JP2023135308A - フォイル軸受 - Google Patents

Abstract

【課題】フォイル軸受の信頼性を向上させること。【解決手段】ラジアルバンプフォイル３２は、回転軸線方向Ｘ１において、ラジアルトップフォイル３１より幅広に設けられている。幅広を構成するラジアルバンプフォイル３２の縁部３５は、回転体に直接対向している。したがって、ラジアルバンプフォイル３２の縁部３５は、ラジアルトップフォイル３１に直接接触していないため、ラジアルトップフォイル３１から熱が伝達し難くなっている。ラジアルバンプフォイル３２の縁部３５は、ラジアルバンプフォイル３２のうち、ラジアルトップフォイル３１からはみ出していない部位よりも空気によって冷却され易い。【選択図】図４

Description

本発明は、フォイル軸受に関する。

フォイル軸受は、トップフォイルと、バンプフォイルと、軸受ハウジングと、を有している。トップフォイルは、回転体に対向する。トップフォイルは、軸受面を有している。バンプフォイルは、薄板状である。バンプフォイルは、トップフォイルを間に挟んで回転体とは反対側の位置に配置されている。バンプフォイルは、伸長することでトップフォイルを弾性的に支持する。軸受ハウジングは、トップフォイル及びバンプフォイルを支持する。

このようなフォイル軸受は、回転体が浮上回転数に達するまでは、回転体とトップフォイルとが接した状態で回転体を支持する。そして、回転体の回転数が浮上回転数に達すると、トップフォイルと回転体との間に生じる空気膜の動圧によって、回転体がトップフォイルに対して浮上する。これにより、フォイル軸受は、回転体と接触せずに回転体を支持する。このとき、トップフォイルと回転体との間に生じる空気膜の動圧によって、トップフォイルに熱が生じる。トップフォイルに生じた熱は、バンプフォイルへ伝達される。バンプフォイルは、薄板状であるため、トップフォイルからバンプフォイルへ熱が伝達されると、バンプフォイルの温度が上昇することにより、バンプフォイルにへたりが生じてしまう。

そこで、例えば特許文献１に記載のフォイル軸受では、軸受ハウジングに貫通孔が形成されている。そして、貫通孔から軸受ハウジングの内部へ空気を導入することにより、バンプフォイルを冷却している。

特開２００５－３６８６６号公報

このようなフォイル軸受においては、バンプフォイルの冷却性能をさらに向上させることで、フォイル軸受の信頼性を向上させたいという要望がある。

上記課題を解決するフォイル軸受は、回転体に対向し、軸受面を有するトップフォイルと、前記トップフォイルを間に挟んで前記回転体とは反対側の位置に配置され、伸長することで前記トップフォイルを弾性的に支持する薄板状のバンプフォイルと、前記トップフォイル及び前記バンプフォイルを支持する軸受ハウジングと、を有するフォイル軸受であって、前記バンプフォイルは、前記バンプフォイルの伸長方向とは異なる方向において、前記トップフォイルより幅広に設けられ、前記幅広を構成する前記バンプフォイルの縁部は、前記回転体に直接対向している。

これによれば、バンプフォイルの縁部は、回転体に直接対向しているため、トップフォイルからはみ出している。したがって、バンプフォイルの縁部は、トップフォイルに直接接触していないため、トップフォイルから熱が伝達し難くなっている。そして、回転体が回転すると、バンプフォイルとトップフォイルとの間には、空気が流れ込む。

ここで、空気がバンプフォイルの表面からの熱を受けることによりバンプフォイルの表面には、温度の遷移領域である温度境界層が形成される。温度境界層では、バンプフォイルの表面に近付くほど温度が高くなっている。そして、温度境界層が厚くなるほど、温度境界層の外を流れる空気とバンプフォイルの表面との間で生じる熱抵抗が大きくなる。したがって、温度境界層が厚くなるほど、温度境界層の外を流れる空気とバンプフォイルの表面との間での熱伝達率が小さくなるため、バンプフォイルの冷却性能が低下する。

バンプフォイルの縁部は、トップフォイルからはみ出しているため、バンプフォイルの縁部の近傍には、空気が流れ易くなっている。したがって、バンプフォイルの縁部の近傍を流れる空気の流速は、バンプフォイルのうち、トップフォイルからはみ出していない部位の近傍を流れる空気の流速よりも大きい。このため、バンプフォイルの縁部の近傍を流れる空気の温度境界層の厚さは、バンプフォイルのうち、トップフォイルからはみ出していない部位の近傍を流れる空気の温度境界層の厚さよりも薄い。よって、温度境界層の外を流れる空気とバンプフォイルの縁部との間での熱伝達率は、温度境界層の外を流れる空気とバンプフォイルのうち、トップフォイルからはみ出していない部位との間での熱伝達率よりも大きい。したがって、バンプフォイルの縁部は、バンプフォイルのうち、トップフォイルからはみ出していない部位よりも空気によって冷却され易い。よって、トップフォイルからバンプフォイルへ伝達された熱を、バンプフォイルの縁部から効率良く放熱することができる。その結果、バンプフォイルの冷却性能を向上させることができるため、フォイル軸受の信頼性を向上させることができる。

上記フォイル軸受において、前記バンプフォイルは、前記トップフォイルに接触可能な複数の山部と、前記軸受ハウジングに接触可能な複数の谷部と、を含み、前記山部と前記谷部とは前記回転体の回転方向に対して交互に並び、前記縁部は、前記回転方向に対して交互に並ぶ前記山部と前記谷部と、を備えるとよい。

このように、バンプフォイルの縁部にも回転体の回転方向に対して交互に並ぶ山部と谷部とを備えた。これによれば、バンプフォイルの縁部に山部及び谷部が形成されないように、バンプフォイルを製造する必要が無い。したがって、バンプフォイルを容易に製造することができる。

上記フォイル軸受において、前記トップフォイルは、前記回転体をラジアル方向で支持するラジアルトップフォイルであり、前記バンプフォイルは、前記ラジアルトップフォイルを弾性的に支持するラジアルバンプフォイルであり、前記ラジアルバンプフォイルは、前記回転体の回転軸線方向に対して、前記ラジアルトップフォイルよりも幅広であるとよい。

これによれば、ラジアルトップフォイルからラジアルバンプフォイルへ伝達された熱を、ラジアルバンプフォイルの縁部から効率良く放熱することができる。その結果、ラジアルバンプフォイルの冷却性能を向上させることができるため、フォイル軸受の信頼性を向上させることができる。

