu
O4あるいは〔La,Sr〕2CuO4等のK2NiF4型酸化物が挙げら
れる。これらの物質では、30乃至50Kという従来に比べ
て飛躍的に高いTcが観測され、更に高い臨界温度の実現
が模索されている。
In the previously reported example, it is considered that the crystal structure is similar to that of the perovskite type oxide [La, Ba] 2 Cu.
Examples thereof include K 2 NiF 4 type oxides such as O 4 or [La, Sr] 2 CuO 4 . With these substances, a Tc of 30 to 50 K, which is dramatically higher than in the past, was observed, and it is being sought to realize a higher critical temperature.

発明が解決しようとする課題 しかしながら、これらの超電導材料は焼結体とし得ら
れるので、一般的に脆く取扱に注意が必要である。即
ち、機械的な負荷によって容易に破損したり、あるいは
機械的な強度を持たせるために、必要以上に大きな寸法
に成形する必要がある。
DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention However, since these superconducting materials can be obtained as a sintered body, they are generally fragile and must be handled with care. That is, in order to be easily damaged by a mechanical load, or to have mechanical strength, it is necessary to mold into a size larger than necessary.

また、これらの物質は応力が作用している状態では更
に高いTcを発揮することが知られているが、実際の使用
において超電導材料に常に応力を付与した状態とするこ
とが困難であった。
Further, although it is known that these substances exhibit a higher Tc when stress is applied, it has been difficult to keep the stress applied to the superconducting material in actual use.

そこで、本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決
し、高いTcを有する超電導材料をより有利な条件で使用
することのできる新規な超電導材を提供することにあ
る。
Then, the objective of this invention is solving the subject of the said prior art, and providing the novel superconducting material which can use the superconducting material which has high Tc on more advantageous conditions.

課題を解決するための手段 即ち、本発明に従い、 一般式:AwBxCyDz 〔但し、Aは周期律表II a、III a族元素から選択され
た1種であり、 Bは周期律表II a、III a族元素でAと同じものを含む
元素から選択された1種であり、 Cは周期律表I b、II b、III b、VIII a族元素から選択
された1種であり、 DはO(酸素)であり、 w、x、yはそれぞれ1以下の正の数であり、 zは1以上5以下の数である〕 で表される組成のペロブスカイト型または擬似ペロブス
カイト型複合酸化物系超電導材料よりも大きな熱膨張率
を有し、且つ表面に起伏を有する材料で形成された基板
上に、該超電導材料の超電導臨界温度よりも高い温度
で、少なくとも該起伏によって形成された凹部の底面を
被うように形成された該前記超電導材料層を具備するこ
とを特徴とする超電導材が提供される。
Means for Solving the Problems That is, according to the present invention, a general formula: A w B x C y D z [where A is one kind selected from Group IIa and IIIa elements of the periodic table, and B is It is one kind selected from the elements including the same elements as A in the group IIa and IIIa of the periodic table, and C is one selected from the group Ib, IIb, IIIb and VIIIa elements of the periodic table. And D is O (oxygen), w, x, and y are positive numbers of 1 or less, and z is a number of 1 or more and 5 or less], or a perovskite type or pseudo On a substrate having a coefficient of thermal expansion larger than that of a perovskite-type complex oxide-based superconducting material and having a undulation on the surface, at a temperature higher than the critical superconducting temperature of the superconducting material, at least by the undulation. The superconducting material layer is formed so as to cover the bottom surface of the formed recess. A superconducting material is provided.

ここで、前記基板は、例えば、Au、Cuあるいはステン
レス鋼によって形成することができる。徴とする特許請
求の範囲第1項に記載の超電導材。
Here, the substrate can be formed of, for example, Au, Cu, or stainless steel. The superconducting material according to claim 1, which is a characteristic.

本発明の一態様に従えば、前記基板は、例えば、深さ
1μm、幅2μmの凹部を具備することが好ましい。ま
た、前記超電導材料層は、前記基板の表面全体に形成す
ることもできる。
According to one aspect of the present invention, the substrate preferably has, for example, a recess having a depth of 1 μm and a width of 2 μm. Further, the superconducting material layer may be formed on the entire surface of the substrate.

