JP2022176185A - Rotation of array of dispensing pumps to enable simultaneous dispensing with multiple dispensing pumps on multiple electronic substrates - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To facilitate parallel dispensing operations of multiple dispensing pumps in a dispensing system for dispensing a viscous material onto an electronic substrate.
SOLUTION: A dispensing system for dispensing a viscous material onto an electronic substrate comprises: first and second dispensing pump arrays which supply viscous materials to each of first and second electronic substrates; a gantry which moves the first and second dispensing pump arrays in X-axis and Y-axis directions and rotates them at mutually different angles; a vision system which images a fiducial mark of each of the first and second electronic substrates; and a controller which controls the first and second pump arrays, gantry and vision system. The controller analyzes a photographed image, obtains the positions of the first and second electronic substrates in the X-axis direction, the Y-axis direction and a θ direction, calculates the rotation angles of the first and second electronic substrates, and rotates the first and second dispensing pump arrays so as to match the angle of each of the first and second electronic substrates.
SELECTED DRAWING: Figure 4
COPYRIGHT: (C)2023,JPO&INPIT

Description

本開示は、包括的には、基板、例えばプリント回路基板上に粘性材料を供給する装置および方法に関し、より詳細には、高められた効率性および精度で1つ以上の基板上に材料を同時に供給する方法および装置に関する。 This disclosure relates generally to apparatus and methods for dispensing viscous materials onto substrates, e.g., printed circuit boards, and more particularly to dispensing materials simultaneously onto one or more substrates with increased efficiency and precision. It relates to a method and apparatus for feeding.

種々の用途のために精密な量の液体またはペーストを供給するのに用いられるいくつかのタイプの供給システムがある。1つのそのような用途は、回路基板の基板上への集積回路チップその他の電子コンポーネントの組み付けである。この用途では、プリント回路基板上に液体エポキシ若しくははんだペーストその他の何らかの関連材料のドットを供給するのに自動化供給システムが用いられる。自動化供給システムは、アンダーフィル材料や封入材料のラインを供給するのにも用いられ、このラインは、コンポーネントをプリント回路基板に機械的に固定するのに用いることができる。上記で説明された例示的な供給システムには、マサチューセッツ州ホプキントンに事業所を有するIllinois Tool Works Electronic Assembly Equipment(ITWEAE)社によって製造、市販されている供給システムが含まれる。 There are several types of delivery systems used to deliver precise amounts of liquids or pastes for various applications. One such application is the assembly of integrated circuit chips and other electronic components onto substrates of circuit boards. In this application, an automated dispensing system is used to dispense dots of liquid epoxy or solder paste or some other related material onto a printed circuit board. Automated feed systems are also used to feed lines of underfill and encapsulant material, which can be used to mechanically secure components to printed circuit boards. Exemplary feed systems described above include feed systems manufactured and marketed by Illinois Tool Works Electronic Assembly Equipment (ITWEAE), Inc. having offices in Hopkinton, Massachusetts.

典型的な供給システムでは、コンピューターシステムまたはコントローラーによって制御されるサーボモーターを用いて3つの相互に直交した軸(X軸、Y軸、Z軸)に沿って供給ポンプを移動させるために、当該供給ポンプが移動アセンブリであるガントリーに取り付けられる。液体のドットをプリント回路基板その他の基板上の所望の位置に供給するために、供給ポンプは、供給ポンプが所望の位置の上方に配置されるまで共平面の水平なX軸およびY軸方向に沿って移動される。その後、供給ポンプは、供給ポンプおよび供給システムのノズル/ニードルが基板の上方で適切な供給高さになるまで垂直に方向付けされた鉛直Z軸方向に沿って下降される。供給ポンプは、液体のドットを供給し、その後Z軸に沿って上昇され、新たな位置にX軸およびY軸に沿って移動され、Z軸に沿って下降されて、次の液体ドットを供給する。上記で説明されたようなアンダーフィルの封入または供給等の用途の場合、供給ポンプは、典型的には、供給ポンプが材料のラインの所望の経路に沿ってX軸およびY軸において移動されるにつれてこのラインを供給するように制御される。噴射ポンプ等のいくつかのタイプの供給ポンプの場合、供給動作の前後のZ軸移動は、必要とされないことがある。 In a typical feed system, servo motors controlled by a computer system or controller are used to move the feed pump along three mutually orthogonal axes (X, Y, Z). A pump is attached to the gantry, which is a moving assembly. To deliver a dot of liquid to a desired location on a printed circuit board or other substrate, the feed pumps are moved in coplanar horizontal X and Y directions until the feed pump is positioned over the desired location. moved along. The feed pump is then lowered along the vertically oriented vertical Z-axis until the feed pump and nozzle/needle of the feed system are at the proper feed height above the substrate. The feed pump dispenses a dot of liquid, is then raised along the Z axis, moved to a new position along the X and Y axes, and lowered along the Z axis to dispense the next dot of liquid. do. For applications such as underfill encapsulation or delivery as described above, the feed pump is typically moved in the X and Y axes along the desired path of the line of material. is controlled to supply this line as For some types of feed pumps, such as injection pumps, Z-axis movement before and after the feed operation may not be required.

このような供給システムの製造速度は、いくつかの事例では、特定の供給ポンプが材料のドットまたはラインを正確かつ制御可能に供給することができる速度によって制限される場合がある。他の事例では、このようなシステムの製造速度は、機械に対する部品の装着、取外しを行うことができる速度によって制限される場合がある。更に他の事例では、このようなシステムの製造速度は、基板を特定の温度まで加熱するのに要する時間、或いは、アンダーフィル用途の場合、供給される材料が流れるのに要する時間等のプロセス要件によって制限される場合がある。 The production speed of such feed systems may, in some instances, be limited by the speed at which a particular feed pump can accurately and controllably dispense a dot or line of material. In other cases, the production speed of such systems may be limited by the speed at which parts can be loaded and unloaded from the machine. In yet other cases, the production speed of such systems is driven by process requirements such as the time required to heat the substrate to a particular temperature or, in the case of underfill applications, the time required for the supplied material to flow. may be limited by

時としてプリント回路基板アセンブリと称される電子回路アセンブリの製造中、製造要件は、多くの場合、単一の供給システムのスループット能力を超える。単一の供給システムのスループット限界を克服するために、種々のストラテジーが適用されて、多くの場合、複数の動作が並列に実行されることを可能にすることによって、製造プロセスが改善される。例えば、米国特許第7,833,572号、同第7,923,056号、同8,230,805号および同第9,374,905号は、各々、複数の供給ユニットを有する供給システムを用いて材料を同時に供給するシステムおよび方法に関するものである。これらの米国特許は、あらゆる目的で本願と一体をなすものとして引用する。これらの特許において開示されているシステムおよび方法は、調整可能ブラケットを用いること、或いは、1つの供給ポンプの、供給動作前若しくは供給動作中の別の供給ポンプに対する相対的なX-Y位置を制御することによって、隣接する供給ユニット間の間隔を調整することを教示している。このようなシステムは、多目的であり、種々の供給用途に良好に適合させることができる。しかしながら、このようなシステムの機械的な複雑性および電気的な複雑性は、3つ以上の供給ポンプに適用される場合、非実用的なものになるか或いはコストがかかる場合がある。 During the manufacture of electronic circuit assemblies, sometimes referred to as printed circuit board assemblies, manufacturing requirements often exceed the throughput capabilities of a single feed system. To overcome the throughput limitations of a single feed system, various strategies have been applied to improve the manufacturing process, often by allowing multiple operations to be performed in parallel. For example, US Pat. Nos. 7,833,572, 7,923,056, 8,230,805 and 9,374,905 each relate to systems and methods for simultaneously feeding materials using feed systems having multiple feed units. These US patents are hereby incorporated by reference for all purposes. The systems and methods disclosed in these patents use adjustable brackets or control the XY position of one feed pump relative to another before or during a feed operation. It teaches adjusting the spacing between adjacent supply units by . Such systems are versatile and can be well adapted to a variety of delivery applications. However, the mechanical and electrical complexity of such systems may become impractical or costly when applied to more than two supply pumps.

大型民生用機器等の市場向け電子アセンブリの製造において、電子回路基板は、多くの場合、特定の回路の複数のインスタンスが1つの回路基板上に存在する状態で作製される。例えば、単一のプリント回路パネルが、均一の間隔で変位された4つの同一回路パターンを有する場合がある。複数の回路の繰り返しパターンは、一度での2つ以上の回路上への同時供給に適している。パターン同士の間の距離に応じて、隣接する回路上に供給する、例えば、まず回路♯1、♯2、その後♯3、♯4上に供給するのに2つの供給ポンプを十分近接させて配置するのは非実用的である場合がある。しかしながら、まず回路♯1、♯3、その後♯2、♯4上に供給することによって同じ利点を実現することができる。しかしながら、X-Y平面における基板の任意の回転が、結果として、供給される2つのパターンの相対的なX-Yの位置における変化をもたらすことになることが観測される。従って、2つ(以上の)供給ポンプ間の相対的間隔は、2つ以上のパターンを同時にかつ正確に供給すべき場合、基板の間隔を適合させるために調整されなければならない。代替的に、供給ポンプのアレイに適合させるのに基板を回転させることができる。 In the manufacture of commercial electronic assemblies such as large consumer electronics, electronic circuit boards are often fabricated with multiple instances of a particular circuit present on a single circuit board. For example, a single printed circuit panel may have four identical circuit patterns evenly spaced apart. A repeating pattern of multiple circuits is suitable for simultaneous application on more than one circuit at a time. Depending on the distance between the patterns, place the two feed pumps close enough together to feed on adjacent circuits, e.g. first on circuits #1, #2, then #3, #4. It may be impractical to do so. However, the same advantage can be realized by supplying circuits #1, #3 first and then #2, #4. However, it is observed that any rotation of the substrate in the XY plane will result in a change in the relative XY position of the two patterns provided. Therefore, the relative spacing between two (or more) feed pumps must be adjusted to match the spacing of the substrates if two or more patterns are to be delivered simultaneously and accurately. Alternatively, the substrate can be rotated to match the array of supply pumps.

