JP2022514777A - Methods and equipment for leak point detection - Google Patents

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Abstract

流体ライン（１８）上のリークポイント（２４）を検出する方法であって、流体ライン（１８）が周囲圧力の空気で実質的に充填されている状態に流体ライン（１８）を維持しながら、超音波エミッタ（２０）を使用して、超音波（２５）を流体ライン（１８）に放出するステップと、超音波検出器（２２）を使用して、放出された超音波（２５）が流体ライン（１８）上のリークポイント（２４）で流体ライン（１８）を出ていることを検出するステップと、を含む方法。【選択図】 図１A method of detecting a leak point (24) on a fluid line (18), while maintaining the fluid line (18) in a state where it is substantially filled with ambient pressure air. The step of emitting ultrasonic waves (25) to the fluid line (18) using the ultrasonic emitter (20) and the emitted ultrasonic waves (25) using the ultrasonic detector (22) are fluids. A method comprising detecting that the leak point (24) on the line (18) is exiting the fluid line (18). [Selection diagram] Fig. 1

Description

本発明は、真空ポンプ及び／又は除害システム又は他のタイプの産業機器におけるリークポイントの検出に関する。 The present invention relates to the detection of leak points in vacuum pumps and / or abatement systems or other types of industrial equipment.

真空ポンプ及び／又は除害システムは、例えば、半導体製造など、様々な技術分野で使用されている。通常、上記のシステムでは、真空ポンプ装置を使用して、プロセスガス（例えば、工業プロセスからのガス）を特定の場所からポンプで排出し、除害装置を使用して、生成された望ましくない物質（例えば、排気ガス）を除害（例えば、破壊又は廃棄）する。 Vacuum pumps and / or abatement systems are used in various technical fields, such as semiconductor manufacturing. Typically, in the above systems, a vacuum pumping device is used to pump out process gas (eg, gas from an industrial process) from a specific location and an abatement device is used to produce unwanted substances. Detoxify (eg, destroy or dispose of) (eg, exhaust gas).

真空ポンプ及び／又は除害システムは、システムを通って様々な流体を搬送するための流体ラインを含む。通常、リークポイントを補修できるように、上記の流体ラインにリークポイントがあるかどうかを検出することが望ましい。 Vacuum pumps and / or abatement systems include fluid lines for transporting various fluids through the system. It is usually desirable to detect if there is a leak point in the above fluid line so that the leak point can be repaired.

本発明の第１の態様では、流体ライン上のリークポイントを検出する方法が提供され、本方法は、流体ラインが周囲圧力の空気で実質的に充填されている状態に流体ラインを維持しながら、超音波エミッタを使用して流体ラインに超音波を放出するステップと、超音波検出器を使用して、放出された超音波が流体ライン上のリークポイントで流体ラインから出ていることを検出するステップと、を含む。 A first aspect of the invention provides a method of detecting a leak point on a fluid line, wherein the method maintains the fluid line in a state where it is substantially filled with ambient pressure air. , Steps to emit ultrasonic waves to the fluid line using an ultrasonic emitter, and an ultrasonic detector to detect that the emitted acoustic waves are coming out of the fluid line at a leak point on the fluid line. Including steps to do.

本方法は、超音波検出器が放出された超音波を検出するまで、流体ラインに沿って超音波検出器を移動させるステップを更に含むことができる。 The method may further include moving the ultrasonic detector along the fluid line until the ultrasonic detector detects the emitted ultrasonic waves.

本方法は、超音波検出器によって、放出された超音波が流体ライン上のリークポイントで流体ラインから出ていることの通知を提供するステップを更に含むことができる。 The method can further include the step of providing notification by the ultrasonic detector that the emitted ultrasonic waves are exiting the fluid line at a leak point on the fluid line.

本方法は、検出に基づいてリークポイントの位置を決定するステップを更に含むことができる。 The method may further include determining the location of the leak point based on the detection.

本方法は、流体ラインを補修してリークポイントを取り除くステップを更に含むことができる。 The method can further include the step of repairing the fluid line to remove the leak point.

超音波エミッタは、流体ラインに埋め込むことができる。 The ultrasonic emitter can be embedded in the fluid line.

超音波エミッタは、流体ラインに固定して取り付けられるか、又は流体ラインに取り外し可能に取り付けることができる。 The ultrasonic emitter can be fixedly attached to the fluid line or detachably attached to the fluid line.

超音波検出器は、超音波エミッタ及び流体ラインとは別個のユニットとすることができる。 The ultrasonic detector can be a separate unit from the ultrasonic emitter and fluid line.

状態は、特定の方向に流体ラインを通る流体のバルク移動がない状態とすることができる。 The state can be a state in which there is no bulk movement of the fluid through the fluid line in a particular direction.

流体ラインは、接合部において互いに接続された２つのパイプセクションを含むことができる。放出された超音波が流体ラインを出るポイントは、２つのパイプセクション間の接合部とすることができる。 The fluid line can include two pipe sections connected to each other at the joint. The point at which the emitted ultrasonic waves exit the fluid line can be the junction between the two pipe sections.

流体ラインは、冷却水を運ぶための流体ライン、又は窒素ガスを運ぶための流体ライン、又は清浄な乾燥した空気を運ぶための流体ライン、の何れかとすることができる。 The fluid line can be either a fluid line for carrying cooling water, a fluid line for carrying nitrogen gas, or a fluid line for carrying clean, dry air.

流体ラインは、真空ポンプ及び／又は除害システムの流体ラインとすることができる。 The fluid line can be the fluid line of a vacuum pump and / or abatement system.

本発明の第２の態様では、流体ライン上のリークポイントを検出する方法が提供され、流体ラインは、特定の流体を搬送するように構成され、本方法は、流体ラインを特定の状態に維持しながら、流体は流体ラインを通って運ばれず、超音波エミッタを使用して流体ラインに超音波を放出するステップと、超音波検出器を使用して、放出された超音波が流体ライン上のリークポイントで流体ラインを出ていることを検出するステップと、を含む。 A second aspect of the invention provides a method of detecting a leak point on a fluid line, the fluid line being configured to carry a particular fluid, the method of maintaining the fluid line in a particular state. However, the fluid is not carried through the fluid line, and the step of emitting ultrasonic waves to the fluid line using an ultrasonic emitter and the emitted ultrasonic waves using an ultrasonic detector are on the fluid line. Includes a step to detect exiting the fluid line at the leak point.

本発明の第３の態様では、流体ライン上のリークポイントを検出する方法が提供され、本方法は、特定の方向に流体ラインを通る流体のバルク移動がない状態に流体ラインを維持しながら、超音波エミッタを使用して流体ラインに超音波を放出するステップと、超音波検出器を使用して、放出された超音波が流体ライン上のリークポイントで流体ラインから出ていることを検出するステップと、を含む。 A third aspect of the invention provides a method of detecting a leak point on a fluid line, the method of which maintains the fluid line without bulk movement of the fluid through the fluid line in a particular direction. A step of emitting ultrasonic waves to the fluid line using an ultrasonic emitter and an ultrasonic detector to detect that the emitted ultrasonic waves are coming out of the fluid line at a leak point on the fluid line. Including steps and.

本発明の第４の態様では、流体ライン上のリークポイントを検出する方法が提供され、本方法は、流体が流体ラインを通って輸送されていない状態に流体ラインを維持しながら、超音波エミッタを使用して流体ラインに超音波を放出するステップと、超音波検出器を使用して、放出された超音波が流体ライン上のリークポイントで流体ラインを出ていることを検出するステップと、を含む。 A fourth aspect of the invention provides a method of detecting a leak point on a fluid line, which method is an ultrasonic emitter while maintaining the fluid line in a state where the fluid is not transported through the fluid line. Using an ultrasonic detector to emit ultrasonic waves to the fluid line, and using an ultrasonic detector to detect that the emitted ultrasonic waves are exiting the fluid line at a leak point on the fluid line. including.

真空ポンプ及び／又は除害システムの斜視図を示す概略図（正確な縮尺ではない）である。It is a schematic (not an exact scale) showing a perspective view of a vacuum pump and / or abatement system. 真空ポンプ及び／又は除害システム内のリークポイントを検出するためのリークポイント検出システムの側面図を示す概略図（正確な縮尺ではない）であるIt is a schematic (not an exact scale) showing a side view of a leak point detection system for detecting leak points in a vacuum pump and / or abatement system. リークポイント検出システムを使用してリークポイントを検出する方法の様々なステップを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows various steps of the method of detecting a leak point using a leak point detection system.

図１は、真空ポンプ及び／又は除害システム１０の実施形態の斜視図を示す概略図（縮尺通りではない）である。 FIG. 1 is a schematic view (not on scale) showing a perspective view of an embodiment of a vacuum pump and / or abatement system 10.

真空ポンプ及び／又は除害システム１０は、フレーム１２、真空ポンプ及び／又は除害装置１４、入力ライン１６、出力ライン１８、及び超音波エミッタ２０を備える。真空ポンプ及び／又は除害システム１０はまた、他の要素（例えば、電気配線、センサ、電子制御装置、他のライン、他の真空ポンプ及び／又は除害装置）を含むことが理解されるであろうが、これらは、簡単にする目的で図示されていない。真空ポンプ及び／又は除害システム１０は、半導体製造施設などの施設において真空ポンプ及び／又は除害を実行するのに使用可能である。 The vacuum pump and / or abatement system 10 includes a frame 12, a vacuum pump and / or abatement device 14, an input line 16, an output line 18, and an ultrasonic emitter 20. It is understood that the vacuum pump and / or abatement system 10 also includes other elements (eg, electrical wiring, sensors, electronic controls, other lines, other vacuum pumps and / or abatement devices). As it may be, these are not shown for the sake of simplicity. The vacuum pump and / or abatement system 10 can be used to perform a vacuum pump and / or abatement in a facility such as a semiconductor manufacturing facility.

真空ポンプ及び／又は除害システム１０は、統合システムとすることができる。「統合システム」という用語は、共通のシステムに一緒に統合された２又は３以上のモジュールを指すのに使用することができ、モジュールは、真空ポンプ装置を含むモジュール、除害装置を含むモジュール、並びに真空ポンプ及び／又は除害装置を制御するための電子制御装置を含むモジュールからなるモジュールの群から選択される。 The vacuum pump and / or the abatement system 10 can be an integrated system. The term "integrated system" can be used to refer to two or more modules that are integrated together in a common system, where modules include modules including vacuum pumping equipment, modules including abatement equipment, Also selected from a group of modules consisting of modules including electronic controls for controlling vacuum pumps and / or abatement devices.

フレーム１２は、真空ポンプ及び／又は除害装置１４が配置される空間を定める。入力ライン１６は、フレーム１２によって定められた空間内に延在し、真空ポンプ及び／又は除害装置１４の入口に流体接続されている。入力ライン１６は、入口を介して真空ポンプ及び／又は除害装置１４に流体を供給するように構成されている。出力ライン１８は、フレーム１２によって定められた空間内に延在し、真空ポンプ及び／又は除害装置１４の出口に流体接続されている。出力ライン１８は、上記出口を介して真空ポンプ及び／又は除害装置１４から流体を受け取るように構成される。入力ライン及び出力ライン１６、１８はそれぞれ、１又は複数のパイプセクションから形成される。この実施形態では、入力及び出力ライン１６、１８は、冷却水ライン、すなわち、真空ポンプ及び／又は除害装置１４を介して水を搬送して、真空ポンプ及び／又は除害装置１４を冷却するためのラインである。 The frame 12 defines the space in which the vacuum pump and / or the abatement device 14 is arranged. The input line 16 extends into the space defined by the frame 12 and is fluidly connected to the inlet of the vacuum pump and / or the abatement device 14. The input line 16 is configured to supply fluid to the vacuum pump and / or abatement device 14 via the inlet. The output line 18 extends into the space defined by the frame 12 and is fluid connected to the outlet of the vacuum pump and / or the abatement device 14. The output line 18 is configured to receive fluid from the vacuum pump and / or abatement device 14 via the outlet. The input lines 16 and 18 are formed from one or more pipe sections, respectively. In this embodiment, the input and output lines 16 and 18 carry water through a cooling water line, i.e., a vacuum pump and / or abatement device 14, to cool the vacuum pump and / or abatement device 14. It is a line for.

超音波エミッタ２０は、出力ライン１８に取り付けられ、リークポイント検出システムの一部として使用可能である。これについては、図２及び図３を参照して説明する。 The ultrasonic emitter 20 is attached to the output line 18 and can be used as part of a leak point detection system. This will be described with reference to FIGS. 2 and 3.

図２は、リークポイント検出システム１００の実施形態の側面図を示す概略図（縮尺通りではない）である。 FIG. 2 is a schematic view (not on a scale) showing a side view of an embodiment of the leak point detection system 100.

リークポイント検出システム１００は、出力ライン１８、超音波エミッタ２０、及び超音波検出器２２を備える。出力ライン１８は、出力ライン１８を通って搬送される流体が漏出するリークポイント２４を有する。この実施形態では、出力ライン１８は、接合部にて互いに接続された２つのパイプセクションを含み、リークポイント２４は、２つのパイプセクション間の接合部に位置する。 The leak point detection system 100 includes an output line 18, an ultrasonic emitter 20, and an ultrasonic detector 22. The output line 18 has a leak point 24 through which the fluid conveyed through the output line 18 leaks. In this embodiment, the output line 18 includes two pipe sections connected to each other at the joint, and the leak point 24 is located at the joint between the two pipe sections.

超音波エミッタ２０は、超音波周波数（例えば４０ｋＨｚ）で超音波２５を放出するように構成される。超音波エミッタ２０は、超音波２５を出力ライン１８に放出することができるように、出力ライン１８に取り付けられている。本実施形態では、超音波エミッタ２０は、出力ライン１８に埋め込まれている。より具体的には、出力ライン１８は、その壁に開口部（又はポート）を有し、超音波エミッタ２０は、開口部／ポートで受けられるように出力ライン１８に取り付けられる（例えば、開口部／ポートの周りのフランジを介して取り付けられる）。超音波エミッタ２０は、出力ライン１８に固定して取り付けられるか、又は出力ライン１８に取り外し可能に取り付けられてもよい。 The ultrasonic emitter 20 is configured to emit ultrasonic waves 25 at an ultrasonic frequency (for example, 40 kHz). The ultrasonic emitter 20 is attached to the output line 18 so that the ultrasonic wave 25 can be emitted to the output line 18. In this embodiment, the ultrasonic emitter 20 is embedded in the output line 18. More specifically, the output line 18 has an opening (or port) in its wall, and the ultrasonic emitter 20 is attached to the output line 18 so that it can be received at the opening / port (eg, the opening). / Attached via a flange around the port). The ultrasonic emitter 20 may be fixedly attached to the output line 18 or detachably attached to the output line 18.

超音波検出器２２は、検出範囲内（例えば、５ｃｍ以内）の超音波２５の存在を検出するように構成される。詳細には、超音波検出器２２は、超音波エミッタ２０によって放出された超音波２５を検出するように構成される。超音波検出器２２はまた、その検出範囲内の超音波２５の存在の検出に応答して、その検出範囲内で超音波２５が検出されたことの通知を提供するように構成される。例えば、超音波検出器２２は、ディスプレイを備えることができ、通知は、ディスプレイ上の視覚的通知とすることができる。或いは、通知は、アラームなどの可聴通知とすることができる。本実施形態では、超音波検出器２２は、出力ライン１８又は超音波エミッタ２０に取り付けられておらず、出力ライン１８及び超音波エミッタ２０とは別のユニットを提示する。 The ultrasonic detector 22 is configured to detect the presence of the ultrasonic wave 25 within the detection range (for example, within 5 cm). Specifically, the ultrasonic detector 22 is configured to detect the ultrasonic 25 emitted by the ultrasonic emitter 20. The ultrasonic detector 22 is also configured to provide notification that the ultrasonic 25 has been detected within its detection range in response to detection of the presence of the ultrasonic 25 within its detection range. For example, the ultrasonic detector 22 can include a display and the notification can be a visual notification on the display. Alternatively, the notification can be an audible notification such as an alarm. In the present embodiment, the ultrasonic detector 22 is not attached to the output line 18 or the ultrasonic emitter 20, and presents a unit different from the output line 18 and the ultrasonic emitter 20.

超音波エミッタ２０及び超音波検出器２２は、出力ライン１８におけるリークポイント２４を検出するのに使用可能である。これについて、図３を参照して説明する。 The ultrasonic emitter 20 and the ultrasonic detector 22 can be used to detect the leak point 24 in the output line 18. This will be described with reference to FIG.

図３は、図２に示されるリークポイント検出システム１００を使用してリークを検出する方法の様々なステップを示すフローチャートである。 FIG. 3 is a flowchart showing various steps of a method of detecting a leak using the leak point detection system 100 shown in FIG.

図３のフローチャートに図示され以下に説明されるプロセスステップの一部は、省略されるか、又は以下に提示され図３に示されるものとは異なる順序で実行できることは理解されるであろう。更に、プロセスステップは、便宜上及び理解を容易にするために、離散的な時間的に連続するステップとして図示されているが、それでにもかかわらず、プロセスステップの一部は、実際には同時に実行されるか、少なくともある程度時間的に重複することができる。 It will be appreciated that some of the process steps illustrated in the flowchart of FIG. 3 and described below can be omitted or performed in a different order than those presented below and shown in FIG. Moreover, although process steps are illustrated as discrete, temporally continuous steps for convenience and ease of understanding, nonetheless, some of the process steps are actually performed simultaneously. Can be duplicated, or at least to some extent in time.

ステップｓ２において、ユーザは、出力ライン１８を、周囲圧力の空気、すなわち出力ライン１８が配置されている環境と同じ圧力の空気で実質的に満たされている状態に維持する。例えば、出力ライン１８が大気圧の環境にある場合、空気は大気圧にあるものとすることができる。この状態では、出力ライン１８は、流体を移送するために使用されておらず、すなわち、特定の方向に出力ライン１８を通る流体の大きな移動はない。従って、この状態では、出力ライン１８は、搬送するように構成された流体を搬送していない。 In step s2, the user maintains the output line 18 substantially filled with ambient pressure air, i.e., air at the same pressure as the environment in which the output line 18 is located. For example, if the output line 18 is in an atmospheric pressure environment, the air can be assumed to be in atmospheric pressure. In this state, the output line 18 is not used to transfer the fluid, i.e., there is no significant movement of the fluid through the output line 18 in a particular direction. Therefore, in this state, the output line 18 does not convey the fluid configured to convey.

ステップｓ４において、ステップｓ２について上記の状態に出力ライン１８を維持しながら、ユーザは、超音波エミッタ２０を動作して超音波２５を出力ライン１８に放出する。放出された超音波２５は、出力ライン１８内の空気を介して出力ライン１８の内部を移動する。このようにして、放出された超音波２５は、超音波エミッタ２０からリークポイント２４に移動し、リークポイント２４で出力ライン１８から出る。従って、超音波エミッタ２０が超音波２５を出力ライン１８に放出するように動作すると、超音波２５は、リークポイント２４で出力ライン１８から出るようになる。 In step s4, the user operates the ultrasonic emitter 20 to emit the ultrasonic wave 25 to the output line 18 while maintaining the output line 18 in the above state for step s2. The emitted ultrasonic wave 25 moves inside the output line 18 through the air in the output line 18. In this way, the emitted ultrasonic wave 25 moves from the ultrasonic emitter 20 to the leak point 24 and exits from the output line 18 at the leak point 24. Therefore, when the ultrasonic emitter 20 operates so as to emit the ultrasonic wave 25 to the output line 18, the ultrasonic wave 25 comes out of the output line 18 at the leak point 24.

ステップｓ６において、ユーザは、超音波検出器２２がその検出範囲にて放出された超音波の存在を検出するまで、出力ライン１８に沿って超音波検出器２２を移動させる。より具体的には、超音波検出器２２は、出力ライン１８に隣接する出力ライン１８の外部に沿って、ユーザによって連続的に動かされる。リークポイント２４が超音波検出器２２の検出範囲内にある位置に超音波検出器２２が到達すると、超音波検出器２２は、リークポイント２４にて出力ライン１８から出る放出された超音波を検出する。 In step s6, the user moves the ultrasonic detector 22 along the output line 18 until the ultrasonic detector 22 detects the presence of ultrasonic waves emitted in its detection range. More specifically, the ultrasonic detector 22 is continuously moved by the user along the outside of the output line 18 adjacent to the output line 18. When the ultrasonic detector 22 reaches a position where the leak point 24 is within the detection range of the ultrasonic detector 22, the ultrasonic detector 22 detects the ultrasonic wave emitted from the output line 18 at the leak point 24. do.

ステップｓ８において、超音波検出器２２の検出範囲内の放出された超音波２５の存在の検出に応答して、超音波検出器２２は、放出された超音波２５がその検出範囲内で検出されたことの通知を提供する。例えば、通知は、超音波検出器２２のディスプレイ上に表示される視覚的通知とすることができる。或いは、通知は、アラームなどの可聴通知とすることができる。 In step s8, in response to the detection of the presence of the emitted ultrasonic wave 25 within the detection range of the ultrasonic detector 22, the ultrasonic detector 22 detects the emitted ultrasonic wave 25 within the detection range. Provide notification of that. For example, the notification can be a visual notification displayed on the display of the ultrasonic detector 22. Alternatively, the notification can be an audible notification such as an alarm.

ステップｓ１０において、ユーザは、通知に基づいて、出力ライン１８上にリークポイント２４があると決定する。加えて、ユーザは、リークポイント２４の位置は、超音波検出器２２によって通知が提供された時点で、超音波検出器２２に隣接する出力ライン１８上の位置であると決定する。これに続いて、ユーザは、出力ライン１８を補修してリークポイント２４を取り除くことができる。 In step s10, the user determines that there is a leak point 24 on the output line 18 based on the notification. In addition, the user determines that the location of the leak point 24 is on the output line 18 adjacent to the ultrasonic detector 22 at the time the notification is provided by the ultrasonic detector 22. Following this, the user can repair the output line 18 to remove the leak point 24.

従って、真空ポンプ及び／又は除害システムにおけるリークを検出するためのシステム及び方法が提供される。 Therefore, systems and methods for detecting leaks in vacuum pumps and / or abatement systems are provided.

有利なことに、上記のシステム及び方法は、流体ラインを通して流体を移送することなく、流体ラインのリークを検出することを可能にする傾向がある。これは、移送される流体の実際のリークが発生することなくリークポイントを検出できることを意味するようなものであり、これは、流体ラインを介して移送される流体が危険物質（腐食性又は毒性など）である場合、又は高圧／高温である場合に特に有用となる。例えば、窒素ガスのリークは、流体ラインの周囲の環境で酸素の枯渇を引き起こす傾向があり、ユーザにとって危険となる。窒素ガスのリークを防ぐことで、この危険を回避できることになる。 Advantageously, the systems and methods described above tend to make it possible to detect leaks in a fluid line without transferring the fluid through the fluid line. This is such that the leak point can be detected without the actual leakage of the transferred fluid, which means that the fluid transferred through the fluid line is a dangerous substance (corrosive or toxic). Etc.), or especially when the pressure / high temperature is high. For example, a leak of nitrogen gas tends to cause oxygen depletion in the environment around the fluid line, which is dangerous to the user. By preventing the leakage of nitrogen gas, this danger can be avoided.

更に、流体ラインを介して流体を移送せずにリークを検出する機能により、リークチェックを比較的簡単且つ迅速に実施できる傾向があり、その結果、使用する真空ポンプ及び／又は除害システムのセットアップにかかる時間が短縮される傾向がある。 In addition, the ability to detect leaks without transferring fluid through the fluid line tends to make leak checking relatively easy and quick, resulting in the setup of the vacuum pump and / or abatement system used. Tends to reduce the time it takes.

有利なことに、上記のシステム及び方法は、パイプセクション間の接合部でリークがより頻繁に発生する傾向があることから、パイプセクション間に多くの接合部を有する大規模システム（統合された真空ポンプ及び／又は除害システムなど）にてリークを検出するのに使用される場合に特に有用となる傾向がある。 Advantageously, the above systems and methods tend to leak more frequently at the joints between the pipe sections, so large systems with many joints between the pipe sections (integrated vacuum). It tends to be particularly useful when used to detect leaks in pumps and / or abatement systems, etc.).

上記の実施形態では、リークポイント検出システムを使用して、冷却水出力ラインにおけるリークを検出する。しかしながら、他の実施形態では、リークポイント検出システムは、別のタイプの流体ライン、例えば、プロセスガス入力ライン、プロセスガス出力ライン、清浄な乾燥空気を運ぶための流体ライン、窒素パージガスを運ぶための流体ラインなど、流体ラインと共に使用される。 In the above embodiment, a leak point detection system is used to detect leaks in the cooling water output line. However, in other embodiments, the leak point detection system is for carrying another type of fluid line, such as a process gas input line, a process gas output line, a fluid line for carrying clean dry air, a nitrogen purge gas. Used with fluid lines, such as fluid lines.

上記の実施形態では、リークポイント検出システムは、真空ポンプ及び／又は除害装置に流体接続されているラインにおけるリークを検出するのに使用される。しかしながら、他の実施形態では、リークポイント検出システムは、真空ポンプ及び／又は除害装置に流体接続されていない流体ラインのリークを検出するのに使用される。 In the above embodiment, the leak point detection system is used to detect leaks in a line fluidly connected to a vacuum pump and / or abatement device. However, in other embodiments, the leak point detection system is used to detect leaks in fluid lines that are not fluid connected to a vacuum pump and / or abatement device.

上記の実施形態では、リークポイントは、パイプの２つのセクション間の接合部に位置している。しかしながら、他の実施形態では、リークポイントは、流体ライン上の異なる位置にあり、すなわち、パイプの２つのセクション間の接合部にはない。一般に、リークポイントは流体ライン上の任意の場所に存在できることは理解されるであろう。 In the above embodiment, the leak point is located at the junction between the two sections of the pipe. However, in other embodiments, the leak points are at different locations on the fluid line, i.e., not at the junction between the two sections of the pipe. In general, it will be understood that the leak point can be anywhere on the fluid line.

上記の実施形態では、超音波検出器は、リークポイントを検出するために流体ラインに沿って連続的に移動される。しかしながら、他の実施形態では、超音波検出器は、流体ラインに沿って連続的に移動せず、代わりに、流体ライン上の様々な異なる位置に順次配置され、これらの位置の各々にリークポイントがあるかどうかを検出する。 In the above embodiment, the ultrasonic detector is continuously moved along the fluid line to detect the leak point. However, in other embodiments, the ultrasonic detector does not move continuously along the fluid line, but instead is sequentially placed at various different locations on the fluid line, with leak points at each of these locations. Detect if there is.

上記の実施形態では、リーク検出システムは、真空ポンプ及び／又は除害システムの流体ラインにおけるリークを検出するために使用される。しかしながら、リーク検出システムは、他のタイプの産業システムの流体ラインと共に使用できることを理解されたい。 In the above embodiment, the leak detection system is used to detect leaks in the fluid line of a vacuum pump and / or abatement system. However, it should be understood that leak detection systems can be used with fluid lines in other types of industrial systems.

１０ 真空ポンプ及び／又は除害システム
１２ フレーム
１４ 真空ポンプ及び／又は除害装置
１６ 入力ライン
１８ 出力ライン
２０ 超音波エミッタ
２２ 超音波検出器
２４ リークポイント
２５ 超音波
１００ リークポイント検出システム 10 Vacuum pump and / or abatement system 12 Frame 14 Vacuum pump and / or abatement device 16 Input line 18 Output line 20 Ultrasonic emitter 22 Ultrasonic detector 24 Leak point 25 Ultrasonic 100 Leak point detection system

Claims (15)

流体ライン上のリークポイントを検出する方法であって、
前記流体ラインが周囲圧力の空気で実質的に充填されている状態に前記流体ラインを維持しながら、超音波エミッタを使用して前記流体ラインに超音波を放出するステップと、
超音波検出器を使用して、前記放出された超音波が前記流体ライン上の前記リークポイントで前記流体ラインから出ていることを検出するステップと、
を含む、方法。 A method of detecting leak points on a fluid line,
A step of emitting ultrasonic waves to the fluid line using an ultrasonic emitter while maintaining the fluid line in a state where the fluid line is substantially filled with air at ambient pressure.
A step of detecting that the emitted ultrasonic wave is coming out of the fluid line at the leak point on the fluid line using an ultrasonic detector.
Including, how. 前記超音波検出器が前記放出された超音波を検出するまで、前記流体ラインに沿って前記超音波検出器を移動させるステップを更に含む、請求項１に記載の方法。 The method of claim 1, further comprising moving the ultrasonic detector along the fluid line until the ultrasonic detector detects the emitted ultrasonic waves. 前記超音波検出器によって、前記放出された超音波が前記流体ラインの前記リークポイントにて前記流体ラインから出ていることの通知を提供するステップを更に含む、請求項１又は２に記載の方法。 The method of claim 1 or 2, further comprising providing a step of providing notification by the ultrasonic detector that the emitted ultrasonic waves are exiting the fluid line at the leak point of the fluid line. .. 前記検出に基づいて前記リークポイントの位置を決定するステップを更に含む、請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。 The method according to any one of claims 1 to 3, further comprising a step of determining the position of the leak point based on the detection. 前記流体ラインを補修して前記リークポイントを取り除くステップを更に含む、請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。 The method according to any one of claims 1 to 4, further comprising the step of repairing the fluid line to remove the leak point. 前記超音波エミッタが、前記流体ラインに埋め込まれている、請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。 The method according to any one of claims 1 to 5, wherein the ultrasonic emitter is embedded in the fluid line. 前記超音波エミッタが、前記流体ラインに固定して取り付けられているか、又は前記流体ラインに取り外し可能に取り付けられている、請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。 The method according to any one of claims 1 to 6, wherein the ultrasonic emitter is fixedly attached to the fluid line or detachably attached to the fluid line. 前記超音波検出器が、前記超音波エミッタ及び前記流体ラインとは別個のユニットである、請求項１から７のいずれか一項に記載の方法。 The method according to any one of claims 1 to 7, wherein the ultrasonic detector is a unit separate from the ultrasonic emitter and the fluid line. 前記状態は、特定の方向に前記流体ラインを通る流体のバルク移動がない状態である、請求項１から８のいずれか一項に記載の方法。 The method according to any one of claims 1 to 8, wherein the state is a state in which there is no bulk movement of the fluid through the fluid line in a specific direction. 前記流体ラインが、接合部において互いに接続された２つのパイプセクションを含み、前記放出された超音波が前記流体ラインを出るポイントは、前記２つのパイプセクション間の前記接合部である、請求項１から９のいずれか一項に記載の方法。 1 The method according to any one of 9 to 9. 前記流体ラインが、
冷却水を運ぶための流体ライン、
窒素ガスを運ぶための流体ライン、及び
清浄な乾燥空気を運ぶための流体ライン、
のうちのいずれか一つである、請求項１から１０のいずれか一項に記載の方法。 The fluid line
Fluid line for carrying cooling water,
A fluid line for carrying nitrogen gas, and a fluid line for carrying clean dry air,
The method according to any one of claims 1 to 10, which is any one of the above. 前記流体ラインが、真空ポンプ及び／又は除害システムの流体ラインである、請求項１から１１のいずれか一項に記載の方法。 The method according to any one of claims 1 to 11, wherein the fluid line is a fluid line of a vacuum pump and / or abatement system. 流体ライン上のリークポイントを検出する方法であって、前記流体ラインは、特定の流体を搬送するように構成され、前記方法は、
前記特定の流体が前記流体ラインを通って運ばれていない状態で前記流体ラインを維持しながら、超音波エミッタを使用して前記流体ラインに超音波を放出するステップと、
超音波検出器を使用して、前記放出された超音波が前記流体ラインのリークポイントで前記流体ラインから出ていることを検出するステップと、
を含む、方法。 A method of detecting a leak point on a fluid line, wherein the fluid line is configured to carry a particular fluid.
A step of emitting ultrasonic waves to the fluid line using an ultrasonic emitter while maintaining the fluid line in a state where the specific fluid is not carried through the fluid line.
A step of detecting that the emitted ultrasonic wave is coming out of the fluid line at a leak point of the fluid line using an ultrasonic detector.
Including the method. 流体ライン上のリークポイントを検出する方法であって、
特定の方向に前記流体ラインを通る流体のバルク移動がない状態に前記流体ラインを維持しながら、超音波エミッタを使用して前記流体ラインに超音波を放出するステップと、
超音波検出器を使用して、前記放出された超音波が前記流体ラインのリークポイントで前記流体ラインから出ていることを検出するステップと、
を含む、方法。 A method of detecting leak points on a fluid line,
A step of emitting ultrasonic waves to the fluid line using an ultrasonic emitter while maintaining the fluid line in a state where there is no bulk movement of the fluid through the fluid line in a specific direction.
A step of detecting that the emitted ultrasonic wave is coming out of the fluid line at a leak point of the fluid line using an ultrasonic detector.
Including, how. 流体ライン上のリークポイントを検出する方法であって、
流体が前記流体ラインを通って移送されていない状態で前記流体ラインを維持しながら、超音波エミッタを使用して前記流体ラインに超音波を放出するステップと、
超音波検出器を使用して、前記放出された超音波が前記流体ラインのリークポイントで前記流体ラインから出ていることを検出するステップと、
を含む、方法。 A method of detecting leak points on a fluid line,
A step of emitting ultrasonic waves to the fluid line using an ultrasonic emitter while maintaining the fluid line in a state where the fluid is not transferred through the fluid line.
A step of detecting that the emitted ultrasonic wave is coming out of the fluid line at a leak point of the fluid line using an ultrasonic detector.
Including, how.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5892163A (en) * 1998-01-27 1999-04-06 Geophysical Survey Systems, Inc. Sewer and pipeline inspection transporter tool

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3978915A (en) * 1971-08-31 1976-09-07 E. F. I. Inc. Condenser with leak detecting apparatus
GB1357209A (en) * 1971-11-30 1974-06-19 British Petroleum Co Testing underwater pipelines for leaks
JPS60238733A (en) * 1984-05-12 1985-11-27 Mitsutoshi Endo Detection of water leakage
JP3628249B2 (en) * 2000-10-13 2005-03-09 大日本プラスチックス株式会社 Nondestructive inspection method for joints of thermoplastic resin pipes
NL1026538C2 (en) * 2004-07-01 2006-01-03 Roentgen Tech Dienst Bv A method and assembly for detecting a crack in a pipeline from an inside of the pipeline.
US8256296B2 (en) * 2009-08-03 2012-09-04 Georgia Tech Research Corporation Methods and systems for detecting defects in welded structures utilizing pattern matching
FI20100016A (en) * 2010-01-21 2011-07-22 Outokumpu Oy Method and device for detecting faults in a weld seam
US20120312078A1 (en) * 2011-06-09 2012-12-13 Mehrdad Sharif Bakhtiar Pipeline reflectometry apparatuses and methods
KR20130032566A (en) * 2011-09-23 2013-04-02 동의대학교 산학협력단 Apparatus and method for detecting defect of welded portion on pipe
US9995647B2 (en) * 2015-09-30 2018-06-12 General Monitors, Inc. Ultrasonic gas leak location system and method
CN106840540B (en) * 2017-03-27 2023-09-19 大连海安船舶与海洋工程技术服务公司 Combined ultrasonic watertight compartment hatch leak detector for ship and operation method thereof
CN107327713A (en) * 2017-07-10 2017-11-07 天津大学 The ultrasound damage device and method of a kind of water supply line
CN108168792A (en) * 2017-12-25 2018-06-15 沪东中华造船(集团)有限公司 A kind of close property detection method of the ship pipeline based on ultrasonic wave leak detection technology

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5892163A (en) * 1998-01-27 1999-04-06 Geophysical Survey Systems, Inc. Sewer and pipeline inspection transporter tool

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