JP2024009722A - 磁性シートの製造方法及び磁性シート製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】クラックを有するナノ結晶合金薄帯と粘着シートとが積層された磁性シートを製造する際、ナノ結晶合金薄帯の破断を抑制できる、磁性シートの製造方法を提供する。【解決手段】アモルファス合金薄帯を連続搬送するアモルファス合金薄帯搬送工程と、加熱体に接触させることによりアモルファス合金薄帯を熱処理してナノ結晶合金薄帯を得る熱処理工程と、ナノ結晶合金薄帯を連続搬送するナノ結晶合金薄帯搬送工程と、ナノ結晶合金薄帯と粘着シートを貼り合わせて積層体を得る貼り合わせ工程と、クラックロールに接触させることで、積層体のナノ結晶合金薄帯にクラックを形成させて磁性シートを得るクラック形成工程と、を含み、アモルファス合金薄帯搬送工程、熱処理工程、ナノ結晶合金薄帯搬送工程、貼り合わせ工程、及びクラック形成工程の順に連続して行われる、磁性シートの製造方法。【選択図】図１

Description

本開示は、磁性シートの製造方法及び磁性シート製造装置に関する。

近年、磁性シートとして用いられ得る、樹脂フィルム付きナノ結晶合金薄帯に関する技術が検討されている。

例えば、特許文献１の段落００２８～００３８及び図１には、非晶質合金薄帯の巻回体から巻き出しロールによって非晶質合金薄帯を巻き出し、巻き出された非晶質合金薄帯に対し、加熱及び冷却を含む熱処理を施してナノ結晶合金薄帯を得、得られたナノ結晶合金薄帯を、巻き取りロールによって巻き取ってナノ結晶合金薄帯のロールを得る、インラインアニール装置が開示されている。
この特許文献１の段落００３９及び図２には、ナノ結晶合金薄帯の巻回体、接着層の巻回体、及び樹脂フィルムの巻回体から、それぞれ、ナノ結晶合金薄帯、接着層、及び樹脂フィルムを巻き出し、巻き出された、ナノ結晶合金薄帯、接着層、及び樹脂フィルムを、一対の加圧ロールによって積層して一体化させて、樹脂フィルム付きナノ結晶合金薄帯を得るラミネート工程の例が開示されている。
この特許文献１の段落００４３～００５１には、樹脂フィルム付きナノ結晶合金薄帯におけるナノ結晶合金薄帯に対し、クラックロール等によってクラックを形成する例が開示されている。更に、樹脂フィルム付きナノ結晶合金薄帯におけるナノ結晶合金薄帯に対してクラックを形成し、ナノ結晶合金薄帯の複数に分割することにより、渦電流低減の効果が得られることが開示されている（特許文献１の段落００４４参照）。

国際公開第２０２０／２３５６４３号

ところで、クラックを有するナノ結晶合金薄帯と粘着シートとが積層された磁性シートが用いられる場合がある。
この磁性シートを、従来の技術（例えば、上記特許文献１に記載の技術。以下同じ。）によって製造しようとした場合、アモルファス合金薄帯の熱処理によって製造されたナノ結晶合金薄帯を一旦巻き取ってコイルとし、次いでこのコイルからナノ結晶合金薄帯を巻き出し、巻き出されたナノ結晶合金薄帯に対し、粘着シートとの貼り合わせ及びクラックの形成を施す必要がある。
しかし、上記磁性シートを上記従来の技術によって製造する場合、ナノ結晶合金薄帯と粘着シートとの貼り合わせ前の、ナノ結晶合金薄帯の巻き取り及び／又は巻き出しの際に、ナノ結晶合金薄帯に特有の脆化特性に起因するナノ結晶合金薄帯の破断が生じる場合がある。

本開示の課題は、クラックを有するナノ結晶合金薄帯と粘着シートとが積層された磁性シートを製造する際、ナノ結晶合金薄帯の破断を抑制できる、磁性シートの製造方法及び磁性シート製造装置を提供することである。

上記課題を解決するための具体的手段には以下の態様が含まれる。
＜１＞ 張力を加えた状態で、アモルファス合金薄帯を連続搬送するアモルファス合金薄帯搬送工程と、
張力を加えた状態で、加熱体に接触させることにより前記アモルファス合金薄帯を熱処理してナノ結晶合金薄帯を得る熱処理工程と、
張力を加えた状態で、前記ナノ結晶合金薄帯を連続搬送するナノ結晶合金薄帯搬送工程と、
張力を加えた状態で、前記ナノ結晶合金薄帯と粘着シートを貼り合わせて積層体を得る貼り合わせ工程と、
クラックロールに接触させることで、前記積層体の前記ナノ結晶合金薄帯にクラックを形成させて磁性シートを得るクラック形成工程と、
を含み、
前記アモルファス合金薄帯搬送工程、前記熱処理工程、前記ナノ結晶合金薄帯搬送工程、前記貼り合わせ工程、及び前記クラック形成工程の順に連続して行われる、
磁性シートの製造方法。
＜２＞ 前記粘着シートの幅を幅Ａとし、前記ナノ結晶合金薄帯の幅を幅Ｂとした場合に、幅Ａから幅Ｂを差し引いた値が、０．２ｍｍ～３．０ｍｍである、
＜１＞に記載の磁性シートの製造方法。
＜３＞ 前記貼り合わせ工程は、前記ナノ結晶合金薄帯と前記粘着シートとを貼り合わせる前に、前記ナノ結晶合金薄帯の幅方向の両端面の位置を調整することを含む、
＜１＞又は＜２＞に記載の磁性シートの製造方法。
＜４＞ ナノ結晶合金薄帯搬送工程は、張力調整装置により、前記ナノ結晶合金薄帯の張力を調整することを含む、
＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の磁性シートの製造方法。
＜５＞ 前記粘着シートが、粘着層からなるか、又は、支持体と支持体の両面に設けられた粘着層とを含む両面粘着テープである、＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の磁性シートの製造方法。

＜６＞ 張力を加えた状態で、アモルファス合金薄帯を連続搬送するアモルファス合金薄帯搬送装置と、
張力を加えた状態の前記アモルファス合金薄帯と接触する加熱体を含み、前記アモルファス合金薄帯を熱処理してナノ結晶合金薄帯を得る熱処理装置と、
張力を加えた状態で、前記ナノ結晶合金薄帯を連続搬送するナノ結晶合金薄帯搬送装置と、
張力を加えた状態で、前記ナノ結晶合金薄帯と粘着シートを貼り合わせて積層体を得る貼り合わせ装置と、
前記積層体の前記ナノ結晶合金薄帯に接触するクラックロールを含み、前記積層体の前記ナノ結晶合金薄帯にクラックを形成させて磁性シートを得るクラック形成装置と、
を含む、
磁性シート製造装置。
＜７＞ 更に、前記熱処理装置と前記貼り合わせ装置との間に、前記ナノ結晶合金薄帯の幅方向の両端面の位置を調整する薄帯端面位置調整装置を含む、
＜６＞に記載の磁性シート製造装置。
＜８＞ 更に、前記熱処理装置と前記貼り合わせ装置との間に、前記ナノ結晶合金薄帯の張力を調整する張力調整装置を含む、
＜６＞又は＜７＞に記載の磁性シート製造装置。

本開示によれば、クラックを有するナノ結晶合金薄帯と粘着シートとが積層された磁性シートを製造する際、ナノ結晶合金薄帯の破断を抑制できる、磁性シートの製造方法及び磁性シート製造装置が提供される。

本開示の磁性シートの製造方法を実施するための磁性シート製造装置の一例を示す概略断面図である。 図１に示す一例における熱処理装置を詳細に示した概略断面図である。 図１に示す一例における、貼り合わせロール及びクラックロールを含む後半部分を詳細に示した図である。 本開示における両面剥離ライナー付き粘着シートの一例を示す概略断面図である。 本開示における片面剥離ライナー付き粘着シートの一例を示す概略断面図である。 本開示におけるナノ結晶合金薄帯の一例を示す概略断面図である。 本開示における貼り合わせ工程で得られる積層体の一例を示す概略断面図である。 本開示における磁性シートの一例を示す概略断面図である。 本開示における片面剥離ライナー付き粘着シートの別の一例を示す概略断面図である。 本開示における両面剥離ライナー付き粘着シートの別の一例を示す概略断面図である。 本開示における磁性シートの別の一例を示す概略断面図である。 本開示における熱処理装置の変形例を示す概略断面図である。

