JP2023135837A - 試料測定装置および試料測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ラマン分光法により試料を分析する試料測定装置および試料測定方法に関するものである。
試料に光を照射すると、ラマン効果により、その照射光の波長と異なる波長を有するラマン散乱光が該試料で生ずる。このラマン散乱光の波数と照射光の波数との差に対するラマン散乱光強度の関係(ラマンスペクトル)は、試料の分子構造、結晶構造、成分などに応じたものとなる。ラマン分光法では、このラマンスペクトルに基づいて、試料の分析を行うことができる。
ラマン分光法により試料を分析する試料測定装置の一構成例では、レーザ光源から出力された単色のレーザ光を励起光として試料に照射し、この励起光照射に応じて試料で発生したラマン散乱光のスペクトルを分光器により測定する。レーザ光源と試料との間には、試料上の限られた照射領域に励起光を集光して照射するために集光光学系が設けられる。試料と分光器との間には、試料上の励起光照射位置と分光器のスリット(ラマン散乱光を通過させるスリット)の位置とを互いに光学的に共役な位置関係とするために結像光学系が設けられる。分光器のスリットの幅は数μm~数十μmである。試料上の励起光照射領域の径は大きくても数十μmである。これにより、高い空間分解能で試料を分析することができる。
このような構成を有する試料測定装置を用いることで、マッピングと呼ばれる試料の解析を行うことができる。この解析手法では、試料上において複数の励起光照射位置を設定し、各々の励起光照射位置の周囲の限られた励起光照射領域についてラマンスペクトルを取得することで、試料上のラマンスペクトルのマップを作成する。これにより、試料における特定物質の局在や分布を解析することができる。このマッピングによる解析手法は、例えば固形製剤のような固体混合物の試料において薬効成分の分布を解析するような場合に威力を発揮し得る。
しかし、その一方で、マッピングによる解析手法は、不均一な固形試料を分析する場合に、各々の励起光照射位置について取得されたラマンスペクトルが何れの成分に因るものであるのか(例えば、薬効成分、その他の賦形剤等、これらの混合物のうちの何れに因るものであるのか)を判定することができないので、固形試料中の成分の定量や成分比の分析が困難である。
特許文献1に記載された試料測定技術では、試料上の或る測定範囲において励起光照射位置を走査し、その走査の期間に亘って発生したラマン散乱光に基づいて一つのラマンスペクトルを取得する。試料上の一つの励起光照射位置の周囲の限られた励起光照射領域(数十μm径)で発生したラマン散乱光のスペクトルを測定する場合と比べて、特許文献1に記載された試料測定技術では、より広い測定範囲における励起光照射位置の走査の期間に亘って発生したラマン散乱光のスペクトルの積算値または平均値を取得することができるので、例えば不均一な固形試料を分析する場合であっても、該固形試料の測定範囲における成分の定量や成分比の分析が可能であると考えられる。
しかし、特許文献1に記載された試料測定技術では、試料上の測定範囲において複雑な形状のラインに沿って励起光照射位置を走査することから、測定範囲内の或る位置においては励起光が複数回照射される場合がある一方で、測定範囲内の他の或る位置においては励起光が照射されない場合があり、測定範囲内の位置によって励起光が照射される時間の長さが異なる場合がある。その結果、例えば不均一な固形試料を分析する場合に、取得されるラマンスペクトルは測定範囲の成分量等の平均を示すものとはならず、定量的な分析は困難である。
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、試料上の測定範囲においてラマン分光法による定量分析を容易に行うことができる試料測定装置および試料測定方法を提供することを目的とする。
本発明の試料測定装置は、ラマン分光法により試料を分析する試料測定装置であって、光源から出力された励起光を試料に照射する照射部と、励起光の照射に応じて試料で発生したラマン散乱光を受光してラマンスペクトルを取得する測定部と、を備える。照射部は、測定部が一つのラマンスペクトルを取得する期間に亘って、試料上の同一位置を複数回通らないラインに沿って励起光照射位置を走査する。照射部は、直線状のラインに沿って励起光照射位置を走査してもよい。照射部は、ラインに沿って一定速さで励起光照射位置を走査してもよい。
照射部は、各々試料上の同一位置を複数回通らない複数のラインそれぞれに沿って励起光照射位置を走査し、測定部は、複数のラインそれぞれについて一つのラマンスペクトルを取得するのが好適である。照射部は、試料上の複数のラインそれぞれに沿った励起光照射位置の走査の間で試料上の同一の位置を通らないように励起光照射位置を走査するのが好適である。また、照射部は、試料上の複数のラインそれぞれに沿った励起光照射位置の走査の間で試料上の励起光照射領域が互いに重ならないように励起光照射位置を走査するのが好適である。
測定部は、ラマンスペクトルについて標準化処理を行い、当該処理後のラマンスペクトルに基づいて試料の分析を行ってもよい。測定部は、ラマンスペクトルの特徴量を抽出し、この特徴量に基づいて試料の分析を行ってもよい。
本発明の試料測定方法は、ラマン分光法により試料を分析する試料測定方法であって、光源から出力された励起光を試料に照射する照射ステップと、励起光の照射に応じて試料で発生したラマン散乱光を受光してラマンスペクトルを取得する測定ステップと、を備える。照射ステップにおいて、測定ステップで一つのラマンスペクトルを取得する期間に亘って、試料上の同一位置を複数回通らないラインに沿って励起光照射位置を走査する。照射ステップにおいて、直線状のラインに沿って励起光照射位置を走査してもよい。照射ステップにおいて、ラインに沿って一定速さで励起光照射位置を走査してもよい。
照射ステップにおいて、各々試料上の同一位置を複数回通らない複数のラインそれぞれに沿って励起光照射位置を走査し、測定ステップにおいて、複数のラインそれぞれについて一つのラマンスペクトルを取得するのが好適である。照射ステップにおいて、試料上の複数のラインそれぞれに沿った励起光照射位置の走査の間で試料上の同一の位置を通らないように励起光照射位置を走査するのが好適である。また、照射ステップにおいて、試料上の複数のラインそれぞれに沿った励起光照射位置の走査の間で試料上の励起光照射領域が互いに重ならないように励起光照射位置を走査するのが好適である。
測定ステップにおいて、ラマンスペクトルについて標準化処理を行い、当該処理後のラマンスペクトルに基づいて試料の分析を行ってもよい。測定ステップにおいて、ラマンスペクトルの特徴量を抽出し、この特徴量に基づいて試料の分析を行ってもよい。
本発明によれば、試料上の測定範囲においてラマン分光法による定量分析を容易に行うことができる。
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。本発明は、これらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
図1は、試料測定装置1の構成を示す図である。試料測定装置1は、光源11、ダイクロイックミラー12、レンズ13、フィルタ14、レンズ15、分光器16、分析部17およびステージ21を備える。試料測定装置1は、ラマン分光法により、ステージ21に載置された試料30を分析する。
光源11は、試料30に照射すべき励起光を出力する。光源11はレーザ光源であるのが好適である。ダイクロイックミラー12は、光源11と光学的に接続されており、光源11から出力された励起光を試料30へ反射させる。また、ダイクロイックミラー12は、試料30で発生して到達したラマン散乱光をフィルタ14へ透過させる。
レンズ13は、ダイクロイックミラー12と試料30との間の光路上に設けられている。レンズ13は、ダイクロイックミラー12から到達した励起光を試料30上に集光して照射する。また、レンズ13は、励起光の照射に応じて試料30で発生したラマン散乱光を入力して、そのラマン散乱光をダイクロイックミラー12へ出力する。
フィルタ14は、ダイクロイックミラー12と光学的に接続されており、試料30からレンズ13およびダイクロイックミラー12を経て到達した光を入力する。フィルタ14は、その入力した光のうち、励起光の反射光または散乱光を選択的に遮断するとともに、ラマン散乱光を選択的にレンズ15へ透過させる。フィルタ14はノッチフィルタであってもよい。
