JP2506518B2 - Polishing equipment - Google Patents

Polishing equipment

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JP2506518B2
JP2506518B2 JP3215727A JP21572791A JP2506518B2 JP 2506518 B2 JP2506518 B2 JP 2506518B2 JP 3215727 A JP3215727 A JP 3215727A JP 21572791 A JP21572791 A JP 21572791A JP 2506518 B2 JP2506518 B2 JP 2506518B2
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  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、被研磨材の表面を回転
研磨ヘッドによって研磨する研磨装置に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing apparatus for polishing the surface of a material to be polished with a rotary polishing head.

【0002】[0002]

【従来の技術】FRP(繊維強化合成樹脂)等の複合材
や、金属材、木材、石材等の表面を研磨する研磨装置と
して、下面において被研磨材の表面に摺接する円板状の
回転研磨ヘッドとこの研磨ヘッドを回転駆動するモータ
とを備え、被研磨材上を移動されながら研磨ヘッドによ
り被研磨材の表面を研磨するものがある。
BACKGROUND OF THE INVENTION or a composite material such as FRP (fiber reinforced plastic), metal, wood, as a polishing apparatus for polishing the surface of the stone or the like, disk-shaped for sliding contact with the surface of the object to be polished on the lower surface <br There is one that includes a rotary polishing head and a motor that rotationally drives the polishing head, and polishes the surface of the material to be polished by the polishing head while moving on the material to be polished.

【0003】この研磨装置は、塗装前のサンディング、
バフ掛け、バリ取り等の種々の研磨に使用されており、
研磨ヘッドまたはその被研磨材摺接面の研磨材(研磨布
等)は、被研磨材の材質および研磨種目に応じて交換さ
れている。
This polishing apparatus is used for sanding before coating,
It is used for various polishing such as buffing and deburring.
The polishing material (polishing cloth or the like) on the polishing head or the sliding surface of the polishing material is replaced according to the material of the polishing material and the polishing item.

【0004】この研磨装置には、手動で被研磨材上を移
動されるいわゆる手持ち工具形のものと、機械的移動手
段によって被研磨材上を移動される自動研磨機用のもの
とがあり、従来の研磨装置は、いずれのタイプのもの
も、装置本体に研磨ヘッド駆動モータを垂直に支持さ
せ、このモータの回転軸に研磨ヘッドを取付けた構成と
なっている。
This polishing apparatus is classified into a so-called hand-held tool type which is manually moved on the material to be polished and an automatic polishing machine which is moved on the material to be polished by mechanical moving means. In any of the conventional polishing apparatuses, the polishing head drive motor is vertically supported by the apparatus main body, and the polishing head is attached to the rotary shaft of this motor.

【0005】上記手持ち工具形の研磨装置は、その装置
本体に設けたハンドル部を手で把持して手動により被研
磨材上を移動されるもので、その研磨ヘッドは、装置本
体を被研磨材側に押付ける力に応じた接触圧で被研磨材
の表面に接触される。
The above-mentioned hand-held tool-type polishing apparatus is one in which a handle portion provided on the apparatus body is manually moved to be moved on a material to be polished. The surface of the material to be polished is contacted with a contact pressure corresponding to the force pressing the side.

【0006】また、上記自動研磨機用の研磨装置は、そ
の装置本体をロボット等の機械的移動手段で支持されて
この移動手段により被研磨材上を移動されるもので、こ
の研磨装置はコイルばねや油圧シリンダ等の加圧機構に
よって下方に加圧されており、被研磨材に対する研磨ヘ
ッドの接触圧は、装置本体と被研磨材との間隔を接触式
または非接触式のセンサで検出し、その検出値に応じて
上記加圧機構の押下げ力を制御することによって、所定
の圧力に維持されるようになっている。
Further, the polishing apparatus for the above-mentioned automatic polishing machine is such that the apparatus main body is supported by a mechanical moving means such as a robot and is moved on a material to be polished by this moving means. It is pressed downward by a pressure mechanism such as a spring or hydraulic cylinder.The contact pressure of the polishing head with respect to the material to be polished is detected by a contact type or non-contact type sensor that detects the gap between the main body of the equipment and the material to be polished. A predetermined pressure is maintained by controlling the pressing force of the pressurizing mechanism according to the detected value.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の研磨装置は、手持ち工具形のものも自動研磨機用の
ものも、被研磨面(被研磨材の表面)と装置本体との相
対的な姿勢の変化によって被研磨面に対する研磨ヘッド
の接触圧に偏りを生じるため、被研磨材の表面を均一に
研磨することができないという問題をもっていた。
However, in the conventional polishing apparatus described above, both of the hand-held tool type and the automatic polishing machine, the relative surface between the surface to be polished (the surface of the material to be polished) and the main body of the apparatus. There is a problem that the surface of the material to be polished cannot be uniformly polished because the contact pressure of the polishing head with respect to the surface to be polished varies due to the change in posture.

【0008】これは、手動または機械的移動手段によっ
て被研磨材上を移動される装置本体に研磨ヘッド駆動モ
ータが支持され、このモータの回転軸に研磨ヘッドが取
付けられているためである。
This is because the polishing head drive motor is supported by the main body of the apparatus that is moved on the material to be polished by manual or mechanical movement means, and the polishing head is attached to the rotary shaft of this motor.

【0009】そして、手持ち工具形の研磨装置において
は、被研磨面に対する装置本体の姿勢を常に一定に保つ
ことは難しいため、この装置本体の姿勢変化により被研
磨面に対する研磨ヘッドの接触圧が偏って、研磨ヘッド
がその片側で強く被研磨材に接触し、削り込みや食い込
みを起こして被研磨材を傷つけてしまう。
In a hand-held tool type polishing apparatus, it is difficult to always keep the posture of the apparatus main body constant with respect to the surface to be polished. Therefore, the contact pressure of the polishing head with respect to the surface to be polished is biased due to the change of the posture of the apparatus main body. As a result, the polishing head comes into strong contact with the material to be polished on one side, causing shaving and biting to damage the material to be polished.

【0010】一方、自動研磨機用の研磨装置において
は、装置本体の姿勢は常に一定に保つことができるが、
被研磨面が起伏のある面であると、この被研磨面の角度
に応じて、装置本体と被研磨面との相対的な姿勢が変化
する。
On the other hand, in a polishing apparatus for an automatic polishing machine, the posture of the apparatus main body can always be kept constant.
If the surface to be polished is an uneven surface, the relative postures of the apparatus main body and the surface to be polished change depending on the angle of the surface to be polished.

【0011】すなわち、FRP等の複合材や、金属材、
木材、石材等の被研磨面は、必ずしも平坦面ではなく、
一見しただけでは分からない程度の僅かな起伏をもった
面となっていることが多いが、これに対して研磨装置の
本体の姿勢は常に一定であるため、研磨装置が被研磨面
の起伏部分(被研磨面が水平面に対して傾斜している部
分)にきたときに、装置本体と被研磨面との相対的な姿
勢が変化する。
That is, a composite material such as FRP, a metal material,
The surface to be polished such as wood and stone is not necessarily a flat surface,
It is often a surface with slight undulations that cannot be seen at first glance, but the posture of the main body of the polishing device is always constant, so the polishing device is not When the surface to be polished reaches a portion where the surface to be polished is inclined with respect to the horizontal plane, the relative postures of the apparatus main body and the surface to be polished change.

