JP2510285Y2 - 均一液温維持システム - Google Patents
均一液温維持システムInfo
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- JP2510285Y2 JP2510285Y2 JP1990405195U JP40519590U JP2510285Y2 JP 2510285 Y2 JP2510285 Y2 JP 2510285Y2 JP 1990405195 U JP1990405195 U JP 1990405195U JP 40519590 U JP40519590 U JP 40519590U JP 2510285 Y2 JP2510285 Y2 JP 2510285Y2
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- JP
- Japan
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- guide pipe
- liquid temperature
- liquid
- pipe material
- uniform liquid
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- Mixers With Rotating Receptacles And Mixers With Vibration Mechanisms (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は液体を保持しているタン
クと、前記液体を予め定められた温度に保つ温度制御装
置とからなる均一液温維持システムに関する。
クと、前記液体を予め定められた温度に保つ温度制御装
置とからなる均一液温維持システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の均一液温維持システム
は、タンク内にヒータを入れ液温を上昇させ液温を精密
に制御していた。この場合、一般にヒータ附近の液は加
熱され上昇するがヒーター下部の液は温度が低く、温調
センサのデータで制御しても実際の液温分布は上，下で
かなり差があり機械的に攪拌させないと均一にならない
のが現状である。
は、タンク内にヒータを入れ液温を上昇させ液温を精密
に制御していた。この場合、一般にヒータ附近の液は加
熱され上昇するがヒーター下部の液は温度が低く、温調
センサのデータで制御しても実際の液温分布は上，下で
かなり差があり機械的に攪拌させないと均一にならない
のが現状である。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】上述した従来のシステ
ムでは液温を均一にするために、機械的な攪拌をしなけ
ればならないが、半導体や液晶の生産分野では機械的な
攪拌によるとパーティクルの発生が起り、品質的な問題
となっている。
ムでは液温を均一にするために、機械的な攪拌をしなけ
ればならないが、半導体や液晶の生産分野では機械的な
攪拌によるとパーティクルの発生が起り、品質的な問題
となっている。
【０００４】また、機械的な攪拌とは異なり空気などの
気体のバブルによる方法も試みられているが、この場合
はタンクの底面から液面がバブルで波打つほどに多量の
バブルを発生させなければならず気体の利用効率が悪か
ったり、液面制御が容易でなかったりする。また、液体
が粘度の高いものの場合、液体がバブルの押し上げ力か
ら逃げてしまい液体の還流の効率がよくないという問題
がある。
気体のバブルによる方法も試みられているが、この場合
はタンクの底面から液面がバブルで波打つほどに多量の
バブルを発生させなければならず気体の利用効率が悪か
ったり、液面制御が容易でなかったりする。また、液体
が粘度の高いものの場合、液体がバブルの押し上げ力か
ら逃げてしまい液体の還流の効率がよくないという問題
がある。
【０００５】本考案は上記問題に鑑み、機械的な攪拌に
よらず、パーティクルの発生が無い気体のバブルを用
い、かつ気体を有効に活用できる均一液温維持システム
を提供することを目的とする。
よらず、パーティクルの発生が無い気体のバブルを用
い、かつ気体を有効に活用できる均一液温維持システム
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の均一液温維持シ
ステムは、タンクに保持されている液体の上方から前記
液体中をタンクの底面に向って伸び、液面近くで液面下
にある外壁に孔が設けられたバブルガイド用パイプ材
と、前記タンクの底面近くで前記バブルガイド用パイプ
材で囲まれた前記液体中に気体を供給し、バブルを発生
させる気体供給装置とを有する。
ステムは、タンクに保持されている液体の上方から前記
液体中をタンクの底面に向って伸び、液面近くで液面下
にある外壁に孔が設けられたバブルガイド用パイプ材
と、前記タンクの底面近くで前記バブルガイド用パイプ
材で囲まれた前記液体中に気体を供給し、バブルを発生
させる気体供給装置とを有する。
【０００７】
【作用】気体供給装置が供給した気体により、バブルガ
イド用パイプ材の下端近くでバブルガイド用パイプ材の
中にバブルが形成され、このバブルが上昇する際にバブ
ルガイド用パイプ材の中に区画された液体を押し上げ、
液面近くでバブルガイド用パイプ材の外壁に設けられた
孔から壁外の液体中に放出する。一方、壁外の液体はバ
ブルガイド用パイプ材の下端からバブルガイド用パイプ
材の中に流入し、液体の上下還流が促進される。
イド用パイプ材の下端近くでバブルガイド用パイプ材の
中にバブルが形成され、このバブルが上昇する際にバブ
ルガイド用パイプ材の中に区画された液体を押し上げ、
液面近くでバブルガイド用パイプ材の外壁に設けられた
孔から壁外の液体中に放出する。一方、壁外の液体はバ
ブルガイド用パイプ材の下端からバブルガイド用パイプ
材の中に流入し、液体の上下還流が促進される。
【０００８】
【実施例】次に、本考案の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【０００９】第１図は本考案の均一液温維持システムの
第１の実施例を示す構成図である。タンク１は液体２
（酸またはアルカリ溶液）を保持し、液体２は一定の液
面Ｈになるように供給ラインおよび排出ライン（不図
示）により制御されている。タンク１の開口１１にはコ
ネクタ５によりバブルをガイドするＰＦＡ樹脂（４弗化
エチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合
樹脂）製のガイド用パイプ３が取り付けられている。液
面Ｈの上下に該当する所のガイド用パイプ３の外壁には
孔４１，４２が開けられ、ガイド用パイプ３の下端とタ
ンク１の底面との間は１０mmの間隔が設けられている。
気体供給用パイプ４はＰＦＡ樹脂製であって、一端が圧
力気体タンクまたはコンプレッサ（不図示）に接続さ
れ、他端がガイド用パイプ３内をガイド用パイプ３の下
端近く（タンク１の底面から約２０ｍｍ）まで伸ばさ
れ、コネクタ６によりガイド用パイプ３の上端にガイド
用パイプ３と同軸状に固定されている。温度制御装置の
一部であるヒータ８はタンク１の底面近くに設けられ、
コネクタ７により開口１２に固定された電力供給ライン
９から電力を供給され、液体２を温める。温度制御装置
の制御部（不図示）は液温センサ（不図示）で検出した
液温により、ヒータ８に供給する電力を制御して液温を
予め指定された温度に保つように働く。なお、タンク１
の開口１３は気体供給用パイプ４から供給された気体
（例えば窒素ガス）の排気用である。また、液体２が有
機溶剤である場合は、パイプ３，４はステンレス製がよ
い。
第１の実施例を示す構成図である。タンク１は液体２
（酸またはアルカリ溶液）を保持し、液体２は一定の液
面Ｈになるように供給ラインおよび排出ライン（不図
示）により制御されている。タンク１の開口１１にはコ
ネクタ５によりバブルをガイドするＰＦＡ樹脂（４弗化
エチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合
樹脂）製のガイド用パイプ３が取り付けられている。液
面Ｈの上下に該当する所のガイド用パイプ３の外壁には
孔４１，４２が開けられ、ガイド用パイプ３の下端とタ
ンク１の底面との間は１０mmの間隔が設けられている。
気体供給用パイプ４はＰＦＡ樹脂製であって、一端が圧
力気体タンクまたはコンプレッサ（不図示）に接続さ
れ、他端がガイド用パイプ３内をガイド用パイプ３の下
端近く（タンク１の底面から約２０ｍｍ）まで伸ばさ
れ、コネクタ６によりガイド用パイプ３の上端にガイド
用パイプ３と同軸状に固定されている。温度制御装置の
一部であるヒータ８はタンク１の底面近くに設けられ、
コネクタ７により開口１２に固定された電力供給ライン
９から電力を供給され、液体２を温める。温度制御装置
の制御部（不図示）は液温センサ（不図示）で検出した
液温により、ヒータ８に供給する電力を制御して液温を
予め指定された温度に保つように働く。なお、タンク１
の開口１３は気体供給用パイプ４から供給された気体
（例えば窒素ガス）の排気用である。また、液体２が有
機溶剤である場合は、パイプ３，４はステンレス製がよ
い。
【００１０】次に本実施例の動作について第２図を参照
して説明する。
して説明する。
【００１１】圧力タンク（不図示）から窒素ガス（Ｎ
2 ）が所定の圧力に調整されて、気体供給用パイプ４を
経てガイド用パイプ３の下端近辺に放出される。放出さ
れた窒素ガスは矢印Ｂのように上昇しバブルＢ１，Ｂ２
を順次形成する。バブルＢ１，Ｂ２とガイド用パイプ３
に囲こまれた液体２はバブルＢ１，Ｂ２の上昇ととも
に、逃げ場所がないので上昇し、孔４２から液流ＬＱと
して液体２中に流出する。また、比較的温度の低い液体
２が液流ＬＬとしてガイド用パイプ３内に流れ込み、上
記動作を繰返し、液体２の還流を発生させる。したがっ
てタンク１内の液温は液面をあまり波立たせることなく
次第に均一になる。一方液体２中に供給された、窒素ガ
スは主に孔４１（一部は孔４２）から流出し、開口１３
を経て放出される。
2 ）が所定の圧力に調整されて、気体供給用パイプ４を
経てガイド用パイプ３の下端近辺に放出される。放出さ
れた窒素ガスは矢印Ｂのように上昇しバブルＢ１，Ｂ２
を順次形成する。バブルＢ１，Ｂ２とガイド用パイプ３
に囲こまれた液体２はバブルＢ１，Ｂ２の上昇ととも
に、逃げ場所がないので上昇し、孔４２から液流ＬＱと
して液体２中に流出する。また、比較的温度の低い液体
２が液流ＬＬとしてガイド用パイプ３内に流れ込み、上
記動作を繰返し、液体２の還流を発生させる。したがっ
てタンク１内の液温は液面をあまり波立たせることなく
次第に均一になる。一方液体２中に供給された、窒素ガ
スは主に孔４１（一部は孔４２）から流出し、開口１３
を経て放出される。
【００１２】第３図は本考案の第２の実施例を示す構成
図である。
図である。
【００１３】本実施例においては、タンク１の底面には
円錐形の突出部４０が設けられている。また、ガイド用
パイプ３３はタンク１の底面まで伸びており、突出部４
０により位置決めされている。液体は孔４３を経てガイ
ド用パイプ３３内に流入する。気体供給用パイプ４４の
下端には、ガイド用パイプ３３内での位置が定まるよう
にフィン３０が少くとも２個対向するように設けられて
いる。開口１３には液体２中に供給される気体の回収用
排気管２０がコネクタ２１により取り付けられ、気体を
回収装置（不図示）に導びいている。
円錐形の突出部４０が設けられている。また、ガイド用
パイプ３３はタンク１の底面まで伸びており、突出部４
０により位置決めされている。液体は孔４３を経てガイ
ド用パイプ３３内に流入する。気体供給用パイプ４４の
下端には、ガイド用パイプ３３内での位置が定まるよう
にフィン３０が少くとも２個対向するように設けられて
いる。開口１３には液体２中に供給される気体の回収用
排気管２０がコネクタ２１により取り付けられ、気体を
回収装置（不図示）に導びいている。
【００１４】第４図は本考案の第３の実施例を示す構成
図である。
図である。
【００１５】バブル用の気体は、タンク１の側壁から導
びかれる気体供給パイプ５４により、ガイド用パイプ５
３の下端内に供給され、バブルを形成する。形成された
バブルはガイド用パイプ５３を通った後に、ガイド用パ
イプ５３の上端より外部に排出される。開口１３はキャ
ップ５５でシールされている。
びかれる気体供給パイプ５４により、ガイド用パイプ５
３の下端内に供給され、バブルを形成する。形成された
バブルはガイド用パイプ５３を通った後に、ガイド用パ
イプ５３の上端より外部に排出される。開口１３はキャ
ップ５５でシールされている。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、タンク内
の流体をバブルガイド用パイプ材で一定範囲内に画定
し、その中にバブルを発生させることにより、液体はバ
ブルの上昇力から逃げることが困難となり、効率よく液
体の還流すなわち攪拌が行うことができる効果がある。
の流体をバブルガイド用パイプ材で一定範囲内に画定
し、その中にバブルを発生させることにより、液体はバ
ブルの上昇力から逃げることが困難となり、効率よく液
体の還流すなわち攪拌が行うことができる効果がある。
【図１】本考案の第１の実施例を示す構成図である。
【図２】第１図の実施例の動作を説明する図である。
【図３】本考案の第２の実施例を示す構成図である。
【図４】本考案の第３の実施例を示す構成図である。
１ タンク ２ 液体 ３，３３，５３ ガイド用パイプ ４，４４，５４ 気体供給用パイプ ５，６，７，２１ コネクタ ８ ヒータ ９ 電力供給ライン １１，１２，１３ 開口 ２０ 排気管 ３０ フィン ４０ 突出部 ４１，４２，４３ 孔
Claims (9)
- 【請求項１】 液体を保持しているタンクと、前記液体
を予め定められた温度に保つ温度制御装置とからなる均
一液温維持システムにおいて、前記液体の上方から前記
液体中をタンクの底面に向って伸び、液面近くで液面下
にある外壁に孔が設けられたバブルガイド用パイプ材
と、前記タンクの底面近くで前記バブルガイド用パイプ
材で囲まれた前記液体中に気体を供給し、バブルを発生
させる気体供給装置とを有することを特徴とする均一液
温維持システム。 - 【請求項２】 バブルガイド用パイプ材の下端がタンク
の底面との間に間隙を有する請求項１に記載の均一液温
維持システム。 - 【請求項３】 バブルガイド用パイプ材は、下端がタン
クの底面に固定され、下端近くの外壁に孔が設けられた
請求項１に記載の均一液温維持システム。 - 【請求項４】 気体供給装置は、気体供給用のコンプレ
ッサと、一端がバブルガイド用パイプ材の中をバブルガ
イド用パイプ材の下端近くまで伸び、他端が前記コンプ
レッサに接続された気体供給用パイプ材とからなる請求
項２に記載の均一液温維持システム。 - 【請求項５】 気体供給装置は、気体供給用のコンプレ
ッサと、一端がバブルガイド用パイプ材の中をバブルガ
イド用パイプ材の下端外壁の孔近くまで伸び、他端が前
記コンプレッサに接続された気体供給用パイプ材とから
なる請求項３に記載の均一液温維持システム。 - 【請求項６】 バブルガイド用パイプ材と気体供給用パ
イプ材とがＰＦＡからなる請求項４または請求項５に記
載の均一液温維持システム。 - 【請求項７】 バブルガイド用パイプ材と気体供給用パ
イプ材とがステンレスパイプからなる請求項４または請
求項５に記載の均一液温維持システム。 - 【請求項８】 供給される気体が乾燥した空気である請
求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の均一液温
維持システム。 - 【請求項９】 供給される気体が窒素ガスである請求項
１ないし請求項７のいずれか１項に記載の均一液温維持
システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990405195U JP2510285Y2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 均一液温維持システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990405195U JP2510285Y2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 均一液温維持システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0491735U JPH0491735U (ja) | 1992-08-10 |
| JP2510285Y2 true JP2510285Y2 (ja) | 1996-09-11 |
Family
ID=31882676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990405195U Expired - Fee Related JP2510285Y2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 均一液温維持システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2510285Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-12-27 JP JP1990405195U patent/JP2510285Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0491735U (ja) | 1992-08-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |