JP2022546147A - 層厚を決定するための装置および前記装置の操作方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本開示は、さらに、THz波を使用して、物体上に配置された複数の層の層厚を決定するための装置を動作させる方法に関する。
Claims (19)
- 物体(10)上に配置された複数の層(11、12、13)の層厚(t1、t2、t3)を決定する装置(100、100a、 100b)であって、
前記複数の層(11、12、13)にTHz信号(TS)を放射するように構成されたTHz送信機(110)と、前記複数の層(11、12、13)の少なくとも1つの層(11、12、13)によって反射された前記THz信号(TS)を受信するように構成されたTHz受信機(120)と、を備え、
前記装置(100、100a、100b)は、前記THz信号(TS)の反射部分(TSR)に基づいて前記複数の層(11、12、13)のうちの少なくとも1つの層厚(t1、t2、t3)を決定する(210)ように構成され、
前記装置(100、100a、100b)は、さらに、前記装置(100、100a、100b)と前記物体(10)との間の距離(d)を特徴付ける少なくとも1つのパラメータ(P1、P2)を決定する(200)ための距離測定装置(130)を備え、
前記距離測定装置(130)は、少なくとも1つの光学三角測量センサ(132、132a、132b、132c、132d)を備える、
装置(100、100a、100b)。 - 前記距離測定装置(130)は、2つ以上の光学三角測量センサ(132a、132b)を備える、請求項1に記載の装置(100、100a、100b)。
- THz放射(TR)は、0.3THzおよび100THzの範囲内、好ましくは0.5THzおよび10THzの範囲内の少なくとも1つの周波数成分を含む、請求項1または2に記載の機器(100、100a、100b)。
- 前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132a、132b)は、前記物体(10)の表面領域(10a’)を光学測定電磁波(MR)で照明するための1つの光源(1320)と、前記表面領域(10a’)によって反射された前記光学測定電磁波(MR)のそれぞれの反射部分(RMR)を受信するための1つの光検出器(1321)と、を含み、ここで、前記光学測定電磁波(MR)は、特にレーザを含む、請求項1~3の何れか1項に記載の装置(100、100a、100b)。
- 前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132c)は、前記物体(10)の表面領域(10a’)を光学測定電磁波(MR)で照明するための1つの光源(1320)を含み、前記光学測定電磁波(MR)は、特にレーザを含み、且つ前記表面領域(10a’)によって反射された前記光学測定電磁波(MR)のそれぞれの反射部分(RMR1、RMR2)を受信するための少なくとも2つの光検出器(1321a、1321b)を含む、ことを特徴とする、請求項1~4の何れか1項に記載の装置(100、100a、100b)。
- 前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132d)は、前記物体(10)の表面領域(10a’)を第1の光学測定電磁波(MR1)で照明するための第1の光源(1320a)と、前記物体(10)の前記表面領域(10a’)を第2の光学測定電磁波(MR2)で照明するための第2の光源(1320b)とを含み、前記第1の光学測定電磁波(MR1)および/または前記第2の光学測定電磁波(MR2)は、特にレーザを含み、前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132d)は、前記表面領域(10a’)によって反射された前記第1の光学測定電磁波(MR1)および/または前記第2の光学測定電磁波(MR2)の反射部分(RMR)を受信するための少なくとも1つの光検出器(1321)をさらに含む、請求項1~5の何れか1項に記載の装置(100、100a、100b)。
- 前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132、132a、132b、132c、132d)がa)前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132、132a、132b、132c、132d)の光源(1320)から放射され、前記物体(10)の表面(10a)で反射された光学測定電磁波(MR、MR1、MR2)の拡散反射、好ましくは光学測定電磁波(MR、MR1、MR2)の拡散反射のみ、および/またはb)前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132、132a、132b、132c、132d)の光源(1320)から放射され、前記物体(10)の表面(10a)で反射された光学測定電磁波(MR、MR1、MR2)の直接反射、好ましくは光学測定電磁波(MR、MR1、MR2)の直接反射のみを検出し得るように、前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132、132a、132b、132c、132d)は、前記装置(100、100a、100b)の光軸(OA)に対して配置されている、請求項1~6の何れか1項に記載の装置(100、100a、100b)。