【0012】そして、従来の研磨装置では、被研磨面に
対する装置本体の姿勢変化にともなって被研磨面に対す
る研磨ヘッドの接触圧が偏るため、研磨装置が被研磨面
の起伏部分にきたときに、研磨ヘッドがその片側で強く
被研磨材に接触して削り込みや食い込みを起こし、被研
磨材を傷つけてしまう。
In the conventional polishing apparatus, the contact pressure of the polishing head with respect to the surface to be polished is deviated as the posture of the apparatus body relative to the surface to be polished is biased. Therefore, when the polishing apparatus comes to the undulating portion of the surface to be polished, The polishing head strongly contacts the material to be polished on one side, causing shaving and biting, which damages the material to be polished.

【0013】本発明の目的は、装置本体と被研磨面との
相対的な姿勢変化にかかわらず、常に被研磨面に研磨ヘ
ッドをフラットに接触させて、被研磨材の表面を均一に
研磨することができる研磨装置を提供することにある。
An object of the present invention is to constantly flatten a surface of a material to be polished by always bringing a polishing head into flat contact with the surface to be polished irrespective of a relative posture change between the apparatus body and the surface to be polished. An object of the present invention is to provide a polishing device capable of performing the polishing.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明の研磨装置は、被
研磨材上を移動される装置本体に、両側部を前記装置本
体に軸支されて一方向に揺動する第1の揺動リングを設
け、この第1の揺動リングの内側に、その揺動軸と直交
する方向の両側部を前記第1の揺動リングに軸支されて
この第1の揺動リングの揺動方向に対して直交する方向
に揺動する第2の揺動リングを設けるとともに、前記第
2の揺動リングに、ハウジングに研磨ヘッド駆動モータ
を支持させこのモータの回転軸に円板状の研磨ヘッドを
取付けた研磨ユニットを上下方向に摺動自在に保持さ
せ、かつ前記装置本体に、前記研磨ユニットのハウジン
グをばね力によって下方に押圧して前記研磨ヘッドの下
を被研磨材に押付ける研磨ユニット押圧機構を設けた
ことを特徴とするものである。
A polishing apparatus according to the present invention is a first swinging apparatus which is moved on a material to be polished and which swings in one direction with its both sides pivotally supported by the apparatus body. A ring is provided, and inside the first swing ring, both side portions in a direction orthogonal to the swing axis are pivotally supported by the first swing ring, and the swing direction of the first swing ring. A second oscillating ring that oscillates in a direction orthogonal to is provided, and the second oscillating ring supports a polishing head drive motor on the housing, and the rotary shaft of the motor has a disk-shaped polishing head. a polishing unit fitted with a vertically slidably is held on, and the apparatus body, below the polishing head is pressed downwardly to the housing of the polishing unit by a spring force
A polishing unit pressing mechanism for pressing the surface against the material to be polished is provided.

【0015】[0015]

【作用】すなわち、本発明の研磨装置は、研磨ユニット
を、一方向に揺動する第1の揺動リングと、この第1の
揺動リングの揺動方向に対して直交する方向に揺動する
第2の揺動リングとを介して装置本体に支持させること
により、研磨ユニットを装置本体に対して全ての方向に
首振り傾動できるようにするとともに、この研磨ユニッ
トを前記第2の揺動リングに上下方向に摺動自在に保持
させて、この研磨ユニットを研磨ユニット押圧機構によ
りばね力で被研磨材に押付けさせるようにしたものであ
り、この研磨装置によれば、研磨ユニットの研磨ヘッド
が被研磨材に押付けられながらその表面を倣って姿勢を
変えるため、装置本体と被研磨面との相対的な姿勢変化
にかかわらず、常に被研磨面に研磨ヘッドをフラットに
接触させて、被研磨材の表面を均一に研磨することがで
きる。
That is, according to the polishing apparatus of the present invention, the polishing unit swings in the direction orthogonal to the swinging direction of the first swinging ring swinging in one direction and the swinging direction of the first swinging ring. The polishing unit is supported by the apparatus main body via the second swinging ring to allow the polishing unit to swing and tilt in all directions with respect to the apparatus main body. The ring is slidably held in the vertical direction, and the polishing unit pressing mechanism presses the polishing unit against the material to be polished with a spring force. According to this polishing apparatus, the polishing head of the polishing unit is used. While pressing against the material to be polished, it changes its posture by following its surface.Therefore, the polishing head is always brought into flat contact with the surface to be polished, regardless of the relative change in posture between the main body of the device and the surface to be polished. Research It can be uniformly polish the surface of the wood.

【0016】[0016]

【実施例】以下、本発明の一実施例を、自動研磨機用の
研磨装置について図面を参照し説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings regarding a polishing apparatus for an automatic polishing machine.

【0017】まず、自動研磨機の構成を説明すると、図
7は自動研磨機の斜視図であり、この自動研磨機は、被
研磨材載置台1と、この載置台1に沿わせて敷設した軌
道2上を走行するロボット3とで構成されている。この
ロボット3は、汎用工作ロボットであり、研磨装置10
は、このロボット3のアーム3a先端の手首部3bに取
付けられている。
First, the structure of the automatic polishing machine will be described. FIG. 7 is a perspective view of the automatic polishing machine. The automatic polishing machine is laid along with a work piece mounting base 1 and the mounting base 1. It is composed of a robot 3 traveling on a track 2. The robot 3 is a general-purpose work robot, and includes a polishing device 10
Is attached to the wrist 3b at the tip of the arm 3a of the robot 3.

【0018】この自動研磨機は、載置台1の上に被研磨
材Aをその被研磨面を上に向けて載置し、上記ロボット
3のアーム3aを所定高さに下降させてその先端の研磨
装置10を被研磨材Aの表面(被研磨面)に当接させた
後、アーム3aの前後動により研磨装置10を被研磨材
Aの幅方向に走査移動させるとともに、ロボット3の走
行移動により研磨装置10を被研磨材Aの長さ方向に移
動させながら、被研磨材Aの表面全体を研磨装置10に
よって研磨するもので、研磨装置10は、ロボット3に
その手首部3bの移動軌跡および姿勢を予め教え込んで
おくことにより、常にほぼ一定の姿勢(この実施例では
ほぼ垂直な姿勢)に保持されながら被研磨材A上を移動
される。
In this automatic polishing machine, the material A to be polished is placed on the mounting table 1 with the surface to be polished facing upward, and the arm 3a of the robot 3 is lowered to a predetermined height and the tip of the arm 3a is lowered. After the polishing apparatus 10 is brought into contact with the surface (surface to be polished) of the material A to be polished, the polishing apparatus 10 is scanned and moved in the width direction of the material A to be polished by the forward and backward movement of the arm 3a, and the traveling movement of the robot 3 is performed. The polishing apparatus 10 is used to polish the entire surface of the material to be polished A by the polishing apparatus 10 while moving the polishing apparatus 10 in the length direction of the material to be polished A. The polishing apparatus 10 causes the robot 3 to move the locus of its wrist 3b. By preliminarily teaching the posture and the posture, the workpiece A is moved while being kept in a substantially constant posture (a substantially vertical posture in this embodiment).