本開示において、「～」を用いて表される数値範囲は、「～」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
本開示において、「工程」との語は、独立した工程だけでなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
本開示において、「第１」、「第２」、及び「第３」等の用語は、単に識別のための用語に過ぎず、順序、優先順位等を意味する用語ではない。

本開示において、Ｆｅ基アモルファス合金薄帯とは、Ｆｅ基アモルファス合金からなる薄帯を指す。
本開示において、Ｆｅ基アモルファス合金とは、Ｆｅ（鉄）を主成分とするアモルファス合金を指す。ここで、主成分とは、含有比率（質量％）が最も高い成分を指す。
本開示において、「ナノ結晶合金」とは、ナノ結晶粒を含む合金組織を有する合金を意味する。「ナノ結晶合金」の概念には、ナノ結晶粒及びアモルファス相を含む合金組織を有する合金も包含される。ここで、ナノ結晶粒は、粒径が１ｎｍ以上１００ｎｍ以下の結晶粒であり、好ましくは１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下の結晶粒である。

〔磁性シートの製造方法〕
本開示の磁性シートの製造方法（以下、「本開示の製造方法」ともいう）は、
張力を加えた状態で、アモルファス合金薄帯を連続搬送するアモルファス合金薄帯搬送工程と、
張力を加えた状態で、加熱体に接触させることによりアモルファス合金薄帯を熱処理してナノ結晶合金薄帯を得る熱処理工程と、
張力を加えた状態で、ナノ結晶合金薄帯を連続搬送するナノ結晶合金薄帯搬送工程と、
張力を加えた状態で、ナノ結晶合金薄帯と粘着シートを貼り合わせて積層体を得る貼り合わせ工程と、
クラックロールに接触させることで、積層体のナノ結晶合金薄帯にクラックを形成させて磁性シートを得るクラック形成工程と、
を含み、
アモルファス合金薄帯搬送工程、熱処理工程、ナノ結晶合金薄帯搬送工程、貼り合わせ工程、及びクラック形成工程の順に連続して行われる、
磁性シートの製造方法である。
本開示の製造方法は、必要に応じ、その他の工程を含んでいてもよい。

本開示の製造方法では、上述のとおり、アモルファス合金薄帯搬送工程、熱処理工程、ナノ結晶合金薄帯搬送工程、貼り合わせ工程、及びクラック形成工程が、この順に連続して行われる。
本発明の製造方法では、以上の操作を、巻き取り操作及び巻き出し操作を介在させることなく、一貫して行う。
このため、本開示の製造方法によれば、アモルファス合金薄帯から磁性シートを得るまでの過程における、巻き取り操作及び巻き出し操作の回数を低減できる。
従って、本開示の製造方法によれば、磁性シートを製造する際、ナノ結晶合金薄帯に特有の脆化特性に起因する、ナノ結晶合金薄帯の破断を抑制できる。

本開示の製造方法に対し、例えば、上記特許文献１（国際公開第２０２０／２３５６４３号）に記載の製造方法によって上記磁性シートを製造する場合、アモルファス合金薄帯を熱処理して製造したナノ結晶合金薄帯を一旦巻き取る巻き取り操作が必要であり、更に、巻き取られたナノ結晶合金薄帯を再び巻き出して、粘着シートとの貼り合わせ、及び、クラックの形成を行う必要がある。このため、ナノ結晶合金薄帯の巻き取り及び／又は巻き出しの際に、ナノ結晶合金薄帯に特有の脆化特性に起因する、ナノ結晶合金薄帯の破断が生じる場合がある。
これに対し、本開示の製造方法では、ナノ結晶合金薄帯の巻き取り操作及び巻き出し操作を省略できるので、ナノ結晶合金薄帯の破断を抑制できる。

以下、本開示の製造方法の一例について、図面を参照しながら説明するが、本開示の製造方法は、以下の一例に限定されない。
以下、実質的に同一の機能を有する部材には全図面を通して同じ符合を付与し、その説明を省略することがある。
また、図面の寸法比率は、説明の都合上誇張されている場合があり、実際の比率とは異なる場合がある。

図１は、本開示の磁性シートの製造方法を実施するための磁性シート製造装置の一例である、磁性シート製造装置１００を示す概略断面図である。
図２は、図１に示す一例における熱処理装置を詳細に示した図である。
図３は、図１に示す一例における、貼り合わせロール及びクラックロールを含む後半部分を詳細に示した図である。

磁性シート製造装置１００は、後述する本開示の磁性シート製造装置の一例でもある。

図１～図３に示されるように、磁性シート製造装置１００を用いた磁性シートの製造では、
長尺状のアモルファス合金薄帯１０Ａが巻回されてなるコイル１０からアモルファス合金薄帯１０Ａを巻き出し、
巻き出されたアモルファス合金薄帯１０Ａを連続搬送し、
連続搬送されるアモルファス合金薄帯１０Ａを、熱処理装置３０にて熱処理（即ち、加熱及び冷却）することにより、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂを製造し、
製造されたナノ結晶合金薄帯１０Ｂを、巻き取ることなく連続搬送し、
連続搬送されるナノ結晶合金薄帯１０Ｂと、片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａと、を貼り合わせて積層体７０Ａを製造し、
製造された積層体７０Ａにおけるナノ結晶合金薄帯１０Ｂをクラックロール７２によって加圧してクラックを形成することにより、磁性シート７０Ｂを製造し、
得られた磁性シート７０Ｂを、巻き取り装置８１によって巻き取る。

図５に示されるように、片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａは、剥離ライナー６０Ａｂ及び粘着シートとしての粘着層６０Ａａを含む。
図７に示されるように、積層体７０Ａは、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂと片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａと、を、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂと粘着シートとしての粘着層６０Ａａとが接する配置にて貼り合わせて得られた積層体である。
図８に示されるように、磁性シート７０Ｂは、クラック１０ＢＢを有するナノ結晶合金薄帯１０ＢＡと、剥離ライナー６０Ａｂ及び粘着層６０Ａａを含む片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａと、を、クラックを有するナノ結晶合金薄帯１０ＢＡと粘着層６０Ａａとが接する配置にて含む磁性シートである。
図７及び図８に示されるように、磁性シート７０Ｂは、積層体７０Ａにおけるナノ結晶合金薄帯１０Ｂに、クラックが形成されたものである。即ち、磁性シート７０Ｂにおける、クラック１０ＢＢを有するナノ結晶合金薄帯１０ＢＡは、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂに、クラックが形成されたものである。

以上のように、磁性シート製造装置１００は、出発部材であるアモルファス合金薄帯１０Ａ、中間部材であるナノ結晶合金薄帯１０Ｂ、及び、目的物である磁性シート７０Ｂを、インライン連続搬送方式にて連続搬送する、インライン型の製造装置である。

以下、磁性シート製造装置１００の構造について、より詳細に説明する。
以下の説明において、上流側及び下流側とは、それぞれ、薄帯（即ち、アモルファス合金薄帯又はナノ結晶合金薄帯）又は積層体の搬送方向についての上流側及び下流側を意味する。

図１に示されるように、磁性シート製造装置１００は、長尺状のアモルファス合金薄帯１０Ａが巻回されてなるコイル１０からアモルファス合金薄帯１０Ａを巻き出す巻き出し装置１１（例えば巻き出しロール）を備える。
アモルファス合金薄帯１０Ａとしては、例えば、単ロール法によって製造されたＦｅ基アモルファス合金薄帯を用いることができる。
単ロール法によるＦｅ基アモルファス合金薄帯の製造については、例えば、国際公開第２０１３／１３７１１８号等の公知文献を適宜参照できる。
単ロール法では、Ｆｅ基アモルファス合金薄帯は、通常、長尺状のＦｅ基アモルファス合金薄帯が巻き取られたコイルの形態にて製造される。製造されたコイルを、本一例における出発部材であるコイル１０として用いることができる。

