JP2023512511A - 表面の動きを検出する装置及び方法 - Google Patents

表面の動きを検出する装置及び方法 Download PDF

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Abstract

表面の動きを検出する装置は、光を発する光源(101)と、光を集束するように構成された集束レンズ(102)と、表面から反射した集束光を受光するとともに反射した光の分布パターンの動きを検出するように構成された検出器(103)と、を備える。反射した光の分布パターンの動きは、表面の動きを表す。集束レンズの円錐定数は、-1.5から-0.5の範囲であり,集束レンズの直径は,集束レンズから集束光のビームウエストまでの距離の少なくとも60%である。円錐定数及び直径が上記の範囲内であるとき、装置は、表面の小さな動きをフリーハンドで測定するためのハンドヘルド器具に適する。ハンドヘルド器具を、例えば、眼圧を検出する器具とすることができる。

Description

本開示は、表面の動き、例えば、眼の表面で生じる波動を検出する装置に関する。さらに、本開示は、表面の動きを検出する方法に関する。さらに、本開示は、眼の圧力を検出する装置に関する。
多くの場合、表面の動きを検出する必要性がある。例えば、表面の動きの検出を眼圧測定において利用することができ、この場合、例えば、空気圧パルス、超音波トーンバースト、衝撃波又は他の適切な空中励起のような空中励起は、目の表面を変形させた後に眼の表面の励起によって引き起こされる動きに基づいて眼圧の推定値を取得するために使用される。表面の動きを、例えば、表面から反射した光を受光するとともに受光した光の分布パターンの動きを検出するように構成された検出器を使用して検出することができる。受光した光の分布パターンの動きは、光を反射した表面の動きを示す。
しかしながら、多くの応用において、表面の動きを検出するための上記の技術は、課題から免れられない。例えば、眼圧測定に関連して、空中励起を眼の表面に向ける励起装置及び眼の表面の動きを検出する検出装置を眼に対して十分に静止させて眼に対する励起装置及び検出装置の位置及び/又は向きの意図しない変化が眼圧測定を著しく妨げないようにすることが困難となり得る。上記の課題は、特に、フリーハンドで使用される手持ち式眼圧計及び他の手持ち式装置と関連して存在する。したがって、表面の動きのロバストなフリーハンド測定のための技術的解決が必要とされている。
以下は、種々の発明の実施形態のいくつかの側面の基本的な理解を提供するための簡略化された要約を示す。要約は、本発明の広範な概要ではない。要約は、本発明の必須の手段又は重要な要素を特定することも本発明の範囲を画定することも意図していない。以下の要約は、本発明の例示的かつ非限定的な実施形態の更に詳細な説明の前段階として本発明のいくつかの概念を単純化した形で提示しているにすぎない。
本書では、前におくものとして使用するときの「幾何学的」という言葉は、必ずしもあらゆる物理的物体の一部ではない幾何学的概念を意味する。幾何学的概念を、例えば、幾何学的点、直線若しくは曲線の幾何学的線、幾何学的平面、非平面の幾何学的表面、幾何学的空間、又は、0次元、1次元、2次元若しくは3次元の他の幾何学的実体とすることができる。
本発明によれば、表面の動きを検出する新しい装置を提供する。本発明による装置は、
光を発するように構成された光源と、
光を集束するように構成された集束レンズと、
表面から反射した集束光を受光するように構成されるとともに受光した光の分布パターンの動きを検出するように構成された検出器であって、受光した光の分布パターンの動きは、光を反射する表面の動きを表す、検出器と、
を備える。
集束レンズは、円錐定数が-1.5から-0.5の範囲にある非球面レンズであり、集束レンズの直径は、集束レンズの光出射面から集束光のビームウエストまでの距離の少なくとも60%である。