【0019】なお、図7に示した被研磨材Aは、航空機
の尾翼に用いるフラップ材であり、このフラップ材は、
カーボン繊維またはアラミド繊維等を用いたFRPまた
は、超ジュラルミン、超塑性アルミニウム合金等の軽金
属からなっている。
The material A to be polished shown in FIG. 7 is a flap material used for the tail of an aircraft, and this flap material is
It is made of FRP using carbon fiber or aramid fiber or the like, or light metal such as super duralumin or superplastic aluminum alloy.

【0020】次に、上記研磨装置10の構成を説明す
る。図1〜図6は研磨装置10の構成を示しており、図
1は縦断正面図、図2は正面図、図3は底面図、図4は
図2のIV−IVに沿う断面図、図5は図2のV−Vに沿う
断面図であり、図6は研磨ユニットが一方向に首振り傾
動した状態の正面図である。
Next, the structure of the polishing apparatus 10 will be described. 1 to 6 show the structure of a polishing apparatus 10. FIG. 1 is a vertical front view, FIG. 2 is a front view, FIG. 3 is a bottom view, and FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV of FIG. 5 is a sectional view taken along line VV of FIG. 2, and FIG. 6 is a front view of the polishing unit in a state in which the polishing unit is tilted in one direction.

【0021】この実施例の研磨装置10は、図7に示し
たロボット3のアーム3aに支持されてこのロボット3
により被研磨材A上を移動される装置本体11と、この
装置本体11の下部に一方向に揺動自在に設けられた第
1の揺動リング12と、この第1の揺動リング12の内
側にその揺動方向に対して直交する方向に揺動自在に設
けられた第2の揺動リング14と、この第2の揺動リン
グ14内に上下方向に摺動自在に保持された研磨ユニッ
ト16と、この研磨ユニット16を下方に押圧する研磨
ユニット押圧機構25とからなっている。
The polishing apparatus 10 of this embodiment is supported by the arm 3a of the robot 3 shown in FIG.
The device main body 11 which is moved on the material A to be polished by the above, the first swing ring 12 which is swingably provided in the lower part of the device main body 11 in one direction, and the first swing ring 12 A second swing ring 14 provided inside so as to be swingable in a direction orthogonal to the swing direction, and a polishing member held in the second swing ring 14 so as to be vertically slidable. It comprises a unit 16 and a polishing unit pressing mechanism 25 for pressing the polishing unit 16 downward.

【0022】上記装置本体11は、上記ロボット3のア
ーム3aの先端のアタッチメント4に取付けられる上面
板11aと、この上面板11aの外周部から下方に向け
て立設された複数本(図では4本)の支柱11bと、こ
の各支柱11bの下端部に外周部を固定して上面板11
aと平行に設けられた円形のリング部材11cとからな
っている。
The apparatus main body 11 includes a top plate 11a attached to the attachment 4 at the tip of the arm 3a of the robot 3 and a plurality of upper plates 11a standing downward from the outer periphery of the top plate 11a (4 in the figure). Book) columns 11b, and the outer peripheral portion is fixed to the lower ends of the columns 11b to fix the top plate 11b.
It is composed of a circular ring member 11c provided in parallel with a.

【0023】上記第1の揺動リング(以下第1揺動リン
グという)12は、装置本体11の下端部のリング部材
11cより若干小径の円形リングであり、この第1揺動
リング12は、その両側部をそれぞれ装置本体11のリ
ング部材11cに水平な支軸13により軸支されて、前
記支軸13の軸線を揺動軸x(図3参照)xとして上下
に揺動自在に設けられている。
The first oscillating ring (hereinafter referred to as the first oscillating ring) 12 is a circular ring having a diameter slightly smaller than the ring member 11c at the lower end of the apparatus main body 11, and the first oscillating ring 12 is Both sides thereof are respectively supported by a horizontal support shaft 13 on a ring member 11c of the apparatus main body 11, and the support shaft 13 is provided to be swingable up and down with a swing axis x (see FIG. 3) as an axis. ing.

【0024】また、第2の揺動リング(以下第2揺動リ
ングという)14は、上記第1揺動リング12より若干
小径の円形リングであり、この第2揺動リング14は、
第1揺動リング12の揺動軸xに対して直交する方向の
両側部をそれぞれ水平な支軸15により第1揺動リング
12に軸支されて、前記支軸15の軸線を揺動軸y(図
3参照)として上下に揺動自在に設けられている。
The second swing ring (hereinafter referred to as the second swing ring) 14 is a circular ring having a diameter slightly smaller than that of the first swing ring 12, and the second swing ring 14 is
Both side portions of the first swing ring 12 in the direction orthogonal to the swing axis x are pivotally supported by the first swing ring 12 by horizontal support shafts 15, respectively, and the axis line of the support shaft 15 is set as the swing shaft. y (see FIG. 3) is provided so as to be vertically swingable.

【0025】一方、研磨ユニット16は、ハウジング1
7と、このハウジング17内に設けられた研磨ヘッド駆
動モータ18と、このモータ18の回転軸18aの下端
に取付けられた回転研磨ヘッド20とで構成されてお
り、研磨ヘッド20の下面(被研磨材摺接面)は、ハウ
ジング17の下端より若干下方に突出している。
On the other hand, the polishing unit 16 includes the housing 1
7, a polishing head drive motor 18 provided in the housing 17, and a rotary polishing head 20 attached to the lower end of a rotary shaft 18a of the motor 18, and the lower surface of the polishing head 20 (to be polished). The material sliding contact surface) projects slightly below the lower end of the housing 17.

【0026】上記ハウジング17は、上記第2揺動リン
グ14内に上下方向に摺動自在に嵌合される円筒状のベ
ース部材17aと、このベース部材17aの上に設けら
れたモータカバー17bとからなっており、ベース部材
17aは、研磨ユニット16にある程度の重量をもたせ
るため、厚肉の金属で形成されている。
The housing 17 has a cylindrical base member 17a fitted in the second swing ring 14 so as to be vertically slidable, and a motor cover 17b provided on the base member 17a. The base member 17a is made of thick metal so that the polishing unit 16 has a certain weight.

【0027】そして、研磨ヘッド駆動モータ18は、そ
の回転軸(以下モータ軸という)18aを上記ベース部
材17a内に挿入してベース部材17aの上に垂直に固
定支持されており、モータ軸18aの下端には、その回
転を安定させるためのフライホイール19が固定されて
いる。
The polishing head drive motor 18 has its rotary shaft (hereinafter referred to as motor shaft) 18a inserted into the base member 17a and is vertically fixed and supported on the base member 17a. A flywheel 19 for stabilizing the rotation is fixed to the lower end.

