JP2024058296A - ポアデバイスおよび微粒子測定システム - Google Patents

Abstract

【課題】正確な情報管理が可能なポアデバイスを提供する。【解決手段】ポアデバイス１００Ａは、計測装置２００Ａとともに使用される。ポアデバイス１００Ａは、ポアチップ１０２と、ポアチップ１０２によって区画されるチャンバであるチップケース１３０を有する。測定用端子群１１０は、計測装置２００Ａからチャンバに電気信号を印加し、チャンバに発生する電気信号を計測装置２００Ａに出力するために設けられる。インタフェース手段１５０は、不揮発性メモリ１４０と接続され、外部から不揮発性メモリ１４０にアクセスするために設けられる。【選択図】図３

Description

本発明は、ポアデバイスに関する。

電気的検知帯法（コールター原理）と呼ばれる粒度分布測定法が知られている。この測定法では、粒子を含む電解液を、ナノポアと称される細孔を通過させる。粒子が細孔を通過するとき、細孔中の電解液は粒子の体積に相当する量だけ減少し、細孔の電気抵抗を増加させる。したがって細孔の電気抵抗を測定することで、粒径を測定することができる。

図１は、電気的検知帯法を用いた微粒子測定システム１Ｒのブロック図である。微粒子測定システム１Ｒは、ポアデバイス１００Ｒ、計測装置２００Ｒおよびデータ処理装置３００を備える。

ポアデバイス１００Ｒの内部は、検出対象の粒子４を含む電解液２が満たされる。ポアデバイス１００Ｒの内部は、ポアチップ１０２によって２つの空間に隔てられており、２つの空間には電極１０６と電極１０８が設けられる。電極１０６と電極１０８の間に電位差を発生させると、電極間にイオン電流が流れ、また電気泳動によって粒子４が細孔１０４を経由して、一方の空間から他方の空間に移動する。

計測装置２００Ｒは、電極対１０６，１０８の間に電位差を発生させるとともに、電極対の間の抵抗値Ｒｐと相関を有する情報を取得する。計測装置２００Ｒは、トランスインピーダンスアンプ２１０、電圧源２２０、デジタイザ２３０を含む。電圧源２２０は電極対１０６，１０８の間に電位差Ｖｂを発生させる。この電位差Ｖｂは、電気泳動の駆動源であるとともに、抵抗値Ｒｐを測定するためのバイアス信号となる。

電極対１０６，１０８の間には、細孔１０４の抵抗に反比例する微小電流Ｉｓが流れる。
Ｉｓ＝Ｖｂ／Ｒｐ …（１）

トランスインピーダンスアンプ２１０は、微小電流Ｉｓを電圧信号Ｖｓに変換する。変換ゲインをｒとするとき、以下の式が成り立つ。
Ｖｓ＝－ｒ×Ｉｓ …（２）
式（１）を式（２）に代入すると、式（３）が得られる。
Ｖｓ＝－Ｖｂ×ｒ／Ｒｐ …（３）
デジタイザ２３０は、電圧信号ＶｓをデジタルデータＤｓに変換する。このように計測装置２００Ｒにより、細孔１０４の抵抗値Ｒｐに反比例する電圧信号Ｖｓを得ることができる。

図２は、計測装置２００Ｒにより測定される例示的な微小電流Ｉｓの波形図である。なお本明細書において参照する波形図やタイムチャートの縦軸および横軸は、理解を容易とするために適宜拡大、縮小したものであり、また示される各波形も、理解の容易のために簡略化され、あるいは誇張もしくは強調されている。

粒子が通過する短い期間、細孔１０４の抵抗値Ｒｐが増大する。したがって、粒子が通過するごとに電流Ｉｓはパルス状に減少する。個々のパルス電流の振幅は、粒径と相関を有する。データ処理装置３００は、デジタルデータＤｓを処理し、電解液２に含まれる粒子４の個数や粒径分布などを解析する。データ処理装置３００の一部は、サーバやクラウドであってもよい。

