JP2022187583A - 距離計測装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ケースからの反射光による誤計測を抑制することができる距離計測装置を提供すること。【解決手段】ケース内に収容された光学モジュールは、レーザー光源と、第１受光素子と、レーザー光源からの出射光をケースの曲面からなる第１部分に向けて反射させ、且つ第１部分からケースの外部に出射した光が測定対象で反射した第１反射光の入射を受ける走査ミラーと、レーザー光源と走査ミラーとの間に配置され、レーザー光源からの出射光を走査ミラーに向けて透過させ、且つ走査ミラーを経由して戻ってくる測定対象からの第１反射光を第１受光素子に向けて反射させる透過反射部材とを有する。走査ミラーから第１部分に入射する光の第１光軸と、走査ミラーからケースの第１部分に入射して第１部分で反射する第２反射光の第２光軸とが非平行である。【選択図】図１

Description

本発明は、距離計測装置に関する。

レーザー光を利用した距離計測においては、測定対象からの反射光を検出して測定対象までの距離を算出する。例えば水中における距離計測では、レーザー光源や受光素子などを含む光学モジュールをケースに入れる必要がある。

特開２０１８－１５５６１９号公報 特開２０１９－１０５５５０号公報 特開２０１５－４９１９２号公報

ケース内に光学モジュールを収容した場合、ケースからの反射光が受光素子に入力され、測定対象までの距離を誤計測してしまう懸念がある。

本発明は、ケースからの反射光による誤計測を抑制することができる距離計測装置を提供することを目的とする。

本発明の一実施形態に係る距離計測装置は、曲面からなる第１部分を有するケースと、前記ケース内に収容された光学モジュールと、を備える。前記光学モジュールは、レーザー光源と、第１受光素子と、前記レーザー光源からの出射光を前記ケースの前記第１部分に向けて反射させ、且つ前記第１部分から前記ケースの外部に出射した光が測定対象で反射した第１反射光の入射を受ける走査ミラーと、前記レーザー光源と前記走査ミラーとの間に配置され、前記レーザー光源からの前記出射光を前記走査ミラーに向けて透過させ、且つ前記走査ミラーを経由して戻ってくる前記測定対象からの前記第１反射光を前記第１受光素子に向けて反射させる透過反射部材と、を有する。前記走査ミラーから前記第１部分に入射する光の第１光軸と、前記走査ミラーから前記ケースの前記第１部分に入射して前記第１部分で反射する第２反射光の第２光軸と、が非平行である。

本発明の距離計測装置によれば、ケースからの反射光による誤計測を抑制することができる。

本発明の第１実施形態の距離計測装置の概略図である。 図１のII-II線における模式断面図である。 本発明の第２実施形態の距離計測装置におけるケースと走査ミラーの配置関係を示す概略図である。 本発明の第３実施形態の距離計測装置の概略図である。 図４のＶ-Ｖ線における模式断面図である。 本発明の第４実施形態の距離計測装置の概略図である。 本発明の第５実施形態の距離計測装置におけるケースと走査ミラーの配置関係を示す概略図である。

以下、図面を参照し、実施形態について説明する。各図面中、同じ構成には同じ符号を付している。

［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態の距離計測装置１の概略図である。
図２は、図１のII-II線における模式断面図である。

距離計測装置１は、ケース１００と、ケース１００内に収容された光学モジュール１０とを備える。距離計測装置１は、例えば水中で使うことができる。ケース１００は、光学モジュール１０を水から保護する。また、ケース１００は、水圧に対する耐圧性を有する。

ケース１００は第１部分１０５を有する。第１部分１０５は、光学モジュール１０からの光をケース１００の外部に透過させ、且つケース１００の外部に位置する測定対象２００で反射した光をケース１００内に入射させる部分である。ケース１００において少なくとも第１部分１０５は、光学モジュール１０からの光及び測定対象２００からの反射光に対する透過性を有し、例えば樹脂またはガラスからなる。樹脂として、例えば、アクリル、ポリカーボネートなどが挙げられる。

図１において、ケース１００は、その中心軸Ｃ１に平行な切断面を示す。中心軸Ｃ１は、第１端面１０１の中心と第２端面１０２の中心とを結ぶ。なお、第１端面１０１及び第２端面１０２の一方または両方は、球面または円錐面であってもよい。また、図２は、中心軸Ｃ１に垂直なケース１００の切断面を示す。

ケース１００の形状は、第１端面１０１と、第２端面１０２と、側面１０３とを有する円筒形である。ケース１００を円筒形にすることで、水圧に対する高い耐圧性が得られる。第１端面１０１及び第２端面１０２は、例えば円形の平坦面である。側面１０３は、図２に示すように曲面からなる。側面１０３は、第１部分１０５を含む。すなわち、第１部分１０５は曲面からなる。

光学モジュール１０は、レーザー光源１１と、第１受光素子１６と、第２受光素子１７と、ビームスプリッタ１２と、透過反射部材１３と、走査ミラー１４と、走査ミラー１４を回転させるモーター１５と、集光レンズ１８とを有する。

レーザー光源１１は、例えば、誘導放出を起こす媒質に半導体を用いた半導体レーザー（またはレーザーダイオード）である。また、レーザー光源１１として、媒質に絶縁性固体材料を用いた固体レーザーを用いることもできる。距離計測装置１を水中で使う場合には、レーザー光源１１の発振波長は、水中での減衰率が低い３８０ｎｍ以上５５０ｎｍ以下が好ましい。３８０ｎｍ以上５５０ｎｍ以下の波長の光に対するケース１００の第１部分１０５の透過率は、９０％以上である。レーザー光源１１は、例えば、レーザー光のパルス列を出力する。または、レーザー光源１１はレーザー光の単発パルスを出力してもよい。レーザー光源１１からの出射光Ｌ１の光軸は、円筒形のケース１００の中心軸Ｃ１に対して傾いている。

ビームスプリッタ１２は、レーザー光源１１と透過反射部材１３との間に配置されている。ビームスプリッタ１２は、レーザー光源１１からの出射光Ｌ１を、透過反射部材１３に向かう透過光と、第２受光素子１７に向かう第３反射光Ｒ３とに分割する。

透過反射部材１３は、ビームスプリッタ１２と走査ミラー１４との間に配置されている。透過反射部材１３は、ビームスプリッタ１２を透過したレーザー光源１１からの出射光Ｌ１を走査ミラー１４に向けて透過させる孔部１３ａを有する。また、透過反射部材１３は、走査ミラー１４を経由して戻ってくる測定対象２００からの第１反射光Ｒ１を第１受光素子１６に向けて反射させるミラー部１３ｂを有する。第１反射光Ｒ１は、図１において破線で示される。後述する図４及び図６においても、第１反射光Ｒ１は破線で示される。

走査ミラー１４は、レーザー光源１１からの出射光Ｌ１の光軸に対して傾斜した反射面１４ａを有する。走査ミラー１４は、レーザー光源１１からの出射光Ｌ１をケース１００の第１部分１０５に向けて反射させる。さらに走査ミラー１４は、第１部分１０５を透過した出射光Ｌ３が測定対象２００で反射して、再度第１部分１０５を透過してケース１００内に戻る第１反射光Ｒ１の入射を受ける。図２に示すように、ケース１００の中心軸Ｃ１は、走査ミラー１４の反射面１４ａを通る。

走査ミラー１４は、モーター１５に接続された回転軸１４ｂを有する。モーター１５の駆動により、走査ミラー１４は、回転軸１４ｂのまわりに回転可能である。走査ミラー１４の回転軸１４ｂは、ケース１００の中心軸Ｃ１に対して傾いている。

第１受光素子１６は、測定対象２００で反射し、走査ミラー１４、ミラー部１３ｂを経由した第１反射光Ｒ１の入射を受けて電気信号に変換する。第１受光素子１６は、例えばフォトダイオードである。第１受光素子１６と透過反射部材１３との間に、集光レンズ１８が配置されている。

第２受光素子１７は、レーザー光源１１からの出射光Ｌ１のうちビームスプリッタ１２で反射して分割された第３反射光Ｒ３の入射を受けて電気信号に変換する。第２受光素子１７は、例えばフォトダイオードである。

走査ミラー１４からケース１００の第１部分１０５に入射する光Ｌ２の光軸を第１光軸Ａ１とする。第１光軸Ａ１は、図１において光Ｌ２を表す直線に一致する。走査ミラー１４から第１部分１０５に入射して第１部分１０５で反射する第２反射光Ｒ２の光軸を第２光軸Ａ２とする。第２光軸Ａ２は、図１において第２反射光Ｒ２を表す直線に一致する。

