JP2023038553A - retention mechanism - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、保持機構に関する。 The present invention relates to retention mechanisms.
特許文献1に開示のように、被加工物を研削する研削装置は、被加工物を保持機構によって保持して搬送している。保持機構には、複数の吸盤が配置されている。吸盤を吸引源に連通させることによって、吸盤が被加工物を吸引保持している。
As disclosed in
このように、吸盤によって被加工物を吸引保持する際には、被加工物に吸盤を押し付けた後、吸盤を吸引源に連通させる。これにより、吸盤と吸引源とを連通する吸引路内への水の進入を少なくして、吸盤の吸引力が低下することを抑制している。 In this way, when the workpiece is sucked and held by the suction cup, the suction cup is pressed against the workpiece and then communicated with the suction source. This reduces the amount of water entering the suction path that communicates the suction cup and the suction source, thereby suppressing a decrease in the suction force of the suction cup.
しかし、上述の技術では、吸盤を被加工物に押し付けるステップと、吸盤を吸引源に連通させるために吸引路に配設されたバルブを開くステップとが実施される。このため、被加工物を保持するまでの動作に時間がかかる。 However, the technique described above involves pressing the suction cup against the workpiece and opening a valve disposed in the suction path to communicate the suction cup with the suction source. Therefore, it takes time to hold the workpiece.
また、被加工物が円形の場合に吸引源に連通させる吸盤の数と、被加工物が四角形の場合に吸引源に連通させる吸盤の数とが、互いに異なる。このため、被加工物の形状を認識して、認識結果に基づいて複数のバルブの開閉を制御することにより、吸引源に連通させる吸盤の数を変更している。
したがって、本発明の目的は、吸盤で被加工物を吸引保持する保持機構に関して、吸盤によって被加工物を容易に保持することにある。
Also, the number of suction cups communicated with the suction source when the workpiece is circular differs from the number of suction cups communicated with the suction source when the workpiece is square. For this reason, the shape of the workpiece is recognized, and the number of suction cups communicated with the suction source is changed by controlling the opening and closing of a plurality of valves based on the recognition result.
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a holding mechanism for sucking and holding a workpiece with a suction cup, and to easily hold the workpiece with the suction cup.
本発明の保持機構(本保持機構)は、同一面状に複数の吸盤を配置した保持パッドと、被加工物に対して該保持パッドを移動させる移動機構と、を備え、吸引源に連通した該吸盤の吸着面によって被加工物を吸引保持する保持機構であって、該吸盤は、中空箱状の本体と、該本体の該吸着面に形成され該本体の内部と連通する開口と、該内部に配置され該開口を塞ぐための弁と、該弁に連結し該弁が該開口を塞いでいるときに該開口から突出する突出部と、該内部に配置され該弁を該開口に押しつける付勢力を備えるバネと、該内部を吸引源に連通する連通部と、を備え、該バネの付勢力は、該内部が吸引源に連通されているとき該開口の面積を大気圧が押す力よりも大きい力に設定され、該内部を吸引源に連通させ、該移動機構によって、該吸盤の該吸着面を該被加工物に当接させることにより、該突出部を該内部に向かって押し込んで、該開口を吸引源に連通し、該バネの付勢力と該被加工物の重量との合力よりも該吸着面を大気圧が押す力が大きいことで、該被加工物を吸引保持する。
また、本保持機構では、該吸着面は、外周部分のみが被加工物に接触するように形成されていてもよい。
A holding mechanism (main holding mechanism) of the present invention includes a holding pad having a plurality of suction cups arranged on the same plane, and a moving mechanism for moving the holding pad relative to a workpiece, and communicated with a suction source. A holding mechanism for sucking and holding a workpiece by means of a suction surface of the suction cup, the suction cup comprising a hollow box-shaped main body, an opening formed in the suction surface of the main body and communicating with the inside of the main body, and a valve disposed internally for blocking the opening; a projection connected to the valve and projecting from the opening when the valve is blocking the opening; and a protrusion disposed internally to press the valve against the opening. A spring having an urging force and a communication portion communicating the interior with the suction source are provided, and the urging force of the spring is the force of the atmospheric pressure pushing the area of the opening when the interior is in communication with the suction source. The protrusion is pushed toward the interior by connecting the interior to the suction source and bringing the adsorption surface of the suction cup into contact with the workpiece by the movement mechanism. The opening is communicated with a suction source, and the work piece is sucked and held by the force of the atmospheric pressure pushing the attraction surface larger than the combined force of the biasing force of the spring and the weight of the work piece. .
