JP2505803Y2 - LSI tester - Google Patents
LSI testerInfo
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- holder
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Description
【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案はチップパターンが印刷されたウエハーを検査
するLSIテスタに関し、さらに詳しくは、LSIテスタのコ
ンタクトリングとインサートリングの装着の操作性の向
上に関するものである。[Detailed Description of the Invention] <Industrial Application Field> The present invention relates to an LSI tester for inspecting a wafer on which a chip pattern is printed, and more specifically, to improve the operability of mounting the contact ring and insert ring of the LSI tester. It is about.
〈従来の技術〉 第５図は従来のLSIテスタの一例を示す構成側面図で
ある。図で、１はLSIテスタのテストヘッド、11はテス
トヘッド１に固定されたコンタクトリングで、テストヘ
ッド１に対して±３°の範囲で回転するようになってい
る。12はコンタクトリング11に形成されたガイド穴、２
はウエハーを搭載するプローバ、21はプローバ２上に取
り付けられたインサートリングで、プローバ２上を±３
°の範囲で回転するようになっている。22はインサート
リング21に取り付けられたピンで、コンタクトリング11
に取り付けられたガイド穴12に嵌合することによって両
者は一体となって回転する。３はプローバ２上に取り付
けられていて、プローバ２上を図の矢印Ａ−A-方向に移
動可能な回転軸支持台で、移動させることによってテス
トヘッド１とプローバ２の装着の際の微調整が行われ
る。４はテストヘッド１と回転軸支持台３のヒンジ部と
なる回転軸である。<Prior Art> FIG. 5 is a configuration side view showing an example of a conventional LSI tester. In the figure, 1 is a test head of an LSI tester, and 11 is a contact ring fixed to the test head 1, which rotates within a range of ± 3 ° with respect to the test head 1. 12 is a guide hole formed in the contact ring 11, 2
Is a prober on which the wafer is mounted, 21 is an insert ring attached on the prober 2, and ± 3 on the prober 2
It is designed to rotate in the range of °. 22 is a pin attached to the insert ring 21, which is the contact ring 11
By fitting in the guide hole 12 attached to the both, the two rotate together. 3 is attached on the prober 2, the upper prober 2 arrows A-A in FIG. - the rotation axis support base movable in a direction, the fine adjustment of the time of the mounting of the test head 1 and the prober 2 by moving Is done. Reference numeral 4 denotes a rotary shaft that serves as a hinge portion between the test head 1 and the rotary shaft support 3.
第６図は従来のLSIテスタのコンタクトリングとイン
サートリングの要部を示す構成断面図である。尚、第５
図と同じ構成要素には同一番号を付し説明を省略する。
図で、13はテストヘッド１に固定されたホルダー、14は
コンタクトリング11の回転部分である回転テーブル、15
は回転テーブル14がホルダー13内を円滑に回転するため
の回転ローラー、16はプローバ２側とテストヘッド１側
を電気的に接続する接触ピン、17はウエハーを検査する
際の顕微鏡のぞき穴である。23はテストヘッド１側とプ
ローバ２側を電気的に接続する接点となるパフォーマン
スボード、25はウエハー27に接触させるプローブピン26
を取り付けるプローブカード、24はプローブカード25と
パフォーマンスボード23を電気的に接続するプローブカ
ードソケット、28はウエハー27を載せるステージであ
る。FIG. 6 is a sectional view showing the structure of a contact ring and an insert ring of a conventional LSI tester. The fifth
The same components as those shown in the figure are designated by the same reference numerals and the description thereof is omitted.
In the figure, 13 is a holder fixed to the test head 1, 14 is a rotary table which is a rotating part of the contact ring 11, and 15 is a rotary table.
Is a rotary roller for the rotary table 14 to rotate smoothly in the holder 13, 16 is a contact pin for electrically connecting the prober 2 side and the test head 1 side, and 17 is a microscope peep hole for inspecting a wafer. . 23 is a performance board that serves as a contact that electrically connects the test head 1 side and the prober 2 side. 25 is a probe pin 26 that contacts the wafer 27.
Is a probe card for mounting the probe card, 24 is a probe card socket for electrically connecting the probe card 25 and the performance board 23, and 28 is a stage on which the wafer 27 is placed.