図１は、レーザー光源１１からの出射光Ｌ１に平行なケース１００の断面視を示す。その断面視において、ケース１００における走査ミラー１４からの光Ｌ２が入射する第１部分１０５は、第１光軸Ａ１に対して傾斜している。図１の断面視において、走査ミラー１４からの光Ｌ２は第１部分１０５に垂直に入射しない。このような構造とすることにより、第１光軸Ａ１と第２光軸Ａ２とが非平行となる。すなわち、第２光軸Ａ２は第１光軸Ａ１に対して傾斜している。

次に、本実施形態の距離計測装置１を用いた測定対象２００までの距離の計測方法について説明する。距離計測装置１は、例えば水中に設置、または水中を移動する装置に搭載され、ケース１００の外部に位置する測定対象２００までの距離を計測することができる。

レーザー光源１１の出射光Ｌ１の一部はビームスプリッタ１２を透過する。レーザー光源１１の出射光Ｌ１の他の一部はビームスプリッタ１２で反射して、第２受光素子１７に入射する。第２受光素子１７は、測定対象２００を経由しない第３反射光Ｒ３を受光する。

ビームスプリッタ１２を透過したレーザー光源１１の出射光Ｌ１は、透過反射部材１３の孔部１３ａを透過して、走査ミラー１４の反射面１４ａに入射する。反射面１４ａに入射した光は反射面１４ａで反射する。反射面１４ａで反射した光Ｌ２は、ケース１００の側面１０３における第１部分１０５に入射する。走査ミラー１４の回転により、反射面１４ａで反射した光Ｌ２は、回転軸１４ｂを中心とした所定角度の範囲を１回または繰り返し走査される。回転軸１４ｂを中心とした走査範囲は、３６０度であってもよいし、３６０度未満であってもよい。第１部分１０５は光Ｌ２の走査範囲に沿って連続している。なお、走査ミラーとしては、互いに異なる軸回りに回転可能な２以上のミラーを用いて照射光を走査してもよい。

第１部分１０５に入射した光Ｌ２は、第１部分１０５からケース１００の外部に透過する。ケース１００の外部に透過した光学モジュール１０からの光Ｌ３が測定対象２００に照射されると、測定対象２００で反射する。光Ｌ３は測定対象２００で例えば拡散反射する。

測定対象２００で反射した第１反射光Ｒ１は、第１部分１０５を透過してケース１００内に入射し、走査ミラー１４の反射面１４ａで透過反射部材１３に向けて反射する。透過反射部材１３のミラー部１３ｂで反射した測定対象２００からの第１反射光Ｒ１は、集光レンズ１８によって集光され、第１受光素子１６に入射する。

一方で、第２受光素子１７は測定対象２００を経由しない第３反射光Ｒ３を受光する。この第３反射光Ｒ３は、測定対象２００からの第１反射光Ｒ１を利用して測定対象２００までの距離を算出するための基準光となる。第２受光素子１７が第３反射光Ｒ３（基準光）を受光した時刻（基準時刻）と、第１受光素子１６が第１反射光Ｒ１を受光した時刻との時間差から、測定対象２００までの距離が算出される。

なお、ビームスプリッタ１２及び第２受光素子１７を配置せずに、レーザー光源１１からのレーザー光パルスの出射タイミング（出射時刻）と、第１受光素子１６が第１反射光Ｒ１を受光した時刻との時間差から、測定対象２００までの距離を算出してもよい。

基準時刻と、第１受光素子１６が第１反射光Ｒ１を受光する時刻との正確な時間差を得るには、基準時刻として、レーザー光源１１自体の出射時刻を利用するよりも、第２受光素子１７で受光する時刻を用いた方が好ましい。

本実施形態の距離計測装置１の効果について説明する。
走査ミラー１４から第１部分１０５に入射した光Ｌ２の透過率を１００％にするのは現実的ではなく、第１部分１０５でケース１００内に反射する第２反射光Ｒ２が生じる。光Ｌ２の第１部分１０５での反射は、ケース１００内の媒質（例えば空気）と第１部分１０５との第１界面での反射と、第１部分１０５とケース１００の外部の媒質（例えば水）との第２界面での反射とを含む。

