JP2515805B2 - Ｉｃ電気特性試験治具 - Google Patents
Ｉｃ電気特性試験治具Info
- Publication number
- JP2515805B2 JP2515805B2 JP62144639A JP14463987A JP2515805B2 JP 2515805 B2 JP2515805 B2 JP 2515805B2 JP 62144639 A JP62144639 A JP 62144639A JP 14463987 A JP14463987 A JP 14463987A JP 2515805 B2 JP2515805 B2 JP 2515805B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test jig
- management number
- handling device
- characteristic test
- electrical characteristics
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はIC電気特性試験治具に関し、特に治具管理の
為の電気的読取可能な管理番号をもつIC電気特性試験治
具に関する。
為の電気的読取可能な管理番号をもつIC電気特性試験治
具に関する。
IC電気特性試験治具は消耗品であり、消耗が進んでく
ると電気特性試験に悪影響を与え、量産ラインにおいて
歩留低価を発生させる。これを防止する為にIC電気特性
試験治具管理が必要となる。
ると電気特性試験に悪影響を与え、量産ラインにおいて
歩留低価を発生させる。これを防止する為にIC電気特性
試験治具管理が必要となる。
従来、IC電気特性試験治具管理の１つにIC測定回数で
行なう方法があり、ICハンドリング装置でIC測定回数を
収集できる機能をもち、IC測定回数のデータ収集を行な
うことができる。
行なう方法があり、ICハンドリング装置でIC測定回数を
収集できる機能をもち、IC測定回数のデータ収集を行な
うことができる。
上述した従来のICハンドリング装置のIC測定回数デー
タ収集では、この収集されたデーターがどのIC電気特性
試験治具に対応するのか判らないという欠点がある。
タ収集では、この収集されたデーターがどのIC電気特性
試験治具に対応するのか判らないという欠点がある。
本発明のIC電気特性試験治具は、ICハンドリング装置
の管理番号読取部に接続して電気的に読取可能な管理番
号設定手段を有している。
の管理番号読取部に接続して電気的に読取可能な管理番
号設定手段を有している。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明の第１の実施
例の断面図，斜視図、使用状況を示す断面図、第２図
（ａ）及び（ｂ）は本発明の第２の実施例の斜視図及び
使用状況を示す断面図である。
例の断面図，斜視図、使用状況を示す断面図、第２図
（ａ）及び（ｂ）は本発明の第２の実施例の斜視図及び
使用状況を示す断面図である。
第１の実施例はプローブカード１、管理番号設定スイ
ッチ２及びターミナルピン３を有してなる。
ッチ２及びターミナルピン３を有してなる。
第１の実施例は、半導体ウェハーの電気特性試験治具
であるプローブカード１に管理番号設定スイッチ２を設
置したものである。この管理番号設定スイッチ２は、第
１図（ｂ）に示すように、プローブカード１の周辺に設
けてあるターミナルピン３に接続されていて、使用時に
は第１図（ｃ）に示す半導体ウェハーハンドリング装置
９に設置され、ターミナルピン３を通して管理番号読取
部４へ接続されている。この管理番号読取部４にて管理
番号設定スイッチ２に設定された管理番号が読み取られ
る。
であるプローブカード１に管理番号設定スイッチ２を設
置したものである。この管理番号設定スイッチ２は、第
１図（ｂ）に示すように、プローブカード１の周辺に設
けてあるターミナルピン３に接続されていて、使用時に
は第１図（ｃ）に示す半導体ウェハーハンドリング装置
９に設置され、ターミナルピン３を通して管理番号読取
部４へ接続されている。この管理番号読取部４にて管理
番号設定スイッチ２に設定された管理番号が読み取られ
る。
第２の実施例は接触子５及びバーコード管理番号６を
有してなる。この第２の実施例は、第２図（ａ）に示す
ように、ICの電気特性試験治具の接触子５にバーコード
管理番号６を設置したものである。使用時には第２図
（ｂ）に示すICハンドリング装置10に接触子５が設置さ
れる。このとき、バーコード検出部７によって接触子５
に設置されたバーコード番号６を検出し、管理番号読取
部８により管理番号が読み取られる。
有してなる。この第２の実施例は、第２図（ａ）に示す
ように、ICの電気特性試験治具の接触子５にバーコード
管理番号６を設置したものである。使用時には第２図
（ｂ）に示すICハンドリング装置10に接触子５が設置さ
れる。このとき、バーコード検出部７によって接触子５
に設置されたバーコード番号６を検出し、管理番号読取
部８により管理番号が読み取られる。
以上のような第１及び第２の実施例によれば、半導体
ウェハーハンドリング装置９及びICハンドリング装置10
が自動的に治具の管理番号を電気的に読み取り、この管
理番号と収集されるIC測定回数データとの対応をとるこ
とができる。
ウェハーハンドリング装置９及びICハンドリング装置10
が自動的に治具の管理番号を電気的に読み取り、この管
理番号と収集されるIC測定回数データとの対応をとるこ
とができる。
以上説明したように本発明は、IC電気特性試験治具に
電気的読取可能な管理番号を設置することにより、ICハ
ンドリング装置がこの管理番号を電気的に読み取ってIC
測定回数データーとの対応をとることができ、また従来
のようにICハンドリング装置で収集されたIC測定回数を
作業的に使用したIC電気特性試験毎に収集して管理番号
との対応をとり、さらにIC電気試験治具毎に集計を行な
っていた多くの工数が低減されるという効果がある。
電気的読取可能な管理番号を設置することにより、ICハ
ンドリング装置がこの管理番号を電気的に読み取ってIC
測定回数データーとの対応をとることができ、また従来
のようにICハンドリング装置で収集されたIC測定回数を
作業的に使用したIC電気特性試験毎に収集して管理番号
との対応をとり、さらにIC電気試験治具毎に集計を行な
っていた多くの工数が低減されるという効果がある。
第１図（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明の第１の実施例
の断面図，斜視図、使用状況を示す断面図、第２図
（ａ）及び（ｂ）は本発明の第２の実施例の斜視図及び
使用状況を示す断面図である。 １……プローブカード、２……管理番号設定スイッチ、
３……ターミナルピン、４……管理番号読取部、５……
接触子、６……バーコード管理番号、７……バーコード
検出部、８……管理番号読取部、９……半導体ウェハー
ハンドリング装置、10……ICハンドリング装置。
の断面図，斜視図、使用状況を示す断面図、第２図
（ａ）及び（ｂ）は本発明の第２の実施例の斜視図及び
使用状況を示す断面図である。 １……プローブカード、２……管理番号設定スイッチ、
３……ターミナルピン、４……管理番号読取部、５……
接触子、６……バーコード管理番号、７……バーコード
検出部、８……管理番号読取部、９……半導体ウェハー
ハンドリング装置、10……ICハンドリング装置。
Claims (1)
- 【請求項１】ICハンドリング装置の管理番号読取部に接
続して電気的に読取可能な管理番号設定手段を有するこ
とを特徴とするIC電気特性試験治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62144639A JP2515805B2 (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | Ｉｃ電気特性試験治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62144639A JP2515805B2 (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | Ｉｃ電気特性試験治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63307754A JPS63307754A (ja) | 1988-12-15 |
| JP2515805B2 true JP2515805B2 (ja) | 1996-07-10 |
Family
ID=15366737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62144639A Expired - Fee Related JP2515805B2 (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | Ｉｃ電気特性試験治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2515805B2 (ja) |
-
1987
- 1987-06-09 JP JP62144639A patent/JP2515805B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63307754A (ja) | 1988-12-15 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |