JP2023529564A - Lidar出力信号における信号チャープの監視 - Google Patents
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Abstract
LIDARシステムは、LIDARシステムから離れて進み、及び、LIDARシステムの外部に配置された物体によって反射され得るシステム出力信号を出力するように構成される少なくとも1つの光学的コンポーネントを有する。LIDARシステムは、また、システム出力信号の1つ以上のプロセス変数を制御するように構成された制御機構を有する。制御機構は、電気プロセス変数信号を用いてプロセス変数を制御する。プロセス変数信号は、同相、及び、直交成分を有する。【選択図】 図1A
Description
本出願は、全体に組み込まれる、米国特許出願番号第16/867,987号、出願日2020年5月16日、発明の名称「LIDAR出力信号における信号チャープの監視」を継続するものである。
本発明は、光学装置に関する。特に、本発明は、LIDARシステムに関する。
ADAS(Advanced Driver Assistance systems)やAR(Augmented Reality)のようなアプリケーションに配置できるLIDARシステムの商業的需要が増加している。LIDAR(Light Detection and Ranging)システムは、典型的には、LIDARシステムの外部に配置された物体によって反射されるシステム出力信号を出力する。少なくとも一部の反射光信号は、LIDARシステムに戻って来る。LIDARシステムは、受信した光信号を、光信号を電気信号に変換する光センサに方向付ける。電子回路部は、光センサ出力を用いて、物体とLIDARシステムとの間の半径速度、及び/又は、距離を示すLIDARデータを定量化できる。
多くのLIDARシステムは、システム出力信号の周波数を、時間に対して、直線的に、又は、他の明確に定義された波形を用いて調整し、LIDARデータの正確な測定を可能にする。これらの例では、LIDARシステムは、所望の波形形状を達成するために、システム出力信号の周波数を監視し、また、監視された周波数に応じて、周波数を調整できる。システム出力信号の周波数を監視するために用いられるシステムは、所望の結果を達成するために、不必要に長いことを必要とする1つ以上の導波路を要求できる。この導波路の長さの結果、これらのシステムは、多くの場合、LIDARチップ上の利用可能な空間の大きな割合を占有する。その結果、LIDARシステム出力信号の周波数を監視するための改善されたシステムが必要とされている。
LIDARシステムは、LIDARシステムから離れて進み、また、LIDARシステムの外部に配置された物体によって反射され得るシステム出力信号を出力するように構成される少なくとも1つの光学的コンポーネントを有している。LIDARシステムは、また、システム出力信号の1つ以上のプロセス変数を制御するように構成される制御機構有している。制御機構は、電気的なプロセス変数信号を用いて、プロセス変数を制御する。プロセス変数信号は、同相成分、及び、直交成分を有している。
図1Aは、LIDAR出力信号を出力し、及び、共通の導波路のLIDAR入力信号を受信するLIDARチップを有し、又は、構成するLIDARシステムの概略的な平面図である。
図1Bは、LIDAR出力信号を出力し、及び、異なる導波路のLIDAR入力信号を受信するLIDARチップを有し、又は、構成するLIDARシステムの概略的な平面図である。
図1Cは、LIDAR出力信号を出力し、及び、異なる導波路のLIDAR入力信号を受信するLIDARチップを有し、又は、構成するLIDARシステムの別の実施形態の概略的な平面図である。
図2は、図1BのLIDARチップとの使用に好適なLIDARアダプタの例の平面図である。
図3は、図1CのLIDARチップとの使用に好適なLIDARアダプタの例の平面図である。
図4は、共通の支持体に、図1AのLIDARチップ、及び、図2のLIDARアダプタを有するLIDARシステムの例の平面図である。
図5Aは、LIDARシステムとの使用に好適な処理コンポーネントの例を示す。
図5Bは、図5Aに従って構成される処理コンポーネントとの使用に好適な電子回路部の概略を提供する。
図5Cは、三角周波数同調でのシステム出力信号の周波数対時間のグラフである。
図5Dは、LIDARシステムとの使用に好適な処理コンポーネントの別の例を示す。
図5Eは、図5Dに従って構成される処理コンポーネントとの使用に好適な電子回路部の概略を提供する。
図6A、及び、図6Bは、図1Aから図1Cの関連で開示される制御コンポーネントの全部、又は、一部として使用するための好適な制御コンポーネントの例を示す。図6Aは、LIDARチップに配置され得る光学的コンポーネントと光センサとの間のインターフェイスを示す。
図6Bは、LIDARチップに含まれ得る電子回路部と光センサとの間の関係の概図である。
図6Cは、システム出力信号の周波数と同じ時間軸の信号の同相、及び、直交成分の振幅を示すグラフである。
図6Dは、LIDARシステムの電子回路部での使用に好適なプロセス変数識別コンポーネントの一例を示す。
図6Eは、LIDARシステムの電子回路部での使用に好適なプロセス変数識別コンポーネントの他の例を示す。
図7は、シリコン・オン・インシュレータプラットフォームに導波路を有するLIDARチップの一部の断面図である。
LIDARシステムは、システム出力信号のプロセス変数を制御するように構成される制御機構を有する。場合によっては、制御機構は、フィードバック制御ループのような制御ループである。システム出力信号は、LIDARシステムによって出力され、そして、LIDARシステムの外部に配置された物体によって反射された後、LIDARシステムに戻って来る光信号である。次いで、LIDARシステムは、反射光を用い、物体に関するLIDARデータを生成できる。制御機構が制御できるプロセス変数の例には、システム出力信号の周波数、及び/又は、位相が含まれる。
制御機構は、プロセス変数の値を示すデータを搬送する制御信号を生成する。制御信号を、同相成分、及び、直交成分を有するプロセス変数信号から、生成する。プロセス変数信号は、異なる周波数の信号からの寄与の結果としてのうなりである。直交成分を使用することによって、プロセス変数信号が同相成分のみを有する場合に生じる制御信号の周波数に対して、制御信号の周波数を増加させることができる。制御信号の周波数の増加は、プロセス変数の値を決定するために必要とされるプロセス変数信号のうなり周波数を減少させる。従来のシステムでは、マッハ・ツェンダ干渉計の1つの導波路の長さを増加させることによって、うなり周波数を増加させた。直交成分は、必要なうなりビ周波数を減少させるため、直交成分は、また、マッハ・ツェンダ干渉計の1つの導波路に必要とされる長さを減少させる。したがって、直交成分は、制御機構によって占有されるLIDARチップの空間の量を低減できる。
図1Aは、LIDARシステムとして機能できる、又は、LIDARチップに加えてコンポーネントを有するLIDARシステムに含まれ得るLIDARチップの概略的な平面図である。LIDARチップは、フォトニック集積回路(PIC)を有することができ、また、フォトニック集積回路チップにできる。LIDARチップは、予備出射LIDAR信号を出力する光源4を有する。好適な光源4は、限定されないが、外部共振器レーザ(ECL)、分布帰還レーザ(DFBs)、離散モード(DMレーザ、及び、分布ブラッグ反射器レーザ(DBR)のような半導体レーザを含む。
LIDARチップは、光源4からの出射LIDAR信号を受信するユーティリティ導波路12を有する。ユーティリティ導波路12は、ファセット14で終端し、及び、ファセット14に出射LIDAR信号を搬送する。ファセット14を通って進む出射LIDAR信号がチップから出て、また、LIDAR出力信号として機能するように、ファセット14を、チップの端部に配置できる。例えば、ファセット14をチップの端部に配置でき、その結果、ファセット14を通って進む出射LIDAR信号は、チップから出て、また、LIDAR出力信号として機能する。場合によっては、LIDARチップから出たLIDAR出力信号の一部も、システム出力信号と見なすことができる。一例として、LIDARチップからLIDAR出力信号が出ることが、LIDARシステムからLIDAR出力信号が出ることでもある場合、LIDAR出力信号を、システム出力信号とみなすこともできる。
LIDAR出力信号は、LIDARシステムが配置される大気中の自由空間を通って、LIDARシステムから離れて進む。LIDAR出力信号は、LIDAR出力信号の経路の1つ以上の物体によって反射される可能性がある。LIDAR出力信号が反射されると、反射光の少なくとも一部は、LIDAR入力信号としてLIDARチップに向かって戻って来る。いくつかの例では、LIDAR入力信号を、システム戻り信号とみなすこともできる。一例として、LIDARチップからLIDAR出力信号が出ることが、LIDARシステムからLIDAR出力信号が出ることでもある場合、LIDAR入力信号を、システム戻り信号とみなすこともできる。
LIDAR入力信号は、ファセット14を通ってユーティリティ導波路12に入ることができる。ユーティリティ導波路12に入るLIDAR入力信号の一部は、入射LIDAR信号として機能する。ユーティリティ導波路12は、入射LIDAR信号を、ユーティリティ導波路12からの出射LIDAR信号の一部を比較信号として比較導波路18に移動するスプリッタ16に、搬送する。比較導波路18は、比較信号を処理コンポーネント22に搬送し、さらなる処理を行う。図1Aは、スプリッタ16のような方向性カプラを示しているが、他の信号タップコンポーネンをスプリッタ16として用いることができる。好適なスプリッタ16は、限定されないが、方向性カプラ、光カプラ、y-結合器、テーパカプラ、及び、マルチモード干渉(MMI)デバイスを含む。
ユーティリティ導波路12は、また、出射LIDAR信号をスプリッタ16に搬送する。スプリッタ16は、ユーティリティ導波路12からの出射LIDAR信号の一部を、基準信号として基準導波路20に移動する。基準導波路20は、基準信号を処理コンポーネント22に搬送し、さらなる処理を行う。
スプリッタ16によってユーティリティ導波路12から転送される光の割合を、固定、又は、実質的に固定できる。例えば、基準導波路20に転送される基準信号のパワーが、出射LIDAR信号のパワーの出射率であるように、又は、比較導波路18に転送される比較信号のパワーが、入射LIDAR信号のパワーの入射率であるように、スプリッタ16を、構成できる。方向性カプラ、及び、マルチモード干渉計(MMIs)のような多くのスプリッタ16では、出射率は、入射率に等しい、又は、実質的に等しい。いくつかの例では、出射率は、30%、40%、又は、49%より大きく、及び/又は、51%、60%、又は、70%より小さく、及び/又は、入射率は、30%、40%、又は、49%より大きく、及び/又は、51%、60%、又は、70%より小さい。マルチモード干渉計(MMIs)のようなスプリッタ16は、一般的に、50%、又は、約50%の出射率、及び、入射率を提供する。しかしながら、マルチモード干渉計(MMIs)は、シリコン・オン・インシュレータプラットフォームのようなプラットフォームにおいて、他の代替案よりも、容易に作製できる。一例では、スプリッタ16は、マルチモード干渉計(MMI)であり、また、出射率、及び、入射率は、50%、又は、実質的50%である。以下でより詳細に説明されるように、処理コンポーネント22は、比較信号を基準信号と結合し、視野のサンプル領域に関するLIDARデータを搬送する複合信号を形成する。したがって、複合信号を処理し、サンプル領域に関するLIDARデータ(LIDARシステムとLIDARシステムの外部の物体との間の半径速度、及び/又は、距離)を抽出できる。
