JP2007178964A - Alignment adjusting method and device for support frame of sealant dispenser - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、平面ディスプレイ装置を製造する際に特定のパターン又は形状でガラス基板上にシーラントをディスペンス(dispense)するシーラントディスペンサに関する。より詳細には、本発明は、正確なディスペンス動作(dispensing operation)を行うことができるシーラントディスペンサにおける支持フレームのアラインメント調整方法及び装置に関する。 The present invention relates to a sealant dispenser that dispenses a sealant onto a glass substrate in a specific pattern or shape when manufacturing a flat display device. More particularly, the present invention relates to a method and apparatus for adjusting the alignment of a support frame in a sealant dispenser that can perform precise dispensing operation.
多くの平面ディスプレイ装置の1つとして、液晶ディスプレイ(LCD)はブラウン管(CRT)と比べて優れた視覚品質を有する。さらに、LCDの平均電力消費はLCDと同じ画面寸法のCRTより少なく、LCDから発生する熱量はCRTより少ない。これらの理由により、LCDはプラズマディスプレイパネル(PDP)又は電界放出ディスプレイ(FED)と共に、携帯電話、コンピュータのモニタ、及びテレビ用の次世代ディスプレイ装置として注目を浴びている。 As one of many flat display devices, a liquid crystal display (LCD) has superior visual quality compared to a cathode ray tube (CRT). Furthermore, the average power consumption of the LCD is less than a CRT with the same screen dimensions as the LCD, and the amount of heat generated from the LCD is less than the CRT. For these reasons, LCDs, along with plasma display panels (PDP) or field emission displays (FED), are attracting attention as next-generation display devices for mobile phones, computer monitors, and televisions.
LCDは、複数の画素パターン又は薄膜トランジスタ(TFT)を第1のガラス基板に形成し、カラーフィルタ層を第2のガラス基板上に第1のガラス基板の反対側で形成することによって製造される。液晶がガラス基板のいずれか一方に塗布され、その後第1及び第2のガラス基板が結合される。
LCDの製造過程では、シーラントディスペンサは特定のパターンでガラス基板上にシーラントをディスペンスする。一般に、ディスペンス動作を行う際、シーラントディスペンサは、ガラス基板が固定される間に前後(即ち、前後方向)又は横から横(即ち、横方向)に、シーラントをディスペンスするのに使用されるディスペンサヘッドの位置を再配置する。
LCDs are manufactured by forming a plurality of pixel patterns or thin film transistors (TFTs) on a first glass substrate and forming a color filter layer on the second glass substrate on the opposite side of the first glass substrate. Liquid crystal is applied to one of the glass substrates, after which the first and second glass substrates are bonded.
During the manufacturing process of the LCD, the sealant dispenser dispenses the sealant onto the glass substrate in a specific pattern. Generally, when performing a dispensing operation, the sealant dispenser is a dispenser head that is used to dispense the sealant back and forth (ie, in the front-rear direction) or from side to side (ie, in the lateral direction) while the glass substrate is secured. Rearrange the position of.
図1は、シーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法が適用されるシーラントディスペンサを示す斜視図である。図2は、シーラントディスペンス過程に関する問題を説明するための従来のシーラントディスペンサの平面図である。これ以下、従来のシーラントディスペンサの構造及び従来のシーラントディスペンサの問題を、図1及び2を参照して説明する。 FIG. 1 is a perspective view showing a sealant dispenser to which an alignment adjusting method for a support frame of the sealant dispenser is applied. FIG. 2 is a plan view of a conventional sealant dispenser for explaining a problem relating to a sealant dispensing process. Hereinafter, the structure of the conventional sealant dispenser and the problems of the conventional sealant dispenser will be described with reference to FIGS.
図1及び2を参照すると、大きな寸法の液晶パネルを製造するためのシーラントディスペンサは、ディスペンサの本体を表すフレーム10と、フレーム10の上表面に設けられたテーブル20と、シーラント52がディスペンスされるガラス基板50を受けるようにテーブル20に取り付けられたステージ24と、フレーム10の前後方向又はS軸に平行な方向にステージ24を駆動する第1のリニアモータ22とを備えている。
Referring to FIGS. 1 and 2, a sealant dispenser for manufacturing a liquid crystal panel having a large size has a
シーラントディスペンサはさらに、テーブル20の両端部に設けられ、フレーム10の前後に沿って延びるリニアモータガイド35と、第1の支持フレーム31及び第2の支持フレーム32をリニアモータガイド35に沿って移動させることができるように、リニアモータガイド35の間に設けられると共に、フレーム10の長辺側に垂直に配置された第1の支持フレーム31及び第2の支持フレーム32と、フレーム10のリニアモータガイド35に沿って支持フレーム31、32を駆動する少なくとも1つの第2のリニアモータ33とを備えている。
The sealant dispenser is further provided at both ends of the table 20, and moves along the
最近、ガラス基板50の寸法は次第に大きくなってきている。このような増大に対応するため、少なくとも2つの支持フレーム、即ち第1の支持フレーム31及び第2の支持フレーム32が、ディスペンス過程時間を短くするように設けられている。ここで、第2のリニアモータ33が、第1の支持フレーム31及び第2の支持フレーム32の両端部にそれぞれ設けられている。
Recently, the dimensions of the
各第1の支持フレーム31及び第2の支持フレーム32の一方側には、複数のヘッドユニット41が設けられている。これらのヘッドユニット41は、特定のパターン又は形状でシーラント52をディスペンスするように、第1の方向(Q軸に平行な方向、支持フレーム31、32の長辺側に平行な方向、又はリニアモータガイド35に垂直な方向)に移動させることができる。シーラント52は、ステージ24に固定されたガラス基板50上でディスペンスされる。加えて、第1の方向にヘッドユニット41を駆動するように、第3のリニアモータ44が設けられている。
A plurality of
詳細には、各ヘッドユニット41はヘッドマウント42を備え、各ヘッドユニット41は、第3のリニアモータ44の駆動力がヘッドマウント42に伝達される場合に、第1の方向(Q軸に平行な方向)に移動する。さらに、シーラント52を入れるように、注射器(図示せず)がヘッドマウント42に取り付けられる。
加えて、テーブル20は、テーブル20がステージ24に固定されるガラス基板50を位置合わせ(aligning)するように第2の方向(即ち、S軸に平行な方向、リニアモータガイド35に平行な方向、又は支持フレーム31、32に垂直な方向)に所定の角度移動させることができるように構成されている。
Specifically, each
In addition, the table 20 has a second direction (that is, a direction parallel to the S axis and a direction parallel to the linear motor guide 35) so that the
次に、上述の構成に対するシーラントディスペンサの動作を詳細に説明する。
第1に、ガラス基板50はステージ24の上部に吸引機能によって固定され、ステージ24はテーブル20に固定される。矩形の形状をしており、予め上に形成された回路パターン53などのパターンを有するガラス基板50は、フレーム10と位置合わせされると共に、ステージ24の上部に固定される。
Next, the operation of the sealant dispenser for the above configuration will be described in detail.
First, the
次に、シーラントディスペンス動作が起こる。一般に、シーラントがガラス基板50上にディスペンスされる方法は2つある。
第1のディスペンス方法は以下の通りである。第1の支持フレーム31及び第2の支持フレーム32は第1の方向(フレーム10のリニアモータガイド35に平行な方向)に移動し、各支持フレーム31、32に取り付けられたヘッドユニット41は第2の方向(フレーム10のリニアモータガイド35に垂直な方向)に移動して、ガラス基板50上にシーラントをディスペンスする。
Next, a sealant dispensing operation occurs. In general, there are two ways in which the sealant is dispensed onto the
The first dispensing method is as follows. The
第2のディスペンス方法は以下の通りである。テーブル20は第1の方向に移動し、各支持フレーム31、32に取り付けられたヘッドユニットは第2の方向に移動して、ガラス基板50にシーラントをディスペンスする。即ち、シーラントはガラス基板50上にディスペンスされ、テーブル20及びヘッドユニット41は互いに対して移動する。第2の方法は主に、大きな寸法のガラス基板50に利用される。より詳細には、大きな寸法のガラス基板50がシーラントディスペンサ内に導かれると、2つの支持フレーム31、32は第2の方向(リニアモータガイド35に沿って前後)に移動して、ガラス基板50を導く又は取り除くのに必要な空間を確保する。その後、ガラス基板50はステージ24に固定される。
The second dispensing method is as follows. The table 20 moves in the first direction, and the head units attached to the
しかし、上記従来のシーラントディスペンス方法は以下の問題がある。
リニアモータガイド35の間に設けられた第1の支持フレーム31及び/又は第2の支持フレーム32は、製造誤差の結果、Q軸に平行でないかもしれないし、及び/又は互いに平行でないかもしれない。加えて、ステージに固定されている場合、ガラス基板は適切に位置合わせされない可能性もある。従って、第1の支持フレーム及び/又は第2の支持フレームは、Q軸に及び/又は互いに平行でないかもしれない。
支持フレームのずれがディスペンス動作の前に修正されない場合、ずれた支持フレームに沿って移動するヘッドユニットは、所定のディスプレイパターンに従ってシーラントを正確にディスペンスすることができない。従って、欠陥製品の数及び製造コストが、ずれた支持フレームの結果、増加する可能性がある。
However, the conventional sealant dispensing method has the following problems.
