JP2023135440A - Abnormality determination device, abnormality determination system and abnormality determination method - Google Patents
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- 230000005856 abnormality Effects 0.000 title claims abstract description 148
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 41
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 claims abstract description 58
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims abstract description 34
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 claims description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 8
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
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Abstract
Description
本発明は、ヒータの異常を判定する異常判定装置、異常判定システムおよび異常判定方法に関する。 The present invention relates to an abnormality determination device, an abnormality determination system, and an abnormality determination method for determining an abnormality in a heater.
特許文献1には、通電時の電気抵抗増加率の変化の大小により、ヒータの異常を判定する電気ヒータが開示されている。
ところで、電気ヒータのうち、ハロゲンヒータ等のランプヒータでは、ガラス管内部の黒化またはガラス管外部への汚れの付着(以下、黒化現象という。)により赤外線の放出が減衰し、加熱不足または加熱ムラ等の異常の原因となる場合がある。このため、一般に、ランプヒータの異常は、ガラス管の黒化現象を目視またはカメラ画像を用いた監視により検出される。 By the way, among electric heaters, in lamp heaters such as halogen heaters, the emission of infrared rays is attenuated due to blackening inside the glass tube or adhesion of dirt to the outside of the glass tube (hereinafter referred to as blackening phenomenon), resulting in insufficient heating or It may cause abnormalities such as uneven heating. Therefore, an abnormality in the lamp heater is generally detected by visually observing the blackening phenomenon of the glass tube or by monitoring using a camera image.
しかし、ガラス管の黒化現象を目視またはカメラ画像を用いて監視すると、人件費または装置コスト等の監視コストが高くなるため、ランプヒータの異常を常時監視することができない場合がある。この場合、ガラス管の黒化現象に対する監視頻度が低下し、ランプヒータの異常を見逃すおそれがある。 However, if the blackening phenomenon of the glass tube is monitored visually or using camera images, monitoring costs such as personnel costs or equipment costs increase, so it may not be possible to constantly monitor abnormalities in the lamp heater. In this case, the frequency of monitoring for the blackening phenomenon of the glass tube decreases, and there is a risk that abnormalities in the lamp heater may be overlooked.
本開示は、低コストでランプヒータの異常可能性を判定可能な異常判定装置、異常判定システムおよび異常判定方法を提供することにある。 An object of the present disclosure is to provide an abnormality determination device, an abnormality determination system, and an abnormality determination method that can determine the possibility of abnormality in a lamp heater at low cost.
本開示の一態様の異常判定装置は、
ランプヒータの電熱体の両端の電圧および前記電熱体を流れる電流から算出された前記電熱体の抵抗値を取得する取得部と、
取得された前記抵抗値に基づいて前記ランプヒータが異常であるか否かの判定である異常判定を行う判定部と
を備え、
前記判定部は、取得された前記抵抗値が第1閾値を超えた場合に、前記ランプヒータが異常であると判定する。
An abnormality determination device according to one aspect of the present disclosure includes:
an acquisition unit that acquires a resistance value of the electric heating element calculated from the voltage across the electric heating element of the lamp heater and the current flowing through the electric heating element;
a determination unit that performs an abnormality determination that determines whether or not the lamp heater is abnormal based on the acquired resistance value,
The determination unit determines that the lamp heater is abnormal when the acquired resistance value exceeds a first threshold value.
本開示の一態様の異常判定システムは、
前記態様の異常判定装置と、
前記ランプヒータと、
前記ランプヒータを制御する制御装置と
を備える。
An abnormality determination system according to one aspect of the present disclosure includes:
The abnormality determination device of the above aspect,
the lamp heater;
and a control device that controls the lamp heater.
本開示の一態様の異常判定方法は、
ランプヒータの電熱体の両端の電圧および前記電熱体を流れる電流から算出された前記電熱体の抵抗値を取得し、
取得された前記抵抗値が第1閾値を超えた場合に、前記ランプヒータが異常であると判定する。
An abnormality determination method according to one aspect of the present disclosure includes:
Obtaining the resistance value of the electric heating element calculated from the voltage across the electric heating element of the lamp heater and the current flowing through the electric heating element,
When the acquired resistance value exceeds a first threshold value, it is determined that the lamp heater is abnormal.
前記態様の異常判定装置によれば、低コストでランプヒータの異常可能性を判定可能な異常判定装置を実現できる。 According to the abnormality determination device of the above aspect, it is possible to realize an abnormality determination device that can determine the possibility of abnormality of the lamp heater at low cost.
前記態様の異常判定システムによれば、低コストでランプヒータの異常可能性を判定可能な異常判定システムを実現できる。 According to the abnormality determination system of the above aspect, it is possible to realize an abnormality determination system that can determine the possibility of abnormality of the lamp heater at low cost.
前記態様の異常判定方法によれば、低コストでランプヒータの異常可能性を判定できる。 According to the abnormality determination method of the above aspect, the possibility of abnormality in the lamp heater can be determined at low cost.
以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、または、その用途を制限することを意図するものではない。図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。 An example of the present disclosure will be described below with reference to the accompanying drawings. The following description is merely exemplary in nature and is not intended to limit the present disclosure, its applications, or its uses. The drawings are schematic, and the ratio of each dimension does not necessarily match the reality.
本開示の一実施形態の異常判定装置10は、一例として、図1に示すように、異常判定システム1の一部を構成している。異常判定システム1は、ハロゲンヒータ等のランプヒータ20と、ランプヒータ20の温度値を制御する温調器22とを備える。温調器22は、ランプヒータ20を制御する制御装置の一例である。本実施形態では、異常判定システム1は、ランプヒータ20および温調器22に加えて、SSR(ソリッドステートリレー)23、温度センサ25、電圧センサ26および電流センサ27を備える。
An
ランプヒータ20は、図1に示すように、電熱線等の電熱体21を有している。本実施形態では、一例として、電熱体21にソリッドステートリレー23を介して温調器22が接続され、ソリッドステートリレー23に電源24が接続されている。温調器22は、温度センサ25により検出された温度値に基づいて、ランプヒータ20の温度値が既定値になるように、ソリッドステートリレー23を介して電熱体21を制御する。ソリッドステートリレー23がオンである場合に、電源24からの電流が電熱体21に供給される。電熱体21は、操作量により発熱量が変化する。電圧センサ26は、電熱体21の両端の電圧を検出する。電流センサ27は、電熱体21を流れる電流を検出する。
As shown in FIG. 1, the
異常判定装置10は、取得部100および判定部110を備え、ランプヒータ20の異常を判定する。一例として、異常判定装置10は、プロセッサ11、記憶部12および通信部13を含む。取得部100および判定部110の各々は、例えば、プロセッサ11が記憶部12に記憶された所定のプログラムを実行することにより実現される。プロセッサ11は、CPU、MPU、GPU、DSP、FPGA、ASIC等を含む。記憶部12は、例えば、内部記録媒体または外部記録媒体で構成されている。内部記録媒体は、不揮発メモリ等を含む。外部記録媒体は、ハードディスク(HDD)、ソリッドステートドライブ(SSD)、光ディスク装置等を含む。通信部13は、例えば、サーバ等の外部装置との間でデータの送受信を行うための通信回路または通信モジュールで構成されている。
The
取得部100は、例えば、通信部13を介して、電熱体21の抵抗値(以下、抵抗値という。)を取得する。抵抗値は、例えば、電圧センサ26により検出された電熱体21の両端の電圧と、電流センサ27により検出された電熱体21を流れる電流とから算出される。本実施形態では、取得部100は、抵抗値に加えて、ランプヒータ20の電力値(以下、電力値という。)と、ランプヒータ20の温度値(以下、温度値という。)とを取得する。電力値は、例えば、電圧センサ26により検出された電熱体21の両端の電圧と、電流センサ27により検出された電熱体21を流れる電流とから算出される。
The
取得される抵抗値および電力値に、ローパスフィルタ処理(例えば、移動平均処理)が施されてもよい。抵抗値および電力値に対するローパスフィルタ処理は、例えば、ランプヒータ20の種類等に応じて設定され、異常判定装置10または外部装置で施される。
The acquired resistance value and power value may be subjected to low-pass filter processing (for example, moving average processing). The low-pass filter processing for the resistance value and the power value is set depending on the type of
温度値は、温度センサ25により測定される。温度センサ25により温度を測定される測定対象は、電熱体21であってもよいし、電熱体21により加熱される被熱処理物であってもよいし、電熱体21周囲の雰囲気であってもよい。例えば、次に示す態様で温度センサ25により測定された値を「温度値」とすることができる。
・電熱体21の温度を温度センサ25で直接測定して得られた値。
・電熱体21により加熱された被熱処理物(例えば、ランプヒータ20が収容された筐体内に配置されたワーク、または、半導体ウェハ)の表面を温度センサ25で測定して得られた値。
・炉内に配置された電熱体21により加熱された被熱処理物の周囲の雰囲気温度を温度センサ25で測定して得られた値。
The temperature value is measured by a
- A value obtained by directly measuring the temperature of the
- A value obtained by measuring the surface of the object to be heat treated (for example, a work placed in a housing housing the
- A value obtained by measuring the ambient temperature around the object to be heat treated heated by the
判定部110は、取得された抵抗値に基づいてランプヒータ20が異常であるか否かの異常判定を行う。詳しくは、判定部110は、取得された抵抗値が第1閾値を超えた場合に、ランプヒータ20が異常であると判定する。
The
第1閾値は、例えば、ランプヒータ20が正常でありかつ安定状態である場合における抵抗値(以下、基準抵抗値という。)に基づいて算出される。一例として、第1閾値は、基準抵抗値に余裕係数(例えば、1.05)を乗じて算出される。第1閾値を算出する場合におけるランプヒータ20が正常であるか否かについては、例えば、目視またはカメラ画像を用いて行われる。ランプヒータ20が正常な状態には、判定部110によりランプヒータ20が異常であると判定されない状態が含まれる。第1閾値の算出は、異常判定装置10で行われてもよいし、外部装置で行われてもよい。ランプヒータ20が安定状態であるか否かは、例えば、後述の安定条件が満たされているか否かで判断される。算出された第1閾値は、記憶部12に記憶されてもよいし、外部装置に記憶されてもよい。
The first threshold value is calculated, for example, based on a resistance value (hereinafter referred to as a reference resistance value) when the
本実施形態では、判定部110は、ランプヒータ20が安定状態である場合に、異常判定を行う。ランプヒータ20が安定状態であると判定される安定条件の一例を次に示す。ランプヒータ20が安定状態であるか否かは、下記の安定条件のいずれか1つに基づいて判定されてもよいし、下記の安定条件のいずれか複数または下記の安定条件以外の条件に基づいて判定されてもよい。
・電力値が第1期間に亘って予め定められた第1範囲内にある場合。例えば、予め定めた監視期間(例えば、60秒)における電力値の変動幅がプラスマイナス20%以内であれば、第1範囲内にあると判断される。第1期間は、例えば、電力値が取得される周期に電力値の移動平均回数を掛けて得られる期間であり、監視期間よりも長い期間(例えば、120秒)である。
・温度値が第2期間に亘って予め定められた第2範囲内にある場合。例えば、予め定めた監視期間(例えば、60秒)におけるランプヒータ20の温度の変動幅が摂氏プラスマイナス1度以内であれば、第2範囲内にあると判断される。第2期間は、例えば、監視期間よりも長い期間(例えば、120秒)である。
In this embodiment, the
- When the power value is within a predetermined first range over the first period. For example, if the fluctuation range of the power value during a predetermined monitoring period (for example, 60 seconds) is within plus or minus 20%, it is determined that it is within the first range. The first period is, for example, a period obtained by multiplying the period in which the power values are acquired by the number of moving averages of the power values, and is a period longer than the monitoring period (for example, 120 seconds).
- When the temperature value is within a predetermined second range over a second period. For example, if the fluctuation range of the temperature of the
抵抗値および電力値に移動平均処理が施されている場合、「電力値が第1期間に亘って予め定められた第1範囲内にある」と判定される一例を次に示す。
・電力値に施される移動平均処理回数が、抵抗値に施される移動平均処理回数よりも大きい場合、電力値が電力値に施される移動平均処理回数、連続して第1範囲内にあれば、「電力値が第1期間に亘って予め定められた第1範囲内にある」と判定される。
・電力値が施される移動平均処理回数が、抵抗値に施される移動平均処理回数よりも小さい場合、電力値が抵抗値に施される移動平均回数、連続して第1範囲内にあれば、「電力値が第1期間に亘って予め定められた第1範囲内にある」と判定される。
An example in which it is determined that "the power value is within a predetermined first range over the first period" when the resistance value and the power value are subjected to moving average processing will be shown below.
- If the number of moving average processes applied to the power value is greater than the number of moving average processes applied to the resistance value, the number of moving average processes applied to the power value continues to fall within the first range. If so, it is determined that "the power value is within the predetermined first range over the first period".
・If the number of times the moving average process is applied to the power value is smaller than the number of times the moving average process is applied to the resistance value, the number of times the moving average process is applied to the power value is continuously within the first range. For example, it is determined that "the power value is within a predetermined first range over the first period".
ランプヒータ20が安定状態であるか否かを判定する際、監視期間または第1期間または第2期間の開始から経過した時間は、例えば、外部装置で計測され、通信部13を介して、取得部100により取得される。
When determining whether or not the
判定部110は、取得された抵抗値が第1閾値を超えたときに、取得された電力値に応じて、ランプヒータ20の異常が「ランプヒータ20の黒化現象」に起因するものか、または、「電熱体21の抵抗劣化」に起因するものかを判定する。詳しくは、判定部110は、取得された電力値が第2閾値を超えている場合、ランプヒータ20の異常が「ランプヒータ20の黒化」に起因する異常であると判定し、取得された電力値が第2閾値を超えていない場合、ランプヒータ20の異常が「電熱体21の抵抗劣化」に起因する異常であると判定する。「ランプヒータ20の黒化現象」には、例えば、電熱体21を覆うガラス管の内面に蒸発したフィラメントが付着することにより黒ずむ現象、および、電熱体21を覆うガラス管の外面に汚れが付着することにより黒ずむ現象が含まれる。「電熱体21の抵抗劣化」には、経年変化による電熱体21の抵抗値が増加する現象が含まれる。
When the obtained resistance value exceeds the first threshold value, the
第2閾値は、例えば、ランプヒータ20が正常でありかつ安定状態である場合における電力値(以下、基準電力値という。)に基づいて算出される。一例として、第2閾値は、基準電力値に余裕係数(例えば、1.1)を乗じて算出される。第2閾値を算出する場合におけるランプヒータ20が正常であるか否かについては、例えば、目視またはカメラ画像を用いて行われる。第2閾値の算出は、異常判定装置10で行われてもよいし、外部装置で行われてもよい。ランプヒータ20が安定状態であるか否かは、例えば、前述の安定条件が満たされているか否かで判断される。算出された第2閾値は、記憶部12に記憶されてもよいし、外部装置に記憶されてもよい。
The second threshold value is calculated, for example, based on a power value when the
ランプヒータ20が異常であると判定された場合、例えば、ランプヒータ20の劣化、または、ランプヒータ20の故障が疑われる旨の報知が行われる。このとき、取得された抵抗値に応じて、段階的にランプヒータ20の異常が報知されるように構成してもよい。例えば、取得された電力値が第1閾値の103%を超えた場合、ヒータの劣化状態が「注意」レベルであることが報知される。取得された電力値が第1閾値の105%を超えた場合、ヒータの劣化状態が「警報」レベルであることが報知される。
If it is determined that the
図2~図4を参照して、異常判定装置10を用いた異常判定方法の一例を説明する。図2~図4に示す異常判定方法は、一例として、プロセッサ11が所定のプログラムを実行することで実施される。
An example of an abnormality determination method using the
図2に示すように、異常判定方法が開始されると、取得部100が抵抗値を取得する(ステップS1)。判定部110は、取得された抵抗値が第1閾値を超えたか否かを判定する(ステップS2)。取得された抵抗値が第1閾値を超えたと判定されると、判定部110は、ランプヒータ20が異常であると判定する(ステップS3)。
As shown in FIG. 2, when the abnormality determination method is started, the
ステップS3でランプヒータ20が異常であると判定された以降、または、ステップS2で取得された抵抗値が第1閾値を超えたと判定されなかった場合、判定部110は、異常判定方法を終了させるか否かを判定する(ステップS5)。異常判定方法を終了させると判定されなかった場合、ステップS1に戻り、抵抗値が取得される。
After the
異常判定方法の終了条件の一例を次に示す。
・取得部100が終了コマンドを取得した場合。
・判定部110が異常判定を所定回数行った場合。
・異常判定方法の開始から所定時間が経過した場合。
An example of termination conditions for the abnormality determination method is shown below.
- When the
- When the
- When a predetermined period of time has passed since the start of the abnormality determination method.
