JP2023534122A - ロバストな流体結合装置 - Google Patents

Abstract

ターゲット材料供給装置は、接合された場合に、ターゲット材料流体のソースとノズル供給装置との間にある軸方向流路を規定する第１及び第２の流体流コンポーネント(1122,1126)と、第１及び第２の流体流コンポーネントの間の接合を封止するように構成された結合装置と、を含む。結合装置は、設置されて封止された場合に軸方向流路の一部になる内側開口を規定する環状の形状を有するガスケット(1105)を含む。ガスケットが第１及び第２の流体流コンポーネント間に設置されることにより、第１及び第２の流体流コンポーネントを取り付けることで形成された接合を封止した場合、軸方向流路に沿ってガスケット内側開口を横断するターゲット材料流体からガスケットに加えられる圧力が、接合における封止の密閉機能を向上させる。任意選択的に、例えば流れ制限部(1160)のような機能挿入部をガスケットに設置することができる。【選択図】図１２Ａ

Description

（関連出願の相互参照）
[0001] 本出願は、２０２０年７月２１日に出願された「ＲＯＢＵＳＴ ＦＬＵＩＤ ＣＯＵＰＬＩＮＧ ＡＰＰＡＲＡＴＵＳ」と題する米国特許出願第６３／０５４，４１０号、２０２１年３月２９日に出願された「ＲＯＢＵＳＴ ＦＬＵＩＤ ＣＯＵＰＬＩＮＧ ＡＰＰＡＲＡＴＵＳ」と題する米国特許出願第６３／１６７，２５４号、及び、２０２０年６月３０日に出願された「ＲＯＢＵＳＴ ＦＬＵＩＤ ＣＯＵＰＬＩＮＧ ＡＰＰＡＲＡＴＵＳ」と題する米国特許出願第６３／２１６，８２０号の優先権を主張する。これらの出願は援用により全体が本願に含まれる。

[0002] 開示される主題は、２つの流体流コンポーネントを流体結合する（ｆｌｕｉｄｌｙ ｃｏｕｐｌｅ）ための、ガスケットを含む装置に関する。

[0003] 例えば、２０ナノメートル（ｎｍ）以下、５～２０ｎｍの間、又は１３～１４ｎｍの間の波長の光を含む、１００ｎｍ以下の波長を有する（時として軟ｘ線とも称される）電磁放射のような極端紫外線（「ＥＵＶ」）光は、フォトリソグラフィプロセスで使用され、レジスト層において重合を開始することにより、例えばシリコンウェーハのような基板に極めて小さいフィーチャを生成することができる。ＥＵＶ光を発生させるための方法は、限定ではないが、ソース材料の物理的状態をプラズマ状態に変化させることを含む。ソース材料は、例えばキセノン、リチウム、又はスズのような、ＥＵＶ範囲内に輝線を有する化合物又は元素を含む。しばしばレーザ生成プラズマ（「ＬＰＰ」：ｌａｓｅｒ ｐｒｏｄｕｃｅｄ ｐｌａｓｍａ）と呼ばれる１つのそのような方法では、例えばソース材料の小滴、流れ、又はクラスタの形態であるソース材料を、駆動レーザと称されることのある増幅光ビームで照射することにより、必要なプラズマが生成される。このプロセスでは、プラズマは通常、例えば真空チャンバのような密閉容器内で生成され、様々なタイプのメトロロジ機器を用いて監視される。プラズマ状態の場合にＥＵＶ範囲内で放出するキセノン、リチウム、又はスズのようなソース材料は、駆動レーザのターゲットとなって照射されるので、一般にターゲット材料と呼ばれる。

[0004] いくつかの全体的な態様において、ターゲット材料供給装置は、接合された場合に軸方向流路を規定する第１及び第２の流体流コンポーネントであって、軸方向流路は、ターゲット材料流体のソースとノズル供給装置との間にあり、ターゲット材料流体をノズル供給装置の方へ送るように構成されている、第１及び第２の流体流コンポーネントと、第１及び第２の流体流コンポーネントの間の接合を封止するように構成された結合装置と、を含む。結合装置は、設置されて封止された場合に軸方向流路の一部になる内側開口を規定する環状の形状を有するガスケットを含む。ガスケットが第１及び第２の流体流コンポーネント間に設置されることにより、第１及び第２の流体流コンポーネントを取り付けることで形成された接合を封止した場合、軸方向流路に沿ってガスケット内側開口を横断するターゲット材料流体からガスケットに加えられる圧力が、接合における封止の密閉機能を向上させる。

[0005] 実施例は、以下の特徴のうち１つ以上を含むことができる。例えば、ガスケットは、接合を損傷することなく接合から取り外し可能であるように構成され得る。ガスケットの外側半径方向接続表面が隣接する流体流コンポーネントの内側半径方向接続表面と係合した後、半径方向面内に延出するガスケットの少なくとも１つの表面は、隣接する流体流コンポーネントの突起と係合するように構成され得る。

[0006] 第１の流体流コンポーネントはアダプタであり、第２の流体流コンポーネントはターゲット材料流体貯蔵部であり、アダプタはターゲット材料流体貯蔵部とノズル供給装置との間に位置決めされ得る。アダプタはモリブデンレニウムで作製され、ガスケットはポリイミドで作製され得る。

[0007] ターゲット材料供給装置は、ガスケットの内側開口内に設置された機能挿入部を更に含み、機能挿入部は軸方向流路の一部である内側開口を含み、機能挿入部内側開口はガスケットの内側開口の直径よりも小さい直径を有し得る。機能挿入部は、ターゲット材料流体に適合する材料で作製され得る。機能挿入部は、タンタル、タングステン、モリブデン、タンタルの合金、タングステンの合金、モリブデンの合金、ポリイミド、又は高融点金属で作製された流れ制限部であり得る。機能挿入部は、炭化ホウ素、又はスズ嫌性（ｔｉｎ－ｐｈｏｂｉｃ）材料でコーティングされた金属で作製され得る。ターゲット材料流体は溶融スズであり得る。ガスケットの内側開口の直径は、軸方向流路を規定するアダプタの内側開口と少なくとも同じ大きさであり、内部の機能挿入部を軸方向に支持するのに充分な小ささであり得る。機能挿入部は流れ制限部であり、流れ制限部の内側開口の直径は、閾値を超えるターゲット材料流体の流圧が加わった時にターゲット材料流体の制限された流れを可能とするのに充分な小ささであり、軸方向流路の直径よりも小さく、ノズル供給装置の流路の最小直径よりも大きくすることができる。機能挿入部は流れ制限部であり、第１の流体流コンポーネントはアダプタであり、第２の流体流コンポーネントはターゲット材料流体貯蔵部であり、アダプタはターゲット材料流体貯蔵部とノズル供給装置との間に位置決めされ得る。

[0008] 他の全体的な態様において、結合装置は、接合された場合に流体が横断することができる軸方向流路を規定する２つの流体流コンポーネントの間の接合を封止するように構成されている。結合装置は、軸方向流路に垂直な半径方向面に沿った直径を有する内側開口を規定する環状の形状を有するガスケットであって、ガスケットの内側開口の直径はガスケットを流体が通り抜けるのに充分な大きさであり、ガスケット内側開口は軸方向流路を延長する、ガスケットと、ガスケットが配置されている支持コンポーネントと、を含む。支持コンポーネントは、半径方向面に沿った直径を有する内側開口を規定する環状の形状を有し、支持コンポーネントの内側開口の直径はガスケットの外径よりも大きい。ガスケットが２つの流体流コンポーネント間に設置されることにより、２つの流体流コンポーネントを取り付けることで形成された接合を封止した場合、軸方向流路に沿ってガスケット内側開口を横断する流体からガスケットに加えられる圧力が、接合における封止の密閉機能を向上させる。

[0009] 実施例は、以下の特徴のうち１つ以上を含むことができる。例えば、ガスケットは２つの流体流コンポーネントの間で軸方向流路を延長し得る。ガスケットは、軸方向流路に最も近い軸方向長さが軸方向流路から最も遠い軸方向長さよりも大きい断面形状を有し得る。

[0010] 支持コンポーネントは、流体流コンポーネント又は別個の支持リングのうち１つ以上の一部であり得る。支持コンポーネントは、ガスケットの材料よりも硬い材料で作製され得る。

[0011] ガスケットの断面形状はＴ字形であり得る。ガスケットはポリイミドで作製され得る。ガスケットは軸方向に対称であり得る。

[0012] 流体流コンポーネント間の接合が締め付けられると、流体流コンポーネントとガスケットとの間で軸方向に沿って接合封止が形成される前に、流体流コンポーネントのうち少なくとも１つの内側半径方向接続表面とガスケットの外側半径方向接続表面との間に接合封止が最初に形成され得る。

[0013] ２つの流体流コンポーネントは双方とも、軸方向流路を規定する内径を規定するチューブであり得る。あるいは、流体流コンポーネントのうち第１のものは軸方向流路を規定する内径を規定するチューブであり、流体流コンポーネントのうち第２のものは流体が通り抜けるのを阻止するように構成された流体停止デバイスであり得る。第１の流体流コンポーネントはアダプタであり、第２の流体流コンポーネントはターゲット材料流体貯蔵部であり、アダプタはターゲット材料流体貯蔵部とノズル供給装置との間に位置決めされ得る。アダプタはモリブデンレニウムで作製され、ガスケットはポリイミドで作製され得る。

[0014] 結合装置は、ガスケットの内側開口内に設置された機能挿入部を更に含み、機能挿入部は軸方向流路の一部である内側開口を含み、機能挿入部内側開口はガスケットの内側開口の直径よりも小さい直径を有し得る。機能挿入部は、ターゲット材料流体に適合する材料で作製され得る。機能挿入部は、タンタル、タングステン、モリブデン、タンタルの合金、タングステンの合金、モリブデンの合金、高融点金属、又はポリイミドで作製され得る。機能挿入部は、炭化ホウ素、又はスズ嫌性材料でコーティングされた金属で作製され得る。ガスケットの内側開口の直径は、軸方向流路を規定するアダプタの内側開口と少なくとも同じ大きさであり、内部の機能挿入部を軸方向に支持するのに充分な小ささであり得る。機能挿入部は流れ制限部であり、流れ制限部の内側開口の直径は、閾値を超えるターゲット材料流体の流圧が加わった時にターゲット材料流体の制限された流れを可能とするのに充分な小ささであり、軸方向流路の直径よりも小さく、ノズル供給装置の流路の最小直径よりも大きくすることができる。機能挿入部は流れ制限部であり、第１の流体流コンポーネントはアダプタであり、第２の流体流コンポーネントはターゲット材料流体貯蔵部であり、アダプタはターゲット材料流体貯蔵部とノズル供給装置との間に位置決めされ得る。

[0015] 他の全体的な態様において、ターゲット材料供給装置は、接合された場合に軸方向流路を規定する第１及び第２の流体流コンポーネントであって、軸方向流路は、ターゲット材料流体のソースとノズル供給装置との間にあり、ターゲット材料流体をノズル供給装置の方へ送るように構成されている、第１及び第２の流体流コンポーネントと、第１及び第２の流体流コンポーネントの間の接合を封止するように構成された結合装置と、を含む。結合装置は、金属又は金属合金以外の材料で作製されたガスケットを含み、ターゲット材料流体に適合すると共にターゲット材料流体に対して不活性であり得る。

[0016] 実施例は、以下の特徴のうち１つ以上を含むことができる。例えば、ターゲット材料流体は溶融スズを含み、ガスケットはポリイミドで作製され得る。ガスケットは、２００℃より高い温度及び３０００ＰＳＩより高い流体流圧で封止特性を維持する材料で作製され得る。ガスケットは、１０，０００ＰＳＩより高い流体流圧で封止特性を維持する材料で作製され得る。流体の流圧が増大するとガスケットによって形成される封止が向上するように、ガスケットは第１及び第２の流体流コンポーネント間に設置され得る。

[0017] ターゲット材料供給装置は、ガスケットが内部に配置されている支持コンポーネントを更に含み、支持コンポーネントは軸方向流路の方向に沿って硬い停止部を提供するように構成され得る。支持コンポーネントは、第１及び第２の流体流コンポーネントの材料の熱膨張係数に適合する熱膨張係数を有し得る。ターゲット材料供給装置は、ガスケットが内部に配置されている支持コンポーネントを更に含み、支持コンポーネントは、ガスケットが軸方向流路から離れる方へ押し出されて封止を維持できなくなることを防止するように構成され、支持コンポーネントは、ガスケットの材料よりも強い材料で作製され得る。ターゲット材料供給装置は、ガスケットが内部に配置されている支持コンポーネントを更に含み、支持コンポーネントは、ニッケルコバルト鉄合金、又は、ニッケル、コバルト、鉄、チタン、アルミニウム、マグネシウム、銅、モリブデン、及びタングステンのうち１つ以上の合金で作製され得る。ターゲット材料供給装置は、ガスケットが内部に配置されている支持コンポーネントを更に含み、支持コンポーネントは、ガスケットの材料の剛性よりも２～１００倍大きい剛性を有する材料で作製され得る。

[0018] 第１の流体流コンポーネントはアダプタであり、第２の流体流コンポーネントはターゲット材料流体貯蔵部であり、アダプタはターゲット材料流体貯蔵部とノズル供給装置との間に位置決めされ得る。アダプタはモリブデンレニウムで作製され、ガスケットはポリイミドで作製され得る。

