JP2023066003A - Liquid discharge head and method for manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

To surely seal an electric connection part, and suppress sealing defects.SOLUTION: A liquid discharge head has: a recording element substrate 3 for discharging a liquid; an electric wiring board 4 which is electrically connected to the recording element substrate 3; a support member 5 for supporting the recording element substrate 3 and the electric wiring board 4; and a sealing agent 6 for sealing an electric connection part between the recording element substrate 3 and the electric wiring board 4. The support member 5 has a recess 7 where the recording element substrate 3 is stored, and a gap 71 in which a space between the inner wall of the recess 7 and a side wall 3a of the recording element substrate 3 is sealed with a sealing agent 6, and a groove part 8 is provided on its bottom surface. The groove part 8 has a first groove part 81 extending in a first direction from an end 8a, a second groove part 82 extending along the side wall 3a of the recording element substrate 3 and extending in a second direction different from the first direction, and a bent part 8c for connecting the first groove part 81 and the second groove part 82. The groove part 8 has a downward average gradient toward a central part 8b from the end 8a, and the gradient of the bent part 8c is smaller than the average gradient.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、インク等の液体を吐出する液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する。 The present invention relates to a liquid ejection head that ejects liquid such as ink, and a manufacturing method thereof.

特許文献1には、電気配線基板から伝達された信号に応じて記録素子基板に形成された吐出口からインクを吐出するインクジェット式プリントヘッドが記載されている。このプリントヘッドは、記録素子基板と電気配線基板とを支持する支持基板を有する。支持基板は、記録素子基板を収容する凹部を備え、凹部の内壁と記録素子基板の側壁との間にギャップが形成されている。記録素子基板と電気配線基板との電気接続部がギャップを跨ぐように形成されている。ギャップの底部には、溝部が設けられている。溝部は記録素子基板の電気接続部が設けられた外縁に沿って延在し、途中に屈曲部を含む。ギャップを封止材で充填し、さらに電気接続部を封止材で覆うことで、電気接続部が封止される。 Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-100001 describes an ink jet print head that ejects ink from ejection ports formed in a recording element substrate according to signals transmitted from an electric wiring substrate. This print head has a support substrate that supports the recording element substrate and the electric wiring substrate. The support substrate has a recess for accommodating the recording element substrate, and a gap is formed between the inner wall of the recess and the side wall of the recording element substrate. An electrical connection portion between the recording element substrate and the electric wiring substrate is formed across the gap. A groove is provided at the bottom of the gap. The groove portion extends along the outer edge of the recording element substrate provided with the electrical connection portion, and includes a bent portion in the middle. The electrical connections are sealed by filling the gaps with the encapsulant and then covering the electrical connections with the encapsulant.

特開2013-49227号公報JP 2013-49227 A

上述のプリントヘッドにおいて、溝部は全体に亘って平坦であるため、封止剤を溝部の端部から注入した際に、封止剤の液流が屈曲部で滞留し、屈曲部から先の部分に流入していかない可能性がある。
また、封止剤の液流が屈曲部で滞留した際に気泡が発生する。このため、電気接続部の封止部分に気泡が残存し、封止欠陥となることがある。
In the above-described print head, since the groove is flat throughout, when the sealant is injected from the end of the groove, the liquid flow of the sealant stays at the bent portion, and the portion beyond the bent portion There is a possibility that it will not flow into
Also, bubbles are generated when the liquid flow of the sealant stays at the bent portion. For this reason, air bubbles may remain in the sealed portion of the electrical connection, resulting in a sealing defect.

本発明の目的は、電気接続部を確実に封止し、封止欠陥を抑制することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to reliably seal electrical connections and suppress sealing defects.

本発明の一態様による液体吐出ヘッドは、液体を吐出する記録素子基板と、前記記録素子基板と電気的に接続される電気配線基板と、前記記録素子基板と前記電気配線基板とを支持する支持部材と、前記記録素子基板と前記電気配線基板との電気接続部を封止する封止剤と、を有する。前記支持部材は前記記録素子基板を収容する凹部を有し、前記凹部の内壁と前記記録素子基板の側壁との間に、前記封止剤が充填され底面に溝部が設けられたギャップが形成されている。前記溝部は、延在方向における端部から第1の方向に延在する第1の溝部と、前記記録素子基板の前記電気接続部が設けられた側壁に沿って延在し前記第1の方向と異なる第2の方向に延在する第2の溝部と、前記第1の溝部と前記第2の溝部とを接続する屈曲部と、を有し、前記溝部は、前記端部から前記第2の溝部の延在方向における中央部に向かって下りの平均勾配を有し、前記屈曲部の勾配は前記平均勾配より小さい。 A liquid ejection head according to an aspect of the present invention comprises: a recording element substrate for ejecting liquid; an electric wiring substrate electrically connected to the recording element substrate; and a support for supporting the recording element substrate and the electric wiring substrate. and a sealant for sealing an electrical connection portion between the recording element substrate and the electric wiring substrate. The support member has a recess for accommodating the recording element substrate, and a gap filled with the sealant and having a groove on the bottom is formed between the inner wall of the recess and the side wall of the recording element substrate. ing. The groove portion includes a first groove portion extending in a first direction from an end portion in the extending direction, and a side wall of the recording element substrate provided with the electrical connection portion and extending in the first direction. and a bent portion connecting the first groove and the second groove, wherein the groove extends from the end to the second has an average slope downward toward the central portion in the extending direction of the groove, and the slope of the bent portion is smaller than the average slope.

本発明によれば、電気接続部を確実に封止し、封止欠陥を抑制することができる。 According to the present invention, it is possible to reliably seal the electrical connections and suppress sealing defects.