上記フォイル軸受において、前記縁部は、前記ラジアルトップフォイルにおける前記回転軸線方向の両端から均等に突出しているとよい。
これによれば、ラジアルトップフォイルの両端からそれぞれ突出するラジアルバンプフォイルの縁部の放熱面積が同等になるため、ラジアルバンプフォイル全体の熱をラジアルバンプフォイルの縁部から効率良く放熱することができる。したがって、ラジアルバンプフォイルの冷却性能をさらに向上させることができるため、フォイル軸受の信頼性をさらに向上させることができる。

上記フォイル軸受において、前記トップフォイルは、前記回転体をラジアル方向で支持するラジアルトップフォイルであり、前記バンプフォイルは、前記ラジアルトップフォイルを弾性的に支持するラジアルバンプフォイルであり、前記ラジアルバンプフォイルは、前記軸受ハウジングに固定される固定端と、前記軸受ハウジングに固定されない自由端と、を有し、前記ラジアルトップフォイルは、前記軸受ハウジングに固定される固定端と、前記軸受ハウジングに固定されない自由端と、を有し、前記縁部は、前記ラジアルトップフォイルにおける前記固定端から前記自由端を繋ぐ前記回転体の前記回転軸線方向の両端から前記回転軸線方向に突出しているとよい。

これによれば、ラジアルバンプフォイルの放熱面積が増加するため、ラジアルバンプフォイルの熱をさらに冷却し易くすることができる。したがって、ラジアルバンプフォイルの冷却性能をさらに向上させることができる。

上記フォイル軸受において、前記ラジアルバンプフォイルにおける前記回転軸線方向の一端から他端に向けて冷却流体が流れる方向において、前記ラジアルバンプフォイルの山部は、前記一端から前記他端に向けて、冷却流体を引き込むように前記回転体の回転方向へ延び、前記ラジアルバンプフォイルの谷部は、前記一端から前記他端に向けて、冷却流体を引き込むように前記回転方向へ延びているとよい。

これによれば、ラジアルバンプフォイルの山部、及びラジアルバンプフォイルの谷部が回転軸線方向に延びている場合に比べて、回転体が回転する際にラジアルトップフォイルとラジアルバンプフォイルとの間に冷却流体が引き込まれ易い。そして、ラジアルトップフォイルとラジアルバンプフォイルとの間を流れる冷却流体が、ラジアルバンプフォイルの山部と、ラジアルバンプフォイルの谷部と、に沿って、ラジアルバンプフォイルにおける回転軸線方向の一端から他端に向けて流れ易くなる。このため、ラジアルバンプフォイルは、ラジアルバンプフォイルとラジアルトップフォイルとの間を流れる冷却流体によって冷却され易い。したがって、ラジアルバンプフォイルの冷却性能をさらに向上させることができる。

上記フォイル軸受において、前記トップフォイルは、前記回転体をスラスト方向で支持するスラストトップフォイルであり、前記バンプフォイルは、前記スラストトップフォイルを弾性的に支持するスラストバンプフォイルであり、前記スラストバンプフォイルは、前記回転体の回転軸線方向に対して直交する方向に対して、前記スラストトップフォイルよりも幅広であるとよい。

これによれば、スラストトップフォイルからスラストバンプフォイルへ伝達された熱を、スラストバンプフォイルの縁部から効率良く放熱することができる。その結果、スラストバンプフォイルの冷却性能を向上させることができるため、フォイル軸受の信頼性を向上させることができる。

上記フォイル軸受において、前記縁部は、前記スラストトップフォイルにおける前記回転軸線方向に対して直交する方向の両端から均等に突出しているとよい。
これによれば、スラストトップフォイルの両端からそれぞれ突出するスラストバンプフォイルの縁部の放熱面積が同等になるため、スラストバンプフォイル全体の熱をスラストバンプフォイルの縁部から効率良く放熱することができる。したがって、スラストバンプフォイルの冷却性能をさらに向上させることができるため、フォイル軸受の信頼性をさらに向上させることができる。

上記フォイル軸受において、前記トップフォイルは、前記回転体をスラスト方向で支持するスラストトップフォイルであり、前記バンプフォイルは、前記スラストトップフォイルを弾性的に支持するスラストバンプフォイルであり、前記スラストバンプフォイルは、前記軸受ハウジングに固定される固定端と、前記軸受ハウジングに固定されない自由端と、を有し、前記スラストトップフォイルは、前記軸受ハウジングに固定される固定端と、前記軸受ハウジングに固定されない自由端と、を有し、前記縁部は、前記スラストトップフォイルにおける前記自由端の縁から前記回転体の回転方向に突出しているとよい。

これによれば、スラストバンプフォイルの放熱面積が増加するため、スラストバンプフォイルの熱をさらに冷却し易くすることができる。したがって、スラストバンプフォイルの冷却性能をさらに向上させることができる。

上記フォイル軸受において、前記スラストバンプフォイルにおける前記回転体の回転軸線方向に対して直交する方向の両端のうち、内縁から外縁に向けて冷却流体が流れる方向において、前記スラストバンプフォイルの山部は、前記内縁から前記外縁に向けて、冷却流体を引き込むように前記回転体の回転方向へ延び、前記スラストバンプフォイルの谷部は、前記内縁から前記外縁に向けて、冷却流体を引き込むように前記回転方向へ延びているとよい。

これによれば、スラストバンプフォイルの山部、及びスラストバンプフォイルの谷部が回転軸線方向に直交する方向に延びている場合に比べて、回転体が回転する際にスラストトップフォイルとスラストバンプフォイルとの間に冷却流体が引き込まれ易い。そして、スラストトップフォイルとスラストバンプフォイルとの間を流れる冷却流体が、スラストバンプフォイルの山部と、スラストバンプフォイルの谷部と、に沿って、スラストバンプフォイルにおける回転軸線方向に対して直交する方向の両端のうち、内縁から外縁に向けて流れ易くなる。このため、スラストバンプフォイルは、スラストバンプフォイルとスラストトップフォイルとの間を流れる冷却流体によって冷却され易い。したがって、スラストバンプフォイルの冷却性能をさらに向上させることができる。

上記フォイル軸受において、前記縁部の山部には、前記縁部の前記回転体との接触を回避するスリットが設けられ、前記縁部の谷部には、前記スリットが設けられていないとよい。

