JP2023106744A - 故障診断方法及び故障診断装置 - Google Patents

故障診断方法及び故障診断装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2023106744A
JP2023106744A JP2022007657A JP2022007657A JP2023106744A JP 2023106744 A JP2023106744 A JP 2023106744A JP 2022007657 A JP2022007657 A JP 2022007657A JP 2022007657 A JP2022007657 A JP 2022007657A JP 2023106744 A JP2023106744 A JP 2023106744A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
failure
failure probability
probability
axis
database
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2022007657A
Other languages
English (en)
Inventor
ウェン穎 李
Wenying Li
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nissan Motor Co Ltd
Original Assignee
Nissan Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nissan Motor Co Ltd filed Critical Nissan Motor Co Ltd
Priority to JP2022007657A priority Critical patent/JP2023106744A/ja
Publication of JP2023106744A publication Critical patent/JP2023106744A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)

Abstract

【課題】精度良く故障診断を実施する。【解決手段】故障確率推定部24は、トルクデータ及び荷重データに基づいてロボット軸11毎に故障確率を推定する。閾値設定部25は、故障確率に基づいてロボット軸11毎の故障診断に用いる閾値を設定する。トルクデータ解析部26は、トルクデータベース21に蓄積されたトルクデータに基づいて解析値を算出する。故障判断部27は、上記閾値と上記解析値を比較して、ロボット軸11毎に故障の有無を判定する。これによって、ロボット軸11毎に故障の有無を判定できるので、ロボット軸11毎に精度良く故障診断を実施することができる。【選択図】図1

Description

本発明は、故障診断方法及び故障診断装置に関する。
例えば、特許文献1には、多軸型の産業用ロボットの故障診断方法が開示されている。
特許文献1では、モータを駆動源として相対的に回転運動する一対の被駆動部材が一定速度で相対回転しているときに取得されたトルク指令と速度フィードバックとに基づいて、減速機に関する外乱推定値を推定する。さらに、外乱推定値の周波数成分からクランク軸の回転周波数の定数倍に対応する特定スペクトルを抽出する。そして、特定された特定スペクトルの振幅と閾値を比較し、特定スペクトルの振幅が閾値を超えた場合を異常と診断し、特定スペクトルの振幅がしきい値と同程度ないしそれより小さい場合を正常と診断する。
特開2008-32477号公報
しかしながら、特許文献1に記載の故障診断では、故障検出を行う際、ロボットにて存在する全ての軸の減速機に対し同一の故障診断の値(閾値)を用いている。1つのロボットにおいては、軸毎に負荷(負担)や可動範囲が異なるため、軸毎に故障確率が異なる。
従って、特許文献1においては、各軸の故障の見逃しを抑制しようとすれば、各軸の故障確率に関わらず、すべての軸に低い閾値を使用して故障診断することになる。そのため、特許文献1においては、故障が発生する可能性の低い軸に対して低い閾値が適用された場合に、正常なのに異常と判断されて、誤報率が高くなる虞がある。
本発明の目的は、多軸型ロボットの故障予知システムにおいて、同一の故障診断閾値による誤報を排除した故障予知が可能となる誤報防止機能を提供することである。
本発明の故障診断は、回転する複数の軸を有する機械の各軸についてのデータに基づいて当該機械の軸毎に故障確率を推定し、上記故障確率と上記データが蓄積されたデータベースからの情報とに基づいて上記機械の軸毎に故障診断に用いる閾値を算出し、上記データベースに蓄積された情報に基づく解析値と上記閾値とを比較して上記機械の軸毎に故障診断を実施することを特徴としている。
本発明の故障診断は、軸毎に故障の有無を判定できるので、軸毎に精度良く故障診断を実施することができる。