Further, in this holding mechanism, the attraction surface may be formed so that only the outer peripheral portion contacts the workpiece.
本保持機構では、吸盤の吸着面を被加工物に当接させることにより、突出部を弁とともに本体の内部に向かって押し込んで、吸着面の開口を塞いでいる弁を開口から離すことにより、開口を吸引源に連通させて、吸着面に当接されている被加工物に、吸引源の吸引力を作用させている。このように、本保持機構では、吸盤の吸着面を被加工物に当接させることにより、吸盤によって被加工物を容易に保持することができる。 In this holding mechanism, by bringing the suction surface of the suction cup into contact with the workpiece, the protruding portion is pushed toward the inside of the main body together with the valve, and the valve blocking the opening of the suction surface is separated from the opening. The opening is communicated with a suction source, and the suction force of the suction source is applied to the workpiece that is in contact with the suction surface. In this way, in this holding mechanism, the suction cup can easily hold the workpiece by bringing the suction surface of the suction cup into contact with the workpiece.
また、本保持機構では、被加工物に当接していない吸盤では、弁によって開口が塞がれたままとなるため、吸引源が開口に連通されず、吸引源の吸引力が外部に作用することが防止されている。したがって、本保持機構では、保持パッドに被加工物を当接させることにより、被加工物の形状およびサイズに対応する、被加工物を保持するために必要な吸盤のみにおいて、開口を吸引源に連通して、被加工物を吸引保持することが可能である。 In addition, in this holding mechanism, since the opening of the suction cup that is not in contact with the workpiece remains blocked by the valve, the suction source is not communicated with the opening, and the suction force of the suction source acts on the outside. is prevented. Therefore, in this holding mechanism, by bringing the work piece into contact with the holding pad, only the suction cups necessary for holding the work piece, which correspond to the shape and size of the work piece, are used as the suction source. Through communication, it is possible to suck and hold the workpiece.
このため、保持される被加工物の形状およびサイズを認識し、認識結果に応じて使用される吸盤を選択し、選択された吸盤の開口だけを吸引源に連通させるために複数のバルブの開閉を制御する、という動作、および、この動作のための構成が不要となる。したがって、本保持機構では、この点においても、吸盤によって被加工物を容易に保持することが可能となる。 For this reason, it recognizes the shape and size of the workpiece to be held, selects the suction cups to be used according to the recognition results, and opens and closes a plurality of valves to allow only the openings of the selected suction cups to communicate with the suction source. and no configuration for this operation is required. Therefore, in this holding mechanism, the workpiece can be easily held by the suction cups.
また、吸着面が、外周部分のみが被加工物に接触するように形成されている場合、被加工物に作用する吸引源の吸引力が、吸着面および被加工物に形成されている凹凸の影響を受けにくくなる。このため、吸盤によって、被加工物を良好に吸引保持することが可能となる。 Further, in the case where the suction surface is formed so that only the outer peripheral portion is in contact with the workpiece, the suction force of the suction source acting on the workpiece is affected by the unevenness formed on the suction surface and the workpiece. less susceptible to influence. Therefore, the sucker can satisfactorily suck and hold the workpiece.
図1に示すように、本実施形態にかかる研削装置1は、被加工物の一例としての板状ワーク2を研削加工するものである。板状ワーク2は、たとえば、円形の板状ワークである円形ワーク20、および、矩形の板状ワークである矩形ワーク21を含む。
As shown in FIG. 1, a
研削装置1は、第1の装置ベース4と、第1の装置ベース4の後方(+Y方向側)に配置された第2の装置ベース5とを有している。第1の装置ベース4上では、板状ワーク2の搬入出等が行われる。第2の装置ベース5上では、板状ワーク2が加工される。
The
第1の装置ベース4の正面側(-Y方向側)には、第1カセットステージ40および第2カセットステージ45が設けられている。第1カセットステージ40には、アダプタプレート42を介して、加工前の板状ワーク2が収容されているカセット41が載置されている。第2カセットステージ45には、アダプタプレート42を介して、加工後の板状ワーク2が収容される同様のカセット41が載置されている。
A
カセット41は、上下方向に隙間をあけて複数の板状ワーク2を収容する棚を備えている。各棚に一枚ずつ、板状ワーク2が収容されている。
The
カセット41は、+Y方向側を向く開口を有している。この開口の+Y方向側には、破線によって示す仮置き空間190が配置されている。この仮置き空間190には、図2に示すような、被加工物出入れ機構10が備えられている。被加工物出入れ機構10は、カセット41に対して被加工物である板状ワーク2を搬出および搬入するために用いられる。
The
被加工物出入れ機構10は、カセット41に対して板状ワーク2を搬出および搬入するためのベルト移動機構50、および、板状ワーク2が載置(仮置き)される仮置き機構200が配設されている。
The workpiece loading/
ベルト移動機構50は、図2に示すように、ベルトコンベアとしての、第1ベルト移動機構400および第2ベルト移動機構420を有している。
The
カセット41から板状ワーク2を搬出する際には、第1ベルト移動機構400は、カセット41から加工前の板状ワーク2を引き出す。第2ベルト移動機構420は、引き出された板状ワーク2を受け取って、仮置き機構200に向けて搬送し、その仮置きレーン210に載置する。なお、この搬送の際、第2ベルト移動機構420の上方に備えられたカメラ55が、アライメントのために板状ワーク2を撮像してもよい。
When carrying out the plate-
一方、板状ワーク2をカセット41に搬入する際には、第2ベルト移動機構420は、仮置き機構200の仮置きレーン210に載置されている板状ワーク2を引き出す。第1ベルト移動機構400は、引き出された板状ワーク2を受け取って、カセット41内に搬入する。
On the other hand, when carrying the plate-
仮置き機構200は、板状ワーク2が載置される仮置きレーン210、仮置きレーン210の幅を調整するための幅変更部220、および、仮置きレーン210および幅変更部220をX軸方向に沿って移動可能に支持するX軸移動機構230を備えている。仮置き機構200では、幅変更部220およびX軸移動機構230により、板状ワーク2のサイズおよび形状に合わせて、仮置きレーン210の幅および位置を調整することができる。
The
また、図1に示すように、仮置き空間190の+Y方向側における第2の装置ベース5上には、板状ワーク2を保持するためのチャックテーブル30が配置されている。チャックテーブル30は、板状ワーク2を吸引保持する保持面31を備えている。保持面31は、板状ワーク2のうちの円形ワーク20に応じた円形状の円形保持面311と、円形保持面311を囲むように配置された、矩形ワーク21に応じた矩形状の矩形保持面312を含んでいる。保持面31は、図示しない吸引源に連通されて、板状ワーク2を吸引保持することが可能である。
Further, as shown in FIG. 1, a chuck table 30 for holding the plate-
チャックテーブル30は、保持面31によって板状ワーク2を吸引保持した状態で、チャックテーブル30の中心を通りZ軸方向に延在する中心軸を中心として、回転可能である。
The chuck table 30 is rotatable about a central axis that passes through the center of the chuck table 30 and extends in the Z-axis direction, while the holding
また、チャックテーブル30の近傍には、チャックテーブル30の保持面31に保持された板状ワーク2の厚みを測定するための厚み測定器9が備えられている。
A
また、第2の装置ベース5上の後方(+Y方向側)には、コラム14が立設されている。そして、研削装置1は、コラム14の前面に、板状ワーク2を研削する研削機構15、および、研削機構15を研削送りする研削送り機構11を備えている。
A
研削機構15は、研削砥石18を有する研削ホイール17、および、研削ホイール17を回転させるスピンドル16を備えている。
The grinding
研削装置1では、研削送り機構11によって研削機構15が研削送りされるとともに、研削機構15のスピンドル16により研削砥石18が回転される。そして、回転する研削砥石18によって、回転するチャックテーブル30の保持面31に保持された板状ワーク2が研削される。
In the
また、図1において破線によって示す第2搬送空間170には、図3に示す保持機構100が備えられている。
Further, the
保持機構100は、Y軸方向に延びる筐体板101における-X方向側の面に、板状ワーク2を保持する保持部140、および、保持部140を移動させる移動機構110を備えている。
The