本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドの斜視図である。1 is a perspective view of a liquid ejection head according to an embodiment of the invention; FIG. 図1に示す液体吐出ヘッドの記録素子基板周辺の平面図である。2 is a plan view around a recording element substrate of the liquid ejection head shown in FIG. 1; FIG. 記録素子基板の端部近傍と溝部を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing the vicinity of an end of a recording element substrate and grooves; 図3に示す溝部近傍の拡大図である。4 is an enlarged view of the vicinity of a groove shown in FIG. 3; FIG. 図3に示す溝部の勾配を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining the slope of the groove shown in FIG. 3; FIG. 図3に示す溝部の断面形状を説明するための図である。4 is a diagram for explaining a cross-sectional shape of a groove shown in FIG. 3; FIG. 未硬化の第1の封止剤を溝部に充填した状態を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing a state in which grooves are filled with an uncured first sealant. 溝部に充填した未硬化の第1の封止剤の状態を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the state of the unhardened 1st sealing agent with which the groove part was filled. 第1の封止剤を塗布する封止樹脂塗布装置の一例を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an example of a sealing resin coating device for coating a first sealing agent; 溝部に注入した未硬化の第1の封止剤の流れを示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing the flow of an uncured first sealant injected into the groove; 第2の封止剤を塗布する封止樹脂塗布装置の一例を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing an example of a sealing resin coating device for coating a second sealing agent; 電気接続部に未硬化の第2の封止剤を塗布した状態を示す平面図である。FIG. 11 is a plan view showing a state in which an uncured second sealant is applied to the electrical connection; 未硬化の第1の封止剤と未硬化の第2の封止剤の充填状態を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the filling state of the unhardened 1st sealing agent and the unhardened 2nd sealing agent.

以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。但し、実施形態に記載されている構成要素はあくまで例示であり、本発明の範囲をそれらに限定する趣旨のものではない。
本発明に係る液体吐出ヘッドは、インクジェット装置等の画像形成装置に適用される。本発明の液体吐出ヘッドは、画像形成装置としてのプリンタ、複写機、複合機、ファクシミリなどの装置に適用可能である。また、本発明の液体吐出ヘッドは、液体吐出ヘッドに液体を供給するタンクと一体化して形成されるカートリッジとして、プリンタ等の装置に装着されてもよい。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the components described in the embodiments are merely examples, and are not intended to limit the scope of the present invention.
A liquid ejection head according to the present invention is applied to an image forming apparatus such as an inkjet apparatus. The liquid ejection head of the present invention can be applied to apparatuses such as printers, copiers, multi-function machines, and facsimiles as image forming apparatuses. Further, the liquid ejection head of the present invention may be installed in an apparatus such as a printer as a cartridge integrally formed with a tank that supplies liquid to the liquid ejection head.

図1は、本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドの斜視図である。液体吐出ヘッド100は、インク等の液体を吐出する記録素子基板3と、記録素子基板3と電気的に接続される電気配線基板4と、記録素子基板3と電気配線基板4とを支持する支持部材5と、を有する。記録素子基板3は、電気配線基板4を介して記録装置本体に電気的に接続される。
図示はされていないが、記録素子基板3は、複数の吐出口と、これら吐出口にそれぞれ連通する複数の圧力室と、これら圧力室にそれぞれ連通する複数の流路と、を有する。各圧力室に隣接して、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられている。エネルギー発生素子として、例えば発熱素子(電気熱変換体)や圧電素子等を用いることができる。
支持部材5は、液体を記録素子基板3に供給するための液体供給路を備える。支持部材5は、例えば、樹脂成形(例えば、射出成形)により形成される。記録素子基板3の吐出口が形成された面には保護テープ1が貼られており、保護テープ1を剥がす際につかむためのタグテープ2が保護テープ1に接合されている。保護テープ1は、記録素子基板3の吐出口を保護する。
FIG. 1 is a perspective view of a liquid ejection head according to one embodiment of the invention. The liquid ejection head 100 includes a recording element substrate 3 for ejecting liquid such as ink, an electric wiring substrate 4 electrically connected to the recording element substrate 3 , and a support for supporting the recording element substrate 3 and the electric wiring substrate 4 . a member 5; The recording element substrate 3 is electrically connected to the main body of the recording apparatus via the electric wiring substrate 4 .
Although not shown, the recording element substrate 3 has a plurality of ejection ports, a plurality of pressure chambers communicating with the ejection ports, and a plurality of flow paths communicating with the pressure chambers. An energy generating element is provided adjacent to each pressure chamber to generate energy for ejecting liquid. As the energy generating element, for example, a heating element (electrothermal transducer), a piezoelectric element, or the like can be used.
The support member 5 has a liquid supply path for supplying liquid to the recording element substrate 3 . The support member 5 is formed, for example, by resin molding (for example, injection molding). A protective tape 1 is attached to the surface of the recording element substrate 3 on which the ejection ports are formed, and a tag tape 2 is joined to the protective tape 1 for grasping when the protective tape 1 is peeled off. The protective tape 1 protects the ejection openings of the recording element substrate 3 .

図2は、図1に示した液体吐出ヘッド100の記録素子基板3の周辺の平面図である。支持部材5は、記録素子基板3を収容する凹部7を有する。電気配線基板4は、凹部7に対応する大きさの開口を備え、この開口から記録素子基板3が露出するように支持部材5に固定されている。記録素子基板3は長方形であり、長手方向の両端部には、電気配線基板4が電気的に接続される複数の端子が設けられている。電気配線基板4は、複数のリードを介して記録素子基板3の両端部に設けられた各端子と電気的に接続される。記録素子基板3と電気配線基板4との電気接続部9については詳しくは後述する。 FIG. 2 is a plan view around the recording element substrate 3 of the liquid ejection head 100 shown in FIG. The support member 5 has a recess 7 that accommodates the recording element substrate 3 . The electric wiring board 4 has an opening of a size corresponding to the recess 7, and is fixed to the support member 5 so that the recording element substrate 3 is exposed through this opening. The recording element substrate 3 has a rectangular shape, and a plurality of terminals to which the electric wiring substrate 4 is electrically connected are provided at both ends in the longitudinal direction. The electric wiring board 4 is electrically connected to terminals provided at both ends of the recording element board 3 via a plurality of leads. The electrical connection portion 9 between the recording element substrate 3 and the electrical wiring substrate 4 will be described later in detail.