本発明が適用された第1実施例の故障診断システムの構成を示すブロック図。 第1実施例の故障診断システムにおける処理の流れを示すフローチャート。 本発明が適用された第2実施例の故障診断システムの構成を示すブロック図。 第2実施例の故障診断システムにおける処理の流れを示すフローチャート。 本発明が適用された第3実施例の故障診断システムの構成を示すブロック図。 第3実施例の故障診断システムにおける処理の流れを示すフローチャート。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
図1は、本発明が適用された第1実施例の故障診断システムの構成を示したブロック図である。
故障診断システムは、故障診断の対象となる生産ロボット101と、診断ユニット102と、生産ロボット101を管理する設備管理ユニット103と、を有している。
多軸型ロボットである生産ロボット101は、回転する複数の軸を有する機械に相当するものであり、複数のロボット軸11と、複数の減速機12と、複数の第1センサとしてのトルクセンサ13と、後述する通信部23との間で信号の送受信が可能な通信部14と、複数の第2センサとしての荷重センサ15と、を有している。
減速機12は、ロボット軸11毎に設けられている。トルクセンサ13は、減速機12毎に設けられている。荷重センサ15は、ロボット軸11毎に設けられている。各ロボット軸11には、減速機12を介して図示せぬモータの回転が伝達される。
減速機12に入力されるトルクは、減速機12が接続されたロボット軸11に入力されるトルクとしてトルクセンサ13で取得(検出)され、通信部14を通して診断ユニット102に伝達される。トルクセンサ13で取得(検出)されるトルクのデータは、ロボット軸11についてのデータに相当する。
ロボット軸11に入力される荷重(負荷)は、荷重センサ15で取得(検出)され、通信部14を通して診断ユニット102に伝達される。荷重センサ15で取得(検出)される荷重(負荷)のデータは、ロボット軸11についてのデータに相当する。
なお、トルクセンサ13は、各ロボット軸11に入力されるトルクを直接取得(検出)してもよい。また、荷重センサ15は、減速機12に入力される荷重(負荷)をロボット軸11に作用する荷重(負荷)として取得(検出)するようにしてもよい。
診断ユニット102は、第1データベースとしてのトルクデータベース21と、第2データベースとしての荷重データベース22と、通信部14との間で信号の送受信が可能な通信部23と、故障確率推定部24と、閾値設定部25と、トルクデータ解析部26と、故障判断部27と、を有している。
トルクデータベース21は、通信部23で受信した通信部14からのトルクデータ(トルクセンサ13の検出信号)を蓄積する。
荷重データベース22は、通信部23で受信した通信部14からの荷重(負荷)データ(荷重センサ15の検出信号)を蓄積する。
故障確率推定部24は、ロボット軸11毎の故障確率を推定する。具体的には、故障確率推定部24は、例えば、通信部14から送られたトルクデータ及び荷重(負荷)データに基づいてロボット軸11毎に故障確率を推定(算出)する。つまり、故障確率は、ロボット軸11についてのデータに基づいて推定(算出)される。
故障確率は、例えば、減速機12の摩耗量に比例して高くなる。つまり、故障確率は、例えば、使用期間が長くなるほど高くなる。減速機12の摩耗量は、例えば、ロボット軸11の回転範囲と負荷に応じて変化する。ロボット軸11の回転範囲は、ロボット軸11の回転回数と回転距離に応じて変化する。
ここで、回転距離は、例えば、1サイクル(ロボット軸11が待機状態から動き出して(回転し出して)再び待機状態に戻るまでの一連の動き)中のロボット軸11の回転角度の和である。なお、回転距離は、例えば、ロボット軸11の単位時間あたりの回転角度であってもよい。
回転回数は、例えば、ロボット軸11が待機状態から動きだして待機状態に戻るまでの一連の動きを何回したかを表している。なお、回転回数は、例えば、単位時間当たりのサイクル数であってもよい。
故障確率は、例えば、回転回数が大きくなるほど低くなるよう設定される。また、故障確率は、例えば、回転距離が大きくなるほど高くなるよう設定される。
また、故障確率推定部24は、ロボット軸11毎に設定されるトルク及び荷重(負荷)の設定値(目標値)に基づいてロボット軸11毎に故障確率を推定(算出)してもよい。この場合、故障確率は、例えば、負荷が大きくなるほど高くなるよう設定される。
閾値設定部25は、ロボット軸11毎の故障診断に用いる閾値を設定する。そのため、閾値設定部25は、例えば、トルクデータベース21に蓄積された直近の2年間のトルクデータを用いてロボット軸11毎に故障診断に用いる閾値を計算する。
故障診断は、閾値の値が高く(大きく)なるほど、故障の見逃し数は多くなり、故障ではないのに故障と判定する誤報の数(誤報数)は少なくなる。また、故障診断は、閾値の値が低く(小さく)なるほど、故障の見逃し数は少なくなり、誤報数が多くなる。つまり、故障診断における故障の見逃し数と誤報数は、閾値の値によって変化する。
そこで、閾値設定部25は、トルクデータベース21に蓄積されたトルクデータを用いて、故障の見逃し数と誤報数によって(応じて)、高、中、低の3つの異なる値の閾値を算出する。そして、これら3つの閾値の中で相対的に最も高い(大きい)値となる第1閾値は、故障確率が所定の第1確率(例えば30%)以下の場合の閾値となる。これら3つの閾値の中間の値となる第2閾値は、故障確率が所定の第1確率(例えば30%)より大きく所定の第2確率(例えば60%)以下の場合の閾値となる。これら3つの閾値の中で相対的に最も低い(小さい)値となる第3閾値は、故障確率が所定の第2確率(例えば60%)より大きい場合の閾値となる。
つまり、故障診断に用いる閾値は、トルクデータベース21に蓄積されたトルクデータと故障確率とに応じてロボット軸11毎に算出(決定)される。
故障診断は、故障確率に応じて閾値の値を設定することで、ロボット軸11毎に見逃しと誤報を減少させて、精度を向上させることができる。
トルクデータ解析部26は、トルクデータベース21に蓄積されたトルクデータに基づいて解析値を算出する。すなわち、トルクデータ解析部26は、トルクデータベース21に蓄積された情報を解析あるいは処理して、上記閾値と比較して故障診断を行う解析値を算出する。
診断部としての故障判断部27は、上記閾値と上記解析値を比較して、ロボット軸11毎に故障の有無を判定する。
設備管理ユニット103は、故障予知アラームデータベース31と、通信部23との間で信号の送受信が可能な通信部32と、生産設備管理プラットフォーム33と、第3データベースとしての減速機故障履歴データベース34と、を有している。
故障予知アラームデータベース31は、故障判断部27での判断結果を通信部32を介して蓄積している。
生産設備管理プラットフォーム33は、例えば、モニタやタブレットなどの画面表示装置であり、通信部32を介して受信した故障判断部27での判断結果を表示する。つまり、生産設備管理プラットフォーム33は、故障と判断されたロボットの情報を表示する。
減速機故障履歴データベース34は、故障した減速機12の故障情報を通信部32及び生産設備管理プラットフォーム33を経由して蓄積する。
図2は、上述した第1実施例の故障診断システムにおける処理の流れを示すフローチャートである。
ステップS11では、トルクデータベース21からトルクデータを取得する。ステップS12では、荷重データベース22から荷重(負荷)データを取得する。
ステップS13では、トルクデータの解析を行い、ロボット軸11毎に回転距離と回転回数を抽出する。回転回数、回転距離及び負荷を用いてロボット軸11毎に故障確率を算出する。
ステップS14では、算出された故障確率の高低の判断を実施する。本実施例では、ステップS14で故障確率が低い(例えば、故障確率≦30%)と判断された場合にステップS15へ進む。本実施例では、ステップS14で故障確率が中間(例えば、30%<故障確率≦60%)と判断された場合にステップS16へ進む。本実施例では、ステップS14で故障確率が高い(例えば、故障確率>60%)と判断された場合にステップS17へ進む。
ステップS15では、故障確率が低いため、相対的に高い値となる第1閾値が算出される。ステップS16では、故障確率が中程度のため、相対的に中間の値となる第2閾値が算出される。ステップS17では、故障確率が高いため、相対的に低い値となる第3閾値が算出される。
ステップS18では、データ処理を行って所定の解析値を算出する。
ステップS19では、ステップS15~ステップS17のいずれかで算出された閾値と、ステップS18で算出された解析値(処理結果)と、を比較する。
そして、ステップS19において解析値が閾値よりも小さい値であれば、該当するロボット軸11は正常、つまり該当するロボット軸11に故障がないと判定する。
そして、ステップS19において解析値が閾値以上の値であれば、該当するロボット軸11は異常、つまり該当するロボット軸11に故障がある判定し、ステップS20へ進む。
ステップS20では、ロボット軸11の故障を知らせるアラームを発する。このアラームは、例えば生産設備管理プラットフォーム33の表示画面上に表示するものや、作業者が聞き取れるアラーム音である。
このような第1実施例においては、ロボット軸11毎に故障の有無を判定できるので、生産ロボット101のロボット軸11毎に精度良く故障診断を個別に実施することができる。
換言すると、第1実施例の故障診断システムにおいては、生産ロボット101の各ロボット軸11に共通の閾値も用いて故障を判断することによる誤報を排除した故障診断が可能となる。
また、第1実施例においては、ロボット軸11毎の故障確率の大きさに合わせて、ロボット軸11毎に閾値を設定することで、ロボット軸11毎に精度良く故障診断を実施することができる。
また、第1実施例においては、各軸についてのデータに基づいて故障確率が算出されるので、故障確率を短時間で正確に推定することができる。
以下、本発明の他の実施例について説明する。なお、上述した実施例と同一の構成要素には、同一の符号を付し重複する説明を省略する。
図3及び図4を用いて本発明の第2実施例について説明する。図3は、本発明が適用された第2実施例の故障診断システムの構成を示したブロック図である。
第2実施例の故障診断システムは、上述した第1実施例の故障診断システムと略同一構成となっているが、故障確率を算出するにあたって減速機12の故障履歴を考慮しており、設備管理ユニット103が故障履歴に応じた劣化係数を算出する劣化係数計算部35を有している。
第2実施例の設備管理ユニット103は、診断ユニット102の故障確率推定部24が故障確率を推定する際、通信部23を介して、減速機12の一般情報(例えば、生産ラインを特定できる名称、生産ロボット101を特定できる名称、ロボット軸11を特定できる名称等)を受信している。
通信部32は、減速機12の一般情報を受け取り、減速機故障履歴データベース34から減速機12の故障情報を取り出す。減速機故障履歴データベース34から取り出された減速機12の故障情報は、劣化係数計算部35で劣化係数を算出する際に用いられる。劣化係数は、例えば、減速機12の使用機関が長くなるほど大きな値(故障確率が大きくなるような値)となる。劣化係数計算部35で算出された劣化係数は、通信部32及び通信部23を介して故障確率推定部24へ伝達されて、故障確率の推定(算出)の際に用いられる。具体的には、例えば上述した第1実施例のように算出された故障確率に劣化係数を乗じた値を第2実施例における故障確率とする。
図4は、第2実施例の故障診断システムにおける処理の流れを示すフローチャートである。第2実施例の故障診断システムは、ステップS13で故障確率を算出(推定)するにあたって、減速機12の故障情報に基づいて算出された劣化係数を利用している(ステップS21、ステップS22)。
詳述すると、ステップS21では、減速機故障履歴データベース34から減速機12の故障情報を読み出す。ステップS22では、減速機12の故障情報に基づいて劣化係数を算出する。劣化係数は、ロボット軸11毎に算出してよいし、各ロボット軸11に共通のものとして算出してもよい。そして、ステップS13では、回転回数、回転距離、負荷及び劣化係数を用いて故障確率を算出する。
なお、図4におけるステップS11、S12、S14~S20における処理内容は、上述した第1実施例の図2におけるステップS11、S12、S14~S20の処理内容と同一である。
例えば、減速機12のある日の動作設定が、回転回数が少なく、回転距離が短く、負荷がほとんどないような場合、このような動作設定に基づいて算出される使用当日の減速機12の故障確率は低いものとなる。しかしながら、当日の動作設定がこのような減速機12の使用期間が長く(例えば6年)、劣化が進んでいるものであれば、実際の故障確率は高いものと考えられる。
また、減速機12の故障確率は、減速機12の使用期間が長くなるほど高くなると考えられる。
そこで、減速機12の故障履歴から算出された減速機12の劣化係数を用いて減速機12の故障確率を算出することで、故障判定に適正な閾値が用いられるようにし、故障判定の際に故障が見逃されてしまうことを抑制することができる。
また、この第2実施例の故障診断システムにおいては、例えば、使用年数が減速機定格寿命(定格トルク、定格出力回転数で運転した場合の寿命時間)に近い減速機12の故障予知に対して、より効果を発揮することができる。
なお、このような第2実施例の故障診断システムにおいても、上述した第1実施と略同様の作用効果を奏することができる。
図5及び図6を用いて本発明の第3実施例について説明する。図5は、本発明が適用された第3実施例の故障診断システムの構成を示したブロック図である。
第3実施例の故障診断システムは、上述した第1実施例の故障診断システムと略同一構成となっているが、故障確率を算出するにあたって減速機12の故障履歴と過去の故障確率を考慮している。すなわち、第3実施例の故障診断システムは、診断ユニット102が故障確率を蓄積する第4データベースとしての故障確率データベース28を有し、設備管理ユニット103が故障履歴に応じた劣化係数を算出する劣化係数計算部35を有している。
劣化係数計算部35は、上述した第2実施例の劣化係数計算部35と同等のものであり、減速機故障履歴データベース34から取り出された減速機12の故障情報を用いて劣化係数を算出する。
故障確率データベース28は、故障確率推定部24が推定(算出)した故障確率を蓄積する。
また、故障確率推定部24は、故障確率を推定する際、故障確率データベース28から、推定されている減速機12の一定期間(例えば直近の1か月間)の故障確率データの履歴を取り出して利用している。
第3実施例の故障確率推定部24は、第1実施例のように算出された故障確率に劣化係数を乗じた値と、故障確率データベース28から取り出された一定期間の故障確率の平均値と、の平均値を第3実施例における故障確率としている。
換言すれば、第3実施例の故障確率推定部24は、第1実施例のように算出された故障確率に劣化係数を乗じた値と、故障確率データベース28から取り出された同一のロボット軸11の一定期間内(例えば直近1か月間内)の故障確率と、の平均値を第3実施例における故障確率としている。