本開示の目標は、拡張可能かつ実用的な方法で複数の供給ポンプの並列供給動作を容易にすることである。 A goal of the present disclosure is to facilitate parallel feed operation of multiple feed pumps in a scalable and practical manner.

本開示の1つの態様は、電子基板を供給位置に移送することであって、電子基板は少なくとも2つの同一パターンと、少なくとも2つの基準マークを有することと、電子基板上に設けられた少なくとも2つの基準マークの少なくとも1つの画像を撮像することと、少なくとも1つの画像を解析して、電子基板の位置を、X軸方向、Y軸方向およびθ方向に求めることと、電子基板の回転角度を演算することと、供給ポンプアレイを回転させて、電子基板の角度に適合させることとを含む、材料を供給する方法に関する。 One aspect of the present disclosure is transferring an electronic substrate to a supply position, the electronic substrate having at least two identical patterns and at least two fiducial marks; capturing at least one image of one fiducial mark; analyzing at least one image to determine the position of the electronic substrate in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the θ direction; and determining the rotation angle of the electronic substrate. and rotating a feed pump array to match the angle of an electronic substrate.

本方法の実施形態は、供給ポンプアレイを用いて、少なくとも2つの同一パターン上に同時の供給動作を実行することを更に含むことができる。供給ポンプアレイは第1と第2の供給ポンプを備えることができ、第2の供給ポンプは、第1の供給ポンプから所定の距離だけ離隔している。本方法は、少なくとも2つの同一パターンの第1と第2のパターンの各々の第1の位置に第1と第2の供給ポンプから材料を供給することを更に含むことができる。本方法は、電子基板の第1のパターンの第2の位置の上方に第1の供給ポンプを、かつ、第2のパターンの第2の位置の上方に第2の供給ポンプを同時に移動させることと、第1と第2のパターンの各々の第2の位置に第1と第2の供給ポンプから材料を供給することとを更に含むことができる。第1の供給ポンプから材料を供給することは、少なくとも2つの同一パターンのうちの第1のパターンに向けて第1の供給ポンプを下降させることを含むことができ、第2の供給ポンプから材料を供給することは、少なくとも2つの同一パターンのうちの第2のパターンに向けて第2の供給ポンプを下降させることを含むことができる。供給ポンプアレイを回転させることは、X-Y調整機構を用いて第2の供給ポンプを調整することを含むことができる。供給ポンプアレイは、単一の回転自由度で電子基板に対して整列することができ、複数の電子基板と、複数の供給ポンプアレイを備える供給システムの場合、各供給ポンプアレイが、その対応する電子基板に対して整列することができる。複数の供給ポンプアレイが用いられる場合、各供給ポンプアレイが、他の供給ポンプアレイと異なる角度で回転することで、目標電子基板に適合することができる。各供給ポンプアレイを、供給動作中に複数の供給ポンプアレイ間の相対的間隔を調整するように動的に移動させることができる。 Embodiments of the method may further include performing simultaneous dispense operations on at least two identical patterns using the dispense pump array. The feed pump array may comprise first and second feed pumps, the second feed pump being separated from the first feed pump by a predetermined distance. The method can further include supplying material from the first and second supply pumps to the first location of each of the first and second patterns of the at least two identical patterns. The method includes simultaneously moving a first supply pump over a second location of a first pattern of the electronic substrate and a second supply pump over a second location of the second pattern. and supplying material from the first and second supply pumps to the second locations of each of the first and second patterns. Feeding the material from the first feed pump can include lowering the first feed pump toward a first of the at least two identical patterns, and feeding the material from the second feed pump. can include lowering a second supply pump toward a second of the at least two identical patterns. Rotating the feed pump array can include adjusting the second feed pump using the XY adjustment mechanism. The feed pump array can be aligned with respect to the electronic substrate in a single rotational degree of freedom, and for a delivery system comprising multiple electronic substrates and multiple feed pump arrays, each feed pump array has its corresponding It can be aligned with the electronic substrate. If multiple feed pump arrays are used, each feed pump array can be rotated at a different angle than the other feed pump arrays to match the target electronic substrate. Each feed pump array can be dynamically moved to adjust the relative spacing between multiple feed pump arrays during a feed operation.

本開示の別の態様は、電子基板上に粘性材料を供給する供給システムに関する。1つの実施形態では、供給システムは、フレームと、このフレームに結合された支持体とを備える。支持体は、電子基板を受け取るように構成される。電子基板は、少なくとも2つの同一パターンと、少なくとも2つの基準マークを有する。供給システムは、粘性材料を供給する供給ポンプアレイと、フレームに結合されたガントリーであって、このガントリーは、X軸およびY軸方向に供給ポンプアレイを移動させるとともに、供給ポンプアレイを回転させる、ガントリーと、電子基板上に設けられた少なくとも2つの基準マークの少なくとも1つの画像を撮像するように、フレームとガントリーの一方に結合された視覚システムとを更に備える。供給システムは、電子基板上の供給動作を実行するように供給ポンプアレイ、ガントリーおよび視覚システムを制御するコントローラーを更に備える。コントローラーは、少なくとも1つの画像を解析して、電子基板の位置を、X軸方向、Y軸方向およびθ方向に求め、電子基板の回転角度を演算し、供給ポンプアレイを回転させて、電子基板の角度に適合させるように更に構成される。 Another aspect of the disclosure relates to a dispensing system for dispensing viscous material onto an electronic substrate. In one embodiment, the delivery system comprises a frame and a support coupled to the frame. The support is configured to receive an electronic substrate. The electronic board has at least two identical patterns and at least two fiducial marks. The feed system is a feed pump array that feeds the viscous material and a gantry coupled to the frame that moves the feed pump array in the X and Y directions and rotates the feed pump array; It further comprises a gantry and a vision system coupled to one of the frame and the gantry to capture images of at least one of the at least two fiducial marks provided on the electronic board. The delivery system further comprises a controller that controls the delivery pump array, gantry and vision system to perform delivery operations on the electronic board. The controller analyzes at least one image to determine the position of the electronic board in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the θ direction, calculates the rotation angle of the electronic board, rotates the supply pump array, and rotates the electronic board. is further configured to accommodate the angle of

供給システムの実施形態は、供給ポンプアレイを用いて、少なくとも2つの同一パターン上に同時の供給動作を実行するようにコントローラーを構成することを更に含むことができる。供給ポンプアレイは第1と第2の供給ポンプを備えることができ、第2の供給ポンプは、第1の供給ポンプから所定の距離だけ離隔している。コントローラーは、少なくとも2つの同一パターンの第1と第2のパターンの各々の第1の位置に第1と第2の供給ポンプから材料を供給するように更に構成することができる。供給システムは、電子基板の第1のパターンの第2の位置の上方に第1の供給ポンプを、かつ、第2のパターンの第2の位置の上方に第2の供給ポンプを同時に移動させることと、第1と第2のパターンの各々の第2の位置に第1と第2の供給ポンプから材料を供給することとを更に含む。第1の供給ポンプから材料を供給することは、少なくとも2つの同一パターンのうちの第1のパターンに向けて第1の供給ポンプを下降させることを含むことができ、第2の供給ポンプから材料を供給することは、少なくとも2つの同一パターンのうちの第2のパターンに向けて第2の供給ポンプを下降させることを含むことができる。供給ポンプアレイを回転させることは、X-Y調整機構を用いて第2の供給ポンプを調整することを含むことができる。供給ポンプアレイは、単一の回転自由度で電子基板に対して整列させることができ、複数の電子基板と、複数の供給ポンプアレイを備える供給システムの場合、各供給ポンプアレイを、その対応する電子基板に対して整列させることができる。複数の供給ポンプアレイが用いられる場合、各供給ポンプアレイが、他の供給ポンプアレイと異なる角度で回転することで、目標電子基板に適合させることができる。各供給ポンプアレイを、供給動作中に複数の供給ポンプアレイ間の相対的間隔を調整するように動的に移動させることができる。 Embodiments of the dispense system can further include configuring the controller to perform simultaneous dispense operations on at least two identical patterns using the dispense pump array. The feed pump array may comprise first and second feed pumps, the second feed pump being separated from the first feed pump by a predetermined distance. The controller may be further configured to supply material from the first and second supply pumps to the first location of each of the first and second patterns of the at least two identical patterns. The feed system concurrently moves the first feed pump over the second position of the first pattern of the electronic substrate and the second feed pump over the second position of the second pattern. and supplying material from the first and second supply pumps to the second locations of each of the first and second patterns. Feeding the material from the first feed pump can include lowering the first feed pump toward a first of the at least two identical patterns, and feeding the material from the second feed pump. can include lowering a second supply pump toward a second of the at least two identical patterns. Rotating the feed pump array can include adjusting the second feed pump using the XY adjustment mechanism. The feed pump arrays may be aligned with respect to the electronic substrate in a single rotational degree of freedom, and for a delivery system comprising multiple electronic substrates and multiple feed pump arrays, each feed pump array may be aligned with its corresponding It can be aligned with the electronic board. When multiple feed pump arrays are used, each feed pump array can be rotated at a different angle than the other feed pump arrays to match the target electronic substrate. Each feed pump array can be dynamically moved to adjust the relative spacing between multiple feed pump arrays during a feed operation.

