JP2022513873A - シンチレータスクリーンの製造方法、シンチレータスクリーン及び対応する画像検出器 - Google Patents
シンチレータスクリーンの製造方法、シンチレータスクリーン及び対応する画像検出器 Download PDFInfo
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Abstract
Description
基板の所定の表面に結晶柱状シンチレータ層を作製するスッテップと、
前記結晶柱状シンチレータ層が形成されている前記基板の周辺に、防潮層を作製するステップと、
前記防潮層の、X線の受信に用いられる表面以外の残り表面に、X線吸収層を作製するステップと、
前記X線吸収層の外面と、前記防潮層のX線の受信に用いられる表面に、保護層を作製するステップとを含む。
基板の所定の表面に結晶柱状シンチレータ層を作製するスッテップと、
前記結晶柱状シンチレータ層が形成されている前記基板の周辺に、防潮層を作製するステップと、
前記防潮層の、X線の受信に用いられる表面以外の残り表面に、第1の中間層を作製するステップと、
前記第1の中間層の外面に、X線吸収層を作製するステップと、
前記X線吸收層の外面に、第2の中間層を作製するステップと、
前記第2の中間層の外面と、前記防潮層のX線の受信に用いられる表面に、保護層を作製するステップとを含む。
前記基板と形成待ちの前記結晶柱状シンチレータ層の原材料を選択するサブステップと、
真空蒸着法を用いて、形成待ちの前記結晶柱状シンチレータ層の原材料で、前記基板に、前記結晶柱状シンチレータ層を形成するサブステップとを含む。
高い可視光線反射率または高い可視光線吸収率を有する、少なくとも1つの表面を備える基板を提供するステップと、
高い可視光線反射率または高い可視光線吸収率を有する、前記フレキシブル基板の側面に対応する他の側面が、均一に充填された熱伝導性接着剤によって、熱伝導剛性基板に固定されるステップと、
高い可視光線反射率または高い可視光線吸収率を有する前記フレキシブル基板の側面に、シンチレータ層を製造するステップとを含む。
高い可視光線反射率または高い可視光線吸収率を有する少なくとも1つの表面を備える、基板1を提供するステップ(1)と、
フレキシブル基板1の、高い可視光線反射率または高い可視光線吸収率を有する側面と対向する他の側面が、均一に充填された熱伝導性接着剤2によって、剛性の熱伝導基板3に固定されるステップ(2)と、
フレキシブル基板1の、高い可視光線反射率または高い可視光線吸収率を有する側面に、シンチレータ層4を製造するステップ(3)と、
剛性の熱伝導基板4及び熱伝導性接着剤3を剥離除去するステップ(4)と、
シンチレータ層4を少なくとも完全にカバーすることによって、フレキシブル基板に基づく完全なシンチレータスクリーンが得られるように、上述の構造の外部に防水保護層5を製造するステップ(5)とを含む。
Claims (19)
- シンチレータスクリーンの製造方法であって、
基板の所定の表面に結晶柱状シンチレータ層を作製するスッテップと、
前記結晶柱状シンチレータ層が形成されている前記基板の周辺に防潮層を作製するステップと、
前記防潮層の、X線の受信に用いられる表面以外の残り表面に、X線吸収層を作製するステップと、
前記X線吸收層の外面と前記防潮層のX線の受信に用いられる表面に、保護層を作製するステップとを含む、ことを特徴とするシンチレータスクリーンの製造方法。 - シンチレータスクリーンの製造方法であって、
基板の所定の表面に結晶柱状シンチレータ層を作製するスッテップと、
前記結晶柱状シンチレータ層が形成されている前記基板の周辺に防潮層を作製するステップと、
前記防潮層の、X線の受信に用いられる表面以外の残り表面に、第1の中間層を作製するステップと、
前記第1の中間層の外面に、X線吸収層を作製するステップと、
前記X線吸收層の外面に、第2の中間層を作製するステップと、
前記第2の中間層の外面と前記防潮層のX線の受信に用いられる表面に、保護層を作製するステップとを含む、ことを特徴とするシンチレータスクリーンの製造方法。 - 前記基板の所定の表面に結晶柱状シンチレータ層を作製するには、
前記基板と形成待ちの前記結晶柱状シンチレータ層の原材料を選択するサブステップと、
真空蒸着法を用いて、形成待ちの前記結晶柱状シンチレータ層の原材料で、前記基板に、前記結晶柱状シンチレータ層を形成するサブステップとを含む、ことを特徴とする請求項1または2に記載のシンチレータスクリーンの製造方法。 - 前記基板は、高い可視光線反射率及びX線透過率を有する基板から選択される、ことを特徴とする請求項1または2に記載のシンチレータスクリーンの製造方法。
- 形成待ちの前記結晶柱状シンチレータ層の原材料は、X線を可視光線に変換するX線変換材料から選択される、ことを特徴とする請求項1または2に記載のシンチレータスクリーンの製造方法。
- 前記防潮層と前記保護層は、それぞれ化学気相成長法を用いて得られた透明な有機膜である、ことを特徴とする請求項1または2に記載のシンチレータスクリーンの製造方法。
- 前記X線吸收層は、真空マグネトロンスパッタリング法を用いて、高原子番号の材料から得られた酸化膜である、ことを特徴とする請求項1または2に記載のシンチレータスクリーンの製造方法。
- 前記第1の中間層及び前記第2の中間層は、それぞれ真空マグネトロンスパッタリング法を用いて得られた無機反射防止膜である、ことを特徴とする請求項2に記載のシンチレータスクリーンの製造方法。
- フレキシブル基板に基づくシンチレータスクリーンの製造方法であって、
高い可視光線反射率または高い可視光線吸収率を有する少なくとも1つの表面を備える、フレキシブル基板を提供するステップ(1)と、
前記フレキシブル基板の、高い可視光線反射率または高い可視光線吸収率を有する側面と対向する他の側面が、均一に充填された熱伝導性接着剤によって、剛性の熱伝導基板に固定されるステップ(2)と、
前記フレキシブル基板の、高い可視光線反射率または高い可視光線吸収率を有する側面に、シンチレータ層を製造するステップ(3)とを含む、ことを特徴とするシンチレータスクリーンの製造方法。 - 前記剛性の熱伝導基板と前記熱伝導性接着剤とを剥離除去するステップ(4)をさらに含む、ことを特徴とする請求項9に記載のシンチレータスクリーンの製造方法。
- 前記シンチレータ層を少なくとも完全にカバーするように、上述構造の外部に防水保護層を製造するステップ(5)をさらに含む、ことを特徴とする請求項9または10に記載のシンチレータスクリーンの製造方法。
- 前記剛性の熱伝導基板の熱伝導係数は10W/mKよりも大きく、前記熱伝導性接着剤の熱伝導係数は1W/mKよりも大きく、前記熱伝導性接着剤の熱膨張係数は、前記フレキシブル基板の熱膨張係数と前記剛性の熱伝導基板の熱膨張係数の間に介在する、ことを特徴とする請求項9に記載のシンチレータスクリーンの製造方法。
- 前記剛性の熱伝導基板は、アルミニウム合金、銅合金またはステンレスである、ことを特徴とする請求項9に記載のシンチレータスクリーンの製造方法。
- 前記熱伝導性接着剤は、接着剤または両面テープであり、前記接着剤の充填方法は、流延法、チョクラルスキー法、スクリーン印刷及びスプレーの何れか1つである、ことを特徴とする請求項9に記載のシンチレータスクリーンの製造方法。
- 前記フレキシブル基板の少なくとも1つの表面の可視光線反射率は、80%~100%または0~20%である、ことを特徴とする請求項9に記載のシンチレータスクリーンの製造方法。
- 前記フレキシブル基板は、透明なフレキシブル基板を選択使用しており、前記フレキシブル基板の1つの側面に、光反射層または光吸收層を製造する、ことを特徴とする請求項15に記載のシンチレータスクリーンの製造方法。
- 前記ステップ(4)で使用する剥離方法は、機械的剥離、光照射剥離、レーザー剥離の何れか1つである、ことを特徴とする請求項10に記載のシンチレータスクリーンの製造方法。
- 請求項1~17の何れか一項に記載のシンチレータスクリーンの製造方法を用いて製造された、シンチレータスクリーン。
- 請求項18に記載のシンチレータスクリーンを使用しており、前記シンチレータスクリーンの底部に、X線イメージセンサが設置されている、ことを特徴とするX線画像検出器。
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