JP2023072338A - 拡張装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】角クランプ部によって、テープの角部分を良好にクランプする。【解決手段】テープ支持プレート26のエア噴出口264から噴射したエアによって角ステージ520の支持面540に倣った矩形テープ7の角部分73を、支持面540と押さえ部521の下面とでクランプする。したがって、矩形テープ7の角部分73がめくれ上がっている場合でも、エア噴出口264から噴射したエアによって、矩形テープ7の角部分73を支持面540に倣せることができるので、矩形テープ7の角部分73を、支持面540と押さえ部521の下面とで良好にクランプすることができる。【選択図】図6
Description
本発明は、拡張装置に関する。
特許文献1に開示のように、チップに分割可能な分割起点を形成したウェーハが貼着された矩形のテープを拡張して、ウェーハをチップに分割するとともに、隣同士のチップに隙間を形成する拡張装置がある。
この拡張装置は、保持機構に保持されているウェーハに矩形のテープを貼着する貼着ユニットと、拡張ユニットと、搬送ユニットと、を備えている。拡張ユニットは、貼着ユニットによってウェーハに貼着されたテープの4辺を4つの独立した辺クランプ部で各辺をクランプして、対向する辺クランプ部を互いに離反する方向に移動させることによって、テープを拡張する。搬送ユニットは、テープの4つの角部分を4つの独立した角クランプ部でクランプして、保持機構から拡張ユニットにテープを搬送する。
拡張装置の貼着ユニットは、搬送ユニットの角クランプ部によってクランプされるテープの角部分を空けて、テープの4辺を把持している。しかし、4辺が把持された状態で、テープの角部分がめくれ上がり、搬送ユニットの角クランプ部がテープの角部分をクランプすることが困難となることがある。
したがって、本発明の目的は、拡張装置における搬送ユニットの角クランプ部がテープの角部分を良好にクランプすることを可能とすることにある。
本発明の拡張装置(本拡張装置)は、分割起点を有する板状物が中央に貼着された矩形のテープを拡張する拡張装置であって、板状物の上面を吸引保持する保持面を有した保持機構と、該保持機構に保持された板状物に該テープを貼着する貼着ユニットと、板状物が貼着された該テープの4辺を各々クランプする4つの辺クランプ機構を有し、対向する該辺クランプ機構を互いに遠ざかる方向に移動させることによって、板状物が貼着された該テープを拡張する拡張ユニットと、板状物が貼着された該テープの4つの角部分を各々クランプする角クランプ機構を有し、該保持機構から該拡張ユニットに、板状物が貼着された該テープを搬送する搬送ユニットと、を備え、該角クランプ機構は、支持面で該テープの角部分の下面を支持する角ステージと、該支持面に支持された該テープを押さえる押さえ部と、該押さえ部を該角ステージの上方から該支持面に接近させるクランプ駆動部と、を備え、該保持機構は、該角クランプ機構がクランプ可能に該テープの4つの角部分を空けて、該テープの4辺を支持する支持機構と、該支持機構が支持した該テープの角部分の上面に、中央側から外側に向かってエアを噴き付け、該支持面に該テープの角部分を倣わせるエアノズルと、を備え、該搬送ユニットは、該エアノズルから噴射したエアによって該支持面に倣った該テープの角部分を、該支持面と該押さえ部の下面とでクランプして、該拡張ユニットに搬送する。
本拡張装置では、テープの角部分がめくれ上がっている場合でも、エアノズルから噴射したエアによって、テープの角部分を支持面に倣せることができる。したがって、テープの角部分を、支持面と押さえ部の下面とで良好にクランプすることができる。このため、クランプミスの発生を抑制することができるので、保持機構から搬送ユニットへの板状物が貼着されたテープの受け渡しを、良好に実施することができる。
本実施形態にかかる拡張装置1では、分割起点を有する板状物として、図1に示すような板状物100が用いられる。本実施形態にかかる板状物100は、円形の半導体ウェーハであり、表面101に格子状の分割起点103が形成されている。分割起点103は、たとえば、レーザ光線の照射により形成される改質層である。なお、板状物100の分割起点103は、切削ブレード等によって形成された切削溝であってもよい。
また、板状物100における分割起点103によって区画された各領域には、デバイス104が形成されている。板状物100の表面101には、デバイス104を保護するための保護シート105(図7参照)が貼着される。板状物100の裏面102は、矩形テープ7(図10参照)が貼着されるテープ貼着面である。
図1に示す拡張装置1は、このような分割起点103を有する板状物100が中央に貼着された矩形テープ7を拡張するように構成されている。拡張装置1は、第1方向に延在する第1装置ベース10と、第2装置ベース11とを有している。第2装置ベース11は、第1装置ベース10の+Y方向側の上方に、複数の支持柱14により支持されている。
第1装置ベース10には、板状物100の上面(表面101)を吸引保持する保持面211を有した保持機構20と、保持機構20に保持された板状物100に矩形テープ7を貼着する貼着ユニット30と、保持機構20を移動させる移動機構40と、板状物100を搬送する搬送ユニット90と、が備えられている。
搬送ユニット90は、板状物100が貼着された矩形テープ7の4つの角部分を各々クランプする後述の角クランプ機構を有し、保持機構20から後述する拡張ユニット80に、板状物100が貼着されている矩形テープ7を搬送する。搬送ユニット90は、角クランプ機構を有する受渡機構50と、受渡機構50をY軸方向に移動させる受渡移動機構60と、を有している。
第2装置ベース11には、板状物100から保護シート105を剥離する剥離機構70、および、拡張ユニット80が備えられている。拡張ユニット80は、板状物100が貼着された矩形テープ7の4辺を各々クランプする4つの辺クランプ機構801~804を有し、対向する辺クランプ機構801~804を互いに遠ざかる方向に移動させることによって、板状物100が貼着された矩形テープ7を拡張する。
また、図2に示すように、拡張装置1は、板状物100を搬入するための搬入口12を有している。搬入口12に隣接した位置には、拡張装置1に加工条件等を入力するとともに、入力内容等が表示されるタッチパネル13が備えられている。搬入口12に連通した領域が、図1に示した貼着ユニット30によって矩形テープ7が板状物100に貼着される貼着領域R1である。貼着領域R1には、保持機構20から搬送ユニット90の受渡機構50へ板状物100が受け渡される受渡領域R2が含まれる。また、受渡領域R2に隣接した領域は、剥離機構70が稼働する剥離領域R3であり、剥離領域R3に隣接した領域は、拡張ユニット80が稼働する拡張領域R4である。
また、拡張装置1は、フレーム(不図示)が複数収容されたフレームストッカー17と、フレームを所定の搬送先に搬送する第1フレーム搬送機構161および第2フレーム搬送機構162(図1を参照)と、拡張ユニット80によって拡張された板状物100を洗浄するための洗浄装置(不図示)と、拡張ユニット80によって拡張された矩形テープ7に紫外線を照射する紫外線照射装置(不図示)とを備えている。
図2に示すように、フレームストッカー17に隣接した領域は、洗浄装置が稼働する洗浄領域R5であり、洗浄領域R5に隣接した領域は、紫外線照射装置が稼働する紫外線照射領域R6である。なお、図2には、保持機構20の移動領域R10、搬送ユニット90の受渡機構50の移動領域R11、第1フレーム搬送機構161の移動領域R12、および、第2フレーム搬送機構162の移動領域R13も示している。
図3(a)に示すように、保持機構20は、保持面211を含み板状物100を保持する第1保持部21と、第1保持部21の下部に固定された固定台22と、第1保持部21および固定台22を下方から支持するベース23と、ベース23に軸通され第1保持部21の保持面211を反転させる回転軸24と、回転軸24の端部が回転可能に支持された門型の支持部25とを備えている。第1保持部21は、円板状のポーラス部材であり、図示しない吸引源に連通されることにより、保持面211によって板状物100を吸引保持することができる。
また、図3(b)に示すように、保持機構20は、支持部25の下方側に、支持機構としてのテープ支持プレート26を備えている。テープ支持プレート26は、搬送ユニット90の角クランプ機構52(図4参照)がクランプ可能に、板状物100が貼着された矩形テープ7の4つの角部分を空けて、矩形テープ7の4辺を支持する。テープ支持プレート26は、矩形板状に形成されており、その中央に、上面261および下面262を貫通する円形の開口260を有している。開口260の径は、第1保持部21よりも大径となっている。
また、保持機構20では、支持部25およびテープ支持プレート26に、昇降機構27が取り付けられている。昇降機構27は、たとえばエアシリンダとピストンとを含み、支持部25に取り付けられている第1保持部21を、テープ支持プレート26に対して鉛直方向に昇降させることができる。
保持機構20では、支持部25において回転軸24を中心に第1保持部21の保持面211を反転させると、保持面211と開口260とを対向させることができる。この状態において、昇降機構27によって第1保持部21を下降させることにより、第1保持部21を開口260に進入させることができる。
図3(c)に示すように、テープ支持プレート26の下面262には、テープ被貼着部28、および、ローラ用ガイド29が備えられている。
テープ被貼着部28は、たとえばバー状の部材からなる。テープ被貼着部28は、X軸方向と平行に延びており、開口260を挟んだY軸方向の外縁側にそれぞれ対向して配設されている。ローラ用ガイド29は、たとえば略L字状の断面を有するバー状の部材からなる。ローラ用ガイド29は、Y軸方向と平行に延びており、開口260を挟んだX軸方向の外縁側にそれぞれ対向して配設されている。
また、図3(c)に示すように、テープ支持プレート26の四隅には、後述する角クランプ機構52の動作を容易にするための切り欠き部263が形成されている。さらに、切り欠き部263の近傍には、エアノズルとしてのエア噴出口264が設けられている。エア噴出口264は、エア源265(図6(a)参照)に連通されることにより、テープ支持プレート26の中央側から外側に向かってエアを噴出することができる。
図1に示す移動機構40は、Y軸方向に延在する支持板400に配設されたボールネジ41と、ボールネジ41の一端に接続されたモータ42と、ボールネジ41と平行に延在する一対のガイドレール43と、Y軸方向に水平に移動可能な移動基台44とを備えている。移動基台44の一方の面には、保持機構20のテープ支持プレート26が連結されている(図3(b)も参照)。
さらに、図1に示すように、移動基台44は、一対のガイドレール43に沿ってスライド可能なように設けられており、ボールネジ41が螺合しているナット部(不図示)を有している。
移動機構40では、モータ42によってボールネジ41が回動することにより、移動基台44とともに保持機構20をガイドレール43に沿ってY軸方向に移動させることができる。移動機構40により、保持機構20が、図2に示した貼着領域R1内を移動することができる。
板状物100に矩形テープ7を貼着する貼着ユニット30は、図1の点線で示すように、保持機構20の下方側に位置している。
図示の例では、第1装置ベース10の-Y方向側に、X軸方向に延在する一対のガイド15が配設されており、貼着ユニット30は、ガイド15に沿ってスライド移動することができる。これにより、メンテナンス作業時等に、拡張装置1の外側へ貼着ユニット30を引き出すこと、および、作業完了後に貼着ユニット30を拡張装置1内の貼着領域R1に設置することができる。なお、貼着ユニット30の構成については後述する。
図示の例では、第1装置ベース10の-Y方向側に、X軸方向に延在する一対のガイド15が配設されており、貼着ユニット30は、ガイド15に沿ってスライド移動することができる。これにより、メンテナンス作業時等に、拡張装置1の外側へ貼着ユニット30を引き出すこと、および、作業完了後に貼着ユニット30を拡張装置1内の貼着領域R1に設置することができる。なお、貼着ユニット30の構成については後述する。
搬送ユニット90の受渡機構50は、図4に示すように、第2保持部51および複数の角クランプ機構52を備えている。
第2保持部51は、上記の保持機構20によって保持されている矩形テープ7が貼着された板状物100を、矩形テープ7を介して保持する。各角クランプ機構52は、第2保持部51の外周で、矩形テープ7の角部分をクランプする。
第2保持部51は、昇降機構53を介して、支持軸57に設置された円板54に配設されている。昇降機構53は、エアシリンダ530とピストン531とを含み、第2保持部51を昇降させることができる。
円板54には、フレーム処理部59が設けられている。フレーム処理部59は、矩形テープ7をフレームに貼着して、所定の形状を有するようにカットするものである。
円板54には、フレーム処理部59が設けられている。フレーム処理部59は、矩形テープ7をフレームに貼着して、所定の形状を有するようにカットするものである。
ここで、第2保持部51および角クランプ機構52を、より詳細に説明する。
第2保持部51は、図5に示すように、枠体500の内側に嵌合された円板状のポーラス部材である。第2保持部51の上面は、板状物100を保持する保持面511となっている。第2保持部51は、図示しない吸引源に連通されることにより、保持面511によって板状物100を吸引保持することができる。
第2保持部51は、図5に示すように、枠体500の内側に嵌合された円板状のポーラス部材である。第2保持部51の上面は、板状物100を保持する保持面511となっている。第2保持部51は、図示しない吸引源に連通されることにより、保持面511によって板状物100を吸引保持することができる。
枠体500は、ベース501により支持されている。枠体500とベース501との間には、傾き調整機構56が配設されている。傾き調整機構56は、シリンダ560およびバネ561を備えている。バネ561は、たとえば圧縮バネである。バネ561の伸縮動作によって、ベース501に対して枠体500が揺動可能となり、たとえば保持面511に板状物100を受け渡す際の衝撃を吸収することができる。なお、ベース501は、図4では省略されている。
角クランプ機構52は、第2保持部51の周囲に、等間隔に、たとえば4つ配設されている。角クランプ機構52は、図6(a)および図6(b)に示すように、支持面540を有する角ステージ520と、鉤型の押さえ部521と、押さえ部521を開閉させるクランプ駆動部55とを備えている。
角ステージ520は、支持面540により、矩形テープ7の角部分73の下面を支持する。押さえ部521は、支持面540に支持された矩形テープ7の角部分73の上面を押さえる。
クランプ駆動部55は、第1ピストンロッド541と、第2ピストンロッド542と、第1ピストンロッド541の一端に連結されたバネ523と、第2ピストンロッド542の一端に接続されたシリンダ524と、第1ピストンロッド541の他端において支点となる第1軸部543と、第2ピストンロッド542の他端において支点となる第2軸部544と、を備えている。押さえ部521の上部側は、クランプ駆動部55のバネ523によって、角ステージ520の支持面540に接近する方向に付勢されている。
クランプ駆動部55によって押さえ部521を開く場合には、図6(a)に示すように、第2ピストンロッド542がシリンダ524において内側に移動することで、第1軸部543および第2軸部544を支点にして押さえ部521が回転されて、押さえ部521が支持面540から離反される。これにより、押さえ部521を開くことができる。
一方、押さえ部521を閉じる場合には、クランプ駆動部55は、押さえ部521を角ステージ520の上方から支持面540に接近させる。すなわち、図6(b)に示すように、第2ピストンロッド542がシリンダ524において外側に移動することで、第1軸部543および第2軸部544を支点にして押さえ部521が回転されて、押さえ部521が角ステージ520の上方から支持面540に接近する。これにより、押さえ部521を閉じることができるので、押さえ部521の下面と角ステージ520の支持面540とで、矩形テープ7の角部分73をクランプすることができる。
受渡機構50は、図1に示した受渡移動機構60によって、図2に示した受渡領域R2から拡張領域R4までの間、すなわち、保持機構20から拡張ユニット80までの間を、Y軸方向に沿って移動することが可能となっている。
受渡移動機構60は、図4に示すように、Y軸方向に延在するボールネジ61と、ボールネジ61の一端に接続されたモータ64と、ボールネジ61と平行に延びる一対のガイドレール62と、受渡機構50を支持する移動基台63とを備えている。
受渡移動機構60は、図4に示すように、Y軸方向に延在するボールネジ61と、ボールネジ61の一端に接続されたモータ64と、ボールネジ61と平行に延びる一対のガイドレール62と、受渡機構50を支持する移動基台63とを備えている。
受渡機構50は、支持軸57を介して、受渡移動機構60に設置されている。移動基台63は、スライド部材631(図5参照)を介して、一対のガイドレール62にスライド可能に設けられている。また、移動基台63は、ボールネジ61が螺合しているナット部611(図5参照)を有している。受渡移動機構60では、モータ64によってボールネジ61が回動することにより、受渡機構50を、移動基台63とともにガイドレール62に沿ってY軸方向に移動させることができる。
図1に示すように、拡張ユニット80は、Y軸方向に沿って並ぶ第1辺クランプ機構801および第2辺クランプ機構802と、X軸方向に沿って並ぶ第3辺クランプ機構803および第4辺クランプ機構804とを有している。
第1辺クランプ機構801および第2辺クランプ機構802は、それぞれ、X軸方向に延在する直方体の下側挟持部811と、下側挟持部811と平行に延在する上側挟持部812とを備えている。第1辺クランプ機構801および第2辺クランプ機構802では、下側挟持部811と上側挟持部812とによって、板状物100が中央に貼着されている矩形テープ7におけるY軸方向に沿って対向する辺である第1辺部71(図12参照)をクランプすることができる。
第3辺クランプ機構803および第4辺クランプ機構804は、それぞれ、Y軸方向に延在する直方体の下側挟持部841と、下側挟持部841と平行に延在する上側挟持部842とを備えている。第3辺クランプ機構803および第4辺クランプ機構804では、下側挟持部841と上側挟持部842とによって、板状物100が中央に貼着されている矩形テープ7におけるX軸方向に沿って対向する辺である第2辺部72(図12参照)をクランプすることができる。
拡張ユニット80は、さらに、図1に示すように、2つのY軸方向移動機構881、および、2つのX軸方向移動機構882を備えている。
Y軸方向移動機構881は、第2装置ベース11に配設されており、第1辺クランプ機構801および第2辺クランプ機構802のそれぞれに、1つずつ接続されている。Y軸方向移動機構881は、第1辺クランプ機構801および第2辺クランプ機構802を、Y軸方向に沿って移動させることができる。
Y軸方向移動機構881は、第2装置ベース11に配設されており、第1辺クランプ機構801および第2辺クランプ機構802のそれぞれに、1つずつ接続されている。Y軸方向移動機構881は、第1辺クランプ機構801および第2辺クランプ機構802を、Y軸方向に沿って移動させることができる。
X軸方向移動機構882は、第2装置ベース11に配設されており、第3辺クランプ機構803および第4辺クランプ機構804のそれぞれに、1つずつ接続されている。X軸方向移動機構882は、第3辺クランプ機構803および第4辺クランプ機構804を、X軸方向に沿って移動させることができる。
また、拡張装置1は、制御部9を備えている。制御部9は、拡張装置1の各部材を制御することにより、拡張装置1の動作を制御する。
以下に、制御部9によって制御される拡張装置1の動作について説明する。
以下に、制御部9によって制御される拡張装置1の動作について説明する。
[保持工程]
拡張装置1の動作では、まず、作業者が、図1に示した保持機構20における第1保持部21の保持面211に、板状物100を、表面101が下向きとなるように載置する。その後、制御部9が、保持面211に板状物100の表面101を吸引保持させるとともに、移動機構40によって、保持機構20を貼着ユニット30の上方側に移動させる。
拡張装置1の動作では、まず、作業者が、図1に示した保持機構20における第1保持部21の保持面211に、板状物100を、表面101が下向きとなるように載置する。その後、制御部9が、保持面211に板状物100の表面101を吸引保持させるとともに、移動機構40によって、保持機構20を貼着ユニット30の上方側に移動させる。
[テープ貼着工程]
次に、制御部9は、図3(b)に示した回転軸24を中心に、第1保持部21の保持面211を反転させる。これにより、板状物100の裏面102が下向きになる。その後、制御部9は、昇降機構27によって第1保持部21を下降させて、第1保持部21をテープ支持プレート26の開口260に進入させ、テープ支持プレート26の下面262に備えられているテープ被貼着部28の内側に、板状物100を位置づける。
次に、制御部9は、図3(b)に示した回転軸24を中心に、第1保持部21の保持面211を反転させる。これにより、板状物100の裏面102が下向きになる。その後、制御部9は、昇降機構27によって第1保持部21を下降させて、第1保持部21をテープ支持プレート26の開口260に進入させ、テープ支持プレート26の下面262に備えられているテープ被貼着部28の内側に、板状物100を位置づける。
図7に、この状態の保持機構20、および、その下方に位置する貼着ユニット30の構成を示す。制御部9は、貼着ユニット30の送り出しローラ341を回転させることにより、テープロール201から帯状のテープ2を貼着ローラ31へ向けて送り出す。帯状のテープ2が送り出しローラ341と挟み込みローラ342との間を通過すると、ピールプレート37によって、帯状のテープ2が、テープ本体3と帯状離型フィルム4とに分離される。テープ本体3は、貼着ローラ31を通ってテープ貼着機構36側に送られる。
制御部9は、テープ貼着機構36の移動部361を上昇させて、スタンプ360でテープ本体3を押し上げることにより、テープ支持プレート26における+Y方向側のテープ被貼着部28にテープ本体3を貼着する。
また、テープ本体3から分離された帯状離型フィルム4は、ガイドローラ343、錘39および可動ローラ344と押さえローラ345との間を通過して、巻き取りローラ38に、離型フィルムロール401として巻き取られていく。
その後、制御部9は、移動機構40(図1参照)により、図8に示すように、保持機構20を+Y方向に移動させる。これにより、板状物100の裏面102が、テープ本体3に接触する。また、保持機構20の移動に伴って、貼着ローラ31が、図3(c)に示したテープ支持プレート26の2本のローラ用ガイド29に沿って回転しながら、テープ本体3を上方に押圧して、板状物100の裏面102および2本のローラ用ガイド29に、テープ本体3を貼着していく。このようにして、テープ本体3が、板状物100の裏面102の全面およびローラ用ガイド29の全面に貼着される。
なお、この際、貼着ローラ31は、撓み防止ローラ35によって押圧されながら回転するため、テープ本体3の撓みを防止することができる。
また、制御部9は、送り出しローラ341のトルクを制御するとともに、移動機構40による保持機構20の移動速度を制御することにより、板状物100の裏面102に貼着されるテープ本体3にわずかにテンションをかけて、テープ本体3に皺あるいは引きつりが発生することを抑制する。
また、制御部9は、送り出しローラ341のトルクを制御するとともに、移動機構40による保持機構20の移動速度を制御することにより、板状物100の裏面102に貼着されるテープ本体3にわずかにテンションをかけて、テープ本体3に皺あるいは引きつりが発生することを抑制する。
図9に示すように、テープ本体3が、板状物100の裏面102の全面に貼着され、かつ、-Y方向側のテープ被貼着部28に貼着された後、制御部9は、カッター部材32によって、テープ本体3を切断する。具体的には、制御部9は、カッター収容部320からカッター刃321を突出させて、カッター刃321を、テープ本体3を切断可能な高さに位置づける。続いて、制御部9は、図3(b)に示したガイドレール323に沿ってカッター刃321をX軸方向に移動させることにより、テープ本体3を切断して、矩形テープ7を形成する。さらに、制御部9は、テープ貼着機構36の移動部361を上昇させて、スタンプ360によって、矩形テープ7を-Y側のテープ被貼着部28に押し付ける。
このようにして、板状物100の裏面102、ならびに、テープ支持プレート26のテープ被貼着部28およびローラ用ガイド29に、矩形テープ7が貼着される。これにより、テープ支持プレート26は、図10に示すように、搬送ユニット90の角クランプ機構52(図4参照)がクランプ可能に、板状物100が貼着された矩形テープ7の4つの角部分73を空けて、矩形テープ7の4辺を、テープ被貼着部28およびローラ用ガイド29によって支持することができる。
なお、制御部9は、テープ被貼着部28およびローラ用ガイド29を図示しない吸引源に連通させることにより、テープ被貼着部28およびローラ用ガイド29によって、矩形テープ7の4辺を吸引保持してもよい。
また、テープ貼着工程では、上述したようにテープ本体3にテンションをかけておくため、図10に示すように、テープ本体3を切断することによって形成される矩形テープ7の角部分73がめくれ上がる(跳ね上がる)ことがある。
[第1受渡工程]
この工程では、板状物100が貼着された矩形テープ7を、保持機構20から搬送ユニット90に受け渡す。
具体的には、制御部9は、移動機構40(図1参照)を用いて、図11に示すように、保持機構20を、搬送ユニット90の受渡機構50の上方側に移動する。なお、図11では、保持機構20におけるテープ支持プレート26の近傍の構成を省略している。
この工程では、板状物100が貼着された矩形テープ7を、保持機構20から搬送ユニット90に受け渡す。
具体的には、制御部9は、移動機構40(図1参照)を用いて、図11に示すように、保持機構20を、搬送ユニット90の受渡機構50の上方側に移動する。なお、図11では、保持機構20におけるテープ支持プレート26の近傍の構成を省略している。
そして、制御部9は、受渡機構50の昇降機構53によって、第2保持部51(図4参照)を保持機構20に接近する方向に上昇させることにより、第2保持部51の保持面511によって矩形テープ7を介して板状物100を保持するとともに、図6(a)に示すように、テープ支持プレート26のテープ被貼着部28およびローラ用ガイド29によって四辺を支持されている矩形テープ7の角部分73を、角ステージ520の支持面540に載置する。
この際、制御部9は、テープ支持プレート26のエア噴出口264を、エア連通路266を介して、エア源265に連通させる。これにより、エア源265からのエアが、図6(a)に矢印402によって示すように、矩形テープ7の内側から外側に向かって、エア噴出口264から噴出する。すなわち、エア噴出口264が、テープ支持プレート26が支持した板状物100が貼着された矩形テープ7の角部分73の上面に、中央側から外側に向かってエアを噴き付け、支持面540に矩形テープ7の角部分73を倣わせる。
次に、制御部9は、図6(b)に示すように、クランプ駆動部55を用いて押さえ部521を閉じることによって、押さえ部521の下面と角ステージ520の支持面540とで、支持面540に倣った矩形テープ7の角部分73をクランプするとともに、エア噴出口264とエア源265との連通を解除する。
その後、制御部9は、保持機構20における第1保持部21(図10参照)による板状物100の吸引保持を解除するとともに、テープ被貼着部28およびローラ用ガイド29による矩形テープ7の4辺の吸引保持を解除する。さらに、制御部9は、受渡機構50の第2保持部51(図4参照)に、矩形テープ7を介して板状物100を吸引保持させる。このようにして、保持機構20から受渡機構50に、板状物100が貼着された矩形テープ7を受け渡す。
[剥離工程]
次に、制御部9は、図1に示した搬送ユニット90の受渡移動機構60によって、受渡機構50を、図1に示した剥離機構70の真下に移動させる。そして、制御部9は、受渡機構50により板状物100を保持した状態を維持したまま、剥離機構70を用いて、板状物100の表面101から保護シート105を剥離する。
次に、制御部9は、図1に示した搬送ユニット90の受渡移動機構60によって、受渡機構50を、図1に示した剥離機構70の真下に移動させる。そして、制御部9は、受渡機構50により板状物100を保持した状態を維持したまま、剥離機構70を用いて、板状物100の表面101から保護シート105を剥離する。
[第2受渡工程]
この工程では、板状物100が貼着された矩形テープ7を、搬送ユニット90から拡張ユニット80に受け渡す。
具体的には、制御部9は、搬送ユニット90の受渡移動機構60によって、受渡機構50を拡張ユニット80の真下に移動させる。そして、制御部9は、受渡機構50の昇降機構53(図4参照)を制御して第2保持部51の高さを調整することにより、第2保持部51に保持されている板状物100が貼着された矩形テープ7を、4つの辺クランプ機構801~804の間に配置する。
この工程では、板状物100が貼着された矩形テープ7を、搬送ユニット90から拡張ユニット80に受け渡す。
具体的には、制御部9は、搬送ユニット90の受渡移動機構60によって、受渡機構50を拡張ユニット80の真下に移動させる。そして、制御部9は、受渡機構50の昇降機構53(図4参照)を制御して第2保持部51の高さを調整することにより、第2保持部51に保持されている板状物100が貼着された矩形テープ7を、4つの辺クランプ機構801~804の間に配置する。
そして、制御部9は、図12に示すように、2つのY軸方向移動機構881を用いて、第1辺クランプ機構801と第2辺クランプ機構802とを互いに接近させて、第1辺クランプ機構801および第2辺クランプ機構802によって、矩形テープ7におけるY軸方向に沿って対向する第1辺部71をクランプする。
また、制御部9は、2つのX軸方向移動機構882を用いて、第3辺クランプ機構803と第4辺クランプ機構804とを互いに接近させて、第3辺クランプ機構803および第4辺クランプ機構804によって、矩形テープ7におけるX軸方向に沿って対向する第2辺部72をクランプする。
また、制御部9は、2つのX軸方向移動機構882を用いて、第3辺クランプ機構803と第4辺クランプ機構804とを互いに接近させて、第3辺クランプ機構803および第4辺クランプ機構804によって、矩形テープ7におけるX軸方向に沿って対向する第2辺部72をクランプする。
そして、制御部9は、受渡機構50の第2保持部51による板状物100の吸引保持を解除するとともに、角クランプ機構52による矩形テープ7の角部分73のクランプを解除する。このようにして、搬送ユニット90から拡張ユニット80に、板状物100が貼着された矩形テープ7が受け渡される。
[拡張工程]
その後、制御部9は、拡張ユニット80のY軸方向移動機構881を制御して、第1辺クランプ機構801と第2辺クランプ機構802とを、Y軸方向において互いに離反するように移動させることによって、Y軸方向において矩形テープ7を拡張する。さらに、制御部9は、X軸方向移動機構882を制御して、第3辺クランプ機構803と第4辺クランプ機構804とを、X軸方向において互いに離反するように移動させることによって、X軸方向において矩形テープ7を拡張する。これにより、板状物100が、図1に示した分割起点103に沿って分割されて、それぞれ1つのデバイス104を有する複数のチップが形成されるとともに、チップ間に所定の間隔が形成される。
その後、制御部9は、拡張ユニット80のY軸方向移動機構881を制御して、第1辺クランプ機構801と第2辺クランプ機構802とを、Y軸方向において互いに離反するように移動させることによって、Y軸方向において矩形テープ7を拡張する。さらに、制御部9は、X軸方向移動機構882を制御して、第3辺クランプ機構803と第4辺クランプ機構804とを、X軸方向において互いに離反するように移動させることによって、X軸方向において矩形テープ7を拡張する。これにより、板状物100が、図1に示した分割起点103に沿って分割されて、それぞれ1つのデバイス104を有する複数のチップが形成されるとともに、チップ間に所定の間隔が形成される。
[洗浄・超音波処理工程]
その後、制御部9は、図1に示した第1フレーム搬送機構161を用いて矩形テープ7にフレームを載置し、フレーム処理部59(図11参照)を用いて、矩形テープ7をフレームに貼着して所定の形状を有するようにカットする。これによって、矩形テープ7、板状物100およびフレームを含むフレームユニット(不図示)が作成される。さらに、制御部9は、第1フレーム搬送機構161および第2フレーム搬送機構162によって、フレームユニットを、洗浄領域R5(図2参照)に搬送して、洗浄装置によって洗浄する。さらに、制御部9は、フレームユニットを紫外線照射領域R6に搬送して、紫外線照射装置による硬化処理を実施する。
その後、制御部9は、図1に示した第1フレーム搬送機構161を用いて矩形テープ7にフレームを載置し、フレーム処理部59(図11参照)を用いて、矩形テープ7をフレームに貼着して所定の形状を有するようにカットする。これによって、矩形テープ7、板状物100およびフレームを含むフレームユニット(不図示)が作成される。さらに、制御部9は、第1フレーム搬送機構161および第2フレーム搬送機構162によって、フレームユニットを、洗浄領域R5(図2参照)に搬送して、洗浄装置によって洗浄する。さらに、制御部9は、フレームユニットを紫外線照射領域R6に搬送して、紫外線照射装置による硬化処理を実施する。
以上のように、本実施形態にかかる拡張装置1では、搬送ユニット90が、テープ支持プレート26のエア噴出口264から噴射したエアによって角ステージ520の支持面540に倣った矩形テープ7の角部分73を、支持面540と押さえ部521の下面とでクランプして、拡張ユニット80に搬送している。
すなわち、本実施形態では、図10に示したように矩形テープ7の角部分73がめくれ上がっている場合でも、図6(a)に示すように、エア噴出口264から噴射したエアによって、矩形テープ7の角部分73を支持面540に倣せること、すなわち、角部分73を支持面540に沿わせることができる。したがって、矩形テープ7の角部分73を、支持面540と押さえ部521の下面とで良好にクランプすることができる。このため、クランプミスの発生を抑制することができるので、保持機構20から搬送ユニット90への板状物100が貼着された矩形テープ7の受け渡しを、良好に実施することができる。
1:拡張装置、2:帯状のテープ、3:テープ本体、4:帯状離型フィルム、
7:矩形テープ、9:制御部、10:第1装置ベース、11:第2装置ベース、
12:搬入口、13:タッチパネル、14:支持柱、15:ガイド、
17:フレームストッカー、20:保持機構、21:第1保持部、22:固定台、
23:ベース、24:回転軸、25:支持部、26:テープ支持プレート、
27:昇降機構、28:テープ被貼着部、29:ローラ用ガイド、
30:貼着ユニット、31:貼着ローラ、32:カッター部材、
35:撓み防止ローラ、36:テープ貼着機構、37:ピールプレート、
38:巻き取りローラ、39:錘、40:移動機構、41:ボールネジ、
42:モータ、43:ガイドレール、44:移動基台、50:受渡機構、
51:第2保持部、52:角クランプ機構、53:昇降機構、54:円板、
55:クランプ駆動部、56:傾き調整機構、57:支持軸、
59:フレーム処理部、60:受渡移動機構、61:ボールネジ、
62:ガイドレール、63:移動基台、64:モータ、70:剥離機構、
71:第1辺部、72:第2辺部、73:角部分、
80:拡張ユニット、90:搬送ユニット、
100:板状物、101:表面、102:裏面、103:分割起点、
104:デバイス、105:保護シート、
161:第1フレーム搬送機構、162:第2フレーム搬送機構、
201:テープロール、211:保持面、260:開口、
263:切り欠き部、264:エア噴出口、265:エア源、
266:エア連通路、320:カッター収容部、321:カッター刃、
323:ガイドレール、341:送り出しローラ、342:挟み込みローラ、
343:ガイドローラ、344:可動ローラ、345:押さえローラ、
360:スタンプ、361:移動部、400:支持板、
401:離型フィルムロール、402:矢印、500:枠体、501:ベース、
511:保持面、520:角ステージ、521:押さえ部、523:バネ、
524:シリンダ、530:エアシリンダ、531:ピストン、540:支持面、
541:第1ピストンロッド、542:第2ピストンロッド、
543:第1軸部、544:第2軸部、560:シリンダ、561:バネ、
611:ナット部、631:スライド部材、
801:第1辺クランプ機構、802:第2辺クランプ機構、
803:第3辺クランプ機構、804:第4辺クランプ機構、
811:下側挟持部、812:上側挟持部、841:下側挟持部、
842:上側挟持部、881:Y軸方向移動機構、882:X軸方向移動機構、
R1:貼着領域、R10:移動領域、R11:移動領域、R12:移動領域、
R13:移動領域、R2:受渡領域、R3:剥離領域、R4:拡張領域、
R5:洗浄領域、R6:紫外線照射領域
7:矩形テープ、9:制御部、10:第1装置ベース、11:第2装置ベース、
12:搬入口、13:タッチパネル、14:支持柱、15:ガイド、
17:フレームストッカー、20:保持機構、21:第1保持部、22:固定台、
23:ベース、24:回転軸、25:支持部、26:テープ支持プレート、
27:昇降機構、28:テープ被貼着部、29:ローラ用ガイド、
30:貼着ユニット、31:貼着ローラ、32:カッター部材、
35:撓み防止ローラ、36:テープ貼着機構、37:ピールプレート、
38:巻き取りローラ、39:錘、40:移動機構、41:ボールネジ、
42:モータ、43:ガイドレール、44:移動基台、50:受渡機構、
51:第2保持部、52:角クランプ機構、53:昇降機構、54:円板、
55:クランプ駆動部、56:傾き調整機構、57:支持軸、
59:フレーム処理部、60:受渡移動機構、61:ボールネジ、
62:ガイドレール、63:移動基台、64:モータ、70:剥離機構、
71:第1辺部、72:第2辺部、73:角部分、
80:拡張ユニット、90:搬送ユニット、
100:板状物、101:表面、102:裏面、103:分割起点、
104:デバイス、105:保護シート、
161:第1フレーム搬送機構、162:第2フレーム搬送機構、
201:テープロール、211:保持面、260:開口、
263:切り欠き部、264:エア噴出口、265:エア源、
266:エア連通路、320:カッター収容部、321:カッター刃、
323:ガイドレール、341:送り出しローラ、342:挟み込みローラ、
343:ガイドローラ、344:可動ローラ、345:押さえローラ、
360:スタンプ、361:移動部、400:支持板、
401:離型フィルムロール、402:矢印、500:枠体、501:ベース、
511:保持面、520:角ステージ、521:押さえ部、523:バネ、
524:シリンダ、530:エアシリンダ、531:ピストン、540:支持面、
541:第1ピストンロッド、542:第2ピストンロッド、
543:第1軸部、544:第2軸部、560:シリンダ、561:バネ、
611:ナット部、631:スライド部材、
801:第1辺クランプ機構、802:第2辺クランプ機構、
803:第3辺クランプ機構、804:第4辺クランプ機構、
811:下側挟持部、812:上側挟持部、841:下側挟持部、
842:上側挟持部、881:Y軸方向移動機構、882:X軸方向移動機構、
R1:貼着領域、R10:移動領域、R11:移動領域、R12:移動領域、
R13:移動領域、R2:受渡領域、R3:剥離領域、R4:拡張領域、
R5:洗浄領域、R6:紫外線照射領域
Claims (1)
- 分割起点を有する板状物が中央に貼着された矩形のテープを拡張する拡張装置であって、
板状物の上面を吸引保持する保持面を有した保持機構と、
該保持機構に保持された板状物に該テープを貼着する貼着ユニットと、
板状物が貼着された該テープの4辺を各々クランプする4つの辺クランプ機構を有し、対向する該辺クランプ機構を互いに遠ざかる方向に移動させることによって、板状物が貼着された該テープを拡張する拡張ユニットと、
板状物が貼着された該テープの4つの角部分を各々クランプする角クランプ機構を有し、該保持機構から該拡張ユニットに、板状物が貼着された該テープを搬送する搬送ユニットと、を備え、
該角クランプ機構は、
支持面で該テープの角部分の下面を支持する角ステージと、
該支持面に支持された該テープを押さえる押さえ部と、
該押さえ部を該角ステージの上方から該支持面に接近させるクランプ駆動部と、を備え、
該保持機構は、
該角クランプ機構がクランプ可能に該テープの4つの角部分を空けて、該テープの4辺を支持する支持機構と、
該支持機構が支持した該テープの角部分の上面に、中央側から外側に向かってエアを噴き付け、該支持面に該テープの角部分を倣わせるエアノズルと、を備え、
該搬送ユニットは、該エアノズルから噴射したエアによって該支持面に倣った該テープの角部分を、該支持面と該押さえ部の下面とでクランプして、該拡張ユニットに搬送する、
拡張装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
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---|---|---|---|
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Publications (1)
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---|---|
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2021184813A Pending JP2023072338A (ja) | 2021-11-12 | 2021-11-12 | 拡張装置 |
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2021
- 2021-11-12 JP JP2021184813A patent/JP2023072338A/ja active Pending
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