【0028】また、上記回転研磨ヘッド20は、円板状
の回転板からなっており、その下面つまり被研磨材摺接
面には、研磨布21が粘着テープ等によって交換可能に
取付けられている。
Further, the rotary polishing head 20 is composed of a disk-shaped rotary plate, and a polishing cloth 21 is replaceably attached to the lower surface thereof, that is, the sliding contact surface of the material to be polished, with an adhesive tape or the like. .

【0029】この研磨ヘッド20は、その上面の中心に
垂直に突設した軸20aを上記フライホイール19にそ
の回転中心(モータ軸18aの中心)から偏心させて固
定して、このフライホイール19を介してモータ軸18
aに取付けられており、モータ18により回転駆動され
て、モータ軸18aに対して偏心回転する。すなわち、
図3において、Mはモータ軸18aの中心、Hは研磨ヘ
ッド20の中心を示しており、研磨ヘッド20は、モー
タ軸中心Mを回転中心として、図に一点鎖線で示した軌
跡(モータ軸中心Mと研磨ヘッド中心Hとの間の距離を
半径とする円軌跡)で公転しながら自転する。
In the polishing head 20, a shaft 20a vertically projecting from the center of the upper surface of the polishing head 20 is eccentrically fixed to the flywheel 19 from its rotation center (center of the motor shaft 18a), and the flywheel 19 is fixed. Through the motor shaft 18
It is attached to a and is rotatably driven by the motor 18 to rotate eccentrically with respect to the motor shaft 18a. That is,
In FIG. 3, M indicates the center of the motor shaft 18a, and H indicates the center of the polishing head 20. The polishing head 20 has the locus indicated by the alternate long and short dash line (motor shaft center) with the motor shaft center M as the rotation center. It rotates while revolving around a circular locus whose radius is the distance between M and the center H of the polishing head.

【0030】また、上記研磨ヘッド20にはその下面か
ら上面に貫通する複数の吸塵孔22が設けられ、上記ハ
ウジング17にはそのベース部材17a内の空気を排気
するための排気路23が設けられており、この排気路2
3には吸塵ホース24が接続されている。この吸塵ホー
ス24は図示しない収塵機に接続されており、研磨ヘッ
ド20による被研磨材Aの研磨時に発生する粉塵は、図
4に矢印で示すように、研磨ヘッド20に設けた吸塵孔
22および研磨ヘッド20の周囲からベース部材17a
内に吸込まれ、吸塵ホース24を通して収塵機に収塵さ
れる。
Further, the polishing head 20 is provided with a plurality of dust suction holes 22 penetrating from the lower surface to the upper surface thereof, and the housing 17 is provided with an exhaust passage 23 for exhausting the air in the base member 17a. And this exhaust path 2
A dust suction hose 24 is connected to 3. The dust suction hose 24 is connected to a dust collector (not shown), and dust generated during polishing of the material A to be polished by the polishing head 20 causes dust collection holes 22 provided in the polishing head 20 as shown by arrows in FIG. And around the polishing head 20 from the base member 17a
It is sucked in and is collected by the dust collector through the dust suction hose 24.

【0031】そして、上記研磨ユニット16は、そのハ
ウジング17のベース部材17aを上記第2揺動リング
14に嵌合させて、この第2揺動リング14に上下方向
に摺動自在に保持されており、この研磨ユニット16
は、第2揺動リング14と一体に揺動するとともに、上
記第1揺動リング12の揺動方向(第2揺動リング14
の揺動方向と直交する方向)にも揺動する。
In the polishing unit 16, the base member 17a of the housing 17 is fitted to the second swing ring 14, and the second swing ring 14 is held slidably in the vertical direction. This polishing unit 16
Swings together with the second swing ring 14 and moves in the swing direction of the first swing ring 12 (the second swing ring 14).
(Orthogonal to the swinging direction of)).

【0032】すなわち、研磨ユニット16は、装置本体
11に対する第1揺動リング12の揺動と、この第1揺
動リング12に対する第2揺動リングの揺動とにより、
この2つの揺動リング12,14の揺動軸x,yの交点
を中心として全ての方向に首振り傾動する。
That is, in the polishing unit 16, the swing of the first swing ring 12 with respect to the apparatus main body 11 and the swing of the second swing ring with respect to the first swing ring 12 cause
The oscillating axes x and y of the two oscillating rings 12 and 14 swing and tilt in all directions around the intersection.

【0033】また、上記モータ軸18aの中心Mは、図
3に示したように、上記2つの揺動リング12,14の
揺動軸x,yの交点上にあり、したがって研磨ヘッド2
0は、研磨ユニット16の傾動中心を中心として回転す
る。
Further, as shown in FIG. 3, the center M of the motor shaft 18a is on the intersection of the rocking axes x and y of the two rocking rings 12 and 14, and therefore the polishing head 2
0 rotates around the tilt center of the polishing unit 16.

【0034】上記研磨ヘッド20は、装置本体11の上
面板11aの下に設けた研磨ユニット押圧機構25によ
り、一定の押圧力で被研磨材Aに押付けられるようにな
っている。
The polishing head 20 is pressed against the material to be polished A with a constant pressing force by the polishing unit pressing mechanism 25 provided under the top plate 11a of the apparatus main body 11.

【0035】この研磨ユニット押圧機構25は、研磨ユ
ニット16のハウジング17をばね力によって下方に押
圧するもので、この研磨ユニット押圧機構25は、図1
および図5に示すように、装置本体11の上面板11a
に沿って全ての方向に平行移動する円板状のスライドプ
レート26の下に、2本の定荷重ばね27を互いに直交
させて十文字状に設けた構成となっている。
The polishing unit pressing mechanism 25 presses the housing 17 of the polishing unit 16 downward by a spring force. The polishing unit pressing mechanism 25 is shown in FIG.
As shown in FIG. 5 and FIG.
Two constant force springs 27 are provided in a cross shape under the disc-shaped slide plate 26 that moves in parallel in all directions along the direction.

【0036】上記定荷重ばね27は、両側縁部を全長に
わたって一面側に湾曲させた、一定のばね力で渦巻状に
巻き締まる性質をもつ帯板ばねであり、各定荷重ばね2
7はそれぞれ、その両端側をスライドプレート26の外
周部の下に配設した一対のフランジ付きばね巻き軸28
に巻付かせて、この両ばね巻き軸28間に一定のばね力
で張られている。
The constant load spring 27 is a strip plate spring having both side edges curved toward the one side over the entire length and having a property of being spirally wound with a constant spring force.
7 are a pair of flanged spring-wound shafts 28 whose both ends are arranged below the outer periphery of the slide plate 26.
And is stretched by a constant spring force between the two spring winding shafts 28.