図１に示されるように、磁性シート製造装置１００は、巻き出されたアモルファス合金薄帯１０Ａを、張力を加えた状態で連続搬送するアモルファス合金薄帯搬送装置を備える。
磁性シート製造装置１００におけるアモルファス合金薄帯搬送装置は、搬送ロール１２～１５を含む。
磁性シート製造装置１００では、例えば、張力調整装置（ダンサーロール２０及びブライドルロールユニット２１）、薄帯端面位置調整装置２５等、アモルファス合金薄帯１０Ａの搬送経路上に存在する装置又は部材が、アモルファス合金薄帯搬送装置としての機能を兼ね備えていてもよい。

磁性シート製造装置１００には、アモルファス合金薄帯１０Ａの搬送経路の途中に、張力調整装置として、ダンサーロール２０及びブライドルロールユニット２１が設けられている。ブライドルロールユニット２１は、ブライドルロールユニット２１は、ブライドルロール２１Ａ、２１Ｂ、及び２１Ｃを含む。
磁性シート製造装置１００では、上記張力調整装置により、熱処理装置３０中におけるアモルファス合金薄帯１０Ａの張力を、アモルファス合金薄帯１０Ａを熱処理してナノ結晶合金薄帯１０Ｂを得るための熱処理条件に適した張力に調整しやすい。
磁性シート製造装置１００には、更に、アモルファス合金薄帯１０Ａの張力を検知するための張力検知装置２４が設けられている。

但し、アモルファス合金薄帯に対する張力調整装置及び張力検知装置は、本開示の磁性シート製造装置における必須の要素ではない。例えば、張力調整装置及び張力検知装置が省略されている場合でも、アモルファス合金薄帯１０Ａを、張力を加えた状態で連続搬送し、熱処理してナノ結晶合金薄帯１０Ｂを得ることが可能である。

磁性シート製造装置１００では、アモルファス合金薄帯１０Ａの搬送経路の途中に、薄帯端面位置調整装置２５が設けられ、更に、薄帯端面検知装置２２及び２３が設けられている。磁性シート製造装置１００では、これらの薄帯端面位置調整装置及び薄帯端面検知装置により、連続走行中のアモルファス合金薄帯１０Ａの幅方向の両端面の位置を調整できる。
これらの薄帯端面位置調整装置２５並びに薄帯端面検知装置２２及び２３は、本開示の磁性シート製造装置における必須の要素ではない。

図１に示されるように、磁性シート製造装置１００は、連続搬送されるアモルファス合金薄帯１０Ａを熱処理してナノ結晶合金薄帯１０Ｂを製造するための熱処理装置３０を備える。
磁性シート製造装置１００では、熱処理装置３０に入ったアモルファス合金薄帯１０Ａが、熱処理装置３０中で熱処理されてナノ結晶合金薄帯１０Ｂが製造され、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂが熱処理装置３０から出る。

図２は、熱処理装置３０の詳細を概念的に示す部分拡大図である。
熱処理装置３０は、薄帯の搬送方向上流側から順に、一対のガイドロール３１、内部に加熱体３２を含む加熱装置３３、一対のガイドロール３４、一対のガイドロール３５、内部に冷却体３６を含む冷却装置３７、及び一対のガイドロール３８を含む。
一対のガイドロールは、一対のガイドロール間に薄帯を挟んで搬送する機能を有する。

加熱体３２及び冷却体３６は、いずれも、金属製のプレート形状の部材である。
加熱体３２の上面とアモルファス合金薄帯１０Ａとが接触することで、アモルファス合金薄帯１０Ａが加熱される。
冷却体３６の上面とアモルファス合金薄帯１０Ａとが接触することで、アモルファス合金薄帯１０Ａが冷却される。

熱処理装置３０における加熱装置３３内に入ったアモルファス合金薄帯１０Ａは、加熱装置３３内に配置された加熱体３２の上面に接触しながら走行する（即ち、連続搬送される）。この加熱体３２の上面との接触により、アモルファス合金薄帯１０Ａが加熱される。
加熱されたアモルファス合金薄帯１０Ａは、一対のガイドロール３４及び一対のガイドロール３５によって搬送されて冷却装置３７内に入り、冷却装置３７内に配置された冷却体３６の一部に接触しながら進行する（即ち、連続搬送される）。加熱されたアモルファス合金薄帯１０Ａは、この冷却体３６の上面との接触により、例えば室温付近まで冷却される。
熱処理装置３０に入ったアモルファス合金薄帯１０Ａは、上記加熱及び上記冷却によって熱処理される。この熱処理における、加熱の過程、又は、加熱及び冷却の過程で、アモルファス合金薄帯１０Ａの組織内にナノ結晶粒が生成され、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂが製造される（即ち、アモルファス合金薄帯１０Ａがナノ結晶合金薄帯１０Ｂに転化する）。

加熱体３２の温度は、アモルファス合金薄帯１０Ａを加熱してナノ結晶合金薄帯１０Ｂが得られる温度であればよく、アモルファス合金薄帯の組成等を考慮して適宜設定することができる。
加熱体３２の好ましい態様及び変形例、並びに、加熱体の好ましい温度については後述する。

加熱体３２の温度は、アモルファス合金薄帯１０Ａを加熱してナノ結晶合金薄帯１０Ｂが得られる温度であればよく、アモルファス合金薄帯の組成等を考慮して適宜設定することができる。
加熱体３２の好ましい態様及び変形例、並びに、加熱体の好ましい温度については後述する。

冷却体３６は、冷却機構（例えば水冷機構）を有していてもよいし、特段の冷却機構を有していなくてもよい（例えば、自然放熱式の冷却体であってもよい）。
冷却体３６の好ましい態様及び変形例については後述する。
なお、アモルファス合金薄帯１０Ａの冷却は、冷却体３６によらず、空冷によって行ってもよい。即ち、冷却体３６は、本開示の磁性シート製造装置における必須の要素ではない。

図１に示されるように、磁性シート製造装置１００は、熱処理装置３０にて得られたナノ結晶合金薄帯１０Ｂを、巻き取ることなく、張力を加えた状態で連続搬送するナノ結晶合金薄帯搬送装置を備える。
磁性シート製造装置１００におけるナノ結晶合金薄帯搬送装置は、具体的には、搬送ロール４１～４６を含む。
更に、磁性シート製造装置１００では、例えば、張力調整装置（ブライドルロールユニット４０及びダンサーロール５１）、薄帯端面位置調整装置５０及び５４、等、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂの搬送経路上に存在する装置又は部材が、ナノ結晶合金薄帯搬送装置としての機能を兼ね備えていてもよい。

磁性シート製造装置１００では、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂの搬送経路の途中に、張力調整装置として、ブライドルロールユニット４０及びダンサーロール５１が設けられ、更に、薄帯端面位置検知装置５２が設けられている。ブライドルロールユニット４０は、ブライドルロール４０Ａ、４０Ｂ、及び４０Ｃを含む。
磁性シート製造装置１００では、上記張力調整装置により、熱処理装置３０から出た直後のナノ結晶合金薄帯１０Ｂの張力（即ち、熱処理工程の条件に適した張力）を、次の貼り合わせ工程に適した張力に調整しやすい。

但し、ナノ結晶合金薄帯に対する張力調整装置及び張力検知装置は、本開示の磁性シート製造装置における必須の要素ではない。
例えば、ナノ結晶合金薄帯に対する張力調整検知装置が省略されている場合でも、ナノ結晶合金薄帯を、張力を加えた状態で連続搬送し、次の貼り合わせ工程の操作を行うことが可能である。

磁性シート製造装置１００は、ナノ結晶合金薄帯搬送装置としての搬送ロール４６と、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂと片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａとを貼り合わせるための貼り合わせロール７１（貼り合わせ装置）と、の間に、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂの幅方向の両端面の位置を調整する薄帯端面位置調整装置５４と、薄帯端面検知装置５５と、を含む。
磁性シート製造装置１００は、薄帯端面位置調整装置５４を含むことにより、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂと片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａとの貼り合わせの位置ずれ（詳細には、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂの幅方向の位置ずれ）をより効果的に抑制できる。
これらの薄帯端面位置調整装置５４及び薄帯端面検知装置５５は、本開示の磁性シート製造装置における必須の要素ではない。

