JP2022553710A

JP2022553710A - 複合フィルタ材の製造方法、及び該製造方法によって得られた複合フィルタ材

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Publication number: JP2022553710A
Application number: JP2022523645A
Authority: JP
Inventors: モメンテ、ロベルト; ルチニャーノ、カルミネ; シモーネ、マルティーナ; カノニコ、パオロ
Original assignee: SAATI SpA
Current assignee: SAATI SpA
Priority date: 2019-10-24
Filing date: 2020-10-21
Publication date: 2022-12-26
Also published as: WO2021079283A3; CN114502252A; WO2021079283A2; EP4048427A2; KR20220073739A; US20220339567A1; TW202131982A

Abstract

複合フィルタ材（１）を製造する方法であって、電界紡糸プロセスによって基布（２）上にナノ繊維（４）を堆積させて第１のフィルタ材（８）を形成する工程と、真空チャンバ（９）内で前記第１のフィルタ材（８）にコーティング（７）をプラズマ蒸着させることによって前記フィルタ材（１）を被覆する工程とを含む、複合フィルタ材（１）を製造する方法。本発明によれば、前記電界紡糸プロセスの後であって、前記コーティング（７）のプラズマ蒸着の前に、同じチャンバ（９）内で、前記第１のフィルタ材（８）を形成する前記基布（２）及びナノ繊維（４）の脱気工程を含む。公知のフィルタ材と比較して、本発明のフィルタ材は、基布とナノ繊維の表面に強く付着した完全に重合したコーティングの形成により、所望のレベルの撥水・撥油性を維持するという利点を有する。【選択図】図１

Description

本発明は、複合フィルタ材の製造方法に関する。また、本発明は、当該製造方法で得られた複合フィルタ材にも及ぶ。

本発明の分野は、複合フィルタ材の分野であり、特に、例えば、家電製品、特に携帯電話の電気音響部品において、最良の音響伝達のために、高い空気透過性、すなわち低い音響インピーダンスが確保されるように、塵埃粒子の侵入に対する保護のためと、水及び油等の液体全般をはじくために使用される複合フィルタ材の分野である。

公知の複合フィルタ材は、横糸及び経糸の基布によって支持されたナノ繊維の少なくとも１つの層の組み合わせによって形成され、ナノ繊維層は、電界紡糸プロセスによって基布上に堆積し、プラズマコーティングが、基布及びナノ繊維に適用される。この方法は、ナノ繊維層が基布に付着した複合フィルタ材を形成する。

プラズマコーティングが所望の性能を確保するためには、プラズマシステムチャンバに注入されたモノマーが、最適な条件下、基布とナノ繊維の表面で重合することが不可欠である。しかしながら、この重合条件は、電源の電力、真空チャンバ内の密閉圧力、繊維へのプラズマ処理の曝露時間、電極からの基材の距離等、プラズマ処理に設定されたプロセスパラメータに依存する。

上記のプラズマ処理中、真空チャンバ内の圧力は設定値に対して変動することがあり、特に、真空チャンバ内の処理対象材料が放出するガスによって圧力が上昇することがある。基布及びナノ繊維の表面にコーティングを形成するためのプラズマ処理中に、チャンバ内の圧力が上昇する理由は、主に、真空チャンバ内に置かれた材料の水分含有量に起因する。実際、この処理中に、水分子がコーティングされる繊維材料から放出され、圧力が上昇し、コーティングプラズマ供給ガスと混ざり合い、汚染される。このことは、直径や重量が大きい材料のロール、すなわち、工業生産工程で作業する場合に、さらに重大な問題となる。

このような圧力の上昇は、基布とナノ繊維のコーティングを形成する材料の重合条件を必然的に変化させ、コーティングの重合が不完全になり、その結果、ナノ繊維の表面エネルギーを下げることができず、最終的なフィルタ材の所望の撥水・撥油性を達成できない。

基布から放出される水分子によるコーティングプラズマ供給ガスの汚染は、重合反応を変化させるため、所望の撥水・撥油性コーティングの性能よりも低い化学物理的特性を有するコーティングを生成し、重合したコーティングの基板への十分な接着を確保することができなくなる。

本発明の主な目的は、この種の公知のフィルタ材と比較して、基布を形成するモノフィラメントの表面、及びナノ繊維の表面に堆積したコーティングの最適な重合を確保する複合フィルタ材、及びその製造方法を提供することである。