これによれば、縁部の山部と回転体とが接触することがないため、縁部の山部と回転体との間での摩擦熱の発生を回避することができる。

この発明によれば、フォイル軸受の信頼性を向上させることができる。

実施形態におけるターボ機械を示す概略構成図である。 ラジアルフォイル軸受を示す分解斜視図である。 図１における３－３線断面図である。 ラジアルバンプフォイルを示す模式図である。 図１における５－５線断面図である。 図５における６－６線断面図。 別の実施形態におけるラジアルバンプフォイルを示す模式図である。 別の実施形態におけるラジアルバンプフォイルを示す模式図である。 別の実施形態におけるラジアルバンプフォイルを示す模式図である。 別の実施形態におけるラジアルバンプフォイルを示す模式図である。 別の実施形態におけるラジアルバンプフォイルを示す模式図である。 別の実施形態におけるスラストバンプフォイルを示す模式図である。

以下、フォイル軸受を具体化した一実施形態を図１～図６にしたがって説明する。本実施形態のフォイル軸受は、燃料電池車に搭載されているターボ機械に適用されている。燃料電池車には、酸素及び水素を燃料電池に供給して発電させる燃料電池システムが搭載されている。そして、ターボ機械は、燃料電池に供給される酸素を含む流体としての空気を圧縮する。

＜ターボ機械１０＞
図１に示すように、ターボ機械１０は、フォイル軸受としての２つのラジアルフォイル軸受３０と、スラストフォイル軸受４０と、を備えている。ターボ機械１０は、回転体１２を備えている。回転体１２は、ハウジング１１内に収容されている。回転体１２は、回転可能にハウジング１１に支承されている。ハウジング１１の軸方向と回転体１２の回転軸線が延びる方向である回転軸線方向Ｘ１とは、一致している。なお、以下の説明では、「回転体１２の回転軸線方向Ｘ１」を単に「回転軸線方向Ｘ１」と記載する場合がある。

ハウジング１１は、モータ室Ｓ１、タービン室Ｓ２、及びインペラ室Ｓ３を有している。モータ室Ｓ１、タービン室Ｓ２、及びインペラ室Ｓ３は、回転軸線方向Ｘ１の一方から他方にかけて、インペラ室Ｓ３、モータ室Ｓ１、及びタービン室Ｓ２の順に回転軸線方向Ｘ１に並んで配置されている。

ハウジング１１は、第１隔壁１３と、第２隔壁１４と、を有している。第１隔壁１３は、ハウジング１１内をモータ室Ｓ１とインペラ室Ｓ３とに仕切る。第２隔壁１４は、ハウジング１１内をモータ室Ｓ１とタービン室Ｓ２とに仕切る。モータ室Ｓ１には、電動モータ２０が収容されている。タービン室Ｓ２には、タービンホイール１５が収容されている。インペラ室Ｓ３には、コンプレッサインペラ１６が収容されている。

回転体１２は、回転軸１２ａと、第１支持部１２ｂと、第２支持部１２ｃと、第３支持部１２ｄと、を有している。回転軸１２ａは、円柱状である。回転軸１２ａは、タービン室Ｓ２、モータ室Ｓ１、及びインペラ室Ｓ３の順に貫通している。回転軸１２ａの第１端には、タービンホイール１５が取り付けられている。回転軸１２ａの第２端には、コンプレッサインペラ１６が取り付けられている。

電動モータ２０は、ロータ２１と、ステータ２２と、を有している。ロータ２１は、ステータ２２の内側に配置されている。ロータ２１は、回転体１２と同期回転する。ステータ２２は、ハウジング１１に固定されている。ステータ２２は、筒状のステータコア２３と、コイル２４と、を有している。ステータコア２３は、ハウジング１１に固定されている。コイル２４は、ステータコア２３に巻回されている。そして、図示しないバッテリからコイル２４に電流が流れることによって、ロータ２１が回転体１２と同期回転する。これにより、タービンホイール１５及びコンプレッサインペラ１６が回転体１２と一体的に回転する。

第１支持部１２ｂは、モータ室Ｓ１内に配置されている。第１支持部１２ｂは、回転軸１２ａの外径よりも外径が大きい円柱状である。第１支持部１２ｂは、回転軸１２ａの外周面における電動モータ２０よりもコンプレッサインペラ１６寄りの部位に設けられている。第１支持部１２ｂの径方向は、回転軸１２ａの径方向と一致する。第１支持部１２ｂの軸線は、回転軸１２ａの軸線と一致する。

第２支持部１２ｃは、モータ室Ｓ１内に配置されている。第２支持部１２ｃは、回転軸１２ａの外径よりも外径が大きい円柱状である。第２支持部１２ｃは、回転軸１２ａの外周面における電動モータ２０よりもタービンホイール１５寄りの部位に設けられている。第２支持部１２ｃの径方向は、回転軸１２ａの径方向と一致する。第２支持部１２ｃの軸線は、回転軸１２ａの軸線と一致する。

第３支持部１２ｄは、モータ室Ｓ１内に配置されている。第３支持部１２ｄは、回転軸１２ａの外周面から回転軸１２ａの径方向へ延びる円板状である。第３支持部１２ｄは、回転軸１２ａの外周面における第１支持部１２ｂよりもコンプレッサインペラ１６寄りの部位に設けられている。第３支持部１２ｄの径方向は、回転軸１２ａの径方向と一致する。第３支持部１２ｄの軸線は、回転軸１２ａの軸線と一致する。

モータ室Ｓ１には、第１冷却配管Ｆ１と、第２冷却配管Ｆ２と、が接続されている。第１冷却配管Ｆ１は、モータ室Ｓ１におけるインペラ室Ｓ３寄りの部位に接続されている。第２冷却配管Ｆ２は、モータ室Ｓ１におけるタービン室Ｓ２寄りの部位に接続されている。そして、モータ室Ｓ１には、第１冷却配管Ｆ１から冷却流体としての空気が導入される。モータ室Ｓ１に導入された空気は、モータ室Ｓ１内を流れて第２冷却配管Ｆ２から排出される。空気は、モータ室Ｓ１を通過する際に、ラジアルフォイル軸受３０及びスラストフォイル軸受４０を冷却する。