本発明の一実施態様に従えば、前記超電導材料層は、
前記基板上にスパッタ法によって形成することができ
る。
According to one embodiment of the present invention, the superconducting material layer is
It can be formed on the substrate by a sputtering method.

また、本発明の好ましい態様に従えば、前記基板の表
面が、ペロブスカイト型または擬似ペロブスカイト型酸
化物超電導材料に対する接着性の高い材料によって予め
被覆されていることが有利である。また、前記基板の表
面が、ペロブスカイト型または擬似ペロブスカイト型酸
化物超電導材料に対して安定な材料によって予め被覆さ
れていることも好ましい。
Further, according to a preferred embodiment of the present invention, it is advantageous that the surface of the substrate is previously coated with a material having high adhesiveness to a perovskite type or pseudo perovskite type oxide superconducting material. It is also preferable that the surface of the substrate is previously coated with a material that is stable with respect to a perovskite-type or pseudo-perovskite-type oxide superconducting material.

作用 本発明は、ペロブスカイト型または擬似ペロブスカイ
ト型酸化物からなる超電導体が、特に圧縮応力下で良好
な超電導特性を示すとの知見に基づいてなされたもので
ある。
Action The present invention was made based on the finding that a superconductor made of a perovskite-type or pseudo-perovskite-type oxide exhibits excellent superconducting properties particularly under compressive stress.

即ち、本発明者等は、上記知見に基づき、ペロブスカ
イトまたは擬似ペロブスカイト酸化物に、使用状態で応
力が作用するような超電導材の構成を種々検討した結
果、適切な形状並びに熱膨張率を具備する基板の熱収縮
を利用することが有利であるとの結論を得た。
That is, the present inventors, based on the above findings, as a result of various studies on the composition of the superconducting material such that the stress acts on the perovskite or the pseudo-perovskite oxide in the use state, and the appropriate shape and the coefficient of thermal expansion are provided. It was concluded that it is advantageous to utilize the heat shrinkage of the substrate.

即ち、超電導材料よりも熱膨張率の高い材料による基
板表面に起伏を形成し、該凹部の底面にペロブスカイト
型または擬似ペロブスカイト型酸化物からなる超電導体
の層を形成すると、超電導材料層の形成時から常温への
温度降下、並びに超電導材を超電導臨界温度まで冷却し
たために生じる温度降下によって基板が収縮する。この
とき、基板表面の起伏によって、超電導材料膜に応力が
作用する。従って、上述のように構成された超電導材で
は、特に冷却して超電導状態としている間は、超電導材
料に常に応力が作用している。その結果、この超電導材
料層は臨界温度が高い状態に保たれる。
That is, when undulations are formed on the surface of the substrate made of a material having a higher coefficient of thermal expansion than the superconducting material, and a layer of a superconductor made of a perovskite type or pseudo perovskite type oxide is formed on the bottom surface of the concave portion, the formation of the superconducting material layer The substrate shrinks due to the temperature drop from room temperature to room temperature and the temperature drop caused by cooling the superconducting material to the superconducting critical temperature. At this time, stress acts on the superconducting material film due to the undulations of the substrate surface. Therefore, in the superconducting material configured as described above, stress is always applied to the superconducting material, especially during cooling and in the superconducting state. As a result, this superconducting material layer is kept at a high critical temperature.

このような作用に鑑み、本発明における基板表面の起
伏とは、基板上に形成された超電導材料層に対して応力
が作用するような形状であることが必須である。しかし
ながら、この場合、必ずしも基板表面に対して垂直な面
が必要なわけではなく、具体的には幅2μm、深さ1μ
m程度の凹部あるいは溝が形成されていれば足りる。
In view of such an action, it is essential that the undulation of the substrate surface in the present invention is a shape in which stress acts on the superconducting material layer formed on the substrate. However, in this case, a plane perpendicular to the substrate surface is not necessarily required, and specifically, a width of 2 μm and a depth of 1 μm.
It suffices if a recess or groove of about m is formed.

尚、このような本発明による超電導材において、基板
表面にペロブスカイト型または擬似ペロブスカイト型酸
化物との接着性の高い材料を予め被覆しておくことも好
ましい。また、基板表面に、ペロブスカイト型または擬
似ペロブスカイト型酸化物に対して化学的に安定である
ような材料を被覆しておくことも好ましい。これらの観
点から総合的に判断すると、例えば、Cuあるいはステン
レス鋼等の基板表面を、AuあるいはPt等によって被覆し
ておくことが好ましい。
In such a superconducting material according to the present invention, it is also preferable to previously coat the surface of the substrate with a material having high adhesiveness to the perovskite type or pseudo perovskite type oxide. It is also preferable to coat the surface of the substrate with a material that is chemically stable with respect to the perovskite type or pseudo perovskite type oxide. From a comprehensive judgment from these viewpoints, for example, it is preferable to coat the substrate surface of Cu, stainless steel, or the like with Au, Pt, or the like.

以下に図面を参照して本発明をより具体的に詳述する
が、以下に開示するものは本発明の一実施例に過ぎず、
本発明の技術的範囲を何ら制限するものではない。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. However, what is disclosed below is only one embodiment of the present invention,
It does not limit the technical scope of the present invention.

実施例 第1図は、本発明に従う超電導材の構成を示す断面図
である。基板1の表面には複数の凹部が形成されてお
り、更にこの凹部を含む基板の全面に超電導材料層2が
形成されている。
Example FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a superconducting material according to the present invention. A plurality of recesses are formed on the surface of the substrate 1, and a superconducting material layer 2 is further formed on the entire surface of the substrate including the recesses.

基板1はCuによって形成されており、その表面にはAu
の膜が予め蒸着されている。また、基板1の表面に形成
された凹部は、深さ約1μm、幅約2μmの平行な溝状
のものである。
Substrate 1 is made of Cu and has Au on its surface.
Film has been previously deposited. The recess formed on the surface of the substrate 1 is a parallel groove having a depth of about 1 μm and a width of about 2 μm.

超電導材料層2は以下のようにして形成した。まず、
Ba2CO3、Y2CO3、CuOの粉末を、原子比Ba:Y:Cuが2:1:3と
なるように混合し、成形した後820℃で仮焼結し、粉
砕、成形後さらに1080℃で本焼結して焼結体ブロックを
得た。このブロックをターゲットとし、前述の基板上に
スパッタ法により薄膜として形成した。尚、膜形成条件
は以下の通りである。
The superconducting material layer 2 was formed as follows. First,
Ba 2 CO 3 , Y 2 CO 3 , and CuO powders were mixed so that the atomic ratio Ba: Y: Cu was 2: 1: 3, molded, and then pre-sintered at 820 ° C, crushed and molded. Further, main sintering was performed at 1080 ° C. to obtain a sintered block. Using this block as a target, a thin film was formed on the above-mentioned substrate by the sputtering method. The film forming conditions are as follows.

酸素分圧4×10-2Torr、 Ar分圧3×10-2Torr、 基板温度700℃、 基板バイアス電圧−60V、 高周波電力25W/cm2、 成膜速度は0.5Å/secであり、超電導材料層は約1μ
mの厚さまで成膜した。尚、比較のために他の条件を同
一とし、平坦なAu被覆Cu基板上に厚さ1μmの薄膜を形
成したものも作製した。
Oxygen partial pressure 4 × 10 -2 Torr, Ar partial pressure 3 × 10 -2 Torr, substrate temperature 700 ° C, substrate bias voltage -60V, high frequency power 25W / cm 2 , deposition rate 0.5 Å / sec, superconductivity Material layer is about 1μ
The film was formed to a thickness of m. For comparison, under the same other conditions, a flat Au-coated Cu substrate on which a thin film having a thickness of 1 μm was formed was also manufactured.

次いで、得られた各々の薄膜の抵抗を測定するため
に、薄膜の両端部分に、さらに真空蒸着で一対のAu電極
を形成し、このAu電極にリード線をハンダ付けした。
Next, in order to measure the resistance of each of the obtained thin films, a pair of Au electrodes was further formed on both ends of the thin films by vacuum vapor deposition, and lead wires were soldered to the Au electrodes.

このように各試料について超電導臨界温度測定したと
ころ、本発明に従って作製した試料は、ターゲットとし
て使用した焼結体超電導材料に対して、Tcfが60℃、Tc
が85℃向上していた。このことは、単にTcが上昇しただ
けではなく、TcとTcfとの差ΔTが小さくなっているこ
とも意味している。
When the superconducting critical temperature was measured for each sample in this manner, the sample produced according to the present invention showed that the Tcf was 60 ° C. and Tc was higher than that of the sintered superconducting material used as the target.
Was improved by 85 ° C. This means that not only Tc has risen, but also the difference ΔT between Tc and Tcf has become smaller.

発明の効果 以上詳述のように、本発明に従う超電導材は、使用状
態では超電導材料に対して常に圧縮応力が作用してお
り、元来Tcの高いペロブスカイト型または擬似ペロブス
カイト型酸化物を、更にTcの高い状態で使用することを
可能とする。
Effects of the Invention As described above in detail, the superconducting material according to the present invention is always subjected to compressive stress on the superconducting material in a use state, and originally has a high Tc perovskite type or pseudo perovskite type oxide, It can be used in the high Tc state.

この様に、本発明に従えば、高く安定したTcを有する
超電導材が得られるため、線材あるいは小部品として、
超電導材を広く適用することが可能となる。
Thus, according to the present invention, since a superconducting material having a high and stable Tc can be obtained, as a wire rod or a small part,
The superconducting material can be widely applied.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、本発明に従う超電導材の構成を示す断面図で
ある。 〔主な参照番号〕 1……基板、 2……超電導材料層
FIG. 1 is a sectional view showing a structure of a superconducting material according to the present invention. [Main reference numbers] 1 ... Substrate, 2 ... Superconducting material layer

フロントページの続き (72)発明者 田中 三郎 兵庫県伊丹市昆陽北1丁目1番1号 住 友電気工業株式会社伊丹製作所内 (72)発明者 矢津 修示 兵庫県伊丹市昆陽北1丁目1番1号 住 友電気工業株式会社伊丹製作所内 (72)発明者 上代 哲司 兵庫県伊丹市昆陽北1丁目1番1号 住 友電気工業株式会社伊丹製作所内 (56)参考文献 特開 昭63−236218(JP,A)(72) Inventor Saburo Tanaka 1-1-1 Kunyokita, Itami City, Hyogo Prefecture Sumitomo Electric Industries, Ltd. Itami Works (72) Inventor Shuji Yazu 1-1-1 Kunyokita, Itami City, Hyogo Prefecture No. 1 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Itami Works (72) Inventor Tetsuji Kamishiro 1-1-1 Kunyokita, Itami City, Hyogo Prefecture Sumitomo Electric Industries Itami Works (56) Reference JP-A-63-236218 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】一般式:AwBxCyDz 〔但し、Aは周期律表II a、III a族元素から選択され
た1種であり、 Bは周期律表II a、III a族元素でAと同じものを含む
元素から選択された1種であり、 Cは周期律表I b、II b、III b、VIII a族元素から選択
された1種であり、 DはO(酸素)であり、 w、x、yはそれぞれ1以下の正の数であり、 zは1以上5以下の数である〕 で表される組成のペロブスカイト型または擬似ペロブス
カイト型複合酸化物系超電導材料よりも大きな熱膨張率
を有し、且つ表面に起伏を有する材料で形成された基板
上に、該超電導材料の超電導臨界温度よりも高い温度
で、少なくとも該起伏によって形成された凹部の底面を
被うように形成された該前記超電導材料層を具備するこ
とを特徴とする超電導材。
1. A general formula: A w B x C y D z [wherein A is one element selected from Group IIa and Group IIIa of the Periodic Table, and B is Group IIa and IIIa of the Periodic Table]. It is one selected from the group of elements including the same as A, C is one selected from Group Ib, IIb, IIIb and VIIIa elements of the periodic table, and D is O ( Oxygen), w, x and y are positive numbers less than or equal to 1 and z is a number greater than or equal to 1 and less than or equal to 5]], or a perovskite-type or pseudo-perovskite-type complex oxide-based superconducting material On a substrate formed of a material having a larger coefficient of thermal expansion and undulations on the surface, at least the bottom surface of the recess formed by the undulations is covered at a temperature higher than the superconducting critical temperature of the superconducting material. A superconducting material comprising the superconducting material layer formed as described above.
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