封止剤6は、電気接続部9を封止する。封止剤6は、第1の封止剤6aと第2の封止剤6bとからなる。第1の封止剤6aと第2の封止剤6bとが、電気接続部9を上下から封止する。第1の封止剤6aと第2の封止剤6bは、例えば、熱硬化型エポキシ樹脂からなる。第1の封止剤6aが硬化する温度条件と第2の封止剤6bが硬化する温度条件は同じであることが好ましい。
凹部7の内壁と記録素子基板3の電気配線基板4が設けられた端部との間には、封止剤6が充填され底面に溝部が設けられたギャップ71が形成されている。溝部は、硬化前の第1の封止剤6aを貯留可能である。図3から図6を用いて、この溝部の構成を詳細に説明する。
A sealant 6 seals the electrical connections 9 . The sealant 6 consists of a first sealant 6a and a second sealant 6b. The first sealant 6a and the second sealant 6b seal the electrical connection portion 9 from above and below. The first sealant 6a and the second sealant 6b are made of, for example, thermosetting epoxy resin. The temperature conditions for curing the first sealant 6a and the temperature conditions for curing the second sealant 6b are preferably the same.
Between the inner wall of the concave portion 7 and the end portion of the recording element substrate 3 where the electric wiring substrate 4 is provided, a gap 71 is formed which is filled with the sealant 6 and has a groove portion on the bottom surface. The groove can store the first sealant 6a before hardening. The configuration of this groove will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 6. FIG.

図3は、記録素子基板3の端部近傍と溝部を示す平面図である。図4は、図3に示す溝部近傍の拡大図である。なお、図3には、記録素子基板3と電気配線基板4を接合する前の状態であって、未硬化の封止剤6を塗布する前の状態が示されている。また、図4において、便宜上、記録素子基板3は破線で示されている。
図3及び図4に示すように、支持部材5の凹部7は、記録素子基板3を支持する支持面5aを備える。支持面5aは、凹部7の底面を構成する。記録素子基板3は、接着材等で支持部材5の支持面5aに固定される。支持面5aに固定された記録素子基板3は、凹部7の内壁7aによって囲まれている。凹部7の内壁7aと記録素子基板3の電気配線基板4が接続された側壁3aとの間には、ギャップ71が形成されている。ギャップ71の底の一部に、溝部8が設けられている。記録素子基板3の端部3aに沿った部分では、溝部8はギャップ幅の一部にだけ設けられている。
FIG. 3 is a plan view showing the vicinity of the edge of the recording element substrate 3 and the groove. 4 is an enlarged view of the vicinity of the groove shown in FIG. 3. FIG. Note that FIG. 3 shows a state before the recording element substrate 3 and the electric wiring substrate 4 are joined together and before the uncured sealant 6 is applied. Also, in FIG. 4, the recording element substrate 3 is indicated by a dashed line for convenience.
As shown in FIGS. 3 and 4, the recess 7 of the support member 5 has a support surface 5a that supports the recording element substrate 3. As shown in FIG. The support surface 5 a constitutes the bottom surface of the recess 7 . The recording element substrate 3 is fixed to the support surface 5a of the support member 5 with an adhesive or the like. The recording element substrate 3 fixed to the support surface 5a is surrounded by the inner wall 7a of the recess 7. As shown in FIG. A gap 71 is formed between the inner wall 7a of the recess 7 and the side wall 3a of the recording element substrate 3 to which the electric wiring board 4 is connected. A groove 8 is provided in a part of the bottom of the gap 71 . In the portion along the edge portion 3a of the recording element substrate 3, the groove portion 8 is provided only in part of the gap width.

溝部8は、第1の溝部81と、第2の溝部82と、これら第1の溝部81と第2の溝部82とを接続する屈曲部8cと、を有する。第1の溝部81は、延在方向における端部8aから第1の方向yに延在する。第2の溝部82は、記録素子基板3の電気接続部9が設けられた側壁3aに沿って延在し第1の方向yと異なる第2の方向xに延在する。ここでは、第1の方向yと第2の方向xは直交している。溝部8は、端部8aから、第2の溝部82の延在方向における中央部8bに向かって下りの平均勾配を有しており、屈曲部8cの勾配はその平均勾配より小さい。溝部8は、中央部8bを中心に左右対称の構造になっている。なお、溝部8の両端部8aの溝の幅が異なるが、これは、記録素子基板と電気配線基板との電気接続部の形態に合わせたためであり、両端部8aの溝の幅は、同じであってもよい。 The groove portion 8 has a first groove portion 81 , a second groove portion 82 , and a bent portion 8 c connecting the first groove portion 81 and the second groove portion 82 . The first groove portion 81 extends in the first direction y from the end portion 8a in the extending direction. The second groove portion 82 extends along the side wall 3a of the recording element substrate 3 provided with the electrical connection portion 9 and extends in a second direction x different from the first direction y. Here, the first direction y and the second direction x are orthogonal. The groove portion 8 has an average downward slope from the end portion 8a toward the central portion 8b in the extending direction of the second groove portion 82, and the slope of the bent portion 8c is smaller than the average slope. The groove portion 8 has a symmetrical structure centering on the central portion 8b. The widths of the grooves at both ends 8a of the groove 8 are different, but this is because the widths of the grooves at both ends 8a are the same because they match the form of the electrical connection between the recording element substrate and the electric wiring board. There may be.

図3において、符号10は、支持面5aの溝部8の端部8aに隣接する領域を示す。符号11は、第1の溝部81の中央位置を示す。符号12は、溝部8の屈曲部8cの中央位置を示す。符号13は、第2の溝部82の中央位置を示す。符号10~13のそれぞれが示す位置は、「×」で示されている。
図5は、支持面5aと溝部8の端部8aから中央部8bまでの溝部分と高さとの関係を示す図である。図5には、図3中の符号10~13で示した位置を含み、第1の封止剤6aが通過する経路の高さの変化が示されている。
図6は、支持部材5の溝部8の断面形状を説明するための図である。図6(a)は、図3のa-a線の位置における支持部材5の断面図である。図6(b)は、図3のb-b線またはc-c線の位置における支持部材5の断面図である。図6(c)は、図3のd-d線の位置における支持部材5の断面図である。図6(d)は、図3のe-e線の位置における支持部材5の断面図である。
In FIG. 3, reference numeral 10 designates a region adjacent to the end 8a of the groove 8 of the support surface 5a. Reference numeral 11 indicates the center position of the first groove portion 81 . Reference numeral 12 indicates the center position of the bent portion 8c of the groove portion 8. As shown in FIG. Reference numeral 13 indicates the central position of the second groove portion 82 . The positions indicated by symbols 10 to 13 are indicated by "x".
FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the support surface 5a and the groove portion from the end portion 8a to the central portion 8b of the groove portion 8 and the height thereof. FIG. 5 shows changes in the height of the path through which the first sealant 6a passes, including the positions indicated by reference numerals 10 to 13 in FIG.
FIG. 6 is a diagram for explaining the cross-sectional shape of the groove portion 8 of the support member 5. As shown in FIG. FIG. 6(a) is a cross-sectional view of the support member 5 taken along the line aa in FIG. FIG. 6(b) is a cross-sectional view of the support member 5 taken along line bb or cc of FIG. FIG. 6(c) is a cross-sectional view of the support member 5 taken along line dd in FIG. FIG. 6(d) is a cross-sectional view of the support member 5 taken along line ee in FIG.