図6は、第3実施例の故障診断システムにおける処理の流れを示すフローチャートである。第3実施例の故障診断システムは、ステップS13で故障確率を算出(推定)するにあたって、減速機12の故障情報に基づいて算出された劣化係数と(ステップS21、ステップS22)、ロボット軸11の故障確率履歴と(ステップS23)と、を利用している。
詳述すると、ステップS21では、減速機故障履歴データベース34から減速機12の故障情報を読み出す。ステップS22では、減速機12の故障情報に基づいて劣化係数を算出する。ステップS23では、故障確率データベース28からロボット軸11の一定期間内(例えば直近1か月間内)の故障確率を読み出す。そして、ステップS13では、回転回数、回転距離、負荷及び劣化係数を用いて算出された故障確率と、故障確率データベース28から取り出され故障履歴の平均値である履歴故障確率と、の平均値を今回の故障確率として算出する。
なお、図6におけるステップS11、S12、S14~S20における処理内容は、上述した第1実施例の図2におけるステップS11、S12、S14~S20の処理内容と同一である。
この第3実施例の故障診断システムにおいては、故障確率の履歴を利用することなく故障確率を算出する場合に比べて、より精度よく故障確率を算出することが可能となり、故障判定の際に誤報を一層抑制することができる。
なお、このような第3実施例の故障診断システムにおいても、上述した第1実施及び第2実施例と略同様の作用効果を奏することができる。
以上、本発明の具体的な実施例を説明してきたが、本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
例えば、閾値と解析値とを比較して行う故障診断は、故障予知を行うものであってもよい。この場合の故障診断は、例えば、(解析値が閾値よりも小さい)OKは故障の虞がないことを表し、(解析値が閾値以上となる)NGは故障する虞があることを表すことになる。
また、故障判定に用いる閾値は、故障の見逃し数と誤報数に応じて3段階(高中低)で算出するものに限定されるものではなく、例えば、故障の見逃し数と誤報数に応じて4段階以上で算出するようにしてもよい。
故障確率は、回転回数、回転距離及び負荷を用いて算出された故障確率と、故障確率データベース28から取り出され故障履歴の平均値と、の平均値を今回の故障確率として算出してもよい。
故障確率は、少なくともトルクデータを用いて算出するようにしてもよいし、少なくとも荷重データを用いて算出するようにしてもよい。
上述した各実施例は、故障診断方法及び故障診断装置に関するものである。
11…ロボット軸
12…減速機
13…トルクセンサ
14…通信部
15…荷重センサ
21…トルクデータベース
22…荷重データベース
23…通信部
24…故障確率推定部
25…閾値設定部
26…トルクデータ解析部
27…故障判断部
31…故障予知アラームデータベース
32…通信部
33…生産設備管理プラットフォーム
34…減速機故障履歴データベース
101…生産ロボット
102…故障ユニット
103…設備管理ユニット

Claims (9)

  1. 回転する複数の軸を有する機械の各軸についてのデータに基づいて当該機械の軸毎に故障確率を推定し、
    上記故障確率と上記データが蓄積されたデータベースからの情報とに基づいて上記機械の軸毎に故障診断に用いる閾値を算出し、上記データベースに蓄積された情報に基づく解析値と上記閾値とを比較して上記機械の軸毎に故障診断を実施することを特徴とする故障診断方法。
  2. 上記閾値は、上記故障確率が低いほど高くなることを特徴とする請求項1に記載の故障診断方法。
  3. 上記データは、少なくともトルクを含み、
    上記故障確率は、上記トルクから算出される回転回数と回転距離に基づき設定することを特徴とする請求項1または2に記載の故障診断方法。
  4. 上記故障確率は、上記回転回数が大きくなるほど低くなるよう設定することを特徴とする請求項3に記載の故障診断方法。
  5. 上記故障確率は、上記回転距離が大きくなるほど高くなるよう設定することを特徴とする請求項3または4に記載の故障診断方法。
  6. 上記データは、少なくとも負荷を含み、
    上記故障確率は、上記負荷が大きくなるほど高くなるよう設定することを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の故障診断方法。
  7. 上記故障確率は、上記機械の故障履歴に基づいて算出することを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の故障診断方法。
  8. 上記故障確率は、上記機械の軸毎の過去の故障確率に基づいて算出することを特徴とする請求項1~7のいずれかに記載の故障診断方法。
  9. 回転する複数の軸を有する機械の各軸についてのデータを検出する複数のセンサと、
    上記センサで検出した上記データを蓄積するデータベースと、
    上記データに基づいて上記機械の軸毎に故障確率を推定する故障確率推定部と、
    上記故障確率と上記データが蓄積された上記データベースからの情報とに基づいて上記機械の軸毎に故障診断に用いる閾値を算出する閾値設定部と、
    上記データベースに蓄積された情報に基づく解析値と上記閾値とを比較して上記機械の軸毎に故障診断を実施する診断部と、を有することを特徴とする故障診断装置。
JP2022007657A 2022-01-21 2022-01-21 故障診断方法及び故障診断装置 Pending JP2023106744A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022007657A JP2023106744A (ja) 2022-01-21 2022-01-21 故障診断方法及び故障診断装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022007657A JP2023106744A (ja) 2022-01-21 2022-01-21 故障診断方法及び故障診断装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2023106744A true JP2023106744A (ja) 2023-08-02

Family

ID=87473364

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022007657A Pending JP2023106744A (ja) 2022-01-21 2022-01-21 故障診断方法及び故障診断装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2023106744A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11521105B2 (en) Machine learning device and machine learning method for learning fault prediction of main shaft or motor which drives main shaft, and fault prediction device and fault prediction system including machine learning device
EP1882922B1 (en) Method of diagnosing abnormality of reduction gear and apparatus for carry out the method
JP6428935B2 (ja) 故障診断装置及び故障診断方法
KR101889248B1 (ko) 고장 진단 장치 및 고장 진단 방법
JP5454671B2 (ja) 故障原因診断システムおよびその方法
JP5482699B2 (ja) 減速機異常診断装置および減速機異常診断方法
EP1955830A1 (en) A method and a control system for monitoring the condition of an industrial robot
JP2931187B2 (ja) ポンプ劣化診断システム
EP3760398B1 (en) Abnormality detecting device and abnormality detecting method
US11951615B2 (en) Malfunction-type determination device and malfunction-type determination method
US10286507B2 (en) Machine tool having function of diagnosing abnormality of speed reducer of tool changer
KR20190081933A (ko) 제조 설비의 이상 감지 및 진단 방법
JP4417318B2 (ja) 設備診断装置
CN114216640A (zh) 用于检测工业设备故障状态的方法、设备和介质
US20080288213A1 (en) Machine condition monitoring using discontinuity detection
JP2023106744A (ja) 故障診断方法及び故障診断装置
JP2018040456A (ja) 回転軸装置及び回転軸装置における軸受の異常診断方法
WO2019186885A1 (ja) 異常検出装置及び異常検出方法
JP6963456B2 (ja) 歯車診断装置及び歯車診断方法
JP7262380B2 (ja) 診断装置
CN112557036B (zh) 诊断装置与方法以及计算机可读取存储媒介
JP7170956B1 (ja) 異常診断装置および異常診断方法
WO2022190748A1 (ja) 診断装置
KR102303406B1 (ko) 산업설비의 이상유무 진단장치 및 방법
WO2024024431A1 (ja) 監視システム、監視方法及びプログラム