JP2022523261A - 非平面基体の光学コーティングおよびその製造方法 - Google Patents
非平面基体の光学コーティングおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022523261A JP2022523261A JP2021557338A JP2021557338A JP2022523261A JP 2022523261 A JP2022523261 A JP 2022523261A JP 2021557338 A JP2021557338 A JP 2021557338A JP 2021557338 A JP2021557338 A JP 2021557338A JP 2022523261 A JP2022523261 A JP 2022523261A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- degrees
- layer
- coating
- substrate
- antireflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 401
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 329
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 247
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 241
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 160
- 230000003678 scratch resistant effect Effects 0.000 claims description 91
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 34
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 21
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 19
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 350
- 239000000463 material Substances 0.000 description 88
- 238000000034 method Methods 0.000 description 41
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 41
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 39
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 25
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 19
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 19
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 18
- 238000013461 design Methods 0.000 description 17
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 15
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 13
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 13
- 230000004310 photopic vision Effects 0.000 description 13
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 12
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 11
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 10
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 9
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 9
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 8
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 7
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 7
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 7
- -1 Sylsesquioxane Polymers 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 239000006119 easy-to-clean coating Substances 0.000 description 6
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 6
- 229910018068 Li 2 O Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 description 5
- 230000003670 easy-to-clean Effects 0.000 description 5
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 5
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 5
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 5
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 5
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 4
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 4
- 229910001414 potassium ion Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910020068 MgAl Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 3
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Natural products C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 3
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 3
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 3
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 3
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- AIRCTMFFNKZQPN-UHFFFAOYSA-N AlO Inorganic materials [Al]=O AIRCTMFFNKZQPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910016036 BaF 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910005793 GeO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 241000282575 Gorilla Species 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 239000005358 alkali aluminosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910000287 alkaline earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 2