円錐定数の上記範囲は、集束レンズの光軸から互いに異なる距離にある光ビームが集束レンズから互いに異なる距離に集束されることを意味する球面収差に対応し、したがって、ビームウエストは、光軸の方向に長くなるが、一方では、ビームウエストは、光軸に垂直な方向に広くなる。しかしながら、ビームウエストは、動き検出には十分狭いが、ビームウエストが長くなることによって、動きが検出される表面に対する装置の最適でない位置及び/又は向きに対するロバスト性が向上する。集束光のビームウエストが少なくとも曲面、例えば、眼の表面の近くにあるとき、曲面から反射した光は、二つの有益な特性:i)広い角度分布と、ii)鏡面反射の方向にある最大値及び鏡面反射の方向に対して垂直な撮像面で反射した光によって形成される光スポットの動きを検出するのに有利な形状を有するパワー分布と、を有する。上記広い角度分布のために、ビームウエストが曲面上に正確に位置せずに曲面近傍にしかない場合でも、反射した光の十分な部分を検出器に集めることができる。上記の二つの有益な特性を組み合わせることによって、曲面の小さい動きをロバストなフリーハンドで測定することができる。
本発明によれば、眼の圧力を検出する新しい器具も提供する。測定される圧力は、典型的には、眼の眼圧“IOP”である。本発明による器具は、
眼の表面を変形させるために、空中励起、例えば、空気圧パルス、超音波トーンバースト又は衝撃波を眼に向けるように構成された励起源と、
本発明による装置であって、眼の表面の動きを検出するように構成された装置、及び
眼の表面の検出した動きに基づいて眼の圧力の推定値を決定するように構成された処理装置と、
を備える。
本発明によれば、表面の動きを検出する新しい方法も提供する。本発明による方法は、
光を放射することと、
集束光を表面に向けるように集束レンズを使用して光を集束することと
表面から反射した集束光の分布パターンの動きを検出し、反射した光の分布パターンの動きは、表面の動きを表すことと、
方法であって、集束レンズは、円錐定数が-1.5から-0.5の範囲にある非球面レンズであり、集束レンズの直径は、集束レンズの光出射面から集束光のビームウエストまでの距離の少なくとも60%である。
様々な例示的かつ非限定的な実施形態を、付随する従属請求項に記載する。
構造及び操作の方法の両方に関する例示的かつ非限定的な実施形態は、その追加の目的及び利点と共に、添付図面と併せて読んだときに特定の例示的な実施形態の以下の説明から最もよく理解される。
動詞「備える」及び「有する」を、本書では、引用されていない特徴の存在を排除も要求もしないオープンな限定として使用する。従属項に記載された特徴は、特に明示されない限り、相互に自由に組み合わせることが可能である。さらに、本書を通じて“A”又は“An”の使用、すなわち、単数形の使用は、複数を除外するものではないことを理解されたい。
例示的かつ非限定的な実施形態及びその利点を、添付図面を参照しながら以下で更に詳細に説明する。
表面の動きを検出する例示的かつ非限定的な実施形態による装置を示す。 表面の動きを検出する例示的かつ非限定的な実施形態による装置の集束レンズを示す。 表面の動きを検出する例示的かつ非限定的な実施形態による装置の集束レンズを示す。 表面の動きを検出する例示的かつ非限定的な実施形態による装置の集束レンズを示す。 眼の圧力を検出する例示的かつ非限定的な実施形態による器具を示す。 表面の動きを検出する例示的かつ非限定的な実施形態による方法のフローチャートを示す。
以下の説明で提供する特定の例を、添付した特許請求の範囲及び/又はその適用可能性を制限するものとして解釈すべきではない。以下の説明で提供する実施例のリスト及びグループは、特に明示されない限り、網羅的なものではない。
図1は、表面の動きを検出する例示的かつ非限定的な実施形態による装置を示す図である。眼107の表面の動きを検出する装置の動作を、三つの異なる例示的状況A,例示的状況B及び例示的状況Cに示す。例示的状況Aでは、眼107は装置に対して所定の位置にある。例示的状況Bでは、眼107は、例示的状況Aに対して座標系199の負のy方向にシフトされており、例示的状況Cでは、眼107は、例示的状況Bに対して座標系199の負のy方向に更にシフトされている。
装置は、光を発する光源101を備える。光源101は、例えば、一つ以上の発光ダイオード“LED”、一つ以上のレーザーダイオード、一つ以上のフィラメントランプ、一つ以上のガス放電ランプ又は一つ以上の他の適切な発光素子を備えてもよい。装置は、光を集束するように構成された集束レンズ102を備える。集束レンズ102は、-1.5から-0.5の範囲の円錐定数を有する非球面レンズである。更に有利には、円錐定数は、-1.3から-0.6の範囲にある。更に有利には、円錐定数は、-1.1から-0.7の範囲にある。更に有利には、円錐定数は、-0.9から-0.7の範囲にある。集束レンズ102の直径は、集束レンズの光出射面から集束光のビームウエストまでの距離の少なくとも60%である。更に有利には、直径は、ビームウエストと光出射面との間の距離の少なくとも70%である。更に有利には、直径は、上記距離の少なくとも90%である。更に有利には、直径は、距離の少なくとも110%である、すなわち、直径は、距離の少なくとも1.1×である。集束レンズ102の直径は、距離の最大400%である、すなわち、直径は、距離の最大4×である。円錐定数と直径が上記の範囲にあるとき、装置は、表面の小さい動きのフリーハンド測定に適している。集束レンズの光軸に沿って見たときに集束レンズが円形でない場合、集束レンズの直径は、光軸に沿って見たときに集束レンズの外形内に入ることができる最大の幾何学的円の直径である。