図5及び図6に示すように、溝部8の底面の高さは、端部8aで最も高く、中央部8bで最も低くなっている。なお、中央部8bは平坦面を含んでいてもよい。端部8aの高さは、支持面5aの高さと同じである。
第1の溝部81は、端部8aから屈曲部8cに向かって下り勾配を有する。第2の溝部82は、屈曲部8cから中央部8bに向かって下り勾配を有する。ここで、下り勾配とは、支持部材5の支持面5aを上向きに配置した場合に、支持面5aよりも下方に向かう傾斜を示す。下りの平均勾配Pは、これら第1の溝部81、屈曲部8c及び第2の溝部82からなる部分の下り勾配の平均を示す。屈曲部8cの底面は、支持面5aに沿った面である。ここでは、屈曲部8cの底面は、勾配のない、支持面5aに平行な平面である。なお、勾配は溝部8の幅方向の中心線に沿って定義する。屈曲部8cについては、屈曲部8cの内側角部8dと外周部8eから等距離にある点をつないだ曲線を溝部8の中心線とする。
As shown in FIGS. 5 and 6, the height of the bottom surface of the groove portion 8 is highest at the end portions 8a and lowest at the central portion 8b. Note that the central portion 8b may include a flat surface. The height of the end portion 8a is the same as the height of the support surface 5a.
The first groove portion 81 has a downward slope from the end portion 8a toward the bent portion 8c. The second groove portion 82 has a downward slope from the bent portion 8c toward the central portion 8b. Here, the downward slope indicates a slope downward from the support surface 5a of the support member 5 when the support surface 5a is arranged upward. The average downward slope P indicates the average of the downward slopes of the portion composed of the first groove portion 81 , the bent portion 8 c and the second groove portion 82 . The bottom surface of the bent portion 8c is a surface along the support surface 5a. Here, the bottom surface of the bent portion 8c is a flat plane parallel to the support surface 5a. The gradient is defined along the widthwise center line of the groove 8 . As for the bent portion 8c, the center line of the groove portion 8 is defined by a curved line connecting points equidistant from the inner corner portion 8d of the bent portion 8c and the outer peripheral portion 8e.

図7は、図3に示した記録素子基板3を電気配線基板4と接合し、未硬化の第1の封止剤6aを溝部8とギャップ71に充填した状態を示す模式図である。図8は、溝部8とギャップ71に充填した未硬化の第1の封止剤6aの状態を説明するための図である。図8(a)は、図7のa-a線の位置における支持部材5の断面図である。図8(b)は、図7のb-b線またはc-c線の位置における支持部材5の断面図である。図8(c)は、図7のd-d線の位置における支持部材5の断面図である。図8(d)は、図7のe-e線の位置における支持部材5の断面図である。 FIG. 7 is a schematic diagram showing a state in which the recording element substrate 3 shown in FIG. 3 is joined to the electric wiring substrate 4, and the grooves 8 and the gaps 71 are filled with the uncured first sealant 6a. FIG. 8 is a diagram for explaining the state of the uncured first sealant 6a filled in the groove 8 and the gap 71. As shown in FIG. FIG. 8(a) is a cross-sectional view of the support member 5 taken along the line aa in FIG. FIG. 8(b) is a sectional view of the support member 5 taken along line bb or cc of FIG. FIG. 8(c) is a cross-sectional view of the support member 5 taken along line dd in FIG. FIG. 8(d) is a cross-sectional view of the support member 5 taken along line ee in FIG.

図7及び図8に示すように、記録素子基板3の端部3aには、複数の端子が設けられており、各端子はそれぞれリード線4aを介して電気配線基板4に電気的に接続されている。これら端子部分及びリード線4aが、記録素子基板3と電気配線基板4との電気接続部9を構成する。各リード線4aは、第2の溝部82を横切るように設けられている。
電気接続部9を下方から封止するために、未硬化の第1の封止剤6aが溝部8の端部8aから注入される。具体的には、後述する一対のニードル101aを、溝部8の両端部8aに配置し、未硬化の第1の封止剤6aを一対のニードル101aから両端部8aに注入する。第1の封止剤6aを両端部8aから注入するのは、第1の封止剤6aがリード線4aと干渉することを防止し、第1の封止剤6aが確実にリード線4aの下方空間に流入するようにするためである。溝部8に注入された未硬化の第1の封止剤6aは、溝部8を溢れ出してギャップ71を充填し、記録素子基板3の端部3aまで広がっている。未硬化の第1の封止剤6aからなる封止部の上面はリード線4aまで達している。
As shown in FIGS. 7 and 8, the end portion 3a of the recording element substrate 3 is provided with a plurality of terminals, and each terminal is electrically connected to the electric wiring substrate 4 via lead wires 4a. ing. These terminal portions and the lead wires 4a form an electrical connection portion 9 between the recording element substrate 3 and the electrical wiring substrate 4. As shown in FIG. Each lead wire 4 a is provided so as to cross the second groove portion 82 .
An uncured first sealant 6a is injected from the end 8a of the groove 8 in order to seal the electrical connection 9 from below. Specifically, a pair of needles 101a, which will be described later, are arranged at both end portions 8a of the groove portion 8, and the uncured first sealant 6a is injected from the pair of needles 101a into both end portions 8a. Injecting the first sealant 6a from both ends 8a prevents the first sealant 6a from interfering with the lead wires 4a, and ensures that the first sealant 6a does not interfere with the lead wires 4a. This is to allow the water to flow into the lower space. The uncured first sealant 6 a injected into the groove 8 overflows the groove 8 , fills the gap 71 , and spreads to the edge 3 a of the recording element substrate 3 . The upper surface of the sealing portion made of the uncured first sealing agent 6a reaches the lead wire 4a.