また、本発明の目的は、基布のモノフィラメントの表面、及びナノ繊維の表面に強く付着するコーティングを有するフィルタ材を製造する方法を提供することである。

これらの目的及び他の目的は、それぞれ請求項１及び請求項１０に記載の方法及びフィルタ材によって達成される。本発明の好ましい実施形態は、残りの請求項から明らかになるであろう。

公知のフィルタ材と比較して、本発明のフィルタ材は、基布及びナノ繊維の表面に強く付着する完全に重合したコーティングの形成により、所望のレベルの撥水・撥油性を維持するという利点を提供する。

個々のナノ繊維、及び布の個々の糸が、薄い高度に疎水性かつ疎油性のコーティングで覆われている本発明の複合フィルタ材は、汚れをはじき、特には液体、とりわけ水（高い表面張力、７２ｍＮ／ｍ）だけでなく、低い表面張力（３０～４０ｍＮ／ｍ）の油などの液体もはじく能力を有する。本発明のフィルタ材のこの特性は、とりわけ携帯電話機の電気音響部品のための保護スクリーンとしての適用においてきわめて有用である。実際、本発明のフィルタ材は、空気に対するきわめて高い透過性（及び、きわめて低い音響インピーダンス）を提供するナノ繊維からなるため、粒子の侵入に対する効果的な保護を保証する。さらに、その特定のコーティングゆえに、本発明の複合フィルタ材は、水、油、及び他の種類の液体の浸入を防止する。実際、本発明のフィルタ材は、これらの液体の浸入を防止するだけでなく、その撥水性ゆえに洗浄がより容易である。

これら及び他の目的、利点及び特徴は、添付の図面の図中の非限定的な例として示される、本発明の方法及びフィルタ材の好ましい実施形態の以下の説明から明らかになるであろう。

本発明の複合フィルタ材の一例の断面概略図である。基布の対応する糸に、電界紡糸によって堆積したナノ繊維の詳細図を示しており、ナノ繊維及び基布の糸の両方が、プラズマ処理によって適用された撥水・撥油ポリマーのナノメートル層で全て被覆されている。本発明のフィルタ材のナノ繊維の層を製作するための電界紡糸方法を示している。基布上に電界紡糸プロセスによって作られたナノ繊維層を堆積させることによって得られた本発明のフィルタ材のプラズマ処理を概略的に示している。乾燥サンプル及び湿潤サンプルにおいて、フィルタ材を横切って測定された流量と圧力との間の関係を示している。２つの異なるサンプルについて実施された詰まり除去試験について、除去圧力と対応する圧力降下との間の関係を示している。

図１に番号１によって全体として示されている本発明の複合フィルタ材は、経糸及び横糸形式の基布２、好ましくはモノフィラメント布によって形成された支持体を備え、その表面にナノ繊維４が電界紡糸によって堆積している。ポリエステル、ポリアミド、ポリプロピレン、ポリエーテルスルホン、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、アラミドのモノフィラメントから出発して作られたモノフィラメント３が、本発明に好適であり、基布２のメッシュ開口部は、２５００ミクロン～５ミクロンの範囲にある。

本発明の複合フィルタ材の作製に使用される基布は、ポリエステル、ポリアミド、ポリプロピレン、ポリエーテルスルホン、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、アラミド等の、製織に使用されるモノフィラメントの化学的性質が異なる広範囲の合成モノフィラメント布から選択される。また、糸が４～３００本／ｃｍである織物構造、１０～５００ミクロンである糸の直径、目付が１５～３００ｇ／ｍ^２である織り方、及び１８～１０００ミクロンの厚さを有する基布が、本発明に好適である。仕上げ及びさらなる表面処理のために、メタライゼーションに加えて、洗浄、及びヒートセットされた「白色」布、着色布、プラズマ処理を施した布、疎水性の布、親水性の布、抗菌性の布、帯電防止布等を使用することができる。糸が４８本／ｃｍであり、直径が５５μｍであり、基布のメッシュ開口部が１５３μｍであるポリエステルモノフィラメント布が、本発明にとって好ましい。

ポリエステル、ポリウレタン、ポリアミド、ポリイミド、ポリプロピレン、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアミドイミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、アルギネート、ポリカーボネート、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）、ＰＬＡ（ポリ乳酸）、ＰＡＮ（ポリアクリロニトリル）、ＰＥＶＡ（ポリエチレンビニルアセテート）、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）、ＰＥＯ（ポリエチレンオキシド）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＶＣ、ＰＥＩ、ＰＵＲ、及びポリスチレンのナノ繊維４が、本発明に好適である。これらのナノ繊維は、５０ｎｍ～７００ｎｍの間の直径を有することができる。７５～２００ｎｍの範囲の直径を有するＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）ナノ繊維が好ましい。