磁性シート製造装置１００は、張力を加えた状態で連続搬送されるナノ結晶合金薄帯１０Ｂと、片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａと、を貼り合わせて積層体７０Ａを得る貼り合わせ装置としての貼り合わせロール７１を含む。
貼り合わせ装置としての貼り合わせロール７１は、一対のロールからなる。
貼り合わせロール７１による貼り合わせは、別ルートにて搬送されてきたナノ結晶合金薄帯１０Ｂ（図６参照）と片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａ（図５参照）とが、貼り合わせロール７１としての一対のロール間に挟みこまれ、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂと粘着層６０Ａａとが接する配置にて貼り合わせられる。この貼り合わせにより、積層体７０Ａが得られる（以上、図３及び図７参照）。

ここで、片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａは、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂとは別ルートにて、貼り合わせロール７１まで搬送される。
以下、片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａの貼り合わせロール７１までの供給ルートについて説明する。
なお、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂの貼り合わせロール７１までの供給ルートについては既に説明したとおりである。

片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａは、長尺状の部材である両面剥離ライナー付き粘着シート６０から、一方の剥離ライナーである剥離ライナー６０Ｂを剥離して得られる長尺状の部材である。
図４は、両面剥離ライナー付き粘着シートを示す概略断面図である。
図４に示されるように、両面剥離ライナー付き粘着シート６０は、片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａと、片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａにおける粘着層６０Ａａから見て剥離ライナー６０Ａｂとは反対側に配置された剥離ライナー６０Ｂと、を含む。

図１及び図３に示されるように、本一例では、長尺状に巻かれた両面剥離ライナー付き粘着シート６０を巻き出し装置６１にセットする。次いで、巻き出し装置６１から両面剥離ライナー付き粘着シート６０を巻き出し、巻き出した両面剥離ライナー付き粘着シート６０から剥離ライナー６０Ｂを剥離する。両面剥離ライナー付き粘着シート６０から剥離ライナー６０Ｂを剥離して得られた片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａが、搬送装置としての搬送ロール６３～６５によって、貼り合わせロール７１まで搬送される。
剥離された剥離ライナー６０Ｂは、巻き取り装置６２によって巻き取られる。

磁性シート製造装置１００では、上述した貼り合わせによって得られた積層体７０Ａは、張力を加えた状態で連続搬送される。この連続搬送は、後述の巻き取り装置８１による巻き取りの作用によって実現される。

磁性シート製造装置１００は、張力を加えた状態で連続搬送される積層体７０Ａににおけるナノ結晶合金薄帯１０Ｂにクラックを形成して磁性シート７０Ｂ（図８参照）を得るためのクラック形成装置（具体的には、クラックロール７２及び押えロール７３）を含む。
詳細には、クラックの形成は、張力を加えた状態で連続搬送される積層体７０Ａににおけるナノ結晶合金薄帯１０Ｂにクラックロール７２を接触させて加圧することによって行う。
クラックロール７２は、その表面にクラック形成用の凸部を有する。
クラック形成装置では、クラックロール７２に対向する、押えロール７３が配置される。
クラックの形成では、クラックロール７２及び押えロール７３間に積層体７０Ａが、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂとクラックロール７２とが接触する配置にて、挟みこまれる。これにより、積層体７０Ａにおけるナノ結晶合金薄帯１０Ｂが、クラックロール７２の表面の凹凸によって加圧され、積層体７０Ａにおけるナノ結晶合金薄帯１０Ｂに、クラック１０ＢＢが形成される。これにより、磁性シート７０Ｂが得られる（以上、図３、図７、及び図８参照）。

磁性シート製造装置１００は、磁性シート７０Ｂの搬送方向下流側に、搬送ロール７７、一対のニップロール７４、一対の平坦化ロール７５、搬送ロール７８、及び、磁性シート７０Ｂを巻き取るための巻き取り装置８１を備える。
搬送ロール７７、一対のニップロール７４、一対の平坦化ロール７５、及び搬送ロール７８は、省略されていてもよい。

以上、本開示の製造方法の一例を、磁性シート製造装置１００の説明を通じて示したが、本開示の製造方法は、上記一例には限定されない。
以下、本開示の製造方法の目的物である磁性シートについて説明し、引き続き、本開示の製造方法における各工程の好ましい態様について説明する。

＜磁性シート＞
本開示の製造方法の目的物である磁性シートは、クラックを有するナノ結晶合金薄帯と粘着シートとが積層された磁性シートである。
磁性シートは、クラックを有するナノ結晶合金薄帯及び粘着シート以外の要素（例えば剥離ライナー）を含んでいてもよい。
例えば、磁性シートは、クラックを有するナノ結晶合金薄帯と、片面剥離ライナー付き粘着シートと、を含んでいてもよい。

磁性シートの一例は、前述した図８に示す磁性シート７０Ｂであり、片面剥離ライナー付き粘着シートの一例は、前述した図５に示す片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａである。
図８に示す磁性シート７０Ｂは、クラック１０ＢＢを有するナノ結晶合金薄帯１０ＢＡと、剥離ライナー６０Ａｂ及び粘着シートとしての粘着層６０Ａａを含む片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａと、を、クラックを有するナノ結晶合金薄帯１０ＢＡと粘着層６０Ａａとが接する配置にて含む磁性シートである。

磁性シートは、各種用途に使用できる。
例えば、磁性シートにおける粘着シートにより、磁性シートを、他の部材と接着させることができる。
また、磁性シートを複数積み重ねることにより、クラックを有するナノ結晶合金薄帯を複数含む積層デバイスを形成することができる。

磁性シートにおけるナノ結晶合金薄帯がクラックを有することで、渦電流損失の低減効果が得られる。

磁性シートにおけるナノ結晶合金薄帯の好ましいサイズ（長さ、幅、及び厚さ）は、後述するアモルファス合金薄帯の好ましいサイズ（長さ、幅、及び厚さ）と同様である。

粘着シートは、粘着層からなるか、又は、支持体と支持体の両面に設けられた粘着層とを含む両面粘着テープであることが好ましい。

粘着シートに含まれ得る粘着層及び支持体としては、それぞれ、両面粘着テープの分野で使用される公知のものを適宜使用できる。

粘着シートが粘着層からなる態様の一例は、前述した図４、図５及び図８に示す粘着層６０Ａａである。
この態様において、粘着層は、単層の粘着層であってもよいし、２層以上の粘着層であってもよい。

図９は、粘着シートが、支持体と支持体の両面に設けられた粘着層とを含む両面粘着テープである場合の片面剥離ライナー付き粘着シートの一例である、片面剥離ライナー付き粘着シート１６０Ａを示す概略断面図である。
図１０は、片面剥離ライナー付き粘着シート１６０Ａ及び剥離ライナー６０Ｂを含む両面剥離ライナー付き粘着シート１６０を示す概略断面図である。
図１１は、片面剥離ライナー付き粘着シート１６０Ａを含む磁性シート１７０Ｂを示す概略断面図である。

図９～図１１に示されるように、片面剥離ライナー付き粘着シート１６０Ａは、剥離ライナー１６０Ａｂと、粘着シートとしての両面粘着テープ１６０Ａａと、を含む。
両面粘着テープ１６０Ａａは、支持体１６０Ａａ１と、支持体１６０Ａａ１の両面に設けられた粘着層１６０Ａａ２と、を含む。
図９～図１１に示される片面剥離ライナー付き粘着シート１６０Ａは、粘着シートが両面粘着テープ１６０Ａａである点で、粘着シートが粘着層６０Ａａ（単体）である、図４、図５及び図８に示される片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａと異なる。この点を除けば片面剥離ライナー付き粘着シート１６０Ａの構造は、実質的に、片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａの構造と同じである。