＜ラジアルフォイル軸受３０＞
図２に示すように、各ラジアルフォイル軸受３０は、回転体１２をラジアル方向で支持する。なお、「ラジアル方向」とは、回転軸線方向Ｘ１に対して直交する方向である。回転軸１２ａの径方向は、回転軸線方向Ｘ１に対して直交する方向と一致する。したがって、ラジアル方向は、回転軸１２ａの径方向と一致する。なお、回転体１２の回転する方向を回転方向Ｘ２とする。

各ラジアルフォイル軸受３０は、トップフォイルとしてのラジアルトップフォイル３１と、薄板状のバンプフォイルとしてのラジアルバンプフォイル３２と、軸受ハウジングとしてのベース部３３と、をそれぞれ有している。ベース部３３は、円筒状である。ベース部３３は、例えば、金属製である。ベース部３３の内側には、ラジアルトップフォイル３１が配置されている。

図２及び図３に示すように、ラジアルトップフォイル３１は、略円筒状である。ラジアルトップフォイル３１は、例えば、可撓性を有する金属材料製の帯状の板材を、筒状に湾曲させることにより形成されている。

ラジアルトップフォイル３１は、第１支持部１２ｂに対向する軸受面３１０を有している。したがって、ラジアルトップフォイル３１は、回転体１２に対向し、軸受面３１０を有している。ラジアルトップフォイル３１は、ラジアルトップフォイル３１の周方向の第１端に位置する固定端３１ａと、ラジアルトップフォイル３１の周方向の第２端に位置する自由端３１ｂと、を有している。

固定端３１ａは、ラジアルトップフォイル３１における周方向の第１端がラジアルトップフォイル３１の径方向外側へ折り曲げられることにより形成されている。自由端３１ｂは、固定端３１ａに対して、ラジアルトップフォイル３１の周方向で離間した状態で対向している。

ラジアルバンプフォイル３２は、略円筒状である。ラジアルバンプフォイル３２は、ラジアルバンプフォイル３２の周方向の第１端に位置する固定端３２ａと、ラジアルバンプフォイル３２の周方向の第２端に位置する自由端３２ｂと、を有している。固定端３２ａは、ベース部３３に固定されている。固定端３２ａは、ラジアルトップフォイル３１の固定端３１ａが回転軸１２ａの径方向で重なった状態で、ベース部３３に対して、例えば、溶接されることにより固定されている。自由端３２ｂは、ベース部３３に固定されていない。ラジアルトップフォイル３１の固定端３１ａは、ラジアルバンプフォイル３２の固定端３２ａに対して、例えば、溶接されることにより固定されている。自由端３１ｂは、固定端３１ａに対してラジアルバンプフォイル３２の周方向で離間した状態で対向している。したがって、自由端３１ｂは、ベース部３３に固定されていない。

ラジアルバンプフォイル３２は、ベース部３３の内周面とラジアルトップフォイル３１との間に配置されている。ラジアルバンプフォイル３２は、回転体１２とともにラジアルトップフォイル３１を間に挟んでいる。したがって、ラジアルバンプフォイル３２は、ラジアルトップフォイル３１を間に挟んで回転体１２とは反対側の位置に配置されている。ラジアルバンプフォイル３２は、ラジアルトップフォイル３１よりも回転軸１２ａの径方向外側に配置されている。ラジアルバンプフォイル３２は、ラジアルバンプフォイル３２の周方向に伸長する。ラジアルバンプフォイル３２は、伸長することでラジアルトップフォイル３１を弾性的に支持する。

ラジアルバンプフォイル３２の回転軸線方向Ｘ１の寸法Ｌ１は、ラジアルトップフォイル３１の回転軸線方向Ｘ１の寸法Ｌ２よりも大きい。したがって、ラジアルバンプフォイル３２は、回転軸線方向Ｘ１に対して、ラジアルトップフォイル３１よりも幅広である。つまり、ラジアルバンプフォイル３２は、ラジアルバンプフォイル３２の伸長方向とは異なる方向において、ラジアルトップフォイル３１より幅広に設けられている。本実施形態では、ラジアルバンプフォイル３２の軸心は、ラジアルトップフォイル３１の軸心、及びベース部３３の軸心と一致している。

＜縁部３５＞
図４に示すように、ラジアルバンプフォイル３２は、本体部３４と、縁部３５と、を有している。本体部３４は、ラジアルバンプフォイル３２のうち、ラジアルトップフォイル３１からはみ出していない部位である。縁部３５は、ラジアルバンプフォイル３２のうち、ラジアルトップフォイル３１からはみ出している部位である。したがって、縁部３５は、ラジアルバンプフォイル３２の幅広を構成している。縁部３５は、ラジアルトップフォイル３１における回転軸線方向Ｘ１の両端から均等に突出している。したがって、各縁部３５は、ラジアルトップフォイル３１における回転軸線方向Ｘ１の両端から突出する長さがそれぞれ同じである。各縁部３５は、第１支持部１２ｂに直接対向している。したがって、縁部３５は、回転体１２に直接対向している。各縁部３５は、ラジアルトップフォイル３１における固定端３１ａから自由端３１ｂを繋ぐ回転軸線方向Ｘ１の両端から回転軸線方向Ｘ１に突出している。

＜山部３６及び谷部３７＞
図３に示すように、ラジアルバンプフォイル３２は、ラジアルトップフォイル３１に接触可能な複数の山部３６と、ベース部３３に接触可能な複数の谷部３７と、を有している。各谷部３７は、ベース部３３の内周面に接した状態でベース部３３の内周面に沿って延びている。各山部３６は、ベース部３３の内周面に対して離間する方向へ突出するとともにラジアルトップフォイル３１の外周面に向けて膨出するように弧状に湾曲している。図４に示すように、本実施形態では、山部３６及び谷部３７は、ラジアルバンプフォイル３２の回転軸線方向Ｘ１の第１端から第２端に亘ってそれぞれ延びている。山部３６と谷部３７とは、回転方向Ｘ２に対して交互に並んでいる。したがって、縁部３５は、回転方向Ｘ２に対して交互に並ぶ山部３６と谷部３７とを備えている。

ラジアルフォイル軸受３０は、回転体１２の回転数が、ラジアルフォイル軸受３０により回転体１２が浮上する浮上回転数に達するまでは、第１支持部１２ｂと接触した状態で回転体１２を支持する。そして、回転体１２の回転数が浮上回転数に達すると、第１支持部１２ｂとラジアルフォイル軸受３０との間に生じる空気膜の動圧によって、第１支持部１２ｂがラジアルフォイル軸受３０に対して浮上する。これにより、ラジアルフォイル軸受３０は、第１支持部１２ｂと非接触の状態で回転体１２を支持する。

