JP2023058214A - Component compression-bonding device and component compression-bonding method - Google Patents

Component compression-bonding device and component compression-bonding method Download PDF

Info

Publication number
JP2023058214A
JP2023058214A JP2021168066A JP2021168066A JP2023058214A JP 2023058214 A JP2023058214 A JP 2023058214A JP 2021168066 A JP2021168066 A JP 2021168066A JP 2021168066 A JP2021168066 A JP 2021168066A JP 2023058214 A JP2023058214 A JP 2023058214A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
component
housing
substrate
space
air
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2021168066A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
晃 山田
Akira Yamada
聡 足立
Satoshi Adachi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Original Assignee
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd filed Critical Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority to JP2021168066A priority Critical patent/JP2023058214A/en
Priority to CN202211125771.4A priority patent/CN115963655A/en
Publication of JP2023058214A publication Critical patent/JP2023058214A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

To provide a component compression-bonding device capable of enhancing a productivity.SOLUTION: A component compression-bonding device 1 comprises: an adhesion part 20 that supplies a substrate 3; a temporal compression-bonding part 30 that mounts a component 5 onto the supplied substrate 3; a main compression-bonding part 40 that thermally compression-bonds, onto the substrate 3, the component 5 mounted on the substrate 3; a housing body 7 that houses the adhesion part 20, the temporal compression-bonding part 30, and the main compression-bonding part 40; and a pressure adjustment mechanism 70. The pressure adjustment mechanism 70 adjusts a pressure in the housing body 7 so that a pressure in a first space where the temporal compression-bonding part 30 is arranged in the housing body 7 becomes higher than (i) a pressure in a second space where the adhesion part 20 is arranged in the housing body 7, and (ii) a pressure in a third space where the main compression-bonding part 40 is arranged in the housing 7.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本開示は、基板に部品を圧着する部品圧着装置などに関する。 TECHNICAL FIELD The present disclosure relates to a component crimping device for crimping a component onto a substrate.

従来、液晶パネルなどのパネルに電子部品(以下、単に「部品」と呼称する)を圧着する部品圧着装置が提供されている。特許文献1では、このような部品圧着装置が液晶ドライバ実装機として開示されている。この部品圧着装置は、液晶パネルの端部に、異方性導電部材であるACF(Anisotropic Conductive Film)を介して部品を圧着する。つまり、その液晶パネルの端部には、接着部材としてACFが貼着されている。部品圧着装置は、液晶パネルのそのACFが貼着された部分に部品を搭載して、液晶パネルに圧着する。 2. Description of the Related Art Conventionally, there has been provided a component crimping device for crimping an electronic component (hereinafter simply referred to as "component") to a panel such as a liquid crystal panel. Patent Literature 1 discloses such a component crimping device as a liquid crystal driver mounting machine. This component crimping device crimps a component to the end of a liquid crystal panel via an ACF (Anisotropic Conductive Film), which is an anisotropic conductive member. That is, the ACF is adhered as an adhesive member to the end portion of the liquid crystal panel. A component pressure bonding device mounts a component on the portion of the liquid crystal panel to which the ACF is adhered, and presses the component onto the liquid crystal panel.

特開2005-317784号公報JP 2005-317784 A

しかしながら、上記特許文献1の部品圧着装置では、生産性が低下する可能性があるという課題がある。 However, the component crimping device of Patent Literature 1 has a problem that productivity may decrease.

そこで、本開示では、生産性の向上を図ることができる部品圧着装置などを提供する。 Therefore, the present disclosure provides a component crimping device and the like capable of improving productivity.

本開示の一態様に係る部品圧着装置は、基板を供給する基板供給部と、供給された前記基板に部品を載置する部品載置部と、前記基板に載置されている前記部品を前記基板に熱圧着する熱圧着部と、前記基板供給部、前記部品載置部、および前記熱圧着部を収容する筐体と、前記筐体内において前記部品載置部が配置されている第1空間の気圧が、(i)前記筐体内において前記基板供給部が配置されている第2空間の気圧、および、(ii)前記筐体内において前記熱圧着部が配置されている第3空間の気圧よりも高くなるように、前記筐体内における気圧を調整する気圧調整機構と、を備える。 A component crimping apparatus according to an aspect of the present disclosure includes a substrate supply unit that supplies a substrate, a component placement unit that places a component on the supplied substrate, and the components placed on the substrate. A thermocompression bonding section that is thermocompression bonded to a substrate, a housing that accommodates the substrate supply section, the component placement section, and the thermocompression bonding section, and a first space in the housing in which the component placement section is arranged. is lower than (i) the pressure of a second space in the housing where the substrate supply section is arranged, and (ii) the pressure of a third space in the housing where the thermocompression bonding section is arranged. and an air pressure adjustment mechanism for adjusting the air pressure in the housing so that the air pressure becomes higher.

なお、これらの包括的または具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたはコンピュータ読み取り可能なCD-ROMなどの記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムおよび記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。また、記録媒体は、非一時的な記録媒体であってもよい。 In addition, these general or specific aspects may be realized by a system, method, integrated circuit, computer program, or a recording medium such as a computer-readable CD-ROM. and any combination of recording media. Also, the recording medium may be a non-temporary recording medium.

本開示の部品圧着装置は、生産性の向上を図ることができる。 The component crimping device of the present disclosure can improve productivity.

本開示の一態様における更なる利点および効果は、明細書および図面から明らかにされる。かかる利点および/または効果は、いくつかの実施の形態並びに明細書および図面に記載された特徴によってそれぞれ提供されるが、1つまたはそれ以上の同一の特徴を得るために必ずしも全てが提供される必要はない。 Further advantages and advantages of one aspect of the present disclosure are apparent from the specification and drawings. Such advantages and/or advantages are provided by the several embodiments and features described in the specification and drawings, respectively, but not necessarily all to obtain one or more of the same features. No need.

図1は、実施の形態における部品圧着装置の概略構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a component crimping device according to an embodiment. 図2は、実施の形態における部品圧着装置の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the component crimping device according to the embodiment. 図3は、実施の形態における部品圧着装置の外観の一例を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing an example of the appearance of the component crimping device according to the embodiment. 図4は、実施の形態における吸気部および排気部の具体的な配置例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a specific arrangement example of the intake section and the exhaust section in the embodiment. 図5は、実施の形態における部品圧着装置の機能構成の一例を示すブロック図である。FIG. 5 is a block diagram showing an example of the functional configuration of the component crimping device according to the embodiment. 図6は、実施の形態におけるエアの供給および排出と筐体内の気圧分布との一例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing an example of air supply and discharge and an air pressure distribution within the housing according to the embodiment. 図7は、実施の形態における部品圧着装置の処理動作の一例を示すフローチャートである。FIG. 7 is a flow chart showing an example of the processing operation of the component crimping device according to the embodiment. 図8は、実施の形態の変形例1における筐体の一例を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating an example of a housing according to Modification 1 of the embodiment. 図9は、実施の形態の変形例2における吸気部および排気部の取り付け例を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing an example of attachment of the intake section and the exhaust section in Modification 2 of the embodiment.

(本開示の基礎となった知見)
本発明者は、「背景技術」の欄において記載した上記特許文献1の部品圧着装置に関し、以下の課題が生じることを見出した。
(Findings on which this disclosure is based)
The inventors of the present invention have found that the component crimping device of Patent Document 1 described in the "Background Art" section has the following problems.

上記特許文献1の部品圧着装置は、ACFを基板に貼り付けるACF貼付装置と、ACFを介して部品を基板に仮圧着する仮圧着装置と、その仮圧着された部品に対する本圧着を行う部品実装機とを備える。そして、部品圧着装置は、これらのACF貼付装置、仮圧着装置および部品実装機による作業によって、基板に1以上の部品が圧着された実装基板を生産する。ここで、これらのACF貼付装置、仮圧着装置および部品実装機は、部品圧着装置の筐体によって覆われている。 The component crimping apparatus of Patent Document 1 includes an ACF attaching apparatus that attaches an ACF to a substrate, a temporary crimping apparatus that temporarily crimps a component to the substrate via the ACF, and a component mounting device that performs final crimping of the temporarily crimped component. have a machine. Then, the component crimping device produces a mounted board in which one or more components are crimped to the board by the work of the ACF sticking device, the temporary crimping device and the component mounter. Here, the ACF sticking device, the temporary pressure bonding device and the component mounter are covered by the housing of the component pressure bonding device.

したがって、部品圧着装置の周囲に漂う粉塵などのパーティクルは、筐体の内部に入り込もうとしても、その筐体によって遮られる。その結果、パーティクルの筐体内への進入が抑制される。これにより、パーティクルが基板と部品との接合部位に付着することによる実装基板の歩留まりの低下を抑えることができる。 Therefore, even if particles such as dust drifting around the component crimping apparatus try to enter the inside of the housing, they are blocked by the housing. As a result, entry of particles into the housing is suppressed. As a result, it is possible to suppress the decrease in the yield of the mounting substrate due to the particles adhering to the bonding portion between the substrate and the component.

しかしながら、パーティクルは、部品圧着装置の筐体の外部だけでなく、その筐体の内部にも存在する。例えば、ACF貼付装置、仮圧着装置および部品実装機が作業を行うことによって、パーティクルが舞い上がることがある。このようなパーティクルが、基板と部品との接合部位に付着する可能性がある。その結果、筐体だけでは、パーティクルによる実装基板の歩留まりの低下を十分に抑えることが難しい。つまり、実装基板の生産性が低下する可能性がある。 However, particles exist not only outside the housing of the component crimping apparatus, but also inside the housing. For example, particles may be blown up by the work of the ACF sticking device, the temporary pressure bonding device and the component mounter. Such particles may adhere to the joints between the board and the component. As a result, it is difficult to sufficiently suppress the decrease in the yield of mounting substrates due to particles with only the housing. In other words, there is a possibility that the productivity of the mounting board will decrease.

このような課題を解決するために、本開示の一態様に係る部品圧着装置は、基板を供給する基板供給部と、供給された前記基板に部品を載置する部品載置部と、前記基板に載置されている前記部品を前記基板に熱圧着する熱圧着部と、前記基板供給部、前記部品載置部、および前記熱圧着部を収容する筐体と、前記筐体内において前記部品載置部が配置されている第1空間の気圧が、(i)前記筐体内において前記基板供給部が配置されている第2空間の気圧、および、(ii)前記筐体内において前記熱圧着部が配置されている第3空間の気圧よりも高くなるように、前記筐体内における気圧を調整する気圧調整機構と、を備える。 In order to solve such problems, a component crimping apparatus according to an aspect of the present disclosure includes a substrate supply unit that supplies a substrate, a component placement unit that places a component on the supplied substrate, the substrate a thermocompression bonding unit for thermocompression bonding the component placed on the substrate to the substrate; a housing that accommodates the substrate supply unit, the component placement unit, and the thermocompression bonding unit; The atmospheric pressure in the first space where the placing section is arranged is (i) the atmospheric pressure in the second space where the substrate supply section is arranged in the housing, and (ii) the thermocompression bonding section in the housing. an air pressure adjustment mechanism that adjusts the air pressure in the housing so that the air pressure in the housing is higher than the air pressure in the third space.