本開示における磁性シートにおいて、粘着シートの幅を幅Ａとし、ナノ結晶合金薄帯の幅を幅Ｂとした場合に、幅Ａから幅Ｂを差し引いた値（以下、差〔幅Ａ－幅Ｂ〕ともいう）は、好ましくは０．２ｍｍ～３．０ｍｍである。
差〔幅Ａ－幅Ｂ〕が０．２ｍｍ以上である場合には、連続搬送されるナノ結晶合金薄帯が幅Ｂの方向に位置ずれを起こした場合においても、ナノ結晶合金薄帯の幅Ｂの方向の全体に渡り、粘着シートを付着させやすい。
差〔幅Ａ－幅Ｂ〕が３．０ｍｍ以下である場合には、ナノ結晶合金薄帯の幅Ｂを確保しやすい。
差〔幅Ａ－幅Ｂ〕は、より好ましい下限は、０．５ｍｍであり、更に１．０ｍｍである。また、差〔幅Ａ１－幅Ｂ〕の好ましい上限は、２．５ｍｍであり、更に２．０ｍｍである。

本開示における磁性シートにおいて、粘着シートが、支持体と支持体の両面に設けられた粘着層とを含む両面粘着テープである場合、支持体の幅を幅Ａ１とし、ナノ結晶合金薄帯の幅を幅Ｂとした場合に、幅Ａ１から幅Ｂを差し引いた値（以下、差〔幅Ａ１－幅Ｂ〕ともいう）は、好ましくは０．２ｍｍ～３．０ｍｍである。
差〔幅Ａ１－幅Ｂ〕が０．２ｍｍ以上である場合には、連続搬送されるナノ結晶合金薄帯が幅Ｂの方向に位置ずれを起こした場合においても、ナノ結晶合金薄帯の幅Ｂの方向の全体に渡り、粘着シートを付着させやすい。
差〔幅Ａ１－幅Ｂ〕が３．０ｍｍ以下である場合には、ナノ結晶合金薄帯の幅Ｂを確保しやすい。
また、差〔幅Ａ１－幅Ｂ〕が３．０ｍｍ以下である場合には、磁性シートを幅方向に並べて配置したとき、ナノ結晶合金薄帯間の間隔が広くなり過ぎることを抑制できるので、磁気ヨークや磁気シールドとして用いるときに、要求される特性がより得られやすいという利点もある。
差〔幅Ａ１－幅Ｂ〕は、より好ましい下限は、０．５ｍｍであり、更に１．０ｍｍである。また、差〔幅Ａ１－幅Ｂ〕の好ましい上限は、２．５ｍｍであり、更に２．０ｍｍである。

＜準備工程＞
本開示の製造方法は、長尺状のアモルファス合金薄帯が巻回されてなるコイルを準備する準備工程を含んでもよい。
準備工程は、上記コイルを製造する工程であってもよいし、予め製造された上記コイルを、単に準備するだけの工程であってもよい。
前述のように、単ロール法によってアモルファス合金薄帯を製造した場合、通常、上記コイルの形態で製造される。

アモルファス合金薄帯は長尺状であればよく、そのサイズ（長さ、幅、及び厚さ）には特に制限はない。

アモルファス合金薄帯の長さは、５００ｍ以上であってもよいし、１，０００ｍ以上であってもよいし、４，０００ｍ以上であってもよいし、１０，０００ｍ以上であってもよい。
アモルファス合金薄帯の長さの上限にも特に制限はないが、上限は、例えば３０，０００ｍである。
アモルファス合金薄帯の長さは、５００ｍ以下であってもよく、例えば、５ｍ、１０ｍ、１００ｍ等であっても良い。生産性を考慮すると、アモルファス合金薄帯の長さは長い方が好ましく、例えば、５００ｍ～３０，０００ｍであることが好ましい。

アモルファス合金薄帯の幅は、５ｍｍ～３００ｍｍであることが好ましい。
アモルファス合金薄帯の幅が５ｍｍ以上である場合、アモルファス合金薄帯の製造適性に優れる。
アモルファス合金薄帯の幅が３００ｍｍ以下である場合、熱処理によってナノ結晶合金薄帯を製造した際、ナノ結晶化の均一性により優れる。アモルファス合金薄帯の幅は、２００ｍｍ以下であることが好ましい。
アモルファス合金薄帯の幅は、より好ましくは５ｍｍ～１００ｍｍであり、更に好ましくは５ｍｍ～５０ｍｍである。

アモルファス合金薄帯の厚さは、１０μｍ～５０μｍであることが好ましい。
アモルファス合金薄帯の厚さが１０μｍ以上である場合、アモルファス合金薄帯の機械的強度が確保され易い。
アモルファス合金薄帯の厚さが５０μｍ以下である場合、アモルファス合金薄帯の組織の一部が結晶化することを抑制できる。
アモルファス合金薄帯の厚さは、より好ましくは１１μｍ～３０μｍであり、さらに好ましくは１２μｍ～２７μｍである。

アモルファス合金薄帯としては、Ｆｅ基アモルファス合金薄帯であることが好ましく、下記一般式（１）で表される組成を有するＦｅ基アモルファス合金薄帯であることがより好ましい。

（Ｆｅ_１－ａＭ_ａ）_{１００－ｘ－ｙ－ｚ－α－β－γ}Ｃｕ_ｘＳｉ_ｙＢ_ｚＭ’_αＭ”_βＸ_γ（原子％） … 一般式（１）
一般式（１）中、
ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、
Ｍ’はＮｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ及びＷからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、
Ｍ”はＡｌ、白金族元素、Ｓｃ、希土類元素、Ｚｎ、Ｓｎ、及びＲｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、
ＸはＣ、Ｇｅ、Ｐ、Ｇａ、Ｓｂ、Ｉｎ、Ｂｅ、及びＡｓからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、
ａ、ｘ、ｙ、ｚ、α、β及びγは、それぞれ、０≦ａ≦０．５、０．１≦ｘ≦３、０≦ｙ≦３０、０≦ｚ≦２５、５≦ｙ＋ｚ≦３０、０≦α≦２０、０≦β≦２０及び０≦γ≦２０を満たす。

＜巻き出し工程＞
本開示の製造方法は、上記コイルからアモルファス合金薄帯を巻き出す巻き出し工程を含んでもよい。
巻き出し工程については特に限定はなく、公知の巻き出し装置（例えば、前述の巻き出し装置１１）を用いて実施できる。

＜アモルファス合金薄帯搬送工程＞
本開示の製造方法は、張力を加えた状態で、アモルファス合金薄帯を連続搬送するアモルファス合金薄帯搬送工程を含む。
張力を加えた状態でアモルファス合金薄帯を連続搬送する操作は、公知の搬送装置（例えば、搬送ロール）を用いて実施できる。
アモルファス合金薄帯に対する張力の印加は、公知の方法で実施できる。
張力の印加は、例えば、巻き出し装置からのアモルファス合金薄帯の巻き出し速度と、後述の磁性シートをコイル状に巻き取る巻き取り装置における巻き取り速度と、を調整することによって実施できる。
また、張力の印加は、アモルファス合金薄帯の張力調整装置（例えば、前述のダンサーロール２０及びブライドルロールユニット２１）を設け、巻き出し装置からのアモルファス合金薄帯の巻き出し速度と、張力調整装置の調整と、によって行ってもよい。
また、張力の印加は、熱処理装置よりも下流側に、ナノ結晶合金薄帯の張力調整装置（例えば、前述のブライドルロールユニット４０及びダンサーロール５１）を設け、巻き出し装置からのアモルファス合金薄帯の巻き出し速度と、張力調整装置の調整と、によって行ってもよい。

アモルファス合金薄帯の搬送速度は、例えば１ｍｐｍ～１０ｍｐｍ、好ましくは２ｍｐｍ～８ｍｐｍである。

本開示において、「ｍｐｍ」との単位は、メートル毎分（meter per minute；「ｍ／ｍｉｎ」）を意味する。

アモルファス合金薄帯に張力が加えられることにより、アモルファス合金薄帯に引張応力が加えられる。
アモルファス合金薄帯に加えられる引張応力は、好ましくは１０ＭＰａ～６０ＭＰａ、好ましくは２０ＭＰａ～６０ＭＰａ、好ましくは３０ＭＰａ～５０ＭＰａである。

