JP2022523693A - 波長ビーム結合共振器のアライメントのためのシステムおよび方法 - Google Patents
波長ビーム結合共振器のアライメントのためのシステムおよび方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022523693A JP2022523693A JP2021543404A JP2021543404A JP2022523693A JP 2022523693 A JP2022523693 A JP 2022523693A JP 2021543404 A JP2021543404 A JP 2021543404A JP 2021543404 A JP2021543404 A JP 2021543404A JP 2022523693 A JP2022523693 A JP 2022523693A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- output
- alignment system
- beams
- profiler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 43
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 95
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 77
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 44
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 13
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 13
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 13
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 7
- 238000003491 array Methods 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 4
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- 241001589086 Bellapiscis medius Species 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 3
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 2
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 101100521334 Mus musculus Prom1 gene Proteins 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005352 clarification Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
- G02B27/4233—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive element [DOE] contributing to a non-imaging application
- G02B27/4255—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive element [DOE] contributing to a non-imaging application for alignment or positioning purposes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/1086—Beam splitting or combining systems operating by diffraction only
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/14—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses adapted to interchange lenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
- H01S5/06837—Stabilising otherwise than by an applied electric field or current, e.g. by controlling the temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/14—External cavity lasers
- H01S5/141—External cavity lasers using a wavelength selective device, e.g. a grating or etalon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/40—Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
- H01S5/4012—Beam combining, e.g. by the use of fibres, gratings, polarisers, prisms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/40—Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
- H01S5/4025—Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar
- H01S5/4031—Edge-emitting structures
- H01S5/4062—Edge-emitting structures with an external cavity or using internal filters, e.g. Talbot filters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/40—Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
- H01S5/4025—Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar
- H01S5/4087—Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar emitting more than one wavelength
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
- G02B27/0905—Dividing and/or superposing multiple light beams
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
- G02B27/0938—Using specific optical elements
- G02B27/095—Refractive optical elements
- G02B27/0955—Lenses
- G02B27/0966—Cylindrical lenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/40—Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
- H01S5/4025—Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/40—Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
- H01S5/4025—Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar
- H01S5/4031—Edge-emitting structures
- H01S5/4043—Edge-emitting structures with vertically stacked active layers
- H01S5/405—Two-dimensional arrays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
Description
本出願は、2019年1月28日に出願された米国仮特許出願第62/797,438号の利益および優先権を主張するものであり、その開示内容の全体が参照により本明細書に組み込まれる。
Claims (121)
- 波長ビーム結合(WBC)次元に沿って複数の入力ビームを空間的に重ね合わせ、結果として得られた出力ビームをビーム出力から出力するレーザー共振器とともに使用するためのアライメントシステムであって、
出力ビームを受信し、前記出力ビームを分散して前記WBC次元で複数の分散ビームを生成する分散素子と、
前記複数の分散ビームを受信し、受信した前記複数の分散ビームの相対位置の画像を生成するビームプロファイラと、
前記ビーム出力の光学的下流かつ前記ビームプロファイラの光学的上流に配置され、前記WBC次元に垂直な非WBC次元に屈折力を有する第1レンズと、
前記分散素子の光学的下流かつ前記ビームプロファイラの光学的上流に配置され、前記ビームプロファイラに前記複数の分散ビームを集束させるための、WBC次元の屈折力を有する第2レンズと、
を備える、
アライメントシステム。 - 前記分散素子は、回折格子を含む、
請求項1に記載のアライメントシステム。 - 前記第1レンズは、前記分散素子の光学的上流に配置される。
請求項1に記載のアライメントシステム。 - 前記第1レンズは、前記非WBC次元にだけ屈折力を有する、
請求項1に記載のアライメントシステム。 - 前記第1レンズの焦点距離は、前記第2レンズの焦点距離よりも大きい、
請求項1に記載のアライメントシステム。 - 前記第1レンズまたは前記第2レンズのうち少なくとも一方は、シリンドリカルレンズを含む、
請求項1に記載のアライメントシステム。 - 前記第1レンズと前記ビームプロファイラとの光学的距離は、前記第1レンズの焦点距離と略等しい、
請求項1に記載のアライメントシステム。 - 前記第1レンズと前記ビームプロファイラとの光学的距離は、前記第1レンズの焦点距離よりも大きい、
請求項1に記載のアライメントシステム。 - 前記第1レンズと前記ビーム出力との光学的距離は、前記第1レンズの焦点距離と略等しい、
請求項1に記載のアライメントシステム。 - 前記第2レンズと前記ビームプロファイラとの光学的距離は、前記第2レンズの焦点距離と略等しい、
請求項1に記載のアライメントシステム。 - 前記第2レンズと前記分散素子との光学的距離は、前記第2レンズの焦点距離と略等しい、
請求項1に記載のアライメントシステム。 - 前記第2レンズは、前記WBC次元にだけ屈折力を有する、
請求項1に記載のアライメントシステム。 - 前記第1レンズは、(i)前記ビームプロファイラを介してファーフィールド画像を生成するための前記出力ビームの経路内の第1位置と、(ii)前記ビームプロファイラを介してニアフィールド画像を生成するための前記出力ビームの経路外の第2位置と、の間で移動可能である、
請求項1に記載のアライメントシステム。 - さらに、第3レンズ、を備え、
前記第3レンズの焦点距離は、前記第1レンズの焦点距離よりも小さく、
前記第1レンズと前記第3レンズとは、前記出力ビームの経路内で交換可能であり、(i)前記第1レンズが前記出力ビームの経路内にある場合に、前記ビームプロファイラを介してファーフィールド画像が生成され、(ii)前記第3レンズが前記出力ビームの経路内にある場合に、前記ビームプロファイラを介してニアフィールド画像が生成される、
請求項1に記載のアライメントシステム。 - さらに、前記ビーム出力の光学的下流かつ前記第1レンズの光学的上流に配置される第3レンズ、を備える、
請求項1に記載のアライメントシステム。 - 前記第3レンズは、前記非WBC次元に屈折力を有する、
請求項15に記載のアライメントシステム。 - 前記第3レンズは、前記非WBC次元にだけ屈折力を有する、
請求項15に記載のアライメントシステム。 - 前記第3レンズの焦点距離は、前記第1レンズの焦点距離よりも小さい、
請求項15に記載のアライメントシステム。 - 前記第3レンズと前記ビーム出力との光学的距離は、前記第3レンズの焦点距離と略等しい、
請求項15に記載のアライメントシステム。 - 前記第3レンズと前記ビームプロファイラとの光学的距離は、前記第3レンズの焦点距離よりも大きい、
請求項15に記載のアライメントシステム。 - 前記第3レンズは、(i)前記ビームプロファイラを介してニアフィールド画像を生成するための前記出力ビームの経路内の第1位置と、(ii)前記ビームプロファイラを介してファーフィールド画像を生成するための前記出力ビームの経路外の第2位置と、の間で移動可能である、
請求項15に記載のアライメントシステム。 - さらに、前記ビーム出力の光学的下流に配置されるビームローテータ、を備える、
請求項1に記載のアライメントシステム。 - 前記ビームローテータは、前記出力ビームを約90度回転させるよう構成される、
請求項22に記載のアライメントシステム。 - 前記ビームローテータは、(i)2つの共焦点シリンドリカルレンズ、(ii)ダブプリズム、または、(iii)2つのリフレクタ、を含む、
請求項22に記載のアライメントシステム。 - 前記ビーム出力は、部分反射出力カプラ、を含む、
請求項1に記載のアライメントシステム。 - アライメント可能なレーザーシステムであって、
(i)複数の入力ビームを放射する複数のビームエミッタと、(ii)前記複数の入力ビームを操作する複数の光学素子と、(iii)ビーム出力と、を含み、波長ビーム結合(WBC)次元に沿って前記複数の入力ビームを空間的に重ね合わせ、結果として得られた出力ビームを前記ビーム出力から出力するよう構成されたレーザー共振器と、
前記複数のビームエミッタから放射された前記複数の入力ビームの画像を生成するビームプロファイラを含むアライメントシステムと、
を備える、