本開示の更に別の態様は、電子基板を供給位置に移送することであって、電子基板は、少なくとも2つの同一パターンと、少なくとも2つの基準マークを有することと、電子基板上に設けられた少なくとも2つの基準マークの少なくとも1つの画像を撮像することと、少なくとも1つの画像を解析して、電子基板の位置を、X軸方向、Y軸方向およびθ方向に求めることと、電子基板の回転角度を演算することと、電子基板を回転させて、供給ポンプアレイの角度に適合させることとを含む、材料を供給する方法に関する。 Yet another aspect of the present disclosure is transferring an electronic substrate to a supply position, the electronic substrate having at least two identical patterns and at least two fiducial marks; capturing at least one image of at least two fiducial marks; analyzing at least one image to determine the position of the electronic board in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the θ direction; and rotating the electronic board. A method of dispensing material, including calculating an angle and rotating an electronic board to match the angle of a supply pump array.

本方法の実施形態では、供給ポンプアレイを用いて、少なくとも2つの同一パターン上に同時の供給動作を実行することを更に含むことができる。供給ポンプアレイは第1と第2の供給ポンプを備えることができ、第2の供給ポンプは、第1の供給ポンプから所定の距離だけ離隔している。本方法は、少なくとも2つの同一パターンの第1と第2のパターンの各々の第1の位置に第1と第2の供給ポンプから材料を供給することを更に含むことができる。本方法は、電子基板の第1のパターンの第2の位置の上方に第1の供給ポンプを、かつ、第2のパターンの第2の位置の上方に第2の供給ポンプを同時に移動させることと、第1と第2のパターンの各々の第2の位置に第1と第2の供給ポンプから材料を供給することとを更に含むことができる。第1の供給ポンプから材料を供給することは、少なくとも2つの同一パターンのうちの第1のパターンに向けて第1の供給ポンプを下降させることを含むことができ、第2の供給ポンプから材料を供給することは、少なくとも2つの同一パターンのうちの第2のパターンに向けて第2の供給ポンプを下降させることを含むことができる。電子基板を回転させることは、電子基板を支持するベース部を回転させることを含むことができる。供給ポンプアレイは、単一の回転自由度で電子基板に対して整列され、複数の電子基板と、複数の供給ポンプアレイを備える供給システムの場合、各供給ポンプアレイが、その対応する電子基板に対して整列することができる。 Embodiments of the method may further include performing simultaneous dispense operations on at least two identical patterns using the dispense pump array. The feed pump array may comprise first and second feed pumps, the second feed pump being separated from the first feed pump by a predetermined distance. The method can further include supplying material from the first and second supply pumps to the first location of each of the first and second patterns of the at least two identical patterns. The method includes simultaneously moving a first supply pump over a second location of a first pattern of the electronic substrate and a second supply pump over a second location of the second pattern. and supplying material from the first and second supply pumps to the second locations of each of the first and second patterns. Feeding the material from the first feed pump can include lowering the first feed pump toward a first of the at least two identical patterns, and feeding the material from the second feed pump. can include lowering a second supply pump toward a second of the at least two identical patterns. Rotating the electronic board can include rotating a base that supports the electronic board. The feed pump array is aligned with respect to the electronic substrate in a single rotational degree of freedom, and for a delivery system comprising multiple electronic substrates and multiple feed pump arrays, each feed pump array is aligned with its corresponding electronic substrate. can be aligned.

以下、添付図面を参照して、少なくとも1つの実施形態の様々な態様を説明する。これらの図は、一律の縮尺で描くことを意図したものではない。図は、様々な態様および実施形態を図解し、更なる理解を提供するためのものであり、本願に組み込まれて本願の一部を構成するが、どの特定の実施形態も限定することを意図していない。図面は、特許請求の範囲に記載され特徴および以下に記載される実施の形態の原理および作用を本明細書の残りの部分とともに説明する。添付図面では、様々な図に示された各同一のまたは略同一の構成要素は、同じ参照符号により指示されている。明瞭にするために、あらゆる構成要素があらゆる図においてラベル付けされているとは限らない。 Various aspects of at least one embodiment are described below with reference to the accompanying drawings. These figures are not intended to be drawn to scale. The figures are intended to illustrate and provide a further understanding of various aspects and embodiments, and are incorporated into and constitute a part of this application, but are intended to limit any particular embodiment. not. The drawings, together with the rest of the specification, explain the principles and operation of the claimed features and the embodiments described below. In the accompanying drawings, each identical or nearly identical component that is illustrated in various figures is designated by the same reference numeral. Not every component is labeled in every figure for the sake of clarity.

供給システムの概略側面図である。1 is a schematic side view of a delivery system; FIG. 本開示の方法を実行するのに用いられる本開示の一実施形態の供給システムの概略図である。1 is a schematic diagram of a feed system of one embodiment of the present disclosure used to carry out the method of the present disclosure; FIG. 本開示の方法を実行するのに用いられる本開示の一実施形態の供給システムの概略図である。1 is a schematic diagram of a feed system of one embodiment of the present disclosure used to carry out the method of the present disclosure; FIG. 本開示の方法を実行するのに用いられる本開示の別の実施形態の供給システムの概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram of another embodiment of the delivery system of the present disclosure used to carry out the method of the present disclosure;

本開示の種々の実施形態は、粘性材料供給システム、供給システムを含むデバイスに関する。本明細書において開示される実施形態は、複数の電子基板上に同時に供給する複数の供給ポンプを有する供給システムによって電子基板上に材料を供給する技法に関する。 Various embodiments of the present disclosure relate to viscous material delivery systems, devices including delivery systems. Embodiments disclosed herein relate to techniques for supplying material onto electronic substrates by a feed system having multiple feed pumps that feed onto multiple electronic substrates simultaneously.

例示のためだけであり、普遍性を制限するものではないが、ここで、添付の図面を参照しながら本開示が詳細に記述される。本開示は、その応用形態に関して、以下の説明に記載され、或いは、図面に示される構成の細部および構成要素の配置には限定されない。本開示において記載される原理は、他の実施形態でも使用可能であり、種々の方法において実践または実行することができる。また、本明細書において用いられる言い回しや用語は、説明することを目的としており、制限するものと見なされるべきではない。本明細書において単数のものとして参照されるシステムおよび方法の例、実施形態、構成要素、要素または作用に対する任意の参照は、複数のものを含む実施形態も包含することができ、本明細書における任意の実施形態、構成要素、要素または作用に対する複数のものとしての任意の参照は、単数のもののみを含む実施形態も包含することができる。単数形または複数形における参照は、本明細書において開示されるシステムまたは方法、それらの構成要素、動作または要素を限定することを意図されていない。本明細書において「~を含む」、「~を備える」、「~を有する」、「~を含有する」、「~を伴う」および、それらの変形の用語を使用することは、その前に記載される物品と、その相当品および追加の物品とを包含することを意味する。「または/若しくは」に対する参照は、「または/若しくは」を用いて記載される任意の用語が、この説明される用語の単一のもの、1つ以上、および、全てのもののうちの任意のものを含むことができるような包括的なものと解釈することができる。加えて、本明細書と、引用することにより本明細書の一部をなす書類との間で用語の使用法が一貫しない場合、本明細書の一部をなす文献における用語の使用法は、本明細書の使用法に対する補足であり、非一貫性が矛盾をきたすものである場合、本明細書における用語の使用法が有効である。 By way of example only and not by way of limitation of generality, the disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawings. This disclosure, with respect to its applications, is not limited to the details of construction and arrangement of components set forth in the following description or illustrated in the drawings. The principles described in this disclosure are available in other embodiments and can be practiced or carried out in various ways. Also, the phraseology and terminology used herein is for the purpose of description and should not be regarded as limiting. Any reference to examples, embodiments, components, elements or acts of systems and methods referred to herein as the singular can also encompass embodiments comprising the plural, and herein Any reference to any embodiment, component, element or act as in the plural can also encompass embodiments including only the singular. References in singular or plural are not intended to limit the systems or methods, their components, acts or elements disclosed herein. The use of the terms "including," "comprising," "having," "containing," "with," and variations thereof herein herein precludes It is meant to cover the described article, as well as equivalents and additional articles. References to "or/or" mean that any term stated with "or/or" refers to any of the singular, one or more, and all of the terms described. can be construed as inclusive such that it can include In addition, where the usage of terms is inconsistent between this specification and a document that is incorporated by reference, the usage of terms in a document that is incorporated herein shall be Supplementary to the usage herein, where the inconsistency is inconsistent, the usage of the terms herein is valid.

