JP2023181883A - 振動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】センサ取付面としての壁部の一方面の状態が或る程度ばらつくことを許容しつつ、超音波センサの所望の音性能を確保する。【解決手段】超音波センサ１０において、調整機構２０は、固定部１２に対する振動子１４の相対的な位置と傾きとの少なくとも何れかによって表される振動子状態を調整可能に構成されている。そして、固定部１２は調整機構２０を介して、振動子１４を壁部９４の一方面９４ａに押し付ける。従って、壁部９４の一方面９４ａの状態に或る程度のバラツキがあっても、調整機構２０によって振動子１４の姿勢を個々の一方面９４ａの状態に応じて調整して、その振動子１４を壁部９４の一方面９４ａに押し付けることができる。そのため、壁部９４の一方面９４ａの状態が或る程度ばらつくことを許容しつつ、超音波センサ１０の所望の音性能を確保することが可能である。【選択図】図３

Description

本発明は、壁部に取り付けられる振動装置に関するものである。

この種の振動装置として、例えば特許文献１に記載された超音波センサが従来から知られている。この特許文献１に記載された超音波センサは、複数の圧電マイクと制振材とを備えている。そして、その複数の圧電マイクはドアパネル裏面に並んで貼り付けられ、その複数の圧電マイクの周囲には制振材が配置される。

このような構成により、特許文献１の超音波センサは、ドアパネル表面の意匠に影響を与えずに、ドアから物体までの距離を検知することができるとされている。

米国特許出願公開第２０１７／００５９６９７号明細書

しかしながら、特許文献１の超音波センサが貼り付けられる車両のドアパネル裏面など、物品の意匠性を損なわない壁面は、個体差が大きいのが通常である。例えば、ドアパネル表面が塗装される際に塗装粒がドアパネル裏面にまで飛散し、ドアパネル裏面には、塗装粒が不均一に付着していることが想定される。

このように、振動装置（例えば、特許文献１の超音波センサなど）が取り付けられるドアパネル裏面などの取付面の状態にバラツキがあると、その振動装置の取付面へ振動を印加する振動子とその取付面との間の微小な間隔がばらついてしまう。言い換えると、その振動子と振動装置の取付面との密着状態がばらついてしまう。そうなると、音響インピーダンスが増減するなどして、振動装置の取付面を有する板状の壁部から発せられる音波の特性が変動し、規定の音波性能を保証することが難しい。発明者らの詳細な検討の結果、以上のようなことが見出された。

本発明は上記点に鑑みて、例えば上記振動装置の取付面として設けられる壁部の一方面の状態が或る程度ばらつくことを許容しつつ、所望の音性能を確保することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の振動装置は、
壁部（９４）に取り付けられる振動装置（１０）であって、
壁部の一方面（９４ａ）に固定される固定部（１２）と、
一方面に対して連結し、一方面に振動を印加する振動子（１４）と、
振動子を固定部に連結し、固定部に対する振動子の相対的な位置と傾きとの少なくとも何れかによって表される振動子状態を調整可能に構成された調整部（２０）とを備え、
固定部は調整部を介して、振動子を一方面に押し付ける。

このようにすれば、壁部の一方面の状態に或る程度のバラツキがあっても、調整部によって振動子の姿勢を個々の一方面の状態に応じて調整して、その振動子を壁部の一方面に押し付けることができる。従って、壁部の一方面の状態が或る程度ばらつくことを許容しつつ、所望の音性能を確保することが可能である。

なお、出願書類中の各欄において、各要素に括弧付きの参照符号が付されている場合がある。この場合、参照符号は、同要素と後述する実施形態に記載の具体的構成との対応関係の単なる一例を示すものであるにすぎない。よって、本発明は、参照符号の記載によって、何ら限定されるものではない。

第１実施形態において、超音波センサを搭載した車両の外観を示した斜視図である。 第１実施形態において、超音波センサの概略構成を模式的に示した断面図である。 図２と同様の超音波センサの断面において、超音波センサが有する調整機構と、超音波センサが取り付けられる壁部とを、図２よりも詳しく示した模式図である。 第２実施形態において、超音波センサの概略構成を模式的に示した断面図であって、図３に相当する図である。 第３実施形態において、超音波センサの概略構成を模式的に示した断面図であって、図３に相当する図である。 第３実施形態において図５のVI－VI断面を示した断面図である。 第４実施形態において、超音波センサの概略構成を模式的に示した断面図であって、図３に相当する図である。 第４実施形態でのコンピュータによるシミュレーション例において、壁部から伝達される超音波振動の拡がりを示した図である。 第５実施形態において、超音波センサの概略構成を模式的に示した断面図であって、図３に相当する図である。 第６実施形態において、超音波センサの概略構成を模式的に示した断面図であって、図３に相当する図である。 第７実施形態において、超音波センサの概略構成を模式的に示した断面図であって、図３に相当する図である。 第８実施形態において、超音波センサの概略構成を模式的に示した断面図であって、図３に相当する図である。 第９実施形態において、超音波センサの概略構成を模式的に示した断面図であって、図３に相当する図である。 第１０実施形態において、超音波センサの概略構成を模式的に示した断面図であって、図３に相当する図である。 第１１実施形態において、超音波センサの概略構成を模式的に示した断面図であって、図３に相当する図である。 第１２実施形態において、超音波センサの概略構成を模式的に示した断面図であって、図３に相当する図である。 図１６におけるXVII方向の矢視図であって、回路基板、背面カバー、および壁部の図示が省略された図である。 図１６と同様の断面位置で示された断面図であって、第１２実施形態の超音波センサが壁部へ取り付けられる取付工程について説明するための第１の図である。 第１２実施形態の超音波センサの取付工程について説明するための第２の図であって、図１８Ａに示された工程に続く工程を表す断面図である。 第１２実施形態の超音波センサの取付工程について説明するための第３の図であって、図１８Ｂに示された工程に続く工程を表す断面図である。 第１２実施形態の超音波センサの取付工程について説明するための第４の図であって、図１８Ｃに示された工程に続く工程を表す断面図である。 第１２実施形態の超音波センサの取付工程について説明するための第５の図であって、図１８Ｄに示された工程に続く工程を表す断面図である。 第１３実施形態において、超音波センサの概略構成を模式的に示した断面図であって、図１６に相当する図である。 他の実施形態において、図１６の連結ネジ部材が置き換えられる第１の構成例を示した断面図である。 他の実施形態において、図１６の連結ネジ部材が置き換えられる第２の構成例を示した断面図であって、図２０の相当する図である。 図２１におけるXXII方向の矢視図である。 他の実施形態において、図１６の連結ネジ部材が置き換えられる第３の構成例を示した断面図であって、図２０の相当する図である。 他の実施形態において、超音波センサの概略構成を模式的に示した断面図であって、図２に相当する図である。

以下、図面を参照しながら、各実施形態を説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。

（第１実施形態）
図１に示すように、本実施形態の超音波センサ１０は、例えば、移動体としての車両９０に搭載される。そして、その超音波センサ１０は、車両９０に搭載されることで、その車両９０の周囲の外部空間ＳＧに存在する物体（例えば障害物）の存在状態に対応する検知信号を生成および出力するように構成されている。すなわち、超音波センサ１０は、車両９０を取付対象とする車載型のクリアランスソナーとしての構成を有している。この超音波センサ１０は、本開示の振動装置に対応する。

車両９０は、典型的には、いわゆる四輪自動車であって、箱状の車体９１を備えている。車体９１は、外板を構成する板状のボディ部品である、車体パネル９２およびバンパー９３を備えている。バンパー９３は、車体９１の前端部および後端部のそれぞれに設けられている。本実施形態においては、超音波センサ１０は、バンパー９３に取り付けられるように構成されている。超音波センサ１０がバンパー９３に取り付けられることで車両９０に搭載された状態を、以下「搭載状態」と称する。

具体的に、複数（例えば４つ）の超音波センサ１０が、搭載状態にて、フロントバンパーすなわち車体９１における前面側のバンパー９３に取り付けられている。そのフロントバンパーに取り付けられた複数の超音波センサ１０は、それぞれ、少なくとも車幅方向について異なる位置に配置されている。これと同様に、複数（例えば４つ）の超音波センサ１０が、搭載状態にて、リアバンパーすなわち車体９１における後面側のバンパー９３にも取り付けられている。

なお、図１にて超音波センサ１０が、隠れ線である破線で示されていることから判るように、超音波センサ１０はバンパー９３の外観に表れずにバンパー９３の内側に取り付けられている。

図２、図３は、バンパー９３に取り付けられた複数の超音波センサ１０のうちの１つを、搭載状態にて示している。また、図２は、バンパー９３のうち超音波センサ１０の取付け箇所を構成する壁部９４と、超音波センサ１０が有する調整機構２０とを、図３に比して単純化して図示したものである。また、図３と、その図３に相当する幾つかの後述の図では、明細書内の説明を理解しやすくするために、例えば壁部９４の一方面９４ａの凹凸が強調されて表示されており、図示された複数の構成要素の一部が敢えて断面表示されていない。

図２、図３に示す超音波センサ１０は、超音波を送受信可能に構成されている。例えば、超音波センサ１０は、超音波である送信波を送信する場合には、壁部９４の厚み方向である第１方向Ｄ１に壁部９４を超音波振動させることにより、その送信波を送信する。また、超音波センサ１０は、車両９０の周囲に存在する物体による送信波の反射波を含む受信波を外部空間ＳＧから受信して、受信波の受信結果に応じた検知信号を生成および出力するように構成されている。なお、第１方向Ｄ１は本開示の一方向に対応する。

図２、図３に示すように、超音波センサ１０が取り付けられる壁部９４は、第１方向Ｄ１に厚みを有する平板状に形成されている。また、壁部９４は、第１方向Ｄ１の一方側に形成された一方面９４ａと、第１方向Ｄ１の一方側とは反対側である他方側に形成された他方面９４ｂとを有している。壁部９４はバンパー９３のうちの一部分であるので、壁部９４の他方面９４ｂは、バンパー９３の表面（言い換えれば、意匠面）の一部を構成し、図２、図３のバンパー９３がフロントバンパーであれば、車両前方を向いた面になる。従って、壁部９４の一方面９４ａは、車両９０の外観に表れないバンパー９３の内面になる。なお、バンパー９３は、例えばポリプロピレンなどの樹脂で構成されている。

超音波センサ１０は、固定部１２と固定接着部１３と振動子１４と調整機構２０と介在接着層２２とを備えている。超音波センサ１０は壁部９４の一方面９４ａに取り付けられる。すなわち、その壁部９４の一方面９４ａは、超音波センサ１０が取り付けられる取付面である。そのため、固定部１２、固定接着部１３、振動子１４、調整機構２０、および介在接着層２２など、超音波センサ１０の構成要素は全て、壁部９４に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置される。

固定部１２は、振動子１４と調整機構２０とを壁部９４に対して支持する支持体である。そのため、固定部１２は、例えば高剛性の金属材料または樹脂材料で構成されている。固定部１２は、その固定部１２のうち第１方向Ｄ１の他方側に設けられた基部１２１を有している。

固定接着部１３は接着剤で構成されており、固定部１２の基部１２１と壁部９４の一方面９４ａとの間に配置されている。固定部１２の基部１２１は、この固定接着部１３の接着剤が固化することにより、壁部９４の一方面９４ａに対して固定される。

例えば、固定部１２と固定接着部１３は、第１方向Ｄ１に沿った方向視において、振動子１４をその振動子１４の全周にわたって囲むように形成されている。

振動子１４は、壁部９４の一方面９４ａに対し連結するように配置される。そして、超音波センサ１０が送信波を送信する場合に、振動子１４は、壁部９４の一方面９４ａに超音波振動を印加する。

具体的には、振動子１４は、駆動素子１５と整合層１６とを有している。駆動素子１５は、所定の振動方向Ｄｖ（図３参照）の超音波振動と電気信号との一方から他方への変換機能を奏する、電気－機械エネルギー変換素子によって構成されている。例えば、駆動素子１５は、積層された複数の圧電素子（言い換えれば、ピエゾ素子）によって構成されている。駆動素子１５の振動方向Ｄｖは、第１方向Ｄ１に一致または略一致する。例えば、振動子１４が取り付けられる壁部９４の一方面９４ａの凹凸などの状態によっては、駆動素子１５の振動方向Ｄｖは第１方向Ｄ１と完全には一致せず、略一致したものになる。

このような構成から、駆動素子１５は、電気信号が与えられることにより、振動方向Ｄｖに伸縮する超音波振動を発生する。そして、駆動素子１５は、振動方向Ｄｖの超音波振動を受けることにより、その超音波振動に応じた電気信号を発生する。

また、駆動素子１５は、第１方向Ｄ１の一方側に設けられた一端部１５１と、第１方向Ｄ１の他方側に設けられた他端部１５２とを有している。

整合層１６は、その整合層１６のうち第１方向Ｄ１の一方側に形成された一端面１６１と、整合層１６のうち第１方向Ｄ１の他方側に形成された他端面１６２とを有している。この整合層１６の他端面１６２は、振動子１４のうち第１方向Ｄ１の他方側に設けられた端面（すなわち、振動子１４の他端面）でもある。

整合層１６は、駆動素子１５に対し壁部９４側に配置され、駆動素子１５に連結している。例えば、整合層１６は、接着剤などによって駆動素子１５に対し一体に固定されている。要するに、整合層１６は、その整合層１６の一端面１６１にて、駆動素子１５の他端部１５２に対し振動伝達可能に接続されている。この配置により、整合層１６は、駆動素子１５と壁部９４との間で超音波振動を伝達する振動伝達部として機能する。

なお、整合層１６と駆動素子１５とを接合する接着剤層の厚みは、送受信波の波長に対して充分小さい厚さ（例えば、１００μｍ以下あるいは波長の８分の１未満となるような厚さ）に形成されている。そして、本実施形態の説明において、超音波振動の伝達に関与し且つ厚みについての説明が省略された他の接着剤層があれば、その接着剤層も、これと同様に、送受信波の波長に対して充分小さい厚さに形成されているものとする。

整合層１６は、駆動素子１５と壁部９４との間で超音波振動を伝達するために設けられているので、その駆動素子１５と壁部９４との間の振動伝達効率を高めるように構成されている。具体的に、整合層１６は、その構成材料の選定などにより、整合層１６の音響インピーダンスが駆動素子１５の音響インピーダンスと壁部９４の音響インピーダンスとの間の大きさになるように構成されている。

例えば、整合層１６は、アルミニウムやアルミニウム合金やマグネシウム合金等の金属材料、ＰＢＴやガラスエポキシ樹脂等の合成樹脂材料、ＣＦＲＰ等の複合材料、等によって構成され得る。ＰＢＴはｐｏｌｙｂｕｔｙｌｅｎｅ ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅの略である。

