JP2023172145A - Method for manufacturing substrate - Google Patents

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英樹 石田
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Abstract

To provide a method for manufacturing a substrate capable of suppressing dropout of conductive paste filled into a through-hole.SOLUTION: A method for manufacturing a substrate includes the following steps: the first step for forming a through-hole in a prepreg having a back surface and a front surface; the second step for placing a resin film on the back surface covering the through-hole; the third step for attaching the resin film to the back surface of the prepreg by heating the resin film and the back surface while cooling the through-hole; the fourth step for filling the through-hole with conductive paste from the front side of the prepreg.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本開示は、基板の製造方法に関する。 The present disclosure relates to a method of manufacturing a substrate.

従来、基板に貫通孔を形成し、形成した貫通孔に導電性ペーストを充填し、基板の表面と裏面とを導通させる配線を形成する技術が知られている(例えば、特許文献1)。 2. Description of the Related Art Conventionally, a technique is known in which a through hole is formed in a substrate, the formed through hole is filled with a conductive paste, and a wiring is formed that connects the front surface and the back surface of the substrate to each other (for example, Patent Document 1).

特開平6-268345号公報Japanese Patent Application Publication No. 6-268345

貫通孔に形成された配線に大電流を流したい場合、貫通孔の直径を大きくすることが求められる。この場合、貫通孔に充填された導電性ペーストが自重により脱落する場合がある。 When it is desired to pass a large current through the wiring formed in the through hole, it is required to increase the diameter of the through hole. In this case, the conductive paste filled in the through hole may fall off due to its own weight.

本開示は、以下の形態として実現することが可能である。 The present disclosure can be realized as the following forms.

(1)本開示の一形態によれば、基板の製造方法が提供される。この製造方法は、裏面と表面とを有するプリプレグに貫通孔を形成する第1工程と、前記貫通孔を覆って前記裏面に樹脂フィルムを配置する第2工程と、前記貫通孔を冷却しつつ、前記樹脂フィルムと前記裏面とを加熱して、前記樹脂フィルムを前記プリプレグの前記裏面に貼り付ける第3工程と、前記プリプレグの前記表面側から、前記貫通孔に導電性ペーストを充填する第4工程と、を備える。この形態によれば、貫通孔を樹脂フィルムにより覆い、底が閉塞された貫通孔に導電性ペーストを充填することにより、導電性ペーストの貫通孔からの脱落を抑制し、貫通孔内に導電性ペーストを保持させることができる。また、第3工程において、貫通孔を冷却し、樹脂フィルムと裏面とを加熱するため、貫通孔の形状を維持しつつ、樹脂フィルムをプリプレグの裏面に良好に貼り付けることができる。
本開示は、基板の製造方法以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、基板製造装置、基板製造装置の制御方法、その制御方法を実現するコンピュータプログラム、そのコンピュータプログラムを記録した一時的でない記録媒体等の形態で実現することができる。
(1) According to one embodiment of the present disclosure, a method for manufacturing a substrate is provided. This manufacturing method includes a first step of forming a through hole in a prepreg having a back surface and a front surface, a second step of disposing a resin film on the back surface covering the through hole, and cooling the through hole. a third step of heating the resin film and the back surface and pasting the resin film on the back surface of the prepreg; and a fourth step of filling the through hole with conductive paste from the front surface side of the prepreg. and. According to this form, by covering the through hole with a resin film and filling the through hole with a closed bottom with conductive paste, the conductive paste is prevented from falling out of the through hole, and the conductive paste is placed inside the through hole. Can hold paste. Furthermore, in the third step, the through hole is cooled and the resin film and the back surface are heated, so the resin film can be satisfactorily attached to the back surface of the prepreg while maintaining the shape of the through hole.
The present disclosure can also be realized in various forms other than the method of manufacturing a substrate. For example, it can be realized in the form of a substrate manufacturing apparatus, a control method for a substrate manufacturing apparatus, a computer program for realizing the control method, a non-temporary recording medium on which the computer program is recorded, and the like.

基板の製造工程のフローチャート。Flowchart of the manufacturing process of the board. 製造工程の各工程を説明する模式図。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating each step of the manufacturing process. 加圧装置の断面模式図。A schematic cross-sectional view of a pressurizing device. 導電性ペースト保持状態についての評価結果。Evaluation results regarding conductive paste retention status. 樹脂フィルムの貼付方法についての第1の評価結果。First evaluation results regarding the resin film attachment method. 樹脂フィルムの貼付方法についての第2の評価結果。Second evaluation results regarding the resin film attachment method. プリプレグの温度に対する貯蔵弾性率および損失弾性率の測定結果。Measurement results of storage modulus and loss modulus of prepreg with respect to temperature.