図1は、本開示の1つの実施形態による、全体として10で示される供給システムを概略的に示している。供給システム10は、プリント回路基板または半導体ウェハー等の電子基板12上に、粘性材料(例えば、接着剤、封入材料、エポキシ、はんだペースト、アンダーフィル材料等)または半粘性材料(例えば、はんだフラックス等)を供給するのに用いられる。供給システム10は、代替的に、自動車用ガスケット材料を塗布するため、或いは、或る特定の医療分野に適用するためや、導電性インクを塗布するため等、他の応用において用いることができる。本明細書において用いられる場合、粘性材料または半粘性材料に対する参照は例示であり、非限定的なものであることが意図されることを理解されたい。供給システム10は、供給ユニットのアレイ、例えば、それぞれ全体として14、16で示される第1の供給ユニットおよび第2の供給ユニットのアレイと、供給システムの動作を制御するコントローラー18とを備える。供給ユニットは、本明細書において、供給ポンプおよび/または供給ヘッドと称されることもあることを理解されたい。2つの供給ユニットを示すが、供給ユニットのアレイは、本開示全体を通して図示、説明される供給ユニットを3つ以上備えることができることを理解されたい。 FIG. 1 schematically illustrates a delivery system, generally indicated at 10, according to one embodiment of the present disclosure. The delivery system 10 applies a viscous material (e.g., adhesive, encapsulant, epoxy, solder paste, underfill material, etc.) or semi-viscous material (e.g., solder flux, etc.) onto an electronic substrate 12, such as a printed circuit board or semiconductor wafer. ). The delivery system 10 may alternatively be used in other applications, such as for applying automotive gasket materials, or for certain medical applications, or for applying conductive inks. As used herein, it should be understood that references to viscous or semi-viscous materials are intended to be exemplary and non-limiting. The feed system 10 comprises an array of feed units, eg, a first feed unit and a second feed unit, generally indicated at 14, 16, respectively, and a controller 18 for controlling the operation of the feed system. It should be understood that the feed unit may also be referred to herein as a feed pump and/or a feed head. Although two supply units are shown, it should be understood that an array of supply units can comprise more than two of the supply units shown and described throughout this disclosure.

また、供給システム10は、電子基板12を支持するベース部または支持体22を有するフレーム20と、供給ユニット14、16を支持し、移動させるためにフレーム20に移動可能に結合された供給ユニットガントリー24と、例えば、較正手順の一部として、粘性材料の供給された量を計量し、重量データをコントローラー18に与える重量測定デバイスまたは計量器26とを備えることができる。供給システムに対する電子基板の装着、取外しを制御するために、供給システム10において、コンベヤシステム(図示せず)または移動ビーム等の他の移送機構を使用してもよい。ガントリー24は、コントローラー18の制御下においてモーターを用いて移動し、供給ユニット14、16を電子基板の上方の所定の位置に位置決めすることができる。供給システム10は、作業者に種々の情報を表示するためにコントローラー18に接続されたディスプレイユニット28を備えることができる。供給ユニットを制御する任意選択の第2のコントローラーを設けてもよい。また、各供給ユニット14、16は、Z軸センサーを用いて、電子基板12または電子基板上に実装される部品の上方に供給ユニットが配置される高さを検出するようにできる。Z軸センサーは、コントローラー18に結合され、センサーによって取得された情報をコントローラーに中継する。 The feed system 10 also includes a frame 20 having a base or support 22 for supporting the electronic board 12 and a feed unit gantry movably coupled to the frame 20 for supporting and moving the feed units 14,16. 24 and a weighing device or scale 26 that weighs the dispensed amount of viscous material and provides weight data to the controller 18, for example as part of a calibration procedure. Other transport mechanisms, such as a conveyor system (not shown) or moving beams, may be used in feed system 10 to control loading and unloading of electronic substrates from the feed system. The gantry 24 can be moved using motors under the control of the controller 18 to position the supply units 14, 16 at predetermined positions above the electronic boards. The delivery system 10 may include a display unit 28 connected to the controller 18 for displaying various information to the operator. An optional second controller may be provided to control the supply unit. Also, each supply unit 14, 16 can use a Z-axis sensor to detect the height at which the supply unit is positioned above the electronic board 12 or components mounted on the electronic board. The Z-axis sensor is coupled to controller 18 and relays information obtained by the sensor to the controller.

上記のような、供給動作を実行する前に、基板、例えば、プリント回路基板は、供給システムの供給ユニットに対して整列させたり、或いは、別の方法で位置合わせしなければならない。供給システムは、視覚システム30を更に備え、1つの実施形態において、視覚システム30は、視覚システムガントリー32に結合され、視覚システムガントリー32は、視覚システムを支持するとともに移動させるために移動可能にフレーム20に結合される。別の実施形態では、視覚システム30は、供給ユニットガントリー24上に設けられていてもよい。上記のように、視覚システム30は、電子基板上の、基準として知られるランドマーク、つまり構成要素の位置を照合するために利用される。位置特定されると、コントローラーは、電子基板上に材料を供給するように供給ユニット14、16のうちの1つ以上の動きを操作するようにプログラミングすることができる。 Before performing a feeding operation, as described above, the substrate, eg the printed circuit board, must be aligned or otherwise aligned with respect to the feeding unit of the feeding system. The delivery system further comprises a vision system 30, which in one embodiment is coupled to a vision system gantry 32 which is movably framed for supporting and moving the vision system. 20. In another embodiment, vision system 30 may be provided on feed unit gantry 24 . As noted above, the vision system 30 is utilized to collate the locations of landmarks, or components, known as fiducials, on the electronic board. Once located, the controller can be programmed to operate movement of one or more of the feed units 14, 16 to dispense material onto the electronic substrate.

本開示のシステムおよび方法は、電子基板、例えば、プリント回路基板上に材料を供給することに関する。本明細書において提供されるシステムおよび方法の説明は、供給システム10の支持体22上に支持される例示的な電子基板12(例えば、プリント回路基板)を参照する。1つの実施形態では、供給動作は、コントローラー18によって制御され、コントローラー18は、材料供給ユニットを制御するコンピューターシステムを含んでいてもよい。別の実施形態では、コントローラー18は作業者が操作するようにしてもよい。コントローラー18は、電子基板12の1つ以上の画像を取得するように視覚システムを移動させるために視覚システムガントリー32の動きを操作するように構成される。コントローラー18は、供給動作を実行するために、供給ユニット14、16を移動させるように供給ユニットガントリー24の動きを操作するように更に構成される。 The systems and methods of the present disclosure relate to dispensing materials onto electronic substrates, such as printed circuit boards. The descriptions of the systems and methods provided herein refer to an exemplary electronic substrate 12 (eg, printed circuit board) supported on support 22 of delivery system 10 . In one embodiment, feeding operations are controlled by controller 18, which may include a computer system that controls the material feeding unit. In another embodiment, controller 18 may be operated by an operator. Controller 18 is configured to manipulate movement of vision system gantry 32 to move the vision system to acquire one or more images of electronic board 12 . Controller 18 is further configured to manipulate movement of supply unit gantry 24 to move supply units 14, 16 to perform supply operations.

本開示の実施形態は、1つ以上の電子基板上に同時に正確に供給する、或いは、単一の電子基板に関連付けられた2つ以上のパターン上に同時に正確に供給する、代替的かつ優位性のある手段を提供する。本明細書において開示される方法は、以下に限定されるものではないが、オーガー、ピストンおよび噴射ポンプを含む種々のタイプの供給ポンプの使用を更にサポートする。 Embodiments of the present disclosure provide alternatives and advantages to accurately distributing onto one or more electronic substrates at the same time, or onto two or more patterns associated with a single electronic substrate. provide a means of The methods disclosed herein further support the use of various types of feed pumps including, but not limited to, auger, piston and injection pumps.

1つの実施形態では、2つ以上の供給ポンプのアレイが共通ブラケットまたは支持アセンブリに取り付けられることで供給ポンプの組み付けられたアレイが形成され、これは、以後、供給ポンプアレイまたはポンプアレイと称される。供給ポンプアレイの個々の供給ポンプ同士の間の相対的間隔が手動または自動で調整されることで、供給が行われることになる基板パターン同士の間の相対的間隔が適合される。供給ポンプアレイは、X-Y平面において、位置決めシステムのX軸-Y軸に対して供給ポンプアレイを回転させることが可能な機構に取り付けられる。供給ポンプアレイは、ガントリー駆動システムによって、1つ以上の電子基板に対してZ軸によって鉛直に位置決めすることもしないこともでき、その後、X軸位置およびY軸位置において位置決めされる。 In one embodiment, two or more arrays of feed pumps are attached to a common bracket or support assembly to form an assembled array of feed pumps, hereinafter referred to as a feed pump array or pump array. be. The relative spacing between individual feed pumps of the feed pump array is adjusted manually or automatically to match the relative spacing between substrate patterns to be fed. The feed pump array is attached to a mechanism capable of rotating the feed pump array relative to the X-Y axis of the positioning system in the XY plane. The feed pump array may or may not be vertically positioned by the Z-axis relative to one or more electronic boards by a gantry drive system and then positioned in the X-axis and Y-axis positions.

