JP2023071400A - レーザ加工装置 - Google Patents

レーザ加工装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2023071400A
JP2023071400A JP2021184155A JP2021184155A JP2023071400A JP 2023071400 A JP2023071400 A JP 2023071400A JP 2021184155 A JP2021184155 A JP 2021184155A JP 2021184155 A JP2021184155 A JP 2021184155A JP 2023071400 A JP2023071400 A JP 2023071400A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
irradiation unit
laser irradiation
processed
laser beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2021184155A
Other languages
English (en)
Inventor
大 福岡
Masaru Fukuoka
悟 田村
Satoru Tamura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Heavy Industries Ltd filed Critical Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority to JP2021184155A priority Critical patent/JP2023071400A/ja
Publication of JP2023071400A publication Critical patent/JP2023071400A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

【課題】加工対象の部材に歪みが生じても、加工すべき箇所にレーザビームを入射させることが可能なレーザ加工装置を提供する。【解決手段】レーザ照射部10が、板状の加工対象物50の端面に向けてレーザビーム40を出力する。接触部材30が、加工対象物50の端面を厚さ方向に挟み、加工対象物の端面51の、厚さ方向への変位に応じて変位する。レーザ照射部支持機構15が、接触部材30の変位に応じてレーザビーム40の入射位置が変化するようにレーザ照射部10を支持する。レーザビーム40の入射位置が、加工対象物の端面51上を加工対象物50の厚さ方向に対して直交する方向に移動するように、移動機構が、加工対象物及びレーザ照射部の少なくとも一方を他方に対して移動させる。【選択図】図2

Description

本発明は、レーザ加工装置に関する。
レーザビームを用いてワーク(加工対象物)の溶接、切断、穿孔等を行うレーザ加工装置が公知である(特許文献1)。特許文献1に開示されたレーザ加工装置は、ロボットアームの先端にレーザ照射部を取り付け、ロボットアームを駆動してレーザ照射部を移動させ、目標とする箇所にレーザビームを入射させる。レーザビーム入射箇所の位置精度は、ロボットアームの動作精度に依存する。特許文献1に開示されたレーザ加工装置においては、ロボットアームで移動させた後のレーザ照射部の実測位置と指令位置との偏差に基づいてレーザ照射部の位置を補正する。これにより、所望の箇所にレーザビームを入射させることができる。
特開2018-24011号公報
2枚の板状部材を重ねた状態で端面(エッジ)にレーザビームを入射させて溶接を行う場合、溶接時の熱で部材に歪みが生じると、レーザビームが端面から外れてしまう事態が生じ得る。本発明の目的は、加工対象の部材に歪みが生じても、加工すべき箇所にレーザビームを入射させることが可能なレーザ加工装置を提供することである。
本発明の一観点によると、
板状の加工対象物の端面に向けてレーザビームを出力するレーザ照射部と、
前記加工対象物の端面を厚さ方向に挟み、前記加工対象物の端面の、厚さ方向への変位に応じて変位する接触部材と、
前記接触部材の変位に応じて、前記レーザビームの入射位置が変化するように前記レーザ照射部を支持するレーザ照射部支持機構と、
前記レーザビームの入射位置が、前記加工対象物の端面上を前記加工対象物の厚さ方向に対して直交する方向に移動するように、前記加工対象物及び前記レーザ照射部の少なくとも一方を他方に対して移動させる移動機構と
を備えたレーザ加工装置が提供される。
加工対象物の端部の変位に追従して接触部材が変位し、接触部材の変位に追従してレーザビームの入射位置が変化するため、加工対象物の端面が変位しても加工対象物の端面にレーザビームが入射する状態を維持することができる。
図1A及び図1Bは、本実施例によるレーザ加工装置の概略図である。 図2Aは、本実施例によるレーザ加工装置をz方向から見た概略図であり、図2B及び図2Cは、x方向から見た概略図である。 図3Aは、レーザ照射部のシールドガスノズルの先端部分及びローラの斜視図であり、図3Bは、その側面図である。 図4は、本実施例によるレーザ加工装置を用いてレーザ溶接を行う手順を示すフローチャートである。 図5Aは、他の実施例によるレーザ加工装置をz方向から見た概略図であり、図5B及び図5Cは、x方向から見た概略図である。 図6Aは、さらに他の実施例によるレーザ加工装置をz方向から見た概略図であり、図6B及び図6Cは、x方向から見た概略図である。 図7は、図6A~図6Cに示した実施例によるレーザ加工装置を用いてレーザ溶接を行う手順を示すフローチャートである。 図8は、さらに他の実施例によるレーザ加工装置の概略図である。
図1A~図4を参照して、一実施例によるレーザ加工装置について説明する。
図1A及び図1Bは、本実施例によるレーザ加工装置の概略図である。板状の加工対象物50が加工対象物支持機構60によって支持される。図1Aは、加工対象物50が支持される前の状態を示しており、図1Bは、加工対象物50が支持された状態を示している。
加工対象物50は、例えば円盤状の板部材を2枚重ねたものであり、加工対象物支持機構60は加工対象物50を厚さ方向に挟んで支持する。2枚の板部材は、その端面同士がほぼ面一になるように支持される。この端面は、高さが半径に比べて十分小さい円柱の側面(円柱面)と同様の形状を有している。2枚の板部材のほぼ面一の端面を、加工対象物50の端面51ということとする。移動機構61が、加工対象物支持機構60に支持された加工対象物50をその中心を回転中心として回転させる。
レーザ照射部10が加工用のレーザビーム40を、加工対象物50の端面51に向けて出力する。加工対象物50を回転させながらレーザビーム40が加工対象物50の端面51に入射することにより、2枚の板部材の縁の溶接加工が行われる。
加工対象物50の厚さ方向をz方向とし、レーザビーム40の中心軸に平行な方向をy方向とするxyz直交座標系を定義する。レーザビーム40の中心軸の延長線は、加工対象物50の中心を通過する。加工対象物50を回転させると、端面51内の任意の箇所は、z方向に対して直交し、かつレーザビーム40の経路と交差するように移動する。
図2A及び図2Bは、それぞれ本実施例によるレーザ加工装置をz方向及びx方向から見た概略図である。レーザ照射部10は、鏡筒12及びシールドガスノズル11を含む。レーザ発振器70から出力されたレーザビームがレーザ伝送ファイバ71を伝送されてレーザ照射部10に入力される。レーザ照射部10に入力されたレーザビームは、鏡筒12内のレンズによって加工対象物50の端面51に集光される。
シールドガスノズル11が、鏡筒12から加工対象物50の端面51に向かって延びる。シールドガスノズル11は、鏡筒12から加工対象物50の端面51に向かって細くなっており、レーザビーム40が先端の開口部を通って加工対象物50の端面51に入射する。シールドガス供給装置75からシールドガスノズル11内にシールドガスが供給される。シールドガスによって、鏡筒12からシールドガスノズル11を経由して加工対象物50の端面51に向うガスの流れが形成される。
シールドガスノズル11の先端にローラ30が取り付けられている。ローラ30の回転軸はz方向に平行である。ローラ30の外周面に、周方向に一周する溝31が設けられている。加工対象物50の端部が溝31内に挿入される。言い換えると、ローラ30は、加工対象物50に接触してその端部をz方向に挟む。加工対象物50の回転に応じて、ローラ30が回転する。加工対象物50に接触する接触部材として、ローラ30に代えて、加工対象物50が回転すると加工対象物50の端部と摺動する部材を用いてもよい。
レーザ照射部10は、レーザ照射部支持機構15によって支持されている。より具体的には、レーザ照射部10の鏡筒12が、支軸17を介して支持部材16に支持されている。支軸17は、x方向に平行な回転軸を中心として回転可能である。すなわち、レーザ照射部支持機構15は、レーザ照射部10を、x軸に平行な軸を中心として揺動可能に支持している。支軸17は、揺動中心が、レーザ照射部10の重心の近傍を通過するように取り付けられている。
溶接時に発生する熱により、加工対象物50に歪が生じ、加工対象物50の端部がz方向に変位する場合がある。または、円盤状の加工対象物50の表面が、幾何学的に正確な平面から歪んでいる場合、加工対象物50が回転するとローラ30に接触している箇所がz方向に変位する。
図2Cは、加工対象物50の端部がz方向に変位する前後のレーザ加工装置の概略図である。変位前の状態を破線で表し、変位後の状態を実線で表している。加工対象物50の端部がz方向に変位すると、端部に接触しているローラ30も追従してz方向に変位する。ローラ30のz方向への変位に追従して、レーザ照射部10が支軸17を中心として、ローラ30の変位量に応じた角度だけ回転する。レーザ照射部10が回転すると、レーザビーム40の入射位置も、加工対象物50の端面51のz方向への変位に追従して移動する。
図3Aは、レーザ照射部10のシールドガスノズル11の先端部分及びローラ30の斜視図であり、図3Bは、その側面図である。
シールドガスノズル11の先端の開口部を通ってレーザビーム40が出力される。シールドガスノズル11の先端に、ローラ支持部材32が取り付けられている。ローラ支持部材32は、側面から見てL字状であり、L字の角部から見て一方の先端にローラ30が取り付けられており、他方の先端に弾性部材34、例えばコイルバネの一端が取り付けられている。弾性部材34の他方の端部は、シールドガスノズル11に固定された支柱35に取り付けられている。
L字の角部と弾性部材34が取り付けられた箇所との間に位置する支点33において、ローラ支持部材32がシールドガスノズル11の先端に取り付けられている。ローラ支持部材32は、支点33を通過するz方向に平行な回転軸を中心として揺動可能である。ローラ支持部材32が揺動すると、ローラ30がレーザビーム40の経路の方向(y方向)に変位する。弾性部材34はローラ支持部材32に対して、ローラ30が加工対象物50の端面51(図2A、図2B)に近づく向きの力を印加する。
図2Bに示したように、レーザ照射部10を加工対象物50に近づけてローラ30を加工対象物50に接触させ、さらにレーザ照射部10を加工対象物50に近づけると、弾性部材34が弾性変形し、弾性部材34の復元力によってローラ30が加工対象物50に押し付けられる。これにより、ローラ30が加工対象物50に接触した状態が維持される。
図4は、本実施例によるレーザ加工装置を用いてレーザ溶接を行う手順を示すフローチャートである。加工対象物50を加工対象物支持機構60(図1A、図1B)で支持し、ローラ30を加工対象物50の端部に接触させる(ステップS1)。より具体的には、加工対象物50の端部をローラ30の溝31に挿入し、溝31の側面に接触させる。移動機構61を制御して、加工対象物支持機構60に支持された加工対象物50の回転を開始する(ステップS2)。加工対象物50を回転させた状態でレーザ照射を開始する(ステップS3)。
レーザ照射は、加工対象物50の端面51の周方向の全域に対して行う。さらに、既にレーザ照射済の箇所に、一定の長さだけ重ねてレーザ照射が行われるまで、レーザ照射を継続する(ステップS4)。加工対象物50の端面51の所定の範囲の加工が終了すると、レーザ照射を終了させる(ステップS5)。その後、加工対象物50の回転を停止させる(ステップS6)。
次に、図1A~図4に示した実施例の優れた効果について説明する。
上記実施例では、図2Cに示したように加工対象物50の端面51が厚さ方向(z方向)に変位しても、レーザビーム40の入射位置が追従して変位する。このため、加工対象物50の端面51に安定してレーザビーム40を入射させることができる。これにより、高品質のレーザ溶接を行うことができる。
次に、上記実施例の変形例について説明する。上記実施例では加工対象物50が円盤状である場合を示しているが、中心から端面51までの距離が周方向に変化する形状、例えば楕円状の加工対象物50を加工するような構成とすることも可能である。このような加工対象物50を回転させると、レーザビーム40の経路と交差する位置の端面51が、y方向(図2A)に変位する。レーザ照射部10を、端面51のy方向への変位に追従してy方向に移動可能に支持することにより、このような加工対象物50の加工を行うことができる。
上記実施例では、2枚の円盤状の板部材を重ね合わせたものを加工対象物50としているが、2つの部材を、その端面の位置がほぼ一致するように重ね合わせたものを加工対象物50としてもよい。例えば、円盤の内部に開口を設けた円環状の部材を2枚重ね合わせたものを加工対象物50としてもよい。その他に、例えば球面に沿うお椀型の部材を、くぼんだ面同士を対向させて重ね合わせたものを加工対象物50としてもよい。
上記実施例では、加工対象物50の端面上で、z方向に対して直交する方向にレーザビームの入射位置を移動させるために、移動機構61が加工対象物50を回転させている。その反対に、加工対象物50を静止させ、レーザ照射部10を移動させてもよい。または、加工対象物50及びレーザ照射部10の両方を移動させてもよい。すなわち、移動機構61が、加工対象物50及びレーザ照射部10の少なくとも一方を他方に対して移動させるようにしてもよい。
次に、図5A~図5Cを参照して他の実施例によるレーザ加工装置について説明する。以下、図1A~図4を参照して説明した実施例と共通の構成については説明を省略する。