A.実施形態:
図1は、回路基板100(図2)の製造方法を実現する製造工程のフローチャートである。図2は、各工程を説明する模式図である。図3は、後述する工程P30で用いられる加圧装置200の断面模式図である。回路基板100は、例えば、ECU(Engine Control Unit)に用いられる。図1の工程P10において、ドリル16(図2)を用いて、プリプレグ10に貫通孔12が形成される。図2の工程P10に示すように、プリプレグ10は、表面10aおよび裏面10bを有する平板形状を有する。裏面10bは、鉛直方向において表面10aの下方に位置するように配置される。プリプレグ10として、例えば、ガラス布にエポキシ樹脂を含浸させたものを用いることができる。貫通孔12は、表面10aから裏面10bに貫通する貫通孔である。プリプレグ10は、後述する第1基板60に形成された配線と、後述する第2基板70に形成された配線とを導通する、後述する接続配線14を形成するために用いられる。貫通孔12の直径Dは、種々あり、直径Dが0.3mm以上の貫通孔12も含まれる。直径Dが0.3mm以上の貫通孔12の内側に形成される接続配線14は、直径Dが0.3mm未満である貫通孔12の内側に形成される接続配線14よりも、大きな電流を流すことができる。
A. Embodiment:
FIG. 1 is a flowchart of a manufacturing process that implements the method for manufacturing the circuit board 100 (FIG. 2). FIG. 2 is a schematic diagram illustrating each step. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a pressurizing device 200 used in step P30, which will be described later. The circuit board 100 is used for, for example, an ECU (Engine Control Unit). In step P10 of FIG. 1, a through hole 12 is formed in the prepreg 10 using a drill 16 (FIG. 2). As shown in step P10 of FIG. 2, the prepreg 10 has a flat plate shape having a front surface 10a and a back surface 10b. The back surface 10b is arranged below the front surface 10a in the vertical direction. As the prepreg 10, for example, a glass cloth impregnated with an epoxy resin can be used. The through hole 12 is a through hole that penetrates from the front surface 10a to the back surface 10b. The prepreg 10 is used to form a connection wiring 14, which will be described later, that connects a wiring formed on a first substrate 60, which will be described later, and a wiring formed on a second substrate 70, which will be described later. There are various diameters D of the through holes 12, including through holes 12 having a diameter D of 0.3 mm or more. A connection wiring 14 formed inside a through hole 12 with a diameter D of 0.3 mm or more allows a larger current to flow than a connection wiring 14 formed inside a through hole 12 with a diameter D of less than 0.3 mm. be able to.

図1の工程P20において、プリプレグ10の裏面10bに貫通孔12を覆って樹脂フィルム20(図2)が配置される。樹脂フィルム20として、例えば、PET(ポリエチレンテレフタレート)製フィルムを用いることができる。 In step P20 of FIG. 1, a resin film 20 (FIG. 2) is placed on the back surface 10b of the prepreg 10 so as to cover the through hole 12. As the resin film 20, for example, a PET (polyethylene terephthalate) film can be used.

図1の工程P30において、プリプレグ10の裏面10bに樹脂フィルム20が貼り付けられる。工程P30では、貫通孔12を冷却しつつ、樹脂フィルム20と裏面10bとを加熱して、樹脂フィルム20がプリプレグ10に向かって押圧されることにより、樹脂フィルム20がプリプレグ10の裏面10bに貼り付けられる。工程P30では、図3に示す加圧装置200が用いられる。加圧装置200は、一対のヒータ210と、一対の冷却装置220とを有する。一対のヒータ210は、プリプレグ10と樹脂フィルム20とが積層された積層体を挟んで対向して配置されている。ヒータ210は、プリプレグ10の貫通孔12に対向する部分に貫通孔212が形成された伝熱体211と、伝熱体211を加熱する図示しない発熱体とを有する。 In step P30 of FIG. 1, a resin film 20 is attached to the back surface 10b of the prepreg 10. In step P30, the resin film 20 and the back surface 10b are heated while the through hole 12 is cooled, and the resin film 20 is pressed toward the prepreg 10, so that the resin film 20 is attached to the back surface 10b of the prepreg 10. Can be attached. In step P30, a pressurizing device 200 shown in FIG. 3 is used. The pressurizing device 200 includes a pair of heaters 210 and a pair of cooling devices 220. The pair of heaters 210 are arranged to face each other with a laminate in which the prepreg 10 and the resin film 20 are laminated interposed therebetween. The heater 210 includes a heat transfer body 211 in which a through hole 212 is formed in a portion of the prepreg 10 facing the through hole 12, and a heating element (not shown) that heats the heat transfer body 211.

一対の冷却装置220は、プリプレグ10と樹脂フィルム20との積層体を挟んで対向して配置されている。冷却装置220は、冷媒230が流通する流通部材221と、冷却体222とを有する。流通部材221は、具体的には、ヒータ210に対向する第1面と、第1面と間隔を空けて配置された第2面とを有し、第1面と第2面との間に、冷媒230が流通する空間が形成されている。冷却体222は、棒状であり、第1面からヒータ210に向かって立設されている。冷却体222の先端部は、ヒータ210の貫通孔212内に挿入されている。本実施形態では、冷却体222は、冷却体222の外周面と、ヒータ210の貫通孔212の周面とに僅かな隙間が形成される程度の直径を有する。 The pair of cooling devices 220 are arranged to face each other with the laminate of prepreg 10 and resin film 20 interposed therebetween. The cooling device 220 includes a circulation member 221 through which a refrigerant 230 flows, and a cooling body 222. Specifically, the circulation member 221 has a first surface facing the heater 210 and a second surface spaced apart from the first surface, and there is a space between the first surface and the second surface. , a space through which the refrigerant 230 flows is formed. The cooling body 222 is rod-shaped and stands upright from the first surface toward the heater 210 . The tip of the cooling body 222 is inserted into the through hole 212 of the heater 210. In this embodiment, the cooling body 222 has a diameter such that a slight gap is formed between the outer circumferential surface of the cooling body 222 and the circumferential surface of the through hole 212 of the heater 210.

一対の冷却装置220の各々は、プリプレグ10と樹脂フィルム20との積層体の面を対称面として概ね面対称の構造を有する。ただし、一対の冷却装置220の各々の流通部材221を流通する冷媒230の流通方向は、互いに逆方向である。これにより、貫通孔12を効率的に冷却することができる。 Each of the pair of cooling devices 220 has a structure that is approximately plane symmetrical with respect to the plane of the laminate of the prepreg 10 and the resin film 20 as a plane of symmetry. However, the flow directions of the refrigerant 230 flowing through each of the flow members 221 of the pair of cooling devices 220 are opposite to each other. Thereby, the through hole 12 can be efficiently cooled.

図3の白抜きの矢印にて示すように、加圧装置200は、一対のヒータ210の各々と、一対の冷却装置220各々とが、プリプレグ10と樹脂フィルム20との積層体に近づくように移動する。これにより、プリプレグ10の貫通孔12は、冷却体222により冷却され、樹脂フィルム20とプリプレグ10の表面10aおよび裏面10bとは、ヒータ210により加熱された状態で、プリプレグ10と樹脂フィルム20との積層体は、両面から加圧される。これにより、後に詳述するように、フィルム形状を維持した状態で樹脂フィルム20を軟化させて、樹脂フィルム20をプリプレグ10の裏面10bに貼り付けることができる。 As shown by the white arrows in FIG. 3, the pressurizing device 200 is configured such that each of the pair of heaters 210 and each of the pair of cooling devices 220 approaches the laminate of the prepreg 10 and the resin film 20. Moving. As a result, the through holes 12 of the prepreg 10 are cooled by the cooling body 222, and the resin film 20 and the front surface 10a and back surface 10b of the prepreg 10 are heated by the heater 210, and the resin film 20 and the front surface 10a and the back surface 10b of the prepreg 10 are The laminate is pressurized from both sides. Thereby, the resin film 20 can be softened while maintaining the film shape, and the resin film 20 can be attached to the back surface 10b of the prepreg 10, as will be described in detail later.

ヒータ210の温度は、プリプレグ10の貯蔵弾性率のピーク温度と損失弾性率のピーク温度とのいずれよりも低い温度であることが好ましい。貫通孔12の孔形状を良好に維持することができるからである。本実施形態では、ヒータ210の温度は55℃である。 The temperature of the heater 210 is preferably lower than both the peak temperature of the storage modulus and the peak temperature of the loss modulus of the prepreg 10. This is because the hole shape of the through hole 12 can be maintained well. In this embodiment, the temperature of the heater 210 is 55°C.

樹脂フィルム20がヒータ210により加熱されることにより、樹脂フィルム20のプリプレグ10に対する密着性を向上させることができる。また、貫通孔12を冷却体222で冷却することにより、ヒータ210による加熱による、貫通孔12の変形を抑制することができる。よって、貫通孔12の内側に形成される接続配線14を良好に形成することができる。 By heating the resin film 20 with the heater 210, the adhesion of the resin film 20 to the prepreg 10 can be improved. Furthermore, by cooling the through hole 12 with the cooling body 222, deformation of the through hole 12 due to heating by the heater 210 can be suppressed. Therefore, the connection wiring 14 formed inside the through hole 12 can be formed satisfactorily.

図3にて拡大して示すように、貫通孔212の先端と、伝熱体211のプリプレグ10に近い先端面とは面一ではない。具体的には、貫通孔212の先端は、鉛直方向において、伝熱体211のプリプレグ10に近い先端面の位置よりも距離Cだけ凹んでいる。これにより、加圧装置200がプリプレグ10を押圧するときに、プリプレグ10および樹脂フィルム20の損傷を抑制することができる。本実施形態において、距離Cは、0.1mm程度である。 As shown in an enlarged view in FIG. 3, the tip of the through hole 212 and the tip surface of the heat transfer body 211 close to the prepreg 10 are not flush with each other. Specifically, the tip of the through hole 212 is recessed by a distance C from the position of the tip surface of the heat transfer body 211 near the prepreg 10 in the vertical direction. Thereby, when the pressurizing device 200 presses the prepreg 10, damage to the prepreg 10 and the resin film 20 can be suppressed. In this embodiment, the distance C is approximately 0.1 mm.

図1の工程P40にて、プリプレグ10の表面10a側から導電性ペースト50が貫通孔12に充填される。具体的には、図2の工程P40に示すように、プリプレグ10の表面10aに、貫通孔32が形成されたメタルマスク30が、貫通孔32とプリプレグ10の貫通孔12とが重なるように配置される。その後、スキージ40が導電性ペースト50を押しつつメタルマスク30の面に沿って移動して、導電性ペースト50を広げる。これにより、導電性ペースト50が、貫通孔12に充填される。その後、メタルマスク30が取り外される。導電性ペースト50は、金属粉とバインダと溶剤との混合物である。プリプレグ10には、予め樹脂フィルム20が貼り付けられているため、貫通孔12に充填された導電性ペースト50の貫通孔12からの脱落を抑制することができる。 In step P40 in FIG. 1, the conductive paste 50 is filled into the through holes 12 from the surface 10a side of the prepreg 10. Specifically, as shown in step P40 of FIG. 2, a metal mask 30 in which a through hole 32 is formed is placed on the surface 10a of the prepreg 10 so that the through hole 32 and the through hole 12 of the prepreg 10 overlap. be done. Thereafter, the squeegee 40 moves along the surface of the metal mask 30 while pushing the conductive paste 50 to spread the conductive paste 50. Thereby, the conductive paste 50 is filled into the through hole 12 . Thereafter, metal mask 30 is removed. The conductive paste 50 is a mixture of metal powder, binder, and solvent. Since the resin film 20 is attached to the prepreg 10 in advance, it is possible to suppress the conductive paste 50 filled in the through-hole 12 from falling off from the through-hole 12 .

図1の工程P50にて、本実施形態では、雰囲気温度が100℃にされて、導電性ペースト50に含まれる溶媒が蒸発することにより、導電性ペースト50が仮硬化される。 In step P50 of FIG. 1, in this embodiment, the ambient temperature is set to 100° C., and the solvent contained in the conductive paste 50 is evaporated, so that the conductive paste 50 is temporarily hardened.

工程P60にて、プリプレグ10の表面10aに第1基板60(図2)が配置され、第1基板60と、プリプレグ10と、樹脂フィルム20とが積層された積層体の両面から加圧される。本実施形態において、第1基板60とプリプレグ10と樹脂フィルム20との積層体に加えられる温度は、100℃である。第1基板60は、銅配線が形成されているプリント基板である。第1基板60の基材として、ガラス布基板エポキシ樹脂製の基板を用いることができる。第1基板60の貫通孔12に対向する部分には、銅配線が形成されている。プリプレグ10と第1基板60とが重ねられた状態で加圧されることにより、導電性ペースト50と第1基板60とが密着する。これにより、次の工程P70で剥離される樹脂フィルム20と共に、導電性ペースト50が貫通孔12から剥がれることを抑制することができる。 In step P60, a first substrate 60 (FIG. 2) is placed on the surface 10a of the prepreg 10, and pressure is applied from both sides of the laminate in which the first substrate 60, the prepreg 10, and the resin film 20 are laminated. . In this embodiment, the temperature applied to the laminate of the first substrate 60, prepreg 10, and resin film 20 is 100°C. The first board 60 is a printed board on which copper wiring is formed. As the base material of the first substrate 60, a glass cloth substrate, an epoxy resin substrate can be used. Copper wiring is formed in a portion of the first substrate 60 facing the through hole 12 . By pressurizing the prepreg 10 and the first substrate 60 in a stacked state, the conductive paste 50 and the first substrate 60 are brought into close contact with each other. Thereby, it is possible to suppress the conductive paste 50 from being peeled off from the through hole 12 together with the resin film 20 that is peeled off in the next step P70.

工程P70にて、樹脂フィルム20がプリプレグ10から剥がされる。上述のように、導電性ペースト50は第1基板60に密着しているため、導電性ペースト50が貫通孔12内に充填された状態が維持される。 In step P70, the resin film 20 is peeled off from the prepreg 10. As described above, since the conductive paste 50 is in close contact with the first substrate 60, the state in which the conductive paste 50 is filled in the through hole 12 is maintained.

工程P80にて、プリプレグ10の裏面10bに第2基板70(図2)が配置されて、第1基板60と、プリプレグ10と、第2基板70とが積層された積層体が加熱された状態で、積層体の両面から加圧される、いわゆる熱プレスされる。第2基板70は、第1基板60と同様の基板であり、第2基板70の貫通孔12に対向する部分には、銅配線が形成されている。本実施形態では、加熱温度は、150℃である。これにより、図2の完成品にて示すように、導電性ペースト50に含まれる金属と第1基板60に形成された配線の銅とが溶融し、導電性ペースト50に含まれる金属と第2基板70に形成された配線の銅とが溶融し、第1基板60に形成された配線と第2基板70に形成された配線とを導通させる接続配線14が形成され、本製造工程は終了する。 In step P80, the second substrate 70 (FIG. 2) is placed on the back surface 10b of the prepreg 10, and the laminate in which the first substrate 60, the prepreg 10, and the second substrate 70 are stacked is heated. Then, pressure is applied from both sides of the laminate, so-called hot pressing. The second substrate 70 is a substrate similar to the first substrate 60, and a copper wiring is formed in a portion of the second substrate 70 that faces the through hole 12. In this embodiment, the heating temperature is 150°C. As a result, as shown in the finished product of FIG. 2, the metal contained in the conductive paste 50 and the copper of the wiring formed on the first substrate 60 are melted, and the metal contained in the conductive paste 50 and the copper of the wiring formed on the first substrate 60 are melted. The copper of the wiring formed on the substrate 70 is melted to form the connection wiring 14 that connects the wiring formed on the first substrate 60 and the wiring formed on the second substrate 70, and this manufacturing process ends. .

工程P10を第1工程とも呼び、工程P20を第2工程とも呼び、工程P30を第3工程とも呼び、工程P40を第4工程とも呼ぶ。 The process P10 is also called the first process, the process P20 is also called the second process, the process P30 is also called the third process, and the process P40 is also called the fourth process.

B.実施例:
B1.樹脂フィルムの貼付:
図4は、実施例1~9と比較例1~9との導電性ペースト50の貫通孔12における保持状態についての評価結果である。実施例1~9は、上記実施形態で説明した製造方法、すなわち樹脂フィルム20貼り付けた後、導電性ペースト50を充填して作製された。比較例1~9は、樹脂フィルム20貼り付けずに導電性ペースト50を充填して作製された。実施例1~9は、貫通孔12の直径Dである孔径が互いに異なる。同様に、比較例1~9は、貫通孔12の直径Dである孔径が互いに異なる。実施例1~9および比較例1~9の各々の孔径は、図4に示す通りである。実施例1~9の工程P30における、樹脂フィルム20の温度である貼付温度は、55℃である。実施例1~9の工程P30における、プリプレグ10と樹脂フィルム20との積層体に加えられた圧力である貼付圧力は、0.25MPaである。実施例1~9の樹脂フィルム20は、厚さ25μmのPET製フィルムである。実施例1~9および比較例1~9のプリプレグ10の厚さは、0.2mmである。実施例1~9および比較例1~9の貫通孔12は、ドリル16を用いて形成された。後述する図5および図6に示すサンプルについても同様である。実施例1~9および比較例1~9の導電性ペースト50を充填する工程で使用されたメタルマスク30の厚さは20μmであり、使用されたスキージ40はウレタン製スキージである。
B. Example:
B1. Attaching resin film:
FIG. 4 shows the evaluation results of the holding state of the conductive paste 50 in the through-hole 12 in Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 9. Examples 1 to 9 were manufactured by the manufacturing method described in the above embodiment, that is, by pasting the resin film 20 and then filling the conductive paste 50. Comparative Examples 1 to 9 were produced by filling the conductive paste 50 without attaching the resin film 20. Examples 1 to 9 differ from each other in hole diameter, which is the diameter D of the through hole 12. Similarly, Comparative Examples 1 to 9 are different in hole diameter, which is the diameter D of the through hole 12. The pore diameters of Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 9 are as shown in FIG. The application temperature, which is the temperature of the resin film 20 in Step P30 of Examples 1 to 9, was 55°C. The adhesion pressure, which is the pressure applied to the laminate of prepreg 10 and resin film 20 in step P30 of Examples 1 to 9, was 0.25 MPa. The resin film 20 of Examples 1 to 9 is a PET film with a thickness of 25 μm. The thickness of the prepreg 10 of Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 9 is 0.2 mm. The through holes 12 in Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 9 were formed using a drill 16. The same applies to the samples shown in FIGS. 5 and 6, which will be described later. The thickness of the metal mask 30 used in the process of filling the conductive paste 50 in Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 9 was 20 μm, and the squeegee 40 used was a urethane squeegee.

実施例1~9および比較例1~9について、導電性ペースト50を充填した後、目視により導電性ペースト50の貫通孔12における保持状態について評価した。具体的には、導電性ペースト50の貫通孔12からの脱落が認められない場合を「○」、導電性ペースト50の貫通孔12からの脱落が認められる場合を「×」と評価している。 In Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 9, after the conductive paste 50 was filled, the retention state of the conductive paste 50 in the through holes 12 was visually evaluated. Specifically, the case where the conductive paste 50 is not observed to come off from the through hole 12 is evaluated as "○", and the case where the conductive paste 50 is observed to come off from the through hole 12 is evaluated as "x". .

図4に示すように、実施例1~9では、孔径の大きさにかかわらず、導電性ペースト50の貫通孔12からの脱落は認められず、導電性ペースト50は貫通孔12に保持されていた。対して、比較例1~9については、孔径が0.2mmである比較例1では、導電性ペースト50は貫通孔12に保持されていたものの、孔径が0.3mm以上である比較例2~9では、導電性ペースト50は貫通孔12に保持されていない。これにより、樹脂フィルム20を貼り付けることにより、孔径が0.3mm以上であっても、導電性ペースト50を貫通孔12に保持させることができることがわかる。 As shown in FIG. 4, in Examples 1 to 9, the conductive paste 50 was not observed to fall out of the through holes 12 regardless of the hole diameter, and the conductive paste 50 was not retained in the through holes 12. Ta. On the other hand, regarding Comparative Examples 1 to 9, in Comparative Example 1 where the hole diameter is 0.2 mm, the conductive paste 50 was held in the through hole 12, but in Comparative Examples 2 to 9 where the hole diameter is 0.3 mm or more. 9, the conductive paste 50 is not held in the through hole 12. This shows that by pasting the resin film 20, the conductive paste 50 can be held in the through hole 12 even if the hole diameter is 0.3 mm or more.

B2.部分冷却:
図5は、サンプル1~4についての樹脂フィルム20の貼り付け方法についての評価結果である。サンプル1~4では、プリプレグ10に、孔径が異なる複数の貫通孔12を形成した後、樹脂フィルム20を貼り付けた。孔径の大きさは、図5に示す通りである。図5に示す加熱方法の「部分冷却」とは、上記実施形態の工程P30における方法であり、具体的には、貫通孔12を冷却し、樹脂フィルム20とプリプレグ10の表面10aおよび裏面10bとを加熱する方法である。図5に示す加熱方法の「平加熱」とは、上記実施形態とは異なり、樹脂フィルム20を貼り付けるために、貫通孔12を冷却せずに、樹脂フィルム20とプリプレグ10の表面10aおよび裏面10bとヒータにより加熱する方法である。サンプル1~4の各々の貼付温度は、図5に示す通りである。
B2. Partial cooling:
FIG. 5 shows the evaluation results for the method of attaching the resin film 20 for Samples 1 to 4. In samples 1 to 4, a plurality of through holes 12 having different hole diameters were formed in the prepreg 10, and then the resin film 20 was attached. The size of the pore diameter is as shown in FIG. The "partial cooling" of the heating method shown in FIG. This is a method of heating. "Flat heating" of the heating method shown in FIG. 5 means that, unlike the above embodiment, in order to attach the resin film 20, the resin film 20 and the front surface 10a and the back surface of the prepreg 10 are heated without cooling the through hole 12. 10b and a heater. The application temperature of each of Samples 1 to 4 is as shown in FIG.

プリプレグ10に樹脂フィルム20を貼り付けた後、樹脂フィルム20の接着の状態と、貫通孔12の形状について評価した。具体的には、樹脂フィルム20の接着の状態を評価した結果を示す「フィルム接着」では、プリプレグ10に樹脂フィルム20に良好に接着されている状態を「◎」、普通に接着されている状態を「○」、接着不良である状態を「△」、接着されていない状態を「×」と評価した。貫通孔12の形状について評価した結果を示す「孔形状維持」では、貫通孔12の形状が良好に維持されている状態を「◎」、普通に維持されている状態を「○」、形状が不良である状態を「△」、形状が非常に不良である状態を「×」と評価した。 After attaching the resin film 20 to the prepreg 10, the adhesion state of the resin film 20 and the shape of the through hole 12 were evaluated. Specifically, in "Film adhesion", which indicates the result of evaluating the state of adhesion of the resin film 20, "◎" indicates a state in which the prepreg 10 is well adhered to the resin film 20, and a state in which it is normally adhered. A state of poor adhesion was evaluated as "△", and a state of no adhesion was evaluated as "x". In "Hole Shape Maintenance", which shows the results of evaluating the shape of the through hole 12, "◎" indicates that the shape of the through hole 12 is well maintained, "○" indicates that the shape is maintained normally, and "○" indicates that the shape of the through hole 12 is well maintained. A defective state was evaluated as "△", and a state in which the shape was extremely poor was evaluated as "x".

「フィルム接着」について、サンプル1では評価が「△」であるのに対して、サンプル2~4では評価が「◎」である。よって、貼付温度が55℃以上で、樹脂フィルム20を良好に接着できることがわかる。「孔形状維持」について、サンプル4では、評価が「×」であるのに対して、サンプル3では評価が「◎」である。よって、貼付温度が60℃である場合であっても、貫通孔12を冷却することにより、貫通孔12の形状を良好に維持することができることがわかる。なお、サンプル1では、樹脂フィルム20がプリプレグ10に良好に接着されていなかったため、「孔形状維持」の評価を省いている。以上から、貼付温度を55℃以上として、貫通孔12を冷却することにより、貫通孔12の形状を良好に維持しつつ、樹脂フィルム20をプリプレグ10に良好に接着できることがわかる。 Regarding "film adhesion," Sample 1 received an evaluation of "△," while Samples 2 to 4 received an evaluation of "◎." Therefore, it can be seen that the resin film 20 can be bonded well when the bonding temperature is 55° C. or higher. Regarding "pore shape maintenance", sample 4 received an evaluation of "x", whereas sample 3 received an evaluation of "◎". Therefore, it can be seen that even when the bonding temperature is 60° C., the shape of the through hole 12 can be maintained well by cooling the through hole 12. In addition, in sample 1, since the resin film 20 was not well adhered to the prepreg 10, the evaluation of "hole shape maintenance" was omitted. From the above, it can be seen that by cooling the through-holes 12 at a pasting temperature of 55° C. or higher, the resin film 20 can be adhered to the prepreg 10 well while maintaining the shape of the through-holes 12 well.

B3.樹脂フィルムの貼付温度:
図6は、サンプル5~10についての樹脂フィルム20の貼り付け方法についての評価結果である。サンプル5~7と、サンプル8~10とでは、プリプレグ10に含まれるエポキシ樹脂の物性が異なる。サンプル5~7は、同じ物性のエポキシ樹脂を含むプリプレグ10が用いられている。そして、サンプル5~7は、互いに貼付温度が異なる。同様に、サンプル8~10は、同じ物性のエポキシ樹脂を含むプリプレグ10が用いられている。そして、サンプル8~10は、互いに貼付温度が異なる。サンプル5~10の樹脂フィルム20の貼り付け方法は、上記実施形態と同様であり、貫通孔12が冷却されつつ、貼り付ける方法で作製された。「フィルム接着」と「孔形状維持」との評価方法は、上記と同様であるため、説明を省略する。
B3. Pasting temperature of resin film:
FIG. 6 shows the evaluation results for the method of attaching the resin film 20 for Samples 5 to 10. Samples 5 to 7 and Samples 8 to 10 have different physical properties of the epoxy resin contained in the prepreg 10. Samples 5 to 7 use prepregs 10 containing epoxy resins with the same physical properties. Samples 5 to 7 have different bonding temperatures. Similarly, samples 8 to 10 use prepregs 10 containing epoxy resins with the same physical properties. Samples 8 to 10 have different bonding temperatures. The method of attaching the resin films 20 of Samples 5 to 10 was the same as in the above embodiment, and the resin films 20 were attached while the through holes 12 were being cooled. The evaluation methods for "film adhesion" and "pore shape maintenance" are the same as those described above, and therefore their explanations will be omitted.

「フィルム接着」について、サンプル5では評価が「△」であるのに対して、サンプル6およびサンプル7では評価が「◎」である。「孔形状維持」について、サンプル7では、評価が「△」であるのに対して、サンプル6では評価が「◎」である。よって、サンプル5~7のプリプレグ10について、貼付温度を55℃とすると、貫通孔12の形状を良好に維持しつつ、樹脂フィルム20をプリプレグ10に良好に接着できることがわかる。 Regarding "film adhesion," Sample 5 received an evaluation of "△," while Samples 6 and 7 received an evaluation of "◎." Regarding "pore shape maintenance", sample 7 received an evaluation of "△", while sample 6 received an evaluation of "◎". Therefore, it can be seen that for the prepregs 10 of Samples 5 to 7, when the attachment temperature is 55° C., the resin film 20 can be adhered to the prepreg 10 well while maintaining the shape of the through hole 12 well.

「フィルム接着」について、サンプル8では評価が「△」であるのに対して、サンプル9およびサンプル10では評価が「◎」である。「孔形状維持」について、サンプル10では、評価が「△」であるのに対して、サンプル9では評価が「◎」である。よって、サンプル8~10のプリプレグ10について、貼付温度を60℃とすると、貫通孔12の形状を良好に維持しつつ、樹脂フィルム20をプリプレグ10に良好に接着できることがわかる。 Regarding "film adhesion", sample 8 was evaluated as "△", whereas samples 9 and 10 were evaluated as "◎". Regarding "hole shape maintenance", sample 10 is evaluated as "△", whereas sample 9 is evaluated as "◎". Therefore, it can be seen that for the prepregs 10 of Samples 8 to 10, when the attachment temperature is 60° C., the resin film 20 can be adhered to the prepreg 10 well while maintaining the shape of the through hole 12 well.

図7は、サンプル5~10のプリプレグ10の温度に対する貯蔵弾性率および損失弾性率の変化を測定した測定結果である。図7に示すように、貯蔵弾性率は、56.5℃にピークを有する。損失弾性率は、58.5℃にピークを有する。図6に示すように、サンプル7の貼付温度は貯蔵弾性率のピーク温度と損失弾性率のピーク温度とのいずれの温度よりも高い、60℃である。これらの結果から、貼付温度を貯蔵弾性率のピーク温度と損失弾性率のピーク温度とのいずれの温度よりも高い温度とすると、プリプレグ10が流動して貫通孔12の孔形状が良好に維持できなくなることがわかる。サンプル8~10のプリプレグ10についても同様であり、貼付温度が、貯蔵弾性率のピーク温度と損失弾性率のピーク温度とのいずれの温度よりも高いサンプル10では、貫通孔12の孔形状が良好に維持できない結果となっている。以上より、貼付温度を、貯蔵弾性率のピーク温度と損失弾性率のピーク温度とのいずれの温度よりも低い温度とすることにより、貫通孔12の孔形状を良好に維持することができる。 FIG. 7 shows the measurement results of changes in the storage modulus and loss modulus of the prepregs 10 of Samples 5 to 10 with respect to temperature. As shown in FIG. 7, the storage modulus has a peak at 56.5°C. The loss modulus has a peak at 58.5°C. As shown in FIG. 6, the application temperature of Sample 7 was 60° C., which was higher than both the peak temperature of storage modulus and the peak temperature of loss modulus. From these results, if the application temperature is set higher than either the peak temperature of the storage modulus or the peak temperature of the loss modulus, the prepreg 10 will flow and the hole shape of the through hole 12 can be maintained well. I know it will disappear. The same applies to the prepregs 10 of Samples 8 to 10, and in Sample 10 where the application temperature is higher than either the peak temperature of storage modulus or the peak temperature of loss modulus, the hole shape of through hole 12 is good. The result is that it cannot be maintained. As described above, by setting the bonding temperature to a temperature lower than either the peak temperature of the storage modulus or the peak temperature of the loss modulus, the shape of the through-hole 12 can be maintained well.

以上説明した実施形態によれば、製造工程は、プリプレグ10に形成された貫通孔12を覆って裏面10bに樹脂フィルム20を配置する工程P20と、貫通孔12を冷却しつつ、樹脂フィルム20と裏面10bとを加熱して、樹脂フィルム20をプリプレグ10の裏面10bに貼り付ける工程P30とを備える。貫通孔12を樹脂フィルム20により覆い、底が閉塞された貫通孔12に導電性ペースト50を充填することにより、導電性ペースト50の貫通孔12からの脱落を抑制し、貫通孔12に導電性ペースト50を保持させることができる。また、工程P30において、貫通孔12を冷却しつつ、樹脂フィルム20と裏面10bとを加熱するため、貫通孔12の形状を維持しつつ、樹脂フィルム20をプリプレグ10に良好に貼り付けることができる。 According to the embodiment described above, the manufacturing process includes a step P20 of disposing the resin film 20 on the back surface 10b covering the through hole 12 formed in the prepreg 10, and a step P20 of disposing the resin film 20 on the back surface 10b while cooling the through hole 12. and a step P30 of heating the back surface 10b and attaching the resin film 20 to the back surface 10b of the prepreg 10. By covering the through hole 12 with a resin film 20 and filling the through hole 12 with a closed bottom with the conductive paste 50, the conductive paste 50 is prevented from falling out of the through hole 12, and the through hole 12 is filled with conductive paste. The paste 50 can be retained. Furthermore, in step P30, the resin film 20 and the back surface 10b are heated while cooling the through hole 12, so the resin film 20 can be satisfactorily attached to the prepreg 10 while maintaining the shape of the through hole 12. .

本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。 The present disclosure is not limited to the embodiments described above, and can be implemented in various configurations without departing from the spirit thereof. For example, the technical features of the embodiments corresponding to the technical features in each form described in the column of the summary of the invention may be Alternatively, in order to achieve all of the above, it is possible to perform appropriate replacements or combinations. Further, unless the technical feature is described as essential in this specification, it can be deleted as appropriate.

10…プリプレグ、10a…表面、10b…裏面、12…貫通孔、14…接続配線、16…ドリル、20…樹脂フィルム、30…メタルマスク、32…貫通孔、40…スキージ、50…導電性ペースト、60…第1基板、70…第2基板、100…回路基板、200…加圧装置、210…ヒータ、211…伝熱体、212…貫通孔、220…冷却装置、221…流通部材、222…冷却体、230…冷媒、P10~P80…工程 10... prepreg, 10a... front surface, 10b... back surface, 12... through hole, 14... connection wiring, 16... drill, 20... resin film, 30... metal mask, 32... through hole, 40... squeegee, 50... conductive paste , 60... First substrate, 70... Second substrate, 100... Circuit board, 200... Pressure device, 210... Heater, 211... Heat transfer body, 212... Through hole, 220... Cooling device, 221... Distribution member, 222 ...cooling body, 230...refrigerant, P10-P80...process

Claims (1)

基板の製造方法であって、
裏面と表面とを有するプリプレグに貫通孔を形成する第1工程と、
前記貫通孔を覆って前記裏面に樹脂フィルムを配置する第2工程と、
前記貫通孔を冷却しつつ、前記樹脂フィルムと前記裏面とを加熱して、前記樹脂フィルムを前記プリプレグの前記裏面に貼り付ける第3工程と、
前記プリプレグの前記表面側から、前記貫通孔に導電性ペーストを充填する第4工程と、を備える、製造方法。
A method for manufacturing a substrate, the method comprising:
A first step of forming a through hole in a prepreg having a back surface and a front surface;
a second step of arranging a resin film on the back surface to cover the through hole;
A third step of heating the resin film and the back surface while cooling the through hole and pasting the resin film on the back surface of the prepreg;
A manufacturing method comprising: a fourth step of filling the through hole with a conductive paste from the surface side of the prepreg.
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