これにより、第1空間の気圧が第2空間および第3空間の気圧よりも高いため、第1空間から第2空間および第3空間に流れる気流が生じる。その結果、基板供給部および熱圧着部における作業によって第2空間および第3空間でパーティクルが舞い上がったとしても、そのパーティクルが漂って第1空間に進入することを抑制することができる。つまり、第1空間に配置されている部品載置部が、基板に部品を載置するときに、そのパーティクルが部品と基板との間に入り込む可能性を抑制することができる。そのため、パーティクルが基板と部品との接合部位に付着することによる実装基板の歩留まりの低下を抑えることができ、実装基板の生産性を向上することができる。言い換えれば、第1空間のクリーン度を向上することができ、実装基板の品質を高めることができる。 As a result, since the air pressure in the first space is higher than the air pressure in the second and third spaces, an air current is generated that flows from the first space to the second and third spaces. As a result, even if particles rise up in the second space and the third space due to the work in the substrate supply section and the thermocompression bonding section, it is possible to prevent the particles from drifting and entering the first space. In other words, it is possible to suppress the possibility of particles entering between the component and the substrate when the component placement portion arranged in the first space places the component on the substrate. Therefore, it is possible to suppress the decrease in the yield of the mounted substrate due to the particles adhering to the bonding portion between the substrate and the component, and improve the productivity of the mounted substrate. In other words, the cleanliness of the first space can be improved, and the quality of the mounting board can be improved.

また、さらに、前記部品載置部に前記部品を供給する部品供給部を備え、前記筐体は、前記部品供給部をさらに収容し、前記気圧調整機構は、前記筐体内において前記部品供給部が配置されている第4空間の気圧よりも、前記第1空間の気圧が高くなるように、前記筐体内における気圧を調整してもよい。 The component supply unit may further include a component supply unit that supplies the component to the component placement unit, the housing further accommodates the component supply unit, and the air pressure adjustment mechanism may be configured such that the component supply unit is located within the housing. The air pressure in the housing may be adjusted so that the air pressure in the first space is higher than the air pressure in the fourth space.

これにより、第1空間の気圧が第4空間の気圧よりも高いため、第1空間から第4空間に流れる気流が生じる。その結果、部品供給部における作業によって第4空間でパーティクルが舞い上がったとしても、そのパーティクルが漂って第1空間に進入することを抑制することができる。つまり、第1空間に配置されている部品載置部が、基板に部品を載置するときに、そのパーティクルが部品と基板との間に入り込む可能性を抑制することができる。そのため、パーティクルが基板と部品との接合部位に付着することによる実装基板の歩留まりの低下をさらに抑えることができ、実装基板の生産性をさらに向上することができる。言い換えれば、第1空間のクリーン度をさらに向上することができ、実装基板の品質をさらに高めることができる。 As a result, since the air pressure in the first space is higher than that in the fourth space, an air current is generated that flows from the first space to the fourth space. As a result, even if particles are soaring in the fourth space due to work in the parts supply section, it is possible to prevent the particles from drifting and entering the first space. In other words, it is possible to suppress the possibility of particles entering between the component and the substrate when the component placement portion arranged in the first space places the component on the substrate. Therefore, it is possible to further suppress a decrease in the yield of the mounted substrate due to particles adhering to the bonding portion between the substrate and the component, and to further improve the productivity of the mounted substrate. In other words, the cleanliness of the first space can be further improved, and the quality of the mounting substrate can be further improved.

また、前記気圧調整機構は、前記筐体の外部のエアを浄化して前記筐体の内部に吸引する1以上の吸気部と、前記筐体の内部のエアを前記筐体の外部に排出する1以上の排気部とのうちの少なくとも1つを有してもよい。 Further, the air pressure adjustment mechanism includes one or more intake units that purify air outside the housing and suck it into the housing, and discharge air inside the housing to the outside of the housing. and at least one of one or more vents.

これにより、筐体内における気圧を簡単に調整することができる。 This makes it possible to easily adjust the air pressure inside the housing.

また、前記1以上の吸気部のうちの少なくとも1つの吸気部は、前記第1空間に接して配置されていてもよい。 Also, at least one of the one or more intake units may be arranged in contact with the first space.

これにより、その少なくとも1つの吸気部によって第1空間の気圧を簡単に高くすることができる。 As a result, the air pressure in the first space can be easily increased by the at least one air intake.

また、前記1以上の吸気部は、前記第1空間に供給されるエアの風量が、前記第2空間および前記第3空間のそれぞれに供給されるエアの風量よりも大きくなるように、前記筐体の外部のエアを前記筐体の内部に吸引してもよい。 Further, the one or more air intake units are arranged in the housing such that the volume of air supplied to the first space is larger than the volume of air supplied to each of the second space and the third space. Air outside the body may be sucked into the interior of the enclosure.

これにより、第1空間の気圧を第2空間および第3空間の気圧よりも簡単かつ効率的に高くすることができる。 Thereby, the air pressure in the first space can be easily and efficiently made higher than the air pressure in the second and third spaces.

また、前記1以上の排気部は、前記第1空間から排出されるエアの風量が、前記第2空間および前記第3空間のそれぞれから排出されるエアの風量よりも小さくなるように、前記筐体の内部のエアを前記筐体の外部に排出してもよい。 In addition, the one or more exhaust units are arranged in the housing such that the volume of air discharged from the first space is smaller than the volume of air discharged from each of the second space and the third space. Air inside the body may be discharged to the outside of the housing.

これにより、第1空間の気圧を第2空間および第3空間の気圧よりも簡単かつ効率的に高くすることができる。 Thereby, the air pressure in the first space can be easily and efficiently made higher than the air pressure in the second and third spaces.

また、前記基板は、前記基板供給部から前記部品載置部を介して前記熱圧着部へ、移動経路に沿って移動し、前記1以上の吸気部は、前記筐体における前記移動経路よりも上方の部位に配置され、前記1以上の排気部は、前記筐体における前記移動経路よりも下方の部位に配置されてもよい。 In addition, the substrate moves along a movement path from the substrate supply section to the thermocompression bonding section via the component placement section, and the one or more air intake sections move along the movement path in the housing. The one or more exhaust units may be arranged in an upper portion, and the one or more exhaust units may be arranged in a portion below the movement path in the housing.

これにより、筐体内では基板の上方から下方に流れるダウンフローの気流が生じるため、基板よりも下側のパーティクルが上方に舞い上がることを抑制することができる。その結果、作業が行われる基板の上面にパーティクルが付着することを抑制することができ、実装基板の生産性をさらに向上することができる。 As a result, a downflow air current is generated in the housing from above the substrate to below, so that it is possible to suppress the particles below the substrate from rising upward. As a result, it is possible to prevent particles from adhering to the upper surface of the board on which the work is performed, thereby further improving the productivity of the mounting board.

以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。 Hereinafter, embodiments will be specifically described with reference to the drawings.

なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置および接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本開示を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、同じ構成部材については同じ符号を付している。また、以下の実施の形態において、略平行などの表現を用いている。例えば、略平行は、完全に平行であることを意味するだけでなく、実質的に同じである、すなわち、例えば数%程度の誤差を含むことも意味する。また、略平行は、本開示による効果を奏し得る範囲において平行という意味である。他の「略」を用いた表現についても同様である。 It should be noted that the embodiments described below are all comprehensive or specific examples. Numerical values, shapes, materials, components, arrangement positions and connection forms of components, steps, order of steps, and the like shown in the following embodiments are examples, and are not intended to limit the present disclosure. In addition, among the constituent elements in the following embodiments, constituent elements that are not described in independent claims representing the highest concept will be described as arbitrary constituent elements. Each figure is a schematic diagram and is not necessarily strictly illustrated. Moreover, in each figure, the same code|symbol is attached|subjected about the same component. In addition, expressions such as substantially parallel are used in the following embodiments. For example, "substantially parallel" means not only being completely parallel, but also being substantially the same, that is, including an error of, for example, several percent. Also, "substantially parallel" means "parallel" as long as the effects of the present disclosure can be achieved. The same applies to expressions using other "abbreviations".

(実施の形態)
[部品圧着装置の概略構成]
図1は、本実施の形態における部品圧着装置の概略構成を示す図である。
(Embodiment)
[Schematic configuration of component crimping device]
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a component crimping device according to the present embodiment.

本実施の形態における部品圧着装置1は、液晶パネル、有機EL(Electro-Luminescence)パネルなどの基板3に部品5を実装することによってディスプレイパネルなどの実装基板を製品として生産する装置である。なお、部品5は、例えば駆動回路などの電子部品である。具体的には、部品5は、IC(Integrated Circuit)チップ、TCP(Tape Carrier Package)、COF(Chip on Film)、FPC(Flexible Printed Circuit)などである。 A component crimping apparatus 1 according to the present embodiment is an apparatus for producing mounting substrates such as display panels as products by mounting components 5 on substrates 3 such as liquid crystal panels and organic EL (Electro-Luminescence) panels. Note that the component 5 is an electronic component such as a drive circuit, for example. Specifically, the component 5 is an IC (Integrated Circuit) chip, TCP (Tape Carrier Package), COF (Chip on Film), FPC (Flexible Printed Circuit), or the like.

このような部品圧着装置1は、図1に示すように、貼着部20と、仮圧着部30と、本圧着部40と、部品供給部50とを有する。貼着部20、仮圧着部30および本圧着部40はこの順で連結され、部品供給部50は仮圧着部30に連結されている。 As shown in FIG. 1, such a component pressure-bonding apparatus 1 has a bonding section 20, a temporary pressure-bonding section 30, a final pressure-bonding section 40, and a component supply section 50. As shown in FIG. The sticking section 20 , the temporary pressure-bonding section 30 and the final pressure-bonding section 40 are connected in this order, and the component supply section 50 is connected to the temporary pressure-bonding section 30 .

貼着部20は、他の装置などから搬入された例えば矩形状の基板3を受け取り、その基板3の周縁にある複数の電極部4のそれぞれにACFなどの接着部材を貼着する。そして、貼着部20は、その接着部材が貼着された基板3を、仮圧着部30に搬出する。つまり、本実施の形態における貼着部20は、基板3を仮圧着部30に供給する基板供給部として構成されている。なお、複数の電極部4のそれぞれは、例えば、複数の電極により構成されている。 The adhering unit 20 receives, for example, a rectangular substrate 3 carried in from another device or the like, and adheres an adhesive member such as ACF to each of the plurality of electrode portions 4 on the periphery of the substrate 3 . Then, the sticking section 20 carries out the substrate 3 with the adhesive member stuck thereon to the temporary pressure-bonding section 30 . That is, the sticking section 20 in the present embodiment is configured as a substrate supply section that supplies the substrate 3 to the temporary pressure bonding section 30 . In addition, each of the plurality of electrode portions 4 is configured by, for example, a plurality of electrodes.

部品供給部50は、仮圧着部30に部品5を供給する。 The component supply section 50 supplies the component 5 to the temporary crimping section 30 .

仮圧着部30は、貼着部20から搬出された基板3を受け取り、その基板3の接着部材が貼着されている部位に、部品供給部50から供給された部品5を搭載して仮圧着する。つまり、本実施の形態における仮圧着部30は、基板供給部である貼着部20から供給された基板3に部品5を載置する部品載置部として構成されている。そして、仮圧着部30は、その部品5が仮圧着された基板3を、本圧着部40に搬出する。 The temporary pressure-bonding unit 30 receives the substrate 3 carried out from the bonding unit 20, mounts the component 5 supplied from the component supply unit 50 on the portion of the substrate 3 to which the adhesive member is bonded, and performs temporary pressure-bonding. do. That is, the temporary pressure-bonding section 30 in the present embodiment is configured as a component mounting section for mounting the component 5 on the substrate 3 supplied from the bonding section 20, which is a substrate supply section. Then, the temporary pressure-bonding section 30 carries out the substrate 3 with the component 5 temporarily pressure-bonded thereon to the final pressure-bonding section 40 .