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000003426 chemical strengthening reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 229920002521 macromolecule Polymers 0.000 description 2
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 2
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000000985 reflectance spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000006120 scratch resistant coating Substances 0.000 description 2
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 238000010583 slow cooling Methods 0.000 description 2
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 2
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 2
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 6-oxabicyclo[3.2.1]oct-3-en-7-one Chemical compound C1C2C(=O)OC1C=CC2 TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017109 AlON Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016470 DyF Inorganic materials 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004140 HfO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N Phosphorous acid Chemical class OP(O)=O ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006124 Pilkington process Methods 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 229920000491 Polyphenylsulfone Polymers 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000519995 Stachys sylvatica Species 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007545 Vickers hardness test Methods 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910001413 alkali metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 150000001345 alkine derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000005407 aluminoborosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 238000001505 atmospheric-pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007678 ball-on-ring test Methods 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- WVMPCBWWBLZKPD-UHFFFAOYSA-N dilithium oxido-[oxido(oxo)silyl]oxy-oxosilane Chemical compound [Li+].[Li+].[O-][Si](=O)O[Si]([O-])=O WVMPCBWWBLZKPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003280 down draw process Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000000313 electron-beam-induced deposition Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 1
- 238000003286 fusion draw glass process Methods 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007542 hardness measurement Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910001947 lithium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002114 nanocomposite Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002077 partially stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 238000003283 slot draw process Methods 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 229910052566 spinel group Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000007655 standard test method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 150000003467 sulfuric acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005496 tempering Methods 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000500 β-quartz Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
- G02B1/115—Multilayers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/14—Protective coatings, e.g. hard coatings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
Description
√((a* v-a* n)2+(b* v-b* n)2)
を使用して被覆物品100の特定の位置で決定されることがあり、式中、a* vおよびb* vは、入射照明角度で観察されたときの、物品のa*およびb*座標を表し、a* nおよびb* nは、法線またはほぼ法線で観察されたときの、物品のa*およびb*座標を表す。
√((a* 第1の部分-a* 第2の部分)2+(b* 第1の部分-b* 第2の部分)2)
と定義され、第1の部分113での反射色は、n1に対して入射照明角度θ1で測定され、第2の部分115での反射色は、n2に対して測定された入射照明角度θ2および/またはn3に対して測定された入射照明角度θ3(および第2の部分115に適用できる任意の他の照明角度)で測定される。それぞれの入射照明角度θ1およびθ2(および/またはθ3および任意の他のもの)は、n1およびn2(および/または該当する場合にはn3)から、約0度から約60度、約0度から約50度、約0度から約40度、約0度から約30度、約0度から約20度、または約0度から約10度の範囲の角度を含むことがある。別の実施の形態において、√((a* 第1の部分-a* 第2の部分)2+(b* 第1の部分-b* 第2の部分)2)により定義される反射色の差は、第1の部分113および第2の部分115での光学的性質が同じ観察方向で測定されるように、入射照明角度θ2が第1の入射照明角度の方向v1と等しい方向にある(すなわち、v1はv2と等しいが、n1はn2と等しくないので、θ1はθ2と等しくない)ように測定されることがある。
