JP2023030878A - Liquid treatment apparatus and manufacturing method of liquid treatment apparatus - Google Patents

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貴章 田中
Takaaki Tanaka
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Abstract

To provide a liquid treatment apparatus capable of suppressing scattering of a liquid to surroundings of the liquid treatment apparatus even when a protective pipe is damaged, and a manufacturing method of the liquid treatment apparatus.SOLUTION: A liquid treatment apparatus of the present embodiment is a liquid treatment apparatus which irradiates a liquid with an ultraviolet ray. The liquid treatment apparatus includes: a container having a bottom plate provided at a lower side end part and a ceiling plate provided at an upper side end part, and having a space to which the liquid is supplied provided therein; at least one protective pipe having a cylindrical shape and extending between the ceiling plate and the bottom plate; and at least one discharge lamp provided in an inside of the protective pipe, extending between the ceiling plate and the bottom plate, and capable of radiating an ultraviolet ray. An end part on the bottom plate side of the protective pipe is opened.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明の実施形態は、液体処理装置、および液体処理装置の製造方法に関する。 Embodiments of the present invention relate to a liquid treatment apparatus and a method of manufacturing a liquid treatment apparatus.

水などの液体に紫外線を照射して、液体に含まれている有機物を除去したり、液体を殺菌したりする液体処理装置がある。紫外線による処理を行えば、熱や薬品などによる処理に比べて、処理の対象となる液体に含まれている水をほとんど変質させることがなく、また、多種類の不純物、菌、ウイルスなどの処理に対応することができる。 2. Description of the Related Art There are liquid treatment apparatuses that irradiate a liquid such as water with ultraviolet rays to remove organic substances contained in the liquid or to sterilize the liquid. Ultraviolet treatment does not change the quality of the water contained in the liquid to be treated, compared to treatment with heat or chemicals. can correspond to

そのため、紫外線を水に照射する技術は、例えば、半導体装置などの電子部品の洗浄工程、飲料水の殺菌や不純物の除去工程、商業用水（漁業用水、農業用水、食品工場用水など）の殺菌や不純物の除去工程、各種工業用水の殺菌や不純物の除去工程など、幅広い技術分野において用いられている。 For this reason, the technology of irradiating water with ultraviolet light is used, for example, in the cleaning process of electronic parts such as semiconductor devices, in the process of sterilizing drinking water and removing impurities, in commercial water (fishery water, agricultural water, food factory water, etc.) sterilization and It is used in a wide range of technical fields, such as impurity removal processes, various industrial water sterilization processes, and impurity removal processes.

紫外線を液体に照射する液体処理装置としては、筒状の容器、容器の内部を軸方向に延びる保護管、および、保護管の内部に設けられた放電ランプを有するものが提案されている。この様な液体処理装置においては、保護管と、容器の内壁との間の空間が、処理を行う液体が流れる流路となる。また、保護管は紫外線を透過させる必要があるため、石英ガラスなどから形成されている。保護管が設けられていれば、容器の内部を流れる液体から放電ランプを隔離することができる。 As a liquid treatment apparatus for irradiating a liquid with ultraviolet rays, one having a cylindrical container, a protective tube extending in the axial direction inside the container, and a discharge lamp provided inside the protective tube has been proposed. In such a liquid treatment apparatus, the space between the protective tube and the inner wall of the container serves as a channel through which the liquid to be treated flows. In addition, since the protective tube needs to transmit ultraviolet rays, it is made of quartz glass or the like. If a protective tube is provided, the discharge lamp can be isolated from the liquid flowing inside the vessel.

ここで、液体処理装置が立てて設けられる場合がある。液体処理装置が立てて設けられる場合には、放電ランプは、保護管の上側の端部の開口から保護管の内部に挿入され、放電ランプの配線が保護管の上側の端部の開口から外部に引き出される。この様な液体処理装置において、保護管が破損すると、保護管の内部に侵入した液体が保護管の上側の端部の開口から外部に噴出する。また、破損した保護管の破片が液体とともに保護管の上側の端部の開口から外部に排出される場合もある。 Here, the liquid treatment device may be installed upright. When the liquid treatment apparatus is installed vertically, the discharge lamp is inserted into the protective tube from the opening at the upper end of the protective tube, and the wiring of the discharge lamp is connected to the outside from the opening at the upper end of the protective tube. pulled out to In such a liquid treatment apparatus, when the protective tube is damaged, the liquid that has entered the protective tube spouts out from the opening at the upper end of the protective tube. Fragments of the damaged protective tube may also be discharged to the outside from the opening at the upper end of the protective tube together with the liquid.

高い位置にある保護管の上側の端部の開口から液体や破片が排出されると、液体処理装置の周辺の広い範囲に液体や破片が飛び散るおそれがある。
そこで、保護管が破損した場合であっても、液体処理装置の周辺に液体が飛び散るのを抑制することができる技術の開発が望まれていた。 If the liquid or debris is discharged from the opening at the upper end of the protective tube located at a high position, the liquid or debris may scatter over a wide area around the liquid processing apparatus.
Therefore, it has been desired to develop a technique capable of suppressing splashing of the liquid around the liquid processing apparatus even when the protective tube is damaged.

特開２００３－１４４９１２号公報JP 2003-144912 A

本発明が解決しようとする課題は、保護管が破損した場合であっても、液体処理装置の周辺に液体が飛び散るのを抑制することができる液体処理装置、および液体処理装置の製造方法を提供することである。 The problem to be solved by the present invention is to provide a liquid treatment apparatus capable of suppressing splashing of liquid around the liquid treatment apparatus even when a protective tube is damaged, and a method of manufacturing the liquid treatment apparatus. It is to be.

実施形態に係る液体処理装置は、液体に紫外線を照射する液体処理装置である。液体処理装置は、下側の端部に設けられた底板と、上側の端部に設けられた天井板と、を有し、前記液体が供給される空間を内部に有する容器と；筒状を呈し、前記天井板と、前記底板と、の間を延びる少なくとも１つの保護管と；前記保護管の内部に設けられ、前記天井板と、前記底板と、の間を延び、紫外線を照射可能な少なくとも１つの放電ランプと；を具備している。前記保護管の前記底板側の端部は開口している。 A liquid processing apparatus according to an embodiment is a liquid processing apparatus that irradiates a liquid with ultraviolet rays. The liquid processing apparatus has a bottom plate provided at the lower end and a ceiling plate provided at the upper end, and a container having a space inside to which the liquid is supplied; at least one protective tube extending between the ceiling plate and the bottom plate; provided inside the protective tube, extending between the ceiling plate and the bottom plate, and capable of being irradiated with ultraviolet rays at least one discharge lamp; The end of the protective tube on the side of the bottom plate is open.

本発明の実施形態によれば、保護管が破損した場合であっても、液体処理装置の周辺に液体が飛び散るのを抑制することができる液体処理装置、および液体処理装置の製造方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to the embodiment of the present invention, there is provided a liquid treatment apparatus capable of suppressing splashing of liquid around the liquid treatment apparatus even when a protective tube is damaged, and a method of manufacturing the liquid treatment apparatus. be able to.

本実施の形態に係る液体処理装置を例示するための模式断面図である。1 is a schematic cross-sectional view for illustrating a liquid treatment apparatus according to an embodiment; FIG. 比較例に係る保護管が破損した場合を例示するための模式断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view illustrating a case where a protection tube according to a comparative example is damaged; 本実施の形態に係る保護管が破損した場合を例示するための模式断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view for illustrating a case where the protective tube according to the present embodiment is damaged; 他の実施形態に係る液体処理装置に設けられた保護管が破損した場合を例示するための模式断面図である。FIG. 10 is a schematic cross-sectional view illustrating a case where a protection tube provided in a liquid treatment apparatus according to another embodiment is damaged; 他の実施形態に係る液体処理装置を例示するための模式部分断面図である。It is a schematic partial cross-sectional view for illustrating a liquid treatment apparatus according to another embodiment.

以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図１は、本実施の形態に係る液体処理装置１００を例示するための模式断面図である。 なお、図１中の「上」は、重力方向上側を表している。「下」は、重力方向下側を表している。
液体処理装置１００は、処理の対象となる液体３００に紫外線を照射する。液体３００は、例えば、水を含む液体とすることができる。 Hereinafter, embodiments will be illustrated with reference to the drawings. In addition, in each drawing, the same reference numerals are given to the same constituent elements, and detailed description thereof will be omitted as appropriate.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view for illustrating a liquid treatment apparatus 100 according to this embodiment. In addition, "upper" in FIG. 1 represents the gravity direction upper side. "Lower" represents the lower side in the direction of gravity.
The liquid processing apparatus 100 irradiates a liquid 300 to be processed with ultraviolet rays. Liquid 300 can be, for example, a liquid containing water.

図１に示すように、液体処理装置１００は、例えば、放電ランプ１、保護管１０１、蓋１０２ａ（第１の蓋の一例に相当する）、容器１０３、ホルダ１０４、シール部材１０５、供給部１０６、および排出部１０７を有する。 As shown in FIG. 1, the liquid treatment apparatus 100 includes, for example, a discharge lamp 1, a protective tube 101, a lid 102a (corresponding to an example of a first lid), a container 103, a holder 104, a sealing member 105, and a supply section 106. , and an ejection portion 107 .

まず、放電ランプ１について例示をする。
放電ランプ１は、紫外線を照射する放電ランプである。放電ランプ１は、例えば、低圧水銀ランプやバリア放電ランプなどとすることができる。低圧水銀ランプは、ピーク波長が２５４ｎｍの紫外線を照射するランプとしたり、ピーク波長が１８５ｎｍ及び２５４ｎｍの紫外線を照射するランプとしたりすることができる。また、放電ランプ１は、例えば、ピーク波長が１７２ｎｍの紫外線を照射するキセノンエキシマランプ等とすることもできる。 First, the discharge lamp 1 will be illustrated.
The discharge lamp 1 is a discharge lamp that emits ultraviolet rays. The discharge lamp 1 can be, for example, a low-pressure mercury lamp, a barrier discharge lamp, or the like. The low-pressure mercury lamp can be a lamp that emits ultraviolet rays with a peak wavelength of 254 nm, or a lamp that emits ultraviolet rays with peak wavelengths of 185 nm and 254 nm. Also, the discharge lamp 1 may be, for example, a xenon excimer lamp or the like that emits ultraviolet rays having a peak wavelength of 172 nm.

放電ランプ１は、少なくとも１つ設けることができる。図１に例示をした液体処理装置１００には、複数の放電ランプ１が設けられている。放電ランプ１は、保護管１０１の内部に設けられ、容器１０３の天井板１０３ｂと、底板１０３ａと、の間を延びている。 At least one discharge lamp 1 can be provided. A liquid treatment apparatus 100 illustrated in FIG. 1 is provided with a plurality of discharge lamps 1 . The discharge lamp 1 is provided inside the protective tube 101 and extends between the ceiling plate 103b and the bottom plate 103a of the container 103 .

以下においては、一例として、放電ランプ１が、低圧水銀ランプである場合を説明する。 放電ランプ１は、例えば、発光管２、導電部３、内部電極４、ホルダ５、リード線６、およびリード線７を有する。 In the following, as an example, the case where the discharge lamp 1 is a low-pressure mercury lamp will be described. The discharge lamp 1 has, for example, an arc tube 2, a conductive portion 3, an internal electrode 4, a holder 5, a lead wire 6, and a lead wire 7.

放電ランプ１の発光管２は、筒状を呈し、管径に比べて全長（管軸方向の長さ）が長い形態を有する。発光管２は、例えば、円筒管とすることができる。発光管２の外径は、例えば、１０ｍｍ以上、２５ｍｍ以下とすることができる。発光管２の肉厚は、例えば、１ｍｍ程度とすることができる。 The arc tube 2 of the discharge lamp 1 has a tubular shape, and has a shape in which the overall length (the length in the tube axis direction) is longer than the tube diameter. The arc tube 2 can be, for example, a cylindrical tube. The outer diameter of the arc tube 2 can be, for example, 10 mm or more and 25 mm or less. The thickness of the arc tube 2 can be set to, for example, about 1 mm.

発光管２の長さは、液体処理装置１００の仕様などに応じて適宜変更することができる。例えば、放電ランプ１の発光長は、後述する容器１０３の底板１０３ａと天井板１０３ｂとの間の距離よりも長くすることができる。 The length of the arc tube 2 can be appropriately changed according to the specifications of the liquid treatment apparatus 100 and the like. For example, the emission length of the discharge lamp 1 can be made longer than the distance between the bottom plate 103a and ceiling plate 103b of the container 103, which will be described later.

発光管２の、管軸方向における両側の端部のそれぞれには、封止部２ａが設けられている。封止部２ａを設けることで、発光管２の内部を気密に封止することができる。封止部２ａは、例えば、ピンチシール法やシュリンクシール法を用いて形成することができる。 A sealing portion 2a is provided at each of both ends of the arc tube 2 in the tube axial direction. By providing the sealing portion 2a, the inside of the arc tube 2 can be hermetically sealed. The sealing portion 2a can be formed using, for example, a pinch seal method or a shrink seal method.

発光管２の外面には、突起部を設けることができる。突起部は、放電ランプ１を製造する際に、発光管２の内部を排気したり、発光管２の内部に後述するガスを導入したりするために設けられる。突起部は、例えば、排気およびガスの導入後に、石英ガラスや合成石英ガラスなどから形成された管を焼き切ることで形成される。 A protrusion may be provided on the outer surface of the arc tube 2 . The projecting portion is provided to evacuate the interior of the arc tube 2 or introduce a gas, which will be described later, into the interior of the arc tube 2 when manufacturing the discharge lamp 1 . The projections are formed, for example, by burning out a tube made of quartz glass, synthetic quartz glass, or the like after evacuation and gas introduction.

発光管２の内部には、アルゴンガスなどの希ガスと水銀が封入されている。発光管２の内部に封入するガスは、放電ランプ１の用途に応じて適宜変更することができる。発光管２の内部に封入するガスは、例えば、クリプトン、キセノン、アルゴン、ネオンなどの希ガス、あるいは、複数種類の希ガスを混合した混合ガスとすることができる。ガスには、必要に応じて、ハロゲンガスなどを含めることもできる。 The arc tube 2 is filled with a rare gas such as argon gas and mercury. The gas sealed inside the arc tube 2 can be appropriately changed according to the application of the discharge lamp 1 . The gas sealed inside the arc tube 2 can be, for example, a rare gas such as krypton, xenon, argon, or neon, or a mixed gas in which a plurality of kinds of rare gases are mixed. The gas can also contain a halogen gas or the like, if desired.

発光管２の内部の２５℃におけるガスの圧力（封入圧力）は、例えば、１．３ｋＰａ～２００ｋＰａ程度である。発光管２の内部の２５℃におけるガスの圧力（封入圧力）は、気体の標準状態（ＳＡＴＰ（Standard Ambient Temperature and Pressure）：温度２５℃、１ｂａｒ）により求めることができる。 The gas pressure (encapsulated pressure) at 25° C. inside the arc tube 2 is, for example, about 1.3 kPa to 200 kPa. The gas pressure (encapsulated pressure) at 25° C. inside the arc tube 2 can be obtained from the standard state of the gas (SATP (Standard Ambient Temperature and Pressure): temperature 25° C., 1 bar).

発光管２の内部において発生した紫外線は、発光管２を介して外部に照射される。そのため、発光管２は、紫外線を透過する材料から形成される。発光管２の材料は、例えば、石英ガラスや合成石英ガラスなどとすることができる。 The ultraviolet rays generated inside the arc tube 2 are irradiated to the outside through the arc tube 2 . Therefore, arc tube 2 is made of a material that transmits ultraviolet rays. The material of the arc tube 2 can be quartz glass, synthetic quartz glass, or the like, for example.

導電部３は、封止部２ａの内部に設けられている。導電部３は、１つの封止部２ａに対して１つ設けることができる。導電部３の平面形状は四角形とすることができる。導電部３は、薄膜状を呈している。導電部３は、例えば、モリブデン箔から形成することができる。 The conductive portion 3 is provided inside the sealing portion 2a. One conductive portion 3 can be provided for one sealing portion 2a. The planar shape of the conductive portion 3 can be square. The conductive portion 3 is in the form of a thin film. The conductive part 3 can be made of molybdenum foil, for example.