移動機構110は、たとえば、保持パッド142を含む保持部140を板状ワーク2に対して移動させるために用いられる。移動機構110は、保持部140をZ軸方向に移動させるためのZ軸移動機構130、ならびに、保持部140およびZ軸移動機構130をY軸方向に移動させるためのY軸移動機構120を備えている。
The moving
Y軸移動機構120は、Y軸方向に延びる一対のガイドレール123、ガイドレール123に載置されたY軸テーブル124、ガイドレール123と平行に延びるボールネジ125、および、ボールネジ125を回転させる駆動モータ126を含んでいる。
The Y-
一対のガイドレール123は、Y軸方向に平行に、筐体板101に配置されている。Y軸テーブル124は、一対のガイドレール123上に、これらのガイドレール123に沿ってスライド可能に設置されている。Y軸テーブル124上には、Z軸移動機構130および保持部140が取り付けられている。
A pair of
ボールネジ125は、Y軸テーブル124に設けられたナット部(図示せず)に螺合されている。駆動モータ126は、ボールネジ125の一端部に連結されており、ボールネジ125を回転駆動する。ボールネジ125が回転駆動されることで、Y軸テーブル124、Z軸移動機構130および保持部140が、ガイドレール123に沿って、Y軸方向に移動する。
The
Z軸移動機構130は、取付板134、Z軸方向に延びるガイドレール131、ガイドレール131上に載置されたZ軸テーブル132、ガイドレール131と平行に延びるボールネジ133、ボールネジ133を回転させる駆動モータ135、および、保持部140を支持するアーム137を備えている。
The Z-
取付板134は、Y軸テーブル124に配置されている。ガイドレール131は、Z軸方向に平行に、取付板134に配置されている。Z軸テーブル132は、ガイドレール131上に、ガイドレール131に沿ってスライド可能に設置されている。Z軸テーブル132上には、アーム137が取り付けられている。
The mounting
ボールネジ133は、Z軸テーブル132に設けられたナット部(図示せず)に螺合されている。駆動モータ135は、ボールネジ133の一端部に連結されており、ボールネジ133を回転駆動する。ボールネジ133が回転駆動されることで、Z軸テーブル132、アーム137、および、アーム137に支持された保持部140が、ガイドレール131に沿って、Z軸方向に移動する。
The
アーム137は、Z軸テーブル132に取り付けられており、X軸方向に沿って延びている。
保持部140は、Z軸移動機構130のアーム137の先端に連結された回転機構138に支持されている。保持部140は、回転機構138を挟むように設けられた一対の保持パッド142を有している。保持パッド142は、板状ワーク2を吸引保持することが可能である。また、回転機構138が回転することによって、一方の保持パッド142と他方の保持パッド142とを反転させることができる。
The holding
このような構成を有する保持機構100は、被加工物出入れ機構10の仮置き機構200に載置された板状ワーク2を、保持部140によって保持し、チャックテーブル30の保持面31に搬送および載置する。
The
また、保持機構100は、板状ワーク2に対する研削機構15による研削加工後、チャックテーブル30の保持面31上の板状ワーク2を保持部140によって保持し、たとえば図示しない中継テーブルに載置する。
After grinding the plate-
中継テーブルに載置された板状ワーク2は、その後、たとえば図示しないロボットによって、図1に示す洗浄機構156に搬送される。
The plate-
なお、中継テーブルおよびロボットを用いることなく、保持機構100によって、洗浄機構156に板状ワーク2を搬送してもよい。
Note that the plate-
洗浄機構156は、板状ワーク2を洗浄するスピンナ洗浄ユニットである。洗浄機構156によって洗浄された板状ワーク2は、たとえば図示しないロボットにより、図2に示した被加工物出入れ機構10の仮置き機構200に載置され、ベルト移動機構50の第1ベルト移動機構400および第2ベルト移動機構420により、カセット41に搬入される。
The
また、図1に示すように、研削装置1は、制御部7を備えている。制御部7は、各種の処理を実行し、研削装置1の各構成要素を統括制御する。
Further, as shown in FIG. 1, the grinding
ここで、保持機構100の保持部140に備えられた保持パッド142の構成について説明する。
Here, the configuration of the
保持パッド142は、図3に示すように、板状の保持プレート145、および、保持プレート145の同一面状に配置された複数(本実施形態に示す例では9個)の吸盤160を有している。
As shown in FIG. 3, the
図4に示すように、本実施形態では、吸盤160は、一例として、1枚の保持プレート145に、3×3の行列状に整列した状態で配置されている(図4では、保持プレート145の図示を省略している)。各吸盤160は、エア配管146およびエアバルブ147を介して、吸引源148に接続されている。
As shown in FIG. 4, in this embodiment, as an example, the
また、吸盤160は、板状ワーク2を吸着するための吸着面162を有している。そして、保持パッド142では、吸盤160が、吸引源148に連通された状態で板状ワーク2に接触することにより、吸盤160の吸着面162によって板状ワーク2を吸引保持することが可能となっている。
The
なお、図4には、保持部140によって保持される板状ワーク2の状態を示している。この図に示すように、本実施形態では、矩形の板状ワーク2である矩形ワーク21は、たとえば、9個の吸盤160によって吸引保持される。一方、矩形ワーク21よりも小さい円形の板状ワーク2である円形ワーク20は、たとえば、四隅の吸盤160を除く5個の吸盤160によって吸引保持される。