第７図は第６図のＢ−B-面の断面図である。図で、回
転テーブル14はホルダー13内を図の矢印Ｃ−C-方向に±
３°回転できるようになっている。また、回転ローラー
15はこの例では、円周を３等分する位置に３個設けてあ
る。Figure 7 is B-B of FIG. 6 - is a sectional view of the surface. In the figure, the rotating table 14 through the holder 13 arrows C-C in Figure - ± direction
It can be rotated 3 °. Also a rotating roller
In this example, three 15 are provided at positions that divide the circumference into three equal parts.
次に、第５図、第６図、第７図を用いて従来のLSIテ
スタのインサートリングとコンタクトリングの装着の動
作を説明する。まず、はじめにインサートリング21上の
ピン22と、コンタクトリング11に設けられたガイド穴12
がうまく嵌合するように回転軸支持台３を矢印Ａ−A-方
向に移動させて調節する。その後、ガイド穴12とピン22
が合うように回転テーブル14を回転させてテーブルの回
転方向の調節を行っていた。ここで、もしＡ−A-方向の
位置があっていなければ、再び回転軸支持台を移動させ
て再調整を行っていた。Next, the operation of mounting the insert ring and the contact ring of the conventional LSI tester will be described with reference to FIGS. 5, 6, and 7. First, first, the pin 22 on the insert ring 21 and the guide hole 12 provided in the contact ring 11
Is the rotation axis support table 3 so as to better fit the arrow A-A - is moved in the direction adjusted. Then guide hole 12 and pin 22
The rotary table 14 was rotated to adjust the rotation direction of the table. Here, if there is no position in the A-A - direction, the rotary shaft support is moved again and readjustment is performed.
〈考案が解決しようとする課題〉 このような従来のインサートリングとコンタクトリン
グの装着機構では、インサートリング上のピンとコンタ
クトリングに形成されたガイド穴がうまく嵌合するよう
に回転軸支持台を移動させて何度も微調整し、装着に大
変時間がかかっていた。<Problems to be solved by the device> In such a conventional insert ring and contact ring mounting mechanism, the rotary shaft support is moved so that the pins on the insert ring and the guide holes formed in the contact ring fit well. I made fine adjustments many times, and it took a very long time to wear it.
本考案はこのよう問題を解決するために為されたもの
で、支持台の取り付け位置の二次元方向の誤差を吸収
し、テストヘッドのプローバへの装着が容易なLSIテス
タを提供することを目的とする。The present invention has been made to solve such a problem, and an object thereof is to provide an LSI tester that absorbs an error in a two-dimensional direction of a mounting position of a support base and easily mounts a test head on a prober. And
〈課題を解決するための手段〉 本考案は、 テストヘッド先端に取り付けられたコンタクトリング
を、プローバに設けられたインサートリングに連結する
ことによってテストヘッドをプローバに装着し、プロー
バのステージ上に載置されたウエハーを検査するLSIテ
スタにおいて、 前記コンタクトリングは、 円筒形状をしていて、前記テストヘッドに固定された
ホルダーと、 前記ホルダーに対して回転可能になっていて、前記イ
ンサートリングに対してピンと穴の関係で連結される連
結部が設けられた回転テーブルと、 前記ホルダーの円周を等分割する位置に少なくとも３
個固定されていて、内部に、半径方向に弾性力を持ち先
端にボールが取り付けられたスプリングを有するスプリ
ングプランジャーと、 を具備することを特徴とするLSIテスタである。<Means for Solving the Problem> The present invention mounts the test head on the prober by connecting the contact ring attached to the tip of the test head to the insert ring provided on the prober, and mounts it on the stage of the prober. In an LSI tester for inspecting a placed wafer, the contact ring has a cylindrical shape, and a holder fixed to the test head and a holder rotatable relative to the holder are attached to the insert ring. And a rotary table provided with a connecting portion that is connected in the form of a pin and a hole, and at least three positions at positions that equally divide the circumference of the holder.
An LSI tester comprising: a plurality of spring plungers, each of which is fixed and has a spring having an elastic force in a radial direction and a ball attached to a tip thereof.
