JP2512629Y2 - Vacuum suction device - Google Patents

Vacuum suction device

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JP2512629Y2
JP2512629Y2 JP9566390U JP9566390U JP2512629Y2 JP 2512629 Y2 JP2512629 Y2 JP 2512629Y2 JP 9566390 U JP9566390 U JP 9566390U JP 9566390 U JP9566390 U JP 9566390U JP 2512629 Y2 JP2512629 Y2 JP 2512629Y2
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suction
vacuum suction
pads
vacuum
suction device
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茂和 永井
修三 桜井
勅 川本
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エスエムシー株式会社
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Description

【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本考案は、ワークを吸着し、任意の位置に搬送するた
めの吸着用パッドを複数個用いて、これらを真空吸引源
に接続するための装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial field of application] The present invention uses a plurality of suction pads for sucking a work and transporting it to an arbitrary position, and connecting these to a vacuum suction source. Regarding the device.

[従来の技術] 従来から、例えば、薄板状のワークを搬送するために
真空吸引源に連結された吸着用パッドが用いられてい
る。この種の吸着用パッドは、通常、根本部とこれに一
体的に連設されたスカート部とを備え、コネクタを介し
てロボットのアームに装着され、ワークの搬送等に使用
される。その際、吸着用パッドの根本部に真空吸引源か
らのチューブを接続し吸引することにより、スカート部
の減圧作用下でワークがパッドに吸着され搬送される。
[Prior Art] Conventionally, for example, a suction pad connected to a vacuum suction source is used to convey a thin plate-shaped work. This kind of suction pad usually has a root portion and a skirt portion integrally provided therewith, is mounted on a robot arm via a connector, and is used for transporting a work or the like. At that time, by connecting a tube from a vacuum suction source to the root of the suction pad and sucking the work, the work is sucked and conveyed by the pad under the depressurizing action of the skirt.

ところで、ワークの形状が帯状の長いもの、例えば、
物差しのような形状のものを搬送等する場合には、従来
の円形断面のスカート部を有する吸着用パッドを用いる
と、ワークの幅が狭小なため、スカート部における吸着
面の大きさが制限され、スカート部のワークに対する吸
着面積は小さくなり、吸引力も低下する。また、ワーク
を吸着する際、ワークの重心と前記円形断面の中心点に
ずれが生ずると、搬送時にワークのバランスが悪くな
り、ワークの離脱時に正確な位置決めが困難となる。
By the way, if the shape of the work is a long strip, for example,
When conveying objects with a shape like a ruler, if a conventional suction pad with a skirt with a circular cross section is used, the size of the suction surface at the skirt is limited because the width of the work is narrow. , The adsorption area of the skirt portion to the work becomes small, and the suction force also decreases. Further, when the work is attracted, if the center of gravity of the work and the center point of the circular cross section deviate from each other, the balance of the work is deteriorated at the time of conveyance, and accurate positioning becomes difficult when the work is detached.

このような点から、従来において帯状の長い形状のワ
ークを搬送等する場合、帯状のワークの幅より小さい径
を有するスカート部を備えた吸着用パッドを複数個直列
に連接することにより帯状のワークを搬送等していた。
この場合、真空吸引源に接続されるチューブは、複数個
の吸着用パッドの各々からその個数に対応する本数分真
空吸引源に接続されていた。
From this point of view, when conveying a long strip-shaped work in the related art, a plurality of suction pads having a skirt portion having a diameter smaller than the width of the strip-shaped work are connected in series to form a strip-shaped work. Were being transported.
In this case, the tubes connected to the vacuum suction source were connected to the vacuum suction sources by the number corresponding to the number from each of the plurality of suction pads.

[考案が解決しようとする課題] しかしながら、上記の従来の技術では、真空吸引源に
接続されるチューブの配管に多くのスペースを必要と
し、配管が複雑になるため、配管部が破損したり外れた
りする等の不都合がある。また、真空吸引源の設置場所
との関係でチューブの配管スペースが制限されている場
合には、配管が困難である。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the above-described conventional technique, a large amount of space is required for the piping of the tube connected to the vacuum suction source, and the piping becomes complicated, so that the piping part is damaged or comes off. There are inconveniences such as In addition, when the piping space for the tube is limited in relation to the installation location of the vacuum suction source, piping is difficult.