レーザーシステム。 - さらに、前記光学素子を調整して、前記ビームプロファイラにより生成された画像に少なくとも基づいて前記複数の入力ビームをアラインするコントローラ、を備える、
請求項26に記載のレーザーシステム。 - 前記光学素子は、1つまたは複数のインターリーバミラー、および/または1つまたは複数のコリメーションレンズ、を含む、
請求項27に記載のレーザーシステム。 - 前記コントローラは、1つまたは複数の前記インターリーバミラーを傾斜させること、および/または1つまたは複数の前記コリメーションレンズを平行移動することにより、前記光学素子を調整するよう構成される、
請求項28に記載のレーザーシステム。 - 少なくとも1つの前記コリメーションレンズは、スロー軸コリメーションレンズである、
請求項28に記載のレーザーシステム。 - 前記レーザー共振器は、
多波長ビームを形成するために前記複数の入力ビームを受信し波長分散する分散素子と、
(i)出力ビームとして前記多波長ビームの第1部分を送信し、(ii)前記多波長ビームの第2部分を反射して前記分散素子に戻す、部分反射出力カプラと、
を含む、
請求項26に記載のレーザーシステム。 - 前記レーザー共振器は、前記複数のビームエミッタのそれぞれに関連して、
ファスト軸コリメータと、
約90度のビーム回転を誘導する光ローテータと、
を含む、
請求項32に記載のレーザーシステム。 - 前記分散素子は、回折格子を含む、
請求項31に記載のレーザーシステム。 - 前記レーザー共振器は、
複数の第1コリメータであって、それぞれの第1コリメータが前記複数のビームエミッタの1つから1つまたは複数のビームを受信しコリメートする、複数の第1コリメータと、
複数のインターリーバであって、それぞれのインターリーバが前記複数の第1コリメータの1つから前記1つまたは複数のビームを受信する、複数のインターリーバと、
前記複数のインターリーバからのすべてのビームを受信し、前記複数のビームをコリメートし、前記分散素子に前記複数のビームを送信する、第2コリメータと、
を含む、
請求項31に記載のレーザーシステム。 - それぞれの前記第1コリメータは、スロー軸コリメーションレンズ、を含む、
請求項34に記載のレーザーシステム。 - 前記レーザー共振器は、前記分散素子の光学的下流かつ前記部分反射出力カプラの光学的上流に配置された屈曲ミラー、を含む、
請求項31に記載のレーザーシステム。 - 前記部分反射出力カプラは、前記ビーム出力である、
請求項31に記載のレーザーシステム。 - 前記ビームプロファイラは、前記ビーム出力の光学的下流に配置される、
請求項26に記載のレーザーシステム。 - 前記アライメントシステムは、
前記出力ビームを受信し、前記出力ビームを分散して前記WBC次元で複数の分散ビームを生成する、分散素子と、
前記ビーム出力の光学的下流かつ前記ビームプロファイラの光学的上流に配置され、前記WBC次元に垂直な非WBC次元に屈折力を有する第1レンズと、
前記分散素子の光学的下流かつ前記ビームプロファイラの光学的上流に配置され、前記WBC次元に屈折力を有し、前記ビームプロファイラで前記複数の分散ビームを集束する、第2レンズと、
を含み、
前記ビームプロファイラは、前記複数の分散ビームを受信し、前記ビームプロファイラにより受信された前記複数の分散ビームの相対位置の画像を生成するよう構成される、
請求項26に記載のレーザーシステム。 - 前記第1レンズは、(i)前記ビームプロファイラを介してファーフィールド画像を生成するための前記出力ビームの経路内の第1位置と、(ii)前記ビームプロファイラを介してニアフィールド画像を生成するための前記出力ビームの経路外の第2位置と、の間で移動可能である、
請求項39に記載のレーザーシステム。 - 前記アライメントシステムは、第3レンズ、を含み、
前記第3レンズの焦点距離は、前記第1レンズの焦点距離よりも小さく、
前記第1レンズと前記第3レンズとは、前記出力ビームの経路内で交換可能であり、(i)前記第1レンズが前記出力ビームの経路内にある場合に、前記ビームプロファイラを介してファーフィールド画像が生成され、(ii)前記第3レンズが前記出力ビームの経路内にある場合に、前記ビームプロファイラを介してニアフィールド画像が生成される、
請求項39に記載のレーザーシステム。 - 前記アライメントシステムは、前記ビーム出力の光学的下流かつ前記第1レンズの光学的上流に配置された第3レンズ、を含む、
請求項39に記載のレーザーシステム。 - 前記第3レンズの焦点距離は、前記第1レンズの焦点距離よりも小さい、
請求項42に記載のレーザーシステム。 - 前記第3レンズは、(i)前記ビームプロファイラを介してニアフィールド画像を生成するための前記出力ビームの経路内の第1位置と、(ii)前記ビームプロファイラを介してファーフィールド画像を生成するための前記出力ビームの経路外の第2位置と、の間で移動可能である、
請求項42に記載のレーザーシステム。 - 前記アライメントシステムは、前記ビーム出力の光学的下流に配置されたビームローテータ、を含む、
請求項39に記載のレーザーシステム。 - 前記ビームローテータは、前記出力ビームを約90度回転させるよう構成される、
請求項45に記載のレーザーシステム。 - 前記ビームローテータは、(i)2つの共焦点シリンドリカルレンズ、(ii)ダブプリズム、または(iii)2つのリフレクタ、を含む、
請求項45に記載のレーザーシステム。 - 波長ビーム結合(WBC)次元に沿って複数の入力ビームを空間的に重ね合わせ、結果として得られた出力ビームをビーム出力から出力するレーザー共振器とともに使用するためのアライメントシステムであって、
WBC次元で複数のビームを分散するよう構成された分散素子と、
ビームを受信し、その相対位置の画像を生成するビームプロファイラと、
前記ビーム出力の光学的下流かつ前記ビームプロファイラの光学的上流に配置され、前記WBC次元に垂直な非WBC次元に屈折力を有する第1レンズと、
前記分散素子の光学的下流かつ前記ビームプロファイラの光学的上流に配置され、前記WBC次元に屈折力を有し、前記ビームプロファイラで分散された前記複数のビームを集束する第2レンズと、
前記ビーム出力の光学的下流かつ前記ビームプロファイラの光学的上流に配置され、前記非WBC次元に屈折力を有する第3レンズと、
(i)前記出力ビームを受信し、(ii)前記第3レンズに前記出力ビームの第1部分を向け、(iii)前記第1レンズに前記出力ビームの第2部分を向ける、よう構成された複数の光学素子と、
を備える、
アライメントシステム。 - 前記出力ビームの前記第2部分は、前記第3レンズに向けられていない、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記第1レンズは、前記出力ビームの前記第1部分と前記出力ビームの前記第2部分との両方を受信するよう配置される、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記光学素子は、前記出力ビームの前記第1部分および前記第2部分を、異なる角度で前記第1レンズに向けるよう構成される、