LIDARチップは、光源4の動作を制御するための制御分岐を有することができる。制御分岐は、ユーティリティ導波路12からの出射LIDAR信号の一部を、制御導波路28に移動するスプリッタ26を有している。出射LIDAR信号の結合された部分は、タップ信号として機能する。図1Aは、スプリッタ26として動作する方向性結合器を示しているが、他の信号タップコンポーネントをスプリッタ26として利用できる。好適なスプリッタ26は、限定されないが、方向性カプラ、光カプラ、y-結合器、テーパカプラ、及び、マルチモード干渉(MMI)デバイスを含む。
制御導波路28は、タップ信号を制御コンポート30に搬送する。制御コンポーネント30は、電子回路部32と電気的に通信できる。制御コンポーネント30の全て、又は、一部を、電子回路部32に含めることができる。動作中、電子回路部は、タップ信号、システム出力信号、及び、出射LIDAR信号からなるグループから選択された1つ、2つ、又は、3つの制御された光信号のプロセス変数を制御するように構成される制御コンポーネント34において、制御コンポーネント30からの出力を利用できる。好適なプロセス変数の例は、制御された光信号の周波数、及び/又は、制御された光信号の位相を含む。
LIDARシステムを、入射LIDAR信号、及び、出射LIDAR信号を異なる導波路で搬送できるように、修正できる。例えば、図1Bは、入射LIDAR信号、及び、出射LIDAR信号を異なる導波路で搬送するように修正された図1AのLIDARチップの平面図である。出射LIDAR信号は、ファセット14を介してLIDARチップから出て行き、また、LIDAR出力信号として機能する。LIDAR出力信号からの光がLIDARシステムの外部の物体によって反射されると、反射光の少なくとも一部は、第1LIDAR入力信号としてLIDARチップに戻って来る。第1LIDAR入力信号は、ファセット35を介して比較導波路18に入り、そして、比較信号として機能する。比較導波路18は、さらなる処理のために、比較信号を処理コンポーネント22に搬送する。図1Aに関連して説明されているように、基準導波路20は、さらなる処理のために、基準信号を処理コンポーネント22に搬送する。以下でより詳細に説明されるように、処理コンポーネント22は、比較信号を基準信号と結合し、視野上のサンプル領域に関するLIDARデータを搬送する複合信号を形成する。
LIDARチップを、複数のLIDAR入力信号を受信するように修正できる。例えば、図1Cは、2つのLIDAR入力信号を受信するように修正された図1BのLIDARチップを示している。スプリッタ40は、基準導波路20に搬送される基準信号の一部を、第1基準導波路42に、及び、基準信号の他の一部を、第2基準導波路44に、配置するように構成されている。これにより、第1基準導波路42は、第1基準信号を搬送し、及び、第2基準導波路44は、第2基準信号を搬送する。第1基準導波路42は、第1基準信号を第1処理コンポーネント46に搬送し、及び、第2基準導波路44は、第2基準信号を第2処理コンポーネント48に搬送する。好適なスプリッタ40の例は、これらに限定されないが、y-結合器、光カプラ、及び、マルチモード干渉カプラ(MMIs)を含む。
出射LIDAR信号は、ファセット14を介してLIDARチップから出て行き、そして、LIDAR出力信号として機能する。LIDAR出力信号からの光がLIDARシステムの外部に配置された1つ以上の物体によって反射されると、反射光の少なくとも一部は、第1LIDAR入力信号としてLIDARチップに戻って来る。第1LIDAR入力信号は、ファセット35を介して比較導波路18に入り、そして、第1比較信号として機能する。比較導波路18は、さらなる処理のために、第1比較信号を第1処理コンポーネント46に搬送する。
加えて、LIDAR出力信号からの光がLIDARシステムの外部に配置された1つ以上の物体によって反射されると、反射信号の少なくとも一部は、第2LIDAR入力信号として、LIDARチップに戻って来る。第2LIDAR入力信号は、ファセット52を介して第2比較導波路50に入り、そして、第2比較導波路50によって搬送される第2比較信号として機能する。第2比較導波路50は、さらなる処理のために、第2比較信号を第2処理コンポーネント48に搬送する。
光源4はLIDARチップ上に配置されるように示されているが、光源4を、LIDARチップ外に配置することができる。例えば、ユーティリティ導波路12は、出射LIDAR信号が、LIDARチップ外に配置されている光源4から、ユーティリティ導波路12に入ることができる第2のファセットで終端できる。
いくつかの例では、図1B、又は、図1Cにしたがって構築されたLIDARチップは、LIDARアダプタと共に用いられる。いくつかの例では、第1LIDAR入力信号、及び/又は、LIDAR出力信号が、LIDARチップから視野に移動する工学的経路が、LIDARアダプタを通過するように、LIDARアダプタを、LIDARチップと、1つ以上の反射物体、及び/又は、視野との間に、物理的に、光学的に、配置できる。さらに、第1LIDAR入力信号、及び、LIDAR出力信号を操作し、第1LIDAR入力信号、及び、LIDAR出力信号が、LIDARアダプタとLIDARチップとの間で異なる光学的経路で進行する一方、LIDARアダプタと視野内の反射物体との間で同じ光学的経路で進行するように、LIDARアダプタを構成できる。
図1BのLIDARチップと共に用いるのに適したLIDARアダプタの例が、図2に示されている。LIDARアダプタは、ベース上に位置する複数のコンポーネントを有している。例えば、LIDARアダプタは、ベース102上に配置されるサーキュレータ100を有している。図示された光サーキュレータ100は、3つのポートを有し、また、1つのポートに入る光が次のポートから出るように構成されている。例えば、図示された光サーキュレータは、第1ポート104、第2ポート106、及び、第3ポート108を有している。LIDAR出力信号は、LIDARチップのユーティリティ導波路12から第1ポート104に入り、そして、第2ポート106から出る。
第2のポート106からのLIDAR出力信号の出力も、LIDARアダプタ、したがって、LIDARシステムからのLIDAR出力信号の出力として機能できるように、LIDARアダプタを構成できる。その結果、LIDAR出力信号が、視野内のサンプル領域に向かって進行するように、LIDAR出力信号をLIDARアダプタから出力できる。したがって、いくつかの例では、LIDARアダプタから出て行ったLIDAR出力信号の一部も、システム出力信号とみなすことができる。一例として、LIDARアダプタからのLIDAR出力信号の出口も、LIDARシステムからのLIDAR出力信号の出口である場合、LIDAR出力信号も、システム出力信号と見なすことができる。
LIDARアダプタから出力されるLIDAR出力信号は、LIDARチップから受信されるLIDAR出力信号由来の光を有し、構成し、又は、本質的に構成する。したがって、LIDARアダプタから出力されるLIDAR出力信号は、LIDARチップから受信されたLIDAR出力信号と同じ、又は、実質的に同じになるだろう。しかしながら、LIDARアダプタから出力されるLIDAR出力信号とLIDARチップから受信されるLIDAR出力信号との間に差異があってもよい。例えば、LIDAR出力信号は、LIDAR出力信号がLIDARアダプタを通って進行するにつれて、光損失を経験でき、及び/又は、LIDARアダプタは、LIDAR出力信号がLIDARアダプタを通って進行するにつれて、LIDAR出力信号を増幅するように構成される増幅器を、選択的に含むことができる。
サンプル領域の1つ以上の物体がLIDAR出力信号を反射するとき、反射光の少なくとも一部は、システム戻り信号としてサーキュレータ100に戻るように進行する。システム戻り信号は、第2ポート106を通ってサーキュレータ100に入る。図2は、LIDARアダプタとサンプル領域との間を同じ光学的経路に沿って進行するLIDAR出力信号、及び、システム戻り信号を示す。
システム戻り信号は、第3ポート108を通ってサーキュレータ100を出て、そして、LIDARチップ上の比較導波路18に方向付けられる。したがって、システム戻り信号の全部、又は、一部は、第1LIDAR入力信号として機能でき、また、第1LIDAR入力信号は、システム戻り信号由来の光を有する、又は、構成する。したがって、LIDAR出力信号、及び、第1LIDAR入力信号は、LIDARアダプタとLIDARチップとの間で、異なる光学的経路に沿って進行する。
図2から明らかなように、LIDARアダプタは、サーキュレータ100に加えて光学的コンポーネントを有することができる。例えば、LIDARアダプタは、LIDAR出力信号、及び、システム戻り信号の光学的経路を方向付け、及び、制御するコンポーネントを有することができる。一例として、図2のアダプタは、LIDAR出力信号がサーキュレータ100に入る前に、LIDAR出力信号を受信し、そして、増幅するように配置される選択的な増幅器110を有している。電子回路部32がLIDAR出力信号のパワーを制御できるように、電子回路部32は、増幅器110を操作できる。
図2は、また、選択的な第1レンズ112、及び、選択的な第2レンズ114を有するLIDARアダプタを示している。LIDAR出力信号を所望の位置に結合するように、第1レンズ112を構成できる。場合によっては、所望の位置でLIDAR出力信号を焦点、又は、コリメートするように、第1レンズ112を構成する。一例では、LIDARアダプタが増幅器110を有さない場合、第1ポート104にLIDAR出力信号を結合するように、第1レンズ112を構成する。別の例として、LIDARアダプタが増幅器110を有する場合、増幅器110への入口ポートにLIDAR出力信号を結合するように、第1レンズ112を構成できる。所望の位置でLIDAR出力信号を結合するように、第2レンズ114を構成できる。場合によっては、所望の位置でLIDAR出力信号を焦点、又は、コリメートするように、第2レンズ114を構成できる。例えば、比較導波路18のファセット35にLIDAR出力信号を結合するように、第2レンズ114を構成できる。
LIDARアダプタは、また、ミラーなどの1つ以上の方向変更コンポーネントを有することができる。図2は、サーキュレータ100からのシステム戻り信号を比較導波路18のファセット20にリダイレクトする方向転換コンポーネント116としてのミラーを有するLIDARアダプタを示す。
IDARチップは、1つ以上の光信号の光学的経路を制約する1つ以上の導波路を有している。LIDARアダプタは、導波路を有する一方、LIDARアダプタのコンポーネントの間、及び/又は、LIDARチップとLIDARアダプタのコンポーネントとの間で、システム戻り信号、及び、LIDAR出力信号が進行する光学的経路は、自由空間にできる。例えば、システム戻り信号、及び/又は、LIDAR出力信号は、LIDARアダプタの異なるコンポーネントの間、及び/又は、LIDARアダプタのコンポーネントとLIDARチップとの間を進行するときに、LIDARチップ、LIDARアダプタ、及び/又は、ベース102が配置される環境を通って進行できる。その結果、レンズや方向変更コンポーネントのような光学的コンポーネント用い、システム戻り信号、及び、LIDAR出力信号が、LIDARアダプタ上で、LIDARアダプタに向かって、及び、LIDARアダプタから進行する光学的経路の特性を制御できる。
