JP2023000457A - 反射型マスクブランク、及び反射型マスクの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1.基板と、該基板の一の主表面上に形成された露光光を反射する多層反射膜と、該多層反射膜に接して形成された保護膜と、該保護膜上に形成された露光光を吸収する吸収体膜とを有し、EUV光を露光光とするEUVリソグラフィで用いられる反射型マスクの素材となる反射型マスクブランクあって、
前記多層反射膜が、モリブデン(Mo)を含む材料からなる低屈折率層と、高屈折率層とを交互に積層した周期積層構造を有し、
前記低屈折率層が、1又は2以上の第1の低屈折率副層と、1又は2以上の前記第1の低屈折率副層とは組成が異なる第2の低屈折率副層とからなり、
前記第1の低屈折率副層が、モリブデン(Mo)と、窒素(N)、炭素(C)、水素(H)及びホウ素(B)から選ばれる1以上の元素とを含み、
前記第2の低屈折率副層が、モリブデン(Mo)及び炭素(C)の一方又は双方を含み、窒素(N)、水素(H)及びホウ素(B)を含まず、
前記第2の低屈折率副層の厚さが、0.1nm以上0.5nm以下であり、
前記低屈折率層中、前記高屈折率層に接する一方又は双方の低屈折率副層が、前記第2の低屈折率副層である
ことを特徴とする反射型マスクブランク。
2.前記低屈折率層が、アモルファスを有することを特徴とする1に記載の反射型マスクブランク。
3.前記第2の低屈折率副層が、前記第1の低屈折率副層と比べて、高い圧縮応力を有することを特徴とする1又は2に記載の反射型マスクブランク。
4.前記第2の低屈折率副層が、152mm角、厚さ6.35mmのSiO2-TiO2系ガラス基板の主表面に、厚さt(nm)の第2の低屈折率副層を形成したとき、第2の低屈折率副層の応力により前記SiO2-TiO2系ガラス基板に生じる反りの量ΔTIR(nm)が、下記式(1)
ΔTIR<7×t (1)
を満たす層である
ことを特徴とする1乃至3のいずれかに記載の反射型マスクブランク。
5.前記高屈折率層が、ケイ素(Si)を含む材料からなることを特徴とする1乃至4のいずれかに記載の反射型マスクブランク。
6.前記高屈折率層が、1又は2以上の第1の高屈折率副層と、1又は2以上の第2の高屈折率副層とからなり、
前記第1の高屈折率副層が、ケイ素(Si)と、窒素(N)、炭素(C)、水素(H)及びホウ素(B)から選ばれる1以上の元素とを含み、
前記第1の高屈折率副層の厚さが、0.1nm以上0.7nm以下であり、
前記第2の高屈折率副層が、ケイ素(Si)を含み、窒素(N)、炭素(C)、水素(H)及びホウ素(B)を含まないことを特徴とする5に記載の反射型マスクブランク。
7.前記高屈折率層中、前記低屈折率層に接する前記基板から離間する側の高屈折率副層が、前記第1の高屈折率副層であることを特徴とする6に記載の反射型マスクブランク。
8.1乃至7のいずれかに記載の反射型マスクブランクを用いて製造することを特徴とする反射型マスクの製造方法。
本発明の反射型マスクブランクは、基板と、基板の一の主表面上に形成された露光光を反射する多層反射膜と、多層反射膜に接して形成された保護膜と、保護膜上に形成された露光光を吸収する吸収体膜とを有する。本発明の反射型マスクブランクは、EUV光を露光光とするEUVリソグラフィで用いられる反射型マスク(EUVマスク)の素材(EUVマスクブランク)として好適である。EUV光を露光光とするEUVリソグラフィに用いられるEUV光の波長は13~14nmであり、通常、波長が13.5nm程度の光である。
ΔTIR<7×t (1)
を満たす層であることが好ましい。
152mm角、6.35mm厚の低熱膨張ガラス基板(SiO2-TiO2系ガラス基板)の主表面の上に、モリブデン(Mo)ターゲットとケイ素(Si)ターゲットとを用い、これらのターゲットと基板の主表面とを対向させ、基板を自転させながら、DCパルスマグネトロンスパッタリングにより、多層反射膜を成膜した。モリブデン(Mo)ターゲットとケイ素(Si)ターゲットとを装着でき、ターゲットを1つずつ個々に又は2以上同時に放電することができるスパッタ装置に、各々のターゲットを装着して、基板を設置した。
低透過率層の形成を以下のように変更した以外は、実験例1と同様にして、基板上に多層反射膜及び保護膜を成膜し、反射率及びBGLを測定し、結晶構造(結晶性)を評価した。
低透過率層の形成を以下のように変更した以外は、実験例1と同様にして、基板上に多層反射膜及び保護膜を成膜し、反射率及びBGLを測定し、結晶構造(結晶性)を評価した。
152mm角、6.35mm厚の低熱膨張ガラス基板(SiO2-TiO2系ガラス基板)の主表面の上に、モリブデン(Mo)ターゲットとケイ素(Si)ターゲットと炭素(C)ターゲットとを用い、これらのターゲットと基板の主表面とを対向させ、基板を自転させながら、DCパルスマグネトロンスパッタリングにより、多層反射膜を成膜した。モリブデン(Mo)ターゲットとケイ素(Si)ターゲットと炭素(C)ターゲットとを装着でき、ターゲットを1つずつ個々に又は2以上同時に放電することができるスパッタ装置に、各々のターゲットを装着して、基板を設置した。
低透過率層の形成を以下のように変更した以外は、実験例4と同様にして、基板上に多層反射膜及び保護膜を成膜し、反射率及びBGLを測定し、結晶構造(結晶性)を評価した。
低透過率層の形成を以下のように変更した以外は、実験例4と同様にして、基板上に多層反射膜及び保護膜を成膜し、反射率及びBGLを測定し、結晶構造(結晶性)を評価した。
152mm角、6.35mm厚の低熱膨張ガラス基板(SiO2-TiO2系ガラス基板)の主表面の上に、モリブデン(Mo)ターゲットとケイ素(Si)ターゲットとを用い、これらのターゲットと基板の主表面とを対向させ、基板を自転させながら、DCパルスマグネトロンスパッタリングにより、多層反射膜を成膜した。モリブデン(Mo)ターゲットとケイ素(Si)ターゲットとを装着でき、ターゲットを1つずつ個々に又は2以上同時に放電することができるスパッタ装置に、各々のターゲットを装着して、基板を設置した。
低透過率層の形成を以下のように変更した以外は、比較実験例1と同様にして、基板上に多層反射膜及び保護膜を成膜し、反射率及びBGLを測定し、結晶構造(結晶性)を評価した。
高透過率層の形成を以下のように変更した以外は、比較実験例1と同様にして、基板上に多層反射膜及び保護膜を成膜し、反射率及びBGLを測定し、結晶構造(結晶性)を評価した。
11 基板
12 多層反射膜
13 保護膜
14 吸収体膜
低屈折率層の形成を以下のように変更した以外は、実験例1と同様にして、基板上に多層反射膜及び保護膜を成膜し、反射率及びBGLを測定し、結晶構造(結晶性)を評価した。
低屈折率層の形成を以下のように変更した以外は、実験例1と同様にして、基板上に多層反射膜及び保護膜を成膜し、反射率及びBGLを測定し、結晶構造(結晶性)を評価した。
低屈折率層の形成を以下のように変更した以外は、実験例4と同様にして、基板上に多層反射膜及び保護膜を成膜し、反射率及びBGLを測定し、結晶構造(結晶性)を評価した。
低屈折率層の形成を以下のように変更した以外は、実験例4と同様にして、基板上に多層反射膜及び保護膜を成膜し、反射率及びBGLを測定し、結晶構造(結晶性)を評価した。
低屈折率層の形成を以下のように変更した以外は、比較実験例1と同様にして、基板上に多層反射膜及び保護膜を成膜し、反射率及びBGLを測定し、結晶構造(結晶性)を評価した。
高屈折率層の形成を以下のように変更した以外は、比較実験例1と同様にして、基板上に多層反射膜及び保護膜を成膜し、反射率及びBGLを測定し、結晶構造(結晶性)を評価した。
Claims (8)
- 基板と、該基板の一の主表面上に形成された露光光を反射する多層反射膜と、該多層反射膜に接して形成された保護膜と、該保護膜上に形成された露光光を吸収する吸収体膜とを有し、EUV光を露光光とするEUVリソグラフィで用いられる反射型マスクの素材となる反射型マスクブランクであって、
前記多層反射膜が、モリブデン(Mo)を含む材料からなる低屈折率層と、高屈折率層とを交互に積層した周期積層構造を有し、
前記低屈折率層が、1又は2以上の第1の低屈折率副層と、1又は2以上の前記第1の低屈折率副層とは組成が異なる第2の低屈折率副層とからなり、
前記第1の低屈折率副層が、モリブデン(Mo)と、窒素(N)、炭素(C)、水素(H)及びホウ素(B)から選ばれる1以上の元素とを含み、
前記第2の低屈折率副層が、モリブデン(Mo)及び炭素(C)の一方又は双方を含み、窒素(N)、水素(H)及びホウ素(B)を含まず、
前記第2の低屈折率副層の厚さが、0.1nm以上0.5nm以下であり、
前記低屈折率層中、前記高屈折率層に接する一方又は双方の低屈折率副層が、前記第2の低屈折率副層である
ことを特徴とする反射型マスクブランク。 - 前記低屈折率層が、アモルファスを有することを特徴とする請求項1に記載の反射型マスクブランク。
- 前記第2の低屈折率副層が、前記第1の低屈折率副層と比べて、高い圧縮応力を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の反射型マスクブランク。
- 前記第2の低屈折率副層が、152mm角、厚さ6.35mmのSiO2-TiO2系ガラス基板の主表面に、厚さt(nm)の第2の低屈折率副層を形成したとき、第2の低屈折率副層の応力により前記SiO2-TiO2系ガラス基板に生じる反りの量ΔTIR(nm)が、下記式(1)
ΔTIR<7×t (1)
を満たす層である
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の反射型マスクブランク。 - 前記高屈折率層が、ケイ素(Si)を含む材料からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の反射型マスクブランク。
- 前記高屈折率層が、1又は2以上の第1の高屈折率副層と、1又は2以上の第2の高屈折率副層とからなり、
前記第1の高屈折率副層が、ケイ素(Si)と、窒素(N)、炭素(C)、水素(H)及びホウ素(B)から選ばれる1以上の元素とを含み、
前記第1の高屈折率副層の厚さが、0.1nm以上0.7nm以下であり、
前記第2の高屈折率副層が、ケイ素(Si)を含み、窒素(N)、炭素(C)、水素(H)及びホウ素(B)を含まないことを特徴とする請求項5に記載の反射型マスクブランク。 - 前記高屈折率層中、前記低屈折率層に接する前記基板から離間する側の高屈折率副層が、前記第1の高屈折率副層であることを特徴とする請求項6に記載の反射型マスクブランク。
- 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の反射型マスクブランクを用いて製造することを特徴とする反射型マスクの製造方法。
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