JP2024035491A - フレームユニット - Google Patents

Abstract

【課題】複数のフレーム材を用いた枠の組みて立を容易にする。【解決手段】フレーム材２０に、各フレーム材２０の正しい姿勢を示す姿勢印２５、フレーム材２０の識別子である第１部品識別子２６、連結される他のフレーム材２０の識別子である第２部品識別子２７、他のフレーム材２０が連結されるエリアを示す連結印２８、および／または連結具が取り付けられるエリアを示す連結具エリア印２９が示されている。作業者は、これらを参照することにより、組立図の参照頻度を抑えた状態で、複数のフレーム材２０を連結して枠を組み立てることが可能となる。このため、組み立ての作業性を高めることができるので、枠を容易に組み立てることができる。【選択図】図２

Description

本発明は、フレームユニットに関する。

加工装置の枠は、特許文献１に開示のように、複数の棒状のアルミフレーム（フレーム材）を連結具で連結することによって形成されている。

アルミフレームは、特許文献２に開示のようなフレーム材加工装置によって、所定の長さに切断される。また、連結具をネジ固定するため、アルミフレームに形成されている溝には、ナットが仮固定されている。

枠を形成する際は、連結具に形成される貫通穴にネジを貫通させ、このネジを、あらかじめ溝に仮固定されているナットに螺合させることによって、アルミフレームどうしを連結している。このような連結によって、２本のアルミフレームを垂直に交差させて、枠を形成している。

特開２０１６－１５６３９０号公報 特開２０１７－２１１８５６号公報

上述の形成方法では、同じ長さのアルミフレームであっても、ナットが仮固定されているものとナットが仮固定されていないものとがあり、これらを区別することが難しい。

また、特許文献２の方法では、組立図に記載されている部品識別子がアルミフレームに記載されており、作業者は、組立作業の際に、組立図で部品識別子を確認している。したがって、この方法では、組み立ての際に組立図を確認する必要があるため、作業性が悪くなる。

したがって、本発明の目的は、枠を形成するための複数のフレーム材からなるフレームユニットを用いた枠の組み立てを容易に実施することにある。

本発明のフレームユニット（本フレームユニット）は、枠を形成するための複数のフレーム材からなるフレームユニットであって、該フレーム材に、該枠になったときの３次元姿勢を示す印が記載されている。

本フレームユニットでは、該フレーム材に、自身の部品識別子と、自身に連結される他のフレーム材の部品識別子とが記載されていてもよい。

本フレームユニットでは、該フレーム材には、連結具が取り付けられる連結具エリアに、連結具エリアであることを示す印が示されていてもよい。

本フレームユニットでは、フレーム材に、枠になったときの３次元姿勢を示す印が記載されている。これにより、作業者は、各フレーム材の正しい姿勢を容易に把握することができるので、各フレーム材を正しく連結することが容易となる。したがって、枠の組み立てを容易に実施することができる。

研削装置の構成を示す斜視図である。 フレーム材の構成を示す説明図である。 連結具の構成を示す説明図である。 フレーム材の他の構成を示す説明図である。

図１に示すように、本実施形態にかかる研削装置１は、ウェーハ１００を研削するための装置である。ウェーハ１００は、たとえば円形の板状ワークであり、表面１０１および裏面１０２を有している。ウェーハ１００の裏面１０２は、研削加工が施される被加工面となる。

研削装置１は、第１の装置ベース２と、第１の装置ベース２の後方（＋Ｙ方向側）に配置された第２の装置ベース３とを有している。

第１の装置ベース２の－Ｙ方向側には、第１のカセット１６１が載置されている第１のカセットステージ１６０、および、第２のカセット１６３が載置されている第２のカセットステージ１６２が配置されている。

第１のカセット１６１および第２のカセット１６３の近傍には、ロボット１５５が配設されている。ロボット１５５は、加工後のウェーハ１００を第２のカセット１６３に搬入する。また、ロボット１５５は、第１のカセット１６１から加工前のウェーハ１００を取り出して、仮置き機構１５２に搬送する。

仮置き機構１５２では、第１のカセット１６１から取り出されたウェーハ１００が、仮置きされて、所定の位置に位置合わせ（センタリング）される。

仮置き機構１５２に隣接する位置には、搬入機構１７０が設けられている。搬入機構１７０は、仮置き機構１５２に仮置きされたウェーハ１００を、チャックテーブル５０の保持面５２に載置する。チャックテーブル５０は、保持面５２によってウェーハ１００を保持する。

また、第２の装置ベース３の＋Ｙ方向側には、コラム１５が立設されている。コラム１５の前面には、ウェーハ１００を研削する研削機構７０、および、研削送り機構６０が設けられている。

研削送り機構６０は、チャックテーブル５０に対して、研削機構７０をＺ軸方向に移動させる。研削機構７０は、研削砥石７７を回転させた状態で研削送り機構６０によって下降されることにより、チャックテーブル５０に保持されたウェーハ１００の裏面１０２を研削する。

また、図１に示すように、チャックテーブル５０の近傍には、厚み測定器８０が配設されている。厚み測定器８０は、研削機構７０によって研削されているウェーハ１００の厚みを測定する。

研削後のウェーハ１００は、搬出機構１７２によって、枚葉式のスピンナ洗浄機構１５６に搬送されて洗浄される。洗浄後のウェーハ１００は、ロボット１５５により、第２のカセットステージ１６２上の第２のカセット１６３に搬入される。

また、図１に示すように、研削装置１は、第１の装置ベース２および第２の装置ベース３を覆う筐体１０を備えている。筐体１０は、枠（枠体）１１と、枠１１によって支持される複数の板材とを備えている。たとえば、筐体１０の＋Ｚ方向側には、板材からなる天板１４が設けられている。また、筐体１０の－Ｙ方向側の側面を形成する板材である前面板１２には、情報の表示および入力のためのタッチパネル５が設置されている。また、筐体１０の＋Ｘ方向側の側面には、板材からなる側面扉１３が設けられている。側面扉１３は、チャックテーブル５０等の第２の装置ベース３上の部材に作業者がアクセスするために用いられる。

枠１１は、図２に示すような複数のフレーム材２０を互いに連結することにより組み立てられる。すなわち、枠１１は、枠１１を形成するための複数のフレーム材２０からなるフレームユニットから構成されている。

ここで、以下の説明では、説明の便宜上、図２に示した３本のフレーム材２０を、それぞれ、第１フレーム材２０１、第２フレーム材２０２、および、第３フレーム材２０３と称する。また、これらを区別しない場合、これらをまとめてフレーム材２０と称する。

フレーム材２０は、アルミなどの金属製のフレームを所定の長さに切断することによって、概略正方形の切断面を有する四角柱状に形成されている。フレーム材２０の４つの側面には、フレーム材２０の全長にわたって、溝２１が形成されている。

フレーム材２０の連結には、図２および図３に示すような連結具３０が用いられる。図３に示すように、連結具３０は、Ｌ型の形状を有しており、ボルト部材３２が挿入される２つの挿入孔３１を有している。ボルト部材３２は、ナット部材３３に螺合されるように構成されている。ナット部材３３は、たとえば、フレーム材２０の溝２１内に仮固定されている。

複数のフレーム材２０を互いに連結する際には、たとえば、図２に示すように、連結具３０を、互いに直交するように配置された第１フレーム材２０１および第３フレーム材２０３によって形成される入隅部に装着する。そして、第１フレーム材２０１および第３フレーム材２０３の溝２１内に仮固定されているナット部材３３に、連結具３０を介してボルト部材３２を螺合させる。これにより、第１フレーム材２０１と第３フレーム材２０３とが、連結具３０により、互いに直交するように連結される。

また、本実施形態では、フレーム材２０に、枠１１になったときの３次元姿勢を示す印（姿勢印）が記載されている。枠１１になったときの３次元姿勢とは、フレームユニットをなす複数のフレーム材２０が連結されて枠１１が形成されたときの、その枠１１内での各フレーム材２０の姿勢を意味する。フレーム材２０の３次元姿勢は、フレーム材２０の長手方向の向き、および、フレーム材２０の各側面の向きを含む。

このような３次元姿勢を示す印である姿勢印は、たとえば、矢印などの記号、および、「Ｘ，Ｙ，Ｚ」などの３次元座標の各方向を示す文字を含む。たとえば、図２に示す例では、第１フレーム材２０１の－Ｙ方向側の側面に、姿勢印２５が記載（印字）されている。この姿勢印２５は、Ｚ軸方向を示す文字Ｚおよび矢印「↑」、ならびに、Ｘ軸方向を示す文字Ｘおよび矢印「→」が記載されている。

このような姿勢印２５がフレーム材２０に記載されていることにより、作業者は、各フレーム材２０の正しい３次元姿勢を、組立図を参照することなく、一義的に容易に把握することができる。したがって、各フレーム材２０を正しく連結することが容易となる。

なお、姿勢印２５は、図４に示すような内容であってもよい。図４に示す例では、姿勢印２５として、第１フレーム材２０１の－Ｙ方向側の側面に、この側面がＹ軸方向に垂直であることを示す文字Ｙ、および、第１フレーム材２０１の上下方向を示す矢印「↑」が記載されている。また、第１フレーム材２０１の＋Ｚ方向側の側面には、この側面がＺ軸方向に垂直であることを示す文字Ｚが記載されている。このような姿勢印２５であっても、作業者は、各フレーム材２０の正しい３次元姿勢を容易に把握することができる。

また、本実施形態では、フレーム材２０に、自身の部品識別子である第１部品識別子が記載されている。第１部品識別子は、たとえば、文字と数字との組み合わせからなり、各フレーム材２０の部品番号および／または長さを含んでいてもよい。

たとえば、図２に示すように、第１フレーム材２０１の－Ｙ方向側の側面には、第１部品識別子２６が記載（印字）されている。この第１部品識別子２６は、第１フレーム材２０１の部品番号である「Ａ１２３」と、第１フレーム材２０１の長さ（９００ｍｍ）を示す「Ｌ＝９００」を含んでいる。

また、第２フレーム材２０２の－Ｙ方向側の側面にも、第１部品識別子２６が記載されている。この第１部品識別子２６は、第２フレーム材２０２の部品番号である「Ａ２２５」と、第２フレーム材２０２の長さ（６００ｍｍ）を示す「Ｌ＝６００」を含んでいる。
このような第１部品識別子２６がフレーム材２０に記載されていることにより、作業者は、寸法測定などを実施することなく、各フレーム材２０を容易に識別することができる。

さらに、本実施形態では、フレーム材２０に、自身に連結される他のフレーム材２０の部品識別子である第２部品識別子が記載されているとともに、この他のフレーム材２０が連結されるエリアに、他のフレーム材２０が連結されるエリアであることを示す印（連結印）が形成されている。

たとえば、第１フレーム材２０１の＋Ｚ方向側の側面における－Ｘ方向側の端部には、他のフレーム材２０が連結されるエリアであることを示す連結印（黒色の模様）２８が形成されている。そして、この連結印２８の内部に、連結されるフレーム材２０である第２フレーム材２０２の部品識別子である第２部品識別子２７が記載されている。この第２部品識別子２７は、第２フレーム材２０２の部品番号である「Ａ２２５」を含んでいる。

このような第２部品識別子２７および連結印２８がフレーム材２０に示されていることにより、作業者は、各フレーム材２０における他のフレーム材２０が連結されるエリア、および、連結される他のフレーム材２０がどれであるのかを、組立図を参照することなく、容易に把握することができる。

また、本実施形態では、フレーム材２０に、連結具３０が取り付けられるエリアである連結具エリアに、連結具エリアであることを示す印（連結具エリア印）が示されている、
たとえば、第１フレーム材２０１の＋Ｚ方向側の側面には、連結印２８に隣接するように、連結具エリア印（複数のドットを含む模様）２９が示されている。また、第２フレーム材２０２の＋Ｘ方向側の側面における－Ｚ方向側の端部にも、同様の連結具エリア印２９が示されている。

このような連結具エリア印２９がフレーム材２０に示されていることにより、作業者は、各フレーム材２０における連結具３０を配設するべきエリアを、容易に把握することが可能となる。

以上のように、本実施形態にかかるフレームユニットでは、フレーム材２０に、各フレーム材２０の正しい３次元姿勢を示す姿勢印２５、フレーム材２０の部品識別子である第１部品識別子２６、連結される他のフレーム材２０の部品識別子である第２部品識別子２７、他のフレーム材２０が連結されるエリアを示す連結印２８、および／または、連結具が取り付けられるエリアを示す連結具エリア印２９が示されている。作業者は、これらを参照することにより、組立図の参照頻度を抑えた状態で、複数のフレーム材２０を連結して枠１１を組み立てることが可能となる。このため、組み立ての作業性を高めることができるので、枠１１を容易に組み立てることができる。

また、枠１１が組み立てられた後、枠１１を構成するフレーム材２０に示されている姿勢印２５および第１部品識別子２６等を外側から視認することにより、フレーム材２０が正しく連結されているか否かを判断することができる。したがって、組み立て後の枠１１の検査を容易に実施することができる。また、上述した姿勢印２５および第１部品識別子２６等の視認をカメラで実施することにより、組み立て後の枠１１の検査を自動で実施することも可能となる。

なお、フレーム材２０には、図３に示したナット部材３３が溝２１内に仮固定されているか否かを示す識別子、および／または、ナット部材３３が仮固定されている場所を示す識別子が記載されていてもよい。これにより、連結具３０によるフレーム材２０どうしの連結の作業性を高めることができる。

１：研削装置、２：第１の装置ベース、３：第２の装置ベース、５：タッチパネル、
１０：筐体、１１：枠、１２：前面板、１３：側面扉、１５：コラム、
２０：フレーム材、２１：溝、２５：姿勢印、２６：第１部品識別子、
２７：第２部品識別子、２８：連結印、２９：連結具エリア印、
３０：連結具、３１：挿入孔、３２：ボルト部材、３３：ナット部材、
５０：チャックテーブル、５２：保持面、６０：研削送り機構、７０：研削機構、
７７：研削砥石、８０：厚み測定器、１００：ウェーハ、１０１：表面、
１０２：裏面、１５２：仮置き機構、１５５：ロボット、１５６：スピンナ洗浄機構、
１６０：第１のカセットステージ、１６１：第１のカセット、
１６２：第２のカセットステージ、１６３：第２のカセット、
１７０：搬入機構、１７２：搬出機構、
２０１：第１フレーム材、２０２：第２フレーム材、２０３：第３フレーム材

Claims (3)

1. 枠を形成するための複数のフレーム材からなるフレームユニットであって、
   該フレーム材に、該枠になったときの３次元姿勢を示す印が記載されている、
   フレームユニット。
2. 該フレーム材に、自身の部品識別子と、自身に連結される他のフレーム材の部品識別子とが記載されている、
   請求項１記載のフレームユニット。
3. 該フレーム材には、連結具が取り付けられる連結具エリアに、連結具エリアであることを示す印が示されている、
   請求項１記載のフレームユニット。

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