LIDARアダプタのための好適なベース102は、これらに限定されないが、基板、プラットフォーム、及び、プレートを有する。好適な基板は、これらに限定されないが、ガラス、シリコン、及び、セラミックを含む。コンポーネントは、基板に取り付けられる分離コンポーネントにできる。ベース102に分離コンポーネントを取り付けるための好適な技術は、これらに限定されないが、エポキシ、ハンダ、及び、機械的クランプを含む。一例では、1つ以上のコンポーネントは、集積されたコンポーネントであり、また、残りのコンポーネントは、分離コンポーネントである。別の例では、LIDARアダプタは、1つ以上の集積された増幅器を有し、また、残りのコンポーネントは、分離コンポーネントである。
LIDARシステムを、偏光を補償するように構成できる。レーザ光源からの光は、典型的には、直線偏光であり、それゆえ、LIDAR出力信号も、典型的には、直線偏光である。物体からの反射は、戻り光の偏光角を変化させるかもしれない。したがって、システム戻り信号は、異なる線形偏光状態の光を含む可能性がある。例えば、システム戻り信号の第1部分は、第1直線偏光状態の光を有する可能性があり、また、システム戻り信号の第2部分は、第2直線偏光状態の光を有する可能性がある。得られる複合信号の強度は、比較信号偏光場と基準信号偏光場との間の角度のコサインの二乗に比例する。角度が90度であれば、LIDARデータは、結果として得られる複合信号において、失われる可能性がある。しかしながら、LIDARシステムを修正し、LIDAR出力信号の偏光状態の変化を補償できる。
図3は、LIDARアダプタが、図1CのLIDARチップとの使用に好適であるに、図3のLIDARシステムが修正されたものを示している。LIDARアダプタは、サーキュレータ100からシステム戻り信号を受信するビームスプリッタ120を有している。ビームスプリッタ120は、システム戻り信号を、システム戻り信号の第1部分、及び、システム戻り信号の第2部分に分割する。好適なビームスプリッタは、これらに限定されないが、ウォラストンプリズム、及び、MEMSベースのビームスプリッタを含む。
システム戻り信号の第1部分は、LIDARチップ上の比較導波路18に方向付けられ、また、図1Cに関連して説明される第1LIDAR入力信号として機能する。システム戻り信号の第2部分は、偏光回転子122に方向付けられる。偏光回転子122は、LIDARチップ上の第2入力導波路76に方向付けられ。また、第2LIDAR入力信号として機能する第2LIDAR入力信号を出力する。
ビームスプリッタ120は、偏光ビームスプリッタにできる。偏光ビームスプリッタの一例は、システム戻り信号の第1部分が、第1偏光状態を有するが、第2偏光状態を有さない、又は、実質的に有さず、及び、システム戻り信号の第2部分が、第2偏光状態を有するが、第1偏光状態を有さない、又は、実質的に有さないように、構成される。第1偏光状態、及び、第2偏光状態は、直線偏光状態にでき、また、第2偏光状態は、第1偏光状態とは異なる。例えば、第1偏光状態をTEに、及び、第2偏光状態をTMにでき、又は、第1偏光状態をTMに、及び、第2偏光状態をTEにできる。場合によっては、LIDAR出力信号が第1偏光状態を有するように、レーザ光源を、直線的に偏光できる。好適なビームスプリッタは、これに限定されないが、ウォラストンプリズム、及び、MEMSベースの偏光ビームスプリッタを含む。
システム戻り信号の第1部分、及び/又は、システム戻り信号の第2部分の偏光状態を変化させるように、偏光回転子を構成できる。例えば、システム戻り信号の第2部分の偏光状態を、第2偏光状態から第1偏光状態に変更するように、図3に示される偏光回転子122を構成できるその。結果、第2のLIDAR入力信号は、第1の偏光状態を有するが、実質的に第2の偏光状態を有さないか、または実質的に有さない。したがって、第1LIDAR入力信号、及び、第2LIDAR入力信号は、それぞれ、同じ偏光状態(この例では第1偏光状態)を有する。同じ偏光状態の光を搬送しているにもかかわらず、第1LIDAR入力信号、及び、第2LIDAR入力信号は、偏光ビームスプリッタの使用の結果として、異なる偏光状態に関連付けられる。例えば、第1LIDAR入力信号は、第1偏光状態で反射された光を搬送し、及び、第2LIDAR入力信号は、第2偏光状態で反射された光を搬送する。その結果、第1LIDAR入力信号は、第1偏光状態と関連付けられ、及び、第2LIDAR入力信号は、第2偏光状態と関連付けられる。
第1のLIDAR入力信号、及び、第2のLIDARは、同じ偏光状態の光を搬送するので、第1LIDAR入力信号に起因する比較信号は、第2LIDAR入力信号に起因する比較信号と同じ偏光角度を有する。
好適な偏光回転子回は、これらに限定されないが、偏波保持ファイバの回転、ファラデー回転子、半波長板、MEMSベースの偏光回転子、及び、非対称y-分岐器、マッハ・ツェンダ干渉計、及び、マルチモード干渉カプラを用いる集積光学的偏光回転子を含む。
出射LIDAR信号は、直線偏光されているため、第1基準信号は、第2基準信号と同じ直線偏光状態を有することができる。また、第1基準信号、第2基準信号、比較信号、及び、第2比較信号、それぞれが、同じ偏光状態を有するように、LIDARアダプタのコンポーネントを選択できる。図3の関連で開示される例では、第1比較信号、第2比較信号、第1基準信号、及び、第2基準信号は、それぞれ、第1偏光状態の光を有することができる。
以上の構成により、第1処理コンポーネント46で生成された第1複合信号、及び、第2処理コンポーネント48で生成された第2複合信号は、それぞれ、同じ偏光状態の基準信号と比較信号とを複合した結果となり、また、基準信号と比較信号との間で所望のうなりを提供する。例えば、複合信号は、第1偏光状態の第1基準信号と第1比較信号とを複合した結果であり、また、第2の偏光状態の光を除外し、又は、実質的に除外し、若しくは、第2偏光状態の第1基準信号と第1比較信号とを合成した結果であり、また、第1偏光状態の光を除外し、又は、実質的に除外する。同様に、第2複合信号は、第2基準信号を有し、また、同じ偏光状態の第2比較信号は、したがって、基準信号と比較信号との間の所望のうなりを提供する。例えば、第2複合信号は、第1偏光状態の第2基準信号と第2の比較信号とを複合した結果であり、また、第2偏光状態の光を除外し、又は、実質的に除外し、若しくは、第2複合信号は、第2偏光状態の第2基準信号と第2比較信号とを複合し、また、第1偏光状態の光を除外し、又は、実質的に除外する。
上記の構成は、サンプル領域からの複数の異なる複合信号(すなわち、第1複合信号、及び、第2複合信号)から生成される視野の単一のサンプル領域に関するLIDARデータをもたらす。いくつかの例では、サンプル領域に関するLIDARデータを決定することは、異なる複合信号(すなわち、複合信号、及び、第2複合信号)からLIDARデータを結合する電子回路部を含む。LIDARデータを結合することは、異なる複合信号から生成されるLIDARデータの平均、中央値、又は、モードをとることを含むことができる。例えば、電子回路部は、第2複合信号から決定された距離を有する複合信号から決定される、LIDARシステムと反射物体との間の距離を平均することができ、及び/又は、電子回路部は、第2複合信号から決定された半径速度を有する複合信号から決定される、LIDARシステムと反射物体との間の半径速度を平均することができる。
いくつかの例では、サンプル領域に関するLIDARデータを決定することは、1つ以上の複合信号(すなわち、複合信号、及び/又は、第2複合信号)を、最も現実を表すLIDARデータ(代表LIDARデータ)のソースとして識別する電子回路部を含む。そして、電子回路部は、識別された複合信号からのLIDARデータを、追加の処理に使用される代表LIDARデータとして利用できる。例えば、電子回路部は、代表LIDARデータを有するとして、より大きな振幅を有する信号(複合信号、又は、第2複合信号)を識別でき、また、LIDARシステムによるさらなる処理のために、識別された信号からのLIDARデータを利用できる。いくつかの例では、電子回路部は、異なるLIDAR信号からのLIDARデータを結合することに、代表LIDARデータで複合信号を識別することを結合する。例えば、電子回路部は、代表的なLIDARデータを有するとして、振幅閾値を超える振幅で各複合信号を識別でき、そして、2つ以上の複合信号が代表LIDARデータを有すると識別される場合、電子回路部は、識別された各複合信号のLIDARデータを結合できる。1つの複合信号が代表LIDARデータを有すると識別されると、電子回路部は、その複合信号からのLIDARデータを代表LIDARデータとして利用できる。いずれの複合信号も代表LIDARデータを有すると識別されない場合、電子回路部は、それらの複合信号に関連付けられたサンプル領域に関するLIDARデータを破棄できる。
図3は、第1比較信号、第2比較信号、第1基準信号、及び、第2基準信号が、それぞれ、第1偏光状態を有するように配置されるコンポーネントに関連して説明されているが、複合信号が、同じ直線偏光状態の基準信号と比較信号とを複合した結果であり、また、第2複合信号が、同じ直線偏光状態の基準信号と比較信号とを複合した結果であるように、図3のコンポーネントの他の構成を配置できる。例えば、システム戻り信号の第2部分が第1偏光状態を有し、システム戻り信号の第1部分が第2偏光状態を有するように、ビームスプリッタ120を構成でき、偏光回転子は、システム戻り信号の第1部分を受信し、及び、出射LIDAR信号は、第2偏光状態を有することができる。この例では、第1LIDAR入力信号、及び、第2LIDAR入力信号は、それぞれ、第2の偏光状態を有する。
上記のシステム構成は、異なる複合信号に方向付けられるシステム戻り信号の第1部分、及び、システム戻り信号の第2部分をもたらす。その結果、システム戻り信号の第1部分、及び、システム戻り信号の第2部分は、それぞれ、異なる偏光状態に関連付けられるが、電子回路部は、各複合信号を処理できるので、LIDARシステムは、LIDAR出力信号の反射に応じて、LIDAR出力信号の偏光状態の変化を補償する。
図3のLIDARアダプタは、受動光学コンポーネントを含む追加の光学コンポーネントを有することができる。例えば、LIDARアダプタは、選択的な第3レンズ126を有することができる。所望の位置で第2LIDAR出力信号を結合するように、第3レンズ126を構成できる。場合によっては、第3レンズ126は、所望の位置で第2LIDAR出力信号を焦点合わせし、又は、コリメートする。例えば、第2比較導波路50のファセット52で第2LIDAR出力信号を焦点合わせし、又は、コリメートするように、第3レンズ126を構成できる。LIDARアダプタは、また、ミラー、及び、プリズムなどの1つ以上の方向変換コンポーネント124を有している。図3は、システム戻り信号の第2部分を、サーキュレータ100から第2比較導波路50のファセット52、及び/又は、第3レンズ1266にリダイレクトする方向変換コンポーネント124としてのミラーを有するLIDARアダプタを示す。