本実施形態では、走査ミラー１４の回転によりケース１００外への照射光を走査しつつ、測定対象２００からの第１反射光Ｒ１を走査ミラー１４で受けるように構成している。すなわち、走査ミラー１４から第１部分１０５への光Ｌ２と同じ経路（同軸上の経路）で測定対象２００からの第１反射光Ｒ１が走査ミラー１４に戻る。

このような構成上、図１に示すケース１００の中心軸Ｃ１に平行な断面視において光Ｌ２の光軸Ａ１が第１部分１０５に対して垂直な場合では、第１部分１０５でケース１００内に反射する第２反射光Ｒ２が、測定対象２００からの第１反射光Ｒ１と同じ経路で走査ミラー１４及び透過反射部材１３を経由して第１受光素子１６に入射しやすくなる。測定対象２００で反射していない第２反射光Ｒ２が第１受光素子１６に入射すると、測定対象２００までの距離の誤測定につながる。

本実施形態によれば、図１に示すケース１００の中心軸Ｃ１に平行な断面視において、走査ミラー１４からの光Ｌ２の光軸Ａ１が第１部分１０５に対して傾斜するように、光学モジュール１０とケース１００とを配置している。これにより、第１部分１０５で反射した第２反射光Ｒ２の第２光軸Ａ２が、走査ミラー１４から第１部分１０５に入射する光Ｌ２の第１光軸Ａ１に対して非平行となり、第１部分１０５での第２反射光Ｒ２が、測定対象２００からの第１反射光Ｒ１と同じ経路で走査ミラー１４に戻りにくくなる。

例えば、第２反射光Ｒ２の第２光軸Ａ２が、走査ミラー１４と透過反射部材１３との間の空間に向かうように第１光軸Ａ１に対して傾斜し、第２反射光Ｒ２は走査ミラー１４の反射面１４ａに戻らない。これにより、第１部分１０５で反射した第２反射光Ｒ２が、距離測定の精度を低下させる迷光として第１受光素子１６に入射するのを抑制することができる。

なお、ケース１００内で第２反射光Ｒ２が多重反射すると第１受光素子１６に入射する上記迷光が発生し得る。そのため、少なくとも、第１部分１０５で反射した第２反射光Ｒ２が最初にケース１００に入射する第２部分１０８に低反射部材を配置、または第２部分１０８自体を低反射部材とすることが好ましい。これにより、第２反射光Ｒ２のケース１００内における多重反射を抑制して、第１受光素子１６に入射する迷光を抑制することができる。低反射部材として、例えば、光吸収率の高い黒色の部材が挙げられる。

［第２実施形態］
図３は、本発明の第２実施形態の距離計測装置２におけるケース１００と走査ミラー１４の配置関係を示す概略図である。図３は、図２と同様、ケース１００の中心軸Ｃ１に垂直な切断面を示す。

第２実施形態においても、第１実施形態と同様、ケース１００は第１部分１０５を側面１０３に含む円筒形である。また、第２実施形態においても、走査ミラー１４の回転により、ケース１００外への照射光Ｌ３を走査しつつ、測定対象２００からの第１反射光Ｒ１を走査ミラー１４で受けるように構成される。第１部分１０５は、照射光の走査範囲に沿って連続している。

ただし、第２実施形態では、走査ミラー１４は、ケース１００の中心軸Ｃ１と側面１０３との間に位置する。図３に示すケース１００の中心軸Ｃ１に垂直な断面視において、走査ミラー１４はケース１００の中心軸Ｃ１から側面１０３側にずれて位置する。

このような走査ミラー１４とケース１００の配置関係によれば、図３に示すケース１００の中心軸Ｃ１に垂直な断面視において、走査ミラー１４からの光Ｌ２が第１部分１０５に対して傾斜して入射する。したがって、第１部分１０５で反射した第２反射光Ｒ２の第２光軸Ａ２が、走査ミラー１４から第１部分１０５に入射する光Ｌ２の第１光軸Ａ１に対して非平行となり、第１部分１０５での第２反射光Ｒ２が、測定対象２００からの第１反射光Ｒ１と同じ経路で走査ミラー１４に戻りにくい。これにより、第１部分１０５で反射した第２反射光Ｒ２が、距離測定の精度を低下させる迷光として第１受光素子１６に入射するのを抑制することができる。

第１実施形態によれば、図１に示すように、ケース１００の中心軸Ｃ１に平行な面内において、第１光軸Ａ１と第２光軸Ａ２とが非平行となる。
第２実施形態によれば、図３に示すように、ケース１００の中心軸Ｃ１に垂直な面内において、第１光軸Ａ１と第２光軸Ａ２とが非平行となる。