平面のガラス基体を、比較例1と表された下記の表1の比較コーティングで被覆した。比較例1の光学的性質が、図10A~10Cに示されている。詳しくは、図10Aは、その各々が、それぞれ、0度、約35度、約50度および約60度の部品表面角度に対応する(図9参照)、4つの光学コーティングの厚さ倍率値、1、0.9、0.8および0.7でのほぼ垂直な光入射角(8度)での波長に対する第一面明所視反射率のプロットである。図10Bは、その各々が、それぞれ、0度、約25度、約35度、約43度、約50度、約55度および約60度の部品表面角度に対応する(図9参照)、7つの光学コーティングの厚さ倍率値、1、0.95、0.9、0.85、0.8、0.75および0.7での入射光(視野)角に対する第一面明所視平均反射率のプロットである。さらに図10Cは、図10Bに用いた7つの光学コーティングの厚さ倍率値での0から90度の全ての視野角に関するD65光源による第一面反射光のプロットである。
平面のガラス基体を、本開示の原理にしたがって、実施例1と表された下記の表2の例示のコーティングで被覆した。実施例1において、ガラス基体は、ホウケイ酸組成(例えば、75モル%のSiO2、10モル%のB2O3、8.6モル%のNa2O、5.6モル%のK2O、および0.7モル%のBaO)を有した。実施例1の被覆物品の光学的性質が、図11A~11Cに示されている。詳しくは、図11Aは、その各々が、それぞれ、0度、約35度、約50度および約60度の部品表面角度に対応する(図9参照)、4つの光学コーティングの厚さ倍率値、1、0.9、0.8および0.7でのほぼ垂直な光入射角(8度)での波長に対する第一面明所視反射率のプロットである。図11Bは、その各々が、それぞれ、0度、約25度、約35度、約43度、約50度、約55度および約60度の部品表面角度に対応する(図9参照)、7つの光学コーティングの厚さ倍率値、1、0.95、0.9、0.85、0.8、0.75および0.7での入射光(視野)角に対する第一面明所視平均反射率のプロットである。さらに図11Cは、図11Bに用いた7つの光学コーティングの厚さ倍率値での0から90度の全ての視野角に関するD65光源による第一面反射光のプロットである。
平面のガラス基体を、本開示の原理にしたがって、実施例2と表された下記の表3の例示のコーティングで被覆した。実施例2の被覆物品の光学的性質が、図12A~12Cに示されている。詳しくは、図12Aは、その各々が、それぞれ、0度、約35度、約50度および約60度の部品表面角度に対応する(図9参照)、4つの光学コーティングの厚さ倍率値、1、0.9、0.8および0.7でのほぼ垂直な光入射角(8度)での波長に対する第一面明所視反射率のプロットである。図12Bは、その各々が、それぞれ、0度、約25度、約35度、約43度、約50度、約55度および約60度の部品表面角度に対応する(図9参照)、7つの光学コーティングの厚さ倍率値、1、0.95、0.9、0.85、0.8、0.75および0.7での入射光(視野)角に対する第一面明所視平均反射率のプロットである。さらに図12Cは、図12Bに用いた7つの光学コーティングの厚さ倍率値での0から90度の全ての視野角に関するD65光源による第一面反射光のプロットである。
平面のガラス基体を、本開示の原理にしたがって、実施例3と表された下記の表4の例示のコーティングで被覆した。実施例3の被覆物品の光学的性質が、図13A~13Cに示されている。詳しくは、図13Aは、その各々が、それぞれ、0度、約35度、約50度および約60度の部品表面角度に対応する(図9参照)、4つの光学コーティングの厚さ倍率値、1、0.9、0.8および0.7でのほぼ垂直な光入射角(8度)での波長に対する第一面明所視反射率のプロットである。図13Bは、その各々が、それぞれ、0度、約25度、約35度、約43度、約50度、約55度および約60度の部品表面角度に対応する(図9参照)、7つの光学コーティングの厚さ倍率値、1、0.95、0.9、0.85、0.8、0.75および0.7での入射光(視野)角に対する第一面明所視平均反射率のプロットである。さらに図13Cは、図13Bに用いた7つの光学コーティングの厚さ倍率値での0から90度の全ての視野角に関するD65光源による第一面反射光のプロットである。
平面のガラス基体を、本開示の原理にしたがって、実施例4と表された下記の表6の例示のコーティングで被覆した。実施例4において、このガラス基体は、Corning(登録商標)Gorilla(登録商標)Glass 3である。実施例4の被覆物品の光学的性質が、図14A~14Cに示されている。詳しくは、図14Aは、その各々が、それぞれ、0度、約35度、約50度および約60度の部品表面角度に対応する(図9参照)、4つの光学コーティングの厚さ倍率値、1、0.9、0.8および0.7でのほぼ垂直な光入射角(8度)での波長に対する第一面明所視反射率のプロットである。図14Bは、その各々が、それぞれ、0度、約25度、約35度、約43度、約50度、約55度および約60度の部品表面角度に対応する(図9参照)、7つの光学コーティングの厚さ倍率値、1、0.95、0.9、0.85、0.8、0.75および0.7での入射光(視野)角に対する第一面明所視平均反射率のプロットである。さらに図14Cは、図14Bに用いた7つの光学コーティングの厚さ倍率値での0から90度の全ての視野角に関するD65光源による第一面反射光のプロットである。
この実施例によれば、耐引掻性SiON層(すなわち、表6の層10)に異なる厚さを用いたことを除いて、先の実施例(実施例4)の光学コーティングの変種を同じ構成で製造した。詳しくは、表6による本開示の原理にしたがうが、耐引掻性コーティングの厚さを、それぞれ、2000nm(実施例4A)、1500nm(実施例4B)および1000nm(実施例4C)にして、三組の光学コーティングの試料を作製した。
平面のガラス基体を、本開示の原理にしたがって、実施例5と表された下記の表7の例示のコーティングで被覆した。実施例5において、このガラス基体は、「Corning」「Gorilla」Glass 3である。実施例5の被覆物品の光学的性質が、図16A~16Cに示されている。詳しくは、図16Aは、その各々が、それぞれ、0度、約35度、約50度および約60度の部品表面角度に対応する(図9参照)、4つの光学コーティングの厚さ倍率値、1、0.9、0.8および0.7でのほぼ垂直な光入射角(8度)での波長に対する第一面明所視反射率のプロットである。図16Bは、その各々が、それぞれ、0度、約25度、約35度、約43度、約50度、約55度、約60度、約65度、および約70度の部品表面角度に対応する(図9参照)、9つの光学コーティングの厚さ倍率値、1、0.95、0.9、0.85、0.8、0.75、0.7、0.65および0.6での入射光(視野)角に対する第一面明所視平均反射率のプロットである。さらに図16Cは、図16Bに用いた9つの光学コーティングの厚さ倍率値での0から90度の全ての視野角に関するD65光源による第一面反射光のプロットである。
被覆物品において、
主面を有する基体であって、該主面は第1の部分と第2の部分を含み、該第2の部分は湾曲しており、または切子面を有し、さらに、該主面の第1の部分に垂直な第1の方向は、該主面の第2の部分に垂直な複数の第2の方向と等しくなく、該第1の方向と、該第2の方向の各々との間の角度は、約10度から60度の範囲内にある、基体、および
前記主面の少なくとも前記第1の部分と前記第2の部分の上に配置された光学コーティングであって、反射防止表面を形成する光学コーティング、
を備え、
(a)前記被覆物品は、前記基体の前記第1の部分および該基体の前記第2の部分で、バーコビッチ圧子硬度試験により前記反射防止表面で測定して、約100nm以上の圧入深さで、約8GPa以上の硬度を示し、
(b)前記被覆物品は、前記基体の前記第1の部分および前記第2の部分で、前記反射防止表面で測定して、約3%以下の片面最大光反射率を示し、前記第1の部分の該片面最大光反射率は、前記第1の方向に対して第1の入射照明角度で測定され、該第1の入射照明角度は、該第1の方向から約0度から約45度の範囲内の角度を含み、前記第2の部分の片面最大光反射率は、2つ以上の第2の入射照明角度で測定され、該第2の入射照明角度の各々は、前記複数の第2の方向のそれぞれの第2の方向に対するものであり、該第2の入射照明角度の各々は、それぞれの第2の方向から約0度から約45度の範囲内の角度を含み、
さらに、前記第1の部分での片面最大光反射率は、約425nmから約950nmの範囲内の光学波長領域に亘り測定される、被覆物品。
前記第1の方向と前記第2の方向の内の1つとの間の角度が、約10度から約20度の範囲にあり、該第1の方向と該第2の方向の内の別のものとの間の角度が約20度から約60度の範囲にある、実施の形態1の被覆物品。
前記第1の方向と前記第2の方向の内の1つとの間の角度が、約10度から約20度の範囲にあり、該第1の方向と該第2の方向の内の別のものとの間の角度が約40度から約60度の範囲にある、実施の形態1の被覆物品。
前記光学コーティングが、第1の反射防止コーティング、該第1の反射防止コーティング上の耐引掻性層、および前記反射防止表面を画成する、該耐引掻性層上の第2の反射防止コーティングを含み、該第1の反射防止コーティングが少なくとも低RI層および高RI層を含み、該第2の反射防止コーティングが少なくとも低RI層および高RI層を含む、実施の形態1~3のいずれか1つの被覆物品。
前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における前記少なくとも低RI層が酸化ケイ素から作られ、該第1の反射防止コーティングにおける前記少なくとも高RI層が酸窒化ケイ素から作られ、該第2の反射防止コーティングにおける前記少なくとも高RI層が窒化ケイ素から作られ、さらに前記耐引掻性層が酸窒化ケイ素から作られている、実施の形態4の被覆物品。
前記光学コーティングが、前記第2の反射防止コーティング上のキャッピング層を含み、該キャッピング層が低RI材料から作られている、実施の形態4または実施の形態5の被覆物品。
それぞれ、前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における各隣接した低RI層および高RI層が周期Nを画成し、さらにNが2から12である、実施の形態4~6のいずれか1つの被覆物品。
前記光学コーティングの全厚さが約2μmから約4μmであり、前記第1の反射防止コーティングおよび前記第2の反射防止コーティングの合計全厚さが約500nmから約1000nmである、実施の形態4~7のいずれか1つの被覆物品。
前記耐引掻性層の厚さが約200nmから約3000nmである、実施の形態4~8のいずれか1つの被覆物品。
被覆物品において、
主面を有する基体であって、該主面は第1の部分と第2の部分を含み、該第2の部分は湾曲しており、または切子面を有し、さらに、該主面の第1の部分に垂直な第1の方向は、該主面の第2の部分に垂直な複数の第2の方向と等しくなく、該第1の方向と、該第2の方向の各々との間の角度は、約10度から約50度の範囲内にある、基体、および
前記主面の少なくとも前記第1の部分と前記第2の部分の上に配置された光学コーティングであって、反射防止表面を形成する光学コーティング、
を備え、
(a)前記被覆物品は、前記基体の前記第1の部分および該基体の前記第2の部分で、バーコビッチ圧子硬度試験により前記反射防止表面で測定して、約100nm以上の圧入深さで、約8GPa以上の硬度を示し、
(b)前記主面の第1の部分および第2の部分での前記被覆物品の第一面反射色は、国際照明委員会のD65光源下で(L*、a*、b*)測色系における反射率色座標により測定して、b*<約5であり、前記第1の部分での反射色は、前記第1の方向に対して第1の入射照明角度で測定され、該第1の入射照明角度は、該第1の方向から約0度から約90度の範囲内の角度を含み、前記第2の部分での反射色は、2つ以上の第2の入射照明角度で測定され、該第2の入射照明角度の各々は、前記複数の第2の方向のそれぞれの第2の方向に対するものであり、該第2の入射照明角度の各々は、それぞれの第2の方向から約0度から約90度の範囲内の角度を含み、該第2の入射照明角度は、少なくとも10度だけ互いに異なる、被覆物品。
前記第1の方向と前記第2の方向の内の1つとの間の角度が、約10度から約20度の範囲にあり、該第1の方向と該第2の方向の内の別のものとの間の角度が約20度から約60度の範囲にある、実施の形態10の被覆物品。
前記第1の方向と前記第2の方向の内の1つとの間の角度が、約10度から約20度の範囲にあり、該第1の方向と該第2の方向の内の別のものとの間の角度が約40度から約60度の範囲にある、実施の形態10の被覆物品。
前記主面の第1の部分および第2の部分での前記被覆物品の前記反射色が、国際照明委員会のD65光源下で(L*、a*、b*)測色系における反射率色座標により測定して、b*<約3である、実施の形態10~12のいずれか1つの被覆物品。
前記主面の第1の部分および第2の部分での前記被覆物品の前記反射色が、国際照明委員会のD65光源下で(L*、a*、b*)測色系における反射率色座標により測定して、(a*+b*)<約10である、実施の形態10~12のいずれか1つの被覆物品。
前記光学コーティングが、第1の反射防止コーティング、該第1の反射防止コーティング上の耐引掻性層、および前記反射防止表面を画成する、該耐引掻性層上の第2の反射防止コーティングを含み、該第1の反射防止コーティングが少なくとも低RI層および高RI層を含み、該第2の反射防止コーティングが少なくとも低RI層および高RI層を含む、実施の形態10~14のいずれか1つの被覆物品。
前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における前記少なくとも低RI層が酸化ケイ素から作られ、該第1の反射防止コーティングにおける前記少なくとも高RI層が酸窒化ケイ素から作られ、該第2の反射防止コーティングにおける前記少なくとも高RI層が窒化ケイ素から作られ、さらに前記耐引掻性層が酸窒化ケイ素から作られている、実施の形態15の被覆物品。
前記被覆物品が、前記基体の前記第1の部分および該基体の前記第2の部分で、バーコビッチ圧子硬度試験により前記反射防止表面で測定して、約100nm以上の圧入深さで、約11GPa以上の硬度を示す、実施の形態15または実施の形態16の被覆物品。
前記主面の第1の部分および第2の部分での前記被覆物品の前記反射色が、b*<約5であり、該第1の部分での反射色が、前記第1の方向に対して複数の第1の入射照明角度で測定され、該複数の第1の入射照明角度は、0度から20度の照明角度および55度から85度の照明角度を含み、さらに前記第2の部分での反射色が、前記第2の方向に対して複数の第2の入射照明角度で測定され、該複数の第2の入射照明角度は、0度から20度の照明角度および55度から85度の照明角度を含む、実施の形態10~12のいずれか1つの被覆物品。
前記光学コーティングの全厚さが約2μmから約4μmであり、前記第1の反射防止コーティングおよび前記第2の反射防止コーティングの合計全厚さが約500nmから約1000nmである、実施の形態15~18のいずれか1つの被覆物品。
前記耐引掻性層の厚さが約200nmから約3000nmである、実施の形態15~19のいずれか1つの被覆物品。
被覆物品において、
主面を有する基体であって、該主面は第1の部分と第2の部分を含み、該第2の部分は湾曲しており、または切子面を有し、さらに、該主面の第1の部分に垂直な第1の方向は、該主面の第2の部分に垂直な複数の第2の方向と等しくなく、該第1の方向と、該第2の方向の各々との間の角度は、約10度から50度の範囲内にある、基体、および
前記主面の少なくとも前記第1の部分と前記第2の部分の上に配置された光学コーティングであって、反射防止表面を形成する光学コーティング、
を備え、
(a)前記被覆物品は、前記基体の前記第1の部分および該基体の前記第2の部分で、バーコビッチ圧子硬度試験により前記反射防止表面で測定して、約100nm以上の圧入深さで、約8GPa以上の硬度を示し、
(b)前記被覆物品は、前記基体の前記第1の部分および前記第2の部分で、前記反射防止表面で測定して、約2%以下の明所視平均光反射率を示し、前記第1の部分の片面最大光反射率は、前記第1の方向に対する第1の入射照明角度で測定され、該第1の入射照明角度は、該第1の方向から約0度から約45度の範囲内の角度を含み、前記第2の部分の片面最大光反射率は、2つ以上の第2の入射照明角度で測定され、該第2の入射照明角度の各々は、前記複数の第2の方向のそれぞれの第2の方向に対するものであり、該第2の入射照明角度の各々は、それぞれの第2の方向から約0度から約45度の範囲内の角度を含み、さらに、前記第1の部分および前記第2の部分での前記明所視平均光反射率は、約425nmから約950nmの範囲内の光学波長領域に亘り測定され、
(c)前記主面の第1の部分および第2の部分での前記被覆物品の第一面反射色は、国際照明委員会のD65光源下で(L*、a*、b*)測色系における反射率色座標により測定して、b*<約5であり、前記第1の部分での反射色は、前記第1の方向に対して第1の入射照明角度で測定され、該第1の入射照明角度は、該第1の方向から約0度から約90度の範囲内の角度を含み、前記第2の部分での反射色は、2つ以上の第2の入射照明角度で測定され、該第2の入射照明角度の各々は、前記複数の第2の方向のそれぞれの第2の方向に対するものであり、該第2の入射照明角度の各々は、それぞれの第2の方向から約0度から約90度の範囲内の角度を含み、該第2の入射照明角度は、少なくとも10度だけ互いに異なる、被覆物品。
前記第1の方向と前記第2の方向の内の1つとの間の角度が、約10度から約20度の範囲にあり、該第1の方向と該第2の方向の内の別のものとの間の角度が約20度から約60度の範囲にある、実施の形態21の被覆物品。
前記第1の方向と前記第2の方向の内の1つとの間の角度が、約10度から約20度の範囲にあり、該第1の方向と該第2の方向の内の別のものとの間の角度が約40度から約60度の範囲にある、実施の形態22の被覆物品。
前記光学コーティングが、第1の反射防止コーティング、該第1の反射防止コーティング上の耐引掻性層、および前記反射防止表面を画成する、該耐引掻性層上の第2の反射防止コーティングを含み、該第1の反射防止コーティングが少なくとも低RI層および高RI層を含み、該第2の反射防止コーティングが少なくとも低RI層および高RI層を含む、実施の形態21~23のいずれか1つの被覆物品。
前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における前記少なくとも低RI層が酸化ケイ素から作られ、該第1の反射防止コーティングにおける前記少なくとも高RI層が酸窒化ケイ素から作られ、該第2の反射防止コーティングにおける前記少なくとも高RI層が窒化ケイ素から作られ、さらに前記耐引掻性層が酸窒化ケイ素から作られている、実施の形態21~23のいずれか1つの被覆物品。
前記光学コーティングが、前記第2の反射防止コーティング上のキャッピング層を含み、該キャッピング層が低RI材料から作られている、実施の形態24または実施の形態25の被覆物品。
それぞれ、前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における各隣接した低RI層および高RI層が周期Nを画成し、さらにNが2から12である、実施の形態24~26のいずれか1つの被覆物品。
前記光学コーティングの全厚さが約2μmから約4μmであり、前記第1の反射防止コーティングおよび前記第2の反射防止コーティングの合計全厚さが約500nmから約1000nmである、実施の形態21~27のいずれか1つの被覆物品。
前記耐引掻性層の厚さが約200nmから約3000nmである、実施の形態21~28のいずれか1つの被覆物品。
家庭用電気製品において、
前面、背面および側面を有する筐体、
前記筐体内に少なくとも部分的にある電気部品であって、少なくとも制御装置、メモリ、および該筐体の前面またはそれに隣接したディスプレイを含む電気部品、および
前記ディスプレイ上に配置されたカバー基体、
を備え、
前記筐体の一部または前記カバー基体の少なくとも一方が、実施の形態1の被覆物品を含む、家庭用電気製品。
家庭用電気製品において、
前面、背面および側面を有する筐体、
前記筐体内に少なくとも部分的にある電気部品であって、少なくとも制御装置、メモリ、および該筐体の前面またはそれに隣接したディスプレイを含む電気部品、および
前記ディスプレイ上に配置されたカバー基体、
を備え、
前記筐体の一部または前記カバー基体の少なくとも一方が、実施の形態10の被覆物品を含む、家庭用電気製品。
家庭用電気製品において、
前面、背面および側面を有する筐体、
前記筐体内に少なくとも部分的にある電気部品であって、少なくとも制御装置、メモリ、および該筐体の前面またはそれに隣接したディスプレイを含む電気部品、および
前記ディスプレイ上に配置されたカバー基体、
を備え、
前記筐体の一部または前記カバー基体の少なくとも一方が、実施の形態21の被覆物品を含む、家庭用電気製品。
それぞれ、前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における各隣接した低RI層および高RI層が周期Nを画成し、さらにNが2から12であり、前記耐引掻性層の厚さが約200nmから約3000nmであり、前記光学コーティングが、前記第2の反射防止コーティング上のSiO2から作られたキャッピング層および前記基体と前記第1の反射防止コーティングとの間にあるSiO2から作られた低RI層をさらに含む、実施の形態4または実施の形態5の被覆物品。
それぞれ、前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における各隣接した低RI層および高RI層が周期Nを画成し、さらにNが2から12であり、前記耐引掻性層の厚さが約200nmから約3000nmであり、前記光学コーティングが、前記第2の反射防止コーティング上のSiO2から作られたキャッピング層および前記基体と前記第1の反射防止コーティングとの間にあるSiO2から作られた低RI層をさらに含む、実施の形態15または実施の形態16の被覆物品。
それぞれ、前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における各隣接した低RI層および高RI層が周期Nを画成し、さらにNが2から12であり、前記耐引掻性層の厚さが約200nmから約3000nmであり、前記光学コーティングが、前記第2の反射防止コーティング上のSiO2から作られたキャッピング層および前記基体と前記第1の反射防止コーティングとの間にあるSiO2から作られた低RI層をさらに含む、実施の形態24または実施の形態25の被覆物品。
被覆物品において、
主面を有する基体であって、該主面は第1の部分と第2の部分を含み、該第2の部分は湾曲しており、または切子面を有し、さらに、該主面の第1の部分に垂直な第1の方向は、該主面の第2の部分に垂直な複数の第2の方向と等しくなく、該第1の方向と、該第2の方向の各々との間の角度は、約10度から60度の範囲内にある、基体、および
前記主面の少なくとも前記第1の部分と前記第2の部分の上に配置された光学コーティングであって、反射防止表面を形成する光学コーティング、
を備え、
(a)前記被覆物品は、前記基体の前記第1の部分および該基体の前記第2の部分で、バーコビッチ圧子硬度試験により前記反射防止表面で測定して、約100nm以上の圧入深さで、約8GPa以上の硬度を示し、
(b)前記被覆物品は、前記基体の前記第1の部分および前記第2の部分で、前記反射防止表面で測定して、約3%以下の片面最大光反射率を示し、前記第1の部分の該片面最大光反射率は、前記第1の方向に対して第1の入射照明角度で測定され、該第1の入射照明角度は、該第1の方向から約0度から約45度の範囲内の角度を含み、前記第2の部分の片面最大光反射率は、2つ以上の第2の入射照明角度で測定され、該第2の入射照明角度の各々は、前記複数の第2の方向のそれぞれの第2の方向に対するものであり、該第2の入射照明角度の各々は、それぞれの第2の方向から約0度から約45度の範囲内の角度を含み、
さらに、前記第1の部分での片面最大光反射率は、約425nmから約950nmの範囲内の光学波長領域に亘り測定される、被覆物品。
前記第1の方向と前記第2の方向の内の1つとの間の角度が、約10度から約20度の範囲にあり、該第1の方向と該第2の方向の内の別のものとの間の角度が約20度から約60度の範囲にある、実施形態1に記載の被覆物品。
前記第1の方向と前記第2の方向の内の1つとの間の角度が、約10度から約20度の範囲にあり、該第1の方向と該第2の方向の内の別のものとの間の角度が約40度から約60度の範囲にある、実施形態1に記載の被覆物品。
前記光学コーティングが、第1の反射防止コーティング、該第1の反射防止コーティング上の耐引掻性層、および前記反射防止表面を画成する、該耐引掻性層上の第2の反射防止コーティングを含み、該第1の反射防止コーティングが少なくとも低RI層および高RI層を含み、該第2の反射防止コーティングが少なくとも低RI層および高RI層を含む、実施形態1から3のいずれか1つに記載の被覆物品。
前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における前記少なくとも低RI層が酸化ケイ素から作られ、該第1の反射防止コーティングにおける前記少なくとも高RI層が酸窒化ケイ素から作られ、該第2の反射防止コーティングにおける前記少なくとも高RI層が窒化ケイ素から作られ、さらに前記耐引掻性層が酸窒化ケイ素から作られている、実施形態4に記載の被覆物品。
前記光学コーティングが、前記第2の反射防止コーティング上のキャッピング層を含み、該キャッピング層が低RI材料から作られている、実施形態4または実施形態5に記載の被覆物品。
それぞれ、前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における各隣接した低RI層および高RI層が周期Nを画成し、さらにNが2から12である、実施形態4から6のいずれか1つに記載の被覆物品。
前記光学コーティングの全厚さが約2μmから約4μmであり、前記第1の反射防止コーティングおよび前記第2の反射防止コーティングの合計全厚さが約500nmから約1000nmである、実施形態4から7のいずれか1つに記載の被覆物品。
前記耐引掻性層の厚さが約200nmから約3000nmである、実施形態4から8のいずれか1つに記載の被覆物品。
被覆物品において、
主面を有する基体であって、該主面は第1の部分と第2の部分を含み、該第2の部分は湾曲しており、または切子面を有し、さらに、該主面の第1の部分に垂直な第1の方向は、該主面の第2の部分に垂直な複数の第2の方向と等しくなく、該第1の方向と、該第2の方向の各々との間の角度は、約10度から約50度の範囲内にある、基体、および
前記主面の少なくとも前記第1の部分と前記第2の部分の上に配置された光学コーティングであって、反射防止表面を形成する光学コーティング、
を備え、
(a)前記被覆物品は、前記基体の前記第1の部分および該基体の前記第2の部分で、バーコビッチ圧子硬度試験により前記反射防止表面で測定して、約100nm以上の圧入深さで、約8GPa以上の硬度を示し、
