JP2523327B2 - Optical recording medium - Google Patents

Optical recording medium

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JP2523327B2
JP2523327B2 JP62152109A JP15210987A JP2523327B2 JP 2523327 B2 JP2523327 B2 JP 2523327B2 JP 62152109 A JP62152109 A JP 62152109A JP 15210987 A JP15210987 A JP 15210987A JP 2523327 B2 JP2523327 B2 JP 2523327B2
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Description

【発明の詳細な説明】 I 発明の背景 技術分野 本発明は、レーザー光等の熱および光を用いて情報の
記録、再生を行う光磁気記録媒体等の光記録媒体に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical recording medium such as a magneto-optical recording medium that records and reproduces information using heat and light such as laser light.

先行技術とその問題点 光記録媒体の一つとして、光磁気メモリ用の媒体があ
る。
2. Description of the Related Art As one of optical recording media, there is a medium for a magneto-optical memory.

光磁気メモリの記録媒体としては、 MnBi,MnAlGe,MnSb, MnCuBi,GdFe,TbFe, GdCo,PtCo,TbCo, TbFeCo,GdFeCo,TbFeO3,GdIG,GdTbFe, GdTbFeCoBi,CoFe2O4 等の材料が知られている。これらは、真空蒸着法やスパ
ッタリング法等の方法で、プラスチックやガラス等の透
明基板上に薄膜として形成される。これらの光磁気記録
媒体に共通している特性としては、 磁化容易軸が膜面に垂直方向にあり、 さらに、カー効果やファラデー効果が大きいという点
をあげることができる。
Materials such as MnBi, MnAlGe, MnSb, MnCuBi, GdFe, TbFe, GdCo, PtCo, TbCo, TbFeCo, GdFeCo, TbFeO 3 , GdIG, GdTbFe, GdTbFeCoBi, and CoFe 2 O 4 are known as recording media for magneto-optical memory. ing. These are formed as thin films on a transparent substrate such as plastic or glass by a method such as a vacuum evaporation method or a sputtering method. The characteristics common to these magneto-optical recording media are that the easy axis of magnetization is perpendicular to the film surface, and that the Kerr effect and the Faraday effect are large.

このような媒体に要求されることは、 第1に、キューリー点が100〜200℃程度で、補償点が
室温付近であること、 第2に、ノイズとなる結晶粒界などの欠陥が比較的少
ないこと、 第3に、比較的大面積にわたって磁気的、機械的に均
一な膜が得られることがあげられる。
The requirements for such a medium are firstly that the Curie point is about 100 to 200 ° C. and the compensation point is near room temperature. Secondly, defects such as crystal grain boundaries that cause noise are relatively large. Third, it is possible to obtain a magnetically and mechanically uniform film over a relatively large area.

このような要求に答え、上記材料のなかで、近年、希
土類−遷移金属の非晶質垂直磁性薄膜が大きな注目を集
めている。
In response to such demands, in recent years, amorphous perpendicular magnetic thin films of rare earth-transition metals have attracted great attention among the above materials.

しかし、このような希土類−遷移金属非晶質薄膜から
なる光磁気記録媒体において、磁性薄膜層は大気に接し
たまま保存されると、大気中の酸素や水により希土類が
選択的に腐食あるいは酸化されてしまい、情報の記録、
再生が不可能となる。
However, in such a magneto-optical recording medium comprising a rare earth-transition metal amorphous thin film, if the magnetic thin film layer is stored in contact with the atmosphere, the rare earth is selectively corroded or oxidized by oxygen or water in the atmosphere. Recording of information,
Reproduction becomes impossible.

そこで、一般には、前記磁性薄膜層の基板側ないし基
板反対側表面に保護層を設けた構成を有するものが多く
研究されている。
Therefore, in general, much research has been conducted on a structure in which a protective layer is provided on the surface of the magnetic thin film layer on the side of the substrate or the side opposite to the substrate.

従来、このような防湿性等の耐食性付与のための保護
層としては、一酸化ケイ素、二酸化ケイ素、窒化アル
ミ、窒化ケイ素、酸化亜鉛等の無機系の真空蒸着膜や樹
脂膜等を設ける試み(特開昭58−80142号等)が開示さ
れている。しかし、これらは、いずれも未だ耐食性ある
いは膜と基板との密着性の点で満足できるものではな
い。
Conventionally, as a protective layer for imparting corrosion resistance such as moisture resistance, an attempt has been made to provide an inorganic vacuum vapor deposition film or resin film of silicon monoxide, silicon dioxide, aluminum nitride, silicon nitride, zinc oxide or the like ( JP-A-58-80142) is disclosed. However, none of these is still satisfactory in terms of corrosion resistance or adhesion between the film and the substrate.

また、一定の組成を有する無機ガラスを保護層に用い
た場合においても、媒体の耐久性、特に水分透過の防
止、接着性の向上等の改善がみられる旨の開示がなされ
ている(特開昭59-52443号公報、同第60-177449号公
報)。
Further, it is disclosed that even when an inorganic glass having a certain composition is used for the protective layer, the durability of the medium, in particular, prevention of moisture permeation, improvement in adhesiveness and the like are observed (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-242242). 59-52443 and 60-177449).

また、特開昭60-145525号にはSi3N4とSiO2との混合膜
を保護層として用いる旨の提案がなされている。
Further, JP-A-60-145525 proposes to use a mixed film of Si 3 N 4 and SiO 2 as a protective layer.

しかしながら、光磁気記録媒体の耐久性および耐食性
に対する要求は厳しく、これらのものではその効果は十
分とはいえず、また記録の際の感度および再生の際のC/
N比の点でも満足のいくものではない。
However, the requirements for durability and corrosion resistance of the magneto-optical recording medium are strict, and the effect cannot be said to be sufficient with these, and the sensitivity at the time of recording and the C /
The N ratio is not satisfactory either.

なお、このような問題は、いわゆる相転移タイプの記
録層を有する光記録媒体でも同様である。
Incidentally, such a problem also applies to an optical recording medium having a so-called phase transition type recording layer.

II 発明の目的 本発明の目的は、記録層の劣化が防止され、耐食性、
耐久性に優れ、記録、再生特性も良好な光記録媒体を提
供することにある。
II Object of the invention The purpose of the present invention is to prevent the deterioration of the recording layer, corrosion resistance,
An object of the present invention is to provide an optical recording medium having excellent durability and good recording and reproducing characteristics.

III 発明の開示 このような目的は、以下の本発明によって達成され
る。
III DISCLOSURE OF THE INVENTION Such an object is achieved by the present invention described below.

