JP2024058808A

JP2024058808A - 固体撮像装置および電子機器

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Publication number: JP2024058808A
Application number: JP2022166142A
Authority: JP
Inventors: 信野中
Original assignee: Sony Semiconductor Solutions Corp
Current assignee: Sony Semiconductor Solutions Corp
Priority date: 2022-10-17
Filing date: 2022-10-17
Publication date: 2024-04-30
Also published as: WO2024084880A1

Abstract

【課題】光の混在を抑制すること。【解決手段】１つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を２次元状に配列した画素アレイ部を備えており、前記画素は、制御部材を有しており、前記制御部材は、第１屈折率を有する第１部材と、該第１屈折率よりも低い第２屈折率を有する第２部材と、から構成されており、前記オンチップレンズと、前記第１部材と、前記第２部材と、前記光電変換素子と、がこの順に積層されており、前記第２部材は、前記第１部材に対向する第１面と、前記光電変換素子に対向する第２面と、を有しており、前記第１面は、前記オンチップレンズに向かって突出している凸部、または、前記光電変換素子に向かって凹んでいる凹部を含んでおり、前記凹部を含むとき、表面に複数の凹凸部が形成されている、固体撮像装置を提供する。【選択図】図４

Description

本技術は、固体撮像装置および電子機器に関する。

近年、オートフォーカス技術の向上を図るために、像面位相差検出画素を配置した固体撮像装置が開発されている。

たとえば、特許文献１では、１つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を２次元状に配列した固体撮像装置が開示されている。

特開２０１８－２０１０１５号公報

特許文献１などで開示されている、１つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素では、それぞれの光電変換素子に不要な光が混在しないことが好ましい。

そこで、本技術は、光の混在を抑制する固体撮像装置および電子機器を提供することを主目的とする。

本技術は、
１つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を２次元状に配列した画素アレイ部を備えており、
前記画素は、制御部材を有しており、
前記制御部材は、第１屈折率を有する第１部材と、該第１屈折率よりも低い第２屈折率を有する第２部材と、から構成されており、
前記オンチップレンズと、前記第１部材と、前記第２部材と、前記光電変換素子と、がこの順に積層されており、
前記第２部材は、前記第１部材に対向する第１面と、前記光電変換素子に対向する第２面と、を有しており、
前記第１面は、前記オンチップレンズに向かって突出している凸部、または、前記光電変換素子に向かって凹んでいる凹部を含んでおり、前記凹部を含むとき、表面に複数の凹凸部が形成されている、固体撮像装置を提供する。
前記第１面は、前記凸部を含むとき、表面に複数の凹凸部が形成されていてよい。
前記複数の凹凸部のそれぞれは、前記第１面に対して垂直に形成されていてよい。
前記複数の凹凸部のそれぞれは、前記光電変換素子に対して垂直に形成されていてよい。
前記複数の凹凸部のそれぞれは、錐体に形成されていてよい。
前記複数の凹凸部のそれぞれは、柱体に形成されていてよい。
前記第１部材は、ＳｉＯ_２を含んでいてよい。
前記凹凸部が有する屈折率は、前記第１屈折率よりも低く、前記第２屈折率よりも高くてよい。
前記凸部または前記凹部は、前記第１面の略中央に形成されていてよい。
前記凸部の断面は、山型に形成されていてよい。
前記凸部の断面は、前記オンチップレンズに近づくにつれて幅が狭まるテーパー形状に形成されていてよい。
前記凹部の断面は、Ｖ字型に形成されていてよい。
前記凹部の断面は、前記光電変換素子に近づくにつれて幅が狭まるテーパー形状に形成されていてよい。
前記複数の凹凸部のそれぞれは、前記凸部または前記凹部の近傍から前記第１面の端部に向かうにつれて高さが変化していてよい。
前記複数の凹凸部のそれぞれは、前記凸部または前記凹部の近傍から前記第１面の端部に向かうにつれて間隔が変化していてよい。
前記凸部または前記凹部の近傍に形成されている前記複数の凹凸部のそれぞれの間隔は、前記第１面の端部に形成されている前記間隔よりも短くてよい。
前記画素は、前記オンチップレンズの直下に配置される、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、または青（Ｂ）のカラーフィルタに応じて、Ｒ画素、Ｇ画素、またはＢ画素として構成されていてよい。
前記画素は、１つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を２次元状に配列していてよい。
前記画素アレイ部は、１つのオンチップレンズに対して複数の画素を２次元状に配列していてよい。
また、本技術は、前記固体撮像装置を備えている電子機器を提供する。

本技術によれば、光の混在を抑制する固体撮像装置および電子機器を提供できる。なお、ここに記載された効果は、必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果であってもよい。

本技術の一実施形態に係る固体撮像装置の構成例を示すブロック図である。画素７００の構成例を示す断面図である。光の入射角θ_iに応じた光電変換素子ごとの出力を示すグラフである。本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素１００の構成例を示す断面図である。本技術の一実施形態に係る制御部材４２の製造方法の一例を示す模式図である。本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素２００の構成例を示す断面図である。本技術の一実施形態に係る第２部材４２２の左半分の構成例を示す断面図である。本技術の一実施形態に係る第２部材４２２の左半分の構成例を示す断面図である。本技術の一実施形態に係る制御部材４２の製造に用いられるモールド３１の構成例を示す模式図である。本技術の一実施形態に係る第２部材４２２の左半分の構成例を示す断面図である。本技術の一実施形態に係る第２部材４２２の左半分の構成例を示す断面図である。本技術の一実施形態に係る第２部材４２２の左半分の構成例を示す断面図である。本技術の一実施形態に係る第２部材４２２の左半分の構成例を示す断面図である。本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素３００の構成例を示す断面図である。本技術の一実施形態に係る制御部材４２の製造方法の一例を示す模式図である。本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素４００の構成例を示す断面図である。本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素５００の構成例を示す断面図である。本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素６００の構成例を示す断面図である。本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０の検証結果の一例を示すグラフである。本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０の検証結果の一例を示すグラフである。本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素１００の構成例を示す平面図である。本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素１００の構成例を示す平面図である。本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素１００の構成例を示す平面図である。本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素１００の構成例を示す平面図である。本技術に係る第１～第８実施形態の固体撮像装置のイメージセンサとしての使用例を示す図である。本技術を適用した電子機器としての固体撮像装置の構成例を示すブロック図である。本技術が適用され得る内視鏡手術システムの概略的な構成の一例を示す図である。図２７に示すカメラヘッド１１１０２及びＣＣＵ１１２０１の機能構成の一例を示すブロック図である。本技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。本技術の一実施形態に係撮像部１２０３１の設置位置の例を示す図である。

以下、本技術を実施するための好適な実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本技術の代表的な実施形態の一例を示したものであり、これにより本技術の範囲が限定されることはない。また、本技術は、下記の実施例およびその変形例のいずれかを組み合わせることができる。

以下の実施形態の説明において、略平行、略直交のような「略」を伴った用語で構成を説明することがある。たとえば、略平行とは、完全に平行であることを意味するだけでなく、実質的に平行である、すなわち、完全に平行な状態からたとえば数％程度ずれた状態を含むことも意味する。他の「略」を伴った用語についても同様である。また、各図は模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。

特に断りがない限り、図面において、「上」とは図中の上方向または上側を意味し、「下」とは、図中の下方向または下側を意味し、「左」とは図中の左方向または左側を意味し、「右」とは図中の右方向または右側を意味する。また、図面については、同一または同等の要素または部材には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

説明は以下の順序で行う。
１．固体撮像装置の構成
２．前提となる技術
３．第１実施形態（固体撮像装置の例１）
４．第２実施形態（固体撮像装置の例２）
５．第３実施形態（固体撮像装置の例３）
６．第４実施形態（固体撮像装置の例４）
７．第５実施形態（固体撮像装置の例５）
８．第６実施形態（固体撮像装置の例６）
９．第７実施形態（固体撮像装置の例７）
１０．検証結果
１１．第８実施形態（固体撮像装置の例８）
１２．第９実施形態（電子機器の例）
１２－１．本技術を適用した固体撮像装置の使用例
１２－２．本技術を適用した固体撮像装置の適用例

＜１．固体撮像装置の構成＞
固体撮像装置の構成例について図１を参照しつつ説明する。図１は、本技術の一実施形態に係る固体撮像装置の構成例を示すブロック図である。

図１に示される固体撮像装置１０は、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）を用いたイメージセンサの一例であるＣＭＯＳイメージセンサの一例である。固体撮像装置１０は、光学レンズ系（図１においては図示を省略）を介して被写体からの入射光（像光）を取り込んで、撮像面上に結像された入射光の光量を画素単位で電気信号に変換して画素信号として出力する。