The
If the displacement of the support frame is not corrected before the dispensing operation, the head unit that moves along the displaced support frame cannot accurately dispense the sealant according to a predetermined display pattern. Thus, the number of defective products and manufacturing costs can increase as a result of the shifted support frame.
従って、本発明は従来技術の限界及び欠点による1つ又は複数の問題を実質的に防ぐ、シーラントディスペンサの支持フレームの位置を修正する方法を対象としている。
本発明の目的は、ガラス基板上にシーラントをディスペンスするシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメントを調整する方法を提供することである。
本発明の別の目的は、少なくとも2つの支持フレームを備えるシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメントを調整する方法を提供することである。
本発明の別の目的は、ディスペンス動作を行う装置を提供することである。
Accordingly, the present invention is directed to a method of correcting the position of a sealant dispenser support frame that substantially prevents one or more of the problems and limitations of the prior art.
It is an object of the present invention to provide a method for adjusting the alignment of a support frame of a sealant dispenser that dispenses sealant onto a glass substrate.
Another object of the present invention is to provide a method for adjusting the alignment of a support frame of a sealant dispenser comprising at least two support frames.
Another object of the present invention is to provide an apparatus for performing a dispensing operation.
本発明で追加された利点、目的、及び特徴は、以下の説明に部分的に記載されており、以下のことを検討すれば当業者には部分的には自明のことである、或いは本発明の実施から習得することができる。本発明の目的及び他の利点は、明細書及び特許請求の範囲と、添付の図面で特に指摘した構造によって実現及び達成することができる。
本明細書で具体化され、大まかに説明したような、これらの目的及び他の利点を達成するため及び本発明の目的に従って、シーラントディスペンサにおける少なくとも1つの支持フレームのアラインメントを調整する方法は、第1の方向にアラインメントセンサを移動させながら、ガラス基板に設けられた少なくとも2つの修正マークを識別するステップを含む。ここで、第1の方向とは、支持フレームの長辺側に平行な方向である。この方法はさらに、アラインメントセンサによって識別される少なくとも2つの修正マークを修正する想定直線が第1の方向に平行であるかどうか裁定するステップと、想定直線が第1の方向に平行となるように少なくとも1つの支持フレームのアラインメントを調整するステップとを含む。
本発明の別の実施形態では、シーラントディスペンサ内の少なくとも1つの支持フレームのアラインメントを調整する方法が導入される。この方法は、少なくとも2つの支持フレームの間の少なくとも2つの距離を測定するステップと、もしあれば測定した距離の差を算出するステップとを含む。さらに、この方法は測定した距離が異なる場合に、測定した距離を等しくする修正距離を利用することによって支持フレームのアラインメントを調整するステップを含む。ここで、修正距離は測定した距離の差である。
The advantages, objects, and features added in the present invention are set forth in part in the following description, and in part will be obvious to those skilled in the art upon consideration of the following, or Can be learned from the implementation of The objectives and other advantages of the invention may be realized and attained by the structure particularly pointed out in the written description and claims hereof as well as the appended drawings.
A method for adjusting the alignment of at least one support frame in a sealant dispenser to achieve these and other advantages and in accordance with the purposes of the present invention, as embodied and broadly described herein, includes: Identifying at least two correction marks provided on the glass substrate while moving the alignment sensor in one direction. Here, the first direction is a direction parallel to the long side of the support frame. The method further includes determining whether an assumed straight line that corrects at least two correction marks identified by the alignment sensor is parallel to the first direction, such that the assumed straight line is parallel to the first direction. Adjusting the alignment of at least one support frame.
In another embodiment of the invention, a method is introduced for adjusting the alignment of at least one support frame in a sealant dispenser. The method includes measuring at least two distances between at least two support frames and calculating a difference between the measured distances, if any. Further, the method includes adjusting the alignment of the support frame by utilizing a modified distance that equalizes the measured distances when the measured distances are different. Here, the correction distance is a difference in measured distance.
また、本発明の別の実施形態では、ディスペンス動作を行う装置が提供される。この装置は、装置の本体を表すフレームと、フレームの上側表面に設けられたテーブルと、上にシーラントがディスペンスされるガラス基板を受けるようにテーブルに取り付けられたステージと、テーブルの両側に配置されたリニアモータガイドと、少なくとも2つの支持フレームがリニアモータガイドに沿って移動することができるように、リニアモータガイドの間に設けられ、リニアモータガイドに垂直に配置された少なくとも2つの支持フレームと、修正マークを識別するように第1の方向に移動するアラインメントセンサと、アラインメントセンサを第1の方向に駆動する駆動ユニットと、を備えている。ここで、第1の方向とは、支持フレームの長辺側に平行な方向である。
本発明の別の実施形態では、ディスペンス動作を行う別の装置が導入される。この装置は、装置の本体を表すフレームと、フレームの上側表面に設けられたテーブルと、上にシーラントがディスペンスされるガラス基板を受けるようにテーブルに取り付けられたステージと、テーブルの両側に配置されたリニアモータガイドと、少なくとも2つの支持フレームがリニアモータガイドに沿って移動することができるように、リニアモータガイドの間に設けられ、リニアモータガイドに垂直に配置された少なくとも2つの支持フレームと、少なくとも2つの支持フレームの間の少なくとも2つの距離を測定する距離測定ユニットとを備えている。
上述の一般的な説明及び以下の本発明の詳細な説明は両方とも例示的及び説明的なものであり、請求するような本発明のさらなる説明を行うことを意図したものであることを理解されたい。
In another embodiment of the present invention, an apparatus for performing a dispensing operation is provided. This device is arranged on both sides of the table, a frame representing the body of the device, a table provided on the upper surface of the frame, a stage mounted on the table to receive a glass substrate onto which the sealant is dispensed. A linear motor guide and at least two support frames provided between the linear motor guides and arranged perpendicular to the linear motor guide so that the at least two support frames can move along the linear motor guide; , An alignment sensor that moves in the first direction so as to identify the correction mark, and a drive unit that drives the alignment sensor in the first direction. Here, the first direction is a direction parallel to the long side of the support frame.
In another embodiment of the present invention, another device for performing the dispensing operation is introduced. This device is arranged on both sides of the table, a frame representing the body of the device, a table provided on the upper surface of the frame, a stage mounted on the table to receive a glass substrate onto which the sealant is dispensed. A linear motor guide and at least two support frames provided between the linear motor guides and arranged perpendicular to the linear motor guide so that the at least two support frames can move along the linear motor guide; A distance measuring unit for measuring at least two distances between the at least two support frames.
It is understood that both the foregoing general description and the following detailed description of the invention are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation of the invention as claimed. I want.
本発明のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法及び装置によれば、正確なディスペンス動作を行うことができる。 According to the alignment adjustment method and apparatus for the support frame of the sealant dispenser of the present invention, an accurate dispensing operation can be performed.
次に、本発明の好ましい実施形態に詳細に言及し、その例を添付の図面で示す。可能な限り、同一又は同様の部品のことに言及するのに、図面全体を通して同じ参照番号を使用する。 Reference will now be made in detail to the preferred embodiments of the invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings. Wherever possible, the same reference numbers will be used throughout the drawings to refer to the same or like parts.