【0037】また、スライドプレート26には、その中
心部に、後述する押圧機構支持プレート31の軸部31
aよりも十分大径な円形孔26aが穿設されるととも
に、この円形孔26aを囲んで、少なくとも4個以上
(図5では8個)のベアリング29が等間隔に配設され
ている。このベアリング29は、ベース部材にボールを
回転自在に保持させたもので、各ベアリング29は、そ
のボールがスライドプレート26の上面より僅かに突出
する状態でベース部材をスライドプレート26に固定さ
れている。
Further, the slide plate 26 has a shaft portion 31 of a pressing mechanism supporting plate 31 described later at the center thereof.
A circular hole 26a having a diameter sufficiently larger than a is bored, and at least four bearings 29 (eight in FIG. 5) are arranged at equal intervals surrounding the circular hole 26a. The bearing 29 is a base member rotatably holding a ball, and each bearing 29 has the base member fixed to the slide plate 26 with the ball slightly protruding from the upper surface of the slide plate 26. .

【0038】一方、装置本体11の上面板11aの下面
には、スライドプレート26の移動を案内するガイドプ
レート30が固定されており、このガイドプレート30
の下には、押圧機構支持プレート31がガイドプレート
30と平行に設けられている。この押圧機構支持プレー
ト31は、その上面の中心に突設した軸部31aをガイ
ドプレート30の中心に固定してガイドプレート30に
支持されている。
On the other hand, a guide plate 30 for guiding the movement of the slide plate 26 is fixed to the lower surface of the upper surface plate 11a of the apparatus main body 11, and this guide plate 30 is fixed.
A pressing mechanism support plate 31 is provided under the and parallel to the guide plate 30. The pressing mechanism support plate 31 is supported by the guide plate 30 by fixing a shaft portion 31 a protruding at the center of the upper surface thereof to the center of the guide plate 30.

【0039】そして、上記研磨ユニット押圧機構25の
スライドプレート26は、上記ガイドプレート30と押
圧機構支持プレート31との間に、極く僅かな間隙を存
して挟持されており、このスライドプレート26の下に
設けられた2本の定荷重ばね27は、両方のばね27が
上下に重なり合う交差部において、上記研磨ユニット1
6のハウジング17の頂部(モータカバー17bの頂
部)中央に形成したばね受け面32に当接している。
The slide plate 26 of the polishing unit pressing mechanism 25 is sandwiched between the guide plate 30 and the pressing mechanism supporting plate 31 with a very small gap therebetween. The two constant force springs 27 provided below the polishing unit 1 are provided at the intersection where both springs 27 vertically overlap.
6 is in contact with a spring bearing surface 32 formed at the center of the top of the housing 17 (top of the motor cover 17b).

【0040】このばね受け面32は、上記定荷重ばね2
7の幅より若干広幅の正方形面とされており、このばね
受け面32には、各定荷重ばね27を横ずれしないよう
に保持するばね受け溝が十文字状に形成されている。
The spring bearing surface 32 is the constant load spring 2 described above.
7 is a square surface slightly wider than the width of 7, and spring receiving grooves for holding the constant force springs 27 so as not to laterally shift are formed in a cross shape on the spring receiving surface 32.

【0041】上記ハウジング頂部のばね受け面32は、
研磨ユニット押圧機構25のばね巻き軸28に巻き付い
ている定荷重ばね27の引出し位置よりも十分高い位置
にあり、定荷重ばね27は、一対のばね巻き軸28間で
山形に屈曲してその中間部(山形の頂部)において上記
ばね受け面32に当接し、ばね巻き軸28に巻き付こう
とする力(一定力)によって、研磨ユニット16のハウ
ジング17を下方に押圧している。
The spring bearing surface 32 at the top of the housing is
It is at a position sufficiently higher than the withdrawal position of the constant load spring 27 wound around the spring winding shaft 28 of the polishing unit pressing mechanism 25, and the constant load spring 27 is bent in a mountain shape between the pair of spring winding shafts 28 and the middle thereof. The housing 17 of the polishing unit 16 is pressed downward by a force (constant force) that abuts on the spring receiving surface 32 at the portion (the top of the chevron) and tries to wind the spring winding shaft 28.

【0042】また、上記研磨ユニット押圧機構25のス
ライドプレート26は、上記定荷重ばね27が研磨ユニ
ット16のハウジング17で下方から受けられているこ
とにより、この定荷重ばね27のばね力(ばね巻き軸2
8に巻き付こうとする力)によって上方に押圧されてお
り、したがって上記スライドプレート26は、その下面
側の押圧機構支持プレート31からは離間され、上面側
のガイドプレート30にベアリング29を介して当接し
て、このガイドプレート30面を極く僅かな移動抵抗で
全方向に移動する。
The slide plate 26 of the polishing unit pressing mechanism 25 receives the constant force spring 27 from below by the housing 17 of the polishing unit 16 so that the spring force (spring winding) of the constant force spring 27 is increased. Axis 2
8 is pressed upward by the force of trying to wrap around 8 and therefore the slide plate 26 is separated from the pressing mechanism support plate 31 on the lower surface side thereof, and is guided by the guide plate 30 on the upper surface side via the bearing 29. It abuts and moves in all directions on the surface of the guide plate 30 with very little movement resistance.

【0043】そして、研磨ユニット押圧機構25は、第
1揺動リング12の揺動軸xと第2揺動リング14の揺
動軸yとの交点を中心として首振り傾動する研磨ユニッ
ト16の傾動にともなって、この研磨ユニット16の傾
動方向に横移動する。
Then, the polishing unit pressing mechanism 25 swings the polishing unit 16 about the intersection of the swing axis x of the first swing ring 12 and the swing axis y of the second swing ring 14 to tilt the polishing unit 16. Accordingly, the polishing unit 16 moves laterally in the tilting direction.

【0044】すなわち、図6は研磨ユニット16が一方
向に首振り傾動した状態を示しており、例えば研磨ユニ
ット16が矢印a方向に傾動すると、そのハウジング1
7の頂部のばね受け面32が研磨ユニット16の傾動方
向に傾きながら変位し、このばね受け面32に当接して
いる定荷重ばね27が横方向に押されて、この定荷重ば
ね27を介して研磨ユニット押圧機構25が矢印b方向
に移動する。
That is, FIG. 6 shows a state in which the polishing unit 16 is tilted and tilted in one direction. For example, when the polishing unit 16 is tilted in the direction of arrow a, its housing 1
The spring bearing surface 32 at the top of 7 is displaced while inclining in the tilting direction of the polishing unit 16, and the constant force spring 27 abutting on this spring bearing surface 32 is pushed in the lateral direction, and the constant force spring 27 is interposed. The polishing unit pressing mechanism 25 moves in the direction of arrow b.