すなわち、基板上に記録層を有し、基板と記録層との
間および/または記録層の上に保護層を有する光記録媒
体において、 前記保護層がケイ素と、アルミニウムと、ホウ素と、
アルカリ土類金属元素の1種以上と、酸素と、イットリ
ウムならびにランタン、セリウム、プラセオジム、ネオ
ジム、サマリウムおよびユーロピウムから選ばれたラン
タノイド元素の1種以上とを含有し、 前記保護層中のイットリウムおよびランタノイド元素
の1種以上の含有量がケイ素と、アルミニウムと、ホウ
素と、アルカリ土類金属元素の1種以上との総計に対し
3〜126at%含有され、 前記保護層中のケイ素、アルミニウム、ホウ素および
アルカリ土類金属元素の1種以上をそれぞれの元素の酸
化物の化学量論組成に換算したとき、これらの酸化物中
の酸化ケイ素の含有量が30〜70wt%であり、 前記保護層中のケイ素、アルミニウム、ホウ素および
アルカリ土類金属元素の1種以上を、それぞれの元素の
酸化物の化学量論組成に換算したとき、これらの酸化物
中のアルカリ土類金属元素の1種以上の酸化物の含有量
が10〜50wt%であることを特徴とする光記録媒体であ
る。
That is, in an optical recording medium having a recording layer on a substrate and between the substrate and the recording layer and / or having a protective layer on the recording layer, the protective layer is silicon, aluminum, and boron,
Containing at least one alkaline earth metal element and oxygen, and at least one yttrium and lanthanoid element selected from lanthanum, cerium, praseodymium, neodymium, samarium and europium, yttrium and lanthanoid in the protective layer. The content of at least one element is 3 to 126 at% with respect to the total of silicon, aluminum, boron, and at least one alkaline earth metal element, and silicon, aluminum, boron, and boron in the protective layer are contained. When one or more alkaline earth metal elements are converted into the stoichiometric composition of the oxide of each element, the content of silicon oxide in these oxides is 30 to 70 wt%, Convert one or more of silicon, aluminum, boron and alkaline earth metal elements into the stoichiometric composition of the oxide of each element When an optical recording medium, wherein the content of one or more oxides of alkaline earth metal elements in these oxides is range of 10 to 50 wt%.

IV 発明の具体的構成 以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。IV Specific Configuration of the Invention Hereinafter, the specific configuration of the present invention will be described in detail.

本発明の光記録媒体のうち、光磁気記録媒体の一実施
例が第1図に示される。
An embodiment of a magneto-optical recording medium of the optical recording media of the present invention is shown in FIG.

第1図において、本発明の光磁気記録媒体1は、基板
2上に、保護層31有し、その上に記録層としての磁性薄
膜層4を有し、その上に基板裏面側保護層35が設けられ
る。
In FIG. 1, a magneto-optical recording medium 1 of the present invention has a protective layer 31 on a substrate 2, a magnetic thin film layer 4 as a recording layer on the protective layer 31, and a protective layer 35 on the back surface side of the substrate on the magnetic thin film layer 4. Is provided.

このような本発明の保護層31は、ケイ素と、アルミニ
ウムと、ホウ素と、アルカリ土類金属元素の1種以上
と、酸素と、イットリウムおよびランタノイド元素の1
種以上とを含有する。
Such a protective layer 31 of the present invention includes silicon, aluminum, boron, at least one of alkaline earth metal elements, oxygen, yttrium and lanthanoid elements.
And more than one seed.

このような各元素を含有させることによって、きわめ
て良好な耐久性と耐食性とが発揮され、記録、再生特性
も優れたものとなる。
By containing each of these elements, extremely good durability and corrosion resistance are exhibited, and recording and reproducing characteristics are also excellent.

この場合、これら各必須元素の1つでも欠けたときに
は、本発明の効果は実現しない。
In this case, the effect of the present invention cannot be realized when any one of these essential elements is lacking.

このような場合、ケイ素、アルミニウム、ホウ素、ア
ルカリ土類金属(M2)の1種以上は、通常酸化物の形で
含有され、ガラス質を形成する。
In such a case, one or more of silicon, aluminum, boron and alkaline earth metal (M 2 ) is usually contained in the form of oxide to form glass.

ガラス質としてのこれらケイ素と、アルミニウムと、
ホウ素と、アルカリ土類金属(M2)の1種以上とを、そ
れぞれの元素の酸化物の化学量論組成に換算したとき、
これらの酸化物中の酸化ケイ素の含有量は、30〜70wt%
である。
With these silicon as glassy material, aluminum,
When boron and one or more kinds of alkaline earth metals (M 2 ) are converted into stoichiometric compositions of oxides of the respective elements,
The content of silicon oxide in these oxides is 30 ~ 70wt%
Is.

これは30wt%未満であると耐食性の点で不利になり、
70wt%をこえると安定性の点で不利になるからである。
If this is less than 30 wt%, it is disadvantageous in terms of corrosion resistance,
This is because if it exceeds 70 wt%, it is disadvantageous in terms of stability.

また、化学量論組成酸化物に換算したとき、上記酸化
物中の、アルカリ土類金属(M2)の1種以上の酸化物の
含有量は10〜50wt%である。これは10wt%未満になる
と、耐食性の面で不利になり、50wt%をこえると、安定
性の面で不利になるからである。
Further, when converted to a stoichiometric composition oxide, the content of one or more oxides of alkaline earth metal (M 2 ) in the above oxide is 10 to 50 wt%. This is because if it is less than 10 wt%, it is disadvantageous in terms of corrosion resistance, and if it exceeds 50 wt%, it is disadvantageous in terms of stability.

アルカリ土類金属元素(M2)としては、Ba,Ca,Mg,Sr
等の1種以上が挙げられ、なかでも特にBa,Ca,Srの1〜
3種を用いるのが好ましい。これら2種以上のM2を用い
る場合、それぞれの量比は任意である。
As alkaline earth metal element (M 2 ), Ba, Ca, Mg, Sr
One or more of Ba, Ca, Sr, among others,
It is preferable to use three kinds. When two or more kinds of M 2 are used, their respective quantitative ratios are arbitrary.

なお、ケイ素、アルカリ土類金属元素の1種以上M2
アルミニウム、ホウ素の酸化物の化学量論組成はそれぞ
れSiO2、M2O、Al2O3およびB2O3である。
In addition, at least one of silicon and alkaline earth metal elements M 2 ,
The stoichiometric compositions of aluminum and boron oxides are SiO 2 , M 2 O, Al 2 O 3 and B 2 O 3 , respectively.

さらに上記ガラス質組成中には、上記のとおりアルミ
ニウムとホウ素とが含有される。上記ガラス質組成の残
部が、アルミニウムとホウ素の酸化物から形成されるこ
とによって耐食性はさらに向上する。
Further, the glassy composition contains aluminum and boron as described above. The balance of the vitreous composition is formed of an oxide of aluminum and boron, so that the corrosion resistance is further improved.

BとAlとの、互いの量比は任意である。 The amount ratio of B and Al to each other is arbitrary.

上記ガラス質において、上記の各元素は以下のように
酸化物として含有される。
In the above glassy material, each of the above elements is contained as an oxide as described below.

まずSiは、通常Siの酸化物(通常、SiO2)として含有
される。また、アルカリ土類金属も通常酸化物(通常、
BaO,CaO,MgO,SrOのM2O)として含有される。
First, Si is usually contained as an oxide of Si (usually SiO 2 ). Alkaline earth metals are also usually oxides (usually
It is contained as M 2 O) of BaO, CaO, MgO and SrO.

さらにAlおよびBも通常酸化物(通常、Al2O3,B2O3
として含有される。すなわち、化学量論組成で示すなら
ば、SiO2とM2Oとに加え、Al2O3、B2O3の1種以上が含有
されてガラス質が形成されるものである。
Al and B are also normal oxides (usually Al 2 O 3 , B 2 O 3 )
Contained as. That is, in terms of the stoichiometric composition, in addition to SiO 2 and M 2 O, at least one of Al 2 O 3 and B 2 O 3 is contained to form a glassy material.

これらの酸化物は、その保護層組成において上記の化
学量論的な組成比をはずれていてもよい。
These oxides may deviate from the above stoichiometric composition ratio in the protective layer composition.