図１に示されるとおり、固体撮像装置１０は、画素アレイ部１１、垂直駆動回路１２、カラム信号処理回路１３、水平駆動回路１４、出力回路１５、制御回路１６、および入出力端子１７を含んで構成される。

画素アレイ部１１には、複数の画素１００が２次元状（行列状）に配列される。画素１００は、光電変換素子としてのフォトダイオード（ＰＤ：Photodiode）と、複数の画素トランジスタと、を有して構成される。画素トランジスタは、たとえば、転送トランジスタ、リセットトランジスタ、増幅トランジスタ、および選択トランジスタなどから構成される。

垂直駆動回路１２は、たとえばシフトレジスタによって構成され、所定の画素駆動線２１を選択して、選択された画素駆動線２１に画素１００を駆動するためのパルスを供給し、行単位で画素１００を駆動する。すなわち、垂直駆動回路１２は、画素アレイ部１１の各画素１００を行単位で順次垂直方向に選択走査し、各画素１００の光電変換素子において受光量に応じて生成された信号電荷（電荷）に基づく画素信号を、垂直信号線２２を通してカラム信号処理回路１３に供給する。

カラム信号処理回路１３は、画素１００の列ごとに配置されており、１行分の画素１００から出力される信号に対して、ノイズ除去などの信号処理を行う。たとえば、カラム信号処理回路１３は、画素固有の固定パターンノイズを除去するための相関二重サンプリング（ＣＤＳ：Correlated Double Sampling）およびＡＤ(Analog Digital)変換などの信号処理を行う。

水平駆動回路１４は、たとえばシフトレジスタによって構成され、水平走査パルスを順次出力することによって、カラム信号処理回路１３の各々を順番に選択し、カラム信号処理回路１３の各々から画素信号を水平信号線２３に出力させる。

出力回路１５は、カラム信号処理回路１３の各々から水平信号線２３を通して順次に供給される信号に対し、信号処理を行って出力する。なお、出力回路１５は、たとえば、バッファリングのみを行う場合もあるし、黒レベル調整、列ばらつき補正、各種デジタル信号処理などを行う場合もある。

制御回路１６は、固体撮像装置１０の各部の動作を制御する。また、制御回路１６は、垂直同期信号、水平同期信号、およびマスタクロック信号に基づいて、垂直駆動回路１２、カラム信号処理回路１３、および水平駆動回路１４などの動作の基準となるクロック信号や制御信号を生成する。制御回路１６は、生成したクロック信号や制御信号を、垂直駆動回路１２、カラム信号処理回路１３、および水平駆動回路１４などに出力する。

入出力端子１７は、固体撮像装置１０の外部と信号のやりとりを行う。

以上のように構成される固体撮像装置１０は、カラム信号処理回路１３が画素列ごとに配置されたカラムＡＤ方式と呼ばれるＣＭＯＳイメージセンサでありうる。また、この固体撮像装置１０は、たとえば、裏面照射型のＣＭＯＳイメージセンサでありうる。

＜２．前提となる技術＞
固体撮像装置１０が備える画素の構成例について図２を参照しつつ説明する。図２は、画素７００の構成例を示す断面図である。図２に示されるとおり、画素７００は、１つのオンチップレンズ７１１の直下に２つの光電変換素子７１３Ａ，７１３Ｂを有している。画素７００は、オンチップレンズ７１１と光電変換素子７１３Ａ，７１３Ｂのほかに、カラーフィルタ７１２、画素間遮光部７１４、画素間分離部７１５、および転送ゲート１５１Ａ，１５１Ｂを含んで構成される。

画素７００は、１つのオンチップレンズ７１１に対し、光電変換素子７１３Ａと光電変換素子７１３Ｂの２つの光電変換素子が設けられた構造からなる。

画素７００において、オンチップレンズ７１１により集光された入射光ＩＬは、カラーフィルタ７１２を通過して、光電変換素子７１３Ａまたは光電変換素子７１３Ｂにおける光電変換領域に照射される。このとき、入射光ＩＬが、その入射角θ_iに応じて、光電変換素子７１３Ａの光電変換領域に集中的に照射されている。光電変換素子７１３Ａの出力を１００とすれば、光電変換素子７１３Ｂの出力が０であることが好ましいが、実際には、光電変換素子７１３Ｂからも一定量の出力がなされることがある。この出力について図３を参照しつつ説明する。図３は、光の入射角θ_iに応じた光電変換素子ごとの出力を示すグラフである。光電変換素子７１３Ａの出力を実線の曲線Ａで示し、光電変換素子７１３Ｂの出力を点線の曲線Ｂで示している。

入射角θ_iが０度となるとき、すなわち、光が真上から入射されたとき、光電変換素子７１３Ａの出力と、光電変換素子７１３Ｂの出力と、が一致している。すなわち、曲線Ａと曲線Ｂとは、入射角θ_iが０度のときの出力を対称軸とした線対称の関係を有している。

このような関係を有していることから、たとえば、図２に示したような光電変換素子７１３Ａの光電変換領域に対し、入射光ＩＬが集中的に照射されている場合に、光電変換素子７１３Ａの出力だけでなく、光電変換素子７１３Ｂの出力が多くなってしまうと、位相差検出の精度の低下を招くことになる。たとえば、図３において、入射角θaに注目すれば、光電変換素子７１３Ａからの出力だけでなく、光電変換素子７１３Ｂからの出力がなされている。これにより、位相差検出の精度が低下するおそれがある。

すなわち、光電変換素子７１３Ａと光電変換素子７１３Ｂとは、位相差検出のために対になって用いられるが、一方の光電変換素子７１３（７１３Ａまたは７１３Ｂ）の出力に対し、他方の光電変換素子７１３（７１３Ｂまたは７１３Ａ）の出力が混在すると、検出精度が低下するおそれがある。

＜３．第１実施形態（固体撮像装置の例１）＞
そこで、本技術は、１つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を２次元状に配列した画素アレイ部を備えており、前記画素は、制御部材を有しており、前記制御部材は、第１屈折率を有する第１部材と、該第１屈折率よりも低い第２屈折率を有する第２部材と、から構成されており、前記オンチップレンズと、前記第１部材と、前記第２部材と、前記光電変換素子と、がこの順に積層されており、前記第２部材は、前記第１部材に対向する第１面と、前記光電変換素子に対向する第２面と、を有しており、前記第１面は、前記オンチップレンズに向かって突出している凸部、または、前記光電変換素子に向かって凹んでいる凹部を含んでおり、前記凹部を含むとき、表面に複数の凹凸部が形成されている、固体撮像装置を提供する。

本技術の一実施形態に係る固体撮像装置の構成例について図４を参照しつつ説明する。図４は、本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素１００（１００Ｇ，１００Ｒ，１００Ｂ）の構成例を示す断面図である。図４に示されるとおり、それぞれの画素１００は、オンチップレンズ４１１、カラーフィルタ４１２、制御部材４２、光電変換素子４１３Ａ，４１３Ｂ、画素間遮光部４１４、画素間分離部４１５、および素子間分離部４１６を含んで構成される。

１つのオンチップレンズ４１１に対して複数の光電変換素子４１３Ａ，４１３Ｂが形成されている。オンチップレンズ４１１の光入射側の面には、反射防止膜４３１が形成されていてよい。この画素１００は、図１に示される画素アレイ部１１に２次元状に配列されている。

画素１００は、オンチップレンズ４１１の直下に配置される、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、または青（Ｂ）のカラーフィルタ４１２に応じて、Ｒ画素、Ｇ画素、またはＢ画素として構成されている。説明の都合上、画素１００ごとの色を特に区別する必要がある場合には、赤色光に対応するＲ画素１００を「１００Ｒ」、緑色光に対応するＧ画素１００を「１００Ｇ」、青色光に対応するＢ画素１００を「１００Ｂ」とそれぞれ表記することがある。

画素間遮光部４１４は、隣接する画素の間を遮光する。画素間遮光部４１４は、たとえば、タングステン（Ｗ）やアルミニウム（Ａｌ）を含む金属などの物質により形成されてよい。画素間遮光部４１４は、たとえば、オンチップレンズ４１１と、光電変換領域が形成されたシリコン層４１０との間の領域に配置されてよい。

画素間分離部４１５は、隣接する画素を物理的に分離する。たとえば、ＤＴＩ（Deep Trench Isolation）などの技術を用いて、光電変換素子４１３Ａ，４１３Ｂが形成されるシリコン層４１０内に、たとえば、酸化膜や金属などの物質を埋め込むことで、画素間分離部４１５を形成できる。