(b)前記主面の第1の部分および第2の部分での前記被覆物品の第一面反射色は、国際照明委員会のD65光源下で(L*、a*、b*)測色系における反射率色座標により測定して、b*<約5であり、前記第1の部分での反射色は、前記第1の方向に対して第1の入射照明角度で測定され、該第1の入射照明角度は、該第1の方向から約0度から約90度の範囲内の角度を含み、前記第2の部分での反射色は、2つ以上の第2の入射照明角度で測定され、該第2の入射照明角度の各々は、前記複数の第2の方向のそれぞれの第2の方向に対するものであり、該第2の入射照明角度の各々は、それぞれの第2の方向から約0度から約90度の範囲内の角度を含み、該第2の入射照明角度は、少なくとも10度だけ互いに異なる、被覆物品。
前記第1の方向と前記第2の方向の内の1つとの間の角度が、約10度から約20度の範囲にあり、該第1の方向と該第2の方向の内の別のものとの間の角度が約20度から約60度の範囲にある、実施形態10に記載の被覆物品。
前記第1の方向と前記第2の方向の内の1つとの間の角度が、約10度から約20度の範囲にあり、該第1の方向と該第2の方向の内の別のものとの間の角度が約40度から約60度の範囲にある、実施形態10に記載の被覆物品。
前記主面の第1の部分および第2の部分での前記被覆物品の前記反射色が、国際照明委員会のD65光源下で(L*、a*、b*)測色系における反射率色座標により測定して、b*<約3である、実施形態10から12のいずれか1つに記載の被覆物品。
前記主面の第1の部分および第2の部分での前記被覆物品の前記反射色が、国際照明委員会のD65光源下で(L*、a*、b*)測色系における反射率色座標により測定して、(a*+b*)<約10である、実施形態10から12のいずれか1つに記載の被覆物品。
前記光学コーティングが、第1の反射防止コーティング、該第1の反射防止コーティング上の耐引掻性層、および前記反射防止表面を画成する、該耐引掻性層上の第2の反射防止コーティングを含み、該第1の反射防止コーティングが少なくとも低RI層および高RI層を含み、該第2の反射防止コーティングが少なくとも低RI層および高RI層を含む、実施形態10から14のいずれか1つに記載の被覆物品。
前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における前記少なくとも低RI層が酸化ケイ素から作られ、該第1の反射防止コーティングにおける前記少なくとも高RI層が酸窒化ケイ素から作られ、該第2の反射防止コーティングにおける前記少なくとも高RI層が窒化ケイ素から作られ、さらに前記耐引掻性層が酸窒化ケイ素から作られている、実施形態15に記載の被覆物品。
前記被覆物品が、前記基体の前記第1の部分および該基体の前記第2の部分で、バーコビッチ圧子硬度試験により前記反射防止表面で測定して、約100nm以上の圧入深さで、約11GPa以上の硬度を示す、実施形態15または実施形態16に記載の被覆物品。
前記主面の第1の部分および第2の部分での前記被覆物品の前記反射色が、b*<約5であり、該第1の部分での反射色が、前記第1の方向に対して複数の第1の入射照明角度で測定され、該複数の第1の入射照明角度は、0度から20度の照明角度および55度から85度の照明角度を含み、さらに前記第2の部分での反射色が、前記第2の方向に対して複数の第2の入射照明角度で測定され、該複数の第2の入射照明角度は、0度から20度の照明角度および55度から85度の照明角度を含む、実施形態10から12のいずれか1つに記載の被覆物品。
前記光学コーティングの全厚さが約2μmから約4μmであり、前記第1の反射防止コーティングおよび前記第2の反射防止コーティングの合計全厚さが約500nmから約1000nmである、実施形態15から18のいずれか1つに記載の被覆物品。
前記耐引掻性層の厚さが約200nmから約3000nmである、実施形態15から19のいずれか1つに記載の被覆物品。
被覆物品において、
主面を有する基体であって、該主面は第1の部分と第2の部分を含み、該第2の部分は湾曲しており、または切子面を有し、さらに、該主面の第1の部分に垂直な第1の方向は、該主面の第2の部分に垂直な複数の第2の方向と等しくなく、該第1の方向と、該第2の方向の各々との間の角度は、約10度から50度の範囲内にある、基体、および
前記主面の少なくとも前記第1の部分と前記第2の部分の上に配置された光学コーティングであって、反射防止表面を形成する光学コーティング、
を備え、
(a)前記被覆物品は、前記基体の前記第1の部分および該基体の前記第2の部分で、バーコビッチ圧子硬度試験により前記反射防止表面で測定して、約100nm以上の圧入深さで、約8GPa以上の硬度を示し、
(b)前記被覆物品は、前記基体の前記第1の部分および前記第2の部分で、前記反射防止表面で測定して、約2%以下の明所視平均光反射率を示し、前記第1の部分の片面最大光反射率は、前記第1の方向に対する第1の入射照明角度で測定され、該第1の入射照明角度は、該第1の方向から約0度から約45度の範囲内の角度を含み、前記第2の部分の片面最大光反射率は、2つ以上の第2の入射照明角度で測定され、該第2の入射照明角度の各々は、前記複数の第2の方向のそれぞれの第2の方向に対するものであり、該第2の入射照明角度の各々は、それぞれの第2の方向から約0度から約45度の範囲内の角度を含み、さらに、前記第1の部分および前記第2の部分での前記明所視平均光反射率は、約425nmから約950nmの範囲内の光学波長領域に亘り測定され、
(c)前記主面の第1の部分および第2の部分での前記被覆物品の第一面反射色は、国際照明委員会のD65光源下で(L*、a*、b*)測色系における反射率色座標により測定して、b*<約5であり、前記第1の部分での反射色は、前記第1の方向に対して第1の入射照明角度で測定され、該第1の入射照明角度は、該第1の方向から約0度から約90度の範囲内の角度を含み、前記第2の部分での反射色は、2つ以上の第2の入射照明角度で測定され、該第2の入射照明角度の各々は、前記複数の第2の方向のそれぞれの第2の方向に対するものであり、該第2の入射照明角度の各々は、それぞれの第2の方向から約0度から約90度の範囲内の角度を含み、該第2の入射照明角度は、少なくとも10度だけ互いに異なる、被覆物品。
前記第1の方向と前記第2の方向の内の1つとの間の角度が、約10度から約20度の範囲にあり、該第1の方向と該第2の方向の内の別のものとの間の角度が約20度から約60度の範囲にある、実施形態21に記載の被覆物品。
前記第1の方向と前記第2の方向の内の1つとの間の角度が、約10度から約20度の範囲にあり、該第1の方向と該第2の方向の内の別のものとの間の角度が約40度から約60度の範囲にある、実施形態22に記載の被覆物品。
前記光学コーティングが、第1の反射防止コーティング、該第1の反射防止コーティング上の耐引掻性層、および前記反射防止表面を画成する、該耐引掻性層上の第2の反射防止コーティングを含み、該第1の反射防止コーティングが少なくとも低RI層および高RI層を含み、該第2の反射防止コーティングが少なくとも低RI層および高RI層を含む、実施形態21から23のいずれか1つに記載の被覆物品。
前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における前記少なくとも低RI層が酸化ケイ素から作られ、該第1の反射防止コーティングにおける前記少なくとも高RI層が酸窒化ケイ素から作られ、該第2の反射防止コーティングにおける前記少なくとも高RI層が窒化ケイ素から作られ、さらに前記耐引掻性層が酸窒化ケイ素から作られている、実施形態21から24のいずれか1つに記載の被覆物品。
前記光学コーティングが、前記第2の反射防止コーティング上のキャッピング層を含み、該キャッピング層が低RI材料から作られている、実施形態24または実施形態25に記載の被覆物品。
それぞれ、前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における各隣接した低RI層および高RI層が周期Nを画成し、さらにNが2から12である、実施形態24から26のいずれか1つに記載の被覆物品。
前記光学コーティングの全厚さが約2μmから約4μmであり、前記第1の反射防止コーティングおよび前記第2の反射防止コーティングの合計全厚さが約500nmから約1000nmである、実施形態21から27のいずれか1つに記載の被覆物品。
前記耐引掻性層の厚さが約200nmから約3000nmである、実施形態21から28のいずれか1つに記載の被覆物品。
家庭用電気製品において、
前面、背面および側面を有する筐体、
前記筐体内に少なくとも部分的にある電気部品であって、少なくとも制御装置、メモリ、および該筐体の前面またはそれに隣接したディスプレイを含む電気部品、および
前記ディスプレイ上に配置されたカバー基体、
を備え、
前記筐体の一部または前記カバー基体の少なくとも一方が、実施形態1から29のいずれか1つに記載の被覆物品を含む、家庭用電気製品。
それぞれ、前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における各隣接した低RI層および高RI層が周期Nを画成し、さらにNが2から12であり、前記耐引掻性層の厚さが約200nmから約3000nmであり、前記光学コーティングが、前記第2の反射防止コーティング上のSiO2から作られたキャッピング層および前記基体と前記第1の反射防止コーティングとの間にあるSiO2から作られた低RI層をさらに含む、実施形態4または実施形態5に記載の被覆物品。
それぞれ、前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における各隣接した低RI層および高RI層が周期Nを画成し、さらにNが2から12であり、前記耐引掻性層の厚さが約200nmから約3000nmであり、前記光学コーティングが、前記第2の反射防止コーティング上のSiO2から作られたキャッピング層および前記基体と前記第1の反射防止コーティングとの間にあるSiO2から作られた低RI層をさらに含む、実施形態15または実施形態16に記載の被覆物品。
それぞれ、前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における各隣接した低RI層および高RI層が周期Nを画成し、さらにNが2から12であり、前記耐引掻性層の厚さが約200nmから約3000nmであり、前記光学コーティングが、前記第2の反射防止コーティング上のSiO2から作られたキャッピング層および前記基体と前記第1の反射防止コーティングとの間にあるSiO2から作られた低RI層をさらに含む、実施形態24または実施形態25に記載の被覆物品。
110 非平面基体
112、114 主面
113 第1の部分
115 第2の部分
116、118 副面
120 光学コーティング
122 反射防止表面
130 反射防止コーティング
130A 低RI層
130B 高RI層
130C 第3の層
131 キャッピング層
132 周期
Claims (10)
- 被覆物品(100)において、
主面(112)を有する基体(110)であって、該主面は第1の部分(113)と第2の部分(115)を含み、該第2の部分は湾曲しており、または切子面を有し、さらに、該主面の第1の部分に垂直な第1の方向は、該主面の第2の部分に垂直な複数の第2の方向と等しくなく、該第1の方向と、該第2の方向の各々との間の角度は、約10度から60度の範囲内にある、基体、および
前記主面の少なくとも前記第1の部分と前記第2の部分の上に配置された光学コーティング(120)であって、反射防止表面(122)を形成する光学コーティング、
を備え、
(a)前記被覆物品は、前記基体の前記第1の部分および該基体の前記第2の部分で、バーコビッチ圧子硬度試験により前記反射防止表面で測定して、約100nm以上の圧入深さで、約8GPa以上の硬度を示し、
(b)前記被覆物品は、前記基体の前記第1の部分および前記第2の部分で、前記反射防止表面で測定して、約3%以下の片面最大光反射率を示し、前記第1の部分の該片面最大光反射率は、前記第1の方向に対して第1の入射照明角度で測定され、該第1の入射照明角度は、該第1の方向から約0度から約45度の範囲内の角度を含み、前記第2の部分の片面最大光反射率は、2つ以上の第2の入射照明角度で測定され、該第2の入射照明角度の各々は、前記複数の第2の方向のそれぞれの第2の方向に対するものであり、該第2の入射照明角度の各々は、それぞれの第2の方向から約0度から約45度の範囲内の角度を含み、
さらに、前記第1の部分での片面最大光反射率は、約425nmから約950nmの範囲内の光学波長領域に亘り測定される、被覆物品。 - 前記第1の方向と前記第2の方向の内の1つとの間の角度が、約10度から約20度の範囲にあり、該第1の方向と該第2の方向の内の別のものとの間の角度が約20度から約60度の範囲にある、請求項1記載の被覆物品。
- 前記第1の方向と前記第2の方向の内の1つとの間の角度が、約10度から約20度の範囲にあり、該第1の方向と該第2の方向の内の別のものとの間の角度が約40度から約60度の範囲にある、請求項1記載の被覆物品。
- 前記光学コーティングが、第1の反射防止コーティング(130)、該第1の反射防止コーティング上の耐引掻性層(150)、および前記反射防止表面を画成する、該耐引掻性層上の第2の反射防止コーティングを含み、該第1の反射防止コーティングが少なくとも低RI層(130A)および高RI層(130B)を含み、該第2の反射防止コーティングが少なくとも低RI層および高RI層を含む、請求項1から3いずれか1項記載の被覆物品。
- 前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における前記少なくとも低RI層が酸化ケイ素から作られ、該第1の反射防止コーティングにおける前記少なくとも高RI層が酸窒化ケイ素から作られ、該第2の反射防止コーティングにおける前記少なくとも高RI層が窒化ケイ素から作られ、さらに前記耐引掻性層が酸窒化ケイ素から作られている、請求項4記載の被覆物品。
- それぞれ、前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における各隣接した低RI層および高RI層が周期Nを画成し、さらにNが2から12である、請求項4または5記載の被覆物品。
- 前記光学コーティングの全厚さが約2μmから約4μmであり、前記第1の反射防止コーティングおよび前記第2の反射防止コーティングの合計全厚さが約500nmから約1000nmである、請求項4から6いずれか1項記載の被覆物品。
- 前記耐引掻性層の厚さが約200nmから約3000nmである、請求項4から7いずれか1項記載の被覆物品。
- それぞれ、前記第1と第2の反射防止コーティングの各々における各隣接した低RI層および高RI層が周期Nを画成し、さらにNが2から12であり、前記耐引掻性層の厚さが約200nmから約3000nmであり、前記光学コーティングが、前記第2の反射防止コーティング上のSiO2から作られたキャッピング層および前記基体と前記第1の反射防止コーティングとの間にあるSiO2から作られた低RI層をさらに含む、請求項4または5記載の被覆物品。
- 家庭用電気製品(200)において、
前面(204)、背面(206)および側面(208)を有する筐体(202)、
前記筐体内に少なくとも部分的にある電気部品であって、少なくとも制御装置、メモリ、および該筐体の前面またはそれに隣接したディスプレイ(210)を含む電気部品、および
前記ディスプレイ上に配置されたカバー基体(212)、
を備え、
前記筐体の一部または前記カバー基体の少なくとも一方が、請求項1から9いずれか1項記載の被覆物品を含む、家庭用電気製品。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201962824687P | 2019-03-27 | 2019-03-27 | |
US62/824,687 | 2019-03-27 | ||
US201962853501P | 2019-05-28 | 2019-05-28 | |
US62/853,501 | 2019-05-28 | ||
PCT/US2020/024578 WO2020198285A2 (en) | 2019-03-27 | 2020-03-25 | Optical coatings of non-planar substrates and methods for the production thereof |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022523261A true JP2022523261A (ja) | 2022-04-21 |
Family
ID=70277533
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021557338A Pending JP2022523261A (ja) | 2019-03-27 | 2020-03-25 | 非平面基体の光学コーティングおよびその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11500130B2 (ja) |
EP (1) | EP3948367A2 (ja) |
JP (1) | JP2022523261A (ja) |
CN (1) | CN111766650B (ja) |
TW (1) | TW202107117A (ja) |
WO (1) | WO2020198285A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024080298A1 (ja) * | 2022-10-14 | 2024-04-18 | デクセリアルズ株式会社 | 光学積層体および物品 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102604280B1 (ko) * | 2018-07-31 | 2023-11-20 | 삼성전자주식회사 | 반사방지 및 내스크래치 코팅층을 포함하는 곡면 유리 및 전자 장치 |
WO2022212464A1 (en) * | 2021-04-01 | 2022-10-06 | Corning Incorporated | Transparent glass-ceramic articles with retained strength and display devices with the same |
WO2023163966A1 (en) * | 2022-02-25 | 2023-08-31 | Corning Incorporated | Coated articles having non-planar substrates and methods for the production thereof |
WO2023183180A1 (en) * | 2022-03-21 | 2023-09-28 | Corning Incorporated | Cover articles with high hardness and anti-reflective properties for infrared sensors |
CN116969691A (zh) * | 2022-04-22 | 2023-10-31 | 荣耀终端有限公司 | 抗划伤减反射玻璃、电子设备的显示屏及电子设备 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20110038701A (ko) | 2008-07-29 | 2011-04-14 | 코닝 인코포레이티드 | 유리의 화학적 강화를 위한 이중 단계 이온 교환 |
US9411180B2 (en) | 2011-02-28 | 2016-08-09 | Corning Incorporated | Apparatus and method for determining sparkle |
WO2012118594A1 (en) | 2011-02-28 | 2012-09-07 | Corning Incorporated | Glass having antiglare surface with low display sparkle |
US9573842B2 (en) | 2011-05-27 | 2017-02-21 | Corning Incorporated | Transparent glass substrate having antiglare surface |
JP2015506893A (ja) | 2011-11-30 | 2015-03-05 | コーニング インコーポレイテッド | 光学コーティングとクリーニング容易なコーティングを有するガラス物品を製造する方法 |
TWI637926B (zh) * | 2013-02-08 | 2018-10-11 | 康寧公司 | 具抗反射與高硬度塗層之物品及其相關方法 |
US9703011B2 (en) | 2013-05-07 | 2017-07-11 | Corning Incorporated | Scratch-resistant articles with a gradient layer |
US9359261B2 (en) | 2013-05-07 | 2016-06-07 | Corning Incorporated | Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film |
US9366784B2 (en) | 2013-05-07 | 2016-06-14 | Corning Incorporated | Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film |
US9335444B2 (en) | 2014-05-12 | 2016-05-10 | Corning Incorporated | Durable and scratch-resistant anti-reflective articles |
KR20170129209A (ko) * | 2015-03-18 | 2017-11-24 | 비전 이즈, 엘피 | 잔금 발생 저항성 코팅물 및 방법 |
EP3482237A2 (en) * | 2016-07-11 | 2019-05-15 | Corning Incorporated | Coatings of non-planar substrates and methods for the production thereof |
-
2020
- 2020-03-25 JP JP2021557338A patent/JP2022523261A/ja active Pending
- 2020-03-25 WO PCT/US2020/024578 patent/WO2020198285A2/en unknown
- 2020-03-25 EP EP20718509.1A patent/EP3948367A2/en not_active Withdrawn
- 2020-03-26 TW TW109110174A patent/TW202107117A/zh unknown
- 2020-03-26 US US16/831,714 patent/US11500130B2/en active Active
- 2020-03-27 CN CN202010229438.2A patent/CN111766650B/zh active Active
-
2022
- 2022-09-29 US US17/955,737 patent/US20230034541A1/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024080298A1 (ja) * | 2022-10-14 | 2024-04-18 | デクセリアルズ株式会社 | 光学積層体および物品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11500130B2 (en) | 2022-11-15 |
TW202107117A (zh) | 2021-02-16 |
EP3948367A2 (en) | 2022-02-09 |
WO2020198285A3 (en) | 2020-12-17 |
US20230034541A1 (en) | 2023-02-02 |
CN111766650A (zh) | 2020-10-13 |
CN111766650B (zh) | 2023-05-05 |
US20200310000A1 (en) | 2020-10-01 |
WO2020198285A2 (en) | 2020-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11630244B2 (en) | Coatings of non-planar substrates and methods for the production thereof | |
JP6761348B2 (ja) | 耐久性および耐擦傷性反射防止物品 | |
TWI833788B (zh) | 具有薄且耐久之抗反射結構的無機氧化物物件 | |
US11391869B2 (en) | Coated articles with light-altering features and methods for the production thereof | |
JP2022523261A (ja) | 非平面基体の光学コーティングおよびその製造方法 | |
KR20170007384A (ko) | 내구성 반사-방지 제품 | |
TW202031486A (zh) | 光學膜結構、具有光學膜結構的無機氧化物製品以及製造其的方法 | |
US20210063609A1 (en) | Hybrid gradient-interference hardcoatings | |
US20230010461A1 (en) | Articles with thin, durable anti-reflection coatings with extended infrared transmission | |
US20230273345A1 (en) | Coated articles having non-planar substrates and methods for the production thereof | |
US11815657B2 (en) | Low reflectance, anti-reflective film structures with controlled color and articles with the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230320 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230927 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240207 |