＜熱処理工程＞
本開示の製造方法は、張力を加えた状態で、加熱体に接触させることによりアモルファス合金薄帯を熱処理してナノ結晶合金薄帯を得るを含む。

熱処理工程における、アモルファス合金薄帯の搬送速度及びアモルファス合金薄帯に加えられる引張応力の好ましい範囲は、それぞれ、アモルファス合金薄帯搬送工程における、アモルファス合金薄帯の搬送速度及びアモルファス合金薄帯に加えられる引張応力の好ましい範囲と同様である。

熱処理工程における熱処理は、加熱体（例えば、前述の加熱体３２）及び冷却体（例えば、前述の冷却体３６）を含む熱処理装置（例えば、前述の熱処理装置３０）を用いて行うことが好ましい。
この場合、張力を加えた状態で連続搬送されるアモルファス合金薄帯を、加熱体と接触させ、次いで、冷却体と接触させることを含むことが好ましい。
かかる好ましい態様では、アモルファス合金薄帯が、加熱体との接触により加熱され、次いで、冷却体との接触によって冷却されることにより、熱処理される。
その結果、加熱中、又は、加熱及び冷却中において、アモルファス合金薄帯の組織中にナノ結晶が生成され、ナノ結晶合金薄帯が得られる。

加熱体及び冷却体を含めた熱処理装置の構成については、例えば、国際公開第２０２０／２３５６４３号に記載のインラインアニール装置における加熱室及び冷却室の構成を適用してもよい。

加熱体としては、例えば、金属製の部材を用いることができる。
加熱体の材質としては、例えば、ステンレス、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ａｌ合金、等が挙げられる。

加熱体の温度は、アモルファス合金薄帯を加熱してナノ結晶合金薄帯が得られる温度であればよく、アモルファス合金薄帯の組成等を考慮して適宜設定することができる。
加熱体の温度は、例えば４００℃以上であり、より好ましくは４００℃～８００℃であり、更に好ましくは４３０℃～７００℃である。

加熱体とアモルファス合金薄帯との接触時間は、好ましくは１．０秒～１０．０秒、より好ましくは２．０秒～５．０秒であり、更に好ましくは３．０秒～４．０秒である。
加熱体とアモルファス合金薄帯との接触時間は、加熱体に接するアモルファス合金薄帯の温度が、加熱体の温度と同じ温度となるように設定されることが好ましい。

冷却体としては、例えば、金属製の部材を用いることができる。冷却体３６の材質としては、例えば、ステンレス、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ａｌ合金、等が挙げられる。
冷却体は、冷却機構（例えば水冷機構）を有していてもよいし、特段の冷却機構を有していなくてもよい（例えば、自然放熱式の冷却体であってもよい）。

加熱体の温度は、加熱されたアモルファス合金薄帯を冷却してナノ結晶合金薄帯が得られる温度であればよく、アモルファス合金薄帯の組成等を考慮して適宜設定することができる。
冷却体の温度は、例えば３５０℃以下であり、より好ましくは０℃～３００℃であり、更に好ましくは１０℃～２５０℃である。

冷却体とアモルファス合金薄帯との接触時間は、好ましくは０．３秒～１０．０秒、より好ましくは０．５秒～４．０秒であり、更に好ましくは１．０秒～４．０秒である。

加熱体及び冷却体は、それぞれ、アモルファス合金薄帯との接触面に吸引孔を有していてもよい。吸引孔を通じてアモルファス合金薄帯を減圧吸引することにより、加熱体及び／又は冷却体と、アモルファス合金薄帯と、の接触をより安定的に行うことができる。

加熱体３２及び冷却体３６のそれぞれの上面の形状は、平面であることには限定されない。
以下、加熱体及び冷却体のそれぞれの上面の形状の変形例について説明する。

図１２は、熱処理装置の変形例を概念的に示す部分拡大図である。
図１２に示す変形例に係る熱処理装置３０Ｘは、図２における熱処理装置３０と対比すると、加熱体及び冷却体のそれぞれの上面の形状が異なる。この点以外は、熱処理装置３０Ｘの構成は、熱処理装置３０の構成と同様である。
詳細には、図２に示す熱処理装置３０における加熱体３２の上面の形状は平面であるのに対し、図１２に示す熱処理装置３０Ｘにおける加熱体３２Ｘの上面の形状は、上（重力方向に対して反対側。以下同じ）に向かって膨らむ曲面である。
より詳細には、図１２に示されるように、加熱体３２Ｘの、薄帯搬送方向に平行かつ重力方向に平行な断面において、加熱体３２の上面に相当する線は、円弧状となっている。

前述のとおり、連続走行されるアモルファス合金薄帯１０Ａには、張力が加わっている。
このため、連続搬送されるアモルファス合金薄帯１０Ａに対し、上述した曲面である加熱体３２Ｘの上面に押し付けられる力が働きやすく、その結果、アモルファス合金薄帯１０Ａと加熱体３２Ｘとの接触が、より安定的に保たれる。これにより、アモルファス合金薄帯１０Ａが、より安定的に加熱され、その結果、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂが安定的に得られる。

冷却体３６Ｘの上面の形状も、上述した加熱体３２Ｘの上面の形状（即ち、上に向かって膨らむ曲面）と同様である。更に、加熱体３２Ｘ通過後のアモルファス合金薄帯１０Ａにも張力が加わっているので、加熱体３２Ｘ通過後のアモルファス合金薄帯１０Ａに対し、冷却体３６Ｘの上面に押し付けられる力が働き、その結果、加熱体３２Ｘ通過後のアモルファス合金薄帯１０Ａと冷却体３６Ｘとの接触がより安定的に保たれ、加熱体３２Ｘ通過後のアモルファス合金薄帯１０Ａがより安定的に冷却され、その結果、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂが安定的に得られる。

なお、前述したとおり、加熱されたアモルファス合金薄帯の冷却は、冷却体との接触によらず、例えば空冷によっても実施できるので、冷却体は、本開示における必須の要素ではない。

＜ナノ結晶合金薄帯搬送工程＞
本開示の製造方法は、熱処理工程で製造されたナノ結晶合金薄帯を、張力を加えた状態で連続搬送するナノ結晶合金薄帯搬送工程を含む。
ナノ結晶合金薄帯を張力を加えた状態で連続搬送する操作は、公知の搬送装置（例えば、搬送ロール）を用いて実施できる。
ナノ結晶合金薄帯に対する張力の印加は、公知の方法で実施できる。

ナノ結晶合金薄帯搬送工程は、張力調整装置（例えば、ブライドルロールユニット４０及びダンサーロール５１）により、ナノ結晶合金薄帯の張力を調整することを含むことが好ましい。
張力調整装置により、熱処理装置から出たナノ結晶合金薄帯の張力（即ち、熱処理工程の条件に適した張力）を、次の貼り合わせ工程に適した張力に調整しやすい。このため、熱処理工程の条件に適した張力と、貼り合わせ工程に適した張力と、が異なる場合においても、熱処理工程で得られたナノ結晶合金薄帯の張力を、次の貼り合わせ工程に適した張力に調整しやすい。

本開示の製造方法において、ナノ結晶合金薄帯の張力調整装置（例えば、ブライドルロールユニット４０及びダンサーロール５１）と、アモルファス合金薄帯の張力調整装置（例えば、前述のダンサーロール２０及びブライドルロールユニット２１）と、を両方用いる場合、ナノ結晶合金薄帯の張力調整装置及びアモルファス合金薄帯の張力調整装置が互いに作用して、アモルファス合金薄帯の張力及びナノ結晶合金薄帯の張力を調整してもよい。
この際、張力をより効果的に調整する観点から、前述の磁性シート製造装置１００のように、上流側から下流側に向けて、ダンサーロール２０、ブライドルロールユニット２１、ブライドルロールユニット４０、及びダンサーロール５１をこの順に配置することが好ましい。

ナノ結晶合金薄帯の搬送速度は、例えば１ｍｐｍ～１０ｍｐｍ、好ましくは２ｍｐｍ～８ｍｐｍである。

ナノ結晶合金薄帯に張力が加えられることにより、ナノ結晶合金薄帯に引張応力が加えられる。
ナノ結晶合金薄帯に加えられる引張応力は、好ましくは２ＭＰａ～１０５ＭＰａである。

