JP2023121376A - 電気二重層トランジスタ - Google Patents
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 58
- 229910002353 SrRuO3 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 150000003624 transition metals Chemical group 0.000 claims abstract description 6
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 239000002608 ionic liquid Substances 0.000 claims description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 claims description 5
- WUFQNPMBKMKEHN-UHFFFAOYSA-N bis(trifluoromethylsulfonyl)azanide;diethyl-(2-methoxyethyl)-methylazanium Chemical compound CC[N+](C)(CC)CCOC.FC(F)(F)S(=O)(=O)[N-]S(=O)(=O)C(F)(F)F WUFQNPMBKMKEHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 abstract description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 6
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 229910004121 SrRuO Inorganic materials 0.000 description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 5
- 230000002547 anomalous effect Effects 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000005667 quantum oscillations Effects 0.000 description 2
- ZXMGHDIOOHOAAE-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trifluoro-n-(trifluoromethylsulfonyl)methanesulfonamide Chemical compound FC(F)(F)S(=O)(=O)NS(=O)(=O)C(F)(F)F ZXMGHDIOOHOAAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical compound [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- -1 Au and Cr Chemical class 0.000 description 1
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-O Imidazolium Chemical compound C1=C[NH+]=CN1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical group [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000005307 ferromagnetism Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 230000005408 paramagnetism Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- UEZVMMHDMIWARA-UHFFFAOYSA-M phosphonate Chemical compound [O-]P(=O)=O UEZVMMHDMIWARA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-O pyridinium Chemical compound C1=CC=[NH+]C=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical group [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
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Abstract
【課題】SrRuO3などのワイル半金属を作製した後に、ワイルフェルミオンの電気伝導および磁気抵抗を制御する。【解決手段】Sr1-XAXRu1-YBYO3(Aはアルカリ金属またはSr以外のアルカリ土類金属、0≦X≦0.05、Bは遷移金属、0≦Y≦0.05)から構成され、300Kでの抵抗率と4Kでの抵抗率との比が21以上が発現条件とされているワイルフェルミオンの輸送現象を発現する物質から構成された薄膜101と、薄膜101の表面に互いに離間して形成されたソース電極102およびドレイン電極103と、ソース電極102とドレイン電極103との間の薄膜101に形成され、キャリアが導入されたキャリア導入層104とにより電気二重層トランジスタを構成する。【選択図】 図1
Description
本発明は、電気二重層トランジスタに関する。
SrRuO3(ペロブスカイト構造)は、キュリー温度(TC)が最大160Kの強磁性金属である。また、このSrRuO3は、高い化学的安定性、高い電気伝導度を持ち、SrTiO3などのペロブスカイト酸化物との間に高い整合性を備えている。これらの特徴から、SrRuO3は、酸化物を利用したMOSFETやLEDなどのエレクトロニクス応用へ向けて有望な物質である(非特許文献1)。
また、ワイル半金属として知られているSrRuO3の中の、質量ゼロの線形なバンド分散を持つワイルフェルミオンは、その輸送特性として高い移動度を持つ(非特許文献2)。このため、SrRuO3は、高速かつ低消費電力で動作するトランジスタなどのデバイスへの応用が期待され、さらに、巨大な正の磁気抵抗効果や、大きな負の磁気抵抗効果であるカイラル異常磁気抵抗を利用した高感度な磁場センサーなどとしても有望である。ここで、磁気抵抗の正負は、磁場をかける向きと電場をかける向きとの角度によって制御することができる。
H. Y. Hwang et al., "Emergent phenomena at oxide interfaces", Nature Materials, vol. 11, pp. 103-113, 2012.
K. Takiguchi et al., "Quantum transport evidence of Weyl fermions in an epitaxial ferromagnetic oxide", Nature Communications, vol. 11, Article number: 4969, 2020.
S. Shimizu et al., "Gate tuning of anomalous Hall effect in ferromagnetic metal SrRuO3", Applied Physics Letters, vol. 105, 163509, 2014.
SrRuO3におけるワイルフェルミオンは、100%を超える磁気抵抗比、10000cm2/Vsを超える高い移動度を持つなど優れた特性を有する(非特許文献2)。しかしながら、以下に示すことにより、SrRuO3を作製した後に、ワイルフェルミオンの電気伝導および磁気抵抗を制御する技術はない。
まず、残留抵抗比RRR≡ρ(300K)/ρ(4K)が10以下の一般的な品質のSrRuO3薄膜を用いたゲート電圧印加素子では、ワイルフェルミオンの電気伝導および磁気抵抗が実現していないためである(非特許文献3)。また、SrRuO3におけるワイルフェルミオンの電気伝導、磁気抵抗をゲート電圧により制御する構造や技術が確立していないためである。
上述したように、SrRuO3などのワイル半金属は、作製した後に、ワイルフェルミオンの電気伝導および磁気抵抗を制御する技術が確立されていないという問題があった。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、SrRuO3などのワイル半金属を作製した後に、ワイルフェルミオンの電気伝導および磁気抵抗を制御することを目的とする。
本発明に係る電気二重層トランジスタは、Sr1-XAXRu1-YBYO3(Aはアルカリ金属またはSr以外のアルカリ土類金属、0≦X≦0.05、Bは遷移金属、0≦Y≦0.05)から構成され、300Kでの抵抗率と4Kでの抵抗率との比が21以上が発現条件とされているワイルフェルミオンの輸送現象を発現する物質から構成された薄膜と、薄膜の表面に互いに離間して形成されたソース電極およびドレイン電極と、ソース電極とドレイン電極との間の薄膜に形成され、キャリアが導入されたキャリア導入層と、薄膜の表面に接する状態で配置されたイオン液体と、ソース電極、ドレイン電極、および薄膜とは離間して、イオン液体に接触するゲート電極とを備える。
以上説明したように、本発明によれば、Sr1-XAXRu1-YBYO3を、電気二重層トランジスタのキャリア導入層が形成される薄膜の材料としたので、SrRuO3などのワイル半金属を作製した後に、ワイルフェルミオンの電気伝導および磁気抵抗が制御できる。
以下、本発明の実施の形態に係る電気二重層トランジスタについて図1を参照して説明する。この電気二重層トランジスタは、薄膜101と、薄膜101の表面に互いに離間して形成されたソース電極102およびドレイン電極103と、ソース電極102とドレイン電極103との間の薄膜101に形成され、キャリアが導入されたキャリア導入層104とを備える。
薄膜101は、Sr1-XAXRu1-YBYO3(Aはアルカリ金属またはSr以外のアルカリ土類金属、0≦X≦0.05、Bは遷移金属、0≦Y≦0.05)から構成され、300Kでの抵抗率と4Kでの抵抗率との比が21以上あることが発現条件であるワイルフェルミオンの輸送現象を発現する物質から構成されている。典型的には、薄膜101は、X=0およびY=0としたSrRuO3から構成することができる。Sr1-XAXRu1-YBYO3は、ワイル半金属であるということができる。X=0およびY=0としたSrRuO3はA、Bの元素置換が不要なため、より簡便に作製できる。
また、この電気二重層トランジスタは、イオン液体105と、ゲート電極106とを備える。イオン液体105は、ソース電極102とドレイン電極103との間の薄膜101の表面に接する状態で配置される。イオン液体105は、例えば、N,N-ジエチル-N-メチル-N-(2-メトキシエチル)アンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド[N,N-Diethyl-N-methyl-N-(2-methoxyethyl)ammonium bis(trifluoro methanesulfonyl)imide:DEME-TFSI]から構成することができる。また、イオン液体105は、例えばイミダゾリウム系イオン液体、ピリジニウム系イオン液体、脂肪族系イオン液体、ホスホネート系イオン液体、よう素系イオン液体などのイオン液体を用いることができる。なお、この例では、イオン液体105は、ソース電極102およびドレイン電極103にも接触している。
ゲート電極106は、ソース電極102、ドレイン電極103、および薄膜101とは離間して、イオン液体105に接触する。
この電気二重層トランジスタでは、ゲート電極106にゲート電圧が印加されると、ソース電極102とドレイン電極103との間のキャリア導入層104におけるワイルフェルミオンの電気伝導、磁気抵抗比が変調される。なお、図1に示すキャリア導入層104は、おおよその状態を示すものであり、キャリア導入層104の形成領域は、図1に示す状態に限るものではない。後述するように、キャリア導入層104は、ゲート電圧印加により、イオン液体105に接している箇所から、薄膜101にキャリアが導入されることにより形成される。したがって、例えば、薄膜101の厚さ方向に、図1に示す状態より深い位置にまでキャリア導入層104が形成されることも考えられる。また、薄膜101のソース電極102やドレイン電極103の直下の領域まで広がって、キャリア導入層104が形成されることも考えられる。