[0019] ターゲット材料供給装置は、ガスケットの内側開口内に設置された機能挿入部を更に含み、機能挿入部は軸方向流路の一部である内側開口を含み、機能挿入部内側開口はガスケットの内側開口の直径よりも小さい直径を有し得る。機能挿入部は、ターゲット材料流体に適合する材料で作製され得る。機能挿入部は、タンタル、タングステン、モリブデン、タンタルの合金、タングステンの合金、モリブデンの合金、高融点金属、又はポリイミドで作製され得る。機能挿入部は、炭化ホウ素、又はスズ嫌性材料でコーティングされた金属で作製され得る。ガスケットの内側開口の直径は、軸方向流路を規定するアダプタの内側開口と少なくとも同じ大きさであり、内部の機能挿入部を軸方向に支持するのに充分な小ささであり得る。機能挿入部は流れ制限部であり、流れ制限部の内側開口の直径は、閾値を超えるターゲット材料流体の流圧が加わった時にターゲット材料流体の制限された流れを可能とするのに充分な小ささであり、軸方向流路の直径よりも小さく、ノズル供給装置の流路の最小直径よりも大きくすることができる。第１の流体流コンポーネントはアダプタであり、第２の流体流コンポーネントはターゲット材料流体貯蔵部であり、アダプタはターゲット材料流体貯蔵部とノズル供給装置との間に位置決めされ得る。

[0020] 他の全体的な態様において、結合装置は、ターゲット材料流体を保持する貯蔵部と貯蔵部をノズル供給装置に流体接続するように構成されたアダプタとの間の接合を封止するように構成されている。結合装置は、ターゲット材料流体が横断することができる貯蔵部からノズル供給装置までの軸方向流路を延長する。結合装置は、軸方向流路に垂直な半径方向面に沿った直径を有する内側開口を規定する環状の形状を有するガスケットであって、ガスケットの内側開口直径はガスケットを流体が通り抜けるのに充分な大きさであり、ガスケット内側開口は軸方向流路を延長する、ガスケットと、ガスケットの内側開口内に設置された機能挿入部と、を含む。機能挿入部は、軸方向流路の一部である内側開口を含む。機能挿入部内側開口は、ガスケットの内側開口の直径よりも小さい直径を有する。ガスケットが貯蔵部とアダプタとの間に設置されることにより、貯蔵部及びアダプタを取り付けることで形成された接合を封止した場合、軸方向流路に沿ってガスケット内側開口を横断する流体からガスケットに加えられる圧力が、接合における封止の密閉機能を向上させる。

[0021] 実施例は、以下の特徴のうち１つ以上を含むことができる。例えば、結合装置は、ガスケットが配置されている支持コンポーネントを更に含み、支持コンポーネントは、半径方向面に沿った直径を有する内側開口を規定する環状の形状を有し、支持コンポーネントの内側開口はガスケットの外径よりも大きくすることができる。

[0022] 他の全体的な態様において、分離結合装置は、第１及び第２の流体流コンポーネントの間の接合を封止するように構成されている。分離結合装置は、ターゲット材料流体が横断することができる貯蔵部からノズル供給装置までの軸方向流路を延長する。分離結合装置は、軸方向流路に垂直な半径方向面に沿った直径を有する内側開口を規定する環状の形状を有する分離ガスケットを含み、分離ガスケットの内側開口直径は分離ガスケットを流体が通り抜けるのに充分な大きさである。ガスケット内側開口は軸方向流路を延長する。分離ガスケットは、ターゲット材料流体に対して嫌性であると共に適合する材料で作製される。分離ガスケットが第１及び第２の流体流コンポーネントの間に設置されることにより、第１の流体流コンポーネント及び第２の流体流コンポーネントを取り付けることで形成された接合を封止した場合、軸方向流路に沿ってガスケット内側開口を横断する流体から分離ガスケットに加えられる圧力が、接合における封止の密閉機能を向上させる。

[0023] 流体が横断することができる軸方向流路を規定する第１及び第２の流体流コンポーネント間の接合を封止するよう構成された結合装置のブロック図である。 [0024] 接合を形成する第１の流体流コンポーネントと第２の流体流コンポーネントとの間に配置された図１の結合装置の実施例の概略断面図である。 [0025] 図２Ａの結合装置における界面のクローズアップ断面図である。 [0026] 図２Ａの結合装置におけるガスケットの実施例の斜視図である。 [0027] 図３Ａのガスケットの側断面図である。 [0028] 図３Ａのガスケットの上面図である。 [0029] 図２Ａの結合装置の支持コンポーネントの実施例の斜視図である。 [0030] 図４Ａの支持コンポーネントの側断面図である。 [0031] 図４Ａの支持コンポーネントの上面図である。 [0032] 図２Ａの結合装置における界面のクローズアップ断面図であり、最初に接合が形成され、第１及び第２の流体流コンポーネント間に結合装置が設置された後、対向する第１及び第２の流体流コンポーネントに加えられた力が低値ＬＶを超えると圧力活性化界面が係合する。 [0033] 図２Ａの結合装置における界面のクローズアップ断面図であり、最初に接合が形成され、第１及び第２の流体流コンポーネント間に結合装置が設置され、圧力活性化界面が係合し、更に、対向する第１及び第２の流体流コンポーネントに加えられた力が中間値ＩＶを超えた後、ガスケットの外側平面と第１及び第２の流体流コンポーネントの抑え部（ｇｌａｎｄ）との間の領域で各軸方向界面が係合する。 [0034] 図２Ａの結合装置における界面のクローズアップ断面図であり、最初に接合が形成され、第１及び第２の流体流コンポーネント間に結合装置が設置され、圧力活性化界面が係合し、各軸方向界面が係合し、更に、対向する第１及び第２の流体流コンポーネントに加えられた力が上値ＵＶを超えた後、停止界面が係合する。 [0035] 第１及び第２の流体流コンポーネント間の接合を封止するよう構成された図１の結合装置の実施例の側断面図である。 [0036] 図６Ａの結合装置におけるガスケットの斜視図である。 [0037] 第１及び第２の流体流コンポーネント間の接合を封止するよう構成された図１の結合装置の実施例の側断面図である。 [0038] 図７Ａの結合装置におけるガスケットの斜視図である。 [0039] ターゲット材料供給装置の概略図であり、結合装置の実施例は、ターゲット材料流のソースとノズル供給装置との間の軸方向流路を規定する第１及び第２の流体流コンポーネント間の接合を封止するよう構成されている。 [0040] 図８のターゲット材料供給装置の概略図であり、ノズル供給装置はターゲットの流れ（ターゲット材料流から作られる）をＥＵＶ光源に供給する。 [0041] ガスケット内に設置された挿入部（流れ制限部及び／又は分離挿入部とすることができる）を含む、図１の結合装置の実施例のブロック図である。 [0042] ノズルアセンブリとターゲット材料流体貯蔵部との間のノズル供給装置に位置決めされた図１０の流れ制限結合装置の実施例の側断面図である。 [0043] 図１１Ａの流れ制限結合装置の詳細な側断面図である。 [0044] 正常動作中の図１１Ａ及び図１１Ｂの流れ制限結合装置を示す側断面図である。 [0045] 流れ制限動作中の図１１Ａ及び図１１Ｂの流れ制限結合装置を示す側断面図である。 [0046] 図１０から図１２Ｂの流れ制限結合装置の流れ制限部及びガスケットの実施例の側断面図である。 [0046] 図１０から図１２Ｂの流れ制限結合装置の流れ制限部及びガスケットの実施例の側断面図である。 [0046] 図１０から図１２Ｂの流れ制限結合装置の流れ制限部及びガスケットの実施例の側断面図である。 [0047] 機能挿入部が分離挿入部である図１０の結合装置の実施例の詳細な側断面図である。 [0048] 機能挿入部が分離挿入部であると共にガスケットが単一要素である図１０の結合装置の実施例の詳細な側断面図である。

[0049] 図１を参照すると、結合装置１００は、第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６間の接合１２０を封止するように構成されている。Ｘ、Ｙ、Ｚデカルト座標系のＺ軸に平行な軸方向１３１に沿って力１２４を加え、第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６を取り付けることによって、接合１２０が形成される。接合１２０は、取り外し可能な接続とすることができる、つまり、相互に分離できるコンポーネントから構成される。力１２４を与えるため、任意の適切な１又は複数の機械的デバイスを使用できる。いくつかの実施例では、機械的デバイスは取り外し可能又は分離可能である。これは、永続的でない接合１２０を形成することを意味する。このため、機械的デバイスによって加えられた力１２４は、接合１２０を損傷することなく除去できる。例えば、力１２４は、ねじ式締結具、ピン、止め輪、又はクランプを用いて加えることができる。第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６は、流体１３２が横断することができる軸方向流路１３０を規定する。軸方向流路１３０は軸方向１３１に沿って延出している。結合装置１００はロバストであり、軸方向流路１３０を横断する流体１３２の圧力が増大すると結合装置１００の機能性は向上する。結合装置１００は受動デバイスである。これは、結合装置１００が封止機構として動作するために追加エネルギを必要としないことを意味する。このように、結合装置１００は受動圧力活性化封止を提供する。

[0050] 結合装置１００は、ガスケット１０５及び支持コンポーネント１１０を含む。ガスケット１０５は、形状の中心が軸方向１３１と位置合わせされた環状の形状を有する。具体的には、ガスケットの半径方向の面（Ｘ－Ｙ面）の断面は環状である。ガスケット１０５のこの環状の形状は内側開口１０６を規定し、内側開口１０６の直径ＩＤ１０５は軸方向１３１に垂直な半径方向の面（Ｘ－Ｙ面）に沿っている。内側開口１０６の直径ＩＤ１０５は、流体１３２がガスケット１０５を通り抜ける（すなわちガスケット１０５の内側開口１０６を通る）のに充分な大きさである。内側開口１０６は、第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６の一方又は双方の軸方向流路１３０を延長する。

[0051] ガスケット１０５は支持コンポーネント１１０に配置されている。支持コンポーネント１１０は、ガスケット１０５の形状に合致するか又はそれを補足する環状の形状を有する。支持コンポーネント１１０は、半径方向の面（Ｘ－Ｙ面）に沿った直径ＩＤ１１０を有する内側開口１１１を規定し、直径ＩＤ１１０はガスケット１０５の外径ＯＤ１０５よりも大きい。第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６間にガスケット１０５が設置され、力１２４を加えて第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６を取り付けることによって接合１２０が形成された場合、内側開口１０６を横断する流体１３２からガスケット１０５に加えられる力Ｐｆが、接合１２０における封止の密閉機能を向上させる。具体的には、これはつまり、圧力Ｐｆが増大すると、接合１２０における封止は、流体１３２がこの接合を通り抜けるのをいっそう良好に防止できるようになることを意味する。従って、圧力Ｐｆが増大すると、接合１２０を通る流体１３２の漏れは低減する。接合１２０を通る流体１３２の流れによってガスケット１０５に加えられる圧力Ｐｆは、第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６に加わる力１２４によってガスケット１０５に加えられる圧力とは異なる。言い換えれば、ガスケット１０５に加えられる圧力Ｐｆは、第１及び第２の流体流コンポーネントに加わる力１２４でなく、接合１２０を通る流体１３２の力から生じる。

[0052] ガスケット１０５は、欠陥及びプロセスに対してロバストである。これはつまり、ガスケット１０５の材料が、接合１２０における材料の変動に対応するよう良好に適合及び変形できること、並びに、そのような変動に対して良好に封止できる（ゴム部品と同様に）ことを意味する。しかしながら、ガスケット１０５の材料は、ゴム製Ｏリングで従来用いられるゴム部品よりも適切な特性を有する。例えば、ガスケット１０５の材料は一般的なゴム製Ｏリングよりも強い。ガスケット１０５の材料は熱的に安定している。これはつまり、その封止特性が接合１２０で生じる温度変化に対して著しく変化しないことを意味する。そのような温度変化は、一つには、（流体１３２を非固体形態に保つため）流体１３２を維持する温度に起因して発生する。ガスケット１０５の設計及び材料は、接合１２０の締め付けがトルク及び回転の仕様内でいっそう一貫した接合１２０を生成するロバストなプロセスであるようなものである。ガスケット１０５は、大きい弾性歪みに耐えることができ、圧力Ｐｆが増大した時又は力１２４のような外部負荷が加えられた時に発生し得る数マイクロメートルの取り付け膨張に対応できる。

[0053] ガスケット１０５は、ガスケット１０５と接触する流体１３２の材料に適合すると共にこの材料に対して反応しない材料で作製される。更に、ガスケット１０５の材料は、流体１３２を維持する必要がある温度に耐えることができる。例えば流体１３２が液体スズを含む場合、スズは２３２℃で溶融し、確実に液体の状態を保つため２６０℃に維持されるので、ガスケット１０５は少なくとも２００℃の動作温度に耐えられる材料で作製しなければならない。ガスケット１０５の材料は、流体１３２からガスケット１０５に加わる圧力Ｐｆに耐えることができなければならない。このため、ガスケット１０５の材料は、約３０００ポンド平方インチ（ＰＳＩ）又はそれ以上の圧力Ｐｆに耐えることができなければならない。更に、ガスケット１０５は、１０，０００ＰＳＩを超える流体流圧力Ｐｆで封止特性を維持する材料で作製することができる。すなわちガスケット１０５は、流体流圧力Ｐｆが１０，０００ＰＳＩを超える場合であっても、漏れを引き起こす割れ又は裂けが生じない。ガスケット１０５は、第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６を接合するため加えられる力１２４が増大した場合に圧縮するよう充分なコンプライアンスを有し、変形可能で、柔らかくなければならない。ガスケット１０５は、接合１２０を構成する他のコンポーネント（第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６等）を損傷することなく接合１２０から除去可能である。すなわち、ガスケット１０５は接合１２０から分離可能であるように構成される。例えば、いくつかの実施例において、ガスケット１０５はＶｅｓｐｅｌ（商標）等のポリイミド系プラスチックで作製される。