さらに、複数個の吸着用パッドの各々は、各自別個に
真空吸引源に接続されているため、チューブの長さがそ
れぞれ異なることにより、各吸着用パッドの吸引力も一
定でなく、また、所望の負圧状態に到達するまでの時間
も各吸着用パッド間で一定でないという問題点があっ
た。
Further, since each of the plurality of suction pads is individually connected to the vacuum suction source, the suction force of each suction pad is not constant due to the different tube lengths, and the desired suction force is not obtained. There is a problem that the time required to reach the negative pressure state is not constant among the suction pads.

[課題を解決するための手段] 上記の課題を解決するために、本考案の真空吸引装置
は、真空吸引源に接続される根本部と、前記根本部に一
体的に連設されたスカート部とを備えた、ワークを吸着
するための複数個の吸着用パッドと、前記複数個の吸着
用パッドを共通に前記真空吸引源に接続する1本の吸引
通路を形成する配管部材とを含み、前記吸着用パッドの
各々には吸引力調節手段を設けたことを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] In order to solve the above problems, a vacuum suction device according to the present invention includes a root portion connected to a vacuum suction source, and a skirt portion integrally connected to the root portion. A plurality of suction pads for suctioning a work, and a piping member forming one suction passage that connects the plurality of suction pads to the vacuum suction source in common. A suction force adjusting means is provided on each of the suction pads.

また、本考案は、前記配管部材は、前記吸着用パッド
を直列接続するチューブからなることを特徴とする。
Further, the present invention is characterized in that the piping member is formed of a tube that connects the suction pads in series.

さらに、本考案は、前記配管部材は1本の筒状部材か
らなり、前記筒状部材の外側に位置してその長さ方向に
変位可能な環状の連結部材を介して、前記吸着用パッド
を前記筒状部材の内部通路に連通させたことを特徴とす
る。
Further, according to the present invention, the piping member is composed of a single tubular member, and the suction pad is attached via an annular connecting member located outside the tubular member and displaceable in a longitudinal direction thereof. It is characterized by communicating with the internal passage of the tubular member.

さらにまた、本考案は、前記吸引力調節手段は可変絞
りからなることを特徴とする。
Furthermore, the present invention is characterized in that the suction force adjusting means comprises a variable diaphragm.

[作用] 上記の本考案に係る真空吸引装置では、複数個の吸着
用パッドを共通の1本の吸引通路を設けて真空吸引源に
接続することにより、複数個の吸着用パッドにおけるス
カート部の減圧作用により帯状のワークを吸着し搬送等
することができる。
[Operation] In the above-described vacuum suction device according to the present invention, a plurality of suction pads are connected to the vacuum suction source by providing a common suction passage, and thus the skirt portion of the suction pads is Due to the depressurizing action, a band-shaped work can be adsorbed and conveyed.

また、各吸着用パッドの吸引力調節手段として可変絞
りを用いることにより、各吸着用パッドの空気の吸い込
み流量の均一化を図ることができる。
Further, by using the variable throttle as the suction force adjusting means of each suction pad, it is possible to make the air suction flow rate of each suction pad uniform.

さらに、変位可能な環状の連結部材を用いることによ
り、各吸着用パッド間の距離を自在に変えることで、ワ
ークの長さに対してバランスよく効率的な位置で吸着し
て搬送等することができる。
Further, by using a displaceable annular connecting member, the distance between each suction pad can be freely changed, so that suction and transfer can be performed at a position well balanced and efficient with respect to the length of the work. it can.

[実施例] 本考案に係る真空吸引装置について好適な実施例を挙
げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
[Embodiment] The vacuum suction device according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

第1図は、本考案に係る第1の実施例を示す真空吸引
装置の正面図であり、第2図は、吸着用パッドにアダプ
タを接続した状態を示す斜視図であり、第3図は、第2
図のIII−III線に沿う部分縦断面図である。
FIG. 1 is a front view of a vacuum suction device showing a first embodiment according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a state in which an adapter is connected to a suction pad, and FIG. , Second
FIG. 3 is a partial vertical cross-sectional view taken along the line III-III in the figure.