Note that FIG. 4 shows the state of the plate-
そして、このような保持パッド142を有する保持機構100は、複数の吸盤160を有する保持パッド142と、板状ワーク2に対して保持パッド142を移動させる移動機構110(図3参照)と、を備え、吸引源148に連通した吸盤160の吸着面162によって、板状ワーク2を吸引保持するように構成されている。
The
ここで、吸盤160の構成について説明する。図5に示すように、吸盤160は、中空箱状の筐体である本体161を有している。本体161における1つの面は、板状ワーク2を吸引保持する吸着面162となっている。また、吸着面162の略中央には、本体161の内部と連通する開口163が形成されている。
Here, the configuration of the
本体161の内部には、開口163を塞ぐための弁164が配置されている。さらに、本体161の内部には、バネの一例としての圧縮バネ166が備えられている。この圧縮バネ166は、圧縮して本体161の内部に配置されていて、自然長に戻ろうとする力により、弁164を開口163に押しつける付勢力を備えている。
A
また、弁164には、突出部165が連結されている。この突出部165は、弁164が圧縮バネ166によって開口163に押しつけられて開口163を塞いでいるときに、開口163から突出するように構成されている。
なお、突出部165は、例えば、円柱状に形成されている。
つまり、突出部165の外径は、開口163の内径より小さく形成されている。
A
In addition, the projecting
That is, the outer diameter of the projecting
また、本体161には、本体161の内部を吸引源148に連通するための連通部167が設けられている。本実施形態では、連通部167は、本体161における吸着面162とは異なる面に設けられている。連通部167は、エア配管146およびエアバルブ147(図4参照)を介して吸引源148に接続されており、エアバルブ147が開放されたときに、本体161の内部を吸引源148に連通するように構成されている。
Further, the
吸盤160では、圧縮バネ166の付勢力は、本体161の内部が吸引源148に連通されているとき、吸着面162に設けられた開口163の面積を大気圧が押す力(図5の矢印301参照)よりも大きい力に設定されている。
このため、吸盤160では、本体161の内部が吸引源148に連通されている場合でも、突出部165に板状ワーク2が接触していないとき、すなわち、圧縮バネ166が大気圧以外の外力を受けていないときには、弁164は、圧縮バネ166によって開口163に押し付けられて開口163を塞ぎ、突出部165が開口163から外部に突出している。
In the
Therefore, in the
なお、付勢力を生むバネは、圧縮バネ166に限定されるものではない。図7および図8に示すように、吸盤160は、圧縮バネ166に代えて、引っ張りバネ180を有していてもよい。この構成では、弁164は、引っ張りバネ180を取り付けるための縁部182を有していてもよい。この構成では、本体161における開口163を形成する板183に弁164を引きつけるように、開口163を形成する板183と弁164との間に引っ張りバネ180を配置して、開口163に弁164を押し付けてもよい。
Note that the spring that produces the biasing force is not limited to the
このような吸盤160を有する保持パッド142を備えた保持機構100では、保持パッド142によって板状ワーク2を保持する場合、まず、制御部7(図1参照)が、エアバルブ147(図4参照)を開放することによって、本体161の内部を吸引源148に連通させる。
In the
次に、制御部7は、図3に示した移動機構110によって、保持パッド142を含む保持部140を移動させて、1つの保持パッド142の吸盤160の吸着面162を、板状ワーク2に、たとえば上方から当接させる。
Next, the
これにより、図6に示すように、板状ワーク2に当接した吸盤160では、吸着面162の開口163から突出していた突出部165が、板状ワーク2に当接し、突出部165に連結されている弁164とともに、圧縮バネ166の付勢力に抗して本体161の内部に向かって押し込まれる。このため、開口163を塞いでいた弁164が開口163から離れて、開口163が吸引源148に連通される。その結果、開口163を含む吸着面162に当接されている板状ワーク2に、吸引源148の吸引力が作用する。
As a result, as shown in FIG. 6 , in the
これにより、図6に矢印302によって示すように、板状ワーク2に、各吸盤160の吸着面162に押し付けられる力、すなわち、各吸盤160の吸着面162を大気圧が押す力が付与される。そして、本実施形態では、この力が、圧縮バネ166の付勢力と板状ワーク2の重量との合力よりも大きくなるように、たとえば吸引源148の吸引力が設定されている。したがって、吸盤160を含む保持パッド142が、板状ワーク2を吸引保持することができる。
なお、板状ワーク2に付与される力(板状ワーク2を吸着面162に押し付ける力)である吸着面162を大気圧が押す力は、吸着面162における板状ワーク2との接触部分に囲まれている部分の面積を、大気圧が押す力となる。したがって、図6に示した構成、すなわち、吸着面162の一部である開口163を除く吸着面162の全面が板状ワーク2に接触する構成では、板状ワーク2に付与される力は、開口163の面積を大気圧が押す力となる。
As a result, as indicated by
