JP2023146062A - エンコーダーユニットの状態検出方法、エンコーダーユニットおよびロボットシステム - Google Patents

Abstract

【課題】エンコーダーユニットの状態を容易に検出することができるエンコーダーユニットの状態検出方法、エンコーダーユニットおよびロボットシステムを提供すること。【解決手段】モーターの回転軸に接続されている主軸歯車と、前記主軸歯車と噛合する第１副軸歯車および第２副軸歯車とを有し、前記回転軸の回転数を検出する第１エンコーダーと、前記回転軸の回転角度を検出する第２エンコーダーと、を備えるエンコーダーユニットの状態検出方法であって、前記第１エンコーダーの出力した値を用いて前記第１副軸歯車の回転角度θ１を取得し、前記第２エンコーダーの出力した値を用いて前記回転軸の回転角度θ２を取得し、前記回転角度θ２に基づいて前記第１副軸歯車の回転理論角度θ１ｔを取得し、前記回転角度θ１および前記回転理論角度θ１ｔを比較して前記エンコーダーユニットの状態を検出する。【選択図】図３

Description

本発明は、エンコーダーユニットの状態検出方法、エンコーダーユニットおよびロボットシステムに関する。

特許文献１には、光学式エンコーダーおよび磁気式エンコーダーの出力からモーターの回転軸の回転角度を検出するエンコーダーユニットが記載されている。

特開２０１５－０３１５１１号公報

しかしながら、特許文献１のエンコーダーユニットでは、エンコーダーユニットの状態、特に、正常／異常を検出することができないという課題があった。

本発明のエンコーダーユニットの状態検出方法は、モーターの回転軸に接続されている主軸歯車と、前記主軸歯車と噛合する第１副軸歯車および第２副軸歯車とを有し、前記回転軸の回転数を検出する第１エンコーダーと、前記回転軸の回転角度を検出する第２エンコーダーと、を備えるエンコーダーユニットの状態検出方法であって、
前記第１エンコーダーの出力した値を用いて前記第１副軸歯車の回転角度θ１を取得し、
前記第２エンコーダーの出力した値を用いて前記回転軸の回転角度θ２を取得し、
前記回転角度θ２に基づいて前記第１副軸歯車の回転理論角度θ１ｔを取得し、
前記回転角度θ１および前記回転理論角度θ１ｔを比較して前記エンコーダーユニットの状態を検出する。

本発明のエンコーダーユニットは、モーターの回転軸に接続されている主軸歯車と、前記主軸歯車と噛合する第１副軸歯車および第２副軸歯車とを有し、前記回転軸の回転数を検出する第１エンコーダーと、前記回転軸の回転角度を検出する第２エンコーダーと、処理装置と、を有し、
前記処理装置は、前記第１エンコーダーの出力した値を用いて前記第１副軸歯車の回転角度θ１を取得し、前記第２エンコーダーの出力した値を用いて前記回転軸の回転角度θ２を取得し、前記回転角度θ２に基づいて前記第１副軸歯車の回転理論角度θ１ｔを取得し、前記回転角度θ１および前記回転理論角度θ１ｔを比較して前記エンコーダーユニットの状態を検出する。

本発明のロボットシステムは、第１部材と、前記第１部材に対して変位する第２部材と、前記第１部材に対する前記第２部材の変位量を検出するエンコーダーユニットと、を備えるロボットと、
前記ロボットの駆動を制御する制御装置と、を有し、
前記エンコーダーユニットは、モーターの回転軸に接続されている主軸歯車と、前記主軸歯車と噛合する第１副軸歯車および第２副軸歯車とを有し、前記回転軸の回転数を検出する第１エンコーダーと、前記回転軸の回転角度を検出する第２エンコーダーと、を有し、
前記制御装置は、前記第１エンコーダーの出力した値を用いて前記第１副軸歯車の回転角度θ１を取得し、前記第２エンコーダーの出力した値を用いて前記回転軸の回転角度θ２を取得し、前記回転角度θ２に基づいて前記第１副軸歯車の回転理論角度θ１ｔを取得し、前記回転角度θ１および前記回転理論角度θ１ｔを比較して前記エンコーダーユニットの状態を検出する。

本発明の実施形態に係るロボットシステムを示す全体図である。 駆動装置の断面図である。 エンコーダーユニットの状態検出工程を示すフローチャートである。 判定工程にて用いるテーブルを示す図である。 参考例に係るエンコーダーユニットの状態検出工程を示すフローチャートである。 判定工程にて用いるテーブルを示す図である。

以下、本発明のエンコーダーユニットの状態検出方法、エンコーダーユニットおよびロボットシステムを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。

図１は、本発明の実施形態に係るロボットシステムを示す全体図である。図２は、駆動装置の断面図である。図３は、エンコーダーユニットの状態検出工程を示すフローチャートである。図４は、判定工程にて用いるテーブルを示す図である。なお、以下では、説明の便宜上、図２中の上側を「上」、下側を「下」ともいう。

図１に示すロボットシステム１は、精密機器やこれを構成する部品の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボットシステム１は、所定の作業を実行するロボット２と、ロボット２の駆動を制御する制御装置３と、を有する。

ロボット２は、６軸ロボットである。ロボット２は、床、壁、天井等に固定されているベース２０と、ベース２０に接続されているロボットアーム２１と、ロボットアーム２１の先端に装着されているエンドエフェクター２２と、を有している。また、ロボットアーム２１は、ベース２０に回動自在に連結されているアーム２１１と、アーム２１１に回動自在に連結されているアーム２１２と、アーム２１２に回動自在に連結されているアーム２１３と、アーム２１３に回動自在に連結されているアーム２１４と、アーム２１４に回動自在に連結されているアーム２１５と、アーム２１５に回動自在に連結されているアーム２１６と、を有している。そして、アーム２１６にエンドエフェクター２２が装着されている。

ただし、ロボット２の構成は、特に限定されず、例えば、アームの数は、１本以上５本以下であってもよいし７本以上であってもよい。また、例えば、ロボット２は、スカラーロボット、双腕ロボット等であってもよい。

ロボット２は、ベース２０に対してアーム２１１を回動させる駆動装置４１と、アーム２１１に対してアーム２１２を回動させる駆動装置４２と、アーム２１２に対してアーム２１３を回動させる駆動装置４３と、アーム２１３に対してアーム２１４を回動させる駆動装置４４と、アーム２１４に対してアーム２１５を回動させる駆動装置４５と、アーム２１５に対してアーム２１６を回動させる駆動装置４６と、を有している。これら駆動装置４１～４６は、それぞれ、制御装置３によって独立して制御される。

