JP2025501494A5 - - Google Patents
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Applications Claiming Priority (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102021214318.0 | 2021-12-14 | ||
| DE102021214310.5A DE102021214310A1 (de) | 2021-12-14 | 2021-12-14 | Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen mindestens einer Hohlstruktur, EUVSpiegel und EUV-Lithographiesystem |
| DE102021214310.5 | 2021-12-14 | ||
| DE102021214318.0A DE102021214318B4 (de) | 2021-12-14 | 2021-12-14 | Fluidzuführungsvorrichtung und Verfahren zum Zuführen eines Fluids zu mindestens einer Ablationsfront |
| DE102022203593.3A DE102022203593A1 (de) | 2022-04-08 | 2022-04-08 | Optisches Element und EUV-Lithographiesystem |
| DE102022203593.3 | 2022-04-08 | ||
| PCT/EP2022/085520 WO2023110816A2 (de) | 2021-12-14 | 2022-12-13 | Verfahren und vorrichtung zum erzeugen mindestens einer hohlstruktur, spiegel, euv-lithographiesystem, fluidzuführungsvorrichtung und verfahren zum zuführen eines fluids |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2025501494A JP2025501494A (ja) | 2025-01-22 |
| JP2025501494A5 true JP2025501494A5 (https=) | 2025-12-24 |
Family
ID=84767023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024535549A Pending JP2025501494A (ja) | 2021-12-14 | 2022-12-13 | 少なくとも1つの中空構造を作製する方法及び装置、ミラー、euvリソグラフィシステム、流体供給装置、及び流体を供給する方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20240329285A1 (https=) |
| EP (3) | EP4448213B1 (https=) |
| JP (1) | JP2025501494A (https=) |
| KR (1) | KR20240119295A (https=) |
| TW (2) | TWI889440B (https=) |
| WO (1) | WO2023110816A2 (https=) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102023205947A1 (de) * | 2023-06-23 | 2024-05-02 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Grundkörpers einer Komponente, optisches Element und optische Anordnung |
| DE102023205946A1 (de) | 2023-06-23 | 2024-06-13 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches Element mit Kühlkanälen und optische Anordnung |
| DE102023205966A1 (de) * | 2023-06-23 | 2024-06-06 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches Element mit Temperierkanälen und Lithographiesystem |
| DE102023208751A1 (de) | 2023-09-11 | 2024-07-18 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optische Anordnung mit einer zu temperierenden Komponente |
| DE102023211220A1 (de) | 2023-11-13 | 2024-10-10 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches Element mit Temperierkanälen und optische Anordnung |
| EP4684906A1 (de) | 2024-07-22 | 2026-01-28 | Carl Zeiss SMT GmbH | Verfahren und vorrichtung zum bestimmen von lageparametern und/oder bewegungsparametern einer flexiblen fluidleitung |
| DE102024207384A1 (de) * | 2024-08-05 | 2026-02-05 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Fluidzuführungsvorrichtung und Verfahren zum Zuführen eines Fluids zu mindestens einer Abtragsfront |
| DE102024209846A1 (de) | 2024-10-10 | 2026-04-16 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum Optimieren der Temperierung eines Werkstücks, Spiegel und Anlage der Halbleitertechnologie |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3327586A1 (de) * | 1982-08-17 | 1984-02-23 | Andrew Charles Bromley Kent MacKechnie-Jarvis | Wunddrainagekatheder |
| DE102009039400A1 (de) * | 2009-08-31 | 2011-03-03 | Carl Zeiss Laser Optics Gmbh | Reflektives optisches Element zur Verwendung in einem EUV-System |
| WO2012013751A1 (en) * | 2010-07-30 | 2012-02-02 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Euv exposure apparatus |
| CN109254501A (zh) * | 2012-02-03 | 2019-01-22 | Asml荷兰有限公司 | 衬底支架、光刻装置、器件制造方法和制造衬底保持器的方法 |
| WO2019158215A1 (de) * | 2018-02-19 | 2019-08-22 | Trumpf Lasersystems For Semiconductor Manufacturing Gmbh | Faraday-rotator, optischer isolator, treiberlaseranordnung und euv-strahlungserzeugungsvorrichtung |
| DE102018202687A1 (de) * | 2018-02-22 | 2018-05-03 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Herstellungsverfahren für Komponenten einer Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie und Projektionsbelichtungsanlage |
| DE102019205265A1 (de) * | 2019-04-11 | 2020-10-15 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Glaskörpers mit Kühlkanälen |
| DE102019219179A1 (de) * | 2019-12-09 | 2021-06-10 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches Element und Lithographiesystem |
-
2022
- 2022-12-13 EP EP22835015.3A patent/EP4448213B1/de active Active
- 2022-12-13 EP EP25194795.8A patent/EP4621465A3/de active Pending
- 2022-12-13 TW TW113125476A patent/TWI889440B/zh active
- 2022-12-13 EP EP25194804.8A patent/EP4625018A3/de active Pending
- 2022-12-13 TW TW111147768A patent/TWI884402B/zh active
- 2022-12-13 KR KR1020247022851A patent/KR20240119295A/ko active Pending
- 2022-12-13 JP JP2024535549A patent/JP2025501494A/ja active Pending
- 2022-12-13 WO PCT/EP2022/085520 patent/WO2023110816A2/de not_active Ceased
-
2024
- 2024-06-13 US US18/741,925 patent/US20240329285A1/en active Pending
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