第１実施形態と第２実施形態とを組み合わせることがより好ましい。すなわち、図３に示すように走査ミラー１４をケース１００の中心軸Ｃ１と側面１０３との間に位置させる。且つ、走査ミラー１４とケース１００の中心軸Ｃ１とを結ぶ直線上の位置における中心軸Ｃ１に平行な断面視（図３において１点鎖線の位置での断面視）において、走査ミラー１４からの光Ｌ２の光軸Ａ１が側面１０３の第１部分１０５に対して傾斜するようにする。すなわち、ケース１００の中心軸Ｃ１に垂直な面内において第１光軸Ａ１と第２光軸Ａ２とが非平行となるようにし、且つ、ケース１００の中心軸Ｃ１に平行な面内においても第１光軸Ａ１と第２光軸Ａ２とが非平行となるようにする。これにより、第１実施形態のみの場合または第２実施形態のみの場合においてある特定方向で生じ得る望ましくない反射光（迷光）の発生を防ぐことができる。

［第３実施形態］
図４は、本発明の第３実施形態の距離計測装置３の概略図である。
図５は、図４のＶ-Ｖ線における模式断面図である。

第３実施形態においても、ケース１００は第１部分１０６を側面１０３に含む円筒形である。そして、図４は、ケース１００の中心軸Ｃ１に平行なケース１００の切断面を示す。

第１部分１０６は、ケース１００内に位置する環状部１０４を含む。環状部１０４は、光学モジュール１０からの光及び測定対象２００からの反射光に対する透過性を有し、例えば樹脂またはガラスからなる。図５に示すように、環状部１０４は、ケース１００の側面１０３の内周面に沿って連続している。環状部１０４は、走査ミラー１４からの光Ｌ２の第１光軸Ａ１に対して傾斜した傾斜面１０４ａを含む。傾斜面１０４ａが、走査ミラー１４の回転による照射光の走査範囲に沿って連続している。

走査ミラー１４からの光Ｌ２は傾斜面１０４ａに入射する。この光Ｌ２の第１光軸Ａ１に対して、傾斜面１０４ａで反射する第２反射光Ｒ２の第２光軸Ａ２が非平行となる。したがって、傾斜面１０４ａでの第２反射光Ｒ２が、測定対象２００からの第１反射光Ｒ１と同じ経路で走査ミラー１４に戻りにくくなる。

例えば、第２反射光Ｒ２の第２光軸Ａ２がケース１００の第２端面１０２に向かうように第１光軸Ａ１に対して傾斜し、第２反射光Ｒ２は走査ミラー１４の反射面１４ａに戻らない。これにより、測定対象２００を経由しない第２反射光Ｒ２が迷光として第１受光素子１６に入射するのを抑制することができる。

［第４実施形態］
図６は、本発明の第４実施形態の距離計測装置４の概略図である。

第４実施形態において、ケース１００の形状は、第１端面１０１と、第２端面１０２と、側面１０３とを有する円錐台形である。側面１０３は第１部分１０５を含む。ケース１００を円錐台形にすることで、円筒形と同様、水圧に対する高い耐圧性が得られる。図６は、第１端面１０１の中心と第２端面１０２の中心とを結ぶ中心軸Ｃ１に平行なケース１００の切断面を示す。

第４実施形態では、ケース１００を円錐台形にすることで、図６に示すケース１００の中心軸Ｃ１に平行な断面視において、走査ミラー１４からの光Ｌ２の光軸Ａ１が第１部分１０５に対して傾斜するようにしている。これにより、第１部分１０５で反射した第２反射光Ｒ２の第２光軸Ａ２が、走査ミラー１４から第１部分１０５に入射する光Ｌ２の第１光軸Ａ１に対して非平行となり、第１部分１０５での第２反射光Ｒ２が、測定対象２００からの第１反射光Ｒ１と同じ経路で走査ミラー１４に戻りにくくなる。