第1の実施例の真空吸引装置10は、第2図のように、
吸着用パッド12にコネクタ13を接続し、これに吸引力調
節手段である可変絞り14と、左右2個の真空取出口16を
備えたアダプタ18を接続したものを、第1図に示すよう
にチューブ20を介して4個直列に接続して構成する。
The vacuum suction device 10 of the first embodiment, as shown in FIG.
As shown in FIG. 1, a connector 13 is connected to the suction pad 12, to which a variable throttle 14 which is a suction force adjusting means and an adapter 18 having two left and right vacuum outlets 16 are connected. It is configured by connecting four in series through the tube 20.

このように4個直列に接続された吸着用パッド12の一
端側は、チューブ20を用いた吸引通路の終点としてキャ
ップ21を付けて閉塞し、他端側はチューブ20を介して図
示しない真空吸引源に接続される。
As described above, one end side of the suction pads 12 connected in series is closed by attaching a cap 21 as an end point of the suction passage using the tube 20, and the other end side is vacuum-sucked via the tube 20 not shown. Connected to the source.

詳細には、吸着用パッド12は、第2図に示すように、
根本部22およびこれと一体化したスカート部24からな
る。根本部22には第3図に示すように孔26が設けられ、
コネクタ13の突部28と嵌合することにより、回り止めお
よび抜け止めの働きをする。コネクタ13は、通じる貫通
孔30aを有し、その上部にはねじ部29を有し、このねじ
部29を用いて可変絞り14の下部に接続される。さらに、
可変絞り14の上部はアダプタ18に接続される。アダプタ
18はチューブ20を接続するための真空取出口16を左右2
個有し、ワーク11の長さに応じて所定の間隔をおいて直
列に接続される。
In detail, the suction pad 12 is, as shown in FIG.
It comprises a root portion 22 and a skirt portion 24 integrated with the root portion. The root portion 22 is provided with a hole 26 as shown in FIG.
By engaging with the protrusion 28 of the connector 13, it functions as a rotation stopper and a stopper. The connector 13 has a through hole 30a that communicates with it, and has a threaded portion 29 on its upper portion, and is connected to the lower portion of the variable diaphragm 14 using this threaded portion 29. further,
The upper part of the variable diaphragm 14 is connected to the adapter 18. adapter
18 is a vacuum outlet 16 for connecting the tube 20 to the left and right 2
They are individually provided and are connected in series at a predetermined interval according to the length of the work 11.

ここで、可変絞り14について説明する。 Here, the variable diaphragm 14 will be described.

可変絞り14は箱形のケーシングを有し、その内部には
吸引通路に通じる貫通孔30bを備えている。また、貫通
孔30bに対して垂直な方向にねじ部材31が設けられてお
り、そのねじ部材31を回転し移動させることにより吸引
通路に通じる貫通孔30bを開閉することが可能である。
ねじ部材31には、気密性保持のためOリング33が形成さ
れている。
The variable throttle 14 has a box-shaped casing, and has a through hole 30b communicating with the suction passage therein. Further, a screw member 31 is provided in a direction perpendicular to the through hole 30b, and by rotating and moving the screw member 31, the through hole 30b communicating with the suction passage can be opened and closed.
An O-ring 33 is formed on the screw member 31 for maintaining airtightness.

このように可変絞り14を設けて空気の吸引流量を調節
することにより、各吸着用パッド12の吸引力の平均化を
図ることができる。
By thus providing the variable throttle 14 and adjusting the suction flow rate of air, the suction force of each suction pad 12 can be averaged.

第3図は、可変絞り14において貫通孔30bを全開にし
た状態を示し、第4図は全閉にした状態を示す。
FIG. 3 shows a state in which the through hole 30b is fully opened in the variable diaphragm 14, and FIG. 4 shows a state in which the through hole 30b is fully closed.

次に、上記のように構成される真空吸引装置10の動作
を説明する。
Next, the operation of the vacuum suction device 10 configured as above will be described.

チューブ20を介して4個直列に接続された吸着用パッ
ド12の真空取出口16は、真空吸引源に通じる1本の共通
の吸引通路となる。また、各アダプタ18の内部にはスカ
ート部24の内側まで達する貫通孔が設けられ、吸引通路
に通じている。
The four vacuum suction ports 16 of the suction pads 12 connected in series via the tube 20 serve as one common suction passage leading to the vacuum suction source. Further, a through hole reaching the inside of the skirt portion 24 is provided inside each adapter 18, and communicates with the suction passage.