図3を参照して、ランプヒータ20が安定状態であるときに異常判定を行う場合の異常判定方法の第1の例について説明する。
With reference to FIG. 3, a first example of an abnormality determination method for determining an abnormality when the
図3に示すように、異常判定方法が開始されると、判定部110が、ランプヒータ20が安定状態であるか否かを判定する(ステップS5)。ステップS5は、ランプヒータ20が安定状態であると判定されるまで繰り返される。
As shown in FIG. 3, when the abnormality determination method is started, the
ランプヒータ20が安定状態であると判定されると、ステップS1~ステップS4が実行される。ステップS4で異常判定方法を終了させると判定されなかった場合、ステップS5に戻り、ランプヒータ20が安定状態であるか否かが判定される。
When it is determined that the
図4を参照して、ランプヒータ20が安定状態であるときに異常判定を行う場合の異常判定方法の第2の例について説明する。
With reference to FIG. 4, a second example of an abnormality determination method in which an abnormality determination is performed when the
図4に示すように、異常判定方法が開始されると、判定部110によりランプヒータ20が安定状態であるか否かが判定され(ステップS5)、ランプヒータ20が安定状態であると判定されると、取得部100が、抵抗値および電力値を取得する(ステップS6)。例えば、電力値は、抵抗値と概ね同じタイミングで取得される。
As shown in FIG. 4, when the abnormality determination method is started, the
抵抗値および電力値が取得されると、判定部110により取得された抵抗値が第1閾値を超えたか否かが判定され(ステップS2)、取得された抵抗値が第1閾値を超えたと判定されると、判定部110は、取得された電力値が第2閾値を超えたか否かを判定する(ステップS7)。
When the resistance value and the power value are acquired, the
取得された電力値が第2閾値を超えたと判定された場合、判定部110は、ランプヒータ20がランプヒータ20の黒化現象に起因する異常であると判定し(ステップS8)、ステップS4に進む。取得された電力値が第2閾値を超えたと判定されなかった場合、判定部110は、ランプヒータ20が電熱体21の抵抗劣化に起因する異常であると判定し(ステップS9)、ステップS4に進む。
If it is determined that the acquired power value exceeds the second threshold value, the
異常判定装置10は、次のような効果を発揮できる。
The
異常判定装置10は、ランプヒータ20の電熱体21の両端の電圧および電熱体21を流れる電流から算出された電熱体21の抵抗値を取得する取得部100と、取得された抵抗値に基づいてランプヒータ20が異常であるか否かの判定である異常判定を行う判定部110とを備える。判定部110は、取得された抵抗値が第1閾値を超えた場合に、ランプヒータ20が異常であると判定する。このような構成により、目視またはカメラ画像を用いることなくランプヒータ20の異常可能性を判定することができる。その結果、低コストでランプヒータ20の異常可能性を判定可能な異常判定装置10を実現できる。
The
ここで、正常なランプヒータ20の電力値と、異常なランプヒータ20の電力値との関係を図5に示す。図5において、正常なランプヒータ20の電力値を点線で示し、異常なランプヒータ20の電力値を実線で示している。一例として、図6に示すように、黒化現象により温度センサ25を直接加熱する放射熱202が減少した状態のランプヒータ20を異常なランプヒータ20としている。図6において、ランプヒータ20は、黒化現象により黒ずんだ部分201を有し、被熱処理物200を加熱している。
Here, the relationship between the power value of the
図5に示すように、異常なランプヒータ20は、正常なランプヒータ20と比較して、安定状態の電力値が増加している。このため、電力値を取得して、正常なランプヒータ20の電力値に基づいて算出される第1閾値と比較することで、ランプヒータ20の異常可能性を判定できる。また、ランプヒータ20が安定状態である場合に異常判定を行うことで、ランプヒータ20の異常可能性をより正確に判定できる。
As shown in FIG. 5, the
判定部110は、取得された電力値が第1期間に亘って予め定められた第1範囲内にある場合に、ランプヒータ20が安定状態であると判定する。このような構成により、ランプヒータ20の異常可能性をより正確に判定できる。
The
判定部110は、取得された抵抗値が前記第1閾値を超えたときに、取得された電力値が第2閾値を超えている場合、ランプヒータ20の異常がランプヒータ20の黒化現象に起因する異常であると判定する。このような構成により、ランプヒータ20の異常の要因を特定できる。
When the obtained resistance value exceeds the first threshold value and the obtained power value exceeds the second threshold value, the
判定部110は、取得された抵抗値が第1閾値を超えたときに、取得された電力値が第2閾値を超えていない場合、ランプヒータ20の異常が電熱体21の抵抗劣化に起因する異常であると判定する。このような構成により、ランプヒータ20の異常の要因を特定できる。
When the acquired resistance value exceeds the first threshold value and the acquired power value does not exceed the second threshold value, the
電力値には、ローパスフィルタ処理が施されている。このような構成により、電力値を整定し易くすることができる。 The power values are subjected to low-pass filter processing. With such a configuration, it is possible to easily stabilize the power value.
判定部110は、取得された温度値が第2期間に亘って予め定められた第2範囲内にある場合に、ランプヒータ20が安定状態であると判定する。このような構成により、ランプヒータ20の異常可能性をより正確に判定できる。
The
本開示の異常判定システムによれば、次のような効果を発揮できる。 According to the abnormality determination system of the present disclosure, the following effects can be achieved.
