JP2023069796A - Surface-treated copper foil - Google Patents

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裕之 星
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Abstract

To provide a surface-treated copper foil in which a bonded surface with a base material has appearance with excellent etching resistance and black color tone and without uneven treatment and a bubble mark in order to be used for a display element in particular.SOLUTION: A surface-treated copper foil 10 comprises a copper foil layer 13, which is an electrolytic copper foil, and a blackening treatment layer 14 covering one surface side of the electrolytic copper foil. The blackening treatment layer 14 is a composite metal layer containing copper, nickel, cobalt, and tungsten. An adhesion amount of nickel of the blackening treatment layer is 120 to 400 μg/dm2, an adhesion amount of cobalt is 400 to 700 μg/dm2, and an adhesion amount of tungsten is 70 to 200 μg/dm2. The blackening treatment layer 14 can be formed by subjecting one surface of the copper foil layer 13 to plating treatment by plating bath containing nickel, cobalt, and tungsten.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、表面処理銅箔に関し、より詳しくは、タッチパネルなどの表示素子用の表面処理銅箔およびその製造方法に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a surface-treated copper foil, and more particularly to a surface-treated copper foil for display elements such as touch panels and a method for producing the same.

従来から、表示素子の分野において、タッチパネル用配線形成材料などの用途に表面処理銅箔が使用されている。他の用途の表面処理銅箔では、基材との被接着面が、配線形成工程であるエッチングに使用する薬液に耐え得る耐エッチング性、及び処理ムラや気泡痕がない外観を有する表面処理が電解銅箔に施されていることが求められているが、表示素子の用途に使用する表面処理銅箔には、更に、表示素子とした際の映り込みを防ぐための黒色の色調を有する表面処理が電解銅箔に施されていることが求められる。 BACKGROUND ART Conventionally, in the field of display elements, surface-treated copper foils have been used for applications such as wiring forming materials for touch panels. For surface-treated copper foils for other applications, the surface to be adhered to the base material must have an etching resistance that can withstand the chemicals used in etching, which is the wiring formation process, and a surface treatment that has an appearance without unevenness in treatment or bubble traces. Although it is required to be applied to electrolytic copper foil, the surface-treated copper foil used for display elements further has a surface with a black color tone to prevent reflection when used as a display element. It is required that the treatment is applied to the electrolytic copper foil.

銅箔に施される表面処理としては、例えば、非特許文献1には、硬質Crめっきの代替として、Ni-W合金めっきが記載されており、Wの含有量によってNi-W合金膜のめっき亀裂挙動の違いについて研究結果が記載されている。 As a surface treatment applied to the copper foil, for example, Non-Patent Document 1 describes Ni--W alloy plating as an alternative to hard Cr plating, and depending on the content of W, plating of the Ni--W alloy film is performed. Results of studies on differences in crack behavior are described.

石井和也ら、「Ni-W合金めっきの皮膜クラックに及ぼすめっき内部応力の影響」、表面技術、一般社団法人表面技術協会、2014年、Vol.65、No.8、p.49~53Kazuya Ishii et al., "Influence of Plating Internal Stress on Film Cracking of Ni-W Alloy Plating," Surface Technology, Surface Technology Association, 2014, Vol. 65, No. 8, p. 49-53

しかしながら、非特許文献1に記載されているNi-W合金めっきは、耐酸性に優れているものの、黒色の色調を呈していないため、表示素子用途の電解銅箔への表面処理としては適していない。一方、黒色の色調を呈する表面処理を電解銅箔に施すと、表面に気泡痕が発生し易いという問題もある。気泡痕があると、いずれの用途であっても、異物として誤検出されるおそれがあり好ましくない。 However, although the Ni—W alloy plating described in Non-Patent Document 1 is excellent in acid resistance, it does not exhibit a black color tone, so it is not suitable as a surface treatment for electrolytic copper foils used for display elements. do not have. On the other hand, when an electrolytic copper foil is subjected to a surface treatment that exhibits a black color tone, there is also the problem that bubble traces are likely to occur on the surface. Bubble traces are not preferable because they may be erroneously detected as foreign matter in any application.

そこで本発明は、特に表示素子の用途に使用するために、基材との被接着面が、優れた耐エッチング性、黒色の色調、及び処理ムラや気泡痕がない外観を有する表面処理銅箔を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention provides a surface-treated copper foil having excellent etching resistance, a black color tone, and an appearance free from uneven treatment and air bubbles on the surface to be adhered to a substrate, especially for use in display devices. intended to provide

上記の目的を達成するために、本発明は、その一態様として、電解銅箔と、前記電解銅箔の一方の面側を覆う黒化処理層とを備える表面処理銅箔であって、前記黒化処理層は、銅、ニッケル、コバルト、及びタングステンを含む複合金属層であり、前記黒化処理層のニッケルの付着量が120~400μg/dmであり、コバルトの付着量が400~700μg/dmであり、タングステンの付着量が70~200μg/dmである。 In order to achieve the above object, as one aspect of the present invention, there is provided a surface-treated copper foil comprising an electrolytic copper foil and a blackening treatment layer covering one surface side of the electrolytic copper foil, The blackening treatment layer is a composite metal layer containing copper, nickel, cobalt, and tungsten . /dm 2 , and the deposition amount of tungsten is 70 to 200 μg/dm 2 .

また、前記黒化処理層のニッケル、コバルト、及びタングステンの各付着量の合計は、700~1200μg/dmであることが好ましい。 Further, the total amount of nickel, cobalt, and tungsten deposited on the black oxide layer is preferably 700 to 1200 μg/dm 2 .

前記表面処理銅箔の前記黒化処理層側の表面は、L表色系において、L値が55.0~65.0であり、a値が0.0~10.0であり、b値が0.0~10.0であることが好ましい。 The surface of the surface-treated copper foil on the blackened layer side has an L * value of 55.0 to 65.0 and an a * value of 0.0 to 10 in the L * a * b * color system. .0 and b * values between 0.0 and 10.0 are preferred.