請求項50に記載のアライメントシステム。 - 前記分散素子は、前記ビームプロファイラを介して前記複数の入力ビームのニアフィールド画像が生成されるよう、前記出力ビームの前記第1部分を受信し分散するよう配置される、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記分散素子は、前記ビームプロファイラを介して前記複数の入力ビームのファーフィールド画像が生成されるよう、前記出力ビームの前記第2部分を受信し分散するよう配置される、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記分散素子は、回折格子を含む、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記第1レンズは、前記分散素子の光学的上流に配置される、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記第3レンズは、前記第1レンズの光学的上流に配置される、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記第1レンズの焦点距離は、前記第2レンズの焦点距離よりも大きい、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記第1レンズ、前記第2レンズ、または前記第3レンズのうち少なくとも1つは、シリンドリカルレンズを含む、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記第1レンズと前記ビームプロファイラとの光学的距離は、前記第1レンズの焦点距離と略等しい、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記第1レンズと前記ビーム出力との光学的距離は、前記第1レンズの焦点距離と略等しい、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記第2レンズと前記ビームプロファイラとの光学的距離は、前記第2レンズの焦点距離と略等しい、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記第2レンズと前記分散素子との光学的距離は、前記第2レンズの焦点距離と略等しい、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記第3レンズの焦点距離は、前記第1レンズの焦点距離よりも小さい、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記第3レンズと前記ビーム出力との光学的距離は、前記第3レンズの焦点距離と略等しい、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記第3レンズと前記ビームプロファイラとの光学的距離は、前記第3レンズの焦点距離よりも大きい、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - さらに、前記ビーム出力の光学的下流に配置されたビームローテータ、を備える、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記ビームローテータは、前記出力ビームを約90度回転させるよう構成される、
請求項66に記載のアライメントシステム。 - 前記ビームローテータは、(i)2つの共焦点シリンドリカルレンズ、(ii)ダブプリズム、または(iii)2つのリフレクタ、を含む、本質的にそれにより構成される、またはそれにより構成される、
請求項66に記載のアライメントシステム。 - 前記第1レンズは、前記非WBC次元にだけ屈折力を有する、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記第2レンズは、前記WBC次元にだけ屈折力を有する、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記第3レンズは、前記非WBC次元にだけ屈折力を有する、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記複数の光学素子は、少なくとも1つのビームスプリッタ、および/または少なくとも1つのリフレクタ、を含む、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - 前記ビーム出力は、部分反射出力カプラ、を含む、
請求項48に記載のアライメントシステム。 - アライメント可能なレーザーシステムであって、
(i)複数の入力ビームを放射する複数のビームエミッタと、(ii)ビーム出力と、(iii)前記ビーム出力の光学的下流に配置され、前記複数の入力ビームを操作する複数の第1光学素子と、を含み、波長ビーム結合(WBC)次元に沿って前記複数の入力ビームを空間的に重ね合わせ、結果として得られた出力ビームを前記ビーム出力から出力するよう構成されたレーザー共振器と、
前記ビーム出力の光学的下流に配置された複数の第2光学素子を含み、前記複数の第2光学素子を物理的に移動させることなく、前記複数の入力ビームのニアフィールド画像とファーフィールド画像とを同時に生成するよう構成されたアライメントシステムと、
を備える、
レーザーシステム。 - 前記アライメントシステムは、前記ニアフィールド画像と前記ファーフィールド画像とを生成するためのビームプロファイラ、を含む、
請求項74に記載のレーザーシステム。 - 前記ビームプロファイラは、前記ビーム出力の光学的下流に配置される、
請求項75に記載のレーザーシステム。 - さらに、前記第1光学素子を調整して前記ニアフィールド画像および/または前記ファーフィールド画像に少なくとも基づいて前記複数の入力ビームをアラインするよう構成されたコントローラ、を備える、
請求項74に記載のレーザーシステム。 - 前記第1光学素子は、1つまたは複数のインターリーバミラー、および/または1つまたは複数のコリメーションレンズ、を含む、
請求項77に記載のレーザーシステム。 - 前記コントローラは、前記1つまたは複数のインターリーバミラーを傾斜させる、および/または前記1つまたは複数のコリメーションレンズを平行移動させることにより、前記第1光学素子を調整するよう構成される、
請求項78に記載のレーザーシステム。 - 少なくとも1つの前記コリメーションレンズは、スロー軸コリメーションレンズである、
請求項78に記載のレーザーシステム。 - 前記レーザー共振器は、
前記複数の入力ビームを受信して波長分散し、それにより多波長ビームを形成する分散素子と、
(i)前記出力ビームとして前記多波長ビームの第1部分を送信し、(ii)前記多波長ビームの第2部分を反射させて前記分散素子に戻す部分反射出力カプラと、
を含む、
請求項74に記載のレーザーシステム。 - 前記レーザー共振器は、前記複数のビームエミッタのそれぞれに関連して、
ファスト軸コリメータと、
約90度のビーム回転を誘導する光ローテータと、
を含む、
請求項81に記載のレーザーシステム。 - 前記分散素子は、回折格子を含む、
請求項81に記載のレーザーシステム。 - 前記レーザー共振器は、
複数の第1コリメータであって、それぞれの第1コリメータが前記複数のビームエミッタの1つから1つまたは複数のビームを受信してコリメートする、複数の第1コリメータと、
複数のインターリーバであって、それぞれのインターリーバが前記複数の第1コリメータの1つから前記1つまたは複数のビームを受信する複数のインターリーバと、
前記複数のインターリーバからのすべての前記ビームを受信して、前記ビームをコリメートし、前記分散素子に前記ビームを送信する、第2コリメータと、
を含む、
請求項81に記載のレーザーシステム。 - それぞれの前記第1コリメータは、スロー軸コリメーションレンズを含む、