図３に示すように、ナノ繊維４の形成、及びその後の基布２上への堆積のための電界紡糸プロセスは、適切な溶媒に溶解させたナノ繊維４の形成のための材料をノズル５を通って射出して、電極６上に広げることにある。ノズル５と電極６との間の電位差により、ナノ繊維４は、電界による溶媒の蒸発と、ノズルによる電極上に堆積したポリマーの引き延ばしによって形成される。次いで、このようにして形成されたナノ繊維は、引き延ばされ、その後に基布２上に堆積する。

次いで、このようにして得られた複合フィルタ材は、布２及びナノ繊維層４の露出面上にナノメートル厚のポリマー層７をプラズマ蒸着して、表面処理を施し、基布２のモノフィラメント３及び上述のナノ繊維４の外面を完全に覆う（図２）。

図４に示されるように、図３の先行の電界紡糸プロセスから得られた複合フィルタ材８が、本発明の複合フィルタ材１を覆うように、上述のコーティング７を形成するガスの存在下で、プラズマ処理チャンバ９の内部に配置される。

フルオロカーボンアクリレート、特には、ヘプタデカフルオロデシルアクリレート、パーフルオロオクチルアクリレート等に基づくガスが、本発明にとって好ましい。本発明の利点は、撥水性及び撥油性によって、プラズマ処理によりフルオロカーボンアクリレートの堆積物を形成するガスである。

上述のプラズマ処理において、キャリアガスも使用され、キャリアガスは、例えば、国際公開第２０１１０８９００９号に記載されている種類のキャリアガスである。

上述のプラズマ処理は、１０～５０ｍＴｏｒｒの真空の生成、１５０～３５０Ｗの電極出力、及び０．５～６分の曝露時間を含む。

プラズマ技術によって蒸着したコーティングは、最大５００ｎｍの厚さを有することができ、使用される特定の技術に起因して、布地のような３Ｄ表面でさえもコーティングすることができる連続フィルムの構造を有する。使用される化合物に応じて、上述のコーティングは、疎水性、疎油性、親水性、及び帯電防止性等のさまざまな特有の特性を有することができる。

出発ガス中の以下の化合物から出発して得られるコーティングが、本発明にとって好ましい。
１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ－ヘプタデカフルオロデシルアクリレート（ＣＡＳ番号：２７９０５－４５－９、Ｈ_２Ｃ＝ＣＨＣＯ_２ＣＨ_２ＣＨ_２（ＣＦ_２）_７ＣＦ_３）
１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ－パーフルオロオクチルアクリレート（ＣＡＳ番号：１７５２７－２９－６、Ｈ_２Ｃ＝ＣＨＣＯ_２ＣＨ_２ＣＨ_２（ＣＦ_２）_５ＣＦ_３）

コーティング７の厚さは１５～６０ｎｍであり、複合フィルタ材１が布２及びナノ繊維４の両方において形成する細孔を過度に狭めて、音の自由な通過を妨げてしまうことを、防止するために適している。

図３の電界紡糸プロセスから得られた複合フィルタ材８について試験を行い、図４の後続のプラズマ処理を施した類似の複合フィルタ材１と比較した。

特には、上述のフィルタ材８は、（例えば、ポリエステルの）合成モノフィラメント３で作られた横糸及び経糸の布によって形成され、この布に、音響インピーダンス／空気透過性を測定するためのＴｅｘｔｅｓｔ機器などで測定される２５ＭＫＳＲａｙｌの音響インピーダンスを得るように、やはり合成材料（例えば、ポリエステル）で作られたナノ繊維４が堆積している。

フィルタ材８のプラズマ処理後に、本発明の複合フィルタ材１について、音響インピーダンスが２５ＭＫＳＲａｙｌの値で不変のままであることを観察することができる。２００Ｐａの圧力における５，２００ｌ／ｍ^２ｓという空気透過性、及びフィルタリング効率も、不変のままである。

他方で、水との接触角（５０°～１３０°）、及び油との接触角（表面張力が３２ｍＮ／ｍのコーン油を含む油の場合、５０°～１２０°）の両方で顕著な増加が観察され、ここで接触角は、Ｋｒｕｓｓ機器で液滴法（液滴の堆積、及び高解像度カメラによる接触角の測定）を使用して、ナノ繊維４における水又は油の液滴について測定される。