装置は、眼107の表面から反射した集束光を受光するとともに受光した光の分布パターンの動きを検出するように構成された検出器103を備える。受光した光の分布パターンの動きは、眼107の表面の動きを表す。図1に示す例示的な装置は、眼107の表面から反射した光を検出器103に向ける集光レンズ106を備える。検出器103は、例えば、フォトダイオード又はフォトトランジスタのような光センサ素子のアレイを備えてもよい。この例示的な場合において、検出器103を、光センサ素子の出力信号間の差の変化が受光した光の分布パターンの動きを表す差動センサとして動作するように構成することができる。検出器103が、例えば、電荷結合素子“CCD”又は受光した光の分布パターンの動きを検出するための他の適切なセンサを備えることもできる。
図2a、図2b及び図2cは、表面の動きを検出する例示的かつ非限定的な実施形態による装置の集束レンズ202a,202b及び202cを示す。図2aは、光出射面204aが-1.5から-0.5の範囲の円錐定数を有するとともに光入射面205aが平面となるような平凸レンズである集束レンズ202aの例示的なケースを示す。図2bは、光出射面204bが-1.5から-0.5の範囲の円錐定数を有するとともに光入射面205bが平面となるような平凸レンズである集束レンズ202bの例示的なケースを示す。図2cは、光出射面204cが非平面でるとともに光入射面205cが光入射面及び光出射面の組み合わされた光学効果が凸面の円錐定数が-1.5から-0.5の範囲である平凸レンズと同一の光学効果になるように非平面である集束レンズ202cの例示的なケースを示す。図2a、図2b及び図2cのそれぞれにおいて、光出射面から集束光のビームウエストまでの距離をDで表し、集束レンズの直径をdで表す。
図3は、眼307の圧力を検出する例示的かつ非限定的な実施形態による器具を示す。器具は、眼の表面を変形させるために空中励起を眼307に向けるように構成された励起源308を備える。空中励起を、例えば、空気圧パルス、超音波トーンバースト又は衝撃波とすることができる。器具は、眼307の表面の動きを検出する検出装置309を備える。検出装置309を、例えば、図1に示す装置のようなものとすることができる。器具は、眼の表面の検出した動きに基づいて眼307の圧力の推定値を決定するように構成された処理装置310を備える。
例示的かつ非限定的な実施形態による装置において、処理装置310は、励起源308が空中励起を眼307の表面の第1のスポットに向ける第1の瞬時と検出装置309が眼307の表面の第2のスポットからの動きを検出する第2の瞬時との間の時間を測定するように構成される。処理装置310は、測定した時間に基づいて眼の圧力の推定値を決定するように構成される。眼307の表面を伝搬する波の速度は、眼の圧力に依存する。したがって、上記の測定した時間、すなわち、「飛行時間(time-of-flight)」は、眼の圧力を示す。
例示的かつ非限定的な実施形態による器具において、処理装置310は、目の表面307の動きに関連する振動周波数を測定するとともに測定した振動周波数に基づいて目の圧力の推定値を決定するように構成される。この例示的な場合において、眼圧測定は、眼の表面307に垂直な方向における変位の振動周波数が眼の圧力に依存するという事実に基づく。
例示的かつ非限定的な実施形態による装置において、処理装置310は、検出器303の受光領域の光スポットの位置及び/又はサイズに基づいて、所定の補正規則に従って眼307の圧力の推定値を補正するよう構成される。光スポットの位置及び/又はサイズは、眼307に対する器具の位置及び向きを表す。したがって、眼307に対する器具の最適でない位置及び/又は向きを、検出器303の受光領域の光スポットの位置及び/又はサイズに基づいて検出することができる。図1を参照すると、例えば、例示的状況Aが眼107に対する図1に示す装置の最適位置に対応するとともに例示的状況B及び例示的状況Cが球107に対する装置の非最適位置に対応すると仮定することができる。図1に示すように、検出器103の受光領域の光スポットの位置及び/又はサイズは、例示的状況A、例示的状況B及び例示的状況Cにおいて互いに異なる。上記補正規則を、例えば、圧力推定値に対する最適でない位置及び/又は向きの影響を表す経験的試験結果に基づくルックアップテーブルとすることができる。上記補正規則を、パラメータが上記の種類の経験的試験結果に基づくパラメータ化された数式とすることもできる。
例示的かつ非限定的な実施形態において、器具は、眼307から反射した光を受光するように構成された光センサアレイ312を更に備える。処理装置310は、光センサアレイ312の受光した光のパターンの位置に基づいて、所定の規則に従って眼の圧力の推定値を補正するように構成される。光センサアレイ312を、例えば、フォトダイオード又はフォトトランジスタのアレイとすることができる。この例示的な場合において、器具は、光源313、例えば、レーザーダイオード、LED又は他の適切な発光素子を更に備えてもよい。器具が眼307に対して最適でない位置及び/又は向きにある場合、光センサアレイ312の受光した光のパターンの位置は、眼307に対する装置の最適な位置及び向きに対応する位置から逸脱する。この逸脱を、眼の圧力の推定値を補正するために使用することができる。所定の規則を、例えば、圧力推定値に対する最適でない位置及び/又は向きの影響を表す経験的試験結果に基づくルックアップテーブルとすることができる。また、上記所定の規則を、パラメータが上記の種類の経験的試験結果に基づくパラメータ化された数式でとすることもできる。例示的かつ非限定的な実施形態において、光センサアレイ312は、デジタルカメラの光センサアレイである。この例示的な場合において、光センサアレイ312を、例えば、電荷結合素子“CCD”又は他の適切なカメラ素子とすることができる。デジタルカメラは、周囲光及び/又は集束レンズによって眼307に向けられた光の一部の助けを借りて動作してもよい。器具は、デジタルカメラによって受光した光の少なくとも一部を生成するための別個の光源、例えば、レーザーダイオード又はLEDを備えることもできる。器具が眼307に対して最適でない位置及び/又は向きにある場合、デジタルカメラによって生成された画像、すなわち、光センサアレイ312の受光した光のパターンの位置及び/又は形状は、眼307に対する装置の最適な位置及び向きに対応する画像から逸脱する。この逸脱を、画像認識によって検出することができ、かつ、眼の圧力の推定値を補正するために使用することができる。
例示的かつ非限定的な実施形態による器具は、検出器303の出力信号を処理するための信号処理要素311を備える。信号処理要素311は、例えば、検出器303の出力信号の不所望な周波数成分を減衰させるフィルタを備えてもよい。
処理装置310を、一つ以上のプロセッサ回路で実装することができ、その各々を、適切なソフトウェアを設けたプログラマブルプロセッサ回路、例えば、特定用途向け集積回路“ASIC”のような専用ハードウェアプロセッサ、又は、例えば、フィールドプログラマブルゲートアレイ“FPGA”のような構成可能ハードウェアプロセッサとすることができる。ソフトウェアは、例えば、処理装置310のハードウェアに対して低レベルの制御を行うコンピュータソフトウェアの特定のクラスである例えばファームウェアを備えてもよい。ファームウェアを、例えば、オープンソースソフトウェアとすることができる。さらに、処理装置310は、一つ以上のメモリ回路を備えてもよく、その各々を、例えば、ランダムアクセスメモリ“RAM”回路とすることができる。
図4は、表面の動きを検出する例示的かつ非限定的な実施形態による方法のフローチャートである。方法は、
動作401:光を発することと、
動作402:集束光を表面に向けるように集束レンズを使用して光を集束し、集束レンズは、円錐定数が-1.5から-0.5の範囲にある非球面レンズであり、集束レンズの直径は、集束レンズの光出射面から集束光のビームウエストまでの距離の少なくとも60%であることと、
動作403:表面から反射した集束光の分布パターンの動きを検出し、反射した光の分布パターンの動きは、表面の動きを表すことと、
を備える。
例示的かつ非限定的な実施形態による方法では、円錐定数は、-1.3から-0.6の範囲にある。
例示的かつ非限定的な実施形態による方法では、円錐定数は、-1.1から-0.7の範囲にある。
例示的かつ非限定的な実施形態による方法では、円錐定数は、-0.9から-0.7の範囲にある。
例示的かつ非限定的な実施形態による方法では、集束レンズの直径は、集束レンズの光出射面から集束光のビームウエストまでの距離の少なくとも70%である。
例示的かつ非限定的な実施形態による方法では、集束レンズの直径は、集束レンズの光出射面から集束光のビームウエストまでの距離の少なくとも90%である。
例示的かつ非限定的な実施形態による方法では、集束レンズの直径は、集束レンズの光出射面から集束光のビームウエストまでの距離の少なくとも110%である。
例示的かつ非限定的な実施形態による方法では、集束レンズは、集束レンズの光出射面が-1.5から-0.5の範囲の円錐定数を有するとともに集束レンズの光入射面が平面となるような平凸レンズである。
例示的かつ非限定的な実施形態による方法では、集束レンズは、集束レンズの光出射面が-1.5から-0.5の範囲の円錐定数を有するとともに集束レンズの光入射面が平面となるような平凸レンズである。
例示的かつ非限定的な実施形態による方法では、集束レンズの光出射面は非平面であり、集束レンズの光入射面は、光入射面及び光出射面の組み合わされた光学効果が凸面の円錐定数が-1.5から-0.5の範囲である平凸レンズと同一の光学効果になるように非平面である。
例示的かつ非限定的な実施形態による方法では、反射した光の分布パターンの動きを、光センサ素子のアレイを使用して検出する。検出は、光センサ素子の出力信号間の差の変化に基づくことができる。その理由は、これらの変化が反射した光の分布パターンの動きを表すからである。
例示的かつ非限定的な実施形態による方法では、表面から反射した光は、集光レンズの助けを借りて検出器に向けられる。
例示的かつ非限定的な実施形態による眼圧測定方法は、
眼の表面を変形させるために空中励起を眼に向けることと、
眼の表面の動きを検出する発明の実施形態による方法を実施することと、
眼の表面の検出した動きに基づいて眼の圧力の推定値を決定することと、
を備える。
例示的かつ非限定的な実施形態による眼圧測定方法は、空中励起を眼の表面の第1のスポットに向ける第1の瞬時と眼の表面の第2のスポットからの動きを検出する第2の瞬時との間の時間を測定することと、測定した時間に基づいて眼の圧力の推定値を決定することと、を備える。
例示的かつ非限定的な実施形態による眼圧測定方法は、眼の表面の動きに関連する振動周波数を測定することと、測定した振動周波数に基づいて眼の圧力の推定値を決定することと、を備える。
例示的かつ非限定的な実施形態による眼圧測定方法は、検出器の受光領域の光スポットの位置及び/又はサイズに基づいて、所定の補正規則に従って眼圧の推定値を補正することを備える。光スポットの位置及び/又は大きさは、眼に対する測定装置の位置及び向きを表す。したがって、眼に対する測定装置の最適でない位置及び/又は向きを、検出器の受光領域の光スポットの位置及び/又は大きさに基づいて検出することができる。上記補正規則を、例えば、圧力推定値に対する最適でない位置及び/又は向きの影響を表す経験的試験結果に基づくルックアップテーブルとすることができる。また、上記補正規則を、パラメータが上記の種類の経験的試験結果に基づくパラメータ化された数式とすることもできる。
上記の説明で提供した非限定的な具体例は、添付した特許請求の範囲及び/又はその適用可能性を制限するものとして解釈すべきではない。さらに、本書に提示した実施例のいかなるリスト又はグループも、他に明示されない限り、網羅的なものではない。

Claims (18)

  1. 表面の動きを検出する装置であって、
    光を発するように構成された光源(101)と、
    光を集束するように構成された集束レンズ(102,202a,202b,202c)と、
    表面から反射した集束光を受光するように構成されるとともに受光した光の分布パターンの動きを検出するように構成された検出器(103)であって、前記受光した光の分布パターンの動きは、光を反射する表面の動きを表す、検出器(103)と、
    を備える装置において、前記集束レンズは、円錐定数が-1.5から-0.5の範囲にある非球面レンズであり、前記集束レンズの直径(d)は、前記集束レンズの光出射面から前記集束光のビームウエストまでの距離(D)の少なくとも60%であることを特徴とする装置。