請求項84に記載のレーザーシステム。 - 前記レーザー共振器は、前記分散素子の光学的下流かつ前記部分反射出力カプラの光学的上流に配置された屈曲ミラー、を含む、
請求項81に記載のレーザーシステム。 - 前記部分反射出力カプラは、前記ビーム出力である、
請求項81に記載のレーザーシステム。 - 前記アライメントシステムは、(i)前記WBC次元で複数のビームを分散するよう構成された分散素子と、(ii)複数のビームを受信してその相対位置の画像を生成するビームプロファイラと、を含む、
請求項74に記載のレーザーシステム。 - 前記複数の第2光学素子は、
前記ビーム出力の光学的下流かつ前記ビームプロファイラの光学的上流に配置され、前記WBC次元に垂直な非WBC次元に屈折力を有する第1レンズと、
前記分散素子の光学的下流かつ前記ビームプロファイラの光学的上流に配置され、前記WBC次元に屈折力を有し、前記ビームプロファイラに複数の分散ビームを集束する第2レンズと、
前記ビーム出力の光学的下流かつ前記ビームプロファイラの光学的上流に配置され、前記非WBC次元に屈折力を有する第3レンズと、
(i)前記出力ビームを受信し(ii)前記出力ビームの第1部分を前記第3レンズに向けて、(iii)前記出力ビームの第2部分を前記第1レンズに向ける複数の第3光学素子と、
を含む、
請求項88に記載のレーザーシステム。 - 前記出力ビームの前記第2部分は、前記第3レンズには向けられない、
請求項89に記載のレーザーシステム。 - 前記第1レンズは、前記出力ビームの前記第1部分と前記出力ビームの前記第2部分との両方を受信するよう配置される、
請求項89に記載のレーザーシステム。 - 前記第3光学素子は、前記出力ビームの前記第1部分と前記第2部分とを異なる角度で前記第1レンズに向けるよう構成される、
請求項91に記載のレーザーシステム。 - 前記分散素子は、前記出力ビームの前記第1部分を受信して分散するよう配置され、それにより、前記ビームプロファイラを介して前記複数の入力ビームの前記ニアフィールド画像が生成される。
請求項89に記載のレーザーシステム。 - 前記分散素子は、前記出力ビームの前記第2部分を受信して分散するよう配置され、それにより、前記ビームプロファイラを介して前記複数の入力ビームの前記ファーフィールド画像が生成される、
請求項89に記載のレーザーシステム。 - 前記複数の第3光学素子は、少なくとも1つのビームスプリッタ、および/または少なくとも1つのリフレクタ、を含む。
請求項89に記載のレーザーシステム。 - 前記分散素子は、回折格子を含む、
請求項88に記載のレーザーシステム。 - 前記アライメントシステムは、前記ビーム出力の光学的下流に配置されたビームローテータ、を含む、
請求項74に記載のレーザーシステム。 - 前記ビームローテータは、前記出力ビームを約90度回転させるよう構成される、
請求項97に記載のレーザーシステム。 - 前記ビームローテータは、(i)2つの共焦点シリンドリカルレンズ、(ii)ダブプリズム、または(iii)2つのリフレクタ、を含む、
請求項97に記載のレーザーシステム。 - 波長ビーム結合(WBC)次元に沿って複数の入力ビームを空間的に重ね合わせ、結果として得られた出力ビームをビーム出力から出力するレーザー共振器とともに使用するためのアライメントの方法であって、前記レーザー共振器は、前記複数の入力ビームを操作する複数の光学素子を含み、
方法は、
ビームプロファイラを用いて、(i)前記複数の入力ビームのニアフィールド画像、または(ii)前記複数の入力ビームのファーフィールド画像、のうち少なくとも一方を生成するステップと、
前記複数の入力ビームの1つが前記ニアフィールド画像または前記ファーフィールド画像のうち少なくとも一方でずれている場合に、1つまたは複数の前記光学素子を調整して前記複数の入力ビームをアラインするステップと、
を含む、
方法。 - 前記ニアフィールド画像と前記ファーフィールド画像との両方が生成される、
請求項100に記載の方法。 - 前記ニアフィールド画像と前記ファーフィールド画像とは、順次生成される、
請求項101に記載の方法。 - 前記ニアフィールド画像と前記ファーフィールド画像とは、同時に生成される、
請求項101に記載の方法。 - さらに、前記ニアフィールド画像または前記ファーフィールド画像のうち少なくとも一方を生成する前に、(i)前記出力ビームを波長分散してWBC次元で複数の分散ビームを生成するステップと、(ii)前記ビームプロファイラに向かって前記複数の分散ビームを集束するステップと、を含む、
請求項100に記載の方法。 - 前記光学素子は、1つまたは複数のインターリーバミラー、および/または1つまたは複数のコリメーションレンズ、を含む、
請求項100に記載の方法。 - 1つまたは複数の前記光学素子を調整することは、1つまたは複数の前記インターリーバミラーを傾斜させること、および/または1つまたは複数の前記コリメーションレンズを平行移動させること、を含む、
請求項105に記載の方法。 - 少なくとも1つの前記コリメーションレンズは、スロー軸コリメーションレンズである、
請求項105に記載の方法。 - 前記ファーフィールド画像を生成することは、前記出力ビームの経路内に第1レンズを配置することを含み、
前記ニアフィールド画像を生成することは、前記出力ビームの経路から前記第1レンズを除去することを含む、
請求項100に記載の方法。 - 前記ファーフィールド画像を生成することは、前記出力ビームの経路内に第1レンズを配置することを含み、
前記ニアフィールド画像を生成することは、前記第1レンズを前記第1レンズの焦点距離よりも小さい焦点距離を有する第2レンズと交換することを含む、
請求項100に記載の方法。 - 前記ニアフィールド画像を生成することは、前記出力ビームの経路内に第1レンズおよび第2レンズを配置することを含み、
前記ファーフィールド画像を生成することは、前記出力ビームの経路から前記第2レンズを除去することを含む、
請求項100に記載の方法。 - 前記第2レンズは、前記第1レンズの焦点距離よりも小さい焦点距離を有する、
請求項110に記載の方法。 - 前記ファーフィールド画像を生成することは、前記出力ビームの第1部分を第1レンズに向けることを含み、
前記ニアフィールド画像を生成することは、前記出力ビームの第2部分を第2レンズに向けることを含む、
請求項100に記載の方法。 - さらに、前記ニアフィールド画像または前記ファーフィールド画像のうち少なくとも一方を生成する前に、前記出力ビームを回転させるステップ、を含む、
請求項100に記載の方法。 - 前記レーザー共振器は、
前記複数の入力ビームを受信して波長分散し、それにより多波長ビームを形成する分散素子と、
(i)前記出力ビームとして前記多波長ビームの第1部分を送信し、(ii)前記多波長ビームの第2部分を反射して前記分散素子に戻す、部分反射出力カプラと、
を含む、
請求項100に記載の方法。 - 前記レーザー共振器は、(i)前記複数の入力ビームを放射するよう構成された複数のビームエミッタ、および、(ii)前記複数のビームエミッタのそれぞれに関連した、ファスト軸コリメータおよび約90度のビーム回転を誘導する旋回子、を含む、
請求項114に記載の方法。 - 前記分散素子は、回折格子を含む、
請求項114に記載の方法。 - 前記複数の光学素子は、
複数の第1コリメータであって、それぞれの第1コリメータが1つまたは複数の入力ビームを受信してコリメートする、複数の第1コリメータと、