〈作用〉 このような本考案においては、円筒形状をしていてテ
ストヘッドに固定されたホルダーと、ホルダーに対して
回転可能になっていて、インサートリングに対してピン
と穴の関係で連結される連結部が設けられた回転テーブ
ルと、ホルダーの円周を等分割する位置に少なくとも３
個固定されていて、内部に、半径方向に弾性力を持ち先
端にボールが取り付けられたスプリングを有するスプリ
ングプランジャーとでコンタクトリングを構成する。コ
ンタクトリングとインサートリングを装着する際は、回
転軸支持台を移動させてガイド穴とピンがうまく嵌合す
るように調節し、回転テーブルを回転させて回転方向の
調節を行う。その後、二次元方向の誤差が生じている場
合は、回転テーブルがスプリングプランジャーによって
ずれた分だけ二次元方向に移動し、ガイド穴とピンは嵌
合する。<Operation> In the present invention, a holder having a cylindrical shape and fixed to the test head is rotatable with respect to the holder and is connected to the insert ring in a pin-hole relationship. At least 3 at the position where the rotary table provided with the connecting portion and the circumference of the holder are equally divided.
A contact ring is formed by a spring plunger that is individually fixed and has an elastic force in the radial direction and a spring having a ball attached to the tip thereof. When mounting the contact ring and the insert ring, the rotary shaft support is moved to adjust so that the guide hole and the pin fit well, and the rotary table is rotated to adjust the rotation direction. After that, when there is an error in the two-dimensional direction, the rotary table moves in the two-dimensional direction by the amount displaced by the spring plunger, and the guide hole and the pin are fitted together.
〈実施例〉 以下図面を用いて、本考案を詳細に説明する。第１図
は本考案に係るLSIテスタのテストヘッド側のコンタク
トリングの一実施例を示す側断面図である。図におい
て、テストヘッド１に取り付けられたコンタクトリング
11は、円筒形状をしていて、テストヘッド１に固定され
たホルダー13と、ホルダー13に対して回転可能になって
いて、インサートリングに取り付けられたピンと連結す
るガイド穴12が形成された回転テーブル14と、ホルダー
の円周を等分割にする位置に３個固定されていて、内部
に、半径方向に弾性力を持ち先端にボールが取り付けら
れたスプリングプランジャーとで構成されている。<Embodiment> The present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1 is a side sectional view showing an embodiment of a contact ring on the test head side of an LSI tester according to the present invention. In the figure, the contact ring attached to the test head 1
Reference numeral 11 is a cylindrical shape having a holder 13 fixed to the test head 1 and a rotation hole which is rotatable with respect to the holder 13 and which is formed with a guide hole 12 for connecting with a pin attached to the insert ring. It consists of a table 14 and three spring plungers, which are fixed to the holder at positions where the circumference of the holder is equally divided, and which have elastic force in the radial direction and a ball attached to the tip.
第２図は第１図のＤ−D-面の断面図である。図のよう
に、ホルダー13内に回転可能な回転テーブル14が配置さ
れている。スプリングプランジャー18は図のようにホル
ダー13の円周を３等分する位置、つまり中心角が120°
になる円周上の位置に３個配置されている。Figure 2 is D-D of Figure 1 - is a cross-sectional view of the surface. As shown, a rotatable rotary table 14 is arranged in the holder 13. As shown in the figure, the spring plunger 18 divides the circumference of the holder 13 into three equal parts, that is, the central angle is 120 °.
Are arranged at three positions on the circumference.
第３図はスプリングプランジャーの要部を示す構成図
である。図において、181はネジ部で、スプリングプラ
ンジャー18をホルダー13に取り付ける際に、ドライバで
捩じ込む部分である。182はネジ部181を捩じ込むナット
部、183はネジ部181の内部に取り付けられていて、ホル
ダー13に取り付けられているときは半径方向に弾性力を
持つスプリング部、184はスプリング部183のホルダー13
側に取り付けられたボール部で、回転テーブル14に対し
て軸受の役割をはたしている。この時、スプリングプラ
ンジャー18はこの場合約1mmのプランジャーストローク
を持ち、スプリング部183の伸縮により回転テーブルが
２次元方向に移動するようになっている。FIG. 3 is a configuration diagram showing a main part of the spring plunger. In the figure, reference numeral 181 denotes a threaded portion, which is screwed in by a driver when the spring plunger 18 is attached to the holder 13. Reference numeral 182 denotes a nut portion for screwing the screw portion 181, 183 is a spring portion that is mounted inside the screw portion 181, and has elastic force in the radial direction when the holder portion 13 is mounted, and 184 is a spring portion of the spring portion 183. Holder 13
The ball portion attached to the side serves as a bearing for the rotary table 14. At this time, the spring plunger 18 has a plunger stroke of about 1 mm in this case, and the expansion and contraction of the spring portion 183 allows the rotary table to move in the two-dimensional direction.
次に、第１図、第２図、第３図、第４図、第５図を用
いてコンタクトリングとインサートリングの装着時の動
作を説明する。尚、第５図は従来のLSIテスタの図であ
るが、コンタクトリング以外は同様の構成になっている
ので、第５図を用いて説明することにする。第４図はコ
ンタクトリングに形成されたガイド穴と、インサートリ
ング上に設けられたピンの嵌合状態を示す構成断面図
で、ピン22は図のように先端が円すい形状になってい
て、ガイド穴12は挿入面の縁に切欠が形成されている。
まず、第５図の回転軸支持台３を矢印Ａ−A-方向に移動
させてガイド穴12とピン22が嵌合するように調節する。
その後、テストヘッド１を第５図の矢印Ｅ方向に回転さ
せてプローバ２に装着させる。ここで、ガイド穴12とピ
ン22の関係が第４図のようにずれている場合、両者を嵌
め合わせると第３図のスプリングプランジャー18が伸縮
し、回転テーブル14が２次元方向にスプリングプランジ
ャー18のボール部184を滑らかにすべって移動し、自然
調整が行われ、コンタクトリング11とインサートリング
21は丁度よく嵌合する。このスプリングプランジャー18
の誤差吸収により速やかにテストヘッド１とプローバ２
を装着することができる。Next, the operation of mounting the contact ring and the insert ring will be described with reference to FIGS. 1, 2, 3, 4, and 5. Although FIG. 5 is a diagram of a conventional LSI tester, the configuration is the same except for the contact ring, so that it will be described using FIG. Fig. 4 is a cross-sectional view showing the fitting state of the guide hole formed in the contact ring and the pin provided on the insert ring. Pin 22 has a conical tip as shown The hole 12 has a notch formed at the edge of the insertion surface.
First, the rotating shaft support table 3 of FIG. 5 arrow A-A - is moved in the direction guide hole 12 and the pin 22 is adjusted so as to fit.
Then, the test head 1 is rotated in the direction of arrow E in FIG. Here, when the relationship between the guide hole 12 and the pin 22 is deviated as shown in FIG. 4, when the two are fitted together, the spring plunger 18 of FIG. 3 expands and contracts, and the rotary table 14 springs in the two-dimensional direction. The ball part 184 of the jar 18 is smoothly slid and moved, and natural adjustment is made to the contact ring 11 and the insert ring.
21 fits well. This spring plunger 18
Promptly test head 1 and prober 2 by absorbing the error
Can be attached.
尚、ホルダーの円周に取り付けられるスプリングプラ
ンジャーは、円周を等分割する位置に配置されていれば
何個でもよい。It should be noted that any number of spring plungers may be attached to the circumference of the holder as long as they are arranged at positions that divide the circumference equally.
また、回転テーブルとインサートリングを連結するピ
ンは、回転テーブル側にあってもよく、それに嵌合する
穴はインサートリング側にあってもよい。Further, the pin connecting the rotary table and the insert ring may be on the rotary table side, and the hole fitted therein may be on the insert ring side.
〈考案の効果〉 以上詳細に説明したように、本考案においては、コン
タクトリングのホルダーの円周上にスプリングプランジ
ャーを設けて回転テーブルが２次元方向に移動可能とし
たために、回転軸支持台を一度調節すれば多少ガイド穴
とピンがずれていてもスプリングプランジャーが伸縮し
て誤差を吸収し、速やかに装着を行うことができる。ま
た、コンタクトリングとインサートリングの装着が容易
になったためにLSIテスタ使用時の作業を効率的に行う
ことができる。<Effect of the Invention> As described in detail above, in the present invention, since the rotary plunger is provided on the circumference of the contact ring holder so that the rotary table can move in the two-dimensional direction, the rotary shaft support base is provided. If you adjust once, even if the guide hole and the pin are slightly misaligned, the spring plunger expands and contracts to absorb the error, and you can quickly install. Further, since the contact ring and the insert ring are easily attached, the work when using the LSI tester can be efficiently performed.