ここで、SrRuO3の各元素の組成は、±5%以内であれば、RRRを21以上とすることができ、1000cm2/Vsを超える高い移動度を持ち、-10%を超える磁気抵抗比を持つカイラル異常磁気抵抗を示すワイルフェルミオンの輸送現象が得られる。
また、薄膜101を構成できる物質は、Srの一部をアルカリ金属原子またはアルカリ土類金属原子(A)で置換したSr1-XAXRuO3とすることができる。この場合、0≦X≦0.05の範囲であれば、1000cm2/Vsを超える高い移動度を持ち、-10%を超える磁気抵抗比を持つカイラル異常磁気抵抗を示すワイルフェルミオンの輸送現象が得られる。
また、薄膜101を構成できる物質は、Ruの一部を遷移金属原子(B)で置換したSr1-XAXRu1-YBYO3とすることができる。0≦Y≦0.05の範囲であれば、1000cm2/Vsを超える高い移動度を持ち、-10%を超える磁気抵抗比を持つカイラル異常磁気抵抗を示すワイルフェルミオンの輸送現象が得られる。
SrRuO3は、図2に示すように、ストロンチウム原子Sr、ルテニウム原子Ru、酸素原子Oが、格子点に配置された擬立方晶系の結晶構造とされている。SrRuO3は、物性値である300Kでの抵抗率ρ(300K)と4Kでの抵抗率ρ(4K)の比である残留抵抗比RRR≡ρ(300K)/ρ(4K)が、21以上となる条件で作製すれば、ワイルフェルミオンの輸送現象が実現する。
薄膜101を構成できるSr1-XAXRu1-YBYO3は、ペロブスカイト構造を持つため、TaAs(参考文献1)、NbP(参考文献2)、Co3Sn2S2(参考文献3)などのペロブスカイト構造を持たない従来のワイルフェルミオンの輸送現象を示す物質に比べ、酸化物エピタキシャルヘテロ構造に組み込みやすいという利点も持つ。
例えば、SrRuO3は、所定の基板の上に薄膜として形成して用いることができる。ここで、SrRuO3薄膜の品質の指標として、室温(300K)での抵抗率ρ(300K)と4Kでの抵抗率ρ(4K)の比である残留抵抗比RRR≡ρ(300K)/ρ(4K)が、広く用いられている。
Ru欠損やRuO2析出物などが少ない高品質なSrRuO3薄膜ほど、ρ(4K)が小さく、RRRを大きくできる。SrRuO3において、ワイルフェルミオンの輸送特性である高い移動度、カイラル異常磁気抵抗を発現するには、RRRが21以上となる結晶成長条件においてSrRuO3を作製することが重要となる。RRRが21以上となるSrRuO3であれば、成長方法に関係なくワイルフェルミオンの輸送が実現できる。
上述したSrRuO3の成長方法としては、例えば、よく知られた分子線エピタキシー法がある。例えば、図3に示すように、主表面の面方位を(001)としたSrTiO3からなる成長基板201の上に、よく知られた分子線エピタキシー法によりSrRuO3を成長し、SrRuO3からなる薄膜101を形成することができる。なお、成長基板は、MgO(001)、(La0.3Sr0.7)(Al0.65Ta0.35)O3(001)などの材料から構成することができる。
また、分子線エピタキシー法以外の成長方法としては、例えば、スパッタリングやパルスレーザーアブレーションを用いてもワイルフェルミオンの輸送ができるSrRuO3の作製が実現できる。SrRuO3の形状は、基板上に形成した薄膜に限るものではなく、バルク合成技術により得られる粉末形状やバルク形状とすることもできる。
以下、電気二重層トランジスタの製造方法を説明する。まず、SrTiO3(001)からなる成長基板の上に、分子線エピタキシー法によりSrRuO3を成長し、薄膜101を形成する。
例えば、分子線エピタキシー装置の成長室内に成長基板を搬入し、成長室内を超高真空とし、基板温度条件を780℃として、アルカリ土類金属Sr、4d遷移金属Ruの原子線を所定の組成比となるように10-6Torr程度の活性酸素雰囲気下で成長基板の上に供給する。これらのことにより、SrRuO3からなる薄膜101が形成できる。薄膜101は、例えば、厚さ10nmに成長することができる。
SrRuO3においてワイルフェルミオンの輸送特性である高い移動度、正の磁気抵抗比を発現するには、RRRが21以上となる結晶成長条件においてSrRuO3を作製することが必要である。RRRが21以上のSrRuO3であれば、成長方法に関係なくワイルフェルミオンの輸送現象を発現できる(参考文献4)。
