JP2023122541A - 接着剤塗布システムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
X1 ・・・第1列
A1 ・・・第1領域
A2 ・・・第2領域
Ab ・・・中間領域
An ・・・第n領域
2 ・・・接着剤
3 ・・・テスト用ガラス基板
10 ・・・基板載置装置
11 ・・・基板支持台
12 ・・・基板前進装置
20 ・・・カメラ装置
21 ・・・カメラ
L ・・・撮影軸
22 ・・・カメラ移動装置
221 ・・・カメラヘッド
222 ・・・Y軸アクチュエータ
R ・・・Y軸ガイドレール
30 ・・・接着剤塗布装置
31 ・・・接着剤ノズル
31a ・・・吐出口
32 ・・・ノズル移送ロボット
40 ・・・制御部
P1 ・・・撮影基準位置
P2 ・・・塗布基準位置
100 ・・・接着剤塗布システム
Claims (20)
- 基板における第1領域の位置を認識できるように前記第1領域を撮影するカメラ装置;および
前記カメラ装置を介して認識された前記第1領域に接着剤を塗布する接着剤塗布装置;
を含み、
前記カメラ装置は、
前記接着剤塗布装置が前記第1領域に接着剤を塗布した後、次の第2領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第1領域を検査できるように前記第1領域を撮影する、接着剤塗布システム。 - 前記カメラ装置は、
カメラが前記接着剤塗布装置から自由に独立に動く、請求項1に記載の接着剤塗布システム。 - 前記基板が載置される基板載置装置をさらに含み、
前記基板載置装置は、
前記基板を支持する基板支持台;および
前記基板支持台をX軸方向に順次前進させる基板前進装置;
を含む、請求項2に記載の接着剤塗布システム。 - 前記カメラ装置は、
前記第1領域を撮影できるように前記第1領域の撮影軸上に位置可能な前記カメラ;および
前記カメラが前記基板前進装置により前進して、一列に並べられた複数の第1領域~第n領域(nは自然数)の上方に順次または選択的に位置できるように、前記カメラをY軸方向に移動させるカメラ移動装置;
を含む、請求項3に記載の接着剤塗布システム。 - 前記カメラ移動装置は、
前記カメラが設けられるカメラヘッド;および
Y軸ガイドレールまたはY軸ガイド棒に沿って前記カメラヘッドをY軸方向に移動させるY軸アクチュエータ;
を含む、請求項4に記載の接着剤塗布システム。 - 前記接着剤塗布装置は、
前記第1領域上に選択的に進入可能な接着剤ノズル;および
前記接着剤ノズルをX軸、Y軸、およびZ軸方向に移動可能なノズル移送ロボット;
を含む、請求項4に記載の接着剤塗布システム。 - 前記接着剤ノズルの吐出口は、前記撮影軸線上に位置できるものであり、
前記ノズル移送ロボットは、前記カメラと前記接着剤ノズルが互いに干渉するのを防止できるように、前記カメラの撮影時に前記接着剤ノズルが前記撮影軸からずれるように、前記接着剤ノズルを移送する、請求項6に記載の接着剤塗布システム。 - 前記カメラ装置と前記接着剤塗布装置が互いに独立に動作できるように、前記カメラ装置と前記接着剤塗布装置を個別的に制御する制御部;
をさらに含む、請求項1に記載の接着剤塗布システム。 - 前記制御部は、
前記基板にn行m列(n、mは自然数)に配置された複数の領域のうち少なくとも二つ以上の領域を前記カメラ装置で撮影し、前記領域の全体的な個別位置を認識する、請求項8に記載の接着剤塗布システム。 - 前記制御部は、
前記基板にn行m列(n、mは自然数)に配置された複数の領域のうち、第1列の第1領域~第n領域における、最初の第1領域と、最後の第n領域をカメラ装置で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて個別位置を認識する、請求項8に記載の接着剤塗布システム。 - 前記制御部は、
前記基板にn行m列(n、mは自然数)に配置された複数の前記領域のうち、第1列の第1領域~第n領域における、最初の第1領域と、中間領域のうちいずれか一つ以上をカメラ装置で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて個別位置を認識する、請求項8に記載の接着剤塗布システム。 - 前記制御部は、
前記接着剤塗布装置が前記第1領域の上方に移動して前記第1領域に接着剤を塗布した後、前記接着剤塗布装置が次の第2領域の上方に移動して前記第2領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第1領域を検査するために、前記接着剤塗布装置とは別に前記カメラ装置が前記第1領域の上方に移動できるように前記カメラ装置を制御する、請求項8に記載の接着剤塗布システム。 - (a)基板における第1領域の位置を認識できるように、カメラ装置を用いて前記第1領域を撮影するステップ;
(b)前記カメラ装置を介して認識された前記第1領域に接着剤塗布装置を用いて接着剤を塗布するステップ;および
(c)前記接着剤塗布装置が前記第1領域に接着剤を塗布した後、次の第2領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第1領域を検査できるように、前記カメラ装置で前記第1領域を撮影するステップ;
を含む、接着剤の塗布方法。 - 前記(a)ステップにおいて、
前記基板にn行m列(n、mは自然数)に配置された複数の領域のうち少なくとも二つ以上の領域を前記カメラ装置で撮影し、前記領域の全体的な個別位置を認識する、請求項13に記載の接着剤の塗布方法。 - 前記(a)ステップにおいて、
前記基板にn行m列(n、mは自然数)に配置された複数の領域のうち、第1列の第1領域~第n領域における、最初の第1領域と、最後の第n領域をカメラ装置で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて全体的な個別位置を認識する、請求項13に記載の接着剤の塗布方法。 - 前記(a)ステップにおいて、
前記基板にn行m列(n、mは自然数)に配置された複数の前記領域のうち、第1列の第1領域~第n領域における、最初の領域と、中間領域のうちいずれか一つ以上を選択した領域をカメラ装置で撮影し、残りは、比率またはオフセット値を用いて前記領域の全体的な個別位置を認識する、請求項13に記載の接着剤の塗布方法。 - 前記(c)ステップにおいて、
前記接着剤塗布装置が前記第1領域の上方に移動して前記第1領域に接着剤を塗布した後、前記接着剤塗布装置が次の第2領域の上方に移動して前記第2領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第1領域を検査するために、前記接着剤塗布装置とは別に前記カメラ装置が前記第1領域の上方に移動する、請求項13に記載の接着剤の塗布方法。 - 前記(a)ステップ以前に、
(d)前記カメラ装置の撮影基準位置と前記接着剤塗布装置の塗布基準位置を整列させるステップ;
をさらに含む、請求項13に記載の接着剤の塗布方法。 - 前記(d)ステップにおいて、
テスト用ガラス基板を用いて前記撮影基準位置と前記塗布基準位置を整列させる、請求項18に記載の接着剤の塗布方法。 - 基板が載置される基板載置装置;
前記基板載置装置に載置された前記基板における第1領域の位置を認識できるように前記第1領域を撮影するカメラ装置;
前記カメラ装置を介して認識された前記第1領域に接着剤を塗布する接着剤塗布装置;および
前記カメラ装置と前記接着剤塗布装置が互いに独立に動作できるように、前記カメラ装置と前記接着剤塗布装置を個別的に制御する制御部;
を含み、
前記基板載置装置は、
前記基板を支持する基板支持台;および
前記基板支持台をX軸方向に順次前進させる基板前進装置;
を含み、
前記カメラ装置は、
前記第1領域を撮影できるように前記第1領域の撮影軸上に位置可能な前記カメラ;および
前記カメラが前記基板前進装置により前進して、一列に並べられた複数の第1領域~第n領域(nは自然数)の上方に順次または選択的に位置できるように、前記カメラをY軸方向に移動させるカメラ移動装置;
を含み、
前記接着剤塗布装置は、
前記第1領域上に選択的に進入可能な接着剤ノズル;および
前記接着剤ノズルをX軸、Y軸、およびZ軸方向に移動可能なノズル移送ロボット;
を含み、
前記制御部は、
前記基板にn行m列(n、mは自然数)に配置された複数の領域のうち少なくとも二つ以上の領域を前記カメラ装置で撮影して前記領域の全体的な個別位置を認識し、前記接着剤塗布装置が前記第1領域の上方に移動して前記第1領域に接着剤を塗布した後、前記接着剤塗布装置が次の第2領域の上方に移動して前記第2領域に接着剤を塗布する途中に、塗布が完了した前記第1領域を検査するために、前記接着剤塗布装置とは別に前記カメラ装置が前記第1領域の上方に移動できるように前記カメラ装置を制御する、接着剤塗布システム。
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