異常判定システム1が、異常判定装置10と、ランプヒータ20と、ランプヒータ20を制御する制御装置とを備える。このような構成により、低コストでランプヒータの異常可能性を判定可能な異常判定システムを実現できる。
The
本開示の異常判定方法によれば、次のような効果を発揮できる。 According to the abnormality determination method of the present disclosure, the following effects can be achieved.
異常判定方法では、ランプヒータ20の電熱体21の両端の電圧および電熱体21を流れる電流から算出された電熱体21の抵抗値を取得し、取得された抵抗値が第1閾値を超えた場合に、ランプヒータ20が異常であると判定する。このような構成により、低コストでランプヒータの異常可能性を判定できる。
In the abnormality determination method, the resistance value of the
異常判定装置10、異常判定システム1および異常判定方法は、次のように構成することもできる。
The
取得部100は、少なくとも抵抗値を取得可能に構成されていればよい。
The
判定部110は、少なくとも、取得された抵抗値が第1閾値を超えた場合に、ランプヒータ20が異常であると判定可能に構成されていればよい。
The
制御装置は、温調器22を含む場合に限らず、例えば、図7に示すように、電力調整器28を含むこともできる。図7の異常判定システム1は、図1の異常判定システム1と比較して、温度センサ25、温調器22およびソリッドステートリレー23に代えて、電力調整器28を備えている。つまり、図7の異常判定システム1では、ランプヒータ20の温度値が制御されない。電力調整器28は、ランプヒータ20に供給される実効電圧を既定値に制御する。これにより、異常判定システム1の設計の自由度を高めることができる。
The control device does not have to include the temperature controller 22, but can also include a
判定部110は、図8に示すように、電力値に基づいてランプヒータ20が安定状態であると判定されない場合、ランプヒータ20が異常であると判定してもよい。図8に示す安定状態判定処理は、一例として、プロセッサ11が所定のプログラムを実行することで実施される。
As shown in FIG. 8, when the
図8に示すように、安定状態判定処理が開始されると、取得部100は温度値を取得する(ステップS10)。判定部110は、取得された温度値が第2期間に亘って第2範囲内にあるか否か、言い換えると、第2期間に亘って「下限閾値≦温度値≦上限閾値」が満たされているか否かを判定する(ステップS11)。ステップS11は、第2期間に亘って「下限閾値≦温度値≦上限閾値」が満たされていると判定されるまで繰り返される。
As shown in FIG. 8, when the stable state determination process is started, the
第2期間に亘って「下限閾値≦温度値≦上限閾値」が満たされていると判定されると、取得部100は電力値を取得する(ステップS12)。判定部110は、取得された電力値が第1期間に亘って第1範囲内にあるか否か、言い換えると、第1期間に亘って「下限閾値≦電力値≦上限閾値」を満たすか否かを判定する(ステップS13)。一例として、基準電力値が1000Wである場合、下限閾値は、基準電力値の80%の電圧値(=800W)であり、上限閾値は、基準電力値の120%(=1200W)である。
When it is determined that "lower limit threshold ≦ temperature value ≦ upper threshold" is satisfied over the second period, the
取得された電力値が第1期間に亘って第1範囲内にあると判定された場合、判定部110は、ランプヒータ20が安定状態であると判定し(ステップS14)、安定状態判定処理が終了する。取得された電力値が第1期間に亘って第1範囲内にあると判定されなかった場合、判定部110は、ランプヒータ20が異常であると判定し(ステップS15)、安定状態判定処理が終了する。
If it is determined that the acquired power value is within the first range over the first period, the
ステップS15において、複数回連続して、取得された電力値が第1期間に亘って第1範囲内にあると判定されなかった場合に、ランプヒータ20が異常であると判定するように、判定部110を構成してもよい。
In step S15, the
本開示の異常判定方法は、コンピュータに実行させることができる。つまり、本開示には、異常判定方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、および、異常判定方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記憶するコンピュータ可読性の記憶媒体が含まれる。 The abnormality determination method of the present disclosure can be executed by a computer. That is, the present disclosure includes a program for causing a computer to execute the abnormality determination method, and a computer-readable storage medium that stores the program for causing the computer to execute the abnormality determination method.
以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。 Various embodiments of the present disclosure have been described above in detail with reference to the drawings, and finally, various aspects of the present disclosure will be described. Note that in the following description, reference numerals are also included as an example.