＜スラストフォイル軸受４０＞
図５に示すように、スラストフォイル軸受４０は、回転体１２をスラスト方向で支持する。なお、「スラスト方向」とは、回転軸線方向Ｘ１である。スラストフォイル軸受４０は、トップフォイルとしての一対のスラストトップフォイル４１と、バンプフォイルとしての一対の薄板状のスラストバンプフォイル４２と、軸受ハウジングとしての一対のベース部４３と、をそれぞれ有している。各ベース部４３は、円板状である。各ベース部４３は、第３支持部１２ｄをスラスト方向で挟み込むように配置されている。ベース部４３の周方向は、回転軸１２ａの周方向と一致している。なお、図５では、図示の都合上、スラストトップフォイル４１、スラストバンプフォイル４２、及びベース部４３を１つだけ図示している。

スラストトップフォイル４１は、複数のスラストトップフォイル片４４を有している。各スラストトップフォイル片４４は、平面視扇状である。各スラストトップフォイル片４４は、回転軸１２ａの周囲に配置されている。各スラストトップフォイル片４４は、回転軸１２ａの周方向に等間隔置きに配置されている。

図５及び図６に示すように、各スラストトップフォイル片４４は、第３支持部１２ｄに対向する軸受面４１０を有している。各スラストトップフォイル片４４は、周方向の一端に位置する固定端４４ａと、他端に位置する自由端４４ｂと、を有している。各スラストトップフォイル片４４は、周方向に延びている。固定端４４ａは、回転軸１２ａの径方向に延びている。固定端４４ａは、スラストトップフォイル片４４における周方向の第１端がベース部４３に向けて折り曲げられることにより形成されている。固定端４４ａは、例えば、溶接されることによりベース部４３に固定されている。自由端４４ｂは、ベース部４３に固定されていない。したがって、スラストトップフォイル４１は、ベース部４３に固定される固定端４４ａと、ベース部４３に固定されない自由端４４ｂと、を有している。スラストトップフォイル片４４の固定端４４ａとその隣に位置するスラストトップフォイル片４４の自由端４４ｂとは、互いに離間した状態で配置されている。

＜スラストバンプフォイル片４５＞
スラストバンプフォイル４２は、複数のスラストバンプフォイル片４５を有している。各スラストバンプフォイル片４５は、平面視略扇状である。各スラストバンプフォイル片４５は、例えば、可撓性を有する金属材料製である。各スラストバンプフォイル片４５は、例えば、可撓性を有する金属材料製の帯状の板材を、波形状に湾曲させることにより形成されている。

各スラストバンプフォイル片４５は、スラストバンプフォイル片４５の周方向の第１端に位置する固定端４５ａと、スラストバンプフォイル片４５の周方向の第２端に位置する自由端４５ｂと、を有している。固定端４５ａは、ベース部４３に固定されている。自由端４５ｂは、ベース部４３に固定されていない。したがって、スラストバンプフォイル４２は、ベース部４３に固定される固定端４４ａと、ベース部４３に固定されない自由端４４ｂと、を有している。

スラストバンプフォイル片４５の回転軸１２ａの径方向の寸法Ｌ３は、スラストトップフォイル片４４の回転軸１２ａの径方向の寸法Ｌ４よりも大きい。したがって、スラストバンプフォイル４２は、回転体１２の回転軸線方向Ｘ１に対して直交する方向に対して、スラストトップフォイル４１よりも幅広である。

＜縁部４７＞
スラストバンプフォイル片４５は、本体部４６と、縁部４７と、を有している。本体部４６は、スラストバンプフォイル片４５のうち、スラストトップフォイル片４４からはみ出していない部位である。縁部４７は、スラストバンプフォイル片４５のうち、スラストトップフォイル片４４からはみ出している部位である。縁部４７は、スラストトップフォイル片４４における回転軸１２ａの径方向の両端から均等に突出している。したがって、各縁部４７は、スラストトップフォイル片４４における回転軸１２ａの径方向の両端から突出する長さは同じである。また、縁部４７は、スラストトップフォイル４１における自由端４４ｂの縁から回転方向Ｘ２に突出している。縁部４７は、第３支持部１２ｄに対向している。したがって、縁部４７は、回転体１２に直接対向している。

＜山部４８及び谷部４９＞
各スラストバンプフォイル片４５は、複数の山部４８と、複数の谷部４９と、を有している。各谷部４９は、スラストバンプフォイル片４５のうち、ベース部４３に向けて突出する部位である。各山部４８は、スラストバンプフォイル片４５のうち、谷部４９とは反対側へ突出する部位である。各山部４８及び各谷部４９は、スラストバンプフォイル片４５の周方向にそれぞれ延びている。各スラストバンプフォイル片４５の周方向は、ベース部４３の周方向に一致している。

各スラストバンプフォイル片４５は、ベース部４３と各スラストトップフォイル片４４との間にそれぞれ配置されている。各スラストバンプフォイル片４５は、各スラストトップフォイル片４４を弾性的に支持する。各スラストトップフォイル片４４と各スラストバンプフォイル片４５とは、回転体１２の回転軸線方向Ｘ１に対して大部分が重なり合うようにそれぞれ配置されている。各スラストバンプフォイル片４５は、スラストバンプフォイル片４５の周方向に伸長する。各スラストバンプフォイル片４５は、伸長することで各スラストトップフォイル片４４をそれぞれ弾性的に支持する。したがって、スラストバンプフォイル４２は、伸長することでスラストトップフォイル４１を弾性的に支持する。また、ベース部４３は、スラストトップフォイル４１及びスラストバンプフォイル４２を支持する。

スラストフォイル軸受４０は、回転体１２の回転数が、スラストフォイル軸受４０により回転体１２が浮上する浮上回転数に達するまでは、第３支持部１２ｄと接触した状態で回転体１２を支持する。そして、回転体１２の回転数が浮上回転数に達すると、第３支持部１２ｄとスラストフォイル軸受４０との間に生じる空気膜の動圧によって、第３支持部１２ｄがスラストフォイル軸受４０に対して浮上する。これにより、スラストフォイル軸受４０は、第３支持部１２ｄと非接触の状態で回転体１２を支持する。