詰まり除去試験
上述の観察の証拠を提示するために、本発明の複合フィルタ材の表面に付着した油を除去するために必要なエネルギを数値的に定量化する目的で、試験方法を開発した。

この試験を、キャピラリーフローポロメトリを使用して、試験された試料のバブルポイント、最小細孔径、及び細孔径の分布を決定する機器であるポロメータ（ＰＭＩ社製のＰＭＩ１２００）を用いて行った。キャピラリーフローポロメトリ、又は単にポロメトリは、材料の細孔を湿潤液体が通過するのに必要なガス圧力を測定するという、きわめて単純な原理に基づく。細孔が空になる圧力は、細孔自体の大きさに反比例する。大きな細孔は、低い圧力しか必要としないが、小さな細孔は、高い圧力を必要とする。

試験は、分析すべき試料を切断し、試験チャンバ内に配置することからなる。次いで、試料は、横方向の空気漏れが存在しないことを確実にするようなやり方で、Ｏリングによって定位置に保持される。チャンバが閉じられると、フィルタ材の空気透過性が測定され、試料を通る空気の流れをフィルタ材をまたいで測定される圧力降下に関連させる曲線（図５のグラフの乾燥曲線）が得られる。乾燥曲線が得られた後に、試験チャンバを開き、試料を定位置に残しつつ、その表面を低い表面張力（典型的には、＜２０ｍＮ／ｍ）を有する試験液体で覆う。次いで、試験チャンバを閉じ、材料の空気透過性を再び測定する。材料が試験液体によって閉塞されると、圧力は高くなるが、圧力が液体を押して細孔を通過させるために充分に高くなるまでは、下流において空気流は測定されない。この瞬間から、（それまでは濡れていた）試料が完全に乾燥し、図５の２つの曲線が重なるまで、圧力の値が大きくなるにつれてだんだんと小さなサイズの細孔が空になる。分析の詳細は論じないが、定性的なレベルにおいて、２つの曲線間の差から、バブルポイント値（最大の細孔）、最小の細孔のサイズ、及び細孔のサイズの分布を決定することができる。

具体的な事例において、撥油性／除去能力を決定するために、試験液体の代わりにコーン油（表面張力は３２ｍＮ／ｍ）を使用して、この試験を行った。

図６のグラフは、除去圧力、及び対応する圧力降下（除去に必要なエネルギ）を示している。図６のグラフで考察されているサンプルは、電界紡糸処理からのフィルタ材８（曲線１０）、及び本発明のフィルタ材１（曲線１１）である。本発明のフィルタ材１では、プラズマ処理が施されていない複合フィルタ材８よりも、明らかに低い圧力で油を除去することができ、あるいは同じ圧力で明らかに多くの量の油が除去されることが分かる。

本発明によれば、真空チャンバ内で処理される複合フィルタ材８のモノフィラメント３及びナノ繊維４を形成する材料を脱気する予備工程と、コーティング７の形成工程の前に行われるその後のプラズマ処理とを上述の方法に加えることによって、基布を形成するモノフィラメント上、及びナノ繊維上にその後堆積されたコーティングの完全な重合、及び強い接着が達成されることが、今や驚くべきことに判明している。

特に、本発明によれば、プラズマコーティング７の形成工程の前に、チャンバ９内の圧力を５～２５０ｍＴｏｒｒの値にするように、前記電界紡糸プロセスにより得られたフィルタ材８の脱気工程をチャンバ９内で実施する。この目的のために、処理される材料のサイズ、重量、及び吸湿性に応じて、典型的には５秒～５分の範囲の材料の暴露時間を有する脱気工程を設けるべきである。もちろん、基材の完全な乾燥を可能にする適切な暴露時間、すなわちその後のコーティング工程で安定した真空度を確保できる時間が決まれば、チャンバ内の暴露領域に応じて脱気工程の適切な速度を設定しなければならない。この領域は、巻出しと巻取りのシリンダー間の距離と電極の大きさによって定義される。特に、材料がロール状の場合、材料の含水率に応じて０．１～５０ｍ／ｍｉｎの速度でチャンバ９内で連続的に巻き戻し、巻き取られることになる。チャンバ９には、バルブシステムによって適切に制御された開口部が設けられ、除去されるべきガスが排気される。