発光管２の内部の両端には、内部電極４が設けられている。内部電極４は、互いに対峙させて、一対設けられる。内部電極４は、発光管２の、管軸方向における両端に１つずつ設けられる。内部電極４は、導電部３と電気的に接続されている。 Internal electrodes 4 are provided at both ends of the arc tube 2 . A pair of internal electrodes 4 are provided so as to face each other. One internal electrode 4 is provided at each end of the arc tube 2 in the tube axial direction. The internal electrode 4 is electrically connected to the conductive portion 3 .

ホルダ５は、筒状を呈し、一方の端部側が封止部２ａの内部に設けられ、他方の端部側が封止部２ａから露出している。ホルダ５は、１つの封止部２ａに対して１つ設けることができる。ホルダ５は、例えば、樹脂や、セラミックスなどの無機材料から形成される。 The holder 5 has a tubular shape, one end side is provided inside the sealing portion 2a, and the other end side is exposed from the sealing portion 2a. One holder 5 can be provided for one sealing portion 2a. The holder 5 is made of, for example, an inorganic material such as resin or ceramics.

リード線６は、一方のホルダ５に設けられる。リード線６の一方の端部は、ホルダ５の内部において導電部３と電気的に接続されている。すなわち、リード線６は、一方の内部電極４に電気的に接続されている。リード線６とホルダ５との間の隙間は、封止材により封止されている。リード線６の他方の端部は、保護管１０１の外部に引き出されている。リード線６の他方の端部には、圧着端子やコネクタなどを接続することができる。 A lead wire 6 is provided on one holder 5 . One end of the lead wire 6 is electrically connected to the conductive portion 3 inside the holder 5 . That is, the lead wire 6 is electrically connected to one internal electrode 4 . A gap between the lead wire 6 and the holder 5 is sealed with a sealing material. The other end of the lead wire 6 is drawn out of the protective tube 101 . A crimp terminal, a connector, or the like can be connected to the other end of the lead wire 6 .

リード線７は、他方のホルダ５に設けられる。リード線７の一方の端部は、ホルダ５の内部において導電部３と電気的に接続されている。すなわち、リード線７は、他方の内部電極４に電気的に接続されている。リード線７とホルダ５との間の隙間は、封止材により封止されている。リード線７の他方の端部は、保護管１０１の外部に引き出されている。リード線７の他方の端部には、圧着端子やコネクタなどを接続することができる。 A lead wire 7 is provided on the other holder 5 . One end of the lead wire 7 is electrically connected to the conductive portion 3 inside the holder 5 . That is, the lead wire 7 is electrically connected to the other internal electrode 4 . A gap between the lead wire 7 and the holder 5 is sealed with a sealing material. The other end of the lead wire 7 is drawn out of the protective tube 101 . A crimp terminal, a connector, or the like can be connected to the other end of the lead wire 7 .

すなわち、放電ランプ１は、リード線６とリード線７を有している。保護管１０１の底板１０３ａ側の端部は開口している。リード線６とリード線７は、保護管１０１の底板１０３ａ側の開口を介して、保護管１０１の外部に引き出されている。
リード線６とリード線７は、例えば、高周波電源などに電気的に接続される。高周波電源は、例えば、正弦波を発生させる電源や、パルス電源などである。
電源により、リード線６とリード線７に電圧を印加すると、リード線６およびリード線７に電気的に接続された一対の内部電極４の間に放電が発生する。発光管２の内部において放電が発生すると、発光管２の内部に封入されている水銀から、ピーク波長が１８５ｎｍ及び２５４ｎｍの紫外線が放射される。 That is, the discharge lamp 1 has lead wires 6 and lead wires 7 . The end of the protective tube 101 on the side of the bottom plate 103a is open. The lead wires 6 and 7 are drawn out of the protective tube 101 through an opening on the bottom plate 103a side of the protective tube 101 .
The lead wires 6 and 7 are electrically connected to, for example, a high frequency power source. The high-frequency power source is, for example, a power source that generates a sine wave, a pulse power source, or the like.
When a voltage is applied to the lead wire 6 and the lead wire 7 by a power source, discharge occurs between the pair of internal electrodes 4 electrically connected to the lead wire 6 and the lead wire 7 . When a discharge occurs inside the arc tube 2 , ultraviolet rays with peak wavelengths of 185 nm and 254 nm are emitted from the mercury enclosed inside the arc tube 2 .

この場合、例えば、発光管２の材料は、水銀から放射されるピーク波長が１８５ｎｍ及び２５４ｎｍの紫外線を透過させるものとすることができる。この様にすれば、放電ランプ１は、ピーク波長が１８５ｎｍ及び２５４ｎｍの紫外線を照射するランプとなる。
また、例えば、発光管２の材料は、水銀から放射されるピーク波長が１８５ｎｍの紫外線を吸収し、ピーク波長が２５４ｎｍの紫外線を透過させるものとすることもできる。この様にすれば、放電ランプ１は、ピーク波長が２５４ｎｍの紫外線を照射するランプとなる。 In this case, for example, the material of the arc tube 2 can transmit ultraviolet rays with peak wavelengths of 185 nm and 254 nm emitted from mercury. By doing so, the discharge lamp 1 becomes a lamp that irradiates ultraviolet rays with peak wavelengths of 185 nm and 254 nm.
Further, for example, the material of the arc tube 2 can absorb ultraviolet rays with a peak wavelength of 185 nm emitted from mercury and transmit ultraviolet rays with a peak wavelength of 254 nm. By doing so, the discharge lamp 1 becomes a lamp that irradiates ultraviolet rays having a peak wavelength of 254 nm.

なお、一例として、一対の内部電極４の間で放電を発生させる放電ランプ１を説明したが、これに限定されるわけではない。前述したように、光源は、紫外線を照射する放電ランプであればよい。例えば、光源は、発光管を介して、発光管の内部に放電を発生させるバリア放電ランプとすることもできる。 Although the discharge lamp 1 that generates discharge between the pair of internal electrodes 4 has been described as an example, the present invention is not limited to this. As described above, the light source may be a discharge lamp that emits ultraviolet rays. For example, the light source can be a barrier discharge lamp that generates a discharge through the arc tube and inside the arc tube.

次に、図１に戻って、液体処理装置１００に設けられた他の要素について説明する。
放電ランプ１は、液体３００の中に直接設けることができない。そのため、図１に示すように、放電ランプ１は保護管１０１の内部に設けられる。 Next, returning to FIG. 1, other elements provided in the liquid treatment apparatus 100 will be described.
The discharge lamp 1 cannot be placed directly in the liquid 300 . Therefore, as shown in FIG. 1, the discharge lamp 1 is provided inside the protective tube 101 .

保護管１０１は、少なくとも１つ設けることができる。保護管１０１は、筒状を呈し、管径に比べて全長（管軸方向の長さ）が長い形態を有する。保護管１０１は、例えば、円筒管とすることができる。保護管１０１の両端は開口している。保護管１０１は、天井板１０３ｂと、底板１０３ａと、の間を延びている。保護管１０１の上側の端部（天井板１０３ｂ側の端部）は、天井板１０３ｂから上方に突出している。保護管１０１の下側の端部（底板１０３ａ側の端部）は、底板１０３ａから下方に突出している。 At least one protective tube 101 can be provided. The protective tube 101 has a tubular shape and has a shape in which the total length (the length in the tube axial direction) is longer than the tube diameter. Protective tube 101 can be, for example, a cylindrical tube. Both ends of the protective tube 101 are open. The protective tube 101 extends between the ceiling plate 103b and the bottom plate 103a. The upper end of the protective tube 101 (the end on the side of the ceiling plate 103b) protrudes upward from the ceiling plate 103b. The lower end of the protective tube 101 (the end on the side of the bottom plate 103a) protrudes downward from the bottom plate 103a.

保護管１０１の内部には、少なくとも１つの放電ランプ１が設けられる。図１に例示をした液体処理装置１００の場合には、保護管１０１の内部に１つの放電ランプ１が設けられている。保護管１０１の内部に１つの放電ランプ１が設けられる場合には、放電ランプ１は、保護管１０１と略同芯となるように設けることができる。保護管１０１の寸法は、収納される放電ランプ１（発光管２）の寸法や数に応じて適宜変更することができる。 At least one discharge lamp 1 is provided inside the protective tube 101 . In the case of the liquid treatment apparatus 100 illustrated in FIG. 1, one discharge lamp 1 is provided inside the protective tube 101 . When one discharge lamp 1 is provided inside the protective tube 101 , the discharge lamp 1 can be provided so as to be substantially concentric with the protective tube 101 . The dimensions of the protective tube 101 can be appropriately changed according to the dimensions and number of the discharge lamps 1 (arc tubes 2) to be accommodated.

放電ランプ１において発生した紫外線は、保護管１０１に入射する。そのため、保護管１０１は、紫外線の透過率が高い材料から形成される。例えば、前述した発光管２の場合と同様に、保護管１０１は、石英ガラスや合成石英ガラスなどから形成される。 Ultraviolet rays generated in the discharge lamp 1 enter the protective tube 101 . Therefore, the protection tube 101 is made of a material having a high ultraviolet transmittance. For example, like the arc tube 2 described above, the protective tube 101 is made of quartz glass, synthetic quartz glass, or the like.

図１に示すように、容器１０３の内部は、液体３００が流通する流路となる。そのため、紫外線が透過する保護管１０１の内部に放電ランプ１を設ければ、放電ランプ１が液体３００の流路に設けられることになる。 As shown in FIG. 1, the interior of the container 103 serves as a channel through which the liquid 300 flows. Therefore, if the discharge lamp 1 is provided inside the protective tube 101 through which the ultraviolet rays pass, the discharge lamp 1 is provided in the flow path of the liquid 300 .

この場合、放電ランプ１の発光長が、容器１０３の底板１０３ａと天井板１０３ｂとの間の距離よりも長くなっていれば、容器１０３の内部の全域に、放電ランプ１の発光部分を設けることができる。この様にすれば、容器１０３の内部の全域において、液体３００に紫外線を照射することができるので、処理効率を向上させることができる。 In this case, if the light emitting length of the discharge lamp 1 is longer than the distance between the bottom plate 103a and the ceiling plate 103b of the container 103, the light emitting portion of the discharge lamp 1 can be provided over the entire interior of the container 103. can be done. In this way, the ultraviolet rays can be applied to the liquid 300 throughout the interior of the container 103, so that the processing efficiency can be improved.

放電ランプ１から液体３００に紫外線が照射されると、紫外線により、例えば、液体３００に含まれている菌やウイルスの、殺菌や不活性化が行われる。 When the liquid 300 is irradiated with ultraviolet rays from the discharge lamp 1, bacteria and viruses contained in the liquid 300 are sterilized or inactivated by the ultraviolet rays.

蓋１０２ａは、保護管１０１の上側の端部に設けられている。蓋１０２ａは、保護管１０１の上側の端部の開口を塞いでいる。
ここで、液体処理装置１００を製造する際には、保護管１０１の内部に放電ランプ１が挿入される。液体処理装置１００をメンテナンスする際には、保護管１０１の内部にある放電ランプ１を交換する場合がある。液体処理装置１００を立てた状態で組み立てたり、設置したりする場合には、液体処理装置１００の下方に床面や他の装置などの障害物がある場合が多い。この様な場合には、保護管１０１の下側の端部の開口から保護管１０１の内部に放電ランプ１を挿入したり、保護管１０１の内部から放電ランプ１を取り出したりするのが困難となる。 A lid 102 a is provided at the upper end of the protective tube 101 . The lid 102 a closes the opening at the upper end of the protective tube 101 .
Here, when manufacturing the liquid treatment apparatus 100 , the discharge lamp 1 is inserted inside the protective tube 101 . During maintenance of the liquid treatment apparatus 100, the discharge lamp 1 inside the protective tube 101 may be replaced. When assembling or installing the liquid treatment apparatus 100 in an upright position, there are often obstacles such as the floor surface and other devices below the liquid treatment apparatus 100 . In such a case, it is difficult to insert the discharge lamp 1 into the protective tube 101 through the opening at the lower end of the protective tube 101 or take out the discharge lamp 1 from the protective tube 101 . Become.

この場合、蓋１０２ａが、保護管１０１の上側の端部に着脱自在に設けられていれば、放電ランプ１を挿入、または、取り出す際に、保護管１０１の上側の端部を容易に開口させることができる。液体処理装置１００の上方には、液体処理装置１００の下方に比べて障害物となるものが少ない。そのため、保護管１０１の上側の端部が開口されれば、保護管１０１の上側の端部の開口を介して、保護管１０１の内部に放電ランプ１を挿入したり、保護管１０１の内部から放電ランプ１を取り出したりするのが容易となる。すなわち、蓋１０２ａが、保護管１０１の上側の端部に着脱自在に設けられていれば、液体処理装置１００の製造やメンテナンスが容易となる。 In this case, if the lid 102a is detachably provided at the upper end of the protective tube 101, the upper end of the protective tube 101 can be easily opened when inserting or removing the discharge lamp 1. be able to. There are fewer obstacles above the liquid treatment apparatus 100 than there are below the liquid treatment apparatus 100 . Therefore, if the upper end of the protective tube 101 is opened, the discharge lamp 1 can be inserted into the protective tube 101 through the opening of the upper end of the protective tube 101, or Taking out the discharge lamp 1 becomes easy. That is, if the lid 102a is detachably attached to the upper end of the protective tube 101, the manufacturing and maintenance of the liquid processing apparatus 100 are facilitated.

例えば、図１に示すように、蓋１０２ａは、凹部を有することができる。蓋１０２ａの凹部は、保護管１０１の上側の端部に嵌め込むことができる。また、蓋は、例えば、柱状を呈する栓などであってもよい。蓋が栓である場合には、蓋は、保護管１０１の上側の端部の開口に嵌め込むことができる。 For example, as shown in FIG. 1, the lid 102a can have a recess. The recess of the lid 102 a can be fitted into the upper end of the protective tube 101 . Also, the lid may be, for example, a plug having a columnar shape. If the lid is a plug, the lid can be fitted into the opening at the upper end of protective tube 101 .

また、例えば、保護管１０１の上側の端部を雄ネジとし、蓋１０２ａの凹部を雌ネジとして、蓋１０２ａを保護管１０１の上側の端部にねじ込むこともできる。例えば、保護管１０１の上側の端部の開口を雌ネジとし、栓である蓋を雄ネジとして、蓋を保護管１０１の上側の端部の開口にねじ込むこともできる。 Alternatively, for example, the upper end of the protective tube 101 may be male threaded, and the concave portion of the lid 102a may be female threaded, and the lid 102a may be screwed into the upper end of the protective tube 101 . For example, the opening at the upper end of protective tube 101 may be female-threaded, and the lid, which is a stopper, may be male-threaded, and the lid may be screwed into the opening at the upper end of protective tube 101 .

蓋１０２ａは、例えば、ステンレスなどの金属や、フッ素樹脂などの樹脂から形成することができる。
また、蓋１０２ａと保護管１０１との間にシール部材を設けることもできる。 The lid 102a can be made of, for example, metal such as stainless steel, or resin such as fluororesin.
A sealing member can also be provided between the lid 102a and the protective tube 101. FIG.

なお、図１に示すように、保護管１０１の下側の端部が開口している。保護管１０１の下側の端部の開口からは、放電ランプ１のリード線６、７が引き出される。また、保護管１０１が破損した際には保護管１０１の内部に液体３００が侵入するが、侵入した液体３００は保護管１０１の下側の端部の開口から外部に排出される。 In addition, as shown in FIG. 1, the lower end of the protective tube 101 is open. Lead wires 6 and 7 of the discharge lamp 1 are led out from the opening at the lower end of the protective tube 101 . Also, when the protective tube 101 is damaged, the liquid 300 enters the inside of the protective tube 101 , but the liquid 300 that has entered is discharged to the outside through the opening at the lower end of the protective tube 101 .