複数のインターリーバであって、それぞれのインターリーバが1つの前記第1コリメータから前記1つまたは複数の入力ビームを受信する、複数のインターリーバと、
前記複数のインターリーバからすべての前記入力ビームを受信して、前記ビームをコリメートし、前記ビームを前記分散素子に送信する第2コリメータと、
を含む、
請求項114に記載の方法。 - それぞれの前記第1コリメータは、スロー軸コリメーションレンズを含む、
請求項117に記載の方法。 - 前記レーザー共振器は、前記分散素子の光学的下流かつ前記部分反射出力カプラの光学的上流に配置された屈曲ミラー、を含む、
請求項114に記載の方法。 - 前記部分反射出力カプラは、前記ビーム出力である、
請求項114に記載の方法。 - 前記ビームプロファイラは、前記ビーム出力の光学的下流に配置される、
請求項100に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201962797438P | 2019-01-28 | 2019-01-28 | |
US62/797,438 | 2019-01-28 | ||
PCT/US2020/014946 WO2020159820A1 (en) | 2019-01-28 | 2020-01-24 | Systems and methods for alignment of wavelength beam combining resonators |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022523693A true JP2022523693A (ja) | 2022-04-26 |
JP7296605B2 JP7296605B2 (ja) | 2023-06-23 |
Family
ID=71731243
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021543404A Active JP7296605B2 (ja) | 2019-01-28 | 2020-01-24 | 波長ビーム結合共振器のアライメントのためのシステムおよび方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11454821B2 (ja) |
JP (1) | JP7296605B2 (ja) |
CN (1) | CN113632329A (ja) |
DE (1) | DE112020000301T5 (ja) |
WO (1) | WO2020159820A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113632329A (zh) | 2019-01-28 | 2021-11-09 | 松下知识产权经营株式会社 | 用于对准波长光束组合谐振器的系统和方法 |
JP7323774B2 (ja) * | 2019-06-10 | 2023-08-09 | 日亜化学工業株式会社 | 光源装置および外部共振器型レーザモジュール |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61275871A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 半導体レ−ザ光源光量制御装置 |
JPH01218786A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-08-31 | Toshiba Corp | レーザ加工装置 |
JPH04120780A (ja) * | 1990-09-12 | 1992-04-21 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | レーザ発振器の光軸調整装置 |
JP2001044532A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-02-16 | Nec Corp | レーザビーム品質監視システム |
US20060067611A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-03-30 | Engana Pty Ltd | Wavelength selective reconfigurable optical cross-connect |
JP2006337923A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Sony Corp | 光源、製造方法、光学装置、画像生成装置、および画像表示装置 |
JP2007317871A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Sony Corp | レーザ装置 |
JP2010171375A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-08-05 | Gigaphoton Inc | レーザ装置および極端紫外光光源装置 |
JP2012142432A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Nichia Chem Ind Ltd | 半導体レーザ装置 |
JP2013012920A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Fujitsu Ltd | 光伝送装置および光インターリーブ制御方法 |
JP2013521667A (ja) * | 2010-03-05 | 2013-06-10 | テラダイオード,インコーポレーテッド | 選択的再配置および回転波長ビーム結合システムならびに方法 |
KR101399985B1 (ko) * | 2013-09-13 | 2014-05-28 | (주)엘투케이플러스 | 실린더형 광학계를 이용한 레이저 빔의 포컬 스폿 사이즈 조절 장치 |
US20150003484A1 (en) * | 2013-06-27 | 2015-01-01 | Jds Uniphase Corporation | Brightness multi-emitter laser diode module and method |
US20150331245A1 (en) * | 2012-02-22 | 2015-11-19 | Parviz Tayebati | Wavelength beam combining laser systems with micro-optics |
JP2016111339A (ja) * | 2014-10-17 | 2016-06-20 | ルメンタム オペレーションズ エルエルシーLumentum Operations LLC | 波長合成レーザシステム |
US20170199389A1 (en) * | 2016-01-11 | 2017-07-13 | Ut-Battelle, Llc | Stable, narrow spectral linewidth, fiber-delivered laser source for spin exchange optical pumping |
JP2018529217A (ja) * | 2015-06-23 | 2018-10-04 | テラダイオード, インコーポレーテッド | レーザ送達システムにおけるビームパラメータ積を変動させるための光学要素配置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6192062B1 (en) | 1998-09-08 | 2001-02-20 | Massachusetts Institute Of Technology | Beam combining of diode laser array elements for high brightness and power |
US6208679B1 (en) | 1998-09-08 | 2001-03-27 | Massachusetts Institute Of Technology | High-power multi-wavelength external cavity laser |
US6624424B2 (en) | 2000-02-09 | 2003-09-23 | Lambda Physik Ag | VUV laser beam characterization system |
DE10223319B4 (de) | 2002-05-24 | 2004-04-01 | Carl Zeiss Laser Optics Gmbh | Optisches Abbildungssystem zum Abbilden zumindest zweier in Strahlrichtung beabstandeter Ebenen eines Lichtstrahls |
US8488245B1 (en) | 2011-03-07 | 2013-07-16 | TeraDiode, Inc. | Kilowatt-class diode laser system |
US9256073B2 (en) | 2010-03-05 | 2016-02-09 | TeraDiode, Inc. | Optical cross-coupling mitigation system for multi-wavelength beam combining systems |
US8670180B2 (en) * | 2010-03-05 | 2014-03-11 | TeraDiode, Inc. | Wavelength beam combining laser with multiple outputs |
CN103081261B (zh) | 2010-03-05 | 2016-03-09 | 泰拉二极管公司 | 波长光束组合系统与方法 |
US8724222B2 (en) | 2010-10-31 | 2014-05-13 | TeraDiode, Inc. | Compact interdependent optical element wavelength beam combining laser system and method |
WO2013123256A1 (en) | 2012-02-14 | 2013-08-22 | TeraDiode, Inc. | Two-dimensional multi-beam stabilizer and combining systems and methods |
US9104029B2 (en) | 2012-02-22 | 2015-08-11 | TeraDiode, Inc. | Multi-wavelength beam combining system and method |
US9746679B2 (en) | 2012-02-22 | 2017-08-29 | TeraDiode, Inc. | Wavelength beam combining laser systems utilizing lens roll for chief ray focusing |
CN102916341A (zh) | 2012-10-31 | 2013-02-06 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种单管半导体激光器合束方法 |
US9335551B2 (en) | 2012-11-28 | 2016-05-10 | TeraDiode, Inc. | Welding techniques using multi-wavelength beam combining systems |
US20140240831A1 (en) | 2012-11-28 | 2014-08-28 | TeraDiode, Inc. | Stabilization of High-Power WBC Systems |
WO2015191542A1 (en) | 2014-06-14 | 2015-12-17 | TeraDiode, Inc. | Stabilization of wavelength beam combining laser systems in the non-wavelength beam combining direction |
CN104155771B (zh) | 2014-08-26 | 2016-08-24 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种半导体激光器中微光学透镜实现精密装调的在线监测装置的使用方法 |
CN113632329A (zh) | 2019-01-28 | 2021-11-09 | 松下知识产权经营株式会社 | 用于对准波长光束组合谐振器的系统和方法 |
-
2020
- 2020-01-24 CN CN202080024566.1A patent/CN113632329A/zh active Pending
- 2020-01-24 US US16/751,743 patent/US11454821B2/en active Active
- 2020-01-24 WO PCT/US2020/014946 patent/WO2020159820A1/en active Application Filing
- 2020-01-24 JP JP2021543404A patent/JP7296605B2/ja active Active
- 2020-01-24 DE DE112020000301.9T patent/DE112020000301T5/de active Pending
-
2022
- 2022-08-18 US US17/890,859 patent/US11914166B2/en active Active
Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61275871A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 半導体レ−ザ光源光量制御装置 |
JPH01218786A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-08-31 | Toshiba Corp | レーザ加工装置 |
JPH04120780A (ja) * | 1990-09-12 | 1992-04-21 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | レーザ発振器の光軸調整装置 |