なお、上記コネクタ13、可変絞り14およびアダプタ18
の貫通孔により、チューブ20による吸引通路から吸着用
パッド12のスカート部24に達する貫通孔30を形成してい
る。
In addition, the connector 13, the variable diaphragm 14, and the adapter 18 described above.
The through hole forms a through hole 30 reaching the skirt portion 24 of the suction pad 12 from the suction passage of the tube 20.

従って、各吸着用パッド12は真空吸引源よりチューブ
20を介して共通の吸引通路を通じて吸引されることによ
り、スカート部24の減圧作用下にワーク11を吸着する。
Therefore, each suction pad 12 should be
The work 11 is sucked under the depressurizing action of the skirt portion 24 by being sucked through the common suction passage via the 20.

この場合、原則的には真空吸引源に近い吸着用パッド
程吸引力が強く、末端の吸着用パッド程弱くなるが、漏
れ流量がある場合は吸引力に差ができ、所望の負圧状態
到達時間も異なってくる。そこで、吸着用パッド12に備
えられた可変絞り14をねじにより調節して貫通孔30bを
開閉することにより、各吸着用パッド12の吸引力の均一
化を図ることができる。
In this case, in principle, the suction force closer to the vacuum suction source has a stronger suction force, and the suction pad at the end has a weaker suction force, but if there is a leakage flow rate, there is a difference in suction force and the desired negative pressure state is reached. The time will be different. Therefore, the suction force of each suction pad 12 can be made uniform by adjusting the variable aperture 14 provided in the suction pad 12 with a screw to open and close the through hole 30b.

すなわち、各吸着用パッド12の漏れ流量の相違に合わ
せて、各々の吸着用パッド12に十分な流量を流すように
可変絞り14を調節する。さらに、真空吸引源の吸込流量
が少ない場合には、複数個の吸着用パッド12のうちの1
個が外れてしまい、その後、吸込流量より漏れ流量が多
いため、全部の吸着用パッド12が外れてしまう。この場
合にも、各吸着用パッド12の可変絞り14を調節すること
により漏れ流量を小さくして対処することができる。
That is, the variable throttle 14 is adjusted so that a sufficient flow rate is passed to each suction pad 12 in accordance with the difference in the leak flow rate of each suction pad 12. Further, when the suction flow rate of the vacuum suction source is small, one of the plurality of suction pads 12 is used.
The individual pieces come off, and thereafter, since the leak flow rate is larger than the suction flow rate, all the suction pads 12 come off. Also in this case, the leak flow rate can be reduced by adjusting the variable throttle 14 of each suction pad 12 to cope with the problem.

また、何らかの理由により複数のパッドのうち、ある
吸着用パッド12が吸引不能となった場合には、その吸着
用パッド12への通路を閉じ、他の吸着用パッド12の可変
絞り14を調節することにより、吸引不能の吸着用パッド
12にかかわらず、ワーク11の搬送等を行うことが可能と
なる。
Further, when suction is not possible for a suction pad 12 of the plurality of pads for some reason, the passage to the suction pad 12 is closed and the variable diaphragm 14 of another suction pad 12 is adjusted. By this, suction pads that cannot be sucked
Regardless of 12, the work 11 can be transported.

次に、本考案に係る真空吸引装置10の第2の実施例に
ついて説明する。この真空吸引装置10において前記第1
の実施例と同一の参照符号は同一の構成要素を示し、そ
の詳細な説明は省略する。
Next, a second embodiment of the vacuum suction device 10 according to the present invention will be described. In this vacuum suction device 10, the first
The same reference numerals as those of the embodiment of the present invention indicate the same components, and detailed description thereof will be omitted.

第5図は、本考案に係る真空吸引装置10の第2の実施
例の部分断面図であり、第6図は、第5図に示した真空
吸引装置10の部分斜視図である。
FIG. 5 is a partial sectional view of a second embodiment of the vacuum suction device 10 according to the present invention, and FIG. 6 is a partial perspective view of the vacuum suction device 10 shown in FIG.

第2の実施例において、4個の吸着用パッド12の各々
にコネクタ13および可変絞り14を接続して、真空吸引源
に通じる1本の吸引通路に連通させてワーク11を吸着す
る点は、第1の実施例と同様である。
In the second embodiment, the connector 13 and the variable diaphragm 14 are connected to each of the four suction pads 12 so as to communicate with one suction passage communicating with the vacuum suction source to suction the workpiece 11. It is similar to the first embodiment.