本圧着部40は、仮圧着部30から搬出された基板3を受け取り、その基板3に仮圧着された部品5に対して本圧着を行う。この本圧着は、熱圧着とも呼ばれる。つまり、本実施の形態における本圧着部40は、基板3に載置されている部品5をその基板3に熱圧着する熱圧着部として構成されている。そして、本圧着部40は、その本圧着が行われた基板3を、他の装置などに搬出する。 The final pressure-bonding section 40 receives the substrate 3 carried out from the temporary pressure-bonding section 30 and performs final pressure-bonding on the component 5 temporarily pressure-bonded to the substrate 3 . This final compression bonding is also called thermocompression bonding. That is, the main compression bonding portion 40 in the present embodiment is configured as a thermocompression bonding portion that thermocompression bonds the component 5 placed on the substrate 3 to the substrate 3 . Then, the final pressure-bonding unit 40 carries out the substrate 3 subjected to the final pressure-bonding to another device or the like.

このように、部品圧着装置1は、搬入された基板3の周縁に設けられた複数の電極部4のそれぞれに部品5を実装する部品実装作業を実行し、部品5が実装された基板3を実装基板として搬出する。 In this manner, the component crimping apparatus 1 performs component mounting work for mounting the component 5 on each of the plurality of electrode portions 4 provided on the peripheral edge of the board 3 carried in, and the board 3 on which the component 5 is mounted. Carry out as a mounting board.

[部品圧着装置の詳細構成]
図2は、本実施の形態における部品圧着装置1の平面図である。具体的には、図1は、部品圧着装置1を上方から見た構成を示す。なお、本実施の形態において、基板3の搬送方向、すなわち左右方向をX軸方向と称し、鉛直方向、すなわち上下方向をZ軸方向と称し、X軸方向およびZ軸方向に垂直な方向、すなわち奥行き方向をY軸方向と称す。また、X軸方向の負側および正側は、基板3の搬送方向の上流側および下流側にそれぞれ相当し、Z軸方向の負側および正側は、鉛直方向の下側および上側にそれぞれ相当し、Y軸方向の負側および正側は、奥行き方向の手前側および奥側、または、前側および後側にそれぞれ相当する。
[Detailed configuration of component crimping device]
FIG. 2 is a plan view of the component crimping device 1 according to this embodiment. Specifically, FIG. 1 shows the configuration of the component crimping device 1 viewed from above. In this embodiment, the transport direction of the substrate 3, that is, the horizontal direction, is called the X-axis direction, the vertical direction, that is, the vertical direction is called the Z-axis direction, and the direction perpendicular to the X-axis direction and the Z-axis direction, that is, The depth direction is called the Y-axis direction. The negative and positive sides in the X-axis direction correspond to the upstream and downstream sides in the transport direction of the substrate 3, respectively, and the negative and positive sides in the Z-axis direction correspond to the lower and upper sides in the vertical direction, respectively. The negative side and positive side in the Y-axis direction respectively correspond to the front side and the back side or the front side and the rear side in the depth direction.

貼着部20は、基板3の電極部4に接着部材であるACFを貼着する貼着作業(言い換えると、貼着工程)を行う機能を有する。また、貼着部20は、それぞれ基台1a上に配置されている基板移動機構21と、貼着機構22と、搬送機構62Aとを備える。 The sticking section 20 has a function of performing a sticking operation (in other words, a sticking process) of sticking the ACF, which is an adhesive member, to the electrode section 4 of the substrate 3 . The sticking section 20 also includes a substrate moving mechanism 21, a sticking mechanism 22, and a transport mechanism 62A, which are arranged on the base 1a.

基板移動機構21は、基板3を移動させる機構であって、基板3を保持するステージ23を有する。ステージ23の上面には、複数の吸着孔23aが設けられている。基板移動機構21は、そのステージ23上に載置された基板3をその複数の吸着孔23aによって真空吸着して保持する。そして、基板移動機構21は、基板3を吸着保持するステージ23を水平面内(具体的には、X軸方向およびY軸方向)で移動させ、上下方向(すなわちZ軸方向)に昇降させるとともにZ軸回りに回転させる。 The substrate moving mechanism 21 is a mechanism that moves the substrate 3 and has a stage 23 that holds the substrate 3 . The upper surface of the stage 23 is provided with a plurality of suction holes 23a. The substrate moving mechanism 21 holds the substrate 3 placed on the stage 23 by vacuum suction through the plurality of suction holes 23a. Then, the substrate moving mechanism 21 moves the stage 23 that sucks and holds the substrate 3 in a horizontal plane (specifically, in the X-axis direction and the Y-axis direction), moves it up and down in the vertical direction (that is, in the Z-axis direction), and moves it up and down in the Z-axis direction. Rotate around the axis.

貼着機構22は、基台1bの上方に、X軸方向に並んだ例えば2つの貼着ヘッドを備えている。各貼着ヘッドは、それぞれACFを供給する供給部と、ACFを基板3に貼着するための貼着ツールとを備えている。2つの貼着ヘッドのそれぞれは、基板3上の電極部4に対応する位置にACFを貼着する。 The sticking mechanism 22 includes, for example, two sticking heads arranged in the X-axis direction above the base 1b. Each sticking head has a supply section for supplying ACF and a sticking tool for sticking the ACF to the substrate 3 . Each of the two sticking heads sticks the ACF to the position corresponding to the electrode part 4 on the substrate 3 .

搬送機構62Aは、基台1aにわたってX軸方向に延びた移動ベース61上に配置されている。搬送機構62Aは、基部63と、2つのアームユニット64とを備える。基部63は、移動ベース61上をX軸方向に自在に移動する。2つのアームユニット64は、基部63上にX軸方向に並んで設けられている。アームユニット64は、基板3を上方から真空吸着する。このような搬送機構62Aは、貼着部20のステージ23に載置された基板3を受け取り、仮圧着部30のステージ37に受け渡す。 The transport mechanism 62A is arranged on a moving base 61 extending in the X-axis direction across the base 1a. The transport mechanism 62A has a base 63 and two arm units 64 . The base 63 freely moves on the moving base 61 in the X-axis direction. The two arm units 64 are arranged side by side in the X-axis direction on the base portion 63 . The arm unit 64 vacuum-sucks the substrate 3 from above. The transport mechanism 62</b>A receives the substrate 3 placed on the stage 23 of the bonding section 20 and transfers it to the stage 37 of the temporary pressure bonding section 30 .

部品供給部50は、仮圧着部30の奥側(すなわちY軸方向正側)に設けられている。例えば、部品供給部50は、それぞれ基台1b上に配置されている供給リール51と、打ち抜き部52と、可動ステージ53と、レール54とを備える。供給リール51には、TCPなどのテープが巻き付けられている。このような部品供給部50は、テープから部品5を打ち抜き、その部品5を可動ステージ53に載置して仮圧着部30に順次供給する。 The component supply unit 50 is provided on the back side of the temporary crimping unit 30 (that is, on the positive side in the Y-axis direction). For example, the component supply section 50 includes a supply reel 51, a punching section 52, a movable stage 53, and a rail 54, which are arranged on the base 1b. A tape such as TCP is wound around the supply reel 51 . Such a component supply unit 50 punches out the components 5 from the tape, places the components 5 on the movable stage 53 , and sequentially supplies the components 5 to the temporary pressure bonding unit 30 .

仮圧着部30は、基板3のACFが貼着された領域(すなわち圧着対象部位)に部品5を搭載して仮圧着する仮圧着工程を実行する。仮圧着部30は、それぞれ基台1a上に配置されている基板移動機構31と、部品搭載機構32と、部品移送機構35と、搬送機構62Bとを備える。 The temporary pressure-bonding unit 30 performs a temporary pressure-bonding step of mounting the component 5 on the area (that is, the pressure-bonding target portion) of the substrate 3 to which the ACF is adhered and temporarily pressure-bonding the same. The temporary pressure bonding section 30 includes a substrate moving mechanism 31, a component mounting mechanism 32, a component transfer mechanism 35, and a transport mechanism 62B, which are arranged on the base 1a.

基板移動機構31は、貼着部20の基板移動機構21と同様の構造を有する。具体的には、基板移動機構31は、基板3を保持するステージ37を有する。ステージ37の上面には、複数の吸着孔37aが設けられている。基板移動機構31は、そのステージ37上に載置された基板3をその複数の吸着孔37aによって真空吸着して保持する。また、基板移動機構31は、基板3を吸着保持するステージ37を水平面内で移動させ、上下方向に昇降させるとともにZ軸回りに回転させる機能を備える。基板移動機構31は、そのステージ37の移動および回転によって、吸着保持されている基板3のACFが貼着された領域を、部品搭載機構32のバックアップステージ36の上方に位置させる。 The substrate moving mechanism 31 has the same structure as the substrate moving mechanism 21 of the sticking section 20 . Specifically, the substrate moving mechanism 31 has a stage 37 that holds the substrate 3 . The upper surface of the stage 37 is provided with a plurality of suction holes 37a. The substrate moving mechanism 31 holds the substrate 3 placed on the stage 37 by vacuum suction through the plurality of suction holes 37a. Further, the substrate moving mechanism 31 has a function of moving a stage 37 for sucking and holding the substrate 3 in a horizontal plane, raising and lowering the stage 37 vertically, and rotating the stage 37 around the Z axis. The substrate moving mechanism 31 moves and rotates the stage 37 to position the ACF-adhered area of the substrate 3 held by suction above the backup stage 36 of the component mounting mechanism 32 .

部品移送機構35は、部品供給部50から供給される部品5を、部品搭載機構32に含まれる圧着ツール34側に移動させる。 The component transfer mechanism 35 moves the component 5 supplied from the component supply section 50 to the crimping tool 34 included in the component mounting mechanism 32 .

部品搭載機構32は、基台1b上に設けられ、圧着ツール34とバックアップステージ36とを備える。 The component mounting mechanism 32 is provided on the base 1b and includes a crimping tool 34 and a backup stage 36. As shown in FIG.

バックアップステージ36は、ステージ37に保持されている基板3の縁部を下方から支持する。なお、この縁部には、基板3においてACFが貼着されている圧着対象部位が含まれている。 The backup stage 36 supports the edge of the substrate 3 held by the stage 37 from below. Note that this edge portion includes a portion to be crimped to which the ACF is adhered on the substrate 3 .

圧着ツール34は、部品5を保持し、バックアップステージ36によって支持されている基板3の上面に部品5を圧着する。つまり、圧着ツール34は、基板3の圧着対象部位に部品5を圧着する。具体的には、圧着ツール34は、Z軸方向に昇降し、部品移送機構35によって移動された部品5を上方から吸着(つまり、ピックアップ)する。そして、圧着ツール34は、吸着した部品5をACF上に搭載して基板3ごとバックアップステージ36に押し付けることで、基板3に部品5を仮圧着する。 A crimping tool 34 holds the component 5 and crimps the component 5 onto the top surface of the substrate 3 supported by the backup stage 36 . That is, the crimping tool 34 crimps the component 5 onto the crimping target portion of the substrate 3 . Specifically, the crimping tool 34 ascends and descends in the Z-axis direction and sucks (that is, picks up) the component 5 moved by the component transfer mechanism 35 from above. Then, the crimping tool 34 temporarily crimps the component 5 onto the substrate 3 by mounting the sucked component 5 on the ACF and pressing the component 5 together with the substrate 3 against the backup stage 36 .

搬送機構62Bは、搬送機構62Aと同様の構成を有し、移動ベース61上に配置される。このような搬送機構62Bは、仮圧着部30のステージ37に載置された基板3を受け取り、本圧着部40のステージ49に受け渡す。 The transport mechanism 62B has the same configuration as the transport mechanism 62A and is arranged on the moving base 61. As shown in FIG. Such a transport mechanism 62</b>B receives the substrate 3 placed on the stage 37 of the temporary pressure bonding section 30 and transfers it to the stage 49 of the final pressure bonding section 40 .

本圧着部40は、仮圧着部30によって基板3に仮圧着された部品5を基板3に本圧着(つまり、熱圧着)する本圧着工程(熱圧着工程ともいう)を実行する。こうすることで、基板3に形成された電極部4と部品5とはACFを介して電気的に接続される。このような本圧着部40は、基板移動機構41と、圧着機構42とを備える。 The final compression bonding section 40 performs a final compression bonding process (also referred to as a thermocompression bonding process) in which the component 5 temporarily bonded to the substrate 3 by the temporary compression bonding section 30 is finally bonded (that is, thermocompression bonded) to the substrate 3 . By doing so, the electrode portion 4 formed on the substrate 3 and the component 5 are electrically connected via the ACF. Such a main pressure-bonding unit 40 includes a substrate moving mechanism 41 and a pressure-bonding mechanism 42 .

基板移動機構41は、貼着部20の基板移動機構21と同様の構造を有する。具体的には、基板移動機構41は、ステージ49を有する。ステージ49の上面には、複数の吸着孔49aが設けられている。基板移動機構41は、そのステージ49上に載置された基板3をその複数の吸着孔49aによって真空吸着して保持する。また、基板移動機構41は、基板3を吸着保持するステージ49を水平面内で移動させ、上下方向に昇降させるとともにZ軸回りに回転させる機能を備える。基板移動機構41は、そのステージ49の移動および回転によって、吸着保持されている基板3の部品5が仮圧着された領域を、圧着機構42の圧着支持部46の上方に位置させる。 The substrate moving mechanism 41 has the same structure as the substrate moving mechanism 21 of the sticking section 20 . Specifically, the substrate moving mechanism 41 has a stage 49 . The upper surface of the stage 49 is provided with a plurality of suction holes 49a. The substrate moving mechanism 41 holds the substrate 3 placed on the stage 49 by vacuum suction through the plurality of suction holes 49a. Further, the substrate moving mechanism 41 has a function of moving a stage 49 for sucking and holding the substrate 3 in a horizontal plane, raising and lowering the stage 49 in the vertical direction, and rotating it around the Z axis. The substrate moving mechanism 41 moves and rotates the stage 49 to position the area where the part 5 of the substrate 3 held by suction is temporarily crimped above the crimping support portion 46 of the crimping mechanism 42 .

圧着機構42は、圧着ツール43および圧着支持部46を備え、例えば約200℃に加熱された圧着ツール43で基板3の部品5を圧着支持部46側に押圧する。これにより、部品5は本圧着され、基板3に形成された電極部4と部品5とはACFを介して電気的に接続される。 The crimping mechanism 42 includes a crimping tool 43 and a crimping support 46 , and the crimping tool 43 heated to about 200° C., for example, presses the component 5 of the substrate 3 toward the crimping support 46 . As a result, the component 5 is fully pressure-bonded, and the electrode portion 4 formed on the substrate 3 and the component 5 are electrically connected via the ACF.

搬送機構62Cは、搬送機構62Aと同様の構成を有し、移動ベース61上に配置される。このような搬送機構62Cは、本圧着部40のステージ49に載置された基板3を受け取り、部品圧着装置1の外部にある装置などに受け渡す。 The transport mechanism 62C has the same configuration as the transport mechanism 62A and is arranged on the moving base 61. As shown in FIG. Such a transport mechanism 62</b>C receives the substrate 3 placed on the stage 49 of the main pressure bonding section 40 and transfers it to a device or the like outside the component pressure bonding apparatus 1 .

図3は、部品圧着装置1の外観の一例を示す斜視図である。 FIG. 3 is a perspective view showing an example of the appearance of the component crimping device 1. As shown in FIG.

部品圧着装置1は、筐体7を備える。筐体7は、図2に示す貼着部20、仮圧着部30、本圧着部40、および部品供給部50を収容する。また、このような筐体7には、複数の吸気部71と、複数の排気部72とが取り付けられている。例えば、複数の吸気部71は、筐体7の上部に取り付けられ、複数の排気部72は、筐体7の側部に取り付けられている。具体的には、吸気部71は、筐体7における貼着部20、仮圧着部30、本圧着部40、および部品供給部50のそれぞれの上方の部位に取り付けられている。また、例えば2個の排気部72は、筐体7における貼着部20、仮圧着部30、本圧着部40、および部品供給部50のそれぞれの側方の部位に取り付けられている。 The component crimping device 1 has a housing 7 . The housing 7 accommodates the sticking section 20, the temporary pressure bonding section 30, the main pressure bonding section 40, and the component supply section 50 shown in FIG. Moreover, a plurality of intake units 71 and a plurality of exhaust units 72 are attached to such a housing 7 . For example, the plurality of intake units 71 are attached to the top of the housing 7 and the plurality of exhaust units 72 are attached to the sides of the housing 7 . Specifically, the suction unit 71 is attached to a portion above each of the sticking unit 20 , the temporary pressure bonding unit 30 , the main pressure bonding unit 40 , and the component supply unit 50 in the housing 7 . Further, for example, the two exhaust units 72 are attached to respective side portions of the adhering unit 20 , the temporary pressure bonding unit 30 , the main pressure bonding unit 40 , and the component supply unit 50 in the housing 7 .

吸気部71は、モータと、そのモータによって回動するファンと、例えばHEPA(High Efficiency Particulate Air)フィルタなどのフィルタとを備える。モータによって回動するファンは、部品圧着装置1の周囲、すなわち筐体7の外部にあるエアをその筐体7の内部に供給する。このとき、その外部のエアは、フィルタを通過して筐体7の内部に送り込まれる。その結果、外部のエアに含まれる粉塵などのパーティクルはそのフィルタによって取り除かれる。したがって、その外部のエアは、浄化され、清浄エアとして筐体7の内部に供給される。 The intake unit 71 includes a motor, a fan rotated by the motor, and a filter such as a HEPA (High Efficiency Particulate Air) filter. A fan rotated by a motor supplies air around the component crimping device 1 , that is, outside the housing 7 to the inside of the housing 7 . At this time, the outside air passes through the filter and is sent into the housing 7 . As a result, particles such as dust contained in the outside air are removed by the filter. Therefore, the outside air is purified and supplied to the inside of the housing 7 as clean air.

排気部72は、吸気部71と同様、モータと、そのモータによって回動するファンとを備える。モータによって回動するファンは、筐体7の内部にあるエアをその筐体7の外部に排出する。 Like the intake section 71, the exhaust section 72 includes a motor and a fan rotated by the motor. A fan rotated by a motor discharges the air inside the housing 7 to the outside of the housing 7 .

図4は、吸気部71および排気部72の具体的な配置例を示す図である。なお、図4の(a)は、部品圧着装置1をY軸方向の負側から見た状態を示し、図4の(b)は、部品圧着装置1をZ軸方向の正側から見た状態を示し、図4の(c)は、部品圧着装置1をX軸方向の正側から見た状態を示す。 FIG. 4 is a diagram showing a specific arrangement example of the intake section 71 and the exhaust section 72. As shown in FIG. 4A shows the component crimping device 1 viewed from the negative side in the Y-axis direction, and FIG. 4B shows the component crimping device 1 viewed from the positive side in the Z-axis direction. FIG. 4(c) shows the component crimping device 1 viewed from the positive side in the X-axis direction.

図4の(a)および(c)に示すように、複数の吸気部71のうち、筐体7における貼着部20の上方の部位に取り付けられている吸気部71aは、筐体7内において貼着部20が配置されている第2空間に対してエアを供給する。なお、この第2空間では、貼着部20が基板3の電極部4にACFを貼り付ける作業が行われる。また、複数の吸気部71のうち、筐体7における仮圧着部30の上方の部位に取り付けられている吸気部71bは、筐体7内において仮圧着部30が配置されている第1空間に対してエアを供給する。なお、この第1空間では、仮圧着部30の圧着ツール34が、ACFを介して基板3の電極部4に部品5を仮圧着する作業が行われる。また、複数の吸気部71のうち、筐体7における本圧着部40の上方の部位に取り付けられている吸気部71cは、筐体7内において本圧着部40が配置されている第3空間に対してエアを供給する。なお、この第3空間では、本圧着部40の圧着ツール43が部品5を基板3に対して本圧着する作業が行われる。また、複数の吸気部71のうち、筐体7における部品供給部50の上方の部位に取り付けられている吸気部71dは、筐体7内において部品供給部50が配置されている第4空間に対してエアを供給する。なお、この第4空間では、供給リール51に巻き付けられているテープから、打ち抜き部52が部品5を打ち抜き、その部品5を可動ステージ53に載置して仮圧着部30に供給する作業が行われる。 As shown in (a) and (c) of FIG. Air is supplied to the second space in which the sticking portion 20 is arranged. In this second space, the attaching part 20 attaches the ACF to the electrode part 4 of the substrate 3 . Further, among the plurality of air intake portions 71, the air intake portion 71b attached to the portion above the temporary pressure bonding portion 30 in the housing 7 is located in the first space in the housing 7 where the temporary pressure bonding portion 30 is arranged. supply air to In this first space, the crimping tool 34 of the temporary crimping section 30 temporarily crimps the component 5 to the electrode section 4 of the substrate 3 via the ACF. Among the plurality of air intake portions 71, the air intake portion 71c attached to the portion above the main pressure bonding portion 40 in the housing 7 is located in the third space in the housing 7 where the main pressure bonding portion 40 is arranged. supply air to In this third space, the crimping tool 43 of the final crimping section 40 performs the final crimping operation of the component 5 onto the board 3 . Among the plurality of air intake units 71, the air intake unit 71d attached to a portion above the component supply unit 50 in the housing 7 is located in the fourth space in the housing 7 where the component supply unit 50 is arranged. supply air to In the fourth space, the punching section 52 punches out the component 5 from the tape wound around the supply reel 51, places the component 5 on the movable stage 53, and supplies it to the temporary crimping section 30. will be