次に、形成した薄膜101の表面に互いに離間してソース電極102およびドレイン電極103を設ける。例えば、よく知られた金属堆積技術により堆積した電極となる金属の膜を、公知のリソグラフィー技術およびイオンミリング技術などによりパターニングすることで、ソース電極102およびドレイン電極103が形成できる。
次に、薄膜101の表面に接する状態でイオン液体105を配置する。次に、ソース電極102、ドレイン電極103、および薄膜101とは離間して、イオン液体105に接触するゲート電極106を設ける。なお、ソース電極102、ドレイン電極103、ゲート電極106は、Agから構成することができる。また、これら電極は、Au、Crなどの単元素金属や、NbをドープしたSrTiO3などの導電性物質から構成することができる。
ここで、薄膜101の特性について説明する。はじめに、ソース電極102とドレイン電極103との間で測定される比抵抗の温度依存性を図4に示す。薄膜101のRRRの値は21である。常磁性から強磁性への転移を示す電気抵抗の折れ曲がりが150Kで見られ、キュリー温度は150Kである。
次に、2Kにおける、薄膜101の平面に対して垂直に磁場と電場を印加した状態における、ソース電極102とドレイン電極103との間で測定される磁気抵抗の変化を図5に示す。10%を超える線形な正の磁気抵抗比とともに、ワイルフェルミオンの振動周期に対応した量子振動が観測され、ワイルフェルミオンの輸送が実現していることが分かる。この量子振動から見積もられる薄膜101におけるワイルフェルミオンの移動度は、10000cm2/Vsと非常に高い値が得られている。
上述したような特性を備える薄膜101に、ゲート電極106にゲート電圧を印加することで、キャリア導入層104を形成する。このゲート電圧の印加により、イオン液体105に接している薄膜101に、キャリアが導入されてキャリア導入層104が形成される。
例えば、ソース電極102とドレイン電極103との間の薄膜101の表面から所定の深さにかけて、キャリア導入層104が形成される。この工程では、ソース電極102とドレイン電極103との間の抵抗値を測定しながら、ゲート電圧を印加する。また、この工程では、ソース電極102とドレイン電極103との間の抵抗値に対応させ、ゲート電圧の印加を制御することで、キャリア導入層104におけるキャリア濃度を制御する。
例えば、ゲート電圧4V印加により、シートキャリア密度2×1015cm-2の電子ドープ、-4Vで2×1015cm-2の正孔ドープが、薄膜101に対して得られる(参考文献5)。これらのシートキャリア密度は、ソース電極102、ドレイン電極103の間のシート抵抗の測定などにより把握することができる。
厚さ10nmに形成したSrRuO3からなる薄膜101にキャリア導入層104を形成した状態におけるシートキャリア密度は、約4×1016cm-2であり、ソース電極102とドレイン電極103との間の比抵抗および磁気抵抗比を約5%変調することができる。また、薄膜101を薄くすることで、上述した変調の量を大きくできる。例えば、薄膜101を厚さ1nmに形成すれば、約50%の変調が可能となる。また、薄膜101を厚さ0.5nmに形成すれば、約100%の変調が可能となる。この変調量は、ゲート電圧にも比例し、例えば8V印加すれば4V印加と比べて倍の変調量となる。このように、ゲート電圧、薄膜101の厚さの設計によって、ソース電極102とドレイン電極103との間の比抵抗および磁気抵抗比の変調量を、自由に制御することが可能である。
実施の形態に係る電気二重層トランジスタは、キャリア導入層104が形成されている薄膜101とゲート電極106との間にイオン液体105を配置している。これに対し、イオン液体の代わりに一般的なトランジスタ構造のゲート絶縁膜として用いられる酸化シリコンや酸化アルミニウムなどを用いた構造では、大きな変調量を得ることはできない。
以上に説明したように本発明によれば、Sr1-XAXRu1-YBYO3を、電気二重層トランジスタのキャリア導入層が形成される薄膜の材料としたので、SrRuO3などのワイル半金属を作製した後に、ワイルフェルミオンの電気伝導および磁気抵抗が制御できるようになる。本発明によれば、ワイルフェルミオンの輸送のゲート電圧制御が実現し、ワイルフェルミオンの高い移動度や大きな磁気抵抗比を利用したデバイス応用が可能になる。また、Sr1-XAXRu1-YBYO3は酸化物などの基板の上に単結晶エピタキシャル成長することから、酸化物エレクトロニクスと非常に整合性の高いワイルフェルミオンの輸送のゲート電圧制御デバイスが実現できる。
なお、本発明は以上に説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で、当分野において通常の知識を有する者により、多くの変形および組み合わせが実施可能であることは明白である。