本開示の実施形態に従って構築され或いは配置されるシステムは、共通のガントリー駆動システム上で2つ以上のθ駆動ポンプアレイを用いるように構成することができる。2つのポンプアレイが1つの供給システム上で用いられる場合、2つのポンプアレイ間の相対的間隔を調整するようにX-Y調整機構を用いることができる。3つ以上のポンプアレイが1つのシステム上で利用される場合、ポンプアレイ同士の間の相対的間隔を調整するように複数のX-Y調整機構を用いることができる。 Systems constructed or arranged according to embodiments of the present disclosure can be configured to use two or more theta-driven pump arrays on a common gantry drive system. If two pump arrays are used on one delivery system, an XY adjustment mechanism can be used to adjust the relative spacing between the two pump arrays. If more than two pump arrays are utilized on one system, multiple XY adjustment mechanisms can be used to adjust the relative spacing between the pump arrays.

供給システムの製造動作の前に、或る特定のセットアップステップを実行するべきである。例えば、図2を参照すると、全体として40で示される供給ポンプアレイが、42、44で示される2つの供給ポンプを有するように示される。また、全体として46で示される電子基板が、4つの同一パターン48A(「パターン1」)、48B(「パターン2」)、48C(「パターン3」)、48D(「パターン4」)を備え、各パターンが既知のポイントAおよび既知のポイントBを有する。電子基板46は、第1の基準マークF1、第2の基準マークF2および第3の基準マークF3を更に備える。電子基板46上で同時供給を実行する一方法は、4つのパターン48A、48B、48C、48Dの各々の間の空間間隔つまりピッチを求めることを含む。このピッチは、サンプル電子基板から測定することもできるし、このデータは、設計データから既知のものとすることもできる。 Certain set-up steps should be performed prior to manufacturing operation of the delivery system. For example, referring to FIG. 2, a feed pump array generally designated 40 is shown having two feed pumps designated 42,44. and an electronic substrate, generally indicated at 46, comprising four identical patterns 48A (“pattern 1”), 48B (“pattern 2”), 48C (“pattern 3”), 48D (“pattern 4”); Each pattern has a known A point and a known B point. The electronic board 46 further comprises a first fiducial mark F1, a second fiducial mark F2 and a third fiducial mark F3. One method of implementing co-feeding on the electronics board 46 involves determining the spatial spacing or pitch between each of the four patterns 48A, 48B, 48C, 48D. This pitch can be measured from a sample electronic substrate, or this data can be known from design data.

例えば、図示の実施形態では、ピッチは、電子基板46のパターン48A、48B、48C、48D上の既知のポイントA、Bから測定することができる。具体的には、ピッチは、基板46上の隣接したパターン間、例えば、パターン48Aとパターン48Bとの間の既知のポイントA-A間または既知のポイントB-B間で測定することができる。設計データは、理想的な或いは完璧な電子基板からの自身の特定のばらつきを有する場合がある特定の電子基板からの測定値よりも正確であり得るので、ピッチを求めるこれらの2つの方法のうちの後者が多くの場合に好ましい。パターンピッチが既知となると、これに応じて、供給ポンプアレイ40の供給ポンプ42と供給ポンプ44との間の間隔Sが、所定の距離を確立するように調整される。この例では、供給ポンプ間隔Sは、パターンピッチの2倍に調整されている。 For example, in the illustrated embodiment, pitch can be measured from known points A, B on patterns 48 A, 48 B, 48 C, 48 D of electronic substrate 46 . Specifically, pitch can be measured between adjacent patterns on substrate 46, eg, between known points AA or between known points BB between patterns 48A and 48B. Of these two methods of determining pitch, design data may be more accurate than measurements from specific electronic boards that may have their own specific variations from an ideal or perfect electronic board. is often preferred. Once the pattern pitch is known, the spacing S between the feed pumps 42 and 44 of the feed pump array 40 is adjusted accordingly to establish the predetermined distance. In this example, the supply pump interval S is adjusted to twice the pattern pitch.

この配置構成は、特にパターンピッチが供給ポンプの幅に近いか或いはこの幅未満の場合、1パターンピッチ間隔に供給ポンプ間隔Sを設定するよりも達成するのが実用的であり得る。ポンプ対ポンプ間隔Sを調整するこのプロセスは、手動または自動のいずれでも達成することができ、視覚システム30等の機械視覚システムに対する各供給ポンプ42、44の実際の供給位置の較正を含むことができ、この較正は、時として、「カメラ対ノズルオフセットの教示」と称される。 This arrangement may be more practical to achieve than setting the feed pump spacing S to one pattern pitch interval, especially if the pattern pitch is close to or less than the feed pump width. This process of adjusting the pump-to-pump spacing S can be accomplished either manually or automatically, and can include calibrating the actual feed position of each feed pump 42, 44 to a machine vision system, such as the vision system 30. This calibration is sometimes referred to as "teaching camera-to-nozzle offsets".

追加のセットアップステップは、電子基板46の各パターン48A、48B、48C、48D上に供給すべき材料の量および位置を指定するプログラムまたはプロセスレシピを作成することを含む。このプロセスレシピを生成するための情報は、設計データから特定することもできるし、この情報は、特定の電子基板から「教示」することもできる。このプロセスレシピは、整列検知および較正(例えば、表面高さの「Z方向(Z-sense)」較正を実行すべき時およびこれを行うべき位置)、重量較正(例えば、供給ポンプの出力をモニタリングおよび較正すべき方法およびこれを行うべき時)、温度制御(例えば、供給を開始する前に電子基板が20秒間加熱ゾーン内に置かれるまで待機する)、供給動作のタイミング(例えば、或る堆積後、次の堆積を行う前に30秒間待機する)等の命令を更に含むことができる。 Additional setup steps include creating a program or process recipe that specifies the amount and location of material to be dispensed onto each pattern 48A, 48B, 48C, 48D of electronic substrate 46. FIG. The information for generating this process recipe can be specified from design data, or this information can be "taught" from a particular electronic board. This process recipe includes alignment sensing and calibration (e.g., when and where to perform surface height "Z-sense" calibration), weight calibration (e.g., monitoring feed pump output). and how to calibrate and when to do this), temperature control (e.g. waiting for the electronic substrate to be in the heating zone for 20 seconds before starting the dispense), timing of dispense operations (e.g. certain deposition After that, wait 30 seconds before performing the next deposition).

機械(供給システム)およびプログラムのセットアップステップが完了すると、機械の製造動作を以下のように開始することができる。供給システム内の所定の位置に電子基板が装着される。電子基板を装着するための典型的な機構は、限定されないが、1つ以上のコンベヤレーンを用いることができるコンベヤシステムを含む。 Once the machine (feed system) and program set-up steps are complete, the machine's manufacturing operations can begin as follows. An electronic board is mounted at a predetermined position within the delivery system. Typical mechanisms for loading electronic boards include, but are not limited to, conveyor systems that can employ one or more conveyor lanes.

ここで図3を参照すると、機械視覚システム、例えば図1に示される視覚システム30を用いて、電子基板46が位置特定される。これは、典型的には、基準マークF1、F2、F3等の整列特徴の画像を撮像し、次に、これらの画像を解析して、電子基板の位置(X-Yおよびθにおける)を求めることによって達成される。電子基板46の回転角度が演算されると、供給ポンプアレイ40がθにおいて回転されて、電子基板の角度が適合される。換言すれば、供給ポンプアレイ40の第1と第2の供給ポンプ42、44のアラインメントは、電子基板46のパターン48A、48B、48C、48Dのアラインメントに対して整列され、或いは平行である。米国特許第9,374,905号において開示されているシステム等の従来のシステムでは、第1の供給ポンプ42に対する第2の供給ポンプ44の調整は、X-Y調整機構を用いて達成される。この手法は、2つの供給ポンプを有するシステムの場合に良好に機能する。 Referring now to FIG. 3, electronic board 46 is located using a machine vision system, such as vision system 30 shown in FIG. This typically takes images of alignment features such as fiducial marks F1, F2, F3, etc., and then analyzes these images to determine the position (in XY and θ) of the electronic board. achieved by Once the rotation angle of the electronics board 46 is calculated, the feed pump array 40 is rotated in θ to match the angle of the electronics board. In other words, the alignment of the first and second feed pumps 42 , 44 of the feed pump array 40 are aligned or parallel to the alignment of the patterns 48 A, 48 B, 48 C, 48 D of the electronic substrate 46 . In conventional systems, such as the system disclosed in US Pat. No. 9,374,905, adjustment of the second feed pump 44 relative to the first feed pump 42 is accomplished using an XY adjustment mechanism. This approach works well for systems with two feed pumps.