また、蓋１０２ａは省くこともできる。ただし、蓋１０２ａが設けられていれば、保護管１０１の上側の端部の開口から保護管１０１の内部にゴミなどが侵入するのを抑制することができる。また、蓋１０２ａが設けられていれば、保護管１０１が破損した際に保護管１０１の内部に侵入した液体３００を、保護管１０１の下側の端部の開口に導くことができる。
なお、保護管１０１の内部に侵入した液体３００の排出に関する詳細は後述する。 Also, the lid 102a can be omitted. However, if the lid 102 a is provided, it is possible to prevent dust and the like from entering the inside of the protective tube 101 through the opening at the upper end of the protective tube 101 . Moreover, if the lid 102a is provided, the liquid 300 that has entered the inside of the protective tube 101 when the protective tube 101 is damaged can be guided to the opening at the lower end of the protective tube 101 .
The details of discharging the liquid 300 that has entered the protective tube 101 will be described later.

容器１０３は、筒状を呈し、断面寸法（中心軸に直交する方向の長さ）に比べて全長（中心軸方向の長さ）が長い形態を有する。容器１０３は、例えば、円筒管とすることができる。容器１０３は、例えば、ステンレスなどの金属から形成される。 The container 103 has a tubular shape, and has a form in which the overall length (the length in the central axis direction) is longer than the cross-sectional dimension (the length in the direction orthogonal to the central axis). Container 103 can be, for example, a cylindrical tube. The container 103 is made of metal such as stainless steel, for example.

容器１０３の下側の端部の開口は、底板１０３ａにより塞がれている。底板１０３ａと容器１０３は、例えば、溶接などにより液密に接合することができる。また、例えば、容器１０３にフランジを設け、パッキンなどを介して、フランジに底板１０３ａをネジ止めなどすることもできる。底板１０３ａは、板状を呈し、例えば、ステンレスなどの金属から形成される。 The opening at the lower end of container 103 is closed by bottom plate 103a. The bottom plate 103a and the container 103 can be liquid-tightly joined by, for example, welding. Alternatively, for example, a flange may be provided on the container 103, and the bottom plate 103a may be screwed to the flange via packing or the like. The bottom plate 103a has a plate shape and is made of metal such as stainless steel.

底板１０３ａには、厚み方向を貫通する孔１０３ａ１を設けることができる。例えば、孔１０３ａ１は、底板１０３ａの中央に設けることができる。例えば、孔１０３ａ１は、液体３００の供給口となる。 The bottom plate 103a can be provided with a hole 103a1 penetrating in the thickness direction. For example, the hole 103a1 can be provided in the center of the bottom plate 103a. For example, the hole 103 a 1 serves as a supply port for the liquid 300 .

また、底板１０３ａには、厚み方向を貫通する孔１０３ａ２を設けることができる。孔１０３ａ２の内部には、保護管１０１の下側の端部の近傍が設けられる。そのため、孔１０３ａ２の数は、保護管１０１の数と同じとすることができる。 Further, the bottom plate 103a can be provided with a hole 103a2 penetrating in the thickness direction. The vicinity of the lower end of the protective tube 101 is provided inside the hole 103a2. Therefore, the number of holes 103 a 2 can be the same as the number of protective tubes 101 .

容器１０３の上側の端部の開口は、天井板１０３ｂにより塞がれている。天井板１０３ｂと容器１０３は、例えば、溶接などにより液密に接合することができる。また、例えば、容器１０３にフランジを設け、パッキンなどを介して、フランジに天井板１０３ｂをネジ止めなどすることもできる。天井板１０３ｂは、板状を呈し、例えば、ステンレスなどの金属から形成することができる。 An upper end opening of the container 103 is closed by a ceiling plate 103b. The ceiling plate 103b and the container 103 can be liquid-tightly joined by, for example, welding. Alternatively, for example, a flange may be provided on the container 103, and the ceiling plate 103b may be screwed to the flange via packing or the like. The ceiling plate 103b has a plate shape and can be made of metal such as stainless steel.

天井板１０３ｂには、厚み方向を貫通する孔１０３ｂ１を設けることができる。例えば、孔１０３ｂ１は、天井板１０３ｂの中央に設けることができる。例えば、孔１０３ｂ１は、処理が施された液体３００ａの排出口となる。 The ceiling plate 103b can be provided with a hole 103b1 penetrating in the thickness direction. For example, the hole 103b1 can be provided in the center of the ceiling plate 103b. For example, the hole 103b1 serves as an outlet for the processed liquid 300a.

また、天井板１０３ｂには、厚み方向を貫通する孔１０３ｂ２を設けることができる。孔１０３ｂ２の内部には、保護管１０１の上側の端部の近傍が設けられる。そのため、孔１０３ｂ２の数は、保護管１０１の数と同じとすることができる。また、容器１０３の中心軸に沿った方向から見て、孔１０３ｂ２は、孔１０３ａ２と重なる位置に設けられる。 以上に説明したように、容器１０３は、下側の端部に設けられた底板０４ａと、上側の端部に設けられた天井板１０３ｂと、を有し、液体３００が供給される空間を内部に有する。 Further, the ceiling plate 103b can be provided with a hole 103b2 penetrating in the thickness direction. The vicinity of the upper end of the protective tube 101 is provided inside the hole 103b2. Therefore, the number of holes 103 b 2 can be the same as the number of protective tubes 101 . Moreover, when viewed from the direction along the central axis of the container 103, the hole 103b2 is provided at a position overlapping the hole 103a2. As described above, the container 103 has the bottom plate 04a provided at the lower end and the ceiling plate 103b provided at the upper end, and has a space to which the liquid 300 is supplied. have in

ホルダ１０４は、板状を呈し、例えば、１つの保護管１０１に対して一対設けることができる。例えば、一方のホルダ１０４は、保護管１０１の上側の端部の近傍を保持する。一方のホルダ１０４は、例えば、シール部材１０５を介して、天井板１０３ｂに取り付けられる。例えば、他方のホルダ１０４は、保護管１０１の下側の端部の近傍を保持する。他方のホルダ１０４は、例えば、シール部材１０５を介して、底板１０３ａに取り付けられる。 The holder 104 has a plate-like shape and can be provided as a pair for one protective tube 101, for example. For example, one holder 104 holds the protective tube 101 near the upper end. One holder 104 is attached to the ceiling plate 103b via a sealing member 105, for example. For example, the other holder 104 holds the vicinity of the lower end of the protective tube 101 . The other holder 104 is attached to the bottom plate 103a via a sealing member 105, for example.

シール部材１０５は、例えば、環状を呈している。シール部材１０５の内側には保護管１０１が挿入される。シール部材１０５は、例えば、Ｏリングなどである。シール部材１０５は、保護管１０１と、底板１０３ａの孔１０３ａ２の内壁との間の隙間を液密となるように封止する。シール部材１０５は、保護管１０１と、天井板１０３ｂの孔１０３ｂ２の内壁との間の隙間を液密となるように封止する。 The sealing member 105 has, for example, an annular shape. A protective tube 101 is inserted inside the sealing member 105 . The sealing member 105 is, for example, an O-ring. The sealing member 105 liquid-tightly seals the gap between the protective tube 101 and the inner wall of the hole 103a2 of the bottom plate 103a. The sealing member 105 liquid-tightly seals the gap between the protective tube 101 and the inner wall of the hole 103b2 of the ceiling plate 103b.

供給部１０６は、管状を呈し、底板１０３ａに設けられている。供給部１０６は、容器１０３の内部と連通している。例えば、供給部１０６は、一方の端部が、底板１０３ａに液密となるように接続されている。供給部１０６の内部空間は、底板１０３ａの孔１０３ａ１を介して、容器１０３の内部空間とつながっている。供給部１０６の内部空間は、液体３００の供給流路となる。供給部１０６の他方の端部側は、容器１０３の中心軸に交差する方向に延びている。供給部１０６は、例えば、Ｌ字状に屈曲した形態を有する。供給部１０６の他方の端部には、例えば、液体３００を供給する供給装置などを接続することができる。 The supply part 106 has a tubular shape and is provided on the bottom plate 103a. The supply part 106 communicates with the inside of the container 103 . For example, one end of the supply unit 106 is liquid-tightly connected to the bottom plate 103a. The internal space of supply section 106 is connected to the internal space of container 103 via hole 103a1 of bottom plate 103a. The internal space of the supply unit 106 serves as a supply channel for the liquid 300 . The other end side of the supply portion 106 extends in a direction intersecting the central axis of the container 103 . The supply unit 106 has, for example, an L-shaped bent shape. For example, a supply device for supplying the liquid 300 can be connected to the other end of the supply unit 106 .

排出部１０７は、管状を呈し、天井板１０３ｂに設けられている。排出部１０７は、容器１０３の内部と連通している。例えば、排出部１０７は、一方の端部が、天井板１０３ｂに液密となるように接続されている。排出部１０７の内部空間は、天井板１０３ｂの孔１０３ｂ１を介して、容器１０３の内部空間とつながっている。排出部１０７の内部空間は、処理が施された液体３００ａの排出流路となる。排出部１０７の他方の端部側は、容器１０３の中心軸に交差する方向に延びている。排出部１０７は、例えば、Ｌ字状に屈曲した形態を有する。排出部１０７の他方の端部には、例えば、処理が施された液体３００ａを収納するタンクや、液体３００ａを用いる洗浄装置などを接続することができる。 The discharge part 107 has a tubular shape and is provided on the ceiling plate 103b. The discharge part 107 communicates with the inside of the container 103 . For example, one end of the discharge portion 107 is liquid-tightly connected to the ceiling plate 103b. The internal space of discharge section 107 is connected to the internal space of container 103 via hole 103b1 of ceiling plate 103b. The internal space of the discharge part 107 serves as a discharge channel for the processed liquid 300a. The other end side of the discharge part 107 extends in a direction intersecting the central axis of the container 103 . The discharge part 107 has, for example, an L-shaped bent shape. The other end of the discharge section 107 can be connected to, for example, a tank that stores the processed liquid 300a, a cleaning device that uses the liquid 300a, or the like.

ここで、前述したように、保護管１０１は、石英ガラスや、合成石英ガラスなどから形成される。これらの材料は脆性材料であるため、外力などが加わった際に亀裂が生じたり、割れたりする場合がある。保護管１０１は、液体３００が流通する流路に設けられているため、保護管１０１に亀裂や割れなどの破損が生じると、保護管１０１の内部に液体３００が侵入する。 Here, as described above, the protective tube 101 is made of quartz glass, synthetic quartz glass, or the like. Since these materials are brittle materials, they may crack or break when an external force is applied. Since the protective tube 101 is provided in a flow path through which the liquid 300 flows, the liquid 300 enters the inside of the protective tube 101 when the protective tube 101 is damaged such as cracked or cracked.

図２は、比較例に係る保護管２０１が破損した場合を例示するための模式断面図である。
図２に示すように、保護管２０１は、筒状を呈している。保護管２０１の内部には、放電ランプ１が設けられている。保護管２０１の下側の端部は、閉鎖されている。保護管２０１の上側の端部は、開口している。保護管２０１の上側の端部の開口からは、放電ランプ１のリード線６、７が引き出されている。保護管２０１は、天井板１０３ｂと、底板１０３ａと、の間を延びている。保護管２０１の上側の端部は、天井板１０３ｂから上方に突出している。保護管２０１の下側の端部は、底板１０３ａから下方に突出している。保護管２０１の材料は、保護管１０１の材料と同じである。 FIG. 2 is a schematic cross-sectional view for illustrating a case where a protection tube 201 according to a comparative example is damaged.
As shown in FIG. 2, the protective tube 201 has a cylindrical shape. A discharge lamp 1 is provided inside the protective tube 201 . The lower end of protective tube 201 is closed. The upper end of protective tube 201 is open. Lead wires 6 and 7 of the discharge lamp 1 are led out from an opening at the upper end of the protective tube 201 . The protective tube 201 extends between the ceiling plate 103b and the bottom plate 103a. An upper end portion of the protective tube 201 protrudes upward from the ceiling plate 103b. A lower end portion of the protective tube 201 protrudes downward from the bottom plate 103a. The material of protective tube 201 is the same as the material of protective tube 101 .

図２に示すように、保護管２０１が破損すると、破損した部分を介して、保護管２０１の内部に液体３００が侵入する。容器１０３の内部を流れる液体３００の圧力は、容器１０３の外部の圧力（大気圧）よりも高いので、保護管２０１の内部に侵入した液体３００は、保護管２０１の上側の端部の開口から噴出する。この際、保護管２０１が破損した際に生じた破片が、液体３００とともに外部に排出される場合もある。 As shown in FIG. 2, when protective tube 201 is damaged, liquid 300 enters inside protective tube 201 through the damaged portion. Since the pressure of the liquid 300 flowing inside the container 103 is higher than the pressure (atmospheric pressure) outside the container 103, the liquid 300 that has entered the protective tube 201 is released from the opening at the upper end of the protective tube 201. erupt. At this time, fragments generated when the protective tube 201 is damaged may be discharged to the outside together with the liquid 300 .

保護管２０１の上側の端部の開口は高い位置にあるので、保護管２０１の上側の端部の開口から液体３００が噴出したり、破片が排出されたりすると、液体処理装置１００の周辺の広い範囲に液体３００や破片が飛び散るおそれがある。この場合、保護管２０１の上側の端部の開口を塞ぐと、保護管２０１が破損したことに気付くのが遅れるおそれがある。 Since the opening of the upper end of the protective tube 201 is located at a high position, when the liquid 300 is ejected from the opening of the upper end of the protective tube 201 or the fragments are discharged, the surrounding area of the liquid processing apparatus 100 is wide. The area may be splashed with liquid 300 or debris. In this case, if the opening at the upper end of the protective tube 201 is blocked, there is a possibility that the breakage of the protective tube 201 may be delayed.

図３は、本実施の形態に係る保護管１０１が破損した場合を例示するための模式断面図である。
図３に示すように、保護管１０１が破損すると、破損した部分を介して、保護管１０１の内部に液体３００が侵入する。保護管１０１の上側の端部の開口は蓋１０２ａにより塞がれている。また、保護管１０１の下側の端部は開口している。そのため、保護管１０１の内部に侵入した液体３００は、保護管１０１の下側の端部の開口から噴出する。保護管１０１が破損した際に生じた破片は、液体３００とともに保護管１０１の下側の端部の開口から外部に排出される。 FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating a case where protective tube 101 according to this embodiment is damaged.
As shown in FIG. 3, when protective tube 101 is damaged, liquid 300 enters inside protective tube 101 through the damaged portion. The opening at the upper end of the protective tube 101 is closed with a lid 102a. Also, the lower end of the protective tube 101 is open. Therefore, the liquid 300 that has entered the inside of the protective tube 101 is ejected from the opening at the lower end of the protective tube 101 . Fragments generated when protective tube 101 is broken are discharged outside from an opening at the lower end of protective tube 101 together with liquid 300 .

保護管１０１の下側の端部の開口は低い位置にあるので、保護管１０１の下側の端部の開口から液体３００が噴出したり、破片が排出されたりしても、液体処理装置１００の周辺に液体３００や破片が飛び散るのを抑制することができる。また、保護管１０１が破損したことを容易に知ることができる。 Since the opening at the lower end of the protective tube 101 is located at a low position, even if the liquid 300 is ejected from the opening at the lower end of the protective tube 101 or fragments are discharged, the liquid treatment apparatus 100 cannot It is possible to suppress the scattering of the liquid 300 and fragments around the . Also, it is possible to easily know that the protective tube 101 has been damaged.

また、液体３００や破片が飛び散る範囲が狭いので、例えば、液体処理装置１００の下方にドレインパンなどを設けることもできる。液体処理装置１００の下方にドレインパンなどが設けられていれば、保護管１０１の下側の端部の開口から排出された液体３００が液体処理装置１００の周辺に拡がるのを抑制することができる。 Moreover, since the range where the liquid 300 and fragments scatter is narrow, for example, a drain pan or the like can be provided below the liquid processing apparatus 100 . If a drain pan or the like is provided below the liquid treatment apparatus 100, it is possible to prevent the liquid 300 discharged from the opening at the lower end of the protection tube 101 from spreading around the liquid treatment apparatus 100. .

図４は、他の実施形態に係る液体処理装置１００ａに設けられた保護管１０１が破損した場合を例示するための模式断面図である。
図３においては、保護管１０１の下側の端部に蓋を設けていない構成を例示したが、図４に示すように、保護管１０１の下側の端部に、蓋１０２ｂ（第２の蓋の一例に相当する）を設けても良い。 FIG. 4 is a schematic cross-sectional view illustrating a case where a protection tube 101 provided in a liquid treatment apparatus 100a according to another embodiment is broken.
Although FIG. 3 illustrates a configuration in which the lower end of the protective tube 101 is not provided with a lid, as shown in FIG. (corresponding to an example of a lid) may be provided.

図４に示すように、例えば、蓋１０２ｂは、凹部を有することができる。蓋１０２ｂの凹部は、保護管１０１の下側の端部に嵌め込むことができる。
また、例えば、保護管１０１の下側の端部を雄ネジとし、蓋１０２ｂの凹部を雌ネジとして、蓋１０２ｂを保護管１０１の下側の端部にねじ込むこともできる。
蓋１０２ｂは、例えば、ステンレスなどの金属や、フッ素樹脂などの樹脂から形成することができる。
また、蓋１０２ｂと保護管１０１との間にシール部材を設けることもできる。 As shown in FIG. 4, for example, the lid 102b can have a recess. The recess of the lid 102b can be fitted into the lower end of the protective tube 101. As shown in FIG.
Alternatively, for example, the lower end of the protective tube 101 may be male threaded, and the concave portion of the lid 102b may be female threaded, and the lid 102b may be screwed into the lower end of the protective tube 101 .
The lid 102b can be made of, for example, metal such as stainless steel, or resin such as fluororesin.
Also, a sealing member may be provided between the lid 102b and the protective tube 101. FIG.

また、図４に示すように、蓋１０２ｂの、リード線６、７が引き出される位置には開口部１０２ｂ１を設けることができる。
すなわち、液体処理装置１００ａは、保護管１０１の、底板１０３ａ側の端部に設けられた蓋１０２ｂを備えることができる。放電ランプ１は、リード線６、７を有している。保護管１０１の底板１０３ａ側の端部は開口している。蓋１０２ｂは、開口部１０２ｂ１を有し、リード線６、７は、開口部１０２ｂ１を介して、保護管１０１の外部に引き出されている。 Further, as shown in FIG. 4, an opening 102b1 can be provided at a position of the lid 102b where the lead wires 6 and 7 are led out.
That is, the liquid treatment apparatus 100a can include a lid 102b provided at the end of the protective tube 101 on the side of the bottom plate 103a. The discharge lamp 1 has leads 6,7. The end of the protective tube 101 on the side of the bottom plate 103a is open. The lid 102b has an opening 102b1, and the lead wires 6 and 7 are drawn out of the protective tube 101 through the opening 102b1.

蓋１０２ｂが設けられていれば、保護管１０１の内部に設けられた放電ランプ１が下方に落下するのを抑制できる。図４に示すように、保護管１０１が破損した際には、保護管１０１の内部に液体３００が侵入する。しかしながら、侵入した液体３００は、蓋１０２ｂに設けられた開口部１０２ｂ１を介して保護管１０１の外部に排出される。 If the lid 102b is provided, it is possible to prevent the discharge lamp 1 provided inside the protective tube 101 from falling downward. As shown in FIG. 4 , liquid 300 enters inside protective tube 101 when protective tube 101 is damaged. However, the liquid 300 that has entered is discharged to the outside of the protective tube 101 through the opening 102b1 provided in the lid 102b.

図５は、他の実施形態に係る液体処理装置１００ｂを例示するための模式部分断面図である。
図５に示すように、液体処理装置１００ｂには保持部１０８がさらに設けられている。保持部１０８は、保護管１０１の内壁と放電ランプ１（発光管２）との間に設けられている。例えば、保持部１０８は、放電ランプ１の上側の端部の近傍に設けることができる。例えば、保持部１０８は、放電ランプ１（発光管２）の外周に設けられたリング状の弾性体とすることができる。保持部１０８が弾性体であれば、摩擦力により放電ランプ１を保持することができる。 FIG. 5 is a schematic partial cross-sectional view for illustrating a liquid treatment apparatus 100b according to another embodiment.
As shown in FIG. 5, the liquid treatment apparatus 100b is further provided with a holding portion 108. As shown in FIG. The holding portion 108 is provided between the inner wall of the protective tube 101 and the discharge lamp 1 (arc tube 2). For example, the holding part 108 can be provided near the upper end of the discharge lamp 1 . For example, the holding portion 108 can be a ring-shaped elastic body provided on the outer periphery of the discharge lamp 1 (arc tube 2). If the holding portion 108 is an elastic body, the discharge lamp 1 can be held by frictional force.

すなわち、液体処理装置１００ｂは、保護管１０１の内壁と、放電ランプ１と、の間に設けられた保持部１０８を備えることができる。保持部１０８は、放電ランプ１の底板１０３ａ側への移動を抑制する。 That is, the liquid treatment apparatus 100b can include the holding portion 108 provided between the inner wall of the protective tube 101 and the discharge lamp 1. As shown in FIG. The holding portion 108 suppresses movement of the discharge lamp 1 toward the bottom plate 103a.

保持部１０８が設けられていれば、保護管１０１の内部に設けられた放電ランプ１が下方に落下するのをを抑制できる。また、保護管１０１が破損した際には保護管１０１の内部に液体３００が侵入するが、侵入した液体３００は保護管１０１の下側の端部の開口から保護管１０１の外部に排出される。 If the holding portion 108 is provided, it is possible to prevent the discharge lamp 1 provided inside the protective tube 101 from falling downward. Also, when the protective tube 101 is damaged, the liquid 300 enters the inside of the protective tube 101, but the liquid 300 that has entered is discharged to the outside of the protective tube 101 through the opening at the lower end of the protective tube 101. .

なお、放電ランプ１の下側の端部の近傍に放電ランプ１を保持する構造体を設けることもできる。例えば、保持部１０８は、放電ランプ１の下側の端部の近傍に設けることもできる。この場合、保持部１０８の上側の端面と下側の端面との間を貫通する孔や溝を設けることが好ましい。保持部１０８に孔や溝が設けられていれば、保護管１０１が破損した際に保護管１０１の内部に侵入した液体３００を、孔や溝を介して保護管１０１の外部に排出することができる。
また、前述した蓋１０２ｂと、保持部１０８とを設けるようにしてもよい。 A structure for holding the discharge lamp 1 may be provided in the vicinity of the lower end of the discharge lamp 1 . For example, the holding part 108 can also be provided near the lower end of the discharge lamp 1 . In this case, it is preferable to provide a hole or groove penetrating between the upper end face and the lower end face of the holding portion 108 . If the holding portion 108 is provided with holes or grooves, the liquid 300 that has entered the inside of the protective tube 101 when the protective tube 101 is damaged can be discharged to the outside of the protective tube 101 through the holes or grooves. can.
Also, the above-described lid 102b and holding portion 108 may be provided.

次に、本実施の形態に係る液体処理装置の製造方法について例示をする。
本実施の形態に係る液体処理装置の製造方法は、例えば、前述した液体処理装置１００、１００ａ、１００ｂの製造方法である。
本実施の形態に係る液体処理装置の製造方法は、液体３００が供給される空間を内部に有する容器１０３の、天井板１０３ｂと、底板１０３ａと、の間を延びる保護管１０１の内部に放電ランプ１を設ける工程を備えている。保護管１０１の内部に放電ランプ１を設ける工程において、放電ランプ１のリード線６、７を底板１０３ａの側に向けて、保護管１０１の天井板１０３ｂの側の開口から、保護管１０１の内部に放電ランプ１を挿入する。その後、リード線６、７を保護管１０１の底板１０３ａの側の開口から、保護管１０１の外部に引き出す。 Next, a method for manufacturing the liquid treatment apparatus according to this embodiment will be illustrated.
The method for manufacturing the liquid processing apparatus according to the present embodiment is, for example, the method for manufacturing the liquid processing apparatuses 100, 100a, and 100b described above.
In the method for manufacturing a liquid treatment apparatus according to the present embodiment, a discharge lamp is installed inside a protective tube 101 extending between a ceiling plate 103b and a bottom plate 103a of a container 103 having a space in which a liquid 300 is supplied. 1 is provided. In the step of providing the discharge lamp 1 inside the protective tube 101, the lead wires 6 and 7 of the discharge lamp 1 are directed toward the bottom plate 103a, and the inside of the protective tube 101 is connected from the opening of the protective tube 101 on the ceiling plate 103b side. Insert the discharge lamp 1 into the . After that, the lead wires 6 and 7 are pulled out of the protective tube 101 from the opening of the protective tube 101 on the side of the bottom plate 103a.

前述したように、液体処理装置１００、１００ａ、１００ｂの上方には、液体処理装置１００、１００ａ、１００ｂの下方に比べて障害物となるものが少ない。そのため、保護管１０１の天井板１０３ｂの側の開口から、保護管１０１の内部に放電ランプ１を挿入すれば、液体処理装置１００、１００ａ、１００ｂの製造が容易となる。また、液体処理装置１００、１００ａ、１００ｂのメンテナンスも容易となる。
また、保護管１０１が破損した際には保護管１０１の内部に液体３００が侵入するが、侵入した液体３００は保護管１０１の底板１０３ａの側の端部の開口から外部に排出することができる。 As described above, there are fewer obstacles above the liquid treatment devices 100, 100a, 100b than below the liquid treatment devices 100, 100a, 100b. Therefore, by inserting the discharge lamp 1 into the protective tube 101 through the opening on the ceiling plate 103b side of the protective tube 101, the liquid treatment apparatuses 100, 100a, and 100b can be easily manufactured. Also, maintenance of the liquid treatment apparatuses 100, 100a, and 100b is facilitated.
Also, when the protective tube 101 is damaged, the liquid 300 enters the inside of the protective tube 101, but the liquid 300 that has entered can be discharged to the outside through the opening at the end of the protective tube 101 on the side of the bottom plate 103a. .

保護管１０１の底板１０３ａの側の端部の開口は低い位置にあるので、保護管１０１の底板１０３ａの側の端部の開口から液体３００が噴出したり、破片が排出されたりしても、液体処理装置１００、１００ａ、１００ｂの周辺に液体３００や破片が飛び散るのを抑制することができる。また、保護管１０１が破損したことを容易に知ることができる。 Since the opening of the end of the protective tube 101 on the side of the bottom plate 103a is at a low position, even if the liquid 300 is ejected from the opening of the end of the protective tube 101 on the side of the bottom plate 103a or fragments are discharged, It is possible to prevent the liquid 300 and fragments from scattering around the liquid treatment apparatuses 100, 100a, and 100b. Also, it is possible to easily know that the protective tube 101 has been damaged.

また、液体３００や破片が飛び散る範囲が狭いので、例えば、液体処理装置１００、１００ａ、１００ｂの下方にドレインパンなどを設けることもできる。液体処理装置１００、１００ａ、１００ｂの下方にドレインパンなどが設けられていれば、保護管１０１の下側の端部の開口から排出された液体３００が液体処理装置１００、１００ａ、１００ｂの周辺に拡がるのを抑制することができる。 Also, since the range where the liquid 300 and fragments scatter is narrow, for example, a drain pan or the like can be provided below the liquid processing apparatuses 100, 100a, and 100b. If a drain pan or the like is provided below the liquid treatment apparatuses 100, 100a, 100b, the liquid 300 discharged from the opening at the lower end of the protection tube 101 will flow around the liquid treatment apparatuses 100, 100a, 100b. Spreading can be suppressed.

以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。 Although some embodiments of the present invention have been illustrated above, these embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, changes, etc. can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and their modifications are included in the scope and gist of the invention, and are included in the scope of the invention described in the claims and equivalents thereof. Moreover, each of the above-described embodiments can be implemented in combination with each other.

１ 放電ランプ、６ リード線、７ リード線、１００ 液体処理装置、１００ａ 液体処理装置、１００ｂ 液体処理装置、１０１ 保護管、１０２ａ 蓋、１０２ｂ 蓋、１０３ 容器、１０３ａ 底板、１０３ｂ 天井板、１０８ 保持部、３００ 液体、３００ａ 液体 1 discharge lamp, 6 lead wire, 7 lead wire, 100 liquid treatment device, 100a liquid treatment device, 100b liquid treatment device, 101 protection tube, 102a lid, 102b lid, 103 container, 103a bottom plate, 103b ceiling plate, 108 holding part , 300 liquid, 300a liquid

Claims (7)

液体に紫外線を照射する液体処理装置であって、
下側の端部に設けられた底板と、上側の端部に設けられた天井板と、を有し、前記液体が供給される空間を内部に有する容器と；
筒状を呈し、前記天井板と、前記底板と、の間を延びる少なくとも１つの保護管と；
前記保護管の内部に設けられ、前記天井板と、前記底板と、の間を延び、紫外線を照射可能な少なくとも１つの放電ランプと；
を具備し、
前記保護管の前記底板側の端部は開口している液体処理装置。 A liquid treatment apparatus for irradiating a liquid with ultraviolet light,
a container having a bottom plate provided at the lower end and a ceiling plate provided at the upper end, and having a space inside for supplying the liquid;
at least one cylindrical protective tube extending between the ceiling plate and the bottom plate;
at least one discharge lamp provided inside the protective tube, extending between the ceiling plate and the bottom plate, and capable of radiating ultraviolet rays;
and
The liquid treatment apparatus, wherein the end of the protective tube on the side of the bottom plate is open. 前記保護管の前記天井板側の端部は開口し、
前記保護管の前記天井板側の端部の開口を塞ぐ第１の蓋をさらに備えた請求項１記載の液体処理装置。 The end of the protective tube on the ceiling plate side is open,
2. The liquid treatment apparatus according to claim 1, further comprising a first lid that closes an opening of the end of the protective tube on the side of the ceiling plate. 前記第１の蓋は、前記保護管の前記天井板側の端部に着脱自在に設けられている請求項２記載の液体処理装置。 3. The liquid treatment apparatus according to claim 2, wherein the first lid is detachably provided at the end of the protective tube on the ceiling plate side. 前記放電ランプは、リード線を有し、
前記保護管の前記底板側の端部は開口し、
前記リード線は、前記保護管の前記底板側の開口を介して、前記保護管の外部に引き出されている請求項１～３のいずれか１つに記載の液体処理装置。 The discharge lamp has a lead wire,
The end of the protective tube on the bottom plate side is open,
The liquid treatment apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the lead wire is drawn out of the protective tube through an opening on the bottom plate side of the protective tube. 前記保護管の前記底板側の端部に設けられた第２の蓋をさらに備え、
前記放電ランプは、リード線を有し、
前記保護管の前記底板側の端部は開口し、
前記第２の蓋は、開口部を有し、
前記リード線は、前記開口部を介して、前記保護管の外部に引き出されている請求項１～３のいずれか１つに記載の液体処理装置。 further comprising a second lid provided at the end of the protective tube on the bottom plate side,
The discharge lamp has a lead wire,
The end of the protective tube on the bottom plate side is open,
The second lid has an opening,
The liquid treatment apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the lead wire is drawn out of the protective tube through the opening. 前記保護管の内壁と、前記放電ランプと、の間に設けられた保持部をさらに備え、
前記保持部は、前記放電ランプの前記底板側への移動を抑制する請求項１～５のいずれか１つに記載の液体処理装置。 further comprising a holding portion provided between the inner wall of the protective tube and the discharge lamp,
The liquid treatment apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the holding portion suppresses movement of the discharge lamp toward the bottom plate. 請求項１～６のいずれか１つに記載の液体処理装置の製造方法であって、
液体が供給される空間を内部に有する容器の、天井板と、底板と、の間を延びる保護管の内部に放電ランプを設ける工程を備え、
前記保護管の内部に放電ランプを設ける工程において、
前記放電ランプのリード線を前記底板の側に向けて、前記保護管の前記天井板の側の開口から、前記保護管の内部に前記放電ランプを挿入し、前記リード線を前記保護管の前記底板の側の開口から、前記保護管の外部に引き出す液体処理装置の製造方法。 A method for manufacturing a liquid treatment apparatus according to any one of claims 1 to 6,
A step of providing a discharge lamp inside a protective tube extending between a ceiling plate and a bottom plate of a container having a space in which the liquid is supplied,
In the step of providing a discharge lamp inside the protective tube,
With the lead wire of the discharge lamp directed toward the bottom plate, the discharge lamp is inserted into the protective tube through the opening of the protective tube on the ceiling plate side, and the lead wire is inserted into the protective tube. A method of manufacturing a liquid treatment apparatus in which the protective tube is pulled out from the opening on the side of the bottom plate.
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