- 前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132、132a、132b、132c、132d)は、前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132、132a、132b、132c、132d)が、a)前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132、132a、132b、132c、132d)の少なくとも1つの光源(1320)によって放射され、且つ前記物体(10)の表面領域(10a’)によって反射された光学測定電磁波(MR、MR1、MR2)の拡散反射を選択的に検出し、それによって、第1の三角測量経路を画定するか、且つ/またはb)少なくとも1つの光学三角測量センサ(132、132a、132b、132c、132d)の少なくとも1つの光源(1320)によって放射され、前記物体(10)の表面領域(10a’)によって反射された光学測定電磁波(MR、MR1、MR2)の直接反射を検出し、それによって、第2の三角測量経路を画定するように、前記装置(100、100a、100b)の光軸(OA)に対して配置されている、請求項1~7の何れか1項に記載の装置(100、100a、100b)。
- 前記装置(100、100a、100b)は、前記第1の三角測量経路および前記第2の三角測量経路の品質測度(QM)を決定し(220)、前記品質測度(QM)に応じて前記第1の三角測量経路および前記第2の三角測量経路のうちの1つを選択する(222)ように構成され、ここで、前記品質測度(QM)は、前記第1の三角測量経路および前記第2の三角測量経路のそれぞれの1つに関連する複数の距離測定値の分散および/またはノイズである、請求項8に記載の装置(100、100a、100b)。
- 前記装置(100、100a、100b)は、レーザ光源(1002)、ビームスプリッタ(1004)、および光学遅延ステージ(1006)を備え、
前記THz送信機(110)は、THz源(112)を備え、前記THz受信機(120)は、THz検出器(122)を備え、
前記レーザ光源(1002)は、前記ビームスプリッタ(1004)にレーザ信号(s0)を供給するように構成され、
前記ビームスプリッタ(1004)は、a)前記レーザ信号(s0)を第1の信号(s1)と第2の信号(s2)とに分割し、b)前記第1の信号(s1)を前記THz送信機(110)の前記THz源(112)に供給し、c)前記第2の信号(s2)を前記光学遅延ステージ(106)に供給し、
ここで、前記光学遅延ステージ(1006)は、前記第2の信号(s2)に、時間変動する、好ましくは周期的な遅延を適用し、これによって遅延信号(s2’)を得て、前記遅延信号(s2’)を前記THz受信機(120)の前記THz検出器(122)に供給するように構成されている、請求項1~9の何れか1項に記載の装置(100、100a、100b)。 - 前記装置(100、100a、100b)は、遅延パラメータ(C8)を決定するように構成され、前記遅延パラメータ(C8)は、前記光学遅延ステージ(1006)によって与えられる時間変動する、好ましくは周期的な所定の遅延、および前記装置(100、100a、100b)と前記物体(10)との間の前記距離(d)の変動を考慮した前記遅延信号(s2’)の有効遅延を特徴とし、前記装置(100、100a、100b)は、前記遅延パラメータ(C8)に応じて前記層厚(t1、t2、t3)を決定する(210)ように構成されている、請求項10に記載の装置(100、100a、100b)。
- 物体(10)上に配置された複数の層(11、12、13)の層厚(t1、t2、t3)を決定するために装置(100、100a、100b)を動作させる方法であって、
前記装置(100、100a、100b)は、前記複数の層(11、12、13)にTHz信号(TS)を送出するように構成されたTHz送信機(110)と、前記複数の層(11、12、13)の少なくとも1つの層(11、12、13)によって反射された前記THz信号(TS)の反射部分(TSR)を受信するように構成されたTHz受信機(120)と、を備え、
前記装置(100、100a、100b)は、前記THz信号(TS)の前記反射部分(TSR)に基づいて前記複数の層(11、12、13)の少なくとも1つの層厚(t1、t2、t3)を決定する(210)ように構成され、
前記装置(100、100a、100b)は、更に、前記装置(100、100a、100b)と前記物体(10)との間の距離(d)を特徴付ける少なくとも1つのパラメータ(P1、P2)を決定するための距離測定装置(130)を含み、
前記距離測定装置(130)は、少なくとも1つの光学三角測量センサ(132、132a、132b、132c、132d)を有し、
前記方法は、前記装置(100、100a、100b)と前記物体(10)との間の距離(d)を特徴付ける前記少なくとも1つのパラメータ(P1)を決定するステップ(200)と、前記少なくとも1つのパラメータ(P1、 P2)に基づいて前記複数の層(11、12、13)の前記層厚(t1、t2、t3)を決定するステップ(210)と、を有する、方法。 - 前記距離測定装置(130)は、2つ以上の光学三角測量センサ(132a、132b)を備える、請求項12に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132c)は、前記物体(10)の表面領域(10a’)を光学測定電磁波(MR)で照明するための1つの光源(1320)を備え、前記光学測定電磁波(MR)は、特にレーザを含み、前記表面領域(10a’)によって反射された前記光学測定電磁波(MR)のそれぞれの反射部分(RMR1、RMR2)を受信するための少なくとも2つの光検出器(1321a、1321b)を含み、前記方法は、距離測定を実行するための前記少なくとも2つの光検出器(1321a、1321b)のうちの1つ以上を選択することをさらに含む、請求項12または13に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132d)は、前記物体(10)の表面領域(10a’)を第1の光学測定電磁波(MR1)で照明するための第1の光源(1320a)と、前記物体(10)の前記表面領域(10a’)を第2の光学測定電磁波(MR2)で照明するための第2の光源(1320b)とを含み、前記第1の光学測定電磁波(MR1)および/または第2の光学測定電磁波(MR2)は、特にレーザを含み、前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132d)は、前記表面領域(10a’)によって反射された前記第1および/または第2の光学測定電磁波(MR1、MR2)の反射部分(RMR)を受信するための少なくとも1つの光検出器(1321)をさらに含み、前記方法は、距離測定を実行するための前記少なくとも2つの光源(1320a、1320b)のうちの1つまたは複数を選択することをさらに含む、請求項12~14のうちの何れか1項に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132、132a、132b、132c、132d)は、前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132、132a、132b、132c、132d)が、a)前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132、132a、132b、132c、132d)の少なくとも1つの光源(1320)によって放射され、前記物体(10)の表面領域(10a’)によって反射された光測定放射線(MR、MR1、MR2)の拡散反射を選択的に検出し、それによって第1の三角測量経路を確定するか、またはb)前記少なくとも1つの光学三角測量センサ(132、132a、132b、132c、132d)の少なくとも1つの光源(1320)によって放射され、前記物体(10)の表面領域(10a’)によって反射された光測定放射線(MR、MR1、MR2)の直接反射を選択的に検出し、それによって第2の三角測量経路を確定するように構成され、
第1の三角測量経路または第2の三角測量経路または第1の三角測量経路および第2の三角測量経路の両方を選択的に使用することをさらに含み、好ましくは、前記装置(100、100a、100b)は、前記第1の三角測量経路および前記第2の三角測量経路の品質測度(QM)を決定し、前記品質測度(QM)に応じて前記第1の三角測量経路および前記第2の三角測量経路のうちの1つを選択し、好ましくは、前記品質測度(QM)は、前記第1の三角測量経路および前記第2の三角測量経路のそれぞれ1つに関連する複数の距離測定値の分散および/または雑音を特徴付ける
請求項12~15の何れか1項に記載の方法。 - 前記装置(100、100a、 100b)は、レーザ光源(1002)と、ビームスプリッタ(1004)と、光学遅延ステージ(1006)と、を備え、
前記THz送信機(110)は、THz源(112)を含み、前記THz受信機(120)は、THz検出器(122)を備え、
前記レーザ光源(1002)は、前記ビームスプリッタ(1004)にレーザ信号(s0)を供給し、
前記ビームスプリッタ(1004)は、a)前記レーザ信号(s0)を第1の信号(s1)および第2の信号(s2)に分割し、b)前記第1の信号(s1)を、前記THz送信機(110)の前記第1の信号(s1)を前記THz送信機(110)の前記THz源(112)に供給し、c)前記第2の信号(s2)を前記光学遅延ステージ(106)に提供し、
前記光学遅延ステージ(1006)は、時間変動する、好ましくは周期的な所定の遅延を前記第2の信号(s2)に適用して遅延信号(s2’)が得られ、得られた前記遅延信号(s2’)を前記THz受信機(120)の前記THz検出器(122)に供給する、
請求項12~16のうち何れか1項に記載の方法。 - 前記装置(100、100a、100b)は、遅延パラメータを決定し、前記遅延パラメータは、前記光学遅延ステージ(1006)によって与えられる時間変動する、好ましくは周期的な所定の遅延、および前記装置(100、100a、100b)と前記物体(10)との間の前記距離(d)の変動を考慮に入れて、前記遅延信号(s2’)の有効遅延を特徴付け、好ましくは、前記装置(100、100a、100b)は、前記遅延パラメータに応じて前記層厚(t1、t2、t3)を決定する(210)、請求項17に記載の方法。
- 物体(10)および/または前記物体(20)の前記表面(10a)が導電性であり、好ましくは前記複数の層(11、12、13)の最上層(13)がクリアーコートを含み、好ましくは前記最上層(13)に隣接する第2の層(12)がベースコートを含む、前記物体(10)の表面(10a)上に配置された複数の層(11、12、13)の層厚を決定するための請求項1から請求項11の少なくとも1つに記載の装置(100、100a、100b)の使用および/または請求項12から18の少なくとも1つに記載の方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010181164A (ja) * | 2009-02-03 | 2010-08-19 | Aisin Seiki Co Ltd | 非接触膜厚測定装置 |
