JP2024066472A - Positioning jig and manufacturing method of glass substrate using positioning jig - Google Patents

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充司 横川
Mitsuji Yokokawa
伸二 佐藤
Shinji Sato
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Abstract

To provide a positioning jig capable of shortening a time required for height adjustment step and a horizontal position adjustment step of a nozzle that jets coating liquid to an object to be coated and shortening an attachment time, and a manufacturing method of a glass substrate using the positioning jig.SOLUTION: In a positioning jig 30 of a spray nozzle 11 for spray coating, a groove 33c that fits to the spray nozzle 11 for spray coating is formed in a placement table 33. The positioning jig 30 has: a base 31; and brackets 32A, 32B that are erected from the base 31 and to which the placement table 33 is connected. The brackets 32A, 32B has a height adjustment screw 44 and a height adjustment screw fixation table 32f as a height adjustment mechanism that adjusts a height of the placement table 33.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は位置決め治具および位置決め治具を使用するガラス基板の製造方法に関する。 The present invention relates to a positioning jig and a method for manufacturing a glass substrate using the positioning jig.

従来、ガラス基板をカバー部材として用いる場合、ガラス基板には、アンチグレア膜が設けられる場合がある。アンチグレア膜の例としては、シリカ前駆体から形成されるシリカ膜が知られている(特許文献1参照)。 Conventionally, when a glass substrate is used as a cover member, an anti-glare film may be provided on the glass substrate. One example of an anti-glare film is a silica film formed from a silica precursor (see Patent Document 1).

アンチグレア膜をガラス基板上に付着させる工程としては、アンチグレア膜形成用のコーティング剤をガラス基板上に塗布した後、乾燥(加熱)する。このコーティング剤を塗布する方法は、スプレー塗布法であることが好ましく、スプレー塗布には、周知の二流体ノズルや一流体ノズル等のノズルを用いることができる。
例えば、二流体ノズルを用いる場合、スプレー圧力が高くなるほど液滴は小さくなり、また、液量が多くなるほど液滴は大きくなるが、液滴の粒径を調整するために、ノズルとガラス基板上の塗布表面との上下方向の距離を調整する必要がある。従来において、成膜工程を行う場合には、被塗布物であるガラス基板のサンプルを成膜室(チャンバ)に配置して、ノズルを取り付けて、ノズル高さを調整していた。また、ノズルの水平方向の調整も行っていた。
また、被塗布物であるガラス基板の種類によってはノズルの変更の必要があるが、ノズルを変更する際に高さ方向の確認工程では、ノズルの仮取付を行い、目視により高さ方向のずれの確認を行い、再度高さ調整を行っていた。そして、高さが調整された状態において、ノズルの本取付を行い固定していた。また、水平方向の位置確認においても、同様の工程が必要となっていた。したがって、従来の高さ調節工程および水平位置調節工程においては、作業者の手間も多く準備工程に時間がかかっていた。
In the process of attaching the anti-glare film to the glass substrate, a coating agent for forming the anti-glare film is applied to the glass substrate, and then the coating agent is dried (heated). The method of applying the coating agent is preferably a spray application method, and a nozzle such as a well-known two-fluid nozzle or one-fluid nozzle can be used for the spray application.
For example, when using a two-fluid nozzle, the higher the spray pressure, the smaller the droplets will be, and the larger the amount of liquid, the larger the droplets will be. In order to adjust the droplet size, it is necessary to adjust the vertical distance between the nozzle and the coating surface on the glass substrate. Conventionally, when performing a film formation process, a sample of the glass substrate to be coated was placed in a film formation chamber, a nozzle was attached, and the nozzle height was adjusted. The nozzle was also adjusted in the horizontal direction.
In addition, depending on the type of glass substrate to be coated, the nozzle may need to be changed. When changing the nozzle, the nozzle must be temporarily attached in the height confirmation process, and any deviation in the height direction must be visually confirmed and the height adjusted again. Then, with the height adjusted, the nozzle must be permanently attached and fixed. A similar process was also required to check the horizontal position. Therefore, the conventional height adjustment process and horizontal position adjustment process required a lot of labor from the workers and took a long time for the preparation process.

特開2005-038288号公報JP 2005-038288 A

本発明は、斯かる現状の課題に鑑みてなされたものであり、被塗布物、特にガラス基板などの板状の被塗布物にアンチグレア(Antiglare)膜や耐指紋性(Antifingerprint)膜を形成するための塗布液を噴出するノズルの高さおよび水平位置を調整し、取付する時間を短縮することができる位置決め治具および位置決め治具を使用するガラス基板の製造方法を提供することを課題とする。 The present invention was made in consideration of such current problems, and aims to provide a positioning jig and a method for manufacturing glass substrates using the positioning jig that can adjust the height and horizontal position of a nozzle that sprays coating liquid to form an antiglare film or antifingerprint film on a substrate, particularly a plate-shaped substrate such as a glass substrate, thereby shortening the installation time.

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。 The problem that the present invention aims to solve is as described above, and the means for solving this problem will be explained next.

本発明の態様1に係るスプレーコーティング用のスプレーノズルの位置決め治具では、載置台にスプレーコーティング用のスプレーノズルと嵌め合う凹部が形成されていることを特徴とする。 The positioning jig for a spray nozzle for spray coating according to aspect 1 of the present invention is characterized in that the mounting base is formed with a recess into which the spray nozzle for spray coating fits.