しかし、この第2の実施例の特徴は、1本の吸引通路
として円形若しくは矩形断面の筒状部材32を備え、その
外周を包囲する矩形断面の連結部材34を設けて各吸着用
パッド12に接続させることにより、筒状部材32の内部通
路36に連通し、また、連結部材34が、その長さ方向に変
位可能な点である。
However, the characteristic feature of the second embodiment is that each suction pad 12 is provided with a cylindrical member 32 having a circular or rectangular cross section as one suction passage and a connecting member 34 having a rectangular cross section surrounding the outer periphery thereof. This is a point at which the connection is made to communicate with the internal passage 36 of the tubular member 32, and the connecting member 34 is displaceable in the longitudinal direction thereof.

第2実施例では、筒状部材32の断面が円形の場合は、
筒状部材32の直径方向に延びる各吸着用パッドの向きが
必ずしも一致しないが、筒状部材32の断面が矩形の場合
には、筒状部材32の一つの側面に対して各吸着用パッド
を垂直に接続すれば、全ての吸着用パッドの向きが一致
し、ワーク11に対して同じ角度で接することができる。
従って、位置決めが容易であるという利点がある。
In the second embodiment, when the tubular member 32 has a circular cross section,
Although the directions of the suction pads extending in the diametrical direction of the tubular member 32 do not necessarily match, when the tubular member 32 has a rectangular cross section, the suction pads are attached to one side surface of the tubular member 32. If they are connected vertically, the directions of all the suction pads are the same, and they can contact the work 11 at the same angle.
Therefore, there is an advantage that the positioning is easy.

詳細には、円形断面の筒状部材32の一端は、図示しな
い真空吸引源に接続され、他端は、ねじ38により閉じら
れている。筒状部材32の内部通路36には、長さ方向に所
定の間隔をおいて孔40が形成されており、この孔40が貫
通孔30bに通じることにより吸引通路となる。連結部材3
4の内周には、貫通孔30bに通じる周溝42および孔部44
と、気密性保持のためのOリング46、47が設けられてい
る。また、連結部材34は、外側が矩形断面で内側が円形
断面を形成し、筒状部材32の長さ方向に変位可能に取り
付けられている。
Specifically, one end of the cylindrical member 32 having a circular cross section is connected to a vacuum suction source (not shown), and the other end is closed by a screw 38. In the internal passage 36 of the tubular member 32, holes 40 are formed at predetermined intervals in the length direction, and the holes 40 communicate with the through holes 30b to form a suction passage. Connection member 3
The inner periphery of 4 has a circumferential groove 42 and a hole 44 that communicate with the through hole 30b.
And O-rings 46 and 47 for maintaining airtightness. The connecting member 34 has a rectangular cross section on the outer side and a circular cross section on the inner side, and is attached so as to be displaceable in the longitudinal direction of the tubular member 32.

次に、第2の実施例に係る真空吸引装置10についての
動作について説明する。
Next, the operation of the vacuum suction device 10 according to the second embodiment will be described.

筒状部材32の一端が図示しない真空吸引源に接続さ
れ、筒状部材32の内部通路36に設けられた孔40を経て、
連結部材34の孔部44を通じてスカート部24に達する貫通
孔30を通じて吸引される。
One end of the tubular member 32 is connected to a vacuum suction source (not shown), and through a hole 40 provided in the internal passage 36 of the tubular member 32,
It is sucked through the through hole 30 that reaches the skirt portion 24 through the hole portion 44 of the connecting member 34.

この場合、可変絞り14により吸引力を調節して均一化
が図れることは第1の実施例と同様である。
In this case, it is the same as in the first embodiment that the suction force can be adjusted by the variable diaphragm 14 to achieve uniformization.

また、筒状部材32の外周には目印を付け、その目印に
合わせて連結部材34を長さ方向に動かすことにより位置
決めが可能となる。なお、第1および第2の実施例とも
に4個の吸着用パッドを用いて説明したが、本考案はそ
れに限定されるものではなく、複数個用いることにより
ワークの形状に適応した個数において使用することが可
能である。
Further, a mark is provided on the outer periphery of the tubular member 32, and the coupling member 34 is moved in the lengthwise direction in accordance with the mark, thereby enabling positioning. Although both the first and second embodiments have been described using four suction pads, the present invention is not limited to this, and a plurality of suction pads can be used in a number suitable for the shape of the work. It is possible.