光電変換素子４１３Ａと光電変換素子４１３Ｂとの間には素子間分離部４１６が形成されている。これにより、一方の光電変換素子（４１３Ａまたは４１３Ｂ）の出力に対し、他方の光電変換素子（４１３Ｂまたは４１３Ａ）の出力が混じる（混色する）ことを抑制できる。その結果、位相差検出の精度を向上させることができる。

制御部材４２は、第１屈折率を有する第１部材４２１と、該第１屈折率よりも低い第２屈折率を有する第２部材４２２と、から構成されている。これにより、制御部材４２は、オンチップレンズ４１１から入射される光を光電変換素子４１３Ａ，４１３Ｂに向かって屈折できる。

オンチップレンズ４１１と、第１部材４２１と、第２部材４２２と、光電変換素子４１３Ａ，４１３Ｂと、がこの順に積層されている。図の上側から入射した光は、オンチップレンズ４１１により集光され、カラーフィルタ４１２および制御部材４２を透過して、光電変換素子４１３Ａ，４１３Ｂに入射する。光電変換素子４１３Ａおよび光電変換素子４１３Ｂのそれぞれは、光に対応した電荷を生成する。なお、カラーフィルタ４１２は、制御部材４２と光電変換素子４１３Ａ，４１３Ｂとの間に形成されていてもよい。

第２部材４２２は、第１部材４２１に対向する第１面４２３と、光電変換素子４１３Ａ，４１３Ｂに対向する第２面４２４と、を有している。この構成例では、第１面４２３は、オンチップレンズ４１１に向かって突出している凸部４２５を含んでいる。つまり、凸部４２５の断面は、山型に形成されている。凸部４２５は、第１面４２３の略中央に形成されている。凸部４２５の頂部は、光電変換素子４１３Ａと光電変換素子４１３Ｂとの間に配置されることが好ましい。

第１部材４２１および第２部材４２２のそれぞれが含む材料は特に限定されない。たとえば、第１部材４２１は、ＳｉＯ_２を含んでいてよい。このとき、第２部材４２２は、ＳＩＯ_２の屈折率よりも低い屈折率を有する材料を含むことが好ましい。

このような構成であることにより、制御部材４２が入射光を屈折させて、光電変換素子４１３Ａ，４１３Ｂのそれぞれに対して出射する。その結果、光電変換素子４１３Ａ，４１３Ｂのそれぞれに入射される光が混じることを抑制できる。

なお、制御部材４２の構造はこの山型構造に限られない。後述する他の実施形態についても同様である。

制御部材４２を形成する方法の一例として、ナノインプリント法を用いることができる。ナノインプリント法は、所定のパターンが形成されているモールドを樹脂材料に押し付けた後に、樹脂材料を効果させることにより、所定の樹脂パターンを形成する方法である。ナノインプリント法はスループットが高く、取り扱う工程が少なく、それぞれの工程が単純であるため、フォトリソグラフィよりも製造コストを削減できる。

ナノインプリント法について図５を参照しつつ説明する。図５は、本技術の一実施形態に係る制御部材４２の製造方法の一例を示す模式図である。

まず、図５Ａに示されるとおり、所定のパターンが形成されているモールド３１を樹脂材料３２に押し付ける。

次に、紫外線を照射して樹脂材料３２を硬化させる。すると、図５Ｂに示されるとおり、樹脂材料３２が山型に形成される。この樹脂材料３２は、上述した第２部材４２２である。

本技術の第１実施形態に係る固体撮像装置について説明した上記の内容は、技術的な矛盾が特にない限り、本技術の他の実施形態に適用できる。

＜４．第２実施形態（固体撮像装置の例２）＞
第１面は、凸部を含むとき、表面に複数の凹凸部が形成されていてよい。このことについて図６を参照しつつ説明する。図６は、本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素２００（２００Ｇ，２００Ｒ，２００Ｂ）の構成例を示す断面図である。図６に示されるとおり、第１面４２３は、オンチップレンズ４１１に向かって突出している凸部４２５を含むとき、表面に複数の凹凸部４２６が形成されていてよい。これにより、入射光が第１面４２３に当たるときの光の散乱を抑制できる。その結果、光電変換素子４１３Ａ，４１３Ｂのそれぞれに入射される光が混じることを抑制できる。

この凹凸部４２６の構成例について図７を参照しつつ説明する。図７は、本技術の一実施形態に係る第２部材４２２の左半分の構成例を示す断面図である。図７に示されるとおり、複数の凹凸部４２６のそれぞれは、第１面４２３に対して垂直に形成されている。この構成例では、複数の凹凸部４２６のそれぞれは、錐体に形成されている。それぞれの凹凸部４２６の断面形状は二等辺三角形になっている。なお、錐体は円錐および角錐を含む。

寸法の例について述べる。第２部材４２２の高さＬ１が０．２μｍであり、第２部材４２２の幅の半分の長さＬ２が０．３３μｍであるとする。このとき、それぞれの凹凸部４２６の高さＬ３は０．０４５μｍであり、凹凸部４２６の幅の長さＬ４は０．０３３μｍでありうる。

凹凸部４２６の他の構成例について図８を参照しつつ説明する。図８は、本技術の一実施形態に係る第２部材４２２の左半分の構成例を示す断面図である。図８に示されるとおり、複数の凹凸部４２６のそれぞれは、光電変換素子（図８においては図示を省略）に対して垂直に形成されている。換言すると、複数の凹凸部４２６のそれぞれは、第２面４２４に対して垂直に形成されている。この構成例では、複数の凹凸部４２６のそれぞれは、柱体に形成されている。なお、柱体は円柱および角柱を含む。

寸法の例について述べる。第２部材４２２の高さＬ１が０．２μｍであり、第２部材４２２の幅の半分の長さＬ２が０．３３μｍであるとする。このとき、それぞれの凹凸部４２６の高さＬ３は０．０２μｍであり、凹凸部４２６の幅の長さＬ４は０．０３３μｍでありうる。

なお、複数の凹凸部４２６のそれぞれが、第１面４２３に対して垂直に形成されているとき、複数の凹凸部４２６のそれぞれは、柱体に形成されていてよい。また、複数の凹凸部４２６のそれぞれが、光電変換素子に対して垂直に形成されているとき、複数の凹凸部４２６のそれぞれは、錐体に形成されていてよい。

なお、凹凸部の断面形状はこれらに限られない。後述する他の実施形態についても同様である。

本実施形態においても、制御部材４２を形成する方法の一例として、ナノインプリント法を用いることができる。ナノインプリント法に用いられるモールドについて図９を参照しつつ説明する。図９は、本技術の一実施形態に係る制御部材４２の製造に用いられるモールド３１の構成例を示す模式図である。図９に示されるとおり、モールド３１の表面に凹凸パターン３１１が形成されている。この凹凸パターン３１１が樹脂材料に押し付けられることにより、樹脂材料である第２部材４２２の第１面４２３に凹凸部４２６が形成される。

本技術の第２実施形態に係る固体撮像装置について説明した上記の内容は、技術的な矛盾が特にない限り、本技術の他の実施形態に適用できる。

＜５．第３実施形態（固体撮像装置の例３）＞
複数の凹凸部４２６が有する屈折率と、該凹凸部を除く第２部材４２２が有する屈折率と、が異なっていてよい。このことについて図１０および図１１を参照しつつ説明する。図１０および図１１は、本技術の一実施形態に係る第２部材４２２の左半分の構成例を示す断面図である。図１０および図１１に示されるとおり、複数の凹凸部４２６が含む材料と、凹凸部４２６を除く第２部材４２２が含む材料と、が異なっている。

特に、凹凸部４２６が有する屈折率は、第１部材４２１が有する第１屈折率よりも低く、凹凸部４２６を除く第２部材４２２が有する第２屈折率よりも高いことが好ましい。これにより、入射光が制御部材４２を透過するとき、屈折率の変化がスムーズになる。その結果、屈折率の変化による光の散乱が抑制できる。

本技術の第３実施形態に係る固体撮像装置について説明した上記の内容は、技術的な矛盾が特にない限り、本技術の他の実施形態に適用できる。

＜６．第４実施形態（固体撮像装置の例４）＞
複数の凹凸部のそれぞれは、凸部の近傍から前記第１面の端部に向かうにつれて高さが変化していてよい。このことについて図１２を参照しつつ説明する。図１２は、本技術の一実施形態に係る第２部材４２２の左半分の構成例を示す断面図である。図１２に示されるとおり、複数の凹凸部４２６のそれぞれは、凸部４２５の近傍から第１面４２３の端部（図１２においては左端。以下同様）に向かうにつれて高さが変化している。たとえば、画素の大きさ、凸部の高さ、光電変換素子の大きさなどに応じて、変化する凹凸部の高さが適切に設計されることが好ましい。これにより、入射光が第１面４２３に当たるときの光の散乱を抑制できる。その結果、光電変換素子のそれぞれに入射される光が混じることを抑制できる。