LIDARシステムが、LIDARチップ、及び、LIDARアダプタを有する場合、LIDARチップ、電子回路部、及び、LIDARアダプタは、共通マウント上に配置できる。好適な共通マウントは、これらに限定されないが、ガラス板、金属板、シリコン板、及び、セラミック板を含む。一例として、図4は、図1AのLIDARチップ、及び、電子機器32、及び、共通支持体140上の図2のLIDARアダプタを有するLIDARシステムの平面図である。電子回路部32は、共通支持体に配置されているように図示されているが、電子回路部の全部、又は、一部を、共通支持体外に配置できる。光源4をLIDARチップ外に配置する場合、光源を、共通支持体240に、又は、共通支持体140外に配置できる。LIDARチップ、電子回路部、及び/又は、LIDARアダプタを共通支持体に取り付けるための好適なアプローチは、これらに限定されないが、エポキシ、はんだ、及び、機械的クランプを含む。
LIDARシステムは、追加の受動的な、及び/又は、能動的な光学コンポーネントを有するコンポーネントを有することができる。1つ以上のコンポーネントから出るLIDAR出力信号の一部は、システム出力信号として機能できる。例えば、LIDARシステムは、LIDARチップから、又は、LIDARアダプタからLIDAR出力信号を受信し、及び、システム出力信号として機能するLIDAR出力信号の全部、又は、一部を出力する1つ以上のビーム操舵コンポーネントを有することができる。例えば、図4は、LIDARアダプタからLIDAR出力信号を受信するビーム操舵コンポーネント142を示す。図4は、共通支持体140に配置されるビーム操舵コンポーネントを示しているが、ビームステアリング構成要素を、LIDARアダプタに、LIDARチップに、又は、共通支持体140外に、配置できる。好適なビーム操舵コンポーネントは、これらに限定されないが、可動ミラー、MEMSミラー、光フェーズドアレイ(OPAs)、及び、LIDARチップ、LIDARアダプタ、及び/又は、共通支持体を移動させるアクチュエータを含む。
電子回路部は、1つ以上のビーム操舵コンポーネント142を操作し、システム出力信号を異なるサンプル領域144に操舵できる。サンプル領域は、LIDARシステムから離れて、LIDARシステムが信頼できるLIDARデータを提供するように構成される最大距離まで、広がることができる。サンプル領域を、一緒に縫い合わせて、視野を画定できる。例えば、LIDARシステムに関する視野は、サンプル領域の組み合わせによって占有される空間を含む、又は、その空間を構成する。
図5Aから図5Cは、処理コンポーネント22、第1処理コンポーネント46、及び、第2処理コンポーネント48からなるグループから選択された処理コンポーネントの全部、又は、一部として使用するための適切な処理コンポーネントの例を示している。処理コンポーネントは、比較導波路196から比較信号を、及び、基準導波路198から基準信号を受信する。図1A、及び、図1Bに示す比較導波路18、及び、基準導波路20は、比較導波路196、及び、基準導波路198として機能でき、図1Cに示す比較導波路18、及び、第1基準導波路42は、比較導波路196、及び、基準導波路198として機能でき、又は、図1Cに示す第2比較導波路50、及び、第2基準導波路44は、比較導波路196、及び、基準導波路198として機能できる。
処理コンポーネントは、比較導波路196に搬送される比較信号を、第1比較導波路204、及び、第2比較導波路206に分割する第2スプリッタ200を有する。第1比較導波路204は、比較信号の第1部分を光結合コンポーネント211に搬送する。第2比較導波路208は、比較信号の第2部分を第2光結合コンポーネント212に搬送する。
処理コンポーネントは、基準導波路196に搬送される基準信号を、第1基準導波路204、及び、第2基準導波路206に分割する第1スプリッタ202を有する。第1参照導波路204は、基準信号の第1部分を光結合コンポーネント211に搬送する。第2基準導波路208は、基準信号の第2部分を第2光結合コンポーネント212に搬送する。
第2光結合コンポーネント212は、比較信号の第2部分、及び、基準信号の第2部分を、第2複合信号に結合する。比較信号の第2部分と基準信号の第2部分との間の周波数の差に起因して、第2複合信号は、比較信号の第2部分と基準信号の第2部分との間でうなる。
第2光結合コンポーネント212は、また、結果として生じる第2複合信号を第1補助検出導波路214、及び、第2補助検出導波路216に分割する。第1補助検出導波路214は、第2複合信号の第1部分を、第2複合信号の第1部分を第1補助電気信号に変換する第1補助光センサ218に搬送する。第2補助検出導波路216は、第2複合信号の第2部分を、第2複合信号の第2部分を第2補助電気信号に変換する第2補助光センサ220に搬送する。好適な光センサの例は、ゲルマニウムフォトダイオード(PDs)、及び、アバランチフォトダイオード(APDs)を含む。
場合によっては、第2光結合コンポーネント212は、第2複合信号の第1部分に含まれる比較信号の部分(すなわち、比較信号の第2部分の一部)が、第2複合信号の第2部分における比較信号の部分(すなわち、比較信号の第2部分の一部)に対して180°ずれた位相となるが、第2複合信号の第2部分における基準信号の部分(すなわち、基準信号の第2部分の一部)が、第2複合信号の第1部分における基準信号の部分(すなわち、基準信号の第2部分の一部)に対して位相ずれがないように、第2の複合信号を分割する。代替的に、第2光結合コンポーネント212は、第2複合信号の第1部分における基準信号の部分(すなわち、基準信号の第2部分の一部)が、第2複合信号の第2部分における基準信号の部分(すなわち、基準信号の第2部分の一部)に対して180°ずれた位相となるが、第2複合信号の第1部分における比較信号の部分(すなわち、比較信号の第2部分の一部)が、第2複合信号の第2部分における比較信号の部分(すなわち、比較信号の第2部分の一部)に対して位相ずれがないように、第2複合信号を分割する。好適な光センサの例は、ゲルマニウムフォトダイオード(PDs)、及び、アバランチフォトダイオード(APDs)を含む。
第1光結合コンポーネン211は、比較信号の第1部分、及び、基準信号の第1部分を第1複合信号に結合する。比較信号の第1部分と基準信号の第1部分との間の周波数の差に起因して、第1複合信号は、比較信号の第1部分と基準信号の第1の部分との間でうなる。
第1光結合コンポーネント211は、また、第1複合信号を、第1検出導波路221、及び、第2検出導波路222に分割する。第1検出導波路221は、第1複合信号の第1部分を、第2複合信号の第1部分を第1電気信号に変換する第1光センサ223に搬送する。第2検出導波路222は、第2複合信号の第2部分を第2電気信号に変換する第2光センサ224に搬送する。好適な光センサの例は、ゲルマニウムフォトダイオード(PDs)、及び、アバランチフォトダイオード(APDs)を含む。
場合によっては、光結合コンポーネント211は、複合信号の第1部分に含まれる比較信号の部分(すなわち、比較信号の第1部分の一部)が、複合信号の第2の部分における比較信号の部分(すなわち、比較信号の第1部分の一部)に対して180°ずれた位相となるが、複合信号の第1部分における基準信号の部分(すなわち、比較信号の第1部分の一部)が、複合信号の第2部分における基準信号の部分(すなわち、基準信号の第1部分の一部)に対して位相ずれがないように、第1複合信号を分割する。代替的に、光結合コンポーネント211は、複合信号の第1部分における基準信号の部分(すなわち、基準信号の第1部分の一部)が、複合信号の第2部分における基準信号の部分(すなわち、基準信号の第1部分の一部)に対して180°ずれた位相となるが、複合信号の第1部分における比較信号の部分(すなわち、比較信号の第1部分の一部)が、複合信号の第2部分における比較信号の部分(すなわち、比較信号の第1部分の一部)に対して位相がずれないように、複合信号を分割する。
第2光結合コンポーネント212が、第2複合信号の第1部分における比較信号の部分が、第2複合信号の第2部分における比較信号の部分に対して180°ずれた位相となるように、第2複合信号を分割するとき、光結合コンポーネント211も、また、複合信号の第1部分に含まれる比較信号の部分が、複合信号の第2の部分における比較信号の部分に対して180°ずれた位相となるように、複合信号を分割する。第2光結合コンポーネント212は、第2複合信号の第1部分における基準信号の部分が、第2複合信号の第2部分における基準信号の部分に対して180°ずれた位相となるように、第2複合信号を分割するとき、光結合コンポーネント211も、また、複合信号の第1部分における基準信号の部分が、複合信号の第2部分における基準信号の部分に対して180°ずれた位相となるように、複合信号を分割する。
基準信号の第1部分と基準信号の第2部分との間に位相ずれを提供するように、第1基準導波路210、及び、第2基準導波路208を構成する。例えば、基準信号の第1部分と基準信号の第2部分との間に90度の位相ずれを提供するように、第1基準導波路210、及び、第2基準導波路208を構成できる。一例として、1つの基準信号の部分は、同相コンポーネントにし、及び、他方は、直交成分コンポーネントにできる。したがって、一方の基準信号の部分は、正弦関数に、及び、他方の基準信号の部分は、余弦関数にできる。一例では、第1基準信号の部分が余弦関数であり、第2基準信号の部分が正弦関数であるように、第1基準導波路210、及び、第2基準導波路208を構築する。したがって、第2複合信号における基準信号の部分は、第1複合信号における基準信号の部分に対して位相がずれているが、第1複合信号における比較信号の部分は、第2信号における比較信号の部分に対して位相がずれていない。
第1光センサ223、及び、第2光センサ224を、平衡検出器として接続でき、また、第1補助光センサ218、及び、第2補助光センサ220も、また、平衡検出器として接続できる。例えば、図5Bは、電子回路部、第1光センサ223、第2光センサ224、第1補助光センサ218、及び、第2補助光センサ220の間の関係の概略を提供する。第1光センサ223、第2光センサ224、第1補助光センサ218、及び、第2補助光センサ220を表すために、フォトダイオード用の記号を用いるが、これらのセンサのうちの1つ以上は、他の構成を有することができる。場合によっては、図5Bの概略図に示される全てのコンポーネントは、LIDARチップに含まれる。場合によっては、図5Bの概略図に示されるコンポーネントを、LIDARチップとLIDARチップ外に配置される電子回路部との間に分配する。
電子回路部は、第1光センサ223、及び、第2光センサを、第1平衡検出器225として、並びに、第1補助光センサ218、及び、第2補助光センサ220を第2平衡検出器226として、接続する。特に、第1光センサ223と第2光センサ224とを直列に接続する。また、第1補助光センサ218と第2補助光センサ220とを直列に接続する。第1平衡検出器における直列接続は、第1平衡検出器からの出力を第1データ信号として搬送する第1データ線228と通信する。第2平衡検出器における直列接続は、第2平衡検出器からの出力を第2データ信号として搬送する第2データ線232と通信する。第1データ信号は、第1複合信号を電気的に表したものであり、また、第2データ信号は、第2複合信号を電気的に表したものである。したがって、第1データ信号は、第1波形、及び、第2波形からの寄与を含み、並びに、第2データ信号は、第1波形、及び、第2の波形の複合である。第1データ信号における第1波形の一部は、第1データ信号における第1波形の部分に対して位相がずれているが、第1データ信号における第2波形の一部は、第1データ信号における第2波形の部分に対して同相である。例えば、第2のデータ信号は、第1データ信号に含まれる基準信号の異なる部分に対して位相がずれた基準信号の一部を有している。加えて、第2データ信号は、第1データ信号に含まれる比較信号の異なる部分と同相の比較信号の一部を有している。第1のデータ信号および第2のデータ信号は、比較信号と基準信号との間のうなり、すなわち、第1複合信号における、及び、第2複合信号におけるうなり、の結果としてうなる。