介在接着層２２は、振動子１４と壁部９４との間に介在する接着層である。具体的に、介在接着層２２は、整合層１６と壁部９４の一方面９４ａとの間に配置され、その整合層１６を壁部９４の一方面９４ａに対して接着する。従って、その整合層１６を含む振動子１４は、壁部９４の一方面９４ａに対向しその一方面９４ａに対し介在接着層２２を介して接着される振動子対向面として、整合層１６の他端面１６２を有する。

介在接着層２２は、例えば、エポキシ系樹脂などの合成樹脂材料で構成されている。この介在接着層２２の厚みも、送受信波の波長に対して充分小さい厚さ（例えば、１００μｍ以下あるいは波長の８分の１未満となるような厚さ）に形成されている。また、介在接着層２２は、その構成材料の選定などにより、介在接着層２２の音響インピーダンスが整合層１６の音響インピーダンスと壁部９４の音響インピーダンスとの間の大きさになるように構成されている。

また、介在接着層２２は、その介在接着層２２を構成する接着剤が固化することにより整合層１６と壁部９４の一方面９４ａとを接合するものである。そのため、介在接着層２２は、その介在接着層２２を構成する接着剤の固化後には固体になるが、その接着剤の固化前においては、高粘度の液状になっている。なお、本実施形態の説明において、介在接着層２２を構成する接着剤の固化とは、略して、介在接着層２２の固化と称されることもある。

調整機構２０は、振動子１４から固定部１２に至る連結関係において振動子１４と固定部１２との間に介在し、その振動子１４を固定部１２に連結している。そして、調整機構２０は、固定部１２に対する振動子１４の相対的な位置と傾きとの少なくとも何れかによって表される振動子状態を調整可能に構成されている。調整機構２０は、固定部１２に対する振動子１４の相対的な位置と傾きとの一方だけを調整するものであってもよいが、本実施形態の調整機構２０は、固定部１２に対する振動子１４の相対的な位置と傾きとの両方を調整することができる。すなわち、本実施形態の調整機構２０は、固定部１２に対する振動子１４の相対的な位置と姿勢とを調整可能な調整部として設けられている。

具体的には図３に示すように、調整機構２０は、ネジによって振動子状態を調整する調整構造を備え、その調整構造は、第１ネジ機構２０１と第２ネジ機構２０２と連結体２０３とを含んで構成されている。その第１ネジ機構２０１は、振動子１４に対し、第１方向Ｄ１に垂直な第２方向Ｄ２の一方側に配置され、第２ネジ機構２０２は、振動子１４に対し第２方向Ｄ２の他方側に配置されている。なお、第２方向Ｄ２は、本開示の一方向に垂直な一垂直方向に対応する。

第１ネジ機構２０１は、雌ネジが形成された第１雌ネジ形成部としての第１ナット２０１ａと、その第１ナット２０１ａの雌ネジに螺合する雄ネジが形成された第１雄ネジ形成部としての第１ネジ軸部２０１ｂとを有している。そして、第２ネジ機構２０２は、雌ネジが形成された第２雌ネジ形成部としての第２ナット２０２ａと、その第２ナット２０２ａの雌ネジに螺合する雄ネジが形成された第２雄ネジ形成部としての第２ネジ軸部２０２ｂとを有している。

第１、第２ネジ軸部２０１ｂ、２０２ｂはそれぞれ、固定部１２に対し相対移動不能に連結している。詳細には、第１、第２ネジ軸部２０１ｂ、２０２ｂはそれぞれ、固定部１２に対し一体に固定され、その固定部１２から第１方向Ｄ１の一方側へ延伸している。そして、第１ネジ軸部２０１ｂは第１ナット２０１ａの雌ネジに螺合されながら第１ナット２０１ａを貫通し、第２ネジ軸部２０２ｂは第２ナット２０２ａの雌ネジに螺合されながら第２ナット２０２ａを貫通している。

第１、第２ナット２０１ａ、２０２ａはそれぞれ、連結体２０３に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置され、第１方向Ｄ１の一方側から連結体２０３に接触している。

連結体２０３は振動子１４に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置され、その振動子１４に固定されている。詳細には、連結体２０３は駆動素子１５の一端部１５１に固定されている。

そして、連結体２０３には、連結体２０３を貫通する第１挿通孔２０３ａと第２挿通孔２０３ｂとが形成されている。その第１挿通孔２０３ａは振動子１４に対し第２方向Ｄ２の一方側に配置され、第１挿通孔２０３ａには第１ネジ軸部２０１ｂが挿通されている。これに対し、第２挿通孔２０３ｂは振動子１４に対し第２方向Ｄ２の他方側に配置され、第２挿通孔２０３ｂには第２ネジ軸部２０２ｂが挿通されている。

このような構成から、介在接着層２２の固化前に、調整機構２０は、固定部１２に対する振動子１４の相対位置を第１方向Ｄ１に微調整することができる。具体的に、その固定部１２に対する振動子１４の相対位置は、第１ナット２０１ａと第１ネジ軸部２０１ｂとの相対回転と、第２ナット２０２ａと第２ネジ軸部２０２ｂとの相対回転との一方または両方により微調整される。このとき、固定部１２に対する振動子１４の相対位置の微調整に伴って、固化前の介在接着層２２が潰された状態も変化する。

また、固定部１２に対する振動子１４の相対的な傾きも、介在接着層２２の固化前に、第１ナット２０１ａと第１ネジ軸部２０１ｂとの相対回転と、第２ナット２０２ａと第２ネジ軸部２０２ｂとの相対回転との一方または両方により微調整される。詳細には、第１ネジ軸部２０１ｂに対する第１ナット２０１ａの相対的な回転に伴う移動量と、第２ネジ軸部２０２ｂに対する第２ナット２０２ａの相対的な回転に伴う移動量とを違えることにより、固定部１２に対する振動子１４の相対的な傾きが微調整される。このとき、固定部１２に対する振動子１４の相対的な傾きの微調整に伴って、固化前の介在接着層２２が潰された状態も変化する。

このように、調整機構２０の調整構造は、固定部１２に対する振動子１４の相対位置を第１方向Ｄ１へ調整可能なものであり、且つ、固定部１２に対する振動子１４の相対的な傾きも調整可能な構成となっている。

そして、第１、第２ナット２０１ａ、２０２ａは何れも第１方向Ｄ１の一方側から連結体２０３に接触しているので、その連結体２０３を第１方向Ｄ１の他方側へ押すことになる。そして、その連結体２０３は、第１方向Ｄ１の他方側へ振動子１４を押す押圧部として機能する。そのため、壁部９４に固定された固定部１２は、振動子１４を第１方向Ｄ１の他方側へ押す押圧力を調整機構２０を介して振動子１４へ作用させる。すなわち、固定部１２は調整機構２０を介して、振動子１４を壁部９４の一方面９４ａに押し付ける。

以上のように構成された超音波センサ１０をバンパー９３の壁部９４へ取り付ける取付工程について説明する。先ず、固定部１２が、固定接着部１３の固化によって壁部９４の一方面９４ａに接着固定される。そして、介在接着層２２を構成する液状の接着剤が、壁部９４の一方面９４ａのうち振動子１４が接合される部位に塗布される。

その上で、振動子１４が固定された連結体２０３が第１、第２ネジ軸部２０１ｂ、２０２ｂに組み合わされ、それと共に、振動子１４の整合層１６が壁部９４の一方面９４ａ上の接着剤に押し付けられる。

そして、第１ナット２０１ａと第１ネジ軸部２０１ｂとの相対回転と、第２ナット２０２ａと第２ネジ軸部２０２ｂとの相対回転との一方または両方により、振動子１４が壁部９４の一方面９４ａに押し付けられる。このとき、同時に、振動子１４の姿勢が、壁部９４の一方面９４ａに対し密着しやすい姿勢に調整される。また、振動子１４が壁部９４の一方面９４ａに押し付けられることに伴って、介在接着層２２を構成する液状の接着剤は潰されながら一方面９４ａに沿って押し拡げられる。

この振動子１４の姿勢の調整と、壁部９４の一方面９４ａに対する振動子１４の押し付けとが完了した後に、介在接着層２２を構成する接着剤は固化される。このようにして、バンパー９３の壁部９４に対する超音波センサ１０の取付けは完了する。

上述したように、本実施形態によれば、図３に示すように、調整機構２０は、固定部１２に対する振動子１４の相対的な位置と傾きとの少なくとも何れかによって表される振動子状態を調整可能に構成されている。そして、固定部１２は調整機構２０を介して、振動子１４を壁部９４の一方面９４ａに押し付ける。従って、壁部９４の一方面９４ａの状態に或る程度のバラツキがあっても、調整機構２０によって振動子１４の姿勢を個々の一方面９４ａの状態に応じて調整して、その振動子１４を壁部９４の一方面９４ａに押し付けることができる。そのため、壁部９４の一方面９４ａの状態が或る程度ばらつくことを許容しつつ、所望の音性能を確保することが可能である。

具体的に、振動板としての壁部９４のヤング率に対し、振動子１４を壁部９４の一方面９４ａに押し付ける圧着力が弱すぎると、駆動素子１５の振動エネルギーは壁部９４側ではなく調整機構２０側に多く逃げてしまい、超音波センサ１０の駆動効率が落ちる。そのため、圧着力は壁部９４のヤング率に応じて設定することが重要である。例えば、振動板が５０ＭＰａ程度のヤング率を持つ場合には、その振動板に対して振動子１４が５０ＭＰａの圧着力で押し付けられることで、駆動素子１５の振動エネルギーがおよそ５０％程度の駆動効率で活用可能となる。

また、本実施形態では、バンパー９３の一部である壁部９４の一方面９４ａに対し振動子１４が接合され、その振動子１４は、印加される電気信号に応じて壁部９４の一方面９４ａに振動を印加する。そして、振動子１４は、壁部９４の一方面９４ａに振動を印加することで、外部空間ＳＧへ超音波を放出する。また、その超音波が周囲の構造物で反射して生じた反射音波を振動子１４が壁部９４を介して受け、振動子１４の駆動素子１５は、その反射音波振動を電圧に変換し検知する。

この超音波センサ１０の構造では、壁部９４の他方面９４ｂを含むバンパー９３の表面（言い換えれば、意匠面）には何ら構造物を設ける必要がないため、意匠性に優れた音波検知システム（例えば、自動車用ソナーシステム）を構築することができる。

（１）また、本実施形態によれば、振動子１４は、超音波振動を発生する駆動素子１５と、その駆動素子１５に対し壁部９４側に配置され駆動素子１５に連結し超音波振動を駆動素子１５と壁部９４との間で伝達する整合層１６とを含む。そして、介在接着層２２は、整合層１６と壁部９４の一方面９４ａとの間に配置され、その整合層１６を一方面９４ａに対して接着する。

従って、一方面９４ａの形状などに合わせて整合層１６と介在接着層２２とを設けることにより、駆動素子１５の形状に関する制約を軽減しつつ、駆動素子１５が発する超音波振動を壁部９４へ伝達することが可能である。

（２）また、本実施形態によれば、調整機構２０は、振動子状態を調整する調整構造を備え、その調整構造は、固定部１２に対する振動子１４の相対位置を第１方向Ｄ１へ調整可能なものである。従って、壁部９４の一方面９４ａの凹凸などその一方面９４ａの形状に合わせて、一方面９４ａに対する振動子１４の相対位置を第１方向Ｄ１へ調整した上で振動子１４を一方面９４ａに対し固定することが可能である。その結果、上記した振動子１４の相対位置を調整する機能を調整機構２０の調整構造が備えない場合に比して、所望の音性能を確保しやすくなる。

（３）また、本実施形態によれば、調整機構２０の調整構造は、固定部１２に対する振動子１４の相対的な傾きも調整可能な構成となっている。従って、壁部９４の一方面９４ａの傾きに合わせて、振動子１４の姿勢を調整した上で振動子１４を一方面９４ａに対し固定することが可能である。その結果、上記した振動子１４の傾きを調整する機能を調整機構２０の調整構造が備えない場合に比して、所望の音性能を確保しやすくなる。

（４）また、本実施形態によれば、固定部１２に対する振動子１４の相対位置は、第１ナット２０１ａと第１ネジ軸部２０１ｂとの相対回転と、第２ナット２０２ａと第２ネジ軸部２０２ｂとの相対回転との一方または両方により調整される。従って、雌ネジと雄ネジとが螺合された簡素なネジ機構２０１、２０２により、一方面９４ａに対する振動子１４の相対位置を調整することが可能である。それと共に、振動子１４を壁部９４の一方面９４ａに押し付ける押付け力（別言すると、押圧力）を発生させることが可能である。

また、本実施形態によれば、第１ナット２０１ａと第１ネジ軸部２０１ｂとの相対回転と、第２ナット２０２ａと第２ネジ軸部２０２ｂとの相対回転との一方または両方により、振動子１４を壁部９４の一方面９４ａに押し付ける押付け力が調整される。従って、その押付け力を、第１、第２ネジ機構２０１、２０２の作動に応じて精度よく調整することが可能である。

（第２実施形態）
次に、第２実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第１実施形態と異なる点を主として説明する。また、前述の実施形態と同一または均等な部分については省略または簡略化して説明する。このことは後述の実施形態の説明においても同様である。

図４に示すように本実施形態では、調整機構２０は、振動子状態を調整する調整構造を備えているが、その調整構造は、第１ネジ機構２０１と第２ネジ機構２０２と連結体２０３（図３参照）とを有していない。その替わりに、本実施形態における調整機構２０の調整構造は、弾性変形可能な弾性体である押付バネ２０４を含んで構成されている。

この押付バネ２０４は第１方向Ｄ１へ弾性変形可能なコイルバネであり、第１方向Ｄ１の一方側に設けられた一端２０４ａと、第１方向Ｄ１の他方側に設けられた他端２０４ｂとを有している。また、超音波センサ１０が壁部９４に取り付けられた取付状態では、押付バネ２０４は、第１方向Ｄ１に圧縮された状態で保持される。すなわち、押付バネ２０４は圧縮コイルバネである。

押付バネ２０４の一端２０４ａは、固定部１２が有するバネ保持部１２２に連結し、第１方向Ｄ１の他方側からバネ保持部１２２を押している。その固定部１２のバネ保持部１２２は、押付バネ２０４に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置されている。また、バネ保持部１２２は基部１２１と一体構成になっているので、基部１２１が壁部９４に固定されることで、バネ保持部１２２も壁部９４に対して固定される。

押付バネ２０４の他端２０４ｂは、駆動素子１５の一端部１５１に連結し、第１方向Ｄ１の一方側から駆動素子１５の一端部１５１を押している。

このように、押付バネ２０４は、固定部１２のバネ保持部１２２と駆動素子１５との間に挟まれた状態で圧縮変形させられている。すなわち、そのバネ保持部１２２は、第１方向Ｄ１の他方側へ振動子１４を押す押圧部として機能する。そのため、固定部１２は、調整機構２０の押付バネ２０４を介して、振動子１４を壁部９４の一方面９４ａに押し付ける。そして、押付バネ２０４の圧縮変形に伴う付勢力は、振動子１４を壁部９４の一方面９４ａに押し付ける押圧力として振動子１４に作用する。

このような構成から、介在接着層２２の固化前に、本実施形態の調整機構２０は、振動子状態を調整することができる。具体的に、本実施形態の押付バネ２０４は駆動素子１５の一端部１５１に連結しているので、固定部１２に対する振動子１４の相対的な揺動と、固定部１２に対する振動子１４の相対変位とを許容する。従って、その押付バネ２０４を含む調整機構２０の調整構造は、固定部１２に対する振動子１４の相対位置を第１方向Ｄ１へ調整可能なものであり、且つ、固定部１２に対する振動子１４の相対的な傾きも調整可能な構成となっている。

（１）上述したように、本実施形態によれば、固定部１２は、調整機構２０の押付バネ２０４を介して、振動子１４を壁部９４の一方面９４ａに押し付ける。従って、壁部９４の一方面９４ａに接着されるときの振動子１４の位置および姿勢に応じて押付バネ２０４が受動的に弾性変形する。そのため、調整機構２０を調整する調整作業を軽減することが可能である。

また、振動子１４を壁部９４の一方面９４ａに押し付ける押付バネ２０４の付勢力は、押付バネ２０４の弾性変形により一定の範囲内に収まるので、整合層１６の他端面１６２と一方面９４ａとの間の距離が規定範囲内になって振動子１４は壁部９４に固定される。

以上説明したことを除き、本実施形態は第１実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第１実施形態と共通の構成から奏される効果を第１実施形態と同様に得ることができる。

（第３実施形態）
次に、第３実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第２実施形態と異なる点を主として説明する。

図５に示すように、本実施形態の固定部１２は、第１固定構成部２５と第２固定構成部２６と第３固定構成部２７とから構成されている。

第１固定構成部２５は、振動子１４に対し第２方向Ｄ２の一方側に配置されている。また、第１固定構成部２５は、この第１固定構成部２５のうち第１方向Ｄ１の他方側に設けられた基部としての第１固定基部２５１を有している。この第１固定基部２５１と壁部９４の一方面９４ａとの間には固定接着部１３が配置されており、第１固定基部２５１は、この固定接着部１３の接着剤が固化することにより、壁部９４の一方面９４ａに対して固定される。

図５、図６に示すように、第２固定構成部２６は、第２固定基部２６１とバネ保持部１２２と中間部２６２とを有している。第２固定基部２６１と中間部２６２は、振動子１４に対し第２方向Ｄ２の他方側に配置されている。

第２固定基部２６１は、第３固定構成部２７を介して壁部９４に固定される部位であり、例えば壁部９４の一方面９４ａに沿った板状に形成されている。

中間部２６２は、第２固定基部２６１とバネ保持部１２２との間に設けられ、第１方向Ｄ１に延伸している。中間部２６２は、そのバネ保持部１２２を第２固定基部２６１に固定している。例えば、第２固定基部２６１とバネ保持部１２２と中間部２６２は一体構成になっている。

バネ保持部１２２は、振動子１４および押付バネ２０４に対する第２方向Ｄ２の他方側では、中間部２６２に固定されている。これに対し、バネ保持部１２２は、振動子１４および押付バネ２０４に対する第２方向Ｄ２の一方側では、第１固定構成部２５に固定されていない。バネ保持部１２２には、振動子１４および押付バネ２０４に対する第２方向Ｄ２の一方側に配置された挿通孔１２２ａが形成され、その挿通孔１２２ａはバネ保持部１２２を第１方向Ｄ１に貫通している。なお、本実施形態のバネ保持部１２２は、第２実施形態と同様に、第１方向Ｄ１の他方側へ振動子１４を押す押圧部として機能する。

第３固定構成部２７はクリップ形状を成し、そのクリップ形状によって第２固定基部２６１を挟むことにより、第２固定構成部２６を壁部９４に対して保持する。具体的に、第３固定構成部２７は、第１方向Ｄ１に積層され一対を成す一方側板部２７１と他方側板部２７２とを有している。一方側板部２７１と他方側板部２７２はそれぞれ壁部９４の一方面９４ａに沿って拡がる板状を成し、一方側板部２７１は他方側板部２７２に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置されている。そして、その一方側板部２７１と他方側板部２７２は、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とに垂直な第３方向Ｄ３の一方側の端縁にて互いに連結されている。

また、一方側板部２７１と他方側板部２７２との間には第２固定基部２６１が挟み込まれ、一方側板部２７１と他方側板部２７２は、それらの連結部分の弾性変形により第２固定基部２６１に対しそれぞれ押し当てられている。言い換えると、一方側板部２７１と他方側板部２７２は、それらの連結部分の弾性変形により、第２固定基部２６１を第１方向Ｄ１に圧縮する圧縮力を第２固定基部２６１に対して作用させている。

そして、他方側板部２７２は、その他方側板部２７２と壁部９４の一方面９４ａとの間に配置された固定接着部１３の接着剤が固化することにより、壁部９４の一方面９４ａに対して固定される。

このようにして、第２固定構成部２６は、第３固定構成部２７と固定接着部１３とを介して壁部９４に固定される。なお、本実施形態の固定部１２は、図４に示された基部１２１を有していないが、本実施形態の第１固定基部２５１、第２固定基部２６１、および第３固定構成部２７は、その図４の基部１２１に相当する。

本実施形態の調整機構２０は、押付バネ２０４に加えて、ネジ機構２０５を有している。そのネジ機構２０５は、振動子１４に対し第２方向Ｄ２の一方側に配置されている。

本実施形態のネジ機構２０５は、第１実施形態の第１ネジ機構２０１と同様の構成になっている。従って、ネジ機構２０５は、雌ネジ形成部としてのナット２０５ａを有し、そのナット２０５ａは、第１実施形態の第１ナット２０１ａ（図３参照）と同様の構成を備えている。そして、ネジ機構２０５は、雄ネジ形成部としてのネジ軸部２０５ｂも有し、そのネジ軸部２０５ｂは、第１実施形態の第１ネジ軸部２０１ｂ（図３参照）と同様の構成を備えている。

具体的に、ネジ軸部２０５ｂは、固定部１２のうち第１固定構成部２５に対し相対移動不能に連結している。また、ネジ軸部２０５ｂはバネ保持部１２２の挿通孔１２２ａに挿通され、ナット２０５ａの雌ネジに螺合されながらナット２０５ａを貫通している。これらのことを除き、本実施形態のネジ軸部２０５ｂは第１実施形態の第１ネジ軸部２０１ｂと同様である。

ナット２０５ａはバネ保持部１２２に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置され、第１方向Ｄ１の一方側からバネ保持部１２２に接触している。このことを除き、本実施形態のナット２０５ａは第１実施形態の第１ナット２０１ａと同様である。

このような構成から、本実施形態でも第２実施形態と同様に、調整機構２０は振動子状態を微調整することができる。例えば、振動子状態は、押付バネ２０４によって第２実施形態と同様に微調整される。

また、ナット２０５ａとネジ軸部２０５ｂとの相対回転により、第２固定構成部２６の撓み量変化と共に押付バネ２０４の圧縮変形量と、第２方向Ｄ２に対するバネ保持部１２２の傾きも変化する。これらの変化に伴って、振動子１４が壁部９４の一方面９４ａに押し付けられた押付け状態も変化する。従って、固定部１２に対する振動子１４の相対的な位置と傾きは、ネジ機構２０５によっても微調整される。

上記のように本実施形態のバネ保持部１２２は、ネジ機構２０５と協働して、固定部１２に対する振動子１４の相対的な位置と傾きとの微調整に寄与する。そのため、バネ保持部１２２は固定部１２の一部であるが、振動子状態を調整可能に構成された調整機構２０の一部でもある。

なお、本実施形態では介在接着層２２（図４参照）は設けられていないので、振動子１４は、壁部９４の一方面９４ａに対し接着されずに押し付けられる。

上述したように、本実施形態によれば、第２固定構成部２６は壁部９４に対し直接には接着されずに、壁部９４に接着された第３固定構成部２７に挟み込まれることにより壁部９４に対し固定される。従って、壁部９４に対する超音波センサ１０の取付工程では、壁部９４の一方面９４ａに対する第１、第３固定構成部２５、２７の接着を完了させた後に、第２固定構成部２６と押付バネ２０４とを取り付けることが可能である。すなわち、押付バネ２０４と固定部１２とを同時に取り付ける必要がない。そのため、超音波センサ１０の取付工程において作業性を向上させることが可能である。

そして、本実施形態の構造では、押付バネ２０４が不要な力を吸収するので、超音波センサ１０の取付中にナット２０５ａがたとえ締め過ぎられたとしても、オーバー荷重に起因した駆動素子１５の破損を防ぐことが可能である。

以上説明したことを除き、本実施形態は第２実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第２実施形態と共通の構成から奏される効果を第２実施形態と同様に得ることができる。

（第４実施形態）
次に、第４実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第１実施形態と異なる点を主として説明する。

図７に示すように、本実施形態において固定部１２、固定接着部１３、振動子１４、および調整機構２０はそれぞれ、第１実施形態のものと同様である。

但し、本実施形態では、調整機構２０によって振動子状態が調整された結果、振動子１４は、第２方向Ｄ２の一方側ほど整合層１６の他端面１６２と壁部９４の一方面９４ａとの間の距離ＤＳが小さくなる姿勢で、壁部９４に対して固定される。これに伴って、介在接着層２２の厚みも第２方向Ｄ２の一方側ほど小さくなる。

本実施形態では、振動子１４がこのような姿勢で壁部９４に対して固定された結果、振動子１４が発する超音波振動は、矢印Ａ１、Ａ２で示されるように、壁部９４に対し、第２方向Ｄ２の一方側ほど強く伝達される。従って本実施形態では、図８に示すように、壁部９４から第１方向Ｄ１の他方側へ発せられる超音波振動の指向性は、第２方向Ｄ２の一方側へ傾く。

なお、図８は、コンピュータによるシミュレーション例において壁部９４から伝達される超音波振動の拡がりを示しており、このシミュレーション例では本実施形態の振動子１４は第１方向Ｄ１に対し例えば５度程度傾いている。図８における座標原点Ｐ０は、壁部９４のうち振動子１４が固定された箇所の中心位置に対応する。そして、図８の実線Ｌａは本実施形態における超音波振動の拡がりを示し、図８の破線Ｌｂは、本実施形態と比較される比較例における超音波振動の拡がりを示している。その比較例では、壁部９４から第１方向Ｄ１の他方側へ発せられる超音波振動の指向性が第１方向Ｄ１に対し傾かないように振動子１４が壁部９４に固定されている。

この図７、図８から判るように、本実施形態において調整機構２０は、固定部１２に対する振動子１４の相対的な傾きを調整できるので、振動子１４が壁部９４の一方面９４ａに押し付けられた押付け状態を調整することができる。そして、調整機構２０は、その押付け状態を調整することにより、壁部９４から第１方向Ｄ１の他方側（言い換えると、振動子１４側とは反対側）へ発せられる超音波振動の指向性を調整する。

（１）上述したように、本実施形態によれば、調整機構２０は、振動子１４が壁部９４の一方面９４ａに押し付けられた押付け状態を調整することにより、壁部９４から第１方向Ｄ１の他方側へ発せられる超音波振動の指向性を調整する。従って、壁部９４からの超音波振動の指向性を調整する機能も調整機構２０に備えさせることができる。

（２）また、本実施形態によれば、振動子１４は、第２方向Ｄ２の一方側ほど整合層１６の他端面１６２と壁部９４の一方面９４ａとの間の距離ＤＳが小さくなる姿勢で、壁部９４に対して固定される。これにより、壁部９４から第１方向Ｄ１の他方側へ発せられる超音波振動の指向性を第２方向Ｄ２の一方側へ傾けることが可能である。

（３）また、本実施形態によれば、固定部１２に対する振動子１４の相対的な傾きが、第１ナット２０１ａと第１ネジ軸部２０１ｂとの相対回転と、第２ナット２０２ａと第２ネジ軸部２０２ｂとの相対回転との一方または両方により調整される。従って、雌ネジと雄ネジとが螺合された簡素なネジ機構２０１、２０２により、壁部９４から第１方向Ｄ１の他方側へ発せられる超音波振動の指向性を調整することが可能である。

例えば本実施形態のように調整機構２０が有するナット２０１ａ、２０２ａとネジ軸部２０１ｂ、２０２ｂとの組み合わせが２組であれば、一軸の指向性の調整が可能である。また、その調整機構２０が有するナットとネジ軸部との組み合わせが４組であれば、二軸の指向性の調整が可能である。

以上説明したことを除き、本実施形態は第１実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第１実施形態と共通の構成から奏される効果を第１実施形態と同様に得ることができる。

（第５実施形態）
次に、第５実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第３実施形態と異なる点を主として説明する。

図９に示すように、本実施形態のネジ機構２０５は、ナット２０５ａとネジ軸部２０５ｂとに加えて、バネワッシャ２０５ｃを有している。そのバネワッシャ２０５ｃは第１方向Ｄ１に弾性変形可能なバネで構成されている。なお、図９におけるVI－VI断面を示した断面図は、第３実施形態と同様に図６である。

バネワッシャ２０５ｃは、ナット２０５ａとバネ保持部１２２との間に配置され、バネワッシャ２０５ｃの内側にはネジ軸部２０５ｂが挿通されている。従って、ネジ軸部２０５ｂは、ナット２０５ａ、バネワッシャ２０５ｃ、バネ保持部１２２の順で直列に、それらのナット２０５ａ、バネワッシャ２０５ｃ、およびバネ保持部１２２を貫通している。

このような配置において、ナット２０５ａは、バネワッシャ２０５ｃを弾性圧縮された状態に保持するようにネジ軸部２０５ｂに締め込まれている。例えば、このバネワッシャ２０５ｃは、押付バネ２０４と協働して、ナット２０５ａの締め過ぎに起因した駆動素子１５の破損を防止する作用を奏する。

本実施形態では、超音波センサ１０は回路基板ユニット３０を備えている。その回路基板ユニット３０は、電気回路基板およびその電気回路基板に実装された電気部品などを含んでいる。この電気回路基板には、回路基板ユニット３０と駆動素子１５との間に設けられた電線３０１が接続されている。

例えば、回路基板ユニット３０は、電気回路基板などにより構成され駆動素子１５を作動させるための駆動回路や、駆動素子１５と外部の電子制御装置との間で電気信号を送受信する通信機能を備えている。また、回路基板ユニット３０はバネ保持部１２２に固定されている。

以上説明したことを除き、本実施形態は第３実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第３実施形態と共通の構成から奏される効果を第３実施形態と同様に得ることができる。

（第６実施形態）
次に、第６実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第５実施形態と異なる点を主として説明する。

図１０に示すように、本実施形態のネジ機構２０５は、バネワッシャ２０５ｃ（図９参照）を有していないので、第３実施形態のネジ機構２０５と同様である。なお、図１０におけるVI－VI断面を示した断面図は、第３実施形態と同様に図６である。

本実施形態でも第５実施形態と同様に超音波センサ１０は回路基板ユニット３０を備えている。但し、本実施形態ではその回路基板ユニット３０の配置が第５実施形態と異なっている。

具体的に、本実施形態の回路基板ユニット３０は、駆動素子１５に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置され、バネ保持部１２２にではなく駆動素子１５に固定されている。そのため、回路基板ユニット３０は駆動素子１５と押付バネ２０４との間に配置されている。そして、押付バネ２０４の他端２０４ｂは、回路基板ユニット３０を介して駆動素子１５の一端部１５１に連結し、第１方向Ｄ１の一方側から駆動素子１５の一端部１５１を回路基板ユニット３０を介して押す。

以上説明したことを除き、本実施形態は第５実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第５実施形態と共通の構成から奏される効果を第５実施形態と同様に得ることができる。

（第７実施形態）
次に、第７実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第２実施形態と異なる点を主として説明する。

図１１に示すように、本実施形態の調整機構２０は、押付バネ２０４に加えて、雄ネジ形成部２０６と、ネジ機構によって固定部１２に対し第１方向Ｄ１に移動可能に構成された可動部２０７とを有している。

その雄ネジ形成部２０６は、振動子１４を囲むように形成され第１方向Ｄ１の軸心を有する円筒形状を成している。雄ネジ形成部２０６は固定部１２に固定されている。例えば、その雄ネジ形成部２０６と固定部１２は一体構成になっている。雄ネジ形成部２０６は、固定部１２から第１方向Ｄ１の一方側へ延伸している。そして、雄ネジ形成部２０６の外周には雄ネジ２０６ａが形成されている。

可動部２０７は雌ネジ形成部２０８とバネ保持部２０９とを有している。この雌ネジ形成部２０８とバネ保持部２０９は、例えば一体構成になっている。雌ネジ形成部２０８は、雄ネジ形成部２０６と同軸の円筒形状を成し、雄ネジ形成部２０６の外周側に設けられ、その雄ネジ形成部２０６を囲むように形成されている。すなわち、雌ネジ形成部２０８は、押付バネ２０４と振動子１４とを囲んでいる。

そして、雌ネジ形成部２０８の内周には、雄ネジ形成部２０６の雄ネジ２０６ａに螺合する雌ネジ２０８ａが形成されている。従って、雌ネジ形成部２０８と雄ネジ形成部２０６は、それらが相対回転することにより第１方向Ｄ１へ相対移動するネジ機構を構成する。

本実施形態のバネ保持部２０９は、第２実施形態のバネ保持部１２２に置き換わるものであるので、本実施形態では固定部１２はバネ保持部１２２を有していない。本実施形態のバネ保持部２０９は、雌ネジ形成部２０８が第１方向Ｄ１の一方側に有する端部に連結され、その雌ネジ形成部２０８の端部で雌ネジ形成部２０８内側の孔を塞ぐように形成されている。

また、バネ保持部２０９は、押付バネ２０４に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置されている。そして、押付バネ２０４の一端２０４ａはバネ保持部２０９に連結し、第１方向Ｄ１の他方側からそのバネ保持部２０９を押している。

このように本実施形態では、押付バネ２０４は、可動部２０７のバネ保持部２０９と駆動素子１５との間に挟まれた状態で圧縮変形させられている。そのため、固定部１２は、調整機構２０の押付バネ２０４を介して、振動子１４を壁部９４の一方面９４ａに押し付ける。そして、押付バネ２０４の圧縮変形に伴う付勢力は、振動子１４を壁部９４の一方面９４ａに押し付ける押圧力として振動子１４に作用する。更に、その押付バネ２０４の圧縮変形に伴う付勢力は、調整機構２０の可動部２０７が第１方向Ｄ１の他方側へ移動させられるほど強くなる。従って、本実施形態では、振動子１４を壁部９４の一方面９４ａに押し付ける押圧力を調整可能で振動子１４を壁部９４に容易に取り付けできる構造を実現することが可能である。

このような構成から、本実施形態でも第２実施形態と同様に、固定部１２に対する振動子１４の相対的な位置と傾きは、押付バネ２０４によって微調整される。

また、雄ネジ形成部２０６に対する可動部２０７の回転により、押付バネ２０４の圧縮変形量が変化する。この圧縮変形量の変化に伴って、振動子１４が壁部９４の一方面９４ａに押し付けられた押付け状態も変化する。従って、固定部１２に対する振動子１４の相対的な位置と傾きは、雄ネジ形成部２０６に対する可動部２０７の回転によっても微調整される。

なお、本実施形態では介在接着層２２（図４参照）は設けられていないので、振動子１４は、壁部９４の一方面９４ａに対し接着されずに押し付けられる。

また、本実施形態では、超音波センサ１０は、第５実施形態と同様の回路基板ユニット３０と電線３０１とを備えている。その回路基板ユニット３０はバネ保持部２０９に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置され、そのバネ保持部２０９に連結されている。但し、本実施形態の回路基板ユニット３０は、固定部１２に対し可動部２０７が回転しても電線３０１が捩れないように構成されている。

以上説明したことを除き、本実施形態は第２実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第２実施形態と共通の構成から奏される効果を第２実施形態と同様に得ることができる。

（第８実施形態）
次に、第８実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第１実施形態と異なる点を主として説明する。

図１２に示すように、本実施形態では、超音波センサ１０は、第５実施形態と同様の回路基板ユニット３０と電線３０１とを備えている。その回路基板ユニット３０は調整機構２０の連結体２０３に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置され、その連結体２０３に固定されている。

また、本実施形態では介在接着層２２（図３参照）は設けられていないので、振動子１４は、壁部９４の一方面９４ａに対し接着されずに押し付けられる。

以上説明したことを除き、本実施形態は第１実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第１実施形態と共通の構成から奏される効果を第１実施形態と同様に得ることができる。

（第９実施形態）
次に、第９実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第８実施形態と異なる点を主として説明する。

図１３に示すように、本実施形態の調整機構２０の調整構造は、第８実施形態と同様に連結体２０３を有している。但し、本実施形態の調整機構２０の調整構造は、第８実施形態の第１、第２ネジ機構２０１、２０２（図１２参照）に替えて、第１ラチェット機構２１１と第２ラチェット機構２１２と有している。

本実施形態の第１ラチェット機構２１１は第８実施形態の第１ネジ機構２０１に置き換わるものであり、振動子１４に対し第２方向Ｄ２の一方側に配置されている。また、第２ラチェット機構２１２は第８実施形態の第２ネジ機構２０２に置き換わるものであり、振動子１４に対し第２方向Ｄ２の他方側に配置されている。

第１ラチェット機構２１１は、押圧部である連結体２０３に連結した第１押圧側構成部としての第１ラチェット爪２１１ａと、壁部９４の一方面９４ａに固定部１２を介して固定される第１固定側構成部としての第１ラック２１１ｂとを有している。また、第２ラチェット機構２１２は、連結体２０３に連結した第２押圧側構成部としての第２ラチェット爪２１２ａと、壁部９４の一方面９４ａに固定部１２を介して固定される第２固定側構成部としての第２ラック２１２ｂとを有している。

第１ラチェット爪２１１ａと第２ラチェット爪２１２ａはそれぞれ、連結体２０３に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置されている。第１ラチェット爪２１１ａは、その第１ラチェット爪２１１ａの基端にて連結体２０３に連結し、第２ラチェット爪２１２ａは、その第２ラチェット爪２１２ａの基端にて連結体２０３に連結している。

第１ラック２１１ｂは第１方向Ｄ１に延伸し、連結体２０３の第１挿通孔２０３ａに挿通されている。その第１ラック２１１ｂは第１方向Ｄ１の他方側に固定端部を有し、その固定端部は固定部１２に固定されている。

そして、第１ラック２１１ｂは複数の第１ラチェット歯２１１ｃを有し、その複数の第１ラチェット歯２１１ｃは、第１方向Ｄ１に直線的に並んで配置されている。この複数の第１ラチェット歯２１１ｃと第１ラチェット爪２１１ａは、それらの形状により、第１ラチェット爪２１１ａが第１ラック２１１ｂに対し第１方向Ｄ１の一方側へ相対的に移動する場合には互いに係合する。その一方で、複数の第１ラチェット歯２１１ｃと第１ラチェット爪２１１ａは、第１ラチェット爪２１１ａが第１ラック２１１ｂに対し第１方向Ｄ１の他方側へ相対的に移動する場合には係合しない。

従って、第１ラチェット機構２１１は、第１ラチェット爪２１１ａが第１ラック２１１ｂに対し第１方向Ｄ１の一方側へ相対的に移動することを阻止し、第１ラチェット爪２１１ａが第１ラック２１１ｂに対し第１方向Ｄ１の他方側へ相対的に移動することを許容する。別言すると、第１ラチェット機構２１１は、連結体２０３が第１ラック２１１ｂに対し第１方向Ｄ１の一方側へ相対的に移動することを阻止し、連結体２０３が第１ラック２１１ｂに対し第１方向Ｄ１の他方側へ相対的に移動することを許容する。

第２ラック２１２ｂは第１方向Ｄ１に延伸し、連結体２０３の第２挿通孔２０３ｂに挿通されている。その第２ラック２１２ｂは第１方向Ｄ１の他方側に固定端部を有し、その固定端部は固定部１２に固定されている。

そして、第２ラック２１２ｂは複数の第２ラチェット歯２１２ｃを有し、その複数の第２ラチェット歯２１２ｃは、第１方向Ｄ１に直線的に並んで配置されている。この複数の第２ラチェット歯２１２ｃと第２ラチェット爪２１２ａは、それらの形状により、第２ラチェット爪２１２ａが第２ラック２１２ｂに対し第１方向Ｄ１の一方側へ相対的に移動する場合には互いに係合する。その一方で、複数の第２ラチェット歯２１２ｃと第２ラチェット爪２１２ａは、第２ラチェット爪２１２ａが第２ラック２１２ｂに対し第１方向Ｄ１の他方側へ相対的に移動する場合には係合しない。

従って、第２ラチェット機構２１２は、第２ラチェット爪２１２ａが第２ラック２１２ｂに対し第１方向Ｄ１の一方側へ相対的に移動することを阻止し、第２ラチェット爪２１２ａが第２ラック２１２ｂに対し第１方向Ｄ１の他方側へ相対的に移動することを許容する。別言すると、第２ラチェット機構２１２は、連結体２０３が第２ラック２１２ｂに対し第１方向Ｄ１の一方側へ相対的に移動することを阻止し、連結体２０３が第２ラック２１２ｂに対し第１方向Ｄ１の他方側へ相対的に移動することを許容する。

このように、連結体２０３が固定部１２に対し第１方向Ｄ１の一方側へ相対的に移動することを第１、第２ラチェット機構２１１、２１２が阻止するので、固定部１２は、振動子１４を壁部９４の一方面９４ａに押し付けることができる。

そして、振動子１４が壁部９４に固定される際に、固定部１２に対する振動子１４の相対的な位置と傾きは、第１ラック２１１ｂに対する第１ラチェット爪２１１ａの位置と第２ラック２１２ｂに対する第２ラチェット爪２１２ａの位置とに応じて微調整される。

（１）上述したように、本実施形態によれば、第１ラチェット機構２１１は、第１ラチェット爪２１１ａが第１ラック２１１ｂに対し第１方向Ｄ１の一方側へ相対的に移動することを阻止する。その一方で、第１ラチェット機構２１１は、第１ラチェット爪２１１ａが第１ラック２１１ｂに対し第１方向Ｄ１の他方側へ相対的に移動することを許容する。また、第２ラチェット機構２１２は、第２ラチェット爪２１２ａが第２ラック２１２ｂに対し第１方向Ｄ１の一方側へ相対的に移動することを阻止する。その一方で、第２ラチェット機構２１２は、第２ラチェット爪２１２ａが第２ラック２１２ｂに対し第１方向Ｄ１の他方側へ相対的に移動することを許容する。第１、第２ラチェット爪２１１ａ、２１２ａは連結体２０３に連結している。そして、第１、第２ラック２１１ｂ、２１２ｂは壁部９４の一方面９４ａに固定部１２を介して固定される。

従って、第１、第２ラチェット機構２１１、２１２の逆止構造によって、壁部９４の一方面９４ａに対し振動子１４を容易に固定することが可能である。

また、本実施形態によれば、第１ラック２１１ｂに対する第１ラチェット爪２１１ａの相対位置と、第２ラック２１２ｂに対する第２ラチェット爪２１２ａの相対位置との一方または両方に応じて、振動子１４を一方面９４ａに押し付ける押付け力が調整される。従って、その押付け力を、第１、第２ラチェット機構２１１、２１２の作動に応じて簡単に調整することが可能である。

以上説明したことを除き、本実施形態は第８実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第８実施形態と共通の構成から奏される効果を第８実施形態と同様に得ることができる。

（第１０実施形態）
次に、第１０実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第３実施形態と異なる点を主として説明する。

図１４に示すように、本実施形態の調整機構２０は、第３実施形態と同様に押付バネ２０４を有している。但し、第３実施形態とは異なり、本実施形態の調整機構２０はラチェット機構２１３を有している。このラチェット機構２１３は、第３実施形態のネジ機構２０５（図５参照）に置き換わるものである。なお、図１４におけるVI－VI断面を示した断面図は、第３実施形態と同様に図６である。

本実施形態のラチェット機構２１３は、第９実施形態の第１ラチェット機構２１１と同様の構成になっている。従って、ラチェット機構２１３は、押圧側構成部としてのラチェット爪２１３ａを有し、そのラチェット爪２１３ａは、第９実施形態の第１ラチェット爪２１１ａ（図１３参照）と同様の構成を備えている。そして、ラチェット機構２１３は、固定側構成部としてのラック２１３ｂも有し、そのラック２１３ｂは、第９実施形態の第１ラック２１１ｂ（図１３参照）と同様の構成を備えている。

具体的に、ラチェット爪２１３ａは、バネ保持部１２２に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置されている。そして、ラチェット爪２１３ａは、そのラチェット爪２１３ａの基端にてバネ保持部１２２に連結している。これらのことを除き、本実施形態のラチェット爪２１３ａは第９実施形態の第１ラチェット爪２１１ａと同様である。

ラック２１３ｂは第１方向Ｄ１に延伸し、バネ保持部１２２の挿通孔１２２ａに挿通されている。そのラック２１３ｂは第１方向Ｄ１の他方側に固定端部を有し、その固定端部は固定部１２のうち第１固定構成部２５に固定されている。

そして、ラック２１３ｂは複数のラチェット歯２１３ｃを有している。この複数のラチェット歯２１３ｃは、第９実施形態の第１ラチェット歯２１１ｃ（図１３参照）と同様の構成であるので、第１方向Ｄ１に直線的に並んで配置されている。以上説明したことを除き、本実施形態のラック２１３ｂは第９実施形態の第１ラック２１１ｂと同様である。

従って、本実施形態のラチェット歯２１３ｃとラチェット爪２１３ａとが互いに係合する場合と、係合しない場合はそれぞれ、第９実施形態における第１ラチェット歯２１１ｃと第１ラチェット爪２１１ａとの関係と同じである。