なお、この構成例では凸部４２５の近傍から第１面４２３の端部に向かうにつれて高さが低くなっているが、凸部４２５の近傍から第１面４２３の端部に向かうにつれて高さが高くなっていてもよい。

なお、後述する凹部を含む構成についても同様である。図示を省略するが、複数の凹凸部４２６のそれぞれは、凹部の近傍から第１面４２３の端部に向かうにつれて高さが変化していてよい。

本技術の第４実施形態に係る固体撮像装置について説明した上記の内容は、技術的な矛盾が特にない限り、本技術の他の実施形態に適用できる。

＜７．第５実施形態（固体撮像装置の例５）＞
複数の凹凸部のそれぞれは、凸部の近傍から前記第１面の端部に向かうにつれて間隔が変化していてよい。このことについて図１３を参照しつつ説明する。図１３は、本技術の一実施形態に係る第２部材４２２の左半分の構成例を示す断面図である。図１３に示されるとおり、複数の凹凸部４２６のそれぞれは、凸部４２５の近傍から第１面４２３の端部に向かうにつれて間隔が変化している。たとえば、画素の大きさ、凸部の高さ、光電変換素子の大きさなどに応じて、変化する凹凸部の間隔が適切に設計されることが好ましい。これにより、入射光が第１面４２３に当たるときの光の散乱を抑制できる。その結果、光電変換素子のそれぞれに入射される光が混じることを抑制できる。

この構成例では凸部４２５の近傍から第１面４２３の端部に向かうにつれて間隔が長くなっている。凸部４２５の近傍には多くの光が入射される傾向にある。そのため、凸部４２５の近傍に形成されている複数の凹凸部４２６のそれぞれの間隔は、第１面４２３の端部に形成されている複数の凹凸部４２６のそれぞれの間隔よりも短いことが好ましい。これにより、入射光が凸部４２５の近傍に当たるときの光の散乱を抑制できる。

なお、凸部４２５の近傍から第１面４２３の端部に向かうにつれて間隔が短くなっていてもよい。

なお、後述する凹部を含む構成についても同様である。図示を省略するが、複数の凹凸部のそれぞれは、凹部の近傍から第１面４２３の端部に向かうにつれて間隔が変化していてよい。

本技術の第５実施形態に係る固体撮像装置について説明した上記の内容は、技術的な矛盾が特にない限り、本技術の他の実施形態に適用できる。

＜８．第６実施形態（固体撮像装置の例６）＞
第１面は、光電変換素子に向かって凹んでいる凹部を含むとき、表面に複数の凹凸部が形成されていてよい。このことについて図１４を参照しつつ説明する。図１４は、本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素３００（３００Ｇ，３００Ｒ，３００Ｂ）の構成例を示す断面図である。図１４に示されるとおり、第１面４２３は、光電変換素子４１３Ａ，４１３Ｂに向かって凹んでいる凹部４２７を含んでおり、表面に複数の凹凸部４２６が形成されている。凹部の断面は、Ｖ字型に形成されている。凹部は、第１面４２３の略中央に形成されている。凹部４２７の頂部は、光電変換素子４１３Ａと光電変換素子４１３Ｂとの間に配置されることが好ましい。

また、第１面４２３の表面に複数の凹凸部４２６が形成されていることにより、光の散乱を抑制できる。

本実施形態に係る制御部材４２の製造についてもナノインプリント法を用いることができる。本実施形態に係る制御部材４２の製造方法について図１５を参照しつつ説明する。図１５は、本技術の一実施形態に係る制御部材４２の製造方法の一例を示す模式図である。

まず、図１５Ａに示されるとおり、表面に凹凸パターン３１１が形成されているモールド３１を樹脂材料３２に押し付ける。

次に、紫外線を照射して樹脂材料３２を硬化させる。すると、図１５Ｂに示されるとおり、樹脂材料３２がＶ字型に形成される。この樹脂材料３２は、上述した第２部材４２２である。樹脂材料３２の表面には、凹凸パターン３１１に対応した凹凸部４２６が形成されている。

本技術の第６実施形態に係る固体撮像装置について説明した上記の内容は、技術的な矛盾が特にない限り、本技術の他の実施形態に適用できる。

＜９．第７実施形態（固体撮像装置の例７）＞
凸部の断面は、オンチップレンズに近づくにつれて幅が狭まるテーパー形状に形成されていてよい。このことについて図１６を参照しつつ説明する。図１６は、本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素４００（４００Ｇ，４００Ｒ，４００Ｂ）の構成例を示す断面図である。図１６に示されるとおり、凸部４２５の断面は、オンチップレンズ４１１に近づくにつれて幅が狭まるテーパー形状に形成されている。

また、凹部の断面は、光電変換素子に近づくにつれて幅が狭まるテーパー形状に形成されていてよい。このことについて図１７を参照しつつ説明する。図１７は、本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素５００（５００Ｇ，５００Ｒ，５００Ｂ）の構成例を示す断面図である。図１７に示されるとおり、凹部４２７の断面は、光電変換素子に近づくにつれて幅が狭まるテーパー形状に形成されている。凹部４２７の表面には、複数の凹凸部４２６が形成されている。なお、凹凸部４２６が形成されていなくてもよい。

さらに、凸部または凹部の断面は、たとえばドーム形状に形成されていてよい。このことについて図１８を参照しつつ説明する。図１８は、本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素６００（６００Ｇ，６００Ｒ，６００Ｂ）の構成例を示す断面図である。図１８に示されるとおり、凸部４２５の断面は、ドーム形状に形成されていてよい。

凸部４２５および凹部４２７の形状はこれらに限られず、画素の大きさ、光電変換素子の大きさ、光電変換素子の位置などに応じて、適切に設計されることができる。

本技術の第７実施形態に係る固体撮像装置について説明した上記の内容は、技術的な矛盾が特にない限り、本技術の他の実施形態に適用できる。

＜１０．検証結果）＞
本技術の検証について、再び図４を参照しつつ、検証に用いた画素が構成するそれぞれの部材の設計値を示す。検証において、オンチップレンズ４１１の屈折率ｎは１．５とした。カラーフィルタ４１２の屈折率ｎは２．０５または１．５とした。屈折率ｎが１．５であるカラーフィルタ４１２の消衰係数ｋは３とした。制御部材４２の屈折率ｎは１．４５とした。画素間遮光部４１４の屈折率ｎは１．６８３１とし、消衰係数ｋは５とした。光電変換素子４１３Ａ，４１３Ｂが形成されるシリコン層の屈折率ｎは４．１６６６とし、消衰係数ｋは０．０３７１６８とした。素子間分離部４１６の屈折率ｎは２とした。

本技術の検証結果の一例について図１９を参照しつつ説明する。図１９は、本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０の検証結果の一例を示すグラフである。図１９において、ｉは、一般的に広く用いられている画素を示す。ｉｉは、特許文献１（特開２０１８－２０１０１５号公報）の図４９に開示されている、Ｖ字型に彫り込まれた形状を有するオンチップレンズを備える画素を示す。ｉｉｉは、本技術の第１実施形態に係る画素を示す。ｉｖは、本技術の第２実施形態に係る画素を示す。

図１９Ａは、量子効率（ＱＥ： Quantum Efficiency）の測定結果を示す。この量子効率は高いことが好ましい。図１９Ａに示されるとおり、本技術の一実施形態に係るｉｉｉおよびｉｖは、従来技術に係るｉおよびｉｉよりも量子効率が高くなった。

図１９Ｂは、２つの光電変換素子のそれぞれの出力の比率を示す。この比率が高いほど、位相差検出精度が高くなり、より好ましい。図１９Ｂに示されるとおり、本技術の一実施形態に係るｉｉｉおよびｉｖは、特許文献１に係るｉｉよりも比率が低くなったが、一般的に広く用いられているｉよりも比率が高くなった。

図１９Ｃは、２つの光電変換素子のそれぞれに入射される光の混在度を示す。この混在度が低いほど、混色が抑制できるため、好ましい。図１９Ｃに示されるとおり、本技術の一実施形態に係るｉｉｉおよびｉｖは、特許文献１に係るｉよりも混在度が低くなった。さらに、本技術の一実施形態に係るｉｖは、混在度がより一段と低くなった。

以上のことから、オンチップレンズに向かって突出している凸部を含んでいる制御部材を有する画素は、高い量子効率、高い位相差検出精度、および高い混色抑制効果を有していることが証明された。特に、凸部の表面に複数の凹凸部が形成されているとき、非常に高い混色抑制効果を有していることが証明された。

本技術の検証結果の他の一例について図２０を参照しつつ説明する。図２０は、本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０の検証結果の一例を示すグラフである。図２０において、ｉは、一般的に広く用いられている画素を示す。ｉｉは、特許文献１（特開２０１８－２０１０１５号公報）の図４９に開示されている、Ｖ字型に彫り込まれた形状を有するオンチップレンズを備える画素を示す。ｉｉｉは、本技術の第２実施形態の図７に係る画素を示す。ｉｖは、本技術の第２実施形態の図８に係る画素を示す。なお、検証に用いた画素が構成するそれぞれの部材の設計値は図１９に係る検証と同じであるため、説明を省略する。

図２０Ａは、量子効率（ＱＥ）の測定結果を示す。この量子効率は高いことが好ましい。図２０Ａに示されるとおり、本技術の一実施形態に係るｉｉｉおよびｉｖは、特許文献１に係るｉｉよりも量子効率が高くなった。

図２０Ｂは、２つの光電変換素子のそれぞれの出力の比率を示す。この比率が高いほど、位相差検出精度が高くなり、より好ましい。図２０Ｂに示されるとおり、本技術の一実施形態に係るｉｉｉおよびｉｖは、従来技術に係るｉおよびｉｉよりも比率が高くなった。

図２０Ｃは、２つの光電変換素子のそれぞれに入射される光の混在度を示す。この混在度は低いことが好ましい。図２０Ｃに示されるとおり、本技術の一実施形態に係るｉｉｉおよびｉｖは、一般的に広く用いられているｉよりも混在度が低くなった。

以上のことから、光電変換素子に向かって凹んでいる凹部を含んでおり、凹部の表面に複数の凹凸部が形成されている制御部材を有する画素は、高い量子効率、高い位相差検出精度、および高い混色抑制効果を有していることが証明された。特に、非常に高い位相差検出精度を有していることが証明された。

＜１１．第８実施形態（固体撮像装置の例８）＞
平面視における画素の構成例について図２１～図２４を参照しつつ説明する。図２１～図２４は、本技術の一実施形態に係る固体撮像装置１０が備える画素１００の構成例を示す平面図である。図２１～図２４に示されるとおり、画素１００は、１つのオンチップレンズ４１１に対して複数の光電変換素子（図２１～図２４においては図示を省略）を２次元状に配列している。２次元状に配列される光電変換素子の密度を変化させることができる。たとえば、２次元状に配列される光電変換素子の密度を高くすると、位相差検出に必要な情報を多く取得できる。その結果、たとえば暗い環境でも安定したオートフォーカスが実現できる。

図２１に示される構成例では、１つのオンチップレンズ４１１に対して１つの画素１００が構成されている。この画素１００は、１つのオンチップレンズ４１１に対して複数の光電変換素子を２次元状に配列している。この構成例では、２つの光電変換素子が、凸部４２５または凹部４２７の頂部を挟むように左右に配列されている。凸部４２５または凹部４２７の表面には凹凸部４２６が形成されている。

図２２に示される構成例では、４つの光電変換素子が、凸部４２５または凹部４２７の頂部を挟むように配列されている。凸部４２５または凹部４２７の表面には凹凸部４２６が形成されている。光電変換素子の密度が高いため、被写体の明るさに影響されずに高速なオートフォーカスが実現できる。

図２３に示される構成例では、４つのオンチップレンズ４１１のそれぞれに対して１つずつの画素１００が構成されている。これらの４つの画素１００のそれぞれは、１つのオンチップレンズ４１１に対して複数の光電変換素子を２次元状に配列している。この構成例では、２つの光電変換素子が、凸部４２５または凹部４２７の頂部を挟むように左右に配列されている。凸部４２５または凹部４２７の表面には凹凸部４２６が形成されている。

さらに、画素アレイ部１１（図１参照）は、１つのオンチップレンズに対して複数の画素を２次元状に配列していてよい。たとえば、図２４に示される構成例では、１つのオンチップレンズ４１１に対して２つの画素１００Ａ，１００Ｂが構成されている。これらの２つの画素１００Ａ，１００Ｂのそれぞれは、１つのオンチップレンズ４１１に対して複数の光電変換素子を２次元状に配列している。この構成例では、４つの光電変換素子が、凸部４２５または凹部４２７の頂部を挟むように配列されている。凸部４２５または凹部４２７の表面には凹凸部４２６が形成されている。なお、図示を省略するが、この構成例において、たとえば、２つの光電変換素子が、凸部４２５または凹部４２７の頂部を挟むように左右に配列されていてもよい。

なお、画素および光電変換素子の配列は、これらの構成例に限られない。

＜１２．第９実施形態（電子機器の例）＞
本技術に係る第９実施形態の電子機器は、本技術に係る第１～第９実施形態のうちいずれか１つの実施形態の固体撮像装置が搭載された電子機器である。以下に、本技術に係る第９実施形態の電子機器について詳細に述べる。

＜１２－１．本技術を適用した固体撮像装置の使用例＞
図２５は、本技術に係る第１～第８実施形態の固体撮像装置のイメージセンサとしての使用例を示す図である。

上述した第１～第８の実施形態の固体撮像装置は、たとえば、可視光や、赤外光、紫外光、Ｘ線等の光をセンシングするさまざまなケースに使用することができる。すなわち、図２５に示すように、たとえば、鑑賞の用に供される画像を撮影する鑑賞の分野、交通の分野、家電の分野、医療・ヘルスケアの分野、セキュリティの分野、美容の分野、スポーツの分野、農業の分野等において用いられる装置に、第１～第８の実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。

具体的には、鑑賞の分野においては、たとえば、デジタルカメラやスマートフォン、カメラ機能付きの携帯電話機等の、鑑賞の用に供される画像を撮影するための装置に、第１～第８実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。

交通の分野においては、たとえば、自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置に、第１～第８実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。

家電の分野においては、たとえば、ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、テレビ受像機や冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置で、第１～第８実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。

医療・ヘルスケアの分野においては、たとえば、内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置に、第１～第８実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。

セキュリティの分野においては、たとえば、防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置に、第１～第８実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。

美容の分野においては、たとえば、肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置に、第１～第８実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。

スポーツの分野において、たとえば、スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置に、第１～第８実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。

農業の分野においては、たとえば、畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置に、第１～第８実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置を使用することができる。

第１～第８実施形態のいずれか１つの実施形態の固体撮像装置は、たとえば、デジタルスチルカメラやデジタルビデオカメラなどの撮像装置、撮像機能を備えた携帯電話機、または、撮像機能を備えた他の機器といった各種の電子機器に適用することができる。

図２６は、本技術を適用した電子機器としての撮像装置の構成例を示すブロック図である。

図２６に示される撮像装置２０１ｃは、光学系２０２ｃ、シャッタ装置２０３ｃ、固体撮像装置２０４ｃ、駆動回路（制御回路）２０５ｃ、信号処理回路２０６ｃ、モニタ２０７ｃ、およびメモリ２０８ｃを備えて構成され、静止画像および動画像を撮像可能である。

光学系２０２ｃは、１枚または複数枚のレンズを有して構成され、被写体からの光（入射光）を固体撮像装置２０４ｃに導き、固体撮像装置２０４ｃの受光面に結像させる。

シャッタ装置２０３ｃは、光学系２０２ｃおよび固体撮像装置２０４ｃの間に配置され、駆動回路（制御回路）２０５ｃの制御に従って、固体撮像装置２０４ｃへの光照射期間および遮光期間を制御する。

固体撮像装置２０４ｃは、光学系２０２ｃおよびシャッタ装置２０３ｃを介して受光面に結像される光に応じて、一定期間、信号電荷を蓄積する。固体撮像装置２０４ｃに蓄積された信号電荷は、駆動回路（制御回路）２０５ｃから供給される駆動信号（タイミング信号）に従って転送される。

駆動回路（制御回路）２０５ｃは、固体撮像装置２０４ｃの転送動作、および、シャッタ装置２０３ｃのシャッタ動作を制御する駆動信号を出力して、固体撮像装置２０４ｃおよびシャッタ装置２０３ｃを駆動する。

信号処理回路２０６ｃは、固体撮像装置２０４ｃから出力された信号電荷に対して各種の信号処理を施す。信号処理回路２０６ｃが信号処理を施すことにより得られた画像（画像データ）は、モニタ２０７ｃに供給されて表示されたり、メモリ２０８ｃに供給されて記憶（記録）されたりする。

＜１２－２．本技術を適用した固体撮像装置の適用例＞
以下、上記の第１～８実施形態において説明した固体撮像装置（たとえばイメージセンサ）の適用例（適用例１～２）について説明する。上記実施形態等における撮像装置はいずれも、様々な分野における電子機器に適用可能である。ここでは、その一例として、内視鏡手術システム（適用例１）及び移動体（適用例２）について説明する。なお、上記の＜１２－１．本技術を適用した撮像装置の使用例＞の欄で説明した固体撮像装置も、本技術に係る第１～８の実施形態において説明した固体撮像装置（イメージセンサ）の適用例の一つである。

（適用例１）
［内視鏡手術システムへの応用例］
本技術は、様々な製品へ応用することができる。たとえば、本開示に係る技術（本技術）は、内視鏡手術システムに適用されてもよい。

図２７は、本技術が適用され得る内視鏡手術システムの概略的な構成の一例を示す図である。

図２７では、術者（医師）１１１３１が、内視鏡手術システム１１０００を用いて、患者ベッド１１１３３上の患者１１１３２に手術を行っている様子が図示されている。図示するように、内視鏡手術システム１１０００は、内視鏡１１１００と、気腹チューブ１１１１１やエネルギー処置具１１１１２等の、その他の術具１１１１０と、内視鏡１１１００を支持する支持アーム装置１１１２０と、内視鏡下手術のための各種の装置が搭載されたカート１１２００と、から構成される。

内視鏡１１１００は、先端から所定の長さの領域が患者１１１３２の体腔内に挿入される鏡筒１１１０１と、鏡筒１１１０１の基端に接続されるカメラヘッド１１１０２と、から構成される。図示する例では、硬性の鏡筒１１１０１を有するいわゆる硬性鏡として構成される内視鏡１１１００を図示しているが、内視鏡１１１００は、軟性の鏡筒を有するいわゆる軟性鏡として構成されてもよい。

鏡筒１１１０１の先端には、対物レンズが嵌め込まれた開口部が設けられている。内視鏡１１１００には光源装置１１２０３が接続されており、当該光源装置１１２０３によって生成された光が、鏡筒１１１０１の内部に延設されるライトガイドによって当該鏡筒の先端まで導光され、対物レンズを介して患者１１１３２の体腔内の観察対象に向かって照射される。なお、内視鏡１１１００は、直視鏡であってもよいし、斜視鏡又は側視鏡であってもよい。

カメラヘッド１１１０２の内部には光学系及び撮像素子が設けられており、観察対象からの反射光（観察光）は当該光学系によって当該撮像素子に集光される。当該撮像素子によって観察光が光電変換され、観察光に対応する電気信号、すなわち観察像に対応する画像信号が生成される。当該画像信号は、ＲＡＷデータとしてカメラコントロールユニット（ＣＣＵ：ＣａｍｅｒａＣｏｎｔｒｏｌＵｎｉｔ）１１２０１に送信される。

ＣＣＵ１１２０１は、ＣＰＵ（ＣｅｎｔｒａｌＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＵｎｉｔ）やＧＰＵ（ＧｒａｐｈｉｃｓＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＵｎｉｔ）等によって構成され、内視鏡１１１００及び表示装置１１２０２の動作を統括的に制御する。さらに、ＣＣＵ１１２０１は、カメラヘッド１１１０２から画像信号を受け取り、その画像信号に対して、たとえば現像処理（デモザイク処理）等の、当該画像信号に基づく画像を表示するための各種の画像処理を施す。

表示装置１１２０２は、ＣＣＵ１１２０１からの制御により、当該ＣＣＵ１１２０１によって画像処理が施された画像信号に基づく画像を表示する。

光源装置１１２０３は、たとえばＬＥＤ（ＬｉｇｈｔＥｍｉｔｔｉｎｇＤｉｏｄｅ）等の光源から構成され、術部等を撮影する際の照射光を内視鏡１１１００に供給する。

入力装置１１２０４は、内視鏡手術システム１１０００に対する入力インタフェースである。ユーザは、入力装置１１２０４を介して、内視鏡手術システム１１０００に対して各種の情報の入力や指示入力を行うことができる。たとえば、ユーザは、内視鏡１１１００による撮像条件（照射光の種類、倍率及び焦点距離等）を変更する旨の指示等を入力する。

処置具制御装置１１２０５は、組織の焼灼、切開又は血管の封止等のためのエネルギー処置具１１１１２の駆動を制御する。気腹装置１１２０６は、内視鏡１１１００による視野の確保及び術者の作業空間の確保の目的で、患者１１１３２の体腔を膨らめるために、気腹チューブ１１１１１を介して当該体腔内にガスを送り込む。レコーダ１１２０７は、手術に関する各種の情報を記録可能な装置である。プリンタ１１２０８は、手術に関する各種の情報を、テキスト、画像又はグラフ等各種の形式で印刷可能な装置である。

なお、内視鏡１１１００に術部を撮影する際の照射光を供給する光源装置１１２０３は、たとえばＬＥＤ、レーザ光源又はこれらの組み合わせによって構成される白色光源から構成することができる。ＲＧＢレーザ光源の組み合わせにより白色光源が構成される場合には、各色（各波長）の出力強度及び出力タイミングを高精度に制御することができるため、光源装置１１２０３において撮像画像のホワイトバランスの調整を行うことができる。また、この場合には、ＲＧＢレーザ光源それぞれからのレーザ光を時分割で観察対象に照射し、その照射タイミングに同期してカメラヘッド１１１０２の撮像素子の駆動を制御することにより、ＲＧＢそれぞれに対応した画像を時分割で撮像することも可能である。当該方法によれば、当該撮像素子にフィルタを設けなくても、カラー画像を得ることができる。

また、光源装置１１２０３は、出力する光の強度を所定の時間ごとに変更するようにその駆動が制御されてもよい。その光の強度の変更のタイミングに同期してカメラヘッド１１１０２の撮像素子の駆動を制御して時分割で画像を取得し、その画像を合成することにより、いわゆる黒つぶれ及び白とびのない高ダイナミックレンジの画像を生成することができる。

また、光源装置１１２０３は、特殊光観察に対応した所定の波長帯域の光を供給可能に構成されてもよい。特殊光観察では、たとえば、体組織における光の吸収の波長依存性を利用して、通常の観察時における照射光（すなわち、白色光）に比べて狭帯域の光を照射することにより、粘膜表層の血管等の所定の組織を高コントラストで撮影する、いわゆる狭帯域光観察（ＮａｒｒｏｗＢａｎｄＩｍａｇｉｎｇ）が行われる。あるいは、特殊光観察では、励起光を照射することにより発生する蛍光により画像を得る蛍光観察が行われてもよい。蛍光観察では、体組織に励起光を照射し当該体組織からの蛍光を観察すること（自家蛍光観察）、又はインドシアニングリーン（ＩＣＧ）等の試薬を体組織に局注するとともに当該体組織にその試薬の蛍光波長に対応した励起光を照射し蛍光像を得ること等を行うことができる。光源装置１１２０３は、このような特殊光観察に対応した狭帯域光及び／又は励起光を供給可能に構成され得る。

図２８は、図２７に示すカメラヘッド１１１０２及びＣＣＵ１１２０１の機能構成の一例を示すブロック図である。

カメラヘッド１１１０２は、レンズユニット１１４０１と、撮像部１１４０２と、駆動部１１４０３と、通信部１１４０４と、カメラヘッド制御部１１４０５と、を有する。ＣＣＵ１１２０１は、通信部１１４１１と、画像処理部１１４１２と、制御部１１４１３と、を有する。カメラヘッド１１１０２とＣＣＵ１１２０１とは、伝送ケーブル１１４００によって互いに通信可能に接続されている。

レンズユニット１１４０１は、鏡筒１１１０１との接続部に設けられる光学系である。鏡筒１１１０１の先端から取り込まれた観察光は、カメラヘッド１１１０２まで導光され、当該レンズユニット１１４０１に入射する。レンズユニット１１４０１は、ズームレンズ及びフォーカスレンズを含む複数のレンズが組み合わされて構成される。

撮像部１１４０２は、撮像装置（撮像素子）で構成される。撮像部１１４０２を構成する撮像素子は、１つ（いわゆる単板式）であってもよいし、複数（いわゆる多板式）であってもよい。撮像部１１４０２が多板式で構成される場合には、たとえば各撮像素子によってＲＧＢそれぞれに対応する画像信号が生成され、それらが合成されることによりカラー画像が得られてもよい。あるいは、撮像部１１４０２は、３Ｄ（Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ）表示に対応する右目用及び左目用の画像信号をそれぞれ取得するための１対の撮像素子を有するように構成されてもよい。３Ｄ表示が行われることにより、術者１１１３１は術部における生体組織の奥行きをより正確に把握することが可能になる。なお、撮像部１１４０２が多板式で構成される場合には、各撮像素子に対応して、レンズユニット１１４０１も複数系統設けられ得る。

また、撮像部１１４０２は、必ずしもカメラヘッド１１１０２に設けられなくてもよい。たとえば、撮像部１１４０２は、鏡筒１１１０１の内部に、対物レンズの直後に設けられてもよい。

駆動部１１４０３は、アクチュエータによって構成され、カメラヘッド制御部１１４０５からの制御により、レンズユニット１１４０１のズームレンズ及びフォーカスレンズを光軸に沿って所定の距離だけ移動させる。これにより、撮像部１１４０２による撮像画像の倍率及び焦点が適宜調整され得る。

通信部１１４０４は、ＣＣＵ１１２０１との間で各種の情報を送受信するための通信装置によって構成される。通信部１１４０４は、撮像部１１４０２から得た画像信号をＲＡＷデータとして伝送ケーブル１１４００を介してＣＣＵ１１２０１に送信する。

また、通信部１１４０４は、ＣＣＵ１１２０１から、カメラヘッド１１１０２の駆動を制御するための制御信号を受信し、カメラヘッド制御部１１４０５に供給する。当該制御信号には、たとえば、撮像画像のフレームレートを指定する旨の情報、撮像時の露出値を指定する旨の情報、並びに／又は撮像画像の倍率及び焦点を指定する旨の情報等、撮像条件に関する情報が含まれる。

なお、上記のフレームレートや露出値、倍率、焦点等の撮像条件は、ユーザによって適宜指定されてもよいし、取得された画像信号に基づいてＣＣＵ１１２０１の制御部１１４１３によって自動的に設定されてもよい。後者の場合には、いわゆるＡＥ（ＡｕｔｏＥｘｐｏｓｕｒｅ）機能、ＡＦ（ＡｕｔｏＦｏｃｕｓ）機能及びＡＷＢ（ＡｕｔｏＷｈｉｔｅＢａｌａｎｃｅ）機能が内視鏡１１１００に搭載されていることになる。

カメラヘッド制御部１１４０５は、通信部１１４０４を介して受信したＣＣＵ１１２０１からの制御信号に基づいて、カメラヘッド１１１０２の駆動を制御する。

通信部１１４１１は、カメラヘッド１１１０２との間で各種の情報を送受信するための通信装置によって構成される。通信部１１４１１は、カメラヘッド１１１０２から、伝送ケーブル１１４００を介して送信される画像信号を受信する。

また、通信部１１４１１は、カメラヘッド１１１０２に対して、カメラヘッド１１１０２の駆動を制御するための制御信号を送信する。画像信号や制御信号は、電気通信や光通信等によって送信することができる。

画像処理部１１４１２は、カメラヘッド１１１０２から送信されたＲＡＷデータである画像信号に対して各種の画像処理を施す。

制御部１１４１３は、内視鏡１１１００による術部等の撮像、及び、術部等の撮像により得られる撮像画像の表示に関する各種の制御を行う。たとえば、制御部１１４１３は、カメラヘッド１１１０２の駆動を制御するための制御信号を生成する。

また、制御部１１４１３は、画像処理部１１４１２によって画像処理が施された画像信号に基づいて、術部等が映った撮像画像を表示装置１１２０２に表示させる。この際、制御部１１４１３は、各種の画像認識技術を用いて撮像画像内における各種の物体を認識してもよい。たとえば、制御部１１４１３は、撮像画像に含まれる物体のエッジの形状や色等を検出することにより、鉗子等の術具、特定の生体部位、出血、エネルギー処置具１１１１２の使用時のミスト等を認識することができる。制御部１１４１３は、表示装置１１２０２に撮像画像を表示させる際に、その認識結果を用いて、各種の手術支援情報を当該術部の画像に重畳表示させてもよい。手術支援情報が重畳表示され、術者１１１３１に提示されることにより、術者１１１３１の負担を軽減することや、術者１１１３１が確実に手術を進めることが可能になる。

カメラヘッド１１１０２及びＣＣＵ１１２０１を接続する伝送ケーブル１１４００は、電気信号の通信に対応した電気信号ケーブル、光通信に対応した光ファイバ、又はこれらの複合ケーブルである。

ここで、図示する例では、伝送ケーブル１１４００を用いて有線で通信が行われていたが、カメラヘッド１１１０２とＣＣＵ１１２０１との間の通信は無線で行われてもよい。

以上、本開示に係る技術が適用され得る内視鏡手術システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、内視鏡１１１００や、カメラヘッド１１１０２（の撮像部１１４０２）等に適用され得る。具体的には、本技術に係る固体撮像装置は、撮像部１０４０２に適用することができる。内視鏡１１１００や、カメラヘッド１１１０２（の撮像部１１４０２）等に本開示に係る技術を適用することにより、性能を向上させることが可能となる。

ここでは、一例として内視鏡手術システムについて説明したが、本開示に係る技術は、その他、たとえば、顕微鏡手術システム等に適用されてもよい。

（適用例２）
［移動体への応用例］
本開示に係る技術（本技術）は、様々な製品へ応用することができる。たとえば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。

図２９は、本技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。

車両制御システム１２０００は、通信ネットワーク１２００１を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図２９に示される例では、車両制御システム１２０００は、駆動系制御ユニット１２０１０、ボディ系制御ユニット１２０２０、車外情報検出ユニット１２０３０、車内情報検出ユニット１２０４０、及び統合制御ユニット１２０５０を備える。また、統合制御ユニット１２０５０の機能構成として、マイクロコンピュータ１２０５１、音声画像出力部１２０５２、及び車載ネットワークＩ／Ｆ（ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）１２０５３が図示されている。

駆動系制御ユニット１２０１０は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。たとえば、駆動系制御ユニット１２０１０は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。

ボディ系制御ユニット１２０２０は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。たとえば、ボディ系制御ユニット１２０２０は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット１２０２０には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット１２０２０は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。

車外情報検出ユニット１２０３０は、車両制御システム１２０００を搭載した車両の外部の情報を検出する。たとえば、車外情報検出ユニット１２０３０には、撮像部１２０３１が接続される。車外情報検出ユニット１２０３０は、撮像部１２０３１に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット１２０３０は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。

撮像部１２０３１は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部１２０３１は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部１２０３１が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。

車内情報検出ユニット１２０４０は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット１２０４０には、たとえば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部１２０４１が接続される。運転者状態検出部１２０４１は、たとえば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット１２０４０は、運転者状態検出部１２０４１から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。

マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０又は車内情報検出ユニット１２０４０で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット１２０１０に対して制御指令を出力することができる。たとえば、マイクロコンピュータ１２０５１は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むＡＤＡＳ（ＡｄｖａｎｃｅｄＤｒｉｖｅｒＡｓｓｉｓｔａｎｃｅＳｙｓｔｅｍ）の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。

また、マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０又は車内情報検出ユニット１２０４０で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。

また、マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット１２０２０に対して制御指令を出力することができる。たとえば、マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。

音声画像出力部１２０５２は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図２９の例では、出力装置として、オーディオスピーカ１２０６１、表示部１２０６２及びインストルメントパネル１２０６３が例示されている。表示部１２０６２は、たとえば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。

図３０は、本技術の一実施形態に係る撮像部１２０３１の設置位置の例を示す図である。

図３０では、車両１２１００は、撮像部１２０３１として、撮像部１２１０１，１２１０２，１２１０３，１２１０４，１２１０５を有する。

撮像部１２１０１，１２１０２，１２１０３，１２１０４，１２１０５は、たとえば、車両１２１００のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部１２１０１及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部１２１０５は、主として車両１２１００の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部１２１０２，１２１０３は、主として車両１２１００の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部１２１０４は、主として車両１２１００の後方の画像を取得する。撮像部１２１０１及び１２１０５で取得される前方の画像は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。

なお、図３０には、撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲１２１１１は、フロントノーズに設けられた撮像部１２１０１の撮像範囲を示し、撮像範囲１２１１２，１２１１３は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部１２１０２，１２１０３の撮像範囲を示し、撮像範囲１２１１４は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部１２１０４の撮像範囲を示す。たとえば、撮像部１２１０１ないし１２１０４で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両１２１００を上方から見た俯瞰画像が得られる。

撮像部１２１０１ないし１２１０４の少なくとも１つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。たとえば、撮像部１２１０１ないし１２１０４の少なくとも１つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。

たとえば、マイクロコンピュータ１２０５１は、撮像部１２１０１ないし１２１０４から得られた距離情報を基に、撮像範囲１２１１１ないし１２１１４内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化（車両１２１００に対する相対速度）を求めることにより、特に車両１２１００の進行路上にある最も近い立体物で、車両１２１００と略同じ方向に所定の速度（たとえば、０ｋｍ／ｈ以上）で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ１２０５１は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御（追従停止制御も含む）や自動加速制御（追従発進制御も含む）等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。

たとえば、マイクロコンピュータ１２０５１は、撮像部１２１０１ないし１２１０４から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、２輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。たとえば、マイクロコンピュータ１２０５１は、車両１２１００の周辺の障害物を、車両１２１００のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ１２０５１は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ１２０６１や表示部１２０６２を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット１２０１０を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。

撮像部１２１０１ないし１２１０４の少なくとも１つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。たとえば、マイクロコンピュータ１２０５１は、撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、たとえば赤外線カメラとしての撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ１２０５１が、撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部１２０５２は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部１２０６２を制御する。また、音声画像出力部１２０５２は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部１２０６２を制御してもよい。

以上、本開示に係る技術（本技術）が適用され得る車両制御システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、たとえば、撮像部１２０３１等に適用され得る。具体的には、本技術に係る固体撮像装置は、撮像部１２０３１に適用することができる。撮像部１２０３１に本開示に係る技術を適用することにより、性能を向上させることが可能となる。

本技術の第９実施形態に係る電子機器について説明した上記の内容は、技術的な矛盾が特にない限り、本技術の他の実施形態に適用できる。

なお、本技術に係る実施形態は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、本技術の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。

また、本技術は、以下のような構成をとることもできる。
［１］
１つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を２次元状に配列した画素アレイ部を備えており、
前記画素は、制御部材を有しており、
前記制御部材は、第１屈折率を有する第１部材と、該第１屈折率よりも低い第２屈折率を有する第２部材と、から構成されており、
前記オンチップレンズと、前記第１部材と、前記第２部材と、前記光電変換素子と、がこの順に積層されており、
前記第２部材は、前記第１部材に対向する第１面と、前記光電変換素子に対向する第２面と、を有しており、
前記第１面は、前記オンチップレンズに向かって突出している凸部、または、前記光電変換素子に向かって凹んでいる凹部を含んでおり、前記凹部を含むとき、表面に複数の凹凸部が形成されている、固体撮像装置。
［２］
前記第１面は、前記凸部を含むとき、表面に複数の凹凸部が形成されている、
［１］に記載の固体撮像装置。
［３］
前記複数の凹凸部のそれぞれは、前記第１面に対して垂直に形成されている、
［１］または［２］に記載の固体撮像装置。
［４］
前記複数の凹凸部のそれぞれは、前記光電変換素子に対して垂直に形成されている、
［１］から［３］のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
［５］
前記複数の凹凸部のそれぞれは、錐体に形成されている、
［１］から［４］のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
［６］
前記複数の凹凸部のそれぞれは、柱体に形成されている、
［１］から［５］のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
［７］
前記第１部材は、ＳｉＯ_２を含んでいる、
［１］から［６］のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
［８］
前記凹凸部が有する屈折率は、前記第１屈折率よりも低く、前記第２屈折率よりも高い、
［１］から［７］のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
［９］
前記凸部または前記凹部は、前記第１面の略中央に形成されている、
［１］から［８］のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
［１０］
前記凸部の断面は、山型に形成されている、
［１］から［９］のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
［１１］
前記凸部の断面は、前記オンチップレンズに近づくにつれて幅が狭まるテーパー形状に形成されている、
［１］から［１０］のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
［１２］
前記凹部の断面は、Ｖ字型に形成されている、
［１］から［１１］のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
［１３］
前記凹部の断面は、前記光電変換素子に近づくにつれて幅が狭まるテーパー形状に形成されている、
［１］から［１２］のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
［１４］
前記複数の凹凸部のそれぞれは、前記凸部または前記凹部の近傍から前記第１面の端部に向かうにつれて高さが変化している、
［１］から［１３］のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
［１５］
前記複数の凹凸部のそれぞれは、前記凸部または前記凹部の近傍から前記第１面の端部に向かうにつれて間隔が変化している、
［１］から［１４］のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
［１６］
前記凸部または前記凹部の近傍に形成されている前記複数の凹凸部のそれぞれの間隔は、前記第１面の端部に形成されている前記間隔よりも短い、
［１］から［１５］のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
［１７］
前記画素は、前記オンチップレンズの直下に配置される、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、または青（Ｂ）のカラーフィルタに応じて、Ｒ画素、Ｇ画素、またはＢ画素として構成されている、
［１］から［１６］のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
［１８］
前記画素は、１つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を２次元状に配列している、
［１］から［１７］のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
［１９］
前記画素アレイ部は、１つのオンチップレンズに対して複数の画素を２次元状に配列している、
［１］から［１８］のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
［２０］
［１］から［１９］のいずれか一つに記載の固体撮像装置を備えている、電子機器。

１０固体撮像装置
１１画素アレイ部
１２垂直駆動回路
１３カラム信号処理回路
１４水平駆動回路
１５出力回路
１６制御回路
１７入出力端子
２１画素駆動線
２２垂直信号線
２３水平信号線
３１モールド
３２樹脂材料
１００画素
４１０シリコン層
４１１オンチップレンズ
４１２カラーフィルタ
４１３Ａ，４１３Ｂ光電変換素子
４１４画素間遮光部
４１５画素間分離部
４１６素子間分離部
４３１反射防止膜
４２制御部材
４２１第１部材
４２２第２部材
４２３第１面
４２４第２面
４２５凸部
４２６凹凸部
４２７凹部

Claims

１つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を２次元状に配列した画素アレイ部を備えており、
前記画素は、制御部材を有しており、
前記制御部材は、第１屈折率を有する第１部材と、該第１屈折率よりも低い第２屈折率を有する第２部材と、から構成されており、
前記オンチップレンズと、前記第１部材と、前記第２部材と、前記光電変換素子と、がこの順に積層されており、
前記第２部材は、前記第１部材に対向する第１面と、前記光電変換素子に対向する第２面と、を有しており、
前記第１面は、前記オンチップレンズに向かって突出している凸部、または、前記光電変換素子に向かって凹んでいる凹部を含んでおり、前記凹部を含むとき、表面に複数の凹凸部が形成されている、固体撮像装置。
前記第１面は、前記凸部を含むとき、表面に複数の凹凸部が形成されている、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記複数の凹凸部のそれぞれは、前記第１面に対して垂直に形成されている、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記複数の凹凸部のそれぞれは、前記光電変換素子に対して垂直に形成されている、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記複数の凹凸部のそれぞれは、錐体に形成されている、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記複数の凹凸部のそれぞれは、柱体に形成されている、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記第１部材は、ＳｉＯ_２を含んでいる、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記凹凸部が有する屈折率は、前記第１屈折率よりも低く、前記第２屈折率よりも高い、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記凸部または前記凹部は、前記第１面の略中央に形成されている、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記凸部の断面は、山型に形成されている、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記凸部の断面は、前記オンチップレンズに近づくにつれて幅が狭まるテーパー形状に形成されている、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記凹部の断面は、Ｖ字型に形成されている、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記凹部の断面は、前記光電変換素子に近づくにつれて幅が狭まるテーパー形状に形成されている、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記複数の凹凸部のそれぞれは、前記凸部または前記凹部の近傍から前記第１面の端部に向かうにつれて高さが変化している、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記複数の凹凸部のそれぞれは、前記凸部または前記凹部の近傍から前記第１面の端部に向かうにつれて間隔が変化している、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記凸部または前記凹部の近傍に形成されている前記複数の凹凸部のそれぞれの間隔は、前記第１面の端部に形成されている前記間隔よりも短い、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記画素は、前記オンチップレンズの直下に配置される、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、または青（Ｂ）のカラーフィルタに応じて、Ｒ画素、Ｇ画素、またはＢ画素として構成されている、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記画素は、１つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を２次元状に配列している、
請求項１に記載の固体撮像装置。
前記画素アレイ部は、１つのオンチップレンズに対して複数の画素を２次元状に配列している、
請求項１に記載の固体撮像装置。
請求項１に記載の固体撮像装置を備えている、電子機器。