JP2023519924A - 集積可能な非相反光学構成要素、光アイソレータ、光サーキュレータ、及び集積回路 - Google Patents

集積可能な非相反光学構成要素、光アイソレータ、光サーキュレータ、及び集積回路 Download PDF

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Abstract

本発明は、2つの磁気プラズモン界面の間に誘導路、特にサブ波長誘導路を有する、集積可能な非相反光学構成要素、詳細には、光アイソレータ又はサーキュレータに関し、前記界面はそれぞれ、誘電体と金属との間に形成される。入力信号(OS0)は、光ポート(P1)からの選択信号(OS1)をもたらす選択領域(R1)を通過し、選択信号のエネルギーは、特に選択幅(We)を有する選択開口(R11)を介して、単一プラズモン・モード、LRSPP又はSRSPPで集結され、これらのモードのための選択開口の幅は、それらが互いに著しく異なる光インピーダンスを有し、一方の光インピーダンス(z1eff)は、入力光インピーダンス(z0eff)に実質的に等しくなるようにする。選択信号(OS1)は、2つの磁気プラズモン界面の間に存在する非対称を生成又は増大させる差異化領域(R2)を通過し、選択信号のエネルギーを単一磁気プラズモン界面上に集結させる。差異化信号(OS2)は、不等形状の2つの磁気プラズモン界面(31,32)によって形成された非相反処理領域(R3)、特に、一方の側のみの吸収空洞(311)、又はそれぞれが異なる光出力ポート(P2,P3)に至る迂回路を通過する。入力信号(OS0)は、このように逆信号(OS0B)とは異なる処理を受ける。【選択図】図1

Description

本発明は、2つの磁気プラズモン界面の間に誘導路、特にサブ波長誘導路を有する、集積可能な非相反光学構成要素、詳細には、光アイソレータ又はサーキュレータに関し、2つの磁気プラズモン界面はそれぞれ、誘電体と金属との間に形成される。
入力信号は、光ポートからの選択信号をもたらす選択領域を通過し、選択信号のエネルギーは、特に選択開口を介して、単一プラズモン・モード、即ち、LRSPP(「長距離表面ポラリトン・プラズモン」の略)又はSRSPP(「短距離表面ポラリトン・プラズモン」の略)で集結され、これらのモードのための選択開口の幅は、互いに著しく異なる光インピーダンスを有し、一方の光インピーダンスは、選択したプラズモン・モードで使用し得る選択光信号が得られるように、入力光インピーダンスに近いか又は等しい。
選択信号は、2つの磁気プラズモン界面の間に存在する非対称を生成又は増大させる差異化領域を通過し、選択信号のエネルギーを単一磁気プラズモン界面上に集結させる。
差異化信号は、不等形状の2つの磁気プラズモン界面によって形成された非相反処理領域、特に、一方の側のみの吸収空洞、又はそれぞれが異なる光出力ポートに至る迂回路を通過する。入力信号は、このように逆信号とは異なる処理を受ける。
本発明は、そのような構成要素を集積式に含む光アイソレータ、光サーキュレータ及び集積回路にも関する。
光信号の誘導は、多くの分野、例えば、電気通信で使用されるが、センサ又はデータ処理回路等の多くの他の分野でも使用される。光回路又はフォトニック回路内において、例えば電気通信では約1.55μm等といった、異なる波長内でそのような信号を処理又は分配するため、様々な種類の構成要素が使用される。そのような回路を小型化することは、コンパクトさ及び処理能力を向上させるために積極的に求められている。
約20年の間、フォトニクスは、ナノメートル規模で広く開発されており、光の放出、検出、撮像又は誘導の分野において、フォトニクス及びオプトエレクトロニクスにおける多くの用途で光-材料の相互作用の増大を更に可能にしている。
光回路内でいくつかの種類の機能を実施するには、非相反性を有する構成要素、即ち、この信号の伝搬方向に従って光信号を様々に処理する構成要素を利用可能にする必要がある。
横カー効果型(TMOKE、「横磁気光学カー効果」)の磁気光学特性と、プラズモン誘導効果をもたらす金属層、即ち、誘導路内の光信号と金属壁の表面電子との間に共鳴をもたらす金属層とを組み合わせて使用することによって、非相反光学構成要素を生成することは公知である。
こうした非相反光学構成要素は、例えば、光アイソレータとすることができ、吸収非相反性を使用し、信号を一方向で通過させるが、もう一方の方向では信号を遮断又は著しく減衰することを可能にするものであり、出版物、Van Parys等著、「Transverse magnetic mode nonreciprocal propagation in an amplifying AlGaInAs/InP optical wave guide isolator」、Applied Physics Letters 88、071115(2006年)に記載されている。
これらの非相反光学構成要素は、3つ以上の光ポートを備えるサーキュレータ・デバイスとすることもでき、3つ以上の光ポートは、永続的、光学的に互いに連結され、2つの所与のポートの間での信号の循環は、非相反位相シフトを生成する非相反屈折率を使用して一方向のみで生じ、出版物、Takei及びMizumoto著、「Design and Simulation of Silicon Waveguide Optical Circulator employing Non Reciprocal Phase Shift」、Jpn.J. Appl.Phys.49(2010年)052203に記載されている。
そのような非相反構成要素は、例えば、文献US8849072のように、光導波路内に閉じ込められた光信号に基づき、光導波路の壁のうち、1つの壁がそのような磁気プラズモン効果を発生させる。これは、誘導が2つのプラズモン壁の間で生じるプラズモン誘導を使用する相反光回路とは異なる。
しかし、これら非相反構成要素は、依然としてかさばり、集積回路に組み込むことが困難である。というのは、この非相反効果は、十分に効果的にするために特定の増幅を必要とするためである。この非相反効果は、概して、共振器、例えば、文献FR2981761に記載されているリング共振器によって強化されるが、このリング共振器は、かさばるのみならず、複雑であり、更なる制約条件を伴う。
したがって、1つの同じ構成要素内に集積され、例えば、レーザー源及び分配回路を効率的に中に集積するのに十分に小型のデバイス、及びより一層小型のデバイスの製造は、困難及び/又は複雑であるため、費用がかかる。
今日まで、提案された解決策は、フォトニック回路内に集積するようには十分に実施されていない。市場に出ている唯一のアイソレータ又はサーキュレータ構成要素は、非誘導光学素子内で、偏光子と共に組み立てられる巨大なガーネットに基づくものであり、数センチメートルの長さであるが、光ファイバに結合される。
US8849072 FR2981761
出版物、Van Parys等著、「Transverse magnetic mode nonreciprocal propagation in an amplifying AlGaInAs/InP optical wave guide isolator」、Applied Physics Letters 88、071115(2006年) 出版物、Takei及びMizumoto著、「Design and Simulation of Silicon Waveguide Optical Circulator employing Non Reciprocal Phase Shift」、Jpn.J. Appl.Phys.49(2010年)052203
本発明の一目的は、最新技術の欠点の全て又は一部を克服することである。
特に、光回路の一部を分離又は形成する一方で、光回路のかさばりを最小化する及び/又は集積を容易にする構成要素により、光信号の誘導に対する非相反処理を得ることが求められる。
本発明は、光学構成要素であって、前記光学構成要素は、少なくとも1つの第1のポート又は光導波路と、第2のポート又は光導波路とを備え、前記第1のポート又は光導波路、及び前記第2のポート又は光導波路は、非相反式に互いの間で光を伝達し、誘導される光回路内に前記構成要素を接続するか又は前記構成要素の接続を可能にし、前記少なくとも1つの第1のポート又は光導波路、又は前記第2のポート又は光導波路は、少なくとも1つの磁気プラズモン誘導領域を通じて、一方の第1の方向、及びもう一方の前記第1の方向とは反対の第2の方向で前記光回路と光信号を交換できるようにした光学構成要素を提供する。
磁気プラズモンという用語は、本明細書ではプラズモン誘導と磁気光学効果との組合せを示し、磁気光学効果は、典型的にはTMOKE型である。
用語「プラズモン誘導」とは、本明細書では、ある金属が常にそれ自体「プラズモン性」であるとみなされない種類のもの、例えば鉄-コバルトであっても、この金属との表面相互作用を実行することを意味する。
より詳細には、本発明による構成要素は、50μm未満、特に20μm若しくは10μm未満、より詳細には3μm未満、例えば約1.55μmの波長、又は電気通信で使用される別の周波数を有する光信号を処理するように設計され、シミュレーションが行われ、そのように構成、決定されている。
本発明によれば、前記構成要素は、前記第1の方向で前記第1の光ポートから前記第2の光ポートの方に進行する光信号が連続的に通過し得る複数の領域を含む。
この複数の領域は、少なくとも、選択領域と、差異化領域と、非相反処理領域とを、この順で、例えば、これらの全て又は一部の間で連続的に含む。
選択領域は、以下のように構成される:
- 入力において、入力光インピーダンスz0eff、即ち、誘導モードのインピーダンスに従って伝搬する入力光信号を受信する。誘導モードのインピーダンスは、典型的には入力実効屈折率の逆数に比例する。この入力光信号は、典型的には、強制ではないが、誘導式に受信される。この選択領域及び可能性としては選択領域の上流において、誘導は、プラズモン誘導であっても、プラズモン誘導でなくてもよく、典型的には、偏光形態、好ましくは、TE偏光で現れる。
- 出力において、プラズモン誘導により、選択光信号と呼ばれる光信号を放出する。選択光信号は、第1のプラズモン・モード及び第2のプラズモン・モードを含み、第2のプラズモン・モードは、ゼロ、又は第1のプラズモン・モードよりも著しく低い振幅、典型的には、少なくとも50分の1、好ましくは100分の1の強度の振幅を有する。これら第1のプラズモン・モード及び第2のプラズモン・モードは、
〇 一方の、好ましい第1のプラズモン・モード、即ちLRモード(又はLRSPP、「長距離表面ポラリトン・プラズモン」の略)、及び
〇 もう一方の、好ましい対応する第2のプラズモン・モード、即ちSRモード(又はSRSPP、「短距離表面ポラリトン・プラズモン」の略)
として規定される。
差異化領域は、入力部では、入力において、選択領域から到来した選択光信号を受信し、選択光信号を出力部に誘導するように構成され、出力部では、光信号は、差異化コアと呼ばれる誘導コアによって差異化光信号と呼ばれる光信号を形成し、差異化コアは、差異化界面と呼ばれる少なくとも2つの界面の間に延在する。この構成は、例えば、磁化の存在を含む。
これら差異化界面は、
- コア材料と少なくとも1つの外側材料との間に形成され、コア材料及び少なくとも1つの外側材料のうち、一方は、誘電体であり、もう一方は金属であり、
- この誘導コアの2つの反対の側に位置し、
- コア材料と少なくとも1つの外側材料との間に磁気プラズモン誘導をもたらすように決定される。
この差異化領域において、出力部は、前記差異化界面の間に、差異化幅Wdを有するように構成され、差異化幅Wdは、第1のプラズモン・モード信号が、前記差異化界面の間に、決定された閾値より大きい非対称の振幅を有するように選択される。
したがって、この差異化領域は、出力において、差異化信号と呼ばれる非対称光信号を供給するように構成され、この振幅の非対称光信号は、第1の差異化界面上に集結される。即ち、差異化信号は、典型的には、50よりも大きい比率、特に100以上の比率で第1の差異化界面上でより強く、第2の差異化界面上でより弱いか又は無視さえできる。
非相反処理領域は、入力において、差異化領域から到来した差異化信号を受信し、差異化信号を処理部を介して出力領域に誘導するように構成され、出力領域では、差異化信号は、処理光信号と呼ばれる光信号を形成する。この誘導は、少なくとも1つの第1の処理界面と第2の処理界面との間に延在する処理コアと呼ばれる誘導コアで生じる。この構成は、例えば、磁化の存在を含む。
これらの処理界面は、
- 処理コア材料と外側材料との間にそれぞれ形成され、処理コア材料及び少なくとも1つの外側材料のうち一方は誘電材料であり、もう一方は金属材料であり、
- 第1の差異化界面及び第2の差異化界面のそれぞれと同じ2つの反対の側に位置し、
- 処理コア材料と少なくとも1つの外側材料との間に磁気プラズモン誘導をもたらすように決定され、
- 前記処理領域の入力と出力との間に、例えば、空間対称の中断を間に導入することによって、特に、処理領域の長さ全体にわたる信号に対する効果が互いに等しくない形状を有するように構成される。
したがって、この非相反処理領域は、出力において、処理光信号を第1の方向で供給するように構成され、この振幅の処理光信号は、もっぱら又は主に、第1の処理界面単独の形状によってもたらされる処理を受ける。というのは、この信号のエネルギーは、第1の処理界面上に集結するためである。
この点に関し、前記非相反処理領域を第2の方向で通過する逆信号と呼ばれる信号は、(この逆信号自体も差異化される場合)第2の処理界面単独の形状によって、又は前記2つの処理界面の両方によってもたらされる処理を受け、したがって、処理された逆信号を供給する。この処理された逆信号は、第1の方向で進行する処理された信号が受けた処理とは異なる処理を受ける。
典型的には、各ポートは、これらの領域:選択領域、差異化領域、次に処理領域の全セットを含む。典型的には、互いの間で通じている2つのポートは、1つの同じ処理領域、又は1つの同じ処理領域の一部を共有する。したがって、2つのポートを互いに連結する1つ又は複数の処理領域は、常に、第1の方向及び第2の方向の両方で差異化信号を受信する。差異化信号のそれぞれは、第1の処理界面、即ち、進行方向に従って異なる界面及び形状を構成する処理界面の形状によって生成される処理のみを受ける。
例えば、差異化領域が各ポートで同一であり、伝搬方向で考慮される左界面上の信号の振幅を弱めるか又は打ち消すように構成される場合、差異化信号は、右界面上に集結し、処理信号は、この右界面単独によって決定された処理を受ける。
2つのポートを連結する通路において、一方の側を、第1の方向で伝搬する信号のプラズモンが通過し、もう一方の側を、第2の方向で伝搬する信号のプラズモンが通過すると考慮することが可能である。
理解されるように、この連続の差異化工程及び処理工程は、従来技術の構成要素とは異なり、誘導コアの2つの反対の側に存在する磁気プラズモン誘導によって実行される。
従来技術では、2つの近接した磁気プラズモン界面の間の誘導は、従来、非相反効果を有さないとみなされている。
異なる様式で、本発明者らは、これら界面を離す間隔の1つ又は複数の特定の幅を選択することによって、これら2つの界面の間の信号強度分布内で得ることができる非対称を特定し、実装している。このことにより、本発明は、入力信号を処理することを可能にし、この強度の入力信号を2つのプラズモン界面のうち1つのみに集結させ、したがって、これら界面のうち一方の界面のみが処理を受けるようにする。この場合、非相反は、この横への集結と、界面ごとに異なる処理とを組み合わせることによって、得られる。
ある特徴によれば、選択領域は、
- 光誘導、可能性としては、プラズモン誘導も形成するが、好ましくは光誘導のみを形成する入力部と
- 2つの磁気プラズモン界面の間に磁気光学プラズモン誘導を形成する出力部と
を有する。
これら入力部及び出力部は、選択幅Weを有する選択開口を介して互いに通じており、選択幅Weは、2つのプラズモン界面の間で測定され、典型的には、選択部の入力幅よりも狭い。
したがって、入力部内で受信される入力光信号は、出力部で光信号を励起し、出力部を出て、第1のプラズモン・モード及び第2のプラズモン・モードを含む選択光信号を形成する。
この選択入力部の光誘導は、入力で受信した信号に対して、入力光インピーダンスz0eff、即ち、例えば、実効屈折率の形態で誘導モードの光インピーダンスを有する。
この特徴によれば、選択幅Weは、入力光インピーダンス値z0effと組み合わせて、
〇 第1のプラズモン・モードが、入力光インピーダンスz0effと実質的に等しい、即ち、この第1のプラズモン・モードで使用可能な選択光信号を得るのに少なくとも十分に近い第1の光インピーダンスz1effを有し、
〇 第2のプラズモン・モードが、第1の光インピーダンスz1effとは著しく異なる、即ち、第2のプラズモン・モードで、例えば、50分の1又は更には100分の1に弱めた選択光信号を得るのに十分に異なる第2の光インピーダンスz2effを有する
ように決定される。
選択幅、及び可能性としては、光インピーダンスに影響を与える他の特性を調節することによって、入力信号が得られ、入力信号は、出力部内で、選択開口を通じて第1のプラズモン・モードに従った光モードを励起する。第1のプラズモン・モードは、第2のプラズモン・モードを除外したものである(又は第2のプラズモン・モードの振幅より著しく大きい振幅を有する)。したがって、(選択領域の)出力部を出た光信号は、第1のプラズモン・モードのみを有する選択光信号を形成する。
光インピーダンスは、式:
Figure 2023519924000002
によって規定されることに留意されたい。
したがって、光インピーダンスは、n~=εである実効屈折率nの逆数に比例し、式中、ε=εεであり、εは、誘電率であり、εは、比誘電率であり、εは、真空誘電率であり、μは、比透磁率であり、μは、真空透磁率である。
多くの場合、誘導モードの光インピーダンスは、実効屈折率に直接関連する。したがって、本発明の多数の実施形態において、用語「光インピーダンス」は、用語「実効屈折率」に置き替え得る。
他の種類の構成は、信号内で第2のプラズモン・モードを除くことによって第1のプラズモン・モードの選択を可能するものであり、そのような選択を実行するために本発明で使用し、選択光信号を生成することもできる。
別の特徴によれば、好ましくは、強制ではないが、先行する特徴と組み合わせて、差異化領域は、幅が、(例えば、選択幅Weと同じとし得る)入力幅から差異化幅Wdまで増大し、例えば差異化コアの周囲で対称的である、及び/又は連続的に増大する若しくは更には規則正しく増大する形状を有する。
選択幅Weを有する開口を介して選択する場合、差異化領域は、単一プラズモン・モードのみを含む選択信号を受信する。しかし、この選択幅は、典型的には、選択したプラズモン・モード、即ち、第1のプラズモン・モードがそれほど著しい非対称を有さない構成に対応する。
差異化領域におけるそのような幅の変動は、出力において、この第1のプラズモン・モードが、信号の伝搬方向で規定される右界面と左界面との間、即ち、それぞれ、第1の界面と第2の界面との間に著しい非対称を有する差異化幅に達するように選択される。
したがって、この差異化領域からの出力において、第1のプラズモン・モードは、第1の界面上に集結する。この点に関し、第2のプラズモン・モードが依然として存在する場合、第2の界面上に集結する。選択領域によってこの第2のプラズモン・モードが事前に抑制又は最小化されるために、差異化光信号は、第1の界面上のみに強度を集結させる。
典型的には、可能性としては、全ての実施形態では、非相反処理領域も、入力幅及び/又は入力幅の平均幅が差異化幅Wdに実質的に等しい形状を有し、少なくとも部分的に、2つの処理界面は、異なる形状を有する。
他の種類の構成は、第1のプラズモン・モード及び第2のプラズモン・モードの互いに対する信号の差異化を可能にするものであり、本発明内で使用してそのような差異化を実行し、差異化光信号を生成することもできる。
本発明は、小型高性能非相反光学構成要素を、フォトニック回路、例えば、アイソレータ又はサーキュレータ内に、特に、広い意味で平面で、単純な技術方法で集積することが可能である。フォトニック回路は、例えば、単純レーザー、又は更には多数の光誘導機能を含む回路とし得る。
提案する解決策は、主要な利点を有し、特に、
- そのような構成要素は、かなり小型(近赤外で動作させる場合、数ミクロンから数十ミクロン)とすることができ、誘導光の損失も制限し得る、
- 光学機能は、広帯域(数十ナノメートルのスペクトル範囲)である一方で、現在提案する高性能アイソレータは、数分の1ナノメートルにわたり共鳴動作する。スペクトル帯域は、アイソレータでは調節可能であり、サーキュレータではかなり広い、
- いくつかのバージョン(例えば、FeCo-シリカ-FeCo)では、構造は、標準的な製造方法及びいくつかのステップであらゆるフォトニック・プラットフォームに集積でき、残留磁化で動作し得る、
- 長さが数ミクロンである構造の典型的な隔離率は、広帯域では約10dBに達し、「カスケード可能」(加算可能)である。あらゆる特定の最適化の前でさえ、隔離/損失の妥協点は、通常のプラズモン構造と比較してかなり高い。本発明は、例えば、10dBのアイソレータでは約5dBの合計損失レベルを可能にする。この損失レベルは、増幅によって容易に補償し得る。
好ましくは、強制ではないが、選択領域は、第1のプラズモン・モードが入力信号のLRSPP型モードに対応するように構成される。
好ましい特徴によれば、差異化コア及び/又は処理コア(好ましくは両方)は、誘電材料から作製され、これらの外側材料は、1つ又は複数の金属材料から作製される。したがって、MIM(「金属-絶縁物-金属」の略)又はMDM(「金属-誘電体-金属」の略)とも呼ばれる「スロット」と呼び得る種類の構造が得られる。
代替的に、差異化コア及び/又は処理コア(好ましくは両方)は、金属材料から作製され、これらの外側材料は、1つ又は複数の誘電材料から作製される。したがって、IMI(「絶縁物-金属-絶縁物」の略)又はDMD(「誘電体-金属-誘電体」の略)とも呼ばれる「リブ」又は「ワイヤ」と呼び得る種類の構造が得られる。
どちらの場合も、これらの材料は、材料の間に磁気光学効果を実装するプラズモン誘導界面を生成するように選択される。
好ましくは、強制ではないが、差異化コアは、下側層と上側層との間に含まれる平面又は2次元層内に完全又は部分的に生成され、前記コア内に誘導路をもたらす界面は、前記層に直交する平面又は2次元表面を形成する。したがって、誘導界面は、特に、磁気プラズモン界面は、構成要素の1つの同じ製造層の内側に「垂直」面を形成する。したがって、2つの重ねられた層の間に構成する形状を製造する必要がある場合よりも、これらの界面に対して所望の形状の製造が容易である。
上側層及び/又は下側層は、空気又は真空によって構成し、したがって、覆われていない及び/又は懸架された誘導路を形成し得ることに留意されたい。
吸収による処理
第1の群の実施形態によれば、第1の処理界面は、例えば、ヘルムホルツ及び/又はファブリ・ペロー型の1つ又は複数の吸収空洞を含む形状を有する。
この空洞又はこれらの空洞は、例えば、決定周波数の光信号を完全又は部分的に吸収するように構成された形状を有する。特に、同じ寸法を有する、信号の大部分を吸収するように決定されたいくつかの空洞があってよい。
空洞は、可能性としては、複数の異なる周波数、特に相互にシフトした複数の周波数を含む光信号を完全又は部分的に吸収するようにようにも構成され、前記処理界面が、決定周波数範囲内の全ての信号を吸収するようにする。この場合、異なる寸法を有し、複数の波長を吸収し、したがって、より広範な周波数帯域上で作用するように決定されたいくつかの空洞又は空洞の群があってよい。
この場合、第2の処理界面は、1つ又は複数の前記決定周波数の光信号の通過を可能にするように構成された形状を有する。
したがって、1つ又は複数の周波数が一方の方向で遮断されるが、もう一方では遮断されない構成要素が得られる。
好ましくは、第1の光導波路又はポート及び第2の光導波路又はポートはそれぞれ、選択領域と差異化領域とを含み、少なくとも1つの第1の処理領域によって互いに連結され、少なくとも1つの第1の処理領域の第1の処理界面は、1つ又は複数の決定周波数の光信号を完全又は部分的に吸収するように構成され、少なくとも1つの第1の処理領域の第2の処理界面は、前記光信号の通過を可能にするように構成される。この場合、第1の光ポートの処理領域は、第2の光ポートの処理領域を形成するとみなし得る。
したがって、第2の光ポートの選択領域及び差異化領域は、逆方向で到達する光信号に対して同じように作用する。選択領域及び差異化領域は、それぞれ、第1のプラズモン・モードを選択し、次に、第2の方向から見て第1の界面上、即ち、第1の方向から見て第2の界面に第1のプラズモン・モードを集結させる。
したがって、所与の周波数又は周波数範囲の場合、処理界面の1つが吸収界面である一方で、もう一方の処理界面が通過界面である場合、(外方向を形成する)第2の方向で通過させ、(アイソレータの戻り方向を形成する)第1の方向で遮断する光アイソレータが得られる。
そのようなアイソレータは、例えば、レーザー源を含む集積回路に組み込むことができ、レーザーが放出した信号を外方向で通過させる一方で、戻り方向で戻る可能性がある反射を遮断することを可能にし、例えば、戻り光によるコヒーレンス損失の危険性のない電力機能を可能にする。適用例は、例えば、電気通信、及び特に、フォトニック回路へのレーザー又は半導体増幅器のモノリシック集積である。
迂回路による処理
第2の群の実施形態によれば、第1の光ポートの第1の処理界面は、第2の処理界面に対して迂回路を形成する形状を有する。そのような迂回路は、例えば、第1の処理界面が異なる光ポートで終わる、又は異なる距離を進行する、又は更なる若しくは異なる処理を組み込むように構成される。
ある特徴によれば、第1の光ポートの第1の処理界面は、第1の光ポートを第2の光ポートと接続する形状を有し、第1のポートから到来する差異化光信号を誘導し、前記第2のポートを介して出力光信号を放出する。この点に関し、前記第1の光ポートの第2の処理界面は、第1の光ポートを第3の光ポートと接続する形状を有し、前記第3のポートから到来した差異化光信号を受信し、差異化光信号を第1のポートを介して出力光信号として放出し、したがって、光サーキュレータを生成する。
同じ構成を構成要素の光ポートのそれぞれに適用することによって、例えば、最後の光ポートが第1の光ポートに迂回する場合、各入力信号を後続の光ポートに、可能性としては環状に、迂回させるサーキュレータが得られる。
したがって、例えばマイクロ流体回路と組み合わせて、フォトニック回路上の機能と、例えば連続センサ又は生物学的検出機能とを掛け合わせた集積光サーキュレータを生成することが可能である。したがって、集積サーキュレータ機能は、かさばりが追加されずに回路の機能を波及させることを可能にする。
異なる界面長さを与えるように構成した異なる形状を有する2つの処理界面を生成することによって、位相シフトを得ることも可能である。
集積回路
別の態様によれば、本発明は、集積光回路内に集積されるように生成された、本明細書で開示する1つ又は複数の非相反光学構成要素を備えるデバイスを提案する。
互いに組み合わせ得る特徴によれば、
- この集積光回路は、少なくとも1つの集積レーザー・エミッタを含み、本明細書で開示する非相反吸収を伴う少なくとも1つの非相反光学構成要素を備え、該非相反光学構成要素は、前記レーザーに接続され、前記レーザーが放出した光信号を一方向で通過可能にする一方で、もう一方の方向で前記レーザーに戻る光信号を防止又は低減する、
- この集積光回路は、集積されるように生成又は接続された複数のセンサと、前記センサの少なくとも2つと接続された、本明細書で開示する迂回路を有する又はサーキュレータ型の少なくとも1つの非相反光学構成要素とを備える、
- この集積光回路は、本明細書で開示する迂回路を有する又はサーキュレータ型の少なくとも1つの非相反光学構成要素を備え、非相反光学構成要素は、例えば、信号処理分野において、マイケルソン干渉計を完全又は部分的に集積式に生成するように接続又は構成される。
また別の態様によれば、本発明は、光信号を処理する方法を提案し、方法は、本明細書で開示する少なくとも1つの非相反光学構成要素、又は本明細書で開示するデバイス内を通過させることによる、前記光信号の処理を含むことを特徴とする。
本発明の各種態様は、本明細書に開示された種々の任意の特徴を、その全ての可能な組み合わせにより、組み入れることが想定される。
本発明の他の特徴及び利点は非制限的な実施態様の詳細な記載、及び添付図面から明らかとなるであろう。
本発明による構成要素の光ポートの様々な領域を示す概略部分上面図である。 第1の群の例示的実施形態によるアイソレータ型の構成要素を示す概略上面図である。 アイソレータ型の構成要素の処理領域を示す光導波路の斜視図である。 アイソレータ型の構成要素の処理領域を示す光導波路の断面図である。 第2の群の例示的実施形態によるサーキュレータ型の構成要素を示す概略上面図である。 本発明による構成要素の材料の第1の例示的構成を示す光導波路の概略断面図である。 本発明による構成要素の材料の第2の例示的構成を示す光導波路の概略断面図である。 本発明による構成要素の材料の第3の例示的構成を示す光導波路の概略断面図である。 本発明による構成要素の材料の第4の例示的構成を示す光導波路の概略断面図である。
本発明は、非相反伝送を伴う誘導磁気光学プラズモン構成要素の新たな構造に関する。
この例では、基本構造は、金属-絶縁物-金属(MIM)型とも呼ばれる金属-誘電体-金属型のサブ波長誘導路によって構成され、誘電体又は金属のいずれかが、当該の周波数範囲内の磁気光学特性を有する。
この構造は、フォトニック回路から独立して、又はフォトニック回路内に集積される平面光アイソレータ又はサーキュレータの生成を可能にし、広いスペクトル範囲にわたり動作する。
本明細書において非相反作用を引き起こす現象は、MIMの磁気プラズモン・モードの非対称空間分布現象に対して特別に適合された使用法であり、材料MOの磁化及び伝搬波の偏光がTMOKE効果(層面に平行な磁化、及びこの層面及び磁化に直交する波の偏光)を生成するように選択された際に得られる。しかし、(この例では)MIM内に伝搬する2つのモード、即ち偶数モード及び奇数モードは、反対の非対称を有する。このため、2つのモードは、両方が同時に励起される際、従来の信号内では互いを補償する。
非相反伝送を得るためにこの物理現象を利用するには、信号は、2つのモードの一方のみが励起されるように処理される。この選択処理は、ここでは、MIM誘導路の入力において、狭い又は細くなる誘導路を通じて、プラズモン・モードの一方のみ、即ち、偶数モードのみ又は奇数モードのみを選択することによって実行される。実際、偶数モードの実効屈折率及び奇数モードの実効屈折率は、かなり細い誘導路では著しく異なる。この場合、選択されたモードは、想定されるモードに対応する実効屈折率を生成する開口の使用によって選択される。
図1は、包括的な形態で、単一光ポートP1のみを詳述する例示的非相反構成要素1を示す。
この光学構成要素1は、第1のポートP1と第2のポートP2とを備え、第1のポートP1及び第2のポートP2は、これらの間で光を伝達する。したがって、これらの光ポートは、誘導光回路内で前記構成要素の接続を形成する。この回路は、光ポートに接続される外部光ファイバによって形成し得る。この回路は、高度の小型化を可能にするモノリシック集積回路も形成し得る。したがって、この光回路において、この構成要素1を、一方では入力光信号OS0が第1の方向で通過し、もう一方では第1の方向とは反対の第2の方向で、逆入力信号OS0Bが通過し得る。
この包括的な例において、2つの光ポートP1及びP2は、各入力信号OS0及びOS0Bが、反対極を介して出力信号OS9及びOS9Bの形態で出るように、互いに通じていると仮定する。しかし、この構成要素は、例えば図4に示すように互いに異なって通じている3つ以上のポートを絶対に有し得る。
ポート間の光の伝達は、一方の側の外側材料を有する横界面110、210、310と、もう一方の側の外側材料を有する横界面120、220、320との間に光導波路を形成する誘導路材料10、20、30によって実行される。
図示のように、この構成要素1の第1のポートP1を介して入る入力光信号OS0は、複数の領域R1、R2、R3を連続的に通過し、複数の領域R1、R2、R3は、以下の領域を以下の順番:選択領域R1、差異化領域R2、処理領域R3で含む。
入力光信号OS0は、第1の光ポートP1を介して到達すると、選択領域(R1)に入る。この選択領域は、ここでは、選択コア10によって形成され、選択コア10は、左横界面11と右横界面12との間で受信した信号を誘導する。
この選択領域(R1)は、入力信号OS0を受信する入力部(R10)を有する。選択領域(R1)は、入力で受信した信号のための、誘導モードの入力光インピーダンス、例えば入力実効屈折率z0effを有する誘導路を形成する。この入力部は、ここでは、光学的にのみ動作する誘導路を含むが、磁気プラズモン・モード式にも動作し得る。次に、光信号は、出力部R12に伝搬し、出力部R12は、2つの磁気プラズモン界面の間に生成される磁気光学プラズモン誘導路を形成する。
入力部R10及び出力部R12は、選択開口(R11)を介して互いに通じ、選択開口(R11)は、典型的には(この選択領域R1の)入力幅WR0よりも細い、決定された選択幅Weを有する。したがって、入力光信号OS0は、選択開口R11を通じて、選択光信号OS1と呼ばれる光信号を励起し、選択光信号OS1は、差異化領域R2に向かって出力部R12内を伝搬する。ここでは、この出力部R12は、差異化領域R2の出発部R20と合流するとみなし得る。
このように磁気プラズモン誘導モードで伝搬するこの選択光信号OS1は、第1のプラズモン・モードと第2のプラズモン・モードとの間に分配されるエネルギーを有する。
これら第1のプラズモン・モード及び第2のプラズモン・モードの一方は、LRモード(又は「長距離表面ポラリトン・プラズモン」の略のLRSPP)、好ましくは、第1のプラズモン・モードである。これら第1のプラズモン・モード及び第2のプラズモン・モードのもう一方は、SRモード(又は「短距離表面ポラリトン・プラズモン」の略のSRSPP)、好ましくは、第2のプラズモン・モードである。
この選択開口R11の幅Weは、選択領域R1の出力部R12の他の特性と組み合わせて、選択光信号OS1のための、例えば選択実効屈折率の形態で選択光インピーダンスz1effを決定する。
これらの特性、特に幅Weは、選択光インピーダンスz1effを生成するように選択され、
〇 第1のプラズモン・モードは、誘導モードの第1の光インピーダンスz1eff、例えば、入力光インピーダンスz0effに実質的に等しい第1の実効屈折率を有し、
〇 第2のプラズモン・モードは、例えば、第1の光インピーダンスz1effとは著しく異なる第2の実効屈折率の形態で、誘導モードの第2の光インピーダンスz2effを有する。
したがって、入力信号OS0は、出力部R12内で、選択開口R11を通じて、第1のプラズモン・モード単独に従って光モードを励起する。即ち、第1のプラズモン・モードは、第2のプラズモン・モードを除外したものであるか、又は第2のプラズモン・モードの振幅よりも著しく大きい振幅、典型的には100倍の強度の振幅を有する。
したがって、実質的に第1のプラズモン・モードのみを含む選択光信号OS1が得られる。
2つの太黒矢印によって示されるように、この信号OS1は、必ずしも一様ではないが、2つの選択界面11、12にわたって分配されるエネルギーを有する。実際、当該周波数の場合、(第1のモードを選択可能にするため、エネルギーが2つのプラズモン・モードの間でかなり不均一に分配されるように選択された)選択光インピーダンスz1effに関して、一般的に、2つの磁気プラズモン界面の間にかなりわずかな空間非対称しかない。
差異化領域R2は、入力R20において、選択領域R1から到来した選択光信号OS1を受信し、選択光信号OS1を出力部R32に誘導する。出力部R32では、選択光信号OS1は、差異化光信号OS2と呼ばれる光信号を形成する。
この誘導は、差異化コア20と呼ばれる誘導コア内で生じ、差異化コア20は、2つの反対の側に位置する差異化界面21、22と呼ばれる2つの横界面の間に延在する。
これらの差異化界面21、22は、それぞれ、コア材料と少なくとも1つの外側材料との間に形成され(典型的には両方の側で同じ材料である)、一方は、誘電体20であり、もう一方は、金属材料210、220であり、これらは、磁気プラズモン誘導をそれらの間に生成するように選択、構成される。この例では、差異化界面21、22は、TMOKE効果に関連し、TMOKE効果は、磁化Mを引き起こすことによって、例えば、差異化界面21、22を磁界にさらすことによって、又は残留磁気効果の下で得られる。
図示のように、差異化領域R2は、入力幅Weから差異化幅Wdまでの幅が増大する形状を有する。この広がりは、例えば、差異化コアの周囲で対称である、及び/又は連続的に増大し、好ましくは、規則的に増大する。
この差異化幅Wdは、この差異化領域R2の他の特性と組み合わせて、第1のプラズモン・モードの選択光信号OS2が、前記差異化界面の間で、例えば、一方の界面からもう一方の界面に対して100倍という、大きな空間の振幅の非対称を有するように選択される。
この例では、この出力部R22は、差異化光信号OS2のエネルギーが右界面、即ち、差異化界面21上に集結するように構成される。この非対称は、左界面及び右界面上の差異化信号OS2エネルギーの分配を表す矢印、即ち、右界面21~31上の太矢印、及び左界面22~32上の細矢印によって示される。
この段階では、理解されるように、選択領域R11は、最初に、単一プラズモン・モードで入力光信号OS0のエネルギーを集結させており、次に、エネルギーは、差異化領域R2内で、単一横界面、ここでは、図の右に位置する第1の差異化領域21上に集結した。
非相反処理領域R3は、入力R30において、差異化領域R2から到来した差異化信号OS2を受信し、差異化信号OS2を処理部31を介して出力領域R32に誘導する。出力領域R32では、差異化信号OS2は、処理光信号OS3と呼ばれる光信号を形成し、少なくとも1つの第1の処理界面31と第2の処理界面32との間に延在する処理コア30と呼ばれる誘導コアを介する。
この例では、差異化幅Wdは、非相反処理領域R3の入力幅に実質的に等しい、及び/又はこの非相反処理領域R3の平均幅、例えば、2つの処理界面31、32が互いに異なる形状を有する非相反処理領域R3の一部に実質的に等しい。
典型的には、処理領域R3の入力R30は、差異化領域R2の出力R22と合流するとみなし得る。
第1の処理界面31は、第1の差異化界面を延在させ、第2の処理界面32は、第2の差異化界面22を延在させる。
これら2つの非相反処理界面31、32は、それぞれ処理コア材料30と外側材料310、320との間に形成され、このうち、一方は、誘電体であり、もう一方は、金属であり、ここでは、差異化領域R2の場合と同じである。
非相反処理界面31、32は、これらの間に磁気プラズモン誘導をもたらすように構成、決定される。この例では、材料及び/又は磁化の構成は、横の形状を除き、差異化領域の構成と同じである。
更に、非相反処理界面31、32は、前記処理領域R3の入力R30と出力R32との間に、互いに等価ではない形状319、329を有するように構成される。
したがって、この図では、第1の処理界面31は、斜線楕円形によって示される、第1の処理形状を有する領域319を通過する。したがって、同様に、第2の処理界面32は、斜線楕円形によって示される、第2の処理形状を有する領域329を通過し、第2の処理形状は、第1の処理形状がもたらす処理とは異なる処理をもたらすように決定される。
概して、これら2つの処理形状319、329は、処理形状319、329の長さ全体にわたり、信号に対して異なる効果を生成するように選択、決定される。この差は、好ましくは、1つの同じ構成の材料及び/又は磁化における異なる形状によって得られる。代替的に、又は組合せにおいて、この差は、異なる材料及び/又は異なる磁化によっても得ることができる。
したがって、図から理解されるように、この非相反処理部R3は、出力において、第1の方向で、処理光信号OS3を供給し、この振幅の処理光信号OS3は、第1の処理界面21単独の形状によってもたらされる第1の処理を受けている。この第1の処理の結果は、ここでは、第1の処理区域319の出力における右界面31上で、正方形破線を有する太矢印によって示される。
図の左の第2の処理界面32上では、初期の信号OS0は、細破線矢印によって示されるように、第2の処理区域329を通過するエネルギーを含まないか、又はかなり弱い一部のエネルギーしか含まない。
第2の方向又は逆方向では、図は、概して、例えば入力信号OS0と同一である逆入力信号OS0Bの通過を示し、逆入力信号OS0Bは、差異化逆信号OS2Bとして入り、次に、太灰色矢印によって示される逆方向で、即ち、ここでは図の上から底まで、これら同じ領域R3、R2、R1を通過する。
したがって、差異化逆信号OS2Bが第2の処理界面32上で非ゼロ成分を有するという条件で、この差異化逆信号OS2Bは、第2の処理を受け、ここでは丸点を有する太矢印によって示される処理逆信号OS3Bの形態で出る。
この逆信号OS2Bも、それ自体、右に位置する界面上に集結した場合、次に、第2の区域329の第2の処理のみを受け、第1の光ポートP1を介して、第2の処理のみを受けた逆出力信号OS9Bの形態で出る。
したがって、理解されるように、この構成要素1は、出力において、逆出力信号OS9Bを供給し、逆出力信号OS9Bは、第1の方向で進行する処理信号OS9が受けた処理とは異なる処理を受けている。2つの反対方向でこの構成要素1の第1の光ポートP1を通過する入力信号OS0及び逆入力信号OS0Bは、入力で同一であるとしても、異なる出力OS9及びOS9Bから2つの形態で出る。
この逆信号OS2Bが右界面のみに事前に集結されていない場合、逆信号OS2Bも、第1の処理区域319内で第1の処理を受けることができることに留意されたい。しかし、出力信号OS9Bは、第1の処理319及び第2の処理329を受けたエネルギーから構成される。したがって、出力信号OS9Bは、入力信号OS0とは異なる処理を受けており、異なる形態でOS9Bとして出る。
例示的アイソレータ
図2は、構成要素2に2つのポートを施した、第1の群の例示的実施形態を示し、2つのポートは、互いの間にのみ通じている。
この例では、第2の光ポートP2は、選択領域R1B及び差異化領域R2Bを含み、選択領域R1B及び差異化領域R2Bは、第1の光ポートP1の領域R1及びR2の機能と同様の機能を有し、例えば、同一である。
第2の光ポートP2の差異化領域は、第1のポートP1の非相反処理領域R3及び第2のポートP2の非相反処理領域R3Bを形成する共通領域によって互いに連結されている。
互いに結合された2つの選択ポート及び差異化ポートを含む実施形態において、この図は、非相反処理領域R3、R3Bが、方向319における吸収及び逆方向329における伝送をもたらすように構成される特定の例を示す。
この概略的な例では、第1の処理界面31は、空洞311を有し、空洞311は、この磁気プラズモン界面31上の空洞311に到達する信号OS2を完全又は部分的に吸収するように構成される。空洞311を出た処理信号OS3、したがって、出力信号OS9は、こうして弱められるか又は更には存在せず、第1のポートP1を介する入力に対して遮断方向をもたらす。
この概略的な例では、第1の処理界面31は、吸収空洞311を含む形状を有し、吸収空洞311は、この磁気プラズモン界面31上の空洞311に到達する決定周波数の光信号OS2を完全又は部分的に吸収するように構成される形状を有する。空洞311を出た処理信号OS3、したがって、出力信号OS9は、こうして弱められるか又は更には存在せず、第1の光ポートP1を介する入力に対して遮断方向をもたらす。
この点に関し、第2の処理界面32は、まっすぐな等辺等角の形状を有し、逆入力光信号OS0Bの通過を可能にするように構成される。逆入力光信号OS0Bは、光信号の伝搬方向から見て右側にあるので、第2の界面32上に集結するOS2Bである。したがって、処理された逆信号OS3Bは、そのまま伝送され、逆出力信号OS9Bの形態で出る。逆出力信号OS9Bは、実質的にそのままであるか、又は逆入力信号OS0を少なくとも表し、したがって、第2の光ポートP2を介する入力のための通過方向をもたらす。
図3aは、第1の処理界面311’の形状がいくつかの空洞を有する同様の例を示す。図3aの例は、特に、同じ寸法を有する、決定周波数の信号の大部分を吸収するためのいくつかの空洞を有する。この例では、第1の処理界面31も、複数の吸収空洞を含み、複数の吸収空洞は、異なる周波数、特に相互にシフトした複数の周波数を含む光信号を完全又は部分的に吸収するように寸法決定され、前記処理界面が、決定周波数範囲内の全ての信号を吸収するようにする。
したがって、この範囲内の決定周波数(又は周波数のサブ範囲)に対応する各寸法は、より広範な帯域に対する遮断処理を得る。
そのような吸収空洞311、311’は、例えば、限定はしないが、均一若しくは異なる種類のヘルムホルツ又はファブリ・ペロー型のものである。
更に、多くの組合せの空洞、例えば、細く、深い吸収のためのいくつかの同一の空洞、及び/又は互いに離間するいくつかの個別の吸収範囲、が可能である。
図3a及び図3bの例では、第2の処理界面32は、第1の処理界面31によって吸収される1つ又は複数の周波数を有する光信号を通過可能にするように構成された形状を有する。したがって、理解されるように、この構成要素は、第1の界面31によって吸収される範囲内に位置するあらゆる光信号のための光アイソレータを形成する。
そのようなアイソレータは、例えば、第2のポートP2に接続されるレーザー源S0を隔離し、第1のポートP1を介して光回路にレーザー源S0を注入し得る。この場合、このレーザー源は、このアイソレータの通過方向又は「外」方向を構成する第2の方向で放出する一方で、第1のポートP1を介して回路から到達する戻り光は、第1の方向又は「戻り」方向で遮断される。
本明細書では詳述しない他の例示的な実施形態では、第2の処理界面自体も、異なる特性で吸収空洞を有し得る。例えば、特定の周波数を一方向で遮断し、もう一方の方向で他の周波数を遮断する。
サーキュレータ
図4は、構成要素に3つ以上のポートを施した、第2の群の例示的実施形態を示し、3つのポートは、互いの間で通じている。
この第2の群では、1つの同じ処理領域R3の2つの処理界面31、32の間の処理の差は、これら2つの界面が迂回路の形態で処理をもたらすことによって形成することである。即ち、詳細には、処理界面31、32は、同じ場所、特に同じ光ポートに通じていない。
そのような構成要素において、第1の光ポートP1の第1の処理界面31は、第2の処理界面32に対する迂回路を形成する形状を有し、特に、第1の処理界面31は、この第2の処理界面32が到達するポートP3とは異なる光ポートP2で終わる、又は異なる距離を進行する、又は更なる若しくは異なる処理を組み込む。
図4の例では、3つの光ポートP1、P2及びP3は全て互いに通じている。各光ポートP1、P2、P3は、独自の選択領域R1、R1B、R1Cと、次に独自の差異化領域R2、R2B、R2Cと、差異化領域R2、R2B、R2Cを離れた後の処理領域R3、R3B、R3Cとを含み、処理領域R3、R3B、R3Cは、隣接するポートの領域と通じている。
3つのポートのそれぞれの誘導コアは、ここでは一種の各ポートの分岐部を生じさせる星形を形成する連続材料の形態で、隣接ポートのコア内に延在し、隣接ポートのコアと通じている。これらの分岐部のそれぞれは、非相反処理コアを形成し、2つの処理界面によって囲繞される。各光ポート、例えば、P1に関して、第1の処理界面31は、コアの外周部上に延在し、第1の側の隣接する光ポートの第2の処理界面32Bになる一方で、第2の処理界面32は、コアの外周部上に延在し、もう一方の側、即ち、第2の側の隣接する光ポートの第1の処理界面31Cになる。
したがって、入力光信号を受信する各光ポートは、第1の処理界面に沿って、第1の側の隣接する光ポートの方に入力光信号を伝える一方で、第2の処理界面に沿って、第2の側の光ポートから到来する出力光信号を受信し得る。理解されるように、光信号サーキュレータはこのように得られ、ここでは、3つのポートの間に循環を有する。
したがって、第1の光ポートP1に入る第1の信号OS0は、第1のポートP1の第1の処理界面31を介して、第2のポートP2の第2の界面32Bの方に伝えられ、第2のポートP2を離れてOS9になる。
この点に関し、第2の光ポートP2に入る第2の信号OS0Bは、第2のポートP2の第1の処理界面31Bを介して、第3のポートP3の第2の界面32Cの方に伝えられ、第3のポートP3を離れてOS9Bになる。
第3の光ポートP3に入る第3の信号OS0Cは、第3のポートP3の第1の処理界面31Cを介して、第1のポートP1の第2の界面32の方に伝えられ、第1のポートP1を離れてOS9Cになる。
この例は、3つのポートを有するが、高精度の技術的方法の実装形態によって可能になる4、5、6、7、8又は任意の整数値を含む任意の数のポートの例示であると理解されたい。
ここに詳しく述べられていない他の実施態様においては、全て又はいくつかの処理界面は、いくつかの処理のタイプ、例えば、迂回路及び吸収を組み合わせる及び/又は互い違いにする。
例えば、特定のポートを介して入る信号が迂回される一方で、他の信号が吸収される構成要素、及び/又は特定の周波数が吸収される一方で他の周波数が迂回される構成要素を生成することが可能である。
本明細書に示す例は、各ポートが放出ポート、及び別の受信ポートと通じている限り、「完全」と分類し得る循環に関する。不完全な循環の実行、例えば、特定のポートが、例えば、第1の吸収処理界面及び第2の通過処理界面と共に、入力において行き止まりを形成することが想定される。
構成要素1、2、3の内部の光の伝達は、光コア10、20、30内の誘導によって実行され、光コア10、20、30は、光信号がコアと1つ又は複数の材料から作製される環境との間で界面の間で誘導されるコア材料によって形成される。
本例では、この光コアは、下側層C0と上側層C2との間に含まれる平面伝搬層C1内のコア材料によって生成される。
光信号は、下側層及び上側層により形成される下側界面及び上側界面によってこの伝搬層C1内に閉じ込められる。典型的には、これらの界面は、平面であるか又は少なくとも2次元であり、したがって、下側界面及び上側界面が均一である及び/又は規則正しい平面誘導路を形成する。
これらの例では、伝搬層C1内側の横方向の閉じ込めは、異なる層C0、C1、C2を横断する平面又は2次元表面を形成する横界面によって具現化される。伝搬層C1の内側には、これらの横界面は、信号の伝搬方向に沿って変化する形状を有する。
そのような横界面を有する平面誘導路の構成は、特に有利である。というのは、特に、例えば伝搬層の製造中にフォトリソグラフィを単に行うことによって、あらゆる形状、可能性としてはかなり複雑な形状を容易にもたらすことが可能であるためである。
図5から図7に示す例では、下側層及び上側層は、中実層であり、一方のC0は基板であり、もう一方は、カバー層である。図8に示す例では、伝搬層C1は、環境の空気によって形成される2つの層の間、即ち、下側層と上側層との間に懸架される。
磁気プラズモン構造
図5から図8は、本発明による構成要素、例えば、図1、図2及び図4の構成要素に対し、磁気プラズモン界面を生成するために使用し得る磁気プラズモン構造の例を示す。
現在の好ましい実施形態、特にここで示す実施形態では、磁気プラズモン誘導コアは、ここでは差異化コア20及び非相反処理コア30のための誘電材料から作製される。この点に関し、外側材料は、1つ又は複数の金属材料から作製される。したがって、MIM(「金属-絶縁物-金属」の略)又はMDM(「金属-誘電体-金属」の略)とも呼ばれる「スロット」と呼び得る種類の構造が得られる。
代替的に、本明細書では断面図で示さない様式では、構成要素をリブ付き構成で生成するか、又は同じ種類の材料によりDMDで生成することもできる。
図5は、差異化領域R2の界面21、22及び非相反処理領域R3の界面31、32に対する、材料の第1の例示的構成を示す。
この構成では、外側材料220、320及び210、310は、ここでは「MP」と称するプラズモン型の金属又はプラズモン型の金属合金であり、特に、金、銀、銅、アルミニウム及びこれらの材料の2、3又は4つの組合せから選択される。
誘導コア20、30の材料は、ここではDMOと称する磁気光学材料型の誘電材料であり、特に、ガーネット酸化物、又は例えば、コバルトフェライトナノ粒子をドープした鉱物シリカ等、フェライト粒子をドープした誘電材料である。
図3a及び図3bは、この構造による例示的アイソレータのための非相反処理部R3を示す。誘導コア30は、軸xに平行な伝搬方向で、例えば、磁気光学ガーネット酸化物型の磁気光学誘電材料から作製される。この磁気光学誘電材料は、ここではビスマス鉄ガーネット(「BIG」)であるが、Bi:YIG又はCe:YIG等の公知の材料を使用し得る。外側材料310、320は、ここでは金(Au)から作製されるため、軸yに沿った横断磁化「M」の効果下、磁気プラズモン界面31、32をもたらす。第1の処理界面31は、1つ又は複数の損失空洞を有し、1つ又は複数の損失空洞は、軸zに沿って外側材料310内に横に延在し、MIM誘導路の壁の一方の壁上に形成される。これらの空洞311’は、異なる寸法、及び各寸法のいくつかの例を有する。空洞は、異なる形状、例えば、特にヘルムホルツ型の長方形を有し得る。
図6は、差異化領域R2の界面21、22及び非相反処理領域R3の界面31、32のための、材料の第2の例示的構成を示す。
この構成では、外側材料は、2つの異なる金属MMO及びMPの層の重ね合わせによって形成される金属構造である。
この場合、これら2つの金属は、
- 一方で、ここではMPと称するプラズモン型の金属又はプラズモン型の金属合金であり、特に、金、銀、銅、アルミニウム及びこれらの材料の2、3又は4つの組合せから選択され、
- もう一方で、ここではMMOと称する磁気光学型の金属、特に、鉄-コバルト合金である。
この場合、コア20、30の材料は、典型的には磁気光学型ではない誘電体であり、ここでは「D」と称し、特に、シリカ、窒化ケイ素、ゲルマニウム、シリコン及びこれらの材料のいくつかの組合せから選択される。
図7は、差異化領域R2の界面21、22及び非相反処理領域R3の界面31、32のための、材料の第3の例示的構成を示す。
この構成では、外側材料は、ここではMMOと称する磁気光学型の金属、特に、鉄-コバルト合金である。
この場合、コア20、30の材料は、典型的には磁気光学型ではない誘電体であり、ここでは「D」と称し、特に、シリカ、窒化ケイ素、ゲルマニウム、シリコン及びこれらの材料のいくつかの組合せから選択される。
図8は、ここでは図7の構成の変形形態の材料の第4の例示的構成を示す。この例では、伝搬層C1は、懸架され、覆われていない。即ち、下側層C0及び上側層C2はそれぞれ、空気又はあらゆる他の周囲雰囲気によって形成される。懸架される及び/又は覆われていない伝搬層C1の特性は、他の磁気プラズモン構造にも適用可能であることを留意されたい。
当然のことながら、本発明は記載された例に限定されず、本発明の範囲を超えないかぎり、該例に多数の改変を施すことができる。
1 非相反構成要素
2 アイソレータ
3 サーキュレータ
10 選択コア
11 第1の界面
12 第2の界面
110 第1の選択界面の外側材料
120 第2の選択界面の外側材料
20 差異化コア
21 第1の差異化界面
22 第2の差異化界面
210 第1の差異化界面の外側材料
220 第2の差異化界面の外側材料
30 非相反処理コア
31 第1の非相反処理界面
32 第2の非相反処理界面
310 第1の非相反処理界面の外側材料
320 第2の非相反処理界面の外側材料
311 吸収空洞
311’ 吸収空洞の群
319 第1の非相反処理の形状
329 第2の非相反処理の形状
31B 第1の非相反処理界面
32B 第2の非相反処理界面(第2の光ポート)
31C 第1の非相反処理界面
32C 第2の非相反処理界面(第3の光ポート)
C0 下側層
C1 伝搬層
C2 カバー層
OS0 第1の入力光信号(戻り信号)
OS0B 第2の入力光信号(逆信号、外方信号)
OS0C 第3の入力光信号
OS1 第1の選択光信号(戻り信号)
OS2 第1の差異化光信号(戻り信号)
OS3 第1の処理光信号(戻り信号)
OS9 第1の出力光信号(戻り信号)
OS1B 第2の選択光信号(逆信号、外方信号)
OS2B 第2の差異化光信号
OS3B 第2の処理光信号
OS9B 第2の出力光信号
OS1C 第3の選択光信号
OS9C 第3の出力光信号
P1 第1の光ポート
P2 第2の光ポート
P3 第3の光ポート
R1 選択領域
R10 (選択領域の)入力部
R11 (選択領域の)選択開口
R12 (選択領域の)選択部
R2 差異化領域
R20 (差異化領域の)入力部
R22 (差異化領域の)出力部
R3 非相反処理領域
R30 (処理領域の)入力部
R32 (処理領域の)出力部
R1B 選択領域(第2の光ポート)
R1C 選択領域(第3の光ポート)
R2B 差異化領域(第2の光ポート)
R2C 差異化領域(第3の光ポート)
R3B 非相反処理領域(第2の光ポート)
R3C 非相反処理領域(第3の光ポート)
S0 レーザー源
Wd 差異化幅
We 選択幅
R0 選択領域R1の入力幅

Claims (21)

  1. 光学構成要素(1、2、3)であって、前記光学構成要素(1、2、3)は、少なくとも1つの第1のポート(P1)又は光導波路と、第2のポート(P2)又は光導波路とを備え、前記第1のポート(P1)又は光導波路、及び前記第2のポート(P2)又は光導波路は、非相反式に互いの間で光を伝達し、誘導される光回路内に前記構成要素を接続するか又は前記構成要素の接続を可能にし、前記少なくとも1つの第1のポート(P1)又は光導波路、又は前記第2のポート(P2)又は光導波路は、少なくとも1つの磁気プラズモン誘導領域を通じて、一方の第1の方向、及びもう一方の前記第1の方向とは反対の第2の方向で前記光回路と光信号を交換できるようにし、
    前記構成要素は、前記第1の方向で前記第1の光ポートから前記第2の光ポートの方に進行する光信号が連続的に通過し得る複数の領域を含み、前記領域は、少なくとも、順に、
    - 選択領域(R1)と、
    - 差異化領域(R2)と、
    - 非相反処理領域(R3)と
    を含み、
    前記選択領域(R1)は、
    〇 入力(R10)において、入力光インピーダンスz0effに従って伝搬する入力光信号(OS0)を受信し、
    〇 出力(R12)において、プラズモン誘導により、選択光信号(OS1)と呼ばれる光信号を放出する
    ように構成され、前記光信号(OS1)は、一方のLRモードと規定される第1のプラズモン・モードと、もう一方のSRモードと規定される第2のプラズモン・モードとを含み、
    前記第2のプラズモン・モードは、ゼロ又は前記第1のプラズモン・モードよりも著しく小さい振幅を有し、
    前記差異化領域(R2)は、入力(R20)において、前記選択領域(R1)から到来した、選択された前記光信号(OS1)を受信し、前記光信号(OS1)を出力部(R32)に誘導するように構成され、前記出力部(R32)では、前記光信号(OS1)は、差異化コア(20)と呼ばれる誘導コアによって、差異化光信号(OS2)と呼ばれる光信号を形成し、前記差異化コア(20)は、差異化界面(21、22)と呼ばれる少なくとも2つの界面の間に延在し、
    前記差異化界面は、
    〇 コア材料と少なくとも1つの外側材料との間に形成され、前記コア材料及び前記少なくとも1つの外側材料のうち、一方は、誘電材料であり、もう一方は金属材料であり、
    〇 2つの反対の側に位置し、
    〇 磁気光学効果を伴う磁気プラズモン誘導を前記材料の間にもたらすように決定され、
    前記出力部(R22)は、前記差異化界面の間に、差異化幅Wdを有するように構成され、前記差異化幅Wdは、前記第1のプラズモン・モードの信号が、前記差異化界面の間に、決定された閾値より大きい非対称の振幅を有するように選択され、
    前記差異化領域は、出力において、差異化信号(OS2)と呼ばれる非対称光信号を供給し、前記振幅の差異化信号(OS2)は、前記第1の差異化界面(21)上に集結され、
    前記非相反処理領域(R3)は、入力(R30)において、前記差異化領域(R2)から到来した前記差異化信号(OS2)を受信し、前記差異化信号(OS2)を処理部(31)を介して出力領域(R32)に誘導するように構成され、前記出力領域(R32)では、前記差異化信号(OS2)は、処理光信号(OS3)と呼ばれる光信号を形成し、
    少なくとも1つの第1の処理界面(31)と第2の処理界面(32)との間に延在する処理コア(30)と呼ばれる誘導コアを介して、
    前記処理界面(31、32)は、
    〇 それぞれ、処理コア材料(30)と外側材料(310、320)との間に形成され、前記処理コア材料及び前記外側材料のうち一方は、誘電体であり、もう一方は金属であり、
    〇 第1の差異化界面(21)及び第2の差異化界面(22)のそれぞれと同じ2つの反対の側に位置し、
    〇 磁気プラズモン誘導を前記材料の間にもたらすように決定され、
    〇 前記処理領域(R3)の入力(R30)と出力(R32)との間に、互いに等価ではない形状(319、329)を有するように構成され、
    前記非相反処理部(R3)は、出力において、処理光信号(OS3)を第1の方向で供給し、前記振幅の処理光信号(OS3)は、前記第1の処理界面(21)単独の形状によってもたらされる処理を受けている一方で、
    逆信号と呼ばれる、前記第2の方向で前記処理領域(R3)を通過する信号(OS2B)は、前記第2の処理界面(32)単独の形状、又は前記2つの処理界面の両方によってもたらされる処理を受け、処理された逆信号(OS3BB)を供給し、前記処理された逆信号(OS3BB)は、前記第1の方向で進行する前記処理信号(OS3)が受けた処理とは異なる処理を受けていることを特徴とする、構成要素(1、2、3)。
  2. 前記選択領域(R1)は、
    - 入力で受信する信号のため、入力光インピーダンスz0effを有する誘導路を形成する入力部(R10)と、
    - 2つの磁気プラズモン界面の間に磁気光学プラズモン誘導を形成する出力部(R12)と
    を有し、前記入力部(R10)及び前記出力部(R12)は、選択幅(We)を有する選択開口(R11)を介して通じており、前記入力光インピーダンスz0effの値及び前記選択幅(We)の値は、
    〇 前記第1のプラズモン・モードが、前記入力光インピーダンスz0effに実質的に等しい第1の光インピーダンスz1effを有し、及び、
    〇 前記第2のプラズモン・モードが、前記第1の光インピーダンスz1effとは著しく異なる第2の光インピーダンスz2effを有する
    ように選択され、前記入力信号(OS0)は、前記出力部(R12)において、前記選択開口(R11)を通じて、前記第1のプラズモン・モードに従った光モードを励起し、選択光信号(OS1)を形成し、前記第1のプラズモン・モードは、前記第2のプラズモン・モードを除外したものであるか、又は前記第2のプラズモン・モードの振幅よりも著しく大きい振幅であることを特徴とする、請求項1に記載の構成要素。
  3. 前記差異化領域(R2)は、前記入力幅(We)から前記差異化幅(Wd)までの幅が増大する形状を有し、
    前記非相反処理領域(R3)は、入力幅及び/又は入力幅の平均幅が前記差異化幅Wdに実質的に等しい形状を有することを特徴とする、請求項1又は2に記載の構成要素。
  4. 前記差異化コア(20)及び/又は前記処理コアは、誘電材料から作製され、前記外側材料(210、220、310、320)は、1つ又は複数の金属材料から作製され、
    前記材料は、磁気光学効果を実装するプラズモン誘導界面を前記材料の間にもたらすように選択されることを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載の構成要素。
  5. 前記差異化コア(20)及び/又は前記処理コアは、金属材料から作製され、前記外側材料(210、220、310、320)は、1つ又は複数の誘電材料から作製され、
    前記材料は、磁気光学効果を実装するプラズモン誘導界面を前記材料の間にもたらすように選択されることを特徴とする、請求項1から4のいずれか一項に記載の構成要素。
  6. 様々な前記コア(10、20、30)は、下側層(C0)と上側層(C2)との間に含まれる平面又は2次元層(C1)内に完全又は部分的に生成され、前記コア内に誘導をもたらす前記界面(21、22、31、32)は、前記層(C0、C1、C2)に直交する平面又は2次元表面を形成することを特徴とする、請求項1から5のいずれか一項に記載の構成要素。
  7. 前記選択領域(R1)は、前記第1のプラズモン・モードが前記入力信号(OS0)のLRSPP型モードに対応するように構成されることを特徴とする、請求項1から6のいずれか一項に記載の構成要素。
  8. 前記第1の処理界面(31)は、1つ又は複数の吸収空洞(311)を含む形状を有し、前記1つ又は複数の吸収空洞(311)は、決定周波数の光信号を完全又は部分的に吸収するように構成された形状を有する一方で、
    前記第2の処理界面(32)は、前記決定周波数の光信号(OS0B)の通過を可能にするように構成された形状を有することを特徴とする、請求項1から7のいずれか一項に記載の構成要素(1、2)。
  9. 前記第1の処理界面(31)は、複数の吸収空洞を含み、前記複数の吸収空洞は、異なる周波数、特に、相互にシフトされた複数の周波数を含む光信号を完全に又は部分的に吸収するように寸法決定され、前記処理界面が、決定周波数範囲内の全ての信号を吸収するようにする一方で、
    前記第2の処理界面(32)は、前記決定周波数範囲内の1つ又は複数の周波数の光信号の通過を可能にするように構成された形状を有することを特徴とする、請求項1から8のいずれか一項に記載の構成要素。
  10. 前記第1の光導波路又はポート(P1)及び前記第2の光導波路又はポート(P2)はそれぞれ、選択領域(R1、R1B)と差異化領域(R2、R2B)とを含み、少なくとも1つの第1の処理領域(R3)によって互いに連結され、前記少なくとも1つの第1の処理領域(R3)の前記第1の処理界面(31)は、1つ又は複数の決定周波数の光信号を完全又は部分的に吸収するように構成され、前記少なくとも1つの第1の処理領域(R3)の前記第2の処理界面(32)は、前記光信号の通過を可能にし、したがって、前記光信号のための光アイソレータを生成するように構成されることを特徴とする、請求項8又は9に記載の構成要素(2)。
  11. 前記第1の光ポート(P1)の前記第1の処理界面(31)は、前記第2の処理界面(32)に対する迂回路を形成する形状を有し、特に、前記第1の処理界面(31)は、異なる光ポート(P3)で終わる、又は異なる距離を進行する、又は更なる若しくは異なる処理を組み込むことを特徴とする、請求項1から10のいずれか一項に記載の構成要素(3)。
  12. 前記第1の光ポート(P1)の前記第1の処理界面(31)は、前記第1の光ポート(P1)を前記第2の光ポート(P2)と接続する形状を有し、前記第1のポート(P1)から到来する差異化光信号(OS0)を誘導し、前記第2のポート(P2)を介して出力光信号(OS9)を放出する一方で、
    前記第1の光ポート(P1)の前記第2の処理界面(32)は、前記第1の光ポート(P1)を前記第2のポート(P2)とは異なる第3の光ポート(P3)と接続する形状を有し、前記第3のポート(P3)から到来した差異化光信号(OS9C)を受信し、前記差異化光信号(OS9C)を前記第1のポート(P1)を介して出力光信号(OS9C)として放出し、したがって、光サーキュレータを生成することを特徴とする、請求項1から11のいずれか一項に記載の構成要素(3)。
  13. 前記構成要素は、50μm未満、特に20μm又は10μm未満、より詳細には3μm未満の波長を有する光信号を処理するように構成、決定されることを特徴とする、請求項1から12のいずれか一項に記載の構成要素(1、2、3)。
  14. 前記差異化領域(R2)及び/又は前記処理領域(R3)の前記界面(21、22、31、32)に関し、
    - 前記金属材料は、プラズモン型の金属又はプラズモン型の金属合金であり、特に、金、銀、銅、アルミニウム及び前記材料の2、3又は4つの組合せから選択され、
    - 前記誘電材料は、磁気光学材料、特にガーネット酸化物、又は例えば、コバルトフェライトナノ粒子をドープした鉱物シリカ等、フェライト粒子をドープした誘電材料であることを特徴とする、請求項1から13のいずれか一項に記載の構成要素(1、2、3)。
  15. 前記差異化領域(R2)及び/又は前記処理領域(R3)の前記界面(21、22、31、32)に関し、前記金属材料は、少なくとも、
    - 一方で、特に、金、銀、銅、アルミニウム及び前記材料の2、3又は4つの組合せから選択されるプラズモン型の金属又はプラズモン型の金属合金、及び
    - もう一方で、磁気光学型の金属、特に、鉄-コバルト合金
    の、層の重ね合わせ又は組合せであることを特徴とする、請求項1から13のいずれか一項に記載の構成要素(1、2、3)。
  16. 前記差異化領域(R2)及び/又は前記処理領域(R3)の前記界面(21、22、31、32)に関し、
    - 前記金属材料は、磁気光学型の金属、特に、鉄-コバルト合金であり、
    - 前記誘電材料は、磁気光学型ではない誘電体であり、特に、シリカ、窒化ケイ素、ゲルマニウム、シリコン及び前記材料のいくつかの組合せから選択されることを特徴とする、請求項1から13のいずれか一項に記載の構成要素(1、2、3)。
  17. 集積光回路内に集積式に生成される、請求項1から16のいずれか一項に記載の1つ又は複数の非相反光学構成要素(1、2、3)を備えるデバイス。
  18. 前記集積光回路は、少なくとも1つの集積レーザー・エミッタを含み、前記デバイスは、前記レーザーに接続される請求項8から10のいずれか一項に記載の少なくとも1つの非相反光学構成要素(1、2)を備え、前記非相反光学構成要素(1、2)は、前記レーザーによって放出された光信号を一方向で通過させる一方で、前記光信号が反対方向で前記レーザーの方に戻るのを防止又は低減することを可能にすることを特徴とする、請求項17に記載のデバイス。
  19. 前記集積光回路は、集積式に生成又は接続された複数のセンサを備え、前記デバイスは、前記センサの少なくとも2つと接続された請求項12に記載の少なくとも1つの非相反光学構成要素(3)を備えることを特徴とする、請求項17又は18に記載のデバイス。
  20. 前記集積光回路は、請求項12に記載の少なくとも1つの非相反光学構成要素(3)を備え、前記非相反光学構成要素(3)は、完全又は部分的にマイケルソン干渉計を集積式に生成するように接続されることを特徴とする、請求項17又は18に記載のデバイス。
  21. 光信号の処理方法であって、前記方法は、請求項1から16のいずれか一項に記載の少なくとも1つの非相反光学構成要素(1、2、3)、又は請求項17から20のいずれか一項に記載のデバイス内を通過させることによって、前記光信号を処理することを含むことを特徴とする、光信号の処理方法。





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