以下に、未硬化の第1の封止剤6aを溝部8に充填する処理を詳細に説明する。
図9は、未硬化の第1の封止剤6aを溝部8に充填するための封止樹脂塗布装置の斜視図である。封止樹脂塗布装置は、未硬化の第1の封止剤6aが充填されたシリンジ101を備えた吐出装置102を有する。シリンジ101は、X軸、Y軸及びZ軸のそれぞれの軸方向に移動可能である。シリンジ101の先端には、未硬化の第1の封止剤6aを吐出可能な一対のニードル101aが取り付けられている。ここで、Y軸方向及びX軸方向はそれぞれ図3及び図7に示した第1の方向y及び第2の方向xに対応する。Z軸方向は支持部材5の支持面5aに垂直な方向に対応する。
The process of filling the grooves 8 with the uncured first sealant 6a will be described in detail below.
FIG. 9 is a perspective view of a sealing resin coating device for filling the groove portion 8 with the uncured first sealing agent 6a. The encapsulating resin application device has a discharge device 102 having a syringe 101 filled with an uncured first encapsulant 6a. The syringe 101 is movable along each of the X-, Y-, and Z-axes. A pair of needles 101a capable of ejecting the uncured first sealant 6a is attached to the tip of the syringe 101 . Here, the Y-axis direction and the X-axis direction correspond to the first direction y and the second direction x shown in FIGS. 3 and 7, respectively. The Z-axis direction corresponds to the direction perpendicular to the support surface 5 a of the support member 5 .

塗布対象物である液体吐出ヘッド100は、支持部材5の支持面5aが上向きになるように、一対のニードル101aの下方に配置される。ここで、液体吐出ヘッド100は、図3に示した記録素子基板3を電気配線基板4と接合した状態(図7示した構成の未硬化の第1の封止剤6aを塗布する前の状態)である。一対のニードル101aは、溝部8の両端部8aの注入位置にそれぞれ配置される。一対のニードル101aの各ニードルの先端の幅は同じである。溝部8の溝幅は、一対のニードル101aの各ニードルそれぞれの先端の幅よりも広い。溝部8の底面と一対のニードル101aの先端との距離は、例えば、0.2mm~0.3mm程度である。この距離範囲内であれば、一対のニードル101aの先端を溝部8の中に挿入することができる。 A liquid ejection head 100, which is an object to be coated, is arranged below the pair of needles 101a so that the support surface 5a of the support member 5 faces upward. Here, the liquid ejection head 100 is in a state in which the recording element substrate 3 shown in FIG. ). A pair of needles 101a are arranged at injection positions on both ends 8a of the groove 8, respectively. The tip width of each needle of the pair of needles 101a is the same. The groove width of the groove portion 8 is wider than the width of the tip of each needle of the pair of needles 101a. The distance between the bottom surface of the groove 8 and the tips of the pair of needles 101a is, for example, approximately 0.2 mm to 0.3 mm. The tips of the pair of needles 101a can be inserted into the groove 8 within this distance range.

図10は、溝部8に注入した未硬化の第1の封止剤6aの流れを示す模式図である。図10(a)~図10(f)において、上段の図は平面図、下段の図は上段の図のd-d線の位置における断面を示す断面図である。
図10(a)に示すように、一対のニードル101aから溝部8の両端部8aに未硬化の第1の封止剤6aを注入する。未硬化の第1の封止剤6aは、端部8aから屈曲部8cに向かって第1の溝部81の下り勾配に沿って流れる。
FIG. 10 is a schematic diagram showing the flow of the uncured first sealant 6a injected into the groove 8. As shown in FIG. 10(a) to 10(f), the upper figures are plan views, and the lower figures are cross-sectional views taken along line dd in the upper figures.
As shown in FIG. 10A, an uncured first sealant 6a is injected into both end portions 8a of the groove portion 8 from a pair of needles 101a. The uncured first sealant 6a flows along the downward slope of the first groove portion 81 from the end portion 8a toward the bent portion 8c.

次いで、図10(b)に示すように、未硬化の第1の封止剤6aは屈曲部8cに達する。未硬化の第1の封止剤6aの液流が屈曲部8cの内側角部8dに達した際に、未硬化の第1の封止剤6aの流速が速いと、未硬化の第1の封止剤6aが内側角部8dを通過する際に気相部を生じる。この気相部のために、未硬化の第1の封止剤6aの中に泡20が発生する。本実施形態では、屈曲部8cは第1の溝部81の下り勾配を減少するように構成されている(ここでは、屈曲部8cは平坦面である)ので、未硬化の第1の封止剤6aの流速が低下する。このように、屈曲部8cでは、未硬化の第1の封止剤6aの流速を遅くすることで、未硬化の第1の封止剤6aは、気相部の発生を防止しながら内側角部8dの周囲の壁面に沿って流れ、中央部8bの側に押し出される。なお、未硬化の第1の封止剤6aの中に泡20が生じた場合は、泡20は中央部8bの側に押し出される。 Next, as shown in FIG. 10(b), the uncured first sealant 6a reaches the bent portion 8c. When the liquid flow of the uncured first sealant 6a reaches the inner corner 8d of the bent portion 8c, if the flow velocity of the uncured first sealant 6a is high, the uncured first sealant 6a A vapor phase portion is generated when the sealant 6a passes through the inner corner portion 8d. Due to this gas phase, bubbles 20 are generated in the uncured first sealant 6a. In this embodiment, the bent portion 8c is configured to reduce the downward slope of the first groove portion 81 (here, the bent portion 8c is a flat surface), so that the uncured first sealant The flow velocity of 6a decreases. By slowing down the flow rate of the uncured first sealant 6a at the bent portion 8c in this way, the uncured first sealant 6a can prevent the generation of the gas phase portion while allowing the inner corners to flow. It flows along the wall surface around the portion 8d and is pushed out toward the central portion 8b. If bubbles 20 are generated in the uncured first sealant 6a, the bubbles 20 are pushed out toward the central portion 8b.

次いで、図10(c)及び図10(d)に示すように、未硬化の第1の封止剤6aは、屈曲部8cから中央部8bに向かって第2の溝部82の下り勾配に沿って流れる。未硬化の第1の封止剤6aの中に気泡20が含まれる場合は、未硬化の第1の封止剤6aが第2の溝部82を流れる際に、泡20は未硬化の第1の封止剤6aの液流に捲き込まれて消泡される。なお、内側角部8dで発生する気泡20が多い場合には、第1の封止剤6aが中央部8bに達しても気泡20が残る場合がある。本実施形態では、屈曲部8cが未硬化の第1の封止剤6aの流速を遅くすることで、気泡20の発生を抑制しているので、中央部8bに達した第1の封止剤6aに気泡20が残ることが抑制される。
次いで、図10(e)に示すように、未硬化の第1の封止剤6aは第2の溝部82を流れて中央部8bに達する。その後、図10(f)に示すように、未硬化の第1の封止剤6aは、溝部8を充填した後に、溝部8から溢れて、記録素子基板3の端部3aの側方のギャップ71及び一対のニードル101aの配置位置まで流れ込む。未硬化の第1の封止剤6aは、リード線4aに接触する高さまで注入される。
Next, as shown in FIGS. 10(c) and 10(d), the uncured first sealant 6a is spread along the downward slope of the second groove portion 82 from the bent portion 8c toward the central portion 8b. flow. If air bubbles 20 are contained in the uncured first sealant 6 a , the bubbles 20 will be removed from the uncured first sealant 6 a when the uncured first sealant 6 a flows through the second grooves 82 . is entangled in the liquid flow of the sealant 6a and defoamed. In addition, when many bubbles 20 are generated at the inner corner portion 8d, the bubbles 20 may remain even when the first sealant 6a reaches the central portion 8b. In the present embodiment, the curved portion 8c slows down the flow velocity of the uncured first sealant 6a, thereby suppressing the generation of air bubbles 20. Therefore, the first sealant reaching the central portion 8b Air bubbles 20 are prevented from remaining in 6a.
Next, as shown in FIG. 10(e), the uncured first sealant 6a flows through the second groove portion 82 and reaches the central portion 8b. After that, as shown in FIG. 10F, the uncured first sealant 6a fills the groove 8 and then overflows the groove 8 to fill the gap on the side of the edge 3a of the recording element substrate 3. 71 and a pair of needles 101a. The uncured first sealant 6a is injected up to a height where it contacts the lead wires 4a.

未硬化の第1の封止剤6aの充填後、未硬化の第2の封止剤6bを記録素子基板3と電気配線基板4との電気接続部9を被覆するように塗布する。以下に、未硬化の第2の封止剤6bを電気接続部9に塗布する処理を詳細に説明する。
図11は、未硬化の第2の封止剤6bを塗布するための封止樹脂塗布装置の斜視図である。封止樹脂塗布装置は、一対のニードル101aに代えて未硬化の第2の封止剤6bを吐出可能なシングルニードル101bを有する点以外は、図9に示した封止樹脂塗布装置と同様のものである。シリンジ101には、未硬化の第2の封止剤6bが充填されている。
After the uncured first sealant 6a is filled, the uncured second sealant 6b is applied so as to cover the electrical connection portion 9 between the recording element substrate 3 and the electrical wiring substrate 4. FIG. The process of applying the uncured second sealant 6b to the electrical connection portion 9 will be described in detail below.
FIG. 11 is a perspective view of a sealing resin coating device for coating the uncured second sealing agent 6b. The encapsulating resin applicator is the same as the encapsulating resin applicator shown in FIG. 9, except that instead of the pair of needles 101a, it has a single needle 101b capable of ejecting the uncured second encapsulant 6b. It is a thing. The syringe 101 is filled with the uncured second sealant 6b.

図12は、図7に示した未硬化の第1の封止剤6aが充填された電気接続部9に未硬化の第2の封止剤6bを塗布した状態を模式的に示す平面図である。図13は、未硬化の第1の封止剤6aと未硬化の第2の封止剤6bの充填状態を説明するための図である。図13(a)は、図12のa-a線の位置における支持部材5の断面図である。図13(b)は、図12のb-b線またはc-c線の位置における支持部材5の断面図である。図13(c)は、図12のd-d線の位置における支持部材5の断面図である。図13(d)は、図12のe-e線の位置における支持部材5の断面図である。 FIG. 12 is a plan view schematically showing a state in which the uncured second sealant 6b is applied to the electrical connection portion 9 filled with the uncured first sealant 6a shown in FIG. be. FIG. 13 is a diagram for explaining the filling state of the uncured first sealant 6a and the uncured second sealant 6b. FIG. 13(a) is a cross-sectional view of the support member 5 taken along line aa in FIG. FIG. 13(b) is a cross-sectional view of the support member 5 taken along line bb or cc of FIG. FIG. 13(c) is a cross-sectional view of the support member 5 taken along line dd in FIG. FIG. 13(d) is a cross-sectional view of the support member 5 taken along line ee in FIG.

図12及び図13に示すように、未硬化の第1の封止剤6aが記録素子基板3と電気配線基板4との電気接続部9を下方から封止しており、未硬化の第2の封止剤6bは、その電気接続部9を上方から被覆するように塗布される。図12に示すように、シングルニードル101bを電気接続部9の一方の端部に配置する。ここで、電気接続部の一方の端部とは、記録素子基板3の幅方向(第2の方向x)における端部の一方である。シングルニードル101bの先端と電気接続部9との距離は、例えば、0.1mm~0.3mm程度である。未硬化の第2の封止剤6bをシングルニードル101bから吐出させながら、シングルニードル101bを矢印Aの方向に移動させる。シングルニードル101bは、電気接続部9の一方の端部から他方の端部まで移動する。電気接続部9は、シングルニードル101bから吐出した未硬化の第2の封止剤6bによって完全に覆われる。このようにして、未硬化の第1の封止剤6aと未硬化の第2の封止剤6bとからなる封止剤6が、電気接続部9を上下方向から隙間なく覆う。 As shown in FIGS. 12 and 13, the uncured first sealant 6a seals the electrical connection portion 9 between the recording element substrate 3 and the electrical wiring board 4 from below, and the uncured second sealant 6a seals from below. The sealing agent 6b is applied so as to cover the electrical connection portion 9 from above. A single needle 101b is placed at one end of the electrical connection 9, as shown in FIG. Here, one end of the electrical connection portion is one of the ends in the width direction (second direction x) of the recording element substrate 3 . The distance between the tip of the single needle 101b and the electrical connection portion 9 is, for example, about 0.1 mm to 0.3 mm. The single needle 101b is moved in the direction of the arrow A while discharging the uncured second sealant 6b from the single needle 101b. The single needle 101b moves from one end of the electrical connection 9 to the other end. The electrical connection 9 is completely covered with the uncured second sealant 6b discharged from the single needle 101b. In this manner, the sealant 6 composed of the uncured first sealant 6a and the uncured second sealant 6b covers the electrical connection portion 9 from above and below without gaps.

未硬化の第1の封止剤6a及び未硬化の第2の封止剤6bの充填後、第1の封止剤6a及び第2の封止剤6bを加熱して硬化する。これら第1の封止剤6a及び第2の封止剤6bを加熱するために、恒温槽を用いることができる。第1の封止剤6a及び第2の封止剤6bを硬化する温度条件を同じにすることで、加熱及び硬化の工程数を削減することができる。 After the uncured first sealant 6a and the uncured second sealant 6b are filled, the first sealant 6a and the second sealant 6b are heated and cured. A constant temperature bath can be used to heat the first sealant 6a and the second sealant 6b. By making the temperature conditions for curing the first sealant 6a and the second sealant 6b the same, the number of steps for heating and curing can be reduced.

以上説明した本実施形態の液体吐出ヘッド100によれば、第1の封止剤6aを溝部8の全体に十分に充填することができ、記録素子基板3と電気配線基板4との電気接続部9の封止欠陥を抑制することができる。特に、高粘度の封止剤を用いる場合は、気相部(泡)が生じ易いことから、本実施形態の液体吐出ヘッド100は特に有効である。 According to the liquid ejection head 100 of the present embodiment described above, the first sealant 6a can be sufficiently filled in the entire groove 8, and the electrical connection portion between the recording element substrate 3 and the electric wiring substrate 4 can be fully filled. 9 sealing defects can be suppressed. In particular, the liquid ejection head 100 of the present embodiment is particularly effective when using a high-viscosity sealing agent, since gas phase portions (bubbles) are likely to occur.

また、溝部8の第1の溝部81と第2の溝部82とがいずれも下り勾配を有する。第1の溝部81の下り勾配により、第1の封止剤6aを端部8aから屈曲部8cに向かって容易に供給することができる。また、第2の溝部82の下り勾配により、第1の封止剤6aを屈曲部8cから中央部8bに向かって容易に供給することができる。
第1の溝部81の底面の勾配は、第2の溝部82の底面の勾配以上であることが好ましい。これにより、溝部8の溝幅が一定であれば、第1の封止剤6aを、途切れることなく、端部8aから中央部8bに確実に供給することができ、内側角部8dでの気相部の発生をより確実に抑制することができる。第1の溝部81の底面の勾配は、例えば、5°~10°の範囲内である。第2の溝部82の底面の勾配は、例えば、2°~5°の範囲内である。
Moreover, both the first groove portion 81 and the second groove portion 82 of the groove portion 8 have downward slopes. Due to the downward slope of the first groove portion 81, the first sealant 6a can be easily supplied from the end portion 8a toward the bent portion 8c. Further, the downward slope of the second groove portion 82 allows the first sealant 6a to be easily supplied from the bent portion 8c toward the central portion 8b.
The slope of the bottom surface of the first groove portion 81 is preferably greater than or equal to the slope of the bottom surface of the second groove portion 82 . As a result, if the groove width of the groove portion 8 is constant, the first sealant 6a can be reliably supplied from the end portion 8a to the central portion 8b without interruption, and the air flow at the inner corner portion 8d can be ensured. It is possible to more reliably suppress the occurrence of phase portions. The slope of the bottom surface of the first groove portion 81 is, for example, within the range of 5° to 10°. The slope of the bottom surface of the second groove portion 82 is, for example, within the range of 2° to 5°.

第1の封止剤6aの流速を遅くするという観点から、屈曲部8cの底面の勾配は、0°以上で、第1の溝部81及び第2の溝部82のいずれの底面の勾配よりも小さいことが好ましい。屈曲部8cの底面を傾斜させた場合は、第1の溝部81または第2の溝部82の底面が溝幅方向に傾斜する。この溝幅方向の傾斜は小さいことが好ましい。このため、屈曲部8cの底面は、勾配のない平坦面からなることが好ましい。なお、樹脂成形の精度上の誤差範囲内で傾斜があった場合は、屈曲部8cの底面は、勾配のない平坦面と見做す。
また、支持部材5において、支持面5aを基準面として溝部8の勾配を形成する。この場合、屈曲部8cの底面を支持面5aに沿った面(例えば、支持面5aと平行な面)とすることで、溝幅方向の傾斜を小さくすることができる。
From the viewpoint of slowing down the flow velocity of the first sealant 6a, the inclination of the bottom surface of the bent portion 8c is 0° or more and smaller than the inclination of the bottom surfaces of the first groove portion 81 and the second groove portion 82. is preferred. When the bottom surface of the bent portion 8c is inclined, the bottom surface of the first groove portion 81 or the second groove portion 82 is inclined in the groove width direction. It is preferable that the inclination in the groove width direction is small. For this reason, it is preferable that the bottom surface of the bent portion 8c be a flat surface without a slope. If the inclination is within the error range of resin molding accuracy, the bottom surface of the bent portion 8c is regarded as a flat surface without any inclination.
Further, in the support member 5, the slope of the groove portion 8 is formed using the support surface 5a as a reference surface. In this case, the inclination in the groove width direction can be reduced by forming the bottom surface of the bent portion 8c along the support surface 5a (for example, a surface parallel to the support surface 5a).

本実施形態の液体吐出ヘッド100の製造方法は、以下の手順を含む。凹部7の内壁7aと記録素子基板3の側壁3aとの間にギャップ71が形成され、ギャップ71の底面に溝部8が露出するように、記録素子基板を凹部7に固定する。次いで、記録素子基板3と電気配線基板4との電気接続部9を設ける。次いで、ギャップ71に第1の封止剤6aを充填する。第1の封止剤6aの充填後に、電気接続部9を被覆する第2の封止剤6bを塗布する。この製造方法によれば、封止欠陥なく、記録素子基板3と電気配線基板4との電気接続部9を上下方向から確実に封止することができる。 The manufacturing method of the liquid ejection head 100 of this embodiment includes the following procedures. A gap 71 is formed between the inner wall 7 a of the recess 7 and the side wall 3 a of the recording element substrate 3 , and the recording element substrate is fixed to the recess 7 so that the groove 8 is exposed at the bottom surface of the gap 71 . Next, an electrical connection portion 9 between the recording element substrate 3 and the electrical wiring substrate 4 is provided. Next, the gap 71 is filled with the first sealant 6a. After filling the first sealant 6a, the second sealant 6b covering the electrical connection portion 9 is applied. According to this manufacturing method, the electrical connection portion 9 between the recording element substrate 3 and the electrical wiring substrate 4 can be reliably sealed from above and below without sealing defects.

3 記録素子基板
4 電気配線基板
5 支持部材
6 封止剤
7 凹部
8 溝部
3 recording element substrate 4 electric wiring substrate 5 support member 6 sealant 7 concave portion 8 groove portion

Claims (9)

液体を吐出する記録素子基板と、
前記記録素子基板と電気的に接続される電気配線基板と、
前記記録素子基板と前記電気配線基板とを支持する支持部材と、
前記記録素子基板と前記電気配線基板との電気接続部を封止する封止剤と、を有し、
前記支持部材は前記記録素子基板を収容する凹部を有し、前記凹部の内壁と前記記録素子基板の側壁との間に、前記封止剤が充填され底面に溝部が設けられたギャップが形成され、
前記溝部は、延在方向における端部から第1の方向に延在する第1の溝部と、前記記録素子基板の前記電気接続部が設けられた側壁に沿って延在し前記第1の方向と異なる第2の方向に延在する第2の溝部と、前記第1の溝部と前記第2の溝部とを接続する屈曲部と、を有し、前記溝部は、前記端部から前記第2の溝部の延在方向における中央部に向かって下りの平均勾配を有し、前記屈曲部の勾配は前記平均勾配より小さいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
a recording element substrate for ejecting liquid;
an electric wiring board electrically connected to the recording element substrate;
a support member that supports the recording element substrate and the electric wiring substrate;
a sealant for sealing an electrical connection between the recording element substrate and the electrical wiring substrate;
The support member has a recess for accommodating the recording element substrate, and a gap filled with the sealant and having a groove on the bottom is formed between the inner wall of the recess and the side wall of the recording element substrate. ,
The groove portion includes a first groove portion extending in a first direction from an end portion in the extending direction, and a side wall of the recording element substrate provided with the electrical connection portion and extending in the first direction. and a bent portion connecting the first groove and the second groove, wherein the groove extends from the end to the second A liquid ejection head, characterized in that the groove has an average slope downward toward the center in the extending direction of the groove, and the slope of the bent portion is smaller than the average slope.
前記第1の溝部は前記端部から前記屈曲部に向かって下り勾配を有し、前記第2の溝部は前記屈曲部から前記中央部に向かって下り勾配を有することを特徴とする、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。 The first groove portion has a downward slope from the end portion toward the bent portion, and the second groove portion has a downward slope from the bent portion toward the central portion. 1. The liquid ejection head according to 1. 前記第1の溝部の底面の勾配は、前記第2の溝部の底面の勾配以上であることを特徴とする、請求項2に記載の液体吐出ヘッド。 3. The liquid ejection head according to claim 2, wherein the slope of the bottom surface of the first groove is greater than or equal to the slope of the bottom surface of the second groove. 前記屈曲部の底面の勾配は、前記第1の溝部および前記第2の溝部のいずれの底面の勾配よりも小さいことを特徴とする、請求項2または3に記載の液体吐出ヘッド。 4. The liquid ejection head according to claim 2, wherein the slope of the bottom surface of the bent portion is smaller than the slope of the bottom surface of each of the first groove portion and the second groove portion. 前記屈曲部の底面は、勾配のない平坦面であることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。 5. The liquid ejection head according to any one of claims 1 to 4, wherein the bottom surface of said bent portion is a flat surface without a slope. 前記支持部材は、前記記録素子基板を支持する支持面を有し、前記屈曲部の底面は、前記支持面に沿った面からなることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。 6. The support member according to any one of claims 1 to 5, wherein the support member has a support surface for supporting the recording element substrate, and the bottom surface of the bent portion is formed along the support surface. 3. The liquid ejection head according to . 前記溝部の両端部から前記中央部に向かって下り勾配を有することを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。 7. The liquid ejection head according to claim 1, wherein the groove has a downward slope from both ends toward the central portion. 前記溝部の幅は、前記封止剤を注入するニードルの幅よりも広いことを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。 8. The liquid ejection head according to claim 1, wherein a width of said groove is wider than a width of a needle for injecting said sealant. 液体を吐出する記録素子基板と、前記記録素子基板と電気的に接続される電気配線基板と、前記記録素子基板と前記電気配線基板とを支持する支持部材と、前記記録素子基板と前記電気配線基板との電気接続部を封止する封止剤と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記支持部材は、前記記録素子基板を収容する凹部を有し、前記凹部の底面に溝が形成されており、
前記凹部の内壁と前記記録素子基板の側壁との間にギャップが形成され、前記ギャップの底面に前記溝部が露出するように、前記記録素子基板を前記凹部に固定することと、
前記電気接続部を設けることと、
前記ギャップに第1の封止剤を充填することと、
前記第1の封止剤の充填後に、前記電気接続部を被覆する第2の封止剤を塗布することと、を有し、
前記溝部は、延在方向における端部から第1の方向に延在する第1の溝部と、前記記録素子基板の前記電気接続部が設けられた側壁に沿って延在し前記第1の方向と異なる第2の方向に延在する第2の溝部と、前記第1の溝部と前記第2の溝部とを接続する屈曲部と、を有し、前記溝部は、前記端部から前記第2の溝部の延在方向における中央部に向かって下りの平均勾配を有し、前記屈曲部の勾配は前記平均勾配より小さいことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
a recording element substrate that ejects liquid; an electric wiring board that is electrically connected to the recording element substrate; a supporting member that supports the recording element substrate and the electric wiring substrate; A method for manufacturing a liquid ejection head comprising: a sealant for sealing an electrical connection with a substrate;
the support member has a recess for accommodating the recording element substrate, and a groove is formed in the bottom surface of the recess;
fixing the recording element substrate to the recess such that a gap is formed between the inner wall of the recess and the side wall of the recording element substrate, and the groove is exposed at the bottom surface of the gap;
providing the electrical connection;
filling the gap with a first encapsulant;
applying a second sealant covering the electrical connection after filling with the first sealant;
The groove portion includes a first groove portion extending in a first direction from an end portion in the extending direction, and a side wall of the recording element substrate provided with the electrical connection portion and extending in the first direction. and a bent portion connecting the first groove and the second groove, wherein the groove extends from the end to the second A method of manufacturing a liquid ejection head, wherein the groove has an average slope downward toward the center in the extending direction of the groove, and the slope of the bent portion is smaller than the average slope.
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