＜実施形態の作用＞
次に、本実施形態の作用について説明する。
ラジアルトップフォイル３１と第１支持部１２ｂとの間に生じる空気膜の動圧によって、ラジアルトップフォイル３１に熱が生じる。ラジアルトップフォイル３１に生じた熱は、ラジアルバンプフォイル３２へ伝達される。ラジアルバンプフォイル３２の縁部３５は、第１支持部１２ｂに直接対向しているため、ラジアルトップフォイル３１からはみ出している。したがって、ラジアルバンプフォイル３２の縁部３５は、ラジアルトップフォイル３１に直接接触していないため、ラジアルトップフォイル３１から熱が伝達し難くなっている。そして、回転体１２が回転すると、ラジアルバンプフォイル３２とラジアルトップフォイル３１との間には、空気が流れ込む。

ここで、空気がラジアルバンプフォイル３２の表面からの熱を受けることによりラジアルバンプフォイル３２の表面には、温度の遷移領域である温度境界層が形成される。温度境界層では、ラジアルバンプフォイル３２の表面に近づくほど温度が高くなっている。そして、温度境界層が厚くなるほど、温度境界層の外を流れる空気とラジアルバンプフォイル３２の表面との間で生じる熱抵抗が大きくなる。したがって、温度境界層が厚くなるほど、温度境界層の外を流れる空気とラジアルバンプフォイル３２の表面との間での熱伝達率が小さくなるため、ラジアルバンプフォイル３２の冷却性能が低下する。

ラジアルバンプフォイル３２の縁部３５は、ラジアルトップフォイル３１からはみ出しているため、ラジアルバンプフォイル３２の縁部３５の近傍には、ラジアルバンプフォイル３２の本体部３４の近傍よりも空気が流れ易くなっている。したがって、ラジアルバンプフォイル３２の縁部３５の近傍を流れる空気の流速は、ラジアルバンプフォイル３２の本体部３４の近傍を流れる空気の流速よりも大きい。このため、ラジアルバンプフォイル３２の縁部３５の近傍を流れる空気の温度境界層の厚さは、ラジアルバンプフォイル３２の本体部３４の近傍を流れる空気の温度境界層の厚さよりも薄くなる。よって、温度境界層の外を流れる空気とラジアルバンプフォイル３２の縁部３５との間での熱伝達率は、温度境界層の外を流れる空気とラジアルトップフォイル３１の本体部３４との間での熱伝達率よりも大きい。したがって、ラジアルバンプフォイル３２の縁部３５は、ラジアルバンプフォイル３２の本体部３４よりも冷却され易い。よって、ラジアルトップフォイル３１からラジアルバンプフォイル３２へ伝達された熱が、ラジアルバンプフォイル３２の縁部３５から効率良く放熱される。

スラストトップフォイル片４４と第３支持部１２ｄとの間に生じる空気膜の動圧によって、スラストトップフォイル片４４に熱が生じる。スラストトップフォイル片４４に生じた熱は、スラストバンプフォイル片４５へ伝達される。スラストバンプフォイル片４５の縁部４７は、第３支持部１２ｄに直接対向しているため、スラストトップフォイル片４４からはみ出している。したがって、スラストバンプフォイル片４５の縁部４７は、スラストトップフォイル片４４に直接接触していないため、スラストトップフォイル片４４から熱が伝達し難くなっている。そして、回転体１２が回転すると、スラストバンプフォイル片４５とスラストトップフォイル片４４との間には、空気が流れ込む。

ここで、空気がスラストバンプフォイル片４５の表面からの熱を受けることによりスラストバンプフォイル片４５の表面には、温度の遷移領域である温度境界層が形成される。温度境界層では、スラストバンプフォイル片４５の表面に近づくほど温度が高くなっている。そして、温度境界層が厚くなるほど、温度境界層の外を流れる空気とスラストバンプフォイル片４５の表面との間で生じる熱抵抗が大きくなる。したがって、温度境界層が厚くなるほど、温度境界層の外を流れる空気とスラストバンプフォイル片４５の表面との間での熱伝達率が小さくなるため、スラストバンプフォイル片４５の冷却性能が低下する。

スラストバンプフォイル片４５の縁部４７は、スラストトップフォイル片４４からはみ出しているため、スラストバンプフォイル片４５の縁部４７の近傍には、スラストバンプフォイル片４５の本体部４６の近傍よりも空気が流れ易くなっている。したがって、スラストバンプフォイル片４５の縁部４７の近傍を流れる空気の流速は、スラストバンプフォイル片４５の本体部４６の近傍を流れる空気の流速よりも大きい。このため、スラストバンプフォイル片４５の縁部４７の近傍を流れる空気の温度境界層の厚さは、スラストバンプフォイル片４５の本体部４６の近傍を流れる空気の温度境界層の厚さよりも薄くなる。よって、温度境界層の外を流れる空気とスラストバンプフォイル片４５の縁部４７との間での熱伝達率は、温度境界層の外を流れる空気とスラストバンプフォイル片４５の本体部４６との間での熱伝達率よりも大きい。したがって、スラストバンプフォイル片４５の縁部４７は、スラストバンプフォイル片４５の本体部４６よりも冷却され易い。よって、スラストトップフォイル片４４からスラストバンプフォイル片４５へ伝達された熱が、スラストバンプフォイル片４５の縁部４７から効率良く放熱される。

上記実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）ラジアルトップフォイル３１からラジアルバンプフォイル３２へ伝達された熱を、ラジアルバンプフォイル３２の縁部３５から効率良く放熱することができる。その結果、ラジアルバンプフォイル３２の冷却性能を向上させることができるため、ラジアルフォイル軸受３０の信頼性を向上させることができる。スラストトップフォイル４１からスラストバンプフォイル４２へ伝達された熱を、スラストバンプフォイル４２の縁部４７から効率良く放熱することができる。その結果、スラストバンプフォイル４２の冷却性能を向上させることができるため、スラストフォイル軸受４０の信頼性を向上させることができる。

（２）ラジアルバンプフォイル３２は、複数の山部３６と、複数の谷部３７と、を含む。山部３６と谷部３７とは、回転方向Ｘ２に対して交互に並ぶとともに、縁部３５は、回転方向Ｘ２に対して交互に並ぶ山部３６と谷部３７とを備えている。このように、ラジアルバンプフォイル３２の縁部３５にも回転方向Ｘ２に対して交互に並ぶ山部３６と谷部３７とを備えた。これによれば、ラジアルバンプフォイル３２の縁部３５に山部３６及び谷部３７が形成されないように、ラジアルバンプフォイル３２を製造する必要が無い。したがって、ラジアルバンプフォイル３２を容易に製造することができる。