本開示の第1態様の異常判定装置10は、
ランプヒータの電熱体の両端の電圧および前記電熱体を流れる電流から算出された前記電熱体の抵抗値を取得する取得部100と、
取得された前記抵抗値に基づいて前記ランプヒータが異常であるか否かの判定である異常判定を行う判定部110と
を備え、
前記判定部110は、取得された前記抵抗値が第1閾値を超えた場合に、前記ランプヒータが異常であると判定する。
The
an
a
The
本開示の第2態様の異常判定装置10は、
前記判定部110は、前記ランプヒータが安定状態である場合に、前記異常判定を行う。
The
The
本開示の第3態様の異常判定装置10は、
前記取得部100が、前記電熱体の電力値を取得し、
前記判定部110は、取得された前記電力値が第1期間に亘って予め定められた第1範囲内にある場合に、前記ランプヒータが安定状態であると判定する。
The
The
The
本開示の第4態様の異常判定装置10は、
前記判定部110は、取得された前記抵抗値が前記第1閾値を超えたときに、取得された前記電力値が第2閾値を超えている場合、前記ランプヒータの異常が前記ランプヒータの黒化現象に起因する異常であると判定する。
The
The
本開示の第5態様の異常判定装置10は、
前記判定部110は、取得された前記抵抗値が前記第1閾値を超えたときに、取得された前記電力値が第2閾値を超えていない場合、前記ランプヒータの異常が前記電熱体の抵抗劣化に起因する異常であると判定する。
The
The
本開示の第6態様の異常判定装置10は、
前記電力値には、ローパスフィルタ処理が施されている。
The
The power value is subjected to low-pass filter processing.
本開示の第7態様の異常判定装置10は、
前記取得部100が、前記ランプヒータの温度値を取得し、
前記判定部110は、取得された前記温度値が第2期間に亘って予め定められた第2範囲内にある場合に、前記ランプヒータが安定状態であると判定する。
The
The
The
本開示の第8態様の異常判定システム1は、
前記態様の異常判定装置10と、
前記ランプヒータ20と、
前記ランプヒータ20を制御する制御装置と
を備える。
The
The
the
and a control device that controls the
本開示の第9態様の異常判定システム1は、
前記制御装置が、前記ランプヒータ20の温度値を既定値に制御する。
The
The control device controls the temperature value of the
本開示の第10態様の異常判定システムは、
前記制御装置は、前記ランプヒータ20に供給される実効電圧を既定値に制御する。
The abnormality determination system according to the tenth aspect of the present disclosure includes:
The control device controls the effective voltage supplied to the
本開示の第11態様の異常判定方法は、
ランプヒータの電熱体の両端の電圧および前記電熱体を流れる電流から算出された前記電熱体の抵抗値を取得し、
取得された前記抵抗値が第1閾値を超えた場合に、前記ランプヒータが異常であると判定する。
The abnormality determination method according to the eleventh aspect of the present disclosure includes:
Obtaining the resistance value of the electric heating element calculated from the voltage across the electric heating element of the lamp heater and the current flowing through the electric heating element,
When the acquired resistance value exceeds a first threshold value, it is determined that the lamp heater is abnormal.
前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。 By appropriately combining any of the various embodiments or modifications described above, the effects of each can be achieved. In addition, combinations of embodiments, combinations of examples, or combinations of embodiments and examples are possible, and combinations of features in different embodiments or examples are also possible.
本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本開示の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。 Although this disclosure has been fully described with reference to preferred embodiments and with reference to the accompanying drawings, various variations and modifications will become apparent to those skilled in the art. It is to be understood that such variations and modifications are included insofar as they do not depart from the scope of the disclosure as defined by the appended claims.
本開示の異常判定装置、異常判定システムおよび異常判定方法は、例えば、ハロゲンヒータに適用できる。 The abnormality determination device, abnormality determination system, and abnormality determination method of the present disclosure can be applied to, for example, a halogen heater.
1 異常判定システム
10 異常判定装置
11 プロセッサ
12 記憶部
13 通信部
21 電熱体
22 温調器
23 SSR
24 電源
25 温度センサ
26 電圧センサ
27 電流センサ
28 電力調整器
100 取得部
110 判定部
1
24
Claims (11)
取得された前記抵抗値に基づいて前記ランプヒータが異常であるか否かの判定である異常判定を行う判定部と
を備え、
前記判定部は、取得された前記抵抗値が第1閾値を超えた場合に、前記ランプヒータが異常であると判定する、異常判定装置。 an acquisition unit that acquires a resistance value of the electric heating element calculated from the voltage across the electric heating element of the lamp heater and the current flowing through the electric heating element;
a determination unit that performs an abnormality determination that determines whether or not the lamp heater is abnormal based on the acquired resistance value,
The determination unit is an abnormality determination device that determines that the lamp heater is abnormal when the acquired resistance value exceeds a first threshold value.
前記判定部は、取得された前記電力値が第1期間に亘って予め定められた第1範囲内にある場合に、前記ランプヒータが安定状態であると判定する、請求項2に記載の異常判定装置。 The acquisition unit acquires a power value of the electric heating body,
The abnormality according to claim 2, wherein the determination unit determines that the lamp heater is in a stable state when the acquired power value is within a predetermined first range over a first period. Judgment device.
前記判定部は、取得された前記温度値が第2期間に亘って予め定められた第2範囲内にある場合に、前記ランプヒータが安定状態であると判定する、請求項2~5のいずれかに記載の異常判定装置。 The acquisition unit acquires a temperature value of the lamp heater,
Any one of claims 2 to 5, wherein the determination unit determines that the lamp heater is in a stable state when the acquired temperature value is within a predetermined second range over a second period. An abnormality determination device according to claim 1.
前記ランプヒータと、
前記ランプヒータを制御する制御装置と
を備える、異常判定システム。 An abnormality determination device according to any one of claims 1 to 7,
the lamp heater;
An abnormality determination system, comprising: a control device that controls the lamp heater.
取得された前記抵抗値が第1閾値を超えた場合に、前記ランプヒータが異常であると判定する、異常判定方法。 Obtaining the resistance value of the electric heating element calculated from the voltage across the electric heating element of the lamp heater and the current flowing through the electric heating element,
An abnormality determination method that determines that the lamp heater is abnormal when the acquired resistance value exceeds a first threshold value.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022040661A JP2023135440A (en) | 2022-03-15 | 2022-03-15 | Abnormality determination device, abnormality determination system and abnormality determination method |
PCT/JP2023/001674 WO2023176139A1 (en) | 2022-03-15 | 2023-01-20 | Malfunction determination device, malfunction determination system, and malfunction determination method |
TW112103942A TW202338393A (en) | 2022-03-15 | 2023-02-04 | Malfunction determination device, malfunction determination system, and malfunction determination method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022040661A JP2023135440A (en) | 2022-03-15 | 2022-03-15 | Abnormality determination device, abnormality determination system and abnormality determination method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023135440A true JP2023135440A (en) | 2023-09-28 |
Family
ID=88022753
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022040661A Pending JP2023135440A (en) | 2022-03-15 | 2022-03-15 | Abnormality determination device, abnormality determination system and abnormality determination method |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2023135440A (en) |
TW (1) | TW202338393A (en) |
WO (1) | WO2023176139A1 (en) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2821232B2 (en) * | 1990-04-11 | 1998-11-05 | 松下電器産業株式会社 | Adhesive heating device |
JP2002260823A (en) * | 2001-03-05 | 2002-09-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | Controlling method and controlling device of heater |
JP2003162980A (en) * | 2001-11-27 | 2003-06-06 | Matsushita Electric Works Ltd | Discharge lamp and lighting device therefor |
JP3872043B2 (en) * | 2003-08-27 | 2007-01-24 | 財団法人鉄道総合技術研究所 | Brake load device for vehicles |
KR100722260B1 (en) * | 2006-04-28 | 2007-05-29 | 유코스 전기 주식회사 | Lighting fixtures with change time pilot lamp |
JP4326570B2 (en) * | 2007-04-17 | 2009-09-09 | 東京エレクトロン株式会社 | Heater wire life prediction method, heat treatment apparatus, recording medium, heater wire life prediction processing system |
JP5567318B2 (en) * | 2009-11-20 | 2014-08-06 | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス | Power supply system, substrate processing apparatus, semiconductor manufacturing apparatus, and deterioration diagnosis method |
JP6620523B2 (en) * | 2015-11-10 | 2019-12-18 | コニカミノルタ株式会社 | Image forming apparatus |
JP2020118772A (en) * | 2019-01-21 | 2020-08-06 | 株式会社リコー | Image forming apparatus, image forming method, and program |
-
2022
- 2022-03-15 JP JP2022040661A patent/JP2023135440A/en active Pending
-
2023
- 2023-01-20 WO PCT/JP2023/001674 patent/WO2023176139A1/en unknown
- 2023-02-04 TW TW112103942A patent/TW202338393A/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2023176139A1 (en) | 2023-09-21 |
TW202338393A (en) | 2023-10-01 |
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