特開２０１７－０１６８８１号公報 特開２０１４－２１９２３５号公報 特開２０１８－０５４５９４号公報 国際公開第２００２／０８４３０６号公報

微粒子計測は、大きく、測定工程と解析工程に分けられる。測定工程は、計測装置を用いて、微小電流Ｉｓを測定する工程である。解析工程は、微小電流Ｉｓの波形データにもとづいて、粒子の個数や粒径分布などを導出する工程である。

解析工程において、ポアデバイスの製造情報（ポア径、設計バージョン、製造日やロット）は、計測装置によって得られた信号を正しく解析する上で極めて重要な情報である。特に、ポアデバイスは、日々改良や更新がされているため、これらの情報が正しく取得できていないと、解析結果に影響を及ぼす。

ポアデバイスを利用した粒度分布測定法は、実用化されてからの年月が浅いため、ポアデバイスも、完成された技術・製品ではなく、改良の余地があると言える。したがってポアデバイスは、日々改良や更新がされている。そのため、計測工程において得られたデータが従来のものと異なっていることがあり、その要因を知ることがよりよいポアデバイスを開発するために重要となる。

また、ポアデバイスは、使い捨てを前提とした消耗品であり、測定に使用できる使用期限があるため、いつ製造されたのかという日時の情報も必要となる。

さらに、ポアデバイスの使用情報（使用粒子、粒子通過数、使用溶液、測定機器シリアルなど）は、ポアデバイスの品質管理および今後の開発への重要なフィードバック情報となる。

これらの重要な情報を、人間が管理する場合、人為的ミスは避けられず、正しい情報が消失する可能性がある。また、ポアデバイスの製造者、測定工程に携わる使用者、解析工程に携わる解析者が、別々のパーティである場合、ポアデバイスの情報を一元管理する技術が求められる。

本開示は係る状況においてなされたものであり、そのある態様の例示的な目的のひとつは、正確な情報管理が可能なポアデバイスの提供にある。

本開示のある態様は、計測装置とともに使用されるポアデバイスに関する。ポアデバイスは、ポアチップと、ポアチップにより区画されるチャンバと、計測装置からチャンバに電気信号を印加し、チャンバに発生する電気信号を計測装置に出力するための測定用端子群と、不揮発性メモリと、不揮発性メモリと接続され、外部から不揮発性メモリにアクセスするためのインタフェース手段と、を備える。

本開示の別の態様は、微粒子測定システムである。この微粒子測定システムは、ポアデバイスと、計測装置と、を備える。ポアデバイスは、ポアチップと、ポアチップにより区画されるチャンバと、計測装置からチャンバに電気信号を印加し、チャンバに発生する電気信号を計測装置に出力するための測定用端子群と、不揮発性メモリと、不揮発性メモリと接続され、外部から不揮発性メモリにアクセスするためのインタフェース手段と、を備える。

なお、以上の構成要素を任意に組み合わせたもの、構成要素や表現を、方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明あるいは本開示の態様として有効である。さらに、この項目（課題を解決するための手段）の記載は、本発明の欠くべからざるすべての特徴を説明するものではなく、したがって、記載されるこれらの特徴のサブコンビネーションも、本発明たり得る。

本開示のある態様によれば、正確な情報管理が可能となる。

電気的検知帯法を用いた微粒子測定システムのブロック図である。 計測装置により測定される例示的な微小電流Ｉｓの波形図である。 実施形態１に係るポアデバイスを備える微粒子測定システムのブロック図である。 メモリインタフェースおよびインタフェース手段の構成例を示すブロック図である。 図５（ａ）、（ｂ）は、ポアデバイスの構造を示す図である。 変形例に係る微粒子測定システムのブロック図である。

（実施形態の概要）
本開示のいくつかの例示的な実施形態の概要を説明する。この概要は、後述する詳細な説明の前置きとして、実施形態の基本的な理解を目的として、１つまたは複数の実施形態のいくつかの概念を簡略化して説明するものであり、発明あるいは開示の広さを限定するものではない。この概要は、考えられるすべての実施形態の包括的な概要ではなく、すべての実施形態の重要な要素を特定することも、一部またはすべての態様の範囲を線引きすることも意図していない。便宜上、「一実施形態」は、本明細書に開示するひとつの実施形態（実施例や変形例）または複数の実施形態（実施例や変形例）を指すものとして用いる場合がある。