JP2001044532A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-02-16 | Nec Corp | レーザビーム品質監視システム |
US20060067611A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-03-30 | Engana Pty Ltd | Wavelength selective reconfigurable optical cross-connect |
JP2006337923A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Sony Corp | 光源、製造方法、光学装置、画像生成装置、および画像表示装置 |
JP2007317871A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Sony Corp | レーザ装置 |
JP2010171375A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-08-05 | Gigaphoton Inc | レーザ装置および極端紫外光光源装置 |
JP2013521667A (ja) * | 2010-03-05 | 2013-06-10 | テラダイオード,インコーポレーテッド | 選択的再配置および回転波長ビーム結合システムならびに方法 |
JP2012142432A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Nichia Chem Ind Ltd | 半導体レーザ装置 |
JP2013012920A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Fujitsu Ltd | 光伝送装置および光インターリーブ制御方法 |
US20150331245A1 (en) * | 2012-02-22 | 2015-11-19 | Parviz Tayebati | Wavelength beam combining laser systems with micro-optics |
US20150003484A1 (en) * | 2013-06-27 | 2015-01-01 | Jds Uniphase Corporation | Brightness multi-emitter laser diode module and method |
KR101399985B1 (ko) * | 2013-09-13 | 2014-05-28 | (주)엘투케이플러스 | 실린더형 광학계를 이용한 레이저 빔의 포컬 스폿 사이즈 조절 장치 |
JP2016111339A (ja) * | 2014-10-17 | 2016-06-20 | ルメンタム オペレーションズ エルエルシーLumentum Operations LLC | 波長合成レーザシステム |
JP2018529217A (ja) * | 2015-06-23 | 2018-10-04 | テラダイオード, インコーポレーテッド | レーザ送達システムにおけるビームパラメータ積を変動させるための光学要素配置 |
US20170199389A1 (en) * | 2016-01-11 | 2017-07-13 | Ut-Battelle, Llc | Stable, narrow spectral linewidth, fiber-delivered laser source for spin exchange optical pumping |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11914166B2 (en) | 2024-02-27 |
US11454821B2 (en) | 2022-09-27 |
US20200241313A1 (en) | 2020-07-30 |
CN113632329A (zh) | 2021-11-09 |
JP7296605B2 (ja) | 2023-06-23 |
WO2020159820A1 (en) | 2020-08-06 |
DE112020000301T5 (de) | 2021-09-30 |
US20220390759A1 (en) | 2022-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11353715B2 (en) | Wavelength beam combining laser systems utilizing lens roll for chief ray focusing | |
US9690107B2 (en) | Device for wavelength combining of laser beams | |
US11500139B2 (en) | Wavelength beam combining laser systems utilizing prisms for beam quality improvement and bandwidth reduction | |
US11933990B2 (en) | Wavelength beam combining laser systems with high beam quality factor | |
US11914166B2 (en) | Systems and methods for alignment of wavelength beam combining resonators | |
US8817832B2 (en) | Multi-wavelength diode laser array | |
US11682882B2 (en) | Laser system with staircased slow-axis collimators | |
WO2007149189A2 (en) | Spectral-narrowing diode laser array system | |
JP7126137B2 (ja) | 波長合成技術用レーザシステムにおけるパワー及びスペクトラムのモニタリング | |
JPWO2020081335A5 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210922 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210922 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220928 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221101 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20221226 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230509 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230605 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7296605 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |