JP2022522746A - 高コントラスト撮像のための装置、装置の使用、及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
a.ビームスプリッタに向けられた入射ビームを供給するステップであって、前記ビームスプリッタは前記ビームを探査ビームと基準ビームに分割し、前記探査ビームは物体に向けられる、ステップと、
b.前記探査ビームの物体との1度目の相互作用をさせるステップと、
c.物体の像をその物体上に結像するステップであって、好ましくは前記探査ビームの分散を防ぎながら、反射された探査ビームは前記物体と少なくとも2度相互作用する、ステップと、
d.最後の相互作用後に前記反射された探査ビームを前記ビームスプリッタに向けるステップと、
e.前記ビームを検出するステップと、
を含む。
f.前記探査ビームを結像システムによって集束させるステップと、
g.前記探査ビームを凹面鏡で反射し、反射された探査ビームを供給するステップと、
h.前記反射された探査ビームを結像システム及び物体に向けて戻すステップと
を更に含む。
i.干渉縞を再結合されたビームにより検出するステップ
を更に含む。
j.前記探査ビームを偏光ビームスプリッタに更に向けるステップと、
k.前記探査ビームをその偏光に従って分割するステップであって、前記探査ビームは物体に向けられる、ステップと、
l.4分の1波長板を2度透過させることで偏光を変えるステップと、
m.前記探査ビームを前記物体の第1自己結像システムに集束させ反射させるステップと、
n.前記偏光ビームスプリッタを透過するか又は反射されるステップと、
o.前記探査ビームを前記物体の第2自己結像システムに集束させ反射させるステップと、
p.前記偏光ビームスプリッタを透過するか又は反射されるステップと、
q.前記4分の1波長板を2度透過させることで偏光を変えるステップと、
r.前記探査ビームを前記物体の第1自己結像システムに集束させ反射させるステップと、
s.前記偏光ビームスプリッタによって反射されるか又は透過するステップと
を更に含む。
t.前記探査ビームを偏光ビームスプリッタに更に向けるステップと、
u.前記探査ビームをその偏光に従って分割するステップであって、前記探査ビームは物体に向けられる、ステップと、
v.ポッケルス・セルを透過させることで偏光を変えるステップと、
w.前記探査ビームを前記物体の第1自己結像システムに集束させ反射させるステップと、
x.前記偏光ビームスプリッタを透過するか又は反射されるステップと、
y.前記探査ビームを前記物体の第2自己結像システムに集束させ反射させるステップと、
z.前記偏光ビームスプリッタを透過するか又は反射されるステップと、
aa.前記ポッケルス・セルによって偏光を変えるステップと、
bb.前記探査ビームを前記物体の第1自己結像システムに集束させ反射させるステップと、
cc.前記偏光ビームスプリッタによって反射されるか又は透過するステップと
を更に含む。
2)物体により引き起こされた探査ビームの空間分解された位相シフト。単一の相互作用に対して位相シフトを増大させる、又は
3)空間分解された光学的異方性。複数回の相互作用により探査ビームの偏光への物体の影響を増加させる。
測定の感度(信号対ノイズ比)を増加させ、光学的に等方性の物体に特に有利である。
1’ 再結合ビーム
21 ビームスプリッタ
22 偏光ビームスプリッタ
3 第1部分ビーム(探査ビーム)
30 物体をその物体上に結像する手段(ビームの分散を防ぎながら)
31 反射された第1部分ビーム
4 結像システム(例えば、レンズ)
5 凹面反射器、例えば凹面鏡
6 物体(幾何光学的な)
6’ 物体(6)の像
7 第2部分ビーム(基準ビーム)
8 平面反射器、例えば平面鏡
9 物体平面を検出器上に結像するためのシステム、例えばレンズ
10 物体(6)の像(検出に適した)
11 検出器、例えば結像レンズ、波面センサー、又はビーム特性の空間マッピングを可能にする別の検出素子を有する領域アレイ検出器(例えば、CCDカメラ)
110 領域アレイ検出器(例えば、CCDカメラ)
12 ポッケルス・セル
λ/4 4分の1波長板
λ/2 半波長板
Claims (21)
- 高コントラスト撮像のための装置であって、
ビーム(1)を探査ビーム(3)と基準ビーム(7)に分割するためのビームスプリッタであって、前記探査ビーム(3)は物体(6)に向けられる、ビームスプリッタ(21)と、
前記探査ビーム(3)を前記物体(6)から受光し、前記物体(6)をその物体上に結像する自己結像システム(30)であって、
該システム(30)は好ましくは反射された探査ビーム(31)の分散を防ぎ、
前記ビーム(3)及び(31)は前記物体(6)と少なくとも2度相互作用し、
前記反射された探査ビーム(31)は最後の相互作用後に更に前記スプリッタ(21)に向けられる、自己結像システム(30)と、
前記反射された探査ビーム(31)を前記スプリッタ(21)から受光する検出手段(11)と
を備える装置。 - 前記自己結像システム(30)は結像素子、好ましくはレンズ(4)と、前記探査ビーム(3)を前記物体(6)との1度目の相互作用から受光する凹面鏡(5)とを備え、前記凹面鏡は前記探査ビーム(3)を反射し前記結像素子、好ましくはレンズ(4)に戻し、前記反射された探査ビーム(31)を供給する、請求項1記載の装置。
- 前記ビームスプリッタ(21)は部分反射するミラー又は偏光ビームスプリッタ(22)又は回折格子である、先行する請求項のいずれかに記載の装置。
- 前記基準ビーム(7)は平面鏡(8)によって反射されて前記スプリッタ(21)に戻され、前記反射された探査ビーム(31)と再結合され、前記検出手段(11)は干渉縞を検出する、先行する請求項のいずれかに記載の装置。
- 着目する前記物体(6)は透明な物体であり、好ましくはガスである、先行する請求項のいずれかに記載の装置。
- 着目する前記物体(6)は反射性の界面である、請求項1~4のいずれかに記載の装置。
- 前記ビームスプリッタ(21)と前記物体(6)の間に配置された4分の1波長板(λ/4)を更に備える先行する請求項のいずれかに記載の装置。
- 前記ビームスプリッタ(21)と前記物体(6)の間に配置された半波長板(λ/2)を更に備える先行する請求項のいずれかに記載の装置。
- 前記検出手段(11)は、ビーム(1’)及び前記ビーム(31)を検出器(110)上に集束させるための結像システム(9)、好ましくはレンズを更に備える、先行する請求項のいずれかに記載の装置。
- 高コントラスト撮像のための装置であって、
請求項1に記載のビームスプリッタ(21)と、
前記スプリッタ(21)から前記探査ビーム(3)を受光し前記探査ビーム(3)をその偏光に従って物体(6)に向ける偏光ビームスプリッタ(22)であって、前記ビーム(3)は電磁放射ビーム、好ましくはレーザービームである、偏光ビームスプリッタ(22)と、
第1枝路と、
第2自己結像システム(30)を含み前記第1枝路から前記探査ビーム(3)を受光する第2枝路と、
請求項1に記載の検出手段(11)と
を備え、
前記第1枝路は、
前記物体(6)から前記探査ビーム(3)を受光する4分の1波長板(λ/4)と、
前記4分の1波長板(λ/4)から前記ビームを受光し、前記ビームを反射して前記4分の1波長板(λ/4)に戻す第1自己結像システム(30)と、
前記物体(6)及び偏光ビームスプリッタ(22)と
を含む、装置。 - 基準ビームは平面鏡(8)によって反射され前記スプリッタ(21)に戻され、前記反射された探査ビーム(31)と再結合され、前記検出手段(11)は干渉縞を検出する、請求項10記載の装置。
- 高コントラスト撮像のための装置であって、
請求項1に記載のビームスプリッタ(21)と、
請求項10に記載の偏光ビームスプリッタ(22)と、
第1枝路と、
請求項10に記載の第2枝路と、
請求項1に記載の検出手段(11)と
を備え、
前記ビーム(1)はパルスレーザー放射ビームであり、
前記第1枝路は、
前記スプリッタ(22)から前記ビーム(3)を受光し着目する物体(6)からの前記ビーム(3)を透過させるポッケルス・セル(12)と、
前記着目する物体(6)から前記ビーム(3)を受光し、前記ビーム(3)を反射して前記ポッケルス・セル(12)に戻す第1自己結像システム(30)と、
前記物体(6)及び前記偏光ビームスプリッタ(22)と
を含む、装置。 - 光学的に透明な物体の密度分布分析のための先行する請求項のいずれかに記載の装置の使用であって、前記物体は好ましくはガス噴射又はプラズマから拡がるガスである、装置の使用。
- 高コントラスト撮像のための方法であって、
a.ビームスプリッタ(21)に向けられた入射ビーム(1)を供給するステップであって、前記ビームスプリッタ(21)は前記ビーム(1)を探査ビーム(3)と基準ビーム(7)に分割し、前記探査ビーム(3)は物体(6)に向けられる、ステップと、
b.前記探査ビーム(3)の物体(6)との1度目の相互作用をさせるステップと、
c.物体(6)の像をその物体上に結像するステップであって、好ましくは前記探査ビーム(3)の分散を防ぎながら、反射された探査ビーム(31)は前記物体(6)と少なくとも2度相互作用する、ステップと、
d.最後の相互作用後に前記反射された探査ビーム(31)を前記ビームスプリッタ(21)に向けるステップと、
e.前記ビーム(31)を検出するステップと、
を含む方法。 - 前記ステップcは
f.前記探査ビーム(3)を結像システム(4)によって集束させるステップと、
g.前記探査ビーム(3)を凹面鏡(5)で反射し、反射された探査ビーム(31)を供給するステップと、
h.前記反射された探査ビーム(31)を結像システム(4)及び物体(6)に向けて戻すステップと
を更に含む、請求項14記載の方法。 - i.干渉縞を再結合されたビーム(1’)により検出するステップ
を更に含む請求項14又は15記載の方法。 - 前記探査ビーム(3)の物体(6)との相互作用は透過又は反射であり、前記物体(6)は前記探査ビーム(3)及び(31)の振幅、位相、又は偏光に影響を及ぼす、請求項14~16のいずれかに記載の方法。
- ステップbの前に前記探査ビーム(3)を円偏光にするステップを含む請求項14~16のいずれかに記載の方法。
- ステップbの前に前記探査ビーム(3)の偏光ベクトルを回転させるステップを更に含む請求項14~16のいずれかに記載の方法。
- 前記ビーム(1)は電磁放射ビーム、好ましくはレーザービームであり、次の順に
j.前記探査ビーム(3)を偏光ビームスプリッタ(22)に更に向けるステップと、
k.前記探査ビーム(3)をその偏光に従って分割するステップであって、前記探査ビーム(3)は物体(6)に向けられる、ステップと、
l.4分の1波長板(λ/4)を2度透過させることで偏光を変えるステップと、
m.前記探査ビーム(3)を前記物体(6)の第1自己結像システム(30)に集束させ反射させるステップと、
n.前記偏光ビームスプリッタ(22)を透過するか又は反射されるステップと、
o.前記探査ビーム(3)を前記物体(6)の第2自己結像システム(30)に集束させ反射させるステップと、
p.前記偏光ビームスプリッタ(22)を透過するか又は反射されるステップと、
q.前記4分の1波長板(λ/4)を2度透過させることで偏光を変えるステップと、
r.前記探査ビーム(3)を前記物体(6)の第1自己結像システム(30)に集束させ反射させるステップと、
s.前記偏光ビームスプリッタ(22)によって反射されるか又は透過するステップと
を更に含む請求項16記載の方法。 - 前記ビーム(1)はパルスレーザー放射であり、次の順に
t.前記探査ビーム(3)を偏光ビームスプリッタ(22)に更に向けるステップと、
u.前記探査ビーム(3)をその偏光に従って分割するステップであって、前記探査ビーム(3)は物体(6)に向けられる、ステップと、
v.ポッケルス・セル(12)を透過させることで偏光を変えるステップと、
w.前記探査ビーム(3)を前記物体(6)の第1自己結像システム(30)に集束させ反射させるステップと、
x.前記偏光ビームスプリッタ(22)を透過するか又は反射されるステップと、
y.前記探査ビームを前記物体(6)の第2自己結像システム(30)に集束させ反射させるステップと、
z.前記偏光ビームスプリッタ(22)を透過するか又は反射されるステップと、
aa.前記ポッケルス・セル(12)によって偏光を変えるステップと、
bb.前記探査ビーム(3)を前記物体(6)の第1自己結像システム(30)に集束させ反射させるステップと、
cc.前記偏光ビームスプリッタ(22)によって反射されるか又は透過するステップと
を更に含む請求項16記載の方法。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07507875A (ja) * | 1992-12-25 | 1995-08-31 | ドラチェフ,ウラディミール プロコピエヴィッチ | 分散干渉計 |
JPH1090117A (ja) * | 1996-09-11 | 1998-04-10 | Ricoh Co Ltd | 屈折率分布の測定方法及び装置 |
US6020963A (en) * | 1996-06-04 | 2000-02-01 | Northeastern University | Optical quadrature Interferometer |
EP2439748A1 (en) * | 2010-10-04 | 2012-04-11 | CellTool GmbH | Method of manipulating a biological object and optical manipulator |
US8537365B1 (en) * | 2010-09-02 | 2013-09-17 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Mass gauging demonstrator for any gravitational conditions |
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---|---|---|---|---|
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07507875A (ja) * | 1992-12-25 | 1995-08-31 | ドラチェフ,ウラディミール プロコピエヴィッチ | 分散干渉計 |
US6020963A (en) * | 1996-06-04 | 2000-02-01 | Northeastern University | Optical quadrature Interferometer |
JPH1090117A (ja) * | 1996-09-11 | 1998-04-10 | Ricoh Co Ltd | 屈折率分布の測定方法及び装置 |
US8537365B1 (en) * | 2010-09-02 | 2013-09-17 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Mass gauging demonstrator for any gravitational conditions |
EP2439748A1 (en) * | 2010-10-04 | 2012-04-11 | CellTool GmbH | Method of manipulating a biological object and optical manipulator |
JP2014228425A (ja) * | 2013-05-23 | 2014-12-08 | 株式会社 清原光学 | 3次元干渉計 |
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