[考案の効果] 以上のように、本考案に係る真空吸引装置では、次の
ような効果乃至利点を有する。
[Advantages of the Invention] As described above, the vacuum suction device according to the present invention has the following effects and advantages.

複数個の吸着用パッドを共通する1本の吸引通路によ
り真空吸引源に接続するため、チューブの配管スペース
を削減することができるとともに誤配管による接続ミス
をなくすことができる。
Since a plurality of suction pads are connected to the vacuum suction source through a single common suction passage, it is possible to reduce the piping space for the tubes and eliminate connection mistakes due to erroneous piping.

また、可変絞りを用いることにより、複数個の吸着用
パッドを配置しても吸引力の平均化を図ることが可能で
ある。
Further, by using the variable diaphragm, it is possible to average the suction force even if a plurality of suction pads are arranged.

次いで、各吸着用パッドが変位可能なことにより、ワ
ークの形状に即した搬送等ができる。
Then, since each suction pad can be displaced, it is possible to carry the workpiece in accordance with the shape of the work.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本考案に係る真空吸引装置の第1の実施例の正
面図、 第2図は吸着用パッドにアダプタを接続した状態を示す
斜視図、 第3図は第2図のIII−III線に沿う部分縦断面図、 第4図は可変絞りの縦断面図、 第5図は本考案に係る真空吸引装置の第2の実施例の部
分断面図、 第6図は第5図の部分斜視図である。 10…真空吸引装置 12…吸着用パッド 14…可変絞り 18…アダプタ 20…チューブ 30…貫通孔 32…筒状部材 34…連結部材 36…内部通路 42…周溝 46、47…Oリング
FIG. 1 is a front view of a first embodiment of a vacuum suction device according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a state in which an adapter is connected to a suction pad, and FIG. 3 is III-III of FIG. 4 is a vertical sectional view of a variable diaphragm, FIG. 5 is a partial sectional view of a second embodiment of the vacuum suction device according to the present invention, and FIG. 6 is a sectional view of FIG. It is a perspective view. 10 ... Vacuum suction device 12 ... Suction pad 14 ... Variable throttle 18 ... Adapter 20 ... Tube 30 ... Through hole 32 ... Cylindrical member 34 ... Connection member 36 ... Internal passage 42 ... Circumferential groove 46, 47 ... O-ring

Claims (4)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of utility model registration request] 【請求項1】真空吸引源に接続される根本部と、前記根
本部に一体的に連設されたスカート部とを備えた、ワー
クを吸着するための複数個の吸着用パッドと、前記複数
個の吸着用パッドを共通に前記真空吸引源に接続する1
本の吸引通路を形成する配管部材とを含み、前記吸着用
パッドの各々には吸引力調節手段を設けたことを特徴と
する真空吸引装置。
1. A plurality of suction pads for sucking a workpiece, comprising: a root portion connected to a vacuum suction source; and a skirt portion integrally connected to the root portion; Connect the suction pads in common to the vacuum suction source 1
A vacuum suction device comprising: a pipe member forming a suction passage of a book; and suction force adjusting means provided on each of the suction pads.
【請求項2】請求項1記載の真空吸引装置において、前
記配管部材は、前記吸着用パッドを直列接続するチュー
ブからなることを特徴とする真空吸引装置。
2. The vacuum suction device according to claim 1, wherein the piping member is composed of a tube connecting the suction pads in series.
【請求項3】請求項1記載の真空吸引装置において、前
記配管部材は1本の筒状部材からなり、前記筒状部材の
外側に位置してその長さ方向に変位可能な環状の連結部
材を介して、前記吸着用パッドを前記筒状部材の内部通
路に連通させたことを特徴とする真空吸引装置。
3. The vacuum suction device according to claim 1, wherein the pipe member is composed of one tubular member, and the annular coupling member is located outside the tubular member and is displaceable in the longitudinal direction thereof. A vacuum suction device, wherein the suction pad is communicated with an internal passage of the tubular member via a.
【請求項4】請求項1記載の真空吸引装置において、前
記吸引力調節手段は可変絞りからなることを特徴とする
真空吸引装置。
4. The vacuum suction device according to claim 1, wherein the suction force adjusting means comprises a variable diaphragm.
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