このような構成によれば、スプレーコーティング用のスプレーノズルを凹部に嵌め合わせることにより、スプレーノズルの高さ方向の位置調整および水平方向の位置調整を容易に行うことができ、スプレーノズルを交換する際の取付時間を短縮することができる。 With this configuration, the spray nozzle for spray coating can be fitted into the recess, making it easy to adjust the vertical and horizontal positions of the spray nozzle, shortening the installation time when replacing the spray nozzle.

また、態様2の位置決め治具では、態様1において、前記凹部は樹脂により構成されることが好ましい。 In addition, in the positioning jig of aspect 2, in aspect 1, it is preferable that the recess is made of resin.

このような構成によれば、スプレーノズルの先端を凹部に嵌め合わせた際に、スプレーノズルの先端に傷がつくことを防止することができる。 This configuration prevents the tip of the spray nozzle from being scratched when it is fitted into the recess.

また、態様3の位置決め治具では、態様1または態様2において、土台と、前記土台から立設し前記載置台が接続するブラケットを有し、前記ブラケットには、載置台の高さを調整する高さ調整機構を有することが好ましい。 In addition, the positioning jig of aspect 3 is the same as in aspect 1 or 2, and has a base and a bracket that stands upright from the base and to which the mounting table is connected, and it is preferable that the bracket has a height adjustment mechanism that adjusts the height of the mounting table.

このような構成によれば、土台を基準として載置台の高さ位置を調節することが容易となり、スプレーノズルを交換する際の取付時間を短縮することができる。 This configuration makes it easy to adjust the height of the mounting table based on the base, shortening the installation time when replacing the spray nozzle.

また、態様4の位置決め治具では、態様1から態様3のいずれか一つの態様において、複数の載置台を有することが好ましい。 In addition, in the positioning jig of aspect 4, in any one of aspects 1 to 3, it is preferable that the jig has multiple mounting tables.

このような構成によれば、複数のスプレーノズルの高さ方向の位置決めを同時に行うことができるので、スプレーノズルを交換する際の取付時間を短縮することができる。 This configuration allows multiple spray nozzles to be positioned in the vertical direction simultaneously, shortening the installation time when replacing spray nozzles.

また、態様5の位置決め治具では、態様1から態様4のいずれか一つの態様において、前記土台と前記ブラケットの間に、ノズル間隔調整機構を有することが好ましい。 In addition, in the positioning jig of aspect 5, in any one of aspects 1 to 4, it is preferable that a nozzle spacing adjustment mechanism is provided between the base and the bracket.

このような構成によれば、複数のスプレーノズルの位置決めを行う場合において、スプレーノズル同士の間隔を容易に調整することができるので、スプレーノズルを交換する際の取付時間を短縮することができる。 This configuration allows the spacing between the spray nozzles to be easily adjusted when positioning multiple spray nozzles, shortening the installation time when replacing spray nozzles.

また、本発明の態様6のスプレーコーティングされたガラス基板の製造方法において、スプレーコーティング用のスプレーノズルを準備する準備工程と、準備工程後に塗布液をガラス基板に塗布する塗布工程を有し、前記準備工程では、態様1から5のいずれか一項に記載の位置決め治具を使用することを特徴とする。 The method for producing a spray-coated glass substrate according to aspect 6 of the present invention includes a preparation step of preparing a spray nozzle for spray coating, and a coating step of coating the glass substrate with a coating liquid after the preparation step, and is characterized in that the preparation step uses a positioning jig according to any one of aspects 1 to 5.

このような構成によれば、準備工程において、位置決め治具を使用することにより、スプレーノズルの高さ方向の位置調整および水平方向の位置調整を容易に行うことができ、スプレーノズルを交換する際の取付時間を短縮することができる。 With this configuration, the vertical and horizontal positioning of the spray nozzle can be easily adjusted by using a positioning jig during the preparation process, shortening the installation time when replacing the spray nozzle.

また、態様7のガラス基板の製造方法では、態様6において、複数のスプレーコーティング用のスプレーノズルの高さ方向の位置決めをした後に、前記複数のスプレーコーティング用のスプレーノズルの間隔を位置決めすることが好ましい。 In addition, in the method for manufacturing a glass substrate of aspect 7, it is preferable to position the spacing between the multiple spray nozzles for spray coating after positioning the multiple spray nozzles for spray coating in the height direction in aspect 6.

このような構成によれば、高さ方向の位置調整を終えた後に、載置台の間隔を位置決めすることで水平方向の位置調整を行うことができる。 With this configuration, after completing the height adjustment, the horizontal position adjustment can be performed by positioning the spacing between the mounting tables.

また、態様8のガラス基板の製造方法では、態様6または態様7において、前記準備工程では、ダミー基板の上に、位置決め治具を載置することが好ましい。 In addition, in the glass substrate manufacturing method of aspect 8, in aspect 6 or aspect 7, it is preferable that a positioning jig is placed on the dummy substrate in the preparation step.

このような構成によれば、ガラス基板を用意することなく準備工程を行うことができるので、スプレーノズルを交換する際の取付時間を短縮することができる。 With this configuration, the preparation process can be performed without preparing a glass substrate, which shortens the installation time when replacing the spray nozzle.

本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。 The effects of the present invention are as follows:

本発明に係る位置決め治具によれば、スプレーコーティング用のスプレーノズルを凹部に嵌め合わせることにより、スプレーノズルの高さ方向の位置調整および水平方向の位置調整を容易に行うことができ、スプレーノズルを交換する際の取付時間を短縮することができる。 The positioning jig of the present invention allows the spray nozzle for spray coating to be fitted into the recess, making it easy to adjust the vertical and horizontal positions of the spray nozzle, and shortening the installation time when replacing the spray nozzle.

