JP2500736Y2 - レ―ザ加工機 - Google Patents

レ―ザ加工機

Info

Publication number
JP2500736Y2
JP2500736Y2 JP1991024569U JP2456991U JP2500736Y2 JP 2500736 Y2 JP2500736 Y2 JP 2500736Y2 JP 1991024569 U JP1991024569 U JP 1991024569U JP 2456991 U JP2456991 U JP 2456991U JP 2500736 Y2 JP2500736 Y2 JP 2500736Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
oscillator
laser light
optical path
path system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1991024569U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0544388U (ja
Inventor
修平 久利
貴志 金伏
善昭 下楠
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP1991024569U priority Critical patent/JP2500736Y2/ja
Publication of JPH0544388U publication Critical patent/JPH0544388U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2500736Y2 publication Critical patent/JP2500736Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案はレーザ加工機におけるレ
ーザ発振器内部のレーザガス内圧の保持装置に関する。
【0002】
【従来に技術】レーザ加工機におけるレーザ発振器は内
部に低圧のレーザガスを充満させている。そしてレーザ
発振器は内部の低圧レーザガスを大気と遮断するために
レーザ光取出口をレーザ光が透過可能な状態で塞ぐ必要
がある。このため従来は、レーザ内圧を保持するために
図2に示すようにウィンドウを発振器ビーム出口に設け
る方法とか、図3に示すように発振器のレーザ光出口に
狭隘な隙間を設けその間に多量のガスを吹きつける方法
を用いていた。
【0003】図2の従来例において1はレーザ光で発振
器3より射出される。2は中空状の光路径で発振器3に
接続されており、レーザ光1は該光路径を通って加工用
レンズを経てワークに対しレーザ加工を行う。7は発振
器3はレーザ光出口側開口部に設けられたウィンドウ
で、該ウィンドウ7により発振器3内の低圧レーザガス
を気密状態に維持すると共にレーザ光を透過可能にして
いる。
【0004】図3は従来の別の例で、発振器3のレーザ
光出口側には狭隘な出口隙間8が穿設されており、該隙
間部8に向けて吹きつけガス入口9及び吹きつけガス出
口10がそれぞれ外周より穿設されている。そして吹き
つけガス入口9より多量の吹きつけガス11を吹き込ん
で発振器3内のレーザガスの気密を保持している。その
他の機構は図2の場合と同様である。
【0005】
【考案が解決しようとする課題】ところで前述の従来技
術のうち、図2に示す発振器のレーザ光出口側開口部に
ウィンドウを設けたものでは、レーザ光の長時間の透過
によりそのエネルギーの1部をウィンドウが吸収し熱膨
張現象を生じる。このためレーザビームの形状、エネル
ギー分布が変化し、加工状態に悪影響を与える不具合が
ある。
【0006】また図3に示す発振器のレーザ光出口側の
狭隘な出口隙間部にガスを吹きつけるものでは、発振器
内部のレーザガスを吹きつけガスが巻き込み、レーザガ
スが多量に必要となるほか、吹きつけガスも多量に消費
する不具合があり、また外部の大気が発振器内部に侵入
する不具合がある。
【0007】本考案は上記不具合点を解決した新たなレ
ーザガス内圧保持装置を具備するレーザ加工機を提供す
ることを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本考案のレーザ加工機は、一側にレーザ光を射出するた
めの開放されたレーザ光取出口を穿設した発振器と、外
部から完全に密閉された連続した内部空間を有する光路
系の一側とを気密状態で接続すると共に、該光路系の他
側に設けた加工ヘッドの内径部に集光用レンズを気密的
に装着したことを特徴としている。
【0009】
【作用】上述の本考案のレーザ加工機は、レーザ発振器
を出たレーザ光が大気と完全に遮断され発振器内部と同
圧のガス圧に保たれたガス密閉状態光路系内の内部空間
を経て加工ヘッドに至り、同ヘッドの内径部に気密的に
装着された集光用レンズを透過し、該レンズにより集光
されてワークに対し所要のレーザ加工を行う。
【0010】
【実施例】以下図面により本考案の1実施例について説
明すると、内部に低圧のレーザガスを充満した発振器3
の一側にはレーザ光取出口13が穿設されている。
【0011】2は連続した内部空間を有する大気と遮断
された光路系で、該光路系2の一側は前記発振器3のレ
ーザ光出口側の気密的に接続している。
【0012】光路系2の他側は水平状態から90度折れ
曲がり、ワーク14に対向する加工ヘッド6を形成して
おり、該加工ヘッド6の内径部に加工用の集光レンズ4
を内部に気密が保たれる状態で装着している。
【0013】5は加工ヘッド6先端のノズルで、該ノズ
ル部より集光レンズ4を透過したレーザ光が大気中で集
光されワーク14に対し所要のレーザ加工を行う。
【0014】12は光路系2の途中の直角屈曲部隅上部
に配設されたミラーで、該ミラー12により光路系2の
水平方向空間部を通過して来たレーザ光1が図1に示す
ように90度屈折して光路系2の垂直方向空間部を通過
して加工ヘッド6に向かって行く。
【0015】
【効果の効果】以上述べたように本考案のレーザ加工機
によれば次に示す効果が得られる。 (1)従来技術の1例のように発振器3のレーザ光出口
側開口部に気密保持のためのウィンドウを設けることが
ないので、レーザ光の長時間の透過による熱膨張の原因
となる透過光学部品が1つ取除かれ、レーザ光の変形、
エネルギー分布の変化が無くなり、加工状態が著しく改
善される。 (2)加工ヘッド内部に気密的に取付けたレンズにより
発振器及びこれと接続する光路系及び加工ヘッドのレン
ズのレーザ光入射光側の各内部空間部が大気と完全に遮
断されるので、大気の侵入によるレーザガスの劣化が防
止できると共にレーザガスの消費が少ないのでレーザ光
の安定した出力を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の1実施例装置の要部側断面図である。
【図2】従来装置の1例である発振器のレーザ光出口側
開口部にウィンドウを取付けた場合の要部断面図であ
る。
【図3】従来装置の別の例である発振器のレーザ光出口
側開口部を吹きつけガスにより外部と遮断した場合の要
部断面図である。
【符号の説明】
1 レーザ光 2 光路系 3 発振器 4 加工用集光レンズ 5 ノズル 6 加工ヘッド 12 ミラー 13 レーザ光取出口 14 ワーク