[0054] 図１で示されているように、支持コンポーネント１１０は、第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６とは別個の専用部品とすることができる。図６Ａ及び図７Ａを参照して以下で検討される他の実施例では、支持コンポーネント１１０を流体流コンポーネントのうち１つ以上の一部とするか又はそれと一体化することができる。

[0055] 支持コンポーネント１１０は、ガスケット１０５を取り囲み、以下のような１つ以上の機能を提供することができる。第１に、支持コンポーネント１１０は半径方向の支持を与える。これはつまり、ガスケット１０５のための半径方向（Ｘ－Ｙ面内）に沿った停止部として作用することを意味する。ガスケット１０５に圧力Ｐｆが加えられると、ガスケット１０５は変形し、内側開口１０６から離れる方へ押し出され始める可能性がある。支持コンポーネント１１０は、ガスケット１０５が内側開口１０６から離れる方へ押し出されることを阻止し、従ってガスケット１０５の故障率を低減させる。第２に、支持コンポーネント１１０は軸方向の停止部を提供し、第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６に加わる力１２４を増大させて接合１２０を締め付けることに起因したガスケット１０５に対する軸方向の圧縮を制限する。圧縮中のある時点で、支持コンポーネント１１０が与える硬い停止部により、第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６が相互に近付くことは阻止される。

[0056] 支持コンポーネント１１０は、これらの支持機能を提供するので、ガスケット１０５の材料よりも剛性の高い材料で作製される。特に、支持コンポーネント１１０は、ガスケット１０５の材料の剛性よりも５～１００倍大きい剛性を有する材料で作製され得る。言い換えると、支持コンポーネント１１０の材料はガスケット１０５の材料よりも弾性が著しく小さい。従って、同じ量の応力が加えられた場合、ガスケット１０５は支持コンポーネント１１０の５～１００倍大きく変形する。更に、支持コンポーネント１１０は第１及び第２の流体コンポーネント１２２、１２６に近いので、第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６で用いられる材料の熱膨張係数と適合する熱膨張係数を有し得る。例えば、支持コンポーネント１１０と第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６との熱膨張係数の不一致は、熱膨張係数の差を、第１及び第２の流体コンポーネント１２２、１２６間に位置決めされた支持コンポーネント１１０の部分の全軸方向長さで除算したものに等しいものであり得る。

[0057] 支持コンポーネント１１０のサイズは、接合１２０において適切な封止を保証するように、ガスケット１０５の複雑な幾何学的形状を中心としてガスケット１０５を第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６と位置合わせするように設定できる。また、支持コンポーネント１１０は、任意の向きでの組立を容易にするため、ガスケット１０５及び付属品（図２Ｂの第２の環状リング部２１３等）を保持する特徴部も含む。

[0058] ガスケット１０５がポリイミド系プラスチックで作製される場合、支持コンポーネント１１０は、ニッケル、コバルト、鉄、チタン、アルミニウム、マグネシウム、銅、モリブデン、及びタングステンのうち１つ以上の合金で作製することができる。いくつかの実施例において、支持コンポーネント１１０は、Ｋｏｖａｒ等のニッケルコバルト鉄合金で作製される。

[0059] 第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６は、流体１３２が通り抜ける内部通路１２２ｐ、１２６ｐをそれぞれ含む。これらの内部通路１２２ｐ、１２６ｐは軸方向流路１３０を規定する。内部通路のうち１つ以上は、流体流コンポーネント１２２、１２６及び結合装置１００以外の別のデバイスとの間で流体１３２を受け渡すことができる貫通通路である。図１で示されているように、第１の流体流通路１２２ｐは、ガスケット１０５の内側開口１０６から第１の流体流コンポーネント１２２の全体を通り抜けるので貫通通路である。更に、図１の実施例では、第２の流体流通路１２６ｐは行き止まりである。つまりこれは、一端（ガスケット１０５の内側開口１０６）では開口しているが、第２の流体流コンポーネント１２６の他方の側まで貫通していない。このように、第２の流体流コンポーネント１２６は流体１３２の通過を防止するので、流体停止デバイスと見なされる。

[0060] いくつかの実施例では、第１及び第２の流体流コンポーネント１２２、１２６の双方は、貫通通路である内部通路１２２ｐ、１２６ｐをそれぞれ有する。次に、図２Ａ及び図２Ｂを参照してそのような機構の一例を検討する。

[0061] 図２Ａ及び図２Ｂに、結合装置１００の実施例２００が示されている。結合装置２００は、接合２２０を形成する第１の流体流コンポーネント２２２と第２の流体流コンポーネント２２６との間に配置されている。第１の流体流コンポーネント２２２及び第２の流体流コンポーネント２２６は双方とも、貫通開口である通路２２２ｐ、２２６ｐを含む。第１の流体流コンポーネント２２２はＴ字形であり、通路２２２ｐはＴ字形の通路である。

[0062] 第１の流体流コンポーネント２２２は、接合２２０が形成された場合に第２の流体流コンポーネント２２６の方へ軸方向に延出する第１の環状突起又は抑え部２２３を含み、第２の流体流コンポーネント２２６は、接合２２０が形成された場合に第１の流体流コンポーネント２２２の方へ軸方向に延出する第２の環状突起又は抑え部２２７を含む。抑え部２２３、２２７は、軸方向流路２３０と向かい合う内側半径方向接続表面２２３ｓ、２２７ｓをそれぞれ規定する。

[0063] 図３Ａから図３Ｃも参照すると、結合装置２００は、接合２２０に設置された場合に通路２２２ｐ、２２６ｐと流体結合される内側開口２０６を有するガスケット２０５を含む。内側開口２０６の直径ＩＤ２０５は、ガスケット２０５が接合２２０に設置された場合に流体１３２がガスケット２０５を通過するのに充分な大きさである。ガスケット２０５は、変動軸方向長さＬａを有する形状を有する。ここで、Ｌａは、結合装置２００における流体流の軸方向２３１に沿ったガスケット２０５の長さである。具体的には、（ガスケット２０５が接合２２０に設置された場合）軸方向流路２３０（及び内側開口２０６）に最も近い軸方向長さＬａｃは、軸方向流路２３０から最も遠い軸方向長さＬａｆよりも大きい。ガスケット２０５は、Ｘ－Ｚ面に沿ってＴ字形の断面を有する。

[0064] いくつかの実施例において、組立を容易に、かつエラー耐性を高くするため、ガスケット２０５は軸方向に対称である。これはつまり、ガスケット２０５の中心を通る軸方向面（Ｘ－Ｙ面内）を中心として対称であることを意味する。いくつかの実施例では、図３Ａから図３Ｃ等で示されているように、ガスケット２０５は更に、軸対称、すなわち軸方向２３１を中心として回転対称とすることができる。他の実施例では、ガスケット２０５は軸対称でない場合があり、従って断面形状は円形以外であり得る（多角形、楕円形、長円形、楕円形等）。

[0065] ガスケット２０５は、１対の対向する内側環状平面２０７ａ、２０７ｂと、１対の対向する外側平面２０８ａ、２０８ｂとを有し、これらの各々は、円筒形中間面２０９ａ、２０９ｂ（それぞれ外側半径方向接続表面と見なすことができる）によって接続されている。

[0066] 図４Ａから図４Ｃも参照すると、結合装置２００は、第１の環状リング部２１２で規定された内側開口２１１を有する支持コンポーネント２１０を含む。内側開口２１１は、結合装置２００が接合２２０に配置された場合にガスケット２０５を収容するのに充分な大きさである。具体的には、内側開口２１１は、ガスケット２０５の外径ＯＤ２０５よりも大きい直径ＩＤ２１０を有する（半径方向Ｘ－Ｙ面に沿って）。また、支持コンポーネント２１０は、（図２Ｂに示されているような）第２の流体流コンポーネント２２６の円筒形表面２２９の周りに設置されている第２の環状リング部２１３も含む。

[0067] 結合装置２００が接合２２０内に挿入された場合、様々な表面で、異なる方向に沿って、いくつかの界面が形成される。更に、これらの界面は、どのくらい大きい力１２４が加えられるかに応じて異なる時点で係合することができる。取り外し可能又は分離可能である任意の適切な機械的デバイスを用いて、第１及び第２の流体コンポーネント２２２、２２６に力１２４を加えることができ、更に、この力１２４を除去して第１及び第２の流体コンポーネント２２２、２２６を取り外すことが可能である。一例として、力１２４は、１つ以上のクランプ又は１つ以上のねじ式締結具を用いて加えることができる。

[0068] 図５Ａを参照すると、接合２２０が最初に形成された場合、結合装置２００を第１及び第２の流体流コンポーネント２２２、２２６間に設置した後、対向する第１及び第２の流体流コンポーネント２２２、２２６に加えられた力１２４が低値ＬＶを超えると、圧力活性化界面２１５、２１６が係合する。これらの圧力活性化界面２１５、２１６は、円筒形中間面２０９ａ、２０９ｂと隣接する各抑え部２２３、２２７の内側半径方向接続表面２２３ｓ、２２７ｓとの相互作用によって係合する。この時点で、ガスケット２０５の対向する外側平面２０８ａ、２０８ｂは抑え部２２３と２２７との間に配置又は位置決めされ、外側平面２０８ａは抑え部２２２に向かい合うと共に外側平面２０８ｂは抑え部２２７に向かい合っている。それでもなお、力１２４がまだ中間値ＩＶを超えていないので、外側平面２０８ａと抑え部２２３との間、及び外側平面２０８ｂと抑え部２２７との間には、それぞれギャップが存在したままである。

[0069] 図５Ｂを参照すると、力１２４が増大して中間値ＩＶを超えると、表面２０８ａと抑え部２２３との間の軸方向距離、及び表面２０８ｂと抑え部２２７との間の軸方向距離は短くなる。最終的に、外側平面２０８ａが抑え部２２３と接触し始め、外側平面２０８ｂが抑え部２２７と接触し始めた時、外側平面２０８ａ、２０８ｂと各抑え部２２３、２２７との間の領域で各軸方向界面２２４、２２８が係合する。

[0070] 力１２４が更に上値ＵＶを超えて増大すると、第１の環状リング部２１２の平面２１２ａと第１の流体流コンポーネント２２２の軸方向壁２２２ａとの間の軸方向距離は短くなり、最終的には図５Ｃで示されているように停止界面２３３が係合する。更に、この時点で又はこの時点より前に、第１の環状リング部２１２の第２の平面２１２ｂと第２の流体流コンポーネント２２６の軸方向壁２２６ｂとの間の軸方向距離は係合し得る。最終結果として、第１の環状リング部２１２と第１及び第２の流体流コンポーネント２２２、２２６との間のこれらの相互作用は、界面２１５、２１６、２２４、及び２２８におけるガスケット２０５に対する更なる圧縮又は過剰な圧縮を防止する停止部として作用する。この点で、ガスケット２０５は、抑え部２２３、２２７間で対向する外側平面２０８ａ、２０８ｂにおいて、支持コンポーネント２１０によって、特に、係合している停止界面２３３によって許容される最大量だけ、くぼんでいる。対向する外側平面２０８ａ、２０８ｂにおいてガスケット２０５に許容されるくぼみ量は、支持コンポーネント２１０の環状リング部２１２の軸方向長さによって決定される。いくつかの実施例において、ガスケット２０５は、対向する外側平面２０８ａ、２０８ｂにおいて最大で２５％の量だけ圧縮することが許容され得る。ガスケット２０５の対向する外側平面２０８ａ、２０８ｂにおける最大圧縮量は、ガスケット２０５に課された歪み限度を回避することを目標として決定され得る。

[0071] このように、第１及び第２の流体流コンポーネント２２２、２２６間の接合２２０が締め付けられると、図５Ａで示されているように、流体流コンポーネントのうち少なくとも１つ（２２２又は２２６）の軸方向流路２３０に向かい合う抑え部２２３、２２８の内側半径方向接続表面２２３ｓ、２２７ｓと、ガスケット２０５の外側半径方向接続表面（表面２０９ａ及び／又は２０９ｂ）との間で、最初に接合封止が形成される。その後、図５Ｂで示されているように、流体流コンポーネント２２２、２２６とガスケット２０５との間で軸方向に沿って接合封止が形成される。

[0072] 図６Ａを参照すると、結合装置１００の別の実施例６００は、Ｘ、Ｙ、Ｚデカルト座標系のＺ軸に平行な軸方向６３１に沿って延出する軸方向流路６３０を規定する第１及び第２の流体流コンポーネント６２２、６２６間の接合６２０を封止するよう構成されている。結合装置６００は、第１及び第２の流体流コンポーネント６２２、６２６によって規定された軸方向流路６３０を延長する内側開口６０６を規定するガスケット６０５（図６Ｂにも示されている）を含む。結合装置６００は、この実施例では第１の流体流コンポーネント６２２の延長部であると共に一部である支持コンポーネント６１０を含む。これは、支持コンポーネント２１０が第１及び第２の流体流コンポーネント２２２、２２６の双方と別個である図２Ａ及び図２Ｂに示されている実施例とは区別される。結合装置１００又は２００と同様、結合装置６００は受動圧力活性化封止を提供する。具体的には、ガスケット６０５はポリイミド等の材料で作製され、内側開口６０６を横断する流体（流体１３２等）から圧力Ｐｆがガスケット６０５に加えられた場合、接合６２０における封止の密閉機能が向上する。別の言い方をすれば、圧力Ｐｆが増大すると、接合６２０における封止は、流体が接合６２０を通り抜けるのをいっそう良好に防止できるようになる。