第１図は本考案に係るLSIテスタのテストヘッド側のコ
ンタクトリングの一実施例を示す側断面図、第２図は第
１図のＤ−D-面の断面図、第３図は本考案に用いられる
スプリングプランジャーの要部を示す構成図、第４図は
ガイド穴とピンの嵌合の状態を示す構成断面図、第５図
は従来のLSIテスタの一例を示す構成側面図、第６図は
コンタクトリングとインサートリングの要部を示す断面
図、第７図は第６図のＢ−B-面の断面図である。 １……テストヘッド、11……コンタクトリング 12……ガイド穴、13……ホルダー 14……回転テーブル、15……回転ローラー 16……接触ピン 18……スプリングプランジャー 181……ネジ部、182……ナット部 183……スプリング部 184……ボール部 ２……プローバ、21……インサートリング 22……ピン、27……ウエハー 28……ステージ、３……回転軸支持台Side cross-sectional view showing an embodiment of a test head side of the contact ring of the LSI tester Figure 1 is according to the present invention, FIG. 2 D-D of Figure 1 - sectional view of the surface, Figure 3 is the present invention FIG. 4 is a structural cross-sectional view showing a main part of a spring plunger used in the above, FIG. 4 is a structural cross-sectional view showing a fitted state of a guide hole and a pin, and FIG. 5 is a structural side view showing an example of a conventional LSI tester. 6 Figure is a sectional view showing a main portion of the contact ring and the insert ring, FIG. 7 is B-B of FIG. 6 - is a sectional view of the surface. 1 …… Test head, 11 …… Contact ring 12 …… Guide hole, 13 …… Holder 14 …… Rotating table, 15 …… Rotating roller 16 …… Contact pin 18 …… Spring plunger 181 …… Screw part, 182 ...... Nut part 183 …… Spring part 184 …… Ball part 2 …… Prober, 21 …… Insert ring 22 …… Pin, 27 …… Wafer 28 …… Stage 3 …… Rotary axis support
Claims (1)
クトリングを、プローバに設けられたインサートリング
に連結することによってテストヘッドをプローバに装着
し、プローバのステージ上に載置されたウエハーを検査
するLSIテスタにおいて、 前記コンタクトリングは、 円筒形状をしていて、前記テストヘッドに固定されたホ
ルダーと、 前記ホルダーに対して回転可能になっていて、前記イン
サートリングに対してピンと穴の関係で連結される連結
部が設けられた回転テーブルと、 前記ホルダーの円周を等分割する位置に少なくとも３個
固定されていて、内部に、半径方向に弾性力を持ち先端
にボールが取り付けられたスプリングを有するスプリン
グプランジャーと、 を具備することを特徴とするLSIテスタ。1. An LSI for mounting a test head on a prober by connecting a contact ring attached to the tip of the test head to an insert ring provided on the prober, and inspecting a wafer placed on the stage of the prober. In the tester, the contact ring has a cylindrical shape, is rotatable with respect to the holder fixed to the test head, and is connected to the insert ring in a pin-hole relationship. A rotary table provided with a connecting portion, and at least three fixed at positions that equally divide the circumference of the holder, and internally have a spring having elastic force in the radial direction and having a ball attached to the tip thereof. An LSI tester comprising a spring plunger.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3924890U JP2505803Y2 (en) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | LSI tester |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3924890U JP2505803Y2 (en) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | LSI tester |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03130570U JPH03130570U (en) | 1991-12-27 |
| JP2505803Y2 true JP2505803Y2 (en) | 1996-08-07 |
Family
ID=31547991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3924890U Expired - Fee Related JP2505803Y2 (en) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | LSI tester |
Country Status (1)
| Country | Link |
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Families Citing this family (2)
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-
1990
- 1990-04-13 JP JP3924890U patent/JP2505803Y2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
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