＜貼り合わせ工程＞
本開示の製造方法は、張力を加えた状態で、ナノ結晶合金薄帯（例えば、ナノ結晶合金薄帯１０Ｂ）と、粘着シート（例えば、図５に示す片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａにおける粘着層６０Ａａ）と、を貼り合わせて積層体（例えば、図７に示す積層体７０Ａ）を得る貼り合わせ工程を含む。

貼り合わせ工程におけるナノ結晶合金薄帯と粘着シート（例えば、片面剥離ライナー付き粘着シート。以下同じ。）との貼り合わせは、好ましくは貼り合わせ装置を用いて行う。
貼り合わせ装置としては、一対の貼り合わせロール（例えば、貼り合わせロール７１）が好ましい。この場合、一対の貼り合わせロールによってナノ結晶合金薄帯と粘着シートとを加圧して貼り合わせる。

貼り合わせ工程における、ナノ結晶合金薄帯の搬送速度及びナノ結晶合金薄帯に加えられる引張応力の好ましい範囲は、それぞれ、ナノ結晶合金薄帯搬送工程における、ナノ結晶合金薄帯の搬送速度及びナノ結晶合金薄帯に加えられる引張応力の好ましい範囲と同様である。

貼り合わせ工程では、張力を加えた状態で連続搬送されるナノ結晶合金薄帯と、張力を加えた状態で連続搬送される粘着シートと、貼り合わせることが好ましい。
これにより、ナノ結晶合金薄帯と粘着シートとの貼り合わせがより良好に行われる。
また、ナノ結晶合金薄帯と粘着シートとの両者に張力を加えた状態で両者を貼り合わせることにより、貼り合わせ後において、ナノ結晶合金薄帯に無用な応力が生じることを抑制できる。

貼り合わせ工程における、粘着シートの搬送速度は、例えば１ｍｐｍ～１０ｍｐｍ、好ましくは２ｍｐｍ～８ｍｐｍである。

貼り合わせ工程では、粘着シートに張力が加えられた場合には、粘着シートに引張応力が加えられる。
粘着シートに加えられる引張応力は、好ましくは０．２ＭＰａ～５．０ＭＰａ、好ましくは０．５ＭＰａ～３．０ＭＰａ、好ましくは１．０ＭＰａ～２．０ＭＰａである。

貼り合わせ工程は、ナノ結晶合金薄帯と粘着シートとを貼り合わせる前に、ナノ結晶合金薄帯の幅方向の両端面の位置を調整することを含むことが好ましい。これにより、連続搬送されるナノ結晶合金薄帯の幅（即ち前述の幅Ｂ）の方向の位置ずれ（例えば、蛇行して搬送された場合の位置ずれ）を、より効果的に抑制できる。
ナノ結晶合金薄帯の幅方向の両端面の位置の調整は、薄帯端面位置調整装置（例えば、薄帯端面位置調整装置５４；図１及び図３参照）を用いて実施できる。この際、好ましくは、薄帯端面検知装置（例えば、薄帯端面検知装置５５；図１及び図３参照）を用い、薄帯の幅方向の両端面の位置を検知しながら、両端面の位置を調整する。

本開示の製造方法は、粘着シートの供給源として、
粘着シート及び剥離ライナー（以下、第１剥離ライナーとする）を含む片面剥離ライナー付き粘着シート（例えば、図５における片面剥離ライナー付き粘着シート６０Ａ）と、
片面剥離ライナー付き粘着シートにおける粘着シート側に配置された剥離ライナー（以下、第２剥離ライナーとする；例えば、図４における剥離ライナー６０Ｂ）と、
を含む両面剥離ライナー付き粘着シート（例えば、図４における両面剥離ライナー付き粘着シート６０）を準備する工程を含むことが好ましい。
両面剥離ライナー付き粘着シートは、「第１剥離ライナー／粘着シート／第２剥離ライナー」で表される積層構造を有する積層体である。
両面剥離ライナー付き粘着シートの構成及び材質についても、公知の両面粘着テープの構成及び材質を適宜適用できる。
本開示の製造方法は、更に、両面剥離ライナー付き粘着シートから第２剥離ライナーを剥離して片面剥離ライナー付き粘着シートを得る工程を含むことが好ましい。
この場合、得られた片面剥離ライナー付き粘着シートを、貼り合わせ工程において、ナノ結晶合金薄帯と貼り合わせる。

両面剥離ライナー付き粘着シートは、長尺状の部材であることが好ましい。
この場合、本開示の製造方法は、
長尺状の両面剥離ライナー付き粘着シートが巻回されてなるコイルを、巻き出し装置にセットする工程と、
上記コイルから巻き出し機によって両面剥離ライナー付き粘着シートを巻き出す工程と、
巻き出された両面剥離ライナー付き粘着シートから、第２剥離ライナーを剥離して片面剥離ライナー付き粘着シートを得る工程と、
得られた片面剥離ライナー付き粘着シートを、張力を加えた状態で連続搬送する工程と、
を含むことが好ましい。
この場合、貼り合わせ工程において、張力を加えた状態で連続搬送される片面剥離ライナー付き粘着シートと、張力を加えた状態で連続搬送されるナノ結晶合金薄帯と、を貼り合わせる。

＜クラック形成工程＞
本開示の製造方法は、クラックロール（例えば、図３に示すクラックロール７２）に接触させることで、積層体（例えば、図７に示す積層体７０Ａ）のナノ結晶合金薄帯（例えば、図７に示す積層体７０Ａにおけるナノ結晶合金薄帯１０Ｂ）にクラックを形成させて磁性シート（例えば、図８に示す磁性シート７０Ｂ）を得るクラック形成工程を含む。

クラックロールとしては、周面に複数の凸部が配置されたロール（例えば、図３中のクラックロール７２）が好ましい。
クラック形成工程におけるナノ結晶合金薄帯に対するクラックの形成は、クラックロールと、クラックロールに対向して配置された押えロール（例えば、図３中の押えロール７３）と、を含むクラック形成装置を用いて実施することが好ましい。

本開示の製造方法では、積層体の搬送方向にクラックロールを複数配置し、搬送される積層体のナノ結晶合金薄帯に対し、複数のクラックロールによるクラック形成を施してもよい。

ナノ結晶合金薄帯に対するクラックの形成については、国際公開第２０２０／２３５６４３号の段落００４６～段落００６５の記載を適用してもよい。

＜巻き取り工程＞
本開示の製造方法は、磁性シートをコイル状に巻き取る工程（以下、「巻き取り工程」ともいう）を含んでもよい。
本工程により、コイル状に巻き取られた磁性シートが得られる。
巻き取り工程については特に限定はなく、公知の巻き取り装置（例えば、図１及び図３中の巻き取り装置８１）を用いて実施できる。

本開示の製造方法は、必要に応じ、上記以外の工程を含んでいてもよい。

〔磁性シート製造装置〕
本開示の磁性シート製造装置（例えば、図１中の磁性シート製造装置１００）は、
張力を加えた状態で、アモルファス合金薄帯を連続搬送するアモルファス合金薄帯搬送装置と、
張力を加えた状態のアモルファス合金薄帯と接触する加熱体を含み、アモルファス合金薄帯を熱処理してナノ結晶合金薄帯を得る熱処理装置と、
張力を加えた状態で、ナノ結晶合金薄帯を連続搬送するナノ結晶合金薄帯搬送装置と、
張力を加えた状態で、ナノ結晶合金薄帯と粘着シートを貼り合わせて積層体を得る貼り合わせ装置と、
積層体のナノ結晶合金薄帯に接触するクラックロールを含み、積層体のナノ結晶合金薄帯にクラックを形成させて磁性シートを得るクラック形成装置と、
を含む、
磁性シート製造装置である。
本開示の磁性シート製造装置は、必要に応じ、上記以外の要素（装置又は部材）を備えていてもよい。

本開示の磁性シート製造装置は、前述した本開示の製造方法における装置として好適である。
従って、本開示の磁性シート製造装置は、上記磁性シートを効率よく製造できる。

本開示の磁性シート製造装置は、熱処理装置と貼り合わせ装置との間に、ナノ結晶合金薄帯の幅方向の両端面の位置を調整する薄帯端面位置調整装置（例えば、図１及び図３中の薄帯端面位置調整装置５４）を含むことが好ましい。
これにより、ナノ結晶合金薄帯と粘着シートとの貼り合わせの位置ずれ（詳細には、ナノ結晶合金薄帯の幅方向の位置ずれ）をより効果的に抑制できる。

本開示の磁性シート製造装置は、熱処理装置と貼り合わせ装置との間に、ナノ結晶合金薄帯の張力を調整する張力調整装置（例えば、図１中のダンサーロール２０及びブライドルロールユニット２１）を含むことが好ましい。
これにより、熱処理装置から出たナノ結晶合金薄帯の張力（即ち、熱処理工程の条件に適した張力）を、次の貼り合わせ工程に適した張力に調整しやすい。このため、熱処理工程の条件に適した張力と、貼り合わせ工程に適した張力と、が異なる場合においても、熱処理工程で得られたナノ結晶合金薄帯の張力を、次の貼り合わせ工程に適した張力に調整しやすい。

本開示の磁性シート製造装置の好ましい態様としては、前述した本開示の製造方法における好ましい態様を適用できる。

以下、本発明の実施例を示すが、本発明は以下の実施例に制限されるものではない。

〔実施例１及び２〕
実施例１及び２として、図１に示す磁性シート製造装置１００と同様の構成を有する磁性シート製造装置を用い、図１１に示す磁性シート１７０Ｂと同様の構成を有する磁性シートを製造する場合を想定した製造条件の具体例を示す。
アモルファス合金薄帯としては、例えば、前述した一般式（１）（即ち、「（Ｆｅ_１－ａＭ_ａ）_{１００－ｘ－ｙ－ｚ－α－β－γ}Ｃｕ_ｘＳｉ_ｙＢ_ｚＭ’_αＭ”_βＸ_γ（原子％） … 一般式（１）」）中、ａ、ｘ、ｙ、ｚ、α、β、及びγが、それぞれ、ａ＝０、０．１≦ｘ≦３、０＜ｙ≦３０、０＜ｚ≦２５、５≦ｙ＋ｚ≦３０、０＜α≦２０、β＝０、及びγ＝０を満たす、ＦｅＣｕＮｂＳｉＢアモルファス合金薄帯を用いる。
粘着シートとしては、例えば、支持体と支持体の両面に設けられた粘着層とを含む両面粘着テープ（即ち、図１０に示す両面剥離ライナー付き粘着シート１６０における粘着シート１６０Ａａ）を用いる。
表１における粘着シートの幅は、両面粘着テープの幅を意味し、この幅は、両面粘着テープにおける支持体の幅に等しいものと想定する。

１０ アモルファス合金薄帯が巻回されてなるコイル
１０Ａ アモルファス合金薄帯
１０Ｂ ナノ結晶合金薄帯
１０ＢＡ クラックを有するナノ結晶合金薄帯
１０ＢＢ クラック
１１ 巻き出し装置
１２～１５ 搬送ロール
２０ ダンサーロール
２１ ブライドルロールユニット
２１Ａ～２１Ｃ ブライドルロール
２２ 薄帯端面検知装置
２３ 薄帯端面検知装置
２４ 張力検知装置
２５ 薄帯端面位置調整装置
３０、３０Ｘ 熱処理装置
３１、３４、３５、３８ 一対のガイドロール
３２、３２Ｘ 加熱体
３３ 加熱装置
３６、３６Ｘ 冷却体
３７ 冷却装置
４０ ブライドルロールユニット
４０Ａ～４０Ｃ ブライドルロール
４１～４６ 搬送ロール
５０ 薄帯端面位置調整装置
５１ ダンサーロール
５２ 薄帯端面検知装置
５４ 薄帯端面位置調整装置
５５ 薄帯端面検知装置
６０ 両面剥離ライナー付き粘着シート
６０Ａ 片面剥離ライナー付き粘着シート
６０Ａａ 粘着層（粘着シート）
６０Ａｂ 剥離ライナー
６０Ｂ 剥離ライナー
６１ 巻き出し装置
６２ 巻き取り装置
６３～６５ 搬送ロール
７０Ａ 積層体
７０Ｂ、１７０Ｂ 磁性シート
７１ 貼り合わせロール（貼り合わせ装置）
７２ クラックロール
７３ 押えロール
７４ ニップロール
７５ 平坦化ロール
７６～７８ 搬送ロール
８１ 巻き取り装置
１００ 磁性シート製造装置
１６０ 両面剥離ライナー付き粘着シート
１６０Ａ 片面剥離ライナー付き粘着シート
１６０Ａａ１ 支持体
１６０Ａａ２ 粘着層
１６０Ａａ 両面粘着テープ（粘着シート）
１６０Ａｂ 剥離ライナー
１７０Ｂ 磁性シート

Claims (8)

1. 張力を加えた状態で、アモルファス合金薄帯を連続搬送するアモルファス合金薄帯搬送工程と、
   張力を加えた状態で、加熱体に接触させることにより前記アモルファス合金薄帯を熱処理してナノ結晶合金薄帯を得る熱処理工程と、
   張力を加えた状態で、前記ナノ結晶合金薄帯を連続搬送するナノ結晶合金薄帯搬送工程と、
   張力を加えた状態で、前記ナノ結晶合金薄帯と粘着シートを貼り合わせて積層体を得る貼り合わせ工程と、
   クラックロールに接触させることで、前記積層体の前記ナノ結晶合金薄帯にクラックを形成させて磁性シートを得るクラック形成工程と、
   を含み、
   前記アモルファス合金薄帯搬送工程、前記熱処理工程、前記ナノ結晶合金薄帯搬送工程、前記貼り合わせ工程、及び前記クラック形成工程の順に連続して行われる、
   磁性シートの製造方法。
2. 前記粘着シートの幅を幅Ａとし、前記ナノ結晶合金薄帯の幅を幅Ｂとした場合に、幅Ａから幅Ｂを差し引いた値が、０．２ｍｍ～３．０ｍｍである、
   請求項１に記載の磁性シートの製造方法。
3. 前記貼り合わせ工程は、前記ナノ結晶合金薄帯と前記粘着シートとを貼り合わせる前に、前記ナノ結晶合金薄帯の幅方向の両端面の位置を調整することを含む、
   請求項１又は請求項２に記載の磁性シートの製造方法。
4. ナノ結晶合金薄帯搬送工程は、張力調整装置により、前記ナノ結晶合金薄帯の張力を調整することを含む、
   請求項１又は請求項２に記載の磁性シートの製造方法。
5. 前記粘着シートが、粘着層からなるか、又は、支持体と支持体の両面に設けられた粘着層とを含む両面粘着テープである、請求項１又は請求項２に記載の磁性シートの製造方法。
6. 張力を加えた状態で、アモルファス合金薄帯を連続搬送するアモルファス合金薄帯搬送装置と、
   張力を加えた状態の前記アモルファス合金薄帯と接触する加熱体を含み、前記アモルファス合金薄帯を熱処理してナノ結晶合金薄帯を得る熱処理装置と、
   張力を加えた状態で、前記ナノ結晶合金薄帯を連続搬送するナノ結晶合金薄帯搬送装置と、
   張力を加えた状態で、前記ナノ結晶合金薄帯と粘着シートを貼り合わせて積層体を得る貼り合わせ装置と、
   前記積層体の前記ナノ結晶合金薄帯に接触するクラックロールを含み、前記積層体の前記ナノ結晶合金薄帯にクラックを形成させて磁性シートを得るクラック形成装置と、
   を含む、
   磁性シート製造装置。
7. 更に、前記熱処理装置と前記貼り合わせ装置との間に、前記ナノ結晶合金薄帯の幅方向の両端面の位置を調整する薄帯端面位置調整装置を含む、
   請求項６に記載の磁性シート製造装置。
8. 更に、前記熱処理装置と前記貼り合わせ装置との間に、前記ナノ結晶合金薄帯の張力を調整する張力調整装置を含む、
   請求項６又は請求項７に記載の磁性シート製造装置。