制御装置３は、ケーブル９で、例えばベース２０と接続されている。制御装置３は、図示しないが、ベース２０からロボット２の内部または外部を通って、ケーブル９と駆動装置４１～４６とは、ケーブルまたは無線通信により接続されている。すなわち、制御装置３と駆動装置４１～４６とは、通信可能に接続されている。

制御装置３は、図示しないホストコンピューターからの位置指令を受けて、各アーム２１１～２１６が前記位置指令に応じた位置となるように駆動装置４１～４６の駆動を制御する。制御装置３は、例えば、コンピューターから構成され、情報を処理するプロセッサー（ＣＰＵ）と、プロセッサーに通信可能に接続されたメモリーと、外部インターフェースと、を有する。また、メモリーにはプロセッサーにより実行可能な各種プログラムが保存され、プロセッサーは、メモリーに記憶された各種プログラム等を読み込んで実行することができる。なお、制御装置３は、ベース２０内部に収容される構成でもよい。

次に、駆動装置４１～４６について説明するが、これらは互いに同様の構成であるため、以下では、駆動装置４１について代表して説明し、その他の駆動装置４２～４６については、その説明を省略する。図２に示すように、駆動装置４１は、モーター５と、モーター５の回転軸の回転状態を検出するエンコーダーユニット６と、を有している。

モーター５は、２相ＡＣブラシレスモーター、３相ＡＣブラシレスモーター、３相同期モーター等の各種モーターである。モーター５は、軸線Ｊに沿って配置されている回転軸５１と、回転軸５１に固定されているローター５２と、ローター５２の周囲に配置されているステーター５３と、これらを収納すると共にステーター５３を支持する筒状のハウジング５４と、回転軸５１をハウジング５４に対して軸線Ｊまわりに回転可能に支持する軸受５５、５６と、を有している。また、ハウジング５４は、第１部材Ｒ１としてのベース２０に固定されている。また、回転軸５１のエンコーダーユニット６とは反対側の端部には第２部材Ｒ２としてのアーム２１１が接続されている。これにより、モーター５の出力がベース２０からアーム２１１に伝達され、ベース２０に対してアーム２１１が回動する。なお、回転軸５１は、必要に応じて減速機等の歯車装置を介してアーム２１１に接続されていてもよい。

エンコーダーユニット６は、モーター５の上側に配置されている。エンコーダーユニット６は、第２エンコーダーとしての回転角度検出型の光学式エンコーダー６１と、第１エンコーダーとしての多回転検出型の磁気式エンコーダー６２と、基板６３と、を有している。そして、これらがハウジング５４に固定されているハウジング６０内に収納されている。また、モーター５側から光学式エンコーダー６１、基板６３、磁気式エンコーダー６２の順で軸線Ｊに沿って配置されている。

ただし、これら各部の配置は、特に限定されない。例えば、モーター５側から磁気式エンコーダー６２、基板６３、光学式エンコーダー６１の順で軸線Ｊに沿って配置されていてもよい。また、例えば、光学式エンコーダー６１と磁気式エンコーダー６２とがモーター５を挟んで反対側に位置していてもよい。

光学式エンコーダー６１は、反射型の光学式エンコーダーであり、モーター５の回転軸５１に固定されている光学スケール６１１と、光学スケール６１１の回転状態を検出する光学センサー６１２と、を有している。これにより、第２エンコーダーの構成が簡単となる。光学式エンコーダー６１において検出される回転状態とは、回転角度である。

光学スケール６１１は、回転軸５１と共に軸線Ｊまわりに回転する。光学スケール６１１は、モーター５の回転軸５１に固定されているハブ６１１ａと、ハブ６１１ａに固定されているディスク６１１ｂと、を有している。ディスク６１１ｂの上面には、ディスク６１１ｂの回転角度や回転速度を検出し得る図示しない検出用パターンが形成されている。検出用パターンとしては、特に限定されず、例えば、軸線Ｊを中心とする周方向に沿って、光の反射率の異なる２つの領域つまり反射領域と非反射領域とが交互に並ぶパターンが挙げられる。

光学センサー６１２は、ディスク６１１ｂの上側にディスク６１１ｂと離間して配置されている。光学センサー６１２は、ディスク６１１ｂ上の検出用パターンに向けて光Ｌを出射する発光素子６１２ａと、検出用パターンで反射した光Ｌを受光する受光素子６１２ｂと、を有している。発光素子６１２ａは、例えば、レーザダイオード、発光ダイオードであり、受光素子６１２ｂは、例えば、フォトダイオードである。このような構成の光学式エンコーダー６１では、ディスク６１１ｂの軸線Ｊまわりの回転に伴って受光素子６１２ｂからの出力信号の波形が変化する。そのため、この出力信号に基づいて、ディスク６１１ｂの３６０°範囲内での回転角度θを検出することができる。

光学式エンコーダー６１を反射型の光学式エンコーダーとすることにより、その構成が簡単となる。また、反射型とすることにより、発光素子６１２ａおよび受光素子６１２ｂを光学スケール６１１の一方側にまとめて配置することができるため、例えば、光学スケール６１１を挟んで発光素子６１２ａと受光素子６１２ｂとを配置し、発光素子６１２ａから出射され、光学スケール６１１を透過した光を受光素子６１２ｂが受光する透過型の光学式エンコーダーと比べて、光学式エンコーダー６１の薄型化を図ることができる。ただし、光学式エンコーダー６１としては、反射型のものに限定されず、前述した透過型のものであってもよい。また、例えば、撮像素子を用いたテンプレートマッチングにより回転角度θを検出する撮像型の光学式エンコーダーであってもよい。この場合、発光素子６１２ａを検出用パターンの照明として用い、受光素子６１２ｂに替えてカメラ等の撮像素子を配置すればよい。

磁気式エンコーダー６２は、光学センサー６１２の上側に配置されている。磁気式エンコーダー６２は、回転軸５１に固定されている主軸歯車６２１と、主軸歯車６２１に噛合する第１、第２副軸歯車６２２ａ、６２２ｂと、第１、第２副軸歯車６２２ａ、６２２ｂに固定されている第１、第２磁石６２３ａ、６２３ｂと、第１、第２磁石６２３ａ、６２３ｂの回転状態を検出する第１、第２磁気センサー６２４ａ、６２４ｂと、を有している。磁気式エンコーダー６２において検出される回転状態とは、回転角度である。

主軸歯車６２１は、回転軸５１と共に軸線Ｊまわりに回転する。第１副軸歯車６２２ａは、軸線Ｊに平行な軸線Ｊ１まわりに回転可能に軸支され、主軸歯車６２１に従動して主軸歯車６２１との歯車比に応じた回転量で回転する。同様に、第２副軸歯車６２２ｂは、軸線Ｊに平行な軸線Ｊ２まわりに回転可能に軸支され、主軸歯車６２１に従動して主軸歯車６２１との歯車比に応じた回転量で回転する。主軸歯車６２１、第１副軸歯車６２２ａおよび第２副軸歯車６２２ｂの歯数は、互いに異なっており、特に本実施形態では互いに素の関係となっている。また、第１、第２副軸歯車６２２ａ、６２２ｂは、主軸歯車６２１を介して対向配置されている。ただし、第１、第２副軸歯車６２２ａ、６２２ｂの配置は、特に限定されない。

第１磁石６２３ａは、第１副軸歯車６２２ａに固定されている。そのため、第１磁石６２３ａは、第１副軸歯車６２２ａと共に軸線Ｊ１まわりに回転する。同様に、第２磁石６２３ｂは、第２副軸歯車６２２ｂに固定されている。そのため、第２磁石６２３ｂは、第２副軸歯車６２２ｂと共に軸線Ｊ２まわりに回転する。第１、第２磁石６２３ａ、６２３ｂは、例えば、ネオジム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石等の永久磁石であり、軸線Ｊ１、Ｊ２まわりの回転に伴って磁界の方向が変化するように配置されている。

第１、第２磁気センサー６２４ａ、６２４ｂは、第１、第２磁石６２３ａ、６２３ｂの下側に配置されている。このうち、第１磁気センサー６２４ａは、第１磁石６２３ａと対向して配置され、第１磁石６２３ａの磁界の方向つまり第１副軸歯車６２２ａの３６０°範囲内での回転角度に応じた信号を出力する。一方、第２磁気センサー６２４ｂは、第２磁石６２３ｂに対向して配置され、第２磁石６２３ｂの磁界の方向つまり第２副軸歯車６２２ｂの３６０°範囲内での回転角度に応じた信号を出力する。このような構成の磁気式エンコーダー６２では、第１、第２磁気センサー６２４ａ、６２４ｂからの信号の値の組み合わせにより回転軸５１の回転数Ｎを検出することができる。

このように、光学式エンコーダー６１と磁気式エンコーダー６２とを有するエンコーダーユニット６では、磁気式エンコーダー６２の出力に基づいてモーター５の回転軸５１の回転数Ｎを検出し、光学式エンコーダー６１の出力に基づいて３６０°範囲内の回転軸５１の回転角度θを検出する。そして、回転数Ｎおよび回転角度θから回転軸５１の回転量を検出することができる。また、上述のようにして回転軸５１の回転量を検出した後は、光学式エンコーダー６１の出力から求められる回転量を加減することで回転軸５１の回転量を検出することができる。

このようなエンコーダーユニット６によれば、回転軸５１の回転量を記憶するメモリーを駆動し続けるためのバッテリーが不要となる。そのため、省電力駆動が可能となる。

基板６３は、光学式エンコーダー６１と磁気式エンコーダー６２との間に配置されている。基板６３は、配線基板であり、ハウジング６０に固定されている。また、基板６３の下面には、光学センサー６１２が実装され、上面には、第１、第２磁気センサー６２４ａ、６２４ｂが実装されている。このように、光学センサー６１２と第１、第２磁気センサー６２４ａ、６２４ｂとを１枚の基板６３に実装することにより、エンコーダーユニット６の小型化を図ることができる。

また、基板６３の下面には処理装置としての回路素子６４が実装されている。回路素子６４は、例えば、コンピューターから構成され、情報を処理するプロセッサー（ＣＰＵ）と、プロセッサーに通信可能に接続されたメモリーと、外部インターフェースと、を有する。また、メモリーにはプロセッサーにより実行可能な各種プログラムが保存され、プロセッサーは、メモリーに記憶された各種プログラム等を読み込んで実行することができる。

また、回路素子６４は、光学センサー６１２の出力信号に基づいて回転角度θを検出する回転角度検出回路６４１と、第１、第２磁気センサー６２４ａ、６２４ｂの出力信号に基づいて回転数Ｎを検出する回転数検出回路６４２と、回転角度検出回路６４１が検出した回転角度θと回転数検出回路６４２が検出した回転数Ｎとに基づいて回転軸５１の回転量を算出する回転量算出回路６４３と、エンコーダーユニット６の状態を検出する状態検出回路６４５と、外部との通信を行うインターフェース回路６４４と、を有している。回路素子６４は、制御装置３からのリクエストにより回転軸５１の回転量の算出や状態の検出を行い、その結果を制御装置３へ送信する。

以下、状態検出回路６４５によるエンコーダーユニット６の状態検出について説明する。状態検出回路６４５は、特に、エンコーダーユニット６が正常であるか異常であるかを検出する。すなわち、エンコーダーユニット６の状態検出とは、エンコーダーユニット６が正常であるか異常であるかを検出することである。図３に示すように、状態検出回路６４５による状態検出方法は、主軸歯車６２１および第１、第２副軸歯車６２２ａ、６２２ｂの回転角度を０°にオフセットする角度オフセット工程Ｓ１と、光学式エンコーダー６１の出力と第１磁気センサー６２４ａの出力とを比較する第１比較工程Ｓ２と、光学式エンコーダー６１の出力と第２磁気センサー６２４ｂの出力とを比較する第２比較工程Ｓ３と、第１比較工程Ｓ２および第２比較工程Ｓ３の比較結果からエンコーダーユニット６の正常／異常を判定する判定工程Ｓ４と、判定工程Ｓ４での判定結果を制御装置３に送信する送信工程Ｓ５と、を含んでいる。

［角度オフセット工程Ｓ１］
状態検出回路６４５は、制御装置３から状態検出のリクエストを受けると、主軸歯車６２１および第１、第２副軸歯車６２２ａ、６２２ｂの回転角度を０°にオフセットする。すなわち、オフセットするとは、主軸歯車６２１および第１、第２副軸歯車６２２ａ、６２２ｂの回転角度を０°にすることである。

［第１比較工程Ｓ２］
第１比較工程Ｓ２は、第１磁気センサー６２４ａの出力に基づいて第１副軸歯車６２２ａの回転角度θ１を取得する工程Ｓ２１と、光学式エンコーダー６１の出力に基づいて回転軸５１の回転角度θ２を取得する工程Ｓ２２と、回転角度θ２に基づいて第１副軸歯車６２２ａの回転理論角度θ１ｔを取得する工程Ｓ２３と、回転角度θ１および回転理論角度θ１ｔを比較する工程Ｓ２４と、を含んでいる。

角度オフセット工程Ｓ１を終えると、状態検出回路６４５は、工程Ｓ２１として、第１磁気センサー６２４ａの出力に基づいて第１副軸歯車６２２ａの回転角度θ１を取得する。ただし、０°≦θ１＜３６０°である。また、状態検出回路６４５は、工程Ｓ２２として、光学式エンコーダー６１の出力に基づいて回転軸５１の回転角度θ２を取得する。ただし、０°≦θ２＜３６０°である。状態検出回路６４５は、工程Ｓ２１、Ｓ２２を同時に行い同時刻における回転角度θ１および回転角度θ２を取得する。これにより、後の工程Ｓ２４を精度よく行うことができる。ただし、これに限定されず、工程Ｓ２１、Ｓ２２が前後してもよい。

次に、状態検出回路６４５は、工程Ｓ２３として、工程Ｓ２２で取得した回転角度θ２に基づいて第１副軸歯車６２２ａの回転理論角度θ１ｔを取得する。つまり、状態検出回路６４５は、工程Ｓ２２で取得した回転角度θ２から間接的に第１副軸歯車６２２ａの回転角度θ１を算出する。なお、回転理論角度θ１ｔの算出方法としては、特に限定されないが、主軸歯車６２１の歯数をｎ１とし、第１副軸歯車６２２ａの歯数をｎ２としたとき、θ１ｔ＝θ２×ｎ１／ｎ２の計算式により求めることができる。これにより、回転理論角度θ１ｔを簡単に求めることができる。

次に、状態検出回路６４５は、工程Ｓ２４として、工程Ｓ２１で取得した回転角度θ１と工程Ｓ２３で取得した回転理論角度θ１ｔとを比較する。つまり、回転角度θ１の実測値と理論値とを比較する。そして、状態検出回路６４５は、回転理論角度θ１ｔと回転角度θ１との差Δθ１が、予め設定されている所定値ＳＨ１以下であるか、所定値ＳＨ１超であるか、を判定する。所定値ＳＨ１としては、特に限定されないが、本実施形態では４５°に設定されている。

［第２比較工程Ｓ３］
第２比較工程Ｓ３は、第２磁気センサー６２４ｂの出力した値を用いて第２副軸歯車６２２ｂの回転角度θ３を取得する工程Ｓ３１と、光学式エンコーダー６１の出力した値を用いて回転軸５１の回転角度θ２を取得する工程Ｓ３２と、回転角度θ２に基づいて第２副軸歯車６２２ｂの回転理論角度θ３ｔを取得する工程Ｓ３３と、回転角度θ３および回転理論角度θ３ｔを比較する工程Ｓ３４と、を含んでいる。このような第２比較工程Ｓ３は、前述した第１比較工程Ｓ２と並行して行われる。これにより、状態検出にかかる時間を短縮することができる。ただし、これに限定されず、第１比較工程Ｓ２および第２比較工程Ｓ３の一方が終了してから他方を開始してもよい。

角度オフセット工程Ｓ１を終えると、状態検出回路６４５は、工程Ｓ３１として、第２磁気センサー６２４ｂの出力した値を用いて第２副軸歯車６２２ｂの回転角度θ３を取得する。ただし、０°≦θ３＜３６０°である。また、状態検出回路６４５は、工程Ｓ３２として、光学式エンコーダー６１の出力した値を用いて回転軸５１の回転角度θ２を取得する。ただし、０°≦θ２＜３６０°である。状態検出回路６４５は、工程Ｓ３１、Ｓ３２を同時に行い同時刻における回転角度θ３および回転角度θ２を取得する。これにより、後の工程Ｓ３４を精度よく行うことができる。ただし、これに限定されず、工程Ｓ３１、Ｓ３２が前後してもよい。

次に、状態検出回路６４５は、工程Ｓ３３として、工程Ｓ３２で取得した回転角度θ２に基づいて第２副軸歯車６２２ｂの回転理論角度θ３ｔを取得する。つまり、状態検出回路６４５は、工程Ｓ３２で取得した回転角度θ２から間接的に第２副軸歯車６２２ｂの回転角度θ３を算出する。なお、回転理論角度θ３ｔの算出方法としては、特に限定されないが、主軸歯車６２１の歯数をｎ１とし、第２副軸歯車６２２ｂの歯数をｎ３としたとき、θ３ｔ＝θ２×ｎ１／ｎ３の計算式により求めることができる。これにより、回転理論角度θ３ｔを簡単に求めることができる。

次に、状態検出回路６４５は、工程Ｓ３４として、工程Ｓ３１で取得した回転角度θ３と工程Ｓ３３で取得した回転理論角度θ３ｔとを比較する。つまり、回転角度θ３の実測値と理論値とを比較する。そして、状態検出回路６４５は、回転理論角度θ３ｔと回転角度θ３との差Δθ３が、予め設定されている所定値ＳＨ３以下であるか、所定値ＳＨ３超であるか、を判定する。なお、所定値ＳＨ３は、所定値ＳＨ１と同じ値、つまり４５°に設定されている。これにより、各差Δθ１、Δθ３をバランスよく比較することができる。ただし、所定値ＳＨ３は、所定値ＳＨ１と異なっていてもよい。

［判定工程Ｓ４］
判定工程Ｓ４では、状態検出回路６４５は、図４に示すテーブルＴに基づいて、エンコーダーユニット６の正常／異常を判定するとともに、異常の場合には異常が生じている部分を特定する。つまり、状態検出回路６４５は、第１比較工程Ｓ２での比較結果がΔθ１≦ＳＨ１であり、第２比較工程Ｓ３での比較結果がΔθ３≦ＳＨ３である場合には正常と判定する。これに対して、状態検出回路６４５は、Δθ１＞ＳＨ１およびΔθ３＞ＳＨ１の少なくとも一方を満たす場合には異常と判定する。このような判定基準によれば、エンコーダーユニット６の正常／異常を容易に判定することができる。

さらに、状態検出回路６４５は、Δθ１＞ＳＨ１、Δθ３≦ＳＨ３である場合は、第１副軸歯車６２２ａ、第１磁石６２３ａおよび第１磁気センサー６２４ａからなる第１磁気ユニットに異常が生じていると判定し、Δθ１≦ＳＨ１、Δθ３＞ＳＨ３である場合は、第２副軸歯車６２２ｂ、第２磁石６２３ｂおよび第２磁気センサー６２４ｂからなる第２磁気ユニットに異常が生じていると判定し、Δθ１＞ＳＨ１、Δθ３＞ＳＨ３である場合は、光学式エンコーダー６１に異常が発生していると判定する。

このように、判定工程Ｓ４によれば、エンコーダーユニット６の正常／異常のみならず、異常が生じている部分までを特定することができる。そのため、エンコーダーユニット６の状態をより詳細に検出することができる。特に、第１、第２エンコーダーを異なる方式（磁気式と光学式）とすることにより、これら第１、第２エンコーダーが同時に故障する可能性が低くなり、上述の判定精度がより向上する。

［送信工程Ｓ５］
送信工程Ｓ５では、判定工程Ｓ４の結果を制御装置３へ送信する。そして、制御装置３は、受け取った結果をユーザーに報知する。これにより、ユーザーは、エンコーダーユニット６の状態を知ることができる。そのため、ユーザーは、この情報をメンテナンス等に役立てることができる。なお、報知方法としては、特に限定されず、例えば、モニター等の表示装置への表示、音声、警告音等の音、光、振動等が挙げられる。

以上、エンコーダーユニット６の状態検出方法について説明した。このような方法によれば、回転角度θ１、θ３について、実測値と理論値とを比較するため、エンコーダーユニット６の状態を簡単かつ精度よく検出することができる。

なお、エンコーダーユニット６の状態を検出するタイミングは、特に限定されない。例えば、ロボットシステム１の電源がＯＮになったときにエンコーダーユニット６の状態を検出し、その後は、周期的に検出を繰り返してもよいし、ロボット２に衝撃が加わった、水分が浸入した等の故障が疑われる何らかのタイミングで検出を行ってもよい。また、制御装置３を介したユーザーからのリクエストを受けた場合のみ、エンコーダーユニット６の状態を検出してもよい。

なお、本実施形態では、副軸歯車、磁石および磁気センサーを含むユニットを２つ備えているがユニットの数は、これに限定されず、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。ユニット数が１つの場合は、エンコーダーユニット６の状態検出における第２比較工程Ｓ３は省略してよい。また、ユニット数が３以上の場合は、第２比較工程Ｓ３と判定工程Ｓ４との間に、適宜、第３比較工程等を追加することもできる。

以上、ロボットシステム１について説明した。このようなロボットシステム１が行うエンコーダーユニットの状態検出方法は、前述したように、モーター５の回転軸５１に接続されている主軸歯車６２１と、主軸歯車６２１と噛合する第１副軸歯車６２２ａおよび第２副軸歯車６２２ｂとを有し、回転軸５１の回転数Ｎを検出する第１エンコーダーである磁気式エンコーダー６２と、回転軸５１の回転角度θを検出する第２エンコーダーである光学式エンコーダー６１と、を備えるエンコーダーユニット６の状態検出方法であって、磁気式エンコーダー６２の出力した値を用いて第１副軸歯車６２２ａの回転角度θ１を取得し、光学式エンコーダー６１の出力した値を用いて回転軸５１の回転角度θ２を取得し、回転角度θ２に基づいて第１副軸歯車６２２ａの回転理論角度θ１ｔを取得し、回転角度θ１および回転理論角度θ１ｔを比較してエンコーダーユニット６の状態を検出する。このような検出方法によれば、回転角度θ１の実測値と理論値とを比較するため、エンコーダーユニット６の状態を簡単かつ精度よく検出することができる。

また、前述したように、磁気式エンコーダー６２は、第１副軸歯車６２２ａに配置されている第１磁石６２３ａと、第１磁石６２３ａの磁界が作用する第１磁気センサー６２４ａと、を備え、主軸歯車６２１の歯数ｎ１および第１副軸歯車６２２ａの歯数ｎ２が互いに素の関係であり、θ１ｔ＝θ２×ｎ１／ｎ２である。これにより、回転理論角度θ１ｔを簡単に求めることができる。

また、前述したように、エンコーダーユニットの状態検出方法では、回転角度θ１と回転理論角度θ１ｔとの差Δθ１が所定値ＳＨ１以下であればエンコーダーユニット６が正常であると判定し、差Δθ１が所定値ＳＨ１を超えていればエンコーダーユニット６が異常であると判定する。このような判定基準によれば、エンコーダーユニット６の正常／異常を容易に判定することができる。

また、前述したように、エンコーダーユニットの状態検出方法は、磁気式エンコーダー６２の出力した値を用いて第２副軸歯車６２２ｂの回転角度θ３を取得し、光学式エンコーダー６１の出力した値を用いて回転軸５１の回転角度θ２を取得し、回転角度θ２に基づいて第２副軸歯車６２２ｂの回転理論角度θ３ｔを取得し、回転角度θ３および回転理論角度θ３ｔを比較してエンコーダーユニット６の状態を検出する。このような検出方法によれば、回転角度θ３の実測値と理論値とを比較するため、エンコーダーユニット６の状態を簡単かつ精度よく検出することができる。

また、前述したように、磁気式エンコーダー６２は、第２副軸歯車６２２ｂに配置されている第２磁石６２３ｂと、第２磁石６２３ｂの磁界が作用する第２磁気センサー６２４ｂと、を備え、主軸歯車６２１の歯数ｎ１および第２副軸歯車６２２ｂの歯数ｎ３が互いに素の関係であり、θ３ｔ＝θ２×ｎ１／ｎ３である。これにより、回転理論角度θ３ｔを簡単に求めることができる。

また、前述したように、エンコーダーユニットの状態検出方法では、回転角度θ３と回転理論角度θ３ｔとの差Δθ３が所定値ＳＨ３以下であればエンコーダーユニット６が正常であると判定し、差Δθ３が所定値ＳＨ３を超えていればエンコーダーユニット６が異常であると判定する。このような判定基準によれば、エンコーダーユニット６の正常／異常を容易に判定することができる。

また、前述したように、エンコーダーユニットの状態検出方法では、エンコーダーユニット６が異常である場合は、異常を報知する。これにより、ユーザーは、エンコーダーユニット６の状態を知ることができる。そのため、ユーザーは、この情報をメンテナンス等に役立てることができる。

また、前述したように、第２エンコーダーである光学式エンコーダー６１は、回転軸５１に接続されている光学スケール６１１と、光学スケール６１１で反射される光を受光する光学センサー６１２と、を有している。これにより、第２エンコーダーの構成が簡単となる。また、第１、第２エンコーダーを異なる方式（磁気式と光学式）とすることにより、これら第１、第２エンコーダーが同時に異常を来す可能性が低くなり、上述の判定をより精度よく行うことができる。

また、前述したように、エンコーダーユニット６は、モーター５の回転軸５１に接続されている主軸歯車６２１と、主軸歯車６２１と噛合する第１副軸歯車６２２ａおよび第２副軸歯車６２２ｂとを有し、回転軸５１の回転数Ｎを検出する第１エンコーダーである磁気式エンコーダー６２と、回転軸５１の回転角度θを検出する第２エンコーダーである光学式エンコーダー６１と、処理装置としての回路素子６４と、を有している。そして、回路素子６４は、磁気式エンコーダー６２の出力した値を用いて第１副軸歯車６２２ａの回転角度θ１を取得し、光学式エンコーダー６１の出力した値を用いて回転軸５１の回転角度θ２を取得し、回転角度θ２に基づいて第１副軸歯車６２２ａの回転理論角度θ１ｔを取得し、回転角度θ１および回転理論角度θ１ｔを比較してエンコーダーユニット６の状態を検出する。このようなエンコーダーユニット６によれば、回転角度θ１の実測値と理論値とを比較するため、エンコーダーユニット６の状態を簡単かつ精度よく検出することができる。

＜第２実施形態＞
本実施形態に係るロボットシステム１は、エンコーダーユニット６の状態検出を制御装置３が行うこと以外は、前述した第１実施形態のロボットシステム１と同様である。なお、以下の説明では、第２実施形態のロボットシステム１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。

前述した第１実施形態では、エンコーダーユニット６が備える回路素子６４が、エンコーダーユニット６の状態検出を行っていたが、本実施形態では、制御装置３がエンコーダーユニット６の状態検出を行う。つまり、制御装置３が、角度オフセット工程Ｓ１と、第１比較工程Ｓ２と、第２比較工程Ｓ３と、判定工程Ｓ４と、を行い、判定工程Ｓ４の結果をユーザーに報知する。

以上のように、本実施形態のロボットシステム１では、第１部材Ｒ１としてのベース２０と、ベース２０に対して変位する第２部材Ｒ２としてのアーム２１１と、ベース２０に対するアーム２１１の変位量を検出するエンコーダーユニット６と、を備えるロボット２と、ロボット２の駆動を制御する制御装置３と、を有し、エンコーダーユニット６は、モーター５の回転軸５１に接続されている主軸歯車６２１と、主軸歯車６２１と噛合する第１副軸歯車６２２ａおよび第２副軸歯車６２２ｂとを有し、回転軸５１の回転数Ｎを検出する第１エンコーダーである磁気式エンコーダー６２と、回転軸５１の回転角度θを検出する第２エンコーダーである光学式エンコーダー６１と、を有している。そして、制御装置３は、磁気式エンコーダー６２の出力した値を用いて第１副軸歯車６２２ａの回転角度θ１を取得し、光学式エンコーダー６１の出力した値を用いて回転軸５１の回転角度θ２を取得し、回転角度θ２に基づいて第１副軸歯車６２２ａの回転理論角度θ１ｔを取得し、回転角度θ１および回転理論角度θ１ｔを比較してエンコーダーユニット６の状態を検出する。このようなエンコーダーユニット６によれば、回転角度θ１の実測値と理論値とを比較するため、エンコーダーユニット６の状態を簡単かつ精度よく検出することができる。

このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。なお、エンコーダーユニット６の状態検出工程の一部をエンコーダーユニット６の回路素子６４が行い、残りの一部を制御装置３が行ってもよい。例えば、第１比較工程Ｓ２を回路素子６４が行い、第２比較工程Ｓ３を制御装置３が行ってもよい。これら並行して行われる２つの工程を回路素子６４と制御装置３とに振り分けることで、処理負担が低減され、エンコーダーユニット６の状態検出にかかる時間を短くすることができる。

＜参考例＞
図５は、参考例に係るエンコーダーユニットの状態検出工程を示すフローチャートである。図６は、判定工程にて用いるテーブルを示す図である。

本参考例に係るロボットシステム１は、エンコーダーユニット６の状態検出方法が異なること以外は、前述した第１実施形態のロボットシステム１と同様である。なお、以下の説明では、本参考例のロボットシステム１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。

前述した第１実施形態では、回転角度θ１、θ３の実測値と理論値とを比較してエンコーダーユニット６の状態を検出しているが、本参考例では、回転角度θ２の実測値と理論値とを比較してエンコーダーユニット６の状態を検出する。

以下、状態検出回路６４５によるエンコーダーユニット６の状態検出について説明する。図５に示すように、状態検出回路６４５による状態検出方法は、主軸歯車６２１および第１、第２副軸歯車６２２ａ、６２２ｂの回転角度を０°にオフセットする角度オフセット工程Ｓ１と、光学式エンコーダー６１の出力した値と第１磁気センサー６２４ａの出力した値とを比較する第１比較工程Ｓ２と、光学式エンコーダー６１の出力した値と第２磁気センサー６２４ｂの出力した値とを比較する第２比較工程Ｓ３と、第１比較工程Ｓ２および第２比較工程Ｓ３の比較結果からエンコーダーユニット６の正常／異常を判定する判定工程Ｓ４と、判定工程Ｓ４での判定結果を制御装置３に送信する送信工程Ｓ５と、を含んでいる。

［角度オフセット工程Ｓ１］
状態検出回路６４５は、制御装置３から状態検出のリクエストを受けると、主軸歯車６２１および第１、第２副軸歯車６２２ａ、６２２ｂの回転角度を０°にオフセットする。

［第１比較工程Ｓ２］
第１比較工程Ｓ２は、第１磁気センサー６２４ａの出力した値を用いて第１副軸歯車６２２ａの回転角度θ１を取得する工程Ｓ２１と、光学式エンコーダー６１の出力した値を用いて回転軸５１の回転角度θ２を取得する工程Ｓ２２と、回転角度θ１に基づいて回転軸５１の回転理論角度θ２ｔを取得する工程Ｓ２３と、回転角度θ２および回転理論角度θ２ｔを比較する工程Ｓ２４と、を含んでいる。

角度オフセット工程Ｓ１を終えると、状態検出回路６４５は、工程Ｓ２１として、第１磁気センサー６２４ａの出力した値を用いて第１副軸歯車６２２ａの回転角度θ１を取得する。また、状態検出回路６４５は、工程Ｓ２２として、光学式エンコーダー６１の出力した値を用いて回転軸５１の回転角度θ２を取得する。

次に、状態検出回路６４５は、工程Ｓ２３として、工程Ｓ２１で取得した回転角度θ１に基づいて回転軸５１の回転理論角度θ２ｔを取得する。つまり、状態検出回路６４５は、工程Ｓ２１で取得した回転角度θ１から間接的に回転軸５１の回転角度θ２を算出する。なお、回転理論角度θ２ｔの算出方法としては、特に限定されないが、主軸歯車６２１の歯数をｎ１とし、第１副軸歯車６２２ａの歯数をｎ２としたとき、θ２ｔ＝θ１／（ｎ１／ｎ２）の計算式により求めることができる。これにより、回転理論角度θ２ｔを簡単に求めることができる。

次に、状態検出回路６４５は、工程Ｓ２４として、工程Ｓ２２で取得した回転角度θ２と工程Ｓ２３で取得した回転理論角度θ２ｔとを比較する。つまり、回転角度θ２の実測値と理論値とを比較する。そして、状態検出回路６４５は、回転理論角度θ２ｔと回転角度θ２との差Δθ２が、予め設定されている所定値ＳＨ２１以下であるか、所定値ＳＨ２１超であるか、を判定する。所定値ＳＨ２１としては、特に限定されないが、本参考例では４５°に設定されている。

［第２比較工程Ｓ３］
第２比較工程Ｓ３は、第２磁気センサー６２４ｂの出力した値を用いて第２副軸歯車６２２ｂの回転角度θ３を取得する工程Ｓ３１と、光学式エンコーダー６１の出力した値を用いて回転軸５１の回転角度θ２を取得する工程Ｓ３２と、回転角度θ３に基づいて回転軸５１の回転理論角度θ２ｔを取得する工程Ｓ３３と、回転角度θ２および回転理論角度θ２ｔを比較する工程Ｓ３４と、を含んでいる。

角度オフセット工程Ｓ１を終えると、状態検出回路６４５は、工程Ｓ３１として、第２磁気センサー６２４ｂの出力した値を用いて第２副軸歯車６２２ｂの回転角度θ３を取得する。また、状態検出回路６４５は、工程Ｓ３２として、光学式エンコーダー６１の出力した値を用いて回転軸５１の回転角度θ２を取得する。

次に、状態検出回路６４５は、工程Ｓ３３として、工程Ｓ３１で取得した回転角度θ３に基づいて回転軸５１の回転理論角度θ２ｔを取得する。つまり、状態検出回路６４５は、工程Ｓ３１で取得した回転角度θ３から間接的に回転軸５１の回転角度θ２を算出する。なお、回転理論角度θ２ｔの算出方法としては、特に限定されないが、主軸歯車６２１の歯数をｎ１とし、第２副軸歯車６２２ｂの歯数をｎ３としたとき、θ２ｔ＝θ３／（ｎ１／ｎ３）の計算式により求めることができる。これにより、回転理論角度θ２ｔを簡単に求めることができる。

次に、状態検出回路６４５は、工程Ｓ３４として、工程Ｓ３２で取得した回転角度θ２と工程Ｓ３３で取得した回転理論角度θ２ｔとを比較する。つまり、回転角度θ２の実測値と理論値とを比較する。そして、状態検出回路６４５は、回転理論角度θ２ｔと回転角度θ２との差Δθ２が、予め設定されている所定値ＳＨ２２以下であるか、所定値ＳＨ２２超であるか、を判定する。なお、所定値ＳＨ２２は、所定値ＳＨ２１と同じ値、つまり４５°に設定されている。ただし、所定値ＳＨ２２は、所定値ＳＨ２１と異なっていてもよい。

［判定工程Ｓ４］
判定工程Ｓ４では、状態検出回路６４５は、図６に示すテーブルＴに基づいて、エンコーダーユニット６の正常／異常を判定するとともに、異常の場合には異常が生じている部分を特定する。つまり、第１比較工程Ｓ２での比較結果がΔθ２≦ＳＨ２１であり、第２比較工程Ｓ３での比較結果がΔθ２≦ＳＨ２２である場合には正常と判定する。これに対して、状態検出回路６４５は、Δθ２＞ＳＨ２１およびΔθ２＞ＳＨ２２の少なくとも一方を満たす場合には異常と判定する。このような判定基準によれば、エンコーダーユニット６の正常／異常を容易に判定することができる。

さらに、状態検出回路６４５は、Δθ２＞ＳＨ２１、Δθ２≦ＳＨ２２である場合は、第１磁気ユニットに異常が生じていると判定し、Δθ２≦ＳＨ２１、Δθ２＞ＳＨ２２である場合は、第２磁気ユニットに異常が生じていると判定し、Δθ２＞ＳＨ２１、Δθ２＞ＳＨ２２である場合は、光学式エンコーダー６１に異常が生じていると判定する。

このように、判定工程Ｓ４によれば、エンコーダーユニット６の正常／異常のみならず、異常を来している部分までを特定することができる。そのため、エンコーダーユニット６の状態をより詳細に検出することができる。ただし、判定方法としては、特に限定されず、第１比較工程Ｓ２で算出した差Δθ２と、第２比較工程Ｓ３で算出した差Δθ２と、の差に基づいてエンコーダーユニット６の正常／異常を判定してもよい。

［送信工程Ｓ５］
送信工程Ｓ５では、判定工程Ｓ４の結果を制御装置３へ送信する。そして、制御装置３は、受け取った結果をユーザーに報知する。

以上、エンコーダーユニット６の状態検出方法について説明した。このような方法によれば、回転角度θ２の実測値と理論値とを比較するため、エンコーダーユニット６の状態を簡単かつ精度よく検出することができる。

このような参考例によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

以上、本発明のエンコーダーユニットの状態検出方法、エンコーダーユニットおよびロボットシステムを図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、前述した実施形態では、エンコーダーユニットをロボットシステムに適用した例について説明したが、エンコーダーユニットは、ロボットシステム以外の各種電子機器にも適用することができる。

１…ロボットシステム、２…ロボット、２０…ベース、２１…ロボットアーム、２１１…アーム、２１２…アーム、２１３…アーム、２１４…アーム、２１５…アーム、２１６…アーム、２２…エンドエフェクター、３…制御装置、４１…駆動装置、４２…駆動装置、４３…駆動装置、４４…駆動装置、４５…駆動装置、４６…駆動装置、５…モーター、５１…回転軸、５２…ローター、５３…ステーター、５４…ハウジング、５５…軸受、５６…軸受、６…エンコーダーユニット、６０…ハウジング、６１…光学式エンコーダー、６１１…光学スケール、６１１ａ…ハブ、６１１ｂ…ディスク、６１２…光学センサー、６１２ａ…発光素子、６１２ｂ…受光素子、６２…磁気式エンコーダー、６２１…主軸歯車、６２２ａ…第１副軸歯車、６２２ｂ…第２副軸歯車、６２３ａ…第１磁石、６２３ｂ…第２磁石、６２４ａ…第１磁気センサー、６２４ｂ…第２磁気センサー、６３…基板、６４…回路素子、６４１…回転角度検出回路、６４２…回転数検出回路、６４３…回転量算出回路、６４４…インターフェース回路、６４５…状態検出回路、９…ケーブル、Ｌ…光、Ｒ１…第１部材、Ｒ２…第２部材、Ｓ１…角度オフセット工程、Ｓ２…第１比較工程、Ｓ２１…工程、Ｓ２２…工程、Ｓ２３…工程、Ｓ２４…工程、Ｓ３…第２比較工程、Ｓ３１…工程、Ｓ３２…工程、Ｓ３３…工程、Ｓ３４…工程、Ｓ４…判定工程、Ｓ５…送信工程、ＳＨ１…所定値、ＳＨ２１…所定値、ＳＨ２２…所定値、ＳＨ３…所定値、Ｔ…テーブル、Ｊ…軸線、Ｊ１…軸線、Ｊ２…軸線、ＳＨ１…所定値、ＳＨ２１…所定値、ＳＨ２２…所定値、ＳＨ３…所定値、Δθ１…差、Δθ２…差、Δθ３…差、θ１…回転角度、θ１ｔ…回転理論角度、θ２…回転角度、θ２ｔ…回転理論角度、θ３…回転角度、θ３ｔ…回転理論角度

Claims (10)

1. モーターの回転軸に接続されている主軸歯車と、前記主軸歯車と噛合する第１副軸歯車および第２副軸歯車とを有し、前記回転軸の回転数を検出する第１エンコーダーと、前記回転軸の回転角度を検出する第２エンコーダーと、を備えるエンコーダーユニットの状態検出方法であって、
   前記第１エンコーダーの出力した値を用いて前記第１副軸歯車の回転角度θ１を取得し、
   前記第２エンコーダーの出力した値を用いて前記回転軸の回転角度θ２を取得し、
   前記回転角度θ２に基づいて前記第１副軸歯車の回転理論角度θ１ｔを取得し、
   前記回転角度θ１および前記回転理論角度θ１ｔを比較して前記エンコーダーユニットの状態を検出することを特徴とするエンコーダーユニットの状態検出方法。
2. 前記第１エンコーダーは、前記第１副軸歯車に配置されている第１磁石と、前記第１磁石の磁界が作用する第１磁気センサーと、を備え、前記主軸歯車の歯数ｎ１および前記第１副軸歯車の歯数ｎ２が互いに素の関係であり、
   θ１ｔ＝θ２×ｎ１／ｎ２である請求項１に記載のエンコーダーユニットの状態検出方法。
3. 前記回転角度θ１と前記回転理論角度θ１ｔとの差Δθ１が所定値以下であれば前記エンコーダーユニットが正常であると判定し、前記差Δθ１が前記所定値を超えていれば前記エンコーダーユニットが異常であると判定する請求項１または２に記載のエンコーダーユニットの状態検出方法。
4. 前記第１エンコーダーの出力した値を用いて前記第２副軸歯車の回転角度θ３を取得し、
   前記第２エンコーダーの出力した値を用いて前記回転軸の回転角度θ２を取得し、
   前記回転角度θ２に基づいて前記第２副軸歯車の回転理論角度θ３ｔを取得し、
   前記回転角度θ３および前記回転理論角度θ３ｔを比較して前記エンコーダーユニットの状態を検出する請求項１に記載のエンコーダーユニットの状態検出方法。
5. 前記第１エンコーダーは、前記第２副軸歯車に配置されている第２磁石と、前記第２磁石の磁界が作用する第２磁気センサーと、を備え、前記主軸歯車の歯数ｎ１および前記第２副軸歯車の歯数ｎ３が互いに素の関係であり、
   θ３ｔ＝θ２×ｎ１／ｎ３である請求項４に記載のエンコーダーユニットの状態検出方法。
6. 前記回転角度θ３と前記回転理論角度θ３ｔとの差Δθ３が所定値以下であれば前記エンコーダーユニットが正常であると判定し、前記差Δθ３が前記所定値を超えていれば前記エンコーダーユニットが異常であると判定する請求項４または５に記載のエンコーダーユニットの状態検出方法。
7. 前記異常である場合は、前記異常を報知する請求項３または６に記載のエンコーダーユニットの状態検出方法。
8. 前記第２エンコーダーは、前記回転軸に接続されている光学スケールと、前記光学スケールで反射される光を受光する光学センサーと、を有している請求項１ないし７のいずれか１項に記載のエンコーダーユニットの状態検出方法。
9. モーターの回転軸に接続されている主軸歯車と、前記主軸歯車と噛合する第１副軸歯車および第２副軸歯車とを有し、前記回転軸の回転数を検出する第１エンコーダーと、前記回転軸の回転角度を検出する第２エンコーダーと、処理装置と、を有し、
   前記処理装置は、前記第１エンコーダーの出力した値を用いて前記第１副軸歯車の回転角度θ１を取得し、前記第２エンコーダーの出力した値を用いて前記回転軸の回転角度θ２を取得し、前記回転角度θ２に基づいて前記第１副軸歯車の回転理論角度θ１ｔを取得し、前記回転角度θ１および前記回転理論角度θ１ｔを比較して前記エンコーダーユニットの状態を検出することを特徴とするエンコーダーユニット。
10. 第１部材と、前記第１部材に対して変位する第２部材と、前記第１部材に対する前記第２部材の変位量を検出するエンコーダーユニットと、を備えるロボットと、
    前記ロボットの駆動を制御する制御装置と、を有し、
    前記エンコーダーユニットは、モーターの回転軸に接続されている主軸歯車と、前記主軸歯車と噛合する第１副軸歯車および第２副軸歯車とを有し、前記回転軸の回転数を検出する第１エンコーダーと、前記回転軸の回転角度を検出する第２エンコーダーと、を有し、
    前記制御装置は、前記第１エンコーダーの出力した値を用いて前記第１副軸歯車の回転角度θ１を取得し、前記第２エンコーダーの出力した値を用いて前記回転軸の回転角度θ２を取得し、前記回転角度θ２に基づいて前記第１副軸歯車の回転理論角度θ１ｔを取得し、前記回転角度θ１および前記回転理論角度θ１ｔを比較して前記エンコーダーユニットの状態を検出することを特徴とするロボットシステム。

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