レンズ15は、フィルタ14と光学的に接続されており、フィルタ14を透過して到達したラマン散乱光を入力して、そのラマン散乱光を集光して分光器16のスリット16aに入力させる。分光器16は、スリット16a、分光素子および受光素子アレイを含む。分光器16は、スリット16aを通過したラマン散乱光を分光素子により分光し、その分光後の各波長成分の光を受光素子アレイにより受光して、各波長成分の光の強度を検出する。分光器16は、その検出した各波長成分の光の強度を表す電気信号を分析部17へ出力する。この電気信号は、ラマン散乱光のスペクトルを表す。
分析部17は、分光器16と電気的に接続されており、分光器16から出力された電気信号を入力する。分析部17は、この入力した電気信号に基づいてラマンスペクトルを取得する。さらに、分析部17は、このラマンスペクトルに基づいて試料30の分析を行う。分析部17はコンピュータであってもよい。
ステージ21は、試料30を載置するとともに、レンズ13の光軸に対し直交する方向に試料30を移動させることができる。この移動により、試料30上の励起光照射位置を走査することができる。
光源11からダイクロイックミラー12およびレンズ13を経て試料30に至る励起光の光学系は、光源11から出力された励起光を試料30上の限られた照射領域に集光して照射するための集光光学系を構成している。試料30からレンズ13、ダイクロイックミラー12、フィルタ14およびレンズ15を経て分光器16のスリット16aに至るラマン散乱光の光学系は、試料30上の励起光照射位置とスリット16aの位置とを互いに光学的に共役な位置関係とするための結像光学系を構成している。
光源11、ダイクロイックミラー12、レンズ13およびステージ21は、励起光を試料30に照射するとともに当該励起光照射位置を走査する照射部を構成している。レンズ13、ダイクロイックミラー12、フィルタ14、レンズ15、分光器16および分析部17は、ラマン散乱光を受光してラマンスペクトルを取得する測定部を構成している。
図2は、試料測定装置2の構成を示す図である。試料測定装置2は、光源11、ダイクロイックミラー12、レンズ13、フィルタ14、レンズ15、分光器16、分析部17、ステージ21および走査部22を備える。試料測定装置2は、ラマン分光法により、ステージ21に載置された試料30を分析する。
図1に示された試料測定装置1の構成と比較すると、図2に示される試料測定装置2は、走査部22を更に備える点で相違する。試料測定装置2のステージ21は、レンズ13の光軸に対し直交する方向に試料30を移動させなくてもよい。
走査部22は、ダイクロイックミラー12とレンズ13との間の光路上に設けられている。走査部22は、ダイクロイックミラー12から到達した励起光を入力して、その励起光をレンズ13へ出力する。走査部22は、レンズ13への励起光の出力の際に、その光出力方向を変化させることができる。この光出力方向の変更により、試料30上の励起光照射位置を走査することができる。走査部22は例えばガルバノミラーやポリゴンミラーを含む構成とすることができる。
光源11からダイクロイックミラー12、走査部22およびレンズ13を経て試料30に至る励起光の光学系は、光源11から出力された励起光を試料30上の限られた照射領域に集光して照射するための集光光学系を構成している。試料30からレンズ13、走査部22、ダイクロイックミラー12、フィルタ14およびレンズ15を経て分光器16のスリット16aに至るラマン散乱光の光学系は、試料30上の励起光照射位置とスリット16aの位置とを互いに光学的に共役な位置関係とするための結像光学系を構成している。
光源11、ダイクロイックミラー12、走査部22およびレンズ13は、励起光を試料30に照射するとともに当該励起光照射位置を走査する照射部を構成している。レンズ13、走査部22、ダイクロイックミラー12、フィルタ14、レンズ15、分光器16および分析部17は、ラマン散乱光を受光してラマンスペクトルを取得する測定部を構成している。
試料測定装置1(図1)および試料測定装置2(図2)の何れも、照射部による試料30上の励起光照射位置の走査と、測定部によるラマンスペクトルの取得とを、互いに関連付けて行う。すなわち、照射部は、測定部が一つのラマンスペクトルを取得する期間に亘って、試料30上の同一位置を複数回通らないラインに沿って励起光照射位置を走査する。換言すると、或る期間に亘って、照射部は試料30上の同一位置を複数回通らないラインに沿って励起光照射位置を走査するとともに、測定部は一つのラマンスペクトルを取得する。これにより、試料30上の測定範囲においてラマン分光法による定量分析を容易に行うことができる。
走査ラインが試料30上の同一位置を複数回通らないとは、その走査ラインが或る位置で自ら交差することがないだけでなく、その走査ラインの或る範囲と他の或る範囲とが互いに重なることがないことをも含む。走査ラインに沿って励起光照射位置を1回のみ走査してもよいし、複数回走査してもよい。また、或る期間に亘って測定部が一つのラマンスペクトルを取得するとは、その期間に亘って分光器16の受光素子アレイを連続して露光状態とすることにより一つのラマンスペクトルを取得することだけでなく、その期間を複数の部分期間に分けて各部分期間で受光素子アレイが検出したスペクトルの総和を求めることで一つのラマンスペクトルを取得することをも含む。
本実施形態の試料測定方法は、ラマン分光法により試料30を分析する方法であり、試料測定装置1(図1)または試料測定装置2(図2)を用いて実施することができる。本実施形態の試料測定方法は、照射ステップおよび測定ステップを備える。照射ステップは、試料測定装置1,2の照射部により行われる処理であり、光源11から出力された励起光を試料30に照射する。測定ステップは、試料測定装置1,2の測定部により行われる処理であり、励起光の照射に応じて試料30で発生したラマン散乱光を受光してラマンスペクトルを取得する。照射ステップにおいて、測定ステップで一つのラマンスペクトルを取得する期間に亘って、試料30上の同一位置を複数回通らないラインに沿って励起光照射位置が走査される。照射ステップおよび測定ステップそれぞれの処理は共通の期間に行われる。
図3~図5は、照射部による試料30上の励起光照射位置の走査を説明する図である。図3は、試料30上の測定範囲31において、N本の走査ライン321~32Nそれぞれに沿って励起光照射位置を走査したときの各走査ライン32nの周囲の励起光照射領域33nをハッチングで示している。Nは、1であってもよいし、2以上の整数であってもよい。nは1以上N以下の整数である。この例では、各励起光照射領域33nについて一つのラマンスペクトルを取得することができる。
N本の走査ライン321~32Nそれぞれに沿って順に励起光照射位置を走査する際に、例えば、奇数番目の走査ラインでは右方向に励起光照射位置を走査し、偶数番目の走査ラインでは左方向に励起光照射位置を走査すれば、或る走査ライン32n-1の走査終了から次の走査ライン32Nの走査開始への移行の際に、移動距離を短くすることができ、これに要する時間を短くすることができる。
測定範囲31は、ラマン散乱分光により分析をしようとしている試料30上の範囲である。励起光照射位置は、レンズ13により試料30へ集光照射される励起光のピーク強度位置である。複数のピーク強度位置がある場合には、それらのうちの何れかのピーク強度位置を励起光照射位置としてよい。また、明確なピーク強度位置がない場合には、ピーク強度に近い強度(例えばピーク強度の90%以上の強度)である範囲を励起光照射位置とみなしてもよい。励起光照射領域33nは、走査ライン32nに沿って励起光照射位置を走査したときに励起光が照射される領域であって、その励起光照射によりラマン散乱光が有意に発生し得る領域である。
図4は、N本の走査ライン321~32Nのうちの任意の隣り合う2本の走査ライン32n-1,32nそれぞれの周囲の励起光照射領域33n-1,33nをハッチングで示し、また、走査ラインに垂直な方向における励起光照射強度分布を示している。この図に示されるように、励起光照射領域33nは、走査ライン32n上の励起光のピーク強度P0に対し一定割合の強度P1以上の強度の励起光が照射される領域としてもよい。ここで、一定割合(P1/P0)は、例えば1/2または1/eであってもよく、その他の値であってもよい。
図5は、測定範囲31において一本の走査ライン32が屈曲している場合を示している。この図に示されるように、一本の走査ライン32が屈曲を繰り返していることにより、その一本の走査ライン32に沿って励起光照射位置を走査したときの励起光照射領域33(ハッチング領域)が測定範囲31内の広い部分を占めることができる。この例では、測定範囲31について一つのラマンスペクトルを取得することができる。
走査ラインの形状や本数は任意であり、これに応じて励起光照射領域の形状や個数も任意である。しかし、走査ラインは直線状であるのが好適である。走査ラインを直線状とすることで、ステージ21または走査部22による励起光照射位置の走査が容易となる。また、図3に示されるように、複数の走査ライン321~32Nとする場合には、各走査ライン32nを直線状とすることにより、測定範囲31において複数の励起光照射領域331~33Nを並列配置することが容易となり、測定範囲31内の広い部分において励起光照射領域33n毎にラマン分光することができる。また、各走査ライン32nに沿って一定速さで励起光照射位置を走査するのが好適であり、これにより、ラマン分光法により定量性のよい分析を行うことができる。
図3に示されるように、複数の走査ライン321~32Nとする場合には、各走査ライン32nは試料30上の同一位置を複数回通らないようにするのが好適である。また、複数の走査ライン321~32Nの間でも同一位置または同一範囲を複数回通らないようにするのが好適である。さらに、複数の励起光照射領域331~33Nの間で互いに重ならないようにするのが好適である。
また、分析部17は、ラマンスペクトルに基づいて試料30の分析を行う際に、そのラマンスペクトルについて標準化処理を行い、当該処理後のラマンスペクトルに基づいて試料30の分析を行うのが好適である。標準化処理は、平均値からのデータの偏差を標準偏差で除算することで、平均値が0であって標準偏差が1であるデータに変換する処理である。分析部17は、ラマンスペクトルの特徴量を機械学習により抽出し、この特徴量に基づいて試料30の分析を行うのも好適である。特徴量は、ラマンスペクトルより見いだされる試料中の成分(複数成分中の幾つか若しくは単一成分)または計算上分離されるスペクトル成分(例えば図10で確認できるような信号、ノイズそれぞれが特徴量)を指す。
次に実施例1,2について説明する。実施例1,2の何れにおいても、図1に示される構成を有する試料測定装置1を用い、図3に示されるように各走査ラインを直線状のものとして試料上の励起光照射位置を走査した。励起光として波長785nmのレーザ光を出力するレーザダイオードを光源11として用いた。倍率5倍の対物レンズをレンズ13として用いた。冷却CCD検出器を備える分光器を分光器16として用いた。試料における励起光のビーム径(半値全幅)は25μmであった。
実施例1では、分析対象の試料として、一定割合のトウモロコシデンプン及び乳糖を賦形剤としアセトアミノフェンを含む錠剤試料を作製した。アセトアミノフェンの含有率を0、0.5、1.0、1.5%(w/w)の4種類とし、各含有率について10錠の錠剤試料を作製した。各錠剤試料の直径は約8mmであった。8mm径のうちの中央部の4.5mm四方の矩形の測定範囲において、一定長さ(約4,5mm)で直線状の180本の走査ラインを、一定ピッチ(25μm)で並列的に設定した。各走査ラインに沿って一定速さ(4.5mm/秒)で励起光照射位置を走査した。走査ライン毎に一つのラマンスペクトルを取得した。すなわち、各錠剤試料について180個のラマンスペクトルを取得した。試料における励起光のパワーは7mWであった。
図6は、実施例1においてアセトアミノフェン含有率を0%および1.5%の各値とした錠剤試料について取得されたラマンスペクトルを示す図である。この図に示される各ラマンスペクトルは、1個の錠剤試料で取得された180個のラマンスペクトルの平均である。この図に示されるように、アセトアミノフェン含有率が異なると、ラマン散乱光の強度も異なる。しかし、一方のラマンスペクトルを定数倍したものが他方のラマンスペクトルの形状に近いものとなっていることから、このままでは、ラマンスペクトルの形状の相違がアセトアミノフェン含有率の相違および励起光強度の変動の何れに因るものであるのか判別することが困難である。
図7は、実施例1において図6のラマンスペクトルに対し標準化処理を行った後のラマンスペクトルを示す図である。この図に示されるように、標準化処理後のラマンスペクトルは、全体的にみればアセトアミノフェン含有率に依らず略同じ形状となっているのに対して、アセトアミノフェン含有率が高いほどピーク強度が大きくなっている。したがって、標準化処理後のラマンスペクトルにおけるピーク強度に基づいてアセトアミノフェン含有率を測定することができる。
アセトアミノフェン含有率に対して部分最小二乗回帰(Partial Least Squares regression: PLS)により検量を行った。この検量では、4種類のアセトアミノフェン含有率それぞれについて、10錠のうちの5錠の錠剤試料の標準化処理後のラマンスペクトルを学習データとし、他の5錠の錠剤試料の標準化処理後のラマンスペクトルを評価データとした。図8は、実施例1において学習データに基づいて得られた検量線を示す図である。横軸は実際のアセトアミノフェン含有率であり、縦軸はPLS予測含有量である。評価データに対する相関係数は0.9952であり、最小二乗誤差は0.055であった。実際のアセトアミノフェン含有率とPLS予測含有率との間によい相関があることが認められた。
各錠剤試料について取得した180個のラマンスペクトルを用いて多変量解析により特徴抽出を行うことも可能である。ここでは、多変量解析として主成分分析を行った。図9は、実施例1においてアセトアミノフェン含有率1.5%の1個の錠剤試料について1本の走査ラインに沿って励起光照射位置を走査したときに取得されたラマンスペクトルを示す図である。各錠剤試料について、このようなラマンスペクトルを180個取得した。180個のラマンスペクトルに対して主成分分析を行った。図10は、実施例1において主成分分析を行って得られたローディングスペクトルを示す図である。固有ベクトルからは第一主成分の割合が98.8%であった。第二主成分以下の成分はおおむねノイズであると判断した。
実施例2では、分析対象の試料として、実施例1と同一サイズの素錠に対してコーティングを施した錠剤試料を作製した。コーティング液は、精製水へヒプロメロース、ポリエチレングリコール(分子量約6000)、タルクおよび食用黄色5号を一定割合で投入し、調製した。素錠に対するコーティング液の塗布は、通気式錠剤コーティング装置(フロイント産業製)を用いた。素錠に塗布したコーティング液の量を管理することで、乾燥固化後の錠剤試料において素錠に対するコーティング剤の含量比率を0~10.0%(w/w)の範囲で異ならせた。試料における励起光のパワーは12.4mWであった。
各コーティング剤比率について5個の錠剤試料に対しラマンスペクトルを取得した。図11は、実施例2においてコーティング剤比率を0.5%および10%の各値とした錠剤試料について取得された平均ラマンスペクトルを示す図である。この図に示されるように、コーティング剤比率が異なると、ラマン散乱光の強度も異なる。
コーティング剤比率に対してPLSにより検量を行った。この検量では、各コーティング剤比率について、5錠のうちの3錠の錠剤試料のラマンスペクトルを学習データとし、他の2の錠剤試料のラマンスペクトルを評価データとした。同様の処方で作製した錠剤試料を水へ溶解して吸光光度法によりコーティング量を定量し、これにより得られた値をコーティング量の真値とした。図12は、実施例2において学習データに基づいて得られた検量線を示す図である。横軸は真値のコーティング量であり、縦軸はPLS予測量である。評価データに対する相関係数は0.9954であり、最小二乗誤差は0.2579であった。真値のコーティング量とPLS予測率との間によい相関があることが認められた。
本実施形態によれば、試料上の測定範囲においてラマン分光法による定量分析を容易に行うことができる。一つのラマンスペクトルを取得する期間に亘って試料上の同一位置を複数回通らないラインに沿って励起光照射位置を走査することで、広い測定範囲において定量的な分析を行うことができる。測定範囲において複数の励起光照射領域を設けることにより、主成分分析等を利用した特徴量抽出を行うことが可能である。また、測定範囲において複数の励起光照射領域を設けることにより、均一な試料に対しては迅速な異物検査等も可能となる。
近年、製薬・製剤業界では、各国の規制当局が中心となり、人為的な過失を無くすことや製品の安全性を向上させることを主目的として、複数の製造プロセスを連続化した連続生産と呼ばれる製造手法の確立が推進されている。これには、製造の連続化に伴って、検査工程の自動化も必要となる。特に検査及び監視する技術はPAT(Process Analytical Technology)と称されている。製剤の製造プロセスでは、含量監視、混合終点、水分量およびコーティング量の監視など、化学量の計測が必要となる場合が多い。このようなインライン・オンラインでの化学計測には、分光計測が有効であり、ラマン分光法は化学計測へ利用するPATツールの一つとして有望視されている。このような場面において本実施形態の試料測定装置または試料測定方法は有効に利用することができる。
1,2…試料測定装置、11…光源、12…ダイクロイックミラー、13…レンズ、14…フィルタ、15…レンズ、16…分光器、17…分析部、21…ステージ、22…走査部、30…試料、31…測定範囲、32…走査ライン、33…励起光照射領域。
Claims (16)
- ラマン分光法により試料を分析する試料測定装置であって、
光源から出力された励起光を前記試料に照射する照射部と、前記励起光の照射に応じて前記試料で発生したラマン散乱光を受光してラマンスペクトルを取得する測定部と、を備え、
前記照射部は、前記測定部が一つのラマンスペクトルを取得する期間に亘って、前記試料上の同一位置を複数回通らないラインに沿って励起光照射位置を走査する、
試料測定装置。 - 前記照射部は、直線状の前記ラインに沿って励起光照射位置を走査する、
請求項1に記載の試料測定装置。 - 前記照射部は、前記ラインに沿って一定速さで励起光照射位置を走査する、
請求項1または2に記載の試料測定装置。 - 前記照射部は、各々前記試料上の同一位置を複数回通らない複数のラインそれぞれに沿って励起光照射位置を走査し、
前記測定部は、前記複数のラインそれぞれについて一つのラマンスペクトルを取得する、
請求項1~3の何れか1項に記載の試料測定装置。 - 前記照射部は、前記試料上の前記複数のラインそれぞれに沿った励起光照射位置の走査の間で前記試料上の同一の位置を通らないように励起光照射位置を走査する、
請求項4に記載の試料測定装置。 - 前記照射部は、前記試料上の前記複数のラインそれぞれに沿った励起光照射位置の走査の間で前記試料上の励起光照射領域が互いに重ならないように励起光照射位置を走査する、
請求項5に記載の試料測定装置。 - 前記測定部は、前記ラマンスペクトルについて標準化処理を行い、当該処理後のラマンスペクトルに基づいて前記試料の分析を行う、
請求項1~6の何れか1項に記載の試料測定装置。 - 前記測定部は、前記ラマンスペクトルの特徴量を抽出し、この特徴量に基づいて前記試料の分析を行う、
請求項1~7の何れか1項に記載の試料測定装置。 - ラマン分光法により試料を分析する試料測定方法であって、
光源から出力された励起光を前記試料に照射する照射ステップと、前記励起光の照射に応じて前記試料で発生したラマン散乱光を受光してラマンスペクトルを取得する測定ステップと、を備え、
前記照射ステップにおいて、前記測定ステップで一つのラマンスペクトルを取得する期間に亘って、前記試料上の同一位置を複数回通らないラインに沿って励起光照射位置を走査する、
試料測定方法。 - 前記照射ステップにおいて、直線状の前記ラインに沿って励起光照射位置を走査する、
請求項9に記載の試料測定方法。 - 前記照射ステップにおいて、前記ラインに沿って一定速さで励起光照射位置を走査する、
請求項9または10に記載の試料測定方法。 - 前記照射ステップにおいて、各々前記試料上の同一位置を複数回通らない複数のラインそれぞれに沿って励起光照射位置を走査し、
前記測定ステップにおいて、前記複数のラインそれぞれについて一つのラマンスペクトルを取得する、
請求項9~11の何れか1項に記載の試料測定方法。 - 前記照射ステップにおいて、前記試料上の前記複数のラインそれぞれに沿った励起光照射位置の走査の間で前記試料上の同一の位置を通らないように励起光照射位置を走査する、
請求項12に記載の試料測定方法。 - 前記照射ステップにおいて、前記試料上の前記複数のラインそれぞれに沿った励起光照射位置の走査の間で前記試料上の励起光照射領域が互いに重ならないように励起光照射位置を走査する、
請求項13に記載の試料測定方法。 - 前記測定ステップにおいて、前記ラマンスペクトルについて標準化処理を行い、当該処理後のラマンスペクトルに基づいて前記試料の分析を行う、
請求項9~14の何れか1項に記載の試料測定方法。 - 前記測定ステップにおいて、前記ラマンスペクトルの特徴量を抽出し、この特徴量に基づいて前記試料の分析を行う、
請求項9~15の何れか1項に記載の試料測定方法。
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