JP2511222Y2 - Automatic operation controller for fluorescent X-ray analyzer - Google Patents
Automatic operation controller for fluorescent X-ray analyzerInfo
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- JP2511222Y2 JP2511222Y2 JP1991031233U JP3123391U JP2511222Y2 JP 2511222 Y2 JP2511222 Y2 JP 2511222Y2 JP 1991031233 U JP1991031233 U JP 1991031233U JP 3123391 U JP3123391 U JP 3123391U JP 2511222 Y2 JP2511222 Y2 JP 2511222Y2
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- ray
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- fluorescent
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この考案は、分析終了から次回の
分析開始までの間の蛍光X線分析装置の運転を制御する
自動運転制御装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic operation controller for controlling the operation of a fluorescent X-ray analyzer from the end of analysis to the start of next analysis.
【0002】[0002]
【従来の技術】蛍光X線分析装置は、X線管から分析試
料に一次X線を照射して、分析試料から発生する蛍光X
線をX線検出器で測定し、このX線検出器での測定値に
基づいて分析試料の元素分析を行うものである。近年の
蛍光X線分析装置は、予め設定された分析内容に応じ
て、複数の分析試料の分析を自動的に行えるようになっ
ており、これにより、オペレータの負担を軽くしてい
る。また、蛍光X線分析装置は、一般に、昼間において
使用され、夜間はX線管の管電圧および管電流を最低負
荷またはオフ状態、つまり休止状態にしておく。これに
より、X線管の寿命が長くなり、かつ、消費電力の節約
が図られる。2. Description of the Related Art An X-ray fluorescence analyzer is a fluorescent X-ray generator which irradiates an analysis sample with primary X-rays to generate X-ray fluorescence from the analysis sample.
The X-ray detector measures the X-ray, and elemental analysis of the analysis sample is performed based on the measurement value of the X-ray detector. Recent X-ray fluorescence analyzers can automatically analyze a plurality of analysis samples according to preset analysis contents, thereby reducing the burden on the operator. Further, the fluorescent X-ray analyzer is generally used in the daytime, and the tube voltage and the tube current of the X-ray tube are kept at the minimum load or in the off state, that is, in the rest state at night. This prolongs the life of the X-ray tube and saves power consumption.
【0003】[0003]
【考案が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
では、当日の分析業務の終了にあたり、オペレータは分
析装置の分析が終了するのを待ってから、上記X線管を
休止状態にする。したがって、オペレータの負担を今一
つ軽減できない。However, in the above-mentioned prior art, at the end of the analysis work on the day, the operator waits for the analysis of the analyzer to be completed, and then puts the X-ray tube in a dormant state. Therefore, the burden on the operator cannot be reduced.
【0004】また、翌日の立上げ時には、分析業務の開
始前に、X線管の管電圧および管電流を、図2のよう
に、徐々に上げるエージングを行う必要がある。このエ
ージングは、X線管の休止時間および休止状態に応じ
て、適正な管電圧および管電流の上昇過程を選択する必
要がある。しかし、上記従来技術では、各オペレータが
前回の分析作業の終了日時を把握し、当日の分析業務の
開始時刻までの休止時間などから、適宣、エージング状
態を設定して、この図に示すようなエージングを行って
いる。そのため、オペレータの負担は、今一つ軽減され
ていない。Further, when starting up on the next day, it is necessary to perform aging for gradually increasing the tube voltage and the tube current of the X-ray tube as shown in FIG. 2 before starting the analysis work. For this aging, it is necessary to select an appropriate rising process of the tube voltage and the tube current according to the rest time and the rest state of the X-ray tube. However, in the above-mentioned conventional technique, each operator grasps the end date and time of the previous analysis work, sets the aging state appropriately from the pause time until the start time of the analysis work on the day, and as shown in this figure. Aging. Therefore, the burden on the operator has not been reduced yet.
【0005】また、オペレータが休止時間を勘違いして
エージング状態を誤ったり、あるいは、休止時間や休止
状態に対応するエージング状態の選択を誤るおそれもあ
る。このように正しいエージングが行われないと、X線
管の寿命を短くしたり、分析誤差が生じるなどの問題が
ある。Further, there is a possibility that an operator misunderstands the down time and mistakes the aging state, or mistakes in selecting the down time or the aging state corresponding to the down state. If correct aging is not performed in this manner, there are problems such as shortening the life of the X-ray tube and causing an analysis error.
【0006】この考案は、上記従来の問題に鑑みてなさ
れたもので、分析終了から次回の分析開始までの操作を
自動化することにより、オペレータの負担を軽くすると
ともに、適正なエージングを行い得る蛍光X線分析装置
の自動運転制御装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems. By automating the operation from the end of an analysis to the start of the next analysis, the operator's burden is lightened and fluorescent light capable of performing appropriate aging can be obtained. An object is to provide an automatic operation control device for an X-ray analysis device.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この考案は、第1ないし第3制御手段と、終了検知
手段と、選択手段とを備えている。上記第1制御手段
は、測定器を制御して、設定された分析試料の蛍光X線
の測定を行わせる。上記終了検知手段は運転終了の時刻
を検知する。上記第2制御手段は、設定された休止状態
に測定器を運転終了後に切り替える。上記選択手段は、
終了検知手段で検知された運転終了時刻から次回の運転
開始時刻までの休止時間、ならびに、上記測定器の休止
状態に基づいて、次回の分析前におけるX線管の管電圧
または管電流の上昇のさせ方が異なる複数のエージング
状態を選択する。上記第3制御手段は、測定器を運転状
態にし、選択手段で選択されたエージング状態に合わせ
て、次回の分析開始前に、測定器にX線管のエージング
を行わせる。In order to achieve the above object, the present invention comprises first to third control means, an end detection means, and a selection means. The first control means controls the measuring device to measure the fluorescent X-ray of the set analytical sample. The end detection means detects the time when the operation ends. The second control means switches the measuring device to the set resting state after the operation is completed. The selection means is
The tube voltage of the X-ray tube before the next analysis based on the pause time from the operation end time detected by the end detection means to the next operation start time and the idle state of the measuring instrument.
Alternatively, a plurality of aging states that differ in how the tube current is increased are selected. The third control means brings the measuring instrument into an operating state and causes the measuring instrument to age the X-ray tube according to the aging state selected by the selecting means before starting the next analysis.
【0008】[0008]
【作用】この考案によれば、第2制御手段が運転終了後
において設定された休止状態に測定器を切り替え、第3
制御手段が測定器を運転状態にし、分析開始前に測定器
にX線管のエージングを行わせるので、分析作業の終了
操作および開始操作を自動的に行うことができる。しか
も、終了検知手段で運転終了時刻を検知し、この運転終
了から設定された運転開始までの休止時間に基づいて、
選択手段がX線管の管電圧または管電流の上昇のさせ方
が異なる複数のエージング状態を選択するので、オペレ
ータが勘や記憶によりエージング状態を選択するのと異
なり、適正なエージング状態を選択することができる。According to the present invention, the second control means switches the measuring instrument to the set rest state after the operation is completed,
Since the control means puts the measuring instrument in the operating state and causes the measuring instrument to age the X-ray tube before starting the analysis, the ending operation and the starting operation of the analysis work can be automatically performed. Moreover, the end detection means detects the operation end time, and based on the pause time from the end of this operation to the set operation start,
How the selection means raises the tube voltage or tube current of the X-ray tube
Since a plurality of aging states different from each other are selected, it is possible to select an appropriate aging state, unlike the case where the operator selects the aging state by intuition or memory.
【0009】[0009]
【実施例】以下、この考案の一実施例を図面にしたがっ
て説明する。図1において、蛍光X線分析装置は、制御
装置10と、この制御装置10によって制御される測定器20
とを備えている。測定器20は、ターゲット(図示せず)
に電子を衝突させて一次X線を発生するX線管21と、こ
のX線管21に電圧を印加するとともに電流を供給するX
線発生装置22を有する。このX線発生装置22は、図示し
ない管電圧および管電流検出器を備えている。X線管21
は、分析試料 (図示せず) に一次X線を照射する。この
照射により分析試料から発生する蛍光X線は、X線検出
器23によって測定される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1, the fluorescent X-ray analysis apparatus includes a control device 10 and a measuring instrument 20 controlled by the control device 10.
It has and. The measuring device 20 is a target (not shown)
X-ray tube 21 for generating primary X-rays by colliding electrons with the X-ray tube 21 and an X-ray tube 21 for applying a voltage and supplying a current to the X-ray tube 21.
It has a line generator 22. The X-ray generator 22 includes a tube voltage and tube current detector (not shown). X-ray tube 21
Irradiates an analysis sample (not shown) with primary X-rays. The fluorescent X-ray generated from the analysis sample by this irradiation is measured by the X-ray detector 23.
【0010】上記X線管21は、冷却装置24によって冷却
され、所定範囲の温度に保たれる。冷却装置24は、X線
管21を冷却する二次冷却水25を送水装置28によりX線管
21に供給するものである。この冷却装置24は、上記二次
冷却水25を冷却する一次冷却水26を送水装置28内に取り
込んでおり、この一次冷却水26の供給を停止するバルブ
27を備えている。The X-ray tube 21 is cooled by a cooling device 24 and kept at a temperature within a predetermined range. The cooling device 24 uses the water supply device 28 to supply the secondary cooling water 25 for cooling the X-ray tube 21 to the X-ray tube.
21 to supply. The cooling device 24 takes in the primary cooling water 26 for cooling the secondary cooling water 25 into the water supply device 28, and a valve for stopping the supply of the primary cooling water 26.
Equipped with 27.
【0011】上記制御装置10は、第1ないし第4制御手
段11〜14、設定器15、終了検知手段16および選択手段17
を備えている。設定器15からは、自動運転制御の内容と
して、以下のような設定項目がオペレータにより入力さ
れる。 1)分析(測定)終了までに測定する分析内容 2)分析(測定)終了後のX線管21の休止状態 3)次回の分析(測定)開始時刻(日,時) 4)点検動作の選択 なお、点検動作としては、X線検出器23からの波高値
(パルス信号のパルスの高さ) を所定の試料について一
定値に調整する波高値の自動調整や、測定強度のドリフ
トを補正するための標準化試料の測定 (装置のドリフト
較正定数の更新)や、組成を正しく分析できるか否かを
確認する精度管理試料などの分析がある。The control device 10 includes first to fourth control means 11 to 14, a setter 15, an end detection means 16 and a selection means 17.
It has. From the setter 15, the operator inputs the following setting items as the contents of the automatic operation control. 1) Content of analysis measured by the end of analysis (measurement) 2) Rest state of X-ray tube 21 after the end of analysis (measurement) 3) Start time (day, hour) of next analysis (measurement) 4) Selection of inspection operation In addition, as the inspection operation, the crest value (pulse height of the pulse signal) from the X-ray detector 23 is automatically adjusted to a fixed value for a predetermined sample, and the drift of the measurement intensity is corrected. Standardized sample measurement (update of instrument drift calibration constant) and analysis of quality control sample to confirm whether composition can be analyzed correctly.
【0012】第1制御手段11は、設定器15からの分析内
容信号aを入力とし、分析動作信号a1を測定器20に出力
して、設定された分析試料の蛍光X線の測定を測定器20
に測定 (分析) 終了まで行わせる。終了検知手段16は測
定器20からの終了信号cにより運転終了の時刻を検知す
る。The first control means 11 receives the analysis content signal a from the setting device 15 and outputs the analysis operation signal a1 to the measuring device 20 to measure the fluorescent X-ray of the set analytical sample. 20
Make the measurement (analysis) complete. The end detecting means 16 detects the time when the operation ends by the end signal c from the measuring device 20.
【0013】第2制御手段12は、設定器15からの休止状
態信号bと、測定器20からの終了信号cを入力とし、休
止信号hを出力して測定器20を制御することで、設定さ
れた休止状態に測定器20を運転終了後に切り替える。休
止状態としては、X線管21の負荷を最低負荷(20kV, 2
mA程度)にする状態と、X線管21の管電圧および管電流
をオフにするオフ状態、つまり、測定器20の一部をオフ
にする状態と、測定器20全体を休止状態にする方式など
が考えられる。なお、オフ状態に設定した場合は、送水
装置28のバルブ27が閉止して、一次冷却水26の送水を停
止し、漏水事故の防止やランニングコストの低減が図ら
れる。The second control means 12 receives the pause signal b from the setting device 15 and the end signal c from the measuring device 20, and outputs the pause signal h to control the measuring device 20 to set the setting. The measuring device 20 is switched to the rest state after the operation is completed. In the resting state, the load of the X-ray tube 21 is set to the minimum load (20kV, 2
(about mA) and an off state in which the tube voltage and tube current of the X-ray tube 21 are turned off , that is, a part of the measuring instrument 20 is turned off.
A state in which the measuring instrument 20 is turned on and a method in which the entire measuring device 20 is set in a dormant state can be considered. When set to the off state, the valve 27 of the water supply device 28 is closed to stop the water supply of the primary cooling water 26, thereby preventing a water leakage accident and reducing the running cost.
【0014】選択手段17は、設定器15からの運転開始時
刻信号dと、終了検知手段16からの運転終了時刻信号e
を入力とし、両信号d,eを比較することにより、運転
終了から次回の運転開始までの時間、つまり休止時間を
演算する。この選択手段17は、休止状態信号bを入力と
し、上記休止時間と測定器20の休止状態に基づいて定め
られるエージング状態のマップを有しており、休止時間
および休止状態に基づいて、次回の分析前におけるX線
管のエージング状態を選択する。なお、エージング状態
とは、図2のような時間に対する管電圧・管電流の値お
よび上昇のさせ方をいう。The selecting means 17 has an operation start time signal d from the setter 15 and an operation end time signal e from the end detecting means 16.
Is input and the two signals d and e are compared to calculate the time from the end of the operation to the start of the next operation, that is, the rest time. The selecting means 17 receives the pause signal b and has a map of the aging state determined based on the pause time and the pause state of the measuring device 20, and based on the pause time and the pause state, the next time Select the aging state of the X-ray tube before analysis. The aging state means the values of the tube voltage and the tube current and how to increase them with respect to time as shown in FIG.
【0015】図1の第3制御手段13は、選択手段17から
のエージング信号fを入力とし、設定器15に入力した運
転開始時刻になると、運転信号f1を測定器20に出力し
て、X線管21をオン状態にしたり、測定器20内の他の電
源をオンにした運転状態に切り替える。さらに、この第
3制御手段13は、選択手段17で選択されたエージング状
態に合わせて、エージング動作信号f2を出力し、次回の
分析開始前に、X線発生装置22にX線管21のエージング
を行わせる。第4制御手段14は、設定器15からの点検項
目信号gを入力とし、点検動作信号g1を出力して、設定
された点検動作を上記エージング終了後に測定器20に行
わせる。The third control means 13 of FIG. 1 receives the aging signal f from the selection means 17, and outputs the operation signal f1 to the measuring instrument 20 at the operation start time input to the setting device 15, and X The wire tube 21 is turned on, or another operating power source in the measuring instrument 20 is turned on. Further, the third control means 13 outputs the aging operation signal f2 in accordance with the aging state selected by the selection means 17, and the aging of the X-ray tube 21 is performed on the X-ray generator 22 before the next analysis is started. To perform. The fourth control means 14 receives the inspection item signal g from the setting device 15 and outputs the inspection operation signal g1 to cause the measuring device 20 to perform the set inspection operation after the aging.
【0016】つぎに、上記構成の動作を説明する。ま
ず、その日の分析業務の終了が近づくと、オペレータ
は、設定器15を介して、分析 (測定) 終了までに測定す
る分析内容、測定器20の休止状態および次回の分析開始
時刻の設定や点検項目の選択を行う。第1制御手段11
は、上記分析内容に応じて測定器20を作動させ、所定の
分析を行わせる。Next, the operation of the above configuration will be described. First, when the end of the analysis work of the day is approaching, the operator uses the setting device 15 to set and check the analysis contents to be measured by the end of the analysis (measurement), the dormant state of the measuring device 20, and the next analysis start time. Select an item. First control means 11
Causes the measuring device 20 to operate according to the content of the above analysis to perform a predetermined analysis.
【0017】この分析が終了した後、第2制御手段12
は、休止状態信号bと終了信号cに基づいて、測定器20
を所定の休止状態に切り替える。なお、X線発生装置22
がX線管21の管電圧および管電流をオフ状態にした場合
は、バルブ27が連動して閉じ、一次冷却水26が遮断され
る。After this analysis is completed, the second control means 12
Is based on the rest signal b and the end signal c
To a predetermined dormant state. The X-ray generator 22
When the tube voltage and tube current of the X-ray tube 21 are turned off, the valve 27 is interlocked and closed, and the primary cooling water 26 is shut off.
【0018】設定された次回の運転開始時刻になると、
第3制御手段13は運転信号f1を測定器20に出力して、測
定器20を運転状態に切り替え、さらに選択手段17で選択
されたエージング状態に合わせて、X線管21の管電圧お
よび管電流を図2のように時間とともに徐々に不連続的
に上昇させて、所定のエージングが行われる。このエー
ジング後、図1の第4制御手段14は、所定の点検動作を
測定器20に行わせる。なお、X線管21の管電圧および管
電流がオフ状態になっていた場合は、エージング開始と
同時に、バルブ27が開になり、一次冷却水26が送水され
る。At the set next operation start time,
The third control means 13 outputs the operation signal f1 to the measuring device 20, switches the measuring device 20 to the operating state, and further adjusts the tube voltage and the tube of the X-ray tube 21 according to the aging state selected by the selecting means 17. As shown in FIG. 2, the current is gradually and discontinuously increased to perform a predetermined aging. After this aging, the fourth control means 14 in FIG. 1 causes the measuring instrument 20 to perform a predetermined inspection operation. When the tube voltage and the tube current of the X-ray tube 21 are in the off state, the valve 27 is opened and the primary cooling water 26 is sent simultaneously with the start of aging.
【0019】このように、この自動運転制御装置では、
分析終了後において測定器20が設定された休止状態に自
動的に保持され、かつ、分析開始前に測定器20がX線管
21のエージングおよび点検動作を自動的に行うので、分
析作業の終了操作および開始操作を自動的に行うことが
できる。したがって、オペレータの負担が軽減される。As described above, in this automatic operation control device,
After the analysis is completed, the measuring instrument 20 is automatically held in the set rest state, and the measuring instrument 20 is kept in the X-ray tube before the analysis is started.
Since 21 aging and inspection operations are automatically performed, the end operation and the start operation of the analysis work can be automatically performed. Therefore, the burden on the operator is reduced.
【0020】しかも、終了検知手段16で運転終了時刻を
検知し、この運転終了から設定された運転開始までの休
止時間と休止状態に基づいて、選択手段17がX線管21の
管電圧または管電流の上昇のさせ方が異なる複数のエー
ジング状態を選択するので、オペレータが勘や記憶によ
りエージング状態を選択するのと異なり、適正なエージ
ング状態を選択することができる。したがって、適正な
エージングを行うことができる。Moreover, the end detecting means 16 detects the operation end time, and the selecting means 17 selects the X-ray tube 21 based on the idle time and the idle state from the operation end to the set operation start .
Since a plurality of aging states with different ways of increasing the tube voltage or tube current are selected, it is possible to select an appropriate aging state, unlike the operator selecting the aging state by intuition or memory. it can. Therefore, proper aging can be performed.
【0021】なお、この実施例では、設定器15は、運転
開始時刻信号dを記憶する機能を内蔵しているが、この
機能を制御装置10の外部に設けてもよい。この機能を制
御装置10の外部に設ければ、休止状態においては、制御
装置10の電源をオフにすることもでき、測定器20も含め
て全て休止状態とすることが可能となる。In this embodiment, the setting device 15 has a function of storing the operation start time signal d, but this function may be provided outside the control device 10. If this function is provided outside the control device 10, the power supply of the control device 10 can be turned off in the hibernation state, and all of the measuring instrument 20 and the like can be in the hibernation state.
【0022】[0022]
【考案の効果】以上説明したように、この考案によれ
ば、分析終了後において測定器を所定の休止状態に自動
的に切り替えるとともに、次回の分析開始前にX線管の
エージングを自動的に行うので、オペレータの負担が軽
くなる。また、終了検知手段で運転終了時刻を検知し、
この運転終了から設定された運転開始までの休止時間と
休止状態に基づいて、選択手段がX線管の管電圧または
管電流の上昇のさせ方が異なる複数のエージング状態を
選択するので、オペレータが勘や記憶によりエージング
状態を選択するのと異なり、適正なエージング状態を選
択することができ、したがって、適正なエージングを行
うことができる。As described above, according to the present invention, the measuring instrument is automatically switched to a predetermined rest state after the end of analysis, and the aging of the X-ray tube is automatically performed before the next analysis is started. This reduces the burden on the operator. Also, the end detection means detects the operation end time,
Based on the rest time and rest state from the end of this operation to the start of the set operation, the selecting means selects the tube voltage of the X-ray tube or
Since multiple aging states with different ways of increasing the tube current are selected, it is possible to select the proper aging state, unlike the operator selecting the aging state by intuition or memory, and thus, the proper aging is performed. It can be carried out.
【図1】この考案の自動運転制御装置の一実施例を示す
概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of an automatic driving control device of the present invention.
【図2】エージング状態を示す特性図である。FIG. 2 is a characteristic diagram showing an aging state.
10…制御装置、11…第1制御手段、12…第2制御手段、
13…第3制御手段、16…終了検知手段、17…選択手段、
20…測定器、21…X線管。10 ... Control device, 11 ... First control means, 12 ... Second control means,
13 ... Third control means, 16 ... End detection means, 17 ... Selection means,
20 ... Measuring instrument, 21 ... X-ray tube.
Claims (1)
て、上記分析試料から発生する蛍光X線を測定し分析す
る蛍光X線分析装置の自動運転制御装置であって、 測定器を制御して、設定された分析試料の蛍光X線の測
定を行わせる第1制御手段と、 上記測定器の運転終了時刻を検知する終了検知手段と、 設定された休止状態に上記測定器を運転終了後に切り替
える第2制御手段と、 上記終了検知手段で検知された運転終了時刻から設定さ
れた次回の運転開始時刻までの休止時間、ならびに、上
記測定器の上記休止状態に基づいて、次回の分析前にお
ける上記X線管の管電圧または管電流の上昇のさせ方が
異なる複数のエージング状態を選択する選択手段と、 上記測定器を運転状態にし、上記選択手段で選択された
エージング状態に合わせて、上記次回の分析開始前に、
上記測定器にX線管のエージングを行わせる第3制御手
段とを備えた蛍光X線分析装置の自動運転制御装置。1. An automatic operation control device of a fluorescent X-ray analyzer for irradiating an analytical sample with primary X-rays from an X-ray tube to measure and analyze fluorescent X-rays generated from the analytical sample. Control means for measuring fluorescent X-rays of the set analytical sample, end detection means for detecting the operation end time of the measuring instrument, and the measuring instrument in the set rest state. Based on the second control means for switching after the end of operation, the stop time from the operation end time detected by the end detection means to the set next operation start time, and the rest state of the measuring instrument, the next How to increase the tube voltage or tube current of the X-ray tube before analysis
Selection means for selecting a plurality of different aging states, and put the measuring instrument in an operating state, according to the aging state selected by the selection means, before the next analysis start,
An automatic operation control device for a fluorescent X-ray analysis device, comprising: a third control means for causing the measuring instrument to age an X-ray tube.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1991031233U JP2511222Y2 (en) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | Automatic operation controller for fluorescent X-ray analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1991031233U JP2511222Y2 (en) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | Automatic operation controller for fluorescent X-ray analyzer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04118655U JPH04118655U (en) | 1992-10-23 |
JP2511222Y2 true JP2511222Y2 (en) | 1996-09-25 |
Family
ID=31914586
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP1991031233U Expired - Lifetime JP2511222Y2 (en) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | Automatic operation controller for fluorescent X-ray analyzer |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2511222Y2 (en) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5969832U (en) * | 1982-11-04 | 1984-05-11 | 三菱重工業株式会社 | tightening device |
JPS63135753U (en) * | 1987-02-27 | 1988-09-06 |
-
1991
- 1991-04-05 JP JP1991031233U patent/JP2511222Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04118655U (en) | 1992-10-23 |
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Legal Events
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EXPY | Cancellation because of completion of term |