本発明によれば、前記圧力値の事前チェックにより、その後の前記コーティング形成の工程において、基布及びナノ繊維の表面上のコーティング７の所望の重合圧力に到達できるように、チャンバ９内の処理対象材料に含まれる水分を完全に除去することができるようになる。

さらに、本発明によれば、前記脱気処理の後であって、コーティング７の形成工程の前に、基布２を形成するモノフィラメント３及びナノ繊維４の表面は、好ましくは窒素、ヘリウム、アルゴン、及び酸素から選ばれるキャリアガスと供に、１０～４００ｍＴｏｒｒの圧力で、１００～２０００Ｗの範囲の電極電力、及び５秒～５分の範囲の曝露時間で維持される、チャンバ９内で行われるプラズマ処理により、チャンバ９内で再活性化することができる。使用するガス、暴露時間、及び電力に応じて、多かれ少なかれ顕著なエッチング効果が得られ、その結果、処理される表面にナノメートル／マイクロメートルの粗さが形成されることになる。

この工程では、重合性モノマーが存在しないため、処理表面にコーティングが形成されない。それどころか、プラズマによって十分にエネルギー化されたキャリアガスから来るイオンは、基材の表面に何らかのエネルギーで衝突し、ナノ溝、ひいてはナノメートルサイズの粗さを生み出し、モノフィラメント３及びナノ繊維４の表面へのポリマーコーティング７のグリップ、及び付着を促進し、水及び油性液体に対するフィルタ材の反発作用に大きく寄与する。

本発明の製造方法により形成されたフィルタ材が提供する結果は、以下の表に示されており、その値は、後者の形成のためのプラズマ処理を行った後に得られた、ポリマー材料の層７を有するフィルタ材上で測定されたものである：
－処理される材料をチャンバ９内に３０秒間保持し、その後の処理で２５ｍＴｏｒｒの安定した圧力を確保するのに適した脱気工程；
－次に、キャリアガスとしてヘリウムの存在下、真空度１５０ｍＴｏｒｒ、電極電力６００Ｗ、暴露時間１分で実施される、コーティングされる材料をプラズマ処理する工程。

これらの結果から、脱気工程及び先行プラズマ処理後に、真空チャンバ９内で形成されたポリマーコーティング７が、どのように、本発明のフィルタ材に、油との非常に高い接触角（＞１１０°）、及び基板に対する必要最小限の接着レベルよりもはるかに高い接着レベルを保証するかが分かる。

上述し、添付図面に図示した本発明では、添付の特許請求の範囲に含まれる変形例を製造するために変更を加えることができる。

特に、フィルタ材がわずかに吸湿性の材料から出発して作られ、プラズマ蒸着プロセスに供される場合、プラズマ処理によって、再び窒素、ヘリウム、アルゴン、及び酸素から選択されるキャリアガスで、再活性化工程を単独で行うことが可能である。実際、この種のわずかに吸湿性のある材料については、上述の予備的な脱気工程を省略することが可能である。

Claims

複合フィルタ材（１）を製造する方法であって、
電界紡糸プロセスにより、基布（２）上にナノ繊維（４）を堆積させて第１のフィルタ材（８）を形成する工程と、
真空チャンバ（９）内で前記第１のフィルタ材（８）にコーティング（７）をプラズマ蒸着させることによって前記フィルタ材（１）を被覆する工程とを含み、
前記方法は、前記電界紡糸プロセスの後であって、前記コーティング（７）のプラズマ蒸着の前に、同じチャンバ（９）内で、前記第１のフィルタ材（８）を形成する前記基布（２）及びナノ繊維（４）の脱気工程を含むことを特徴とする、複合フィルタ材の製造方法。
前記脱気工程の間、前記チャンバ（９）を５～２５０ｍＴｏｒｒの間の内圧値にすることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
前記脱気工程の間、前記チャンバ内において、前記材料に対して５秒～５分の曝露時間が確保されることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
前記脱気工程の後であって、前記コーティング（７）のプラズマ蒸着の前に、前記基布（２）及び前記ナノ繊維（４）の表面に凹凸を形成する工程を含み、前記凹凸を形成する工程は、前記脱気工程で得られた前記第１のフィルタ材（８）のプラズマ処理によって、キャリアガスの存在下で、ポリマー含有ガスなしに、前記チャンバ（９）内で実施されることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
前記キャリアガスが、窒素、ヘリウム、アルゴン、又は酸素から選択されることを特徴とする請求項４に記載の製造方法。
前記プラズマ処理を、チャンバ（９）内で、１０～４００ｍＴｏｒｒの圧力で、１００～２０００Ｗの電極電力で、５秒～５分の曝露時間で行うことを特徴とする請求項５に記載の製造方法。
前記電界紡糸プロセスは、適切な溶媒に溶解させたポリマーをノズル（５）によって押し出し、その後前記ノズル自体と電極との間で前記繊維を引き延ばし、これにより前記ノズルと前記電極の間に適切に介在させた前記基布上へのナノメートル繊維の堆積物を得ることを含み、次いで、このようにして得られた前記フィルタ材（８）に、前記基布（２）及び前記ナノ繊維層（４）の露出表面上にナノメートル厚さのポリマー層（７）のプラズマ蒸着による表面処理が施されて、前記基布（２）の前記モノフィラメント（３）及び前記ナノ繊維（４）の外部表面が前記ポリマー層（７）でコーティングされた前記複合フィルタ材（１）が得られることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
前記プラズマ蒸着処理が、１０～５０ｍＴｏｒｒの真空の形成、１５０～３５０Ｗの電極電力、及び０．５～６分の暴露時間からなることを特徴とする請求項７に記載の製造方法。
複合フィルタ材（１）を製造する方法であって、
電界紡糸プロセスにより、基布（２）上にナノ繊維（４）を堆積させて第１のフィルタ材（８）を形成する工程と、
真空チャンバ（９）内で前記第１のフィルタ材（８）にコーティング（７）をプラズマ蒸着させることによって前記フィルタ材（１）を被覆する工程とを含み、
前記電界紡糸プロセス後であって、前記コーティング（７）のプラズマ蒸着の前に、前記チャンバ（９）内でキャリアガスの存在下、かつポリマー含有ガスなしで行われる前記第１のフィルタ材（８）のプラズマ処理によって、前記基布（２）及び前記ナノ繊維（４）の表面に凹凸を形成する工程を含むことを特徴とする、複合フィルム材の製造方法。
ナノ繊維（４）が堆積された基布（２）を備える種類の複合フィルタ材であって、
前記基布及び前記ナノ繊維が、プラズマプロセスによって塗布されたナノメートルコーティング層（７）で覆われており、前記基布（２）及び前記ナノ繊維（４）が、キャリアガスの存在下、かつポリマー含有ガスなしのプラズマ処理によって得られたナノ溝を有することを特徴とする複合フィルタ材。
前記コーティング（７）は、最大５００ｎｍの厚さ、好ましくは１５～６０ｎｍの厚さを有するフィルムによって形成されていることを特徴とする請求項１０に記載のフィルタ材。
前記コーティング（７）は、撥水性及び撥油性を有するフルオロカーボンアクリレートに基づくコーティングであることを特徴とする請求項１０に記載のフィルタ材。
前記モノフィラメント（３）は、ポリエステル、ポリアミド、ポリプロピレン、ポリエーテルスルホン、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、アラミドのモノフィラメントからなることを特徴とする請求項１０に記載のフィルタ材。
前記基布（２）は、２５００～５ミクロンのメッシュ開口部を有することを特徴とする請求項１０に記載のフィルタ材。
前記基布（２）は、糸が４～３００本／ｃｍである織物構造、１０～５００ミクロンである糸の直径、目付が１５～３００ｇ／ｍ^２である織り方、及び１８～１０００ミクロンの厚さを有することを特徴とする請求項１０に記載のフィルタ材。
前記ナノ繊維（４）は、ポリエステル、ポリウレタン、ポリアミド、ポリイミド、ポリプロピレン、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアミドイミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、アルギネート、ポリカーボネート、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）、ＰＬＡ（ポリ乳酸）、ＰＡＮ（ポリアクリロニトリル）、ＰＥＶＡ（ポリエチレンビニルアセテート）、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）、ＰＥＯ（ポリエチレンオキシド）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＶＣ、ＰＩ、又はポリスチレンのナノ繊維であることを特徴とする請求項１０に記載のフィルタ材。
前記ナノ繊維（４）は、５０ｎｍ～７００ｎｍの間の直径を有し、好ましくは７５～２００ｎｍの範囲の直径を有するＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）ナノ繊維であることを特徴とする請求項１０に記載のフィルタ材。
携帯電話機の電気音響部品の保護のための請求項１０～１７のいずれか１項に記載のフィルタ材の使用。