JP2023062784A - Photosensitive resin composition, laminate and cured product of the same, and transparent material having the cured product - Google Patents

Photosensitive resin composition, laminate and cured product of the same, and transparent material having the cured product Download PDF

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Abstract

To provide a photosensitive resin composition which enables formation of a cured product that is useful as a transparent material, especially, a material for a transparent antenna of a smart phone or a car navigation employing 5G, and has good resolution, good plating resistance, appropriate transmittance, a suppressed haze value and water vapor transmittance.SOLUTION: There are provided a photosensitive resin composition that contains (A) a carboxyl group-containing resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) a compound having an unsaturated double bond, (D) a thermosetting resin, and (E) a filler having an average particle size of 120 nm or less, wherein a value of a ratio of total light transmittance at a wavelength of 550 nm to total light transmittance at a wavelength of 430 nm in film thickness of 20 μm of a cured product obtained from the photosensitive resin composition is within a range of 0.90 or more and less than 1.15, and a haze value at a wavelength of 550 nm of the cured product is within a range of more than 0.0% and less than 2.0%; and a cured product of the same.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、その積層体および硬化物、ならびにその硬化物を有する透明材料、例えば、カーナビまたはスマートフォン等の透明アンテナ用の透明保護材料に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a photosensitive resin composition, a laminate and a cured product thereof, and a transparent material having the cured product, for example, a transparent protective material for transparent antennas of car navigation systems, smartphones, and the like.

昨今、高速かつ大容量のデータ通信が求められているという観点から、従来の4G(第4世代移動通信システム)に代わる、あるいは4Gと共存し得る移動通信システムとして、5G(第5世代移動通信システム)が注目を浴びつつある。
5Gは4Gと比較して、通信速度および容量が大幅に向上しているという利点を有しているものの、その一方で、5Gを採用した回路の複雑さ故に、例えばスマートフォンまたはカーナビのような製品のアンテナに採用した場合に、その製品の見た目、つまり意匠性に影響を与え、製品価値を低下させてしまうおそれがある。
そこで、そういった事態を緩和するべく、一例として、保護材料を含めたアンテナ自体を超微細配線および透明材料にて構成することによりアンテナ全体の透明性を高め、それにより製品の意匠性を保持するというアイデアも生じ得る。
この点、そのような透明材料としては、種々候補が挙げられ得るが、例えば特許文献1は、アミドイミド樹脂を含有する硬化性樹脂組成物、および当該組成物から得られる硬化物が透明性に優れることが記載されている。
In recent years, from the viewpoint of high-speed and large-capacity data communication, 5G (5th generation mobile communication system) is gaining attention.
5G has the advantage of significantly improved communication speed and capacity compared to 4G, but on the other hand, due to the complexity of the circuits that adopt 5G, products such as smartphones or car navigation systems When it is used in the antenna of the third party, it may affect the appearance of the product, that is, the design property, and reduce the value of the product.
Therefore, in order to alleviate such a situation, as an example, the antenna itself, including the protective material, is configured with ultra-fine wiring and transparent materials to increase the transparency of the entire antenna, thereby maintaining the design of the product. Ideas can also arise.
In this respect, various candidates can be cited as such transparent materials. For example, Patent Document 1 discloses a curable resin composition containing an amideimide resin, and a cured product obtained from the composition having excellent transparency. is stated.

特許第5839149号公報Japanese Patent No. 5839149

ところが、5Gを採用したスマートフォンまたはカーナビ製品の透明アンテナを対象とした場合、当該アンテナ用の保護材料としては、電子回路用の材料が本来有するべき特性に加えて、透明アンテナ用という用途および種々の気体からの電子回路の保護という観点から、高い透明性および高いガスバリア性をも必要とされる。より具体的には、かような材料には、良好な解像性、良好な耐めっき性、適切な透過率、抑制されたヘーズ値および水蒸気透過率を併せ持つことが望まれる。 However, when targeting transparent antennas for smartphones or car navigation products that use 5G, in addition to the characteristics that materials for electronic circuits should originally have, protective materials for such antennas are used for transparent antennas and various other purposes. From the point of view of protecting electronic circuits from gases, high transparency and high gas barrier properties are also required. More specifically, such materials are desired to combine good resolution, good plating resistance, adequate transmittance, controlled haze and water vapor transmission.

この点について、上記特許文献1に記載の技術による樹脂組成物は、プリント配線基板用、あるいは半導体パッケージ基板用のソルダーレジストの材料として有用であることを記載するにとどまり、5Gの採用を前提とした製品の透明アンテナ用材料、および当該材料として充足すべき特性を付与し得る樹脂組成物を具体的に提案するものではない。 Regarding this point, the resin composition according to the technology described in Patent Document 1 is only described as being useful as a solder resist material for printed wiring boards or semiconductor package substrates, and is premised on the adoption of 5G. It does not specifically propose a material for a transparent antenna for such products and a resin composition capable of imparting properties sufficient for the material.

そこで、本発明は、透明材料、特に5Gを採用したスマートフォンまたはカーナビの透明アンテナ用材料として有用な、良好な解像性、良好な耐めっき性、適切な透過率、抑制されたヘーズ値および水蒸気透過率を併せ持った硬化物を形成し得る感光性樹脂組成物を提供することを課題とした。 Therefore, the present invention provides good resolution, good plating resistance, appropriate transmittance, suppressed haze value and water vapor, which are useful as transparent materials, especially materials for transparent antennas of smartphones or car navigation systems that employ 5G. An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition capable of forming a cured product having both transmittance.

そして本発明者の鋭意検討の結果、上記課題は、
(A)カルボキシル基含有樹脂と、
(B)光重合開始剤と、
(C)不飽和二重結合を有する化合物と、
(D)熱硬化性樹脂と、
(E)平均粒子径が120nm以下であるフィラーと
を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物であって、
前記感光性樹脂組成物から得られる硬化物の膜厚20μmにおける波長550nmの全光線透過率と波長430nmの全光線透過率との比の値が0.90以上1.15未満の範囲にあり、
前記硬化物についての波長550nmのヘーズ値が0.0%超2.0%未満の範囲にある
感光性樹脂組成物によって、解決され得ることが見出された。
このうち本発明の好ましい態様は、(A)カルボキシル基含有樹脂が、酸無水物の付加反応によるカルボキシル基を有する樹脂であることを特徴とする、感光性樹脂組成物に関する。
また本発明の別の好ましい態様は、(A)カルボキシル基含有樹脂が、脂肪族構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネートと、脂肪族構造を有するトリカルボン酸無水物と、を反応させて得られるアミドイミド樹脂を含むことを特徴とする、感光性樹脂組成物に関する。
また本発明のさらに別の態様は、(D)熱硬化性樹脂が、ガードナー色数5以下のエポキシ樹脂であることを特徴とする、感光性樹脂組成物に関する。
さらにまた、本発明のより好ましい態様は、(F)20℃以上70℃未満で液状である熱硬化触媒をさらに含むことを特徴とする、感光性樹脂組成物に関する。
さらに別の本発明の態様は、上記の感光性樹脂組成物を、フィルム上に塗布、乾燥させて得られた樹脂層を有することを特徴とする、感光性樹脂積層体にも関する。
さらに別の本発明の態様は、上記の感光性樹脂組成物、または感光性樹脂積層体の樹脂層を硬化してなることを特徴とする、硬化物、および当該硬化物を備えてなることを特徴とする、透明アンテナにも関する。
またより好ましい本発明の態様は、上記の硬化物の膜厚100μmにおける水蒸気透過率が10g/m/day未満であることを特徴とする、感光性樹脂組成物に関する。
As a result of intensive studies by the inventors, the above problems are
(A) a carboxyl group-containing resin;
(B) a photoinitiator;
(C) a compound having an unsaturated double bond;
(D) a thermosetting resin;
(E) a photosensitive resin composition comprising a filler having an average particle size of 120 nm or less,
The ratio of the total light transmittance at a wavelength of 550 nm to the total light transmittance at a wavelength of 430 nm at a film thickness of 20 μm of the cured product obtained from the photosensitive resin composition is in the range of 0.90 or more and less than 1.15,
It was found that the haze value of the cured product at a wavelength of 550 nm is in the range of more than 0.0% and less than 2.0%.
Among these, a preferred embodiment of the present invention relates to a photosensitive resin composition, wherein (A) the carboxyl group-containing resin is a resin having a carboxyl group obtained by addition reaction of an acid anhydride.
In another preferred embodiment of the present invention, (A) the carboxyl group-containing resin is obtained by reacting an isocyanurate-type polyisocyanate synthesized from an isocyanate having an aliphatic structure with a tricarboxylic acid anhydride having an aliphatic structure. The present invention relates to a photosensitive resin composition comprising an amide-imide resin obtained by
Still another aspect of the present invention relates to a photosensitive resin composition, wherein (D) the thermosetting resin is an epoxy resin having a Gardner color number of 5 or less.
Furthermore, a more preferred embodiment of the present invention relates to a photosensitive resin composition further comprising (F) a thermosetting catalyst that is liquid at 20°C or higher and lower than 70°C.
Yet another aspect of the present invention relates to a photosensitive resin laminate characterized by having a resin layer obtained by coating and drying the above photosensitive resin composition on a film.
Still another aspect of the present invention is a cured product obtained by curing the resin layer of the photosensitive resin composition or the photosensitive resin laminate, and a cured product comprising the cured product It also relates to a transparent antenna, characterized in that:
A more preferred embodiment of the present invention relates to a photosensitive resin composition characterized by having a water vapor transmission rate of less than 10 g/m 2 /day at a film thickness of 100 μm of the cured product.

本発明の感光性樹脂組成物から得られる硬化物は、良好な解像性および良好な耐めっき性を示すだけでなく、適切な透過率比、抑制されたヘーズ値および水蒸気透過率をも併せ持つ。そのため、電子回路の透明材料、とりわけ、5Gに対応したスマートフォンやカーナビなどの製品の透明アンテナ用の透明保護材料として特に有用である。 The cured product obtained from the photosensitive resin composition of the present invention not only exhibits good resolution and good plating resistance, but also has an appropriate transmittance ratio, a suppressed haze value and a water vapor transmission rate. . Therefore, it is particularly useful as a transparent material for electronic circuits, especially as a transparent protective material for transparent antennas of products such as smartphones and car navigation systems compatible with 5G.

本発明の感光性樹脂組成物は、上記のとおり、とりわけ、得られた硬化物を、5Gに対応した製品の透明アンテナ用の透明材料として用いることを前提としている。そのため、硬化物の透明性が一定の水準を充足するように、本発明の感光性樹脂組成物の成分組成が定められる。
本発明に係るそのような硬化物の透明性は、具体的には、当該硬化物の膜厚20μmにおける波長550nmの全光線透過率と波長430nmの全光線透過率との比の値(波長550nmの全光線透過率/波長430nmの全光線透過率;以下、単に「全光線透過率比」ともいう)が0.90以上1.15未満の範囲にあり、なおかつ、当該硬化物についての波長550nmのヘーズ値が0.0%超2.0%未満の範囲となるような水準である。
全光線透過率比を上記数値範囲内に規定することによって、硬化物の黄色味を抑えることができる。また、ヘーズ値を上記数値範囲内に規定することによって、硬化物の曇り度を抑えることができる。
このような全光線透過率は、例えば、積分球装置を用いたISO13468に準じて測定することができる。
また、ヘーズ値は、例えば、積分球装置を用いたISO14782に準じて測定することができる。
As described above, the photosensitive resin composition of the present invention is based on the assumption that the obtained cured product is used as a transparent material for transparent antennas of products compatible with 5G. Therefore, the component composition of the photosensitive resin composition of the present invention is determined so that the transparency of the cured product satisfies a certain level.
Specifically, the transparency of such a cured product according to the present invention is the value of the ratio of the total light transmittance at a wavelength of 550 nm and the total light transmittance at a wavelength of 430 nm at a film thickness of 20 μm of the cured product (wavelength 550 nm The total light transmittance of /total light transmittance at a wavelength of 430 nm; is a level such that the haze value of is in the range of more than 0.0% and less than 2.0%.
By defining the total light transmittance ratio within the above numerical range, the yellowness of the cured product can be suppressed. Further, by specifying the haze value within the above numerical range, the haze of the cured product can be suppressed.
Such total light transmittance can be measured, for example, according to ISO13468 using an integrating sphere device.
Also, the haze value can be measured, for example, according to ISO14782 using an integrating sphere apparatus.

さらに、本発明に係る感光性樹脂組成物は、回線保護の観点から、その硬化物が高いガスバリア性を達成するように組成される。言い換えると、本発明に係る感光性樹脂組成物は、その硬化物がより抑制された水蒸気透過率を有するように組成されるのが好ましい。より具体的には、当該硬化物の、膜厚100μmにおける水蒸気透過率が、10g/m/day未満であることが好ましい。
このような水蒸気透過率は、例えば、JIS Z0208法に従って測定することができる。
Furthermore, the photosensitive resin composition according to the present invention is formulated so that the cured product thereof achieves high gas barrier properties from the viewpoint of line protection. In other words, the photosensitive resin composition according to the present invention is preferably formulated so that the cured product thereof has a more suppressed water vapor transmission rate. More specifically, the cured product preferably has a water vapor transmission rate of less than 10 g/m 2 /day at a film thickness of 100 μm.
Such water vapor transmission rate can be measured, for example, according to the JIS Z0208 method.

以下、そのような本発明の感光性樹脂組成物の組成成分について説明する。 The constituent components of such a photosensitive resin composition of the present invention are described below.

[(A)カルボキシル基含有樹脂]
本発明の感光性樹脂組成物には、露光及びアルカリ現像を用いた回路パターン形成のために、樹脂成分としてカルボキシル基が導入されたものが採用される。さらに、本発明の目的および用途の観点から、透明性が高く、且つガスバリア性が優れた構造のものが選定されなければならない。
そのような(A)カルボキシル基含有樹脂の例として、本発明においては、酸無水物の付加反応によるカルボキシル基を有する樹脂であることが好ましい。さらにこのうち、特に透明性に優れたアミドイミド樹脂が好ましく用いられる。このような、より好ましい(A)カルボキシル基含有樹脂は、脂肪族構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネートと、脂肪族構造を有するトリカルボン酸無水物とを反応させて得られるアミドイミド樹脂を含む。
[(A) Carboxyl Group-Containing Resin]
The photosensitive resin composition of the present invention employs a resin component into which a carboxyl group has been introduced in order to form a circuit pattern using exposure and alkali development. Furthermore, from the viewpoint of the purpose and application of the present invention, one having a structure with high transparency and excellent gas barrier properties must be selected.
As an example of such a carboxyl group-containing resin (A), in the present invention, a resin having a carboxyl group obtained by addition reaction of an acid anhydride is preferable. Furthermore, among these, amide-imide resins are preferably used because they are particularly excellent in transparency. Such a more preferable carboxyl group-containing resin (A) is an amideimide resin obtained by reacting an isocyanurate-type polyisocyanate synthesized from an isocyanate having an aliphatic structure with a tricarboxylic acid anhydride having an aliphatic structure. including.

[脂肪族構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネート]
脂肪族構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネートとしては、線状脂肪族構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネート、脂環式構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネート等が挙げられる。
[Isocyanurate-type polyisocyanate synthesized from isocyanate having an aliphatic structure]
Isocyanurate-type polyisocyanates synthesized from isocyanates having an aliphatic structure include isocyanurate-type polyisocyanates synthesized from isocyanates having a linear aliphatic structure, and isocyanurate-type polyisocyanates synthesized from isocyanates having an alicyclic structure. polyisocyanate, and the like.

線状脂肪族構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネートとしては、例えば、HDI3N(ヘキサメチレンジイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型トリイソシアネート)、HTMDI3N(トリメチルヘキサメチレンジイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型トリイソシアネート)等が挙げられる。これらは併用しても単独で用いても良い。 Examples of isocyanurate-type polyisocyanates synthesized from isocyanates having a linear aliphatic structure include HDI3N (isocyanurate-type triisocyanate synthesized from hexamethylene diisocyanate), HTMDI3N (isocyanurate synthesized from trimethylhexamethylene diisocyanate type triisocyanate) and the like. These may be used together or singly.