次に、本発明によるシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法を、添付の図面を参照して説明する。
図1に示すように、本発明によるシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法が適用されるシーラントディスペンサは、ディスペンサの本体を表すフレーム10と、フレーム10の上側表面に設けられたテーブル20と、上にシーラントがディスペンスされるガラス基板50を上側表面に配置することができるようにテーブル20上に取り付けられたステージ24と、第2の方向にステージ24を駆動する第1のリニアモータ22とをそれぞれ備えている。ここで、第2の方向とはS軸に平行な方向のことを言う。
Next, a method for adjusting the alignment of the support frame of the sealant dispenser according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
As shown in FIG. 1, the sealant dispenser to which the alignment adjustment method of the support frame of the sealant dispenser according to the present invention is applied includes a
シーラントディスペンサはさらに、第2の方向でテーブル20の両端部に設けられたリニアモータガイド35を備える。さらに、シーラントディスペンサは、第1の支持フレーム31及び第2の支持フレーム32がリニアモータガイド35に沿って移動できるように、リニアモータガイド35の間に設けられ、第1の方向に移動するように配置された第1の支持フレーム31及び第2の支持フレーム32と、リニアモータガイド32に沿って(即ち、第2の方向に)支持フレーム31、32を駆動する少なくとも1つの第2のリニアモータ33とを備えている。
シーラントディスペンサの第2のリニアモータは、第2の方向でそれぞれのリニアモータガイド35の上側表面に配置された第2の磁石33と、第2の磁石33に対応してそれぞれの支持フレームの両側の下端部に配置された第2のムーバ(mover)34とを備えている。
The sealant dispenser further includes linear motor guides 35 provided at both ends of the table 20 in the second direction. Further, the sealant dispenser is provided between the linear motor guides 35 so as to move in the first direction so that the
The second linear motor of the sealant dispenser includes a
ここで、ガラス基板50の寸法が大きいので、またディスペンス動作時間を短くするため、シーラントディスペンサは、2つの支持フレーム、即ち第1の支持フレーム31及び第2の支持フレーム32からなっている。しかし、支持フレームの数は限定されないが、必要に応じてより多くの支持フレームを有することができる。さらに、第2のリニアモータの第2のムーバ34は、支持フレーム31、32の両端部に駆動力を加えるように、それぞれの支持フレーム31、32の両端部に取り付けられている。
Here, since the size of the
複数のヘッドユニット41は、ヘッドユニット41が第1の方向(Q軸に平行な方向)に移動できるように、各支持フレーム31、32の一方側に設けられており、それによってヘッドユニット41は、ステージ24に固定されたガラス基板上に所定のパターン(又は形状)に従ってディスペンス動作を行うことができる。加えて、シーラントディスペンサはさらに、第1の方向にヘッドユニット41を駆動する第3のリニアモータを備えている。
The plurality of
特に、支持フレーム31、32に設けられた各ヘッドユニット41は、第3のリニアモータの駆動力がヘッドマウント42に加えられると第1の方向に移動するヘッドマウント42と、シーラントを保持するようにヘッドマウント42に結合された注射器(図示せず)と、注射器からシーラントをディスペンスするノズル(図示せず)とを備えている。
さらに、シーラントディスペンサの第3のリニアモータは、第1の方向で各支持フレーム31、32の一方側に設けられた第3の磁石44と、第3の磁石44に対応する各ヘッドマウント42内に設けられた第3のムーバ43とを備えている。
In particular, each
Further, the third linear motor of the sealant dispenser includes a
シーラントディスペンサはさらに、修正マーク55を識別するための第1の方向に移動するアラインメントセンサ45を備えている。修正マーク55は予め(例えば、ガラス基板が形成されるときに)ガラス基板50上に設ける(又は印刷する)ことができる、又はガラス基板50を製造した後にマーキングすることができる。アラインメントセンサ45は、第3の磁石44及び第3のムーバ43の動作により、第1の方向に移動するヘッドユニット41に結合されていることが好ましい。修正マーク55は、ガラス基板50に対して支持フレーム31、32のアラインメントを測定する基準として働くように、ガラス基板50上に形成された回路パターン53の縁部に設けられている。修正マーク55を修正するラインは、互いに平行又は垂直である。
The sealant dispenser further includes an
第3のムーバ43及び第3の磁石44の組合せにより、ヘッドユニット41が第1の方向に移動することが可能になるので、アラインメントセンサ45も、ガラス基板50上に設けられた修正マーク55を順次識別するようにヘッドユニット41と一緒に移動することができる。
Since the combination of the
次に、上述の構成の支持フレームのアラインメントを調整する方法を説明する。
図3は、本発明による好ましい実施形態によるシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント(又は位置)を調整する方法を示すフローチャートである。図4は、非平行である2つの支持フレームと、Q軸に沿って移動して修正マークを識別するように第2の支持フレームに取り付けられたアラインメントセンサとを示す参考図である。
Next, a method for adjusting the alignment of the support frame configured as described above will be described.
FIG. 3 is a flowchart illustrating a method for adjusting the alignment (or position) of a support frame of a sealant dispenser according to a preferred embodiment of the present invention. FIG. 4 is a reference diagram showing two non-parallel support frames and an alignment sensor attached to the second support frame to move along the Q axis to identify the correction mark.
第1に、ガラス基板50はステージ24上に装填され、その後その上に適切に固定される。ガラス基板50がステージ24上に固定された後、支持フレーム31、32はガラス基板50上の印刷された修正マーク55に向かって移動する(S1)。その後、第2の支持フレーム32は定位置に移動し、それによって支持フレームのアラインメントを調整することができる。
First, the
第2の支持フレーム32がアラインメント調整位置に配置された後、第3のリニアモータは、修正マーク識別動作を行うように第2の支持フレーム32に取り付けられたヘッドユニット41を駆動する。より詳細には、修正マーク識別動作は、第1の方向即ち支持フレーム32の長辺側に沿った方向に移動しながらガラス基板50上に示された修正マーク55を識別するように、ヘッドユニット41に結合されたアラインメントセンサ45を備えている(S2)。
After the
次に、各修正マーク55を連結する想定直線は、アラインメントセンサ45によって識別される。この想定直線は、想定直線及び経路が互いに平行であるかどうかを判断するため、アラインメントセンサ45が移動する経路と比較される(S3)。
これ以後、想定直線はX1−ライン150と呼ぶ。X1−ライン150はS軸に平行である。加えて、支持フレーム31、32に沿って移動するアラインメントセンサ45の移動経路は、X2−ライン160と呼ぶ。X2−ライン160はQ軸に平行である。
Next, an assumed straight line connecting the correction marks 55 is identified by the
Hereinafter, the assumed straight line is referred to as X 1 -
X2−ライン160及びX1−ライン150が図5に示すように互いに平行でない場合、2本のラインが平行になるように、X2−ライン160のX1−ライン150とのアラインメントを調整することによって、X2−ライン160及びX1−ライン150のアラインメントを修正するようにアラインメント調整が行われる(S4)。
If the X 2 -
アラインメント調整を行う際(S4)、制御ユニットはX1−ライン150に対するX2−160のオフセット量を算出する。ここで、オフセット量は角度で測定される。その後、制御ユニットはX2−ライン160に対するずれを修正するのに必要なオフセット量を算出し、それによってX2−ライン160がX1−ライン150と平行になるように調整することができる。位置合わせを行う際、制御ユニットは支持フレーム32上に配置された第2のムーバ34を調整するように修正するオフセットを使用し、それによってX2−ライン160をX1−ライン150と平行にすることができる。
When performing alignment adjustment (S4), the control unit X 1 - calculating the offset amount of the X 2 -160 for the
複数からなる第2のムーバ34は、支持フレーム32の少なくとも2つの側部に設けられていることが好ましい。ここで、支持フレーム32の一端部に設けられた第2のムーバ34は固定されたままであり、支持フレーム32の他端部に設けられた第2のムーバ34は、X2−ライン160をX1−ライン150に平行にするため、第2の方向に(リニアモータガイド35の移動経路に沿って)対応する第2のリニアモータガイド35に沿って移動することが好ましい。
The plurality of
ステップ(S3)で、X2−ライン160がX1−ライン150と平行であると判断された場合、ステップ(S4)に進むことなく、ステップ(S3)で支持フレームアラインメント調整動作を終了させる可能性がある。アラインメント過程が完了すると、第2の支持フレーム32はX1−ライン150と平行にされ、それによって第2の支持フレーム32は回路パターン53と位置合わせされる。
When it is determined in step (S3) that X 2 -
一方、上記アラインメント過程は、図1及び2に示すような単一の支持フレーム又は2つ以上の支持フレームを有するシーラントディスペンサに適用することができる。シーラントディスペンサが上記のように2つ以上の支持フレームを備えている場合、支持フレームを位置合わせする方法はさらに、アラインメント動作が行われた後に各支持フレームが適切に位置合わせされているかどうか判断する確認ステップ(S5)を含んでいることが好ましい。 Meanwhile, the alignment process can be applied to a sealant dispenser having a single support frame or two or more support frames as shown in FIGS. If the sealant dispenser comprises more than one support frame as described above, the method of aligning the support frames further determines whether each support frame is properly aligned after the alignment operation has been performed. It is preferable that the confirmation step (S5) is included.
確認ステップ(S5)では、ステップ(S4)の終了の後に、各支持フレーム31、32に対するアラインメント過程ステップ(S1〜S4)が行われたかどうかに関する判断が行われる。全てのアラインメント過程ステップが、支持フレーム31、32に対して行われた場合、支持フレームのアラインメントを調整する別の試みは終了する。完全な位置合わせ過程が支持フレームに十分行われなかった場合、アラインメント調整ステップ(S1〜S4)はその支持フレームに対して繰り返される。 In the confirmation step (S5), after completion of step (S4), a determination is made as to whether or not the alignment process steps (S1 to S4) for the support frames 31 and 32 have been performed. If all alignment process steps have been performed on the support frames 31, 32, another attempt to adjust the alignment of the support frame ends. If the complete alignment process is not sufficiently performed on the support frame, the alignment adjustment steps (S1-S4) are repeated for the support frame.
シーラントディスペンサが2つ以上の支持フレームを備え、アラインメント調整が少なくとも2つの支持フレームに十分に行われなかった場合、少なくとも2つの支持フレームの何れか1つに対するアラインメントを最初に調整することができる。支持フレームの1つのアラインメントを調整した後、次の支持フレームのアラインメントが調整される。即ち、支持フレームは順に調整される。別の方法では、少なくとも2つの支持フレームのアラインメントを同時に調整することができる。 If the sealant dispenser comprises more than one support frame and the alignment adjustment is not made sufficiently on the at least two support frames, the alignment for any one of the at least two support frames can be adjusted first. After adjusting one alignment of the support frame, the alignment of the next support frame is adjusted. That is, the support frame is adjusted in order. Alternatively, the alignment of at least two support frames can be adjusted simultaneously.
上記の実施形態では、支持フレームはガラス基板に設けられた修正マークに基づいて位置合わせされる。しかし、別の実施形態では、支持フレームのアラインメントを調整して、複数の支持フレームを互いに平行にするように、ガラス基板をオフセット角度(角度で測定した)だけ回転させることもできる。ここで、オフセット角度とは、ガラス基板を少なくとも2つの平行な支持フレームに平行にするようにどれだけずらすかを(角度で)いう。 In the above embodiment, the support frame is aligned based on the correction mark provided on the glass substrate. However, in another embodiment, the glass substrate can be rotated by an offset angle (measured in angle) to adjust the alignment of the support frame so that the support frames are parallel to each other. Here, the offset angle refers to (in angle) how much the glass substrate is shifted to be parallel to at least two parallel support frames.
別の実施形態を参照すると、シーラントディスペンサは、ディスペンサの本体を表すフレームと、所定の角度だけ回転させることができるフレームの上側表面に配置され、表面に平行なテーブルと、上にシーラントがディスペンスされるガラス基板を受けるようにテーブルに取り付けられ、上側表面に配置されたステージと、リニアモータガイドがS軸に沿って延びるようにテーブルの両側に設けられたリニアモータガイドと、少なくとも2つの支持フレームが第2の方向にリニアモータガイドに沿って移動できるように、リニアモータガイドの間に設けられ、リニアモータガイドに垂直に配置された少なくとも2つの支持フレームと、少なくとも2つの支持フレームの間の少なくとも2つの距離を測定する距離測定ユニットとを備えている。 Referring to another embodiment, a sealant dispenser is disposed on a frame representing the body of the dispenser, an upper surface of the frame that can be rotated by a predetermined angle, a table parallel to the surface, and a sealant dispensed thereon. A stage mounted on the upper surface to receive the glass substrate, a linear motor guide provided on both sides of the table so that the linear motor guide extends along the S axis, and at least two support frames Between the at least two support frames provided between the linear motor guides and arranged perpendicularly to the linear motor guides, so as to be movable along the linear motor guides in the second direction. A distance measuring unit for measuring at least two distances.