一方、図4の(b)に示すように、複数の排気部72のうち、筐体7における貼着部20の側方の部位に取り付けられている4個の排気部72aは、上述の第2空間のエアを筐体7の外部に排出する。なお、その4個の排気部72aのうちの2個の排気部72aは、筐体7における貼着部20よりも手前側の部位に取り付けられ、残りの2個の排気部72aは、筐体7における貼着部20よりも奥側の部位に取り付けられている。複数の排気部72のうち、筐体7における仮圧着部30の側方の部位に取り付けられている2個の排気部72bは、上述の第1空間のエアを筐体7の外部に排出する。なお、その2個の排気部72bは、筐体7における仮圧着部30よりも手前側の部位に取り付けられている。複数の排気部72のうち、筐体7における本圧着部40の側方の部位に取り付けられている4個の排気部72cは、上述の第3空間のエアを筐体7の外部に排出する。なお、その4個の排気部72cのうちの2個の排気部72cは、筐体7における本圧着部40よりも手前側の部位に取り付けられ、残りの2個の排気部72cは、筐体7における本圧着部40よりも奥側の部位に取り付けられている。複数の排気部72のうち、筐体7における部品供給部50の側方の部位に取り付けられている2個の排気部72dは、上述の第4空間のエアを筐体7の外部に排出する。なお、その2個の排気部72dは、筐体7における部品供給部50よりも奥側の部位に取り付けられている。 On the other hand, as shown in FIG. 4B, among the plurality of exhaust units 72, the four exhaust units 72a attached to the side portions of the sticking portion 20 in the housing 7 are the above-described first exhaust units. Air in two spaces is discharged to the outside of the housing 7 . Two of the four exhaust portions 72a are attached to a portion of the housing 7 on the front side of the sticking portion 20, and the remaining two exhaust portions 72a are attached to the housing. 7 is attached to a portion on the back side of the sticking portion 20 . Among the plurality of exhaust units 72, two exhaust units 72b attached to the side portions of the temporary crimping unit 30 in the housing 7 discharge the air in the first space to the outside of the housing 7. . The two exhaust portions 72b are attached to a portion of the housing 7 on the front side of the temporary crimping portion 30. As shown in FIG. Among the plurality of exhaust units 72, four exhaust units 72c attached to the side portions of the main crimping unit 40 in the housing 7 discharge the air in the third space to the outside of the housing 7. . Two of the four exhaust portions 72c are attached to the front side of the main crimping portion 40 in the housing 7, and the remaining two exhaust portions 72c are attached to the housing. 7 on the back side of the main crimping portion 40 . Among the plurality of exhaust units 72, two exhaust units 72d attached to a portion of the housing 7 on the side of the component supply unit 50 discharge the air in the fourth space to the outside of the housing 7. . The two exhaust units 72d are attached to a portion of the housing 7 on the back side of the component supply unit 50. As shown in FIG.

ここで、基板3は、貼着部20から仮圧着部30を介して本圧着部40へ、移動経路に沿って移動する。この移動は、例えば、搬送機構62A、62Bおよび62Cなどによって行われる。また、移動経路は、X軸方向に沿う経路である。そして、本実施の形態では、複数の吸気部71は、筐体7におけるその移動経路よりも上方の部位に配置され、複数の排気部72は、筐体7におけるその移動経路よりも下方の部位に配置される。 Here, the substrate 3 moves along the movement path from the sticking section 20 to the final pressure bonding section 40 via the temporary pressure bonding section 30 . This movement is performed by transport mechanisms 62A, 62B and 62C, for example. Also, the moving path is a path along the X-axis direction. In the present embodiment, the plurality of intake units 71 are arranged above the movement path in the housing 7, and the plurality of exhaust units 72 are arranged in the area below the movement path in the housing 7. placed in

これにより、第1空間、第2空間、第3空間、および第4空間では、基板3の上方から下方に向かってエアが流れるダウンフローの気流が発生する。 As a result, in the first space, the second space, the third space, and the fourth space, a downflow air current is generated in which air flows downward from above the substrate 3 .

図5は、部品圧着装置1の機能構成の一例を示すブロック図である。 FIG. 5 is a block diagram showing an example of the functional configuration of the component crimping device 1. As shown in FIG.

部品圧着装置1は、図5に示すように制御部10を備える。この制御部10は、例えば、貼着部20、仮圧着部30、本圧着部40、および部品供給部50などと例えば制御線によって通信可能に接続され、これらの各部を制御する。なお、部品供給部50は、上述の供給リール51、打ち抜き部52、可動ステージ53、およびレール54などを含む供給機構50aを備え、制御部10によって制御される。制御部10は、コンピュータであってもよい。また、制御部10は、部品圧着装置1に備えられている記憶部に格納されている制御プログラムを実行するCPU(Central Processing Unit)などのプロセッサによって実現されてもよい。なお、その記憶部は、例えばROM(Read Only Memory)またはRAM(Random Access Memory)などのメモリであってもよく、HDD(Hard Disk Drive)などであってもよい。 The component crimping device 1 includes a control section 10 as shown in FIG. The control unit 10 is communicably connected to, for example, the adhering unit 20, the temporary pressure bonding unit 30, the main pressure bonding unit 40, and the component supply unit 50 by control lines, and controls these units. The component supply unit 50 includes a supply mechanism 50a including the supply reel 51, the punching unit 52, the movable stage 53, the rails 54, and the like, and is controlled by the control unit 10. The control unit 10 may be a computer. Also, the control unit 10 may be realized by a processor such as a CPU (Central Processing Unit) that executes a control program stored in a storage unit provided in the component crimping apparatus 1 . The storage unit may be a memory such as a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Random Access Memory), or may be an HDD (Hard Disk Drive).

さらに、制御部10は、貼着部20に対して配置されている吸気部71aおよび4個の排気部72aを制御する。同様に、制御部10は、仮圧着部30に対して配置されている吸気部71bおよび2個の排気部72bを制御する。さらに、制御部10は、本圧着部40に対して配置されている吸気部71cおよび4個の排気部72cを制御し、部品供給部50に対して配置されている吸気部71dおよび2個の排気部72dを制御する。なお、制御部10は、筐体7に収容されていてもよく、筐体7の外部に配置されていてもよい。 Further, the control section 10 controls the intake section 71 a and the four exhaust sections 72 a arranged with respect to the sticking section 20 . Similarly, the control section 10 controls the intake section 71 b and the two exhaust sections 72 b arranged with respect to the temporary pressure bonding section 30 . Further, the control unit 10 controls the intake unit 71c and the four exhaust units 72c arranged for the main pressure bonding unit 40, and controls the intake unit 71d and the two exhaust units 72c arranged for the component supply unit 50. It controls the exhaust section 72d. Note that the control unit 10 may be housed in the housing 7 or may be arranged outside the housing 7 .

本実施の形態では、部品圧着装置1に備えられている複数の吸気部71および複数の排気部72は、筐体7内における気圧を調整する気圧調整機構70として構成されている。 In this embodiment, the plurality of intake units 71 and the plurality of exhaust units 72 provided in the component crimping device 1 are configured as an air pressure adjustment mechanism 70 that adjusts the air pressure inside the housing 7 .

このような気圧調整機構70は、上述のエアの供給および排出によって、筐体7内において仮圧着部30が配置されている第1空間の気圧が、(i)筐体7内において貼着部20が配置されている第2空間の気圧、および、(ii)筐体7内において本圧着部40が配置されている第3空間の気圧よりも高くなるように、筐体7内における気圧を調整する。さらに、気圧調整機構70は、上述のエアの供給および排出によって、筐体7内において部品供給部50が配置されている第4空間の気圧よりも、上述の第1空間の気圧が高くなるように、筐体7内における気圧を調整する。 Such an air pressure adjustment mechanism 70 is configured such that the air pressure in the first space in which the temporary pressure bonding portion 30 is arranged in the housing 7 is adjusted by (i) the adhesion portion in the housing 7 by the supply and discharge of the air described above. 20 is arranged, and (ii) the pressure in the housing 7 is higher than the pressure in the third space where the main pressure-bonding part 40 is arranged. adjust. Further, the atmospheric pressure adjustment mechanism 70 is configured to make the atmospheric pressure in the first space higher than the atmospheric pressure in the fourth space where the component supply section 50 is arranged in the housing 7 by the supply and discharge of the air described above. First, the air pressure inside the housing 7 is adjusted.

[エアの供給および排出と気圧分布]
図6は、エアの供給および排出と筐体7内の気圧分布との一例を示す図である。なお、図6の(a)は、部品圧着装置1をY軸方向の負側から見た場合における、エアの供給および排出の一例を示し、図6の(b)は、その場合における筐体7内の気圧分布の一例を示す。図6の(c)は、部品圧着装置1をX軸方向の正側から見た場合における、エアの供給および排出の一例を示し、図6の(d)は、その場合における筐体7内の気圧分布の一例を示す。
[Air supply and discharge and atmospheric pressure distribution]
FIG. 6 is a diagram showing an example of air supply and discharge and an air pressure distribution within the housing 7. As shown in FIG. Incidentally, FIG. 6(a) shows an example of air supply and discharge when the component crimping device 1 is viewed from the negative side in the Y-axis direction, and FIG. 7 shows an example of air pressure distribution in . (c) of FIG. 6 shows an example of air supply and discharge when the component crimping device 1 is viewed from the positive side in the X-axis direction, and (d) of FIG. shows an example of atmospheric pressure distribution.

例えば、図6の(a)に示すように、吸気部71aは、貼着部20の第2空間にエアを供給し、吸気部71bは、仮圧着部30の第1空間にエアを供給し、吸気部71cは、本圧着部40の第3空間にエアを供給する。このとき、吸気部71bによって供給されるエアの風量は、吸気部71aによって供給されるエアの風量、および、吸気部71cによって供給されるエアの風量よりも大きい。さらに、4個の排気部72aは、貼着部20の第2空間からエアを外部に排出し、2個の排気部72bは、仮圧着部30の第1空間からエアを外部に排出し、4個の排気部72cは、本圧着部40の第3空間からエアを外部に排出する。このとき、排気部72bによって排出されるエアの風量は、排気部72aによって排出されるエアの風量、および、排気部72cによって排出されるエアの風量よりも小さい。 For example, as shown in (a) of FIG. 6 , the air intake portion 71 a supplies air to the second space of the adhering portion 20 , and the air intake portion 71 b supplies air to the first space of the temporary pressure bonding portion 30 . , the intake portion 71 c supplies air to the third space of the main crimping portion 40 . At this time, the volume of air supplied by the intake portion 71b is greater than the volume of air supplied by the intake portion 71a and the volume of air supplied by the intake portion 71c. Further, the four exhaust units 72a exhaust air from the second space of the adhering unit 20 to the outside, the two exhaust units 72b exhaust air from the first space of the temporary pressure bonding unit 30 to the outside, The four exhaust portions 72c exhaust air from the third space of the main crimping portion 40 to the outside. At this time, the volume of air discharged by the exhaust portion 72b is smaller than the volume of air discharged by the exhaust portion 72a and the volume of air discharged by the exhaust portion 72c.

その結果、図6の(b)に示すように、筐体7内において、第1空間の気圧が第2空間および第3空間の気圧よりも高い気圧分布が形成される。なお、図6の(b)に示すグラフの縦軸は気圧を示し、横軸は部品圧着装置1におけるX軸方向の位置を示す。 As a result, as shown in FIG. 6B, an air pressure distribution is formed in the housing 7 in which the air pressure in the first space is higher than the air pressure in the second and third spaces. In the graph shown in FIG. 6(b), the vertical axis indicates atmospheric pressure, and the horizontal axis indicates the position in the X-axis direction in the component crimping apparatus 1. As shown in FIG.

つまり、本実施の形態では、複数の吸気部71は、第1空間に供給されるエアの風量が、第2空間および第3空間のそれぞれに供給されるエアの風量よりも大きくなるように、筐体7の外部のエアを筐体7の内部に吸引する。 In other words, in the present embodiment, the plurality of intake units 71 are configured such that the volume of air supplied to the first space is greater than the volume of air supplied to each of the second space and the third space. Air outside the housing 7 is sucked into the housing 7 .

また、本実施の形態では、複数の排気部72は、第1空間から排出されるエアの風量が、第2空間および第3空間のそれぞれから排出されるエアの風量よりも小さくなるように、筐体7の内部のエアを筐体7の外部に排出する。 Further, in the present embodiment, the plurality of exhaust units 72 are arranged such that the volume of air discharged from the first space is smaller than the volume of air discharged from each of the second space and the third space. The air inside the housing 7 is discharged to the outside of the housing 7. - 特許庁

これにより、第1空間の気圧を第2空間および第3空間の気圧よりも簡単かつ効率的に高くすることができる。そして、第1空間の気圧が第2空間および第3空間の気圧よりも高いため、筐体7内では第1空間から第2空間および第3空間に流れる気流が生じる。その結果、貼着部20および本圧着部40における作業によって第2空間および第3空間でパーティクルが舞い上がったとしても、そのパーティクルが漂って第1空間に進入することを抑制することができる。つまり、第1空間に配置されている仮圧着部30が、基板3に部品5を載置するときに、そのパーティクルが部品5と基板3との間に入り込む可能性を抑制することができる。そのため、パーティクルが基板3と部品5との接合部位に付着することによる実装基板の歩留まりの低下を抑えることができ、実装基板の生産性を向上することができる。言い換えれば、第1空間のクリーン度を向上することができ、実装基板の品質を高めることができる。 Thereby, the air pressure in the first space can be easily and efficiently made higher than the air pressure in the second and third spaces. Since the air pressure in the first space is higher than the air pressure in the second and third spaces, an air current flowing from the first space to the second and third spaces is generated inside the housing 7 . As a result, even if particles rise up in the second space and the third space due to the work in the sticking part 20 and the main pressure-bonding part 40, it is possible to prevent the particles from drifting and entering the first space. That is, when the temporary pressure-bonding portion 30 arranged in the first space places the component 5 on the substrate 3 , the possibility of the particles entering between the component 5 and the substrate 3 can be suppressed. Therefore, it is possible to suppress the decrease in the yield of the mounted substrate due to the particles adhering to the bonding portion between the substrate 3 and the component 5, and improve the productivity of the mounted substrate. In other words, the cleanliness of the first space can be improved, and the quality of the mounting board can be improved.

また、例えば、図6の(c)に示すように、吸気部71bは、仮圧着部30の第1空間にエアを供給し、吸気部71dは、部品供給部50の第4空間にエアを供給する。このとき、吸気部71bによって供給されるエアの風量は、吸気部71dによって供給されるエアの風量よりも大きい。さらに、2個の排気部72bは、仮圧着部30の第1空間からエアを外部に排出し、2個の排気部72dは、部品供給部50の第4空間からエアを外部に排出する。このとき、排気部72bによって排出されるエアの風量は、排気部72dによって排出されるエアの風量よりも小さい。 Further, for example, as shown in (c) of FIG. 6, the air intake portion 71b supplies air to the first space of the temporary pressure bonding portion 30, and the air intake portion 71d supplies air to the fourth space of the component supply portion 50. supply. At this time, the volume of air supplied by the intake portion 71b is greater than the volume of air supplied by the intake portion 71d. Further, the two exhaust portions 72b exhaust air from the first space of the temporary crimping portion 30 to the outside, and the two exhaust portions 72d exhaust air from the fourth space of the component supply portion 50 to the outside. At this time, the volume of air discharged by the exhaust portion 72b is smaller than the volume of air discharged by the exhaust portion 72d.

その結果、図6の(d)に示すように、筐体7内において、第1空間の気圧が第4空間の気圧よりも高い気圧分布が形成される。なお、図6の(d)に示すグラフの縦軸は気圧を示し、横軸は部品圧着装置1におけるY軸方向の位置を示す。 As a result, as shown in (d) of FIG. 6, an air pressure distribution is formed in the housing 7 in which the air pressure in the first space is higher than the air pressure in the fourth space. The vertical axis of the graph shown in (d) of FIG. 6 indicates atmospheric pressure, and the horizontal axis indicates the position in the component crimping apparatus 1 in the Y-axis direction.

つまり、本実施の形態では、複数の吸気部71は、第1空間に供給されるエアの風量が、第4空間に供給されるエアの風量よりも大きくなるように、筐体7の外部のエアを筐体7の内部に吸引する。また、本実施の形態では、複数の排気部72は、第1空間から排出されるエアの風量が、第4空間から排出されるエアの風量よりも小さくなるように、筐体7の内部のエアを筐体7の外部に排出する。 In other words, in the present embodiment, the plurality of air intake units 71 are provided outside the housing 7 so that the volume of air supplied to the first space is greater than the volume of air supplied to the fourth space. Air is sucked into the housing 7 . Further, in the present embodiment, the plurality of exhaust units 72 are arranged inside the housing 7 so that the volume of air discharged from the first space is smaller than the volume of air discharged from the fourth space. Air is discharged outside the housing 7 .

これにより、第1空間の気圧を第4空間の気圧よりも簡単かつ効率的に高くすることができる。そして、第1空間の気圧が第4空間の気圧よりも高いため、筐体7内では第1空間から第4空間に流れる気流が生じる。その結果、部品供給部50における作業によって第4空間でパーティクルが舞い上がったとしても、そのパーティクルが漂って第1空間に進入することを抑制することができる。つまり、第1空間に配置されている仮圧着部30が、基板3に部品5を載置するときに、そのパーティクルが部品5と基板3との間に入り込む可能性を抑制することができる。そのため、パーティクルが基板3と部品5との接合部位に付着することによる実装基板の歩留まりの低下をさらに抑えることができ、実装基板の生産性をさらに向上することができる。 Thereby, the air pressure in the first space can be easily and efficiently made higher than the air pressure in the fourth space. Since the air pressure in the first space is higher than that in the fourth space, an air current is generated within the housing 7 from the first space to the fourth space. As a result, even if particles are soaring in the fourth space due to work in the component supply section 50, it is possible to prevent the particles from floating and entering the first space. That is, when the temporary pressure-bonding portion 30 arranged in the first space places the component 5 on the substrate 3 , the possibility of the particles entering between the component 5 and the substrate 3 can be suppressed. Therefore, it is possible to further suppress the decrease in the yield of the mounted substrate due to the particles adhering to the bonding portion between the substrate 3 and the component 5, and to further improve the productivity of the mounted substrate.

[処理動作]
図7は、本実施の形態における部品圧着装置1の処理動作の一例を示すフローチャートである。
[Processing operation]
FIG. 7 is a flow chart showing an example of the processing operation of the component crimping device 1 according to this embodiment.

まず、部品圧着装置1は、上述の気圧調整機構70を用いて筐体7内の気圧を調整する気圧調整工程を実行する(ステップS1)。つまり、貼着部20と仮圧着部30と本圧着部40と部品供給部50とが筐体7に収容されている場合に、気圧調整工程では、筐体7内において仮圧着部30が配置されている第1空間の気圧が、(i)筐体7内において貼着部20が配置されている第2空間の気圧、(ii)筐体7内において本圧着部40が配置されている第3空間の気圧、および(iii)筐体7内において部品供給部50が配置されている第4空間の気圧、よりも高くなるように、気圧調整機構70が筐体7内における気圧を調整する。 First, the component pressure-bonding apparatus 1 performs an air pressure adjustment step of adjusting the air pressure inside the housing 7 using the air pressure adjustment mechanism 70 described above (step S1). That is, when the adhering portion 20, the temporary pressure-bonding portion 30, the main pressure-bonding portion 40, and the component supply portion 50 are accommodated in the housing 7, the temporary pressure-bonding portion 30 is arranged in the housing 7 in the atmospheric pressure adjustment process. (i) the pressure of the second space in which the adhering portion 20 is arranged in the housing 7; The atmospheric pressure adjustment mechanism 70 adjusts the atmospheric pressure in the housing 7 so that it is higher than the atmospheric pressure in the third space and (iii) the atmospheric pressure in the fourth space where the component supply unit 50 is arranged in the housing 7. do.

次に、部品圧着装置1は、基板供給工程を実行する(ステップS2)。この基板供給工程では、貼着部20が基板3の電極部4にACFを貼り付けて、その基板3を仮圧着部30に供給する。次に、部品圧着装置1は、部品載置工程を実行する(ステップS3)。この部品載置工程では、仮圧着部30が、貼着部20から供給された基板3に部品5を載置する。つまり、仮圧着部30が、基板3の電極部4にACFを介して部品5を仮圧着する。そして、部品圧着装置1は、熱圧着工程を実行する(ステップS4)。この熱圧着工程では、本圧着部40が、基板3に載置されている部品5を基板3に熱圧着する。なお、上述のステップS1~S4の処理は、制御部10による制御によって実現される。 Next, the component crimping device 1 performs a substrate supply step (step S2). In this substrate supply step, the bonding section 20 affixes the ACF to the electrode section 4 of the substrate 3 and supplies the substrate 3 to the temporary pressure bonding section 30 . Next, the component pressure bonding apparatus 1 performs a component placement step (step S3). In this component mounting step, the temporary pressure bonding section 30 mounts the component 5 on the substrate 3 supplied from the bonding section 20 . In other words, the temporary pressure-bonding section 30 temporarily pressure-bonds the component 5 to the electrode section 4 of the substrate 3 via the ACF. Then, the component compression bonding apparatus 1 performs a thermocompression bonding process (step S4). In this thermocompression bonding process, the main compression bonding section 40 thermocompression bonds the component 5 placed on the substrate 3 to the substrate 3 . Note that the processing of steps S1 to S4 described above is realized by control by the control unit 10. FIG.

以上のように、本実施の形態では、筐体内における第1空間の気圧が第2空間、第3空間、および第4空間の気圧よりも高くなるように調整されるため、パーティクルによる実装基板の歩留まりの低下を抑えることができ、実装基板の生産性を向上することができる。 As described above, in the present embodiment, the air pressure in the first space in the housing is adjusted to be higher than the air pressures in the second, third, and fourth spaces. A decrease in yield can be suppressed, and the productivity of mounting substrates can be improved.

また、その筐体7内における気圧の調整は、複数の吸気部71および複数の排気部72によって行われるため、筐体7内における気圧を簡単に調整することができる。なお、本実施の形態における気圧調整機構70は、具体的には4個の吸気部71および12個の排気部72を備えるが、気圧調整機構70は、1つの吸気部71のみを備えてもよく、1つの排気部72のみを備えてもよい。また、気圧調整機構70に備えられる吸気部71の個数は4個に限らず、気圧調整機構70に備えられる排気部72の個数は12個に限らない。つまり、本実施の形態における気圧調整機構70は、筐体7の外部のエアを浄化して筐体7の内部に吸引する1以上の吸気部71と、筐体7の内部のエアを筐体7の外部に排出する1以上の排気部72とのうちの少なくとも1つを有する。このような場合でも、筐体7内における気圧を簡単に調整することができる。そして、その1以上の吸気部71のうちの少なくとも1つの吸気部71bは、図4に示すように、第1空間に接して配置されている。つまり、吸気部71bは、筐体7の外部のエアを第1空間に供給する。この吸気部71bによって第1空間の気圧を簡単に高くすることができる。 In addition, since the air pressure inside the housing 7 is adjusted by the plurality of intake units 71 and the plurality of exhaust units 72, the air pressure inside the housing 7 can be easily adjusted. Although the air pressure adjustment mechanism 70 in the present embodiment specifically includes four intake units 71 and 12 exhaust units 72, the air pressure adjustment mechanism 70 may include only one intake unit 71. Alternatively, only one vent 72 may be provided. Further, the number of intake units 71 provided in the atmospheric pressure adjustment mechanism 70 is not limited to four, and the number of exhaust units 72 provided in the atmospheric pressure adjustment mechanism 70 is not limited to twelve. In other words, the atmospheric pressure adjustment mechanism 70 in the present embodiment includes one or more intake units 71 that purify the air outside the housing 7 and suck it into the housing 7, and the air inside the housing 7. It has at least one of one or more exhaust parts 72 for discharging to the outside of 7 . Even in such a case, the air pressure inside the housing 7 can be easily adjusted. At least one air intake portion 71b of the one or more air intake portions 71 is arranged in contact with the first space as shown in FIG. That is, the intake part 71b supplies the air outside the housing 7 to the first space. The air pressure in the first space can be easily increased by the intake portion 71b.

さらに、本実施の形態における筐体7の内部では、基板3の上方から下方に流れるダウンフローの気流が生じるため、基板3よりも下側のパーティクルが上方に舞い上がることを抑制することができる。その結果、作業が行われる基板3の上面にパーティクルが付着することを抑制することができ、実装基板の生産性をさらに向上することができる。 Furthermore, inside the housing 7 in the present embodiment, a downflow airflow is generated that flows downward from above the substrate 3, so that particles below the substrate 3 can be suppressed from rising upward. As a result, it is possible to prevent particles from adhering to the upper surface of the substrate 3 on which the work is performed, thereby further improving the productivity of mounting substrates.

(変形例1)
上記実施の形態では、図4の(c)に示すように第1空間と第4空間との間は、広く開放されているが、一部のみ開放されて残りの部分は筐体7によって仕切られていてもよい。
(Modification 1)
In the above embodiment, as shown in FIG. 4(c), the space between the first space and the fourth space is wide open, but only a portion is opened and the remaining portion is partitioned by the housing 7. may have been

図8は、上記実施の形態の変形例1における筐体7の一例を示す図である。 FIG. 8 is a diagram showing an example of the housing 7 in Modification 1 of the above embodiment.

例えば、筐体7は、第1筐体7aと、第2筐体7bと、ダクト8とを備えていてもよい。第1筐体7aは、貼着部20、仮圧着部30、および本圧着部40を収容し、第2筐体7bは、部品供給部50を収容する。そして、ダクト8は、部品5を部品供給部50から仮圧着部30に搬送するための通路であって、第1筐体7aと第2筐体7bとの間を接続する。 For example, the housing 7 may include a first housing 7a, a second housing 7b, and a duct 8. The first housing 7 a houses the sticking section 20 , the temporary pressure bonding section 30 and the final pressure bonding section 40 , and the second housing 7 b houses the component supply section 50 . The duct 8 is a passage for conveying the component 5 from the component supplying section 50 to the temporary crimping section 30, and connects the first housing 7a and the second housing 7b.

このような図8に示す筐体7であっても、上記実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。 Even with such a housing 7 shown in FIG. 8, it is possible to achieve the same effects as those of the above-described embodiment.

(変形例2)
上記実施の形態では、第1空間、第2空間、第3空間、および第4空間のそれぞれに対して1以上の吸気部71と1以上の排気部72とを備えたが、これに限定されない。
(Modification 2)
In the above embodiment, one or more intake units 71 and one or more exhaust units 72 are provided for each of the first space, the second space, the third space, and the fourth space, but the present invention is not limited to this. .

図9は、上記実施の形態の変形例2における吸気部71および排気部72の取り付け例を示す図である。なお、図9の(a)は、部品圧着装置1の部品供給部50を除く部分をY軸方向の負側から見た状態を示し、図9の(b)は、部品圧着装置1の部品供給部50を除く部分をZ軸方向の正側から見た状態を示す。 FIG. 9 is a diagram showing an example of attachment of the intake section 71 and the exhaust section 72 in Modification 2 of the above-described embodiment. FIG. 9(a) shows a state in which the part of the component crimping device 1 excluding the component supply unit 50 is viewed from the negative side in the Y-axis direction, and FIG. The state where the part except the supply part 50 is seen from the positive side in the Z-axis direction is shown.

例えば、吸気部71は、図9の(a)に示すように、配管73を介して、筐体7内の第1空間、第2空間、および第3空間にエアを供給してもよい。この場合、配管73における第1空間と接する開口は、配管73における第2空間と接する開口、および第3空間と接する開口よりも広い。したがって、このような場合であっても、第1空間に供給されるエアの風量を、第2空間および第3空間のそれぞれに供給されるエアの風量よりも大きくすることができる。つまり、第1空間の気圧を第2空間および第3空間の気圧よりも高くすることができ、上記実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。 For example, the intake section 71 may supply air to the first space, the second space, and the third space inside the housing 7 via a pipe 73, as shown in FIG. 9(a). In this case, the opening of the pipe 73 contacting the first space is wider than the opening of the pipe 73 contacting the second space and the opening contacting the third space. Therefore, even in such a case, the volume of air supplied to the first space can be made larger than the volume of air supplied to each of the second space and the third space. In other words, the air pressure in the first space can be made higher than the air pressure in the second and third spaces, and effects similar to those of the above embodiment can be achieved.

同様に、例えば、排気部72は、図9の(b)に示すように、配管74を介して、筐体7内の第1空間、第2空間、および第3空間からエアを排出してもよい。この場合、配管74における第1空間と接する開口は、配管74における第2空間と接する開口、および第3空間と接する開口よりも狭い。したがって、このような場合であっても、第1空間から排出されるエアの風量を、第2空間および第3空間のそれぞれから排出されるエアの風量よりも小さくすることができる。つまり、第1空間の気圧を第2空間および第3空間の気圧よりも高くすることができ、上記実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。 Similarly, for example, as shown in FIG. good too. In this case, the opening of the pipe 74 contacting the first space is narrower than the opening of the pipe 74 contacting the second space and the opening contacting the third space. Therefore, even in such a case, the volume of air discharged from the first space can be made smaller than the volume of air discharged from each of the second space and the third space. That is, the air pressure in the first space can be made higher than the air pressure in the second and third spaces, and the same effects as those of the above-described embodiment can be achieved.

以上、一つまたは複数の態様に係る部品圧着装置について、上記実施の形態およびその変形例に基づいて説明したが、本開示は、この実施の形態および変形例に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を上記実施の形態およびその変形例に施したものや、上記実施の形態およびその変形例における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本開示の範囲内に含まれてもよい。 As described above, the component crimping device according to one or more aspects has been described based on the above embodiment and its modification, but the present disclosure is not limited to this embodiment and modification. As long as it does not deviate from the spirit of the present disclosure, various modifications that a person skilled in the art can think of are applied to the above embodiment and its modifications, and a form constructed by combining the components of the above embodiment and its modifications may be included within the scope of this disclosure.

例えば、上記実施の形態およびその変形例では、基板3は液晶パネルであって、その液晶パネルに部品5が仮圧着および本圧着されるが、基板3は液晶パネル以外の基板であってもよい。 For example, in the above embodiment and its modification, the substrate 3 is a liquid crystal panel, and the component 5 is temporarily pressure-bonded and permanently pressure-bonded to the liquid crystal panel, but the substrate 3 may be a substrate other than the liquid crystal panel. .

また、上記実施の形態およびその変形例における部品圧着装置1の部品供給部50は、TCPなどのテープから打ち抜かれた部品5を仮圧着部30に供給するが、トレイなどによってICなどの部品5を仮圧着部30に供給してもよい。 Further, the component supply unit 50 of the component pressure bonding apparatus 1 in the above embodiment and its modification supplies the components 5 punched out from a tape such as TCP to the temporary pressure bonding unit 30. may be supplied to the temporary crimping portion 30 .

また、上記実施の形態およびその変形例における気圧調整機構70は、図6に示すように、筐体7内において気圧分布を形成するが、筐体7内の第1空間、第2空間、第3空間、および第4空間の気圧を陽圧に保つように、エアの供給および排出を行ってもよい。これにより、筐体7に取り付けられているカバーが開けられたとしても、筐体7内が陽圧であるため、筐体7の外部のパーティクルが筐体7内に入り込み難くすることができる。 Further, the atmospheric pressure adjustment mechanism 70 in the above-described embodiment and its modification forms an atmospheric pressure distribution within the housing 7 as shown in FIG. Air may be supplied and exhausted so as to maintain positive pressures in the 3rd space and the 4th space. Thus, even if the cover attached to the housing 7 is opened, the positive pressure inside the housing 7 makes it difficult for particles outside the housing 7 to enter the housing 7 .

また、上記実施の形態およびその変形例では、吸気部71および排気部72のそれぞれがファンを備えているが、何れか一方はファンを備えていなくてもよい。例えば、吸気部71がファンを備えていない場合には、その吸気部71は、例えばHEPAフィルタが配置された吸気孔として構成される。この場合、1つ以上の排気部72のファンによるエアの筐体7外への積極的な排出によって、筐体7の外部のエアは、その吸気孔およびHEPAフィルタを介して筐体7内に供給される。また、排気部72がファンを備えていない場合には、その排気部72は排気孔として構成される。この場合、1つ以上の吸気部71のファンによるエアの筐体7内への積極的な供給によって、筐体7内のエアは、その排気孔を介して筐体7の外部に排出される。 Further, in the above-described embodiment and its modified example, each of the intake section 71 and the exhaust section 72 has a fan, but one of them may not have a fan. For example, when the intake section 71 does not have a fan, the intake section 71 is configured as an intake hole in which a HEPA filter is arranged, for example. In this case, the air outside the housing 7 is forced into the housing 7 through the air intake holes and the HEPA filter by actively discharging air to the outside of the housing 7 by the fans of one or more exhaust units 72. supplied. Further, when the exhaust portion 72 does not have a fan, the exhaust portion 72 is configured as an exhaust hole. In this case, the air in the housing 7 is discharged to the outside of the housing 7 through the exhaust holes by positively supplying air into the housing 7 by the fans of one or more intake units 71. .

また、上記実施の形態およびその変形例では、第1空間、第2空間、および第3空間のそれぞれの間には仕切板は配置されていないが、基板3を移動させるための移動経路を除く範囲で仕切板が配置されていてもよい。 In addition, in the above-described embodiment and its modification, partition plates are not arranged between the first space, the second space, and the third space, except for the movement path for moving the substrate 3. A partition plate may be arranged in the range.