そのため、本実施形態のラチェット機構２１３は第９実施形態の第１ラチェット機構２１１と同様に作動する。すなわち、ラチェット機構２１３は、ラチェット爪２１３ａがラック２１３ｂに対し第１方向Ｄ１の一方側へ相対的に移動することを阻止し、ラチェット爪２１３ａがラック２１３ｂに対し第１方向Ｄ１の他方側へ相対的に移動することを許容する。

このような構成から、本実施形態でも第３実施形態と同様に、調整機構２０は、固定部１２に対する振動子１４の相対的な位置と傾きとを微調整することができる。

本実施形態では、超音波センサ１０は、第５実施形態と同様の回路基板ユニット３０と電線３０１とを備えている。その回路基板ユニット３０はバネ保持部１２２に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置され、そのバネ保持部１２２に固定されている。

以上説明したことを除き、本実施形態は第３実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第３実施形態と共通の構成から奏される効果を第３実施形態と同様に得ることができる。

（第１１実施形態）
次に、第１１実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第１０実施形態と異なる点を主として説明する。

図１５に示すように、本実施形態でも第１０実施形態と同様に超音波センサ１０は回路基板ユニット３０を備えている。但し、本実施形態ではその回路基板ユニット３０の配置が第１０実施形態と異なっている。具体的に本実施形態において、回路基板ユニット３０は、第６実施形態と同様に駆動素子１５と押付バネ２０４との間に配置されている。なお、図１５におけるVI－VI断面を示した断面図は、第３実施形態と同様に図６である。

以上説明したことを除き、本実施形態は第１０実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第１０実施形態と共通の構成から奏される効果を第１０実施形態と同様に得ることができる。

（第１２実施形態）
次に、第１２実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第１実施形態と異なる点を主として説明する。

図１６、図１７に示すように、本実施形態では、超音波センサ１０は、固定部１２と固定接着部１３と振動子１４と調整機構２０と介在接着層２２とを備えている。それに加え、超音波センサ１０は、回路基板３１とカバー部４０と弾性シール４２と連結部材４４と背面カバー４６と複数の連結ネジ部材５２とを備えている。また、固定部１２と固定接着部１３と調整機構２０と介在接着層２２との具体的な構成や形状が、第１実施形態に対し異なっている。

なお、図１６は、図１７のXVI－XVI断面を示している。また、図１７では、回路基板３１、背面カバー４６、および壁部９４の図示が省略されている。また、図１６、図１７は、壁部９４に対し超音波センサ１０の取り付けが完了した状態を表している。

本実施形態の固定部１２は、振動子１４、調整機構２０、回路基板３１、カバー部４０、弾性シール４２、連結部材４４、および背面カバー４６を壁部９４に対して支持する支持体である。固定部１２は、固定本体部１２４と固定端外周部１２５とを有している。

固定本体部１２４は第１方向Ｄ１に延伸した筒形状を成し、固定本体部１２４の内側には、第１方向Ｄ１に固定本体部１２４を貫通した本体内周孔１２４ａが形成されている。その本体内周孔１２４ａは、例えば横断面が円形になっている円形孔である。

また、固定本体部１２４には、雌ネジを有する複数（例えば、４つ）のネジ穴１２４ｂが形成されている。すなわち、固定本体部１２４は、そのネジ穴１２４ｂが形成された雌ネジ形成部１２４ｃを複数有している。固定本体部１２４の複数のネジ穴１２４ｂはそれぞれ第１方向Ｄ１の一方側に開口し、第１方向Ｄ１に沿った方向視（例えば矢印XVIIで示される方向視）で振動子１４まわりに等ピッチで配置されている。例えば、そのネジ穴１２４ｂはそれぞれ、第１方向Ｄ１の他方側に底を有する止め穴として形成されている。

固定端外周部１２５は、第１方向Ｄ１に厚みを有する薄板状に形成され、可撓性を備えている。固定端外周部１２５は、固定本体部１２４のうち第１方向Ｄ１の他方側の端部から固定本体部１２４の外周側へ拡がるように延伸している。また、固定端外周部１２５は固定本体部１２４の全周にわたって設けられ、固定端外周部１２５には複数のスリット１２５ａが形成されている。その複数のスリット１２５ａは、固定本体部１２４まわりに相互間隔をあけて配置されている。

また、固定部１２は、その固定部１２のうち第１方向Ｄ１の他方側の端に設けられ第１方向Ｄ１の他方側へ向いた固定部他端面１２ａを有している。この固定部他端面１２ａは、固定本体部１２４と固定端外周部１２５との両方に及ぶように拡がっている。固定部他端面１２ａは、第１方向Ｄ１に沿った方向視において、本体内周孔１２４ａに対する外周側で本体内周孔１２４ａの全周にわたって形成されている。

また、固定部他端面１２ａは、壁部９４の一方面９４ａに対し固定接着部１３を挟んで対向し、固定接着部１３を介して一方面９４ａに接着固定される。例えば、本実施形態の固定接着部１３は、接着剤が含浸された接着テープで構成されている。これにより、固定接着部１３は、接着剤の固化前からその固定接着部１３の形状を保持できる。この固定接着部１３を構成する接着テープは、例えば防水性を備えている。

本実施形態の固定接着部１３は、固定部他端面１２ａの略全面にわたって設けられている。すなわち、固定接着部１３は、第１方向Ｄ１に沿った方向視において、本体内周孔１２４ａに対する外周側で本体内周孔１２４ａの全周にわたって設けられている。そして、第１方向Ｄ１に沿った方向視において固定接着部１３がカバー部４０に対して重ならないように、固定接着部１３の中央には貫通孔１３ａが形成されている。例えば、固定接着部１３は、その固定接着部１３の接着剤が固化することにより、固定部他端面１２ａと一方面９４ａとを接着固定する。

本実施形態の振動子１４は第１実施形態と同様であり、駆動素子１５と整合層１６とを有している。振動子１４は調整機構２０に対し連結部材４４を介して連結されている。この連結部材４４は、第１方向Ｄ１において振動子１４と調整機構２０の一方側部材５０との間に配置されている。例えば、振動子１４は連結部材４４に接着固定され、その連結部材４４は調整機構２０の一方側部材５０に接着固定されている。要するに、振動子１４は一方側部材５０に固定されている。

カバー部４０は振動子１４を囲むように設けられ、固定部１２に対し第１方向Ｄ１へ相対移動可能なように固定部１２の内側に嵌め入れられている。言い換えると、カバー部４０は、固定部１２に対し相対移動可能な状態で固定部１２の本体内周孔１２４ａに嵌め入れられている。従って、固定部１２は、カバー部４０とその内側に配置された振動子１４とを囲むように形成されている。例えば、カバー部４０は、樹脂材料または金属材料で構成されている。

具体的に、カバー部４０はカバー周囲部４０１とカバー底部４０２とを有している。そのカバー周囲部４０１とカバー底部４０２は一体構成になっている。

カバー周囲部４０１は、第１方向Ｄ１に沿った方向視で振動子１４の周りに設けられ、その振動子１４を収容するカバー内空間４０１ａをカバー周囲部４０１の内側に形成している。

上記したようにカバー部４０は固定部１２の本体内周孔１２４ａに嵌め入れられているが、詳しくは、このカバー周囲部４０１が本体内周孔１２４ａに嵌め入れられている。そのため、固定部１２は、第１方向Ｄ１に沿った方向視でカバー周囲部４０１を全周にわたって囲むように形成されている。詳細に言えば、固定本体部１２４、固定端外周部１２５、および固定部他端面１２ａはそれぞれ、第１方向Ｄ１に沿った方向視でカバー周囲部４０１を全周にわたって囲むように形成されている。

このカバー周囲部４０１は、第１方向Ｄ１に延伸した円筒形状を成している。そして、カバー周囲部４０１は、固定本体部１２４が有する内周面１２４ｄに対向する外周面４０１ｂを有している。その固定本体部１２４の内周面１２４ｄは本体内周孔１２４ａに面し、固定本体部１２４の内周側を向いて形成されている。

上記したように本体内周孔１２４ａの横断面が円形であるので、固定本体部１２４の内周面１２４ｄの横断面もカバー周囲部４０１の外周面４０１ｂの横断面もそれぞれ円形である。そして、カバー周囲部４０１の外周面４０１ｂと固定本体部１２４の内周面１２４ｄとの間には、僅かな径方向隙間であるカバー部周囲隙間４０１ｃが形成されている。このカバー部周囲隙間４０１ｃは、例えばカバー周囲部４０１周りの全周にわたって形成される。

また、カバー周囲部４０１のうち第１方向Ｄ１の一方側の端面である一端面４０１ｄには、雌ネジを有する複数（例えば、４つ）のネジ穴４０１ｅが形成されている。このネジ穴４０１ｅはそれぞれ第１方向Ｄ１の一方側に開口し、第１方向Ｄ１に沿った方向視で振動子１４まわりに等ピッチで配置されている。例えば、そのネジ穴４０１ｅはそれぞれ、第１方向Ｄ１の他方側に底を有する止め穴として形成されている。カバー周囲部４０１の一端面４０１ｄは、カバー部４０において第１方向Ｄ１の一方側に形成された端面であるので、カバー部４０の一端面でもある。

カバー底部４０２は、カバー内空間４０１ａに対する第１方向Ｄ１の他方側でそのカバー内空間４０１ａを塞いでいる。カバー底部４０２は、そのカバー底部４０２の全周でカバー周囲部４０１に連結している。従って、カバー底部４０２はカバー内空間４０１ａの底部として設けられ、第１方向Ｄ１におけるカバー内空間４０１ａの他方側はカバー底部４０２によって完全に塞がれている。そのため、介在接着層２２の固化前であっても、介在接着層２２の接着剤がカバー底部４０２に対する第１方向Ｄ１の他方側からカバー内空間４０１ａに流れ込むことはない。

また、カバー底部４０２は、第１方向Ｄ１に厚みを有する薄板状に形成され、可撓性を備えている。カバー底部４０２には、第１方向Ｄ１の一方側から整合層１６が密着する。その整合層１６は、カバー底部４０２に対し接着等により接合され固定されている。

そのため、第１方向Ｄ１に沿った方向視では振動子１４とカバー部４０との相対位置が拘束されるように、振動子１４とカバー部４０は互いに連結されることになる。言い換えると、振動子１４は、第１方向Ｄ１に沿った方向視で振動子１４の位置がカバー部４０に対し相対的に拘束されるようにカバー部４０に連結されている。例えば、振動子１４とカバー部４０との相対的な位置関係が第２方向Ｄ２にも第３方向Ｄ３にも規制されるということである。その第３方向Ｄ３は、第３実施形態と同様に第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とに垂直な方向である。

カバー部４０は、そのカバー部４０において第１方向Ｄ１の他方側に形成された他端面であるカバー部他端面４０ａを有している。このカバー部他端面４０ａは、介在接着層２２を介して壁部９４の一方面９４ａに対向し、介在接着層２２によってその一方面９４ａに接着される。また、カバー部他端面４０ａは、カバー周囲部４０１とカバー底部４０２との両方に及ぶように拡がっている。

カバー部他端面４０ａは、第１方向Ｄ１に沿った方向視で、そのカバー部他端面４０ａの全周にわたって固定部他端面１２ａに囲まれている。そして、その固定部他端面１２ａは、第１方向Ｄ１に沿った方向視において、固定接着部１３により、カバー部他端面４０ａまわりで環状に連続して壁部９４の一方面９４ａに接合される。言い換えると、固定部他端面１２ａと一方面９４ａとを接着する固定接着部１３は、第１方向Ｄ１に沿った方向視において、カバー部他端面４０ａまわりで環状に連続して形成されている。

本実施形態の調整機構２０も、第１実施形態の調整機構２０と同様に、振動子１４を固定部１２に連結している。本実施形態の調整機構２０は、固定部１２に対する振動子１４の相対的な位置と姿勢とを調整可能な調整部として設けられている。そして、本実施形態の調整機構２０は、ネジによって振動子状態を調整する調整構造を備えている。

具体的に、本実施形態の調整機構２０が備える調整構造は、一方側部材５０と複数（例えば、４本）の調整ネジ部材５１とを含んで構成されている。その調整ネジ部材５１の本数は、固定部１２のネジ穴１２４ｂの数と同じである。

一方側部材５０は例えば高剛性の樹脂材料で構成され、第１方向Ｄ１に厚みを有する板状に形成されている。一方側部材５０は、振動子１４とカバー部４０と固定部１２とに対し第１方向Ｄ１の一方側に配置されている。一方側部材５０には、振動子１４が連結部材４４を介して固定されている。

また、一方側部材５０には、第１方向Ｄ１の一方側から他方側へ窪んだ形状を成す基板配置空間５０ａが形成されている。その基板配置空間５０ａには、電気部品などが実装された回路基板３１が配置されている。その回路基板３１は、電線などを介して駆動素子１５に電気的に接続されている。例えば回路基板３１は、駆動素子１５を作動させるための駆動回路や、駆動素子１５と外部の電子制御装置との間で電気信号を送受信する通信機能などを備えている。

また、基板配置空間５０ａは、第１方向Ｄ１の一方側に開口した空間であり、その基板配置空間５０ａにおける第１方向Ｄ１の一方側は、背面カバー４６によって塞がれている。その背面カバー４６は、一方側部材５０に固定されている。

複数の調整ネジ部材５１はそれぞれ、雄ネジが形成された雄ネジ形成部であり、第１方向Ｄ１に延伸している。その複数の調整ネジ部材５１としては、例えば、ボルト、プラスネジ、またはマイナスネジなどを採用することができる。すなわち、複数の調整ネジ部材５１はそれぞれ、雄ネジを有するネジ軸と、そのネジ軸に対し第１方向Ｄ１の一方側に設けられたネジ頭部とから構成され、そのネジ頭部は、ネジ軸およびそのネジ軸が挿通される一方側部材５０の貫通孔５０ｂに対し拡径している。

また、その複数の調整ネジ部材５１の雄ネジは、固定本体部１２４のネジ穴１２４ｂの雌ネジにそれぞれ螺合されている。詳細には、複数の調整ネジ部材５１はそれぞれ、第１方向Ｄ１の一方側から一方側部材５０の貫通孔５０ｂに挿通された上で、第１方向Ｄ１の一方側から固定本体部１２４のネジ穴１２４ｂに螺合されている。従って、複数の調整ネジ部材５１は、第１方向Ｄ１に沿った方向視では固定本体部１２４のネジ穴１２４ｂと同じ位置に配置される。

また、複数の調整ネジ部材５１はそれぞれ、第１方向Ｄ１に沿った方向視において、カバー部４０および弾性シール４２に対し外周側に配置されている。

また、調整ネジ部材５１と、その調整ネジ部材５１が螺合するネジ穴１２４ｂが形成された雌ネジ形成部１２４ｃとの組み合わせはそれぞれ、ネジ機構を構成する。すなわち、本実施形態の調整機構２０は複数のネジ機構を有している。そして、雌ネジ形成部１２４ｃは固定本体部１２４の一部であるが、振動子状態の調整に関わる部分であるので、調整機構２０の調整構造の一部でもある。

具体的に、固定部１２に対する振動子１４の相対的な位置と傾きは、介在接着層２２の固化前に、複数のネジ機構のそれぞれにおいて雌ネジ形成部１２４ｃと調整ネジ部材５１とが相対回転させられることにより調整される。このとき、固定部１２に対する振動子１４の相対的な位置と傾きとの調整に伴って、固化前の介在接着層２２の接着剤ＡＤ（図１８Ｄ参照）が潰された状態も変化する。

また、調整ネジ部材５１がネジ穴１２４ｂに螺合されながら締め付けられるほど、一方側部材５０は、振動子１４とカバー部４０とを一方面９４ａに対して強く押し付けるように作用する。そのため、調整ネジ部材５１の締め付けに伴い、振動子１４は、その振動子１４と壁部９４の一方面９４ａとの間にカバー底部４０２と介在接着層２２とを挟んだ状態で一方面９４ａに押し付けられる。そして、カバー部４０は、カバー周囲部４０１およびカバー底部４０２のそれぞれと一方面９４ａとの間に介在接着層２２を挟んだ状態で一方面９４ａに押し付けられる。

弾性シール４２は、圧縮変形可能な変形部であり、カバー周囲部４０１と一方側部材５０との間をシールする。また、弾性シール４２は、防水機能のほかに、制振機能、吸音機能、およびバネ機能などを有し、例えばシリコーンゴムまたは発泡ウレタン等で構成されている。

具体的に、弾性シール４２は、第１方向Ｄ１において一方側部材５０とカバー周囲部４０１との間に配置されている。言い換えると、カバー周囲部４０１は、そのカバー周囲部４０１と一方側部材５０との間に弾性シール４２を挟んだ状態で一方側部材５０に連結されている。そのため、弾性シール４２は、一方側部材５０とカバー周囲部４０１とに挟まれ圧縮されることで弾性変形させられ、それより一方側部材５０とカバー周囲部４０１とのそれぞれに密着すると共に、その一方側部材５０とカバー周囲部４０１との間をシールする。

また、弾性シール４２は、連結部材４４の周りを全周にわたって囲むように環状に形成されている。すなわち、弾性シール４２の内側には、連結部材４４が挿通された貫通孔が形成されている。

複数の連結ネジ部材５２は、一方側部材５０と弾性シール４２とカバー部４０との相互連結を保持する役割を果たす。複数の連結ネジ部材５２はそれぞれ、第１方向Ｄ１に延伸しており、その連結ネジ部材５２にはそれぞれ、雄ネジが形成されている。その複数の連結ネジ部材５２としては、例えば、ボルト、プラスネジ、またはマイナスネジなどを採用することができる。すなわち、複数の連結ネジ部材５２はそれぞれ、雄ネジを有するネジ軸と、そのネジ軸に対し第１方向Ｄ１の一方側に設けられたネジ頭部とから構成され、そのネジ頭部は、ネジ軸およびそのネジ軸が挿通される一方側部材５０の貫通孔５０ｃに対し拡径している。

また、その複数の連結ネジ部材５２の雄ネジは、カバー周囲部４０１のネジ穴４０１ｅの雌ネジにそれぞれ螺合されている。詳細には、複数の連結ネジ部材５２はそれぞれ、第１方向Ｄ１の一方側から一方側部材５０の貫通孔５０ｃと弾性シール４２の貫通孔４２ａとに挿通された上で、第１方向Ｄ１の一方側からカバー周囲部４０１のネジ穴４０１ｅに螺合されている。

従って、複数の連結ネジ部材５２は、第１方向Ｄ１に沿った方向視ではカバー周囲部４０１のネジ穴４０１ｅと同じ位置に配置される。なお、カバー周囲部４０１のネジ穴４０１ｅに対する連結ネジ部材５２の螺合では、連結ネジ部材５２は、ネジ穴４０１ｅから外れない程度に締め込まれていればよく、弾性シール４２を連結ネジ部材５２の締込みによって圧縮変形させる必要はない。

介在接着層２２は、カバー部４０と壁部９４の一方面９４ａとの間に配置された接着層であり、そのカバー部４０を一方面９４ａに対して接着する。詳細には、その介在接着層２２は、カバー周囲部４０１およびカバー底部４０２のそれぞれと壁部９４の一方面９４ａとの間に配置されている。そして、介在接着層２２は、そのカバー周囲部４０１およびカバー底部４０２のそれぞれを一方面９４ａに対して接着する。

なお、本実施形態の介在接着層２２は第１実施形態の介在接着層２２と同様の接着剤で構成されている。従って、本実施形態では、カバー部４０は、介在接着層２２の接着剤が固化することにより壁部９４の一方面９４ａに接合される。

以上のように構成された超音波センサ１０をバンパー９３の壁部９４へ取り付ける取付工程について説明する。先ず、図１８Ａに示すように、固定部他端面１２ａに固定接着部１３が貼り付けられた固定部１２が用意される。そして、その固定部１２が、矢印Ｂ１で示すように、固定部１２と壁部９４との間に固定接着部１３を挟んだ状態で壁部９４の一方面９４ａに接着固定される。このとき、固定接着部１３が十分な接着力を発揮できるように、固定部１２は壁部９４の一方面９４ａに対して押し付けられ、接着テープである固定接着部１３が第１方向Ｄ１に圧縮され潰される。

次に、図１８Ｂに示すように、介在接着層２２を構成する液状の接着剤ＡＤが、壁部９４の一方面９４ａのうち固定本体部１２４の内側に位置する部位（すなわち、カバー部４０が接合される部位）に塗布される。その接着剤ＡＤとしては、例えば二液タイプのエポキシ系接着剤を採用することができる。

このとき、その接着剤ＡＤが塗布された部位が、固定本体部１２４と固定接着部１３とにより全周にわたって囲まれているので、その接着剤ＡＤは、固定本体部１２４の外側にまで濡れ拡がることはない。要するに、作業者が意図しない範囲にその接着剤ＡＤが塗布されることが防止されている。

次に、図１８Ｃに示すように、振動子１４と回路基板３１とカバー部４０と弾性シール４２と連結部材４４と背面カバー４６と一方側部材５０と複数の連結ネジ部材５２とを構成部品として含む振動子組立品５４が用意される。その振動子組立品５４は、複数の連結ネジ部材５２がカバー周囲部４０１の複数のネジ穴４０１ｅにそれぞれ螺合されることにより振動子組立品５４の複数の構成部品が互いに連結し組み立てられたものである。

そして、カバー部４０が、矢印Ｂ２で示すように第１方向Ｄ１の一方側から固定部１２の本体内周孔１２４ａ内へ挿入されるようにして、振動子組立品５４が固定部１２に対して組み合わされる。このとき、カバー周囲部４０１が固定本体部１２４の内周面１２４ｄにガイドされながらカバー部４０は本体内周孔１２４ａ内へ挿入される。そのため、振動子１４とカバー部４０とが壁部９４の一方面９４ａに対し正対した姿勢でカバー部４０はその一方面９４ａに貼り付けられる。

次に、図１８Ｄに示すように、複数の調整ネジ部材５１が、一方側部材５０の貫通孔５０ｂに挿通されると共に固定部１２のネジ穴１２４ｂへそれぞれ螺合され、締め付けられる。これにより、一方側部材５０が第１方向Ｄ１の他方側（すなわち、固定部１２側）へ、矢印Ｂ３で示すように押し付けられる。そして、液状の接着剤ＡＤが壁部９４の一方面９４ａとカバー部４０との間で潰されながら、一方面９４ａに沿って矢印Ｂ４のように押し拡げられる。

このとき、同時に、振動子１４が壁部９４の一方面９４ａに対しカバー底部４０２と介在接着層２２とを挟んで密着するように、壁部９４の一方面９４ａに対する振動子１４およびカバー部４０の位置と姿勢とが調整される。この振動子１４およびカバー部４０の位置と姿勢の調整は、複数の調整ネジ部材５１それぞれの締め付け程度の加減によって行われる。本実施形態では調整ネジ部材５１が４本設けられているので、振動子１４の二軸の姿勢調整（言い換えると、二軸の傾き調整）が可能である。

また、この状態において、カバー部周囲隙間４０１ｃは超音波センサ１０の外部へ開放され、且つ、接着剤ＡＤにより構成される介在接着層２２にまで到達している。そのため、接着剤ＡＤの内部に気泡などの空気が含まれていたとしても、その接着剤ＡＤ内の空気は、カバー部４０が壁部９４の一方面９４ａに押し付けられることに伴って、矢印Ｂ５のようにカバー部周囲隙間４０１ｃを通じて超音波センサ１０の外部へ排出される。

また、カバー部４０と振動子１４とが壁部９４の一方面９４ａに押し付けられることに伴って、弾性シール４２は、カバー周囲部４０１と一方側部材５０とに挟まれながら第１方向Ｄ１に圧縮変形する。この圧縮変形可能な弾性シール４２によって、カバー部４０に対する振動子１４の相対的な位置および姿勢のバラツキが或る程度吸収される。なお、弾性シール４２が第１方向Ｄ１に圧縮変形させられると、それに応じて、連結ネジ部材５２のネジ頭部は、一方側部材５０に形成された座面から浮き上がることになる。

また、複数の調整ネジ部材５１がネジ穴１２４ｂへそれぞれ螺合され強く締め付けられるほど、壁部９４に固定された固定部１２はその複数の調整ネジ部材５１を介して、振動子１４とカバー部４０とを壁部９４の一方面９４ａへ強く押圧するように作用する。すなわち、複数の調整ネジ部材５１の締付け力に応じて、固定部１２は、一方側部材５０と複数の調整ネジ部材５１とを介して、カバー部４０と振動子１４とを共に壁部９４の一方面９４ａに押し付ける。

ここで、振動子１４の姿勢調整と、壁部９４の一方面９４ａに対する振動子１４の押し付けとが完了した状態において、液状の接着剤ＡＤがカバー部４０と一方面９４ａとの間に収まりきらず余剰を生じる場合が想定される。そのような場合には、図１８ＥのＸＡ部分、ＸＢ部分に示すように、接着剤ＡＤの余剰分は固定接着部１３と固定本体部１２４とに塞き止められ、カバー部周囲隙間４０１ｃに入り込むことになる。すなわち、カバー部周囲隙間４０１ｃは接着剤ＡＤの余剰分の逃がしとして機能する。そして、固定接着部１３と固定本体部１２４は、液状の接着剤ＡＤが所望の範囲内にのみ塗布されるように接着剤ＡＤの拡がりを制限する役割を果たす。

そして、図１８Ｅに示すように、振動子１４の姿勢調整と、壁部９４の一方面９４ａに対する振動子１４の押し付けとが完了した後に、介在接着層２２を構成する接着剤ＡＤは固化される。例えば、その接着剤ＡＤは、所定の硬化時間、放置されることによって固化される。このようにして、バンパー９３の壁部９４に対する超音波センサ１０の取付けは完了する。

（１）上述したように、本実施形態によれば、第１方向Ｄ１に沿った方向視では振動子１４とカバー部４０との相対位置が拘束されるように、振動子１４とカバー部４０は互いに連結されている。カバー部４０は、固定部１２に対し第１方向Ｄ１へ相対移動可能なように固定部１２の内側に嵌め入れられ、振動子１４とカバー部４０は調整機構２０へ連結している。そして、固定部１２は調整機構２０を介して、カバー部４０と振動子１４とを共に壁部９４の一方面９４ａに押し付ける。

従って、壁部９４に対する超音波センサ１０の取付工程では、固定本体部１２４の内周面１２４ｄにカバー周囲部４０１の外周面４０１ｂを沿わせながら、図１８Ｃの矢印Ｂ２で示すようにカバー部４０を固定部１２の本体内周孔１２４ａに挿入することができる。これにより、振動子１４とカバー部４０とが壁部９４の一方面９４ａに対し正対した姿勢で、その振動子１４とカバー部４０とを含む振動子組立品５４を固定部１２に装着することができる。例えば、壁部９４の一方面９４ａに対し振動子１４が不必要に傾くことを防止することができ、第１方向Ｄ１に沿った方向視で本体内周孔１２４ａの中心に振動子１４を精度良く設置することができる。

（２）また、本実施形態によれば、カバー周囲部４０１は、第１方向Ｄ１に沿った方向視で振動子１４の周りに設けられている。カバー底部４０２は、カバー周囲部４０１の内側のカバー内空間４０１ａをそのカバー内空間４０１ａに対する第１方向Ｄ１の他方側で塞ぎ、カバー周囲部４０１に連結している。そして、振動子１４は、その振動子１４と壁部９４の一方面９４ａとの間にカバー底部４０２と介在接着層２２とを挟んだ状態で一方面９４ａに押し付けられる。

従って、超音波センサ１０の取付工程において、カバー部他端面４０ａで介在接着層２２を構成する接着剤ＡＤを固化前に押し拡げることができる。そのため、その接着剤ＡＤの内部に含まれた気泡を追い出し、例えば薄く均一な厚みの介在接着層２２を形成することが可能である。

（３）また、本実施形態によれば、カバー部４０は、第１方向Ｄ１の他方側に形成され介在接着層２２により壁部９４の一方面９４ａに接着されるカバー部他端面４０ａを有する。そして、固定部１２は、第１方向Ｄ１の他方側に形成された固定部他端面１２ａを有する。その固定部他端面１２ａは、第１方向Ｄ１に沿った方向視でカバー部他端面４０ａを囲むように環状に連続して壁部９４の一方面９４ａに接合される。

従って、図１８Ｂに示すように、超音波センサ１０の取付工程において、介在接着層２２を構成する液状の接着剤ＡＤの塗布時に、その接着剤ＡＤが固定本体部１２４の外側へ誤って流れ拡がることを防止することが可能である。また、液状の接着剤ＡＤが壁部９４の一方面９４ａとカバー部他端面４０ａとの間で図１８Ｄの矢印Ｂ４のように押し拡げられたときに、その接着剤ＡＤが固定本体部１２４の内側から溢れて拡がり過ぎることを防止することが可能である。

（４）また、本実施形態によれば、図１８Ｅに示すように、カバー周囲部４０１の外周面４０１ｂと、その外周面４０１ｂに対向する固定部１２の内周面１２４ｄとの間にはカバー部周囲隙間４０１ｃが形成される。そして、そのカバー部周囲隙間４０１ｃは外部へ開放され、且つ介在接着層２２にまで到達する。

従って、超音波センサ１０の取付工程において、液状の接着剤ＡＤが壁部９４の一方面９４ａとカバー部他端面４０ａとの間で押し拡げられたときに、ＸＡ部分、ＸＢ部分に示すように、接着剤ＡＤの余剰分をカバー部周囲隙間４０１ｃに逃がすことができる。そして、その接着剤ＡＤによって構成される介在接着層２２の厚みを安定して薄くすることができる。

（５）また、本実施形態によれば、カバー部４０は、そのカバー部４０と一方側部材５０との間に弾性シール４２を挟んだ状態で一方側部材５０に連結されている。固定部１２は一方側部材５０を介して、カバー部４０部と振動子１４とを共に壁部９４の一方面９４ａに押し付ける。そして、カバー部４０と振動子１４とが壁部９４の一方面９４ａに押し付けられることに伴って、弾性シール４２は第１方向Ｄ１に圧縮変形する。

従って、超音波センサ１０の取付工程において、壁部９４の一方面９４ａに押し付けられたカバー部４０および振動子１４の姿勢とカバー部他端面４０ａの面形状とが一方面９４ａの形状に追従しやすい。そのため、固化前の液状の接着剤ＡＤを薄く均一な厚みで押し拡げることが可能である。

また、壁部９４の一方面９４ａへの押付けに伴い、カバー底部４０２が第１方向Ｄ１の他方側へ僅かながら膨らむように変形されやすくなる。そのため、固化前の接着剤ＡＤをその接着剤ＡＤの中心部から周縁部分へ押し出す作用も得られ、接着剤ＡＤの内部に含まれる気泡を安定して排出することが可能である。

本実施形態では、前述の第１実施形態と共通の構成から奏される効果を第１実施形態と同様に得ることができる。

（第１３実施形態）
次に、第１３実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第１２実施形態と異なる点を主として説明する。

図１９に示すように、本実施形態の超音波センサ１０は第１２実施形態と同様のものであるが、その超音波センサ１０が取り付けられる壁部９４の形状が第１２実施形態とは異なる。

具体的に、第１２実施形態の壁部９４は平板状であるが、本実施形態の壁部９４は第１方向Ｄ１の他方側へ張り出すように湾曲している。従って、本実施形態の超音波センサ１０が固定される壁部９４の一方面９４ａは、凹状に湾曲した湾曲面になっている。

そのため、壁部９４に対する超音波センサ１０の取付工程において、その湾曲した壁部９４の一方面９４ａの形状に追従して固定端外周部１２５とカバー底部４０２とがそれぞれ変形する。

具体的には、固定部１２が壁部９４の一方面９４ａに接着固定される際にその一方面９４ａに対して押し付けられるので、それに伴い、固定端外周部１２５は、壁部９４の一方面９４ａに沿うように湾曲する。これにより、固定端外周部１２５は、固定本体部１２４から外側へ離れるほど第１方向Ｄ１の一方側に位置するように湾曲した形状で固定される。

また、介在接着層２２を構成する接着剤ＡＤの固化前においては、カバー周囲部４０１と振動子１４との第１方向Ｄ１への位置ズレが弾性シール４２の圧縮変形により僅かに許容される。そのため、複数の調整ネジ部材５１がそれぞれ締め付けられることに伴い、振動子１４とカバー部４０とが壁部９４の一方面９４ａに押し付けられる際に、カバー底部４０２がその一方面９４ａの形状に従って変形する。詳細には、その場合、カバー底部４０２は、壁部９４の一方面９４ａの形状に応じて、カバー周囲部４０１に対し第１方向Ｄ１の他方側へ膨らむ。

また、本実施形態では第１２実施形態と異なり、固定接着部１３が二分割されている。すなわち、本実施形態の固定接着部１３は、固定本体部１２４と壁部９４の一方面９４ａとの間に配置される内側接着部１３１と、固定端外周部１２５と壁部９４の一方面９４ａとの間に配置される外側接着部１３２とから構成されている。そして、その外側接着部１３２は、内側接着部１３１よりも外周側に設けられている。

以上説明したことを除き、本実施形態は第１２実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第１２実施形態と共通の構成から奏される効果を第１２実施形態と同様に得ることができる。

（他の実施形態）
（１）上述の各実施形態では、図１に示すように、超音波センサ１０は樹脂製のバンパー９３の一部に取り付けられるが、これは一例である。例えば、超音波センサ１０は、車体パネル９２など金属板の一部に取り付けられても差し支えない。

（２）上述の第１実施形態では、図３に示すように、第１、第２ネジ軸部２０１ｂ、２０２ｂはそれぞれ、固定部１２に対し相対移動不能に連結しているが、これは一例である。逆に、第１、第２ネジ軸部２０１ｂ、２０２ｂは固定部１２に対し相対移動可能に設けられ、第１、第２ナット２０１ａ、２０２ａがそれぞれ、固定部１２に対し相対移動不能に連結していても差し支えない。その場合には、例えば、第１、第２ナット２０１ａ、２０２ａはそれぞれ、固定部１２に対し相対移動不能に連結しているが、固定部１２に対し相対回転可能とされる。そして、第１、第２ネジ軸部２０１ｂ、２０２ｂはそれぞれ連結体２０３に固定される。

（３）上述の第４実施形態では、図７に示すように、振動子１４は、第２方向Ｄ２の一方側ほど整合層１６の他端面１６２と壁部９４の一方面９４ａとの間の距離ＤＳが小さくなる姿勢で、壁部９４に対して固定されるが、これは一例である。

例えば、整合層１６の他端面１６２と壁部９４の一方面９４ａとの間の距離ＤＳが第２方向Ｄ２の位置によらず均一にされ、壁部９４から第１方向Ｄ１の他方側へ発せられる超音波振動の指向性が第２方向Ｄ２の一方側へ傾けられることも想定できる。その場合には例えば、調整機構２０は、振動子１４の押付け状態を、第２方向Ｄ２の一方側ほど振動子１４が壁部９４の一方面９４ａに強く押し付けられた状態にする。

（４）上述の各実施形態では、例えば図２の駆動素子１５が送受信する振動は超音波振動であるが、超音波振動よりも周波数が低い振動であっても差し支えない。

（５）上述の各実施形態では、超音波センサ１０は、超音波を送受信可能に構成されているが、超音波を受信してその受信結果に応じた検知信号を生成する受信機能を備えていなくても差し支えない。

（６）上述の第２実施形態では、図４に示すように、調整機構２０に含まれる弾性体は、コイルバネである押付バネ２０４であるが、これは一例である。例えば、調整機構２０に含まれる弾性体はコイルバネに限らず、板バネまたは無硫黄加硫のゴムであっても差し支えない。また、その調整機構２０に含まれる弾性体としてのバネは金属製であっても樹脂製であってもよい。このことは、第２実施形態以外の実施形態において押付バネ２０４が設けられていれば、その実施形態でも同様である。

（７）上述の第９実施形態では、図１３に示すように、第１、第２ラチェット爪２１１ａ、２１２ａはそれぞれ連結体２０３に連結し、第１、第２ラック２１１ｂ、２１２ｂはそれぞれ固定部１２に連結しているが、これらの連結関係は逆であってもよい。すなわち、第１、第２ラチェット爪２１１ａ、２１２ａがそれぞれ固定部１２に連結し、第１、第２ラック２１１ｂ、２１２ｂがそれぞれ連結体２０３に連結していてもよい。

（８）上述の各実施形態では、例えば図３に示す固定接着部１３は、その固定接着部１３の接着剤が固化することにより、固定部１２を壁部９４の一方面９４ａに対して接着固定するが、その接着剤の固化は必須ではない。例えば、固定接着部１３が十分な接着力を発揮するのであれば、固定接着部１３は、固化しない接着剤を含んだ接着テープなどで構成されていても差し支えない。このことは、超音波センサ１０に含まれる他の接着部分（例えば、介在接着層２２など）に関しても同様である。

（９）上述の第１２、第１３実施形態では、図１６に示すように、一方側部材５０と弾性シール４２とカバー部４０との相互連結を保持するために、複数の連結ネジ部材５２が設けられているが、その相互連結を保持するための構成は種々変形されてもよい。

例えば図２０に示すように、連結ネジ部材５２のネジ頭部と、一方側部材５０の座ぐり穴に形成された座面との間に、第１方向Ｄ１へ弾性変形可能なバネ座金５２ａが設けられてもよい。

また、図１６の連結ネジ部材５２が、図２１、図２２に示す突起軸部材５６に置き換わってもよい。その突起軸部材５６は、第１方向Ｄ１の一方側に設けられた先端突起部５６１と、第１方向Ｄ１の他方側に設けられた基端部５６２と、第１方向Ｄ１に延伸し先端突起部５６１と基端部５６２との間に設けられた中間軸部５６３とを有している。この図２１の例では、図１６のカバー部４０のネジ穴４０１ｅは、雌ネジの無い止め穴である軸固定穴４０１ｆに置き換えられる。突起軸部材５６の基端部５６２はこの軸固定穴４０１ｆへ嵌め入れられ、その軸固定穴４０１ｆへの圧入または接着などによりカバー周囲部４０１に対して固定される。

そして、中間軸部５６３が一方側部材５０の貫通孔５０ｃと弾性シール４２の貫通孔４２ａとに挿通され、先端突起部５６１は、中間軸部５６３と一方側部材５０の貫通孔５０ｃとに対し拡径している。また、先端突起部５６１は、第１方向Ｄ１の一方側ほど直径が小さくなるテーパ面５６１ａを有している。突起軸部材５６の先端突起部５６１にはスリットが形成され、これにより先端突起部５６１は、弾性変形して縮径することが可能な構成になっている。そのため、例えば突起軸部材５６を一方側部材５０の貫通孔５０ｃに挿通する作業工程では、先端突起部５６１が貫通孔５０ｃを通るときには縮径し、その貫通孔５０ｃを通過した後には元の大きさに戻って突起軸部材５６が貫通孔５０ｃから抜けなくなる。

また、図１６の連結ネジ部材５２が、図２３に示す突起軸部材５７に置き換わってもよい。その突起軸部材５７は、第１方向Ｄ１の一方側に設けられた先端突起部５７１と、第１方向Ｄ１の他方側に設けられた基端部５７２と、第１方向Ｄ１に延伸し先端突起部５７１と基端部５７２との間に設けられた中間軸部５７３とを有している。この図２３の例でも、図１６のカバー部４０のネジ穴４０１ｅは、図２１の例と同様の軸固定穴４０１ｆに置き換えられる。

図２３の例では、突起軸部材５７の基端部５７２は図２１の突起軸部材５６の基端部５６２と同様であり、突起軸部材５７の中間軸部５７３は図２１の突起軸部材５６の中間軸部５６３と同様である。但し、突起軸部材５７の先端突起部５７１は、図２１の突起軸部材５６の先端突起部５６１に対し異なっている。

具体的に、図２３の先端突起部５７１は、図２１の先端突起部５６１と同様に中間軸部５７３と一方側部材５０の貫通孔５０ｃとに対し拡径し、図２１の先端突起部５６１のテーパ面５６１ａと同様の第１テーパ面５７１ａを有している。更に、図２３の先端突起部５７１は、第１方向Ｄ１の他方側ほど直径が小さくなる第２テーパ面５７１ｂを、第１テーパ面５７１ａよりも第１方向Ｄ１の他方側に有している。

例えば、突起軸部材５７は、その先端突起部５７１の第２テーパ面５７１ｂを一方側部材５０の座ぐり穴の座面内側に接触させた状態で、一方側部材５０と弾性シール４２とカバー部４０との相互連結を保持する。これにより、突起軸部材５７は、カバー部４０を一方側部材５０に対し第１方向Ｄ１に近づけるように付勢することができる。なお、図２３におけるXXIIa方向の矢視図は図２２になる。

（１０）上述の各実施形態では、例えば図２に示すように、振動子１４は駆動素子１５と整合層１６とを有しているが、例えば図２４に示すように、振動子１４は、駆動素子１５を有するが整合層１６を有していない構成であっても差し支えない。なお、図２４の例では、介在接着層２２（図２参照）は設けられていないので、振動子１４は、壁部９４の一方面９４ａに対し接着されずに押し付けられる。また、図２４の例では、固定接着部１３（図２参照）も設けられていないので、接着以外の接合方法、例えば溶着などによって、固定部１２は壁部９４に固定されている。

（１１）上述の各実施形態では、駆動素子１５は、例えば積層された複数の圧電素子によって構成されているが、１つの圧電素子によって構成されていても差し支えない。更に言えば、駆動素子１５は、振動を発生させるものであれば圧電素子以外の構成要素で構成されていても差し支えない。

（１２）上述の第１２、第１３実施形態では、図１６に示すように、カバー部４０はカバー底部４０２を有しているが、そのカバー底部４０２が設けられていないことも想定される。その場合、整合層１６が介在接着層２２に接触し、その介在接着層２２によって壁部９４の一方面９４ａに接着されることになる。

（１３）上述の第１２、第１３実施形態では、図１６に示すように、整合層１６は、カバー底部４０２に対し密着し接合されているが、カバー底部４０２に対し密着していればよく接合されていなくてもよい。このようにした場合にも、複数の連結ネジ部材５２と一方側部材５０の貫通孔５０ｃとの嵌合を利用すれば、第１方向Ｄ１に沿った方向視で振動子１４の位置がカバー部４０に対し相対的に拘束されるようにすることができる。

（１４）上述の第１３実施形態では、図１９に示すように、超音波センサ１０が固定される壁部９４の一方面９４ａは、凹状に湾曲した湾曲面になっているが、これは一例である。例えば逆に、その一方面９４ａは、凸状に湾曲した湾曲面になっていても差し支えない。

（１５）例えば上述の第１実施形態の図３では、整合層１６の他端面１６２が全面にわたって壁部９４の一方面９４ａに押し付けられているが、これは一例である。その整合層１６の他端面１６２の全面ではなく一部分が、壁部９４の一方面９４ａに押し付けられることも想定される。

（１６）なお、本発明は、上述の実施形態に限定されることなく、種々変形して実施することができる。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。

また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の材質、形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の材質、形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その材質、形状、位置関係等に限定されるものではない。

（本発明の特徴）
［請求項１］
壁部（９４）に取り付けられる振動装置（１０）であって、
前記壁部の一方面（９４ａ）に固定される固定部（１２）と、
前記一方面に対して連結し、前記一方面に振動を印加する振動子（１４）と、
前記振動子を前記固定部に連結し、前記固定部に対する前記振動子の相対的な位置と傾きとの少なくとも何れかによって表される振動子状態を調整可能に構成された調整部（２０）とを備え、
前記固定部は前記調整部を介して、前記振動子を前記一方面に押し付ける、振動装置。
［請求項２］
接着層（２２）を備え、
前記振動子は、前記一方面に印加される振動を発生する駆動素子（１５）と、該駆動素子に対し前記壁部側に配置され前記駆動素子に連結し前記駆動素子と前記壁部との間で振動を伝達する振動伝達部（１６）とを含み、
前記接着層は、前記振動伝達部と前記一方面との間に配置され、該振動伝達部を該一方面に対して接着する、請求項１に記載の振動装置。
［請求項３］
前記壁部は、一方向（Ｄ１）に厚みを有し、
前記一方面は、前記壁部において前記一方向の一方側に形成され、
前記調整部は、前記固定部に対する前記振動子の相対位置を前記一方向へ調整可能な調整構造を有する、請求項１または２に記載の振動装置。
［請求項４］
前記調整構造は、前記固定部に対する前記振動子の相対的な傾きも調整可能な構成となっている、請求項３に記載の振動装置。
［請求項５］
前記調整構造は、雌ネジが形成された雌ネジ形成部（１２４ｃ、２０１ａ、２０２ａ、２０５ａ、２０８）と、前記雌ネジに螺合する雄ネジが形成された雄ネジ形成部（５１、２０１ｂ、２０２ｂ、２０５ｂ、２０６）とを有し、
前記雌ネジ形成部と前記雄ネジ形成部との一方は前記固定部に対し相対移動不能に連結し、
前記固定部に対する前記振動子の相対位置は、前記雌ネジ形成部と前記雄ネジ形成部とが相対回転させられることにより調整される、請求項３または４に記載の振動装置。
［請求項６］
前記調整構造は、前記一方向の前記一方側とは反対側の他方側へ前記振動子を押す押圧部（１２２、２０３）と、該押圧部に連結した押圧側構成部（２１１ａ、２１２ａ、２１３ａ）と前記一方面に前記固定部を介して固定される固定側構成部（２１１ｂ、２１２ｂ、２１３ｂ）とを含むラチェット機構（２１１、２１２、２１３）とを有し、
該ラチェット機構は、前記押圧側構成部が前記固定側構成部に対し前記一方向の前記一方側へ相対的に移動することを阻止し、前記押圧側構成部が前記固定側構成部に対し前記一方向の前記他方側へ相対的に移動することを許容する、請求項３または４に記載の振動装置。
［請求項７］
前記調整部は、弾性変形可能な弾性体（２０４）を有し、
前記固定部は前記調整部の前記弾性体を介して、前記振動子を前記一方面に押し付ける、請求項１ないし６のいずれか１つに記載の振動装置。
［請求項８］
前記調整部は、前記振動子が前記一方面に押し付けられた状態を調整することにより、前記壁部から前記振動子側とは反対側へ発せられる振動の指向性を調整する、請求項１ないし７のいずれか１つに記載の振動装置。
［請求項９］
前記壁部は、一方向（Ｄ１）に厚みを有し、
前記一方面は、前記壁部において前記一方向の一方側に形成され、
前記調整部は、前記固定部に対する前記振動子の相対的な傾きを調整可能な調整構造を有し、
前記振動子は、該振動子のうち前記一方向の前記一方側とは反対側の他方側に設けられ前記一方面に対向し該一方面に対し接着層（２２）を介して接着される振動子対向面（１６２）を有し、
前記振動子は、前記一方向に垂直な一垂直方向（Ｄ２）の一方側ほど前記振動子対向面と前記一方面との間の距離（ＤＳ）が小さくなる姿勢で、前記壁部に対して固定される、請求項１に記載の振動装置。
［請求項１０］
前記調整構造は、雌ネジが形成された雌ネジ形成部（１２４ｃ、２０１ａ、２０２ａ、２０５ａ）と、前記雌ネジに螺合する雄ネジが形成された雄ネジ形成部（５１、２０１ｂ、２０２ｂ、２０５ｂ）とを有し、
前記雌ネジ形成部と前記雄ネジ形成部との一方は前記固定部に対し相対移動不能に連結し、
前記固定部に対する前記振動子の相対的な傾きは、前記調整構造において前記雌ネジ形成部と前記雄ネジ形成部とが相対回転させられることにより調整される、請求項９に記載の振動装置。
［請求項１１］
前記振動子を囲むカバー部（４０）を備え、
前記壁部は、一方向（Ｄ１）に厚みを有し、
前記一方面は、前記壁部において前記一方向の一方側に形成され、
前記一方向に沿った方向視では前記振動子と前記カバー部との相対位置が拘束されるように、前記振動子と前記カバー部は互いに連結され、
前記固定部は、前記振動子と前記カバー部とを囲むように形成され、
前記固定部の内側には、前記カバー部が前記固定部に対し前記一方向へ相対移動可能なように嵌め入れられ、
前記振動子と前記カバー部は前記調整部へ連結し、
前記固定部は前記調整部を介して、前記カバー部と前記振動子とを共に前記一方面に押し付ける、請求項１または２に記載の振動装置。
［請求項１２］
カバー部（４０）と、
前記カバー部と前記一方面との間に配置され、該カバー部を該一方面に対して接着する接着層（２２）とを備え、
前記壁部は、一方向（Ｄ１）に厚みを有し、
前記一方面は、前記壁部において前記一方向の一方側に形成され、
前記カバー部は、前記一方向に沿った方向視で前記振動子の周りに設けられ該振動子を収容するカバー内空間（４０１ａ）を内側に形成するカバー周囲部（４０１）と、前記カバー内空間を該カバー内空間に対する前記一方向の前記一方側とは反対側の他方側で塞ぎ前記カバー周囲部に連結し前記一方面に前記接着層を介して接着されるカバー底部（４０２）とを有し、
前記振動子と前記カバー周囲部は前記調整部へ連結し、
前記固定部は前記調整部を介して、前記カバー部と前記振動子とを共に前記一方面に押し付け、
前記振動子は、該振動子と前記一方面との間に前記カバー底部と前記接着層とを挟んだ状態で前記一方面に押し付けられる、請求項１に記載の振動装置。
［請求項１３］
前記固定部は、前記一方向の前記他方側に形成された固定部他端面（１２ａ）を有し、前記一方向に沿った方向視で前記カバー周囲部を囲むように形成され、
前記固定部の内側には、前記カバー部が前記固定部に対し前記一方向へ相対移動可能なように嵌め入れられ、
前記カバー部は、前記一方向の前記他方側に形成され前記接着層により前記一方面に接着されるカバー部他端面（４０ａ）を有し、
前記固定部他端面は、前記一方向に沿った方向視で前記カバー部他端面を囲むように環状に連続して前記一方面に接合される、請求項１２に記載の振動装置。
［請求項１４］
前記カバー周囲部の外周面（４０１ｂ）と、該外周面に対向する前記固定部の内周面（１２４ｄ）との間にはカバー部周囲隙間（４０１ｃ）が形成され、
該カバー部周囲隙間は外部へ開放され、且つ前記接着層にまで到達する、請求項１３に記載の振動装置。
［請求項１５］
圧縮変形可能な変形部（４２）を備え、
前記調整部は、前記振動子と前記カバー部とに対し前記一方向の前記一方側に配置され前記振動子が固定された一方側部材（５０）を有し、
前記カバー部は、該カバー部と前記一方側部材との間に前記変形部を挟んだ状態で前記一方側部材に連結され、
前記固定部は前記調整部の前記一方側部材を介して、前記カバー部と前記振動子とを共に前記一方面に押し付け、
前記カバー部と前記振動子とが前記一方面に押し付けられることに伴って、前記変形部は前記一方向に圧縮変形する、請求項１１ないし１４のいずれか１つに記載の振動装置。

１０ 超音波センサ
１２ 固定部
１４ 振動子
２０ 調整機構（調整部）
９４ 壁部
９４ａ 一方面

Claims (15)

1. 壁部（９４）に取り付けられる振動装置（１０）であって、
   前記壁部の一方面（９４ａ）に固定される固定部（１２）と、
   前記一方面に対して連結し、前記一方面に振動を印加する振動子（１４）と、
   前記振動子を前記固定部に連結し、前記固定部に対する前記振動子の相対的な位置と傾きとの少なくとも何れかによって表される振動子状態を調整可能に構成された調整部（２０）とを備え、
   前記固定部は前記調整部を介して、前記振動子を前記一方面に押し付ける、振動装置。
2. 接着層（２２）を備え、
   前記振動子は、前記一方面に印加される振動を発生する駆動素子（１５）と、該駆動素子に対し前記壁部側に配置され前記駆動素子に連結し前記駆動素子と前記壁部との間で振動を伝達する振動伝達部（１６）とを含み、
   前記接着層は、前記振動伝達部と前記一方面との間に配置され、該振動伝達部を該一方面に対して接着する、請求項１に記載の振動装置。
3. 前記壁部は、一方向（Ｄ１）に厚みを有し、
   前記一方面は、前記壁部において前記一方向の一方側に形成され、
   前記調整部は、前記固定部に対する前記振動子の相対位置を前記一方向へ調整可能な調整構造を有する、請求項１または２に記載の振動装置。
4. 前記調整構造は、前記固定部に対する前記振動子の相対的な傾きも調整可能な構成となっている、請求項３に記載の振動装置。
5. 前記調整構造は、雌ネジが形成された雌ネジ形成部（１２４ｃ、２０１ａ、２０２ａ、２０５ａ、２０８）と、前記雌ネジに螺合する雄ネジが形成された雄ネジ形成部（５１、２０１ｂ、２０２ｂ、２０５ｂ、２０６）とを有し、
   前記雌ネジ形成部と前記雄ネジ形成部との一方は前記固定部に対し相対移動不能に連結し、
   前記固定部に対する前記振動子の相対位置は、前記雌ネジ形成部と前記雄ネジ形成部とが相対回転させられることにより調整される、請求項３に記載の振動装置。
6. 前記調整構造は、前記一方向の前記一方側とは反対側の他方側へ前記振動子を押す押圧部（１２２、２０３）と、該押圧部に連結した押圧側構成部（２１１ａ、２１２ａ、２１３ａ）と前記一方面に前記固定部を介して固定される固定側構成部（２１１ｂ、２１２ｂ、２１３ｂ）とを含むラチェット機構（２１１、２１２、２１３）とを有し、
   該ラチェット機構は、前記押圧側構成部が前記固定側構成部に対し前記一方向の前記一方側へ相対的に移動することを阻止し、前記押圧側構成部が前記固定側構成部に対し前記一方向の前記他方側へ相対的に移動することを許容する、請求項３に記載の振動装置。
7. 前記調整部は、弾性変形可能な弾性体（２０４）を有し、
   前記固定部は前記調整部の前記弾性体を介して、前記振動子を前記一方面に押し付ける、請求項１または２に記載の振動装置。
8. 前記調整部は、前記振動子が前記一方面に押し付けられた状態を調整することにより、前記壁部から前記振動子側とは反対側へ発せられる振動の指向性を調整する、請求項１または２に記載の振動装置。
9. 前記壁部は、一方向（Ｄ１）に厚みを有し、
   前記一方面は、前記壁部において前記一方向の一方側に形成され、
   前記調整部は、前記固定部に対する前記振動子の相対的な傾きを調整可能な調整構造を有し、
   前記振動子は、該振動子のうち前記一方向の前記一方側とは反対側の他方側に設けられ前記一方面に対向し該一方面に対し接着層（２２）を介して接着される振動子対向面（１６２）を有し、
   前記振動子は、前記一方向に垂直な一垂直方向（Ｄ２）の一方側ほど前記振動子対向面と前記一方面との間の距離（ＤＳ）が小さくなる姿勢で、前記壁部に対して固定される、請求項１に記載の振動装置。
10. 前記調整構造は、雌ネジが形成された雌ネジ形成部（１２４ｃ、２０１ａ、２０２ａ、２０５ａ）と、前記雌ネジに螺合する雄ネジが形成された雄ネジ形成部（５１、２０１ｂ、２０２ｂ、２０５ｂ）とを有し、
    前記雌ネジ形成部と前記雄ネジ形成部との一方は前記固定部に対し相対移動不能に連結し、
    前記固定部に対する前記振動子の相対的な傾きは、前記調整構造において前記雌ネジ形成部と前記雄ネジ形成部とが相対回転させられることにより調整される、請求項９に記載の振動装置。
11. 前記振動子を囲むカバー部（４０）を備え、
    前記壁部は、一方向（Ｄ１）に厚みを有し、
    前記一方面は、前記壁部において前記一方向の一方側に形成され、
    前記一方向に沿った方向視では前記振動子と前記カバー部との相対位置が拘束されるように、前記振動子と前記カバー部は互いに連結され、
    前記固定部は、前記振動子と前記カバー部とを囲むように形成され、
    前記固定部の内側には、前記カバー部が前記固定部に対し前記一方向へ相対移動可能なように嵌め入れられ、
    前記振動子と前記カバー部は前記調整部へ連結し、
    前記固定部は前記調整部を介して、前記カバー部と前記振動子とを共に前記一方面に押し付ける、請求項１または２に記載の振動装置。
12. カバー部（４０）と、
    前記カバー部と前記一方面との間に配置され、該カバー部を該一方面に対して接着する接着層（２２）とを備え、
    前記壁部は、一方向（Ｄ１）に厚みを有し、
    前記一方面は、前記壁部において前記一方向の一方側に形成され、
    前記カバー部は、前記一方向に沿った方向視で前記振動子の周りに設けられ該振動子を収容するカバー内空間（４０１ａ）を内側に形成するカバー周囲部（４０１）と、前記カバー内空間を該カバー内空間に対する前記一方向の前記一方側とは反対側の他方側で塞ぎ前記カバー周囲部に連結し前記一方面に前記接着層を介して接着されるカバー底部（４０２）とを有し、
    前記振動子と前記カバー周囲部は前記調整部へ連結し、
    前記固定部は前記調整部を介して、前記カバー部と前記振動子とを共に前記一方面に押し付け、
    前記振動子は、該振動子と前記一方面との間に前記カバー底部と前記接着層とを挟んだ状態で前記一方面に押し付けられる、請求項１に記載の振動装置。
13. 前記固定部は、前記一方向の前記他方側に形成された固定部他端面（１２ａ）を有し、前記一方向に沿った方向視で前記カバー周囲部を囲むように形成され、
    前記固定部の内側には、前記カバー部が前記固定部に対し前記一方向へ相対移動可能なように嵌め入れられ、
    前記カバー部は、前記一方向の前記他方側に形成され前記接着層により前記一方面に接着されるカバー部他端面（４０ａ）を有し、
    前記固定部他端面は、前記一方向に沿った方向視で前記カバー部他端面を囲むように環状に連続して前記一方面に接合される、請求項１２に記載の振動装置。
14. 前記カバー周囲部の外周面（４０１ｂ）と、該外周面に対向する前記固定部の内周面（１２４ｄ）との間にはカバー部周囲隙間（４０１ｃ）が形成され、
    該カバー部周囲隙間は外部へ開放され、且つ前記接着層にまで到達する、請求項１３に記載の振動装置。
15. 圧縮変形可能な変形部（４２）を備え、
    前記調整部は、前記振動子と前記カバー部とに対し前記一方向の前記一方側に配置され前記振動子が固定された一方側部材（５０）を有し、
    前記カバー部は、該カバー部と前記一方側部材との間に前記変形部を挟んだ状態で前記一方側部材に連結され、
    前記固定部は前記調整部の前記一方側部材を介して、前記カバー部と前記振動子とを共に前記一方面に押し付け、
    前記カバー部と前記振動子とが前記一方面に押し付けられることに伴って、前記変形部は前記一方向に圧縮変形する、請求項１１に記載の振動装置。
    

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