【0045】なお、この場合、研磨ユニット16の傾動
によりそのハウジング頂部のばね受け面32が傾いて
も、このばね受け面32の傾き方向に沿う定荷重ばね2
7は、ばね受け面32の傾きに応じて角度を変えるだけ
で、常にフラットにばね受け面32に当接するし、ま
た、ばね受け面32の傾き方向と交差する方向の定荷重
ばね27は、ばね受け面32の傾きに応じて幅方向に捩
じれ変形して、常にフラットにばね受け面32に当接す
る。これは、ばね受け面32が両方の定荷重ばね27の
長さ方向に対して斜めに交差する方向に傾いた場合も同
様であり、その場合は両方の定荷重ばね27が幅方向に
捩じれ変形して、常にフラットにばね受け面32に当接
する。
In this case, even if the spring bearing surface 32 at the top of the housing tilts due to the tilting of the polishing unit 16, the constant force spring 2 along the tilt direction of the spring bearing surface 32.
7 always comes into flat contact with the spring bearing surface 32 only by changing the angle according to the inclination of the spring bearing surface 32, and the constant force spring 27 in the direction intersecting the tilt direction of the spring bearing surface 32 is The spring bearing surface 32 is twisted and deformed in the width direction according to the inclination of the spring bearing surface 32, and always comes into flat contact with the spring bearing surface 32. This is also the case when the spring bearing surface 32 is tilted in a direction that obliquely intersects the length directions of both constant load springs 27, in which case both constant load springs 27 are twisted and deformed in the width direction. Then, the spring bearing surface 32 is always flatly contacted.

【0046】次に、上記構成の研磨装置10による被研
磨材Aの研磨について説明すると、この研磨装置10
は、図7に示したロボット3のアーム3aに支持されて
被研磨材Aの表面(被研磨面)に当接され、常に一定の
姿勢(被研磨材Aの表面に対して垂直に当接する姿勢)
を保ちながら被研磨材A上をその幅方向および長さ方向
に移動される。
Next, the polishing of the material A to be polished by the polishing apparatus 10 having the above structure will be described.
Are supported by the arm 3a of the robot 3 shown in FIG. 7 and abutted on the surface (surface to be polished) of the material A to be polished, and always in a fixed posture (abutting perpendicularly to the surface of the material A to be polished). posture)
While being maintained, the material to be polished A is moved in the width direction and the length direction.

【0047】そして、被研磨材Aの研磨は、研磨ヘッド
駆動モータ18を駆動して円板状の研磨ヘッド20を高
速で回転させ、この研磨ヘッド20の下面を被研磨材A
に一定の接触圧で摺接させて行なわれる。
Then, in polishing the material A to be polished, the polishing head drive motor 18 is driven to rotate the disk-shaped polishing head 20 at a high speed, and the lower surface of the polishing head 20 is attached to the material A to be polished.
It is carried out by making a sliding contact with a constant contact pressure.

【0048】この研磨ヘッド20の被研磨材Aに対する
接触圧は、研磨ユニット16の自重と、研磨ユニット押
圧機構16による研磨ユニット16の押圧力とで与えら
れ、研磨ユニット16の自重(ハウジング17とモータ
18および研磨ヘッド20の自重)は一定であり、また
研磨ユニット押圧機構16も定荷重ばね27により常に
一定の押圧力で研磨ユニット16のハウジング17を押
圧するため、研磨ヘッド20は常に一定の接触圧で被研
磨材Aに摺接する。
The contact pressure of the polishing head 20 against the material A to be polished is given by the own weight of the polishing unit 16 and the pressing force of the polishing unit 16 by the polishing unit pressing mechanism 16, and the own weight of the polishing unit 16 (with the housing 17). The self-weight of the motor 18 and the polishing head 20 is constant, and the polishing unit pressing mechanism 16 also always presses the housing 17 of the polishing unit 16 with a constant pressing force by the constant force spring 27, so that the polishing head 20 is always constant. The material A to be polished is brought into sliding contact with the contact pressure.

【0049】なお、上記定荷重ばね27による研磨ユニ
ット16の押圧反力、つまり装置本体11に作用する押
上力は、被研磨材Aの表面に対する角度および高さが常
に一定になるように制御されるロボット3のアーム3a
によって受けられる。
The pressing reaction force of the polishing unit 16 by the constant force spring 27, that is, the pushing force acting on the apparatus main body 11, is controlled so that the angle and height with respect to the surface of the material A to be polished are always constant. Robot 3 arm 3a
Received by.

【0050】そして、上記研磨装置10においては、そ
の研磨ユニット16を、一方向に揺動する第1揺動リン
グ12と、この第1揺動リング12の揺動方向に対して
直交する方向に揺動する第2揺動リング14とを介して
装置本体11に支持させることにより、研磨ユニット1
6を装置本体11に対して全ての方向に首振り傾動でき
るようにするとともに、この研磨ユニット16を前記第
2揺動リング14に上下方向に摺動自在に保持させて、
この研磨ユニット16を研磨ユニット押圧機構25によ
り一定の押圧力で被研磨材Aに押付けさせるようにして
いるため、装置本体11と被研磨面との相対的な姿勢変
化にかかわらず、常に被研磨面に研磨ヘッド20をフラ
ットにかつ一定の接触圧で接触させて、被研磨材の表面
を均一に研磨することができる。
Then, in the polishing apparatus 10, the polishing unit 16 is moved in a direction orthogonal to the first swing ring 12 swinging in one direction and the swing direction of the first swing ring 12. The polishing unit 1 is supported by being supported by the apparatus main body 11 via the swinging second swing ring 14.
6 is allowed to swing and tilt with respect to the apparatus main body 11 in all directions, and the polishing unit 16 is held by the second swing ring 14 so as to be vertically slidable,
Since the polishing unit pressing mechanism 25 presses the polishing unit 16 against the material A to be polished with a constant pressing force, the polishing unit 16 is always pressed regardless of the relative posture change between the apparatus body 11 and the surface to be polished. The surface of the material to be polished can be uniformly polished by bringing the polishing head 20 into flat contact with the surface at a constant contact pressure.

【0051】すなわち、図7に示した自動研磨機におい
ては、前述したように、研磨装置10の本体11がロボ
ット3のアーム3aに支持されて常に一定の姿勢を保ち
ながら被研磨材A上を移動されるため、被研磨材Aの表
面、つまり被研磨面が起伏をもった面であると、研磨装
置10が被研磨面の起伏部分(被研磨面が水平面に対し
て傾斜している部分)にきたときに、装置本体11と被
研磨面との相対的な姿勢が変化する。
That is, in the automatic polishing machine shown in FIG. 7, as described above, the main body 11 of the polishing apparatus 10 is supported by the arm 3a of the robot 3 and is kept on the workpiece A while always maintaining a constant posture. If the surface of the material to be polished A, that is, the surface to be polished is an uneven surface, the polishing apparatus 10 causes the polishing device 10 to have an uneven portion of the surface to be polished (a portion where the surface to be polished is inclined with respect to a horizontal plane). 2), the relative postures of the apparatus main body 11 and the surface to be polished change.