[0073] 図６Ａで示されているように、第１及び第２の流体流コンポーネント６２２、６２６は、相互に係合するよう構成されたクランプデバイス６３４、６３６を用いて接合される。クランプデバイス６３４、６３６の界面の接合６３５を締め付け、接合６３５の締め付けによって第１及び第２の流体流コンポーネント６２２、６２６に力６２４が加えられるようにすることで、接合６２０を締め付ける。

[0074] 上記で検討したように、流体流が軸方向流路６３０及び内側開口６０６を通って流れる動作中、支持コンポーネント６１０が提供する半径方向停止部によって、ガスケット６０５が内側開口６０６から押し出されること及びその封止能力を失うことを防止する。

[0075] 図７Ａを参照すると、結合装置１００の別の実施例７００は、Ｘ、Ｙ、Ｚデカルト座標系のＺ軸に平行な軸方向７３１に沿って延出する軸方向流路７３０を規定する第１及び第２の流体流コンポーネント７２２、７２６間の接合７２０を封止するよう構成されている。結合装置７００は、第１及び第２の流体流コンポーネント７２２、７２６によって規定された軸方向流路７３０に流体結合されてこれを延長する内側開口７０６を規定するガスケット７０５（図７Ｂにも示されている）を含む。結合装置７００は、この実施例では第１の流体流コンポーネント７２２及び第２の流体流コンポーネント７２６の延長部であると共に一部である支持コンポーネント７１０を含む。これは、支持コンポーネント２１０が第１及び第２の流体流コンポーネント２２２、２２６の双方と別個である図２Ａ及び図２Ｂに示されている実施例、並びに、支持コンポーネント７１０が第１の流体流コンポーネント６２２だけの延長部であると共に一部である図６Ａに示されている実施例とは区別される。結合装置１００、２００、及び６００と同様、結合装置７００は受動圧力活性化封止を提供する。具体的には、ガスケット７０５はポリイミド等の材料で作製され、内側開口７０６を横断する流体（流体１３２等）から圧力Ｐｆ（図１）がガスケット７０５に加えられた場合、接合７２０における封止の密閉機能が向上する。別の言い方をすれば、圧力Ｐｆが増大すると、接合７２０における封止は、流体が接合７２０を通り抜けるのをいっそう良好に防止できるようになる。

[0076] また、図７Ａで示されているように、第１及び第２の流体流コンポーネント７２２、７２６は、相互に係合するよう構成されたクランプデバイス７３４、７３６を用いて接合される。クランプデバイス７３４、７３６の界面の接合７３５を締め付け、接合７３５の締め付けによって第１及び第２の流体流コンポーネント７２２、７２６に力７２４が加えられるようにすることで、接合７２０を締め付ける。

[0077] 上記で検討したように、流体流が軸方向流路７３０及び内側開口７０６を通って流れる動作中、支持コンポーネント７１０が提供する半径方向停止部によって、ガスケット７０５が内側開口７０６から押し出されること及びその封止能力を失うことを防止する。

[0078] 図８を参照すると、結合装置８００は、ターゲット材料供給装置８４０の一部である第１及び第２の流体流コンポーネント８２２、８２６間の接合８２０を封止するよう構成されている。第１及び第２の流体流コンポーネント８２２、８２６は、接合された場合に軸方向流路８３０を規定する。軸方向流路８３０は、ターゲット材料流体８３２のソース８４２とノズル供給装置８４４との間の流体流路である。軸方向流路８３０は、ターゲット材料流体８３２をノズル供給装置８４４の方へ送るように構成されている。結合装置８００は、金属又は金属合金以外の材料で作製されたガスケット８０５を含む。ガスケット８０５は、ターゲット材料流体８３２に適合すると共にターゲット材料流体８３２に対して不活性である。

[0079] ガスケット８０５は、接合８２０内に設置されて封止された場合に軸方向流路８３０の一部になると共に軸方向流路８３０を延長する内側開口８０６を規定する環状の形状を有することができる。更に、ガスケット８０５が第１及び第２の流体流コンポーネント８２２、８２６間に設置され、これによって、第１及び第２の流体流コンポーネント８２２、８２６を取り付けることで形成された接合８２０を封止した場合、軸方向流路８３０に沿ってガスケット内側開口８０６を横断するターゲット材料流体８３２からガスケット８０５に加えられる力Ｐｆが、接合８２０における封止の密閉機能を向上させる。

[0080] ターゲット材料供給装置８４０は、ターゲット材料流体８３２をソース８４２から第１の流体流コンポーネント８２２へ移送するため、ターゲット材料流体ソース８４２と第１の流体流コンポーネント８２２との間に位置決めされた流体流システム８４６を含むことができる。流体流システム８４６は、１つ以上の流体流コンポーネントを含む。更に、ターゲット材料供給装置８４０は、ターゲット材料流体８３２を第２の流体流コンポーネント８２６からノズル供給装置８４４へ移送するため、第２の流体流コンポーネント８２６とノズル供給装置８４４との間に位置決めされた流体流システム８４８を含むことができる。流体流システム８４８は、１つ以上の流体流コンポーネントを含む。

[0081] ターゲット材料流体ソース８４２は、１つ以上の貯蔵部システムと、固体物質からターゲット材料流体８３２を調製するように構成されたプライミングシステムと、１つ以上の流体調節デバイスと、ターゲット材料流体８３２を生成し供給するためソース８４２の特徴（ａｓｐｅｃｔ）を制御するための流体制御システムと、を含むことができる。

[0082] ノズル供給装置８４４は、第２の流体流コンポーネント８２６から任意選択的な流体流コンポーネントセット８４８を介してターゲット材料流体８３２を受け取るように構成され、更に、ターゲットの流れ８５０の形態であるターゲット材料流体８３２を外部システム８５２へ供給するように構成されている。また、ターゲット材料供給装置８４０は、ノズル供給装置８４４の連続的な動作中に（すなわち、ノズル供給装置８４４がターゲット材料流体８３２を外部システム８５２へ供給している間に）ターゲット材料流体８３２をノズル供給装置８４４へ供給するよう構成することができる。

[0083] 例えば図９に示されている実施例では、外部システム８５２はＥＵＶ光源９５２であり、ノズル供給装置８４４は、ターゲット材料流体８３２から成るターゲットの流れ８５０を放出して、ターゲット９３２ｐが真空チャンバ９５６内のプラズマ形成位置９５４に送出されるようにする。各ターゲット８５０をプラズマ形成位置９５４へ供給するには、ノズル供給装置８４４のノズルアセンブリ８４５を介して溶融ターゲット材料流体８３２を送り出し、ターゲット８５０をプラズマ形成位置９５４への軌道に沿って押し流せばよい。いくつかの実施例において、ターゲット８５０は力によってプラズマ形成位置９５４へ誘導することができる。

[0084] プラズマ形成位置９５４は、光源９５９によって生成され光路９５５を経由して真空チャンバ９５６へ送出された少なくとも１つの光ビーム９５８を受けることができる。光ビーム９５８とターゲット９３２ｐのターゲット材料との相互作用により、ＥＵＶ光９５３を放出するプラズマが生成され、このＥＵＶ光９５３は収集されて（９５１）リソグラフィ露光装置９５７へ供給される。この例では、ターゲット材料流体８３２は、プラズマ状態の場合にＥＵＶ光９５３を放出する任意の材料とすることができる。例えばターゲット材料流体８３２は、水、スズ、リチウム、キセノン、及び／又は、プラズマ状態に変換された場合にＥＵＶ範囲内に輝線を有する任意の材料を含み得る。例えば、ターゲット材料は元素スズとすることができ、これは、純粋なスズ（Ｓｎ）として、例えばＳｎＢｒ４、ＳｎＢｒ２、ＳｎＨ４のようなスズ化合物として、例えばスズ－ガリウム合金、スズ－インジウム合金、スズ－インジウム－ガリウム合金、又はこれらの合金の組み合わせのようなスズ合金として、使用され得る。

[0085] リソグラフィ露光装置９５７は、このＥＵＶ光９５３を用いて、任意の数のプロセスステップを使用してウェーハ上にパターンを生成する。そういったプロセスステップは、ウェーハの材料もしくはウェーハ上に堆積した材料に開口（溝、チャネル、孔等）のパターンを生成するための、エッチング、堆積、及び異なるマスクを用いるリソグラフィプロセス等、プロセスステップの組み合わせのうち１つ以上とすることができる。

[0086] ターゲット材料供給装置８４０で結合装置８００を使用することにより、ターゲット材料供給装置８４０における故障の減少及びＥＵＶ光源９５２を動作させるためのダウンタイムの短縮を含めて、ＥＵＶ光源９５２からのパワー出力及び性能の増大が得られる。このような改善は、ノズル供給装置８４４がターゲット８５０の連続的かつ調整可能な流れを提供することの結果である。特に、結合装置８００は接合８２０を封止するための従来のデバイスよりもロバストであるため、結合装置８００が高い流体圧力Ｐｆで故障する可能性は低いので、ターゲット材料供給装置８４０内でターゲット材料流体８３２に加えられる圧力を調整し、増大することができる。

[0087] 図１０を参照すると、結合装置１００の実施例１０００は、接合１０２０に追加の（例えば流れ制限及び／又は分離可能性の）機能を与えるように構成されている。このため、結合装置１０００は、例えば流れ制限部又は分離挿入部として機能し得る機能挿入部１０６０を受容し設置するように構成されたガスケット１０５の実施例１００５を含む。Ｘ、Ｙ、Ｚデカルト座標系のＺ軸に平行な軸方向１０３１に沿って力１０２４を加えて、第１及び第２の流体流コンポーネント１０２２、１０２６を取り付けることにより、接合１０２０が形成される。接合１２０と同様、接合１０２０も取り外し可能接続とすることができる、つまり、相互に分離できるコンポーネントから構成される。力１２４と同様、力１０２４を与えるため、任意の適切な１又は複数の機械的デバイスを使用できる。同様に、機械的デバイスによって加えられた力１０２４は、接合１０２０を損傷することなく除去できる。例えば力１０２４は、ねじ式締結具、ピン、止め輪、又はクランプを用いて加えることができる。

[0088] 第１及び第２の流体流コンポーネント１０２２、１０２６は、流体１０３２が横断することができる軸方向流路１０３０を規定する。軸方向流路１０３０は軸方向１０３１に沿って延出している。結合装置１０００はロバストであり、軸方向流路１０３０を横断する流体１０３２の圧力が増大すると結合装置１０００の機能性は向上する。結合装置１０００は受動デバイスである。これは、結合装置１０００が封止機構として動作するため追加エネルギを必要としないことを意味する。このように、結合装置１０００は受動圧力活性化封止を提供する。

[0089] 結合装置１０００は、ガスケット１００５、機能挿入部１０６０、及び支持コンポーネント１０１０を含む。ガスケット１００５（ガスケット１０５と同様）の環状の形状は内側開口１００６を規定し、内側開口１００６の直径（以下で検討する直径ＩＤ１００５＿１及びＩＤ１００５＿２）は、軸方向１０３１に垂直な半径方向の面（Ｘ－Ｙ面）に沿っている。内側開口１００６は、第１及び第２の流体流コンポーネント１０２２、１０２６の一方又は双方の軸方向流路１０３０を延長する。

[0090] ガスケット１００５は、支持コンポーネント１１０と同様の設計の支持コンポーネント１０１０に配置されている。上記で検討したように、支持コンポーネント１０１０は、ガスケット１００５の形状に合致するか又はそれを補足する環状の形状を有する。第１及び第２の流体流コンポーネント１０２２、１０２６間にガスケット１００５が設置され、力１０２４を加えて第１及び第２の流体流コンポーネント１０２２、１０２６を取り付けることによって接合１０２０が形成された場合、内側開口１００６を横断する流体１０３２からガスケット１００５に加えられる力Ｐｆが、接合１０２０における封止の密閉機能を向上させる。具体的には、これはつまり、圧力Ｐｆが増大すると、接合１０２０における封止は、流体１０３２がこの接合を通り抜けるのをいっそう良好に防止できるようになることを意味する。従って、圧力Ｐｆが増大すると、接合１０２０を通る流体１０３２の漏れは低減する。接合１０２０を通る流体１０３２の流れによってガスケット１００５に加えられる圧力Ｐｆは、第１及び第２の流体流コンポーネント１０２２、１０２６に加わる力１０２４によってガスケット１００５に加えられる圧力とは異なる。言い換えれば、ガスケット１００５に加えられる圧力Ｐｆは、第１及び第２の流体流コンポーネントに加わる力１０２４でなく、接合１０２０を通る流体１０３２の力から生じる。

[0091] ガスケット１０５と同様、ガスケット１００５は、欠陥及びプロセスに対してロバストである。これはつまり、ガスケット１００５の材料が、接合１０２０における材料の変動に対応するよう良好に適合及び変形できること、並びに、そのような変動に対して良好に封止できる（ゴム部品と同様に）ことを意味する。しかしながら、ガスケット１００５の材料は、ゴム製Ｏリングで従来用いられるゴム部品よりも適切な特性を有する。例えば、ガスケット１００５の材料は一般的なゴム製Ｏリングよりも強い。ガスケット１００５の材料は熱的に安定している。これはつまり、その封止特性が接合１０２０で生じる温度変化に対して著しく変化しないということを意味する。そのような温度変化は、一つには、（流体１０３２を非固体形態に保つため）流体１０３２を維持する温度に起因して発生する。ガスケット１００５の設計及び材料は、接合１０２０の締め付けがトルク及び回転の仕様内でいっそう一貫した接合１０２０を生成するロバストなプロセスであるようなものである。ガスケット１００５は、大きい弾性歪みに耐えることができ、圧力Ｐｆが増大した時又は力１０２４のような外部負荷が加えられた時に発生し得る数マイクロメートルの取り付け膨張に対応できる。