[参考文献1]X. Huang et al., "Observation of the Chiral-Anomaly-Induced Negative Magnetoresistance in 3D Weyl Semimetal TaAs", Physical Review X, vol. 5, no. 3, 031023, 2015.
[参考文献2]C. Shekhar et al., "Extremely large magnetoresistance and ultrahigh mobility in the topological Weyl semimetal candidate NbP", Nature Physics, vol. 11, no. 645-649, 2015.
[参考文献3]D. F. Liu et al., "Magnetic Weyl semimetal phase in a Kagome crystal", Science, vol. 365, pp. 1282-1285, 2019.
[参考文献4]S. K. Takada et al., "Thickness-dependent quantum transport of Weyl fermions in ultra-high-quality SrRuO3 films", Applied Physics Letters, vol. 118, 092408, 2021.
[参考文献5]K. Ueno et al., "Field-Induced Superconductivity in Electric Double Layer Transistors", Journal of the Physical Society of Japan, vol. 83, 032001, 2014.
[参考文献2]C. Shekhar et al., "Extremely large magnetoresistance and ultrahigh mobility in the topological Weyl semimetal candidate NbP", Nature Physics, vol. 11, no. 645-649, 2015.
[参考文献3]D. F. Liu et al., "Magnetic Weyl semimetal phase in a Kagome crystal", Science, vol. 365, pp. 1282-1285, 2019.
[参考文献4]S. K. Takada et al., "Thickness-dependent quantum transport of Weyl fermions in ultra-high-quality SrRuO3 films", Applied Physics Letters, vol. 118, 092408, 2021.
[参考文献5]K. Ueno et al., "Field-Induced Superconductivity in Electric Double Layer Transistors", Journal of the Physical Society of Japan, vol. 83, 032001, 2014.
101…薄膜、102…ソース電極、103…ドレイン電極、104…キャリア導入層、105…イオン液体、106…ゲート電極。
Claims (3)
- Sr1-XAXRu1-YBYO3(Aはアルカリ金属またはSr以外のアルカリ土類金属、0≦X≦0.05、Bは遷移金属、0≦Y≦0.05)から構成され、300Kでの抵抗率と4Kでの抵抗率との比が21以上が発現条件とされているワイルフェルミオンの輸送現象を発現する物質から構成された薄膜と、
前記薄膜の表面に互いに離間して形成されたソース電極およびドレイン電極と、
前記ソース電極と前記ドレイン電極との間の前記薄膜に形成され、キャリアが導入されたキャリア導入層と、
前記薄膜の表面に接する状態で配置されたイオン液体と、
前記ソース電極、前記ドレイン電極、および前記薄膜とは離間して、前記イオン液体に接触するゲート電極と
を備える電気二重層トランジスタ。 - 請求項1記載の電気二重層トランジスタにおいて、
前記薄膜は、SrRuO3から構成されていることを特徴とする電気二重層トランジスタ。 - 請求項1または2記載の電気二重層トランジスタにおいて、
前記イオン液体は、N,N-ジエチル-N-メチル-N-(2-メトキシエチル)アンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミドから構成されていることを特徴とする電気二重層トランジスタ。
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