また、本発明は、別の態様として、表面処理銅箔の黒化処理層側の表面に、直径50μm以上の気泡痕が1mにつき10個以上存在しない表面処理銅箔である。 Another aspect of the present invention is a surface-treated copper foil in which 10 or more air bubbles with a diameter of 50 μm or more are not present per 1 m 2 on the surface of the surface-treated copper foil on the side of the blackened layer.

このように本発明によれば、電解銅箔の一方の面(表示素子の透明基材との被接着面)に黒化処理層として、銅、ニッケル、コバルト、及びタングステンを含む複合金属層に形成することで、耐エッチング性に優れるとともに、表面処理銅箔の黒化処理層側の表面を黒色に呈することができ、また、処理ムラや気泡痕がない外観とすることができる。 As described above, according to the present invention, a composite metal layer containing copper, nickel, cobalt, and tungsten is formed as a blackening treatment layer on one surface of the electrolytic copper foil (the surface to be bonded to the transparent substrate of the display element). By forming the layer, the etching resistance is excellent, the surface of the surface-treated copper foil on the side of the blackening treatment layer can be blackened, and the appearance can be free from unevenness in treatment and air bubbles.

本発明に係る表面処理銅箔の一実施の形態を模式的に示す断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional drawing which shows typically one embodiment of the surface-treated copper foil which concerns on this invention. 図1に示す表面処理銅箔をタッチパネル用配線形成材料として用いる場合の使用例を説明するための模式的な断面図である。1. It is typical sectional drawing for demonstrating the usage example in the case of using the surface-treated copper foil shown in FIG. 1 as a wiring formation material for touchscreens. 図1に示す表面処理銅箔をタッチパネル用配線形成材料として用いる場合の使用例を説明するための模式的な断面図である。1. It is typical sectional drawing for demonstrating the usage example in the case of using the surface-treated copper foil shown in FIG. 1 as a wiring formation material for touchscreens. 表面処理銅箔の処理ムラを評価するために使用した基準となる表面処理銅箔の被接着面を示す走査型電子顕微鏡(SEM)像である。1 is a scanning electron microscope (SEM) image showing a surface to be adhered of a surface-treated copper foil serving as a reference used for evaluating treatment unevenness of the surface-treated copper foil.

以下に、添付図面を参照して、本発明に係る表面処理銅箔の一実施の形態を説明する。ただし、本発明は、以下に説明する実施の形態によって限定されるものではない。 An embodiment of the surface-treated copper foil according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited by the embodiments described below.

[表面処理銅箔]
本実施の形態の表面処理銅箔は、電解銅箔と、この電解銅箔の少なくとも一方の面側を覆う黒化処理層とを備えている。
[Surface-treated copper foil]
The surface-treated copper foil of the present embodiment includes an electrolytic copper foil and a blackened layer covering at least one side of the electrolytic copper foil.

電解銅箔の厚さは、例えば、1~35μmの範囲が好ましく、2.0~6.0μmの範囲がより好ましく、約6μmが更に好ましい。銅箔の厚さが6.0μmよりも薄いと、電解銅箔のハンドリングが難しくなる場合がある。よって、6.0μmよりも薄い電解銅箔を使用する場合は、例えば図1に示す表面処理銅箔10のように、キャリア箔11と呼ばれる別の銅箔表面に剥離層12を介して電解銅箔として銅箔層13を形成し、これを使用する。この場合、キャリア箔11とは反対側の銅箔層13の表面に、黒化処理層14が形成される。キャリア箔11付きの銅箔層13において、銅箔層13の厚さが1.0μmよりも薄すぎると、キャリア箔剥離強度が不安定になるという問題が生じるおそれがある。一方、電解銅箔の厚さが35.0μmよりも厚すぎると、エッチングに長時間を要し、エッチング速度が面内方向で不均一となりやすいことから部分的にエッチングされ、平坦さが失われる恐れがあるという問題が生じるおそれがある。 The thickness of the electrolytic copper foil is, for example, preferably in the range of 1 to 35 μm, more preferably in the range of 2.0 to 6.0 μm, still more preferably about 6 μm. If the thickness of the copper foil is less than 6.0 μm, it may become difficult to handle the electrolytic copper foil. Therefore, when using an electrolytic copper foil thinner than 6.0 μm, for example, like the surface-treated copper foil 10 shown in FIG. A copper foil layer 13 is formed as a foil and used. In this case, a blackened layer 14 is formed on the surface of the copper foil layer 13 opposite to the carrier foil 11 . In the copper foil layer 13 with the carrier foil 11, if the thickness of the copper foil layer 13 is less than 1.0 μm, there is a possibility that the carrier foil peel strength becomes unstable. On the other hand, if the electrodeposited copper foil is thicker than 35.0 μm, etching takes a long time and the etching rate tends to be uneven in the in-plane direction, resulting in partial etching and loss of flatness. The problem of fear can arise.

電解銅箔は、一般に、その製造過程において電着ドラムと接していた側である光沢を有する陰極面と、その反対側のめっきにより形成された析出面とを有する。黒化処理層は、電解銅箔の陰極面と析出面のどちらに形成してもよいが、形状が安定することから電解銅箔の陰極面に形成することが好ましい。 Electrodeposited copper foil generally has a glossy cathode surface, which is the side that was in contact with the electrodeposition drum during the manufacturing process, and a deposition surface formed by plating on the opposite side. The blackened layer may be formed on either the cathode surface or the deposition surface of the electrolytic copper foil, but is preferably formed on the cathode surface of the electrolytic copper foil because the shape is stable.

黒化処理層は、優れた耐エッチング性を有するとともに、黒色の色調を呈するため、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、コバルト(Co)、およびタングステン(W)の複合金属層である。黒化処理層の厚さは、例えば、1.0~100.0nmの範囲が好ましく、5.0~20.0nmの範囲がより好ましい。 The blackened layer is a composite metal layer of copper (Cu), nickel (Ni), cobalt (Co), and tungsten (W) because it has excellent etching resistance and exhibits a black color tone. The thickness of the blackened layer is, for example, preferably in the range of 1.0 to 100.0 nm, more preferably in the range of 5.0 to 20.0 nm.