  2. 前記集束レンズ(202a)は、前記集束レンズの光出射面(204a)が-1.5から-0.5の範囲の円錐定数を有するとともに前記集束レンズの光入射面(205a)が平面となるような平凸レンズである、請求項1に記載の装置。
  3. 前記集束レンズ(202b)は、前記集束レンズの光入射面(205b)が-1.5から-0.5の範囲の円錐定数を有するとともに前記集束レンズの光出射面(204b)が平面となるような平凸レンズである、請求項1に記載の装置。
  4. 前記集束レンズ(202c)の光出射面(204c)は、非平面であり、前記集束レンズの光入射面(205c)は、光入射面及び光出射面の組み合わされた光学効果が凸面の円錐定数が-1.5から-0.5の範囲である平凸レンズと同一の光学効果になるように非平面である、請求項1に記載の装置。
  5. 前記検出器(103)は、光センサ素子のアレイを備え、前記光センサ素子の出力信号間の差の変化は、前記受光した光の分布パターンの動きを表す、請求項1~4のいずれか一項に記載の装置。
  6. 表面から反射した光を前記検出器に向けるように構成された集光レンズ(106)を備える、請求項1~5のいずれか一項に記載の装置。
  7. 前記円錐定数は、-1.3から-0.6の範囲にある、請求項1~6のいずれか一項に記載の装置。
  8. 前記円錐定数は、-1.1から-0.7の範囲にある、請求項1~6のいずれか一項に記載の装置。
  9. 前記円錐定数は、-0.9から-0.7の範囲にある、請求項1~6のいずれか一項に記載の装置。
  10. 前記集束レンズの直径は、前記集束レンズの光出射面から前記集束光のビームウエストまでの距離の少なくとも70%である、請求項1~9のいずれか一項に記載の装置。
  11. 前記集束レンズの直径は、前記集束レンズの光出射面から前記集束光のビームウエストまでの距離の少なくとも90%である、請求項1~9のいずれか一項に記載の装置。
  12. 前記集束レンズの直径は、前記集束レンズの光出射面から前記集束光のビームウエストまでの距離の少なくとも110%である、請求項1~9のいずれか一項に記載の装置。
  13. 眼の圧力を検出する器具であって、
    眼の表面を変形させるために空中励起を眼に向けるように構成された励起源(308)と、
    前記眼の表面の動きを検出するように構成された検出装置(309)と、
    前記眼の表面の検出した動きに基づいて前記眼の圧力の推定値を決定するように構成された処理装置(310)と、
    を備える器具において、前記検出装置は、請求項1~12のいずれか一項に記載の装置であることを特徴とする器具。
  14. 前記処理装置は、前記励起源が前記空中励起を前記眼の表面の第1のスポットに向ける第1の瞬時と前記検出装置が前記眼の表面の第2のスポットからの動きを検出する第2の瞬時との間の時間を測定するとともに測定した時間に基づいて前記眼の圧力の推定値を決定するよう構成された、請求項13に記載の器具。
  15. 前記処理装置は、前記眼の表面の動きに関連する振動周波数を測定するとともに測定した振動周波数に基づいて眼の圧力の推定値を決定するように構成された、請求項13に記載の器具。
  16. 前記処理装置は、前記検出器の受光領域の光スポットの位置及び/又はサイズに基づいて、所定の補正規則に従って前記眼の圧力の推定値を補正するように構成され、前記光スポットの位置及び/又はサイズは、眼に対する前記器具の位置及び向きを表す、請求項13~15のいずれか一項に記載の器具。
  17. 眼から反射した光を受光するように構成された光センサアレイ(312)を更に備え、前記処理装置は、前記光センサアレイの受光した光のパターンの位置に基づいて、所定の規則に従って前記眼の圧力の推定値を補正するように構成された、請求項13~16のいずれか一項に記載の器具。
  18. 表面の動きを検出する方法であって、
    光を発すること(401)と、
    集束光を表面に向けるように集束レンズを使用して光を集束する(402)ことと、
    表面から反射した集束光の分布パターンの動きを検出し、前記反射した光の分布パターンの動きは、表面の動きを表す(403)ことと、
    を備える方法において、前記集束レンズは、円錐定数が-1.5から-0.5の範囲にある非球面レンズであり、前記集束レンズの直径は、前記集束レンズの光出射面から前記集束光のビームウエストまでの距離の少なくとも60%である、方法。
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