The force applied to the plate-like work 2 (the force pressing the plate-
ここで、図4に示すように、本実施形態では、保持パッド142によって、矩形の板状ワーク2である矩形ワーク21を保持する場合、保持パッド142の全9個の吸盤160が矩形ワーク21に当接する。そして、これら9個の吸盤160において、矩形ワーク21によって突出部165が押し込まれて、矩形ワーク21に吸引力が作用する。これにより、保持パッド142では、これら9個の吸盤160によって、矩形ワーク21を保持する。
Here, as shown in FIG. 4, in the present embodiment, when holding a
一方、保持パッド142によって、円形の板状ワーク2である円形ワーク20を保持する場合、図4に示すように、保持パッド142の9個の吸盤160のうちの四隅の吸盤160を除く5個の吸盤160が、円形ワーク20に当接する。そして、これら5個の吸盤160において、円形ワーク20によって突出部165が押し込まれて、円形ワーク20に吸引力が作用する。これにより、保持パッド142では、これら5個の吸盤160によって、円形ワーク20を保持する。
On the other hand, when the
なお、円形ワーク20を保持する場合、四隅の4つの吸盤160では、突出部165に板状ワーク2が当接していないため、図5に示すように、弁164が、圧縮バネ166によって開口163に押し付けられて開口163を塞いでいる。このため、本体161の内部が吸引源148に連通されている場合でも、吸引源148の吸引力が外部に作用すること、たとえば、吸引源148の吸引力により開口163から大気を吸い込んでしまうことが防止されている。
When the
以上のように、保持機構100では、吸盤160の吸着面162を板状ワーク2に当接させることにより、突出部165を弁164とともに本体161の内部に向かって押し込んで、開口163を塞いでいる弁164を開口163から離すことにより、開口163を吸引源148に連通させて、吸着面162に当接されている板状ワーク2に、吸引源148の吸引力を作用させている。このように、本実施形態では、吸盤160の吸着面162を板状ワーク2に当接させることにより、吸盤160によって容易に板状ワーク2を保持することができる。
As described above, in the
また、本実施形態では、板状ワーク2に当接していない吸盤160では、弁164によって開口163が塞がれたままとなるため、吸引源148が開口163に連通されず、吸引源148の吸引力が外部に作用することが防止されている。したがって、本実施形態では、保持パッド142に板状ワーク2を当接させることにより、板状ワーク2の形状およびサイズに対応する、板状ワーク2を保持するために必要な吸盤160のみにおいて、開口163を吸引源148に連通して、板状ワーク2を吸引保持することが可能である。
In addition, in the present embodiment, since the
このため、本実施形態では、保持される板状ワークの形状およびサイズを認識し、認識結果に応じて使用される吸盤を選択し、選択された吸盤の開口だけを吸引源に連通させるために複数のバルブの開閉を制御する、という動作、および、この動作のための構成が不要となる。したがって、本実施形態では、この点においても、吸盤160によって板状ワーク2を容易に保持することが可能となる。
For this reason, in this embodiment, in order to recognize the shape and size of the plate-shaped workpiece to be held, select the suction cup to be used according to the recognition result, and connect only the opening of the selected suction cup to the suction source. The operation of controlling the opening and closing of multiple valves and the configuration for this operation are eliminated. Therefore, in this embodiment, the plate-
なお、吸盤160は、バネとして、図5および図6に示した圧縮バネ166に代えて、図9および図10に示すような空気バネ169を有していてもよい。空気バネ169は、たとえば、ゴムあるいは布からなる袋状の部材であり、圧縮空気を含んでいる。
The
この構成においても、突出部165に板状ワーク2が接触していないときには、図9に示すように、弁164は、空気バネ169によって開口163に押し付けられて開口163を塞ぎ、突出部165が開口163から外部に突出している。
9, the
そして、図10に示すように、吸盤160の吸着面162を板状ワーク2に当接させることにより、空気バネ169の付勢力に抗して、突出部165および弁164を本体161の内部に向かって押し込んで、開口163を吸引源148に連通させることができる。これにより、吸着面162に当接されている板状ワーク2に吸引源148の吸引力を作用させて、吸着面162によって板状ワーク2を吸引保持することが可能となる。
Then, as shown in FIG. 10, by bringing the
また、吸盤160では、吸着面162は、外周部分のみが板状ワーク2に接触するように形成されていてもよい。
たとえば、図11に示すように、吸着面162は、外周部分から内側に向かって凹むように傾斜する傾斜面として構成されていてもよい。