具体的には、1つの実施形態では、供給ユニットガントリー24は、2つの側部レール間に延在するビームを備えるように構成することができる。このビームは、供給ポンプアレイ40のY軸移動を達成するように、側部レールに沿ったY軸方向に移動するように構成される。供給ポンプアレイ40のX軸移動は、ビーム上に取り付けられたキャリッジデバイスによって達成される。具体的には、キャリッジデバイスは、供給ポンプアレイ40を支持するとともに、ディスペンサー10のベース部22上に位置決めされた基板12の所望の位置の上方で供給ユニットを移動させるようにX軸方向にビームの幅に沿って移動するように構成される。或る特定の実施形態では、X-Y平面における供給ユニットガントリー24の移動(すなわち、ビームおよびキャリッジデバイスの移動)は、各々のモーターによって駆動されるボールねじ機構や、或いは、当該技術分野において良く知られているような他の直線運動駆動コンポーネントを利用することによって達成することができる。 Specifically, in one embodiment, the supply unit gantry 24 may be configured with a beam extending between two side rails. This beam is configured to move in the Y-axis direction along the side rails to achieve Y-axis movement of the feed pump array 40 . X-axis movement of the feed pump array 40 is accomplished by a carriage device mounted on the beam. Specifically, the carriage device supports the supply pump array 40 and beams in the X-axis to move the supply unit over the desired position of the substrate 12 positioned on the base portion 22 of the dispenser 10 . is configured to move along the width of the In certain embodiments, movement of the supply unit gantry 24 in the XY plane (i.e., movement of the beam and carriage device) is achieved by ball screw mechanisms driven by respective motors or other devices known in the art. It can be accomplished by utilizing other linear motion drive components as known.

供給ポンプ42および供給ポンプ44は、キャリッジデバイスに固定されたリニア軸受によってキャリッジデバイスに結合される。1つの実施形態では、供給ポンプ42は、リニア軸受に不動に固定され、供給ポンプ44は、自動調整機構によってリニア軸受に結合される。供給ポンプ44をリニア軸受に固定することもでき、かつ、供給ポンプ42を自動調整機構に結合することもできるし、供給ポンプ42、44の双方を自動調整機構に結合することもでき、これらは、本開示の範囲内に入ることを理解されたい。或る特定の実施形態では、供給ポンプ42および供給ポンプ44は、距離を置いて互いにオフセットさせることができ、自動調整機構が、X軸およびY軸方向に比較的小さい距離だけ第2の供給ユニットを移動させることによって、この距離を調整するように構成される。別の実施形態では、供給ポンプ42、44に関連付けられた取付アセンブリは、各々供給ポンプのZ軸移動を可能にするように構成される。 Feed pump 42 and feed pump 44 are coupled to the carriage device by linear bearings fixed to the carriage device. In one embodiment, feed pump 42 is fixedly fixed to the linear bearing and feed pump 44 is coupled to the linear bearing by a self-adjusting mechanism. The feed pump 44 can be fixed to the linear bearing and the feed pump 42 can be coupled to the auto-adjusting mechanism, or both feed pumps 42, 44 can be coupled to the auto-adjusting mechanism. , is to be understood to fall within the scope of this disclosure. In certain embodiments, feed pump 42 and feed pump 44 may be offset from each other by a distance such that the automatic adjustment mechanism moves the second feed unit by a relatively small distance in the X and Y directions. is configured to adjust this distance by moving the . In another embodiment, the mounting assemblies associated with feed pumps 42, 44 are each configured to allow Z-axis movement of the feed pumps.

構成済みになると、供給システムのコントローラー(例えば、供給システム10のコントローラー18)は、供給ポンプアレイ40の供給ポンプ42、44を用いて、電子基板46の少なくとも2つの同一パターンに対する同時の供給動作を実行するように構成される。具体的には、図3に示される配置構成を参照すると、供給ポンプアレイ40は、パターン48Aの第1の位置Aの上方に第1の供給ポンプ42を位置決めするとともに、パターン48Cの第1の位置Aの上方に第2の供給ポンプ44を位置決めするように移動される。供給動作中、供給ポンプアレイ40は、パターン48Aの第2の位置Bの上方に第1の供給ポンプ42を、かつ、パターン48Cの第2の位置Bの上方に第2の供給ポンプ44を同時に位置決めするように移動され、電子基板のパターン48A、48C上に供給ポンプアレイの第1と第2の供給ポンプから材料が供給される。いくつかの実施形態では、供給中、第1の供給ポンプ42がパターン48Aに向かって下降されるとともに、第2の供給ポンプ44がパターン48Cに向かって下降される。供給ポンプアレイ40の第1と第2の供給ポンプ42、44の下降は同時に行うことができる。 Once configured, the feed system controller (e.g., controller 18 of feed system 10) uses feed pumps 42, 44 of feed pump array 40 to perform simultaneous dispense operations on at least two identical patterns of electronic substrate 46. configured to run. Specifically, referring to the arrangement shown in FIG. 3, the feed pump array 40 positions the first feed pump 42 above the first position A of pattern 48A and the first position A of pattern 48C. Above position A is moved to position the second feed pump 44 . During the feed operation, the feed pump array 40 simultaneously positions the first feed pump 42 over the second position B of the pattern 48A and the second feed pump 44 over the second position B of the pattern 48C. Moved into position, material is dispensed from first and second feed pumps of the feed pump array onto patterns 48A, 48C of the electronic substrate. In some embodiments, during dispensing, first feed pump 42 is lowered toward pattern 48A and second feed pump 44 is lowered toward pattern 48C. The lowering of the first and second feed pumps 42, 44 of the feed pump array 40 can occur simultaneously.

同様に、電子基板46のパターン48Bおよびパターン48D上に供給するために、供給ポンプアレイ40は、パターン48Bの第1の位置Aの上方に第1の供給ポンプ42を位置決めするとともに、パターン48Dの第1の位置Aの上方に第2の供給ポンプ44を位置決めするように移動される。供給動作中、供給ポンプアレイ40は、パターン48Bの第2の位置Bの上方に第1の供給ポンプ42を、そして、パターン48Dの第2の位置Bの上方に第2の供給ポンプ44を同時に位置決めするように移動され、電子基板のパターン48B、48D上に供給ポンプアレイの第1と第2の供給ポンプから材料が供給される。 Similarly, to feed onto pattern 48B and pattern 48D of electronic substrate 46, feed pump array 40 positions first feed pump 42 above a first position A of pattern 48B and a first position A of pattern 48D. Moved to position the second feed pump 44 above the first position A; During the feed operation, the feed pump array 40 simultaneously positions the first feed pump 42 over the second position B of the pattern 48B and the second feed pump 44 over the second position B of the pattern 48D. Moved into position, material is dispensed from first and second feed pumps of the feed pump array onto patterns 48B, 48D of the electronic substrate.

本開示では、供給ポンプアレイ40の供給ポンプ42、44は、単一の回転自由度で電子基板46に対して整列される。図4を参照すると、複数の電子基板46および複数のポンプ44が利用される供給システムについて、ポンプアレイの各々を、対応する電子基板の各々に対して整列させるのに同じ整列プロセスが用いられる。複数のポンプアレイ40が用いられる場合、電子基板が電子基板支持システム内に位置決めされるときに異なる角度で方向付けされている可能性があるので、各々のポンプアレイも、目標電子基板46A、46Bに適合するように互いに異なる角度だけ回転させることができる。複数のポンプアレイ40がこのように異なる角度で電子基板に整列される場合、複数の電子基板46の各々の上にある対応する特徴間の相対的間隔は、電子基板内の特徴の位置に依存して変動するので、X-Y調整機構を用いて、種々の供給動作中に供給ポンプアレイ間の相対的間隔を動的に調整することができる。 In the present disclosure, feed pumps 42, 44 of feed pump array 40 are aligned with electronics board 46 in a single rotational degree of freedom. Referring to FIG. 4, for delivery systems in which multiple electronic boards 46 and multiple pumps 44 are utilized, the same alignment process is used to align each of the pump arrays with each corresponding electronic board. When multiple pump arrays 40 are used, each pump array also has a target electronic substrate 46A, 46B, as the electronic substrate may be oriented at different angles when positioned within the electronic substrate support system. can be rotated by different angles from each other to match the When multiple pump arrays 40 are aligned at such different angles to the electronic substrate, the relative spacing between corresponding features on each of the multiple electronic substrates 46 will depend on the location of the features within the electronic substrate. XY adjustment mechanism can be used to dynamically adjust the relative spacing between feed pump arrays during various feed operations.

図4に明確に示されるように、第1の電子基板46A上のAからBへの供給経路は、第2の電子基板46B上のAからBへの対応する供給経路に対して平行ではない。これらの2つの経路間の相違により、各供給ポンプアレイが電子基板46A、46B上の所望の経路と適切に整列された状態を保つことを確実にするには、2つの供給ポンプアレイ40A、40B間の距離が供給移動中に調整されなければならないことになる。 As clearly shown in FIG. 4, the feed paths from A to B on the first electronics board 46A are not parallel to the corresponding feed paths from A to B on the second electronics board 46B. . Due to the difference between these two paths, to ensure that each feed pump array remains properly aligned with the desired path on the electronics board 46A, 46B, the two feed pump arrays 40A, 40B The distance between will have to be adjusted during the feed movement.