脂環式構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネートとしては、例えば、IPDI3N(イソホロンジイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型トリイソシアネート)、HTDI3N(水添トリレンジイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型トリイソシアネート)、HXDI3N(水添キシレンジイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型トリイソシアネート)、NBDI3N(ノルボルナンジイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型トリイソシアネート)、HMDI3N(水添ジフェニルメタンジイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型トリイソシアネート)等が挙げられる。 Examples of isocyanurate-type polyisocyanates synthesized from isocyanates having an alicyclic structure include IPDI3N (isocyanurate-type triisocyanate synthesized from isophorone diisocyanate), HTDI3N (isocyanurate-type polyisocyanate synthesized from hydrogenated tolylene diisocyanate triisocyanate), HXDI3N (isocyanurate-type triisocyanate synthesized from hydrogenated xylene diisocyanate), NBDI3N (isocyanurate-type triisocyanate synthesized from norbornane diisocyanate), HMDI3N (isocyanurate-type triisocyanate synthesized from hydrogenated diphenylmethane diisocyanate isocyanate) and the like.

本発明で用いる、脂肪族構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネートとしては、特にTgが高く熱的物性に優れる硬化膜(硬化物)が得られることから、脂環式構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネートが好ましく、中でもイソホロンジイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型トリイソシアネートが好ましい。 As the isocyanurate-type polyisocyanate synthesized from the isocyanate having an aliphatic structure used in the present invention, a cured film (cured product) having a particularly high Tg and excellent thermal properties is obtained, so it has an alicyclic structure. Isocyanurate-type polyisocyanates synthesized from isocyanates are preferred, and isocyanurate-type triisocyanates synthesized from isophorone diisocyanate are particularly preferred.

脂肪族構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネート中の脂環式構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネートの含有率は、脂肪族構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネートの質量を基準として50~80質量%が、Tgが高く熱的物性に優れる硬化膜(硬化物)が得られることから好ましく、80~100質量%がより好ましく、100質量%が最も好ましい。 The content of the isocyanurate-type polyisocyanate synthesized from the isocyanate having an alicyclic structure in the isocyanurate-type polyisocyanate synthesized from the isocyanate having an aliphatic structure is the isocyanurate synthesized from the isocyanate having an aliphatic structure. Based on the mass of the type polyisocyanate, 50 to 80% by mass is preferable because a cured film (cured product) having a high Tg and excellent thermal properties is obtained, 80 to 100% by mass is more preferable, and 100% by mass is most preferable. preferable.

また、(A)カルボキシル基含有樹脂の溶剤溶解性を損なわない範囲で、上記イソシアネート化合物と各種ポリオールとのウレタン化反応によって得られるアダクト体も使用できる。 In addition, adducts obtained by urethanization reaction between the isocyanate compound and various polyols can also be used as long as the solvent solubility of the carboxyl group-containing resin (A) is not impaired.

[脂肪族構造を有するトリカルボン酸無水物]
本発明で用いる(A)カルボキシル基含有樹脂は、上記のイソシアヌレート型ポリイソシアネートとトリカルボン酸無水物から直接イミド結合を形成させることにより、ポリアミック酸中間体を経た合成と比較して、材料の安定性、再現性および溶解性が良好で、透明性に優れるアミドイミド樹脂を合成できる。本発明では、特に、(A)カルボキシル基含有樹脂の褐色化を抑えて透明性を高めるため、分子内に脂肪族構造を有するトリカルボン酸が好ましく用いられる。
[Tricarboxylic anhydride having an aliphatic structure]
The carboxyl group-containing resin (A) used in the present invention is obtained by directly forming an imide bond from the above isocyanurate-type polyisocyanate and tricarboxylic acid anhydride, thereby making the material more stable than synthesis via a polyamic acid intermediate. It is possible to synthesize an amide-imide resin which has good properties, reproducibility and solubility, and which is excellent in transparency. In the present invention, a tricarboxylic acid having an aliphatic structure in the molecule is preferably used in order to suppress browning of the carboxyl group-containing resin (A) and improve transparency.

前記脂肪族構造を有するトリカルボン酸無水物としては、例えば、線状脂肪族構造を有するトリカルボン酸無水物、脂環式構造を有するトリカルボン酸無水物等が挙げられる。線状脂肪族構造を有するトリカルボン酸無水物としては、例えば、プロパントリカルボン酸無水物等が挙げられる。脂環式構造を有するトリカルボン酸無水物としては、例えば、シクロヘキサントリカルボン酸無水物、メチルシクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロヘキセントリカルボン酸無水物、メチルシクロヘキセントリカルボン酸無水物等が挙げられる。 Examples of the tricarboxylic anhydride having an aliphatic structure include tricarboxylic anhydrides having a linear aliphatic structure and tricarboxylic anhydrides having an alicyclic structure. Examples of the tricarboxylic anhydride having a linear aliphatic structure include propanetricarboxylic anhydride. Examples of tricarboxylic anhydrides having an alicyclic structure include cyclohexanetricarboxylic anhydride, methylcyclohexanetricarboxylic anhydride, cyclohexenetricarboxylic anhydride, and methylcyclohexenetricarboxylic anhydride.

脂肪族構造を有するトリカルボン酸無水物の中でも、透明性に加え、Tgが高く熱的物性に優れる硬化膜(硬化物)が得られることから、脂環式構造を有するトリカルボン酸無水物が好ましく、さらにイソシアヌレート型ポリイソシアネート化合物が脂環式構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネートであり、かつ前記トリカルボン酸無水物が脂環式構造を有するトリカルボン酸無水物であることがさらに好ましい。
脂環式構造を有するトリカルボン酸無水物の例としては、シクロヘキサントリカルボン酸無水物等が挙げられる。これらを1種又は2種以上を用いることが可能である。また場合により、2官能のジカルボン酸化合物、例えばアジピン酸、セバシン酸、フタル酸、フマル酸、マレイン酸及びこれらの酸無水物等を併用することも可能である。
Among the tricarboxylic acid anhydrides having an aliphatic structure, tricarboxylic acid anhydrides having an alicyclic structure are preferable, since a cured film (cured product) having high Tg and excellent thermal properties can be obtained in addition to transparency. Further preferably, the isocyanurate-type polyisocyanate compound is an isocyanurate-type polyisocyanate synthesized from an isocyanate having an alicyclic structure, and the tricarboxylic anhydride is a tricarboxylic anhydride having an alicyclic structure. .
Examples of tricarboxylic acid anhydrides having an alicyclic structure include cyclohexanetricarboxylic acid anhydrides. It is possible to use 1 type(s) or 2 or more types of these. In some cases, bifunctional dicarboxylic acid compounds such as adipic acid, sebacic acid, phthalic acid, fumaric acid, maleic acid and their acid anhydrides can be used in combination.

前記シクロヘキサントリカルボン酸無水物としては、例えば、シクロヘキサン-1,3,4-トリカルボン酸-3,4-無水物、シクロヘキサン-1,3,5-トリカルボン酸-3,5-無水物、シクロヘキサン-1,2,3-トリカルボン酸-2,3-無水物等が挙げられる。中でも、透明性に加え、溶剤溶解性に優れるアミドイミド樹脂となり、Tgが高く熱的物性に優れる硬化膜(硬化物)が得られることからシクロヘキサン-1,3,4-トリカルボン酸-3,4-無水物が好ましい。 Examples of the cyclohexanetricarboxylic acid anhydride include cyclohexane-1,3,4-tricarboxylic acid-3,4-anhydride, cyclohexane-1,3,5-tricarboxylic acid-3,5-anhydride, cyclohexane-1 , 2,3-tricarboxylic acid-2,3-anhydride and the like. Among them, cyclohexane-1,3,4-tricarboxylic acid-3,4-because it becomes an amideimide resin that has excellent solvent solubility in addition to transparency, and a cured film (cured product) having a high Tg and excellent thermal properties can be obtained. Anhydrides are preferred.

前記トリカルボン酸無水物のカルボン酸成分とポリイソシアネート中のイソシアネート成分とが反応すると、イミド及びアミドが形成され、アミドイミド樹脂となる。また、ポリイソシアネートとトリカルボン酸無水物とを反応させる際に、トリカルボン酸無水物のカルボン酸成分を残すような割合でトリカルボン酸無水物とポリイソシアネートとを反応させると、得られるポリアミドイミド樹脂はカルボキシ基を有する。このカルボキシ基は、後述する本発明の感光性樹脂組成物中に含まれる(D)熱硬化性樹脂としてのエポキシ樹脂のエポキシ基等の重合性基と反応し、硬化物の架橋構造を形成する。尚、反応速度はイミド化が速いため、トリカルボン酸とトリイソシアネートとの反応でも、トリカルボン酸は無水酸のところで選択的にイミドを形成する。 When the carboxylic acid component of the tricarboxylic anhydride reacts with the isocyanate component in the polyisocyanate, an imide and an amide are formed, resulting in an amide-imide resin. Further, when the polyisocyanate and the tricarboxylic anhydride are reacted in such a proportion that the carboxylic acid component of the tricarboxylic anhydride is left, the resulting polyamideimide resin is a carboxyl have a group. This carboxy group reacts with a polymerizable group such as an epoxy group of an epoxy resin (D) as a thermosetting resin contained in the photosensitive resin composition of the present invention, which will be described later, to form a crosslinked structure of the cured product. . Incidentally, since the reaction rate is high for imidization, even in the reaction between tricarboxylic acid and triisocyanate, the tricarboxylic acid selectively forms an imide at the anhydride.

脂肪族構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネートと脂肪族構造を有するトリカルボン酸無水物とは、前記脂肪族構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネートのイソシアネート基のモル数(N)と、脂肪族構造を有するトリカルボン酸無水物のカルボキシ基のモル数(M1)及び酸無水物基モル数(M2)の合計のモル数との比〔(M1)+(M2))/(N)〕が1.1~3となるように反応させるのが、反応系中の極性が高くなり反応が潤滑に進行する、イソシアネート基が残存せず、得られるポリイミド樹脂の安定性が良好である、トリカルボン酸無水物の残存量も少なく再結晶等の分離の問題も起こりにくい等の理由により、好ましい。中でも1.2~2がより好ましい。なお、本発明において酸無水物基とは、カルボン酸2分子が分子内脱水縮合して得られた-CO-O-CO-基を指す。 An isocyanurate-type polyisocyanate synthesized from an isocyanate having an aliphatic structure and a tricarboxylic acid anhydride having an aliphatic structure are the number of moles of isocyanate groups in the isocyanurate-type polyisocyanate synthesized from the isocyanate having an aliphatic structure. The ratio of (N) to the total number of moles of the number of moles of the carboxy group (M1) and the number of moles of the acid anhydride group (M2) of the tricarboxylic anhydride having an aliphatic structure [(M1) + (M2)) / (N)] is 1.1 to 3, the polarity in the reaction system increases and the reaction proceeds smoothly, no isocyanate groups remain, and the stability of the resulting polyimide resin is improved. It is preferable for the following reasons: good, low remaining amount of tricarboxylic acid anhydride, and little problem of separation such as recrystallization. Among them, 1.2 to 2 are more preferable. In the present invention, the acid anhydride group refers to a --CO--O--CO-- group obtained by intramolecular dehydration condensation of two carboxylic acid molecules.

イミド化反応は、溶剤中あるいは無溶剤中で、脂肪族構造を有するイソシアネートの1種類以上と、トリカルボン酸無水物の1種以上とを混合し、撹拌を行いながら昇温して行うことが好ましい。反応温度は、好ましくは50℃~250℃、特に好ましくは70℃~180℃である。このような反応温度にすることにより、反応速度が早くなり、且つ、副反応や分解等が起こりにくい効果を奏する。反応は、脱炭酸を伴いながら酸無水物基とイソシアネート基がイミド基を形成する。反応の進行は、赤外スベクトルや、酸価、イソシアネート基の定量等の分析手段により追跡することができる。赤外スペクトルでは、イソシアネート基の特性吸収である2270cm-1が反応とともに減少し、さらに1860cm-1と850cm-1に特性吸収を有する酸無水物基が減少する。一方、1780cm-1と1720cm-1にイミド基の吸収が増加する。反応は、目的とする酸価、粘度、分子量等を確認しながら、温度を下げて終了させても良い。しかしながら、経時の安定性等の面からイソシアネート基が消失するまで反応を続行させることがより好ましい。また、反応中や反応後は、合成される樹脂の物性を損なわない範囲で、触媒、酸化防止剤、界面活性剤、その他溶剤等を添加してもよい。 The imidization reaction is preferably carried out by mixing one or more isocyanates having an aliphatic structure and one or more tricarboxylic acid anhydrides in a solvent or in the absence of a solvent, and heating the mixture while stirring. . The reaction temperature is preferably 50°C to 250°C, particularly preferably 70°C to 180°C. By setting the reaction temperature to such a value, the reaction rate is increased, and side reactions, decomposition, etc. are less likely to occur. The reaction, accompanied by decarboxylation, forms an imide group between an anhydride group and an isocyanate group. The progress of the reaction can be tracked by analytical means such as infrared spectrum, acid value, and isocyanate group quantification. In the infrared spectrum, the characteristic absorption of the isocyanate group at 2270 cm -1 decreases with the reaction, and the acid anhydride group having characteristic absorptions at 1860 cm -1 and 850 cm -1 also decreases. On the other hand, the absorption of the imide group increases at 1780 cm −1 and 1720 cm −1 . The reaction may be terminated by lowering the temperature while confirming the target acid value, viscosity, molecular weight and the like. However, from the standpoint of stability over time, etc., it is more preferable to continue the reaction until the isocyanate group disappears. In addition, during or after the reaction, catalysts, antioxidants, surfactants, other solvents, etc. may be added to the extent that the physical properties of the resin to be synthesized are not impaired.

かような(A)カルボキシル基含有樹脂の酸価は、70~210KOHmg/gであることが好ましく、90~190KOHmg/gであることが特に好ましい。70~210KOHmg/gであれば、硬化物性として優れた性能を発揮する。
また、(A)カルボキシル基含有樹脂は、前記した窒素原子及び硫黄原子のいずれも含まない極性溶剤に溶解するアミドイミド樹脂であることが好ましい。このようなアミドイミド樹脂の例示としては、分岐型構造を有し、樹脂の酸価が60KOHmg/g以上である分岐型アミドイミド樹脂が挙げられる。
The acid value of such a carboxyl group-containing resin (A) is preferably 70 to 210 KOHmg/g, particularly preferably 90 to 190 KOHmg/g. If it is 70 to 210 KOHmg/g, it exhibits excellent performance as a cured physical property.
Also, (A) the carboxyl group-containing resin is preferably an amide imide resin that dissolves in a polar solvent containing neither nitrogen atoms nor sulfur atoms. Examples of such amideimide resins include branched amideimide resins having a branched structure and having an acid value of 60 mg KOH/g or more.

(A)カルボキシル基含有樹脂の数平均分子量は、他の樹脂成分との相溶性をより良くするという観点で、小さい数平均分子量、例えば500~1000の数平均分子量が好ましく、700~900の数平均分子量がより好ましい。
また、本発明の感光性樹脂組成物中の(A)カルボキシル基含有樹脂の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、25~65質量%が好ましく、35~55質量%がより好ましい。
(A) The number average molecular weight of the carboxyl group-containing resin is preferably a small number average molecular weight, for example, a number average molecular weight of 500 to 1000, and a number of 700 to 900, from the viewpoint of improving compatibility with other resin components. Average molecular weight is more preferred.
Further, the content of (A) the carboxyl group-containing resin in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 25 to 65% by mass, preferably 35 to 55% by mass, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. is more preferred.

