JP2023165302A - Release film for the production of ceramic green sheets and method for producing the same, and laminate - Google Patents

Release film for the production of ceramic green sheets and method for producing the same, and laminate Download PDF

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Abstract

To provide a release film for production of ceramic green sheets that is capable of producing a ceramic green sheet with reduced unevenness defects and reduced thickness variations, or applications thereof.SOLUTION: A release film for production of ceramic green sheets includes a polyester substrate and a release layer. The release film has a film width of 1 m or more. A thickness of the polyester substrate is at least 40 times of a thickness of the release layer. As measured by differential scanning calorimetry, a pre-peak temperature is 160°C or higher and 225°C or lower. In the width direction of the film, a variation in crystallinity is 5.0% or less. There are also provided a method for producing the release film, and a laminate including the release film.SELECTED DRAWING: None

Description

本開示は、セラミックグリーンシート製造用剥離フィルム及びその製造方法、並びに、積層体に関する。 The present disclosure relates to a release film for producing ceramic green sheets, a method for producing the same, and a laminate.

電子機器の高性能化及び小型化に伴い、電子機器に用いられる電子部品に対しても、高性能化及び小型化が求められている。電子部品の中でも、例えば、積層セラミックコンデンサは、基板への実装点数が増加しており、小型化の要求が強い。
積層セラミックコンデンサの製造においては、剥離フィルムが有する剥離層上に、セラミックスラリーを塗布し、乾燥してセラミックグリーンシートを形成する工程を含むことが一般的である。
2. Description of the Related Art As electronic devices become more sophisticated and smaller, electronic components used in electronic devices are also required to have higher performance and become smaller. Among electronic components, for example, the number of mounting points on a board for multilayer ceramic capacitors is increasing, and there is a strong demand for miniaturization.
Manufacturing a multilayer ceramic capacitor generally includes a step of applying a ceramic slurry onto a release layer of a release film and drying it to form a ceramic green sheet.

特許文献1には、積層セラミックコンデンサを製造する工程においてグリーンシート成形の支持体用フィルムとして、ポリエステルフィルムであって、少なくとも片側の表面が、全反射減衰法による赤外分光分析測定(ATR-IR測定)によって得られるトランス配座のポリエステルに由来する吸収ピークの強度をA、ゴーシュ配座に由来する吸収ピークの強度をA、トランス配座のポリエステルに由来する吸収ピークの強度とゴーシュ配座に由来する吸収ピークの強度との比(トランス配座比)をA/Aとした場合に、次の(1)、(2)を満たすポリエステルフィルムが記載されている。
(1)表面から深さ0.5μmまでの領域におけるトランス配座比A 0.5/A 0.5が1.00以上1.50以下であること。
(2)上記トランス配座比A 0.5/A 0.5と、表面から深さ1.0μmまでの領域におけるトランス配座比A 1.0/A 1.0が次の(式1)を満たすこと。
(A 1.0/A 1.0)×1.1≦A 0.5/A 0.5・・・(式1)
Patent Document 1 discloses that a polyester film is used as a support film for green sheet molding in the process of manufacturing a multilayer ceramic capacitor, and at least one surface of the film is subjected to infrared spectroscopy measurement (ATR-IR) using the attenuated total reflection method. A t is the intensity of the absorption peak derived from the trans-conformation polyester obtained by measurement), A g is the intensity of the absorption peak derived from the gauche conformation, and A g is the intensity of the absorption peak derived from the trans-conformation polyester and the gauche conformation. A polyester film that satisfies the following (1) and (2) is described, where the ratio of the intensity of the absorption peak originating from the locus (trans conformation ratio) is A t /A g .
(1) The transformer conformation ratio A t 0.5 /A g 0.5 in the region from the surface to a depth of 0.5 μm is 1.00 or more and 1.50 or less.
(2) The above transformer conformation ratio A t 0.5 /A g 0.5 and the transformer conformation ratio A t 1.0 /A g 1.0 in the region from the surface to a depth of 1.0 μm are as follows. (Formula 1) must be satisfied.
(A t 1.0 /A g 1.0 )×1.1≦A t 0.5 /A g 0.5 (Formula 1)

特開2020-147751号公報Japanese Patent Application Publication No. 2020-147751

本発明者らが、特許文献1に記載の、ポリエステルフィルムと離型層とを含む離型フィルムについて検討を行ったところ、かかる離型フィルムを用いて製造されるセラミックグリーンシートに、微小な凹形状の欠陥や微小な凸形状の欠陥(以下、凹凸欠陥ともいう)が生じたり、厚みムラが生じたりするといった知見を得た。 When the present inventors investigated the release film containing a polyester film and a release layer described in Patent Document 1, they found that a ceramic green sheet manufactured using such a release film had minute dents. It was found that shape defects, minute convex defects (hereinafter also referred to as uneven defects), and thickness unevenness occur.

本開示は上記の事情に鑑みてなされたものであり、本開示の一実施形態が解決しようとする課題は、凹凸欠陥が抑制され且つ厚みムラが低減されたセラミックグリーンシートを製造しうる、セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムを提供することである。
本開示の他の一実施形態が解決しようとする課題は、上記剥離フィルムを含む積層体を提供することである。
また、本開示の他の一実施形態が解決しようとする課題は、凹凸欠陥が抑制され且つ厚みムラが低減されたセラミックグリーンシートを製造しうる、セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法を提供することである。
The present disclosure has been made in view of the above circumstances, and the problem to be solved by an embodiment of the present disclosure is to provide a ceramic green sheet that can produce a ceramic green sheet in which unevenness defects are suppressed and thickness unevenness is reduced. An object of the present invention is to provide a release film for producing green sheets.
A problem to be solved by another embodiment of the present disclosure is to provide a laminate including the above release film.
Another object of the present disclosure is to provide a method for producing a release film for producing a ceramic green sheet that can produce a ceramic green sheet in which unevenness defects are suppressed and thickness unevenness is reduced. It is to be.

上記課題を解決するための手段は、以下の実施形態を含む。
<1> ポリエステル基材と剥離層とを含むセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムであって、
1m以上のフィルム幅を有し、
前記ポリエステル基材の厚みが前記剥離層の厚みに対して40倍以上であり、
示差走査熱量測定で測定されるプレピーク温度が160℃以上225℃以下であり、
前記フィルム幅方向における結晶化度のバラツキが5.0%以下である、
セラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
<2> 前記フィルム幅方向に直交する方向における熱収縮率のバラツキ、及び、前記フィルム幅方向における熱収縮率のバラツキが、いずれも0.03%~0.50%である、<1>に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
<3> 固有粘度(IV)が0.65dL/g以上である、<1>又は<2>に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
<4> 前記ポリエステル基材が実質的に粒子を含まない、<1>~<3>のいずれか1つに記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
<5> さらに粒子含有層を含み、
前記剥離層、前記ポリエステル基材、及び前記粒子含有層をこの順に含む、<1>~<4>のいずれか1つに記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
<6> 前記粒子含有層が非ポリエステル樹脂を含む、<5>に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
<7> 前記非ポリエステル樹脂が、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、及びオレフィン樹脂からなる群より選択される少なくとも1種の樹脂である、<6>に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
<8> 前記粒子含有層の最大突起高さSpが800nm以下である、<5>~<7>のいずれか1つに記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
<9> ポリエステル基材と剥離層とを含むセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法であって、
1m以上のフィルム幅を有するポリエステルフィルムを加熱する熱固定工程を含み、
前記熱固定工程において、ポリエステルフィルムの最高到達膜面温度を160℃以上225℃以下の範囲に制御し、かつ、フィルム幅方向における最高到達膜面温度のバラツキを5.0℃以下として加熱する、セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法。
<10> <1>~<8>のいずれか1つに記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムと、セラミックを含む層と、を含む、積層体。
Means for solving the above problems include the following embodiments.
<1> A release film for producing ceramic green sheets comprising a polyester base material and a release layer,
Having a film width of 1 m or more,
The thickness of the polyester base material is 40 times or more the thickness of the release layer,
The pre-peak temperature measured by differential scanning calorimetry is 160°C or more and 225°C or less,
The variation in crystallinity in the film width direction is 5.0% or less,
Release film for ceramic green sheet production.
<2> In <1>, the variation in the heat shrinkage rate in the direction orthogonal to the film width direction and the variation in the heat shrinkage rate in the film width direction are both 0.03% to 0.50%. Release film for producing ceramic green sheets as described.
<3> The release film for producing ceramic green sheets according to <1> or <2>, which has an intrinsic viscosity (IV) of 0.65 dL/g or more.
<4> The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of <1> to <3>, wherein the polyester base material does not substantially contain particles.
<5> Further including a particle-containing layer,
The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of <1> to <4>, comprising the release layer, the polyester base material, and the particle-containing layer in this order.
<6> The release film for producing a ceramic green sheet according to <5>, wherein the particle-containing layer contains a non-polyester resin.
<7> The release film for producing a ceramic green sheet according to <6>, wherein the non-polyester resin is at least one resin selected from the group consisting of acrylic resin, urethane resin, and olefin resin.
<8> The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of <5> to <7>, wherein the particle-containing layer has a maximum protrusion height Sp of 800 nm or less.
<9> A method for producing a release film for producing a ceramic green sheet comprising a polyester base material and a release layer, the method comprising:
Including a heat setting step of heating a polyester film having a film width of 1 m or more,
In the heat-setting step, the maximum film surface temperature of the polyester film is controlled in the range of 160 ° C. or more and 225 ° C. or less, and the dispersion of the maximum film surface temperature in the film width direction is controlled to be 5.0 ° C. or less. A method for producing a release film for producing ceramic green sheets.
<10> A laminate comprising the release film for producing a ceramic green sheet according to any one of <1> to <8> and a layer containing ceramic.

本開示の一実施形態によれば、凹凸欠陥が抑制され且つ厚みムラが低減されたセラミックグリーンシートを製造しうる、セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムが提供される。
本開示の他の一実施形態によれば、上記剥離フィルムを含む積層体が提供される。
また、本開示の他の一実施形態によれば、凹凸欠陥が抑制され且つ厚みムラが低減されたセラミックグリーンシートを製造しうる、セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法が提供される。
According to an embodiment of the present disclosure, there is provided a release film for producing ceramic green sheets that can produce ceramic green sheets with suppressed unevenness defects and reduced thickness unevenness.
According to another embodiment of the present disclosure, a laminate including the release film described above is provided.
Further, according to another embodiment of the present disclosure, there is provided a method for producing a release film for producing a ceramic green sheet, which can produce a ceramic green sheet in which unevenness defects are suppressed and thickness unevenness is reduced.

従来技術において得られたセラミックグリーンシートの断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a ceramic green sheet obtained using a conventional technique. 剥離層の表面にスジ状のシワが発生した剥離フィルムの観察画像である。This is an observed image of a release film with streak-like wrinkles on the surface of the release layer.

以下、本開示のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム及びその製造方法、並びに、積層体について詳細に説明する。但し、本開示は、以下の実施形態に何ら限定されるものではなく、本開示の目的の範囲内において、適宜変更を加えて実施することができる。 Hereinafter, the release film for producing ceramic green sheets, the method for producing the same, and the laminate of the present disclosure will be described in detail. However, the present disclosure is not limited to the following embodiments, and can be implemented with appropriate modifications within the scope of the purpose of the present disclosure.

本明細書において、「~」を用いて表される数値範囲は、「~」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。本明細書に段階的に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本明細書に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
本明細書において、組成物中の各成分の量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する複数の物質の合計量を意味する。
本明細書において、「工程」との用語には、独立した工程だけでなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、2以上の好ましい態様の組み合わせは、より好ましい態様である。
In this specification, a numerical range expressed using "~" means a range that includes the numerical values written before and after "~" as lower and upper limits. In the numerical ranges described stepwise in this specification, the upper limit or lower limit described in a certain numerical range may be replaced with the upper limit or lower limit of another numerical range described stepwise. Moreover, in the numerical ranges described in this specification, the upper limit or lower limit described in a certain numerical range may be replaced with the value shown in the Examples.
In this specification, when there are multiple substances corresponding to each component in the composition, unless otherwise specified, the amount of each component in the composition means the total amount of the multiple substances present in the composition. do.
In this specification, the term "process" includes not only an independent process but also a process that is not clearly distinguishable from other processes, as long as the intended purpose of the process is achieved. It will be done.
In this specification, a combination of two or more preferred embodiments is a more preferred embodiment.

本明細書において、「1m以上のフィルム幅を有する剥離フィルム」とは、フィルム幅が1m以上である長尺の剥離フィルムを意味する。
このため、本明細書において、「長手方向」とは、長尺の剥離フィルム及び剥離フィルムに含まれるポリエステル基材の長尺方向を意味し、剥離フィルムの製造時における剥離フィルムの「搬送方向」及び「機械方向」とも同義である。
本明細書において、「幅方向」とは、長手方向に直交する方向を意味する。本明細書において、「直交」は、厳密な直交に限られず、略直交を含む。「略直交」とは、90°±5°の範囲内で交わることを意味し、90°±3°の範囲内で交わることが好ましく、90°±1°の範囲内で交わることがより好ましい。
また、本明細書において、「フィルム幅」とは、剥離フィルムの幅方向の両端間の距離を意味する。
In this specification, "a release film having a film width of 1 m or more" means a long release film having a film width of 1 m or more.
Therefore, in this specification, the "longitudinal direction" means the longitudinal direction of a long release film and the polyester base material included in the release film, and the "transport direction" of the release film during production of the release film. and "machine direction".
In this specification, "width direction" means a direction perpendicular to the longitudinal direction. In this specification, "orthogonal" is not limited to strictly orthogonal, but includes substantially orthogonal. "Substantially perpendicular" means that they intersect within a range of 90°±5°, preferably within a range of 90°±3°, and more preferably within a range of 90°±1°. .
Further, in this specification, "film width" means the distance between both ends of the release film in the width direction.

〔セラミックグリーンシート製造用剥離フィルム〕
本開示のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムは、ポリエステル基材と剥離層とを含む。そして、本開示のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムは、1m以上のフィルム幅を有し、ポリエステル基材の厚みが剥離層の厚みに対して40倍以上であり、示差走査熱量測定(DSC:Differential scanning calorimetry、以下、「DSC」ともいう)で測定されるプレピーク温度が160℃以上225℃以下であり、フィルム幅方向における結晶化度のバラツキが5.0%以下である。
以下、セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムを、単に、「剥離フィルム」ともいう。
[Release film for ceramic green sheet production]
The release film for producing ceramic green sheets of the present disclosure includes a polyester base material and a release layer. The release film for producing ceramic green sheets of the present disclosure has a film width of 1 m or more, the thickness of the polyester base material is 40 times or more than the thickness of the release layer, and the release film uses differential scanning calorimetry (DSC). The pre-peak temperature measured by scanning calorimetry (hereinafter also referred to as "DSC") is 160° C. or more and 225° C. or less, and the variation in crystallinity in the film width direction is 5.0% or less.
Hereinafter, the release film for ceramic green sheet production will also be simply referred to as a "release film."

本発明者らは、特許文献1に記載されたポリエステルフィルムについて、特許文献1に記載のように離型層を形成してセラミックグリーンシート製造用として検討を行った。この検討により、特許文献1に記載されたポリエステルフィルムは、特許文献1に記載されている通り、長期保管後の離型層との密着性は良好ではあったが、かかるポリエステルフィルムと離型層とを含む離型フィルムを用いて製造されるセラミックグリーンシートにおいて、ピンホールなどの微小な凹形状の欠陥や凸形状の欠陥(すなわち、凹凸欠陥)が生じるといった知見を得た。
また、製造されるセラミックグリーンシートの一方の表面においてうねりが生じるといった知見も得た。具体的には、図1に示すように、得られたセラミックグリーンシート10の一方の表面12において、上記離型フィルムのフィルム幅方向に沿って波状のうねり、すなわち、凹部と凸部とが連続的に連なった形状が見られた。さらに、上記のうねり(すなわち、凹部と凸部とが連続的に連なった形状)により、セラミックグリーンシートの全体にわたって厚みムラが生じていることも判明した。このようなセラミックグリーンシートの厚みムラは、製造されるセラミックコンデンサの容量をバラつかせる要因となるため、許容されるものではなかった。
なお、上記のうねりは、セラミックグリーンシートの剥離フィルムの剥離層の表面との接触面に生じており、剥離フィルムの剥離層の表面(すなわち、剥離面)にスジ状のシワが生じていることに起因する。剥離フィルムの剥離層の表面に生じるスジ状のシワは、剥離フィルムの長手方向に沿ってスジ状に延び、かつ、剥離フィルムの幅方向においては凹凸として現れるシワであって、例えば、図2の実線で囲まれた領域の、長手方向に延びる凹凸形状として観察される。なお、図2に示す画像(写真)は、剥離フィルムの剥離層の表面における観察領域の一部のみを示している。
The present inventors investigated the polyester film described in Patent Document 1 by forming a release layer as described in Patent Document 1 and using it for manufacturing ceramic green sheets. Through this study, it was found that the polyester film described in Patent Document 1 had good adhesion with the mold release layer after long-term storage, but the polyester film and the mold release layer It has been found that minute concave-shaped defects such as pinholes and convex-shaped defects (i.e., uneven defects) occur in ceramic green sheets manufactured using a release film containing.
It was also discovered that waviness occurs on one surface of the manufactured ceramic green sheet. Specifically, as shown in FIG. 1, on one surface 12 of the obtained ceramic green sheet 10, wavy undulations, that is, concave portions and convex portions are continuous along the film width direction of the release film. A series of shapes could be seen. Furthermore, it was also found that the above-mentioned undulations (that is, a shape in which concave portions and convex portions are continuously connected) caused thickness unevenness throughout the ceramic green sheet. Such uneven thickness of ceramic green sheets is not acceptable because it causes variations in the capacitance of manufactured ceramic capacitors.
The above-mentioned undulations occur on the surface of the ceramic green sheet in contact with the surface of the release layer of the release film, and streak-like wrinkles occur on the surface of the release layer of the release film (i.e., the release surface). caused by. Line-like wrinkles that occur on the surface of the release layer of a release film are wrinkles that extend in a stripe shape along the longitudinal direction of the release film and appear as unevenness in the width direction of the release film. It is observed as an uneven shape extending in the longitudinal direction in a region surrounded by a solid line. Note that the image (photograph) shown in FIG. 2 shows only a part of the observation area on the surface of the release layer of the release film.

本開示の剥離フィルムによれば、凹凸欠陥が抑制され且つ厚みムラが低減されたセラミックグリーンシートを製造することができる。この理由は定かではないが、以下のように推測される。
本開示の剥離フィルムは、DSCで測定されるプレピーク温度が160℃以上225℃以下である。剥離フィルムのDSCのプレピーク温度を160℃以上とすることで、剥離フィルムの結晶化度のバラツキ及び熱収縮率差を小さくすることができ、剥離フィルム自体のフィルム幅方向における厚みムラ(例えば、上記スジ状のシワ)が低減されるものと推測される。そして、フィルム幅方向における厚みムラが低減された本開示の剥離フィルムを用いることで、上述のような厚みムラが低減されたセラミックグリーンシートを製造することができる。また、剥離フィルムのDSCのプレピーク温度を225℃以下とすることで、ポリエステル基材の熱分解によって生じるオリゴマーの生成を抑制することができ、生成したオリゴマーが剥離フィルムの表面へ析出することを抑制することができると推測される。その結果、剥離フィルムの表面の析出物が転写するが起因となって、セラミックグリーンシートに凹凸欠陥が生じることを抑制することができる。
また、本開示の剥離フィルムは、フィルム幅方向における結晶化度のバラツキが5.0%以下であることから、剥離フィルム自体のフィルム幅方向における厚みムラ(例えば、上記スジ状のシワ)が低減されているものと推測される。このように、フィルム幅方向における厚みムラが低減された本開示の剥離フィルムを用いることで、上述のような厚みムラが低減されたセラミックグリーンシートを製造することができる。
According to the release film of the present disclosure, it is possible to produce a ceramic green sheet in which unevenness defects are suppressed and thickness unevenness is reduced. Although the reason for this is not certain, it is assumed as follows.
The release film of the present disclosure has a pre-peak temperature of 160°C or more and 225°C or less as measured by DSC. By setting the DSC pre-peak temperature of the release film to 160°C or higher, it is possible to reduce variations in crystallinity of the release film and differences in heat shrinkage rate, and to reduce thickness unevenness in the film width direction of the release film itself (for example, the above-mentioned It is presumed that line-like wrinkles) are reduced. By using the release film of the present disclosure with reduced thickness unevenness in the film width direction, a ceramic green sheet with reduced thickness unevenness as described above can be manufactured. In addition, by setting the DSC pre-peak temperature of the release film to 225°C or less, it is possible to suppress the formation of oligomers caused by thermal decomposition of the polyester base material, and to suppress the generated oligomers from precipitating on the surface of the release film. It is presumed that it can be done. As a result, it is possible to suppress the occurrence of uneven defects in the ceramic green sheet due to transfer of precipitates on the surface of the release film.
In addition, since the release film of the present disclosure has a variation in crystallinity of 5.0% or less in the film width direction, thickness unevenness (for example, the above-mentioned line-like wrinkles) in the film width direction of the release film itself is reduced. It is assumed that this has been done. In this way, by using the release film of the present disclosure with reduced thickness unevenness in the film width direction, a ceramic green sheet with reduced thickness unevenness as described above can be manufactured.

本開示の剥離フィルムにおいて、ポリエステル基材の厚みは、剥離層の厚みに対して、40倍以上であり、80倍以上であることが好ましく、150倍以上であることがより好ましい。ポリエステル基材の厚みは、剥離層の厚みに対して、4000倍以下であることが好ましい。
このように、ポリエステル基材の厚みが剥離層の厚みよりも遥かに大きいことから、剥離フィルムの膜厚に占めるポリエステル基材の厚みが多いことになる。そのため、剥離フィルムにおける諸物性(具体的には、DSCで測定されるプレピーク温度、結晶化度、後述する、熱収縮率、固有粘度等)は、主として、ポリエステル基材における諸物性に大きく影響を受ける。
つまり、ポリエステル基材の厚みが剥離層の厚みより40倍以上であると、ポリエステル基材の諸物性を調整することで、剥離フィルムの諸物性を制御することができる。
In the release film of the present disclosure, the thickness of the polyester base material is preferably 40 times or more, preferably 80 times or more, and more preferably 150 times or more than the thickness of the release layer. The thickness of the polyester base material is preferably 4000 times or less the thickness of the release layer.
As described above, since the thickness of the polyester base material is much larger than the thickness of the release layer, the thickness of the polyester base material accounts for a large amount of the thickness of the release film. Therefore, the physical properties of the release film (specifically, the pre-peak temperature measured by DSC, the degree of crystallinity, the heat shrinkage rate, the intrinsic viscosity, etc. described below) have a large influence on the physical properties of the polyester base material. receive.
That is, when the thickness of the polyester base material is 40 times or more greater than the thickness of the release layer, the physical properties of the release film can be controlled by adjusting the physical properties of the polyester base material.

本開示の剥離フィルムにおいて、DSCで測定されるプレピーク温度は、160℃~225℃であり、凹凸欠陥が抑制され且つ厚みムラが低減されたセラミックグリーンシートを製造しうる観点から、160℃~220℃以下であることが好ましい。また、凹凸欠陥が抑制され且つ厚みムラが低減されたセラミックグリーンシートを製造しうる観点から、180℃~210℃であることが好ましい。 In the release film of the present disclosure, the pre-peak temperature measured by DSC is 160°C to 225°C, and from the viewpoint of manufacturing a ceramic green sheet with suppressed unevenness defects and reduced thickness unevenness, the pre-peak temperature is 160°C to 225°C. It is preferable that it is below ℃. Further, from the viewpoint of producing a ceramic green sheet with suppressed unevenness defects and reduced thickness unevenness, the temperature is preferably 180° C. to 210° C.

本開示において、「DSCで測定されるプレピーク温度」は、DSC測定したときに最初に現れるピークの温度である。また、プレピーク温度は、ポリエステル基材を得る際の、熱固定時におけるポリエステルフィルムの最高到達膜面温度(熱固定温度ともいう)に相当する。そのため、本開示の剥離フィルムのDSCで測定されるプレピーク温度は、主として、ポリエステル基材のDSCで測定されるプレピーク温度に依存する。
剥離フィルムのDSCで測定されるプレピーク温度は、示差走査熱量測定(DSC)で常法により求められる値である。
In the present disclosure, "pre-peak temperature measured by DSC" is the temperature of the peak that first appears when measured by DSC. Further, the pre-peak temperature corresponds to the highest film surface temperature (also referred to as heat-setting temperature) of the polyester film during heat-setting when obtaining a polyester base material. Therefore, the pre-peak temperature measured by DSC of the release film of the present disclosure mainly depends on the pre-peak temperature measured by DSC of the polyester base material.
The pre-peak temperature of the release film measured by DSC is a value determined by differential scanning calorimetry (DSC) using a conventional method.

本開示の剥離フィルムのDSCのプレピーク温度を160℃~225℃とするためには、ポリエステル基材のDSCのプレピーク温度を160℃~225℃とすることが望ましい。 In order to set the DSC pre-peak temperature of the release film of the present disclosure to 160°C to 225°C, it is desirable to set the DSC pre-peak temperature of the polyester base material to 160°C to 225°C.

本開示の剥離フィルムにおいて、フィルム幅方向における結晶化度のバラツキは、5.0%以下であり、4.5%以下であることが好ましく、厚みムラがより低減されたセラミックグリーンシートを製造しうる観点からは、4.0%以下であることがより好ましく、3.0%以下であることがさらに好ましい。
フィルム幅方向における結晶化度のバラツキの下限値は、特に制限はなく、0%であってもよいし、0%超であってもよいが、製造上、0.3%以上であることが多い。
本開示の剥離フィルムのフィルム幅方向における結晶化度のバラツキを5.0%以下とするためには、ポリエステル基材のフィルム幅方向における結晶化度のバラツキを5.0%以下とすることが望ましい。
In the release film of the present disclosure, the variation in crystallinity in the film width direction is 5.0% or less, preferably 4.5% or less, and a ceramic green sheet with further reduced thickness unevenness can be produced. From the viewpoint of moisture content, the content is more preferably 4.0% or less, and even more preferably 3.0% or less.
The lower limit of the variation in crystallinity in the film width direction is not particularly limited and may be 0% or more than 0%, but from the viewpoint of manufacturing, it is preferably 0.3% or more. many.
In order to make the variation in crystallinity in the film width direction of the release film of the present disclosure 5.0% or less, the variation in crystallinity in the film width direction of the polyester base material must be 5.0% or less. desirable.

フィルム幅方向における結晶化度のバラツキの測定方法は、フィルム幅方向におけるフィルム全幅に対して、中央部(フィルムの幅方向の両端に対して等距離にある箇所)1点、両端2点の合計3点を切出し、切出した測定試料の結晶化度を測定し、中央部の結晶化度(すなわち、フィルム幅方向の中央部の結晶化度)から両端の結晶化度(すなわち、フィルム幅方向の端部の結晶化度)のうち値の小さい方の結晶化度を減算することにより算出される。なお、測定方法等の詳細は、実施例の欄に記載のとおりである。 The method for measuring the variation in crystallinity in the film width direction is to measure the total width of the film in the film width direction by measuring one point in the center (at the same distance from both ends of the film in the width direction) and two points at both ends. Cut out three points, measure the crystallinity of the cut sample, and calculate the crystallinity from the center (i.e., the crystallinity at the center in the film width direction) to the crystallinity at both ends (i.e., the crystallinity in the film width direction). It is calculated by subtracting the smaller crystallinity of the crystallinity of the edges. The details of the measurement method and the like are as described in the Examples section.

フィルム幅方向における結晶化度のバラツキは、フィルム幅長が1m以上である場合に顕著に生じやすい。これは、ポリエステル基材を製造する際に、ポリエステル基材の幅方向の端部での温度変化が大きいのに対し、幅方向の中央部付近では温度変化を生じにくいためである。
そのため、ポリエステル基材を製造する際の、幅方向の端部での温度変化を抑えることで、フィルム幅方向における結晶化度のバラツキを低減させることができる。
Variations in crystallinity in the film width direction tend to occur significantly when the film width is 1 m or more. This is because when manufacturing a polyester base material, temperature changes are large at the ends in the width direction of the polyester base material, whereas temperature changes are difficult to occur near the center part in the width direction.
Therefore, by suppressing temperature changes at the ends in the width direction when manufacturing the polyester base material, it is possible to reduce variations in crystallinity in the film width direction.

本開示の剥離フィルムは、フィルム幅方向に直交する方向における熱収縮率のバラツキ、及び、フィルム幅方向における熱収縮率のバラツキが、いずれも、0.03%~0.50%であることが好ましく、厚みムラがより低減されたセラミックグリーンシートを製造しうる観点からは、0.03%~0.40%であることがより好ましく、0.03%~0.30%であることがさらに好ましい。
本開示の剥離フィルムのフィルム幅方向に直交する方向及びフィルム幅方向における熱収縮率のバラツキを0.03%~0.50%とするためには、ポリエステル基材のフィルム幅方向に直交する方向及びフィルム幅方向における熱収縮率のバラツキを0.03%~0.50%とすることが望ましい。また、ポリエステル基材の熱収縮率のバラツキは、ポリエステル基材の結晶化度のバラツキを調整することによって制御することができる。
In the release film of the present disclosure, the variation in heat shrinkage rate in the direction orthogonal to the film width direction and the variation in heat shrinkage rate in the film width direction are both 0.03% to 0.50%. Preferably, from the viewpoint of producing ceramic green sheets with further reduced thickness unevenness, the content is more preferably 0.03% to 0.40%, and even more preferably 0.03% to 0.30%. preferable.
In order to make the variation in the heat shrinkage rate of the release film of the present disclosure in the direction orthogonal to the film width direction and in the film width direction to be 0.03% to 0.50%, it is necessary to It is also desirable that the variation in heat shrinkage rate in the width direction of the film is 0.03% to 0.50%. Furthermore, variations in the thermal shrinkage rate of the polyester base material can be controlled by adjusting variations in the degree of crystallinity of the polyester base material.

本開示の剥離フィルムにおける熱収縮率は、150℃で30分間の熱処理を行い、熱処理前後での剥離フィルムのフィルム長に基づき、以下の式から算出されるものである。
剥離フィルムの熱収縮率[%]=(熱処理前のフィルム長-熱処理後のフィルム長)/(熱処理前のフィルム長)×100)
The heat shrinkage rate of the release film of the present disclosure is calculated by performing heat treatment at 150° C. for 30 minutes and using the following formula based on the film length of the release film before and after the heat treatment.
Heat shrinkage rate of release film [%] = (Film length before heat treatment - Film length after heat treatment) / (Film length before heat treatment) x 100)

剥離フィルムの熱収縮率のバラツキは、フィルム幅方向におけるフィルム全幅に対して、中央部1点、両端2点の合計3点を切出し、熱収縮率を測定し、フィルム幅方向の中央部の熱収縮率からフィルム幅方向の両端の熱収縮率のうち中央部の熱収縮率との差が大きい方の熱収縮率を減算し、その絶対値から求める。このとき、フィルム長を測定する方向がフィルム幅方向であれば、フィルム幅方向における熱収縮率のバラツキが求められ、また、フィルム長を測定する方向がフィルム幅方向に直交する方向(すなわち、長手方向)であれば、フィルム幅方向に直交する方向における熱収縮率のバラツキが求められる。なお、測定方法等の詳細は、実施例の欄に記載のとおりである。 To determine the variation in the heat shrinkage rate of a release film, measure the heat shrinkage rate by cutting out a total of 3 points, 1 point at the center and 2 points at both ends, from the entire width of the film in the film width direction. It is determined from the absolute value of the shrinkage ratio by subtracting the heat shrinkage ratio at both ends of the film in the width direction, which has a larger difference from the heat shrinkage ratio at the center, from the shrinkage ratio. At this time, if the direction in which the film length is measured is the film width direction, the variation in heat shrinkage rate in the film width direction is determined, and the direction in which the film length is measured is in the direction perpendicular to the film width direction (i.e., in the longitudinal direction). direction), the variation in heat shrinkage rate in the direction orthogonal to the film width direction is determined. The details of the measurement method and the like are as described in the Examples section.

本開示の剥離フィルムは、固有粘度(IV:Interisic Viscosity)が0.65dL/g以上であることが好ましく、0.65dL/g~0.75dL/gであることがより好ましい。
剥離フィルムの固有粘度(IV)が0.65dL/g以上であると、ポリエステル分子が大きくなり、分子が動きにくいものと推測される。そのため、固有粘度(IV)が0.65dL/g以上である剥離フィルムは、オリゴマーの析出を抑制することができ、凹凸欠陥が抑制されたセラミックグリーンシートを製造することができる。
固有粘度は、重合条件により調節することができる。
The release film of the present disclosure preferably has an intrinsic viscosity (IV) of 0.65 dL/g or more, more preferably 0.65 dL/g to 0.75 dL/g.
It is presumed that when the intrinsic viscosity (IV) of the release film is 0.65 dL/g or more, the polyester molecules become large and difficult to move. Therefore, a release film having an intrinsic viscosity (IV) of 0.65 dL/g or more can suppress the precipitation of oligomers, and can produce ceramic green sheets with suppressed uneven defects.
Intrinsic viscosity can be adjusted by polymerization conditions.

固有粘度(IV)は、溶液粘度(η)と溶媒粘度(η)の比η(=η/η;相対粘度)から1を引いた比粘度(ηsp=η-1)を濃度で割った値を濃度がゼロの状態に外挿した値である。固有粘度(IV)は、ウベローデ型粘度計を用い、ポリエステルを1,1,2,2-テトラクロロエタン/フェノール(=2/3[質量比])混合溶媒に溶解させ、25℃の溶液粘度から求められる。 Intrinsic viscosity ( IV ) is the specific viscosity (η sp =η r −1) obtained by subtracting 1 from the ratio η r (=η/η 0 ; relative viscosity) of solution viscosity (η) and solvent viscosity ( η 0 ). This is the value obtained by dividing the value by the concentration and extrapolating it to a state where the concentration is zero. Intrinsic viscosity (IV) is calculated from the solution viscosity at 25°C by dissolving polyester in a mixed solvent of 1,1,2,2-tetrachloroethane/phenol (=2/3 [mass ratio]) using an Ubbelohde viscometer. Desired.

<ポリエステル基材>
本開示の剥離フィルムは、ポリエステル基材を含む。
ポリエステル基材は、主たる重合体成分としてポリエステル樹脂を含む、フィルム状の物体である。ここで、「主たる重合体成分」とは、フィルム状の物体に含まれる全ての重合体のうち最も含有量(質量)が多い重合体を意味する。
ポリエステル基材は、1種単独のポリエステル樹脂を含んでいてもよく、2種以上のポリエステル樹脂を含んでいてもよい。
<Polyester base material>
The release film of the present disclosure includes a polyester substrate.
A polyester substrate is a film-like object that contains polyester resin as the main polymer component. Here, the term "main polymer component" means a polymer having the highest content (mass) of all polymers contained in the film-like object.
The polyester base material may contain one type of polyester resin alone, or may contain two or more types of polyester resin.

ポリエステル基材におけるポリエステル樹脂の含有量は、ポリエステル基材中の重合体の全質量に対して、85質量%以上が好ましく、90質量%以上がより好ましく、95質量%以上が更に好ましく、98質量%以上が特に好ましい。
ポリエステル樹脂の含有量の上限は、特に制限されず、ポリエステル基材中の重合体の全質量に対して、例えば100質量%以下の範囲で適宜設定できる。
ポリエステル基材がポリエチレンテレフタレートを含む場合、ポリエチレンテレフタレートの含有量は、ポリエステル基材中のポリエステル樹脂の全質量に対して、90質量%~100質量%が好ましく、95質量%~100質量%がより好ましく、98~100質量%が更に好ましく、100質量%が特に好ましい。
The content of the polyester resin in the polyester base material is preferably 85% by mass or more, more preferably 90% by mass or more, even more preferably 95% by mass or more, and 98% by mass based on the total mass of the polymer in the polyester base material. % or more is particularly preferred.
The upper limit of the content of the polyester resin is not particularly limited, and can be appropriately set, for example, within a range of 100% by mass or less based on the total mass of the polymer in the polyester base material.
When the polyester base material contains polyethylene terephthalate, the content of polyethylene terephthalate is preferably 90% by mass to 100% by mass, more preferably 95% by mass to 100% by mass, based on the total mass of the polyester resin in the polyester base material. It is preferably 98 to 100% by weight, more preferably 98% to 100% by weight, and particularly preferably 100% by weight.

ポリエステル基材は、ポリエステル樹脂以外の成分(例えば、触媒、未反応の原料成分、粒子、水等)を含んでいてもよい。 The polyester base material may contain components other than the polyester resin (for example, a catalyst, unreacted raw material components, particles, water, etc.).

剥離フィルムの平滑性が向上する観点から、ポリエステル基材は、実質的に粒子を含まないことが好ましい。粒子としては、例えば、後述する粒子含有層が含む粒子が挙げられる。
本明細書において「粒子を実質的に含まない」とは、ポリエステル基材について、蛍光X線分析で粒子に由来する元素を定量分析した際に、粒子の含有量がポリエステル基材の全質量に対して50質量ppm以下であることで定義され、好ましくは10質量ppm以下であり、より好ましくは検出限界以下である。これは積極的に粒子をポリエステル基材中に添加させなくても、外来異物由来のコンタミ成分、原料樹脂、又は、ポリエステル基材の製造工程におけるライン若しくは装置に付着した汚れが剥離して、ポリエステル基材中に混入する場合があるためである。
From the viewpoint of improving the smoothness of the release film, the polyester base material preferably contains substantially no particles. Examples of the particles include particles included in a particle-containing layer described below.
In this specification, "substantially free of particles" means that when a polyester base material is quantitatively analyzed for elements derived from particles by X-ray fluorescence analysis, the content of particles is less than the total mass of the polyester base material. 50 mass ppm or less, preferably 10 mass ppm or less, and more preferably less than the detection limit. This is because even if particles are not actively added to the polyester base material, contaminants derived from foreign substances, raw resin, or dirt attached to the line or equipment in the polyester base material manufacturing process are peeled off and the polyester base material This is because it may be mixed into the base material.

[ポリエステル基材の性状]
(厚み)
ポリエステル基材の厚みは、剥離性を制御できる観点で、100μm以下が好ましく、50μm以下がより好ましく、40μm以下が更に好ましい。厚みの下限は特に制限されないが、強度が向上し、加工性が向上する観点で、3μm以上が好ましく、10μm以上がより好ましく、20μm以上が更に好ましい。
ポリエステル基材の厚みは、剥離フィルムの主面に対して垂直な断面を有する切片を作製し、走査型電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)又は透過型電子顕微鏡(TEM:Transmission Electron Microscope)を用いて測定される、上記切片の5か所の厚みの算術平均値とする。
[Properties of polyester base material]
(thickness)
The thickness of the polyester base material is preferably 100 μm or less, more preferably 50 μm or less, and even more preferably 40 μm or less, from the viewpoint of controlling releasability. The lower limit of the thickness is not particularly limited, but from the viewpoint of improving strength and workability, it is preferably 3 μm or more, more preferably 10 μm or more, and even more preferably 20 μm or more.
The thickness of the polyester base material can be determined by preparing a section with a cross section perpendicular to the main surface of the release film and using a scanning electron microscope (SEM) or transmission electron microscope (TEM). This is the arithmetic mean value of the thicknesses of the above section measured at five locations.

ポリエステル基材の製造方法、及びポリエステル基材に含まれるポリエステル樹脂の詳細は、本開示の剥離フィルムの製造方法の欄にて、詳細に説明する。 The method for producing the polyester base material and the details of the polyester resin contained in the polyester base material will be described in detail in the section of the method for producing a release film of the present disclosure.

<剥離層>
剥離層は、剥離フィルムを剥離可能とするために設けられる。
セラミックグリーンシートは、この剥離層の表面(即ち、剥離層のポリエステル基材とは反対側の表面)である剥離面に形成される。即ち、剥離フィルムの剥離面には、セラミックグリーンシートが剥離可能に製造される。
なお、剥離層は、ポリエステル基材の表面に直接設けてもよく、他の層を介してポリエステル基材上に設けてもよいが、平滑性がより優れる観点で、ポリエステル基材の表面に直接設けることが好ましい。
<Peeling layer>
The release layer is provided to enable the release film to be peeled off.
The ceramic green sheet is formed on the release surface of the release layer (ie, the surface of the release layer opposite to the polyester base material). That is, the ceramic green sheet is manufactured to be releasable on the release surface of the release film.
Note that the release layer may be provided directly on the surface of the polyester base material or may be provided on the polyester base material via another layer, but from the viewpoint of better smoothness, it may be provided directly on the surface of the polyester base material. It is preferable to provide one.

剥離層は、上記のようにセラミックグリーンシートを剥離可能に製造できればその構成は特に制限されないが、剥離剤を含むことが好ましい。 The structure of the release layer is not particularly limited as long as the ceramic green sheet can be manufactured in a removable manner as described above, but it is preferable that the release layer contains a release agent.

以下、剥離層に含まれる成分について詳述する。 The components contained in the release layer will be described in detail below.

[剥離剤]
剥離剤としては、特に制限されないが、例えば、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、アルキド樹脂、及び、各種ワックスが挙げられる。また、剥離剤は樹脂であることが好ましく、セラミックグリーンシートの剥離性により優れる観点から、シリコーン樹脂が好ましい。
剥離剤は、架橋構造を有していることが好ましい。つまり、剥離層は、架橋膜であることが好ましい。
架橋構造を有する剥離剤を形成するためには、後述するように、架橋剤を含む剥離層形成用組成物を用いて剥離層を形成する方法が挙げられる。
[paint remover]
Examples of the release agent include, but are not limited to, silicone resins, fluororesins, alkyd resins, and various waxes. Further, the release agent is preferably a resin, and a silicone resin is preferred from the viewpoint of superior releasability of the ceramic green sheet.
It is preferable that the release agent has a crosslinked structure. That is, the release layer is preferably a crosslinked film.
In order to form a release agent having a crosslinked structure, a method of forming a release layer using a composition for forming a release layer containing a crosslinking agent may be mentioned, as described below.

シリコーン樹脂とは、分子内にシリコーン構造を有する樹脂を意味する。シリコーン樹脂としては、硬化型シリコーン樹脂、シリコーングラフト樹脂、及び、アルキル変性等の変性シリコーン樹脂が挙げられ、反応性の硬化型シリコーン樹脂が好ましい。
反応性の硬化型シリコーン樹脂としては、付加反応系のシリコーン樹脂、縮合反応系のシリコーン樹脂、及び、紫外線又は電子線硬化系のシリコーン樹脂が挙げられる。
Silicone resin means a resin having a silicone structure in its molecule. Examples of the silicone resin include curable silicone resins, silicone graft resins, and modified silicone resins such as alkyl-modified silicone resins, with reactive curable silicone resins being preferred.
Examples of the reactive curable silicone resin include addition reaction silicone resins, condensation reaction silicone resins, and ultraviolet or electron beam curable silicone resins.

付加反応系のシリコーン樹脂としては、例えば、末端又は側鎖にビニル基を導入したポリジメチルシロキサンとハイドロジエンシロキサンとを、白金触媒を用いて反応させて硬化させることにより得られる樹脂が挙げられる。
縮合反応系のシリコーン樹脂としては、例えば、末端にOH基を有するポリジメチルシロキサンと、末端にH基を有するポリジメチルシロキサンを、有機錫触媒を用いて縮合反応させることにより形成される、3次元架橋構造を有する樹脂が挙げられる。
紫外線硬化系のシリコーン樹脂としては、シリコーンゴム架橋と同じラジカル反応を利用するもの、不飽和基を導入して光硬化させるもの、紫外線又は電子線でオニウム塩を分解して強酸を生成し、エポキシ基を開裂させて架橋させるもの、及び、ビニルシロキサンへのチオールの付加反応で架橋するものが挙げられる。より具体的には、アクリレート変性されたポリジメチルシロキサン、及び、グリシドキシ変性されたポリジメチルシロキサンが挙げられる。
Examples of addition reaction silicone resins include resins obtained by curing polydimethylsiloxane having a vinyl group introduced into the terminal or side chain and hydrogensiloxane by reacting them using a platinum catalyst.
As a condensation reaction type silicone resin, for example, a three-dimensional silicone resin formed by condensing polydimethylsiloxane having an OH group at the end and polydimethylsiloxane having an H group at the end using an organotin catalyst. Examples include resins having a crosslinked structure.
UV-curable silicone resins include those that utilize the same radical reaction as silicone rubber crosslinking, those that introduce unsaturated groups and are photo-cured, and those that decompose onium salts with UV or electron beams to generate strong acids and produce epoxy resins. Examples include those that are crosslinked by cleaving a group, and those that are crosslinked by addition reaction of thiol to vinylsiloxane. More specifically, acrylate-modified polydimethylsiloxane and glycidoxy-modified polydimethylsiloxane are mentioned.

[他の樹脂]
剥離層は、上記剥離剤としての樹脂以外に、剥離剤以外の樹脂(以下、「他の樹脂」ともいう。)を含んでいてもよい。
他の樹脂としては、公知の樹脂を利用することができる。その他の樹脂としては、例えば、紫外線硬化性樹脂、及び、熱硬化性樹脂が挙げられ、インライン塗布適性があり、凹凸欠陥がより抑制され且つ厚みムラがより低減されたセラミックグリーンシートを製造しうる観点から、熱硬化性樹脂が好ましい。熱硬化性樹脂として、具体的には、アクリル樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、オレフィン樹脂、及び、ウレタン樹脂が挙げられ、良好な硬化膜が得られる観点から、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、及び、オレフィン樹脂が好ましい。
なお、後述する剥離層形成用組成物において、他の樹脂又は他の樹脂を合成する際のその原料となる化合物と、重合開始剤及び/又は触媒とを含んでいてもよく、剥離層は、重合開始剤及び/又は触媒の残渣物を含んでいてもよい。
[Other resins]
In addition to the above resin as the release agent, the release layer may contain a resin other than the release agent (hereinafter also referred to as "other resin").
As other resins, known resins can be used. Other resins include, for example, ultraviolet curable resins and thermosetting resins, which are suitable for in-line coating and can produce ceramic green sheets with more suppressed unevenness defects and reduced thickness unevenness. From this point of view, thermosetting resins are preferred. Specific examples of the thermosetting resin include acrylic resin, unsaturated polyester resin, melamine resin, epoxy resin, phenol resin, olefin resin, and urethane resin. Preferred are resins, urethane resins, and olefin resins.
In addition, in the composition for forming a release layer described below, it may contain another resin or a compound that is a raw material for synthesizing another resin, and a polymerization initiator and/or a catalyst, and the release layer may contain, It may also contain residues of a polymerization initiator and/or catalyst.

[添加剤]
剥離層は、上記剥離剤としての樹脂及びその他の樹脂以外に、添加剤を含んでいてもよい。添加剤としては、例えば、界面活性剤、剥離力を調整するための軽剥離添加剤及び重剥離添加剤、密着向上剤、並びに、帯電防止剤が挙げられる。
[Additive]
The release layer may contain additives in addition to the resin as the release agent and other resins. Examples of additives include surfactants, light release additives and heavy release additives for adjusting release force, adhesion improvers, and antistatic agents.

剥離層に含まれる剥離剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を用いてもよい。
剥離層における剥離剤の含有量は、剥離層の全質量に対して、0.1質量%~98質量%が好ましく、0.5質量%~50質量%がより好ましい。
剥離層における他の樹脂の含有量は、剥離層の全質量に対して、0質量%~98質量%が好ましく、1質量%~95質量%がより好ましい。
剥離層における剥離剤としての樹脂及び他の樹脂以外の残部は、上記の添加剤、剥離層形成用組成物に含まれる溶剤、重合開始剤、触媒等の残渣物であってよい。
The release agents contained in the release layer may be used alone or in combination of two or more.
The content of the release agent in the release layer is preferably 0.1% by mass to 98% by mass, more preferably 0.5% by mass to 50% by mass, based on the total mass of the release layer.
The content of other resins in the release layer is preferably 0% to 98% by weight, more preferably 1% to 95% by weight, based on the total weight of the release layer.
The remainder other than the resin as a release agent and other resins in the release layer may be residues of the above-mentioned additives, solvents, polymerization initiators, catalysts, etc. contained in the composition for forming a release layer.

[剥離層の性状]
(厚み)
剥離層の厚みは、剥離性能及び剥離層表面の平滑性がバランス良く優れる観点で、10nm~1000nmが好ましく、30nm~700nmがより好ましい。
剥離層の厚みは、剥離フィルムの主面に対して垂直な断面を有する切片を作製し、走査型電子顕微鏡(SEM)又は透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて測定される、上記切片の5か所の厚みの算術平均値とする。
[Properties of release layer]
(thickness)
The thickness of the release layer is preferably 10 nm to 1000 nm, more preferably 30 nm to 700 nm, from the viewpoint of achieving a well-balanced release performance and surface smoothness of the release layer.
The thickness of the release layer is determined by preparing a section having a cross section perpendicular to the main surface of the release film, and measuring the thickness using a scanning electron microscope (SEM) or a transmission electron microscope (TEM). This is the arithmetic mean value of the thickness at each location.

(剥離面の表面自由エネルギー)
剥離層の表面(すなわち、剥離面)の表面自由エネルギーは、5mJ/m~50mJ/mが好ましく、10mJ/m~35mJ/mがより好ましい。
剥離面の表面自由エネルギーが上記範囲であることで、セラミックグリーンシートが剥離しやすく、また、セラミックグリーンシートを製造する際のセラミックスラリーの塗布性が良好となる。
剥離面の表面自由エネルギーは、剥離層を形成する樹脂の種類及び添加剤により調整できる。
(Surface free energy of peeled surface)
The surface free energy of the surface of the release layer (ie, release surface) is preferably 5 mJ/m 2 to 50 mJ/m 2 , more preferably 10 mJ/m 2 to 35 mJ/m 2 .
When the surface free energy of the peeling surface is within the above range, the ceramic green sheet is easily peeled off, and the coating properties of the ceramic slurry when manufacturing the ceramic green sheet are improved.
The surface free energy of the release surface can be adjusted by the type of resin and additives forming the release layer.

なお、剥離面の表面自由エネルギーは、接触角計(例えば、協和界面化学社製「DROPMASTER-501」等)を用いて、25℃の条件にて、剥離面に精製水、ヨウ化メチレン及びエチレングリコールの液滴を滴下し、液滴が表面に付着してから1秒後の接触角を測定し、得られたそれぞれの接触角から北崎・畑の方法に従って算出することにより求められる。
上記の方法で得られる「表面自由エネルギー」は、表面自由エネルギーの極性成分及び水素結合成分の合計である。
The surface free energy of the peeled surface was measured using a contact angle meter (for example, "DROPMASTER-501" manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) under conditions of 25°C. It is determined by dropping a glycol droplet, measuring the contact angle one second after the droplet adheres to the surface, and calculating from each of the obtained contact angles according to the method of Kitazaki and Hata.
The "surface free energy" obtained by the above method is the sum of the polar component and the hydrogen bond component of the surface free energy.

(剥離面の最大突起高さSp、面平均粗さSa)
剥離面に製造するセラミックグリーンシートを平滑にする観点で、剥離面はできるだけ平滑であることが好ましい。具体的には、剥離面の最大突起高さSpは、1nm~60nmが好ましく、1nm~40nmがより好ましい。
また、剥離面の面平均粗さSaは、0nm~10nmが好ましく、0nm~5nmがより好ましく、0nm~2nmが更に好ましい。
剥離面の最大突起高さSp及び面平均粗さSaは、剥離層を設ける際に剥離層に粒子を入れないこと、並びに、剥離層を形成する樹脂及び添加剤を選択することにより調整できる。
(Maximum protrusion height Sp of peeled surface, surface average roughness Sa)
From the viewpoint of smoothing the ceramic green sheet produced on the peeling surface, it is preferable that the peeling surface is as smooth as possible. Specifically, the maximum protrusion height Sp of the peeled surface is preferably 1 nm to 60 nm, more preferably 1 nm to 40 nm.
Further, the surface average roughness Sa of the peeled surface is preferably 0 nm to 10 nm, more preferably 0 nm to 5 nm, and even more preferably 0 nm to 2 nm.
The maximum protrusion height Sp and surface average roughness Sa of the release surface can be adjusted by not including particles in the release layer when providing the release layer, and by selecting the resin and additives that form the release layer.

なお、剥離面の最大突起高さSp及び面平均粗さSaは、剥離面の表面を、光学干渉計((株)日立ハイテク製「Vertscan 3300G Lite」)を用いて下記の条件で測定し、その後、内蔵されているデータ解析ソフトにて解析することにより求められる。
最大突起高さSpの測定では、測定位置を変えて5回測定し、得られる測定値の最大値を最大突起高さSpの測定値とする(内蔵されているデータ解析ソフトではPと表記される)。また、面平均粗さSaの測定では、測定位置を変えて5回測定し、得られる測定値の平均値を面平均粗さSaの測定値とする。具体的な測定条件は、以下の通りである。
測定モード:WAVEモード
対物レンズ:50倍
測定面積:186μm×155μm
The maximum protrusion height Sp and surface average roughness Sa of the peeled surface were determined by measuring the surface of the peeled surface using an optical interferometer ("Vertscan 3300G Lite" manufactured by Hitachi High-Tech Corporation) under the following conditions. After that, it is determined by analysis using the built-in data analysis software.
To measure the maximum protrusion height Sp, measure 5 times at different measurement positions, and take the maximum value of the obtained measurement value as the measured value of the maximum protrusion height Sp (indicated as P in the built-in data analysis software). ). Further, in the measurement of the surface average roughness Sa, the measurement is performed five times while changing the measurement position, and the average value of the obtained measurement values is taken as the measured value of the surface average roughness Sa. The specific measurement conditions are as follows.
Measurement mode: WAVE mode Objective lens: 50x Measurement area: 186μm x 155μm

<粒子含有層>
本開示の剥離フィルムは、粒子含有層をさらに含むことが好ましく、剥離層、ポリエステル基材、及び粒子含有層をこの順に含むことがより好ましい。
<Particle-containing layer>
The release film of the present disclosure preferably further includes a particle-containing layer, and more preferably includes a release layer, a polyester base material, and a particle-containing layer in this order.

粒子含有層は、粒子を含む層のことをいう。
剥離フィルムに粒子含有層が設けられていると、剥離フィルムの搬送性を向上できる。具体的には、剥離フィルムにおいて、巻き品質を向上(ブロッキングを抑制)し、搬送時のキズ及び欠陥の発生を抑制し、高速搬送における搬送シワを低減できる。
The particle-containing layer refers to a layer containing particles.
When the release film is provided with a particle-containing layer, the transportability of the release film can be improved. Specifically, in the release film, it is possible to improve the winding quality (suppress blocking), suppress the occurrence of scratches and defects during transportation, and reduce transportation wrinkles during high-speed transportation.

粒子含有層は、ポリエステル基材の表面に直接設けてもよく、他の層を介してポリエステル基材の表面に設けてもよいが、密着性がより優れる観点で、ポリエステル基材の表面に直接設けることが好ましい。 The particle-containing layer may be provided directly on the surface of the polyester base material or may be provided on the surface of the polyester base material via another layer, but from the viewpoint of better adhesion, it is preferable to provide the particle-containing layer directly on the surface of the polyester base material. It is preferable to provide one.

また、粒子含有層は、粒子及びバインダーを含むことが好ましく、さらに、添加剤を含んでいてもよい。 Further, the particle-containing layer preferably contains particles and a binder, and may further contain additives.

以下、粒子、バインダー、及び添加剤について説明する。 The particles, binder, and additives will be explained below.

(粒子)
粒子含有層に含まれる粒子の平均粒子径は、特に制限されず、10nm~2μmが好ましく、搬送性がより優れる観点及び転写痕が抑制できる観点から、30nm~1.5μmがより好ましく、30nm~500nmがさらに好ましい。
また、搬送性がより優れる点及び転写痕が抑制できる観点で、粒子含有層に含まれる粒子の平均粒子径が10nm~200nm(より好ましくは30nm~130nm)であり、粒子含有層の厚みが1nm~200nm(より好ましくは10nm~100nm)であり、かつ、粒子の平均粒子径が粒子含有層の厚みよりも大きいことが好ましい。
(particle)
The average particle diameter of the particles contained in the particle-containing layer is not particularly limited, and is preferably 10 nm to 2 μm, more preferably 30 nm to 1.5 μm, and 30 nm to 1.5 μm from the viewpoint of better transportability and suppressing transfer marks. 500 nm is more preferred.
In addition, from the viewpoint of better transportability and the ability to suppress transfer marks, the average particle diameter of the particles contained in the particle-containing layer is 10 nm to 200 nm (more preferably 30 nm to 130 nm), and the thickness of the particle-containing layer is 1 nm. ~200 nm (more preferably 10 nm ~ 100 nm), and the average particle diameter of the particles is preferably larger than the thickness of the particle-containing layer.

粒子含有層に含まれる粒子としては、1種単独で用いてもよく、2種以上の粒子を用いてもよい。
粒子含有層が、粒子径の異なる2種以上の粒子を含む場合、粒子含有層は、平均粒子径が上記範囲内にある粒子を少なくとも1種含むことが好ましく、粒子径の異なる2種以上の粒子がいずれも平均粒子径が上記範囲内にある粒子であることがより好ましい。
As the particles contained in the particle-containing layer, one type of particles may be used alone, or two or more types of particles may be used.
When the particle-containing layer contains two or more types of particles with different particle sizes, it is preferable that the particle-containing layer contains at least one type of particles with an average particle size within the above range, and two or more types of particles with different particle sizes. It is more preferable that all particles have an average particle diameter within the above range.

粒子含有層に含まれる粒子としては、例えば、有機粒子及び無機粒子が挙げられる。中でも、セラミックグリーンシートを製造した場合に、得られたセラミックグリーンシートを用いて製造されるセラミックコンデンサの不良率を抑制できる観点から、有機粒子が好ましい。
有機粒子としては、樹脂粒子が好ましい。樹脂粒子を構成する樹脂としては、例えば、ポリメタクリル酸メチル樹脂(PMMA)等のアクリル樹脂、ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、スチレン樹脂、及び、スチレン-アクリル樹脂が挙げられる。樹脂粒子は、架橋構造を有していてもよい。架橋構造を有する樹脂粒子としては、例えば、ジビニルベンゼン架橋粒子が挙げられる。
なお、本開示において、アクリル樹脂とは、アクリレート又はメタクリレート由来の構成単位を含む樹脂を意味する。
無機粒子としては、例えば、シリカ粒子(二酸化ケイ素粒子ともいう)、チタニア粒子(酸化チタン粒子ともいう)、炭酸カルシウム、硫酸バリウム、及び、アルミナ粒子(酸化アルミニウム粒子ともいう)が挙げられる。中でも、無機粒子は、ヘイズ、及び、耐久性がより向上する観点から、シリカ粒子であることが好ましい。
Examples of the particles contained in the particle-containing layer include organic particles and inorganic particles. Among these, organic particles are preferred from the viewpoint of suppressing the defective rate of ceramic capacitors manufactured using the obtained ceramic green sheets when the ceramic green sheets are manufactured.
As the organic particles, resin particles are preferred. Examples of the resin constituting the resin particles include acrylic resins such as polymethyl methacrylate resin (PMMA), polyester resins, silicone resins, styrene resins, and styrene-acrylic resins. The resin particles may have a crosslinked structure. Examples of the resin particles having a crosslinked structure include divinylbenzene crosslinked particles.
Note that in the present disclosure, acrylic resin means a resin containing a structural unit derived from acrylate or methacrylate.
Examples of the inorganic particles include silica particles (also referred to as silicon dioxide particles), titania particles (also referred to as titanium oxide particles), calcium carbonate, barium sulfate, and alumina particles (also referred to as aluminum oxide particles). Among these, the inorganic particles are preferably silica particles from the viewpoint of further improving haze and durability.

粒子の形状は、特に制限されず、例えば、米粒状、球形状、立方体状、紡錘形状、鱗片状、凝集状、及び、不定形状が挙げられる。凝集状とは、1次粒子が凝集した状態を意味する。凝集状にある粒子の形状は制限されないが、球状又は不定形状が好ましい。 The shape of the particles is not particularly limited, and includes, for example, rice grain shape, spherical shape, cube shape, spindle shape, scale shape, aggregate shape, and irregular shape. Agglomerated state means a state in which primary particles are aggregated. Although the shape of the aggregated particles is not limited, spherical or irregular shapes are preferred.

凝集粒子としては、ヒュームドシリカ粒子が好ましい。入手可能な市販品としては、例えば、日本アエロジル(株)製のアエロジルシリーズが挙げられる。
非凝集粒子としては、コロイダルシリカ粒子が好ましい。入手可能な市販品としては、例えば、日産化学(株)製のスノーテックス(登録商標)シリーズが挙げられる。
As the agglomerated particles, fumed silica particles are preferred. Examples of commercially available products include the Aerosil series manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.
Colloidal silica particles are preferred as non-agglomerated particles. Examples of commercially available products include the Snowtex (registered trademark) series manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.

粒子含有層における粒子の含有量は、搬送性から、粒子含有層の全質量に対して、0.1質量%~30質量%が好ましく、1質量%~25質量%がより好ましく、1質量%~15質量%が更に好ましい。
また、粒子の含有量は、剥離フィルムの全質量に対して、0.0001質量%~0.01質量%が好ましく、0.0005質量%~0.005質量%がより好ましい。
From the viewpoint of transportability, the content of particles in the particle-containing layer is preferably 0.1% by mass to 30% by mass, more preferably 1% by mass to 25% by mass, and 1% by mass. More preferably 15% by mass.
Further, the content of particles is preferably 0.0001% by mass to 0.01% by mass, more preferably 0.0005% by mass to 0.005% by mass, based on the total mass of the release film.

(非ポリエステル樹脂(バインダー))
粒子含有層は、非ポリエステル樹脂を含有することが好ましい。粒子含有層に含まれる非ポリエステル樹脂は、バインダーとしての機能を有する。
(Non-polyester resin (binder))
Preferably, the particle-containing layer contains a non-polyester resin. The non-polyester resin contained in the particle-containing layer has a function as a binder.

非ポリエステル樹脂とは、ポリエステル樹脂以外の樹脂を意味する。具体的に、非ポリエステル樹脂は、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、オレフィン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、スチレンブタジエン樹脂、及び、アクリロニトリルブタジエン樹脂からなる群より選択される少なくとも1種であることが好ましく、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、及びオレフィン樹脂からなる群より選択される少なくとも1種の樹脂であることが好ましい。 Non-polyester resin means resin other than polyester resin. Specifically, the non-polyester resin is preferably at least one selected from the group consisting of acrylic resin, urethane resin, olefin resin, polyvinyl alcohol resin, styrene butadiene resin, and acrylonitrile butadiene resin, and acrylic resin, Preferably, the resin is at least one resin selected from the group consisting of urethane resins and olefin resins.

ここで、非ポリエステル樹脂(特に、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、及びオレフィン樹脂)と、ポリエステル樹脂とは、溶解度パラメータ(SP値)が離れている。つまり、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、及びオレフィン樹脂と、ポリエステル樹脂との相溶性が不十分であるので、オリゴマー等の不純物がポリエステル基材から粒子含有層を経由して搬送面に析出しにくくなる。これにより、ポリエステル基材に含まれる不純物に起因する突起が搬送面に生じにくくなると推察している。 Here, non-polyester resins (especially acrylic resins, urethane resins, and olefin resins) and polyester resins have different solubility parameters (SP values). In other words, since the compatibility of the acrylic resin, urethane resin, and olefin resin with the polyester resin is insufficient, impurities such as oligomers are difficult to precipitate from the polyester base material via the particle-containing layer onto the conveying surface. It is presumed that this makes it difficult for protrusions caused by impurities contained in the polyester base material to form on the conveying surface.

上記のアクリル樹脂、ウレタン樹脂、及びオレフィン樹脂等の非ポリエステル樹脂としては、特に制限されず、公知の樹脂を利用できる。
非ポリエステル樹脂は、酸変性樹脂、すなわち、酸基含有非ポリエステル樹脂であることが好ましい。
また、粒子含有層は、ポリエステル樹脂を含んでいてもよい。
The above-mentioned non-polyester resins such as acrylic resins, urethane resins, and olefin resins are not particularly limited, and known resins can be used.
The non-polyester resin is preferably an acid-modified resin, that is, an acid group-containing non-polyester resin.
Moreover, the particle-containing layer may contain polyester resin.

アクリル樹脂は、(メタ)アクリレートに由来する構成単位を含む樹脂であり、スチレンなどのビニル単量体を共重合していてもよい。アクリル樹脂としては、特に制限されないが、炭素数1~12のアルキル基を有する(メタ)アクリレートに由来する構成単位を含むことが好ましく、炭素数1~8のアルキル基を有する(メタ)アクリレートに由来する構成単位を含むことがより好ましい。
アクリル樹脂は、酸変性成分を有していてもよい。アクリル樹脂は、酸変性成分として、(メタ)アクリル酸に由来する構成単位を含んでいてもよい。また、(メタ)アクリル酸は、酸無水物を形成していてもよいし、アルカリ金属、有機アミン及びアンモニアから選択される少なくとも1つで中和されていてもよい。
The acrylic resin is a resin containing structural units derived from (meth)acrylate, and may be copolymerized with a vinyl monomer such as styrene. The acrylic resin is not particularly limited, but preferably contains a structural unit derived from a (meth)acrylate having an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms; It is more preferable to include a structural unit derived from the above.
The acrylic resin may have an acid-modified component. The acrylic resin may contain a structural unit derived from (meth)acrylic acid as an acid-modified component. Further, (meth)acrylic acid may form an acid anhydride, or may be neutralized with at least one selected from alkali metals, organic amines, and ammonia.

アクリル樹脂の酸価は、30mgKOH/g以下が好ましく、20mgKOH/g以下がより好ましい。酸価の下限は、特に制限されず、例えば、0mgKOH/gであるが、水分散体として塗布する観点からは、2mgKOH/g以上が好ましい。アクリル樹脂の酸価を上記範囲とする、及び/又は、炭素数1~12のアルキル基を有する(メタ)アクリレートに由来する構成単位を含むことで、より一層ポリエステル樹脂と相溶しにくい樹脂とすることができ、ポリエステル基材に含まれるオリゴマー等の不純物が粒子含有層に析出することがより抑制され、セラミックグリーンシートにおける凹凸欠陥をより抑制できる。 The acid value of the acrylic resin is preferably 30 mgKOH/g or less, more preferably 20 mgKOH/g or less. The lower limit of the acid value is not particularly limited and is, for example, 0 mgKOH/g, but from the viewpoint of application as an aqueous dispersion, it is preferably 2 mgKOH/g or more. By setting the acid value of the acrylic resin within the above range and/or by including a structural unit derived from a (meth)acrylate having an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, the resin becomes even more difficult to be compatible with the polyester resin. This can further suppress impurities such as oligomers contained in the polyester base material from precipitating in the particle-containing layer, thereby further suppressing unevenness defects in the ceramic green sheet.

オレフィン樹脂は、主鎖にオレフィンに由来する構成単位を含む樹脂であればよい。主鎖にオレフィンに由来する構造単位を有することで、ポリエステル樹脂と相溶しにくい樹脂とすることができ、ポリエステル基材に含まれるオリゴマー等の不純物が粒子含有層に析出することが抑制され、セラミックグリーンシートにおける凹凸欠陥を抑制することができる。
オレフィンとしては、特に制限されないが、炭素数2~6のアルケンが好ましく、エチレン、プロピレン、又は、ヘキセンがより好ましく、エチレンが更に好ましい。
ポリオレフィンが有するオレフィンに由来する構成単位は、ポリオレフィンの全ての構成単位に対して、50モル%~99モル%が好ましく、60モル%~98モル%がより好ましい。
The olefin resin may be any resin containing a structural unit derived from an olefin in its main chain. By having a structural unit derived from an olefin in the main chain, the resin can be made difficult to be compatible with polyester resin, and impurities such as oligomers contained in the polyester base material are suppressed from precipitating in the particle-containing layer. It is possible to suppress unevenness defects in ceramic green sheets.
The olefin is not particularly limited, but alkenes having 2 to 6 carbon atoms are preferred, ethylene, propylene, or hexene are more preferred, and ethylene is even more preferred.
The olefin-derived structural units of the polyolefin are preferably 50 mol% to 99 mol%, more preferably 60 mol% to 98 mol%, based on all the structural units of the polyolefin.

オレフィン樹脂としては、酸変性オレフィン樹脂が好ましい。酸変性オレフィン樹脂としては、例えば、上記オレフィン樹脂を、不飽和カルボン酸又はその無水物等の酸変性成分で変性した共重合体が挙げられる。 As the olefin resin, acid-modified olefin resin is preferred. Examples of the acid-modified olefin resin include copolymers obtained by modifying the above olefin resin with an acid-modifying component such as an unsaturated carboxylic acid or its anhydride.

酸変性オレフィン樹脂の市販品としては、例えば、ザイクセンAC、A、L、NC及びN等のザイクセン(登録商標)シリーズ(住友精化(株)製)、ケミパールS100、S120、S200、S300、S650及びSA100等のケミパール(登録商標)シリーズ(三井化学(株)製)、ハイテックS3121及びS3148K等のハイテック(登録商標)シリーズ(東邦化学(株)製)、アローベースSE-1013、SE-1010、SB-1200、SD-1200、SD-1200、DA-1010及びDB-4010等のアローベース(登録商標)シリーズ(ユニチカ(株)製)、ハードレンAP-2、NZ-1004及びNZ-1005(東洋紡(株)製)、並びに、セポルジョンG315、VA407(住友精化(株)製)が挙げられる。
また、特開2014-076632号公報の[0022]~[0034]に記載の酸変性オレフィン樹脂も好ましく用いることができる。
Commercially available acid-modified olefin resins include, for example, Zaixen (registered trademark) series such as Zaixen AC, A, L, NC, and N (manufactured by Sumitomo Seika Co., Ltd.), Chemipearl S100, S120, S200, S300, and S650. and Chemipearl (registered trademark) series such as SA100 (manufactured by Mitsui Chemicals, Ltd.), Hitech (registered trademark) series such as Hitec S3121 and S3148K (manufactured by Toho Chemical Co., Ltd.), Arrowbase SE-1013, SE-1010, Arrowbase (registered trademark) series (manufactured by Unitika Co., Ltd.) such as SB-1200, SD-1200, SD-1200, DA-1010 and DB-4010, Hardren AP-2, NZ-1004 and NZ-1005 (manufactured by Toyobo Co., Ltd.) (manufactured by Sumitomo Seika Co., Ltd.), as well as Sepolsion G315 and VA407 (manufactured by Sumitomo Seika Co., Ltd.).
Furthermore, acid-modified olefin resins described in [0022] to [0034] of JP-A No. 2014-076632 can also be preferably used.

主鎖にウレタン結合を有する重合体であれば制限されず、ポリイソシアネート化合物とポリオール化合物との反応生成物等の公知のウレタン樹脂を利用できる。
塗布により製膜しやすい観点で、ウレタン樹脂は、酸性基を有するウレタン樹脂、又は、ウレタン樹脂と分散剤とを含む形態が好ましい。酸性基としては、カルボキシル基等が挙げられる。
ウレタン樹脂は、例えば、原料となるポリオール化合物及び/又はイソシアネート化合物のそれぞれの構造及び疎水性(親水性)を調整することで、ポリエステル樹脂と相溶しにくい樹脂とすることができ、ポリエステル基材に含まれるオリゴマー等の不純物が粒子含有層に析出することが抑制され、セラミックグリーンシートにおける凹凸欠陥を抑制することができる。凹凸欠陥をより抑制できる観点で、ウレタン樹脂は、ポリエステル構造を含むことが好ましい。
ウレタン樹脂の市販品としては、例えば、ハイドラン(登録商標)AP-20、AP-40N及びAP-201(以上、DIC(株)製)、タケラック(登録商標)W-605、W-5030及びW-5920(以上、三井化学(株)製)、スーパーフレックス(登録商標)210及び130、並びに、エラストロン(登録商標)H-3-DF、E-37及びH-15(以上、第一工業製薬(株)製)が挙げられる。
The polymer is not limited as long as it has a urethane bond in its main chain, and any known urethane resin such as a reaction product of a polyisocyanate compound and a polyol compound can be used.
From the viewpoint of ease of forming a film by coating, the urethane resin is preferably a urethane resin having an acidic group, or a form containing a urethane resin and a dispersant. Examples of acidic groups include carboxyl groups.
For example, urethane resin can be made into a resin that is not easily compatible with polyester resin by adjusting the structure and hydrophobicity (hydrophilicity) of the raw material polyol compound and/or isocyanate compound. The precipitation of impurities such as oligomers contained in the particles in the particle-containing layer is suppressed, and uneven defects in the ceramic green sheet can be suppressed. From the viewpoint of further suppressing unevenness defects, the urethane resin preferably includes a polyester structure.
Commercially available urethane resins include, for example, Hydran (registered trademark) AP-20, AP-40N, and AP-201 (manufactured by DIC Corporation), Takelac (registered trademark) W-605, W-5030, and W. -5920 (manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.), Superflex (registered trademark) 210 and 130, and Elastron (registered trademark) H-3-DF, E-37 and H-15 (manufactured by Daiichi Kogyo Pharmaceutical Co., Ltd.) Co., Ltd.).

粒子含有層に含まれる非ポリエステル樹脂は、架橋構造を有していてもよい。つまり、粒子含有層は、架橋膜であってもよい。
架橋構造を有する非ポリエステル樹脂を形成するためには、後述するように、架橋剤を含む粒子含有層形成用組成物を用いて粒子含有層を形成する方法が挙げられる。
The non-polyester resin contained in the particle-containing layer may have a crosslinked structure. That is, the particle-containing layer may be a crosslinked film.
In order to form a non-polyester resin having a crosslinked structure, there is a method of forming a particle-containing layer using a particle-containing layer forming composition containing a crosslinking agent, as described below.

粒子含有層は、1種単独のバインダーを含んでいてもよく、2種以上のバインダーを含んでいてもよい。また、粒子含有層は、1種単独の非ポリエステル樹脂を含んでいてもよく、2種以上の非ポリエステル樹脂を含んでいてもよい。
バインダー(好ましくは非ポリエステル樹脂)の含有量は、凹凸欠陥を抑制する観点から、粒子含有層の全質量に対して、30質量%~99.8質量%が好ましく、50質量%~99.5質量%がより好ましい。
The particle-containing layer may contain one type of binder alone, or may contain two or more types of binders. Further, the particle-containing layer may contain one type of non-polyester resin, or may contain two or more types of non-polyester resin.
The content of the binder (preferably non-polyester resin) is preferably 30% by mass to 99.8% by mass, and 50% by mass to 99.5% by mass, based on the total mass of the particle-containing layer, from the viewpoint of suppressing unevenness defects. Mass% is more preferred.

(添加剤)
粒子含有層は、上記の粒子及びバインダー以外の添加剤を含んでいてもよい。
粒子含有層に含まれる添加剤としては、例えば、界面活性剤、ワックス、酸化防止剤、紫外線吸収剤、着色剤、強化剤、可塑剤、帯電防止剤、難燃剤、防錆剤、及び、防黴剤が挙げられる。
(Additive)
The particle-containing layer may contain additives other than the above particles and binder.
Examples of additives contained in the particle-containing layer include surfactants, waxes, antioxidants, ultraviolet absorbers, colorants, reinforcing agents, plasticizers, antistatic agents, flame retardants, rust preventives, and Examples include mold agents.

粒子含有層は、搬送面において、粒子により形成される突起が存在する箇所以外の領域の平滑性が向上する観点で、界面活性剤を含むことが好ましい。
界面活性剤としては、特に制限されず、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、及び、炭化水素系界面活性剤が挙げられる。中でも、界面活性剤は、炭化水素系界面活性剤であることが好ましい。
The particle-containing layer preferably contains a surfactant from the viewpoint of improving the smoothness of areas other than the areas where protrusions formed by particles are present on the conveying surface.
The surfactant is not particularly limited, and includes silicone surfactants, fluorine surfactants, and hydrocarbon surfactants. Among these, the surfactant is preferably a hydrocarbon surfactant.

シリコーン系界面活性剤としては、疎水基としてケイ素含有基を有する界面活性剤であれば特に制限されず、例えば、ポリジメチルシロキサン、ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン、及び、ポリメチルアルキルシロキサンが挙げられる。
シリコーン系界面活性剤の市販品としては、例えば、BYK(登録商標)-306、BYK-307、BYK-333、BYK-341、BYK-345、BYK-346、BYK-347、BYK-348、及び、BYK-349(以上、BYK社製)、並びに、KF-351A、KF-352A、KF-353、KF-354L、KF-355A、KF-615A、KF-945、KF-640、KF-642、KF-643、KF-6020、X-22-4515、KF-6011、KF-6012、KF-6015、及び、KF-6017(以上、信越化学工業(株)製)が挙げられる。
The silicone surfactant is not particularly limited as long as it has a silicon-containing group as a hydrophobic group, and examples thereof include polydimethylsiloxane, polyether-modified polydimethylsiloxane, and polymethylalkylsiloxane.
Commercially available silicone surfactants include BYK (registered trademark)-306, BYK-307, BYK-333, BYK-341, BYK-345, BYK-346, BYK-347, BYK-348, and , BYK-349 (manufactured by BYK), as well as KF-351A, KF-352A, KF-353, KF-354L, KF-355A, KF-615A, KF-945, KF-640, KF-642, Examples include KF-643, KF-6020, X-22-4515, KF-6011, KF-6012, KF-6015, and KF-6017 (all manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).

フッ素系界面活性剤としては、疎水基としてフッ素含有基を有する界面活性剤であれば特に制限されず、例えば、パーフルオロオクタンスルホン酸、及び、パーフルオロカルボン酸が挙げられる。
フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファック(登録商標)F-114、F-410、F-440、F-447、F-553、及び、F-556(以上、DIC(株)製)、並びに、サーフロン(登録商標)S-211、S-221、S-231、S-233、S-241、S-242、S-243、S-420、S-661、S-651、及びS-386(AGCセイミケミカル(株)製)が挙げられる。
また、フッ素系界面活性剤としては、環境適性向上の観点から、パーフルオロオクタン酸(PFOA)及びパーフルオロオクタンスルホン酸(PFOS)等の炭素数が7以上の直鎖状パーフルオロアルキル基を有する化合物の代替材料に由来する界面活性剤を使用することが好ましい。
The fluorine-based surfactant is not particularly limited as long as it has a fluorine-containing group as a hydrophobic group, and examples thereof include perfluorooctane sulfonic acid and perfluorocarboxylic acid.
Commercially available fluorosurfactants include Megafac (registered trademark) F-114, F-410, F-440, F-447, F-553, and F-556 (all of which are manufactured by DIC Corporation). ), and Surflon (registered trademark) S-211, S-221, S-231, S-233, S-241, S-242, S-243, S-420, S-661, S-651 , and S-386 (manufactured by AGC Seimi Chemical Co., Ltd.).
In addition, from the viewpoint of improving environmental suitability, fluorine-based surfactants have a linear perfluoroalkyl group with a carbon number of 7 or more, such as perfluorooctanoic acid (PFOA) and perfluorooctane sulfonic acid (PFOS). Preference is given to using surfactants derived from alternative materials of compounds.

炭化水素系界面活性剤としては、例えば、アニオン性界面活性剤、ノニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、及び、両性界面活性剤が挙げられる。
アニオン性界面活性剤としては、例えば、アルキル硫酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルリン酸塩、及び、脂肪酸塩が挙げられる。
ノニオン性界面活性剤としては、例えば、ポリアルキレングリコールモノ又はジアルキルエーテル、ポリアルキレングリコールモノ又はジアルキルエステル、及び、ポリアルキレングリコールモノアルキルエステル・モノアルキルエーテルが挙げられる。
カチオン性界面活性剤としては、第1級~第3級アルキルアミン塩、及び、第4級アンモニウム化合物が挙げられる。
両性界面活性剤としては、分子内にアニオン性部位とカチオン性部位の両者を有する界面活性剤が挙げられる。
Examples of the hydrocarbon surfactant include anionic surfactants, nonionic surfactants, cationic surfactants, and amphoteric surfactants.
Examples of anionic surfactants include alkyl sulfates, alkylbenzenesulfonates, alkyl phosphates, and fatty acid salts.
Examples of the nonionic surfactant include polyalkylene glycol mono- or dialkyl ether, polyalkylene glycol mono- or dialkyl ester, and polyalkylene glycol mono- or dialkyl ester/monoalkyl ether.
Examples of the cationic surfactant include primary to tertiary alkylamine salts and quaternary ammonium compounds.
Examples of amphoteric surfactants include surfactants having both an anionic site and a cationic site in the molecule.

アニオン性界面活性剤の市販品としては、例えば、ラピゾール(登録商標)A-90、A-80、BW-30、B-90、及び、C-70(以上、日油(株)製)、NIKKOL(登録商標)OTP-100(以上、日光ケミカル(株)製)、コハクール(登録商標)ON、L-40、及び、フォスファノール(登録商標)702(以上、東邦化学工業(株)製)、並びに、ビューライト(登録商標)A-5000、及び、SSS(以上、三洋化成工業(株)製)が挙げられる。
ノニオン性界面活性剤の市販品としては、例えば、ナロアクティー(登録商標)CL-95、及び、HN-100(商品名:三洋化成工業(株)製)、リソレックスBW400(商品名:高級アルコール工業(株)製)、EMALEX(登録商標)ET-2020(以上、日本エマルジョン(株)製)、並びに、サーフィノール(登録商標)104E、420、440、465、及び、ダイノール(登録商標)604、607(以上、日信化学工業(株)製)、が挙げられる。
Commercially available anionic surfactants include, for example, Rapizol (registered trademark) A-90, A-80, BW-30, B-90, and C-70 (all manufactured by NOF Corporation); NIKKOL (registered trademark) OTP-100 (manufactured by Nikko Chemical Co., Ltd.), Kohakuol (registered trademark) ON, L-40, and Phosphanol (registered trademark) 702 (manufactured by Toho Chemical Co., Ltd.) ), Viewlite (registered trademark) A-5000, and SSS (manufactured by Sanyo Chemical Industries, Ltd.).
Commercially available nonionic surfactants include, for example, Naroacty (registered trademark) CL-95 and HN-100 (trade name: manufactured by Sanyo Chemical Industries, Ltd.), Resolex BW400 (trade name: Kyukyu Alcohol Industries) Co., Ltd.), EMALEX (registered trademark) ET-2020 (manufactured by Nippon Emulsion Co., Ltd.), Surfynol (registered trademark) 104E, 420, 440, 465, and Dynor (registered trademark) 604, 607 (manufactured by Nissin Chemical Industry Co., Ltd.).

炭化水素系界面活性剤の中でも、アニオン性界面活性剤及び/又はノニオン性界面活性剤が好ましく、アニオン性界面活性剤がより好ましい。 Among the hydrocarbon surfactants, anionic surfactants and/or nonionic surfactants are preferred, and anionic surfactants are more preferred.

アニオン性の炭化水素系界面活性剤は、平滑性がより向上する観点で、複数個の疎水性末端基を有することが好ましい。疎水性末端基は、炭化水素系界面活性剤が有する炭化水素基の一部であってよい。例えば、分岐鎖構造を有する炭化水素基を末端に有する炭化水素系界面活性剤は、複数個の疎水性末端基を有することになる。
複数個の疎水性末端基を有するアニオン性の炭化水素系界面活性剤としては、スルホコハク酸ジ-2-エチルヘキシルナトリウム(疎水性末端基を4つ有する)、スルホコハク酸ジ-2-エチルオクチルナトリウム(疎水性末端基を4つ有する)、及び、分岐鎖型アルキルベンゼンスルホン酸塩(疎水性末端基を2つ有する)が挙げられる。
The anionic hydrocarbon surfactant preferably has a plurality of hydrophobic end groups from the viewpoint of further improving smoothness. The hydrophobic terminal group may be a part of the hydrocarbon group that the hydrocarbon surfactant has. For example, a hydrocarbon surfactant having a branched hydrocarbon group at its end has a plurality of hydrophobic end groups.
Examples of anionic hydrocarbon surfactants having multiple hydrophobic end groups include di-2-ethylhexyl sodium sulfosuccinate (having four hydrophobic end groups) and di-2-ethyl octyl sodium sulfosuccinate (having four hydrophobic end groups). (having four hydrophobic end groups) and branched alkylbenzene sulfonates (having two hydrophobic end groups).

界面活性剤は1種用いてもよいし、2種以上併用してもよい。
粒子含有層が界面活性剤を含む場合、界面活性剤の含有量は、粒子含有層の全質量に対して、0.1質量%~10質量%が好ましく、表面平滑性により優れる観点で、0.1質量%~5質量%がより好ましく、0.5質量%~2質量%が更に好ましい。
One type of surfactant may be used, or two or more types may be used in combination.
When the particle-containing layer contains a surfactant, the content of the surfactant is preferably 0.1% by mass to 10% by mass based on the total mass of the particle-containing layer, and from the viewpoint of better surface smoothness, 0. .1% to 5% by weight is more preferable, and even more preferably 0.5% to 2% by weight.

ワックスとしては、特に制限されず、天然ワックスも合成ワックスでもよい。天然ワックスとしては、カルナバワックス、キャンデリラワックス、ミツロウ、モンタンワックス、パラフィンワックス、及び、石油ワックスが挙げられる。その他、国際公開第2017/169844号の[0087]の記載の滑り剤も使用できる。
ワックスの含有量は、粒子含有層の全質量に対して、0質量%~10質量%が好ましい。
The wax is not particularly limited, and may be either natural wax or synthetic wax. Natural waxes include carnauba wax, candelilla wax, beeswax, montan wax, paraffin wax, and petroleum wax. In addition, the slip agent described in [0087] of International Publication No. 2017/169844 can also be used.
The wax content is preferably 0% by mass to 10% by mass based on the total mass of the particle-containing layer.

[粒子含有層の性状]
(厚み)
粒子含有層は、例えば、粒子及び非ポリエステル樹脂を含む組成物をポリエステルフィルムの一方の面上に塗布することにより形成する場合、粒子含有層の厚みが1μm以下になることが多い。
また、粒子含有層が積層されたポリエステルフィルムを、共押出成形によって形成する場合には、粒子含有層の厚みは、1μm~10μmになることが多い。
粒子含有層の厚みは、1nm~3μmが好ましく、塗布により製造する場合、製造適性、及び、ヘイズ低減の観点から、1nm~500nmが好ましく、1nm~250nmがより好ましく、10nm~100nmがさらに好ましく、20nm~100nmが特に好ましい。
粒子含有層の厚みは、剥離フィルムの主面に対して垂直な断面を有する切片を作製し、走査型電子顕微鏡(SEM)又は透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて測定される、上記切片の5か所の厚みの算術平均値とする。
[Properties of particle-containing layer]
(thickness)
For example, when the particle-containing layer is formed by applying a composition containing particles and a non-polyester resin onto one side of a polyester film, the thickness of the particle-containing layer is often 1 μm or less.
Further, when a polyester film having a laminated particle-containing layer is formed by coextrusion molding, the thickness of the particle-containing layer is often 1 μm to 10 μm.
The thickness of the particle-containing layer is preferably 1 nm to 3 μm, and when manufactured by coating, from the viewpoint of manufacturing suitability and haze reduction, the thickness is preferably 1 nm to 500 nm, more preferably 1 nm to 250 nm, even more preferably 10 nm to 100 nm, Particularly preferred is 20 nm to 100 nm.
The thickness of the particle-containing layer is determined by preparing a section having a cross section perpendicular to the main surface of the release film, and measuring the thickness of the section using a scanning electron microscope (SEM) or a transmission electron microscope (TEM). The arithmetic mean value of the thickness at five locations.

(粒子含有層の表面自由エネルギー)
粒子含有層の表面(即ち、粒子含有層のポリエステル基材とは反対側の表面)における表面自由エネルギーは、25mJ/m~65mJ/mが好ましく、25mJ/m~60mJ/mが好ましく、25mJ/m~50mJ/mがより好ましく、30mJ/m~45mJ/mが更に好ましい。
粒子含有層の表面における表面自由エネルギーが上記範囲であることにより、ポリエステル基材に含まれるオリゴマー等の不純物が粒子含有層に析出することを抑制し、セラミックグリーンシートにおける凹凸欠陥を抑制することができる。
なお、オリゴマーとは、ポリエステルの重合時に生じる低分子量の副生成物ポリエスル基材に不純物として含まれる成分である。
(Surface free energy of particle-containing layer)
The surface free energy at the surface of the particle-containing layer (that is, the surface of the particle-containing layer opposite to the polyester base material) is preferably 25 mJ/m 2 to 65 mJ/m 2 , and preferably 25 mJ/m 2 to 60 mJ/m 2 . It is preferably 25 mJ/m 2 to 50 mJ/m 2 , more preferably 30 mJ/m 2 to 45 mJ/m 2 .
By having the surface free energy on the surface of the particle-containing layer within the above range, it is possible to suppress impurities such as oligomers contained in the polyester base material from precipitating in the particle-containing layer, and to suppress unevenness defects in the ceramic green sheet. can.
Note that the oligomer is a component contained as an impurity in the polyester base material, which is a low molecular weight by-product produced during the polymerization of polyester.

(粒子含有層の最大突起高さSp、表面の面平均粗さSa)
セラミックグリーンシート製造時におけるセラミックグリーンシートの凹凸欠陥をより抑制する観点から、粒子含有層の表面における最大突起高さSpは、800nm以下が好ましい。特に、粒子含有層が無機粒子を含む場合、粒子含有層の表面における最大突起高さSpは、300nm以下が好ましい。最大突起高さSpの下限は特に制限されないが、10nm以上が好ましい。
また、粒子含有層の表面における面平均粗さSaは0nm~10nmが好ましく、0nm~5nmがより好ましく、1nm~3nmが更に好ましい。
粒子含有層の表面の最大突起高さSp及び面平均粗さSaの測定方法は、上述した剥離面の最大突起高さSp及び面平均粗さSaの測定方法と同様である。
(Maximum protrusion height Sp of particle-containing layer, surface average roughness Sa)
From the viewpoint of further suppressing unevenness defects in the ceramic green sheet during production of the ceramic green sheet, the maximum protrusion height Sp on the surface of the particle-containing layer is preferably 800 nm or less. In particular, when the particle-containing layer contains inorganic particles, the maximum protrusion height Sp on the surface of the particle-containing layer is preferably 300 nm or less. Although the lower limit of the maximum protrusion height Sp is not particularly limited, it is preferably 10 nm or more.
Further, the surface average roughness Sa of the surface of the particle-containing layer is preferably 0 nm to 10 nm, more preferably 0 nm to 5 nm, and even more preferably 1 nm to 3 nm.
The method for measuring the maximum protrusion height Sp and surface average roughness Sa of the surface of the particle-containing layer is the same as the method for measuring the maximum protrusion height Sp and surface average roughness Sa of the peeled surface described above.

<剥離フィルムの性状>
[厚み]
剥離フィルムの厚みは、剥離性がより優れる観点で、100μm以下が好ましく、50μm以下がより好ましく、40μm以下が更に好ましい。また、剥離フィルムの厚みは、強度が向上し、加工性が向上する観点で、3μm以上が好ましく、10μm以上がより好ましく、20μm以上が更に好ましい。
剥離フィルムの厚みは、連続式触針式膜厚計を用いて測定したものとする。なお、測定方法等の詳細は、実施例の欄に記載のとおりである。
<Properties of release film>
[Thickness]
The thickness of the release film is preferably 100 μm or less, more preferably 50 μm or less, and even more preferably 40 μm or less, from the viewpoint of better releasability. Further, the thickness of the release film is preferably 3 μm or more, more preferably 10 μm or more, and even more preferably 20 μm or more, from the viewpoint of improving strength and processability.
The thickness of the release film was measured using a continuous stylus film thickness meter. The details of the measurement method and the like are as described in the Examples section.

〔剥離フィルムの製造方法〕
本開示の剥離フィルムの製造方法について説明する。
本開示の剥離フィルムの製造方法は、上述した本開示の剥離フィルムが得られれば特に制限されず、公知の方法が挙げられる。
[Manufacturing method of release film]
A method for manufacturing a release film of the present disclosure will be described.
The method for producing the release film of the present disclosure is not particularly limited as long as the release film of the present disclosure described above can be obtained, and known methods may be used.

中でも、剥離フィルムを生産性よく製造できる観点から、好ましい剥離フィルムの製造方法としては、
押出成形により、未延伸のポリエステルフィルムを形成する押出成形工程と、
未延伸のポリエステルフィルムを搬送方向及び幅方向のいずれか一方に延伸して一軸延伸されたポリエステルフィルムを形成する第1延伸工程、及び、一軸延伸されたポリエステルフィルムを搬送方向及び幅方向の他方に延伸して二軸延伸されたポリエステルフィルムを形成する第2延伸工程を、段階的又は同時に実施する延伸工程と、を含み、
押出成形工程と延伸工程との間、第1延伸工程と第2延伸工程との間、又は、延伸工程の後に、ポリエステルフィルムの一方の面に剥離層形成用組成物を付与して剥離層を形成する剥離層形成工程と、を含む製造方法が挙げられる。
Among these, preferred methods for producing release films from the viewpoint of producing release films with high productivity include:
an extrusion molding step of forming an unstretched polyester film by extrusion molding;
A first stretching step of stretching an unstretched polyester film in either one of the transport direction and the width direction to form a uniaxially stretched polyester film, and a uniaxially stretched polyester film in the other of the transport direction and the width direction. a second stretching step of stretching to form a biaxially stretched polyester film, stepwise or simultaneously;
Between the extrusion molding step and the stretching step, between the first stretching step and the second stretching step, or after the stretching step, a release layer forming composition is applied to one side of the polyester film to form a release layer. The manufacturing method includes a step of forming a release layer.

上記製造方法により、ポリエステル基材と剥離層とを含む剥離フィルムが得られる。すなわち、得られた剥離フィルムにおけるポリエステル基材は、未延伸のポリエステルフィルムが搬送方向及び幅方向それぞれに延伸されて得られたフィルム、すなわち、二軸延伸されたポリエステルフィルムであることが好ましい。 By the above manufacturing method, a release film including a polyester base material and a release layer is obtained. That is, the polyester base material in the obtained release film is preferably a film obtained by stretching an unstretched polyester film in both the transport direction and the width direction, that is, a biaxially stretched polyester film.

また、本開示の剥離フィルムの製造方法は、押出成形工程と延伸工程との間、第1延伸工程と第2延伸工程との間、又は、延伸工程の後に、ポリエステルフィルムの他方の面に粒子含有層形成用組成物を付与して粒子含有層を形成する粒子含有層形成工程と、をさらに含むことが好ましい。 In addition, in the method for producing a release film of the present disclosure, particles are attached to the other side of the polyester film between the extrusion molding step and the stretching step, between the first stretching step and the second stretching step, or after the stretching step. Preferably, the method further includes a step of forming a particle-containing layer by applying a composition for forming a particle-containing layer.

上記製造方法により、剥離層、ポリエステル基材、及び粒子含有層をこの順に含む剥離フィルムが得られる。 By the above manufacturing method, a release film containing a release layer, a polyester base material, and a particle-containing layer in this order is obtained.

本開示の剥離フィルムの製造方法は、例えば、以下の態様であることが好ましい。
好ましい態様としては、上述した、押出成形工程、延伸工程、剥離層形成工程、必要に応じて行う粒子含有層形成工程の他に、
延伸工程にて延伸されたポリエステルフィルムを加熱して熱固定する熱固定工程と、
熱固定工程により熱固定されたポリエステルフィルムを、熱固定工程よりも低い温度で加熱して熱緩和する熱緩和工程と、
熱緩和工程により熱緩和されたポリエステルフィルムを冷却する冷却工程と、
を含むことが好ましい。
好ましい態様にて、熱固定工程における熱固定温度、熱緩和工程における熱緩和温度、及び冷却工程におけるポリエステルフィルムの冷却速度をそれぞれ後述する範囲内とすることで、剥離フィルムの剥離層の表面(すなわち、剥離面)に生じるスジ状のシワを抑制し易くなる。剥離フィルムの剥離層の表面に生じるスジ状のシワが抑制されることで、かかる剥離フィルムを用いて製造されるセラミックグリーンシートの厚みムラを抑制することができる。
つまり、厚みムラがより抑制されたセラミックグリーンシートを製造する観点からは、上記好ましい態様にて剥離フィルムを製造することが望ましい。
The method for producing a release film of the present disclosure preferably has the following embodiments, for example.
In a preferred embodiment, in addition to the above-mentioned extrusion molding step, stretching step, release layer forming step, and particle-containing layer forming step performed as necessary,
a heat setting step of heating and heat setting the stretched polyester film in the drawing step;
A heat relaxation step in which the polyester film heat-set in the heat-setting step is heated at a lower temperature than the heat-setting step to thermally relax it;
a cooling process of cooling the polyester film thermally relaxed by the thermal relaxation process;
It is preferable to include.
In a preferred embodiment, the heat setting temperature in the heat setting step, the heat relaxation temperature in the heat relaxation step, and the cooling rate of the polyester film in the cooling step are each within the ranges described below, so that the surface of the release layer of the release film (i.e. This makes it easier to suppress streak-like wrinkles that occur on the peeled surface. By suppressing streak-like wrinkles that occur on the surface of the release layer of the release film, it is possible to suppress uneven thickness of ceramic green sheets produced using such a release film.
That is, from the viewpoint of manufacturing a ceramic green sheet with more suppressed thickness unevenness, it is desirable to manufacture a release film in the above-mentioned preferred embodiment.

以下、本開示の剥離フィルムの製造方法の好ましい一態様における各工程について説明する。なお、本開示の剥離フィルムの製造方法は、好ましい一態様に限定されず、以下の工程を適宜省略することができる。 Each step in a preferred embodiment of the method for producing a release film of the present disclosure will be described below. Note that the method for producing a release film of the present disclosure is not limited to one preferred embodiment, and the following steps can be omitted as appropriate.

[押出成形工程]
押出成形工程は、押出成形により、未延伸のポリエステルフィルムを形成する工程である。
より具体的には、原料となるポリエステル樹脂を含む溶融樹脂をフィルム状に押し出して、未延伸のポリエステルフィルムを形成する工程である。
[Extrusion molding process]
The extrusion molding process is a process of forming an unstretched polyester film by extrusion molding.
More specifically, it is a step of extruding a molten resin containing a raw material polyester resin into a film to form an unstretched polyester film.

押出成形法は、例えば押出機を用いて原料樹脂の溶融体を押し出すことによって、原料樹脂を所望の形状に成形する方法である。
押出ダイから押し出された溶融体は、冷却されることによってフィルム状に成形される。例えば、溶融体をキャスティングロールに接触させ、キャスティングロール上で溶融体を冷却及び固化することで、溶融体をフィルム状に成形できる。溶融体の冷却においては、更に、溶融体に風(好ましくは冷風)を当てることが好ましい。
The extrusion molding method is a method of molding raw resin into a desired shape by extruding a melt of the raw resin using, for example, an extruder.
The melt extruded from the extrusion die is cooled and shaped into a film. For example, the melt can be formed into a film by bringing the melt into contact with a casting roll and cooling and solidifying the melt on the casting roll. In cooling the melt, it is further preferable to apply wind (preferably cold air) to the melt.

以下、本工程で用いるポリエステル樹脂について説明する。
粒子を実質的に含まないポリエステル基材を作製するためには、押出成形の際に、粒子を含まないポリエステル樹脂のペレットを用いることが好ましい。
The polyester resin used in this step will be explained below.
In order to produce a polyester base material that is substantially free of particles, it is preferable to use polyester resin pellets that do not contain particles during extrusion molding.

(ポリエステル樹脂)
本工程で用いられるポリエステル樹脂は、ジカルボン酸成分とジオール成分とを共重合させて合成されるものである。
また、ポリエステル樹脂は、カルボン酸基の数(a)と水酸基の数(b)との合計(a+b)が3以上である多官能モノマー(以下、「3官能以上の多官能モノマー」又は単に「多官能モノマー」ともいう。)に由来する構成単位を含むものであることが好ましい。
(polyester resin)
The polyester resin used in this step is synthesized by copolymerizing a dicarboxylic acid component and a diol component.
In addition, the polyester resin is a polyfunctional monomer in which the sum of the number of carboxylic acid groups (a) and the number of hydroxyl groups (b) (a+b) is 3 or more (hereinafter referred to as "trifunctional or higher polyfunctional monomer" or simply " It is preferable that the monomer contains a structural unit derived from a polyfunctional monomer (also referred to as a polyfunctional monomer).

ポリエステル樹脂は、例えば、ジカルボン酸成分とジオール成分とを周知の方法でエステル化反応及び/又はエステル交換反応させることによって得ることができ、更に好ましくは、これに3官能以上の多官能モノマーを共重合させて得られる。
また、ポリエステル樹脂は、末端封止剤に由来する構造が導入されていてもよい。
The polyester resin can be obtained, for example, by subjecting a dicarboxylic acid component and a diol component to an esterification reaction and/or transesterification reaction using a well-known method. Obtained by polymerization.
Further, the polyester resin may have a structure derived from an end capping agent introduced therein.

以下、ジカルボン酸成分、ジオール成分、多官能モノマー、及び末端封止剤について説明する。 The dicarboxylic acid component, diol component, polyfunctional monomer, and terminal capping agent will be explained below.

-ジカルボン酸成分-
ジカルボン酸成分としては、例えば、脂肪族ジカルボン酸化合物、脂環式ジカルボン酸化合物、及び、芳香族ジカルボン酸化合物等のジカルボン酸、並びに、それらジカルボン酸のメチルエステル化合物及びエチルエステル化合物等のジカルボン酸エステルが挙げられる。中でも、芳香族ジカルボン酸、又は、芳香族ジカルボン酸メチルが好ましい。
-Dicarboxylic acid component-
Examples of the dicarboxylic acid component include dicarboxylic acids such as aliphatic dicarboxylic acid compounds, alicyclic dicarboxylic acid compounds, and aromatic dicarboxylic acid compounds, and dicarboxylic acids such as methyl ester compounds and ethyl ester compounds of these dicarboxylic acids. Examples include esters. Among these, aromatic dicarboxylic acid or methyl aromatic dicarboxylate is preferred.

脂肪族ジカルボン酸化合物としては、例えば、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、スベリン酸、セバシン酸、ドデカンジオン酸、ダイマー酸、エイコサンジオン酸、ピメリン酸、アゼライン酸、メチルマロン酸、及び、エチルマロン酸が挙げられる。
脂環式ジカルボン酸化合物としては、例えば、アダマンタンジカルボン酸、ノルボルネンジカルボン酸、シクロヘキサンジカルボン酸、及び、デカリンジカルボン酸が挙げられる。
Examples of aliphatic dicarboxylic acid compounds include malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, suberic acid, sebacic acid, dodecanedioic acid, dimer acid, eicosandioic acid, pimelic acid, azelaic acid, methylmalonic acid, and ethylmalonic acid.
Examples of the alicyclic dicarboxylic acid compound include adamantane dicarboxylic acid, norbornene dicarboxylic acid, cyclohexane dicarboxylic acid, and decalin dicarboxylic acid.

芳香族ジカルボン酸化合物としては、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、1,4-ナフタレンジカルボン酸、1,5-ナフタレンジカルボン酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸、1,8-ナフタレンジカルボン酸、4,4’-ジフェニルジカルボン酸、4,4’-ジフェニルエーテルジカルボン酸、5-ナトリウムスルホイソフタル酸、フェニルインダンジカルボン酸、アントラセンジカルボン酸、フェナントレンジカルボン酸、及び、9,9’-ビス(4-カルボキシフェニル)フルオレン酸、並びに、それらのメチルエステル体が挙げられる。
中でも、テレフタル酸、又は、2,6-ナフタレンジカルボン酸が好ましく、テレフタル酸がより好ましい。
Examples of aromatic dicarboxylic acid compounds include terephthalic acid, isophthalic acid, phthalic acid, 1,4-naphthalene dicarboxylic acid, 1,5-naphthalene dicarboxylic acid, 2,6-naphthalene dicarboxylic acid, and 1,8-naphthalene dicarboxylic acid. , 4,4'-diphenyl dicarboxylic acid, 4,4'-diphenyl ether dicarboxylic acid, 5-sodium sulfoisophthalic acid, phenylindane dicarboxylic acid, anthracene dicarboxylic acid, phenanthrene dicarboxylic acid, and 9,9'-bis(4- (carboxyphenyl)fluorenic acid and methyl esters thereof.
Among these, terephthalic acid or 2,6-naphthalene dicarboxylic acid is preferred, and terephthalic acid is more preferred.

ジカルボン酸成分は1種のみ用いてもよく、2種以上を併用してもよい。ジカルボン酸化合物として、テレフタル酸を使用する場合、テレフタル酸単独で用いてもよく、イソフタル酸等の他の芳香族ジカルボン酸、又は、脂肪族ジカルボン酸と併用してもよい。 One type of dicarboxylic acid component may be used, or two or more types may be used in combination. When terephthalic acid is used as the dicarboxylic acid compound, it may be used alone or in combination with other aromatic dicarboxylic acids such as isophthalic acid or aliphatic dicarboxylic acids.

-ジオール成分-
ジオール成分としては、例えば、脂肪族ジオール化合物、脂環式ジオール化合物、及び、芳香族ジオール化合物が挙げられ、中でも、脂肪族ジオール化合物が好ましい。
-Diol component-
Examples of the diol component include aliphatic diol compounds, alicyclic diol compounds, and aromatic diol compounds, and among them, aliphatic diol compounds are preferred.

脂肪族ジオール化合物としては、例えば、エチレングリコール、1,2-プロパンジオール、1,3-プロパンジオール、1,4-ブタンジオール、1,2-ブタンジオール、1,3-ブタンジオール、及び、ネオペンチルグリコールが挙げられ、エチレングリコールが好ましい。
脂環式ジオール化合物としては、例えば、シクロヘキサンジメタノール、スピログリコール、及び、イソソルビドが挙げられる。
芳香族ジオール化合物としては、例えば、ビスフェノールA、1,3-ベンゼンジメタノール,1,4-ベンゼンジメタノール、及び、9,9’-ビス(4-ヒドロキシフェニル)フルオレンが挙げられる。
Examples of aliphatic diol compounds include ethylene glycol, 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, 1,4-butanediol, 1,2-butanediol, 1,3-butanediol, and neo Mention may be made of pentyl glycol, with ethylene glycol being preferred.
Examples of the alicyclic diol compound include cyclohexanedimethanol, spiroglycol, and isosorbide.
Examples of the aromatic diol compound include bisphenol A, 1,3-benzenedimethanol, 1,4-benzenedimethanol, and 9,9'-bis(4-hydroxyphenyl)fluorene.

ジオール成分は、1種のみ用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 One type of diol component may be used, or two or more types may be used in combination.

-多官能モノマー-
多官能モノマーとしては、例えば、カルボン酸基の数(a)が3以上のカルボン酸、これらのエステル誘導体及び酸無水物、水酸基数(b)が3以上の多官能モノマー、並びに、一分子中に水酸基とカルボン酸基の両方を有し、カルボン酸基の数(a)と水酸基の数(b)との合計(a+b)が3以上であるオキシ酸類が挙げられる。
多官能モノマーとしては、上記多官能モノマーのカルボキシ末端に、l-ラクチド、d-ラクチド、ヒドロキシ安息香酸などのオキシ酸類及びその誘導体、又は、そのオキシ酸類が複数個連なった化合物等を付加させたものも好適である。
-Polyfunctional monomer-
Examples of polyfunctional monomers include carboxylic acids having a carboxylic acid group number (a) of 3 or more, their ester derivatives and acid anhydrides, polyfunctional monomers having a hydroxyl group number (b) of 3 or more, and Examples include oxyacids having both a hydroxyl group and a carboxylic acid group, and the total number (a) of the number of carboxylic acid groups and the number of hydroxyl groups (b) (a+b) is 3 or more.
As the polyfunctional monomer, oxyacids such as l-lactide, d-lactide, hydroxybenzoic acid, derivatives thereof, or compounds in which a plurality of such oxyacids are linked are added to the carboxy terminal of the polyfunctional monomer. Also suitable are

多官能モノマーに由来する構成単位とその含有量としては、特開2013-047317号公報の[0037]~[0039]に記載の内容も参照でき、上記公報の内容は、本明細書に組み込まれる。
多官能モノマーとしては、特開2013-047317号公報の[0068]~[0072]に記載された多官能モノマーも利用でき、上記公報の記載内容は、本明細書に組み込まれる。
Regarding the structural units derived from polyfunctional monomers and their content, the contents described in [0037] to [0039] of JP 2013-047317 can also be referred to, and the contents of the above publication are incorporated into the present specification. .
As the polyfunctional monomer, polyfunctional monomers described in [0068] to [0072] of JP-A-2013-047317 can also be used, and the contents of the above publication are incorporated into the present specification.

多官能モノマーは、1種のみ用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 One type of polyfunctional monomer may be used, or two or more types may be used in combination.

-末端封止剤-
ポリエステル樹脂を得る際には、必要に応じて、末端封止剤を用いてもよい。末端封止剤を用いることで、ポリエステル樹脂の末端に末端封止剤に由来する構造が導入される。
末端封止剤としては、制限されず、公知の末端封止剤を利用できる。末端封止剤としては、例えば、オキサゾリン系化合物、カルボジイミド系化合物、及び、エポキシ系化合物が挙げられる。
末端封止剤としては、特開2014-189002号公報の[0055]~[0064]、及び、特開2013-047317号公報の[0040]~[0051]に記載の内容も参照でき、上記公報の内容は、本明細書に組み込まれる。
-Terminal sealing agent-
When obtaining a polyester resin, a terminal capping agent may be used if necessary. By using the terminal capping agent, a structure derived from the terminal capping agent is introduced at the end of the polyester resin.
The terminal capping agent is not limited, and any known terminal capping agent can be used. Examples of the terminal capping agent include oxazoline compounds, carbodiimide compounds, and epoxy compounds.
As for the terminal capping agent, the contents described in [0055] to [0064] of JP-A No. 2014-189002 and [0040] to [0051] of JP-A No. 2013-047317 can also be referred to; , the contents of which are incorporated herein.

末端封止剤は、1種のみ用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 One type of terminal capping agent may be used, or two or more types may be used in combination.

-ポリエステル樹脂の製造-
ポリエステル樹脂を製造する際には、上述のように、エステル化反応及び/又はエステル交換反応が用いられる。
得られるポリエステル樹脂としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレン-2,6-ナフタレート(PEN)が挙げられ、中でも、PETが好ましい。また、PETの中でも、ゲルマニウム(Ge)系触媒、アンチモン(Sb)系触媒、アルミニウム(Al)系触媒、及びチタン(Ti)系触媒から選ばれる1種又は2種以上を用いて重合されたものが好ましく、Ti系触媒を用いて重合されたものがより好ましい。
-Production of polyester resin-
When producing polyester resin, as mentioned above, esterification reaction and/or transesterification reaction are used.
The resulting polyester resin includes polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene-2,6-naphthalate (PEN), with PET being preferred. Also, among PET, those polymerized using one or more types selected from germanium (Ge)-based catalysts, antimony (Sb)-based catalysts, aluminum (Al)-based catalysts, and titanium (Ti)-based catalysts. are preferred, and those polymerized using a Ti-based catalyst are more preferred.

以下、ポリエステル樹脂の製造方法の好ましい一態様について説明する。ポリエステル樹脂の製造方法は、この好ましい一態様に限定されない。
ポリエステル樹脂の製造方法の好ましい一態様は、少なくともジカルボン酸成分とジオール成分とを用い、エステル化反応生成物を得るエステル化反応工程と、エステル化反応工程で得られたエステル化反応生成物を重縮合反応させて重縮合物を得る重縮合反応工程と、を含む。
Hereinafter, one preferred embodiment of the method for producing polyester resin will be described. The method for producing polyester resin is not limited to this preferred embodiment.
A preferred embodiment of the method for producing a polyester resin includes an esterification reaction step for obtaining an esterification reaction product using at least a dicarboxylic acid component and a diol component, and a polymerization step for producing an esterification reaction product obtained in the esterification reaction step. A polycondensation reaction step of performing a condensation reaction to obtain a polycondensate.

・エステル化反応工程
エステル化反応工程では、ジカルボン酸成分とジオール成分とを、触媒の存在下で重合する。
具体的には、まず初めに、ジカルボン酸成分及びジオール成分を、マグネシウム化合物及びリン化合物の添加に先立って、Ti系触媒である有機キレートチタン錯体と混合する。有機キレートチタン錯体等のTi系触媒は、エステル化反応に対しても高い触媒活性を有することから、好ましい。このとき、ジカルボン酸成分及びジオール成分を混合した中にTi系触媒を加えてもよいし、ジカルボン酸成分(又はジオール成分)とTi系触媒を混合してからジオール成分(又はジカルボン酸成分)を混合してもよい。また、ジカルボン酸成分とジオール成分とTi系触媒とを同時に混合するようにしてもよい。混合は、その方法に特に制限はなく、従来公知の方法により行なうことが可能である。
- Esterification reaction step In the esterification reaction step, a dicarboxylic acid component and a diol component are polymerized in the presence of a catalyst.
Specifically, first, the dicarboxylic acid component and the diol component are mixed with an organic chelate titanium complex, which is a Ti-based catalyst, prior to adding the magnesium compound and the phosphorus compound. Ti-based catalysts such as organic chelate titanium complexes are preferred because they have high catalytic activity for esterification reactions. At this time, the Ti-based catalyst may be added to the mixture of the dicarboxylic acid component and the diol component, or the dicarboxylic acid component (or diol component) and the Ti-based catalyst may be mixed and then the diol component (or dicarboxylic acid component) is added. May be mixed. Further, the dicarboxylic acid component, the diol component, and the Ti-based catalyst may be mixed at the same time. There are no particular restrictions on the mixing method, and any conventionally known method can be used.

エステル化反応工程に用いるTi系触媒としては、有機酸を配位子とする有機キレートチタン錯体が好ましいものとして挙げられる。ここで、配位子となる有機酸としては、例えば、クエン酸、乳酸、トリメリット酸、リンゴ酸等を挙げることができる。中でも、Ti系触媒としては、クエン酸又はクエン酸塩を配位子とする有機キレート錯体が好ましい。
また、Ti系触媒としては、特開2013-047317号公報の[0080]に記載のTi系触媒、及び[0082]~[0084]、[0086]に記載のチタン化合物が利用でき、上記公報の内容は、本明細書に組み込まれる。
Preferred examples of the Ti-based catalyst used in the esterification reaction step include organic chelate titanium complexes having an organic acid as a ligand. Here, examples of the organic acid serving as a ligand include citric acid, lactic acid, trimellitic acid, and malic acid. Among these, as the Ti-based catalyst, an organic chelate complex having citric acid or a citrate as a ligand is preferable.
Further, as the Ti-based catalyst, the Ti-based catalyst described in [0080] of JP-A No. 2013-047317 and the titanium compounds described in [0082] to [0084] and [0086] can be used. The contents are incorporated herein.

ポリエステルを重合する際において、Ti系触媒は、系中の濃度が、チタン元素換算値で、1ppm~50ppm、より好ましくは2ppm~30ppm、さらに好ましくは3ppm~15ppmとなるように用いることが好ましい。この量でTi系触媒を用いることで、ポリエステル樹脂には、1ppm以上50ppm以下のチタン元素が含まれることとなる。 When polymerizing polyester, the Ti-based catalyst is preferably used so that the concentration in the system is 1 ppm to 50 ppm, more preferably 2 ppm to 30 ppm, and even more preferably 3 ppm to 15 ppm, in terms of titanium element. By using the Ti-based catalyst in this amount, the polyester resin contains titanium element in an amount of 1 ppm or more and 50 ppm or less.

エステル化反応工程では、ジカルボン酸成分及びジオール成分に加え、Ti系触媒(例えば、有機キレートチタン錯体)を存在させた系中に、添加剤としてのマグネシウム化合物を添加し、次いで、添加剤としてのリン化合物を添加することが好ましい。 In the esterification reaction step, a magnesium compound as an additive is added to a system in which a Ti-based catalyst (for example, an organic chelate titanium complex) is present in addition to a dicarboxylic acid component and a diol component, and then a magnesium compound as an additive is added. Preferably, a phosphorus compound is added.

添加剤であるマグネシウム化合物としては、例えば、酸化マグネシウム、水酸化マグネシウム、マグネシウムアルコキシド、酢酸マグネシウム、炭酸マグネシウム等のマグネシウム塩が挙げられる。中でも、エチレングリコールへの溶解性の観点から、酢酸マグネシウムが好ましい。 Examples of the magnesium compound as an additive include magnesium salts such as magnesium oxide, magnesium hydroxide, magnesium alkoxide, magnesium acetate, and magnesium carbonate. Among these, magnesium acetate is preferred from the viewpoint of solubility in ethylene glycol.

マグネシウム化合物は、系中の濃度が、Mg元素換算値で、50ppm以上、好ましくは50ppm~100ppm、より好ましくは60ppm~90ppm、更に好ましくは70ppm~80ppmとなるように用いることが好ましい。 The magnesium compound is preferably used so that the concentration in the system is 50 ppm or more, preferably 50 ppm to 100 ppm, more preferably 60 ppm to 90 ppm, still more preferably 70 ppm to 80 ppm, in terms of Mg element.

添加剤として用いるリン化合物は、5価のリン化合物であることが好ましく、置換基として芳香環を有しない5価のリン酸エステルであることがより好ましい。リン化合物として具体的には、例えば、リン酸トリメチル、リン酸トリエチル等の、炭素数2以下の低級アルキル基を置換基として有するリン酸エステル〔(OR)-P=O;R=炭素数1又は2のアルキル基〕が好ましい。 The phosphorus compound used as an additive is preferably a pentavalent phosphorus compound, and more preferably a pentavalent phosphoric acid ester having no aromatic ring as a substituent. Specifically, the phosphorus compound includes, for example, a phosphoric acid ester having a lower alkyl group having 2 or less carbon atoms as a substituent, such as trimethyl phosphate and triethyl phosphate [(OR) 3 -P=O; R=number of carbon atoms 1 or 2 alkyl groups] is preferred.

リン化合物は、系中の濃度が、P元素換算値で、50ppm~90ppm、好ましくは60ppm~80ppm、より好ましくは60ppm~75ppm以下となるように用いることが好ましい。 The phosphorus compound is preferably used so that the concentration in the system is 50 ppm to 90 ppm, preferably 60 ppm to 80 ppm, more preferably 60 ppm to 75 ppm or less in terms of P element.

エステル化反応工程の好ましい態様としては、エステル化反応が終了する前に、ジカルボン酸成分及びジオール成分に、Ti元素換算値で1ppm~30ppmのクエン酸又はクエン酸塩を配位子とするキレートチタン錯体を添加後、該キレートチタン錯体の存在下に、Mg元素換算値で60ppm~90ppm(より好ましくは70ppm~80ppm)の弱酸のマグネシウム塩を添加し、該添加後にさらに、P元素換算値で60ppm~80ppm(より好ましくは65ppm~75ppm以下)の、芳香環を置換基として有しない5価のリン酸エステルを添加する態様が挙げられる。 In a preferred embodiment of the esterification reaction step, before the esterification reaction is completed, a titanium chelate containing 1 ppm to 30 ppm of citric acid or citrate as a ligand in terms of Ti element is added to the dicarboxylic acid component and the diol component. After adding the complex, in the presence of the chelate titanium complex, add a magnesium salt of a weak acid of 60 ppm to 90 ppm (more preferably 70 ppm to 80 ppm) in terms of Mg element, and after the addition, further add 60 ppm in terms of P element. Examples include an embodiment in which a pentavalent phosphoric acid ester having no aromatic ring as a substituent is added in an amount of up to 80 ppm (more preferably 65 ppm to 75 ppm or less).

上記態様において、キレートチタン錯体(有機キレートチタン錯体)、マグネシウム塩(マグネシウム化合物)、及び5価のリン酸エステル(リン化合物)の各々については、それぞれ、全添加量の70質量%以上が、上記の順序で添加されることが好ましい。 In the above embodiment, for each of the chelate titanium complex (organic chelate titanium complex), magnesium salt (magnesium compound), and pentavalent phosphate ester (phosphorus compound), 70% by mass or more of the total amount added is It is preferable that they be added in this order.

また、エステル化反応工程におけるエステル化反応は、少なくとも2個の反応槽を直列に連結した多段式装置を用いて、エチレングリコールが還流する条件下で、反応によって生成した水又はアルコールを系外に除去しながら実施することができる。
このとき、ジカルボン酸成分とジオール成分とは、これらが含まれたスラリーを調製し、反応槽に連続的に供給することが好ましい。
In addition, the esterification reaction in the esterification reaction step uses a multi-stage device in which at least two reaction vessels are connected in series, and the water or alcohol produced by the reaction is removed from the system under conditions where ethylene glycol is refluxed. It can be carried out while removing.
At this time, it is preferable that a slurry containing the dicarboxylic acid component and the diol component is prepared and continuously supplied to the reaction tank.

エステル化反応工程におけるエステル化反応は、一段階で行なってもよいし、多段階に分けて行なうようにしてもよい。
エステル化反応を一段階で行なう場合、エステル化反応温度は230℃~260℃が好ましく、240℃~250℃がより好ましい。
エステル化反応を二段階に分けて行なう場合、第一反応槽のエステル化反応の温度は230℃~260℃(より好ましくは240℃~250℃)であり、また、圧力は1.0kg/cm~5.0kg/cm(より好ましくは2.0kg/cm~3.0kg/cm)であることが好ましい。また、第二反応槽のエステル化反応の温度は230℃~260℃(より好ましくは245℃~255℃)であり、また、圧力は0.5kg/cm~5.0kg/cm(より好ましくは1.0kg/cm~3.0kg/cm)であることが好ましい。
エステル化反応を三段階以上に分けて実施する場合は、中間段階のエステル化反応の条件は、上記第一反応槽と最終反応槽の間の条件に設定するのが好ましい。
The esterification reaction in the esterification reaction step may be performed in one step or may be performed in multiple steps.
When the esterification reaction is carried out in one step, the esterification reaction temperature is preferably 230°C to 260°C, more preferably 240°C to 250°C.
When the esterification reaction is carried out in two stages, the temperature of the esterification reaction in the first reaction tank is 230°C to 260°C (more preferably 240°C to 250°C), and the pressure is 1.0 kg/cm. 2 to 5.0 kg/cm 2 (more preferably 2.0 kg/cm 2 to 3.0 kg/cm 2 ). Furthermore, the temperature of the esterification reaction in the second reaction tank is 230°C to 260°C (more preferably 245°C to 255°C), and the pressure is 0.5kg/cm 2 to 5.0kg/cm 2 (more preferably 245°C to 255°C). It is preferably 1.0 kg/cm 2 to 3.0 kg/cm 2 ).
When carrying out the esterification reaction in three or more stages, the conditions for the esterification reaction in the intermediate stage are preferably set to those between the first reaction tank and the final reaction tank.

・重縮合反応工程
重縮合反応工程では、エステル化反応工程で生成されたエステル化反応生成物(オリゴマー等)を重縮合反応させて重縮合物を生成する。
重縮合反応は、一段階で行なってもよいし、多段階に分けて行なうようにしてもよい。中でも、重縮合反応は、多段階に分けて行うことが好ましい。
- Polycondensation reaction step In the polycondensation reaction step, the esterification reaction product (oligomer, etc.) produced in the esterification reaction step is subjected to a polycondensation reaction to produce a polycondensate.
The polycondensation reaction may be carried out in one step or may be carried out in multiple steps. Among these, it is preferable to carry out the polycondensation reaction in multiple stages.

重縮合反応を、例えば、三段階に分けて行う場合、各反応槽における条件を以下ようにすることが好ましい。第一反応槽は、温度が255℃~280℃(より好ましくは265℃~275℃)であり、圧力が100torr~10torr:13.3×10-3~1.3×10-3MPa(より好ましくは50torr~20torr:6.67×10-3MPa~2.67×10-3MPa)であることが好ましい。第二反応槽は、温度が265℃~285(より好ましくは270℃~280℃)であり、圧力が20torr~1torr:2.67×10-3MPa~1.33×10-4MPa(より好ましくは10torr~3torr:1.33×10-3MPa~4.0×10-4MPa)であることが好ましい。最終反応槽内である第三反応槽は、温度が270℃~290℃(より好ましくは275℃~285℃)であり、圧力が10torr~0.1torr:1.33×10-3MPa~1.33×10-5MPa(より好ましくは5torr~0.5torr:6.67×10-4MPa~6.67×10-5MPa)であることが好ましい。 When the polycondensation reaction is carried out in three stages, for example, the conditions in each reaction tank are preferably as follows. The temperature of the first reaction tank is 255°C to 280°C (more preferably 265°C to 275°C), and the pressure is 100 to 10 torr: 13.3 × 10 -3 to 1.3 × 10 -3 MPa (more preferably 265 to 275 °C). It is preferably 50 torr to 20 torr: 6.67×10 −3 MPa to 2.67×10 −3 MPa). The second reaction tank has a temperature of 265° C. to 285° C. (more preferably 270° C. to 280° C.) and a pressure of 20 torr to 1 torr: 2.67×10 −3 MPa to 1.33×10 −4 MPa (more preferably 270° C. to 280° C.). It is preferably 10 torr to 3 torr (1.33×10 −3 MPa to 4.0×10 −4 MPa). The third reaction tank, which is the final reaction tank, has a temperature of 270°C to 290°C (more preferably 275°C to 285°C) and a pressure of 10 torr to 0.1 torr: 1.33×10 −3 MPa to 1 .33×10 −5 MPa (more preferably 5 torr to 0.5 torr: 6.67×10 −4 MPa to 6.67×10 −5 MPa).

以上のようにして、ポリエステル樹脂が合成される。合成されたポリエステル樹脂は、ポリエステル基材の原料として用いられる。
合成されたポリエステル樹脂には、光安定化剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤、易滑剤(微粒子)、核剤(結晶化剤)、結晶化阻害剤などの添加剤を更に含有させてもよい。
A polyester resin is synthesized as described above. The synthesized polyester resin is used as a raw material for a polyester base material.
The synthesized polyester resin further contains additives such as light stabilizers, antioxidants, ultraviolet absorbers, flame retardants, lubricants (fine particles), nucleating agents (crystallizing agents), and crystallization inhibitors. You can.

・固相重合工程
上述の工程を得て得られたポリエステル樹脂は、さらに固相重合することが好ましい。ポリエステル樹脂を固相重合することで、ポリエステル基材の含水率、結晶化度、固有粘度(IV)等を制御することができる。
-Solid phase polymerization step It is preferable that the polyester resin obtained through the above steps is further subjected to solid phase polymerization. By subjecting the polyester resin to solid phase polymerization, the water content, crystallinity, intrinsic viscosity (IV), etc. of the polyester base material can be controlled.

固相重合工程では、ペレット状にしたポリエステル樹脂を用いる。
ポリエステル樹脂の固相重合は、連続法(タワーの中に樹脂を充満させ、これを加熱しながらゆっくり所定の時間滞流させた後、順次送り出す方法)でもよく、バッチ法(容器の中に樹脂を投入し、所定の時間加熱する方法)でもよい。
固相重合は、真空中又は窒素雰囲気下で行なうことが好ましい。
ポリエステル樹脂の固相重合温度は、好ましくは150℃~250℃、より好ましくは170℃~240℃、さらに好ましくは180℃~230℃である。
また、固相重合時間は、好ましくは1時間~100時間、より好ましくは5時間~100時間、さらに好ましくは5時間~75時間、特に好ましくは5時間~30時間である。固相重合時間が上記範囲内であると、固有粘度(IV)を好ましい範囲に容易に制御できる。
In the solid phase polymerization process, pelletized polyester resin is used.
The solid phase polymerization of polyester resin may be carried out by a continuous method (a tower is filled with resin, the tower is heated and allowed to flow slowly for a predetermined period of time, and then sequentially sent out) or a batch method (a tower is filled with resin and the resin is poured into a container) may also be used.
Solid phase polymerization is preferably carried out in vacuum or under a nitrogen atmosphere.
The solid state polymerization temperature of the polyester resin is preferably 150°C to 250°C, more preferably 170°C to 240°C, even more preferably 180°C to 230°C.
Further, the solid phase polymerization time is preferably 1 hour to 100 hours, more preferably 5 hours to 100 hours, even more preferably 5 hours to 75 hours, particularly preferably 5 hours to 30 hours. When the solid phase polymerization time is within the above range, the intrinsic viscosity (IV) can be easily controlled within a preferred range.

[延伸工程]
延伸工程は、未延伸のポリエステルフィルムを搬送方向及び幅方向のいずれか一方に延伸して一軸延伸されたポリエステルフィルムを形成する第1延伸工程、及び、一軸延伸されたポリエステルフィルムを搬送方向及び幅方向の他方に延伸して二軸延伸されたポリエステルフィルムを形成する第2延伸工程を、段階的又は同時に実施する工程である。
第1延伸工程及び第2延伸工程の一方は、ポリエステルフィルムを搬送方向に延伸(以下、「縦延伸」ともいう。)する縦延伸工程であり、第1延伸工程及び第2延伸工程の他方は、ポリエステルフィルムを幅方向に延伸(以下、「横延伸」ともいう。)する横延伸工程である。延伸時には、それぞれの方向にポリエステル高分子が配列する。
[Stretching process]
The stretching process includes a first stretching process in which an unstretched polyester film is stretched in either the transport direction or the width direction to form a uniaxially stretched polyester film, and a uniaxially stretched polyester film is stretched in either the transport direction or the width direction. This is a step in which a second stretching step of forming a biaxially stretched polyester film by stretching in the other direction is carried out stepwise or simultaneously.
One of the first stretching process and the second stretching process is a longitudinal stretching process in which the polyester film is stretched in the transport direction (hereinafter also referred to as "longitudinal stretching"), and the other of the first stretching process and the second stretching process is This is a transverse stretching step in which the polyester film is stretched in the width direction (hereinafter also referred to as "lateral stretching"). During stretching, polyester polymers are aligned in each direction.

上記延伸工程は、縦延伸及び横延伸を同時に行う同時二軸延伸であってもよく、縦延伸及び横延伸を段階的に分けて行う逐次二軸延伸であってもよい。逐次二軸延伸の態様としては、例えば、縦延伸、横延伸の順に行う態様;縦延伸、横延伸、縦延伸の順に行う態様;及び、縦延伸、縦延伸、横延伸の順に行う態様が挙げられる。中でも、逐次二軸延伸の態様は、縦延伸、横延伸の順に行う態様が好ましい。
以下、縦延伸、横延伸の順に行う態様について説明するが、上記製造方法はその態様に限られない。
The stretching step may be simultaneous biaxial stretching in which longitudinal stretching and lateral stretching are performed simultaneously, or sequential biaxial stretching in which longitudinal stretching and lateral stretching are performed in stages. Examples of the sequential biaxial stretching include, for example, an embodiment in which longitudinal stretching is performed in the order of transverse stretching; an embodiment in which longitudinal stretching is performed in the order of longitudinal stretching, lateral stretching, and longitudinal stretching; and an embodiment in which longitudinal stretching is performed in the order of longitudinal stretching, longitudinal stretching, and transverse stretching. It will be done. Among these, it is preferable that the sequential biaxial stretching is carried out in the order of longitudinal stretching and transverse stretching.
Hereinafter, an embodiment in which longitudinal stretching and transverse stretching are performed in this order will be described, but the above manufacturing method is not limited to this embodiment.

縦延伸工程における延伸倍率は、適宜設定されるが、2.0倍~5.0倍が好ましく、2.5倍~4.0倍がより好ましく、2.8倍~4.0倍が更に好ましい。
縦延伸工程における延伸速度は、800%/秒~1500%/秒が好ましく、1000%/秒~1400%/秒がより好ましく、1200%/秒~1400%/秒が更に好ましい。ここで、「延伸速度」とは、縦延伸工程において1秒間に延伸されたポリエステルフィルムの搬送方向の長さΔdを、延伸前のポリエステルフィルムの搬送方向の長さd0で除した値を、百分率で表した値である。
縦延伸工程においては、未延伸のポリエステルフィルムを加熱することが好ましい。加熱により縦延伸が容易になるためである。
The stretching ratio in the longitudinal stretching step is appropriately set, but preferably 2.0 times to 5.0 times, more preferably 2.5 times to 4.0 times, and still more preferably 2.8 times to 4.0 times. preferable.
The stretching speed in the longitudinal stretching step is preferably 800%/sec to 1500%/sec, more preferably 1000%/sec to 1400%/sec, and even more preferably 1200%/sec to 1400%/sec. Here, "stretching speed" is the value obtained by dividing the length Δd in the transport direction of the polyester film stretched per second in the longitudinal stretching process by the length d0 in the transport direction of the polyester film before stretching, as a percentage. This is the value expressed as .
In the longitudinal stretching step, it is preferable to heat the unstretched polyester film. This is because heating facilitates longitudinal stretching.

横延伸工程においては、横延伸前に、一軸延伸されたポリエステルフィルムを予熱することが好ましい(予熱工程ともいう)。一軸延伸されたポリエステル基材を予熱することで、一軸延伸されたポリエステル基材を容易に横延伸できる。
横延伸工程における一軸延伸されたポリエステルフィルムの幅方向の延伸倍率(横延伸倍率)は特に制限されないが、上記縦延伸工程における延伸倍率より大きいことが好ましい。
横延伸工程における延伸倍率は、3.0倍~6.0倍が好ましく、3.5倍~5.0倍がより好ましく、3.5倍~4.5倍が更に好ましい。
横延伸工程における延伸速度は、8%/秒~45%/秒が好ましく、10%/秒~30%/秒がより好ましく、15%/秒~20%/秒が更に好ましい。
In the transverse stretching process, it is preferable to preheat the uniaxially stretched polyester film before the transverse stretching (also referred to as a preheating process). By preheating the uniaxially stretched polyester base material, the uniaxially stretched polyester base material can be easily laterally stretched.
The stretching ratio in the width direction of the uniaxially stretched polyester film in the lateral stretching step (lateral stretching ratio) is not particularly limited, but it is preferably larger than the stretching ratio in the longitudinal stretching step.
The stretching ratio in the transverse stretching step is preferably 3.0 times to 6.0 times, more preferably 3.5 times to 5.0 times, even more preferably 3.5 times to 4.5 times.
The stretching speed in the transverse stretching step is preferably 8%/sec to 45%/sec, more preferably 10%/sec to 30%/sec, even more preferably 15%/sec to 20%/sec.

[粒子含有層形成工程]
粒子含有層形成工程は、ポリエステルフィルムの一方の面に粒子含有層形成用組成物を付与して粒子含有層を形成する工程である。
粒子含有層形成工程は、例えば、押出成形工程と第1延伸工程との間、第1延伸工程と第2延伸工程との間、又は、延伸工程の後に実施される。中でも、粒子含有層形成工程は、第1延伸工程と第2延伸工程との間に実施されることが好ましい。
粒子含有層形成工程により得られる粒子含有層については、上記粒子含有層の項目において説明した層と同義である。
以下、粒子含有層形成用組成物を付与する態様について説明する。
[Particle-containing layer formation process]
The particle-containing layer forming step is a step of applying a particle-containing layer-forming composition to one surface of a polyester film to form a particle-containing layer.
The particle-containing layer forming step is performed, for example, between the extrusion molding step and the first stretching step, between the first stretching step and the second stretching step, or after the stretching step. Among these, the particle-containing layer forming step is preferably carried out between the first stretching step and the second stretching step.
The particle-containing layer obtained by the particle-containing layer forming step has the same meaning as the layer explained in the section of the particle-containing layer above.
Hereinafter, a mode of applying the particle-containing layer-forming composition will be described.

まず、粒子含有層形成用組成物について説明する。
粒子含有層形成用組成物は、上記粒子含有層の項目で説明した成分、及び、溶剤を混合することにより調製できる。
溶剤としては、例えば、水、及び、アルコールが挙げられる。
First, the composition for forming a particle-containing layer will be explained.
The composition for forming a particle-containing layer can be prepared by mixing the components described in the section of the particle-containing layer above and a solvent.
Examples of the solvent include water and alcohol.

粒子含有層形成用組成物は、1種単独の溶剤を含んでいてもよく、2種以上の溶剤を含んでいてもよい。
溶剤の含有量は、粒子含有層形成用組成物の全質量に対して、80質量%~99.5質量%が好ましく、90質量%~99質量%がより好ましい。
すなわち、粒子含有層形成用組成物において、溶剤以外の成分(固形分)の合計含有量は、粒子含有層形成用組成物の全質量に対して、0.5質量%~20質量%が好ましく、1質量%~10質量%がより好ましい。
The composition for forming a particle-containing layer may contain one type of solvent alone, or may contain two or more types of solvents.
The content of the solvent is preferably 80% by mass to 99.5% by mass, more preferably 90% by mass to 99% by mass, based on the total mass of the particle-containing layer-forming composition.
That is, in the composition for forming a particle-containing layer, the total content of components (solid content) other than the solvent is preferably 0.5% by mass to 20% by mass with respect to the total mass of the composition for forming a particle-containing layer. , more preferably 1% by mass to 10% by mass.

粒子含有層形成用組成物における溶剤以外の各成分については、粒子含有層形成用組成物の固形分の全質量に対する各成分の含有量が、上記の粒子含有層の全質量に対する各成分の好ましい含有量と同じになるように、粒子含有層形成用組成物における各成分の含有量を調整することが好ましい。 Regarding each component other than the solvent in the composition for forming a particle-containing layer, the content of each component relative to the total mass of the solid content of the composition for forming a particle-containing layer is the preferable content of each component relative to the total mass of the above-mentioned particle-containing layer. It is preferable to adjust the content of each component in the composition for forming a particle-containing layer so that the content is the same as the content.

また、粒子含有層形成用組成物は、架橋剤を含んでいてもよい。
架橋剤としては、特に制限されず、公知のものを使用できる。架橋剤としては、例えば、メラミン化合物、エポキシ化合物、イソシアネート化合物、カルボジイミド化合物、及び、オキサゾリン化合物が挙げられる。
メラミン化合物、エポキシ化合物、及びイソシアネート化合物の詳細については、特開2015-163457号公報の[0081]~[0083]の記載を参照することができる。
カルボジイミド化合物としては、特開2017-087421号公報の[0038]~[0040]の記載を参照することができる。
カルボジイミド化合物及びイソシアネート化合物については、国際公開第2018/034294号の[0074]~[0075]の記載を参照することができる。
オキサゾリン化合物については、特開2013-058746号公報の[0111]~[0117]、及び特開2015-160434号公報の[0038]~[0048]の記載を参照することができる。
架橋剤としては、国際公開第2017/169844号の[0082]~[0084]の記載を参照することもできる。
Moreover, the composition for forming a particle-containing layer may contain a crosslinking agent.
The crosslinking agent is not particularly limited, and any known crosslinking agent can be used. Examples of the crosslinking agent include melamine compounds, epoxy compounds, isocyanate compounds, carbodiimide compounds, and oxazoline compounds.
For details on the melamine compound, epoxy compound, and isocyanate compound, the descriptions in [0081] to [0083] of JP 2015-163457A can be referred to.
As for the carbodiimide compound, the descriptions in [0038] to [0040] of JP-A-2017-087421 can be referred to.
Regarding carbodiimide compounds and isocyanate compounds, the descriptions in [0074] to [0075] of International Publication No. 2018/034294 can be referred to.
Regarding the oxazoline compound, reference can be made to the descriptions in [0111] to [0117] of JP-A No. 2013-058746 and [0038] to [0048] of JP-A No. 2015-160434.
As for the crosslinking agent, the descriptions in [0082] to [0084] of International Publication No. 2017/169844 can also be referred to.

架橋剤の含有量は、粒子含有層の全質量に対して、0質量%~50質量%が好ましい。
粒子含有層形成用組成物における、バインダーに対する架橋剤の質量比は、2質量%~50質量%が好ましい。
The content of the crosslinking agent is preferably 0% by mass to 50% by mass based on the total mass of the particle-containing layer.
In the composition for forming a particle-containing layer, the mass ratio of the crosslinking agent to the binder is preferably 2% by mass to 50% by mass.

粒子含有層形成用組成物の付与方法は特に制限されず、公知の方法を利用できる。付与方法としては、例えば、スプレーコート法、スリットコート法、ロールコート法、ブレードコート法、スピンコート法、バーコート法、及び、ディップコート法が挙げられる。 The method for applying the particle-containing layer-forming composition is not particularly limited, and any known method can be used. Examples of the application method include spray coating, slit coating, roll coating, blade coating, spin coating, bar coating, and dip coating.

粒子含有層の形成における加熱温度は、180℃以下が好ましく、150℃以下がより好ましく、120℃以下が更に好ましい。下限は特に制限されず、60℃以上であってよい。 The heating temperature in forming the particle-containing layer is preferably 180°C or lower, more preferably 150°C or lower, and even more preferably 120°C or lower. The lower limit is not particularly limited and may be 60°C or higher.

また、ポリエステルフィルムと粒子含有層との密着性を向上させるために、粒子含有層を設ける前に、ポリエステルフィルムの表面に対して、アンカーコート、コロナ処理、及び、プラズマ処理等の前処理を施してもよい。 In addition, in order to improve the adhesion between the polyester film and the particle-containing layer, the surface of the polyester film is subjected to pre-treatments such as anchor coating, corona treatment, and plasma treatment before forming the particle-containing layer. You can.

[剥離層形成工程]
剥離層形成工程は、ポリエステルフィルムの一方の面に剥離層形成用組成物を付与して剥離層を形成する工程である。
剥離層形成工程は、押出成形工程と第1延伸工程との間、第1延伸工程と第2延伸工程との間、又は、延伸工程の後に実施される。
[Peeling layer formation process]
The release layer forming step is a step of applying a release layer forming composition to one side of a polyester film to form a release layer.
The release layer forming step is performed between the extrusion molding step and the first stretching step, between the first stretching step and the second stretching step, or after the stretching step.

中でも、厚みムラが低減された剥離フィルムを製造する観点から、剥離層形成工程は、押出成形工程と第1延伸工程との間、又は、第1延伸工程と第2延伸工程との間に実施されることが好ましい。
すなわち、剥離層形成工程は、未延伸のポリエステルフィルム又は一軸延伸されたポリエステルフィルムの片面に、剥離層形成用組成物を付与して剥離層を形成する工程であることが好ましい。剥離層形成工程を上記のタイミングで実施することにより、製造工程におけるポリエステルフィルムの加熱時間が短くなり、熱履歴の影響を小さくすることができるため、剥離フィルムのスジ状のシワを抑制することができ、結果として、セラミックグリーンシートの厚みムラを低減できる。
Among them, from the viewpoint of producing a release film with reduced thickness unevenness, the release layer forming step is carried out between the extrusion molding step and the first stretching step, or between the first stretching step and the second stretching step. It is preferable that
That is, the release layer forming step is preferably a step of applying a release layer forming composition to one side of an unstretched polyester film or a uniaxially stretched polyester film to form a release layer. By performing the release layer forming step at the above timing, the heating time of the polyester film in the manufacturing process is shortened, and the influence of heat history can be reduced, so it is possible to suppress the streak-like wrinkles of the release film. As a result, the thickness unevenness of the ceramic green sheet can be reduced.

剥離層形成工程が延伸工程の後に実施される場合、後述する冷却工程の後に行われることが好ましく、後述する巻取り工程、及び、トリミング工程の後に行われることがより好ましい。
剥離層形成工程により形成される剥離層については、上記剥離層の項目において説明した層と同義である。
When the release layer forming step is performed after the stretching step, it is preferably performed after the cooling step described below, and more preferably after the winding step and trimming step described below.
The release layer formed in the release layer forming step has the same meaning as the layer explained in the section of the release layer above.

まず、剥離層形成用組成物について説明する。
剥離層形成用組成物は、上記剥離層の欄で説明した成分、及び、溶剤を含むことが好ましい。
溶剤としては、例えば、水、アルコール、エーテル、ケトン、及び、芳香族炭化水素が挙げられる。
First, the composition for forming a release layer will be explained.
The composition for forming a release layer preferably contains the components described in the section for the release layer above and a solvent.
Examples of the solvent include water, alcohol, ether, ketone, and aromatic hydrocarbon.

剥離層形成用組成物は、1種単独の溶剤を含んでいてもよく、2種以上の溶剤を含んでいてもよい。
溶剤の含有量は、剥離層形成用組成物の全質量に対して、80質量%~99.5質量%が好ましく、90~99質量%がより好ましい。
即ち、剥離層形成用組成物において、溶剤以外の成分(固形分)の合計含有量は、剥離層形成用組成物の全質量に対して、0.5質量%~20質量%が好ましく、1質量%~10質量%がより好ましい。
The release layer forming composition may contain one type of solvent alone, or may contain two or more types of solvents.
The content of the solvent is preferably 80% to 99.5% by mass, more preferably 90% to 99% by mass, based on the total mass of the composition for forming a release layer.
That is, in the composition for forming a release layer, the total content of components (solid content) other than the solvent is preferably 0.5% by mass to 20% by mass, and 1% by mass based on the total mass of the composition for forming a release layer. More preferably, the amount is from % by mass to 10% by mass.

剥離層形成用組成物における溶剤以外の各成分については、剥離層形成用組成物の固形分の全質量に対する各成分の含有量が、上記の剥離層の全質量に対する各成分の好ましい含有量と同じになるように、剥離層形成用組成物における各成分の含有量を調整することが好ましい。 Regarding each component other than the solvent in the composition for forming a release layer, the content of each component relative to the total mass of the solid content of the composition for forming a release layer is the preferred content of each component relative to the total mass of the release layer described above. It is preferable to adjust the content of each component in the composition for forming a peeling layer so that they are the same.

剥離層形成用組成物の付与方法は特に制限されず、公知の方法を利用できる。付与方法の具体例は、粒子含有層形成工程で述べたとおりである。 The method for applying the composition for forming a release layer is not particularly limited, and any known method can be used. A specific example of the application method is as described in the particle-containing layer forming step.

剥離層の形成における加熱温度は、180℃以下が好ましく、150℃以下がより好ましく、120℃以下が更に好ましい。下限は特に制限されず、60℃以上であってよい。 The heating temperature in forming the release layer is preferably 180°C or lower, more preferably 150°C or lower, and even more preferably 120°C or lower. The lower limit is not particularly limited and may be 60°C or higher.

また、ポリエステルフィルムと剥離層との密着性を向上させるために、剥離層を設ける前に、ポリエステルフィルムの表面に対して、アンカーコート、コロナ処理、及び、プラズマ処理等の前処理を施してもよい。 In addition, in order to improve the adhesion between the polyester film and the release layer, the surface of the polyester film may be subjected to pretreatment such as anchor coating, corona treatment, or plasma treatment before providing the release layer. good.

[熱固定工程]
本開示の剥離フィルムの製造方法は、延伸工程の後に、延伸工程で得られたポリエステルフィルムに対する加熱処理として、熱固定工程を有していてもよい。
熱固定工程においては、延伸工程にて延伸されたポリエステルフィルムを加熱して熱固定する。熱固定によってポリエステル樹脂を結晶化させることにより、ポリエステル基材の収縮を抑えることができる。
[Heat setting process]
The method for producing a release film of the present disclosure may include a heat setting step after the stretching step as a heat treatment for the polyester film obtained in the stretching step.
In the heat-setting step, the polyester film stretched in the stretching step is heated and heat-set. By crystallizing the polyester resin through heat fixation, shrinkage of the polyester base material can be suppressed.

熱固定工程は、1m以上のフィルム幅を有するポリエステルフィルムを加熱する工程であることが好ましい。そして、この熱固定工程では、ポリエステルフィルムの最高到達膜面温度を160℃以上225℃以下の範囲に制御し、かつ、フィルム幅方向における最高到達膜面温度のバラツキを5.0℃以下として加熱する、ことが好ましい。
なお、最高到達膜面温度は、熱固定時のポリエステルフィルムの表面における最高到達温度であり、熱固定温度とも呼ばれる。最高到達膜面温度は、放射温度計によって測定することができる。ポリエステルフィルムの最高到達膜面温度は、フィルムの幅方向における中央部の表面温度を指す。また、フィルム幅方向における最高到達膜面温度のバラツキは、フィルム幅方向における上記中央部1点、両端2点の合計3点での表面温度を測定し、中央部の表面温度から両端の表面温度のうち値の小さい方の表面温度を減算することにより算出される。
なお、上述の方法により、熱固定時のポリエステルフィルムの表面における最高到達温度を測定し、目的とする温度になったか否かを計測し、加熱条件を調整することで、ポリエステルフィルムの最高到達膜面温度を制御することができる。
上記のように最高到達膜面温度が160℃~225℃に制御されるとき、剥離フィルムのDSCで測定されるプレピーク温度を160℃~225℃とすることができる。また、フィルム幅方向における最高到達膜面温度のバラツキを0.5℃以下とすることで、剥離フィルムのフィルム幅方向における結晶化度のバラツキを5.0%以下とすることができる。
フィルム幅方向における最高到達膜面温度のバラツキは、3.0℃以下とすることがより好ましく、2.0℃以下とすることがさらに好ましく、1.5℃以下とすることが特に好ましい。
The heat setting step is preferably a step of heating a polyester film having a film width of 1 m or more. In this heat setting step, the maximum film surface temperature of the polyester film is controlled within the range of 160°C or more and 225°C or less, and the variation in the maximum film surface temperature in the film width direction is controlled to be 5.0°C or less. It is preferable to do so.
Note that the maximum film surface temperature is the maximum temperature reached on the surface of the polyester film during heat setting, and is also called heat setting temperature. The maximum film surface temperature can be measured with a radiation thermometer. The highest film surface temperature of a polyester film refers to the surface temperature at the center of the film in the width direction. In addition, the variation in the maximum film surface temperature in the film width direction can be determined by measuring the surface temperature at a total of three points in the film width direction, one point in the center and two points on both ends. It is calculated by subtracting the surface temperature of the smaller value.
In addition, by measuring the maximum temperature reached on the surface of the polyester film during heat setting using the method described above, measuring whether the desired temperature has been reached, and adjusting the heating conditions, the maximum temperature reached on the surface of the polyester film can be measured. Surface temperature can be controlled.
When the maximum film surface temperature is controlled to 160°C to 225°C as described above, the pre-peak temperature measured by DSC of the release film can be set to 160°C to 225°C. Further, by setting the variation in the maximum film surface temperature in the film width direction to 0.5° C. or less, the variation in crystallinity in the film width direction of the release film can be made to be 5.0% or less.
The variation in the maximum film surface temperature in the film width direction is more preferably 3.0°C or less, even more preferably 2.0°C or less, and particularly preferably 1.5°C or less.

また、熱固定時のポリエステルフィルムへの加熱は、ポリエステルフィルムの一方の側からのみ行なってもよいし、両側から行なうようにしてもよい。例えば、押出成形工程で溶融体がキャスティングドラム上で冷却されたときには、成形されたポリエステルフィルムは一方の面とその反対側の面とで冷やされ方が異なっているため、フィルムがカールしやすくなっている。そのため、熱固定工程での加熱を、押出成形工程でキャスティングドラムと接触させた面に対して行なうようにすることが好ましい。熱固定工程での加熱面をキャスティングドラムと接触させた面、すなわち冷却面とすることで、カールを解消することができる。
このとき、加熱は、熱固定工程での加熱面における加熱直後の表面温度が、加熱面と反対側の非加熱面の表面温度に比べて0.5℃~5.0℃の範囲で高くなるように行なわれることが好ましい。熱固定時の加熱面の温度がその反対側の面より高く、その表裏間の温度差が0.5℃~5.0℃であることで、フィルムのカールがより効果的に解消される。カールの解消効果の観点からは、加熱面とその反対側の非加熱面との間の温度差は、0.7℃~3.0℃がより好ましく、0.8℃~2.0℃が更に好ましい。
Further, the polyester film may be heated only from one side of the polyester film during heat fixing, or may be heated from both sides of the polyester film. For example, when the melt is cooled on a casting drum during an extrusion molding process, one side of the formed polyester film is cooled differently than the other side, making the film susceptible to curling. ing. Therefore, it is preferable that heating in the heat setting step be performed on the surface that was brought into contact with the casting drum in the extrusion molding step. Curling can be eliminated by using the heating surface in the heat-setting step as the surface in contact with the casting drum, that is, the cooling surface.
At this time, the heating is such that the surface temperature immediately after heating on the heated surface in the heat fixing step is higher in the range of 0.5 to 5.0 degrees Celsius than the surface temperature of the non-heated surface on the opposite side to the heated surface. It is preferable to do so. When the temperature of the heated surface during heat setting is higher than that of the opposite surface, and the temperature difference between the front and back surfaces is 0.5° C. to 5.0° C., curling of the film can be more effectively eliminated. From the viewpoint of the curl eliminating effect, the temperature difference between the heated surface and the non-heated surface on the opposite side is more preferably 0.7°C to 3.0°C, and 0.8°C to 2.0°C. More preferred.

ポリエステルフィルムの長手方向と直交する幅方向の端部は、延伸の際にクリップ等が取り付けられる等で温度が低下しやすく、幅方向において温度バラツキ、ひいては結晶化度のバラツキを招きやすい。そのため、熱固定時にポリエステルフィルムの幅方向の端部を加熱することが好ましい。特に、赤外線ヒータ等の輻射加熱器により、熱固定時のポリエステルフィルムの幅方向の端部を、輻射加熱する態様がより好ましい。輻射加熱したときには、フィルム幅方向における温度バラツキを3.0℃以内に狭めることが好ましい。これにより、フィルム幅方向での結晶化度のバラツキを5.0%以下、好ましくは3.0%以下とすることができる。 At the ends of the polyester film in the width direction perpendicular to the longitudinal direction, the temperature tends to drop because clips or the like are attached during stretching, which tends to cause temperature variations in the width direction, and thus variations in the degree of crystallinity. Therefore, it is preferable to heat the ends of the polyester film in the width direction during heat setting. In particular, it is more preferable to radiantly heat the ends of the polyester film in the width direction during heat setting using a radiant heater such as an infrared heater. When radiant heating is performed, it is preferable to narrow the temperature variation in the width direction of the film to within 3.0°C. Thereby, the variation in crystallinity in the film width direction can be made 5.0% or less, preferably 3.0% or less.

なお、熱固定工程に加え、更に、予熱工程、延伸工程、及び熱緩和工程の少なくとも1つにおいて、ポリエステルフィルムの幅方向端部を赤外線ヒータ等の輻射加熱器により輻射加熱する態様に構成されてもよい。幅方向端部への加熱は、幅方向における温度バラツキ、ひいては結晶化度のバラツキを軽減するものであり、熱固定時のみならず、予熱、延伸、熱緩和のいずれか1つ又は2つ以上の工程でさらに加熱を行なうことでより高い改善効果が期待できる。 In addition to the heat setting process, the polyester film is further configured to radiately heat the widthwise end portions of the polyester film with a radiant heater such as an infrared heater in at least one of the preheating process, stretching process, and thermal relaxation process. Good too. Heating to the ends in the width direction reduces temperature variations in the width direction and ultimately variations in crystallinity, and is applied not only during heat setting but also during preheating, stretching, and thermal relaxation. A higher improvement effect can be expected by further heating in the step.

熱固定工程における熱固定温度、すなわち、ポリエステルフィルムの最高到達膜面温度は、上述のように、160℃~225℃であることが好ましく、160℃~220℃であることがより好ましく、180℃~210℃であることがさらに好ましい。
熱固定工程における加熱時間、すなわち、熱固定部での滞留時間は、5秒~50秒が好ましく、8秒~40秒がより好ましく、10秒~30秒が更に好ましい。ここで、滞留時間とは、ポリエステルフィルムが熱固定部内で加熱されている状態が継続している時間である。
As mentioned above, the heat setting temperature in the heat setting step, that is, the highest film surface temperature of the polyester film is preferably 160°C to 225°C, more preferably 160°C to 220°C, and 180°C. More preferably, the temperature is between 210°C and 210°C.
The heating time in the heat-setting step, that is, the residence time in the heat-setting section, is preferably from 5 seconds to 50 seconds, more preferably from 8 seconds to 40 seconds, and even more preferably from 10 seconds to 30 seconds. Here, the residence time is the time during which the polyester film continues to be heated within the heat fixing section.

[熱緩和工程]
本開示の剥離フィルムの製造方法は、熱固定工程の後に、熱緩和工程を含むことが好ましい。
熱緩和工程においては、熱固定工程により熱固定されたポリエステルフィルムを、熱固定工程よりも低い温度で加熱することで熱緩和することが好ましい。熱緩和によってポリエステルフィルムの残留歪みを緩和できる。
熱緩和工程におけるポリエステルフィルムの表面温度(熱緩和温度)は、熱固定温度より、5℃以上低い温度が好ましく、15℃以上低い温度がより好ましく、25℃以上低い温度が更に好ましく、30℃以上低い温度が特に好ましい。即ち、熱緩和温度は、235℃以下が好ましく、225℃以下がより好ましく、210℃以下が更に好ましく、200℃以下が特に好ましい。
熱緩和温度の下限は、100℃以上が好ましく、110℃以上がより好ましく、120℃以上が更に好ましい。
[Thermal relaxation process]
The method for manufacturing a release film of the present disclosure preferably includes a heat relaxation step after the heat setting step.
In the thermal relaxation step, it is preferable to thermally relax the polyester film heat-set in the heat-setting step by heating it at a temperature lower than that in the heat-setting step. Residual strain in polyester film can be alleviated by thermal relaxation.
The surface temperature (thermal relaxation temperature) of the polyester film in the heat relaxation step is preferably 5°C or more lower than the heat setting temperature, more preferably 15°C or more lower, still more preferably 25°C or more lower, and 30°C or more. Low temperatures are particularly preferred. That is, the thermal relaxation temperature is preferably 235°C or lower, more preferably 225°C or lower, even more preferably 210°C or lower, and particularly preferably 200°C or lower.
The lower limit of the thermal relaxation temperature is preferably 100°C or higher, more preferably 110°C or higher, and even more preferably 120°C or higher.

[冷却工程]
本開示の剥離フィルムの製造方法は、熱緩和工程により熱緩和されたポリエステルフィルムを冷却する冷却工程を含むことが好ましい。
なお、熱固定工程後、熱緩和されたポリエステルフィルムを冷却する際の冷却速度を調整することで、剥離フィルムの剥離層の表面(すなわち、剥離面)に生じるスジ状のシワを抑制し易くなる。剥離フィルムの剥離層の表面に生じるスジ状のシワを抑制することで、かかる剥離フィルムを用いて製造されるセラミックグリーンシートの厚みムラを抑制することができる。
[Cooling process]
The method for producing a release film of the present disclosure preferably includes a cooling step of cooling the polyester film that has been thermally relaxed in the thermal relaxation step.
In addition, by adjusting the cooling rate when cooling the heat-relaxed polyester film after the heat-setting step, it becomes easier to suppress the streak-like wrinkles that occur on the surface of the release layer of the release film (i.e., the release surface). . By suppressing streak-like wrinkles that occur on the surface of the release layer of a release film, it is possible to suppress uneven thickness of ceramic green sheets produced using such a release film.

冷却工程におけるポリエステルフィルムの冷却方法としては、例えば、ポリエステルフィルムに風(好ましくは冷風)を当てる方法、及び、温度調節可能な部材(例えば、温調ロール)にポリエステルフィルムを接触させる方法が挙げられる。 Examples of methods for cooling the polyester film in the cooling step include a method of applying wind (preferably cold air) to the polyester film, and a method of bringing the polyester film into contact with a temperature-adjustable member (e.g., a temperature control roll). .

冷却工程におけるポリエステルフィルムの冷却速度は、500℃/分~4000℃/分が好ましく、700℃/分~3000℃/分がより好ましく、1000℃/分~2500℃/分が更に好ましい。上記範囲であることで、剥離フィルムの剥離層の表面に生じるスジ状のシワを抑制し易くなり、厚みムラが抑制されたセラミックグリーンシートが製造することができる。 The cooling rate of the polyester film in the cooling step is preferably 500°C/min to 4000°C/min, more preferably 700°C/min to 3000°C/min, and even more preferably 1000°C/min to 2500°C/min. Within the above range, it becomes easy to suppress the streak-like wrinkles that occur on the surface of the release layer of the release film, and it is possible to produce a ceramic green sheet with suppressed thickness unevenness.

冷却工程におけるポリエステルフィルムの冷却速度は、非接触式温度計を用いて、測定できる。例えば、まず、冷却工程開始時のポリエステルフィルムの表面温度と、冷却工程終了時のポリエステルフィルムの表面温度とを測定して、両者の温度差ΔT(℃)を得る。得られた温度差ΔT(℃)を、冷却工程時間taで割ることにより、冷却速度が求められる。
冷却工程開始時とは、搬送されているポリエステルフィルムに対し上述の冷却方法の適用され始めたときを指し、冷却工程終了時とは、ポリエステルフィルムに対し上述の冷却方法の適用が終了した時を指す。そして、冷却工程時間とは、冷却工程開始時から冷却工程終了時までの時間に該当する。
なお、ポリエステルフィルムの冷却速度は、上述の冷却方法における各種条件、及び、ポリエステルフィルムの搬送速度により、調整できる。
The cooling rate of the polyester film in the cooling process can be measured using a non-contact thermometer. For example, first, the surface temperature of the polyester film at the start of the cooling process and the surface temperature of the polyester film at the end of the cooling process are measured to obtain the temperature difference ΔT (° C.) between the two. The cooling rate is determined by dividing the obtained temperature difference ΔT (° C.) by the cooling process time ta.
The start of the cooling process refers to the time when the above-mentioned cooling method begins to be applied to the polyester film being transported, and the end of the cooling process refers to the time when the application of the above-mentioned cooling method to the polyester film ends. Point. The cooling process time corresponds to the time from the start of the cooling process to the end of the cooling process.
In addition, the cooling rate of the polyester film can be adjusted by various conditions in the above-mentioned cooling method and the transport speed of the polyester film.

なお、本開示の剥離フィルムの製造方法では、上述の、熱固定工程、熱緩和工程、及び冷却工程は、この順に連続して実施することが好ましい。これにより、ポリエステルフィルムに対する加熱及び冷却の繰返しによる負荷(熱履歴)を低減し、ポリエステルフィルムに内在する歪み等を低減して、剥離フィルムにおける上述のスジ状のシワを抑制することができるためである。 In addition, in the method for manufacturing a release film of the present disclosure, it is preferable that the above-mentioned heat setting step, heat relaxation step, and cooling step are performed continuously in this order. This reduces the load (thermal history) caused by repeated heating and cooling on the polyester film, reduces the distortion inherent in the polyester film, and suppresses the above-mentioned streak-like wrinkles in the release film. be.

上記冷却工程において、熱緩和されたポリエステルフィルムを幅方向に拡張する工程(拡張工程)を有することも好ましい。拡張工程を有することで、剥離フィルムにおける上述のスジ状のシワを抑制し易くなる。
拡張工程によるポリエステルフィルムの幅方向の拡張率、即ち、冷却工程の開始前におけるポリエステルフィルム幅に対する冷却工程の終了時におけるポリエステルフィルム幅の比率は、0%以上が好ましく、0.001%以上がより好ましく、0.01%以上が更に好ましい。
拡張率の上限は特に制限されないが、1.3%以下が好ましく、1.2%以下がより好ましく、1.0%以下が更に好ましい。
In the cooling step, it is also preferable to include a step of expanding the thermally relaxed polyester film in the width direction (expansion step). By including the expansion step, it becomes easier to suppress the above-mentioned streak-like wrinkles in the release film.
The expansion rate in the width direction of the polyester film in the expansion step, that is, the ratio of the polyester film width at the end of the cooling step to the polyester film width before the start of the cooling step, is preferably 0% or more, and more preferably 0.001% or more. It is preferably 0.01% or more, and more preferably 0.01% or more.
The upper limit of the expansion rate is not particularly limited, but is preferably 1.3% or less, more preferably 1.2% or less, and even more preferably 1.0% or less.

[巻き取り工程]
本開示の剥離フィルムの製造方法は、上記の工程を経て得られたポリエステルフィルムを巻き取ることにより、ロール状のポリエステルフィルムを得る巻き取り工程を含んでいてもよい。
[Winding process]
The method for producing a release film of the present disclosure may include a winding step of obtaining a roll-shaped polyester film by winding up the polyester film obtained through the above steps.

[トリミング工程]
本開示の製造方法は、上記巻き取り工程を実施する前に、ポリエステルフィルムを搬送方向に沿って連続的に切断して、ポリエステルフィルムの幅方向の少なくとも一方の端部を切り取るトリミング工程を含んでいてもよい。
[Trimming process]
The manufacturing method of the present disclosure includes a trimming step of continuously cutting the polyester film along the transport direction and cutting off at least one end in the width direction of the polyester film, before implementing the winding step. You can stay there.

[その他の条件]
本開示の剥離フィルムの製造方法の縦延伸工程以外の各工程におけるポリエステルフィルムの搬送速度は、特に制限されないが、横延伸工程、熱固定工程、熱緩和工程、及び、冷却工程において、生産性及び品質の点で、50m/分~200m/分が好ましく、80m/分~150m/分がより好ましい。
[Other conditions]
The conveyance speed of the polyester film in each step other than the longitudinal stretching step of the method for producing a release film of the present disclosure is not particularly limited, but in the lateral stretching step, heat setting step, heat relaxation step, and cooling step, productivity and In terms of quality, the speed is preferably 50 m/min to 200 m/min, more preferably 80 m/min to 150 m/min.

なお、本開示の剥離フィルムの製造方法では、粒子含有層形成工程において、粒子含有層形成用組成物を付与して粒子含有層を形成する方法を述べたが、粒子含有層の形成方法は上記態様に制限されず、公知の方法を用いることができる。例えば、共押出成形により、粒子含有層が積層された未延伸のポリエステルフィルムを形成する方法が挙げられる。 In addition, in the method for producing a release film of the present disclosure, a method has been described in which a composition for forming a particle-containing layer is applied in the particle-containing layer forming step to form a particle-containing layer, but the method for forming a particle-containing layer is the same as described above. The method is not limited to the embodiment, and any known method can be used. For example, a method of forming an unstretched polyester film on which particle-containing layers are laminated by coextrusion molding may be mentioned.

特に、本開示の剥離フィルムの製造方法は、
未延伸のポリエステルフィルムを搬送方向に延伸する縦延伸工程と、
縦延伸工程で得られた一軸延伸されたポリエステルフィルムの一方の面に、粒子含有層形成用組成物を付与して粒子含有層を形成する工程と、
縦延伸工程で得られた一軸延伸されたポリエステルフィルムの他方の面に、剥離層形成用組成物を付与して剥離層を形成する工程と、
粒子含有層と剥離層とを有する一軸延伸されたポリエステルフィルムを加熱しながら幅方向に延伸する横延伸工程と、を含むことが好ましい。
In particular, the method for manufacturing a release film of the present disclosure includes:
A longitudinal stretching step of stretching an unstretched polyester film in the transport direction;
A step of applying a particle-containing layer forming composition to one side of the uniaxially stretched polyester film obtained in the longitudinal stretching step to form a particle-containing layer;
A step of applying a release layer forming composition to the other surface of the uniaxially stretched polyester film obtained in the longitudinal stretching step to form a release layer;
It is preferable to include a transverse stretching step of stretching a uniaxially stretched polyester film having a particle-containing layer and a release layer in the width direction while heating it.

〔積層体〕
本開示の積層体は、上記本開示の剥離フィルムと、セラミックを含有する層と、を含む。
[Laminated body]
The laminate of the present disclosure includes the above-described release film of the present disclosure and a layer containing ceramic.

剥離フィルムの詳細は、上記のとおりである。
セラミックを含有する層は、剥離フィルムの表面に直接設けてもよく、他の層を介して剥離フィルム上に設けてもよいが、平滑性がより優れる点で、剥離フィルムの表面に直接設けることが好ましい。
Details of the release film are as described above.
The ceramic-containing layer may be provided directly on the surface of the release film or may be provided on the release film via another layer, but it is preferable to provide it directly on the surface of the release film because smoothness is better. is preferred.

セラミックを含有する層に含まれるセラミックとしては、セラミックグリーンシートに含まれるセラミックであれば特に制限はなく、例えば、チタン酸バリウム等の強誘電体材料、酸化チタン、チタン酸カルシウム等の常誘電体材料が挙げられる。 The ceramic included in the ceramic-containing layer is not particularly limited as long as it is included in the ceramic green sheet, and examples include ferroelectric materials such as barium titanate, and paraelectric materials such as titanium oxide and calcium titanate. Examples include materials.

セラミックを含有する層はバインダーを含むことが好ましい。バインダーとしては、セラミックグリーンシートに含まれるバインダーであれば特に制限はなく、例えば、ポリビニルブチラールが挙げられる。 Preferably, the ceramic-containing layer includes a binder. The binder is not particularly limited as long as it is included in the ceramic green sheet, and examples thereof include polyvinyl butyral.

本開示の積層体は、例えば、剥離フィルムの剥離面上に、セラミック及び溶媒を含むセラミックスラリーを付与し、セラミックスラリーに含まれる溶媒を乾燥させることによって製造することができる。溶媒としては、例えば、エタノール及びトルエンが挙げられる。 The laminate of the present disclosure can be manufactured, for example, by applying a ceramic slurry containing a ceramic and a solvent onto the release surface of a release film and drying the solvent contained in the ceramic slurry. Examples of the solvent include ethanol and toluene.

セラミックスラリーの付与方法は、特に制限されず、例えば、リバースロール法等の公知の方法が適用できる。 The method for applying the ceramic slurry is not particularly limited, and for example, known methods such as a reverse roll method can be applied.

なお、本開示の積層体から剥離フィルムを剥離することで、セラミックグリーンシートが得られる。つまり、本開示の積層体におけるセラミック粉末を含有する層が、セラミックグリーンシートになる。 Note that a ceramic green sheet can be obtained by peeling off the release film from the laminate of the present disclosure. That is, the layer containing ceramic powder in the laminate of the present disclosure becomes a ceramic green sheet.

以下に実施例を挙げて本開示を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、及び、処理手順は、本開示の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本開示の範囲は以下に示す具体例に制限されない。 The present disclosure will be explained in more detail by giving examples below. The materials, amounts used, proportions, processing details, and processing procedures shown in the following examples can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present disclosure. Therefore, the scope of the present disclosure is not limited to the specific examples shown below.

<ポリエステル樹脂の準備>
(ポリエステル樹脂PET-1の合成)
以下に示すように、テレフタル酸及びエチレングリコールを直接反応させて水を留去し、エステル化した後、減圧下で重縮合を行なう直接エステル化法を用いて、連続重合装置によりポリエステル樹脂を得た。
<Preparation of polyester resin>
(Synthesis of polyester resin PET-1)
As shown below, a polyester resin is obtained using a continuous polymerization device using a direct esterification method in which terephthalic acid and ethylene glycol are directly reacted, water is distilled off, esterified, and then polycondensation is performed under reduced pressure. Ta.

(1)エステル化反応
第一エステル化反応槽に、高純度テレフタル酸4.7トンとエチレングリコール1.8トンを90分かけて混合してスラリー形成させ、3800kg/hの流量で連続的に第一エステル化反応槽に供給した。更にクエン酸がTi金属に配位したクエン酸キレートチタン錯体(VERTEC AC-420、ジョンソン・マッセイ社製)のエチレングリコール溶液を連続的に供給し、反応槽内温度250℃、攪拌下、平均滞留時間約4.3時間で反応を行なった。このとき、クエン酸キレートチタン錯体は、Ti添加量が元素換算値で9ppmとなるように連続的に添加した。このとき、得られたオリゴマーの酸価は600当量/トンであった。なお、本明細書中において、「当量/t」は1トンあたりのモル当量を表す。
(1) Esterification reaction In the first esterification reaction tank, 4.7 tons of high-purity terephthalic acid and 1.8 tons of ethylene glycol were mixed over 90 minutes to form a slurry, and the mixture was continuously mixed at a flow rate of 3800 kg/h. It was supplied to the first esterification reactor. Furthermore, an ethylene glycol solution of a citric acid chelate titanium complex (VERTEC AC-420, manufactured by Johnson Matthey) in which citric acid is coordinated to Ti metal was continuously supplied, and the temperature inside the reaction tank was 250°C, with stirring, and the average residence time was increased. The reaction took about 4.3 hours. At this time, the citric acid chelate titanium complex was continuously added so that the amount of Ti added was 9 ppm in terms of elemental value. At this time, the acid value of the obtained oligomer was 600 equivalents/ton. In addition, in this specification, "equivalent/t" represents the molar equivalent per ton.

この反応物を第二エステル化反応槽に移送し、攪拌下、反応槽内温度250℃で、平均滞留時間で1.2時間反応させ、酸価が200当量/トンのオリゴマーを得た。第二エステル化反応槽は内部が3ゾーンに仕切られており、第2ゾーンから酢酸マグネシウムのエチレングリコール溶液を、Mg添加量が元素換算値で75ppmになるように連続的に供給し、続いて第3ゾーンから、リン酸トリメチルのエチレングリコール溶液を、P添加量が元素換算値で65ppmになるように連続的に供給した。 This reactant was transferred to a second esterification reactor and reacted with stirring at an internal temperature of 250° C. for an average residence time of 1.2 hours to obtain an oligomer with an acid value of 200 equivalents/ton. The second esterification reaction tank is internally partitioned into three zones, and an ethylene glycol solution of magnesium acetate is continuously supplied from the second zone so that the amount of Mg added becomes 75 ppm in terms of elemental value. An ethylene glycol solution of trimethyl phosphate was continuously supplied from the third zone so that the amount of P added was 65 ppm in elemental terms.

(2)重縮合反応
上記で得られたエステル化反応生成物を連続的に第一重縮合反応槽に供給し、攪拌下、反応温度270℃、反応槽内圧力20torr(2.67×10-3MPa)で、平均滞留時間約1.8時間で重縮合させた。
(2) Polycondensation reaction The esterification reaction product obtained above was continuously supplied to the first polycondensation reaction tank, and under stirring, the reaction temperature was 270°C, and the reaction tank internal pressure was 20 torr (2.67×10 − 3 MPa) with an average residence time of about 1.8 hours.

更に、第二重縮合反応槽に移送し、この反応槽において攪拌下、反応槽内温度276℃、反応槽内圧力5torr(6.67×10-4MPa)で滞留時間約1.2時間の条件で反応(重縮合)させた。 Furthermore, the mixture was transferred to a second double condensation reaction tank, where it was stirred for a residence time of about 1.2 hours at a reaction tank temperature of 276°C and a reaction tank pressure of 5 torr (6.67×10 -4 MPa). The reaction (polycondensation) was carried out under the following conditions.

次いで、更に第三重縮合反応槽に移送し、この反応槽では、反応槽内温度278℃、反応槽内圧力1.5torr(2.0×10-4MPa)で、滞留時間1.5時間の条件で反応(重縮合)させ、反応物(ポリエチレンテレフタレート(PET))を得た。 Next, it was further transferred to a third polycondensation reaction tank, where the reaction tank temperature was 278°C, the reaction tank pressure was 1.5 torr (2.0 x 10 -4 MPa), and the residence time was 1.5 hours. A reaction (polycondensation) was carried out under the following conditions to obtain a reactant (polyethylene terephthalate (PET)).

次に、得られた反応物を、冷水にストランド状に吐出し、直ちにカッティングしてポリエステル樹脂のペレット<断面:長径約4mm、短径約2mm、長さ:約3mm>を作製した。 Next, the obtained reaction product was discharged into cold water in the form of a strand, and immediately cut to produce polyester resin pellets <cross section: major axis approximately 4 mm, minor axis approximately 2 mm, length: approximately 3 mm>.

得られたポリエステル樹脂について、高分解能型高周波誘導結合プラズマ-質量分析(HR-ICP-MS;SIIナノテクノロジー社製AttoM)を用いて以下に示すように測定した結果、Ti=9ppm、Mg=75ppm、P=60ppmであった。Pは当初の添加量に対して僅かに減少しているが、重合過程において揮発したものと推定される。 The obtained polyester resin was measured using high-resolution high-frequency inductively coupled plasma-mass spectrometry (HR-ICP-MS; AttoM manufactured by SII Nanotechnology) as shown below. As a result, Ti = 9 ppm, Mg = 75 ppm. , P=60 ppm. P was slightly reduced compared to the initial amount added, but it is presumed that it was volatilized during the polymerization process.

(3)固相重合反応
上記のようにして得たポリエステル樹脂のペレットに対して、バッチ法で固相重合を実施した。すなわち、ポリエステル樹脂のペレットを容器に投入した後、真空にして撹拌しながら、150℃で予備結晶化処理し、その後190℃で7時間の固相重合反応を行なった。
以上のようにして、ポリエステル樹脂PET-1を得た。
(3) Solid phase polymerization reaction The polyester resin pellets obtained as described above were subjected to solid phase polymerization by a batch method. That is, after putting polyester resin pellets into a container, preliminary crystallization was performed at 150° C. while stirring under vacuum, and then a solid phase polymerization reaction was performed at 190° C. for 7 hours.
In the manner described above, polyester resin PET-1 was obtained.

(ポリエステル樹脂PET-2~PET-4)
ポリエステル樹脂PET-1の合成において、固相重合時間を7時間から、12時間(P-2)、9時間(P-3)、又は0時間(P-4)に変更したほかは同様にして、ポリエステル樹脂PET-2~PET-4をそれぞれ得た。
(Polyester resin PET-2 to PET-4)
In the synthesis of polyester resin PET-1, the same procedure was followed except that the solid phase polymerization time was changed from 7 hours to 12 hours (P-2), 9 hours (P-3), or 0 hours (P-4). , polyester resins PET-2 to PET-4 were obtained, respectively.

(ポリエステル樹脂PET-5)
ポリエステル樹脂PET-1の合成にて得られたポリエステル樹脂PET-1に、ポリエステル樹脂PET-1に対する含有量が1質量%となるように、シリカ粒子のエチレングリコール溶液を添加し、ポリエステル樹脂PET-5を得た。
(Polyester resin PET-5)
An ethylene glycol solution of silica particles was added to the polyester resin PET-1 obtained in the synthesis of the polyester resin PET-1 so that the content was 1% by mass with respect to the polyester resin PET-1. Got 5.

<実施例1>
(押出成形工程)
ポリエステル樹脂PET-1を、含水率20ppm以下に乾燥させた後、直径50mmの1軸混練押出機のホッパーに投入した。ポリエステル樹脂PET-1は、300℃に溶融し、下記押出条件により、ギアポンプ、濾過器(孔径20μm)を介し、ダイから押出した。
このとき、溶融樹脂の押出は、圧力変動を1%、溶融樹脂の温度分布を2%とする条件にて行なった。具体的には、押出機のバレルにおける背圧を、押出機のバレル内平均圧力に対して1%高い圧力とし、押出機の配管温度を、押出機のバレル内平均温度に対して2%高い温度として加熱した。ダイから押出すにあたり、溶融樹脂を冷却用のキャストドラム上に押出し、静電印加法を用いてキャストドラムに密着させた。溶融樹脂は、キャストドラムの温度を25℃に設定すると共に、キャストドラムに対面して設置された冷風発生装置から25℃の冷風をあてて冷却した。キャストドラムに対向配置された剥ぎ取りロールによって、未延伸ポリエステルフィルム(未延伸ポリエステルフィルム1)を剥離した。
<Example 1>
(Extrusion molding process)
After drying the polyester resin PET-1 to a moisture content of 20 ppm or less, it was charged into a hopper of a single-screw extruder having a diameter of 50 mm. Polyester resin PET-1 was melted at 300° C. and extruded from a die through a gear pump and a filter (pore diameter: 20 μm) under the following extrusion conditions.
At this time, extrusion of the molten resin was carried out under conditions of a pressure fluctuation of 1% and a temperature distribution of the molten resin of 2%. Specifically, the back pressure in the barrel of the extruder is set to be 1% higher than the average pressure inside the barrel of the extruder, and the piping temperature of the extruder is set to be 2% higher than the average temperature inside the barrel of the extruder. Heated as temperature. When extruding from the die, the molten resin was extruded onto a cooling cast drum and brought into close contact with the cast drum using an electrostatic application method. The molten resin was cooled by setting the temperature of the casting drum to 25°C and blowing cold air at 25°C from a cold air generator installed facing the casting drum. The unstretched polyester film (unstretched polyester film 1) was peeled off using a peeling roll placed opposite to the cast drum.

(縦延伸工程)
未延伸ポリエステルフィルム1を周速の異なる2対のニップロールの間に通し、下記条件で縦方向(搬送方向)に延伸し、一軸延伸されたポリエステルフィルム(縦延伸ポリエステルフィルム1)を作製した。
予熱温度 :80℃
縦延伸温度:90℃
縦延伸倍率:3.6倍
縦延伸応力:12MPa
(Longitudinal stretching process)
The unstretched polyester film 1 was passed between two pairs of nip rolls having different circumferential speeds and stretched in the longitudinal direction (conveyance direction) under the following conditions to produce a uniaxially stretched polyester film (longitudinal stretched polyester film 1).
Preheating temperature: 80℃
Longitudinal stretching temperature: 90℃
Longitudinal stretching ratio: 3.6 times Longitudinal stretching stress: 12 MPa

(粒子含有層形成工程、剥離層形成工程)
縦方向に一軸延伸されたポリエステルフィルム(縦延伸ポリエステルフィルム1)の片面に、下記に示す粒子含有層形成用組成物A1をバーコーターで塗布した。一軸延伸されたポリエステルフィルムの粒子含有層が塗布された面側とは反対側の面に、下記に示す剥離層形成用組成物L1をバーコーターで塗布した。形成された塗布膜を100℃の熱風にて乾燥させ、粒子含有層、及び、剥離層を形成した。すなわち、粒子含有層形成用組成物A1、及び、剥離層形成用組成物L1を一軸延伸されたポリエステルフィルムに、インライン塗布した。このとき、後述する横延伸後における、粒子含有層の厚みが60nm、及び、剥離層の厚みが60nmとなるように、粒子含有層形成用組成物A1、及び、剥離層形成用組成物L1の塗布量を調整した。
(Particle-containing layer formation process, peeling layer formation process)
A particle-containing layer forming composition A1 shown below was applied to one side of a polyester film uniaxially stretched in the longitudinal direction (longitudinal stretched polyester film 1) using a bar coater. A release layer forming composition L1 shown below was applied using a bar coater to the surface of the uniaxially stretched polyester film opposite to the surface on which the particle-containing layer was applied. The formed coating film was dried with hot air at 100° C. to form a particle-containing layer and a release layer. That is, the composition A1 for forming a particle-containing layer and the composition L1 for forming a release layer were applied in-line to a uniaxially stretched polyester film. At this time, the particle-containing layer forming composition A1 and the releasing layer forming composition L1 were mixed so that the particle-containing layer had a thickness of 60 nm and the release layer had a thickness of 60 nm after lateral stretching, which will be described later. The amount of application was adjusted.

[粒子含有層形成用組成物A1の調製]
下記に示す各成分を混合することにより、粒子含有混合液Aを調製した。調製された粒子含有混合液Aに対して、孔径が6μmであるフィルター(F20、(株)マーレフィルターシステムズ製)を用いたろ過処理、及び、膜脱気(2×6ラジアルフロースーパーフォビック、ポリポア(株)製)を実施し、粒子含有層形成用組成物A1を得た。
・有機粒子A(MP1000、綜研化学(株)製、非架橋アクリル粒子、固形分100質量%):8質量部
・有機粒子B(Nipol(登録商標)UFN1008、日本ゼオン(株)製、ポリスチレン水分散液、固形分20質量%):8質量部
・アクリル樹脂(メタクリル酸メチル、スチレン、2-エチルヘキシルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート及びアクリル酸を質量比59:8:26:5:2で重合させてなる共重合体の水分散液、固形分濃度25質量%):141質量部
・ウレタン樹脂(スーパーフレックス(登録商標)210、第一工業製薬(株)製、エステル系ウレタン水分散液、固形分濃度35質量%):38質量部
・アニオン性炭化水素系界面活性剤(ラピゾール(登録商標)A-90、スルホコハク酸ジ-2-エチルヘキシルナトリウム、日油(株)製、固形分濃度1質量%水希釈液):12質量部
・カルボジイミド系架橋剤(カルボジライト(登録商標)V-02-L2、日清紡績(株)製、ポリカルボジイミド樹脂に親水性セグメントを付与させた水性架橋剤、固形分濃度40質量%):20質量部
・ベンジルアルコール:4質量部
・水:769質量部
[Preparation of particle-containing layer forming composition A1]
Particle-containing mixed liquid A was prepared by mixing each component shown below. The prepared particle-containing mixture A was subjected to filtration treatment using a filter (F20, manufactured by MAHLE Filter Systems Co., Ltd.) with a pore size of 6 μm, and membrane degassing (2 × 6 radial flow Super Phobic, Polypore Co., Ltd.) was carried out to obtain particle-containing layer forming composition A1.
・Organic particle A (MP1000, manufactured by Soken Kagaku Co., Ltd., non-crosslinked acrylic particles, solid content 100% by mass): 8 parts by mass ・Organic particle B (Nipol (registered trademark) UFN1008, manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd., polystyrene water Dispersion liquid, solid content 20% by mass): 8 parts by mass Acrylic resin (polymerized with methyl methacrylate, styrene, 2-ethylhexyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate and acrylic acid at a mass ratio of 59:8:26:5:2) Aqueous dispersion of a copolymer obtained by making a copolymer, solid content concentration 25% by mass): 141 parts by mass, urethane resin (Superflex (registered trademark) 210, manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., ester-based urethane aqueous dispersion, Solid content concentration 35% by mass): 38 parts by mass Anionic hydrocarbon surfactant (Rapizole (registered trademark) A-90, di-2-ethylhexyl sodium sulfosuccinate, manufactured by NOF Corporation, solid content concentration 1 Mass% water diluted solution): 12 parts by mass, carbodiimide crosslinking agent (Carbodilite (registered trademark) V-02-L2, manufactured by Nisshinbo Co., Ltd., an aqueous crosslinking agent in which a hydrophilic segment is added to a polycarbodiimide resin, solid (concentration 40% by mass): 20 parts by mass, benzyl alcohol: 4 parts by mass, water: 769 parts by mass

[剥離層形成用組成物L1の調製]
下記に示す各成分を混合することにより、混合液Lを調製した。調製された混合液Lに対して、粒子含有層形成用組成物A1と同様のろ過処理、及び、膜脱気を実施し、剥離層形成用組成物L1を得た。
・シリコーンエマルジョン(DEHESIVE(登録商標) EM 480 JP、旭化成ワッカーシリコーン(株)製):200質量部
・シリコーンエマルジョン(CROSSLINKER V72、旭化成ワッカーシリコーン(株)製):30質量部
・シランカップリング剤(KBM-403、信越化学工業(株)製):1質量部
・水:770質量部
[Preparation of composition L1 for forming a peeling layer]
A mixed liquid L was prepared by mixing each component shown below. The prepared mixture L was subjected to the same filtration treatment and membrane degassing as in the composition A1 for forming a particle-containing layer, to obtain a composition L1 for forming a peeling layer.
- Silicone emulsion (DEHESIVE (registered trademark) EM 480 JP, manufactured by Asahi Kasei Wacker Silicone Co., Ltd.): 200 parts by mass - Silicone emulsion (CROSSLINKER V72, manufactured by Asahi Kasei Wacker Silicone Co., Ltd.): 30 parts by mass - Silane coupling agent ( KBM-403, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.): 1 part by mass, water: 770 parts by mass

(横延伸工程)
粒子含有層及び剥離層を備えた縦延伸したポリエステルフィルム1(縦延伸ポリエステルフィルム1)を、縦延伸した方向(長手方向)と直交するフィルム幅方向に下記の条件にて緊張を与え、横延伸した。
<条件>
・予熱温度 :110℃
・延伸温度(横延伸温度) :120℃
・延伸倍率(横延伸倍率) :4.4倍
・延伸応力(横延伸応力) :18MPa
(lateral stretching process)
A longitudinally stretched polyester film 1 (longitudinal stretched polyester film 1) provided with a particle-containing layer and a release layer is subjected to transverse stretching by applying tension in the film width direction perpendicular to the longitudinally stretched direction (longitudinal direction) under the following conditions. did.
<Condition>
・Preheating temperature: 110℃
・Stretching temperature (lateral stretching temperature): 120℃
・Stretching ratio (lateral stretching ratio): 4.4 times ・Stretching stress (lateral stretching stress): 18 MPa

(熱固定工程)
次いで、ポリエステルフィルムの最高到達膜面温度を下記範囲に制御しながら、熱風吹き出しノズルから出る熱風の風速を微調整することによって、幅方向における最高到達膜面温度のバラツキが下記範囲となるように加熱し、結晶化させた(熱固定工程)。このとき、フィルム幅方向の両端部を、フィルム成形工程でキャストドラムと接触したキャスト面側から赤外線ヒータ(ヒータ表面温度:450℃)で輻射加熱した。
・最高到達膜面温度(熱固定温度:T熱固定):下記表1に示す温度〔℃〕
・フィルム幅方向における最高到達膜面温度(熱固定温度:T熱固定)のバラツキ:下記表1に示す温度〔℃〕
なお、上記T熱固定(最高到達膜面温度)及びフィルム幅方向におけるT熱固定のバラツキは、既述の方法にて測定した値である。
(Heat fixation process)
Next, while controlling the maximum membrane surface temperature of the polyester film within the following range, finely adjust the speed of the hot air coming out of the hot air blowing nozzle so that the variation in the maximum membrane surface temperature in the width direction falls within the following range. It was heated and crystallized (heat setting step). At this time, both ends of the film in the width direction were radiantly heated with an infrared heater (heater surface temperature: 450° C.) from the cast surface side that came into contact with the cast drum during the film forming process.
・Maximum film surface temperature (heat setting temperature: T heat setting ): Temperature shown in Table 1 below [℃]
・Variations in the highest film surface temperature (heat setting temperature: T heat setting ) in the film width direction: Temperatures shown in Table 1 below [°C]
Note that the above T heat setting (maximum film surface temperature) and the variation in T heat setting in the film width direction are values measured by the method described above.

(熱緩和工程)
熱固定後のポリエステルフィルムを下記の温度に加熱し、フィルムの緊張を緩和した。このとき、フィルム幅方向の両端部を、熱固定工程と同様にキャスト面側から赤外線ヒータ(ヒータ表面温度:350℃)で輻射加熱した。
・熱緩和温度(T熱緩和):150℃
・熱緩和率:TD方向(フィルム幅方向)=5%
MD方向(フィルム幅方向に直交する方向)=5%
(Thermal relaxation process)
The polyester film after heat setting was heated to the temperature shown below to relieve the tension of the film. At this time, both ends of the film in the width direction were radiantly heated from the cast surface side using an infrared heater (heater surface temperature: 350° C.), similarly to the heat fixing step.
・Thermal relaxation temperature (T thermal relaxation ): 150℃
・Thermal relaxation rate: TD direction (film width direction) = 5%
MD direction (direction perpendicular to the film width direction) = 5%

(冷却工程)
次に、熱緩和後のポリエステルフィルムを冷却速度1500℃/分にて70℃まで冷却した。
(cooling process)
Next, the polyester film after thermal relaxation was cooled to 70°C at a cooling rate of 1500°C/min.

(フィルムの回収)
冷却終了後、ポリエステルフィルムの両端を20cmずつトリミングした。その後、両端に幅10mmで押出し加工(ナーリング)を行なった後、張力25kg/mで巻き取った。
(Film collection)
After cooling, both ends of the polyester film were trimmed by 20 cm. Thereafter, both ends were subjected to extrusion processing (knurling) to a width of 10 mm, and then wound up at a tension of 25 kg/m.

以上のようにして、フィルム幅1.5m、長さ7000m、厚み31μmの剥離フィルムを作製した。
剥離フィルムにおいて、ポリエステル基材の厚みは剥離層の厚みに対して517倍であった。
As described above, a release film having a width of 1.5 m, a length of 7000 m, and a thickness of 31 μm was produced.
In the release film, the thickness of the polyester base material was 517 times the thickness of the release layer.

<実施例2~実施例9、実施例12~実施例14>
剥離フィルムの製造工程、及び剥離フィルムの物性について、表1に記載のように適宜変更したこと以外は、実施例1と同様の方法で、剥離フィルムを作製した。
なお、粒子含有層形成用組成物A1中の樹脂(つまり、バインダー)の種類を変えることで、表1に記載の樹脂を含む粒子含有層を形成した。
<Example 2 to Example 9, Example 12 to Example 14>
A release film was produced in the same manner as in Example 1, except that the manufacturing process of the release film and the physical properties of the release film were appropriately changed as shown in Table 1.
Particle-containing layers containing the resins listed in Table 1 were formed by changing the type of resin (that is, binder) in composition A1 for forming particle-containing layers.

<実施例10>
剥離層を形成しないこと以外は、実施例7と同様にして、粒子含有層とポリエステル基材を含む二軸延伸フィルムを作製した。得られたフィルムを巻き出し、ポリエステル基材の粒子含有層とは反対側の面に、下記の剥離層形成用組成物L2を硬化後の厚みが60nmとなるように塗布した。形成された塗布膜を90℃で乾燥した後、120℃で1分間加熱することにより熱硬化して剥離層を形成し、剥離フィルムを作製した。
<Example 10>
A biaxially stretched film containing a particle-containing layer and a polyester base material was produced in the same manner as in Example 7, except that a release layer was not formed. The obtained film was unrolled, and the following release layer forming composition L2 was applied to the surface of the polyester base opposite to the particle-containing layer so that the thickness after curing was 60 nm. After drying the formed coating film at 90° C., it was thermally cured by heating at 120° C. for 1 minute to form a release layer, thereby producing a release film.

[剥離層形成用組成物L2の調製]
下記に示す各成分を混合することにより、混合液Lを調製した。調製された混合液Lに対して、粒子含有層形成用組成物A1と同様のろ過処理、及び、膜脱気を実施し、剥離層形成用組成物L2を得た。
・アクリル樹脂(メタクリル酸メチル、ステアリルメタクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート及びメタクリル酸を質量比47:26:20:7で重合させてなる共重合体、固形分40質量%トルエン溶液):1.75質量部
・ポリエステル変性シリコーン樹脂(BYK-370、ビックケミー・ジャパン(株)製、固形分濃度25質量%):0.05質量部
・熱重合性化合物(ヘキサメトキシメチルメラミン、東京化成工業(株)製、固形分10質量%):0.25質量部
・酸触媒(p-トルエンスルホン酸、富士フイルム和光純薬(株)製、固形分100質量%):0.02質量部
・メチルエチルケトン:58質量部
・トルエン:40質量部
[Preparation of composition L2 for forming a peeling layer]
A mixed liquid L was prepared by mixing each component shown below. The prepared mixed solution L was subjected to the same filtration treatment and membrane degassing as for the composition A1 for forming a particle-containing layer, to obtain a composition L2 for forming a peeling layer.
・Acrylic resin (copolymer made by polymerizing methyl methacrylate, stearyl methacrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, and methacrylic acid at a mass ratio of 47:26:20:7, solid content 40% by mass toluene solution): 1.75 Part by mass: Polyester-modified silicone resin (BYK-370, manufactured by BYK Chemie Japan Co., Ltd., solid content concentration 25% by mass): 0.05 part by mass - Thermopolymerizable compound (hexamethoxymethylmelamine, Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.) (manufactured by Fujifilm Wako Pure Chemical Industries, Ltd., solid content 10% by mass): 0.25 parts by mass / Acid catalyst (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Fujifilm Wako Pure Chemical Industries, Ltd., solids content 100% by mass): 0.02 parts by mass / Methyl ethyl ketone: 58 Parts by mass/Toluene: 40 parts by mass

<実施例11>
押出成形工程において、ポリエステル樹脂PET-1とポリエステル樹脂PET-5とを共押出しすることにより未延伸フィルムを作製した以外は、実施例10と同様にして、剥離フィルムを作製した。
<Example 11>
A release film was produced in the same manner as in Example 10, except that in the extrusion molding process, an unstretched film was produced by coextruding polyester resin PET-1 and polyester resin PET-5.

<比較例1>
共押出しに用いるポリエステル樹脂を、ポリエステル樹脂PET-3とポリエステル樹脂PET-5とに変更し、熱固定温度:T熱固定を変更し、赤外線ヒータでの輻射加熱を行なわず、さらに、剥離フィルムの厚みを変更したこと以外は、実施例11と同様にして、剥離フィルムを作製した。
<Comparative example 1>
The polyester resins used for coextrusion were changed to polyester resin PET-3 and polyester resin PET-5, the heat setting temperature was changed to T heat setting , radiant heating with an infrared heater was not performed, and the release film was A release film was produced in the same manner as in Example 11 except that the thickness was changed.

<比較例2>
ポリエステル樹脂PET-1をポリエステル樹脂PET-4に変更し、熱固定温度:T熱固定を変更し、赤外線ヒータでの輻射加熱を行わなかったこと以外は、実施例10と同様にして、剥離フィルムを作製した。
<Comparative example 2>
A release film was prepared in the same manner as in Example 10, except that polyester resin PET-1 was changed to polyester resin PET-4, heat setting temperature: T was changed, and radiant heating with an infrared heater was not performed. was created.

<比較例3>
押出成形工程において、ポリエステル樹脂PET-4とポリエステル樹脂PET-5とを共押出しすることにより未延伸フィルムを作製したこと、及び、熱固定温度:T熱固定を変更したこと以外は、実施例7と同様にして、剥離フィルムを作製した。
<Comparative example 3>
Example 7 except that in the extrusion molding process, an unstretched film was produced by co-extruding polyester resin PET-4 and polyester resin PET-5, and that the heat setting temperature: T heat setting was changed. A release film was prepared in the same manner as above.

<比較例4>
共押出しに用いるポリエステル樹脂を、ポリエステル樹脂PET-1とポリエステル樹脂PET-5とに変更し、熱固定温度:T熱固定を変更し、赤外線ヒータでの輻射加熱を行わず、さらに、剥離フィルムの厚みを変更したこと以外は、比較例3と同様にして、剥離フィルムを作製した。
<Comparative example 4>
The polyester resins used for coextrusion were changed to polyester resin PET-1 and polyester resin PET-5, the heat setting temperature was changed to T heat setting , radiant heating with an infrared heater was not performed, and the release film was A release film was produced in the same manner as Comparative Example 3 except that the thickness was changed.

表1に記載の各成分の詳細は以下のとおりである。
なお、PET-1~PET-5は、上述の、ポリエステル樹脂PET-1~ポリエステル樹脂PET-5である。
Details of each component listed in Table 1 are as follows.
Note that PET-1 to PET-5 are the above-mentioned polyester resin PET-1 to polyester resin PET-5.

(樹脂)
・アクリル:アクリル樹脂(メタクリル酸メチル、スチレン、2-エチルヘキシルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート及びアクリル酸を質量比59:8:26:5:2で重合させてなる共重合体
・ウレタン:ウレタン樹脂(スーパーフレックス(登録商標)210、第一工業製薬(株)製、エステル系ウレタン水分散液)
・オレフィン:オレフィン樹脂(ザイクセンNC、住友精化(株)製)
(resin)
・Acrylic: Acrylic resin (copolymer made by polymerizing methyl methacrylate, styrene, 2-ethylhexyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, and acrylic acid at a mass ratio of 59:8:26:5:2 ・Urethane: Urethane resin (Superflex (registered trademark) 210, manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., ester-based urethane aqueous dispersion)
・Olefin: Olefin resin (Zaixen NC, manufactured by Sumitomo Seika Co., Ltd.)

<測定>
作製した剥離フィルムを用いて、以下のような各種測定を行った。測定の結果は下記表1に示す。
<Measurement>
The following various measurements were performed using the produced release film. The measurement results are shown in Table 1 below.

(1)DSCで測定されるプレピーク温度、固有粘度、及び剥離層の厚み
剥離フィルムのDSCで測定されるプレピーク温度、固有粘度、及び剥離層の厚みについては、既述の方法にて、測定した。
(1) Pre-peak temperature, intrinsic viscosity, and thickness of the release layer measured by DSC The pre-peak temperature, intrinsic viscosity, and thickness of the release layer measured by DSC of the release film were measured by the method described above. .

(2)結晶化度のバラツキ
剥離フィルムのフィルム全幅に対して、中央部1点、両端2点の合計3点を、幅方向30mm、長手方向120mmで切出し、測定試料3点を得た。測定試料3点について、結晶化度を測定し、中央部の測定試料の結晶化度から両端の測定試料の結晶化度のうち値の小さい方の結晶化度を減算することにより、フィルム幅方向における結晶化度のバラツキを算出した。このとき、結晶化度は、フィルムの密度から算出した。
具体的には、フィルムの密度X(g/cm)、結晶化度0%での密度Y(g/cm)、結晶化度100%での密度Z(g/cm)を用いて、下記の計算式により結晶化度Xc(%)を導出した。なお、密度の測定は、JIS K 7112:1999に準じて測定を行なった。
Xc={Z×(X-Y)}/{X×(Z-Y)}×100
(2) Variation in Crystallinity A total of 3 points, 1 point in the center and 2 points at both ends, were cut out from the entire width of the release film at a width of 30 mm and a length of 120 mm to obtain 3 measurement samples. By measuring the crystallinity of the three measurement samples and subtracting the smaller crystallinity of the measurement samples at both ends from the crystallinity of the measurement sample at the center, The variation in crystallinity was calculated. At this time, the degree of crystallinity was calculated from the density of the film.
Specifically, using the density X (g/cm 3 ) of the film, the density Y (g/cm 3 ) at 0% crystallinity, and the density Z (g/cm 3 ) at 100% crystallinity. The degree of crystallinity Xc (%) was derived using the following calculation formula. Note that the density was measured according to JIS K 7112:1999.
Xc={Z×(X-Y)}/{X×(Z-Y)}×100

(3)熱収縮率のバラツキ
剥離フィルムを裁断し、幅方向30mm、長手方向120mmの大きさのサンプル片Mを得た。サンプル片Mに対し、長手方向で100mmの間隔となるように2本の基準線を入れ、無張力下で150℃の加熱オーブン中に30分間放置した。放置後、サンプル片Mを室温まで冷却して2本の基準線の間隔を測定し、この値をAmmとし、「100×(100-A)/100」を計算し、得られた値を長手方向における熱収縮率とした。
また、長手方向30mm、幅方向120mmの大きさのサンプル片Lを得、このサンプル片Lに対して、幅方向で100mmの間隔となるように2本の基準線を入れ、サンプル片Mと同様にして測定と計算とを行ない、得られた値を幅方向における熱収縮率とした。
上記の操作を、剥離フィルムのフィルム全幅に対して、中央部1点、両端2点の合計3点を切出したサンプルを用いて行ない、中央部の熱収縮率から両端の熱収縮率のうち中央部の熱収縮率との差が大きい方の熱収縮率を減算して絶対値を求め、長手方向(MD)と幅方向(TD)の各々における熱収縮率のバラツキとした。
(3) Variation in heat shrinkage rate The release film was cut to obtain a sample piece M having a size of 30 mm in the width direction and 120 mm in the longitudinal direction. Two reference lines were placed on the sample piece M at a distance of 100 mm in the longitudinal direction, and the sample piece M was left in a heating oven at 150° C. for 30 minutes without tension. After standing, the sample piece M is cooled to room temperature, the distance between the two reference lines is measured, this value is set as Amm, "100 x (100-A)/100" is calculated, and the obtained value is calculated as the longitudinal direction. It was defined as the thermal shrinkage rate in the direction.
In addition, a sample piece L with a size of 30 mm in the longitudinal direction and 120 mm in the width direction was obtained, and two reference lines were inserted into this sample piece L at an interval of 100 mm in the width direction. Measurement and calculation were carried out using the following methods, and the obtained value was taken as the heat shrinkage rate in the width direction.
The above operation was performed using a sample that was cut out from three points in total, one point in the center and two points at both ends, from the entire width of the release film. The absolute value was obtained by subtracting the heat shrinkage ratio with a larger difference from the heat shrinkage ratio of the other parts, and the variation in the heat shrinkage ratio in each of the longitudinal direction (MD) and the width direction (TD) was determined.

(4)厚みの測定
剥離フィルムに対して、接触式膜厚測定計(アンリツ社製)を用い、異なる位置にて5点、厚みを測定した。得られた測定値の算術平均値を求め、これを剥離フィルムの厚みとした。
(4) Measurement of thickness The thickness of the release film was measured at five different positions using a contact film thickness meter (manufactured by Anritsu Corporation). The arithmetic mean value of the obtained measured values was determined, and this was taken as the thickness of the release film.

作製した剥離フィルムを用いて、粒子含有層における局所突起、厚みムラ、及びセラミックグリーンシートにおける凹凸欠陥に関する評価を行った。評価方法は以下のとおりである。 Using the prepared release film, evaluations were made regarding local protrusions and thickness unevenness in the particle-containing layer, and unevenness defects in the ceramic green sheet. The evaluation method is as follows.

<局所突起>
作製された剥離フィルムの粒子含有層表面を、光学干渉計(Vertscan 3300G Lite、(株)日立ハイテク製)を用いて下記の条件で測定し、その後、内蔵されているデータ解析ソフト(VS-Measure5)にて解析した。
測定位置を変えた100回の測定を行い、高さが50nmを超える突起の合計数を求めた。
(測定条件)
・測定モード:WAVEモード
・対物レンズ:50倍
・測定面積:186μm×155μm
<Local protrusion>
The surface of the particle-containing layer of the prepared release film was measured using an optical interferometer (Vertscan 3300G Lite, manufactured by Hitachi High-Tech Corporation) under the following conditions, and then the built-in data analysis software (VS-Measure5 ) was analyzed.
Measurements were performed 100 times at different measurement positions, and the total number of protrusions with a height exceeding 50 nm was determined.
(Measurement condition)
・Measurement mode: WAVE mode ・Objective lens: 50x ・Measurement area: 186μm x 155μm

(評価基準)
A:最大突起高さSpが800nm以下であり、高さが50nmを超える突起の合計数が0個~2個
B:最大突起高さSpが800nm以下であり、高さが50nmを超える突起の合計数が3個~9個
C:最大突起高さSpが800nm超であるか、又は、高さが50nmを超える突起の合計数が10個以上
(Evaluation criteria)
A: The maximum protrusion height Sp is 800 nm or less, and the total number of protrusions exceeding 50 nm is 0 to 2. B: The maximum protrusion height Sp is 800 nm or less, and the total number of protrusions exceeds 50 nm. The total number of protrusions is 3 to 9. C: The maximum protrusion height Sp is over 800 nm, or the total number of protrusions with a height exceeding 50 nm is 10 or more.

<厚みムラ>
(黒色スラリーの調製)
黒色スラリーは、下記に示す各成分を混合し、ボールミルで分散することにより調製した。
・ポリビニルブチラール(積水化学工業(株)製、エスレックBX-5):5質量部
・特許第5320652号公報の段落[0036]~[0042]の記載に従って作製した樹脂被覆カーボンブラック:10質量部
・トルエン及びエタノール質量比6:4の混合溶剤:45質量部
<Uneven thickness>
(Preparation of black slurry)
A black slurry was prepared by mixing the components shown below and dispersing the mixture using a ball mill.
・Polyvinyl butyral (manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., S-LEC BX-5): 5 parts by mass ・Resin-coated carbon black produced according to the description in paragraphs [0036] to [0042] of Patent No. 5320652: 10 parts by mass Mixed solvent of toluene and ethanol mass ratio 6:4: 45 parts by mass

各実施例及び比較例で作製された剥離フィルムを70m/分で搬送しながら、スリット状ノズルを用いて、上記黒色スラリーを、乾燥後の厚みが0.5μmになるように剥離層上に塗布した後、90℃の温度条件下で塗布膜を乾燥し、黒色層を形成した。
黒色層を設けた剥離フィルムをライトテーブルに置き、剥離フィルムから1m離れた位置で黒色層の色ムラを目視で観察し、下記評価基準に従って評価した。
While conveying the release film produced in each example and comparative example at 70 m/min, the above black slurry was applied onto the release layer using a slit-shaped nozzle so that the thickness after drying was 0.5 μm. After that, the coating film was dried under a temperature condition of 90° C. to form a black layer.
The release film provided with the black layer was placed on a light table, and the color unevenness of the black layer was visually observed at a position 1 m away from the release film, and evaluated according to the following evaluation criteria.

(評価基準)
A:黒色層の色ムラが確認されない。
B:黒色層の色ムラがわずかに確認された。
C:黒色層の色ムラがはっきりと確認された。
上記黒色層の色ムラが確認されない場合には、黒色層の厚みが均一、すなわち、厚みムラが生じていないことを示している。なお、色ムラが確認されない黒色層を形成できる剥離フィルムを用いることで、セラミックグリーンシートの全体的な厚みムラを抑制することができると推測される。
(Evaluation criteria)
A: No color unevenness in the black layer is observed.
B: Slight color unevenness in the black layer was observed.
C: Color unevenness in the black layer was clearly observed.
When no color unevenness of the black layer is confirmed, it means that the thickness of the black layer is uniform, that is, there is no thickness unevenness. Note that it is presumed that by using a release film that can form a black layer with no visible color unevenness, it is possible to suppress overall thickness unevenness of the ceramic green sheet.

<凹凸欠陥>
(セラミックスラリーの調製)
セラミックとしてのチタン酸バリウム粉末(BaTiO;堺化学工業(株)製、製品名「BT-03」)100質量部、バインダーとしてのポリビニルブチラール樹脂(製品名「エスレック(登録商標)B・K BM-2」、積水化学工業(株)製)8質量部、可塑剤としてのフタル酸ジオクチル(製品名「フタル酸ジオクチル 鹿1級」、関東化学(株)製)4質量部、並びに、トルエン及びエタノールの混合液(質量比6:4)135質量部を混合した。ジルコニアビーズの存在下でボールミルを用いて混合液を分散させ、得られた分散液からビーズを除去することにより、セラミックスラリーを得た。
<Uneven defects>
(Preparation of ceramic slurry)
100 parts by mass of barium titanate powder (BaTiO 3 ; manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., product name "BT-03") as a ceramic, polyvinyl butyral resin as a binder (product name "S-LEC (registered trademark) B・K BM") -2'', manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.), 8 parts by weight, 4 parts by weight of dioctyl phthalate as a plasticizer (product name ``Dioctyl phthalate Shika 1 grade'', manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd.), and toluene and 135 parts by mass of an ethanol mixture (mass ratio 6:4) was mixed. A ceramic slurry was obtained by dispersing the mixture using a ball mill in the presence of zirconia beads and removing the beads from the resulting dispersion.

各実施例及び各比較例で得られた剥離フィルムを幅250mm及び長さ10mに切断した。切断した剥離フィルムを、常温常湿(23℃、50%RH)下で12カ月間した。保管した後の剥離フィルムの剥離面全面に、下記のセラミックスラリーをダイコーターにて乾燥後の膜厚が1μmになるように塗工した。その後、得られた塗膜を乾燥機にて100℃で2分間乾燥させた。これにより、剥離フィルムと、セラミックを含有する層と、を含む積層体を得た。セラミックを含有する層は、積層体から剥離フィルムを剥離した後にセラミックグリーンシートとなることから、以下、積層体を、セラミックグリーンシート付き剥離フィルムという。
セラミックグリーンシート付き剥離フィルムを一度ロール状に巻き取った。その後、巻き出したセラミックグリーンシート付き剥離フィルムの剥離フィルム側から蛍光灯を照らして、セラミックグリーンシートの表面における1mの領域を目視で観察し、ピンホール等の凹凸欠陥の有無を確認した。確認された凹凸欠陥の数に基づいて、凹凸欠陥を評価した。評価基準は以下のとおりである。
The release films obtained in each Example and each Comparative Example were cut to a width of 250 mm and a length of 10 m. The cut release film was kept at room temperature and humidity (23° C., 50% RH) for 12 months. After storage, the following ceramic slurry was applied to the entire surface of the release film using a die coater so that the film thickness after drying was 1 μm. Thereafter, the obtained coating film was dried in a dryer at 100°C for 2 minutes. Thereby, a laminate including a release film and a ceramic-containing layer was obtained. Since the ceramic-containing layer becomes a ceramic green sheet after the release film is peeled off from the laminate, the laminate is hereinafter referred to as a release film with a ceramic green sheet.
The release film with the ceramic green sheet was once wound up into a roll. Thereafter, a fluorescent lamp was illuminated from the release film side of the unwound release film with ceramic green sheet, and a 1 m 2 area on the surface of the ceramic green sheet was visually observed to check for uneven defects such as pinholes. The unevenness defects were evaluated based on the number of confirmed unevenness defects. The evaluation criteria are as follows.

(評価基準)
A:セラミックグリーンシートに凹凸欠陥が確認されなかった。
B:セラミックグリーンシートに1個~9個の凹凸欠陥が確認された。
C:セラミックグリーンシートに10個以上の凹凸欠陥が確認された。
(Evaluation criteria)
A: No unevenness defects were observed on the ceramic green sheet.
B: One to nine uneven defects were confirmed on the ceramic green sheet.
C: Ten or more uneven defects were confirmed on the ceramic green sheet.

評価結果を表1に示す。
表1中、粒子含有層の形成方法が「インライン」と表記されていれば、上述の実施例1と同様、縦延伸工程と横延伸工程との間に、粒子含有層形成工程を行ったことを意味する。粒子含有層の形成方法が「共押出し」と表記されていれば、押出成形工程の際に、共押出しにて、未延伸のポリエステルフィルムと粒子含有層とを形成したことを意味する。
また、剥離層の形成工程が「インライン」と表記されていれば、上述の実施例1と同様、縦延伸工程と横延伸工程との間に、剥離層形成工程を行ったことを意味する。剥離層の形成工程が「オフライン」と表記されていれば、粒子含有層とポリエステル基材を含む二軸延伸フィルムを作製し、これを巻き取り、続いて、巻き出した後に、剥離層を形成したことを意味する。
The evaluation results are shown in Table 1.
In Table 1, if the formation method of the particle-containing layer is described as "in-line", it means that the particle-containing layer forming step was performed between the longitudinal stretching step and the horizontal stretching step, as in Example 1 above. means. If the method for forming the particle-containing layer is described as "coextrusion," it means that the unstretched polyester film and the particle-containing layer were formed by coextrusion during the extrusion molding process.
Furthermore, if the release layer forming step is described as "in-line", it means that the release layer forming step was performed between the longitudinal stretching step and the lateral stretching step, as in Example 1 above. If the process for forming a release layer is described as "off-line", a biaxially stretched film containing a particle-containing layer and a polyester base material is prepared, the film is wound up, and the release layer is formed after unrolling. It means what you did.

実施例1~実施例14の剥離フィルムによれば、黒色層の色ムラが少なく、厚みムラが低減されたセラミックグリーンシートを製造することができるものと推測される。また、実施例1~実施例14の剥離フィルムによれば、凹凸欠陥の少ないセラミックグリーンシートを製造することができた。 It is presumed that the release films of Examples 1 to 14 can produce ceramic green sheets with less color unevenness in the black layer and reduced thickness unevenness. Further, according to the release films of Examples 1 to 14, ceramic green sheets with fewer uneven defects could be produced.

一方、比較例1、2の剥離フィルムは、DSCで測定されるプレピーク温度が225℃超であり、幅方向における結晶化度のバラツキが5.0%超であることから、厚みムラが大きいセラミックグリーンシートが製造されるものと推測され、更に、製造したセラミックグリーンシートに凹凸欠陥が多く見られた。
比較例3の剥離フィルムは、幅方向における結晶化度のバラツキが5.0%以下であるものの、DSCで測定されるプレピーク温度が225℃超であることから、製造したセラミックグリーンシートに凹凸欠陥が多く見られた。
比較例4の剥離フィルムは、DSCで測定されるプレピーク温度が160℃未満であり、幅方向における結晶化度のバラツキが5.0%超であることから、厚みムラが大きいセラミックグリーンシートが製造されるものと推測された。
On the other hand, the release films of Comparative Examples 1 and 2 have a pre-peak temperature of over 225°C measured by DSC and a variation in crystallinity in the width direction of over 5.0%, so the release films of Comparative Examples 1 and 2 are ceramics with large thickness irregularities. It is assumed that a green sheet was produced, and furthermore, many uneven defects were observed in the produced ceramic green sheet.
Although the release film of Comparative Example 3 has a variation in crystallinity in the width direction of 5.0% or less, the pre-peak temperature measured by DSC is over 225°C, so the produced ceramic green sheet has unevenness defects. were seen frequently.
The release film of Comparative Example 4 had a pre-peak temperature of less than 160°C as measured by DSC, and the variation in crystallinity in the width direction was more than 5.0%, so a ceramic green sheet with large thickness unevenness was produced. It was assumed that this would happen.

10:セラミックグリーンシート
12:セラミックグリーンシートの一方の表面
10: Ceramic green sheet 12: One surface of ceramic green sheet

Claims (10)

ポリエステル基材と剥離層とを含むセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムであって、
1m以上のフィルム幅を有し、
前記ポリエステル基材の厚みが前記剥離層の厚みに対して40倍以上であり、
示差走査熱量測定で測定されるプレピーク温度が160℃以上225℃以下であり、
前記フィルム幅方向における結晶化度のバラツキが5.0%以下である、
セラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
A release film for producing ceramic green sheets comprising a polyester base material and a release layer,
Having a film width of 1 m or more,
The thickness of the polyester base material is 40 times or more the thickness of the release layer,
The pre-peak temperature measured by differential scanning calorimetry is 160°C or more and 225°C or less,
The variation in crystallinity in the film width direction is 5.0% or less,
Release film for ceramic green sheet production.
前記フィルム幅方向に直交する方向における熱収縮率のバラツキ、及び、前記フィルム幅方向における熱収縮率のバラツキが、いずれも0.03%~0.50%である、請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。 The ceramic according to claim 1, wherein a variation in heat shrinkage rate in a direction perpendicular to the film width direction and a variation in heat shrinkage rate in the film width direction are both 0.03% to 0.50%. Release film for green sheet production. 固有粘度(IV)が0.65dL/g以上である、請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。 The release film for producing ceramic green sheets according to claim 1, having an intrinsic viscosity (IV) of 0.65 dL/g or more. 前記ポリエステル基材が実質的に粒子を含まない、請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。 The release film for producing ceramic green sheets according to claim 1, wherein the polyester substrate is substantially free of particles. さらに粒子含有層を含み、
前記剥離層、前記ポリエステル基材、及び前記粒子含有層をこの順に含む、請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。
further including a particle-containing layer,
The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 1, comprising the release layer, the polyester base material, and the particle-containing layer in this order.
前記粒子含有層が非ポリエステル樹脂を含む、請求項5に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。 The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 5, wherein the particle-containing layer contains a non-polyester resin. 前記非ポリエステル樹脂が、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、及びオレフィン樹脂からなる群より選択される少なくとも1種の樹脂である、請求項6に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。 The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 6, wherein the non-polyester resin is at least one resin selected from the group consisting of acrylic resin, urethane resin, and olefin resin. 前記粒子含有層の最大突起高さSpが800nm以下である、請求項5に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルム。 The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 5, wherein the particle-containing layer has a maximum protrusion height Sp of 800 nm or less. ポリエステル基材と剥離層とを含むセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法であって、
1m以上のフィルム幅を有するポリエステルフィルムを加熱する熱固定工程を含み、
前記熱固定工程において、ポリエステルフィルムの最高到達膜面温度を160℃以上225℃以下の範囲に制御し、かつ、フィルム幅方向における最高到達膜面温度のバラツキを5.0℃以下として加熱する、セラミックグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法。
A method for producing a release film for producing a ceramic green sheet comprising a polyester base material and a release layer, the method comprising:
Including a heat setting step of heating a polyester film having a film width of 1 m or more,
In the heat-setting step, the maximum film surface temperature of the polyester film is controlled in the range of 160 ° C. or more and 225 ° C. or less, and the dispersion of the maximum film surface temperature in the film width direction is controlled to be 5.0 ° C. or less. A method for producing a release film for producing ceramic green sheets.
請求項1~請求項8のいずれか1項に記載のセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムと、セラミックを含む層と、を含む、積層体。
A laminate comprising the release film for producing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 8, and a layer containing ceramic.
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