あるいは、図12に示すように、吸着面162は、その外周部分に、板状ワーク2に当接する環状の突起部168を有していてもよい。
Also, in the
For example, as shown in FIG. 11, the
Alternatively, as shown in FIG. 12, the attracting
これらの構成でも、矢印303(図11参照)および矢印304(図12参照)によって示すように、板状ワーク2に、各吸盤160の吸着面162を大気圧が押す力が付与され、この力が、圧縮バネ166の付勢力と板状ワーク2の重量との合力よりも大きくなっているため、吸盤160を含む保持パッド142が、板状ワーク2を吸引保持することができる。
なお、これらの構成では、板状ワーク2に付与される力は、吸着面162における板状ワーク2に当接している外周部分の内側の面積を大気圧が押す力となる。
11 and 304 (see FIG. 12). is larger than the resultant force of the biasing force of the
In these configurations, the force applied to the plate-
このような構成によれば、吸着面162の外周部分のみが板状ワーク2に当接されるため、開口163を介して板状ワーク2に作用する吸引源148の吸引力が、吸着面162および板状ワーク2に形成されている凹凸の影響を受けにくくなる。このため、吸盤160によって、板状ワーク2を良好に吸引保持することが可能となる。
With such a configuration, since only the outer peripheral portion of the
1:研削装置、2:板状ワーク、
4:第1の装置ベース、5:第2の装置ベース、7:制御部、
10:被加工物出入れ機構、11:研削送り機構、14:コラム、9:厚み測定器、
15:研削機構、16:スピンドル、17:研削ホイール、18:研削砥石、
20:円形ワーク、21:矩形ワーク、
30:チャックテーブル、31:保持面、40:第1カセットステージ、
41:カセット、42:アダプタプレート、45:第2カセットステージ、
50:ベルト移動機構、55:カメラ、100:保持機構、101:筐体板、
110:移動機構、120:Y軸移動機構、123:ガイドレール、
124:Y軸テーブル、125:ボールネジ、126:駆動モータ、
130:Z軸移動機構、131:ガイドレール、132:Z軸テーブル、
133:ボールネジ、134:取付板、135:駆動モータ、137:アーム、
138:回転機構、140:保持部、142:保持パッド、
145:保持プレート、146:エア配管、147:エアバルブ、
148:吸引源、156:洗浄機構、160:吸盤、161:本体、
162:吸着面、163:開口、164:弁、165:突出部、
166:圧縮バネ、167:連通部、168:突起部、169:空気バネ、
170:第2搬送空間、190:仮置き空間、200:仮置き機構、
210:仮置きレーン、220:幅変更部、230:X軸移動機構、
301:矢印、302:矢印、311:円形保持面、312:矩形保持面、
400:第1ベルト移動機構、420:第2ベルト移動機構
1: Grinding device, 2: Plate-like work,
4: first device base, 5: second device base, 7: control unit,
10: Workpiece loading/unloading mechanism, 11: Grinding feeding mechanism, 14: Column, 9: Thickness measuring instrument,
15: grinding mechanism, 16: spindle, 17: grinding wheel, 18: grinding wheel,
20: circular work, 21: rectangular work,
30: chuck table, 31: holding surface, 40: first cassette stage,
41: cassette, 42: adapter plate, 45: second cassette stage,
50: belt movement mechanism, 55: camera, 100: holding mechanism, 101: housing plate,
110: moving mechanism, 120: Y-axis moving mechanism, 123: guide rail,
124: Y-axis table, 125: ball screw, 126: drive motor,
130: Z-axis movement mechanism, 131: Guide rail, 132: Z-axis table,
133: ball screw, 134: mounting plate, 135: drive motor, 137: arm,
138: rotation mechanism, 140: holding part, 142: holding pad,
145: holding plate, 146: air piping, 147: air valve,
148: suction source, 156: cleaning mechanism, 160: sucker, 161: main body,
162: adsorption surface, 163: opening, 164: valve, 165: protrusion,
166: compression spring, 167: communicating portion, 168: protrusion, 169: air spring,
170: second transfer space, 190: temporary placement space, 200: temporary placement mechanism,
210: temporary placement lane, 220: width changing section, 230: X-axis movement mechanism,
301: Arrow 302: Arrow 311: Circular holding surface 312: Rectangular holding surface
400: first belt movement mechanism, 420: second belt movement mechanism
Claims (2)
該吸盤は、
中空箱状の本体と、該本体の該吸着面に形成され該本体の内部と連通する開口と、
該内部に配置され該開口を塞ぐための弁と、
該弁に連結し該弁が該開口を塞いでいるときに該開口から突出する突出部と、
該内部に配置され該弁を該開口に押しつける付勢力を備えるバネと、
該内部を吸引源に連通する連通部と、を備え、
該バネの付勢力は、該内部が吸引源に連通されているとき該開口の面積を大気圧が押す力よりも大きい力に設定され、
該内部を吸引源に連通させ、該移動機構によって、該吸盤の該吸着面を該被加工物に当接させることにより、該突出部を該内部に向かって押し込んで、該開口を吸引源に連通し、該バネの付勢力と該被加工物の重量との合力よりも該吸着面を大気圧が押す力が大きいことで、該被加工物を吸引保持する、
保持機構。 A holding pad having a plurality of suction cups arranged on the same plane and a moving mechanism for moving the holding pad relative to the workpiece, wherein the suction surface of the suction cup communicated with a suction source sucks and holds the workpiece. A holding mechanism for
The sucker is
a hollow box-shaped main body; an opening formed in the adsorption surface of the main body and communicating with the inside of the main body;
a valve disposed within the interior for blocking the opening;
a protrusion connected to the valve and protruding from the opening when the valve is blocking the opening;
a spring disposed within the interior and having a biasing force urging the valve against the opening;
a communicating portion that communicates the inside with a suction source,
The biasing force of the spring is set to a force greater than the force of atmospheric pressure pushing the area of the opening when the interior is in communication with the suction source,
The interior is communicated with a suction source, and the suction surface of the suction cup is brought into contact with the workpiece by the moving mechanism, thereby pushing the protruding portion toward the interior and connecting the opening to the suction source. Communicate, and attract and hold the work piece because the force of the atmospheric pressure pushing the attraction surface is greater than the resultant force of the biasing force of the spring and the weight of the work piece;
retention mechanism.
請求項1記載の保持機構。 The attraction surface is formed so that only the outer peripheral portion contacts the workpiece,
2. The retention mechanism of claim 1.
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Family Applications (1)
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2021
- 2021-09-07 JP JP2021145345A patent/JP2023038553A/en active Pending
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