[0092] ガスケット１００５は、ガスケット１００５と接触する流体１０３２の材料に適合すると共にこの材料に対して反応しない材料で作製される。更に、ガスケット１００５の材料は、流体１０３２を維持する必要がある温度に耐えることができる。例えば流体１０３２が液体スズを含む場合、スズは２３２℃で溶融し、確実に液体の状態を保つため２６０℃に維持されるので、ガスケット１００５は少なくとも２００℃の動作温度に耐えられる材料で作製しなければならない。ガスケット１００５の材料は、流体１０３２からガスケット１００５に加わる圧力Ｐｆに耐えることができなければならない。このため、ガスケット１００５の材料は、約３０００ポンド平方インチ（ＰＳＩ）又はそれ以上の圧力Ｐｆに耐えることができなければならない。更に、ガスケット１００５は、１０，０００ＰＳＩを超える流体流圧力Ｐｆで封止特性を維持する材料で作製することができる。すなわちガスケット１００５は、流体流圧力Ｐｆが１０，０００ＰＳＩを超える場合であっても、漏れを引き起こす割れ又は裂けが生じない。ガスケット１００５は、第１及び第２の流体流コンポーネント１０２２、１０２６を接合するため加えられる力１０２４が増大した場合に圧縮するよう充分なコンプライアンスを有し、変形可能で、柔らかくなければならない。

[0093] ガスケット１００５は、接合１０２０を構成する他のコンポーネント（第１及び第２の流体流コンポーネント１０２２、１０２６等）を損傷することなく接合１０２０から除去可能である。すなわち、ガスケット１００５は接合１０２０から分離可能であるように構成される。例えば、いくつかの実施例において、ガスケット１００５はＶｅｓｐｅｌ（商標）等のポリイミド系プラスチックで作製される。

[0094] 支持コンポーネント１０１０は、ガスケット１００５を取り囲み、上記で検討したような機能のうち１つ以上を提供することができる。支持コンポーネント１０１０は、これらの支持機能を提供するので、ガスケット１００５の材料よりも剛性の高い材料で作製される。特に、支持コンポーネント１０１０は、ガスケット１００５の材料の剛性よりも５～１００倍大きい剛性を有する材料で作製され得る。言い換えると、支持コンポーネント１０１０の材料はガスケット１００５の材料よりも弾性が著しく小さい。従って、同じ量の応力が加えられた場合、ガスケット１００５は支持コンポーネント１０１０の５～１００倍大きく変形する。更に、支持コンポーネント１０１０は第１及び第２の流体流コンポーネント１０２２、１０２６に近いので、第１及び第２の流体コンポーネント１０２２、１０２６で用いられる材料の熱膨張係数と適合する熱膨張係数を有し得る。例えば、支持コンポーネント１０１０と第１及び第２の流体流コンポーネント１０２２、１０２６との熱膨張係数の不一致は、熱膨張係数の差を、第１及び第２の流体コンポーネント１０２２、１０２６間に位置決めされた支持コンポーネント１０１０の部分の全軸方向長さで除算したものに等しいものであり得る。

[0095] ガスケット１００５がポリイミド系プラスチックで作製される場合、支持コンポーネント１０１０は、ニッケル、コバルト、鉄、チタン、アルミニウム、マグネシウム、銅、モリブデン、及びタングステンのうち１つ以上の合金で作製することができる。いくつかの実施例において、支持コンポーネント１０１０は、Ｋｏｖａｒ等のニッケルコバルト鉄合金で作製される。

[0096] 第１及び第２の流体流コンポーネント１０２２、１０２６は、流体１０３２が通り抜ける内部通路１０２２ｐ、１０２６ｐをそれぞれ含む。これらの内部通路１０２２ｐ、１０２６ｐは軸方向流路１０３０を規定する。

[0097] いくつかの実施例において、機能挿入部１０６０は流れ制限部であり、内側開口１０６２を規定するバルク材料で作製することができる。流れ制限部１０６０はターゲット材料流体１０３２と直接接触するので、このバルク材料はターゲット材料流体１０３２の材料に適合する。例えばターゲット材料流体１０３２がスズ又はスズ合金を含む場合、流れ制限部１０６０のバルク材料は、タンタル又はタンタル合金から作られ、旋盤又は超硬工具のような従来の機械加工技法を用いて機械加工することができる。他の可能な実施例では、流れ制限部１０６０のバルク材料は、タングステン、レニウム、モリブデン、クロム、又はこれらの金属の合金で作られる。ターゲット材料流体１１３２がスズ又はスズ化合物を含む実施例において、流れ制限部１０６０は、炭化ホウ素、スズ嫌性コーティングを有する様々な金属、他の高融点金属、ポリイミド、又は他の適切な材料で作ることができる。更に別の可能な実施例では、流れ制限部１０６０のバルク材料は、セラミック、ガラス、又はシリコーンで作られる。

[0098] 他の実施例において、流れ制限部１０６０は、ターゲット材料流体１０３２の材料に適合する材料でコーティングされた基板から作製される。

[0099] 他の実施例において、機能挿入部１０６０は（図１６を参照して記載されるような）分離挿入部であり、ターゲット材料流体１０３２の材料に適合する（すなわちそれと反応しない）と共にターゲット材料流体１０３２の材料に対して嫌性の（積極的にはじく）材料で作ることができる。ターゲット材料流体１０３２がスズ又はスズ化合物を含むそのような実施例では、分離挿入部１０６０は、ガラス、セラミック、炭化ホウ素、スズ嫌性コーティングを有する金属、タンタル等の高融点金属、又はポリイミドで作ることができる。

[0100] いくつかの実施例において、機能挿入部１０６０は流れ制限部と分離挿入部の双方として機能する。例えば図１１Ａから図１５の機能挿入部１０６０は、内側開口１０６２が流れ制限機能と分離能力を与えるのに充分な小ささであるので、流れ制限部と分離挿入部の双方として機能する。機能挿入部１０６０は、第１及び第２の流体流コンポーネント１０２２、１０２６の分離を容易にする場合、分離能力を有する。このように、機能挿入部１０６０の設計のため、第１及び第２の流体流コンポーネント１０２２、１０２６は、これらの流体流コンポーネント１０２２、１０２６を損傷することなく相互に分離することができる（例えば、流路の一部を補修するため）。他の実施例において、機能挿入部１０６０は、分離能力を与えるのに充分な小ささであるが顕著な流れ制限機能を与えるほどには小さくない内側開口１０６２を有する分離挿入部としてだけ機能することができる。このような設計については、以下で図１６を参照して説明する。

[0101] 結合装置１０００において、ガスケット１００５の内側開口１００６は、２つの別個の内径ＩＤ１００５＿１及びＩＤ１００５＿２を有するような階段状又は層状である。ガスケット１００５の内側開口１００６の小さい方の直径ＩＤ１００５＿１は、軸方向流路１０３０を延長するのに充分な大きさでなければならず、ガスケット１００５の内側開口１００６の大きい方の直径ＩＤ１００５＿２は、機能挿入部１０６０を収容するのに充分な大きさでなければならない。従って、内側開口１００６の小さい方の直径ＩＤ１００５＿１は、流体１０３２がガスケット１００５を（すなわち、ガスケット１００５の内側開口１００６を）通り抜けるのに充分な大きさである。機能挿入部１０６０の内側開口１０６２は、ガスケット１００５の内側開口１００６の直径ＩＤ１００５＿１及びＩＤ１００５＿２の双方よりも小さい直径（ＸＹ面内）を有する。更に、ガスケット１００５の内側開口１００６の小さい方の直径ＩＤ１００５＿１は、制限内側開口１０６２の直径と少なくとも同じ大きさであり、第１の流体流コンポーネント１０２２の内部通路１０２２ｐの直径と少なくとも同じ大きさであり、また、ガスケット１００５と流れ制限部１０６０との間のＸＹ界面１０６４において機能挿入部１０６０を軸方向に支持するのに充分な小ささである。

[0102] 図１１Ａ及び図１１Ｂを参照すると、機能挿入部１０６０が主として流れ制限部１１６０であり、更に分離機能も提供する結合装置１０００の実施例１１００が示されている。流れ制限結合装置１１００は、ノズルアセンブリ１１４５（ノズルアセンブリ８４５の一実施例である）と、ターゲット材料流体１１３２を保持するターゲット材料流体貯蔵部１１２６（第２の流体流コンポーネント１０２６に対応する）との間で、ノズル供給装置８４４（図８及び図９）に位置決めされている。結合装置１１００は、ガスケット１１０５、流れ制限部１１６０、及び支持コンポーネント１１１０を含む。ガスケット１１０５の環状の形状は、ガスケット１１０５内の挿入部として機能する流れ制限部１１６０の形状に適合する。ガスケット１１０５は（ガスケット１０５と同様）、内側開口１１０６を規定し、内側開口１１０６の直径（以下で検討される直径ＩＤ１００５＿１及びＩＤ１００５＿２等）は、（ターゲット材料流体１１３２の流れの方向によって規定される）軸方向１１３１に垂直な半径方向の面（Ｘ－Ｙ面）に沿っている。

[0103] ノズルアセンブリ１１４５をターゲット材料流体貯蔵部１１２６に接続するため、アダプタ１１２２（第１の流体流コンポーネント１０２２の一実施例）が位置決めされている。アダプタ１１２２は内部通路１１２２ｐを含み、流体貯蔵部１１２６は内部通路１１２６ｐを含み、これらの通路はターゲット材料流体１１３２の通過を可能とする。ガスケット１１０５の内側開口１１０６は、アダプタ１１２２及び流体貯蔵部１１２６の一方又は双方の軸方向流路１１３０を延長する。すなわち、軸方向流路１１３０は、ガスケット１１０５の開口１１０６を介してアダプタ１１２２と流体貯蔵部１１２６との間に延出している。

[0104] ノズルアセンブリ１１４５は、溶融ターゲット材料流体１１３２を受け取って、これによりターゲットの流れ１１５０を形成する毛細管１１４７を含む。各ターゲット１１５０は、真空チャンバ（真空チャンバ９５６等）内でプラズマ形成位置１１５４への軌道に沿って流れることができる。いくつかの実施例において、ターゲット１１５０は力によってプラズマ形成位置１１５４へ誘導できる。プラズマ形成位置１１５４は、光源（光源９５９等）によって生成された少なくとも１つの光ビーム１１５８を受けることができる。図９を参照して上述したように、光ビーム１１５８とターゲット１１５０のターゲット材料との相互作用により、ＥＵＶ光を放出するプラズマが生成される。

[0105] また、上述したように、ターゲット材料流体１１３２は、水、スズ、リチウム、キセノン、及び／又は、プラズマ状態に変換された場合にＥＵＶ範囲内に輝線を有する任意の材料を含み得る。例えば、ターゲット材料は元素スズとすることができ、これは、純粋なスズ（Ｓｎ）として、例えばＳｎＢｒ４、ＳｎＢｒ２、ＳｎＨ４のようなスズ化合物として、例えばスズ－ガリウム合金、スズ－インジウム合金、スズ－インジウム－ガリウム合金、又はこれらの合金の組み合わせのようなスズ合金として、使用され得る。

[0106] アダプタ１１２２は、ターゲット材料流体１１３２の材料に適合する材料で作製することができる。従って、ターゲット材料流体１１３２が、スズ、スズ合金、又はスズ化合物を含む実施例では、アダプタ１１２２は、モリブデン又はモリブデンレニウム等のモリブデン化合物で作製され得る。

[0107] ガスケット１００５と同様、ガスケット１１０５の内側開口１１０６は、２つの別個の内径ＩＤ１１０５＿１及びＩＤ１１０５＿２を有するような階段状又は層状である。ガスケット１１０５の内側開口１１０６の小さい方の直径ＩＤ１１０５＿１は、軸方向流路１１３０を延長するのに充分な大きさでなければならず、ガスケット１１０５の内側開口１１０６の大きい方の直径ＩＤ１１０５＿２は、内部に挿入部としての流れ制限部１１６０を収容するのに充分な大きさでなければならない。従って、内側開口１１０６の小さい方の直径ＩＤ１１０５＿１は、流体１１３２がガスケット１１０５を（すなわち、ガスケット１１０５の内側開口１１０６を）通り抜けるのに充分な大きさである。ガスケット１１０５は、１対の対向する外側平面１１０８ａ、１１０８ｂ（ガスケット２０５の表面２０８ａ、２０８ｂと同様）を含む。更に、アダプタ１１２２及びターゲット材料流体貯蔵部１１２６の壁の各々は、環状の突起１１２３及び１１２７（上述した第１及び第２の流体流コンポーネント２２２、２２６の環状の突起２２３、２２７と同様）を含む。従ってガスケット１１０５は、上記で詳述した圧力活性化機能を用いて、アダプタ１１２２及びターゲット材料流体貯蔵部１１２６の壁を封止する。

[0108] 流れ制限部１１６０の内側開口１１６２の直径（ＸＹ面内）は、ガスケット１１０５の内側開口１１０６の直径ＩＤ１１０５＿１及びＩＤ１１０５＿２の双方よりも小さい。更に、ガスケット１１０５の内側開口１１０６の小さい方の直径ＩＤ１１０５＿１は、制限内側開口１１６２の直径と少なくとも同じ大きさであり、アダプタ１１２２の内部通路１１２２ｐの直径と少なくとも同じ大きさであり、また、ガスケット１１０５と流れ制限部１１６０との間のＸＹ界面１１６４において流れ制限部１１６０を軸方向に支持するのに充分な小ささである。