また、本発明の保護層は、上記ガラス質に、イットリ
ウムおよびランタノイド元素のうちの1種以上が含有さ
れる。これらを含有することによって、記録感度やC/N
比がより良好なものになる。この場合、イットリウムお
よびランタノイドは、イットリウム(Y)、ランタン
(La)、セリウム(Ce)、プラセオジム(Pr)、ネオジ
ム(Nd)、サマリウム(Sm)およびユーロピウム(Eu)
からなる群から選ばれた元素の1種以上である。このと
き、記録感度、C/N比等の記録、再生特性のみならず、
耐久性、耐食性等の面でもより良好な結果が得られるか
らである。
In the protective layer of the present invention, the vitreous material contains at least one of yttrium and lanthanoid elements. By containing these, recording sensitivity and C / N
The ratio will be better. In this case, yttrium and lanthanoids are yttrium (Y), lanthanum (La), cerium (Ce), praseodymium (Pr), neodymium (Nd), samarium (Sm) and europium (Eu).
It is one or more elements selected from the group consisting of. At this time, not only the recording and reproducing characteristics such as recording sensitivity and C / N ratio,
This is because better results can be obtained in terms of durability and corrosion resistance.

これらイットリウムおよびランタノイド元素の1種以
上(以下これらをRとする)は、保護層中にて上記ガラ
ス質と混合含有されるものであるが、元素単体あるいは
化合物いずれかの形で含有されてもよい。化合物として
含有される場合は、通常酸化物の形で含有されることが
好ましい。
One or more of these yttrium and lanthanoid elements (hereinafter these are referred to as R) are mixed and contained in the protective layer with the above-mentioned glassy material, but may be contained in the form of element alone or compound. Good. When it is contained as a compound, it is usually preferable to contain it in the form of an oxide.

このような場合、記録、再生特性とともに耐食性や耐
久性を向上させるためには、上記Rは、元素単体、ある
いは部分酸化物の形で含有されるのが好ましい。これ
は、これら各元素が保護膜中で酸素トラップの役割を
し、耐食性、耐久性の向上に寄与するからである。
In such a case, in order to improve the corrosion resistance and durability as well as the recording and reproducing characteristics, the above R is preferably contained in the form of elemental element or partial oxide. This is because each of these elements acts as an oxygen trap in the protective film and contributes to improvement in corrosion resistance and durability.

また、これらイットリウムおよびランタノイド元素の
1種以上の含有量は、ケイ素、アルミニウム、ホウ素、
およびアルカリ土類金属の1種以上の総計に対し3〜12
6at%より好ましくは3〜107at%である。これは3at%
未満であると本発明の効果が無く、126at%をこえるとC
/N特性が低下するからである。
The content of one or more of these yttrium and lanthanoid elements is silicon, aluminum, boron,
And 3 to 12 for the total of one or more alkaline earth metals
It is more preferably 3 to 107 at%, more preferably 6 at%. This is 3 at%
If it is less than the above, the effect of the present invention is not obtained, and if it exceeds 126 at%, C
This is because the / N characteristic deteriorates.

なお、上記のイットリウムおよびランタノイド元素は
一般に各元素の化学量論組成酸化物(一般にY2O3、La2O
3等のR2O3、ただし、CeはCeO2)に対し、酸素量が90%
以下の単体または酸化物として含有されることが好まし
い。
The above yttrium and lanthanoid elements are generally stoichiometric oxides of each element (generally Y 2 O 3 , La 2 O 3
90% oxygen content with respect to R 2 O 3 such as 3 , but Ce is CeO 2 ).
It is preferably contained as the following simple substance or oxide.

このような保護層は、通常非晶質状態にある。 Such a protective layer is usually in an amorphous state.

なお、このような保護層中のSi、Al、B、アルカリ土
類金属、イットリウムおよびランタノイド元素、その他
の元素の分析はオージェ、SIMS、ESCA、LAMMA等によっ
て行えばよい。
The analysis of Si, Al, B, alkaline earth metals, yttrium and lanthanoid elements, and other elements in the protective layer may be performed by Auger, SIMS, ESCA, LAMMA or the like.

また、このような保護層は、各種気相成膜法、例え
ば、スパッタ法、蒸着法、イオンプレーティング法、プ
ラズマCVD、光CVD、特により設層される。特にスパッタ
法を用いることが好ましく、この場合設層されるべき組
成に対応するターゲットを用いるスパッタ法、2種以上
の異なる組成からなるターゲットを用いた多元スパッタ
法あるいは酸素を用いる反応性スパッタ法等によって形
成される。
Further, such a protective layer is formed by various vapor deposition methods, for example, a sputtering method, a vapor deposition method, an ion plating method, a plasma CVD method, a photo CVD method, and more particularly. In particular, it is preferable to use a sputtering method. In this case, a sputtering method using a target corresponding to a composition to be formed, a multi-source sputtering method using a target having two or more different compositions, or a reactive sputtering method using oxygen, etc. Formed by.

そして、特に、上記のガラス質とイットリウムおよび
ランタノイド元素の1種以上とをターゲットとして用い
る2元スパッタ法を用いることが好ましい。
Then, it is particularly preferable to use a two-dimensional sputtering method in which the above glassy material and one or more of yttrium and lanthanoid elements are used as targets.

そして、このような保護層の厚さは、300〜3000Å、
特に500〜2000Åとすることが好ましい。
And the thickness of such protective layer is 300 ~ 3000Å,
Particularly, it is preferable to set it to 500 to 2000Å.

この値が300Å未満であると、耐候性が悪く、また300
0Åをこえると、感度が低下する。
If this value is less than 300Å, the weather resistance is poor and
If it exceeds 0Å, the sensitivity will decrease.

また、保護層中の不純物として、成膜雰囲気中に存在
するAr、N2等が入ってもよい。
Further, as impurities in the protective layer, Ar, N 2 or the like existing in the film forming atmosphere may enter.

その他、Fe2O3、CuO、Cr2O3、MnOx、CoO、NiO、As2O3
等が全体の1.0wt%程度以下含有されてもよい。
Others, Fe 2 O 3 , CuO, Cr 2 O 3 , MnO x , CoO, NiO, As 2 O 3
Etc. may be contained up to about 1.0 wt% of the whole.

本発明において記録層として用いる磁性薄膜層4は、
変調された熱ビームあるいは変調された磁界により、情
報が磁気的に記録されるものであり、記録情報は磁気−
光変換して再生するものである。
The magnetic thin film layer 4 used as the recording layer in the present invention is
Information is recorded magnetically by a modulated heat beam or a modulated magnetic field.
It converts light and reproduces it.

このような磁性薄膜層4の材質としては、Gd、Tb等の
希土類金属と好ましくはFe、Co等の遷移金属の合金をス
パッタ、蒸着法等により、非晶質膜として形成したもの
である。
As a material of such a magnetic thin film layer 4, an alloy of a rare earth metal such as Gd and Tb and a transition metal such as Fe and Co is preferably formed as an amorphous film by sputtering, vapor deposition or the like.

この場合、FeとCoの総含有量は、65〜85at%であるこ
とが好ましい。
In this case, the total content of Fe and Co is preferably 65 to 85 at%.

そして、残部は実質的に希土類金属、特にGdおよび/
またはTbである。
And the balance is substantially rare earth metals, especially Gd and / or
Or Tb.

そして、その好適例としては、TbFeCo、GdFeCo、GdTb
FeCo等がある。
And, as a preferable example thereof, TbFeCo, GdFeCo, GdTb
FeCo etc.

なお、これら磁性薄膜層中には10at%以下の範囲でC
r、Al、Ti、Pt、Si、Mo、Mn、V、Ni、Cu、Zn、Ge、Au
等が含有されてもよい。
In these magnetic thin film layers, C is contained in the range of 10 at% or less.
r, Al, Ti, Pt, Si, Mo, Mn, V, Ni, Cu, Zn, Ge, Au
Etc. may be contained.

また、希土類元素として10at%以下の範囲でSc、Y、
La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu
等を含有してもよい。
In addition, as a rare earth element, Sc, Y, and
La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu
Etc. may be contained.

このような磁性薄膜層の厚さは、通常、100〜10000Å
程度である。
The thickness of such a magnetic thin film layer is usually 100 to 10000Å
It is a degree.

この他記録層の材質としては、いわゆる相転移タイプ
のものとして、例えば、 Te−Se、Te−Se−Sn、Te−Ge、Te−Tn、Te−Sn、Te−
Ge−Sb−S、Te−Ge−As−Si、Te−Si、Te−Ge−Si−S
b、Te−Ge−Bi、Te−Ge−In−Ga、Te−Si−Bi−Tl、Te
−Ge−Bi−In−S、Te−As−Ge−Sb、Te−Ge−Se−S、
Te−Ge−Se、Te−As−Ge−Ga、Te−Ge−S−In、Se−Ge
−Tl、Se−Te−As、Se−Ge−Tl−Sb、Se−Ge−Bi、Se−
S(以上、特公昭54-41902号、特許第1004835号など) TeOx(特開昭58-54338号、特許第974257号記載のTe酸
化物中に分散されたTe)、 TeOx+PbOx(特許第974258号)、 TeOx+VOx(特許第974257号)、その他、Te−Tl、Te
−Tl−Si、Se−Zn−Sb、Te−Se−Ga、TeNx等のTe、Seを
主体とするカルコゲン系 Ge−Sn、Si−Sn等の非晶質−結晶質転移を生じる合金 Ag−Zn、Ag−Al−Cu、Cu−Al等の結晶構造変化によっ
て色変化を生じる合金、In−Sb等の結晶粒径の変化を生
じる合金などがある。
In addition, as a material of the recording layer, a so-called phase transition type material such as Te-Se, Te-Se-Sn, Te-Ge, Te-Tn, Te-Sn, Te-
Ge-Sb-S, Te-Ge-As-Si, Te-Si, Te-Ge-Si-S
b, Te-Ge-Bi, Te-Ge-In-Ga, Te-Si-Bi-Tl, Te
-Ge-Bi-In-S, Te-As-Ge-Sb, Te-Ge-Se-S,
Te-Ge-Se, Te-As-Ge-Ga, Te-Ge-S-In, Se-Ge
-Tl, Se-Te-As, Se-Ge-Tl-Sb, Se-Ge-Bi, Se-
S (above, Japanese Examined Patent Publication No. 54-41902, Patent No. 1004835, etc.) TeO x (Te dispersed in the Te oxide described in JP-A No. 58-54338 and Japanese Patent No. 974257), TeO x + PbO x ( Patent No. 974258), TeO x + VO x (Patent No. 974257), other, Te-Tl, Te
-Tl-Si, Se-Zn-Sb, Te-Se-Ga, TeN x and other Te, Se-based chalcogen-based Ge-Sn, Si-Sn and other amorphous-crystalline transition alloy Ag There are alloys such as —Zn, Ag—Al—Cu, and Cu—Al that change color due to a change in crystal structure, and alloys such as In—Sb that cause a change in crystal grain size.

このような記録層は、蒸着法、スパッタ法、イオンプ
レーティング法等のドライコーティング方式等を用いて
設層すればよい。そしてその設層厚さは20nm〜1μm程
度とされる。
Such a recording layer may be formed by using a dry coating method such as a vapor deposition method, a sputtering method or an ion plating method. The layer thickness is about 20 nm to 1 μm.

基板2は、ガラスないし樹脂製であり、好ましい樹脂
材質としては、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、
エポキシ樹脂、ポリメチルペンテン樹脂などがあげられ
る。
The substrate 2 is made of glass or resin, and preferable resin materials include acrylic resin, polycarbonate resin,
Epoxy resins, polymethylpentene resins and the like can be mentioned.

これらの樹脂のうち、耐久性、特にソリなどに対する
耐性等の点でポリカーボネート樹脂が好ましい。
Among these resins, a polycarbonate resin is preferable in terms of durability, particularly resistance to warping and the like.

この場合のポリカーボネート樹脂としては、脂肪族ポ
リカーボネート、芳香族−脂肪族ポリカーボネート、芳
香族ポリカーボネートのいずれであってもよいが、特に
芳香族ポリカーボネート樹脂であることが好ましい。こ
れらのうちでは融点、結晶性、とり扱い等の点でビスフ
ェノールからのポリカーボネート樹脂が好ましい。中で
もビスフェノールAタイプのポリカーボネート樹脂は最
も好ましく用いられる。
In this case, the polycarbonate resin may be any of an aliphatic polycarbonate, an aromatic-aliphatic polycarbonate and an aromatic polycarbonate, but an aromatic polycarbonate resin is particularly preferable. Of these, a polycarbonate resin made of bisphenol is preferable in terms of melting point, crystallinity, handling, and the like. Among them, the bisphenol A type polycarbonate resin is most preferably used.

また、ポリカーボネート樹脂の数平均分子量は、10,0
00〜15,000程度であることが好ましい。
The number average molecular weight of the polycarbonate resin is 10,0
It is preferably about 00 to 15,000.

このような基板2の830nmの屈折率は通常1.55〜1.59
程度である。
The refractive index at 830 nm of such a substrate 2 is usually 1.55 to 1.59.
It is a degree.

なお、記録は基板2をとおして行うので、書き込みな
いし読み出し光に対する透過率は86%以上とする。
Since recording is performed through the substrate 2, the transmittance for writing or reading light is set to 86% or more.

このようなディスク状基板の磁性薄膜層形成面には、
トラッキング用の溝が形成されてもよい。
On the magnetic thin film layer formation surface of such a disc-shaped substrate,
A groove for tracking may be formed.

溝の深さは、λ/8n程度、特にλ/6n〜λ/12n(ここ
に、nは基板の屈折率である)とされる。また、溝の巾
は、0.4〜2.0μm程度とされる。
The depth of the groove is about λ / 8n, particularly λ / 6n to λ / 12n (where n is the refractive index of the substrate). The width of the groove is about 0.4 to 2.0 μm.

また、アドレス用のピットが形成されていてもよい。 Further, a pit for an address may be formed.

そして、通常、この溝の凹部に位置する磁性薄膜層を
記録トラック部として、書き込み光および読み出し光を
基板裏面側から照射することが好ましい。
Then, it is usually preferable to irradiate the writing light and the reading light from the back surface side of the substrate with the magnetic thin film layer located in the concave portion of the groove as a recording track portion.

このように構成することにより、書き込み感度と読み
出しのC/N比が向上し、しかもトラッキングの制御信号
は大きくなる。
With this configuration, the write sensitivity and the read C / N ratio are improved, and the tracking control signal is increased.

また、その他の基板の形状として、テープ、ドラム等
としてもよい。
Further, other shapes of the substrate may be tapes, drums, and the like.

本発明おいては磁性薄膜層4の上に基板裏面側保護層
35を設けてもよい。
In the present invention, a protective layer on the back surface side of the substrate is formed on the magnetic thin film layer 4.
35 may be provided.

このような基板裏面側保護層35の材質としては、ガラ
ス質のものであれば特に制限はなく、保護層31と同様な
材質を用いてもよい。
The material of the substrate backside protective layer 35 is not particularly limited as long as it is made of glass, and the same material as the protective layer 31 may be used.

この場合、好ましい保護層材質としては、特願昭61-3
00859号、同61-302275号、同61-303224号、同61-307300
号、同61-313614号、同61-313615号、同61-314949号、
同61-314948号、同61-313720号等が開示されている。こ
のとき、耐久性、耐食性はより優れたものとなる。
In this case, as a preferable protective layer material, Japanese Patent Application No. 61-3
00859, 61-302275, 61-303224, 61-307300
No. 61, No. 61-313614, No. 61-313615, No. 61-314949,
Nos. 61-314948 and 61-313720 are disclosed. At this time, the durability and corrosion resistance are more excellent.

また、この基板裏面側保護層35は前記の保護層31と同
材質とすることもできる。なお、場合によっては必要に
応じ、保護層31を前記と異なる組成とし、基板裏面側保
護層35のみを前記のSiと、M2とAlと、Bと、Rと、Oと
を含有する組成としてもよい。
Further, the substrate backside protective layer 35 may be made of the same material as the protective layer 31. In some cases, if necessary, the protective layer 31 has a different composition from the above, and only the substrate back surface side protective layer 35 contains the above Si, M 2 , Al, B, R, and O. May be

また、このような基板裏面側保護層35の形成方法は、
保護層31の方法に準じて行なえばよく、その膜厚は300
〜3000Å程度、特に500〜2000Åとすることが好まし
い。
In addition, such a method for forming the substrate back surface side protective layer 35 is
The protective layer 31 may be formed according to the method, and the film thickness is 300.
It is preferably about 3,000 Å, particularly 500 to 2,000 Å.

また、通常、基板裏面側保護層35の上には、有機保護
コート層5が設けられる。
Further, usually, the organic protective coat layer 5 is provided on the protective layer 35 on the back surface of the substrate.

有機保護コート層5の材質としては、通常、公知の種
々の有機系の物質を用いればよい。
As the material of the organic protective coat layer 5, generally, various known organic substances may be used.

より好ましくは、放射線硬化型化合物を電子線、紫外
線等の放射線で硬化させたものを用いるのがよい。
More preferably, a radiation-curable compound cured with radiation such as electron beam or ultraviolet ray is used.

用いる放射線硬化型化合物としては、イオン化エネル
ギーに感応し、ラジカル重合性を示す不飽和二重結合を
有すアクリル酸、メタクリル酸、あるいはそれらのエス
テル化合物のようなアクリル系二重結合、ジアリルフタ
レートのようなアリル系二重結合、マレイン酸、マレイ
ン酸誘導体等の不飽和二重結合等の放射線照射による架
橋あるいは重合乾燥する基を分子中に含有または導入し
たモノマー、オリゴマーおよびポリマー等を挙げること
ができる。
Examples of the radiation-curable compound used include acrylic acid having an unsaturated double bond that is sensitive to ionization energy and exhibits radical polymerizability, methacrylic acid, or an acrylic double bond such as an ester compound thereof, or a diallyl phthalate compound. Examples include monomers, oligomers and polymers having or introduced in the molecule a group that is crosslinked by irradiation with radiation such as allyl double bond, unsaturated double bond such as maleic acid or maleic acid derivative, or polymerized and dried. it can.

放射線硬化型モノマーとしては、分子量2000未満の化
合物が、オリゴマーとしては分子量2000〜10000のもの
が用いられる。
A compound having a molecular weight of less than 2000 is used as the radiation-curable monomer, and a compound having a molecular weight of 2000 to 10,000 is used as the oligomer.

これらはスチレン、エチルアクリレート、エチレング
リコールジアクリレート、エチレングリコールジメタク
リレート、ジエチレングリコールジアクリレート、ジエ
チレングリコールメタクリレート、1,6-ヘキサングリコ
ールジアクリレート、1,6-ヘキサングリコールジメタク
リレート等も挙げられるが、特に好ましいものとして
は、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(メタク
リレート)、ペンタエリスリトールアクリレート(メタ
クリレート)、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト(メタクリレート)、トリメチロールプロパンジアク
リレート(メタクリレート)、多官能オリゴエステルア
クリレート(アロニックスM−7100、M−5400、M−55
00、M−5700、M−6250、M−6500、M−8030、M−80
60、M−8100等、東亜合成)、ウレタンエラストマー
(ニッポラン4040)のアクリル変性体、あるいはこれら
のものにCOOH等の官能基が導入されたもの、フェノール
エチレンオキシド付加物のアクリレート(メタクリレー
ト)、下記一般式で示されるペンタエリスリトール縮合
環にアクリル基(メタクリル基)またはε−カプロラク
トン−アクリル基のついた化合物、 1)(CH2=CHCOOCH23−CCH2OH (特殊アクリレートA) 2)(CH2=CHCOOCH23−CCH2OH3 (特殊アクリレートB) 3)〔CH2=CHCO(OC3H6n−OCH23−CCH2CH3 (特殊アクリレートC) 式中、m=1、a=2、b=4の化合物(以下、特殊
ペンタエリスリトール縮合物Aという)、 m=1、a=3、b=3の化合物(以下、特殊ペンタエ
リスリトール縮合物Bという)、 m=1、a=6、b=0の化合物(以下、特殊ペンタエ
リスリトール縮合物Cという)、 m=2、a=6、b=0の化合物(以下、特殊ペンタエ
リスリトール縮合物Dという)、 および下記式一般式で示される特殊アクリレート類等が
挙げられる。
These include styrene, ethyl acrylate, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol diacrylate, diethylene glycol methacrylate, 1,6-hexane glycol diacrylate, 1,6-hexane glycol dimethacrylate, etc., but especially preferred As, pentaerythritol tetraacrylate (methacrylate), pentaerythritol acrylate (methacrylate), trimethylolpropane triacrylate (methacrylate), trimethylolpropane diacrylate (methacrylate), polyfunctional oligoester acrylate (Aronix M-7100, M-5400 , M-55
00, M-5700, M-6250, M-6500, M-8030, M-80
60, M-8100, etc., Toa Gosei), acrylic modified urethane elastomer (Nipporan 4040), or those into which a functional group such as COOH has been introduced, acrylate (methacrylate) of phenol ethylene oxide adduct, the following general A compound having an acrylic group (methacrylic group) or ε-caprolactone-acrylic group on the pentaerythritol condensed ring represented by the formula, 1) (CH 2 = CHCOOCH 2 ) 3 -CCH 2 OH ( special acrylate A) 2) (CH 2 = CHCOOCH 2) 3 -CCH 2 OH 3 ( special acrylate B) 3) [CH 2 = CHCO (OC 3 H 6 ) n- OCH 2 ] 3- CCH 2 CH 3 (Special acrylate C) In the formula, a compound of m = 1, a = 2, b = 4 (hereinafter referred to as a special pentaerythritol condensate A), a compound of m = 1, a = 3, b = 3 (hereinafter referred to as a special pentaerythritol condensate B) , M = 1, a = 6, b = 0 compound (hereinafter referred to as special pentaerythritol condensate C), m = 2, a = 6, b = 0 compound (hereinafter referred to as special pentaerythritol condensate D) , And special acrylates represented by the following general formula.

8)CH2=CHCOO−(CH2CH2O)4−COCH=CH2 (特殊アクリレートH) 12)AM−Nn−M−A A:アクリル酸、M:2価アルコール N:2塩基酸 (特殊アクリレートL) また、放射線硬化型オリゴマーとしては、下記一般式
で示される多官能オリゴエステルアクリレートやウレタ
ンエラストマーのアクリル変性体、あるいはこれらのも
のにCOOH等の官能基が導入されたもの等が挙げられる。
8) CH 2 = CHCOO- (CH 2 CH 2 O) 4 -COCH = CH 2 ( special acrylate H) 12) AM-N n -M- A A: acrylate, M: 2 dihydric alcohol N: 2 dibasic acid (special acrylate L) As the radiation-curable oligomer, a polyfunctional oligoester acrylate represented by the following general formula And acrylic modified products of urethane elastomers, and those obtained by introducing a functional group such as COOH into these.

また、熱可塑性樹脂を放射線感応変性することによっ
て得られる放射線硬化型化合物を用いてもよい。
Further, a radiation-curable compound obtained by subjecting a thermoplastic resin to radiation-sensitive modification may be used.

このような放射線硬化性樹脂の具体例としては、ラジ
カル重合性を有する不飽和二重結合を示すアクリル酸、
メタクリル酸、あるいはそれらのエステル化合物のよう
なアクリル系二重結合、ジアリルフタレートのようなア
リル系二重結合、マレイン酸、マレイン酸誘導体等の不
飽和結合等の、放射線照射による架橋あるいは重合する
基を熱可塑性樹脂の分子中に含有、または導入した樹脂
である。
As a specific example of such a radiation curable resin, acrylic acid showing an unsaturated double bond having radical polymerizability,
Groups that crosslink or polymerize upon irradiation, such as acrylic double bonds such as methacrylic acid or their ester compounds, allyl double bonds such as diallyl phthalate, and unsaturated bonds such as maleic acid and maleic acid derivatives. Is contained or introduced in the molecule of the thermoplastic resin.

放射線硬化性樹脂に変性できる熱可塑性樹脂の例とし
ては、塩化ビニル系共重合体、飽和ポリエスルテル樹
脂、ポリビニルアルコール系樹脂、エポキシ系樹脂、フ
ェノキシ系樹脂、繊維素誘導体等を挙げることができ
る。
Examples of thermoplastic resins that can be modified into radiation-curable resins include vinyl chloride copolymers, saturated polyester resins, polyvinyl alcohol resins, epoxy resins, phenoxy resins, fibrin derivatives and the like.

その他、放射線感応変性に用いることのできる樹脂と
しては、多官能ポリエステル樹脂、ポリエーテルエステ
ル樹脂、ポリビニルピロリドン樹脂および誘導体(PVP
オレフィン共重合体)、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹
脂、フェノール樹脂、スピロアセタール樹脂、水酸基を
含有するアクリルエステルおよびメタクリルエステルを
重合成分として少くとも一種含むアクリル系樹脂等も有
効である。
Other resins that can be used for radiation-sensitive modification include polyfunctional polyester resins, polyetherester resins, polyvinylpyrrolidone resins and derivatives (PVP
Olefin copolymers), polyamide resins, polyimide resins, phenol resins, spiro acetal resins, acrylic resins containing at least one hydroxyl group-containing acrylic ester and methacrylic ester as a polymerization component are also effective.

このような放射線硬化型化合物の有機保護コート層5
の膜厚は0.1〜30μm、より好ましくは1〜10μmであ
る。
Organic protective coat layer 5 of such a radiation-curable compound
Has a thickness of 0.1 to 30 μm, more preferably 1 to 10 μm.

この膜厚が0.1μm未満になると、一様な膜を形成で
きず、湿度が高い雰囲気中での防湿効果が十分でなく、
磁性薄膜層4の耐久性が向上しない。また、30μmをこ
えると、樹脂膜の硬化の際に伴う収縮により記録媒体の
反りや保護膜中のクラックが生じ、実用に耐えない。
If this film thickness is less than 0.1 μm, a uniform film cannot be formed, and the moisture-proof effect in an atmosphere with high humidity is insufficient,
The durability of the magnetic thin film layer 4 is not improved. If it exceeds 30 μm, warpage of the recording medium or cracks in the protective film may occur due to shrinkage during curing of the resin film, which is not practical.

このような塗膜は、通常、スピンコート、グラビア塗
布、スプレーコート、ディッピング等、種々の公知の方
法を組み合わせて設層すればよい。この時の塗膜の設層
条件は、塗膜組成の混合物の粘度、目的とする塗膜厚さ
等を考慮して適宜決定すればよい。
Such a coating film may be usually formed by combining various known methods such as spin coating, gravure coating, spray coating, and dipping. The layer forming conditions of the coating film at this time may be appropriately determined in consideration of the viscosity of the mixture of the coating film composition, the target coating film thickness, and the like.

このような塗膜を硬化させて保護層とするには、電子
線、紫外線等の放射線を塗膜に照射すればよい。
In order to cure such a coating film to form a protective layer, the coating film may be irradiated with a radiation such as an electron beam or an ultraviolet ray.

電子線を用いる場合、放射線特性としては、加速電圧
100〜750KV、好ましくは150〜300KVの放射線加速器を用
い、吸収線量を0.5〜20メガラッドになるように照射す
るのが好都合である。
When using an electron beam, the radiation characteristics are acceleration voltage
It is expedient to use a radiation accelerator of 100 to 750 KV, preferably 150 to 300 KV, and to irradiate it with an absorbed dose of 0.5 to 20 megarads.

一方、紫外線を用いる場合には、前述したような放射
線硬化型化合物の中には、通常、光重合増感剤が加えら
れる。
On the other hand, when ultraviolet rays are used, a photopolymerization sensitizer is usually added to the above-mentioned radiation-curable compounds.

この光重合増感剤としては、従来公知のものでよく、
例えばベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエ
ーテル、α−メチルベンゾイン、α−クロルデオキシベ
ンゾイン等のベンゾイン系、ベンゾフェノン、アセトフ
ェノン、ビスジアルキルアミノベンゾフェノン等のケト
ン類、アントラキノン、フェナントラキノン等のキノン
類、ベンジルジスルフィド、テトラメチルチウラムモノ
スルフィド等のスルフィド類等を挙げることができる。
光重合増感剤は樹脂固形分に対し、0.1〜10重量%の範
囲が望ましい。
The photopolymerization sensitizer may be a conventionally known one,
For example, benzoin based compounds such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, α-methylbenzoin, α-chlordeoxybenzoin, ketones such as benzophenone, acetophenone and bisdialkylaminobenzophenone, quinones such as anthraquinone and phenanthraquinone, and benzyl disulfide And sulfides such as tetramethylthiuram monosulfide.
The photopolymerization sensitizer is preferably in the range of 0.1 to 10% by weight based on the resin solid content.

そして、このような光重合増感剤と放射線硬化型化合
物を含有する塗膜を紫外線によって硬化させるには、公
知の種々の方法に従えばよい。
Then, in order to cure the coating film containing such a photopolymerization sensitizer and the radiation-curable compound by ultraviolet rays, various known methods may be used.

たとえば、キセノン放電管、水素放電管などの紫外線
電球等を用いればよい。
For example, a UV bulb such as a xenon discharge tube or a hydrogen discharge tube may be used.