ニッケルの付着量は、120~400μg/dmの範囲が好ましく、170~350μg/dmの範囲がより好ましく、200~300μg/dmの範囲が更に好ましい。ニッケルの付着量が120μg/dm未満では、耐薬品性が低下し、エッチング時に残すべき部分の銅箔が剥離してしまうという問題が生じるおそれがある。一方、ニッケルの付着量が400μg/dmを超えると、エッチング時に形成した配線の端部に溶け残りが生じ、配線同士のショートを引き起こす恐れがあるという問題が生じるおそれがある。 The nickel deposition amount is preferably in the range of 120 to 400 μg/dm 2 , more preferably in the range of 170 to 350 μg/dm 2 , still more preferably in the range of 200 to 300 μg/dm 2 . If the amount of nickel adhered is less than 120 μg/dm 2 , the chemical resistance is lowered, and there is a risk that the copper foil that should remain is peeled off during etching. On the other hand, if the amount of nickel adhered exceeds 400 μg/dm 2 , unmelted portions may remain at the ends of the wiring formed during etching, which may cause a short circuit between the wirings.

コバルトの付着量は、400~700μg/dmの範囲が好ましく、400~600μg/dmの範囲がより好ましく、400~500μg/dmの範囲が更に好ましい。コバルトの付着量が400μg/dm未満では、処理面の色調が明るくなるという問題が生じるおそれがある。一方、コバルトの付着量が700μg/dmを超えると、エッチング時に形成した配線の端部に溶け残りが生じ、配線同士のショートを引き起こす恐れがあるという問題が生じるおそれがある。 The adhered amount of cobalt is preferably in the range of 400 to 700 μg/dm 2 , more preferably in the range of 400 to 600 μg/dm 2 , still more preferably in the range of 400 to 500 μg/dm 2 . If the amount of cobalt adhered is less than 400 μg/dm 2 , there is a possibility that the treated surface will have a bright color tone. On the other hand, if the amount of cobalt adhered exceeds 700 μg/dm 2 , undissolved portions may remain at the ends of the wiring formed during etching, which may cause a short circuit between the wirings.

タングステンの付着量は、70~200μg/dmの範囲が好ましく、80~150μg/dmの範囲がより好ましく、90~130μg/dmの範囲が更に好ましい。タングステンの付着量が70μg/dm未満では、耐薬品性が低下し、エッチング時に残すべき部分の銅箔が剥離してしまうという問題が生じるおそれがある。一方、タングステンの付着量が200μg/dmを超えると、エッチング時に形成した配線の端部に溶け残りが生じ、配線同士のショートを引き起こす恐れがあるという問題が生じるおそれがある。 The deposition amount of tungsten is preferably in the range of 70 to 200 μg/dm 2 , more preferably in the range of 80 to 150 μg/dm 2 and even more preferably in the range of 90 to 130 μg/dm 2 . If the deposition amount of tungsten is less than 70 μg/dm 2 , the chemical resistance is lowered, and there is a possibility that the copper foil that should remain is peeled off during etching. On the other hand, if the deposition amount of tungsten exceeds 200 μg/dm 2 , unmelted portions may remain at the ends of the wiring formed during etching, which may cause a short circuit between the wirings.

ニッケル、コバルト、およびタングステンの各付着量の合計(以下、単に「総量」という)は、700~1200μg/dmの範囲が好ましく、730~1100μg/dmの範囲がより好ましく、760~900μg/dmの範囲が更に好ましい。総量を700μg/dm以上とすることで、優れた耐薬品性を発揮し、エッチング時に残すべき部分の銅箔が剥離してしまうという問題をより確実に防止することができる。一方、総量を1200μg/dm以下とすることで、エッチング時に形成した配線の端部に溶け残りが生じ、配線同士のショートを引き起こす恐れがあるという問題をより確実に防止することができる。 The total deposition amount of nickel, cobalt, and tungsten (hereinafter simply referred to as "total amount") is preferably in the range of 700 to 1200 µg/ dm2 , more preferably in the range of 730 to 1100 µg/dm2, and 760 to 900 µg/ dm2 . A range of dm 2 is more preferred. When the total amount is 700 μg/dm 2 or more, excellent chemical resistance can be exhibited, and the problem of peeling of the copper foil that should remain during etching can be more reliably prevented. On the other hand, by setting the total amount to 1200 μg/dm 2 or less, it is possible to more reliably prevent the problem of short-circuiting between wirings due to undissolved residues at the ends of wirings formed during etching.

このような黒化処理層が電解銅箔の上に形成されることから、表面処理銅箔の被接着面の色調は、L表色系において、L値が65以下、a値が10以下、b値が10以下となり、表示素子に用いるための十分な黒色系の色調を呈することができる。 Since such a blackening treatment layer is formed on the electrolytic copper foil, the color tone of the adherend surface of the surface-treated copper foil has an L * value of 65 or less in the L * a * b * color system. The a * value is 10 or less and the b * value is 10 or less, and a sufficient black color tone for use in a display element can be exhibited.

値は明度であり、数値が低い程、暗い色調である。a値およびb値は、色の方向を示しており、a値が高い程、赤い方向に、低い程、緑の方向となる。また、b値が高い程、黄色い方向に、低い程、青方向となる。a値およびb値は、互いのバランスによって呈する色調が変わるため、一概には言えないが、両方が低い値である方が、より黒色を呈する。 The L * value is lightness, and the lower the number, the darker the tone. The a * and b * values indicate the direction of color, with higher a * values tending toward red and lower values toward green. Also, the higher the b * value, the more yellow, and the lower the b* value, the more blue. The a * value and the b * value change the color tone depending on their balance, so it cannot be said unconditionally, but the lower the value of both, the more black is exhibited.

より好ましくは、L値が60以下、a値が5.0以下、b値が5.0以下であり、更に好ましくは、L値が57以下、a値が2.0以下、b値が2.0以下である。 More preferably, the L * value is 60 or less, the a * value is 5.0 or less, and the b * value is 5.0 or less, and even more preferably, the L * value is 57 or less and the a * value is 2.0 or less. , b * values of 2.0 or less.

また、本実施の形態の黒化処理層を備えた表面処理銅箔は、黒化処理層側の表面に、直径50μm以上の気泡痕が1mにつき10個以上存在しないという優れた外観を有することができる。気泡痕は、1mにつき5個以上存在しないことが好ましく、1mにつき3個以上存在しないことがより好ましく、1mにつき1個以上存在しないことが更に好ましい。 In addition, the surface-treated copper foil provided with the blackening treatment layer of the present embodiment has an excellent appearance in which 10 or more air bubbles with a diameter of 50 μm or more are not present per 1 m 2 on the surface on the blackening treatment layer side. be able to. It is preferable that there are not more than 5 bubble traces per 1 m 2 , more preferably there are not more than 3 bubbles per 1 m 2 , and even more preferably there are not more than 1 bubbles per 1 m 2 .

このような黒化処理層を備えた表面処理銅箔の表示素子への使用について説明する。図2に示すように、表示素子を製造するために、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)などの透明基材フィルム21の両面にそれぞれ接着層22を形成し、そして、この透明基材フィルム21の両面に、それぞれ図1に示すような表面処理銅箔10を、黒化処理層14が接着層22に接するように貼り合わせる。貼り合わせ後、キャリア箔11を剥がし、銅箔層13を所定の配線パターンにエッチングし、銅箔層13がセンサー配線材料として用いられる表示素子を製造する。 The use of such a surface-treated copper foil having a blackened layer in a display element will be described. As shown in FIG. 2, in order to manufacture a display element, adhesive layers 22 are formed on both sides of a transparent base film 21 such as polyethylene terephthalate (PET), and both sides of the transparent base film 21 are 1, the surface-treated copper foils 10 as shown in FIG. After bonding, the carrier foil 11 is peeled off, and the copper foil layer 13 is etched into a predetermined wiring pattern to manufacture a display element in which the copper foil layer 13 is used as a sensor wiring material.

図3に示すように、配線パターンにエッチングされた銅箔層13A、13Bと透明基材フィルム21との間に、同様に配線パターンにエッチングされた黒化処理層14A、14Bが位置することから、表示素子において、一方の配線パターンにエッチングされた銅箔層13A及び黒化処理層14Aの間から、他方の配線パターンにエッチングされた銅箔層13Bが視認されるのを、黒色を呈する黒化処理層14Bが防ぐことができる。これにより一方の銅配線の間から入射した光が反射するのを防止でき、表示素子の画質の低下を抑制する等のことができる。なお、本発明の表面処理銅箔は、図1、図2に示すようなキャリア箔が付いたものに限定されるものではない。 As shown in FIG. 3, between the copper foil layers 13A and 13B etched into the wiring pattern and the transparent substrate film 21, the blackened layers 14A and 14B similarly etched into the wiring pattern are located. In the display element, the copper foil layer 13B etched into the other wiring pattern is visible from between the copper foil layer 13A etched into the other wiring pattern and the blackened layer 14A. This can be prevented by the hardened layer 14B. As a result, it is possible to prevent reflection of incident light from between the copper wirings on one side, thereby suppressing deterioration in the image quality of the display element. In addition, the surface-treated copper foil of the present invention is not limited to those attached with a carrier foil as shown in FIGS. 1 and 2 .

なお、本実施の形態の表面処理銅箔10は、必要に応じて、黒化処理層14の表面にシランカップリング剤処理層(図示省略)を備えてもよい。シランカップリング剤処理層は、従来、電解銅箔に適用されてきたシランカップリング剤処理によって形成される層でよい。シランカップリング剤としては、特に限定されず、例えば、アミノ系シランカップリング剤や、エポキシ系シランカップリング剤を用いることが好ましい。 In addition, the surface-treated copper foil 10 of the present embodiment may be provided with a silane coupling agent-treated layer (not shown) on the surface of the blackened layer 14, if necessary. The silane coupling agent-treated layer may be a layer formed by a silane coupling agent treatment that has been conventionally applied to electrolytic copper foils. The silane coupling agent is not particularly limited, and for example, it is preferable to use an amino-based silane coupling agent or an epoxy-based silane coupling agent.

また、本実施形態の表面処理銅箔10は、必要に応じて、黒化処理層14とシランカップリング剤処理層との間に、クロメート処理層(図示省略)を備えてもよい。クロメート処理層は、従来、電解銅箔に適用されてきたクロメート処理によって形成される層でよい。クロメート処理には、三酸化クロム、重クロム酸カリウム、重クロム酸ナトリウム等を使用することが好ましい。これにより形成されたクロメート処理層は、6価クロムから還元された3価クロムの酸化物又は水酸化物を含むものとなっている。 Moreover, the surface-treated copper foil 10 of this embodiment may be provided with a chromate treatment layer (not shown) between the blackening treatment layer 14 and the silane coupling agent treatment layer, if necessary. The chromate treatment layer may be a layer formed by a chromate treatment conventionally applied to electrolytic copper foils. Chromium trioxide, potassium dichromate, sodium dichromate, or the like is preferably used for the chromate treatment. The chromate treatment layer thus formed contains oxides or hydroxides of trivalent chromium reduced from hexavalent chromium.

[表面処理銅箔の製造方法]
表面処理銅箔を製造する方法の実施形態について、以下、説明する。本実施形態の表面処理銅箔の製造方法は、電解銅箔の一方の面に、黒化処理層を形成し、表面処理銅箔を得るというものである。
[Method for producing surface-treated copper foil]
An embodiment of a method for manufacturing a surface-treated copper foil is described below. The method for producing a surface-treated copper foil of the present embodiment comprises forming a blackened layer on one surface of an electrolytic copper foil to obtain a surface-treated copper foil.

黒化処理層を形成する工程は、電解銅箔の被接着側の面をめっき処理して、銅、ニッケル、コバルト、およびタングステンの複合金属層を形成する工程である。黒化処理層を形成するため、上述した複合金属層に含まれる金属を含有するめっき浴を用いる。めっき処理は、より黒色の色調を呈することができるため、1回ではなく、2回行うことが好ましい。 The step of forming the blackened layer is a step of plating the surface of the electrodeposited copper foil on the adherend side to form a composite metal layer of copper, nickel, cobalt, and tungsten. A plating bath containing the metal contained in the composite metal layer described above is used to form the blackened layer. Since the plating treatment can exhibit a blacker color tone, it is preferable to perform the plating treatment twice instead of once.

第1のめっき処理としては、例えば、銅とコバルトの複合金属層を形成する。そのための具体的な第1のめっき浴組成としては、例えば、銅の濃度を1.3~10.2g/L、コバルトの濃度を2.1~12.6g/L、pHを2.5~3.5、浴温度を25~33℃とすることが好ましい。また、第1のめっき処理の条件としては、電流密度を0.0~4.0A/dm、処理時間を2.0~6.0秒とすることが好ましい。なお、第1のめっき処理は、銅とニッケルの複合金属層でもよいし、銅とタングステンの複合金属層でもよい。 As the first plating process, for example, a composite metal layer of copper and cobalt is formed. As a specific first plating bath composition for that purpose, for example, a copper concentration of 1.3 to 10.2 g/L, a cobalt concentration of 2.1 to 12.6 g/L, and a pH of 2.5 to 3.5.It is preferable to set the bath temperature to 25 to 33.degree. As for the conditions of the first plating treatment, it is preferable to set the current density to 0.0 to 4.0 A/dm 2 and the treatment time to 2.0 to 6.0 seconds. The first plating treatment may be a copper-nickel composite metal layer or a copper-tungsten composite metal layer.

なお、このとき各金属の供給源は酸化物、硫酸塩、硝酸塩、炭酸塩、イソポリ酸塩、金属オキソ酸塩などのいずれの形態であってもよい。また、液中イオン濃度安定化によるめっき出来栄えの安定化のため、硫酸ナトリウム無水物を加えてもよい。この場合、ナトリウムの濃度は5.0~30.0g/Lとすることが好ましい。 At this time, the supply source of each metal may be in any form such as oxide, sulfate, nitrate, carbonate, isopolyate, and metal oxoate. In addition, sodium sulfate anhydride may be added in order to stabilize the plating performance by stabilizing the ion concentration in the liquid. In this case, the sodium concentration is preferably 5.0 to 30.0 g/L.

続いて、第2のめっき処理としては、例えば、ニッケル、コバルト、およびタングステンの複合金属層を形成する。そのための具体的な第2のめっき浴組成としては、例えば、ニッケルの濃度を1.0~4.5g/L、コバルトの濃度を1.0~3.1g/L、タングステンの濃度を0.3~2.8g/L、pHを2.5~4.0、浴温度を25~33℃とすることが好ましい。また、第2のめっき処理の条件としては、電流密度を0.3~1.5A/dmとすることが好ましく、0.8~1.5A/dmとすることがより好ましく、1.0~1.4A/dmとすることが更に好ましい。また、処理時間は2.0~4.0秒とすることが好ましい。 Subsequently, as the second plating process, for example, a composite metal layer of nickel, cobalt, and tungsten is formed. As a specific composition of the second plating bath for this purpose, for example, the concentration of nickel is 1.0 to 4.5 g/L, the concentration of cobalt is 1.0 to 3.1 g/L, and the concentration of tungsten is 0.5 g/L. 3 to 2.8 g/L, a pH of 2.5 to 4.0, and a bath temperature of 25 to 33°C are preferred. As for the conditions of the second plating treatment, the current density is preferably 0.3 to 1.5 A/dm 2 , more preferably 0.8 to 1.5 A/dm 2 . More preferably 0 to 1.4 A/dm 2 . Also, the processing time is preferably 2.0 to 4.0 seconds.

なお、このとき各金属の供給源は酸化物、硫酸塩、硝酸塩、炭酸塩、イソポリ酸塩、金属オキソ酸塩などのいずれの形態であってもよい。また、液中イオン濃度安定化によるめっき出来栄えの安定化のため、硫酸ナトリウム無水物を加えてもよい。この場合、ナトリウムの濃度は5.0~30.0g/Lとすることが好ましい。 At this time, the supply source of each metal may be in any form such as oxide, sulfate, nitrate, carbonate, isopolyate, and metal oxoate. In addition, sodium sulfate anhydride may be added in order to stabilize the plating performance by stabilizing the ion concentration in the liquid. In this case, the sodium concentration is preferably 5.0 to 30.0 g/L.

このようにめっき処理を2回行うことで理論的には2層の複合金属層が形成されているはずであるが、各種分析を行ったものの2層の界面ははっきりと確認できず、1層の黒化処理層が形成されているとも考えられる。黒化処理層の表面から波長分散型X線分析(WDX)装置で黒化処理層のニッケル、コバルト、およびタングステンの量を測定したところ、2層の複合金属層に含まれる各元素の量が確認された。 Theoretically, two layers of the composite metal layer should be formed by performing the plating treatment twice in this way. It is also considered that a blackening treatment layer of is formed. When the amount of nickel, cobalt, and tungsten in the blackening treatment layer was measured from the surface of the blackening treatment layer with a wavelength dispersive X-ray spectrometer (WDX), the amount of each element contained in the two-layer composite metal layer was confirmed.

なお、黒化処理層を形成する工程では、いずれのめっき処理をする前に、予め水洗や、酸洗処理をしておくことが好ましい。また、黒化処理層を形成した後、上述したように、シランカップリング剤処理を行ったり、シランカップリング剤処理の前にクロメート処理を行ってもよい。クロメート処理およびシランカップリング剤処理の各処理条件は、電解銅箔に行われている公知の処理条件を適用することができる。 In addition, in the step of forming the blackening treatment layer, it is preferable to perform washing with water or pickling in advance before any plating treatment. Moreover, after forming the blackened layer, as described above, the silane coupling agent treatment may be performed, or the chromate treatment may be performed before the silane coupling agent treatment. As the treatment conditions for the chromate treatment and the silane coupling agent treatment, known treatment conditions for electrolytic copper foil can be applied.

以下に、本発明の実施例および比較例を挙げて、本発明をより詳細に説明する。しかし、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。 EXAMPLES The present invention will be described in more detail below with reference to examples and comparative examples of the present invention. However, the invention is not limited to the following examples.

[実施例1]
先ず、厚さ6μmの電解銅箔(日本電解株式会社製、品番:SEED箔)の表面を10wt%の硫酸に10秒間浸漬して酸洗処理を行った。この銅箔を水洗した後、液中の銅濃度が4.1~5.1g/L、コバルト濃度が7.4~8.4g/L、およびナトリウム濃度が14.8~23.2g/Lであり、pH2.9、浴温度30℃に調整した第1のめっき液を用いて、銅箔の陰極面側の表面を2.4A/dmの電流密度でめっきして、銅およびコバルトを含む第1の複合金属層を形成した。
[Example 1]
First, the surface of an electrolytic copper foil (manufactured by Nippon Denki Co., Ltd., product number: SEED foil) having a thickness of 6 μm was immersed in 10 wt % sulfuric acid for 10 seconds for pickling treatment. After washing the copper foil with water, the copper concentration in the liquid is 4.1 to 5.1 g/L, the cobalt concentration is 7.4 to 8.4 g/L, and the sodium concentration is 14.8 to 23.2 g/L. Using the first plating solution adjusted to pH 2.9 and bath temperature 30 ° C., the surface of the copper foil on the cathode side was plated at a current density of 2.4 A / dm 2 to form copper and cobalt. A first composite metal layer was formed comprising:

そして、この銅箔を水洗した後、液中のニッケル濃度が2.6~2.8g/L、コバルト濃度が1.8~2.0g/L、タングステン濃度が0.9~1.1g/L、ナトリウム濃度が14.1~23.7g/Lであり、pH2.9、浴温度30℃に調整した第2のめっき液を用いて、更に銅箔の陰極面側の表面を1.0A/dmの電流密度でめっきして、ニッケル、コバルト、およびタングステンを含む第2の複合金属層を形成した。 After washing the copper foil with water, the nickel concentration in the liquid is 2.6 to 2.8 g/L, the cobalt concentration is 1.8 to 2.0 g/L, and the tungsten concentration is 0.9 to 1.1 g/L. L, a sodium concentration of 14.1 to 23.7 g / L, using a second plating solution adjusted to pH 2.9 and a bath temperature of 30 ° C., the surface of the copper foil on the cathode side was further heated to 1.0 A /dm 2 current density to form a second composite metal layer comprising nickel, cobalt, and tungsten.

次に、この銅箔を水洗し、第1及び第2の複合金属層上に、重クロム酸ナトリウム3.5g/Lからなり、pH5.4、浴温度28℃に調整したクロム液を用いて、銅箔の陰極面側の表面を0.9A/dmの電流密度でめっきしてクロメート処理層を形成した。 Next, this copper foil was washed with water, and a chromium solution containing 3.5 g/L of sodium dichromate adjusted to pH 5.4 and bath temperature of 28° C. was applied on the first and second composite metal layers. , the surface of the copper foil on the cathode side was plated at a current density of 0.9 A/dm 2 to form a chromate treatment layer.

更に、この銅箔を水洗し、クロメート処理層上に、3-アミノプロピルトリエトキシシラン0.25wt%からなるシランカップリング剤液に10秒間浸漬してシランカップリング剤処理層を形成した。これにより実施例1の表面処理銅箔を得た。 Further, this copper foil was washed with water, and the chromate treated layer was immersed in a silane coupling agent solution containing 0.25 wt % 3-aminopropyltriethoxysilane for 10 seconds to form a silane coupling agent treated layer. Thus, a surface-treated copper foil of Example 1 was obtained.

[実施例2~4]
表1に示すように、第2のめっき処理の電流密度を1.1A/dm、1.2A/dm、1.4A/dmに変更した以外は、実施例1と同様の条件で電解銅箔を処理し、実施例2~4の表面処理銅箔を得た。
[実施例5]
表1に示すように、第1のめっき処理を行わなかったこと以外は、実施例3と同様の条件で電解銅箔を処理し、実施例5の表面処理銅箔を得た。
[Examples 2 to 4]
As shown in Table 1, under the same conditions as in Example 1, except that the current density of the second plating treatment was changed to 1.1 A/dm 2 , 1.2 A/dm 2 and 1.4 A/dm 2 . The electrolytic copper foil was treated to obtain surface-treated copper foils of Examples 2-4.
[Example 5]
As shown in Table 1, the surface-treated copper foil of Example 5 was obtained by treating the electrolytic copper foil under the same conditions as in Example 3, except that the first plating treatment was not performed.

[比較例1~4]
表1に示すように、第2のめっき処理の電流密度を1.6A/dm、1.9A/dm、2.5A/dm、0.5A/dmに変更した以外は、実施例1と同様の条件で電解銅箔を処理し、比較例1~4の表面処理銅箔を得た。
[Comparative Examples 1 to 4]
As shown in Table 1, except that the current density of the second plating treatment was changed to 1.6 A/dm 2 , 1.9 A/dm 2 , 2.5 A/dm 2 and 0.5 A/dm 2 , Electrolytic copper foils were treated under the same conditions as in Example 1 to obtain surface-treated copper foils of Comparative Examples 1-4.

[比較例5]
表1に示すように、第2のめっき処理を行わなかったこと以外は、実施例1と同様の条件で電解銅箔を処理し、比較例1~5の表面処理銅箔を得た。
[Comparative Example 5]
As shown in Table 1, the electrolytic copper foils were treated under the same conditions as in Example 1, except that the second plating treatment was not performed, to obtain surface-treated copper foils of Comparative Examples 1 to 5.

各実施例、比較例にて実施しためっき処理の時間は、0.0~8.0秒の範囲で付着量を調整しながら実施した。 The plating time in each example and comparative example was adjusted in the range of 0.0 to 8.0 seconds while adjusting the adhesion amount.

実施例1~5、比較例1~5の表面処理銅箔について、以下に説明する方法で、表面処理銅箔の被接着面のNi、Co、Wの各成分の付着量を測定するとともに、表面処理銅箔の被接着面の色調、耐エッチング性、および処理ムラや気泡痕の外観について評価した。 For the surface-treated copper foils of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 5, the amounts of the components Ni, Co, and W adhered to the adherend surface of the surface-treated copper foil were measured by the method described below. The color tone, etching resistance, and appearance of treatment unevenness and air bubble traces on the adherend surface of the surface-treated copper foil were evaluated.

(1)付着量の測定
表面処理銅箔の被接着面の付着量(μg/dm)は、走査型蛍光X線分析装置(Rigaku社製、品番ZSX Primus IVi)を使用して測定した。Ni、Co、Wの各成分の付着量、およびその合計である総量の結果を表1に示す。
(1) Measurement of adhesion amount The adhesion amount (μg/dm 2 ) on the adherend surface of the surface-treated copper foil was measured using a scanning fluorescent X-ray spectrometer (manufactured by Rigaku, product number ZSX Primus IVi). Table 1 shows the adhesion amount of each component of Ni, Co, and W, and the total amount thereof.

(2)色調の測定
表面処理銅箔の被接着面の色調は、色彩色差計(コニカミノルタ社製、品番CR-400)を使用し、JIS Z 8781に準拠してL表色系のL値、a値、b値を測定した。その結果を表2に示す。
(2) Measurement of color tone The color tone of the adherend surface of the surface-treated copper foil is measured using a color difference meter (manufactured by Konica Minolta, product number CR-400), and L * a * b * table in accordance with JIS Z 8781. The L * value, a * value, and b * value of the color system were measured. Table 2 shows the results.

(3)耐エッチング性
表面処理銅箔の被接着面をラミネートフィルム(アスカ社製、BH907)に、ラミネータ(フジプラ社製、LPD3226N)を使用して積層して銅張積層板とし、試験片を作製した。この試験片を塩化第二鉄の40%水溶液に10分間浸漬し、エッチングにより幅1mmの配線を形成した。この工程にて、銅箔配線が剥がれたものを剥離の評価として「×」とし、剥がれなかったもの「〇」とした。またエッチング後、配線端部に幅1μm以上の溶け残りがあるものを残渣の評価として「×」とし、幅1μm以上の溶け残りがないものを「〇」とした。その結果を表2に示す。
(3) Etching resistance The adherend surface of the surface-treated copper foil is laminated to a laminate film (BH907, manufactured by Asuka Co., Ltd.) using a laminator (LPD3226N, manufactured by Fujipla Co., Ltd.) to form a copper-clad laminate, and a test piece is prepared. made. This test piece was immersed in a 40% aqueous solution of ferric chloride for 10 minutes and etched to form a wiring with a width of 1 mm. In this process, when the copper foil wiring was peeled off, it was evaluated as "×", and when it was not peeled off, it was evaluated as "◯". After etching, a residue of 1 μm or more in width at the end of the wiring was evaluated as “×”, and a “◯” was given when there was no residue of 1 μm or more in width. Table 2 shows the results.

(4)外観
表面処理銅箔の被接着面の外観を、処理ムラ、気泡痕の観点で評価した。処理ムラの評価としては、デジタルカメラを使用して、表面処理銅箔の被接着面を観察し、図4に示す画像の処理ムラを基準とし、図4よりも強い処理ムラが生じた場合を「×」とし、それよりも弱い場合を「〇」とした。気泡痕の評価としては、USBカメラを使用して拡大像(視野6mm×8mm)を撮影し、直径50μm以上の気泡痕が存在した場合を「×」とし、直径50μm以上の気泡痕は存在しない場合を「〇」とした。その結果を表2に示す。
(4) Appearance The appearance of the adherend surface of the surface-treated copper foil was evaluated from the viewpoint of treatment unevenness and air bubble marks. For the evaluation of uneven processing, a digital camera was used to observe the surface of the surface-treated copper foil to be adhered, and the uneven processing of the image shown in FIG. "X" was given, and weaker cases were given "O". For evaluation of bubble traces, a magnified image (field of view 6 mm x 8 mm) was taken using a USB camera, and when bubble traces with a diameter of 50 µm or more were present, it was marked as "x", and no bubble traces with a diameter of 50 µm or more were present. The case was marked as “〇”. Table 2 shows the results.

Figure 2023069796000002
Figure 2023069796000002

Figure 2023069796000003
Figure 2023069796000003

表1および表2に示すように、実施例1~5のいずれの表面処理銅箔も、L表色系においてL値が65以下、a値が10以下、b値が10以下となり、表示素子用途で使用可能な黒色系の色調を示した。特に実施例4では、色調の値L、a、bがより低く、表示素子とした際の映り込みの可能性が低い結果となった。また、耐エッチング性の評価では、実施例1~5のいずれの表面処理銅箔も残渣、剥離は生じていなかった。更に、外観の評価では、実施例1~5のいずれの表面処理銅箔も気泡痕、処理ムラは発生していなかった。特に、第1のめっき処理を行わなかった実施例5に比べて、第1のめっき処理を行った実施例1~4は、a値、b値が低く、色調がより優れていた。 As shown in Tables 1 and 2, each of the surface-treated copper foils of Examples 1 to 5 has an L * value of 65 or less, an a * value of 10 or less, and a b * value of 10 or less in the L * a*b * color system. The value was 10 or less, indicating a blackish color tone that can be used for display devices. In particular, in Example 4, the color tone values L * , a * , and b * were lower, and the possibility of reflection when used as a display device was low. In the evaluation of etching resistance, no residue or peeling occurred in any of the surface-treated copper foils of Examples 1-5. Furthermore, in the evaluation of the appearance, any of the surface-treated copper foils of Examples 1 to 5 had no bubble traces or treatment unevenness. In particular, in comparison with Example 5 in which the first plating treatment was not performed, Examples 1 to 4 in which the first plating treatment was performed had lower a * values and b * values and were superior in color tone.

一方、比較例1~3の表面処理銅箔では、第2のめっき処理の電流密度が高いことから、各成分の付着量が増大し、色調の評価において、L値、a値、b値がおおむね実施例1~4よりも低く、色調については問題がない一方、付着量の増加によって、エッチング液への溶解性が低下し、エッチング後に残渣が生じた。また、電流密度を上げたことにより、めっき処理中に銅箔側に水素ガスが発生しやすくなったため、外観の評価では、気泡痕、処理ムラが発生した。特に、比較例1~3のいずれの表面処理銅箔においても、気泡痕が1mにつき10個以上も存在していた。 On the other hand, in the surface-treated copper foils of Comparative Examples 1 to 3, since the current density of the second plating treatment is high, the adhesion amount of each component increases, and in the evaluation of color tone, L * value, a * value, b The * values were generally lower than those of Examples 1 to 4, and while there was no problem with color tone, the increased amount of adhesion reduced the solubility in the etchant, resulting in the formation of residues after etching. In addition, since hydrogen gas was more likely to be generated on the copper foil side during the plating process by increasing the current density, bubble traces and uneven processing occurred in the appearance evaluation. In particular, in all of the surface-treated copper foils of Comparative Examples 1 to 3, there were 10 or more bubble traces per 1 m 2 .

比較例4の表面処理銅箔では、第2のめっき処理の電流密度が低いことから、各成分の付着量が減少し、色調の評価において、L値が65を大きく超え、黒色系の色調を得ることはできなかった。更に、付着量の低下によって、エッチング液への溶解性が上昇し、エッチング時に銅箔が剥離してしまった。一方、電流密度を下げたことにより、めっき処理中に銅箔側に水素ガスが発生しにくくなったため、外観の評価では、気泡痕、処理ムラは発生していなかった。 In the surface-treated copper foil of Comparative Example 4, since the current density of the second plating treatment is low, the amount of each component adhered is reduced, and in the evaluation of color tone, the L * value greatly exceeds 65, and the color tone is blackish. could not get Furthermore, the decrease in the adhesion amount increased the solubility in the etchant, and the copper foil was peeled off during etching. On the other hand, by lowering the current density, it became difficult for hydrogen gas to be generated on the copper foil side during the plating process.

比較例5の表面処理銅箔では、第2のめっき処理を実施しなかったことから、色調の評価において、L値が65を大きく超え、黒色系の色調を得ることはできなかった。また、耐エッチング性の評価でも、銅箔の剥離が生じていた。 Since the surface-treated copper foil of Comparative Example 5 was not subjected to the second plating treatment, the L * value greatly exceeded 65 in the color tone evaluation, and a black color tone could not be obtained. In addition, peeling of the copper foil was found in the evaluation of the etching resistance.

10 表面処理銅箔
13 銅箔層(電解銅箔)
14 黒化処理層
20 タッチパネル
21 透明基材フィルム
22 接着層
10 surface-treated copper foil 13 copper foil layer (electrolytic copper foil)
REFERENCE SIGNS LIST 14 blackened layer 20 touch panel 21 transparent substrate film 22 adhesive layer

Claims (4)

電解銅箔と、前記電解銅箔の一方の面側を覆う黒化処理層とを備える表面処理銅箔であって、
前記黒化処理層が、銅、ニッケル、コバルト、及びタングステンを含む複合金属層であり、
前記黒化処理層のニッケルの付着量が120~400μg/dmであり、コバルトの付着量が400~700μg/dmであり、タングステンの付着量が70~200μg/dmである表面処理銅箔。
A surface-treated copper foil comprising an electrolytic copper foil and a blackening treatment layer covering one surface side of the electrolytic copper foil,
The blackened layer is a composite metal layer containing copper, nickel, cobalt, and tungsten,
Surface-treated copper having a nickel deposition amount of 120 to 400 μg/dm 2 , a cobalt deposition amount of 400 to 700 μg/dm 2 , and a tungsten deposition amount of 70 to 200 μg/dm 2 in the blackened layer. foil.
前記黒化処理層のニッケル、コバルト、及びタングステンの各付着量の合計が700~1200μg/dmである請求項1に記載の表面処理銅箔。 2. The surface-treated copper foil according to claim 1, wherein the total amount of nickel, cobalt, and tungsten in the blackened layer is 700 to 1200 μg/dm 2 . 前記表面処理銅箔の前記黒化処理層側の表面が、L表色系において、L値が55.0~65.0であり、a値が0.0~10.0であり、b値が0.0~10.0である請求項1又は2に記載の表面処理銅箔。 The surface of the surface-treated copper foil on the blackened layer side has an L* value of 55.0 to 65.0 and an a* value of 0.0 to 10 in the L * a * b * color system. .0, and a b * value of 0.0 to 10.0. 表面処理銅箔の黒化処理層側の表面に、直径50μm以上の気泡痕が1mにつき10個以上存在しない表面処理銅箔。 A surface-treated copper foil free from 10 or more bubble traces with a diameter of 50 μm or more per 1 m 2 on the surface of the surface-treated copper foil on the side of the blackened layer.
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