図5A~図5Cは、本実施例によるレーザ加工装置の概略図である。図2A~図2Cを参照して説明した実施例の場合と同様に、xyz直交座標系を定義する。図2A~図2Cに示した実施例では、レーザ照射部10がレーザ照射部支持機構15によって揺動可能に支持されている。これに対して本実施例では、レーザ照射部10がレーザ照射部支持機構15によってz方向に並進移動可能に支持されている。
本実施例では、レーザ照射部支持機構15が、支持部材16及びリニアガイド機構18を含む。レーザ照射部10がリニアガイド機構18を介して支持部材16に支持されている。レーザ照射部10が、リニアガイド機構18によって支持部材16に対してz方向に案内される。z方向は重力方向に平行であり、レーザ照射部10の重量がバネ19によって支えられている。バネ19として、コイルバネ、空気バネ等を用いることができる。図5Bでは、レーザ照射部10の下方に圧縮バネを配置した例を示しているが、レーザ照射部10の上方に引張バネを配置してもよい。
図5Cに示すように、加工対象物50の端部のz方向への変位に追従してローラ30がz方向に変位すると、ローラ30の変位に追従してレーザ照射部10がz方向に変位する。レーザ照射部10が上方に向かって変位すると、バネ19が伸び、下方に向かって変位すると、バネ19が縮む。
次に、本実施例の優れた効果について説明する。
本実施例においても、図1A~図4に示した実施例と同様に、加工対象物50の端面51が厚さ方向(z方向)に変位しても、レーザビーム40の入射位置が追従して変位する。このため、加工対象物50の端面51に安定してレーザビーム40を入射させることができる。これにより、高品質のレーザ溶接を行うことができる。
次に、上記実施例の変形例について説明する。上記実施例では、加工対象物50の厚さ方向(z方向)を重力方向に平行にしているが、厚さ方向を水平にしてもよい。この場合は、レーザ照射部10の並進移動方向も水平になる。このため、レーザ照射部10を支えるバネ19は不要である。
次に、図6A~図7を参照して、さらに他の実施例によるレーザ加工装置について説明する。以下、図5A~図5Cに示した実施例と共通の構成については説明を省略する。
図6A~図6Cは、本実施例によるレーザ加工装置の概略図である。図5A~図5Cに示した実施例では、ローラ30がレーザ照射部10のシールドガスノズル11の先端に取り付けられている。これに対して本実施例では、ローラ30はレーザ照射部10に取り付けられておらず、変位センサ25によってz方向に移動可能に支持されている。変位センサ25は、ローラ30のz方向の位置を検出し、ローラ30の位置に応じた電気信号を出力する。
また、図5A~図5Cに示した実施例では、レーザ照射部10がバネ19によって重力方向に支持されている。これに対して本実施例では、レーザ照射部10が駆動部27によって重力方向に支持されている。駆動部27は、モータ27A、ボールネジのネジ軸27B、およびネジ軸27Bが挿入されたナット27Cを含む。ナット27Cはレーザ照射部10に固定されている。ネジ軸27Bの回転に応じてレーザ照射部10がx方向に移動する。
変位センサ25の検出結果が制御部26に入力される。制御部26は、変位センサ25の検出結果に基づいてモータ27Aを駆動することにより、図6Cに示すように、ローラ30の変位に追従してレーザ照射部10をz方向に変位させる。
図7は、本実施例によるレーザ加工装置を用いてレーザ溶接を行う手順を示すフローチャートである。以下、図4に示したフローチャートとの相違点について説明する。本実施例では、ローラ30を加工対象物50の端部に接触させた(ステップS1)後、ローラ30の位置の検出結果に基づくレーザ照射部10の位置制御を開始する(ステップSA1)。
その後のステップS2~ステップS6の手順は、図4に示した手順と同一である。加工が終了して加工対象物50の回転を停止させた(ステップS6)後、レーザ照射部10の位置制御を終了する(ステップSA2)。
次に、本実施例の優れた効果について説明する。
本実施例においては、加工対象物50の端面51が厚さ方向(z方向)に変位すると、レーザビーム40の入射位置を追従して変位させる。このため、加工対象物50の端面51に安定してレーザビーム40を入射させることができる。これにより、高品質のレーザ溶接を行うことができる。
次に、上記実施例の変形例について説明する。
上記実施例では、レーザ照射部10をz方向に移動させる駆動部27としてボールネジ機構を用いたが、その他のアクチュエータを用いてもよい。例えば、リニアモータ、ボイスコイルモータ等を用いてもよい。また、上記実施例では、駆動部27がレーザ照射部10をz方向に並進移動させているが、図2A~図2Cに示したように、レーザ照射部10を揺動させるようにしてもよい。
次に、図8を参照してさらに他の実施例によるレーザ加工装置について説明する。以下、図1A~図4に示した実施例と共通の構成については説明を省略する。
図8は、本実施例によるレーザ加工装置の概略図である。図1A~図4に示した実施例では、円盤状の加工対象物50を回転させながらレーザ加工を行う。これに対して本実施例によるレーザ加工装置で加工する加工対象物50は、直線状の端面51を有している。
加工対象物50の厚さ方向をz方向とし、レーザビーム40の中心軸の方向をy方向とし、加工すべき端面51の長手方向をx方向とするxyz直交座標系を定義する。加工対象物50の端面51が、加工対象物50の厚さ方向(z方向)に対して直交し、かつレーザビーム40の経路と交差する方向(x方向)に移動するように、加工対象物50が、並進移動可能に支持されている。
本実施例では、直線状の端面51を持つ加工対象物50を並進移動させながら、レーザ照射部10からレーザビーム40を端面51に入射させることにより、レーザ溶接を行う。本実施例においても、図2A~図2Cに示した実施例と同様に、ローラ30が加工対象物50の端部に接触することにより、ローラ30のz方向への変位に追従してレーザ照射部10が揺動する。なお、図5A~図5Cに示した実施例のように、レーザ照射部10がz方向に並進移動するようにしてもよい。
次に、本実施例の優れた効果について説明する。
本実施例においても、図1A~図4に示した実施例と同様に、加工対象物50の端面51が厚さ方向(z方向)に変位しても、レーザビーム40の入射位置が追従して変位する。このため、加工対象物50の端面51に安定してレーザビーム40を入射させることができる。これにより、高品質のレーザ溶接を行うことができる。
次に、図8に示した実施例の変形例について説明する。
図8に示した実施例でが、加工対象物50の端面51が直線状であるが、y方向の位置が異なるように波打った形状の端面51を有するものを加工対象物50としてもよい。このような加工対象物50を加工する場合には、端面51の波打った形状に応じてレーザ照射部10がy方向に変位するように、レーザ照射部10を支持すればよい。
上述の各実施例は例示であり、異なる実施例で示した構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることは言うまでもない。複数の実施例の同様の構成による同様の作用効果については実施例ごとには逐次言及しない。さらに、本発明は上述の実施例に制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
10 レーザ照射部
11 シールドガスノズル
12 鏡筒
15 レーザ照射部支持機構
16 支持部材
17 支軸
18 リニアガイド機構
19 バネ
25 変位センサ
26 制御部
27 駆動部
27A モータ
27B ボールネジのネジ軸
27C ナット
30 ローラ
31 溝
32 ローラ支持部材
33 支点
34 弾性部材
35 支柱
40 レーザビーム
50 加工対象物
51 加工対象物の端面
60 加工対象物支持機構
61 移動機構
70 レーザ発振器
71 レーザ伝送ファイバ
75 シールドガス供給装置

Claims (7)

  1. 板状の加工対象物の端面に向けてレーザビームを出力するレーザ照射部と、
    前記加工対象物の端面を厚さ方向に挟み、前記加工対象物の端面の、厚さ方向への変位に応じて変位する接触部材と、
    前記接触部材の変位に応じて、前記レーザビームの入射位置が変化するように前記レーザ照射部を支持するレーザ照射部支持機構と、
    前記レーザビームの入射位置が、前記加工対象物の端面上を前記加工対象物の厚さ方向に対して直交する方向に移動するように、前記加工対象物及び前記レーザ照射部の少なくとも一方を他方に対して移動させる移動機構と
    を備えたレーザ加工装置。
  2. 前記移動機構は、前記加工対象物の端面が、前記加工対象物の厚さ方向に対して直交し、かつ前記レーザビームの経路と交差する方向に移動するように、前記加工対象物を回転または移動させる請求項1に記載のレーザ加工装置。
  3. 前記接触部材は、前記レーザ照射部の、前記加工対象物に対向する先端部分に取り付けられており、
    前記レーザ照射部支持機構は、前記レーザ照射部の先端部分が前記接触部材の変位に追随して変位するように、前記レーザ照射部を揺動可能にまたは並進移動可能に支持する請求項1または2に記載のレーザ加工装置。
  4. 前記接触部材は、前記レーザ照射部に対して前記レーザビームの経路の方向に移動可能に取り付けられている請求項3に記載のレーザ加工装置。
  5. 前記レーザ照射部支持機構は、
    前記接触部材の変位を検出する変位センサと、
    前記レーザビームの入射位置が前記加工対象物の厚さ方向に移動するように前記レーザ照射部を揺動または並進移動させる駆動部と、
    前記変位センサの検出結果に基づいて前記駆動部を制御する制御部と
    を含む請求項1または2に記載のレーザ加工装置。
  6. 前記接触部材は回転可能なローラを含み、前記ローラの外周面に前記加工対象物の端部が挿入される溝が形成されている請求項1乃至5のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
  7. 前記加工対象物の端面は円周に沿う形状を有しており、
    前記移動機構は、前記加工対象物の端面が沿う円周の中心を回転中心として前記加工対象物を回転させる請求項1乃至6のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
JP2021184155A 2021-11-11 2021-11-11 レーザ加工装置 Pending JP2023071400A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021184155A JP2023071400A (ja) 2021-11-11 2021-11-11 レーザ加工装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021184155A JP2023071400A (ja) 2021-11-11 2021-11-11 レーザ加工装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2023071400A true JP2023071400A (ja) 2023-05-23

Family

ID=86409802

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021184155A Pending JP2023071400A (ja) 2021-11-11 2021-11-11 レーザ加工装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2023071400A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7570157B1 (ja) 2024-04-16 2024-10-21 クリーンレーザージャパン株式会社 レーザー照射装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7570157B1 (ja) 2024-04-16 2024-10-21 クリーンレーザージャパン株式会社 レーザー照射装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101419336B (zh) 一种振镜式激光三维扫描系统
JP5266647B2 (ja) レーザ溶接装置およびその調整方法
JP5928575B2 (ja) レーザ加工機
JP2002066780A (ja) レーザ加工装置
JP5570459B2 (ja) レーザ加工装置およびレーザ加工方法
WO2010036669A2 (en) Post-lens steering of a laser beam for micro-machining applications
US20090251091A1 (en) Sample stage apparatus and method of controlling the same
KR101796198B1 (ko) 레이저 가공장치 및 이를 이용한 레이저 가공방법
JP2023071400A (ja) レーザ加工装置
CN110977159A (zh) 一种形成环形光斑的激光光路组件
US20210063712A1 (en) Focusing device and euv radiation generating device having same
KR100660112B1 (ko) 레이저빔의 광폭이 제어되는 레이저와 비전의 동축가공장치
EP0334964A1 (en) Beam bender for laser beam machining
CN117444383A (zh) 用于调节水导激光加工设备水射流垂直度的校准系统与校准方法
CN104625437A (zh) 一种用于激光钻切异形孔精密加工的扫描机构
KR101186279B1 (ko) 레이저 가공 시스템 및 그 가공방법
JP4999145B2 (ja) レーザ加工装置
JP2007021550A (ja) レーザ溶接装置、レーザ溶接システム、およびレーザ溶接方法
WO2021199621A1 (ja) 焦点距離調整装置及びレーザ加工装置
JP5741417B2 (ja) レーザー加工ロボットシステム
JP5063402B2 (ja) レーザ加工装置
JP2000349043A (ja) 矩形ビーム用精密焦点合せ方法
KR101482784B1 (ko) 고속 레이저 가공 방법 및 장치
CN111992893B (zh) 激光加工装置
JP4376221B2 (ja) スキャン光学ユニット及びその制御方法並びにレーザ加工装置