[0109] 制限内側開口１１６２の直径は、ターゲット材料流体１１３２の体積又は質量流量を通過させるのに充分な大きさであるが、流圧制限が必要な場合に、ターゲット材料流体貯蔵部１１２６からノズルアセンブリ１１４５への（アダプタ１１２２を介した）ターゲット材料流体１１３２の流圧を制限するのに充分な小ささでなければならない。特に、制限内側開口１１６２の直径は、アダプタ１１２２（流れ制限部１１６０の下流の要素）の内部通路１１２２ｐの直径の少なくとも１０分の１でなければならない。毛細管１１４７は、流れ制限部１１６０に向かい合う側である大きい方の半径方向長さ（約３００μｍ又は約５００μｍ）から、ターゲット１１５０がプラズマ形成位置１１５４への流れとして解放される小さい方の半径方向長さ（約３μｍ）まで、テーパ状を有し得る。制限内側開口１１６２の直径は、毛細管１１４７の大きい方の半径方向長さよりも小さくなければならないが、毛細管１１４７の小さい方の半径方向長さよりも大きくなければならない。更に、ターゲット材料流体１１３２がスズ又はスズ化合物を含むいくつかの実施例では、制限内側開口１１６２の直径は数十ミクロンのオーダーとすることができ、又は約７０μｍであり得る。

[0110] 流れ制限部１１６０は、ガスケット１１０５と同様に環状の形状である。また、上述したように、流れ制限部１１６０はターゲット材料流体１１３２に適合する材料で作製される。従って、ターゲット材料流体１１３２がスズ又はスズ化合物を含む実施例では、流れ制限部１１６０は、タンタル、炭化ホウ素、スズ嫌性コーティングを有する様々な金属、他の高融点金属、ポリイミド、又は他の適切な材料で作製することができる。

[0111] 結合装置１０００において固体スズが形成される場合、流れ制限部１１６０は、有利には、固体スズからの容易な分離を可能とするため、スズ嫌性材料で作製することができる。結合装置１０００の軸方向流路１１３０に固体スズが形成される場合はいつでも、アダプタ１１２２及びターゲット材料流体貯蔵部１１２６の容易な分離を可能とするように制限内側開口１１６２の直径が選択される。特に、アダプタ１１２２をターゲット材料流体貯蔵部１１２６から分離するため、結合装置１１００における流体ライン全体を冷却し、ターゲット材料流体１１３２が凍結するポイントまでこれを冷却する。流れ制限部１１６０はターゲット材料嫌性材料で作製されているので、ターゲット材料流体１１３２が凍結した場合、ターゲット材料流体１１３２は流れ制限部１１６０に張り付かない。更に、内側開口１１６２は非常に小さいので、凍結したターゲット材料流体１１３２が内側開口１１６２内に残っている場合、壊しやすいつまみ位置（ｐｉｎｃｈ ｌｏｃａｔｉｏｎ）を与える。これにより、流体ラインを冷却する前に結合装置１１００からターゲット材料流体１１３２を逆流させるか又は押し戻す必要なく、結合装置１１００においてアダプタ１１２２とターゲット材料流体貯蔵部１１２６を分離することが可能となる。

[0112] 図１２Ａを参照すると、正常動作中、流れ制限部１１６０はガスケット１１０５に設置され、流体貯蔵部１１２６からアダプタ１１２２への方向に沿ったターゲット材料流体１１３２の流れの圧力によって、その軸方向位置に保持される。この圧力は流れ制限部１１６０にかかり、流れ制限部１１６０は静かに界面１１６４に押される。また、流れ制限部１１６０は、ガスケット１１０５の内壁（大きい方の直径ＩＤ１１０５＿２を有する壁）によって、その半径方向位置に保持される。流れ制限部１１６０とガスケット１１０５との間には能動封止機構が存在せず、界面１１６４に静かに押されるだけなので、ターゲット材料流体１１３２は、制限内側開口１１６２（１１６６と番号を付けた経路）だけでなく、１１６８と番号を付けた矢印で示されるように、流れ制限部１１６０とガスケット１１０５との間のギャップも自由に通る。この時点で、流れは大きくは制限されない。環状の突起１１２７とガスケット１１０５の外側平面１１０８ｂとの間に封止が形成されているので、ターゲット材料流体１１３２は、ガスケット１１０５と流体貯蔵部１１２６の壁との間を通ることが阻止される。また、環状の突起１１２３とガスケット１１０５の外側平面１１０８ａとの間に封止が形成されているので、ターゲット材料流体１１３２は、ガスケット１１０５とアダプタ１１２２の壁との間を通ることが阻止される。

[0113] 図１２Ｂを参照すると、流れ制限部１１６０の下流（アダプタ１１２２に近い方）で破断が発生した場合、流れ制限部１１６０は流れ制限動作を行う。流れ制限部１１６０の下流にある１つ以上のコンポーネントが故障した場合、破断が発生する可能性がある。例えば、ノズルアセンブリ１１４５内のコンポーネントが割れて密閉封止が破れた場合、流れ制限部１１６０の下流のターゲット材料流体１１３２がその破断／破損／亀裂の位置へ押し寄せるので、流れ制限部１１６０は、流れ制限部１１６０の上流のターゲット材料流体１１３２の圧力から著しく大きい力を受ける。このような圧力は、特に界面１１６４において、流れ制限部１１６０とガスケット１１０５との間に追加の（密閉）封止を生成する。この密閉封止が形成される理由は、少なくとも一つには、ガスケット１１０５が、ターゲット材料流体１１３２の圧力が増大して流れ制限部１１６０から力が加わった場合に圧縮するのに充分なコンプライアンスを有し、変形可能で、柔らかい材料で作製されているからである。密閉封止は、流れ制限部１１６０とガスケット１１０５との間の経路１１６８に沿ってターゲット材料流体１１３２が流れるのを阻止するのに充分な強さである。従ってターゲット材料流体１１３２は、経路１１６６だけに沿って制限内側開口１１６２を通るように流される。内側開口１１６２は直径が非常に小さいので、ターゲット材料流体１１３２は、アダプタ１１２２及び毛細管１１４７へ向かう途中、著しく小さくなった圧力で流れ制限部１１６０から出る。これにより毛細管１１４７は、流れ制限部１１６０が存在しなかったらターゲット材料流体１１３２から受けていたはずの望ましくない大きい力から保護される。更に、この時点で、破断したコンポーネントを通ったターゲット材料流体１１３２の流れから、別個の漏れセンサがトリガされる。

[0114] 図１３から図１５を参照すると、流れ制限部１０６０の代替的な実施例１３６０、１４６０、１５６０、及びガスケット１００５の代替的な実施例１３０５、１４０５、１５０５が示されている。図１３及び図１４では、流れ制限部１３６０／１４６０及びガスケット１３０５／１４０５は、直角の環状Ｌ字形エッジで連結する。図１５では、流れ制限部１５６０及びガスケット１５０５は、鈍角環状エッジで連結する。これらの様々な代替的実施例は、上記で図示及び検討した流れ制限部１１６０及びガスケット１１０５と機能的に同様に動作する。

[0115] 図１６の結合装置１６６０において、分離挿入部１６６０は、ガスケット１６０５及び支持コンポーネント１６１０内に設置され、第１及び第２の流体流コンポーネント１６２２、１６２６を結合するように位置決めされている。ターゲット材料流体１６３２は、第１及び第２の流体流コンポーネント１６２２、１６２６のそれぞれの内部通路１６２２ｐ、１６２６ｐを通って流れ、軸方向流路１６３０は、これらの内部通路１６２２ｐ、１６２６ｐ及び機能挿入部１６６０の内側開口１６２２の間に延出している。ガスケット１６０５はガスケット１１０５と同様であり、支持コンポーネント１６１０は支持コンポーネント１１１０と同様である。機能挿入部１６６０は分離機能を提供するが、ターゲット材料流体１６３２の流れを目に見えるほどには制限しない。

[0116] この実施例において、内側開口１６６２は、通路１６２２ｐ、１６２６ｐ間のターゲット材料流体１６３２の流れが著しく制限されない充分な大きさに設計される。それにもかかわらず、内側開口１６６２は、第１及び第２の流体流コンポーネント１６２２、１６２６間の分離を容易にするのに充分な小ささでなければならない。例えば、内側開口１６６２の直径は約１ｍｍのオーダーとすることができる。他の実施例では、内側開口１６６２の直径は０．５～１．５ｍｍの範囲とすることができる。特に、第１の流体流コンポーネント１６２２を第２の流体流コンポーネント１６２６から分離するため、結合装置１６００における流体ライン全体を冷却し、ターゲット材料流体１６３２が凍結するポイントまでこれを冷却する。この実施例では、挿入部１６６０はターゲット材料嫌性材料で作製されているので、流体ラインを冷却した場合、ターゲット材料流体１６３２は凍結するが、挿入部１６６０に実質的に張り付かない。更に、内側開口１６６２は（通路１６２２ｐ、１６２６ｐのサイズに比べて）比較的小さいので、凍結したターゲット材料流体１６３２が内側開口１６６２内に残っている場合、これは、凍結ターゲット材料流体１６３２のためのつまみ又は破損位置を与える。このようなつまみ位置は、第１及び第２の流体流コンポーネント１６２２、１６２６を損傷することなく凍結ターゲット材料流体１６３２を壊しやすい位置である。これにより、流体ラインを冷却する前に結合装置１６００からターゲット材料流体１６３２を逆流させるか又は押し戻す必要なく、結合装置１６００において第１及び第２の流体流コンポーネント１６２２と第２の流体流コンポーネント１６２６を分離することが可能となる。

[0117] 図１７で示されているような更に別の実施例では、図１６のガスケット１６０５及び挿入部１６６０は、ターゲット材料流体１６３２に適合し、かつターゲット材料流体１６３２に対して嫌性である単一構造１７０５として作製することができる。単一構造１７０５は、挿入部１６６０の内側開口１６６２と同様のサイズを有する内側開口１７６２を有するガスケットである。更に、ガスケット１７０５は、ターゲット材料流体１６３２に対して嫌性の材料で作製されるので、流体ラインを冷却してターゲット材料流体１６３２が凍結した場合、ターゲット材料流体１６３２は挿入ガスケット１７０５に実質的に張り付かない。