スラストバンプフォイル４２は、複数の山部４８と、複数の谷部４９と、を含む。山部４８と谷部４９とは、回転方向Ｘ２に対して交互に並ぶとともに、縁部４７は、回転方向Ｘ２に対して交互に並ぶ山部４８と谷部４９とを備えている。このように、スラストバンプフォイル４２の縁部４７にも回転方向Ｘ２に対して交互に並ぶ山部４８と谷部４９とを備えた。これによれば、スラストバンプフォイル４２の縁部４７に山部４８及び谷部４９に形成されないように、スラストバンプフォイル４２を製造する必要が無い。したがって、スラストバンプフォイル４２を容易に製造することができる。

（３）縁部３５は、ラジアルトップフォイル３１における回転軸線方向Ｘ１の両端から均等に突出している。これによれば、ラジアルトップフォイル３１の両端からそれぞれ突出する縁部３５の放熱面積が同等になるため、ラジアルバンプフォイル３２全体の熱を縁部３５から効率良く放熱することができる。したがって、ラジアルバンプフォイル３２の冷却性能をさらに向上させることができるため、ラジアルフォイル軸受３０の信頼性をさらに向上させることができる。

（４）縁部４７は、スラストトップフォイル４１における回転軸１２ａの径方向の両端から均等に突出している。これによれば、スラストトップフォイル４１の両端からそれぞれ突出する縁部４７の放熱面積が同等になるため、スラストバンプフォイル４２全体の熱を縁部４７から効率良く放熱することができる。したがって、スラストバンプフォイル４２の冷却性能をさらに向上させることができるため、スラストフォイル軸受４０の信頼性をさらに向上させることができる。

（５）縁部３５は、ラジアルトップフォイル３１における自由端３１ｂの縁から回転軸線方向Ｘ１に突出している。これによれば、ラジアルバンプフォイル３２の放熱面積が増加するため、ラジアルバンプフォイル３２の熱をさらに冷却し易くすることができる。したがって、ラジアルバンプフォイル３２の冷却性能をさらに向上させることができる。

（６）縁部４７は、スラストトップフォイル片４４における自由端４４ｂの縁から回転方向Ｘ２に突出している。これによれば、スラストバンプフォイル４２の放熱面積が増加するため、スラストバンプフォイル４２の熱をさらに冷却し易くすることができる。したがって、スラストバンプフォイル４２の冷却性能をさらに向上させることができる。

＜変更例＞
なお、上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。

○ 図７に示すように、ラジアルバンプフォイル３２は、縁部３５の山部３６には、スリット６０が設けられるとともに、縁部３５の谷部３７には、スリット６０が設けられていないような構成であってもよい。

これによれば、縁部３５の山部３６と回転体１２とが接触することがないため、縁部３５の山部３６と回転体１２との間での摩擦熱の発生を回避することができる。
○ 図８に示すように、ラジアルバンプフォイル３２における回転軸線方向Ｘ１の一端から他端に向けて冷却流体が流れる方向において、ラジアルバンプフォイル３２の山部３６が、回転軸線方向Ｘ１の一端から他端に向けて、冷却流体を引き込むように回転方向Ｘ２へ延び、ラジアルバンプフォイル３２の谷部３７が、回転軸線方向Ｘ１の一端から他端に向けて、冷却流体を引き込むように回転方向Ｘ２へ延びていてもよい。つまり、ラジアルバンプフォイル３２の山部３６、及びラジアルバンプフォイル３２の谷部３７が、回転軸線方向Ｘ１に対して傾斜するように延びていてもよい。

これによれば、ラジアルバンプフォイル３２の山部３６、及びラジアルバンプフォイル３２の谷部３７が回転軸線方向Ｘ１に延びている場合に比べて、回転体１２が回転する際にラジアルトップフォイル３１とラジアルバンプフォイル３２との間に空気が引き込まれ易い。そして、ラジアルトップフォイル３１とラジアルバンプフォイル３２との間を流れる空気が、ラジアルバンプフォイル３２の山部３６と、ラジアルバンプフォイル３２の谷部３７と、に沿って、ラジアルバンプフォイル３２における回転軸線方向Ｘ１の一端から他端に向けて流れ易くなる。このため、ラジアルバンプフォイル３２は、ラジアルバンプフォイル３２とラジアルトップフォイル３１との間を流れる空気によって冷却され易い。したがって、ラジアルバンプフォイル３２の冷却性能をさらに向上させることができる。

○ 図９に示すように、ラジアルバンプフォイル３２の山部３６、及びラジアルバンプフォイル３２の谷部３７は、直線状に延びておらず、湾曲して延びていてもよい。
○ 図１０に示すように、縁部３５は、ラジアルトップフォイル３１における回転軸線方向Ｘ１の両端から突出する長さが異なっていてもよい。

○ 図１１に示すように、縁部３５は、ラジアルトップフォイル３１における回転軸線方向Ｘ１の両端の一方のみから突出してもよい。
○ 図１２に示すように、山部４８は、内縁７０から外縁７１に向けて、冷却流体を引き込むように回転方向Ｘ２へ延び、谷部４９は、内縁７０から外縁７１に向けて、冷却流体を引き込むように回転方向Ｘ２へ延びていてもよい。

これによれば、山部４８及び谷部４９が回転軸１２ａの径方向に延びている場合に比べて、回転体１２が回転する際にスラストトップフォイル４１とスラストバンプフォイル４２との間に空気が引き込まれ易い。そして、スラストトップフォイル４１とスラストバンプフォイル４２との間を流れる空気が、山部４８と、谷部４９と、に沿って、スラストバンプフォイル４２における回転軸１２ａの径方向の両端のうち、内縁７０から外縁７１に向けて流れ易くなる。このため、スラストバンプフォイル４２は、スラストバンプフォイル４２とスラストトップフォイル４１との間を流れる空気によって冷却され易い。したがって、スラストバンプフォイル４２の冷却性能をさらに向上させることができる。