また、制御部10は、1つまたは複数の電子回路で構成されてもよい。1つまたは複数の電子回路は、それぞれ、汎用的な回路でもよいし、専用の回路でもよい。1つまたは複数の電子回路には、例えば、半導体装置、IC(Integrated Circuit)またはLSI(Large Scale Integration)等が含まれてもよい。ICまたはLSIは、1つのチップに集積されてもよく、複数のチップに集積されてもよい。ここでは、ICまたはLSIと呼んでいるが、集積の度合いによって呼び方が変わり、システムLSI、VLSI(Very Large Scale Integration)、または、ULSI(Ultra Large Scale Integration)と呼ばれるかもしれない。また、LSIの製造後にプログラムされるFPGA(Field Programmable Gate Array)も同じ目的で使うことができる。 Also, the control unit 10 may be composed of one or more electronic circuits. Each of the one or more electronic circuits may be a general-purpose circuit or a dedicated circuit. One or more electronic circuits may include, for example, a semiconductor device, an IC (Integrated Circuit), or an LSI (Large Scale Integration). An IC or LSI may be integrated on one chip or may be integrated on a plurality of chips. Although they are called ICs or LSIs here, they may be called system LSIs, VLSIs (Very Large Scale Integrations), or ULSIs (Ultra Large Scale Integrations) depending on the degree of integration. An FPGA (Field Programmable Gate Array) that is programmed after the LSI is manufactured can also be used for the same purpose.

本開示は、例えば液晶ディスプレイなどを生産する部品圧着装置に利用可能である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present disclosure can be used, for example, in a component crimping device for producing liquid crystal displays and the like.

1 部品圧着装置
3 基板
4 電極部
5 部品
7 筐体
7a 第1筐体
7b 第2筐体
8 ダクト
10 制御部
20 貼着部(基板供給部)
21 基板移動機構
22 貼着機構
23 ステージ
23a 吸着孔
30 仮圧着部(部品載置部)
31 基板移動機構
32 部品搭載機構
34 圧着ツール
35 部品移送機構
36 バックアップステージ
37 ステージ
37a 吸着孔
40 本圧着部(熱圧着部)
41 基板移動機構
42 圧着機構
43 圧着ツール
46 圧着支持部
49 ステージ
49a 吸着孔
50 部品供給部
50a 供給機構
51 供給リール
52 打ち抜き部
53 可動ステージ
54 レール
61 移動ベース
62A 搬送機構
62B 搬送機構
62C 搬送機構
63 基部
64 アームユニット
70 気圧調整機構
71、71a、71b、71c、71d 吸気部
72、72a、72b、72c、72d 排気部
73、74 配管
1 component crimping device 3 substrate 4 electrode unit 5 component 7 housing 7a first housing 7b second housing 8 duct 10 control unit 20 pasting unit (substrate supply unit)
21 Substrate moving mechanism 22 Sticking mechanism 23 Stage 23a Suction hole 30 Temporary pressure bonding section (component mounting section)
31 substrate moving mechanism 32 component mounting mechanism 34 pressure bonding tool 35 component transfer mechanism 36 backup stage 37 stage 37a suction hole 40 main pressure bonding portion (thermal compression bonding portion)
41 substrate moving mechanism 42 crimping mechanism 43 crimping tool 46 crimping support portion 49 stage 49a suction hole 50 component supply portion 50a supply mechanism 51 supply reel 52 punching portion 53 movable stage 54 rail 61 movement base 62A transfer mechanism 62B transfer mechanism 62C transfer mechanism 63 Base 64 Arm unit 70 Atmospheric pressure adjustment mechanisms 71, 71a, 71b, 71c, 71d Intake units 72, 72a, 72b, 72c, 72d Exhaust units 73, 74 Piping

Claims (8)

基板を供給する基板供給部と、
供給された前記基板に部品を載置する部品載置部と、
前記基板に載置されている前記部品を前記基板に熱圧着する熱圧着部と、
前記基板供給部、前記部品載置部、および前記熱圧着部を収容する筐体と、
前記筐体内において前記部品載置部が配置されている第1空間の気圧が、(i)前記筐体内において前記基板供給部が配置されている第2空間の気圧、および、(ii)前記筐体内において前記熱圧着部が配置されている第3空間の気圧よりも高くなるように、前記筐体内における気圧を調整する気圧調整機構と、
を備える部品圧着装置。
a substrate supply unit that supplies substrates;
a component placement section for placing a component on the supplied substrate;
a thermocompression bonding unit for thermocompression bonding the component placed on the substrate to the substrate;
a housing that accommodates the substrate supply unit, the component placement unit, and the thermocompression bonding unit;
(i) the air pressure of a second space in the housing where the substrate supply section is arranged; and (ii) the housing. an air pressure adjustment mechanism that adjusts the air pressure in the housing so as to be higher than the air pressure in the third space where the thermocompression bonding part is arranged in the body;
A component crimping device comprising:
さらに、前記部品載置部に前記部品を供給する部品供給部を備え、
前記筐体は、前記部品供給部をさらに収容し、
前記気圧調整機構は、
前記筐体内において前記部品供給部が配置されている第4空間の気圧よりも、前記第1空間の気圧が高くなるように、前記筐体内における気圧を調整する、
請求項1に記載の部品圧着装置。
further comprising a component supply unit that supplies the component to the component placement unit;
The housing further accommodates the component supply unit,
The atmospheric pressure adjustment mechanism is
Adjusting the air pressure in the housing so that the air pressure in the first space is higher than the air pressure in the fourth space where the component supply unit is arranged in the housing;
The component crimping device according to claim 1.
前記気圧調整機構は、前記筐体の外部のエアを浄化して前記筐体の内部に吸引する1以上の吸気部と、前記筐体の内部のエアを前記筐体の外部に排出する1以上の排気部とのうちの少なくとも1つを有する、
請求項1または2に記載の部品圧着装置。
The atmospheric pressure adjustment mechanism includes one or more suction units that purify air outside the housing and suck it into the housing, and one or more that discharge the air inside the housing to the outside of the housing. and at least one of
The component crimping device according to claim 1 or 2.
前記1以上の吸気部のうちの少なくとも1つの吸気部は、前記第1空間に接して配置されている、
請求項3に記載の部品圧着装置。
At least one of the one or more air intake units is arranged in contact with the first space,
The component crimping device according to claim 3.
前記1以上の吸気部は、前記第1空間に供給されるエアの風量が、前記第2空間および前記第3空間のそれぞれに供給されるエアの風量よりも大きくなるように、前記筐体の外部のエアを前記筐体の内部に吸引する、
請求項3または4に記載の部品圧着装置。
The one or more intake units are arranged in the housing such that the volume of air supplied to the first space is greater than the volume of air supplied to each of the second space and the third space. sucking external air into the interior of the housing;
5. The component crimping device according to claim 3 or 4.
前記1以上の排気部は、前記第1空間から排出されるエアの風量が、前記第2空間および前記第3空間のそれぞれから排出されるエアの風量よりも小さくなるように、前記筐体の内部のエアを前記筐体の外部に排出する、
請求項3~5の何れか1項に記載の部品圧着装置。
The one or more exhaust units are arranged in the housing such that the volume of air discharged from the first space is smaller than the volume of air discharged from each of the second space and the third space. discharging internal air to the outside of the housing;
The component crimping device according to any one of claims 3 to 5.
前記基板は、前記基板供給部から前記部品載置部を介して前記熱圧着部へ、移動経路に沿って移動し、
前記1以上の吸気部は、前記筐体における前記移動経路よりも上方の部位に配置され、
前記1以上の排気部は、前記筐体における前記移動経路よりも下方の部位に配置される、
請求項3~6の何れか1項に記載の部品圧着装置。
the substrate moves along a moving path from the substrate supply unit to the thermocompression bonding unit via the component placement unit;
The one or more intake units are arranged at a portion above the movement path in the housing,
The one or more exhaust units are arranged at a portion below the movement path in the housing,
The component crimping device according to any one of claims 3 to 6.
基板供給部と部品載置部と熱圧着部とが筐体に収容されている場合に、前記筐体内において前記部品載置部が配置されている第1空間の気圧が、(i)前記筐体内において前記基板供給部が配置されている第2空間の気圧、および、(ii)前記筐体内において前記熱圧着部が配置されている第3空間の気圧よりも高くなるように、前記筐体内における気圧を調整する気圧調整工程と、
前記基板供給部が前記部品載置部に基板を供給する基板供給工程と、
前記基板供給部から供給された前記基板に前記部品載置部が部品を載置する部品載置工程と、
前記基板に載置されている前記部品を前記熱圧着部が前記基板に熱圧着する熱圧着工程と、
を含む部品圧着方法。
When the substrate supply unit, the component placement unit, and the thermocompression bonding unit are housed in a housing, the air pressure in the first space where the component placement unit is arranged in the housing is (i) the housing. (ii) pressure in a third space in the body where the thermocompression bonding part is arranged; An atmospheric pressure adjustment step of adjusting the atmospheric pressure in
a substrate supply step in which the substrate supply unit supplies the substrate to the component mounting unit;
a component placement step in which the component placement unit places a component on the substrate supplied from the substrate supply unit;
a thermocompression bonding step of thermocompression bonding the component placed on the substrate to the substrate by the thermocompression bonding unit;
including parts crimping method.
JP2021168066A 2021-10-13 2021-10-13 Component compression-bonding device and component compression-bonding method Pending JP2023058214A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021168066A JP2023058214A (en) 2021-10-13 2021-10-13 Component compression-bonding device and component compression-bonding method
CN202211125771.4A CN115963655A (en) 2021-10-13 2022-09-15 Component pressure bonding device and component pressure bonding method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021168066A JP2023058214A (en) 2021-10-13 2021-10-13 Component compression-bonding device and component compression-bonding method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2023058214A true JP2023058214A (en) 2023-04-25

Family

ID=85890174

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021168066A Pending JP2023058214A (en) 2021-10-13 2021-10-13 Component compression-bonding device and component compression-bonding method

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2023058214A (en)
CN (1) CN115963655A (en)

Also Published As

Publication number Publication date
CN115963655A (en) 2023-04-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011077138A (en) Method and apparatus for separating protective tape
JP2014175547A (en) Collet cleaning method and die bonder using the same
JP4371619B2 (en) Reflow device
JP2015073033A (en) Electrode formation device, electrode formation system, and electrode formation method
JP2010249936A (en) Packaging processing work apparatus and packaging processing work method
JP4291393B2 (en) Electronic component mounting equipment
JP5298273B2 (en) Stage and ball mounting apparatus using the same
JP2008251790A (en) Tool for carrying substrate, component packaging method, and component packaging apparatus
JP2023058214A (en) Component compression-bonding device and component compression-bonding method
US7653989B2 (en) Substrate processing apparatus and mounter
JP5422176B2 (en) Holding table and cutting device
TW201742231A (en) Semiconductor device carrier and device handler having the same
JP4152658B2 (en) Electronic component mounting equipment
JP4046076B2 (en) Electronic component mounting device
JP2006024797A (en) Part packaging apparatus
JP4769219B2 (en) Substrate carrying jig, component mounting method, and component mounting apparatus
JP2003340787A (en) Board fixing device and method
JP2022189084A (en) Component crimping system and component crimping method
JP2022167260A (en) Component crimping device and component crimping method
JP2003303854A (en) Chip mounting method and apparatus using it
JP2021168321A (en) Component crimping device and component crimping method
JP5401396B2 (en) Mounting device, thermocompression bonding device and display panel module assembly device
KR102036335B1 (en) Double tapping device of COF film
JP2023038666A (en) Component crimping device and maintenance method of component crimping device
JP2022180237A (en) Component crimping system, and component crimping method