[0118] 実施例は、以下の条項を用いて更に記載することができる。
１．接合された場合に軸方向流路を規定する第１及び第２の流体流コンポーネントであって、軸方向流路は、ターゲット材料流体のソースとノズル供給装置との間にあり、ターゲット材料流体をノズル供給装置の方へ送るように構成されている、第１及び第２の流体流コンポーネントと、
第１及び第２の流体流コンポーネントの間の接合を封止するように構成された結合装置であって、設置されて封止された場合に軸方向流路の一部になる内側開口を規定する環状の形状を有するガスケットを含む結合装置と、を備え、
ガスケットが第１及び第２の流体流コンポーネント間に設置されることにより、第１及び第２の流体流コンポーネントを取り付けることで形成された接合を封止した場合、軸方向流路に沿ってガスケット内側開口を横断するターゲット材料流体からガスケットに加えられる圧力が、接合における封止の密閉機能を向上させる、
ターゲット材料供給装置。
２．ガスケットは、接合を損傷することなく接合から取り外し可能であるように構成されている、条項１に記載のターゲット材料供給装置。
３．ガスケットの外側半径方向接続表面が隣接する流体流コンポーネントの内側半径方向接続表面と係合した後、半径方向面内に延出するガスケットの少なくとも１つの表面は、隣接する流体流コンポーネントの突起と係合するように構成されている、条項１に記載のターゲット材料供給装置。
４．第１の流体流コンポーネントはアダプタであり、第２の流体流コンポーネントはターゲット材料流体貯蔵部であり、アダプタはターゲット材料流体貯蔵部とノズル供給装置との間に位置決めされている、条項１に記載のターゲット材料供給装置。
５．アダプタはモリブデンレニウムで作製され、ガスケットはポリイミドで作製されている、条項４に記載のターゲット材料供給装置。
６．ガスケットの内側開口内に設置された機能挿入部を更に備え、機能挿入部は軸方向流路の一部である内側開口を含み、機能挿入部内側開口はガスケットの内側開口の直径よりも小さい直径を有する、条項１に記載のターゲット材料供給装置。
７．機能挿入部はターゲット材料流体に適合する材料で作製されている、条項６に記載のターゲット材料供給装置。
８．機能挿入部は、タンタル、タングステン、モリブデン、タンタルの合金、タングステンの合金、モリブデンの合金、ポリイミド、又は高融点金属で作製された流れ制限部である、条項７に記載のターゲット材料供給装置。
９．機能挿入部は、炭化ホウ素、又はスズ嫌性材料でコーティングされた金属で作製されている、条項７に記載のターゲット材料供給装置。
１０．ターゲット材料流体は溶融スズである、条項７に記載のターゲット材料供給装置。
１１．ガスケットの内側開口の直径は、軸方向流路を規定するアダプタの内側開口と少なくとも同じ大きさであり、内部の機能挿入部を軸方向に支持するのに充分な小ささである、条項６に記載のターゲット材料供給装置。
１２．機能挿入部は流れ制限部であり、流れ制限部の内側開口の直径は、閾値を超えるターゲット材料流体の流圧が加わった時にターゲット材料流体の制限された流れを可能とするのに充分な小ささであり、軸方向流路の直径よりも小さく、ノズル供給装置の流路の最小直径よりも大きい、条項６に記載のターゲット材料供給装置。
１３．機能挿入部は流れ制限部であり、第１の流体流コンポーネントはアダプタであり、第２の流体流コンポーネントはターゲット材料流体貯蔵部であり、アダプタはターゲット材料流体貯蔵部とノズル供給装置との間に位置決めされている、条項６に記載のターゲット材料供給装置。
１４．接合された場合に流体が横断することができる軸方向流路を規定する２つの流体流コンポーネントの間の接合を封止するように構成された結合装置であって、
軸方向流路に垂直な半径方向面に沿った直径を有する内側開口を規定する環状の形状を有するガスケットであって、ガスケットの内側開口の直径はガスケットを流体が通り抜けるのに充分な大きさであり、ガスケット内側開口は軸方向流路を延長する、ガスケットと、
ガスケットが配置されている支持コンポーネントであって、支持コンポーネントは半径方向面に沿った直径を有する内側開口を規定する環状の形状を有し、支持コンポーネントの内側開口の直径はガスケットの外径よりも大きい、支持コンポーネントと、を備え、
ガスケットが２つの流体流コンポーネント間に設置されることにより、２つの流体流コンポーネントを取り付けることで形成された接合を封止した場合、軸方向流路に沿ってガスケット内側開口を横断する流体からガスケットに加えられる圧力が、接合における封止の密閉機能を向上させる、結合装置。
１５．ガスケットは２つの流体流コンポーネントの間で軸方向流路を延長する、条項１４に記載の結合装置。
１６．ガスケットは、軸方向流路に最も近い軸方向長さが軸方向流路から最も遠い軸方向長さよりも大きい断面形状を有する、条項１４に記載の結合装置。
１７．支持コンポーネントは、流体流コンポーネント又は別個の支持リングのうち１つ以上の一部である、条項１４に記載の結合装置。
１８．支持コンポーネントは、ガスケットの材料よりも硬い材料で作製されている、条項１４に記載の結合装置。
１９．ガスケットの断面形状はＴ字形である、条項１４に記載の結合装置。
２０．ガスケットはポリイミドで作製されている、条項１４に記載の結合装置。
２１．流体流コンポーネント間の接合が締め付けられると、流体流コンポーネントとガスケットとの間で軸方向に沿って接合封止が形成される前に、流体流コンポーネントのうち少なくとも１つの内側半径方向接続表面とガスケットの外側半径方向接続表面との間に接合封止が最初に形成される、条項１４に記載の結合装置。
２２．ガスケットは軸方向に対称である、条項１４に記載の結合装置。
２３．２つの流体流コンポーネントは双方とも、軸方向流路を規定する内径を規定するチューブであるか、又は、
流体流コンポーネントのうち第１のものは軸方向流路を規定する内径を規定するチューブであり、流体流コンポーネントのうち第２のものは流体が通り抜けるのを阻止するように構成された流体停止デバイスである、条項１４に記載の結合装置。
２４．第１の流体流コンポーネントはアダプタであり、第２の流体流コンポーネントはターゲット材料流体貯蔵部であり、アダプタはターゲット材料流体貯蔵部とノズル供給装置との間に位置決めされている、条項１４に記載の結合装置。
２５．アダプタはモリブデンレニウムで作製され、ガスケットはポリイミドで作製されている、条項２４に記載の結合装置。
２６．ガスケットの内側開口内に設置された機能挿入部を更に備え、機能挿入部は軸方向流路の一部である内側開口を含み、機能挿入部内側開口はガスケットの内側開口の直径よりも小さい直径を有する、条項１４に記載の結合装置。
２７．機能挿入部はターゲット材料流体に適合する材料で作製されている、条項２６に記載の結合装置。
２８．機能挿入部は、タンタル、タングステン、モリブデン、タンタルの合金、タングステンの合金、モリブデンの合金、高融点金属、又はポリイミドで作製されている、条項２７に記載の結合装置。
２９．機能挿入部は、炭化ホウ素、又はスズ嫌性材料でコーティングされた金属で作製されている、条項２７に記載の結合装置。
３０．ガスケットの内側開口の直径は、軸方向流路を規定するアダプタの内側開口と少なくとも同じ大きさであり、内部の機能挿入部を軸方向に支持するのに充分な小ささである、条項２６に記載の結合装置。
３１．機能挿入部は流れ制限部であり、流れ制限部の内側開口の直径は、閾値を超えるターゲット材料流体の流圧が加わった時にターゲット材料流体の制限された流れを可能とするのに充分な小ささであり、軸方向流路の直径よりも小さく、ノズル供給装置の流路の最小直径よりも大きい、条項２６に記載の結合装置。
３２．機能挿入部は流れ制限部であり、第１の流体流コンポーネントはアダプタであり、第２の流体流コンポーネントはターゲット材料流体貯蔵部であり、アダプタはターゲット材料流体貯蔵部とノズル供給装置との間に位置決めされている、条項２６に記載の結合装置。
３３．接合された場合に軸方向流路を規定する第１及び第２の流体流コンポーネントであって、軸方向流路は、ターゲット材料流体のソースとノズル供給装置との間にあり、ターゲット材料流体をノズル供給装置の方へ送るように構成されている、第１及び第２の流体流コンポーネントと、
第１及び第２の流体流コンポーネントの間の接合を封止するように構成された結合装置であって、金属又は金属合金以外の材料で作製されたガスケットを含み、ターゲット材料流体に適合すると共にターゲット材料流体に対して不活性である、結合装置と、
を備える、ターゲット材料供給装置。
３４．ターゲット材料流体は溶融スズを含み、ガスケットはポリイミドで作製されている、条項３３に記載のターゲット材料供給装置。
３５．ガスケットは、２００℃より高い温度及び３０００ＰＳＩより高い流体流圧で封止特性を維持する材料で作製されている、条項３３に記載のターゲット材料供給装置。
３６．ガスケットは、１０，０００ＰＳＩより高い流体流圧で封止特性を維持する材料で作製されている、条項３３に記載のターゲット材料供給装置。
３７．流体の流圧が増大するとガスケットによって形成される封止が向上するように、ガスケットは第１及び第２の流体流コンポーネント間に設置されている、条項３３に記載のターゲット材料供給装置。
３８．ガスケットが内部に配置されている支持コンポーネントを更に備え、支持コンポーネントは軸方向流路の方向に沿って硬い停止部を提供するように構成されている、条項３３に記載のターゲット材料供給装置。
３９．支持コンポーネントは、第１及び第２の流体流コンポーネントの材料の熱膨張係数に適合する熱膨張係数を有する、条項３８に記載のターゲット材料供給装置。
４０．ガスケットが内部に配置されている支持コンポーネントを更に備え、支持コンポーネントはガスケットが軸方向流路から離れる方へ押し出されて封止を維持できなくなることを防止するように構成され、支持コンポーネントはガスケットの材料よりも強い材料で作製されている、条項３３に記載のターゲット材料供給装置。
４１．ガスケットが内部に配置されている支持コンポーネントを更に備え、支持コンポーネントは、ニッケルコバルト鉄合金、又は、ニッケル、コバルト、鉄、チタン、アルミニウム、マグネシウム、銅、モリブデン、及びタングステンのうち１つ以上の合金で作製されている、条項３３に記載のターゲット材料供給装置。
４２．ガスケットが内部に配置されている支持コンポーネントを更に備え、支持コンポーネントは、ガスケットの材料の剛性よりも２～１００倍大きい剛性を有する材料で作製されている、条項３３に記載のターゲット材料供給装置。
４３．第１の流体流コンポーネントはアダプタであり、第２の流体流コンポーネントはターゲット材料流体貯蔵部であり、アダプタはターゲット材料流体貯蔵部とノズル供給装置との間に位置決めされている、条項３３に記載のターゲット材料供給装置。
４４．アダプタはモリブデンレニウムで作製され、ガスケットはポリイミドで作製されている、条項４３に記載のターゲット材料供給装置。
４５．ガスケットの内側開口内に設置された機能挿入部を更に備え、機能挿入部は軸方向流路の一部である内側開口を含み、機能挿入部内側開口はガスケットの内側開口の直径よりも小さい直径を有する、条項３３に記載のターゲット材料供給装置。
４６．機能挿入部はターゲット材料流体に適合する材料で作製されている、条項４５に記載のターゲット材料供給装置。
４７．機能挿入部は、タンタル、タングステン、モリブデン、タンタルの合金、タングステンの合金、モリブデンの合金、高融点金属、又はポリイミドで作製されている、条項４６に記載のターゲット材料供給装置。
４８．機能挿入部は、炭化ホウ素、又はスズ嫌性材料でコーティングされた金属で作製されている、条項４６に記載のターゲット材料供給装置。
４９．ガスケットの内側開口の直径は、軸方向流路を規定するアダプタの内側開口と少なくとも同じ大きさであり、内部の機能挿入部を軸方向に支持するのに充分な小ささである、条項４５に記載のターゲット材料供給装置。
５０．機能挿入部は流れ制限部であり、流れ制限部の内側開口の直径は、閾値を超えるターゲット材料流体の流圧が加わった時にターゲット材料流体の制限された流れを可能とするのに充分な小ささであり、軸方向流路の直径よりも小さく、ノズル供給装置の流路の最小直径よりも大きい、条項４５に記載のターゲット材料供給装置。
５１．第１の流体流コンポーネントはアダプタであり、第２の流体流コンポーネントはターゲット材料流体貯蔵部であり、アダプタはターゲット材料流体貯蔵部とノズル供給装置との間に位置決めされている、条項４５に記載のターゲット材料供給装置。
５２．ターゲット材料流体を保持する貯蔵部と貯蔵部をノズル供給装置に流体接続するように構成されたアダプタとの間の接合を封止するように構成された結合装置であって、
結合装置は、ターゲット材料流体が横断することができる貯蔵部からノズル供給装置までの軸方向流路を延長し、
結合装置は、
軸方向流路に垂直な半径方向面に沿った直径を有する内側開口を規定する環状の形状を有するガスケットであって、ガスケットの内側開口直径はガスケットを流体が通り抜けるのに充分な大きさであり、ガスケット内側開口は軸方向流路を延長する、ガスケットと、
ガスケットの内側開口内に設置された機能挿入部であって、機能挿入部は軸方向流路の一部である内側開口を含み、機能挿入部内側開口はガスケットの内側開口の直径よりも小さい直径を有する、機能挿入部と、を備え、
ガスケットが貯蔵部とアダプタとの間に設置されることにより、貯蔵部及びアダプタを取り付けることで形成された接合を封止した場合、軸方向流路に沿ってガスケット内側開口を横断する流体からガスケットに加えられる圧力が、接合における封止の密閉機能を向上させる、結合装置。
５３．ガスケットが配置されている支持コンポーネントを更に備え、支持コンポーネントは、半径方向面に沿った直径を有する内側開口を規定する環状の形状を有し、支持コンポーネントの内側開口はガスケットの外径よりも大きい、条項５２に記載の結合装置。
５４．第１及び第２の流体流コンポーネントの間の接合を封止するように構成された分離結合装置であって、
分離結合装置は、ターゲット材料流体が横断することができる貯蔵部からノズル供給装置までの軸方向流路を延長し、
分離結合装置は、軸方向流路に垂直な半径方向面に沿った直径を有する内側開口を規定する環状の形状を有する分離ガスケットを備え、分離ガスケットの内側開口直径は分離ガスケットを流体が通り抜けるのに充分な大きさであり、ガスケット内側開口は軸方向流路を延長し、分離ガスケットはターゲット材料流体に対して嫌性であると共に適合する材料で作製され、
分離ガスケットが第１及び第２の流体流コンポーネントの間に設置されることにより、第１の流体流コンポーネント及び第２の流体流コンポーネントを取り付けることで形成された接合を封止した場合、軸方向流路に沿ってガスケット内側開口を横断する流体から分離ガスケットに加えられる圧力が、接合における封止の密閉機能を向上させる、分離結合装置。

Claims (53)