【0052】しかし、上記研磨装置10においては、研
磨ユニット16が装置本体11に対して全ての方向に首
振り傾動するため、研磨装置10が被研磨面の起伏部分
にきたときに、研磨ユニット16の研磨ヘッド20が被
研磨材Aに一定の押圧力で押付けられながらその表面を
倣って図6に示したように姿勢を変えるから、被研磨面
の起伏部分も均一に研磨することができる。
However, in the polishing apparatus 10, since the polishing unit 16 swings and tilts in all directions with respect to the apparatus main body 11, when the polishing apparatus 10 reaches the undulating portion of the surface to be polished, the polishing unit 16 is rotated. Since the polishing head 20 is pressed against the material A to be polished with a constant pressing force and its posture is changed as shown in FIG. 6 by following the surface of the material A, the undulating portion of the surface to be polished can be uniformly polished.

【0053】なお、この場合、研磨ユニット押圧機構2
5が常に定位置にあると、研磨ユニット16のハウジン
グ17を押圧している定荷重ばね27が研磨ユニット1
6の傾動を抑制するように作用するため、被研磨面に対
する研磨ヘッド20の倣い性が悪くなるが、上記実施例
では、上記研磨ユニット押圧機構25を、研磨ユニット
16の傾動にともなってこの研磨ユニット16の傾動方
向に横移動するように設けているから、研磨ユニット押
圧機構25が研磨ユニット16の傾動に対して抵抗とな
ることはなく、したがって、被研磨面に対して研磨ヘッ
ド20を良好に倣わせることができる。
In this case, the polishing unit pressing mechanism 2
When 5 is always in a fixed position, the constant force spring 27 pressing the housing 17 of the polishing unit 16 causes the polishing unit 1 to move.
Since the tilting of No. 6 acts to suppress the tilting of the polishing head 20 with respect to the surface to be polished, in the above embodiment, the polishing unit pressing mechanism 25 moves the polishing unit 16 together with the tilting of the polishing unit 16. Since the polishing unit pressing mechanism 25 is provided so as to move laterally in the tilting direction of the unit 16, the polishing unit pressing mechanism 25 does not resist the tilting of the polishing unit 16, and therefore the polishing head 20 can be favorably attached to the surface to be polished. Can be imitated.

【0054】また、上記研磨ヘッド20は、研磨ヘッド
駆動モータ18のモータ軸18aに対して偏心回転する
ため、この研磨ヘッド20の偏心回転により研磨ユニッ
ト16がその傾動中心(第1揺動リング12の揺動軸x
と第2揺動リング14の揺動軸yとの交点)を中心とし
て横方向に首振り振動するが、上記実施例では、研磨ユ
ニット16のハウジング17をその下部(ベース部材1
7a)において第2揺動リング14および第1揺動リン
グ12を介して装置本体11に支持させているため、研
磨ヘッド20から研磨ユニット16の傾動中心までの距
離は小さく、したがって、研磨ヘッド20の偏心回転に
よる研磨ユニット16の首振り振動を小さくすることが
できる。
Further, since the polishing head 20 is eccentrically rotated with respect to the motor shaft 18a of the polishing head drive motor 18, the eccentric rotation of the polishing head 20 causes the polishing unit 16 to tilt its center (first swing ring 12). Swing axis x
And a swinging axis y of the second swinging ring 14) as the center of the swinging vibration in the lateral direction. In the above-described embodiment, the housing 17 of the polishing unit 16 has its lower portion (the base member 1).
7a), the distance from the polishing head 20 to the tilt center of the polishing unit 16 is small because it is supported by the apparatus main body 11 via the second swing ring 14 and the first swing ring 12, and therefore the polishing head 20 The swing vibration of the polishing unit 16 due to the eccentric rotation can be reduced.

【0055】すなわち、研磨ヘッド20の偏心回転によ
る研磨ユニット16の首振り振動の大きさ(振幅)は、
研磨ヘッド20の偏心回転によって研磨ユニット16に
生ずるモーメントの大きさに対応するが、このモーメン
トは、研磨ヘッド20から研磨ユニット16の傾動中心
までの距離に比例するため、この距離を小さくすれば、
研磨ヘッド20の偏心回転による研磨ユニット16の首
振り振動を小さくすることができる。
That is, the magnitude (amplitude) of the swing vibration of the polishing unit 16 due to the eccentric rotation of the polishing head 20 is
The moment corresponds to the magnitude of the moment generated in the polishing unit 16 by the eccentric rotation of the polishing head 20, and this moment is proportional to the distance from the polishing head 20 to the tilt center of the polishing unit 16. Therefore, if this distance is reduced,
The swing vibration of the polishing unit 16 due to the eccentric rotation of the polishing head 20 can be reduced.

【0056】そして、研磨ヘッド20の偏心回転によっ
て研磨ユニット16が首振り振動すると、研磨ヘッド2
0も上下に首振り振動して被研磨面に対する接触圧に偏
りが発生するが、上記研磨ユニット16の首振り振動が
小さければ、研磨ヘッド20の振動も小さくなるため、
被研磨面に対する接触圧の偏りをほとんどなくして、被
研磨面に対する研磨ヘッド20の倣い性をさらに良くす
ることができる。
When the polishing unit 16 swings and vibrates due to the eccentric rotation of the polishing head 20, the polishing head 2
0 also vibrates up and down to cause a bias in the contact pressure with respect to the surface to be polished. If the vibration of the polishing unit 16 is small, the vibration of the polishing head 20 is also small.
The unevenness of the contact pressure with respect to the surface to be polished can be almost eliminated, and the following property of the polishing head 20 with respect to the surface to be polished can be further improved.

【0057】なお、上記研磨装置における研磨ヘッド2
0の偏心回転によって生ずる被研磨面への研磨ヘッド接
触圧の偏りは、研磨ヘッド20から研磨ユニット16の
傾動中心までの距離がある程度大きくても、従来の研磨
装置において生じている被研磨面と装置本体との相対的
な姿勢の変化による研磨ヘッド接触圧に偏りに比べれば
極く僅かであり、したがって、研磨ユニット16の傾動
中心は上記実施例より高い位置にあってもよい。
The polishing head 2 in the above polishing apparatus
Even if the distance from the polishing head 20 to the tilt center of the polishing unit 16 is large to some extent, the bias of the polishing head contact pressure on the surface to be polished caused by the eccentric rotation of 0 is different from that of the surface to be polished in the conventional polishing apparatus. The contact pressure of the polishing head due to the change of the relative posture with respect to the apparatus main body is extremely small compared with the bias, and therefore, the tilt center of the polishing unit 16 may be located at a position higher than that in the above embodiment.

【0058】また、上記実施例では、研磨ユニット押圧
機構25を、定荷重ばね27によって研磨ユニット16
のハウジング17を押圧するものとしているが、この研
磨ユニット押圧機構には、例えばコイルばね等の他のば
ねを用いてもよい。
Further, in the above embodiment, the polishing unit pressing mechanism 25 is configured so that the constant load spring 27 causes the polishing unit 16 to move.
However, other springs such as a coil spring may be used for the polishing unit pressing mechanism.