JP2013096853A (ja) * | 2011-11-01 | 2013-05-20 | Omron Corp | 変位センサ |
JP2016095243A (ja) * | 2014-11-14 | 2016-05-26 | キヤノン株式会社 | 計測装置、計測方法、および物品の製造方法 |
JP2016122008A (ja) * | 2010-06-09 | 2016-07-07 | パーセプトロン インコーポレイテッドPerceptron,Incorporated | 動的窓設定のシステム及び方法 |
JP2018159606A (ja) * | 2017-03-22 | 2018-10-11 | トヨタ自動車株式会社 | 膜厚測定方法および膜厚測定装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7199884B2 (en) * | 2004-12-21 | 2007-04-03 | Honeywell International Inc. | Thin thickness measurement method and apparatus |
JP5506491B2 (ja) * | 2010-03-26 | 2014-05-28 | 株式会社日立製作所 | 距離測定装置および距離測定方法 |
EP2781911B1 (en) * | 2013-03-18 | 2019-10-16 | ABB Schweiz AG | Sensor system and method for determining paper sheet quality parameters |
US10215696B2 (en) * | 2013-11-15 | 2019-02-26 | Picometrix, Llc | System for determining at least one property of a sheet dielectric sample using terahertz radiation |
EP2899498B1 (en) * | 2014-01-28 | 2020-03-11 | ABB Schweiz AG | Sensor system and method for characterizing a coated body |
EP2899497B1 (en) * | 2014-01-28 | 2019-03-13 | ABB Schweiz AG | Sensor system and method for characterizing a wet paint layer |
CN107429988B (zh) * | 2015-03-03 | 2020-12-08 | Abb瑞士股份有限公司 | 用于表征湿漆层的堆叠体的传感器系统和方法 |
EP3165872B1 (en) * | 2015-11-04 | 2020-04-15 | Hexagon Technology Center GmbH | Compensation of light intensity across a line of light providing improved measuring quality |
DE102016118905A1 (de) | 2016-10-05 | 2018-04-05 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zum zeitaufgelösten Erfassen gepulster elektromagnetischer Hochfrequenzstrahlung |
DE102017109854A1 (de) * | 2017-05-08 | 2018-11-08 | Wobben Properties Gmbh | Verfahren zur Referenzierung mehrerer Sensoreinheiten und zugehörige Messeinrichtung |
CN111201432B (zh) * | 2017-10-13 | 2023-02-17 | Abb瑞士股份有限公司 | 用于检测具有飞行时间校正的脉冲的THz波束的方法和设备 |
CN111988985B (zh) * | 2018-02-20 | 2024-01-02 | 流利生物工程有限公司 | 受控农业系统和农业的方法 |
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010181164A (ja) * | 2009-02-03 | 2010-08-19 | Aisin Seiki Co Ltd | 非接触膜厚測定装置 |
JP2016122008A (ja) * | 2010-06-09 | 2016-07-07 | パーセプトロン インコーポレイテッドPerceptron,Incorporated | 動的窓設定のシステム及び方法 |
JP2013096853A (ja) * | 2011-11-01 | 2013-05-20 | Omron Corp | 変位センサ |
JP2016095243A (ja) * | 2014-11-14 | 2016-05-26 | キヤノン株式会社 | 計測装置、計測方法、および物品の製造方法 |
JP2018159606A (ja) * | 2017-03-22 | 2018-10-11 | トヨタ自動車株式会社 | 膜厚測定方法および膜厚測定装置 |
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