電子回路部32は、第1データ信号、及び、第2データ信号の数学的変換を実行するように構成される変換機構238を有している。例えば、数学的変換は、第1データ信号、及び、第2データ信号を入力とする複素フーリエ変換にできる。第1データ信号は、同相成分であり、また、第2データ信号は、その直交成分であるため、第1データ信号、及び、第2データ信号は、共に、第1データ信号が入力の実数成分であり、また、第2データ信号が入力の虚数成分である複素データ信号として作用する。
変換機構238は、第1データ線228から第1データ信号を受信する第1アナログ-デジタル変換コンバータ(ADC)264を有する。第1アナログ-デジタル変換コンバータ(ADC)は、第1データ信号を、アナログ形式からデジタル形式に変換し、第1デジタルデータ信号を出力する。変換機構238は、第2データ線232から第2データ信号を受信する第2アナログ-デジタル変換コンバータ(ADC)266を有している。第2アナログ-デジタル変換コンバータ(ADC)226は、第2データ信号をアナログ形式からデジタル形式に変換し、第2デジタルデータ信号を出力する。第1デジタルデータ信号は、第1データ信号をデジタルで表したものであり、また、第2デジタルデータ信号は、第2データ信号をデジタルで表したものである。したがって、第1デジタルデータ信号、及び、第2デジタルデータ信号は、第1デジタルデータ信号が複素信号の実数成分として作用し、及び、第2デジタルデータ信号が複素データ信号の虚数成分として作用する複素信号として、共に、作用する。
変換機構238は、複素データ信号を受信する変換コンポーネント268を有している。例えば、変換コンポーネント268は、第1アナログ-デジタル変換コンバータ(ADC)264から、第1デジタルデータ信号を入力として受信し、また、第2アナログ-デジタル変換器(ADC)266からも、第2デジタルデータ信号を入力として受信する。時間領域から周波数領域に変換するように、複素信号に対して数学的変換を実行するように、変換コンポーネント268を構成できる。数学的変換は、複素高速フーリエ変換(FFT)のような複素変換にできる。複素高速フーリエ変換(FFT)のような複素変換は、反射物体とLIDARチップとの間の半径速度によって引き起こされる、LIDAR出力信号に対するLIDAR入力信号の周波数のずれのための明確な解決策を提供する。電子回路部は、LIDARデータ(反射物体とLIDARチップ、又は、LIDARシステムとの間の距離、及び/又は、半径速度)を生成するさらなる処理のために、変換コンポーネント268から出力された1つ以上の周波数ピークを利用する。変換コンポーネント268は、ファームウェア、ハードウェア、又は、ソフトウェア、若しくは、それらの組み合わせを使用して、属性付き関数を実行できる。
図5Cは、システム出力信号の周波数、時間、周期、及び、データ期間との間の関係の一例を示す。システム出力信号のベース周波数(f0)は、周期開始時のシステム出力信号の周波数にできる。
図5Cは、周期j、及び、周期j+1でラベル付けられた2つの周期のシーケンスに関する周波数対時間を示す。いくつかの例では、周波数対時間パターンは、図5Cに示されるような各周期において、繰り返される。図示される周期は、再配置期間を有しておらず、及び/又は、再配置期間は、周期間に配置されない。結果として、図5Cは、連続スキャンの結果を示している。
複数の周期の各周期は、それぞれが期間インデックスkに関連付けられ、また、DPkでラベル付けされるKのデータ期間を有している。図5Cの例では、各周期は、k=1、及び、k=2のDPkでラベル付けられた2つのデータ期間を有している。場合によっては、図5Cに示されるように、周波数対時間パターンは、異なる周期で互いに対応するデータ期間に関して同じである。対応するデータ期間は、同じ期間インデックスを有するデータ期間である。その結果、データ期間DP1のそれぞれを、対応するデータ期間とみなすことができ、また、関連する周波数対時間パターンは、図5Cにおいて同じである。周期の終わりでは、電子回路部は、周波数を、前の周期を開始したのと同じ周波数レベルに戻す。
データ期間DP1、及び、データ期間DP2の間、電子回路部は、システム出力信号の周波数が、線形変化率αで変化するように、光源を操作する。データ期間DP1における周波数変化の方向は、データ期間DP2における周波数変化の方向とは逆である。
複素フーリエ変換から出力される周波数は、それぞれが基準信号に対してうなっている比較信号を有する複素信号のうなり周波数を表す。2つ以上の異なるデータ期間からのうなり周波数(fLDP)を結合し、LIDARデータを生成できる。例えば、図5CのDP1から決定されるうなり周波数を、図5CのDP22から決定されるうなり周波数と結合し、LIDARデータを決定できる。一例として、電子回路部が、図5Cのデータ期間DP1に見られるような、データ期間中に出射LIDAR信号の周波数を増加させるデータ期間中に、以下の式が適用される。fub=-fd+ατ、ここで、fubは、変換コンポーネント268によって提供される周波(ここでは、DP1から決定されるfLDP)であり、fdは、ドップラーシフト(fd=2νfc/c)を表し、ここで、fcは光周波数(f0)を表し、cは光の速度を表し、νは反射物体とLIDARシステムとの間の半径速度を表し、vは反射物体とLIDARシステムとの間の半径速度であり、ここで、反射物体からLIDARシステムに向かう方向を、正の方向と仮定し、及び、cは光の速度である。電子回路部が、図5Cの周期jのデータ期間DP2に見られるような、データ期間中に出射LIDAR信号の周波数を減少させるデータ期間中に、以下の式が適用される。fdb=-fd-ατ、ここで、fdbは、変換コンポーネント268によって提供される周波(ここでは、DP2から決定されるfi.LDP)である。これらの2つの式において、fd、及び、τは未知数である。電子回路部は、2つの未知数fd、及び、τに関するこれら2つの方程式を解く。そして、サンプル領域に関する半径速度を、ドップラシフト(ν=c×fd/(2fc))から、定量でき、及び/又は、サンプル領域に関する分離距離を、c×fd/2から、定量できる。
いくつかの例では、1つ以上の物体がサンプル領域に存在する。異なる物体は、物理的に別個の物体である必要はなく、また、同じ物体の異なる表面にできる。1つ以上の物体がサンプル領域内に存在する場合、変換は、1つ以上の周波数を出力し、各周波数を、異なる物体に関連付ける可能性がある。同じ周期の異なるデータ期間において同じ物体から生じる周波数を、対応する周波数対とみなすことができる。LIDARデータを、変換によって出力される対応する周波数対ごとに生成できる。結果として、サンプル領域の物体の各物体に関して、異なるLIDARデータを生成できる。
図5Aから図5Bは、基準信号の一部を比較信号の一部と結合する光結合コンポーネントを示しているが、処理コンポーネントは、基準信号を比較信号と結合し、複合信号を形成する単一の光結合コンポーネントを有することができる。その結果、基準信号の少なくとも一部、及び、比較信号の少なくとも一部を、合成し、合成信号を形成できる。基準信号の結合部分は、参照信号全体、又は、参照信号の一部にでき、また、比較信号の結合部分は、比較信号全体、又は、比較信号の一部にできる。
基準信号、及び、比較信号を合成し、複合信号を形成する処理コンポーネントの一例として、図5Dから図5Eは、単一の光結合コンポーネントを有するように修正された図5Aから図5Bの処理コンポーネントを示す。比較導波路196は、比較信号を第1光結合コンポーネント211に、直接的に、搬送し、また、基準導波路198は、基準信号を第1光結合コンポーネント211に、直接的に、搬送する。
第1光結合コンポーネン211は、比較信号の第1部分、及び、基準信号の第1部分を第1複合信号に結合する。比較信号の第1部分と基準信号の第1部分との間の周波数の差に起因して、第1複合信号は、比較信号の第1部分と基準信号の第1の部分との間でうなる。第1光結合コンポーネント211は、また、第1複合信号を、第1検出導波路221、及び、第2検出導波路222に分割する。第1検出導波路221は、第1複合信号の第1部分を、第2複合信号の第1部分を第1電気信号に変換する第1光センサ223に搬送する。第2検出導波路222は、第2複合信号の第2部分を第2電気信号に変換する第2光センサ224に搬送する。
図5Eは、電子回路部、第1光センサ223、及び、第2光センサ224の間の関係の概略を提供する。第1光センサ223、及び、第2光センサ224を表すために、フォトダイオード用の記号を用いるが、これらのセンサのうちの1つ以上は、他の構成を有することができる。場合によっては、図5Eの概略図に示される全てのコンポーネントは、LIDARチップに含まれる。場合によっては、図5Eの概略図に示されるコンポーネントを、LIDARチップとLIDARチップ外に配置される電子回路部との間に分配する。
電子回路部は、第1光センサ223、及び、第2光センサを、第1平衡検出器225として、接続する。特に、第1光センサ223と第2光センサ224とを直列に接続する。第1平衡検出器における直列接続は、第1平衡検出器からの出力を第1データ信号として搬送する第1データ線228と通信する。第1データ信号は、第1複合信号を電気的に表したものである。
電子回路部32は、第1データ信号に数学的変換を実行するように構成される変換機構238を有している。数学的変換は、第1データ信号を入力とする実フーリエ変換にできる。電子回路部は、上述のような変換から出力された周波数を用いて、LIDARデータを抽出できる。
図5Aから図5Eに関連して開示される各平衡検出器を、単一の光センサに置き換えできる。結果として、処理コンポーネントは、複合信号の受信部分が、複合信号の全体、又は、複合信号の一部である可能性がある複合信号の少なくとも一部を、それぞれが、受信する1つ以上の光センサを有することができる。
図5Cに関連して議論されるように、電子回路部32は、システム出力信号の周波数を調整する。この周波数チャープを生成する1つの方法は、電子回路部によって光源に印加される電流を変調することである。LIDARシステムの光源として利用できる半導体レーザでは、電流変調は、強い非線形搬送/光子結合を介する周波数変調をもたらす。
図6A、及び、図6Bは、図1Aから1C、及び、図4に関連して開示される御構コンポーネント30の全部、又は、一部として使用するために好適な制御コンポーネントの例を示している。制御コンポーネント30は、タップ信号からの光を用いて、同相成分、及び、直交成分を有する光信号を生成するように構成されるマッハ・ツェンダ干渉計を有している。マッハ・ツェンダ干渉計は、制御導波路28タップ信号を受信する。制御導波路は、タップ信号を、遅れ信号、及び、進み信号に分割するスプリッタ270に、タップ信号を導く。遅れ導波路272は、遅れ信号を第1スプリッタ274に搬送する。進み導波路276は、進み信号を第2スプリッタ278に搬送する。遅れ導波路272は、進み導波路276の長さを超えるように、遅れ導波路の長さを増加するために利用できる遅れ区間279を有することができる。例えば、図6Aに示される遅れ区間279は、遅れ導波路272の螺旋配置に対応できる。スプリッタ270、第1スプリッタ274、及び、第2スプリッタ278として用いるための好適なスプリッタは、これらに限定されないが、方向性カプラ、光カプラ、y-結合器、テーパカプラ、及び、マルチモード干渉(MMI)デバイスを含む。
第1スプリッタ274は、遅れ信号を、遅れ信号の第1部分、及び、遅れ信号の第2部分に分割する。第1遅れ導波路280は、遅れ信号の第1部分を第1光結合コンポーネント282に搬送する第2遅れ導波路284は、遅れ信号の第2部分を第2光結合コンポーネント286に搬送する。
第2スプリッタ278は、進み信号を、進み信号の第1部分、及び、進み信号の第2部分に分割する。第1進み導波路290は、進み信号の第1部分を第1光結合コンポーネント282に搬送する。第2進み導波路292は、進み信号の第2部分を第2光結合コンポーネント286に搬送する。
第2光結合コンポーネント286は、進み信号の第2部分、及び、遅れ信号の第2部分を結合して、第2うなり信号にする。上記のように、遅れ導波路の長さは、進み導波路276の長さより長い。その結果、遅れ信号の第2部分は、進み信号の第2部分に対して、位相が遅れる。電子回路部は、出射LIDAR信号の周波数を同調できるため、遅れによって、進み信号の第2部分とは異なる周波数を有する遅れ信号の第2部分がもたらされる。進み信号の第2部分と遅れ信号の第2部分との間の周波数の差に起因して、第2うなり信号は、進み信号の第2部分と遅れ信号の第2部分との間でうなる。
第2光結合コンポーネント286は、また、第2うなり信号を、第1補助検出器導波路294、及び、第2補助検出器導波路296に分割する。第1補助検出器導波路294は、第2うなり信号の第1部分を第1補助光センサ298に搬送する。第1補助光センサ298は、第2うなり信号の第1部分を第1補助電気信号に変換する。第2補助検出器導波路296は、第2うなり信号の第2部分を第2補助光センサ300に搬送する。第2補助光センサ300は、第2うなり信号の第2部分を第2補助電気信号に変換する。好適な光センサの例は、ゲルマニウムフォトダイオード(PDs)、及び、アバランチフォトダイオード(APDs)を含む。
場合によっては、第2光結合コンポーネント286は、第2うなり信号の第1部分に含まれる進み信号の部分(すなわち、進み信号の第2部分の一部)が、第2うなり信号の第2部分の進み信号の部分(すなわち、進み信号の第2部分の一部)に対して、180°ずれた位相である一方、第2うなり信号の第2部分における遅れ信号の部分(すなわち、遅れ信号の第2部分の一部)が、第2うなり信号の第1部分の遅れ信号の部分(すなわち、遅れ信号の第2の部分の一部)に対して位相ずれでないように、第2うなり信号を分割する。
第1光結合コンポーネント282は、進み信号の第1部分と遅れ信号の第1部分とを結合して、第1うなり信号にする。遅れ区間279は、遅れ信号の第1部分を、進み信号の第1部分に対して遅らせる。その結果、遅れ信号の第1部分は、進み信号の第1部分に対して、遅れる。遅れによって、進み信号の第1部分とは異なる周波数を有する遅れ信号の第1部分がもたらされる。進み信号の第1部分と遅れ信号の第1部分との間の周波数の差に起因して、第1うなり信号は、進み信号の第2部分と遅れ信号の第2の部分との間でうなる。
第1光結合コンポーネント282は、また、第1うなり信号を、第1検出器導波路302、及び、第2検出器導波路304に分割する。第1検出器導波路302は、第1うなり信号の第1部分を、第1電気信号に変換する第1光センサ306に搬送する。第2検出器導波路304は、第2うなり信号の第2部分を、第2電気信号に変換する第2光センサ308に搬送する。好適な光センサの例は、ゲルマニウムフォトダイオード(PDs)、及び、アバランチフォトダイオード(APDs)を含む。
場合によっては、第1光結合コンポーネント282は、うなり信号の第1部分に含まれる進み信号の部分(すなわち、進み信号の第1部分の一部)が、うなり信号の第2部分の進み信号の部分(すなわち、進み信号の第1部分の一部)に対して、180°ずれた位相である一方、うなり信号の第1部分における遅れ信号の部分(すなわち、遅れ信号の第1部分の一部)が、うなり信号の第2部分の遅れ信号の部分(すなわち、遅れ信号の第1部分の一部)に対して位相ずれでないように、第1うなり信号を分割する。
第2光結合コンポーネント286は、第2うなり信号の第1部分の進み信号の部分が、第2うなり信号の第2部分の進み信号の部分に対して、180°ずれた位相であるように、第2うなり信号を分割する、第1光結合コンポーネント282は、また、うなり信号の第1部分における進み信号の部分が、うなり信号の第2部分における進み信号の部分に対して、180°ずれた位相であるように、うなり信号を分割する。
第1うなり信号、及び、第2うなり信号が、全体として、光プロセス変数信号の同相成分、及び、直交成分として作用し、そこでは、第1うなり信号は、光プロセス変数信号の同相成分であり、また、第2うなり信号は、光プロセス変数信号の直交成分であるか、又は、第2うなり信号は、光プロセス変数信号の同相成分であり、また、第1うなり信号は、光プロセス変数信号の同相成分であるように、第1遅れ導波路280、2遅れ導波路284、第1進み導波路290、及び、第2進み導波路292を構成できる。例えば、遅れ信号の第1部分と遅れ信号の第2部分との間に位ずれを提供するように、第1遅れ導波路280、及び、第2遅れ導波路284を構成できる一方、進み信号の第1部分と進み信号の第2部分とが同相になるように、第1進み導波路290、及び、第2進み導波路292を構成できる。一例として、遅れ信号の第1部分と遅れ信号の第2部分との間に90°ずれた位相を提供するように、第1遅れ導波路280、及び、第2遅れ導波路284を構成できる。したがって、遅れ信号の部分の1つは、正弦波関数であり得、また、遅れ信号のその他の部分は、正弦波関数と同じ引数で動作する余弦関数であり得る。一例では、遅れ信号の第1部分が余弦関数であり、また、遅れ信号の第2部分が正弦関数であるように、第1遅れ導波路280、及び、第2遅れ導波路284を構成できる。この例では、第2うなり信号の遅れ信号の部分は、第1うなり信号の遅れ信号の部分に対して、位相がずれているが、第1うなり信号の進み信号の部分は、第2うなり信号の進み信号の部分に対して、位相ずれがない。
別の例では、遅れ信号の第1部分、及び、遅れ信号の第2部分が同相であるように、第1遅れ導波路280、及び、第2遅れ導波路284を構成する一方、進み信号の第1部分と進み信号の第2部分との間に位相ずれを提供するように、第1進み導波路290、及び、第2進み導波路292を構成する。一例として、進み信号の第1部分と進み信号の第2部分との間に90°の位相ずれを提供するように、第1進み導波路290、及び、第2進み導波路292を構成できる。したがって、進み信号の部分のうちの1つは、正弦波関数にでき、また、進み信号の他の部分は、正弦波関数と同じ引数で動作する余弦関数にできる。一例では、進み信号の第1部分が余弦関数であり、また、進み信号の第2部分が、余弦関数と同じ引数で動作する正弦関数であるように、第1進み導波路290、及び、第2進み導波路292を構成する。この例では、第2うなり信号の進み信号の部分は、第1うなり信号の進み信号の部分に対して、ずれた位相であるが、第1うなり信号の遅れ信号の部分は、第2うなり信号の遅れ信号の部分に対して、位相ずれがない。
第1光センサ306、及び、第2光センサ308を、平衡検出器として接続でき、また、第1補助光センサ298、及び、第22補助光センサ300も、平衡検出器として接続できる。例えば、図6Bは、電子回路部、第1光センサ306、第2光センサ308、第1補助光センサ298、及び、第2補助光センサ300の関係の概略を提供する。第1光センサ306、第2光センサ308、第1補助光センサ298、及び、第2補助光センサ300を表すために、フォトダイオード用のシンボルを用いるが、これらのセンサの1つ以上は、他の構成を有することができる。場合によっては、図6Bの概略図に示される全ての構成要素が、LIDARチップに含まれる。いくつかの例では、図6Bの概略図に示される構成要素は、LIDARチップとLIDARチップから離れて配置される電子回路部との間に分配される。
電子回路部は、第1光センサ306、及び、第2光センサ308を第1平衡検出器3312として、また、第1補助光センサ298、及び、第2補助光センサ300を300第2平衡検出器314として、接続する。特に、第1光センサ306、及び、第2光センサ308は、直列に接続される。これに加えて、第1補助光センサ298、及び、第2補助光センサ300は、直列に接続される。第1平衡検出器における直列接続は、第1平衡検出器からの出力を第1プロセス変数信号として搬送する第1データ線316と通信する。第2平衡検出器における直列接続は、第2平衡検出器からの出力を第1プロセス変数信号として搬送する第2データ線318と通信する。
第1プロセス変数信号は、第1うなり信号を電気的に表現したものであり、また、第2プロセス変数信号は、第2うなり信号を電気的に表現したものである。したがって、第1プロセス変数信号はうなっており、また、第2プロセス変数信号はうなっている。加えて、第1プロセス変数信号、及び、第2プロセス変数信号は、プロセス変数信号の同相成分、及び、おプロセス変数信号の直交成分からなる群から選択された成分のうちの異なる1つを、それぞれ、搬送できる。例えば、第1のプロセス変数信号は、第1波形、及び、第2波形からの寄与を含むことができ、また、第2プロセス変数信号は、第1波形、及び、第2波形からの寄与を含むことができる。第1プロセス変数信号の第1波形の部分は、第2プロセス変数信号の第1波形の部分に対して、ずれた位相であるが、第1プロセス変数信号の第2波形の部分は、第2プロセス変数信号の第2波形の部分に対して、同相である。例えば、第2プロセス変数信号は、第1プロセス変数信号に含まれる遅れ信号の異なる部分に対して、ずれた位相である遅れ信号の部分を含むことができる。加えて、第2プロセス変数信号は、第1プロセス変数信号に含まれる進み信号の異なる部分と同相である進み信号の部分を含むことができる。第1プロセス変数信号、及び、第2プロセス変数信号は、それぞれ、進み信号と遅れ信号との間のうなり、すなわち、第1うなり信号、及び、第2うなり信号におけるうなりの結果として、うなっている。
プロセス変数信号は、プロセス変数識別コンポーネント320によって受信される。プロセス変数識別コンポーネント320は、プロセス変数信号を用いて、タップ信号の周波数(fTS)、を示す、として機能する、及び/又は、を決定するために用いられ得るインジケータ信号を出力する。場合によっては、インジケータ信号は、タップ信号の周波数(fTS)に関連付けられる1つ以上の特性を有するアナログ信号である。場合によっては、インジケータ信号は、タップ信号の周波数(fTS)を定量化し、タップ信号の周波数(fTS)に関連し、又は、タップ信号の周波数(fTS)を定量化するために用いられ得るデジタル信号である。システム出力信号、及び、タップ信号は、出射LIDAR信号の部分を表すため、タップ信号の周波数(fTS)は、出射LIDAR信号に関する、及び/又は、システム出力信号に関する周波数の値を表すことができる。
インジケータ信号を、光制御コンポーネント322によって受信できる。光制御コンポーネント322は、インジケータ信号に応じて、光源を制御できる。例えば、タップ信号の周波数(fTS)が制御プロセス変数として機能する制御アーキテクチャにおいて、光源を制御できる。プロセス変数がタップ信号の周波数である場合、LIDAR出力信号の所望の周波数が、基準変数として機能する。LIDAR出力信号に関する周波数は変調されるので、タップ信号によって表されるLIDAR出力信号に関する所望の周波数は、時間の関数として変化する。三角変調の場合、図5Cは、所望の波形の一例を表すことができる。図5Cから明らかなように、タップ信号の周波数は、時間の線形関数である。したがって、制御機構は、タップ信号の周波数が、所望の波形を、実質的に、維持するように、光源を制御できる。好適な制御機構は、これに限定されないが、フィードバック制御、及び/又は、フィードフォワード制御を使用する制御アーキテクチャを含む。したがって、制御機構は、フィードバック制御ループにできる。
光制御コンポーネント322は、特定の時点における制御プロセス変数の値、及び、同時点の基準変数の値から決定されるエラー信号の値に応じて、タップ信号、したがって、出射LIDAR信号、及び/又は、システム出力信号を制御できる。例えば、光制御コンポーネント322は、エラー信号の値を減少させるように、タップ信号の特性を制御できる。一例として、光制御コンポーネント322は、制御プロセス変数の値が基準変数の値に向かうように、タップ信号の特性を制御できる。場合によっては、制御機構は、フィードバック制御ループのような制御ループである。制御機構がフィードバック制御ループである場合、制御機構に関するエラー信号を、制御プロセス変数の値と特定の時点における基準変数の値との差に等しくできる。
プロセス変数がタップ信号の周波数である場合、光制御コンポーネント322は、タップ信号の周波数を調整する光制御信号を送信できる。例えば、光制御コンポーネント322は、光源を通る電流のレベルを変化させる光制御信号を送信することによって、タップ信号の周波数を調整できる。他の光制御信号も可能である。例えば、光源が、静電MEMSチューナブルレーザである場合、光制御コンポーネント322は、MEMSチューナブルレーザのMEMSファセットを移動させる電圧のレベルを変化させる光制御信号を送信することによって、タップ信号の周波数を調整できる。
いくつかの例では、光制御コンポーネント322、及び/又は、プロセス変数識別コンポーネント320は、実際に、タップ信号(fTS)を定量化する。しかし、この定量は必要ではない。例えば、インジケータ信号がタップ信号(fTS)に関連する特性有するアナログ信号である場合、光制御信号は、タップ信号の周波数(fTS)を、実際に、定量化することなく、インジケータ信号から、直接的に、導出できる。例えば、制御信号は、インジケータ信号、及び/又は、後述する変換信号の1対1の関数であってもよい。一例として、制御信号は、瞬時周波数の1対1の関数であってもよい。
図6Cは、光プロセス変数信号、及び/又は、プロセス変数信号の同相、及び、直交成分の振幅を、システム出力信号の周波数と同じ時間軸上で、示す。例えば、図6Cは、光プロセス変数信号、及び/又は、プロセス変数信号の同相、及び、直交成分の変化と比較して、図5Cに示される第1の2つのデータ期間中のシステム出力信号の周波数を比較できる。図6Cは、データ期間当たり1周期のみを有する光プロセス変数信号、及び/又は、プロセス変数信号を示しているが、光プロセス変数信号、及び/又は、プロセス変数信号は、1データ期間当たり1つ以上の周期を有してもよい。
様々なプロセス変数識別コンポーネント320を用いて、プロセス変数インジケータの値を決定できる。図6Dは、プロセス変数がタップ信号、出射LIDAR信号、及び/又は、システム出力信号の周波数である場合に使用するのに好適なプロセス変数識別コンポーネント320の一例を示す。図示のプロセス変数識別コンポーネント320は、第1ローカル信号、及び、第2ローカル信号を有するローカル信号を出力するローカル発振部324を有している。第1ローカル信号、及び、第2ローカル信号は、それぞれ、ローカル信号の同相成分、及び、ローカル信号の直交成分からなる群から選択される異なる1つ成分を搬送する。
プロセス変数識別コンポーネント320は、また、第1プロセス変数信号、及び、第1ローカル信号を受信する第1乗算部326を有している。第1乗算部326は、第1プロセス変数信号、及び、第1ローカル信号を乗算する。第1プロセス変数信号がプロセス変数信号の同相成分を搬送する場合、第1ローカル信号は、ローカル信号の直交成分を搬送する。第1プロセス変数信号がプロセス変数信号の直交成分を搬送する場合、第1ローカル信号は、ローカル信号の同相成分を搬送する。第1乗算部326は、第1乗算信号を出力する。
プロセス変数識別コンポーネント320は、また、第2プロセス変数信号、及び、第2ローカル信号を受信する第2乗算部328も有している。第2乗算部328は、第2処理可変信号、及び、第2ローカル信号を乗算する。第2プロセス変数信号がプロセス変数信号の同相成分を搬送するとき、第2ローカル信号は、ローカル信号の直交成分を搬送する。第2プロセス変数信号がプロセス変数信号の直交成分を搬送するとき、第2ローカル信号は、ローカル信号の同相成分を搬送する。第2乗算部326は、第2乗算信号を出力する。
プロセス変数識別コンポーネント320は、第1乗算信号、及び、第2乗算信号を受信する加算部330を有している。加算部330は、第1乗算信号、及び、第2乗算信号を加算し、また、制御信号を出力する。
制御信号は、プロセス変数評価部334で受信される。プロセス変数評価部334は、制御信号を用いて、タップ信号の周波数(fTS)に関連付けられる1つ以上の特性を有するインジケータ信号を出力する。例えば、プロセス変数評価部334は、タップ信号の周波数(fTS)に関連付けられる電圧を有するインジケータ信号を出力する時間-デジタル変換器(TDC)にできる。場合によっては、時間-デジタル変換器(TDC)は、タップ信号の周波数(fTS)に比例する電圧を有するインジケータ信号を出力する。光源の周波数制御に用いるために、光制御コンポーネント322によって、インジケータ信号を、受信できる。
好適なプロセス変数評価部332の別の例は、制御信号の基準線交差(dn)間の時間を示すインジケータ信号を出力する周波数カウンタである。タップ信号に関して決定される周波数(fTS)を、式1:fTS=fLO-1/(2×dn)、ここで、fLOはローカル発信器の周波数を表す、によって、基準線交差(dn)間の時間に関連付けることができる。プロセス変数評価部334は、タップ信号に関して決定される周波数(fTS)の値を示すデータを搬送するインジケータ信号を出力できる。光源の周波数制御に用いるために、光制御コンポーネント322によって、インジケータ信号を、受信できる。
制御信号の周波数がプロセス信号の周波数よりも高くなるように、ローカル信号を、選択する。制御信号の増加周波数は、プロセス変数を正確にサンプリングできる周波数を増加する。このサンプリング周波数の増加は、制御機構によるプロセス変数のより正確な制御を提供する。その結果、制御信号の増加周波数は、制御機構によるプロセス変数の制御を強化する。好適なサンプリング周波数は、これらに限定されないが、変調周波数の100倍より大きいサンプリング周波数を含み、ここで、変調周波数が1/(周期の持続時間)である。場合によっては、各周期におけるデータ期間の全部、又は、一部は、データ期間の持続時間当たり30倍、又は、100倍より大きいサンプリング周波数を有する。場合によっては、制御信号の周波数が、プロセス変数信号の周波数の100倍より大きく、10,000倍より小さくなるように、ローカル信号を選択する。
図6Eは、プロセス変数がタップ信号、出射LIDAR信号、及び/又は、システム出力信号の周波数である場合に使用するのに好適なプロセス変数識別コンポーネント320の別の例を示す。プロセス変数識別コンポーネント320は、加算部330から制御信号を受信するアナログ-デジタル変換部(ADC)340を有している。アナログ-デジタル変換部(ADC)340は、第1プロセス変数信号をアナログ形式からデジタル形式に変換し、また、デジタルデータ信号を出力する。デジタルデータ信号は、制御信号のデジタル表現である。
プロセス変数識別コンポーネント320は、デジタルデータ信号を受信する変換コンポーネント342を有している。変換コンポーネント342は、デジタルデータ信号に対して数学的変換を実行する。変換コンポーネント342がLIDAR出力信号の周波数、に関連付けられる、を有する、又は、を示す変換信号を出力するように、数学的変換を、選択する。好適な第1数学的変換は、これらに限定されないが、ヒルベルト変換を含む。ヒルベルト変換は、瞬時位相、及び、結果的に、制御信号の周波数を示す変換信号を出力する。
変換信号は、周波数評価部344によって、受信される。LIDAR出力信号の周波数、に関連付けられる、を有する、及び/又は、を示すインジケータ信号を出力するように、周波数評価部を、構成できる。例えば、周波数評価部は、fTS=(finst-fLO)×(T/τ)、ここで、fLOはローカル発信器の周波数であり、finstはヒルベルト変換から抽出される瞬時周波数であり、Tは三角変調方式におけるデータ期間の持続時間であり、また、τは遅れ導波路272と進み導波路276との間の長さの差に起因する遅れである、によって、瞬時周波数を、タップ信号の周波数(fTS)に変換できる。したがって、インジケータ信号は、タップ信号の周波数(fTS)の周波数を定量化するデジタル信号にできる。光源の周波数制御に用いるために、光制御コンポーネント322によって、インジケータ信号を、受信できる。
タップ信号の周波数に関するデータを搬送する信号に関連して、インジケータ信号を記載しているが、インジケータ信号は、タップ信号の周波数に間接的に関連するデータを搬送できる。例えば、インジケータ信号は、タップ信号の周波数を決定するために用いることができるデータを搬送できる。一例として、タップ信号の周波数(fTS)を、タップ信号の位相変化率から決定できる。したがって、インジケータ信号は、タップ信号の位相変化率を示すデータを搬送できる。
プロセス変数識別コンポーネント320は、任意の所与の時間における同相、及び、直交成分からの情報を組み合わせることによって、タップ信号の周波数に対するインジケータ信号の感度を増加させるため、遅れ導波路272によって生成される必要がある遅れの量を減少させる。従来のシステムでは、遅れ導波路272の長さを長くすることにより、この感度を高めることが試みられている。プロセス変数識別コンポーネント3203は、インジケータ信号の感度を増加させるため、遅れ導波路272の長さは、従来システムにおいて達成され得るよりも低い量だけ、進み導波路276の長さを超えることができる。例えば、遅れ導波路272における時間遅れは、50ps以上、かつ、100ns以下の量だけ、進み導波路276の時間遅れを超えることができる。一例では、遅れ導波路272の長さは、1000cmより小さい、500cmより小さい、又は、100cmより小さい、かつ、0.0cm、又は、0.4cmより大きい量だけ、進み導波路276の長さを超える。一例では、遅れ導波路272、及び、進み導波路276は、シリコンを通して光を誘導し、また、遅れ導波路272の長さは、1000cmより小さく、かつ、0.0cm、又は、0.4cmより大きい量だけ、進み導波路276の長さを超える。
LIDARチップのための適切なプラットフォームは、これに限定されないが、シリカ、リン化インジウム、及び、シリコン・オン・インシュレータウェハを含む。図6は、シリコン・オン・インシュレータウェハから構成されるチップの一部の断面である。SOI (Silicon-On-Insulator) ウエハは、基板312と光透過媒体314との間に埋め込み層310を有している。シリコン・オン・インシュレータウェハにおいて、埋め込み層310は、シリカである一方、基板312、及び、光透過媒体314は、シリコンである。SOIウエハのような光学的プラットフォームの基板31ウエハLIDARチップ全体のベースとして機能できる。例えば、図1Aから図1CのLIDARチップに示される光学的コンポーネントを、基板312の上面、及び/又は、側面接して、又は、その上に配置できる。