図示される回転角度は明確性のために大幅に誇張されているものの、ミリラジアン(Mrad)のオーダーまたはそれ未満の非常に小さい回転角度でさえ、横方向のオフセットをもたらす可能性があり、このオフセットは、補正されないままにされると、供給プロセスに弊害をもたらす可能性があることに留意されたい。 Although the illustrated rotation angles are greatly exaggerated for clarity, even very small rotation angles, on the order of milliradians (Mrad) or less, can result in lateral offset, and this offset Note that , if left uncorrected, can be detrimental to the supply process.

本開示の1つの実施形態では、基板コンベヤが、2つ以上の電子基板を収容する基板キャリアを装着するように構成される。2つ以上の電子基板は、各々、自身の回転角度をなすことができ、これらの電子基板のために、別個の角度アラインメントが必要とされてもよい。 In one embodiment of the present disclosure, a substrate conveyor is configured to mount substrate carriers containing two or more electronic substrates. Two or more electronic boards may each be at their own angle of rotation, and separate angular alignment may be required for these electronic boards.

本開示の別の実施形態では、1つの基板コンベヤが、2つ以上の別個の供給位置に対して電子基板の装着、取外しを行う。例えば、第1の電子基板は、第1の供給位置に装着され、第2の電子基板は、第2の供給位置に装着される。その後、機械視覚システムを用いて、後続の供給のために2つの電子基板の各々を位置特定する。 In another embodiment of the present disclosure, one substrate conveyor loads and unloads electronic substrates to two or more separate feed positions. For example, a first electronic board is mounted in a first supply position and a second electronic board is mounted in a second supply position. A machine vision system is then used to locate each of the two electronic boards for subsequent delivery.

本開示の代替的な実施形態では、電子基板は、供給ポンプアレイ40と整列するように回転させることができる。この手法の顕著な利点は、移動可搬重量の一部としてX-Y運動システムによってθ調整機構を保持する必要がないということである。具体的には、供給ポンプアレイ40の供給ポンプ42、44の位置を調整するのではなく、電子基板12を位置決めするようにディスペンサー10のベース部22を操作することができる。供給ポンプ42、44は、互いに対して固定することができ、ディスペンサー10のベース部22は、供給ポンプアレイ40を用いた供給動作を実行する前に、所望の位置にベース部を回転させるとともに、別様に位置決めするのにX軸およびY軸方向に移動させるようにできる。基板支持体を調整する1つのこのような機構を、米国特許第7,861,650号において見出すことができ、この米国特許は、あらゆる目的で本願と一体をなすものとして引用する。 In an alternative embodiment of the present disclosure, the electronics board can be rotated into alignment with the supply pump array 40. FIG. A significant advantage of this approach is that the theta adjustment mechanism does not need to be carried by the XY motion system as part of the moving payload. Specifically, the base portion 22 of the dispenser 10 can be manipulated to position the electronic board 12 rather than adjusting the position of the feed pumps 42 , 44 of the feed pump array 40 . The feed pumps 42, 44 may be fixed relative to each other and the base 22 of the dispenser 10 may be rotated to a desired position prior to performing a dispensing operation with the feed pump array 40 and It can be moved in the X and Y directions for different positioning. One such mechanism for adjusting the substrate support can be found in US Pat. No. 7,861,650, which is hereby incorporated by reference for all purposes.

具体的には、1つの実施形態では、ベース部22はテーブルを含み、このテーブルは、供給位置において電子基板12を支持する支持体とともに機能する。テーブルは、視覚システム30によって、支持体上に配置された電子基板12を、供給ポンプアレイ40と整列させるように移動されるように構成される。1つの実施形態では、テーブルは、ディスペンサー10のフレーム20の上部に設けられた機械加工済みの表面の上部に載置されるように適合された4つのボール軸受を備える。ディスペンサー10は、電子基板12が整列するように移動されるようにテーブルを移動させる3つの移動機構を備える。移動機構は、構成が同一のものとすることができ、この構成において、第1と第3の移動機構が、Y軸方向にテーブルを移動させるように構成され、第2の移動機構が、Y軸方向にテーブルを移動させるように構成される。第1と第3の移動機構は、互いに離隔して置くことができ、第2の移動機構が、第1と第3の機構の方向に対して横断する方向にこれらの間に配置される。この配置構成は、X軸およびY軸方向にベース部22のテーブルの移動並びにテーブルの回転が、ベース部を所望の位置に回転させるように移動機構を操作することによってコントローラー18の制御下で達成されるようなものである。 Specifically, in one embodiment, the base portion 22 includes a table that works in conjunction with a support that supports the electronic substrate 12 in the feed position. The table is configured to be moved by the vision system 30 to align the electronic substrate 12 placed on the support with the supply pump array 40 . In one embodiment, the table comprises four ball bearings adapted to rest on top of a machined surface provided on top of frame 20 of dispenser 10 . Dispenser 10 includes three movement mechanisms that move the table so that electronic substrate 12 is moved into alignment. The moving mechanisms may be identical in configuration, in which the first and third moving mechanisms are configured to move the table in the Y-axis direction, and the second moving mechanism is configured to move the Y It is configured to move the table axially. The first and third movement mechanisms may be spaced apart from each other, with a second movement mechanism disposed therebetween in a direction transverse to the direction of the first and third mechanisms. This arrangement is achieved under the control of controller 18 by manipulating movement mechanisms to rotate the table of base 22 in the X and Y directions as well as rotate the table to the desired position. It is like being

本開示の別の代替的な実施形態では、2つ以上の電子基板を、供給ポンプアレイと整列するように独立して回転させることができる。 In another alternative embodiment of the present disclosure, two or more electronic boards can be independently rotated into alignment with the supply pump array.

別の実施形態は、2つ以上の電子基板間の間隔を調整するX-Y調整機構を更に含む。2つ以上の電子基板を、回転方向およびX-Y方向に互いに対して調整することによって、複数の別個の電子基板を、供給ポンプの単一のアレイに対して整列させるとともにこのアレイによってそれらの電子基板上に供給することができるという点で著しい利点を実現することができる。 Another embodiment further includes an XY adjustment mechanism for adjusting the spacing between two or more electronic boards. By aligning two or more electronic boards relative to each other rotationally and in the XY directions, a plurality of separate electronic boards are aligned with, and by means of, a single array of feed pumps. A significant advantage can be realized in that it can be provided on an electronic board.

以上、本開示の少なくとも1つの実施形態のいくつかの態様を説明してきたが、当業者には種々の改変、変更や改良が容易に思い想到されることは理解されたい。そのような改変や変更、改良は、本開示の一部であることを意図しており、本発明の趣旨および範囲内にあることを意図している。従って、これまでの説明および図面は一例にすぎない。 Having thus described several aspects of at least one embodiment of this disclosure, it is to be appreciated various alterations, modifications, and improvements will readily occur to those skilled in the art. Such alterations, modifications, and improvements are intended to be part of this disclosure, and are intended to be within the spirit and scope of the invention. Accordingly, the foregoing description and drawings are exemplary only.

10 ディスペンサー
12 電子基板
14 供給ユニット
16 供給ユニット
18 コントローラー
20 フレーム
22 支持体
24 ガントリー
26 計量器
28 ディスプレイユニット
30 視覚システム
32 視覚システムガントリー
40 供給ポンプアレイ
40A 供給ポンプアレイ
40B 供給ポンプアレイ
42 第1の供給ポンプ
44 第2の供給ポンプ
46 電子基板
46A 第1の電子基板
46B 第2の電子基板
10 dispenser 12 electronic board 14 supply unit 16 supply unit 18 controller 20 frame 22 support 24 gantry 26 scale 28 display unit 30 vision system 32 vision system gantry 40 supply pump array 40A supply pump array 40B supply pump array 42 first supply Pump 44 Second supply pump 46 Electronic board 46A First electronic board 46B Second electronic board

Claims (20)

材料供給方法において、
少なくとも2つの同一パターンと、少なくとも2つの基準マークを有した電子基板を供給位置に移送し、
前記電子基板上に設けられた前記少なくとも2つの基準マークの少なくとも1つの画像を撮像し、
前記少なくとも1つの画像を解析して、前記電子基板の位置を、X軸方向、Y軸方向およびθ方向に求め、
前記電子基板の回転角度を演算し、
供給ポンプアレイを回転させて、前記電子基板の角度に適合させることを含む材料供給方法。
In the material supply method,
transporting an electronic substrate having at least two identical patterns and at least two fiducial marks to a supply position;
capturing at least one image of the at least two fiducial marks provided on the electronic substrate;
analyzing the at least one image to determine the position of the electronic substrate in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the θ direction;
calculating the rotation angle of the electronic substrate;
A material feed method comprising rotating a feed pump array to match the angle of the electronic substrate.
前記供給ポンプアレイを用いて、前記少なくとも2つの同一パターン上に同時の供給動作を実行することを更に含む請求項1に記載の方法。 2. The method of claim 1, further comprising performing simultaneous dispense operations on said at least two identical patterns using said dispense pump array. 前記供給ポンプアレイは第1と第2の供給ポンプを備え、該第2の供給ポンプは、該第1の供給ポンプから所定の距離だけ離隔している請求項2に記載の方法。 3. The method of claim 2, wherein said feed pump array comprises first and second feed pumps, said second feed pump being spaced a predetermined distance from said first feed pump. 前記少なくとも2つの同一パターンの第1と第2のパターンの各々の第1の位置に前記第1と第2の供給ポンプから材料を供給することを更に含む請求項3に記載の方法。 4. The method of claim 3, further comprising supplying material from the first and second supply pumps to the first location of each of the first and second patterns of the at least two identical patterns. 前記電子基板の前記第1のパターンの第2の位置の上方に前記第1の供給ポンプを、そして、前記第2のパターンの第2の位置の上方に前記第2の供給ポンプを同時に移動させることと、前記第1と第2のパターンの各々の第2の位置に前記第1と第2の供給ポンプから材料を供給することとを更に含む請求項4に記載の方法。 Simultaneously move the first supply pump above the second location of the first pattern of the electronic substrate and the second supply pump above the second location of the second pattern of the electronic substrate. and supplying material from the first and second feed pumps to the second locations of each of the first and second patterns. 前記第1の供給ポンプから材料を供給することは、前記少なくとも2つの同一パターンのうちの第1のパターンに向けて前記第1の供給ポンプを下降させることを含み、前記第2の供給ポンプから材料を供給することは、前記少なくとも2つの同一パターンのうちの第2のパターンに向けて前記第2の供給ポンプを下降させることを含む請求項3に記載の方法。 supplying material from the first supply pump includes lowering the first supply pump toward a first of the at least two identical patterns; 4. The method of claim 3, wherein feeding material comprises lowering the second feed pump toward a second one of the at least two identical patterns. 前記供給ポンプアレイを回転させることは、X-Y調整機構を用いて前記第2の供給ポンプを調整することを含む請求項3に記載の方法。 4. The method of claim 3, wherein rotating the feed pump array includes adjusting the second feed pump using an XY adjustment mechanism. 前記供給ポンプアレイは、単一の回転自由度で前記電子基板に対して整列され、供給システムが、複数の電子基板と、複数の供給ポンプアレイとを備える場合、各供給ポンプアレイが、その対応する電子基板に対して整列される請求項1に記載の方法。 The feed pump array is aligned with the electronic substrate in a single rotational degree of freedom, and if the feed system comprises multiple electronic boards and multiple feed pump arrays, each feed pump array has its corresponding 2. The method of claim 1, wherein the substrate is aligned with an electronic substrate. 複数の供給ポンプアレイが用いられる場合、各供給ポンプアレイが、他の供給ポンプアレイと異なる角度で回転することで、目標電子基板に適合される請求項8に記載の方法。 9. The method of claim 8, wherein when multiple feed pump arrays are used, each feed pump array rotates at a different angle than the other feed pump arrays to match the target electronic substrate. 各供給ポンプアレイが、供給動作中に前記複数の供給ポンプアレイ間の相対的間隔を調整するように動的に移動される請求項9に記載の方法。 10. The method of claim 9, wherein each feed pump array is dynamically moved to adjust relative spacing between the plurality of feed pump arrays during feed operations. 粘性材料を電子基板上に供給するための供給システムにおいて、
フレームと、
前記フレームに結合され、少なくとも2つの同一パターンと、少なくとも2つの基準マークとを有した電子基板を受け取るように構成された支持体と、
粘性材料を供給する供給ポンプアレイと、
前記供給ポンプアレイをX軸およびY軸方向に移動させ、かつ、回転させる、前記フレームに結合されたガントリーと、
前記フレームと前記ガントリーの一方に結合され、前記電子基板上に設けられた前記少なくとも2つの基準マークの少なくとも1つの画像を撮像する視覚システムと、
前記電子基板への供給動作を実行するように前記供給ポンプアレイ、前記ガントリーおよび前記視覚システムを制御するコントローラーであって、該コントローラーは、前記少なくとも1つの画像を解析して、前記電子基板の位置を、X軸方向、Y軸方向およびθ方向に求め、前記電子基板の回転角度を演算し、供給ポンプアレイを回転させて、前記電子基板の角度に適合させるコントローラーとを具備する供給システム。
In a feed system for feeding a viscous material onto an electronic substrate,
a frame;
a support coupled to the frame and configured to receive an electronic substrate having at least two identical patterns and at least two fiducial marks;
a supply pump array for supplying viscous material;
a gantry coupled to the frame for moving and rotating the feed pump array in the X and Y directions;
a vision system coupled to one of the frame and the gantry for capturing at least one image of the at least two fiducial marks provided on the electronic board;
a controller for controlling the feed pump array, the gantry and the vision system to perform a feed operation to the electronic board, the controller analyzing the at least one image to determine the position of the electronic board; in the X-axis, Y-axis and θ-directions, calculates the rotation angle of the electronic board, and rotates the supply pump array to match the angle of the electronic board.
前記コントローラーは、前記供給ポンプアレイを用いて、前記少なくとも2つの同一パターン上に同時の供給動作を実行するように更に構成される請求項11に記載の供給システム。 12. The dispensing system of claim 11, wherein the controller is further configured to perform simultaneous dispensing operations on the at least two identical patterns using the dispensing pump array. 前記供給ポンプアレイは第1と第2の供給ポンプを備え、該第2の供給ポンプは、該第1の供給ポンプから所定の距離だけ離隔している請求項12に記載の供給システム。 13. The feed system of claim 12, wherein said feed pump array comprises first and second feed pumps, said second feed pump being spaced a predetermined distance from said first feed pump. 前記コントローラーは、前記少なくとも2つの同一パターンの第1と第2のパターンの各々の第1の位置に前記第1と第2の供給ポンプから材料を供給するように更に構成される請求項13に記載の供給システム。 14. The controller of claim 13, wherein the controller is further configured to supply material from the first and second supply pumps to the first location of each of the first and second patterns of the at least two identical patterns. The feeding system described. 材料の供給方法において、
少なくとも2つの同一パターンと、少なくとも2つの基準マークとを有した電子基板を供給位置に移送し、
前記電子基板上に設けられた前記少なくとも2つの基準マークの少なくとも1つの画像を撮像し、
前記少なくとも1つの画像を解析して、前記電子基板の位置を、X軸方向、Y軸方向およびθ方向に求め、
前記電子基板の回転角度を演算し、
前記電子基板を回転させて、供給ポンプアレイの角度に適合させることを含む材料の供給方法。
In the material supply method,
transporting an electronic substrate having at least two identical patterns and at least two fiducial marks to a supply position;
capturing at least one image of the at least two fiducial marks provided on the electronic substrate;
analyzing the at least one image to determine the position of the electronic substrate in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the θ direction;
calculating the rotation angle of the electronic substrate;
A method of feeding material comprising rotating the electronic board to match the angle of the feed pump array.
前記供給ポンプアレイを用いて、前記少なくとも2つの同一パターン上に同時の供給動作を実行することを更に含む請求項15に記載の方法。 16. The method of claim 15, further comprising performing simultaneous dispense operations on said at least two identical patterns using said dispense pump array. 前記供給ポンプアレイは第1と第2の供給ポンプを備え、該第2の供給ポンプは、該第1の供給ポンプから所定の距離だけ離隔している請求項16に記載の方法。 17. The method of claim 16, wherein said feed pump array comprises first and second feed pumps, said second feed pump being spaced a predetermined distance from said first feed pump. 前記少なくとも2つの同一パターンの第1と第2のパターンの各々の第1の位置に前記第1と第2の供給ポンプから材料を供給することを更に含む請求項17に記載の方法。 18. The method of claim 17, further comprising supplying material from the first and second supply pumps to the first location of each of the first and second patterns of the at least two identical patterns. 前記電子基板の前記第1のパターンの第2の位置の上方に前記第1の供給ポンプを、そして、前記第2のパターンの第2の位置の上方に前記第2の供給ポンプを同時に移動させることと、前記第1と第2のパターンの各々の第2の位置に前記第1と第2の供給ポンプから材料を供給することとを更に含む請求項18に記載の方法。 Simultaneously move the first supply pump above the second location of the first pattern of the electronic substrate and the second supply pump above the second location of the second pattern of the electronic substrate. and supplying material from the first and second feed pumps to the second locations of each of the first and second patterns. 前記供給ポンプアレイは単一の回転自由度で前記電子基板に対して整列され、供給システムが、複数の電子基板と、複数の供給ポンプアレイとを備える場合、各供給ポンプアレイが、その対応する電子基板に対して整列される請求項15に記載の方法。 The feed pump array is aligned with the electronic substrate in a single rotational degree of freedom, and if the feed system comprises multiple electronic substrates and multiple feed pump arrays, each feed pump array has its corresponding 16. The method of claim 15 aligned with an electronic substrate.
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