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】一側にレーザ光を射出するための開放され
    たレーザ光取出口を穿設した発振器と、外部から完全に
    密閉された連続した内部空間を有する光路系の一側とを
    気密状態で接続すると共に、該光路系の他側の加工ヘッ
    ドの内径部に集光用レンズを気密的に装着したことを特
    徴とするレーザ加工機。
JP1991024569U 1991-03-22 1991-03-22 レ―ザ加工機 Expired - Lifetime JP2500736Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1991024569U JP2500736Y2 (ja) 1991-03-22 1991-03-22 レ―ザ加工機

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1991024569U JP2500736Y2 (ja) 1991-03-22 1991-03-22 レ―ザ加工機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0544388U JPH0544388U (ja) 1993-06-15
JP2500736Y2 true JP2500736Y2 (ja) 1996-06-12

Family

ID=12141796

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1991024569U Expired - Lifetime JP2500736Y2 (ja) 1991-03-22 1991-03-22 レ―ザ加工機

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2500736Y2 (ja)

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5437347A (en) * 1977-08-29 1979-03-19 Osaka Gas Co Ltd Air conditioning system utilizing solar heat
JPS60240U (ja) * 1983-06-16 1985-01-05 株式会社 北村製作所 貨物自動車の積載物移送装置
JPS6049897A (ja) * 1983-08-29 1985-03-19 Amada Co Ltd プレス

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0544388U (ja) 1993-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS62272576A (ja) レ−ザビ−ム組合せ装置
KR910016963A (ko) 반응성 이온 에칭 장치 및 방법
DE69212872D1 (de) Laser-Austrittsteil
JPH11138896A (ja) レーザを用いたマーキング方法、マーキング装置、及びマークの観察方法、観察装置
DE50009924D1 (de) Laserbearbeitungsmaschine mit gasgespültem Strahlführungsraum
JP2500736Y2 (ja) レ―ザ加工機
CN109048053B (zh) 一种高功率光纤激光气动扫描系统
WO2002067037A3 (de) Mikroskop
JPH04356981A (ja) レーザ発振器
JPS59208886A (ja) 発光半導体装置
JPS6037628B2 (ja) ガスレ−ザ発振器
JPH02297988A (ja) 光半導体装置を用いた光結合系
US4961202A (en) Single line laser and method
JPH08306993A (ja) レーザ発振装置
CN214350302U (zh) 一种二氧化碳激光优化膜切光学系统
CN221185084U (zh) 一种激光加工聚焦镜组保护结构
JPH0237710B2 (ja)
JPH06186501A (ja) 半導体レーザモジュールの製造方法
JPS58119485A (ja) レ−ザ加工用ノズル
JP2516171Y2 (ja) 光半導体素子コリメータ
JPS6370826A (ja) 半導体レ−ザビ−ムプリンタの光学装置
JPH0823138A (ja) 半導体レーザモジュール
SE449664B (sv) Forfarande for reglering av laserbanans lengd i en optisk resonator samt optisk resonator for utforande av forfarandet
JPH0625970Y2 (ja) レーザ発振器
JPS5855660Y2 (ja) 高出力レ−ザ装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19960123