このような有機保護コート層5の上には、通常接着剤
層6を介して保護板7が設けられる。
A protective plate 7 is usually provided on the organic protective coat layer 5 with an adhesive layer 6 interposed therebetween.

すなわち、前記の基板2の裏面(磁性薄膜層4を設け
ていない側の面)側からのみ記録・再生を行う、いわゆ
る片面記録の場合には、この保護板7を用いる。
That is, the protective plate 7 is used in the case of so-called single-sided recording in which recording / reproduction is performed only from the back surface (surface on the side where the magnetic thin film layer 4 is not provided) of the substrate 2.

このような保護板7の樹脂材質は特別に透明性等を要
求されることはなく、種々の樹脂、例えば、ポリエチレ
ン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリプロピレン、
ポリビニルアルコール、メタクリル樹脂、ポリアミド、
ポリ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリアセター
ル、ふっ素樹脂等の各種熱可塑性樹脂、 フェノール樹脂、ユリア樹脂、不飽和ポリエステル樹
脂、ポリウレタン、アルキド樹脂、メラミン樹脂、エポ
キシ樹脂、ケイ素樹脂等の各種熱可塑性樹脂等が使用可
能である。
The resin material of the protective plate 7 is not particularly required to have transparency, and various resins such as polyethylene, polyvinyl chloride, polystyrene, polypropylene,
Polyvinyl alcohol, methacrylic resin, polyamide,
Various types of thermoplastic resin such as polyvinylidene chloride, polycarbonate, polyacetal, fluororesin, phenol resin, urea resin, unsaturated polyester resin, polyurethane, alkyd resin, melamine resin, epoxy resin, silicon resin, etc. are used. It is possible.

なお、ガラス、セラミック等の各種無機材質を保護板
7として用いてもよい。
Note that various inorganic materials such as glass and ceramic may be used as the protective plate 7.

このものの形状、寸法等は上記の基板2のそれとほぼ
同様とされる。
The shape, dimensions, etc. of this product are substantially the same as those of the substrate 2 described above.

このような保護板7は、前述したように接着剤層6を
介して接着される。接着剤層は、通常、ホットメルト樹
脂等の接着剤であって、この膜厚は1〜100μm程度と
される。
Such a protective plate 7 is bonded via the adhesive layer 6 as described above. The adhesive layer is usually an adhesive such as a hot melt resin and has a film thickness of about 1 to 100 μm.

他方、上記の保護板7を用いる代りに、上記の磁性薄
膜層4、保護層31、基板裏面層保護層35、有機保護コー
ト層5等を有する基板をさらに1セット用いて、両磁性
薄膜層を内側にして対向させて、接着剤層6を用いて貼
り合せて、両基板の裏面側から書き込みを行う、いわゆ
る両面記録タイプとしてもよい。さらに、これらの基板
2や保護板7の裏面(磁性薄膜層4を設けていない側の
面)には各種保護膜としてのコーティングを行うことが
好ましい。
On the other hand, instead of using the protective plate 7, one set of substrates having the magnetic thin film layer 4, the protective layer 31, the substrate back surface protective layer 35, the organic protective coat layer 5 and the like is further used to set both magnetic thin film layers. It may be a so-called double-sided recording type in which they are opposed to each other with the inner side facing each other and they are bonded together by using the adhesive layer 6, and writing is performed from the back surface side of both substrates. Further, it is preferable that the back surface of the substrate 2 or the protective plate 7 (the surface on the side where the magnetic thin film layer 4 is not provided) is coated with various protective films.

コーティングの材質としては、前述した有機保護コー
ト層5の材質と同様なものとしてもよい。
The material of the coating may be the same as the material of the organic protective coating layer 5 described above.

V 発明の効果 本発明の光記録媒体は、記録感度およびC/N比等の記
録、再生特性がきわめて良好である、そして、耐久性、
耐食性もきわめて良好である。
V. Effect of the Invention The optical recording medium of the present invention has extremely good recording and reproducing characteristics such as recording sensitivity and C / N ratio, and durability,
Corrosion resistance is also very good.

VI 発明の具体的実施例 以下、本発明の実施例を挙げ、本発明をさらに詳細に
説明する。
VI Specific Examples of the Invention Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples of the present invention.

[実施例1] 直径13cm、厚さ1.2mmのビスフェノールA系の光ディ
スクグレードポリカーボネート樹脂の基板2上に、下記
表1に示される種々の組成のガラス質の保護層31を設層
した。なお、設層に際しては、所定のガラスと、イット
リウムおよびランタノイド元素のうちの1種以上とをタ
ーゲットとして用い酸素を含む雰囲気下で反応性の多元
スパッタリングを行った。
Example 1 On a substrate 2 of bisphenol A-based optical disc grade polycarbonate resin having a diameter of 13 cm and a thickness of 1.2 mm, a glassy protective layer 31 having various compositions shown in Table 1 below was provided. In addition, at the time of layer formation, reactive multi-source sputtering was performed in an atmosphere containing oxygen using a predetermined glass and one or more of yttrium and lanthanoid elements as targets.

表1中のwt%は保護層中の金属元素をオージェ分光分
析にて分析し、各元素を化学量論組成酸化物に換算し
て、その含有量を求めた。各元素の化学量論組成酸化物
換算の含有量は、イットリウムおよびランタノイド元素
(R)以外の化学量論組成酸化物中に占めるwt%として
表1に示されている。
The wt% in Table 1 was obtained by analyzing the metal element in the protective layer by Auger spectroscopy and converting each element into a stoichiometric composition oxide to determine its content. The stoichiometric composition oxide content of each element is shown in Table 1 as wt% in the stoichiometric composition oxide other than yttrium and the lanthanoid element (R).

また、表中MはSi、アルカリ土類金属元素M2、Al、B
を加えたものの総計を表わし、表1には、膜中における
Mに対するイットリウムおよびランタノイド元素の1種
以上(R)のat%を併記する。なお、膜厚は各サンプル
につき全て800Åとした。
In the table, M is Si, alkaline earth metal elements M 2 , Al, B
In Table 1, at% of one or more yttrium and lanthanoid elements (R) with respect to M in the film is also shown. The film thickness was 800 Å for each sample.

このような保護層の上に25at%Tb,63at%Fe,7at%Co,
5at%Ti合金薄膜を、スパッタリングによって厚さ800Å
に設層し、磁性薄膜層4とした。
25at% Tb, 63at% Fe, 7at% Co,
800 Å thickness of 5at% Ti alloy thin film by sputtering
To form a magnetic thin film layer 4.

なお、ターゲットは、FeターゲットにTb、Co、Tiチッ
プをのせたものを用いた。
The target used was an Fe target on which Tb, Co, and Ti chips were placed.

この磁性薄膜層4上に、さらに、表1に示されるNo.8
における保護層31の組成の基板裏面側保護層35を800Å
に設層した。
On top of this magnetic thin film layer 4, No. 8 shown in Table 1 is further added.
Of the composition of the protective layer 31 in the substrate back side protective layer 35 to 800 Å
Was set up.

この基板裏面側保護層35の上に、下記の放射線硬化型
化合物を含む塗布組成物を有機保護コート層5として、
スピンコートにより設層した。
A coating composition containing the following radiation-curable compound was used as the organic protective coating layer 5 on the back surface protective layer 35 of the substrate,
It was formed by spin coating.