1. 接合された場合に軸方向流路を規定する第１及び第２の流体流コンポーネントであって、前記軸方向流路は、ターゲット材料流体のソースとノズル供給装置との間にあり、前記ターゲット材料流体を前記ノズル供給装置の方へ送るように構成されている、第１及び第２の流体流コンポーネントと、
   前記第１及び第２の流体流コンポーネントの間の接合を封止するように構成された結合装置であって、設置されて封止された場合に前記軸方向流路の一部になる内側開口を規定する環状の形状を有するガスケットを含む、結合装置と、を備え、
   前記ガスケットが前記第１及び第２の流体流コンポーネント間に設置されることにより、前記第１及び第２の流体流コンポーネントを取り付けることで形成された前記接合を封止した場合、前記軸方向流路に沿って前記ガスケット内側開口を横断するターゲット材料流体から前記ガスケットに加えられる圧力が、前記接合における前記封止の前記密閉機能を向上させる、
   ターゲット材料供給装置。
2. 前記ガスケットは、前記接合を損傷することなく前記接合から取り外し可能であるように構成されている、請求項１に記載のターゲット材料供給装置。
3. 前記ガスケットの外側半径方向接続表面が隣接する流体流コンポーネントの内側半径方向接続表面と係合した後、半径方向面内に延出する前記ガスケットの少なくとも１つの表面は、前記隣接する流体流コンポーネントの突起と係合するように構成されている、請求項１に記載のターゲット材料供給装置。
4. 前記第１の流体流コンポーネントは、アダプタであり、
   前記第２の流体流コンポーネントは、ターゲット材料流体貯蔵部であり、
   前記アダプタは、前記ターゲット材料流体貯蔵部と前記ノズル供給装置との間に位置決めされている、請求項１に記載のターゲット材料供給装置。
5. 前記アダプタは、モリブデンレニウムで作製され、
   前記ガスケットは、ポリイミドで作製されている、請求項４に記載のターゲット材料供給装置。
6. 前記ガスケットの前記内側開口内に設置された機能挿入部を更に備え、
   前記機能挿入部は、前記軸方向流路の一部である内側開口を含み、
   前記機能挿入部内側開口は、前記ガスケットの前記内側開口の前記直径よりも小さい直径を有する、請求項１に記載のターゲット材料供給装置。
7. 前記機能挿入部は、前記ターゲット材料流体に適合する材料で作製されている、請求項６に記載のターゲット材料供給装置。
8. 前記機能挿入部は、タンタル、タングステン、モリブデン、タンタルの合金、タングステンの合金、モリブデンの合金、ポリイミド、又は高融点金属で作製された流れ制限部である、請求項７に記載のターゲット材料供給装置。
9. 前記機能挿入部は、炭化ホウ素、又はスズ嫌性材料でコーティングされた金属で作製されている、請求項７に記載のターゲット材料供給装置。
10. 前記ターゲット材料流体は、溶融スズである、請求項７に記載のターゲット材料供給装置。
11. 前記ガスケットの前記内側開口の前記直径は、前記軸方向流路を規定する前記アダプタの内側開口と少なくとも同じ大きさであり、内部の前記機能挿入部を軸方向に支持するのに充分な小ささである、請求項６に記載のターゲット材料供給装置。
12. 前記機能挿入部は、流れ制限部であり、
    前記流れ制限部の内側開口の前記直径は、閾値を超える前記ターゲット材料流体の流圧が加わった時にターゲット材料流体の制限された流れを可能とするのに充分な小ささであり、前記軸方向流路の直径よりも小さく、前記ノズル供給装置の流路の最小直径よりも大きい、請求項６に記載のターゲット材料供給装置。
13. 前記機能挿入部は、流れ制限部であり、
    前記第１の流体流コンポーネントは、アダプタであり、
    前記第２の流体流コンポーネントは、ターゲット材料流体貯蔵部であり、
    前記アダプタは、前記ターゲット材料流体貯蔵部と前記ノズル供給装置との間に位置決めされている、請求項６に記載のターゲット材料供給装置。
14. 接合された場合に流体が横断することができる軸方向流路を規定する２つの流体流コンポーネントの間の接合を封止するように構成された結合装置であって、
    前記軸方向流路に垂直な半径方向面に沿った直径を有する内側開口を規定する環状の形状を有するガスケットであって、前記ガスケットの前記内側開口の直径は前記ガスケットを流体が通り抜けるのに充分な大きさであり、前記ガスケット内側開口は前記軸方向流路を延長する、ガスケットと、
    前記ガスケットが配置されている支持コンポーネントであって、前記支持コンポーネントは前記半径方向面に沿った直径を有する内側開口を規定する環状の形状を有し、前記支持コンポーネントの前記内側開口の直径は前記ガスケットの外径よりも大きい、支持コンポーネントと、を備え、
    前記ガスケットが前記２つの流体流コンポーネント間に設置されることにより、前記２つの流体流コンポーネントを取り付けることで形成された前記接合を封止した場合、前記軸方向流路に沿って前記ガスケット内側開口を横断する流体から前記ガスケットに加えられる圧力が、前記接合における前記封止の前記密閉機能を向上させる、結合装置。
15. 前記ガスケットは、前記２つの流体流コンポーネントの間で前記軸方向流路を延長する、請求項１４に記載の結合装置。
16. 前記ガスケットは、前記軸方向流路に最も近い軸方向長さが前記軸方向流路から最も遠い軸方向長さよりも大きい断面形状を有する、請求項１４に記載の結合装置。
17. 前記支持コンポーネントは、前記流体流コンポーネント又は別個の支持リングのうち１つ以上の一部である、請求項１４に記載の結合装置。
18. 前記支持コンポーネントは、前記ガスケットの前記材料よりも硬い材料で作製されている、請求項１４に記載の結合装置。
19. 前記ガスケットの断面形状は、Ｔ字形である、請求項１４に記載の結合装置。
20. 前記ガスケットは、ポリイミドで作製されている、請求項１４に記載の結合装置。
21. 前記流体流コンポーネント間の前記接合が締め付けられると、前記流体流コンポーネントと前記ガスケットとの間で前記軸方向に沿って前記接合封止が形成される前に、前記流体流コンポーネントのうち少なくとも１つの内側半径方向接続表面と前記ガスケットの外側半径方向接続表面との間に前記接合封止が最初に形成される、請求項１４に記載の結合装置。
22. 前記ガスケットは、軸方向に対称である、請求項１４に記載の結合装置。
23. 前記２つの流体流コンポーネントは双方とも、前記軸方向流路を規定する内径を規定するチューブであるか、又は、
    前記流体流コンポーネントのうち第１のものは前記軸方向流路を規定する前記内径を規定するチューブであり、前記流体流コンポーネントのうち第２のものは流体が通り抜けるのを阻止するように構成された流体停止デバイスである、請求項１４に記載の結合装置。
24. 第１の流体流コンポーネントは、アダプタであり、
    第２の流体流コンポーネントは、ターゲット材料流体貯蔵部であり、
    前記アダプタは、前記ターゲット材料流体貯蔵部とノズル供給装置との間に位置決めされている、請求項１４に記載の結合装置。
25. 前記アダプタは、モリブデンレニウムで作製され、
    前記ガスケットは、ポリイミドで作製されている、請求項２４に記載の結合装置。
26. 前記ガスケットの前記内側開口内に設置された機能挿入部を更に備え、
    前記機能挿入部は、前記軸方向流路の一部である内側開口を含み、
    前記機能挿入部内側開口は、前記ガスケットの前記内側開口の前記直径よりも小さい直径を有する、請求項１４に記載の結合装置。
27. 前記機能挿入部は、前記ターゲット材料流体に適合する材料で作製されている、請求項２６に記載の結合装置。
28. 前記機能挿入部は、タンタル、タングステン、モリブデン、タンタルの合金、タングステンの合金、モリブデンの合金、高融点金属、又はポリイミドで作製されている、請求項２７に記載の結合装置。
29. 前記機能挿入部は、炭化ホウ素、又はスズ嫌性材料でコーティングされた金属で作製されている、請求項２７に記載の結合装置。
30. 前記ガスケットの前記内側開口の前記直径は、前記軸方向流路を規定する前記アダプタの内側開口と少なくとも同じ大きさであり、内部の前記機能挿入部を軸方向に支持するのに充分な小ささである、請求項２６に記載の結合装置。
31. 前記機能挿入部は、流れ制限部であり、
    前記流れ制限部の内側開口の直径は、閾値を超える前記ターゲット材料流体の流圧が加わった時にターゲット材料流体の制限された流れを可能とするのに充分な小ささであり、前記軸方向流路の直径よりも小さく、前記ノズル供給装置の流路の最小直径よりも大きい、請求項２６に記載の結合装置。
32. 前記機能挿入部は、流れ制限部であり、
    前記第１の流体流コンポーネントは、アダプタであり、
    前記第２の流体流コンポーネントは、ターゲット材料流体貯蔵部であり、
    前記アダプタは、前記ターゲット材料流体貯蔵部と前記ノズル供給装置との間に位置決めされている、請求項２６に記載の結合装置。
33. 接合された場合に軸方向流路を規定する第１及び第２の流体流コンポーネントであって、前記軸方向流路は、ターゲット材料流体のソースとノズル供給装置との間にあり、前記ターゲット材料流体を前記ノズル供給装置の方へ送るように構成されている、第１及び第２の流体流コンポーネントと、
    前記第１及び第２の流体流コンポーネントの間の前記接合を封止するように構成された結合装置であって、金属又は金属合金以外の材料で作製されたガスケットを含み、前記ターゲット材料流体に適合すると共に前記ターゲット材料流体に対して不活性である、結合装置と、
    を備える、ターゲット材料供給装置。
34. 前記ターゲット材料流体は、溶融スズを含み、
    前記ガスケットは、ポリイミドで作製されている、請求項３３に記載のターゲット材料供給装置。
35. 前記ガスケットは、２００℃より高い温度及び３０００ＰＳＩより高い流体流圧で封止特性を維持する材料で作製されている、請求項３３に記載のターゲット材料供給装置。
36. 前記ガスケットは、１０，０００ＰＳＩより高い流体流圧で封止特性を維持する材料で作製されている、請求項３３に記載のターゲット材料供給装置。
37. 前記流体の流圧が増大すると前記ガスケットによって形成される前記封止が向上するように、前記ガスケットは前記第１及び第２の流体流コンポーネント間に設置されている、請求項３３に記載のターゲット材料供給装置。
38. 前記ガスケットが内部に配置されている支持コンポーネントを更に備え、
    前記支持コンポーネントは、前記軸方向流路の前記方向に沿って硬い停止部を提供するように構成されている、請求項３３に記載のターゲット材料供給装置。
39. 前記支持コンポーネントは、前記第１及び第２の流体流コンポーネントの前記材料の前記熱膨張係数に適合する熱膨張係数を有する、請求項３８に記載のターゲット材料供給装置。
40. 前記ガスケットが内部に配置されている支持コンポーネントを更に備え、
    前記支持コンポーネントは、前記ガスケットが前記軸方向流路から離れる方へ押し出されて前記封止を維持できなくなることを防止するように構成され、
    前記支持コンポーネントは、前記ガスケットの前記材料よりも強い材料で作製されている、請求項３３に記載のターゲット材料供給装置。
41. 前記ガスケットが内部に配置されている支持コンポーネントを更に備え、
    前記支持コンポーネントは、ニッケルコバルト鉄合金、又は、ニッケル、コバルト、鉄、チタン、アルミニウム、マグネシウム、銅、モリブデン、及びタングステンのうち１つ以上の合金で作製されている、請求項３３に記載のターゲット材料供給装置。
42. 前記ガスケットが内部に配置されている支持コンポーネントを更に備え、
    前記支持コンポーネントは、前記ガスケットの前記材料の前記剛性よりも２～１００倍大きい剛性を有する材料で作製されている、請求項３３に記載のターゲット材料供給装置。
43. 第１の流体流コンポーネントは、アダプタであり、
    第２の流体流コンポーネントは、ターゲット材料流体貯蔵部であり、
    前記アダプタは、前記ターゲット材料流体貯蔵部と前記ノズル供給装置との間に位置決めされている、請求項３３に記載のターゲット材料供給装置。
44. 前記アダプタは、モリブデンレニウムで作製され、
    前記ガスケットは、ポリイミドで作製されている、請求項４３に記載のターゲット材料供給装置。
45. 前記ガスケットの前記内側開口内に設置された機能挿入部を更に備え、
    前記機能挿入部は、前記軸方向流路の一部である内側開口を含み、
    前記機能挿入部内側開口は、前記ガスケットの前記内側開口の前記直径よりも小さい直径を有する、請求項３３に記載のターゲット材料供給装置。
46. 前記機能挿入部は、前記ターゲット材料流体に適合する材料で作製されている、請求項４５に記載のターゲット材料供給装置。
47. 前記機能挿入部は、タンタル、タングステン、モリブデン、タンタルの合金、タングステンの合金、モリブデンの合金、高融点金属、又はポリイミドで作製されている、請求項４６に記載のターゲット材料供給装置。
48. 前記機能挿入部は、炭化ホウ素、又はスズ嫌性材料でコーティングされた金属で作製されている、請求項４６に記載のターゲット材料供給装置。
49. 前記ガスケットの前記内側開口の前記直径は、前記軸方向流路を規定する前記アダプタの内側開口と少なくとも同じ大きさであり、内部の前記機能挿入部を軸方向に支持するのに充分な小ささである、請求項４５に記載のターゲット材料供給装置。
50. 前記機能挿入部は、流れ制限部であり、
    前記流れ制限部の内側開口の前記直径は、閾値を超える前記ターゲット材料流体の流圧が加わった時にターゲット材料流体の制限された流れを可能とするのに充分な小ささであり、前記軸方向流路の直径よりも小さく、前記ノズル供給装置の流路の最小直径よりも大きい、請求項４５に記載のターゲット材料供給装置。
51. 前記第１の流体流コンポーネントは、アダプタであり、
    前記第２の流体流コンポーネントは、ターゲット材料流体貯蔵部であり、
    前記アダプタは、前記ターゲット材料流体貯蔵部と前記ノズル供給装置との間に位置決めされている、請求項４５に記載のターゲット材料供給装置。
52. ターゲット材料流体を保持する貯蔵部と前記貯蔵部をノズル供給装置に流体接続するように構成されたアダプタとの間の接合を封止するように構成された結合装置であって、
    前記結合装置は、前記ターゲット材料流体が横断することができる前記貯蔵部から前記ノズル供給装置までの軸方向流路を延長し、
    前記結合装置は、
    前記軸方向流路に垂直な半径方向面に沿った直径を有する内側開口を規定する環状の形状を有するガスケットであって、前記ガスケットの前記内側開口直径は前記ガスケットを流体が通り抜けるのに充分な大きさであり、前記ガスケット内側開口は前記軸方向流路を延長する、ガスケットと、
    前記ガスケットの前記内側開口内に設置された機能挿入部であって、前記機能挿入部は前記軸方向流路の一部である内側開口を含み、前記機能挿入部内側開口は前記ガスケットの前記内側開口の前記直径よりも小さい直径を有する、機能挿入部と、を備え、
    前記ガスケットが前記貯蔵部と前記アダプタとの間に設置されることにより、前記貯蔵部及び前記アダプタを取り付けることで形成された前記接合を封止した場合、前記軸方向流路に沿って前記ガスケット内側開口を横断する流体から前記ガスケットに加えられる圧力が、前記接合における前記封止の前記密閉機能を向上させる、結合装置。
53. 前記ガスケットが配置されている支持コンポーネントを更に備え、
    前記支持コンポーネントは、前記半径方向面に沿った直径を有する内側開口を規定する環状の形状を有し、前記支持コンポーネントの前記内側開口は前記ガスケットの外径よりも大きい、請求項５２に記載の結合装置。

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