JP2023530437A - 高角度抽出光学素子を含む装置及びシステム - Google Patents
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Abstract
Description
表1
Claims (20)
- プラズマを生成するよう動作可能なプラズマチャンバと、
前記プラズマチャンバの一面に沿って配置された抽出アセンブリと、を備える処理システムであって、前記抽出アセンブリが、
抽出開孔を含む抽出プレートを備え、前記抽出プレートは、非平面形状を有し、かつ、基板の平面が前記プラズマチャンバの前記面に平行に配置されている時の前記基板の前記平面の垂線に対して高入射角で抽出イオンビームを生成する、
処理システム。 - 前記抽出プレートは凸型バイモーダル構成を画定し、前記抽出開孔は、前記垂線に対して第1入射角を画定する第1抽出開孔であり、前記抽出プレートは、前記垂線に対して、前記第1入射角の反対側に第2入射角を画定する、第2抽出開孔を更に備える、請求項1に記載の処理システム。
- 前記抽出プレートがS型形状を画定する、請求項1に記載の処理システム。
- 前記抽出プレートが複数のS型形状を含み、前記抽出開孔は、前記垂線に対して第1入射角を画定する第1抽出開孔であり、前記抽出プレートは、前記垂線に対して、前記第1入射角と同様な又は同じ第2入射角を画定する、第2抽出開孔を更に備える、請求項1に記載の処理システム。
- 前記抽出プレートが、
S型絶縁体と、
前記S型絶縁体の外表面上に配置された導電層とを備える、請求項1に記載の処理システム。 - 前記抽出プレートは凹型バイモーダル構成を画定し、前記抽出開孔は、前記垂線に対して第1入射角を画定する第1抽出開孔であり、前記抽出プレートは、前記垂線に対して、前記第1入射角の反対側に第2入射角を画定する、第2抽出開孔を更に備える、請求項1に記載の処理システム。
- 前記抽出プレートが内側抽出プレートを含み、前記抽出アセンブリが、前記プラズマチャンバからオフセットした外側抽出プレートを更に備え、前記抽出開孔は、前記内側抽出プレートに配置された第1抽出開孔を含み、第2抽出開孔が、前記外側抽出プレートに配置されて、前記第1抽出開孔と位置合わせされる、請求項1に記載の処理システム。
- 前記第1抽出開孔及び前記第2抽出開孔が、前記垂線に対して同じ入射角を画定する、請求項7に記載の処理システム。
- 前記外側抽出プレートの外表面上に配置されたステアリング電極を更に備える、請求項7に記載の処理システム。
- 前記外側抽出プレートの外部に配置されたステアリング電極を更に備える、請求項7に記載の処理システム。
- 前記高入射角が45度と85度との間の値を有する、請求項1に記載の処理システム。
- 前記抽出プレートが、第1方向に沿って延在する長軸を有する、少なくとも1つの狭長形開孔を備える、請求項1に記載の処理システム。
- 前記プラズマチャンバの前記面に平行な第1方向に沿って可動な基板ステージを備える、請求項1に記載の処理システム。
- 傾斜イオンビームを基板へと向けるための抽出アセンブリであって、
抽出プレートを備え、前記抽出プレートが、
プラズマチャンバの一面に連結される周縁部と、
非平面形状を有し、かつ狭長形抽出開孔を含む中央部とを含み、前記狭長形抽出開孔は、前記基板の平面が前記プラズマチャンバの前記面に平行に配置されている時の前記基板の前記平面の垂線に対して高入射角で、抽出イオンビームを生成するよう構成されている、
抽出アセンブリ。 - 狭長形の抽出プレートは凸型バイモーダル構成を画定し、前記抽出開孔は、前記垂線に対して第1入射角を画定する第1抽出開孔であり、前記抽出プレートは、前記垂線に対して、前記第1入射角の反対側に第2入射角を画定する、第2抽出開孔を更に備える、請求項14に記載の抽出アセンブリ。
- 前記抽出プレートがS型形状を画定する、請求項14に記載の抽出アセンブリ。
- 前記抽出プレートが複数のS型形状を含み、前記狭長形抽出開孔は、前記垂線に対して第1入射角を画定する第1抽出開孔であり、前記抽出プレートは、前記垂線に対して、前記第1入射角と同様な又は同じ第2入射角を画定する、第2抽出開孔を更に備える、請求項14に記載の抽出アセンブリ。
- 前記抽出プレートは凹型バイモーダル構成を画定し、前記狭長形抽出開孔は、前記垂線に対して第1入射角を画定する第1抽出開孔であり、前記抽出プレートは、前記垂線に対して、前記第1入射角の反対側に第2入射角を画定する、第2抽出開孔を更に備える、請求項14に記載の抽出プレート。
- 前記抽出プレートが、
S型絶縁体と、
前記S型絶縁体の外表面上に配置された導電層とを備える、請求項14に記載の抽出アセンブリ。 - 前記抽出プレートが内側抽出プレートを含み、前記抽出アセンブリが、前記プラズマチャンバからオフセットした外側抽出プレートを更に備え、前記狭長形抽出開孔は、前記内側抽出プレートに配置された第1抽出開孔を含み、第2抽出開孔が、前記外側抽出プレートに配置されて、前記第1抽出開孔と位置合わせされる、請求項14に記載の抽出アセンブリ。
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