また、本発明に係るガラス基板の製造方法によれば、準備工程において、位置決め治具を使用することにより、スプレーノズルの位置決めを容易に行うことができ、スプレーノズルを交換する際の取付時間を短縮することができる。 In addition, according to the glass substrate manufacturing method of the present invention, the spray nozzle can be easily positioned by using a positioning jig in the preparation process, and the installation time when replacing the spray nozzle can be shortened.

本発明の一実施形態に係るガラス基板の製造装置の全体構成を示す模式的正面図である。1 is a schematic front view showing an overall configuration of a glass substrate manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係るガラス基板の製造装置を示す平面図である。1 is a plan view showing a glass substrate manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る制御部を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a control unit according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る位置決め治具を示す正面図である。FIG. 2 is a front view showing a positioning jig according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る位置決め治具を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a positioning jig according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る準備工程を示す正面図である。FIG. 4 is a front view showing a preparation step according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る塗布工程を示す正面図である。FIG. 4 is a front view showing a coating step according to one embodiment of the present invention.

次に、発明の実施の形態を説明する。実施形態等において参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものである。 Next, an embodiment of the invention will be described. In each drawing referred to in the embodiment, components having substantially the same functions will be referred to by the same reference numerals. Also, the drawings referred to in the embodiment are schematic.

図1は、本実施形態に係るガラス基板の製造装置1を示す側面図である。また、図2は、ガラス基板の製造装置1を示す平面図である。 Figure 1 is a side view showing a glass substrate manufacturing apparatus 1 according to this embodiment. Also, Figure 2 is a plan view showing the glass substrate manufacturing apparatus 1.

図1および図2に示すガラス基板の製造装置1は、上流から流れるガラス基板Gの上にスプレーコート法によりアンチグレア膜や耐指紋性膜を形成した、膜付きガラス基板を製造するための装置である。ガラス基板Gは、板状の部材であり、表面にスプレーコーティングが施される部材である。なお、スプレーコート法に用いられる塗布液として、シリコンアルコキシド等のアンチグレアコーティング剤や耐指紋性コーティング剤や撥水コーティング剤等が用いられる。また、被塗布物としてガラス基板Gが用いられているがこれに限定するものではなく、例えば、セラミック板、樹脂板等を用いてもよい。 The glass substrate manufacturing apparatus 1 shown in Figures 1 and 2 is an apparatus for manufacturing a film-coated glass substrate by forming an anti-glare film or anti-fingerprint film by a spray coating method on a glass substrate G flowing from upstream. The glass substrate G is a plate-shaped member, and the surface is spray-coated. Note that anti-glare coating agents such as silicon alkoxide, anti-fingerprint coating agents, water-repellent coating agents, etc. are used as coating liquids used in the spray coating method. In addition, although a glass substrate G is used as a coating target, this is not limited thereto, and for example, a ceramic plate, a resin plate, etc. may also be used.

製造装置1は、スプレーノズル11を備える。スプレーノズル11は、スプレーコーティング用のスプレーノズルであり、塗布液を広範囲に噴霧するノズルである。 The manufacturing device 1 is equipped with a spray nozzle 11. The spray nozzle 11 is a spray nozzle for spray coating, and is a nozzle that sprays the coating liquid over a wide area.

スプレーノズル11には、図1に示される、塗布液供給機構12が接続されている。前記塗布液供給機構12には、膜を形成するための塗布液が溜められている。塗布液は、塗布液供給機構12からスプレーノズル11に塗布液が供給される。塗布液は、スプレーノズル11からガラス基板Gに向けて吐出される。スプレーノズル11は、塗布液を霧化し、霧化した塗布液をガラス基板Gの上に供給できることが好ましい。 The spray nozzle 11 is connected to a coating liquid supply mechanism 12 shown in FIG. 1. The coating liquid supply mechanism 12 stores the coating liquid for forming a film. The coating liquid is supplied from the coating liquid supply mechanism 12 to the spray nozzle 11. The coating liquid is ejected from the spray nozzle 11 toward the glass substrate G. It is preferable that the spray nozzle 11 is capable of atomizing the coating liquid and supplying the atomized coating liquid onto the glass substrate G.

製造装置1は、スプレーノズル11に対してガラス基板GをX軸方向に沿って相対的に移動させる移動機構13を備えている。例えば、移動機構13は、図1に示すように、ガラス基板GをX軸方向に沿って移動できるように、複数の搬送ロールにより構成されている。移動機構13は、ガラス基板Gをスプレーノズル11に対してX軸方向のx1側からx2側に向けて一定速度で相対的移動させる。 The manufacturing apparatus 1 is equipped with a moving mechanism 13 that moves the glass substrate G relative to the spray nozzle 11 along the X-axis direction. For example, as shown in FIG. 1, the moving mechanism 13 is composed of a plurality of transport rolls so that the glass substrate G can be moved along the X-axis direction. The moving mechanism 13 moves the glass substrate G relative to the spray nozzle 11 at a constant speed from the x1 side to the x2 side in the X-axis direction.

スプレーノズル11は、図2に示される走査機構14に接続されている。この走査機構14により、X軸方向に対して直交するY軸方向に沿ってガラス基板Gを横切るようにスプレーノズル11が往復走査する。具体的には、走査機構14により、ガラス基板Gのy1側端部よりもy1側の位置と、y2側端部よりもy2側の位置との間をスプレーノズル11が往復走査することによりガラス基板G全面に霧化した塗布液を塗布することができる。 The spray nozzle 11 is connected to a scanning mechanism 14 shown in FIG. 2. This scanning mechanism 14 causes the spray nozzle 11 to scan back and forth across the glass substrate G along the Y-axis direction perpendicular to the X-axis direction. Specifically, the scanning mechanism 14 causes the spray nozzle 11 to scan back and forth between a position on the y1 side of the y1 end of the glass substrate G and a position on the y2 side of the y2 end of the glass substrate G, thereby applying atomized coating liquid to the entire surface of the glass substrate G.

すなわち、走査機構14は、ガラス基板Gよりもy1側までスプレーノズル11を移動させた後に、移動方向を反転させて、ガラス基板Gよりもy2側までスプレーノズル11を移動させて、当該往復動を繰り返す装置である。 In other words, the scanning mechanism 14 is a device that moves the spray nozzle 11 to the y1 side of the glass substrate G, then reverses the direction of movement and moves the spray nozzle 11 to the y2 side of the glass substrate G, repeating this reciprocating movement.

図3に示すように、塗布液供給機構12、移動機構13、および走査機構14は制御部15に接続されており、制御部15によって制御される。具体的には、制御部15は、塗布液供給機構12からスプレーノズル11に供給される塗布液の流量を調整する。制御部15による塗布液の流量調整により、ガラス基板Gに塗布される塗布液の量が制御される。制御部15は、移動機構13によるガラス基板Gの移動速度を制御する。制御部15は、走査機構14によるスプレーノズル11の走査方向および走査速度を制御する。 As shown in FIG. 3, the coating liquid supply mechanism 12, the moving mechanism 13, and the scanning mechanism 14 are connected to and controlled by the control unit 15. Specifically, the control unit 15 adjusts the flow rate of the coating liquid supplied from the coating liquid supply mechanism 12 to the spray nozzle 11. The amount of coating liquid applied to the glass substrate G is controlled by adjusting the flow rate of the coating liquid by the control unit 15. The control unit 15 controls the moving speed of the glass substrate G by the moving mechanism 13. The control unit 15 controls the scanning direction and scanning speed of the spray nozzle 11 by the scanning mechanism 14.

次に、スプレーコーティング用のスプレーノズル11を走査機構14に取付ける準備工程S01について図4から図6を用いて説明する。
一般的に、スプレーコート法では、移動機構13上に配置されたガラス基板Gの表面に対するスプレーノズル11の噴射位置は、塗布液の種類、およびスプレーノズル11の種類によって一義的に定められる。ガラス基板Gの表面に対するスプレーノズル11の噴射位置が、所定の位置に無い場合、塗布ムラや未塗布面の生成などの問題が発生する。
Next, the preparation step S01 for attaching the spray nozzle 11 for spray coating to the scanning mechanism 14 will be described with reference to FIGS.
In general, in the spray coating method, the spray position of the spray nozzle 11 with respect to the surface of the glass substrate G placed on the moving mechanism 13 is uniquely determined by the type of coating liquid and the type of the spray nozzle 11. If the spray position of the spray nozzle 11 with respect to the surface of the glass substrate G is not at a predetermined position, problems such as uneven coating and generation of uncoated surfaces occur.

そこで、従来の準備工程S01においては、まず、移動機構13の上に実際のガラス基板Gを配置して、スプレーノズル11との距離を測定していた。スプレーノズル11の走査機構14への取付は、作業者が目視によっておおよその位置を確認して仮取付を行い、スプレーノズル11のY軸方向の位置決めを行っていた。そして、スプレーノズル11の高さ方向の調整については、実際のガラス基板Gに対する高さ位置を確認し微差について調整していた。 Therefore, in the conventional preparation step S01, first, the actual glass substrate G was placed on the moving mechanism 13, and the distance from the spray nozzle 11 was measured. The spray nozzle 11 was temporarily attached to the scanning mechanism 14 by an operator who visually confirmed the approximate position, and then the spray nozzle 11 was positioned in the Y-axis direction. The height of the spray nozzle 11 was then adjusted by checking the height position relative to the actual glass substrate G and making adjustments for minor differences.

これに対し、本発明においては、準備工程S01において、位置決め治具30を使用するものである。位置決め治具30を使用して、スプレーノズル11の位置を固定した状態でスプレーノズル11を走査機構14へ取り付けることができるので、取付時間を短縮することができる。 In contrast, in the present invention, a positioning jig 30 is used in the preparation step S01. Using the positioning jig 30, the spray nozzle 11 can be attached to the scanning mechanism 14 while the position of the spray nozzle 11 is fixed, thereby shortening the installation time.

次に、位置決め治具30の詳細について図4および図5を用いて説明する。
位置決め治具30は、土台31と、土台31から立設するブラケット32A・32Bと、ブラケット32A・32Bにそれぞれ接続される複数の載置台33・33と、を有する。また、本実施形態においては、土台31に、二つのブラケット32A・32Bを設けているが、ブラケットの数は一つでもよく、三つ以上でもよい。
Next, the positioning jig 30 will be described in detail with reference to FIGS.
The positioning jig 30 has a base 31, brackets 32A and 32B standing upright from the base 31, and a plurality of mounting tables 33 connected to the brackets 32A and 32B, respectively. In this embodiment, the base 31 is provided with two brackets 32A and 32B, but the number of brackets may be one, or three or more.

土台31は、直方体状の部材であり、底面は、ダミー基板100の表面と平行になるように形成されている。土台31の上面には、ブラケット32A・32Bを嵌めて位置合わせするための凹部31a・31bが設けられている。本実施形態においては、第一のブラケット32Aの位置合わせを行うための第一の凹部31aと、第二のブラケット32Bの位置合わせを行うための第二の凹部31bと、が設けられている。第一の凹部31aのX軸方向の幅は、第一のブラケット32AのX軸方向の長さとほぼ同一である。また、第一の凹部31aのY軸方向の長さは、土台31のY軸方向の長さとほぼ同一である。第二の凹部31bのX軸方向の幅は、第二のブラケット32BのX軸方向の長さよりも大きい。また、第二の凹部31bのY軸方向の幅は、土台31のY軸方向の長さよりも短い。 The base 31 is a rectangular parallelepiped member, and its bottom surface is formed to be parallel to the surface of the dummy substrate 100. The top surface of the base 31 is provided with recesses 31a and 31b for fitting and aligning the brackets 32A and 32B. In this embodiment, a first recess 31a for aligning the first bracket 32A and a second recess 31b for aligning the second bracket 32B are provided. The width in the X-axis direction of the first recess 31a is approximately the same as the length in the X-axis direction of the first bracket 32A. The length in the Y-axis direction of the first recess 31a is approximately the same as the length in the Y-axis direction of the base 31. The width in the X-axis direction of the second recess 31b is greater than the length in the X-axis direction of the second bracket 32B. The width in the Y-axis direction of the second recess 31b is shorter than the length in the Y-axis direction of the base 31.

また、土台31のX軸方向の端部であって、第二の凹部31b側の端部には水平調整ネジ固定台31cが設けられている。水平調整ネジ固定台31cは、土台31の上面から高さ方向に突出しており、水平調整ネジ固定台31cには、水平調整ネジ41を挿通するための図示せぬ挿入孔が設けられている。 A horizontal adjustment screw fixing base 31c is provided at the end of the base 31 in the X-axis direction, which is the end on the second recess 31b side. The horizontal adjustment screw fixing base 31c protrudes in the height direction from the upper surface of the base 31, and the horizontal adjustment screw fixing base 31c is provided with an insertion hole (not shown) for inserting the horizontal adjustment screw 41.

ブラケット32A・32Bは土台31の底面に対して直交する高さ方向に立設する部材である。第一のブラケット32Aは、直方体状の部材である。第二のブラケット32Bは直方体状の立設部材32Baと、直方体状の立設部材32BaからX軸方向に突出した支持台部32Bbとを備えている。支持台部32Bbは、X軸調節用の固定部材42を挿入する固定部材用長孔32Bcが設けられている。また、第二のブラケットの立設部材32Baの支持台部32Bbと反対側の端面には、水平調整ネジ41を挿通するための図示せぬ挿入孔が設けられている。 The brackets 32A and 32B are members that stand in a height direction perpendicular to the bottom surface of the base 31. The first bracket 32A is a rectangular parallelepiped member. The second bracket 32B has a rectangular parallelepiped standing member 32Ba and a support base portion 32Bb that protrudes in the X-axis direction from the rectangular parallelepiped standing member 32Ba. The support base portion 32Bb is provided with a fixing member long hole 32Bc into which a fixing member 42 for X-axis adjustment is inserted. In addition, an insertion hole (not shown) is provided on the end face of the standing member 32Ba of the second bracket opposite the support base portion 32Bb, for inserting the horizontal adjustment screw 41.

第一のブラケット32Aおよび第二のブラケット32Bには、複数の長孔が設けられている。ブラケット32A・32BのY軸方向中央部の長孔は、載置台33の根本部33aを挿入するための第一の長孔32dであり、Y軸方向端部側の長孔は、固定部材43を挿入する固定部材用長孔である。 The first bracket 32A and the second bracket 32B are provided with multiple long holes. The long hole in the center of the brackets 32A and 32B in the Y-axis direction is the first long hole 32d for inserting the base portion 33a of the mounting base 33, and the long hole on the end side in the Y-axis direction is a fixing member long hole for inserting the fixing member 43.

第一のブラケット32Aおよび第二のブラケット32Bの上端には、高さ調整ネジ44を固定するための高さ調整ネジ固定台32fが設けられている。高さ調整ネジ固定台32fは、ブラケット32A・32Bの上端からX軸方向に突出しており、高さ調整ネジ固定台32fには、高さ調整ネジ44を挿通するための図示せぬ挿入孔が設けられている。 A height adjustment screw fixing base 32f for fixing the height adjustment screw 44 is provided at the upper ends of the first bracket 32A and the second bracket 32B. The height adjustment screw fixing base 32f protrudes in the X-axis direction from the upper ends of the brackets 32A and 32B, and the height adjustment screw fixing base 32f has an insertion hole (not shown) for inserting the height adjustment screw 44.

載置台33は、樹脂により構成され、X軸方向へ突出するノズル把持部33bを備えている。ノズル把持部33bには、スプレーノズル11と嵌め合う凹部が形成されている。本実施形態においては、凹部は溝33cによって形成されている。溝33cはY軸方向と平行に設けられている。なお、載置台33は、溝33cが形成されている部分が樹脂により構成されていればよく、それ以外の部分は金属により構成されてもよい。なお、凹部は、溝33cで構成されているが、これに限定するものではない。例えば、凹部は、長孔で形成されていてもよい。長孔は、スプレーノズル11と嵌め合わせた際に、スプレーノズル11がY軸方向と平行に移動可能な形状を有していることが好ましい。 The mounting base 33 is made of resin and has a nozzle gripping portion 33b that protrudes in the X-axis direction. The nozzle gripping portion 33b has a recess formed therein to fit with the spray nozzle 11. In this embodiment, the recess is formed by a groove 33c. The groove 33c is provided parallel to the Y-axis direction. Note that the mounting base 33 only needs to have the portion where the groove 33c is formed made of resin, and the other portions may be made of metal. Note that the recess is formed by the groove 33c, but is not limited to this. For example, the recess may be formed by an elongated hole. It is preferable that the elongated hole has a shape that allows the spray nozzle 11 to move parallel to the Y-axis direction when it is fitted with the spray nozzle 11.

また、上述したように、載置台33の根本部33aは第一の長孔32dに挿通されている。根本部33aには、高さ調整ネジ44を挿入するための図示せぬ挿入調整孔が設けられている。高さ調整ネジ44を回転させることにより、高さ調整ネジ固定台32fに対して根本部33aが上下方向に移動可能に構成されている。 As described above, the base 33a of the mounting base 33 is inserted into the first long hole 32d. The base 33a is provided with an insertion adjustment hole (not shown) for inserting the height adjustment screw 44. By rotating the height adjustment screw 44, the base 33a can be moved up and down relative to the height adjustment screw fixing base 32f.

次に、準備工程S01における位置決め治具30を用いたスプレーノズル11の取り付け手順について図6を用いて説明する。
まず、ダミー基板100を移動機構13の上に配置する。ダミー基板100は厚さがガラス基板Gと同じ厚さとなるように構成され、密度がガラス基板Gよりも低く靭性の高い部材によって形成されている。すなわち、実際のガラス基板Gよりも扱いやすく移動機構13に配置しやすい素材で形成されている。なお、ダミー基板100は、繰り返し使用による変形を少なくするために、密度がガラス基板Gよりも高く靭性の低い部材によって形成されていてもよいし、ガラス基板Gを用いてもよい。また、取り扱いを容易にする観点では、ダミー基板100の面積は実際のガラス基板Gよりも小さくてもよい。
Next, a procedure for attaching the spray nozzle 11 using the positioning jig 30 in the preparation step S01 will be described with reference to FIG.
First, the dummy substrate 100 is placed on the moving mechanism 13. The dummy substrate 100 is configured to have the same thickness as the glass substrate G, and is formed of a material having a lower density and higher toughness than the glass substrate G. In other words, it is formed of a material that is easier to handle and to place on the moving mechanism 13 than the actual glass substrate G. Note that the dummy substrate 100 may be formed of a material having a higher density and lower toughness than the glass substrate G, or the glass substrate G may be used, in order to reduce deformation due to repeated use. In addition, from the viewpoint of ease of handling, the area of the dummy substrate 100 may be smaller than that of the actual glass substrate G.

ダミー基板100を配置する一方で、位置決め治具30の載置台33の高さを所定の位置に合わせて固定する。すなわち、高さ調整ネジ44を回転することにより、載置台33の根本部33aと、高さ調整ネジ固定台32fとの距離を調整する。第一のブラケット32Aに固定された載置台33および第二のブラケット32Bに固定された載置台33の高さは個別に調整することができる。これにより、スプレーノズル11の種類や形状に合わせて、スプレーノズル11の位置を所望の高さに合わせることが可能となる。 While the dummy substrate 100 is placed, the height of the mounting base 33 of the positioning jig 30 is adjusted to a predetermined position and fixed. That is, the distance between the base 33a of the mounting base 33 and the height adjustment screw fixing base 32f is adjusted by rotating the height adjustment screw 44. The heights of the mounting base 33 fixed to the first bracket 32A and the mounting base 33 fixed to the second bracket 32B can be adjusted separately. This makes it possible to adjust the position of the spray nozzle 11 to the desired height according to the type and shape of the spray nozzle 11.

また、第二のブラケット32Bの水平調整ネジ41を回転させることにより、第一のブラケット32Aと第二のブラケット32Bとの距離を調節することができる。このように構成することより、複数のスプレーノズル11のX軸方向の配置関係を調整することができる。 The distance between the first bracket 32A and the second bracket 32B can be adjusted by rotating the horizontal adjustment screw 41 of the second bracket 32B. This configuration allows the positional relationship of the multiple spray nozzles 11 in the X-axis direction to be adjusted.

次に、位置関係を固定した位置決め治具30を用いて、スプレーノズル11を支持する。スプレーノズル11は、位置決め治具30の載置台33の溝33cに載置される。載置台33の溝33cはY軸方向と平行に構成されており、スプレーノズル11の端を嵌め合わせることにより、スプレーノズル11が、自立するように載置される。 Next, the spray nozzle 11 is supported using the positioning jig 30 with a fixed positional relationship. The spray nozzle 11 is placed in the groove 33c of the mounting base 33 of the positioning jig 30. The groove 33c of the mounting base 33 is configured parallel to the Y-axis direction, and by fitting the end of the spray nozzle 11 into it, the spray nozzle 11 is placed so that it can stand on its own.

次に、スプレーノズル11が載置台33に載置された状態で、位置決め治具30をダミー基板100上に配置する。位置決め治具30をダミー基板100上に載置することにより、ガラス基板Gに対するスプレーノズル11の位置が位置決めされる。そして、スプレーノズル11を走査機構14に取り付ける。走査機構14へのスプレーノズル11の取り付けにおいて、スプレーノズル11は、位置決め治具30による高さ調整をした後に、走査機構14に設置されているT型の固定治具35のスプレーノズル固定用の長孔35aに対して、側方から固定部材36で位置決めをすることで取り付ける。このようにすると、位置決め治具30において、スプレーノズル11が自立しているため、走査機構14に対して固定する際の取付作業が容易となる。 Next, with the spray nozzle 11 placed on the mounting table 33, the positioning jig 30 is placed on the dummy substrate 100. By placing the positioning jig 30 on the dummy substrate 100, the position of the spray nozzle 11 relative to the glass substrate G is determined. Then, the spray nozzle 11 is attached to the scanning mechanism 14. When attaching the spray nozzle 11 to the scanning mechanism 14, the spray nozzle 11 is attached by positioning it from the side with the fixing member 36 in the long hole 35a for fixing the spray nozzle of the T-shaped fixing jig 35 installed on the scanning mechanism 14 after adjusting the height with the positioning jig 30. In this way, the spray nozzle 11 is freestanding in the positioning jig 30, which makes it easier to attach it to the scanning mechanism 14.

そして、準備工程S01を終えると、図7に示すように、位置決め治具30を外し、ガラス基板Gの上にスプレーコート法により膜を製造する塗布工程S02を行う。 After completing the preparation process S01, as shown in FIG. 7, the positioning jig 30 is removed, and the coating process S02 is performed to produce a film on the glass substrate G by spray coating.

このように構成することにより、作業者は、準備工程S01において、スプレーノズル11の位置決めを容易に行うことができる。また、スプレーノズル11の位置決めを正確に行うことができる。さらに、位置決め治具30の高さ調整ネジ44および水平調整ネジ41を回転することで、高さおよび水平方向の位置調整が容易となるため、スプレーノズル11の形状に合わせて位置調整条件を設定することが容易となる。 By configuring in this manner, the worker can easily position the spray nozzle 11 in the preparation step S01. In addition, the spray nozzle 11 can be positioned accurately. Furthermore, by rotating the height adjustment screw 44 and horizontal adjustment screw 41 of the positioning jig 30, the height and horizontal position can be easily adjusted, making it easy to set position adjustment conditions according to the shape of the spray nozzle 11.

以上のように、本発明のスプレーコーティング用のスプレーノズル11の位置決め治具30は、載置台33にスプレーコーティング用のスプレーノズル11と嵌め合う溝33cが形成されていることを特徴する。 As described above, the positioning jig 30 for the spray nozzle 11 for spray coating of the present invention is characterized in that the mounting base 33 is formed with a groove 33c that fits with the spray nozzle 11 for spray coating.

このように構成することにより、スプレーコーティング用のスプレーノズル11を溝33c(凹部)に嵌め合わせることにより、スプレーノズル11の高さ方向の位置調整および水平方向の位置調整を容易に行うことができ、スプレーノズル11を交換する際の取付時間を短縮することができる。 By configuring it in this way, the spray nozzle 11 for spray coating can be easily adjusted in the vertical and horizontal directions by fitting it into the groove 33c (recess), and the installation time when replacing the spray nozzle 11 can be shortened.

また、本発明の位置決め治具30は、土台31と、土台31から立設し載置台33が接続するブラケット32A・32Bを有し、ブラケット32A・32Bには、載置台33の高さを調整する高さ調整機構である高さ調整ネジ44および高さ調整ネジ固定台32fを有するものである。
このように構成することにより、土台31を基準として載置台33の高さ位置を調節することが容易となり、スプレーノズル11を交換する際の取付時間を短縮することができる。
In addition, the positioning jig 30 of the present invention has a base 31 and brackets 32A and 32B that stand upright from the base 31 and are connected to a mounting base 33, and the brackets 32A and 32B have a height adjustment screw 44 and a height adjustment screw fixing base 32f, which are height adjustment mechanisms for adjusting the height of the mounting base 33.
With this configuration, it becomes easy to adjust the height position of the mounting table 33 with the base 31 as a reference, and the installation time when replacing the spray nozzle 11 can be shortened.

また、本発明の位置決め治具30においては、載置台33は樹脂である。
このように構成することにより、スプレーノズル11の先端を溝33cに嵌め合わせた際に、スプレーノズル11の先端に傷がつくことを防止することができる。なお、樹脂としては、例えば、モノマーキャストナイロン・UPE(超高分子量ポリエチレン)等のエンプラを用いることができる。
In the positioning jig 30 of the present invention, the mounting table 33 is made of resin.
With this configuration, when the tip of the spray nozzle 11 is fitted into the groove 33c, it is possible to prevent the tip of the spray nozzle 11 from being scratched. As the resin, for example, an engineering plastic such as monomer cast nylon or UPE (ultra-high molecular weight polyethylene) can be used.

また、本発明の位置決め治具30においては、複数の載置台33を有する。
このように構成することにより、複数のスプレーノズル11の高さ方向の位置決めを同時に行うことができるので、スプレーノズル11を交換する際の取付時間を短縮することができる。
Moreover, the positioning jig 30 of the present invention has a plurality of mounting tables 33 .
With this configuration, the height positions of the plurality of spray nozzles 11 can be determined simultaneously, thereby shortening the installation time when replacing the spray nozzles 11.

また、本発明の位置決め治具30においては、土台31のブラケット32B側に、ノズル間隔調整機構である水平調整ネジ41および水平調整ネジ固定台31cを有する。
このように構成することにより、複数のスプレーノズル11の位置決めを行う場合において、スプレーノズル11同士の間隔を容易に調整することができるので、スプレーノズル11を交換するの際の取付時間を短縮することができる。
Furthermore, in the positioning jig 30 of the present invention, the bracket 32B side of the base 31 has a horizontal adjustment screw 41 and a horizontal adjustment screw fixing base 31c, which are a nozzle interval adjustment mechanism.
By configuring in this manner, when positioning multiple spray nozzles 11, the spacing between the spray nozzles 11 can be easily adjusted, thereby shortening the installation time when replacing the spray nozzles 11.

また、本発明におけるスプレーコーティングされたガラス基板Gの製造方法において、スプレーコーティング用のスプレーノズル11を準備する準備工程S01と、準備工程S01後に塗布液をガラス基板に塗布する塗布工程S02を有し、準備工程S01では、位置決め治具30を使用する。
このように構成することにより、準備工程S01において、位置決め治具30を使用することにより、スプレーノズル11の高さ方向の位置調整および水平方向の位置調整を容易に行うことができ、スプレーノズル11を交換する際の取付時間を短縮することができる。
In addition, the manufacturing method of the spray-coated glass substrate G in the present invention includes a preparation step S01 of preparing a spray nozzle 11 for spray coating, and a coating step S02 of coating the glass substrate with a coating liquid after the preparation step S01, and a positioning jig 30 is used in the preparation step S01.
By configuring in this manner, by using the positioning jig 30 in the preparation process S01, the vertical position and horizontal position adjustment of the spray nozzle 11 can be easily performed, thereby shortening the installation time when replacing the spray nozzle 11.

また、本発明のガラス基板Gの製造方法において、複数のスプレーコーティング用のスプレーノズル11の高さ方向の位置決めをした後に、複数のスプレーコーティング用のスプレーノズル11の間隔を位置決めすることが好ましい。
このように構成することにより、高さ方向の位置調整を終えた後に、複数のスプレーコーティング用のスプレーノズル11間隔を位置決めすることで水平方向の位置調整を行うことができる。
In the method for manufacturing a glass substrate G of the present invention, it is preferable to determine the spacing between the plurality of spray nozzles 11 for spray coating after determining the positions of the plurality of spray nozzles 11 for spray coating in the height direction.
With this configuration, after completing the position adjustment in the height direction, the horizontal position adjustment can be performed by determining the intervals between the multiple spray nozzles 11 for spray coating.

また、本発明のガラス基板Gの製造方法において、準備工程S01では、ダミー基板100の上に、位置決め治具30を載置することが好ましい。
このように構成することにより、ガラス基板Gを用意することなく準備工程S01を行うことができるので、スプレーノズル11を交換する際の取付時間を短縮することができる。
In the method for manufacturing the glass substrate G of the present invention, it is preferable to place a positioning jig 30 on the dummy substrate 100 in the preparation step S01.
With this configuration, the preparation step S01 can be performed without preparing a glass substrate G, so that the installation time required for replacing the spray nozzle 11 can be shortened.

1 製造装置
11 スプレーノズル
12 塗布液供給機構
13 移動機構
14 走査機構
30 位置決め治具
31 土台
32A・32B ブラケット
33 載置台
33c 溝(凹部)
REFERENCE SIGNS LIST 1 Manufacturing device 11 Spray nozzle 12 Coating liquid supply mechanism 13 Movement mechanism 14 Scanning mechanism 30 Positioning jig 31 Base 32A, 32B Bracket 33 Mounting table 33c Groove (recess)

Claims (8)

載置台にスプレーコーティング用のスプレーノズルと嵌め合う凹部が形成されている、
ことを特徴とするスプレーコーティング用のスプレーノズルの位置決め治具。
The mounting table has a recess formed therein to fit a spray nozzle for spray coating.
A positioning jig for a spray nozzle used in spray coating.
前記凹部は樹脂により構成される、
ことを特徴とする請求項1に記載の位置決め治具。
The recess is made of resin.
2. The positioning jig according to claim 1.
土台と、
前記土台から立設し前記載置台が接続するブラケットを有し、
前記ブラケットには、前記載置台の高さを調整する高さ調整機構を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の位置決め治具。
The foundation,
a bracket extending from the base and connected to the mounting stand;
The bracket has a height adjustment mechanism for adjusting the height of the mounting table.
2. The positioning jig according to claim 1.
複数の載置台を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の位置決め治具。
A plurality of mounting tables are provided.
2. The positioning jig according to claim 1.
前記土台と前記ブラケットの間に、
ノズル間隔調整機構を有する、
ことを特徴とする請求項3に記載の位置決め治具。
Between the base and the bracket,
Has a nozzle interval adjustment mechanism,
4. The positioning jig according to claim 3.
スプレーコーティングされたガラス基板の製造方法であって、
スプレーコーティング用のスプレーノズルを準備する準備工程と、
準備工程後に塗布液をガラス基板に塗布する塗布工程を有し、
前記準備工程では、前記請求項1から5のいずれか一項に記載の位置決め治具を使用する、
ことを特徴とするガラス基板の製造方法。
1. A method for producing a spray-coated glass substrate, comprising:
preparing a spray nozzle for spray coating;
A coating step of coating a coating liquid onto a glass substrate after the preparation step is included,
In the preparation step, the positioning jig according to any one of claims 1 to 5 is used.
A method for manufacturing a glass substrate comprising the steps of:
前記準備工程では、複数のスプレーコーティング用のスプレーノズルの高さ方向の位置決めをした
後に、前記複数のスプレーコーティング用のスプレーノズルの間隔を位置決めする、
ことを特徴とする請求項6に記載のガラス基板の製造方法。
In the preparation step, a plurality of spray nozzles for spray coating are positioned in a height direction, and then a spacing between the plurality of spray nozzles for spray coating is determined.
The method for manufacturing a glass substrate according to claim 6 .
前記準備工程では、ダミー基板の上に、位置決め治具を載置する、
ことを特徴とする請求項6に記載のガラス基板の製造方法。
In the preparation step, a positioning jig is placed on the dummy substrate.
The method for manufacturing a glass substrate according to claim 6 .
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