図7は、シリコン・オン・インシュレータウェハから構成されるLIDARチップでの使用に好適な導波管構造を含むLIDARチップの一部分の断面図である。光伝送媒体のリッジ316は、光伝送媒体のスラブ領域318から離れて延びている。光信号を、リッジ316の頂点と埋め込み酸化物層310との間に拘束する。
図7に、リッジ導波路の寸法をラベル付けする。例えば、リッジは、wでラベル付けられる幅、及び、hでラベル付けられる高さを有している。スラブ領域の厚さを、Tでラベル付ける。LIDARアプリケーションでは、これらの寸法は、他のアプリケーションで用いられるよりも、より高いレベルの光パワーを使用する必要があるため、他の寸法よりも、より重要であり得る。(wでラベル付けられる)リッジ幅は、1μmよりも大きく、4μmよりも小さく、(hでラベル付けられる)リッジ高さは、1μmよりも大きく、4μmよりも小さく、スラブ領域厚さは、0.5μmより大きく、3μmよりも小さい。これらの寸法は、導波路の直線の、又は、実質的に直線の部分、導波路の湾曲部分、及び、導波路のテーパ部分に適用できる。したがって、導波管のこれらの部分は、シングルモードとなるだろう。しかしながら、場合によっては、これらの寸法は、導波路の直線の、又は、実質的に直線の部分に適用する。加えて、又は、代替的に、導波路の湾曲部分は、導波路の湾曲部分における光損失を低減するために、薄くされたスラブ厚さを有することができる。例えば、導波管の湾曲部分は、0.0μm以上、0.5μmより小さい厚さのスラブ領域から離れて延びるリッジを有することができる。上記の寸法は、一般的に、シングルモード構造を有する導波路の直線なお、又は、実質的に直線の部分を提供する一方、それらは、マルチモードであるテーパ部分、及び/又は、湾曲部分という結果をもたらすことができる。実質的に高次モードを励起しないテーパを用いて、マルチモードの幾何学的形状の間でのシングルモードの幾何学的形状への結合を、行うことができる。したがって、導波路で搬送される信号が、マルチモード寸法を有する導波路部分で搬送される場合であっても、シングルモードで搬送されるように、導波路を構成できる。図6に関連して開示される導波路構造は、図1Aから図1Cにしたがって構築されるLIDARチップの導波路の全部、又は、一部に適している。
LIDARチップにおいて導波路と接続される光センサを、チップから分離し、その後にチップに取り付けられるコンポーネントにできる。例えば、光センサは、フォトダイオード、又は、アバランチフォトダイオードにできる。好適な光センサコンポーネントの例は、限定されないが、日本の浜松市に位置する浜松により製造されるInGaAs PIN フォトダイオード、又は、日本の浜松市に位置する浜松により製造されるInGaAs APD(アバランチフォトダイオード)を含む。これらの光センサを、LIDARチップに、中心に配置できる。代替的に、光センサで終端する導波路の全部、又は、一部は、チップの端部に配置されるファセットで終端でき、光センサがファセットを通過する光を受光するように、光センサを、ファセットを超えて、チップの端部に取り付けできる。チップから分離するコンポーネントである光センサの使用は、第1補助光センサ218、第2補助光センサ220、第1光センサ223、及び、第2光センサ224からなるグループから選択される光センサの全部、又は、一部に適している。
分離コンポーネントである光センサの代わりとして、光センサの全部、又は、一部を、チップに統合できる。例えば、シリコン・オン・インシュレータウェハから構成されるチップのリッジ導波路と接続する光センサの例を、その全体が本明細書に組み込まれる、光学エクスプレスVol.15、No.21、13965-13971(2007);米国特許番号第8,093,080号、発行日2012年1月10日;米国特許番号第8,242,432号、発行日2012年8月14日;及び、米国特許番号第6,108,472号、発行日2000年8月22日に見つけることができる。チップに統合された光センサの使用は、補助光センサ218、第2補助光センサ220、第1光センサ223、及び、第2光センサ224からなるグループから選択される光センサの全部、又は、一部に適している。
ユーティリティ導波路12に接続する光源4は、LIDARチップから分離し、そして、LIDARチップに取り付けられるレーザチップにできる。例えば、光源4は、フリップ-チップ配置を用いてチップに取り付けられるレーザチップにできる。フリップ-チップ配置の使用は、光源4が、シリコン・オン・インシュレータウェハから構成されるチップのリッジ導波路と接続される場合に、好適である。代替的に、ユーティリティ導波路12は、外部の共振器レーザのための反射器として作用するブラッグ格子のような光学格子(図示せず)を有することができる。これらの例では、光源4は、LIDARチップから分離し、そして、フリップ-チップ配置でLIDARチップに取り付けられる利得要素を有することができる。シリコン・オン・インシュレータウェハからシリコン・オン・インシュレータウェハ得要素とリッジ導波路との間の好適なインターフェイスの例を、その全体が本明細書に組み込まれる、米国特許番号第9,700,278号、発行日2017年7月11日、及び、米国特許番号第5,991,484号、発行日1999年11月23日に見つけることができる。光源4が利得要素、又は、レーザチップである場合、電子回路部32は、利得要素、又は、レーザキャビティを通して印加される電流のレベルを変化させることによって、出射LIDAR信号の周波数を変更できる。
好適な電子回路部32は、これらに限定されないが、アナログ電気回路、デジタル電気回路、プロセッサ、マイクロプロセッサ、デジタル信号プロセッサ(DSP)、フィールドプログラマブルゲートアレイ(FPGA)、コンピュータ、マイクロコンピュータ、又は、上記の操作、監視、及び、制御機能を実行するために好適な組み合わせを有し、又は、構成する電子制御部を有することができる。いくつかの例では、電子制御部は、操作、制御、及び、監視機能の実行中に、電子制御部によって実行される命令を有するメモリへアクセスする。電子回路部を、単一の位置に単一のコンポーネントとして図示しているが、電子回路部は、互いに独立し、及び/又は、異なる場所に配置される複数の異なるコンポーネントを有することができる。加えて、上述のように、開示される電子回路部の全部、又は、一部を、チップの統合される電子回路部を有するチップに含めることができる。
上述のLIDARシステムは、LIDARチップ、LIDARアダプタ、光源、光センサ、導波路、及び、増幅器のような複数の光学コンポーネントを有している。いくつかの例では、LIDARシステムは、図示される光学コンポーネントに加えて、又は、図示される光学コンポーネントの代替として、1つ以上の受動的な光学コンポーネントを有する。受動的な光学コンポーネントは、可動部分を除くソリッドステートのコンポーネントにできる。好適な受動光学コンポーネントは、これらに限定されないが、レンズ、ミラー、光学格子、反射面、スプリッタ、分波器、マルチプレクサ、偏光子、偏光スプリッタ、及び、偏光回転子を含む。いくつかの例では、LIDARシステムは、図示される光学コンポーネントに加えて、又は、図示される光学コンポーネントの代替として、1つ以上の能動的な光学コンポーネントを有する。好適な能動的なコンポーネントは、これらに限定されないが、光スイッチ、位相チューナ、減衰器、操舵可能ミラー、操舵可能なレンズ、チューナブルデマルチプレクサ、チューナブルマルチプレクサを含む。
本発明の他の実施形態、組み合わせ、及び、修正は、当業者にとって、これらの教示の観点で、容易に行われるであろう。したがって、本発明は、以下の特許請求の範囲のみによって限定されるものであり、それは、上記の明細書、及び、添付図面と併せて見たときに、そのような実施形態、及び、修正の全てを含む。
Claims (18)
- LIDARシステムから離れて進み、及び、LIDARシステムの外部に配置される物体によって反射され得るシステム出力信号を出力するように構成される少なくとも1つの光学的コンポーネント、及び、
前記システム出力信号の1つ以上のプロセス変数を制御するように構成される制御機構であって、電気プロセス変数信号を用いて、前記プロセス変数を制御し、前記プロセス変数信号は、同相、及び、直交成分を有する制御機構、
を有するLIDARシステム。 - 前記制御機構が、制御ループである、
請求項1に係るシステム。 - 前記制御ループが、フィードバック制御ループである、
請求項1に係るシステム。 - 前記制御機構は、
前記プロセス変数信号に、同相、及び、直交成分を有するローカル信号を乗算するように構成されている、
請求項1に係るシステム。 - 前記システム出力信号、及び、タップ信号は、
それぞれ、出射LIDAR信号からの光を含み、
前記制御機構は、
前記タップ信号を用いて、前記システム出力信号に対する前記プロセス変数の値を決定する、
請求項1に係るシステム。 - 前記制御機構は、
前記タップ信号を受信し、及び、前記タップ信号から、同相、及び、直交成分を有する光信号を生成するように構成されるマッハ・ツェンダ干渉計を有する、
請求項5に係るシステム。 - 前記マッハ・ツェンダ干渉計は、
前記タップ信号からの光を、遅れ導波路、及び、進み導波路に分割するように構成され、
前記遅れ導波路の長さは、
前記進み導波路の長さよりも、100cm未満で、長い、
請求項6に係るシステム。 - 前記制御機構は、
同相、及び、直交成分を有する光信号を生成するように構成されるマッハ・ツェンダ干渉計を有する、
請求項1に係るシステム。 - 前記光信号が、うなっている、
請求項8に係るシステム。 - 前記マッハ・ツェンダ干渉計は、LIDARチップに含まれる、
請求項8に係るシステム。 - 前記LIDARチップは、
シリコン・オン・インシュレータプラットフォーム上に構築される、
請求項8に係るシステム。 - 前記システム出力信号、及び、タップ信号は、
それぞれ、出射LIDAR信号からの光を有し、
前記制御機構は、
前記タップ信号を用いて、前記システム出力信号に関する前記プロセス変数の値を決定し、
前記システム出力信号、前記タップ信号、及び、前記出射LIDAR信号は、
それぞれ、LIDARチップ上の異なる導波路によって案内される、
請求項11に係るシステム。 - 前記制御機構は、
前記光信号を前記電気プロセス変数信号に変換するように構成される、
請求項6に係るシステム。 - 前記プロセス変数は、
前記システム出力信号の周波数である、
請求項1に係るシステム。 - 前記システム出力信号の周波数を、繰り返し周期において、変化し、及び、前記システム出力信号の周波数の値を、前記周期の持続時間当たり100倍より大きい周波数で、決定する、
請求項14に係るシステム。 - 前記システム出力信号の周波数を、データ期間の持続時間にわたって非ゼロレートで変化し、及び、前記システム出力信号の周波数の値を、前記データ期間の前記持続時間の間における100倍よりも大きく決定する、
請求項1に係るシステム。 - 前記プロセス変数は、
前記システム出力信号の位相である、
請求項1に係るシステム。 - LIDARシステムに、前記LIDARシステムから離れて進み、及び、前記LIDARシステムの外部に位置する物体によって反射され得るシステム出力信号を、出力させ、
制御機構において、前記システム出力信号の1つ以上のプロセス変数を制御する、
方法であって、
前記制御機構は、電気的なプロセス変数信号を用い、前記プロセス変数を制御するものであり、
前記プロセス変換信号は、同相、及び、直交成分を有する、
前記方法。
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