(塗布組成物) 多官能オリゴエステルアクリレート 100重量部 光増感剤 5重量部 このような塗布組成物を設層後、紫外線を15sec照射
し架橋硬化させ、硬化膜とした。
(Coating composition) Polyfunctional oligoester acrylate 100 parts by weight Photosensitizer 5 parts by weight After applying such a coating composition, it was irradiated with ultraviolet rays for 15 seconds to be crosslinked and cured to obtain a cured film.

このようにして、下記表1に示されるような種々のサ
ンプルを作製した。
In this way, various samples as shown in Table 1 below were prepared.

これについて下記の特性を測定した。 The following characteristics were measured for this.

(1)耐久性 ヒートサイクルテスト…IEC−2−38 (−10℃〜60
℃、90%RH) 上記加速試験にてバーストエラーが2倍となる時間を測
定した。この条件の場合主に膜のハクリ、クラック等が
バーストエラーの増加に寄与していた。
(1) Durability Heat cycle test ... IEC-2-38 (-10 ℃ -60
C, 90% RH) The time during which the burst error doubled in the above acceleration test was measured. Under this condition, mainly the peeling and cracking of the film contributed to the increase of the burst error.

(2)耐食性 高温高湿(80℃、80%RH)保存テスト 上記加速試験にてバーストエラーが2倍となる時間を
測定した。この条件の場合主に孔食(ピンホール)の発
生がバーストエラーの増加に寄与していた。
(2) Corrosion resistance High-temperature, high-humidity (80 ° C., 80% RH) storage test The time during which the burst error doubled in the accelerated test was measured. Under these conditions, the occurrence of pitting (pinhole) mainly contributed to the increase in burst error.

(3)C/N比 下記の条件にてC/N比を測定した。(3) C / N ratio The C / N ratio was measured under the following conditions.

線速 4m/Sec 搬送周波数 1.0MHz 分解能 30KHz ビデオバンド巾 100Hz 記録パワー(830nm) 3〜6mW 再生パワー(830nm) 1mw 結果を表1、2に示す。Linear velocity 4m / Sec Carrier frequency 1.0MHz Resolution 30KHz Video bandwidth 100Hz Recording power (830nm) 3-6mW Reproducing power (830nm) 1mw The results are shown in Tables 1 and 2.

なお、このような効果は、Sr,MgあるいはLa,Ce,Pr,Nd
でも同等に実現した。また、相転移型のTe−Ge、TeOx
Te−Se等の記録層でも同様に実現した。
It should be noted that such effects are caused by Sr, Mg or La, Ce, Pr, Nd.
But realized equally. In addition, phase transition type Te-Ge, TeO x ,
The same was realized with a recording layer such as Te-Se.

以上の結果より本発明の効果は明らかである。 From the above results, the effect of the present invention is clear.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、本発明の1例を示す光磁気記録媒体の断面図
である。 符号の説明 1……光磁気記録媒体、2……基板、31……保護層、35
……基板裏面側保護層、4……磁性薄膜層、5……有機
保護コート層、6……接着剤層、7……保護板
FIG. 1 is a sectional view of a magneto-optical recording medium showing an example of the present invention. Explanation of symbols 1 ... Magneto-optical recording medium, 2 ... Substrate, 31 ... Protective layer, 35
...... Protective layer on back side of substrate, 4 ... Magnetic thin film layer, 5 ... Organic protective coat layer, 6 ... Adhesive layer, 7 ... Protection plate

フロントページの続き (72)発明者 高山 勝 東京都中央区日本橋1丁目13番1号 テ ィーディーケイ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−317941(JP,A) 特開 昭63−317942(JP,A) 特開 昭58−100250(JP,A) 特開 昭56−130394(JP,A)Front page continuation (72) Inventor Masaru Takayama 1-13-1, Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo TDK Corporation (56) Reference JP-A-63-317941 (JP, A) JP-A-63-317942 ( JP, A) JP 58-100250 (JP, A) JP 56-130394 (JP, A)

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】基板上に記録層を有し、基板と記録層との
間および/または記録層の上に保護層を有する光記録媒
体において、 前記保護層がケイ素と、アルミニウムと、ホウ素と、ア
ルカリ土類金属元素の1種以上と、酸素と、イットリウ
ムならびにランタン、セリウム、プラセオジム、ネオジ
ム、サマリウムおよびユーロピウムから選ばれたランタ
ノイド元素の1種以上とを含有し、 前記保護層中のイットリウムおよびランタノイド元素の
1種以上の含有量がケイ素と、アルミニウムと、ホウ素
と、アルカリ土類金属元素の1種以上との総計に対し3
〜126at%含有され、 前記保護層中のケイ素、アルミニウム、ホウ素およびア
ルカリ土類金属元素の1種以上をそれぞれの元素の酸化
物の化学量論組成に換算したとき、これらの酸化物中の
酸化ケイ素の含有量が30〜70wt%であり、 前記保護層中のケイ素、アルミニウム、ホウ素およびア
ルカリ土類金属元素の1種以上を、それぞれの元素の酸
化物の化学量論組成に換算したとき、これらの酸化物中
のアルカリ土類金属元素の1種以上の酸化物の含有量が
10〜50wt%であることを特徴とする光記録媒体。
1. An optical recording medium having a recording layer on a substrate and a protective layer between the substrate and the recording layer and / or on the recording layer, wherein the protective layer is silicon, aluminum and boron. Containing at least one alkaline earth metal element and oxygen and at least one lanthanoid element selected from yttrium and lanthanum, cerium, praseodymium, neodymium, samarium and europium, and yttrium and The content of one or more lanthanoid elements is 3 with respect to the total of silicon, aluminum, boron, and one or more alkaline earth metal elements.
Content of ˜126 at%, and when one or more of silicon, aluminum, boron and alkaline earth metal elements in the protective layer are converted into stoichiometric composition of oxide of each element, oxidation in these oxides When the content of silicon is 30 to 70 wt%, and when one or more of silicon, aluminum, boron and alkaline earth metal elements in the protective layer are converted into the stoichiometric composition of the oxide of each element, The content of one or more oxides of alkaline earth metal elements in these oxides is
An optical recording medium characterized by being 10 to 50 wt%.
【請求項2】基板と記録層との間に保護層を有し、この
保護層がケイ素と、アルカリ土類金属元素の1種以上
と、アルミニウムと、ホウ素と、酸素と、イットリウム
およびランタノイド元素の1種以上とを含有する特許請
求の範囲第1項に記載の光記録媒体。
2. A protective layer is provided between the substrate and the recording layer, and the protective layer comprises silicon, at least one of alkaline earth metal elements, aluminum, boron, oxygen, yttrium and lanthanoid elements. The optical recording medium according to claim 1, containing one or more of
【請求項3】基板と記録層との間および記録層の上に保
護層を有し、少なくとも基板と記録層との間の保護層が
ケイ素と、アルカリ土類金属元素の1種以上と、アルミ
ニウムと、ホウ素と、酸素と、イットリウムおよびラン
タノイド元素の1種以上とを含有する特許請求の範囲第
1項または第2項に記載の光記録媒体。
3. A protective layer is provided between the substrate and the recording layer and on the recording layer, and the protective layer at least between the substrate and the recording layer is silicon and at least one kind of alkaline earth metal element. The optical recording medium according to claim 1, which contains aluminum, boron, oxygen, and one or more of yttrium and lanthanoid elements.
【請求項4】前記保護層の厚さが300〜3000Åである特
許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれかに記載の光
記録媒体。
4. The optical recording medium according to any one of claims 1 to 3, wherein the protective layer has a thickness of 300 to 3000Å.
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