○ 実施形態において、縁部４７は、スラストトップフォイル片４４における回転軸１２ａの径方向の両端から突出する長さが異なっていてもよい。
○ 実施形態において、縁部４７は、スラストトップフォイル片４４における回転軸１２ａの径方向の両端の一方のみから突出してもよい。

○ 実施形態において、縁部４７は、スラストトップフォイル片４４における自由端４４ｂの縁から回転方向Ｘ２に突出していなくてもよい。

１２…回転体、３０…フォイル軸受としてのラジアルフォイル軸受、３１…トップフォイルとしてのラジアルトップフォイル、３１ａ…固定端、３１ｂ…自由端、３２…バンプフォイルとしてのラジアルバンプフォイル、３２ａ…固定端、３２ｂ…自由端、３３…軸受ハウジングとしてのベース部、３５…縁部、３６…山部、３７…谷部、４０…フォイル軸受としてのスラストフォイル軸受、４１…トップフォイルとしてのスラストトップフォイル、４１ａ…固定端、４１ｂ…自由端、４２…バンプフォイルとしてのスラストバンプフォイル、４２ａ…固定端、４２ｂ…自由端、４３…軸受ハウジングとしてのベース部、４４ａ…固定端、４４ｂ…自由端、４７…縁部、４８…山部、４９…谷部、６０…スリット、７０…内縁、７１…外縁、３１０…軸受面、４１０…軸受面、Ｘ１…回転軸線方向、Ｘ２…回転方向。

Claims (11)

1. 回転体に対向し、軸受面を有するトップフォイルと、
   前記トップフォイルを間に挟んで前記回転体とは反対側の位置に配置され、伸長することで前記トップフォイルを弾性的に支持する薄板状のバンプフォイルと、
   前記トップフォイル及び前記バンプフォイルを支持する軸受ハウジングと、を有するフォイル軸受であって、
   前記バンプフォイルは、前記バンプフォイルの伸長方向とは異なる方向において、前記トップフォイルより幅広に設けられ、
   前記幅広を構成する前記バンプフォイルの縁部は、前記回転体に直接対向していることを特徴とするフォイル軸受。
2. 前記バンプフォイルは、
   前記トップフォイルに接触可能な複数の山部と、
   前記軸受ハウジングに接触可能な複数の谷部と、を含み、
   前記山部と前記谷部とは前記回転体の回転方向に対して交互に並び、
   前記縁部は、前記回転方向に対して交互に並ぶ前記山部と前記谷部とを備えることを特徴とする請求項１に記載のフォイル軸受。
3. 前記トップフォイルは、前記回転体をラジアル方向で支持するラジアルトップフォイルであり、
   前記バンプフォイルは、前記ラジアルトップフォイルを弾性的に支持するラジアルバンプフォイルであり、
   前記ラジアルバンプフォイルは、前記回転体の回転軸線方向に対して、前記ラジアルトップフォイルよりも幅広であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のフォイル軸受。
4. 前記縁部は、前記ラジアルトップフォイルにおける前記回転軸線方向の両端から均等に突出していることを特徴とする請求項３に記載のフォイル軸受。
5. 前記トップフォイルは、前記回転体をラジアル方向で支持するラジアルトップフォイルであり、
   前記バンプフォイルは、前記ラジアルトップフォイルを弾性的に支持するラジアルバンプフォイルであり、
   前記ラジアルバンプフォイルは、
   前記軸受ハウジングに固定される固定端と、
   前記軸受ハウジングに固定されない自由端と、を有し、
   前記ラジアルトップフォイルは、
   前記軸受ハウジングに固定される固定端と、
   前記軸受ハウジングに固定されない自由端と、を有し、
   前記縁部は、前記ラジアルトップフォイルにおける前記固定端から前記自由端を繋ぐ前記回転体の回転軸線方向の両端から前記回転軸線方向に突出していることを特徴とする請求項１～請求項４のいずれか一項に記載のフォイル軸受。
6. 前記ラジアルバンプフォイルにおける前記回転軸線方向の一端から他端に向けて冷却流体が流れる方向において、
   前記ラジアルバンプフォイルの山部は、前記一端から前記他端に向けて、冷却流体を引き込むように前記回転体の回転方向へ延び、
   前記ラジアルバンプフォイルの谷部は、前記一端から前記他端に向けて、冷却流体を引き込むように前記回転方向へ延びていることを特徴とする請求項３～請求項５のいずれか一項に記載のフォイル軸受。
7. 前記トップフォイルは、前記回転体をスラスト方向で支持するスラストトップフォイルであり、
   前記バンプフォイルは、前記スラストトップフォイルを弾性的に支持するスラストバンプフォイルであり、
   前記スラストバンプフォイルは、前記回転体の回転軸線方向に対して直交する方向に対して、前記スラストトップフォイルよりも幅広であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のフォイル軸受。
8. 前記縁部は、前記スラストトップフォイルにおける前記回転軸線方向に対して直交する方向の両端から均等に突出していることを特徴とする請求項７に記載のフォイル軸受。
9. 前記トップフォイルは、前記回転体をスラスト方向で支持するスラストトップフォイルであり、
   前記バンプフォイルは、前記スラストトップフォイルを弾性的に支持するスラストバンプフォイルであり、
   前記スラストバンプフォイルは、
   前記軸受ハウジングに固定される固定端と、
   前記軸受ハウジングに固定されない自由端と、を有し、
   前記スラストトップフォイルは、
   前記軸受ハウジングに固定される固定端と、
   前記軸受ハウジングに固定されない自由端と、を有し、
   前記縁部は、前記スラストトップフォイルにおける前記自由端の縁から前記回転体の回転方向に突出していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のフォイル軸受。
10. 前記スラストバンプフォイルにおける前記回転体の回転軸線方向に対して直交する方向の両端のうち、内縁から外縁に向けて冷却流体が流れる方向において、
    前記スラストバンプフォイルの山部は、前記内縁から前記外縁に向けて、冷却流体を引き込むように前記回転体の回転方向へ延び、
    前記スラストバンプフォイルの谷部は、前記内縁から前記外縁に向けて、冷却流体を引き込むように前記回転方向へ延びていることを特徴とする請求項７～請求項９のいずれか一項に記載のフォイル軸受。
11. 前記縁部の山部には、前記回転体との接触を回避するスリットが設けられ、
    前記縁部の谷部には、前記スリットが設けられていないことを特徴とする請求項２～請求項６のいずれか一項に記載のフォイル軸受。

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