［第５実施形態］
図７は、本発明の第５実施形態の距離計測装置５におけるケース１１０と走査ミラー１４の配置関係を示す概略図である。

第５実施形態において、ケース１１０の形状は、球形である。図７は、レーザー光源１１からの出射光Ｌ１の光軸に垂直、且つ球形のケース１１０の中心Ｃ２を通る切断面を示す。ケース１１０を球形にすることで、水圧に対する高い耐圧性が得られる。ケース１１０は、前述した実施形態のケース１００と同じ材料から構成することができる。ケース１１０の球面１１３は第１部分１０７を含む。ケース１１０の球面１１３において少なくとも第１部分１０７は、光学モジュール１０からの光及び測定対象２００からの反射光に対する透過性を有し、例えば樹脂またはガラスからなる。

走査ミラー１４は、ケース１１０の中心Ｃ２と球面１１３との間に位置する。走査ミラー１４はケース１１０の中心Ｃ２から球面１１３側にずれて位置する。第５実施形態においても、走査ミラー１４の回転により、ケース１１０外への照射光Ｌ３を走査しつつ、測定対象２００からの第１反射光Ｒ１を走査ミラー１４で受けるように構成される。第１部分１０７は、照射光の走査範囲に沿って連続している。

走査ミラー１４を球形のケース１１０の中心Ｃ２から球面１１３側にずれて位置させることで、走査ミラー１４からの光Ｌ２が第１部分１０７に対して傾斜して入射する。したがって、第１部分１０７で反射した第２反射光Ｒ２の第２光軸Ａ２が、走査ミラー１４から第１部分１０７に入射する光Ｌ２の第１光軸Ａ１に対して非平行となり、第１部分１０７での第２反射光Ｒ２が、測定対象２００からの第１反射光Ｒ１と同じ経路で走査ミラー１４に戻りにくい。これにより、第１部分１０７で反射した第２反射光Ｒ２が迷光として第１受光素子１６に入射するのを抑制することができる。

以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。本発明の上述した実施形態を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての形態も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものである。

１～５…距離計測装置、１０…光学モジュール、１１…レーザー光源、１２…ビームスプリッタ、１３…透過反射部材、１４…走査ミラー、１６…第１受光素子、１７…第２受光素子、１００,１１０…ケース、１０５～１０７…第１部分、２００…測定対象、Ａ１…第１光軸、Ａ２…第２光軸、Ｒ１…第１反射光、Ｒ２…第２反射光、Ｒ３…第３反射光

Claims (6)

1. 曲面からなる第１部分を有するケースと、
   前記ケース内に収容された光学モジュールと、
   を備え、
   前記光学モジュールは、
   レーザー光源と、
   第１受光素子と、
   前記レーザー光源からの出射光を前記ケースの前記第１部分に向けて反射させ、且つ前記第１部分から前記ケースの外部に出射した光が測定対象で反射した第１反射光の入射を受ける走査ミラーと、
   前記レーザー光源と前記走査ミラーとの間に配置され、前記レーザー光源からの前記出射光を前記走査ミラーに向けて透過させ、且つ前記走査ミラーを経由して戻ってくる前記測定対象からの前記第１反射光を前記第１受光素子に向けて反射させる透過反射部材と、
   を有し、
   前記走査ミラーから前記第１部分に入射する光の第１光軸と、前記走査ミラーから前記ケースの前記第１部分に入射して前記第１部分で反射する第２反射光の第２光軸と、が非平行である距離計測装置。
2. 前記レーザー光源からの前記出射光に平行な前記ケースの断面視において、前記ケースにおける前記走査ミラーからの光が入射する前記第１部分は、前記第１光軸に対して傾斜している請求項１に記載の距離計測装置。
3. 前記ケースは、前記第１部分を側面に含む円筒形であり、
   前記走査ミラーは、前記ケースの中心軸と前記側面との間に位置する請求項１または２に記載の距離計測装置。
4. 前記ケースは、前記第１部分を含む球形であり、
   前記走査ミラーは、前記ケースの中心と前記第１部分との間に位置する請求項１に記載の距離計測装置。
5. 前記光学モジュールは、
   第２受光素子と、
   前記レーザー光源と前記透過反射部材との間に配置され、前記レーザー光源からの前記出射光を、前記透過反射部材に向かう透過光と、前記第２受光素子に向かう第３反射光とに分割するビームスプリッタと、
   をさらに有する請求項１～４のいずれか１つに記載の距離計測装置。
6. 前記レーザー光源の発振波長は、３８０ｎｍ以上５５０ｎｍ以下である請求項１～５のいずれか１つに記載の距離計測装置。

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