[(B)光重合開始剤]
本発明の感光性樹脂組成物の(B)光重合開始剤としては、光重合開始剤や光ラジカル発生剤として公知の光重合開始剤であれば、いずれのものを用いることもできる。
例えば、ビス-(2,6-ジクロロベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジクロロベンゾイル)-2,5-ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジクロロベンゾイル)-4-プロピルフェニルホスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジクロロベンゾイル)-1-ナフチルホスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジメトキシベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチルペンチルホスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,5-ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス-(2,4,6-トリメチルベンゾイル)-フェニルホスフィンオキサイド等のビスアシルホスフィンオキサイド類;2,6-ジメトキシベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、2,6-ジクロロベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、2,4,6-トリメチルベンゾイルフェニルホスフィン酸メチルエステル、2-メチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ピバロイルフェニルホスフィン酸イソプロピルエステル、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等のモノアシルホスフィンオキサイド類;1-ヒドロキシ-シクロヘキシルフェニルケトン、1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)-フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン、2-ヒドロキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン等のヒドロキシアセトフェノン類;ベンゾイン、ベンジル、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインn-プロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインn-ブチルエーテル等のベンゾイン類;ベンゾインアルキルエーテル類;ベンゾフェノン、p-メチルベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、メチルベンゾフェノン、4,4’-ジクロロベンゾフェノン、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;アセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、2,2-ジエトキシ-2-フェニルアセトフェノン、1,1-ジクロロアセトフェノン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノ-1-プロパノン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1、2-(ジメチルアミノ)-2-[(4-メチルフェニル)メチル)-1-[4-(4-モルホリニル)フェニル]-1-ブタノン、N,N-ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン類;チオキサントン、2-エチルチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、2,4-ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;アントラキノン、クロロアントラキノン、2-メチルアントラキノン、2-エチルアントラキノン、2-tert-ブチルアントラキノン、1-クロロアントラキノン、2-アミルアントラキノン、2-アミノアントラキノン等のアントラキノン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;エチル-4-ジメチルアミノベンゾエート、2-(ジメチルアミノ)エチルベンゾエート、p-ジメチル安息香酸エチルエステル等の安息香酸エステル類;1,2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)-2-(O-ベンゾイルオキシム)]、エタノン、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-1-(O-アセチルオキシム)等のオキシムエステル類;ビス(η5-2,4-シクロペンタジエン-1-イル)-ビス(2,6-ジフルオロ-3-(1H-ピロール-1-イル)フェニル)チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)-ビス[2,6-ジフルオロ-3-(2-(1-ピル-1-イル)エチル)フェニル]チタニウム等のチタノセン類;フェニルジスルフィド2-ニトロフルオレン、ブチロイン、アニソインエチルエーテル、アゾビスイソブチロニトリル、テトラメチルチウラムジスルフィド等を挙げることができる。光重合開始剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
[(B) Photoinitiator]
As the (B) photopolymerization initiator of the photosensitive resin composition of the present invention, any photopolymerization initiator known as a photopolymerization initiator or a photoradical generator can be used.
For example, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)phenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-4-propyl phenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-1-naphthylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)phenylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,4, Bisacylphosphine oxides such as 4-trimethylpentylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,5-dimethylphenylphosphine oxide and bis-(2,4,6-trimethylbenzoyl)-phenylphosphine oxide 2,6-dimethoxybenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,6-dichlorobenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoylphenylphosphinate methyl ester, 2-methylbenzoyldiphenylphosphine oxide, isopropyl pivaloylphenylphosphinate esters, monoacylphosphine oxides such as 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide; 1-hydroxy-cyclohexylphenyl ketone, 1-[4-(2-hydroxyethoxy)-phenyl]-2-hydroxy-2- methyl-1-propan-1-one, 2-hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy-2-methyl-propionyl)-benzyl]phenyl}-2-methyl-propan-1-one, 2 -hydroxyacetophenones such as hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one; benzoin such as benzoin, benzyl, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin n-propyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n-butyl ether benzoin alkyl ethers; benzophenones such as benzophenone, p-methylbenzophenone, Michler's ketone, methylbenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone; acetophenone, 2,2-dimethoxy-2- Phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholino-1-propanone , 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone-1,2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl)-1-[4-(4 -morpholinyl)phenyl]-1-butanone, N,N-dimethylaminoacetophenone and other acetophenones; Thioxanthones such as chlorothioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone; anthraquinones such as; acetophenone dimethyl ketal, benzyl dimethyl ketal and other ketals; ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-(dimethylamino)ethyl benzoate, p-dimethylbenzoic acid ethyl ester and other benzoic acid esters; 2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)-2-(O-benzoyloxime)], ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl] -1-(O-acetyloxime) and other oxime esters; bis(η5-2,4-cyclopentadien-1-yl)-bis(2,6-difluoro-3-(1H-pyrrol-1-yl) Titanocenes such as phenyl)titanium, bis(cyclopentadienyl)-bis[2,6-difluoro-3-(2-(1-pyr-1-yl)ethyl)phenyl]titanium; phenyl disulfide 2-nitrofluorene , butyroin, anisoin ethyl ether, azobisisobutyronitrile, tetramethylthiuram disulfide, and the like. A photoinitiator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

(B)光重合開始剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、1~10質量%であることが好ましい。(B)光重合開始剤の含有量が、感光性樹脂組成物の全固形分に対して上記範囲内にあれば、得られる硬化物の良好な表面硬化性と良好な解像性を両立することができる。 (B) The content of the photopolymerization initiator is preferably 1 to 10% by mass with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition. (B) If the content of the photopolymerization initiator is within the above range with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition, the obtained cured product has both good surface curability and good resolution. be able to.

[(C)不飽和二重結合を有する化合物]
(C)不飽和二重結合を有する化合物は、活性エネルギー線の照射により光硬化して、本発明の感光性樹脂組成物をアルカリ水溶液に不溶化し、または不溶化を助けることができる。このような化合物としては、慣用公知のポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、カーボネート(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレートが使用でき、具体的には、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシプロピルアクリレートなどのヒドロキシアルキルアクリレート類;エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコールのジアクリレート類;N,N-ジメチルアクリルアミド、N-メチロールアクリルアミド、N,N-ジメチルアミノプロピルアクリルアミドなどのアクリルアミド類;N,N-ジメチルアミノエチルアクリレート、N,N-ジメチルアミノプロピルアクリレートなどのアミノアルキルアクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス-ヒドロキシエチルイソシアヌレートなどの多価アルコールまたはこれらのエチレオキサイド付加体、プロピレンオキサイド付加体、もしくはε-カプロラクトン付加体などの多価アクリレート類、例えば、1,6-ヘキサンジオールジアクリレート、1,9-ノナンジオールジアクリレート、1,10-デカンジオールジアクリレート等の2官能アクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリス(2-ヒドロキシエチル) イソシアヌレートトリアクリレート、エチレンオキサイド変性トリメチロールトリアクリレート、エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリアクリレート、プロピレンオイサイド変性トリメチロールプロパントリアクリレート、ε-カプロラクトン変性トリス-(2-アクリロキシエチル)イソシアヌレート等の3官能アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート等の4官能アクリレート、ジペンタエリスリトールのペンタアクリレート等の5官能アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等の6官能アクリレート、フェノキシアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、およびこれらのフェノール類のエチレンオキサイド付加体もしくはプロピレンオキサイド付加体などの多価アクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリシジルエーテルの多価アクリレート類;ジシクロペンタジエンジアクリレートなどのジシクロペンタジエン骨格を有するアクリレート類;上記に限らず、ポリエーテルポリオール、ポリカーボネートジオール、水酸基末端ポリブタジエン、ポリエステルポリオールなどのポリオールを直接アクリレート化、もしくは、ジイソシアネートを介してウレタンアクリレート化したアクリレート類およびメラミンアクリレート、および上記アクリレートに対応する各メタクリレート類の少なくとも何れか1種などを挙げることができる。
[(C) a compound having an unsaturated double bond]
(C) The compound having an unsaturated double bond can be photocured by irradiation with active energy rays to insolubilize the photosensitive resin composition of the present invention in an alkaline aqueous solution, or to help insolubilization. As such compounds, commonly known polyester (meth)acrylates, polyether (meth)acrylates, urethane (meth)acrylates, carbonate (meth)acrylates, epoxy (meth)acrylates, and urethane (meth)acrylates can be used. Specifically, hydroxyalkyl acrylates such as 2-hydroxyethyl acrylate and 2-hydroxypropyl acrylate; glycol diacrylates such as ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol and propylene glycol; N,N-dimethylacrylamide , N-methylol acrylamide, N,N-dimethylaminopropyl acrylamide; aminoalkyl acrylates such as N,N-dimethylaminoethyl acrylate and N,N-dimethylaminopropyl acrylate; hexanediol, trimethylolpropane, Polyhydric alcohols such as pentaerythritol, dipentaerythritol, and tris-hydroxyethyl isocyanurate, or polyhydric acrylates such as ethyloxide adducts, propylene oxide adducts, or ε-caprolactone adducts thereof, such as 1,6- Bifunctional acrylates such as hexanediol diacrylate, 1,9-nonanediol diacrylate, 1,10-decanediol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, tris(2-hydroxyethyl) isocyanurate triacrylate , ethylene oxide-modified trimethylol triacrylate, ethylene oxide-modified trimethylolpropane triacrylate, propylene oxide-modified trimethylolpropane triacrylate, ε-caprolactone-modified tris-(2-acryloxyethyl) isocyanurate and other trifunctional acrylates, ditri Tetrafunctional acrylates such as methylolpropane tetraacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate, pentafunctional acrylates such as pentaacrylate of dipentaerythritol, hexafunctional acrylates such as dipentaerythritol hexaacrylate, phenoxy acrylate, bisphenol A Polyvalent acrylates such as diacrylates and ethylene oxide adducts or propylene oxide adducts of these phenols; glycidyl ethers such as glycerin diglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, and triglycidyl isocyanurate polyvalent acrylates; acrylates having a dicyclopentadiene skeleton such as dicyclopentadiene diacrylate; not limited to the above, polyether polyols, polycarbonate diols, hydroxyl group-terminated polybutadiene, polyester polyols such as polyols are directly acrylated, or Examples include at least one of acrylates and melamine acrylates urethane-acrylated via diisocyanate, and methacrylates corresponding to the above acrylates.

さらに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等の多官能エポキシ樹脂に、アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート樹脂や、さらにそのエポキシアクリレート樹脂の水酸基に、ペンタエリスリトールトリアクリレート等のヒドロキシアクリレートとイソホロンジイソシアネート等のジイソシアネートのハーフウレタン化合物を反応させたエポキシウレタンアクリレート化合物等を挙げることができる。このようなエポキシアクリレート系樹脂は、指触乾燥性を低下させることなく、光硬化性を向上させることができる。上記のような分子中にエチレン性二重結合を有する化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Furthermore, polyfunctional epoxy resins such as cresol novolak type epoxy resins are reacted with epoxy acrylate resins, and hydroxyl groups of the epoxy acrylate resins are further combined with hydroxy acrylates such as pentaerythritol triacrylate and diisocyanates such as isophorone diisocyanate. An epoxy urethane acrylate compound obtained by reacting a half urethane compound can be mentioned. Such an epoxy acrylate resin can improve the photocurability without deteriorating the dryness to the touch. The above compounds having an ethylenic double bond in the molecule may be used singly or in combination of two or more.

また、(C)不飽和二重結合を有する化合物の含有量は、形成する硬化膜(硬化物)の性質および感度の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、およそ1~30質量%の範囲が好ましく、5~15質量%の範囲がより好ましい。 In addition, the content of (C) a compound having an unsaturated double bond is about 1 to about 1 to the total solid content of the photosensitive resin composition, from the viewpoint of the properties and sensitivity of the cured film (cured product) to be formed. A range of 30% by weight is preferred, and a range of 5 to 15% by weight is more preferred.

[(D)熱硬化性樹脂]
本発明の感光性樹脂組成物には、原則的にはさらに耐熱性を向上させるために(D)熱硬化性樹脂が含有され得る。
(D)熱硬化性樹脂としては、例えば、多官能エポキシ化合物、多官能オキセタン化合物、エピスルフィド樹脂等分子中に2個以上の環状エーテル基および/または環状チオエーテル基、ポリイソシアネート化合物、ブロックイソシアネート化合物等1分子内に2個以上のイソシアネート基、またはブロック化イソシアネート基を有する化合物、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂等のアミン樹脂とその誘導体、ビスマレイミド、オキサジン、シクロカーボネート化合物、カルボジイミド樹脂等の公知の熱硬化性樹脂が挙げられる。
[(D) Thermosetting resin]
In principle, the photosensitive resin composition of the present invention may contain (D) a thermosetting resin in order to further improve heat resistance.
(D) Thermosetting resins include, for example, polyfunctional epoxy compounds, polyfunctional oxetane compounds, episulfide resins, etc. having two or more cyclic ether groups and/or cyclic thioether groups in the molecule, polyisocyanate compounds, blocked isocyanate compounds, etc. Compounds having two or more isocyanate groups or blocked isocyanate groups in one molecule, amine resins such as melamine resins and benzoguanamine resins and their derivatives, bismaleimide, oxazine, cyclocarbonate compounds, known thermosetting compounds such as carbodiimide resins and flexible resins.

このうち多官能性エポキシ樹脂として、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂アルキルフェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、アラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格含有エポキシ樹脂、フェノール類とフェノール性ヒドロキシル基を有する芳香族アルデヒドとの縮合物のエポキシ化物、ナフタレン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、キサンテン型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂にその硬化剤を配合したものが挙げられる。かかるエポキシ樹脂はいずれか1種を使用するか2種以上を併用してもよい。また、かかるエポキシ樹脂は反応性の観点から、エポキシ当量が95~1000の範囲のものが好適である。 Among these, polyfunctional epoxy resins include, for example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, alkylphenol novolac type epoxy resin, Resins, biphenyl-type epoxy resins, aralkyl-type epoxy resins, biphenylaralkyl-type epoxy resins, dicyclopentadiene skeleton-containing epoxy resins, epoxidized products of condensates of phenols and aromatic aldehydes having phenolic hydroxyl groups, naphthalene-type epoxy resins , fluorene-type epoxy resins, xanthene-type epoxy resins, and other epoxy resins mixed with their curing agents. Any one of these epoxy resins may be used, or two or more thereof may be used in combination. Moreover, from the viewpoint of reactivity, such an epoxy resin preferably has an epoxy equivalent weight in the range of 95 to 1,000.

ここで、上記のとおり本発明において、感光性樹脂組成物から得られる硬化物は、高い透明性を必要とする。そのため、硬化物の色が濃くなることを抑制するために、(D)熱硬化性樹脂として好ましくは、ガードナー色数が5以下のエポキシ樹脂より選択される。エポキシ樹脂のガードナー色数を5以下に抑制することによって、透明材料、とりわけスマートフォン用の又はカーナビ用の透明アンテナの保護材料として適した硬化物が得られるとともに、解像性をも良好となる。
なお、ガードナー色数は、JIS K6901に準拠して計測することができる。
Here, as described above, in the present invention, the cured product obtained from the photosensitive resin composition requires high transparency. Therefore, in order to prevent the color of the cured product from darkening, (D) the thermosetting resin is preferably selected from epoxy resins having a Gardner color number of 5 or less. By suppressing the Gardner color number of the epoxy resin to 5 or less, a cured product suitable as a transparent material, especially a protective material for transparent antennas for smartphones or car navigation systems, can be obtained, and resolution is also improved.
The Gardner color number can be measured according to JIS K6901.

ガードナー色数が5以下のエポキシ樹脂としては、例えば、JER828(エポキシ当量190:三菱ケミカル(株)製)、JER834(エポキシ当量250:三菱ケミカル(株)製)、JER1001(エポキシ当量475:三菱ケミカル(株)製)、JER806(エポキシ当量165:三菱ケミカル(株)製)、JER152(エポキシ当量175:三菱ケミカル(株)製)、JER154(エポキシ当量178:三菱ケミカル(株)製)、EPICLON840(エポキシ当量185:DIC(株)製)、EPICLON850(エポキシ当量189:DIC(株)製)、EPICLON1050(エポキシ当量475:DIC(株)製)、EPICLON830(エポキシ当量173:DIC(株)製)、EPICLON N-660(エポキシ当量208:DIC(株)製)、EPICLON N-695(エポキシ当量215:DIC(株)製)、EPICLON N-730A(エポキシ当量176:DIC(株)製)、EPICLON N-770(エポキシ当量188:DIC(株)製)、EOCN-1020(エポキシ当量199:日本化薬(株)製)、EOCN-104S(エポキシ当量218:日本化薬(株)製)、EPPN-201(エポキシ当量190:日本化薬(株)製)が挙げられる。 Examples of epoxy resins having a Gardner color number of 5 or less include JER828 (epoxy equivalent: 190: manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), JER834 (epoxy equivalent: 250: manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), and JER1001 (epoxy equivalent: 475: manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation). (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), JER806 (epoxy equivalent 165: manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), JER152 (epoxy equivalent 175: manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), JER154 (epoxy equivalent 178: manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), EPICLON840 ( Epoxy equivalent 185: manufactured by DIC Corporation), EPICLON850 (epoxy equivalent 189: manufactured by DIC Corporation), EPICLON1050 (epoxy equivalent 475: manufactured by DIC Corporation), EPICLON830 (epoxy equivalent 173: manufactured by DIC Corporation), EPICLON N-660 (epoxy equivalent weight 208: manufactured by DIC Corporation), EPICLON N-695 (epoxy equivalent weight 215: manufactured by DIC Corporation), EPICLON N-730A (epoxy equivalent weight 176: manufactured by DIC Corporation), EPICLON N -770 (epoxy equivalent 188: manufactured by DIC Corporation), EOCN-1020 (epoxy equivalent 199: manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), EOCN-104S (epoxy equivalent 218: manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), EPPN- 201 (epoxy equivalent 190: manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.).

上記の(D)熱硬化性樹脂は、硬化物の良好な硬度、耐熱性、電気絶縁性および現像性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、5~45質量%の割合で使用するのが好ましく、15~35質量%がより好ましい。 The above (D) thermosetting resin, from the viewpoint of good hardness, heat resistance, electrical insulation and developability of the cured product, 5 to 45% by mass based on the total solid content of the photosensitive resin composition It is preferably used in proportions, more preferably 15 to 35% by mass.

[(E)平均粒子径が120nm以下であるフィラー]
本発明の感光性樹脂組成物は、(E)フィラーを含有していることにより、得られる硬化物のガスバリア性が高められる。また他方では、当該硬化物の透明性が併せて高く維持されなければならない。つまり、ガスバリア性と透明性とを両立させなければならないという観点から、本発明で用いられる(E)フィラーとしては、その平均粒子径が120nm以下であるものが好適に用いられる。(E)平均粒子径が120nm以下であるフィラーを用いることにより、硬化物のヘーズ値を抑える一方で、水蒸気透過率をも抑えることができ、もって、硬化物のガスバリア性と透明性とを両立させることができる。
[(E) Filler having an average particle size of 120 nm or less]
Since the photosensitive resin composition of the present invention contains (E) a filler, the resulting cured product has enhanced gas barrier properties. On the other hand, the transparency of the cured product must also be maintained at a high level. That is, from the viewpoint that both gas barrier properties and transparency must be achieved, the (E) filler used in the present invention preferably has an average particle size of 120 nm or less. (E) By using a filler having an average particle size of 120 nm or less, it is possible to suppress the haze value of the cured product while also suppressing the water vapor transmission rate, thereby achieving both gas barrier properties and transparency of the cured product. can be made

(E)平均粒子径が120nm以下であるフィラーとして具体的には、例えば、シリカ、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、アルミナ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、酸化チタン、マイカ、タルク、ノイブルグ珪土、有機ベントナイト等の非金属フィラーや、銅、金、銀、パラジウム、シリコン等の金属フィラーを挙げることができる。
本発明の感光性樹脂組成物においては、これらフィラーは単独で用いてもよく、または2種以上を併用してもよい。
(E) Specific examples of the filler having an average particle size of 120 nm or less include silica, barium sulfate, calcium carbonate, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, Examples include nonmetallic fillers such as titanium oxide, mica, talc, Neuburg silica, and organic bentonite, and metal fillers such as copper, gold, silver, palladium, and silicon.
In the photosensitive resin composition of the present invention, these fillers may be used alone or in combination of two or more.

これらのうち、低い体積膨張性と印刷性に優れるシリカや、低い体積膨張性と研磨性に優れる炭酸カルシウムが好適である。
シリカはとしては、非晶質、結晶のいずれであってもよく、これらの混合物でもよい。特に非晶質(溶融)シリカが好ましい。また、炭酸カルシウムとしては、天然の重質炭酸カルシウム、合成の沈降炭酸カルシウムのいずれであってもよい。
Among these, silica with low volume expansion and excellent printability, and calcium carbonate with low volume expansion and excellent polishability are suitable.
Silica may be amorphous, crystalline, or a mixture thereof. Amorphous (fused) silica is particularly preferred. Calcium carbonate may be either natural heavy calcium carbonate or synthetic precipitated calcium carbonate.

このような無機粒子の形状は、球状、針状、板状、鱗片状、中空状、不定形状、六角状、キュービック状、薄片状等が挙げられるが、フィラーの高充填の観点から球状が好ましい。 The shape of such inorganic particles may be spherical, needle-like, plate-like, scaly, hollow, irregular, hexagonal, cubic, flaky, etc. From the viewpoint of high filler filling, a spherical shape is preferable. .

上記のとおり、(E)フィラーとしては平均粒子径が120nm以下のものが好ましいが、より好ましいのは、平均粒子径が100nm以下のものであり、さらに好ましくは、50nm以下のものであり、最も好ましくは15nm以下のものである。硬化物の透明性の観点から、原則として粒子径は小さいほど好ましいが、実際的には、製造効率の観点から、その平均粒子径の下限は、1nm以上が好ましい。また、平均粒子径が1nm以上であれば、比表面積が小さくフィラー同士の凝集作用の効果により良好に分散し、フィラーの充填量を増やすことも容易となる。
なお、平均粒子径とは、平均一次粒子径を意味する。平均粒子径(D50)は、レーザー回折・散乱式粒子径分布測定装置と動的光散乱式粒子径分布測定装置により測定することができる。レーザー回折・散乱式粒子径分布測定装置としてはマイクロトラック・ベル社製のMicrotrac MT3300EXII、動的光散乱式粒子径分布測定装置としては、マイクロトラック・ベル社製のNanotrac Wave II UT151が挙げられる。
As described above, the (E) filler preferably has an average particle size of 120 nm or less, more preferably 100 nm or less, more preferably 50 nm or less, and most preferably 50 nm or less. It is preferably 15 nm or less. From the viewpoint of the transparency of the cured product, in principle, the smaller the particle size, the better, but practically, from the viewpoint of production efficiency, the lower limit of the average particle size is preferably 1 nm or more. Further, when the average particle diameter is 1 nm or more, the specific surface area is small and the particles are dispersed satisfactorily due to the effect of cohesion of the filler particles, making it easy to increase the filler filling amount.
In addition, an average particle diameter means an average primary particle diameter. The average particle size (D50) can be measured with a laser diffraction/scattering particle size distribution analyzer and a dynamic light scattering particle size distribution analyzer. Examples of the laser diffraction/scattering particle size distribution analyzer include Microtrac MT3300EXII manufactured by Microtrac Bell, and examples of the dynamic light scattering particle size distribution analyzer include Nanotrac Wave II UT151 manufactured by Microtrac Bell.

(E)平均粒子径が120nm以下であるフィラーは、表面処理された無機フィラーであることがより好ましい。表面処理としては、カップリング剤による表面処理や、アルミナ処理等の有機基を導入しない表面処理がされていてもよい。そのような表面処理方法は特に限定されず、公知慣用の方法を用いればよく、硬化性反応基を有する表面処理剤、例えば、硬化性反応基を有するカップリング剤等で機フィラーの表面を処理すればよい。 (E) The filler having an average particle size of 120 nm or less is more preferably a surface-treated inorganic filler. As the surface treatment, a surface treatment with a coupling agent, or a surface treatment that does not introduce an organic group, such as alumina treatment, may be performed. Such a surface treatment method is not particularly limited, and a known and commonly used method may be used, and the surface of the machine filler is treated with a surface treatment agent having a curable reactive group, such as a coupling agent having a curable reactive group. do it.

表面処理としては、カップリング剤による表面処理であることが好ましい。カップリング剤としては、シラン系、チタネート系、アルミネート系およびジルコアルミネート系等のカップリング剤が使用できる。中でもシラン系カップリング剤が好ましい。かかるシラン系カップリング剤の例としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、N-(2-アミノメチル)-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-アニリノプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン等を挙げることができ、これらは単独で、あるいは併用して使用することができる。これらのシラン系カップリング剤は、予め無機フィラーの表面に吸着あるいは反応により固定化されていることが好ましい。ここで、(E)フィラーに対するカップリング剤の処理量は、例えば、0.1~10質量%、好ましくは0.5~10質量%である。 The surface treatment is preferably surface treatment with a coupling agent. As the coupling agent, silane-based, titanate-based, aluminate-based, and zirco-aluminate-based coupling agents can be used. Among them, silane coupling agents are preferred. Examples of such silane coupling agents include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, N-(2-aminomethyl)-3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-(2-aminoethyl)-3-amino propyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-anilinopropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2-(3,4-epoxy cyclohexyl)ethyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane and the like, and these may be used alone or in combination. can be used These silane-based coupling agents are preferably immobilized in advance on the surface of the inorganic filler by adsorption or reaction. Here, the treatment amount of the coupling agent with respect to the (E) filler is, for example, 0.1 to 10% by mass, preferably 0.5 to 10% by mass.

硬化性反応基としては熱硬化性反応基が好ましい。熱硬化性反応基としては、水酸基、カルボキシル基、イソシアネート基、アミノ基、イミノ基、エポキシ基、オキセタニル基、メルカプト基、メトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシメチル基、エトキシエチル基、オキサゾリン基等が挙げられる。中でも、アミノ基およびエポキシ基のいずれか少なくとも1種が好ましい。なお、表面処理された無機フィラーは、熱硬化性反応基に加え、光硬化性反応基を有していてもよい。 A thermosetting reactive group is preferred as the curable reactive group. Thermosetting reactive groups include hydroxyl group, carboxyl group, isocyanate group, amino group, imino group, epoxy group, oxetanyl group, mercapto group, methoxymethyl group, methoxyethyl group, ethoxymethyl group, ethoxyethyl group, oxazoline group, etc. is mentioned. Among them, at least one of an amino group and an epoxy group is preferable. The surface-treated inorganic filler may have a photocurable reactive group in addition to the thermosetting reactive group.

なお、表面処理されたフィラーは、表面処理された状態で感光性樹脂組成物からの樹脂層に含有されていればよく、前記樹脂層を形成する感光性樹脂組成物にフィラーと表面処理剤とを別々に配合して組成物中でフィラーが表面処理されてもよいが、予め表面処理したフィラーを配合することが好ましい。予め表面処理したフィラーを配合することによって、別々に配合した場合に残存しうる表面処理で消費されなかった表面処理剤によるクラック耐性等の低下を防ぐことができる。予め表面処理する場合は、溶剤や硬化性樹脂に無機フィラーを予備分散した予備分散液を配合することが好ましく、表面処理したフィラーを溶剤に予備分散し、該予備分散液を組成物に配合するか、表面未処理のフィラーを溶剤に予備分散する際に十分に表面処理した後、該予備分散液を組成物に配合することがより好ましい。 In addition, the surface-treated filler may be contained in the resin layer from the photosensitive resin composition in a surface-treated state, and the filler and the surface treatment agent are added to the photosensitive resin composition forming the resin layer. may be separately blended to surface-treat the filler in the composition, but it is preferable to blend a previously surface-treated filler. By blending a filler that has been surface-treated in advance, it is possible to prevent deterioration in crack resistance and the like due to the surface-treating agent that has not been consumed in the surface treatment, which may remain in the case of blending separately. In the case of surface treatment in advance, it is preferable to blend a preliminary dispersion obtained by pre-dispersing an inorganic filler in a solvent or a curable resin. Alternatively, when pre-dispersing the untreated filler in a solvent, it is more preferable to sufficiently surface-treat the filler and then blend the pre-dispersed liquid into the composition.

(E)平均粒子径が120nm以下であるフィラーは、取り扱いの観点から、溶剤や分散剤と混合したスラリーの形態で用いるのが好ましい。
そのようなスラリーは例えば、フィラー、必要に応じてカップリング剤および溶剤を混合攪拌し、ビーズミルを用いて分散処理を行うことにより、得ることができる。
(E) The filler having an average particle size of 120 nm or less is preferably used in the form of a slurry mixed with a solvent or dispersant from the viewpoint of handling.
Such a slurry can be obtained, for example, by mixing and stirring a filler, optionally a coupling agent and a solvent, and performing dispersion treatment using a bead mill.

(E)平均粒子径が120nm以下であるフィラーの含有量は、本発明の感光性樹脂組成物中の固形分の全質量に基づき、好ましくは5~35質量%であり、より好ましくは10~30質量%である。10~30質量%であれば、得られる硬化物の透明性を担保できるとともに、感光性樹脂組成物を液状ペースト化することが容易であって、良好な印刷性が得られるほか、硬化物が十分に低い体積膨張性を示すとともに、良好な研磨性をも示す。 (E) The content of the filler having an average particle diameter of 120 nm or less is preferably 5 to 35% by mass, more preferably 10 to 35% by mass, based on the total mass of solids in the photosensitive resin composition of the present invention. 30% by mass. If it is 10 to 30% by mass, the transparency of the resulting cured product can be ensured, and the photosensitive resin composition can be easily converted into a liquid paste, and good printability can be obtained. It exhibits sufficiently low volume expansion and also exhibits good polishability.

[(F)20℃以上70℃未満で液状である熱硬化触媒]
本発明の感光性樹脂組成物は、(D)熱硬化性樹脂の硬化を促進するために熱硬化触媒を含有するが、得られる硬化物の透明性を損なわないという観点から、好ましくは、(F)20℃以上70℃未満で液状である熱硬化触媒を含有するのが好ましい。粉体形態とは異なり、硬化物中でヘーズ値に悪影響を及ぼす要素が極めて低いためである。
[(F) Thermosetting catalyst liquid at 20°C or higher and lower than 70°C]
The photosensitive resin composition of the present invention contains (D) a thermosetting catalyst to accelerate the curing of the thermosetting resin, but from the viewpoint of not impairing the transparency of the resulting cured product, preferably ( F) It preferably contains a thermosetting catalyst that is liquid at 20°C or higher and lower than 70°C. This is because, unlike the powder form, there are very few factors that adversely affect the haze value in the cured product.

熱硬化触媒としては、下記列挙するもののうち、20℃以上70℃未満で液状であるものが好ましく選択される。
例えば、イミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、4-フェニルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-(2-シアノエチル)-2-エチル-4-メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4-(ジメチルアミノ)-N,N-ジメチルベンジルアミン、4-メトキシ-N,N-ジメチルベンジルアミン、4-メチル-N,N-ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン、トリフェニルホスファイト等のリン化合物、オクチル酸スズ等の有機スズ系化合物が挙げられる。
また、市販されているものとしては、例えば四国化成工業株式会社製の2MZ-H、1,2DMZ、2MZ-A、2MA-OK、2PHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ株式会社製のU-CAT 3502T、U-CAT 3503N(いずれもジメチルアミン系化合物の商品名)、U-CAT 5003(第4級ホスホニウムブロマイド系化合物の商品名)、U-CAT 5003(第4級ホスホニウムブロマイド系化合物の商品名)、DBU、DBN、U-CAT SA 1、U-CAT SA 102、U-CAT SA 506、U-CAT 5002(いずれも二環式アミジン化合物およびその塩)、POLYCAT 8(N,N-ジメチルシクロヘキシルアミンの商品名)、城北化学工業株式会社製のJP-360、JP-3CP、JP-3CP(いずれも亜リン酸エステル系化合物の商品名)、KCS-405T(オクチル酸第一スズの商品名)などが挙げられる。
As the thermosetting catalyst, those that are liquid at 20° C. or higher and lower than 70° C. are preferably selected from those listed below.
For example imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1 -imidazole derivatives such as benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-(2-cyanoethyl)-2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4-(dimethylamino) -N,N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N,N-dimethylbenzylamine, 4-methyl-N,N-dimethylbenzylamine and other amine compounds; adipic acid dihydrazide, sebacate dihydrazide and other hydrazine compounds; Phosphorus compounds such as phenylphosphine and triphenylphosphite, and organic tin compounds such as tin octylate can be used.
In addition, commercially available products include, for example, 2MZ-H, 1,2DMZ, 2MZ-A, 2MA-OK, 2PHZ, and 2P4MHZ manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd. (all are trade names of imidazole compounds), San-Apro Co., Ltd. Company-made U-CAT 3502T, U-CAT 3503N (both trade names of dimethylamine compounds), U-CAT 5003 (trade names of quaternary phosphonium bromide compounds), U-CAT 5003 (quaternary phosphonium bromide compound), DBU, DBN, U-CAT SA 1, U-CAT SA 102, U-CAT SA 506, U-CAT 5002 (both bicyclic amidine compounds and salts thereof), POLYCAT 8 ( N,N-dimethylcyclohexylamine), JP-360, JP-3CP, and JP-3CP manufactured by Johoku Chemical Industry Co., Ltd. (all of which are trade names of phosphite compounds), KCS-405T (octylic acid product name of stannous) and the like.

上記化合物のうち、(F)20℃以上70℃未満で液状である熱硬化触媒としてより好ましくは、例えば、U-CAT SA 1、U-CAT SA 102、U-CAT SA 506(二環式アミジン化合物およびその塩;サンアプロ社製)、POLYCAT 8(N,N-ジメチルシクロヘキシルアミン;サンアプロ社製)、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、城北化学工業社製のJP-360(トリフェニルホスファイト;城北化学工業社製)、JP-3CP(トリクレジルホスファイト;城北化学工業社製)、JP-3CP(トリクレジルホスファイト;城北化学工業社製)、KCS-405T(オクチル酸第一スズ;城北化学工業社製)を挙げることができる。 Among the above compounds, (F) thermosetting catalysts that are liquid at 20°C or higher and lower than 70°C are more preferred, for example, U-CAT SA 1, U-CAT SA 102, U-CAT SA 506 (bicyclic amidine compounds and salts thereof; manufactured by San-Apro), POLYCAT 8 (N,N-dimethylcyclohexylamine; manufactured by San-Apro), 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole , 1-benzyl-2-phenylimidazole, JP-360 manufactured by Johoku Chemical Industry Co., Ltd. (triphenyl phosphite; manufactured by Johoku Chemical Industry Co., Ltd.), JP-3CP (tricresyl phosphite; manufactured by Johoku Chemical Industry Co., Ltd.), JP -3CP (tricresyl phosphite; manufactured by Johoku Chemical Industry Co., Ltd.) and KCS-405T (stannous octylate; manufactured by Johoku Chemical Industry Co., Ltd.).

上記のとおりの(F)20℃以上70℃未満で液状である熱硬化触媒は、1種を単独で、または2種以上を組み合わせて用いることができる。
また、(F)20℃以上70℃未満で液状である熱硬化触媒の含有量は、得られる硬化物の透明性の担保に加えて、感光性樹脂組成物の保存安定性および硬化物の耐熱性の観点からも、本発明の感光性樹脂組成物中の固形分の全質量に基づき、0.01~10.0質量%が好ましく、0.1~5.0質量%がより好ましい。
The thermosetting catalyst (F) which is liquid at 20° C. or higher and lower than 70° C. as described above may be used alone or in combination of two or more.
In addition, the content of (F) a thermosetting catalyst that is liquid at 20 ° C. or higher and lower than 70 ° C. is used to ensure the transparency of the resulting cured product, as well as the storage stability of the photosensitive resin composition and the heat resistance of the cured product. Also from the viewpoint of properties, it is preferably 0.01 to 10.0% by mass, more preferably 0.1 to 5.0% by mass, based on the total mass of solids in the photosensitive resin composition of the present invention.

[溶剤]
本発明においては、感光性樹脂組成物を、基板やキャリアフィルムに塗布するのに適した粘度とするために、溶剤を用いることがもちろん可能である。このような溶剤としては、主に有機溶剤が使用され、その具体例としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤等を挙げることができる。より具体的には、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテート等のエステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤等である。このような有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
[solvent]
In the present invention, it is of course possible to use a solvent in order to make the photosensitive resin composition have a viscosity suitable for coating on a substrate or carrier film. Organic solvents are mainly used as such solvents, and specific examples thereof include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, A petroleum solvent etc. can be mentioned. More specifically, ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl Ether, glycol ethers such as dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate , Esters such as propylene glycol butyl ether acetate; Alcohols such as ethanol, propanol, ethylene glycol and propylene glycol; Aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; Petroleum such as petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha and solvent naphtha system solvents and the like. Such organic solvents may be used singly or in combination of two or more.

[その他の成分]
本発明の感光性樹脂組成物には、さらに必要とされる特性に応じて上記成分以外のその他の成分を含有させることももちろんできる。
そのような成分として、例えば、消泡剤、レベリング剤、熱重合禁止剤、紫外線吸収剤、シランカップリング剤、可塑剤、発泡剤、難燃剤、帯電防止剤、老化防止剤、抗菌・防黴剤等が挙げられる。
[Other ingredients]
Of course, the photosensitive resin composition of the present invention may contain other components in addition to the components described above, depending on the required properties.
Examples of such components include antifoaming agents, leveling agents, thermal polymerization inhibitors, ultraviolet absorbers, silane coupling agents, plasticizers, foaming agents, flame retardants, antistatic agents, anti-aging agents, antibacterial/antifungal agents. agents and the like.

[感光性樹脂積層体]
本発明の感光性樹脂組成物は、感光性樹脂積層体と化して用いることができる。
例えば、本発明の感光性樹脂積層体は、キャリアフィルム上に、本発明の感光性樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより得られる樹脂層を有する。
より詳細には、本発明の感光性樹脂積層体を形成する際には、まず、本発明の感光性樹脂組成物を、上記の有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整した上で、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等により、キャリアフィルム上に均一な厚さに塗布する。その後、塗布された組成物を、通常、50~130℃の温度で1~30分間乾燥することによって、樹脂層を形成させる。
キャリアフィルムに塗布する膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、10~150μmの範囲、好ましくは20~60μmの範囲となるように適宜選択される。
[Photosensitive resin laminate]
The photosensitive resin composition of the present invention can be used in the form of a photosensitive resin laminate.
For example, the photosensitive resin laminate of the present invention has a resin layer obtained by coating and drying the photosensitive resin composition of the present invention on a carrier film.
More specifically, when forming the photosensitive resin laminate of the present invention, first, the photosensitive resin composition of the present invention is diluted with the above-mentioned organic solvent to adjust the viscosity to an appropriate level, and then a comma is added. Coat the carrier film to a uniform thickness using a coater, blade coater, lip coater, rod coater, squeeze coater, reverse coater, transfer roll coater, gravure coater, spray coater, or the like. After that, the applied composition is usually dried at a temperature of 50 to 130° C. for 1 to 30 minutes to form a resin layer.
The film thickness of the carrier film is not particularly limited, but is generally selected appropriately so that the film thickness after drying is in the range of 10 to 150 μm, preferably 20 to 60 μm.

用いるキャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられ、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等を用いることができる。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10~150μmの範囲で適宜選択される。 As the carrier film to be used, a plastic film is used, and for example, a polyester film such as polyethylene terephthalate (PET), a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, a polystyrene film, or the like can be used. The thickness of the carrier film is not particularly limited, but is generally selected appropriately within the range of 10 to 150 μm.

キャリアフィルム上に樹脂層を形成した後、当該樹脂層の表面に塵等が付着することを防止する等の目的で、その表面にさらに、剥離可能なカバーフィルムを積層することによって、感光性樹脂積層体を得ることができる。
剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルムやポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができる。カバーフィルムとしては、カバーフィルムを剥離するときに、樹脂層とキャリアフィルムとの接着力よりも小さいものであればよい。
After the resin layer is formed on the carrier film, a peelable cover film is further laminated on the surface of the resin layer for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the resin layer. A laminate can be obtained.
As the peelable cover film, for example, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, surface-treated paper, or the like can be used. Any cover film may be used as long as the adhesive force is smaller than the adhesive force between the resin layer and the carrier film when the cover film is peeled off.

なお、本発明においては、上記カバーフィルム上に本発明の感光性樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより樹脂層を形成して、その表面にキャリアフィルムを積層して、感光性樹脂積層体とするものであってもよい。
すなわち、本発明において感光性樹脂積層体を製造する際の感光性樹脂組成物を塗布するフィルムとしては、キャリアフィルムおよびカバーフィルムのいずれを用いてもよい。
In the present invention, the photosensitive resin composition of the present invention is coated on the cover film and dried to form a resin layer, and a carrier film is laminated on the surface thereof to form a photosensitive resin laminate. It may be something to do.
That is, in the present invention, either a carrier film or a cover film may be used as the film to which the photosensitive resin composition is applied when producing the photosensitive resin laminate.

[硬化物]
本発明はまた、上記の感光性樹脂組成物または感光性樹脂積層体の樹脂層を硬化してなる、硬化膜(硬化物)にも関する。本発明の硬化膜(硬化物)の形成は、例えば下記のとおり行うことにより為し得る。
まず感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、溶剤を揮発乾燥した後に得られた樹脂層に対し、露光(光照射)を行うことにより、露光部(光照射された部分)が硬化する。具体的には、接触式または非接触方式により、パターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光、または、レーザーダイレクト露光機により直接パターン露光する。その後、未露光部をアルカリ水溶液(例えば、0.3~3質量%炭酸ソーダ水溶液)により現像することにより、レジストパターンが形成される。さらに約100~180℃の温度に加熱して熱硬化(ポストキュア)させることにより、耐熱性、耐薬品性、耐吸湿性、密着性、電気特性等の諸特性に優れた硬化膜としての硬化物を形成することができる。
[Cured product]
The present invention also relates to a cured film (cured product) obtained by curing the resin layer of the photosensitive resin composition or photosensitive resin laminate. The cured film (cured product) of the present invention can be formed, for example, as follows.
First, a photosensitive resin composition is applied on a substrate, and the resin layer obtained after the solvent is volatilized and dried is exposed (light irradiation) to cure the exposed portion (light irradiated portion). Specifically, by a contact or non-contact method, the active energy ray is selectively exposed through a patterned photomask, or the pattern is directly exposed by a laser direct exposure machine. After that, a resist pattern is formed by developing the unexposed area with an alkaline aqueous solution (for example, a 0.3 to 3% by mass aqueous solution of sodium carbonate). Furthermore, by heating to a temperature of about 100 to 180 ° C and thermal curing (post curing), it cures as a cured film excellent in various properties such as heat resistance, chemical resistance, moisture absorption resistance, adhesion and electrical properties. can form objects.

ここで、本発明の硬化性樹脂組成物は、例えば、有機溶剤を用いて塗布方法に適した粘度に調整し、基板上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布した後、約60~100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることで、タックフリーの樹脂層を形成することもできる。 Here, the curable resin composition of the present invention, for example, using an organic solvent to adjust the viscosity suitable for the coating method, on the substrate, dip coating method, flow coating method, roll coating method, bar coater method, After coating by a method such as screen printing or curtain coating, the organic solvent contained in the composition is volatilized and dried (temporary drying) at a temperature of about 60 to 100° C. to form a tack-free resin layer. can also

基板としては、予め銅等により回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素樹脂・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル,ポリフェニレンオキシド・シアネート等を用いた高周波回路用銅張積層板等の材質を用いたもので、全てのグレード(FR-4等)の銅張積層板、その他、金属基板、ポリイミドフィルム、PETフィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。 As a substrate, in addition to printed wiring boards and flexible printed wiring boards on which circuits are formed in advance with copper, etc., paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, glass cloth/non-fabric epoxy, glass cloth/paper epoxy, synthetic Materials such as copper-clad laminates for high-frequency circuits using fiber epoxy, fluororesin, polyethylene, polyphenylene ether, polyphenylene oxide, cyanate, etc. Copper-clad laminates of all grades (FR-4, etc.), In addition, metal substrates, polyimide films, PET films, polyethylene naphthalate (PEN) films, glass substrates, ceramic substrates, wafer plates and the like can be used.

揮発乾燥または熱硬化は、例えば、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法およびノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。 Volatilization drying or heat curing is, for example, a hot air circulation drying oven, an IR oven, a hot plate, a convection oven, etc. (a method equipped with a heat source of air heating method using steam, and a method in which the hot air in the dryer is brought into contact with countercurrent flow and method of spraying onto the support from a nozzle).

乾燥後の感光性樹脂組成物または感光性樹脂積層体に対し、パターンを形成したフォトマスクを通して、接触式又は非接触方式により活性エネルギー線による露光を行うことができる。
このほか、感光性樹脂組成物または感光性樹脂積層体に対して、レーザーダイレクト露光機により直接パターン露光することにより、露光部分を光硬化させることができる。
The dried photosensitive resin composition or photosensitive resin laminate can be exposed to active energy rays through a patterned photomask in a contact or non-contact manner.
In addition, the exposed portion can be photocured by direct pattern exposure of the photosensitive resin composition or the photosensitive resin laminate using a laser direct exposure machine.

活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、高圧水銀灯ランプ、超高圧水銀灯ランプ、メタルハライドランプ、水銀ショートアークランプ等を搭載し、350~450nmの範囲で紫外線を照射する装置であればよく、さらに、直接描画装置(例えば、コンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)も用いることができる。直描機のランプ光源またはレーザー光源としては、最大波長が350~410nmの範囲にあるものでよい。画像形成のための露光量は膜厚等によって異なるが、一般には20~1000mJ/cm、好ましくは20~800mJ/cmの範囲内とすることができる。 The exposure device used for active energy ray irradiation may be any device equipped with a high-pressure mercury lamp, an extra-high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a mercury short arc lamp, or the like, and irradiating ultraviolet rays in the range of 350 to 450 nm. A direct writing device (eg, a laser direct imaging device that writes an image with a laser directly from CAD data from a computer) can also be used. A lamp light source or laser light source for a direct drawing machine may have a maximum wavelength in the range of 350 to 410 nm. The amount of exposure for image formation varies depending on the film thickness and the like, but can generally be in the range of 20-1000 mJ/cm 2 , preferably in the range of 20-800 mJ/cm 2 .

現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等のアルカリ水溶液が使用できる。 As a developing method, a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method, or the like can be used. , amines, etc. can be used.

[電子部品]
上記したとおりの本発明の感光性樹脂組成物を用いることによって、品質、耐久性及び信頼性の高い電子部品、例えば電子回路に使用する部品、例えば、プリント配線板、トランジスタ、発光ダイオード、レーザーダイオード等の能動部品の他抵抗、コンデンサ、インダクタ、コネクタ等の受動部品も提供される。特に、本発明の感光性樹脂組成物は、プリント配線板のカバーレイ、ソルダーレジスト、層間絶縁材、再配線層形成用絶縁材等の永久絶縁膜の材料としても好適である。
[Electronic parts]
By using the photosensitive resin composition of the present invention as described above, electronic parts having high quality, durability and reliability, such as parts used in electronic circuits, such as printed wiring boards, transistors, light emitting diodes, and laser diodes, can be produced. In addition to active components such as resistors, capacitors, inductors, connectors, etc., passive components are also provided. In particular, the photosensitive resin composition of the present invention is suitable as a material for permanent insulating films such as coverlays for printed wiring boards, solder resists, interlayer insulating materials, and insulating materials for forming rewiring layers.

[透明アンテナ]
本発明は特に、上記の硬化物を備えてなる、透明アンテナにも関する。即ち、本発明の感光性樹脂組成物から得られる硬化物は、解像性および無電解金めっき耐性に優れるだけでなく、ヘーズ値および水蒸気透過率が抑えられた特性を有する。そのため、とりわけ、スマートフォンやカーナビの透明アンテナ用材料、あるいはその保護材料としても非常に好適である。
[Transparent Antenna]
The present invention also relates in particular to a transparent antenna comprising the cured product described above. That is, the cured product obtained from the photosensitive resin composition of the present invention not only has excellent resolution and resistance to electroless gold plating, but also has properties of suppressed haze value and water vapor transmission rate. Therefore, it is particularly suitable as a transparent antenna material for smartphones and car navigation systems, or as a protective material for such antennas.

本発明の透明アンテナの作製法は、基本的には、プリント配線基板における回路形成法と同様である。
一例として、基板上に電解銅箔を接着し、必要に応じて化成処理をした後、感光性樹脂積層体を銅箔ラミネートする。そして感光性樹脂積層体にパターン露光及び現像を行うことによりアンテナパターンを形成する。次に、エッチング処理によりパターンの無い部分の銅箔を除去し、且つ感光性樹脂積層体を剥離させることによって、銅アンテナパターンが形成された、透明アンテナが得られる。
The method for producing the transparent antenna of the present invention is basically the same as the method for forming a circuit on a printed wiring board.
As an example, an electrolytic copper foil is adhered onto a substrate, and after chemical conversion treatment if necessary, a photosensitive resin laminate is copper foil-laminated. An antenna pattern is formed by subjecting the photosensitive resin laminate to pattern exposure and development. Next, a transparent antenna having a copper antenna pattern formed thereon is obtained by removing the copper foil from the pattern-free portion by etching and peeling off the photosensitive resin laminate.

以下、実施例および比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が以下の実施例に限定されるものではない。
なお、他に特に但し書きが無い限り、示される「部」および「%」は質量に基づくものとする。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.
Unless otherwise specified, "parts" and "%" are based on mass.

<合成例1>
撹拌装置、温度計、コンデンサーを付けたフラスコにEDGA(ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート)5184g、IPDI3N(イソホロンジイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型トリイソシアネート:NCO%=18.2)2070g(3mol)及びシクロヘキサン-1,3,4-トリカルボン酸-3,4-無水物1782g(9mol)を加え、140℃まで昇温した。反応は、発泡とともに進行した。この温度で8時間反応させた。系内は淡黄色の液体となり、赤外スペクトルにて特性吸収を測定した結果、イソシアネート基の特性吸収である2270cm-1が完全に消滅し、1780cm-1、1720cm-1にイミド基の吸収が確認された。酸価は、固形分換算で140mgKOH/gで、分子量はポリスチレン換算で数平均分子量800であった。また、樹脂分の濃度は40重量%であった。
このようにして、酸無水物を付加したカルボキシル基含有樹脂Aの樹脂溶液を得た。この樹脂溶液を樹脂溶液Aとする。
<Synthesis Example 1>
A flask equipped with a stirrer, thermometer and condenser was charged with 5184 g of EDGA (diethylene glycol monoethyl ether acetate), 2070 g (3 mol) of IPDI3N (isocyanurate type triisocyanate synthesized from isophorone diisocyanate: NCO%=18.2) and cyclohexane- 1782 g (9 mol) of 1,3,4-tricarboxylic acid-3,4-anhydride was added and the temperature was raised to 140°C. The reaction proceeded with foaming. The reaction was carried out at this temperature for 8 hours. The inside of the system became a pale yellow liquid, and as a result of measuring the characteristic absorption in the infrared spectrum, the characteristic absorption of the isocyanate group at 2270 cm -1 completely disappeared, and the absorption of the imide group at 1780 cm -1 and 1720 cm -1 . confirmed. The acid value was 140 mgKOH/g in terms of solid content, and the molecular weight was 800 in terms of polystyrene. Moreover, the concentration of the resin component was 40% by weight.
Thus, a resin solution of carboxyl group-containing resin A to which an acid anhydride was added was obtained. This resin solution is referred to as resin solution A.

<合成例2>
撹拌装置、温度計、コンデンサーを付けたフラスコにEDGA(ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート)5184g、IPDI3N(イソホロンジイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型トリイソシアネート:NCO%=18.2)2070g(3mol)及びシクロヘキサン-1,3,4-トリカルボン酸-3,4-無水物1782g(9mol)を加え、140℃まで昇温した。反応は、発泡とともに進行した。この温度で8時間反応させた。系内は淡黄色の液体となり、赤外スペクトルにて特性吸収を測定した結果、イソシアネート基の特性吸収である2270cm-1が完全に消滅し、1780cm-1、1720cm-1にイミド基の吸収が確認された。さらに、得られた反応液にグリシジルメタクリレート142.0g(1mol)を仕込み、115℃で4時間反応を行った。赤外スペクトルにて特性吸収を測定した結果、エポキシ基の特性吸収である910cm-1が完全に消滅していた。この樹脂溶液の酸価は、固形分換算で117mgKOH/gで、分子量はポリスチレン換算で数平均分子量850であった。また、樹脂分の濃度は40重量%であった。
このようにして、酸無水物を付加したカルボキシル基含有樹脂Bの樹脂溶液を得た。この樹脂溶液を樹脂溶液Bとする。
<Synthesis Example 2>
A flask equipped with a stirrer, thermometer and condenser was charged with 5184 g of EDGA (diethylene glycol monoethyl ether acetate), 2070 g (3 mol) of IPDI3N (isocyanurate type triisocyanate synthesized from isophorone diisocyanate: NCO%=18.2) and cyclohexane- 1782 g (9 mol) of 1,3,4-tricarboxylic acid-3,4-anhydride was added and the temperature was raised to 140°C. The reaction proceeded with foaming. The reaction was carried out at this temperature for 8 hours. The inside of the system became a pale yellow liquid, and as a result of measuring the characteristic absorption in the infrared spectrum, the characteristic absorption of the isocyanate group at 2270 cm -1 completely disappeared, and the absorption of the imide group at 1780 cm -1 and 1720 cm -1 . confirmed. Furthermore, 142.0 g (1 mol) of glycidyl methacrylate was added to the obtained reaction solution, and the reaction was carried out at 115° C. for 4 hours. As a result of measuring the characteristic absorption in the infrared spectrum, 910 cm −1 which is the characteristic absorption of the epoxy group has completely disappeared. This resin solution had an acid value of 117 mgKOH/g in terms of solid content, and a number average molecular weight of 850 in terms of polystyrene. Moreover, the concentration of the resin component was 40% by weight.
Thus, a resin solution of carboxyl group-containing resin B to which an acid anhydride was added was obtained. This resin solution is referred to as resin solution B.

<合成例3>
EDGA(ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート)600gにオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂〔DIC社製EPICLON N-695、軟化点95℃、エポキシ当量214、平均官能基数7.6〕1070g(グリシジル基数(芳香環総数):5.0mol)、アクリル酸360g(5.0mol)、およびハイドロキノン1.5gを仕込み、100℃に加熱攪拌し、均一溶解した。次いで、トリフェニルホスフィン4.3gを仕込み、110℃に加熱して2時間反応後、120℃に昇温してさらに12時間反応を行った。得られた反応液に芳香族系炭化水素(ソルベッソ150)415g、メチル-5-ノルボルネン-2,3-ジカルボン酸無水物534g(3.0mol)を仕込み、110℃で4時間反応を行い、冷却後、取り出した。得られたクレゾールノボラック型カルボキシル基含有樹脂は、固形分酸価89mgKOH/g、樹脂分の濃度65%であった。
このようにして、酸無水物を付加したカルボキシル基含有樹脂Cの樹脂溶液を得た。この樹脂溶液を樹脂溶液Cとする。
<Synthesis Example 3>
To 600 g of EDGA (diethylene glycol monoethyl ether acetate) was added 1070 g of an ortho-cresol novolak type epoxy resin [DIC EPICLON N-695, softening point 95°C, epoxy equivalent weight 214, average functional group number 7.6] (number of glycidyl groups (total number of aromatic rings)). : 5.0 mol), 360 g (5.0 mol) of acrylic acid, and 1.5 g of hydroquinone were charged, heated to 100°C with stirring, and uniformly dissolved. Then, 4.3 g of triphenylphosphine was charged, heated to 110° C. and reacted for 2 hours, then heated to 120° C. and reacted for further 12 hours. 415 g of aromatic hydrocarbon (Solvesso 150) and 534 g (3.0 mol) of methyl-5-norbornene-2,3-dicarboxylic anhydride were added to the resulting reaction solution, reacted at 110° C. for 4 hours, and cooled. After that, I took it out. The resulting cresol novolak-type carboxyl group-containing resin had a solid content acid value of 89 mgKOH/g and a resin content concentration of 65%.
Thus, a resin solution of carboxyl group-containing resin C to which an acid anhydride was added was obtained. This resin solution is referred to as resin solution C.

<合成例4>
温度計、攪拌機、滴下ロートおよび還流冷却器を備えたフラスコに、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、およびメタクリル酸をmol比で1:1:2となるように仕込み、溶媒としてジプロピレングリコールモノメチルエーテル、触媒としてアゾビスイソブチロニトリル(AIBN)を入れ、窒素雰囲気下、80℃で4時間攪拌し、樹脂溶液を得た。この樹脂溶液を冷却し、重合禁止剤としてメチルハイドロキノン、触媒としてテトラブチルホスホニウムブロミドを用い、グリシジルメタクリレートを、95~105℃で16時間の条件で、上記樹脂のカルボキシル基に対し20mol%付加反応させ、冷却後、取り出した。得られたエチレン性不飽和結合およびカルボキシル基を併せ持つカルボキシル基含有感光性樹脂は、固形分酸価120mgKOH/g、樹脂分の濃度は70%であった。
このようにして、酸無水物を付加していないカルボキシル基含有樹脂の樹脂溶液を得た。この樹脂溶液を樹脂溶液Dとする。
<Synthesis Example 4>
A flask equipped with a thermometer, a stirrer, a dropping funnel and a reflux condenser was charged with methyl methacrylate, ethyl methacrylate and methacrylic acid in a molar ratio of 1:1:2. Azobisisobutyronitrile (AIBN) was added as a solution and stirred at 80° C. for 4 hours under a nitrogen atmosphere to obtain a resin solution. This resin solution is cooled, and 20 mol % of glycidyl methacrylate is added to the carboxyl groups of the resin using methyl hydroquinone as a polymerization inhibitor and tetrabutylphosphonium bromide as a catalyst at 95 to 105° C. for 16 hours. was removed after cooling. The resulting carboxyl group-containing photosensitive resin having both an ethylenically unsaturated bond and a carboxyl group had a solid content acid value of 120 mgKOH/g and a resin content concentration of 70%.
Thus, a resin solution of a carboxyl group-containing resin to which no acid anhydride was added was obtained. This resin solution is referred to as resin solution D.

<調製例1:無機フィラースラリーAの調製>
球状シリカ粒子(アドマテックス社製アドマナノYA050C、平均粒子径:50nm)30gと、溶剤としてPMA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)68gと、メタクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM-503)2gとを配合撹拌し、ビーズミル(BUHLER社製K-8)で回転数900rpm、ポンプ出力20%、分散時温度が40~50℃で分散処理を実施し、シリカ粒子のPMA分散体を得た。得られた分散体を無機フィラースラリーAとする。
得られた無機フィラースラリーの平均粒子径(D50)は、マイクロトラック・ベル社製のNANOTRAC FLEXを使用して測定して得られる値であり、下記表1に記載の通りである。実施例および比較例で使用した他の無機フィラースラリーの平均粒子径についても同様に測定した。
<Preparation Example 1: Preparation of inorganic filler slurry A>
30 g of spherical silica particles (Admanano YA050C manufactured by Admatechs, average particle size: 50 nm), 68 g of PMA (propylene glycol monomethyl ether acetate) as a solvent, and a silane coupling agent having a methacrylic group (KBM-503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. ) was blended and stirred, and dispersion treatment was performed with a bead mill (K-8 manufactured by BUHLER) at a rotation speed of 900 rpm, a pump output of 20%, and a temperature during dispersion of 40 to 50 ° C. to obtain a PMA dispersion of silica particles. rice field. The resulting dispersion is designated as inorganic filler slurry A.
The average particle size (D50) of the obtained inorganic filler slurry is a value obtained by measuring using NANOTRAC FLEX manufactured by Microtrack Bell, and is shown in Table 1 below. The average particle sizes of other inorganic filler slurries used in Examples and Comparative Examples were also measured in the same manner.

<調製例2:無機フィラースラリーBの調製>
球状シリカ粒子(アドマテックス社製アドマナノYA100C、平均粒子径:100nm)30gと、溶剤としてPMA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)68gと、メタクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM-503)2gとを配合撹拌し、ビーズミル(BUHLER社製K-8)で回転数900rpm、ポンプ出力20%、分散時温度が40~50℃で分散処理を実施し、シリカ粒子のPMA分散体を得た。得られた分散体を無機フィラースラリーBとする。
<Preparation Example 2: Preparation of inorganic filler slurry B>
30 g of spherical silica particles (Admanano YA100C manufactured by Admatechs, average particle diameter: 100 nm), 68 g of PMA (propylene glycol monomethyl ether acetate) as a solvent, and a silane coupling agent having a methacrylic group (KBM-503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. ) was blended and stirred, and dispersion treatment was performed with a bead mill (K-8 manufactured by BUHLER) at a rotation speed of 900 rpm, a pump output of 20%, and a temperature during dispersion of 40 to 50 ° C. to obtain a PMA dispersion of silica particles. rice field. Let the obtained dispersion be the inorganic filler slurry B.

<調製例3:無機フィラースラリーCの調製>
球状シリカ粒子(アドマテックス社製アドマナノYA010C、平均粒子径:10nm)30gと、溶剤としてPMA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)68gと、メタクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM-503)2gとを配合撹拌し、ビーズミル(BUHLER社製K-8)で回転数900rpm、ポンプ出力20%、分散時温度が40~50℃で分散処理を実施し、シリカ粒子のPMA分散体を得た。得られた分散体を無機フィラースラリーCとする。
<Preparation Example 3: Preparation of inorganic filler slurry C>
30 g of spherical silica particles (Admanano YA010C manufactured by Admatechs, average particle diameter: 10 nm), 68 g of PMA (propylene glycol monomethyl ether acetate) as a solvent, and a silane coupling agent having a methacrylic group (KBM-503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. ) was blended and stirred, and dispersion treatment was performed with a bead mill (K-8 manufactured by BUHLER) at a rotation speed of 900 rpm, a pump output of 20%, and a temperature during dispersion of 40 to 50 ° C. to obtain a PMA dispersion of silica particles. rice field. Let the obtained dispersion be the inorganic filler slurry C.

<調製例4:無機フィラースラリーDの調製>
酸化チタン粒子(堺化学工業社製STR-100N、平均粒子径:15nm)30gと、溶剤としてPMA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)68gと、メタクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM-503)2gとを配合撹拌し、ビーズミル(BUHLER社製K-8)で回転数900rpm、ポンプ出力20%、分散時温度が40~50℃で分散処理を実施し、シリカ粒子のPMA分散体を得た。得られた分散体を無機フィラースラリーDとする。
<Preparation Example 4: Preparation of inorganic filler slurry D>
Titanium oxide particles (STR-100N manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., average particle size: 15 nm) 30 g, PMA (propylene glycol monomethyl ether acetate) 68 g as a solvent, and a silane coupling agent having a methacrylic group (KBM manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. -503) 2 g was blended and stirred, and dispersion treatment was performed with a bead mill (K-8 manufactured by BUHLER) at a rotation speed of 900 rpm, a pump output of 20%, and a temperature during dispersion of 40 to 50 ° C. to obtain a PMA dispersion of silica particles. got The resulting dispersion is designated as an inorganic filler slurry D.

<調製例5:無機フィラースラリーEの調製>
球状シリカ粒子(アドマテックス社製アドマファインSO-C1、平均粒子径:250nm)30gと、溶剤としてPMA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)68gと、メタクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM-503)2gとを配合撹拌し、ビーズミル(BUHLER社製K-8)で回転数900rpm、ポンプ出力20%、分散時温度が40~50℃で分散処理を実施し、シリカ粒子のPMA分散体を得た。得られた分散体を無機フィラースラリーEとする。
<Preparation Example 5: Preparation of inorganic filler slurry E>
30 g of spherical silica particles (Admafine SO-C1 manufactured by Admatechs, average particle diameter: 250 nm), 68 g of PMA (propylene glycol monomethyl ether acetate) as a solvent, and a silane coupling agent having a methacrylic group (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) 2 g of KBM-503) was blended and stirred, and dispersion treatment was performed with a bead mill (K-8 manufactured by BUHLER) at a rotation speed of 900 rpm, a pump output of 20%, and a temperature of 40 to 50 ° C. during dispersion to disperse the silica particles in PMA. got a body An inorganic filler slurry E is obtained from the obtained dispersion.

<実施例1~10、および比較例1~7>
下記表1および表2に記載の成分組成に基づき、各成分を配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルにより混練して分散させ、実施例1~10および比較例1~7に係る感光性樹脂組成物を調製した。
<Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 7>
Based on the component compositions shown in Tables 1 and 2 below, each component was blended, premixed with a stirrer, and then kneaded and dispersed with a three-roll mill. A photosensitive resin composition was prepared.

Figure 2023062784000001
Figure 2023062784000001

Figure 2023062784000002
Figure 2023062784000002

表1及び表2中の各成分については、下記のとおりである。
※1 合成例1
※2 合成例2
※3 合成例3
※4 合成例4
※5 2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド
※6 Irgacure OXE02(BASF社製)
※7 ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
※8 エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリアクリレート
※9 ビスフェノールA型エポキシ樹脂:JER834(三菱ケミカル社製)(ガードナー色数≦5)
※10 ナフタレン型エポキシ樹脂:NC-7000L(日本化薬社製)(ガードナー色数>5)
※11 2-エチル-4-メチルイミダゾール(融点約40℃)
※12 U-CAT SA102(融点約40℃)(サンアプロ社製)
※13 ジシアンジアミド(融点約208℃)
※14 調製例1
※15 調製例2
※16 調製例3
※17 調製例4
※18 調製例5
※19 プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
Each component in Tables 1 and 2 is as follows.
*1 Synthesis example 1
*2 Synthesis example 2
*3 Synthesis example 3
*4 Synthesis example 4
*5 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide
*6 Irgacure OXE02 (manufactured by BASF)
*7 Dipentaerythritol hexaacrylate
*8 Ethylene oxide-modified trimethylolpropane triacrylate
*9 Bisphenol A type epoxy resin: JER834 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) (Gardner color number ≤ 5)
* 10 Naphthalene type epoxy resin: NC-7000L (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) (Gardner color number > 5)
*11 2-ethyl-4-methylimidazole (melting point: about 40°C)
*12 U-CAT SA102 (melting point: about 40°C) (manufactured by San-Apro Co., Ltd.)
*13 Dicyandiamide (melting point: about 208°C)
*14 Preparation example 1
*15 Preparation example 2
*16 Preparation example 3
*17 Preparation example 4
*18 Preparation example 5
*19 Propylene glycol monomethyl ether acetate

<最適露光量>
上記表1および2に記載のとおり作製した感光性樹脂組成物を、キャリアフィルム上に塗布した。これを80℃の熱風乾燥器で30分加熱乾燥して、厚さ20μmの感光性樹脂組成物の樹脂層を形成した。さらに、樹脂層上にカバーフィルムを貼り合わせて感光性樹脂積層体を得た。その後、使用時にカバーフィルムを剥がし、樹脂層側を銅貼り積層基板に貼り合わせて熱ラミネートしキャリアフィルムを剥がした後、フォトマスク(Stouffer社製、ステップタブレットNo.41)を介して、高圧水銀灯を搭載した投影型露光装置(ウシオ電機社製)を用いて露光した。キャリアフィルムを剥がした後、30℃の1%NaCO水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で200秒間の現像を行った後、残存塗膜の段数を目視判定した。残存塗膜の段数が8段になる露光量を適正露光量とした。
<Optimal Exposure>
A photosensitive resin composition prepared as described in Tables 1 and 2 above was applied onto a carrier film. This was dried by heating in a hot air dryer at 80° C. for 30 minutes to form a resin layer of a photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm. Furthermore, a cover film was laminated on the resin layer to obtain a photosensitive resin laminate. After that, the cover film is peeled off at the time of use, the resin layer side is attached to the copper-clad laminate substrate, thermal lamination is performed, and the carrier film is peeled off. was mounted using a projection exposure apparatus (manufactured by Ushio Inc.). After peeling off the carrier film, development was carried out for 200 seconds with a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30° C. at a spray pressure of 0.2 MPa, and the number of steps of the remaining coating film was visually determined. The exposure amount at which the number of stages of the remaining coating film became 8 stages was defined as the proper exposure amount.

<透過率比>
上記表1および2に記載のとおり作製した感光性樹脂組成物を、キャリアフィルム上に塗布した。これを80℃の熱風乾燥器で30分加熱乾燥して、厚さ20μmの感光性樹脂組成物の樹脂層を形成した。さらに、樹脂層上にカバーフィルムを貼り合わせて感光性樹脂積層体を得た。その後、使用時にカバーフィルムを剥がし、樹脂層側をガラス基板(ソーダライムガラス、板厚1.0mm)に貼り合わせて熱ラミネートし、高圧水銀灯を搭載した投影型露光装置(ウシオ電機社製)を用いて最適露光量でベタ露光した。キャリアフィルムを剥がした後、30℃の1%NaCO水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で用いて200秒間現像を行った。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、120℃で60分加熱して熱硬化させ、膜厚20μmの硬化膜(硬化物)を形成したガラス基板を得た。
得られた硬化膜(硬化物)の全光線透過率を下記の条件にて測定した。
装置:積分球装置(日本分光社製ISN-470)が接続された紫外可視分光光度計(日本分光社製Ubest-V-570DS)
測定方法:ISO 13468に準じ測定を行った。まず、積分球装置のリファレンス側とサンプル側に装置付属の白板をセットし、紫外可視分光光度計のリファレンス側とサンプル側の両方に、感光性樹脂組成物を貼り合わせていないガラス基板(以下、ガラス基板Rとする)をセットして、ベースラインの測定を行った。次に、上記の方法で作製した硬化膜(硬化物)を形成したガラス基板を紫外可視分光光度計のサンプル側にセットし、紫外可視分光光度計のリファレンス側にはガラス基板Rをセットして全光線透過率の測定を行った。
得られた硬化膜(硬化物)の透過率比は以下の計算式で算出した。結果を上記表1および2に記載する。

透過率比=得られた硬化膜(硬化物)の波長550nmにおける全光線透過率÷得られた硬化膜(硬化物)の波長430nmにおける全光線透過率

評価方法は下記の通りである。
◎:透過率比が0.90以上1.10未満
〇:透過率比が1.10以上1.15未満
△:透過率比が1.15以上1.20未満
×:透過率比が1.20以上
<Transmittance ratio>
A photosensitive resin composition prepared as described in Tables 1 and 2 above was applied onto a carrier film. This was dried by heating in a hot air dryer at 80° C. for 30 minutes to form a resin layer of a photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm. Furthermore, a cover film was laminated on the resin layer to obtain a photosensitive resin laminate. After that, the cover film is peeled off at the time of use, and the resin layer side is adhered to a glass substrate (soda lime glass, plate thickness 1.0 mm) and thermally laminated. Solid exposure was performed with the optimum exposure amount. After peeling off the carrier film, development was carried out for 200 seconds using a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30° C. under conditions of a spray pressure of 0.2 MPa. This substrate was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the conditions of an integrated exposure amount of 1000 mJ/cm 2 and then heated at 120°C for 60 minutes for thermal curing to form a cured film (cured product) having a thickness of 20 µm. got the substrate.
The total light transmittance of the resulting cured film (cured product) was measured under the following conditions.
Apparatus: UV-visible spectrophotometer (Ubest-V-570DS manufactured by JASCO Corporation) connected to an integrating sphere device (ISN-470 manufactured by JASCO Corporation)
Measurement method: Measurement was performed according to ISO 13468. First, the white plates attached to the device were set on the reference side and the sample side of the integrating sphere device, and the glass substrates (hereinafter, referred to as A glass substrate R) was set, and baseline measurement was performed. Next, the glass substrate on which the cured film (cured product) prepared by the above method is formed is set on the sample side of the ultraviolet-visible spectrophotometer, and the glass substrate R is set on the reference side of the ultraviolet-visible spectrophotometer. Total light transmittance was measured.
The transmittance ratio of the obtained cured film (cured product) was calculated by the following formula. The results are set forth in Tables 1 and 2 above.

Transmittance ratio = total light transmittance of the obtained cured film (cured product) at a wavelength of 550 nm/total light transmittance of the obtained cured film (cured product) at a wavelength of 430 nm

Evaluation methods are as follows.
A: Transmittance ratio is 0.90 or more and less than 1.10. O: Transmittance ratio is 1.10 or more and less than 1.15. 20 or more

<ヘーズ値>
上記表1および2に記載のとおり作製した感光性樹脂組成物を、キャリアフィルム上に塗布した。これを80℃の熱風乾燥器で30分加熱乾燥して、厚さ20μmの感光性樹脂組成物の樹脂層を形成した。さらに、樹脂層上にカバーフィルムを貼り合わせて感光性樹脂積層体を得た。その後、使用時にカバーフィルムを剥がし、樹脂層側をガラス基板(ソーダライムガラス、板厚1.0mm)に貼り合わせて熱ラミネートしキャリアフィルムを剥がした後、高圧水銀灯を搭載した投影型露光装置(ウシオ電機社製)を用いて最適露光量でベタ露光した。キャリアフィルムを剥がした後、30℃の1%NaCO水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で用いて200秒間現像を行った。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、120℃で60分加熱して熱硬化させ、膜厚20μmの硬化膜(硬化物)を形成したガラス基板を得た。
得られた硬化膜(硬化物)のヘーズ値を下記の条件にて測定した。結果を表1および2に記載する。
装置:積分球装置(日本分光社製ISN-470)が接続された紫外可視分光光度計(日本分光社製Ubest-V-570DS)
測定方法:ISO 14782に準じ測定を行った。まず、積分球装置のリファレンス側とサンプル側に装置付属の白板をセットし、紫外可視分光光度計のリファレンス側とサンプル側の両方に、感光性樹脂組成物を貼り合わせていないガラス基板(以下、ガラス基板Rとする)をセットして、ベースラインの測定を行った。積分球装置のサンプル側の白板を外した後、上記の方法で作製した硬化膜(硬化物)を形成したガラス基板を紫外可視分光光度計のサンプル側にセットし、紫外可視分光光度計のリファレンス側にはガラス基板Rをセットしてヘーズ値の測定を行った。結果を上記表1および2に記載する。
評価方法は下記の通りである。
◎:ヘーズ値が0.0%超1.0%未満
〇:ヘーズ値が1.0%以上2.0%未満
△:ヘーズ値が2.0%以上4.0%未満
×:ヘーズ値が4.0%以上
<Haze value>
A photosensitive resin composition prepared as described in Tables 1 and 2 above was applied onto a carrier film. This was dried by heating in a hot air dryer at 80° C. for 30 minutes to form a resin layer of a photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm. Furthermore, a cover film was laminated on the resin layer to obtain a photosensitive resin laminate. After that, the cover film is peeled off at the time of use, the resin layer side is attached to a glass substrate (soda lime glass, plate thickness 1.0 mm), thermal lamination is performed, and the carrier film is peeled off. (manufactured by Ushio Inc.) was used for solid exposure at an optimum exposure amount. After peeling off the carrier film, development was carried out for 200 seconds using a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30° C. under conditions of a spray pressure of 0.2 MPa. This substrate was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the conditions of an integrated exposure amount of 1000 mJ/cm 2 and then heated at 120°C for 60 minutes for thermal curing to form a cured film (cured product) having a thickness of 20 µm. got the substrate.
The haze value of the resulting cured film (cured product) was measured under the following conditions. Results are listed in Tables 1 and 2.
Apparatus: UV-visible spectrophotometer (Ubest-V-570DS manufactured by JASCO Corporation) connected to an integrating sphere device (ISN-470 manufactured by JASCO Corporation)
Measurement method: Measurement was performed according to ISO 14782. First, the white plates attached to the device were set on the reference side and the sample side of the integrating sphere device, and the glass substrates (hereinafter, referred to as A glass substrate R) was set, and baseline measurement was performed. After removing the white plate on the sample side of the integrating sphere device, set the glass substrate on which the cured film (cured product) prepared by the above method was formed on the sample side of the UV-VIS spectrophotometer, and use it as a reference for the UV-VIS spectrophotometer. A glass substrate R was set on the side, and the haze value was measured. The results are set forth in Tables 1 and 2 above.
Evaluation methods are as follows.
◎: Haze value is more than 0.0% and less than 1.0% ○: Haze value is 1.0% or more and less than 2.0% △: Haze value is 2.0% or more and less than 4.0% ×: Haze value is 4.0% or more

<水蒸気透過率>
上記表1および2に記載のとおり作製した感光性樹脂組成物を、キャリアフィルム上に塗布した。これを80℃の熱風乾燥器で30分加熱乾燥して厚さ20μmの感光性樹脂組成物の樹脂層を形成し、当該樹脂層上にカバーフィルムを貼り合わせて感光性樹脂積層体を得た。その後、使用時にカバーフィルムを剥がし、樹脂層側を厚さ9μmの電解銅箔(古河電工社製)に貼り合わせて熱ラミネートし、高圧水銀灯を搭載した投影型露光装置(ウシオ電機社製)を用いて最適露光量でベタ露光した。キャリアフィルムを剥がした後、30℃の1%NaCO水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で用いて200秒間現像を行った。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した。その紫外線照射された感光性樹脂組成物の樹脂層上に、新たな感光性樹脂積層体を前記と同様の方法で熱ラミネートし、最適露光量でベタ露光した。キャリアフィルムを剥がした後、30℃の1%NaCO水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で用いて200秒間現像を行った。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した。この作業を合計5回繰り返した後、120℃で60分加熱して感光性樹脂組成物の樹脂層を熱硬化させた。
このようにして厚さ100μmの硬化膜(硬化物)を電解銅箔上に形成した。次いで、この硬化膜(硬化物)付きの電解銅箔に対し、塩化第二銅340g/l、遊離塩酸濃度51.3g/lの組成のエッチング液を用いて銅箔をエッチング除去し、十分に水洗、乾燥して、厚さ100μmの硬化膜(硬化物)からなる試験片を作製した。
<Water vapor transmission rate>
A photosensitive resin composition prepared as described in Tables 1 and 2 above was applied onto a carrier film. This was dried by heating in a hot air dryer at 80° C. for 30 minutes to form a resin layer of a photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm, and a cover film was laminated on the resin layer to obtain a photosensitive resin laminate. . After that, the cover film is peeled off at the time of use, and the resin layer side is adhered to a 9 μm-thick electrolytic copper foil (manufactured by Furukawa Electric Co., Ltd.) for heat lamination. Solid exposure was performed with the optimum exposure amount. After peeling off the carrier film, development was carried out for 200 seconds using a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30° C. under conditions of a spray pressure of 0.2 MPa. This substrate was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ/cm 2 . On the resin layer of the photosensitive resin composition irradiated with ultraviolet rays, a new photosensitive resin laminate was thermally laminated in the same manner as described above, and solidly exposed with an optimum exposure amount. After peeling off the carrier film, development was carried out for 200 seconds using a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30° C. under conditions of a spray pressure of 0.2 MPa. This substrate was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ/cm 2 . After repeating this operation five times in total, the resin layer of the photosensitive resin composition was thermally cured by heating at 120° C. for 60 minutes.
Thus, a cured film (cured product) having a thickness of 100 μm was formed on the electrolytic copper foil. Next, the electrolytic copper foil with the cured film (cured product) is etched away using an etchant having a composition of cupric chloride of 340 g/l and free hydrochloric acid concentration of 51.3 g/l. After washing with water and drying, a test piece consisting of a cured film (cured product) having a thickness of 100 μm was produced.

水蒸気透過率は、JIS Z0208法にしたがって評価した。まず内径60mmの透湿カップの中に吸湿剤として塩化カルシウム(無水)を入れた。その透湿カップの上に、上記の方法で得られた厚さ100μmの硬化膜(硬化物)を直径70mmのサイズに加工した物を乗せ、ガイドを被せた後、リングをセットした。透湿カップの周辺の溝に加熱溶融した封ろう剤を流し込み、封ろう剤の温度が室温に戻り固化することによって硬化膜(硬化物)の周辺を封かんした。このようにして得た試験体の初期の質量を測定した後、40℃×90%RHの恒温高湿槽に入れ、24時間間隔で秤量を行い、二つの連続する秤量でそれぞれ単位時間当たりの質量増加を求め、それが5%以内で一定になったときの値を用い、下記のように評価した。
〇:10g/m/day未満
△:10g/m/day以上100g/m/day未満
×:100g/m/day以上
The water vapor transmission rate was evaluated according to the JIS Z0208 method. First, calcium chloride (anhydrous) was placed as a moisture absorbent in a moisture permeable cup having an inner diameter of 60 mm. A cured film (cured product) having a thickness of 100 μm obtained by the above method was placed on the moisture-permeable cup to have a diameter of 70 mm, covered with a guide, and then a ring was set. A heat-melted wax sealing agent was poured into the grooves around the moisture permeable cup, and the temperature of the sealing agent returned to room temperature and solidified, thereby sealing the periphery of the cured film (cured product). After measuring the initial mass of the specimen obtained in this way, it is placed in a constant temperature and high humidity chamber of 40 ° C. × 90% RH, and weighed at intervals of 24 hours. The mass increase was obtained, and the value when it became constant within 5% was used for evaluation as follows.
○: Less than 10 g/m 2 /day △: 10 g/m 2 /day or more and less than 100 g/m 2 /day ×: 100 g/m 2 /day or more

<解像性>
上記表1および2に記載のとおり作製した感光性樹脂組成物を、キャリアフィルム上に塗布した。これを80℃の熱風乾燥器で30分加熱乾燥して厚さ20μmの感光性樹脂組成物の樹脂層を形成し、当該樹脂層上にカバーフィルムを貼り合わせて感光性樹脂積層体を得た。その後、使用時にカバーフィルムを剥がし、樹脂層側を銅貼り積層基板に張り付け、高圧水銀灯を搭載した投影型露光装置(ウシオ電機社製)を用いて最適露光量でパターン露光した。キャリアフィルムを剥がした後、30℃の1%NaCO水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で用いて200秒間現像を行うことにより、ビアパターンを形成した。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、120℃で60分加熱して熱硬化させた。
こうして作製した基板の解像性を、電子顕微鏡を用いて観察した。ビア開口サイズを確認し、下記のように評価した。結果を表1および2に記載する。
◎:φ50um未満のビアパターンが形成できる
〇:φ50um以上φ100um未満のビアパターンが形成できる
△:φ100um以上のビアパターンが形成できる
×:開口形状が形成できない
<Resolution>
A photosensitive resin composition prepared as described in Tables 1 and 2 above was applied onto a carrier film. This was dried by heating in a hot air dryer at 80° C. for 30 minutes to form a resin layer of a photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm, and a cover film was laminated on the resin layer to obtain a photosensitive resin laminate. . After that, the cover film was peeled off at the time of use, the resin layer side was adhered to the copper-clad laminated substrate, and pattern exposure was performed with an optimum exposure amount using a projection type exposure apparatus (manufactured by Ushio Inc.) equipped with a high-pressure mercury lamp. After peeling off the carrier film, a via pattern was formed by developing for 200 seconds using a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30° C. under conditions of a spray pressure of 0.2 MPa. This substrate was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ/cm 2 and then heated at 120° C. for 60 minutes to be thermally cured.
The resolution of the substrate thus produced was observed using an electron microscope. The via opening size was confirmed and evaluated as follows. Results are listed in Tables 1 and 2.
◎: A via pattern with a diameter of less than 50 μm can be formed. ○: A via pattern with a diameter of 50 μm or more and less than 100 μm can be formed. △: A via pattern with a diameter of 100 μm or more can be formed. ×: An opening shape cannot be formed.

<無電解金めっき>
上記表1および2に記載のとおり作製した感光性樹脂組成物を、キャリアフィルム上に塗布した。これを80℃の熱風乾燥器で30分加熱乾燥して厚さ20μmの感光性樹脂組成物の樹脂層を形成し、当該樹脂層上にカバーフィルムを貼り合わせて感光性樹脂積層体を得た。その後、使用時にカバーフィルムを剥がし、樹脂層側を銅貼り積層基板に張り付け、樹脂層およびキャリアフィルムを熱ラミネートし、高圧水銀灯を搭載した投影型露光装置(ウシオ電機社製)を用いて最適露光量でパターン露光した。キャリアフィルムを剥がした後、30℃の1%NaCO水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で用いて200秒間現像を行うことにより、感光性樹脂組成物のパターンを形成した。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、120℃で60分加熱して熱硬化させた。
こうして作製した基板の硬化膜(硬化物)形成面に所定の前処理(酸性脱脂+ソフトエッチ+硫酸処理)を行い、無電解ニッケルめっき浴および無電解金めっき浴を用いて、ニッケル3μm、金0.03μmの条件で金めっきを行い、硬化膜(硬化物)の剥がれの有無やめっき液の染み込みの有無を評価した。結果を表1および2に記載する。
〇:剥がれやしみ込みが全くない。
△:僅かに剥がれやしみ込みがある。
×:剥がれやしみ込みがある。
<Electroless gold plating>
A photosensitive resin composition prepared as described in Tables 1 and 2 above was applied onto a carrier film. This was dried by heating in a hot air dryer at 80° C. for 30 minutes to form a resin layer of a photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm, and a cover film was laminated on the resin layer to obtain a photosensitive resin laminate. . After that, at the time of use, the cover film is peeled off, the resin layer side is attached to the copper laminated substrate, the resin layer and carrier film are thermally laminated, and optimal exposure is performed using a projection type exposure device (manufactured by Ushio Inc.) equipped with a high-pressure mercury lamp. A pattern exposure was performed with a After peeling off the carrier film, a pattern of the photosensitive resin composition was formed by developing for 200 seconds using a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30° C. under conditions of a spray pressure of 0.2 MPa. This substrate was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ/cm 2 and then heated at 120° C. for 60 minutes to be thermally cured.
The hardened film (hardened product) forming surface of the substrate thus prepared is subjected to a predetermined pretreatment (acid degreasing + soft etching + sulfuric acid treatment), and an electroless nickel plating bath and an electroless gold plating bath are used to form nickel 3 μm, gold Gold plating was performed under the condition of 0.03 μm, and the presence or absence of peeling of the cured film (cured product) and the presence or absence of permeation of the plating solution were evaluated. Results are listed in Tables 1 and 2.
◯: No peeling or seepage.
Δ: There is slight peeling and penetration.
x: Peeling and permeation are observed.

<透明アンテナの作製>
厚さ100μmの透明なポリエチレンテレフタレートフィルム上に、厚さ18μm の電解銅箔を透明接着剤で接着した。電解銅箔に化成処理(低反射処理)を施した後、感光性樹脂積層体タイプのエッチングレジストを銅箔上にラミネートした。エッチングレジストにパターン露光、現像を行い、エッチングレジストにアンテナパターンを形成した。エッチングレジストのパターンが無い部分の銅箔をエッチング処理により除去した後に、エッチングレジストを剥離することで、銅アンテナパターンの形成されたポリエチレンテレフタレートフィルムを得た。このアンテナパターンは正方形の網目パターンで、線幅20μm、線間ピッチが300μmであった。このようにして透明アンテナ基板を作製した。
<Production of transparent antenna>
An electrolytic copper foil with a thickness of 18 μm was adhered to a transparent polyethylene terephthalate film with a thickness of 100 μm with a transparent adhesive. After subjecting the electrolytic copper foil to chemical conversion treatment (low-reflection treatment), a photosensitive resin laminate type etching resist was laminated on the copper foil. The etching resist was subjected to pattern exposure and development to form an antenna pattern on the etching resist. A polyethylene terephthalate film having a copper antenna pattern formed thereon was obtained by removing the copper foil from the portion where the etching resist pattern was not formed by etching, and then peeling off the etching resist. This antenna pattern was a square mesh pattern with a line width of 20 μm and a line-to-line pitch of 300 μm. Thus, a transparent antenna substrate was produced.

<目視評価>
上記表1および2に記載のとおり作製した感光性樹脂組成物を、キャリアフィルム上に塗布した。これを80℃の熱風乾燥器で30分加熱乾燥して厚さ20μmの感光性樹脂組成物の樹脂層を形成し、当該樹脂層上にカバーフィルムを貼り合わせて感光性樹脂積層体を得た。その後、使用時にカバーフィルムを剥がし、前記透明アンテナ基板の銅アンテナパターンが形成されている側に、得られた感光性樹脂積層体を熱ラミネートし、高圧水銀灯を搭載した投影型露光装置(ウシオ電機社製)を用いて最適露光量でパターン露光した。キャリアフィルムを剥がした後、30℃の1%NaCO水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で用いて200秒間現像を行うことにより、感光性樹脂組成物のパターンを形成した。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、120℃で60分加熱して熱硬化させた。
こうして作製した透明アンテナを、通常の蛍光灯を点灯した明るさの照度500ルクスの部屋の中で、黒色の「十」の字(縦10.0mm、横10.0mm、太さ1.0mm)を印刷した白色の紙の上に乗せ、「十」の字から30cmの距離から目視によって「十」の字がどのように見えるか10人により評価した。結果を表2に記載する。
〇:10人中10人紙の上の「十」の字が良く見える。
△:10人中5人紙の上の「十」の字が良く見える。
×:10人中10人紙の上の「十」の字が見えにくい。
<Visual evaluation>
A photosensitive resin composition prepared as described in Tables 1 and 2 above was applied onto a carrier film. This was dried by heating in a hot air dryer at 80° C. for 30 minutes to form a resin layer of a photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm, and a cover film was laminated on the resin layer to obtain a photosensitive resin laminate. . After that, the cover film is peeled off at the time of use, and the resulting photosensitive resin laminate is heat-laminated on the side of the transparent antenna substrate on which the copper antenna pattern is formed. Co., Ltd.) was used for pattern exposure at the optimum exposure dose. After peeling off the carrier film, a pattern of the photosensitive resin composition was formed by developing for 200 seconds using a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30° C. under conditions of a spray pressure of 0.2 MPa. This substrate was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ/cm 2 and then heated at 120° C. for 60 minutes to be thermally cured.
The transparent antenna thus prepared was placed in a room with an illuminance of 500 lux with a normal fluorescent lamp lit, and a black "cross" (10.0 mm long, 10.0 mm wide, and 1.0 mm thick). was placed on white paper printed with , and 10 people evaluated how the character "cross" looked visually from a distance of 30 cm from the character "cross". The results are listed in Table 2.
◯: 10 out of 10 people can clearly see the character "ten" on the paper.
Δ: 5 out of 10 can clearly see the character “ten” on the paper.
x: 10 out of 10 people have difficulty seeing the character "cross" on the paper.

<ガラス貼り付け評価>
上記表1および2に記載のとおり作製した感光性樹脂組成物を、キャリアフィルム上に塗布した。これを80℃の熱風乾燥器で30分加熱乾燥して厚さ20μmの感光性樹脂組成物の樹脂層を形成し、当該樹脂層上にカバーフィルムを貼り合わせて感光性樹脂積層体を得た。その後、使用時にカバーフィルムを剥がし、前記透明アンテナ基板の銅アンテナパターンが形成されている側に、得られた感光性樹脂積層体を熱ラミネートし、高圧水銀灯を搭載した投影型露光装置(ウシオ電機社製)を用いて最適露光量でパターン露光した。キャリアフィルムを剥がした後、30℃の1%NaCO水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で用いて200秒間現像を行うことにより、感光性樹脂組成物のパターンを形成した。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、120℃で60分加熱して熱硬化させた。
こうして作製した透明アンテナを、日東電工社製透明両面粘着フィルムHJ-3160Wを用いて照度の異なる二つの部屋を区切る窓ガラスに貼り付け、一方の部屋は通常の蛍光灯を点灯した明るさの照度300ルクスとし、他方の部屋は、通常の蛍光灯を点灯した明るさの照度3000ルクスとして、窓から3m離れた場所から透明アンテナを10人により観察した。結果を表1および2に記載する。
◎:10人中10人一方の部屋側から見ても他方の部屋側から見てもくもりや色の差異を感じない
〇:10人中8人~9人一方の部屋側から見ても他方の部屋側から見てもくもりや色の差異を感じない。
△:10人中3人~7人一方の部屋側から見ても他方の部屋側から見てもくもりや色の差異を感じない。
×:10人中2人以下一方の部屋側から見ても他方の部屋側から見てもくもりや色の差異を感じない。
<Glass pasting evaluation>
A photosensitive resin composition prepared as described in Tables 1 and 2 above was applied onto a carrier film. This was dried by heating in a hot air dryer at 80° C. for 30 minutes to form a resin layer of a photosensitive resin composition having a thickness of 20 μm, and a cover film was laminated on the resin layer to obtain a photosensitive resin laminate. . After that, the cover film is peeled off at the time of use, and the resulting photosensitive resin laminate is heat-laminated on the side of the transparent antenna substrate on which the copper antenna pattern is formed. Co., Ltd.) was used for pattern exposure at the optimum exposure dose. After peeling off the carrier film, a pattern of the photosensitive resin composition was formed by developing for 200 seconds using a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30° C. under conditions of a spray pressure of 0.2 MPa. This substrate was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ/cm 2 and then heated at 120° C. for 60 minutes to be thermally cured.
The transparent antenna thus prepared is attached to a window glass that separates two rooms with different illuminance using a transparent double-sided adhesive film HJ-3160W manufactured by Nitto Denko, and one room is illuminated by a normal fluorescent lamp. The illuminance was 300 lux, and in the other room, the illuminance was 3000 lux, which is the brightness of a normal fluorescent lamp. Results are listed in Tables 1 and 2.
◎: 10 out of 10 people see no difference in cloudiness or color when viewed from one room side or the other room side 〇: 8 to 9 out of 10 people see from one room side or the other Even when viewed from the room side, there is no difference in cloudiness or color.
Δ: 3 to 7 out of 10 people do not perceive difference in cloudiness or color when viewed from one side of the room or from the other side of the room.
x: Not more than 2 out of 10 people do not perceive difference in cloudiness or color when viewed from one side of the room or from the other side of the room.

Claims (9)

(A)カルボキシル基含有樹脂と、
(B)光重合開始剤と、
(C)不飽和二重結合を有する化合物と、
(D)熱硬化性樹脂と、
(E)平均粒子径が120nm以下であるフィラーと
を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物であって、
前記感光性樹脂組成物から得られる硬化物の膜厚20μmにおける波長550nmの全光線透過率と波長430nmの全光線透過率との比の値が0.90以上1.15未満の範囲にあり、
前記硬化物についての波長550nmのヘーズ値が0.0%超2.0%未満の範囲にある
感光性樹脂組成物。
(A) a carboxyl group-containing resin;
(B) a photoinitiator;
(C) a compound having an unsaturated double bond;
(D) a thermosetting resin;
(E) a photosensitive resin composition comprising a filler having an average particle size of 120 nm or less,
The ratio of the total light transmittance at a wavelength of 550 nm to the total light transmittance at a wavelength of 430 nm at a film thickness of 20 μm of the cured product obtained from the photosensitive resin composition is in the range of 0.90 or more and less than 1.15,
The photosensitive resin composition having a haze value of the cured product at a wavelength of 550 nm in a range of more than 0.0% and less than 2.0%.
前記(A)カルボキシル基含有樹脂が、酸無水物の付加反応によるカルボキシル基を有する樹脂であることを特徴とする、請求項1記載の感光性樹脂組成物。 2. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the (A) carboxyl group-containing resin is a resin having a carboxyl group obtained by addition reaction of an acid anhydride. 前記(A)カルボキシル基含有樹脂が、脂肪族構造を有するイソシアネートから合成されたイソシアヌレート型ポリイソシアネートと、脂肪族構造を有するトリカルボン酸無水物と、を反応させて得られるアミドイミド樹脂を含むことを特徴とする、請求項1記載の感光性樹脂組成物。 The carboxyl group-containing resin (A) contains an amideimide resin obtained by reacting an isocyanurate-type polyisocyanate synthesized from an isocyanate having an aliphatic structure with a tricarboxylic acid anhydride having an aliphatic structure. 2. The photosensitive resin composition of claim 1, characterized by: 前記(D)熱硬化性樹脂が、ガードナー色数5以下のエポキシ樹脂であることを特徴とする、請求項1~3のうちいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。 4. The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the thermosetting resin (D) is an epoxy resin having a Gardner color number of 5 or less. (F)20℃以上70℃未満で液状である熱硬化触媒をさらに含むことを特徴とする、請求項1~4のうちいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。 5. The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4, further comprising (F) a thermosetting catalyst that is liquid at 20°C or higher and lower than 70°C. 請求項1~5のうちいずれか一項記載の感光性樹脂組成物を、フィルム上に塗布、乾燥させて得られた樹脂層を有することを特徴とする、感光性樹脂積層体。 A photosensitive resin laminate comprising a resin layer obtained by applying the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5 on a film and drying the composition. 請求項1~5のうちいずれか一項記載の感光性樹脂組成物、または請求項6に記載の感光性樹脂積層体の樹脂層を硬化してなることを特徴とする、硬化物。 A cured product obtained by curing the resin layer of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5 or the photosensitive resin laminate according to claim 6. 請求項7記載の硬化物の膜厚100μmにおける水蒸気透過率が10g/m/day未満であることを特徴とする、請求項1~5のうちいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。 6. The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the cured product according to claim 7 has a water vapor transmission rate of less than 10 g/m 2 /day at a film thickness of 100 μm. 請求項7記載の硬化物を備えてなることを特徴とする、透明アンテナ。 A transparent antenna comprising the cured product according to claim 7 .
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