【0059】さらに、上記実施例では、研磨ユニット押
圧機構25が研磨ユニット16の傾動に対して抵抗とな
らないように、研磨ユニット押圧機構25を研磨ユニッ
ト16の傾動にともなって横移動するように設けている
が、研磨ユニット16の押圧ばねに自由に曲り変形する
コイルばねを用いるか、あるいは研磨ユニット16のハ
ウジング17を研磨ユニット押圧機構に対して摺動自在
に摺接させれば、研磨ユニット押圧機構を横移動させな
くても、この研磨ユニットが押圧機構研磨ユニット16
の傾動に対して抵抗となることはない。
Further, in the above embodiment, the polishing unit pressing mechanism 25 is provided so as to move laterally with the tilting of the polishing unit 16 so that the polishing unit pressing mechanism 25 does not resist the tilting of the polishing unit 16. However, if a coil spring that bends and deforms freely is used as the pressing spring of the polishing unit 16 or if the housing 17 of the polishing unit 16 is slidably slidably contacted with the polishing unit pressing mechanism, the polishing unit pressing force is increased. Even if the mechanism is not moved laterally, this polishing unit is used as the pressing mechanism polishing unit 16
There is no resistance to the tilting of.

【0060】また、図7には、研磨装置10を被研磨材
Aの長さ方向に移動させる機械的移動手段としてロボッ
ト3を用いた自動研磨機を示したが、本発明の研磨装置
は、他の機械的移動手段によって研磨装置を移動させる
自動研磨機にも使用できるし、さらに本発明は、装置本
体を手で把持して被研磨材上を移動させる手持ち工具形
の研磨装置にも適用することができる。
FIG. 7 shows an automatic polishing machine using the robot 3 as a mechanical moving means for moving the polishing apparatus 10 in the longitudinal direction of the material A to be polished. The present invention can be applied to an automatic polishing machine that moves the polishing apparatus by other mechanical moving means, and the present invention is also applied to a hand-held tool-type polishing apparatus that holds the apparatus body by hand and moves it over the material to be polished. can do.

【0061】[0061]

【発明の効果】本発明の研磨装置は、ハウジングに研磨
ヘッド駆動モータを支持させこのモータの回転軸に円板
状の研磨ヘッドを取付けた研磨ユニットを、一方向に揺
動する第1の揺動リングと、この第1の揺動リングの揺
動方向に対して直交する方向に揺動する第2の揺動リン
グとを介して装置本体に支持させることにより、研磨ユ
ニットを装置本体に対して全ての方向に首振り傾動でき
るようにするとともに、この研磨ユニットを前記第2の
揺動リングに上下方向に摺動自在に保持させて、この研
磨ユニットを研磨ユニット押圧機構によりばね力で被研
磨材に押付けさせるようにしたものであるから、装置本
体と被研磨面との相対的な姿勢変化にかかわらず、常に
被研磨面に研磨ヘッドの下面をフラットに接触させて、
被研磨材の表面を均一に研磨することができる。
According to the polishing apparatus of the present invention, a housing supports a polishing head drive motor, and the rotation shaft of the motor is a disk.
The polishing unit fitted with Jo polishing head, a first swinging ring swinging in one direction, a second rocking swinging in a direction perpendicular to the swinging direction of the first swinging ring The polishing unit can be pivotally tilted in all directions with respect to the apparatus main body by being supported by the apparatus main body via a moving ring, and the polishing unit can be vertically moved on the second swing ring. Since it is slidably held and the polishing unit pressing mechanism presses the polishing unit against the material to be polished with a spring force, regardless of the relative posture change between the apparatus body and the surface to be polished. , Always make the bottom surface of the polishing head contact the surface to be polished flat.
The surface of the material to be polished can be uniformly polished.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例による研磨装置の縦断正面
図。
FIG. 1 is a vertical sectional front view of a polishing apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】上記研磨装置の正面図。FIG. 2 is a front view of the polishing apparatus.

【図3】上記研磨装置の底面図。FIG. 3 is a bottom view of the polishing apparatus.

【図4】図2のIV−IVに沿う断面図。4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG.

【図5】図2のV−Vに沿う断面図5 is a sectional view taken along line VV of FIG.

【図6】上記研磨装置の研磨ユニットが一方向に首振り
傾動した状態の正面図。
FIG. 6 is a front view of a state where the polishing unit of the polishing apparatus tilts in one direction.

【図7】上記研磨装置を用いた自動研磨機の斜視図。FIG. 7 is a perspective view of an automatic polishing machine using the polishing apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…研磨装置、11…装置本体、12…第1揺動リン
グ、14…第2揺動リング、16…研磨ユニット、17
…ハウジング、18…研磨ヘッド駆動モータ、19…フ
ライホイール、20…研磨ヘッド、25…研磨ユニット
押圧機構、27…定荷重ばね、A…被研磨材。
10 ... Polishing device, 11 ... Device body, 12 ... First swing ring, 14 ... Second swing ring, 16 ... Polishing unit, 17
... housing, 18 ... polishing head drive motor, 19 ... flywheel, 20 ... polishing head, 25 ... polishing unit pressing mechanism, 27 ... constant force spring, A ... material to be polished.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】下面において被研磨材の表面に摺接する
板状の回転研磨ヘッドとこの研磨ヘッドを回転駆動する
モータとを備え、手動または機械的移動手段によって被
研磨材上を移動されながら前記研磨ヘッドにより被研磨
材の表面を研磨する研磨装置において、 前記被研磨材上を移動される装置本体に、両側部を前記
装置本体に軸支されて一方向に揺動する第1の揺動リン
グを設け、この第1の揺動リングの内側に、その揺動軸
と直交する方向の両側部を前記第1の揺動リングに軸支
されてこの第1の揺動リングの揺動方向に対して直交す
る方向に揺動する第2の揺動リングを設けるとともに、
前記第2の揺動リングに、ハウジングに前記モータを支
持させこのモータの回転軸に円板状の研磨ヘッドを取付
けた研磨ユニットを上下方向に摺動自在に保持させ、か
つ前記装置本体に、前記研磨ユニットのハウジングをば
ね力によって下方に押圧して前記研磨ヘッドの下面を被
研磨材に押付ける研磨ユニット押圧機構を設けたことを
特徴とする研磨装置。
1. A circle which is in sliding contact with the surface of the material to be polished on the lower surface.
In a polishing device comprising a plate-shaped rotary polishing head and a motor for rotationally driving the polishing head, and polishing the surface of the polishing target by the polishing head while being moved on the polishing target by manual or mechanical moving means, A first swing ring, which is pivotally supported by the device body on both sides to swing in one direction, is provided on the device body that is moved on the material to be polished, and inside the first swing ring, second oscillating swinging in a direction orthogonal to both side portions in the direction perpendicular to the pivot shaft is rotatably supported on the first swinging ring against the swinging direction of the first swinging ring With a ring,
The second swing ring holds the motor in a housing, and a polishing unit having a disk-shaped polishing head attached to the rotary shaft of the motor is slidably held in the vertical direction, and the apparatus body is provided with: A polishing apparatus comprising a polishing unit pressing mechanism for pressing the housing of the polishing unit downward by a spring force to press the lower surface of the polishing head against the material to be polished.
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