一実施形態に係るポアデバイスは、計測装置とともに使用される。ポアデバイスは、ポアチップと、ポアチップにより区画されるチャンバと、計測装置からチャンバに電気信号を印加し、チャンバに発生する電気信号を計測装置に出力するための測定用端子群と、不揮発性メモリと、不揮発性メモリと接続され、外部から不揮発性メモリにアクセスするためのインタフェース手段と、を備える。

人間が、コンピュータ上のデータベースで、ポアデバイスとその情報を紐付けて管理すると、入力ミスや、入力忘れが避けられない。これに対して、ポアデバイスに不揮発性メモリを内蔵することにより、製造者、使用者あるいは解析者に必要な情報を、ポアデバイスの内部に正確に記録しておくことが可能となる。これにより、人間がコンピュータ上で情報を管理する場合に比べて、より正確な情報管理が可能となる。

一実施形態において、不揮発性メモリには、ポアデバイスの固有情報が、ポアデバイスの出荷時に予め格納されていてもよい。固有情報は、シリアル番号、ポア径、製造日、使用期限、バージョン情報、ロット番号などを含んでもよい。

一実施形態において、不揮発性メモリには、ポアデバイスの使用履歴が、ポアデバイスの使用時に書き込み可能であってもよい。使用履歴は、（i）測定条件、および（ii）測定結果の少なくともひとつを含んでもよい。測定条件は、印加電圧、使用粒子、計測装置のシリアル番号やバージョン情報などが例示される。（ii）測定結果は、粒子通過数、使用溶液、測定した電流量、電流の変化量、電流の最大値、ノイズ、測定開始時刻および終了時刻などが例示される。ポアデバイスの製造者は、あるポアデバイスを回収したときに、ポアデバイスの不揮発性メモリから情報を読み出すことにより、ポアデバイスの不良解析に利用することでき、あるいは将来の設計、改良にフィードバックすることができる。

一実施形態において、インタフェース手段は、計測装置のメモリインタフェースを、不揮発性メモリと接続するための複数の端子を含んでもよい。

一実施形態において、インタフェース手段および不揮発性メモリは、ＲＦ（Radio Frequency）タグを構成しており、ＲＦタグは、計測装置のリーダ・ライタから非接触でアクセス可能であってもよい。

一実施形態において、ポアデバイスは、不揮発性メモリおよびインタフェース手段が実装されるコンタクトシートと、ポアチップを収容するとともに、コンタクトシートと張り合わされたポアチップケースと、をさらに備えてもよい。

一実施形態に係る微粒子測定システムは、ポアデバイスと、計測装置と、を備える。ポアデバイスは、ポアチップと、ポアチップにより区画されるチャンバと、計測装置からチャンバに電気信号を印加し、チャンバに発生する電気信号を計測装置に出力するための測定用端子群と、不揮発性メモリと、不揮発性メモリと接続され、外部から不揮発性メモリにアクセスするためのインタフェース手段と、を備える。

一実施形態において、不揮発性メモリには、ポアデバイスの固有情報が、ポアデバイスの出荷時に予め格納されており、計測装置は、不揮発性メモリから固有情報を読み出し、固有情報に応じて測定条件が自動設定されてもよい。

一実施形態において、計測装置は、ポアデバイスの使用時に、不揮発性メモリにポアデバイスの使用履歴を書き込み可能であってもよい。

一実施形態において、インタフェース手段は、計測装置のメモリインタフェースを、不揮発性メモリと接続するための複数の端子を含んでもよい。

一実施形態において、インタフェース手段および不揮発性メモリは、ＲＦ（Radio Frequency）タグを構成しており、ＲＦタグは、計測装置のリーダ・ライタから非接触でアクセス可能であってもよい。

一実施形態において、ポアデバイスは、不揮発性メモリおよびインタフェース手段が実装されるコンタクトシートと、ポアチップを収容するとともに、コンタクトシートと張り合わされたポアチップケースと、をさらに備えてもよい。

（実施形態）
以下、好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、実施形態は、開示および発明を限定するものではなく例示であって、実施形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも開示および発明の本質的なものであるとは限らない。

また図面に記載される各部材の寸法（厚み、長さ、幅など）は、理解の容易化のために適宜、拡大縮小されている場合がある。さらには複数の部材の寸法は、必ずしもそれらの大小関係を表しているとは限らず、図面上で、ある部材Ａが、別の部材Ｂよりも厚く描かれていても、部材Ａが部材Ｂよりも薄いこともあり得る。

本明細書において、「部材Ａが、部材Ｂと接続された状態」とは、部材Ａと部材Ｂが物理的に直接的に接続される場合のほか、部材Ａと部材Ｂが、それらの電気的な接続状態に実質的な影響を及ぼさない、あるいはそれらの結合により奏される機能や効果を損なわせない、その他の部材を介して間接的に接続される場合も含む。

同様に、「部材Ｃが、部材Ａと部材Ｂの間に接続された（設けられた）状態」とは、部材Ａと部材Ｃ、あるいは部材Ｂと部材Ｃが直接的に接続される場合のほか、それらの電気的な接続状態に実質的な影響を及ぼさない、あるいはそれらの結合により奏される機能や効果を損なわせない、その他の部材を介して間接的に接続される場合も含む。

また本明細書において、電圧信号、電流信号などの電気信号、あるいは抵抗、キャパシタ、インダクタなどの回路素子に付された符号は、必要に応じてそれぞれの電圧値、電流値、あるいは回路定数（抵抗値、容量値、インダクタンス）を表すものとする。

（実施形態１）
図３は、実施形態１に係るポアデバイス１００Ａを備える微粒子測定システム１Ａのブロック図である。微粒子測定システム１Ａは、ポアデバイス１００Ａおよび計測装置２００Ａ、データ処理装置３００を備える。

ポアデバイス１００Ａは、計測装置２００Ａとともに使用される。ポアデバイス１００Ａは、ポアモジュールとも称される。ポアデバイス１００Ａは、ポアチップ１０２、チップケース１３０、不揮発性メモリ１４０、測定用端子群１１０、インタフェース手段１５０を備える。

ポアチップ１０２は、チップケース１３０に収容される。チップケース１３０の内部空間であるチャンバには、検出対象の粒子４を含む電解液２が満たされる。チップケース１３０の内部空間であるチャンバは、ポアチップ１０２によって２つの空間に隔てられており、２つの空間には電極１０６と電極１０８が設けられる。

測定用端子群１１０は、電極１０６，１０８それぞれと接続されるパッドあるいはピンを含む。測定用端子群１１０は、計測装置２００Ａからチャンバ内の電極１０６，１０８に電気信号を印加し、チャンバ内の電極１０６，１０８に発生する電気信号を計測装置２００Ａに出力するために設けられる。

不揮発性メモリ１４０は、電気的消去可能読み取り専用メモリ（ＥＥＰＲＯＭElectrically Erasable Programmable Read-Only Memory）、磁気抵抗メモリ（ＭＲＡＭ：Magnetoresistive Random Access Memory)、フラッシュメモリなどである。

インタフェース手段１５０は、不揮発性メモリ１４０と接続され、計測装置２００Ａから不揮発性メモリ１４０にアクセスするために設けられる。本実施形態において、インタフェース手段１５０は、計測装置２００のメモリインタフェースＡを、不揮発性メモリ１４０と接続するためのメモリアクセス用端子群１５２を含む。メモリアクセス用端子群１５２の端子はパッドまたはピンである。メモリアクセス用端子群１５２に含まれる端子の個数は、不揮発性メモリ１４０の種類やインタフェースによってさまざまである。

以上がポアデバイス１００Ａの構成である。続いて計測装置２００Ａの構成を説明する。

計測装置２００Ａは、ポアデバイス１００Ａの電極１０６と電極１０８の間に電位差を印加する。これにより、電解液２には、イオン電流または電気泳動が発生する。このイオン電流または電気泳動により、粒子４が細孔１０４を経由して、一方の空間から他方の空間に移動する。電極１０６と電極１０８の間のインピーダンスは、細孔１０４を通過する粒子４の径や種類に応じて変化する。計測装置２００Ａは、電極対１０６，１０８の間に電位差を発生させるとともに、電極対１０６，１０８の間のインピーダンスＲｐと相関を有する情報を測定する。

計測装置２００Ａは、トランスインピーダンスアンプ２１０、電圧源２２０、デジタイザ２３０、インタフェース回路２４０、メモリインタフェース２５０を備える。電圧源２２０は電極対１０６，１０８の間に電位差（バイアス電圧）Ｖｂを発生する。この電位差Ｖｂは、電気泳動の駆動源であるとともに、抵抗値Ｒｐを測定するためのバイアス信号となる。

電極対１０６，１０８の間には、細孔１０４の抵抗に反比例する微小電流Ｉｓが流れる。
Ｉｓ＝Ｖｂ／Ｒｐ …（１）

トランスインピーダンスアンプ２１０は、微小電流Ｉｓを電圧信号Ｖｓに変換する。変換ゲインをｒとするとき、以下の式が成り立つ。
Ｖｓ＝－ｒ×Ｉｓ …（２）
式（１）を式（２）に代入すると、式（３）が得られる。
Ｖｓ＝－Ｖｂ×ｒ／Ｒｐ …（３）

デジタイザ２３０は、電圧信号ＶｓをデジタルデータＤｓに変換する。インタフェース回路２４０は、データ処理装置３００と接続される。データ処理装置３００は、計測装置２００Ａを制御するハードウェアであり、汎用コンピュータあるいは専用のハードウェアで構成される。データ処理装置３００は、測定用のプログラムを実行し、計測装置２００Ａのインタフェース回路２４０に、動作パラメータなどを送信する。インタフェース回路２４０は、測定したデジタルデータＤｓを、データ処理装置３００に送信する。

スタンドアローンの微粒子測定システム１Ａでは、データ処理装置３００は、デジタルデータＤｓを解析してもよい。データ処理装置３００がネットワークを介してサーバと接続される場合、サーバにおいて、デジタルデータＤｓを解析してもよい。

メモリインタフェース２５０は、インタフェース手段１５０を介して不揮発性メモリ１４０と接続される。メモリインタフェース２５０の構成や種類は、不揮発性メモリ１４０の種類や構成に応じて様々である。

図４は、メモリインタフェース２５０およびインタフェース手段１５０の構成例を示すブロック図である。この例において、不揮発性メモリ１４０は、ＳＰＩ（Serial Peripheral Interface）を有するシリアルＥＥＰＲＯＭである。この場合、メモリインタフェース２５０は、電源回路２５１およびＳＰＩのインタフェース回路２５２を含む。インタフェース回路２５２は、不揮発性メモリ１４０に直接アクセスすることができ、したがってインタフェース手段１５０は、メモリアクセス用端子群１５２のみを含む。ＳＰＩに代えて、Ｉ^２Ｃを用いてもよい。

以上が計測装置２００Ａの構成である。

人間が、コンピュータ上のデータベースで、ポアデバイスとその情報を紐付けて管理すると、入力ミスや、入力忘れが避けられない。これに対して、ポアデバイスに不揮発性メモリを内蔵することにより、製造者、使用者あるいは解析者に必要な情報を、ポアデバイスの内部に正確に記録しておくことが可能となる。これにより、人間がコンピュータ上で情報を管理する場合に比べて、より正確な情報管理が可能となる。

以下、不揮発性メモリ１４０に格納可能な情報について説明する。

不揮発性メモリ１４０には、ポアデバイス１００Ａの固有情報が、ポアデバイス１００Ａの出荷時に予め格納されている。固有情報は、シリアル番号、ポア径、製造日、バージョン情報、ロット番号、推奨の動作パラメータ（たとえばバイアス電圧の電圧値）などが例示される。

たとえば計測装置２００Ａは、ポアデバイス１００Ａが装着されると、不揮発性メモリ１４０にアクセスし、固有情報を読み出す。計測装置２００Ａは読み出した固有情報をデータ処理装置３００に送信する。

たとえば固有情報がポア径を含む場合、データ処理装置３００は、ポア径の値を、デジタルデータＤｓとともに保存し、あるいはサーバに送信する。これにより、解析に必要なポア径を、デジタルデータＤｓとセットで正確に管理することができる。

また、データ処理装置３００は、読み出したポア径に応じて、計測装置２００Ａの動作パラメータを自動計算し、自動計算した動作パラメータを計測装置２００Ａにセットしてもよい。これによりユーザが従来、ＧＵＩで行っていたデータの手入力を省略できる。

固有情報が、計測装置２００Ａの推奨動作条件を規定するパラメータを含む場合、データ処理装置３００は、このパラメータにもとづいて、計測装置２００Ａの動作状態を設定してもよい。

固有情報がポアデバイス１００Ａの製造日や使用期限を含む場合、データ処理装置３００は、使用期限を徒過している場合や、使用期限が近づいている場合には、その旨を警告してもよい。

データ処理装置３００は、計測装置２００Ａを制御し、ポアデバイス１００Ａの不揮発性メモリ１４０に、ポアデバイス１００Ａの使用履歴を書き込んでもよい。使用履歴は、ポアデバイス１００Ａの製造者が、使用済みのポアデバイス１００Ａを回収して解析する際に有用であり、使用履歴と、ポアデバイス１００Ａの故障や劣化を照らし合わせることで、ポアデバイス１００Ａの改良に役立てることができる。

図５（ａ）、（ｂ）は、ポアデバイス１００Ａの構造を示す図である。図５（ａ）は、ポアデバイス１００Ａの斜視図を示しており、図５（ｂ）はポアデバイス１００Ａの分解斜視図を示す。ポアデバイス１００Ａは、チップケース１３０、不揮発性メモリ１４０およびコンタクトシート１６０を備える。コンタクトシート１６０は、プリント基板であり、コンタクトシート１６０には、不揮発性メモリ１４０が実装されている。またコンタクトシート１６０には、測定用端子群１１０およびメモリアクセス用端子群１５２が形成される。チップケース１３０は、コンタクトシート１６０に貼り合わせされる。コンタクトシート１６０は、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）であってもよい。

図６は、変形例に係る微粒子測定システム１Ｂのブロック図である。ポアデバイス１００Ｂは、チップケース１３０およびＲＦ（Radio Frequency）タグ１７０を備える。ＲＦタグ１７０は、不揮発性メモリ１４０と、ＲＦ部１７２、アンテナ１７４を有し、モジュール化されている。ＲＦ部１７２とアンテナ１７４が、インタフェース手段１５０に相当する。不揮発性メモリ１４０は、ＦｅＲＡＭあるいはＥＥＰＲＯＭである。

計測装置２００Ｂは、メモリインタフェース２５０として、リーダライタＩＣ２５０Ｂを備える。リーダライタＩＣ２５０Ｂは、ＲＦタグ１７０との間で無線通信を行い、不揮発性メモリ１４０にデータを書き込み、また不揮発性メモリ１４０からデータを読み出す。

本明細書では微粒子計測装置について説明したが本発明の用途はそれに限定されず、ＤＮＡシーケンサをはじめとするポアデバイスを用いた微小電流計測を伴う計測器に広く用いることができる。

実施の形態にもとづき本発明を説明したが、実施の形態は、本発明の原理、応用を示しているにすぎず、実施の形態には、請求の範囲に規定された本発明の思想を逸脱しない範囲において、多くの変形例や配置の変更が認められる。

１ 微粒子測定システム
２ 電解液
４ 粒子
２００ 計測装置
２１０ トランスインピーダンスアンプ
２２０ 電圧源
２３０ デジタイザ
２４０ インタフェース回路
２５０ メモリインタフェース
３００ データ処理装置
１００ ポアデバイス
１０２ ポアチップ
１０４ 細孔
１０６，１０８ 電極
１１０ 測定用端子群
１３０ チップケース
１４０ 不揮発性メモリ
１５０ インタフェース手段
１５２ メモリアクセス用端子群
１６０ コンタクトシート
１７０ ＲＦタグ
１７２ ＲＦ部
１７４ アンテナ
２５０Ｂ リーダライタＩＣ

Claims (12)

1. 計測装置とともに使用されるポアデバイスであって、
   ポアチップと、
   前記ポアチップにより区画されるチャンバと、
   前記計測装置から前記チャンバに電気信号を印加し、前記チャンバに発生する電気信号を前記計測装置に出力するための測定用端子群と、
   不揮発性メモリと、
   前記不揮発性メモリと接続され、外部から前記不揮発性メモリにアクセスするためのインタフェース手段と、
   を備えることを特徴とするポアデバイス。
2. 前記不揮発性メモリには、前記ポアデバイスの固有情報が、前記ポアデバイスの出荷時に予め格納されていることを特徴とする請求項１に記載のポアデバイス。
3. 前記不揮発性メモリには、前記ポアデバイスの使用履歴が、前記ポアデバイスの使用時に書き込み可能であることを特徴とする請求項１または２に記載のポアデバイス。
4. 前記インタフェース手段は、前記計測装置のメモリインタフェースを、前記不揮発性メモリと接続するための複数の端子を含むことを特徴とする請求項１または２に記載のポアデバイス。
5. 前記インタフェース手段および前記不揮発性メモリは、ＲＦ（Radio Frequency）タグを構成しており、
   前記ＲＦタグは、前記計測装置のリーダ・ライタから非接触でアクセス可能であることを特徴とする請求項１または２に記載のポアデバイス。
6. 前記不揮発性メモリおよび前記インタフェース手段が実装されるコンタクトシートと、
   前記ポアチップを収容するとともに、前記コンタクトシートと張り合わされたポアチップケースと、
   をさらに備えることを特徴とする請求項１または２に記載のポアデバイス。
7. ポアデバイスと、
   計測装置と、
   を備え、
   前記ポアデバイスは、
   ポアチップと、
   前記ポアチップにより区画されるチャンバと、
   前記計測装置から前記チャンバに電気信号を印加し、前記チャンバに発生する電気信号を前記計測装置に出力するための測定用端子群と、
   不揮発性メモリと、
   前記不揮発性メモリと接続され、外部から前記不揮発性メモリにアクセスするためのインタフェース手段と、
   を備えることを特徴とする微粒子測定システム。
8. 前記不揮発性メモリには、前記ポアデバイスの固有情報が、前記ポアデバイスの出荷時に予め格納されており、
   前記計測装置は、前記不揮発性メモリから前記固有情報を読み出し、前記固有情報に応じて測定条件が自動設定されることを特徴とする請求項７に記載の微粒子測定システム。
9. 前記計測装置は、前記ポアデバイスの使用時に、前記不揮発性メモリに前記ポアデバイスの使用履歴を書き込み可能であることを特徴とする請求項７または８に記載の微粒子測定システム。
10. 前記インタフェース手段は、前記計測装置のメモリインタフェースを、前記不揮発性メモリと接続するための複数の端子を含むことを特徴とする請求項７または８に記載の微粒子測定システム。
11. 前記インタフェース手段および前記不揮発性メモリは、ＲＦ（Radio Frequency）タグを構成しており、
    前記ＲＦタグは、前記計測装置のリーダ・ライタから非接触でアクセス可能であることを特徴とする請求項７または８に記載の微粒子測定システム。
12. 前記不揮発性メモリおよび前記インタフェース手段が実装されるコンタクトシートと、
    前記ポアチップを収容するとともに、前記コンタクトシートと張り合わされたポアチップケースと、
    をさらに備えることを特徴とする請求項７または８に記載の微粒子測定システム。

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