加えて、シーラントディスペンサ内の少なくとも2つの支持フレームのアラインメントを調整する方法は、少なくとも2つの支持フレームの間の少なくとも2つの距離を測定するステップと、測定した距離の差を算出するステップと、測定した距離を等しくし、その結果少なくとも2つの測定した距離が互いに平行になるように算出した差を利用することによって支持フレームのアラインメントを調整するステップと、ガラス基板を少なくとも2つの支持フレームと位置合わせするようにガラス基板を回転させるステップとを含んでいる。 In addition, a method for adjusting the alignment of at least two support frames in a sealant dispenser includes measuring at least two distances between at least two support frames, calculating a difference between the measured distances, and measuring Adjusting the alignment of the support frame by utilizing the difference calculated so that the at least two measured distances are parallel to each other, and aligning the glass substrate with the at least two support frames Rotating the glass substrate to do so.
本発明の別の実施形態のより詳細な説明を、添付の図面を参照して説明する。この実施形態の構成要素は前の実施形態のものと同一であるので、詳細な説明は行わない。
図5は、ずれた支持フレームを備えるシーラントディスペンサの上に装填されたガラス基板を示す例である。図6は、支持フレームのアラインメントを調整した後の、図5の支持フレームを示す図であるが、ガラス基板及び支持フレームはずれている(又は平行ではない)。図7は、図6の支持フレームに対するガラス基板のアラインメントの調整を示す。図8は、シーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法を示すフローチャートである。
A more detailed description of another embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Since the components of this embodiment are the same as those of the previous embodiment, they will not be described in detail.
FIG. 5 is an example showing a glass substrate loaded on a sealant dispenser with an offset support frame. FIG. 6 shows the support frame of FIG. 5 after adjusting the alignment of the support frame, but the glass substrate and the support frame are offset (or not parallel). FIG. 7 illustrates adjustment of the alignment of the glass substrate with respect to the support frame of FIG. FIG. 8 is a flowchart showing a method for adjusting the alignment of the support frame of the sealant dispenser.
この実施形態では、シーラントディスペンサは、フレーム10(図1参照)と、テーブル20(図1参照)と、ステージ24(図1参照)と、リニアモータガイド35に沿って移動可能な少なくとも2つの支持フレーム31、32とを備えている。
より詳細には、テーブル20は左側又は右側に回転するように構成されている。例えば、テーブルは、テーブルの上部に配置されたガラス基板を支持フレームに位置合わせするように左側に2度回転することができる。
In this embodiment, the sealant dispenser has at least two supports movable along the frame 10 (see FIG. 1), the table 20 (see FIG. 1), the stage 24 (see FIG. 1), and the
More specifically, the table 20 is configured to rotate left or right. For example, the table can be rotated twice to the left to align a glass substrate placed on top of the table with the support frame.
シーラントディスペンサはさらに、2つの支持フレーム31、32の間の少なくとも1つの距離を測定する距離測定ユニットを備えている。距離測定ユニットは、支持フレーム31、32の間の少なくとも2つのリニア距離d1、d2を測定することが好ましい。例えば、少なくとも2つの測定した距離は、リニアモータガイド35に近い支持フレームの端部に近接している、又はそこにあるべきである。
The sealant dispenser further comprises a distance measuring unit for measuring at least one distance between the two support frames 31, 32. The distance measuring unit preferably measures at least two linear distances d1, d2 between the support frames 31, 32. For example, the at least two measured distances should be close to or at the end of the support frame close to the
距離測定ユニットは、支持フレーム31又は32の一方に取り付けられた2つの変位センサ140を備えている。レーザ変位センサは、非接触タイプであることが好ましい。図6に示すように、レーザ変位センサ140は支持フレーム31上に取り付けられている。レーザ変位センサ140は、正確な測定を行うように、支持フレーム31又は32の各端部の近くに取り付けられている。ここで、レーザ変位センサ140は、支持フレーム31、32の間のリニア距離d1、d2を測定する。
The distance measuring unit includes two
次に、上述の構造に対するシーラントディスペンサ内の支持フレームのアラインメントを調整する方法を、図5から8を参照して詳細に説明する。
以下の説明では、2つの支持フレーム31、32は互いに平行ではなく、ステージ24内に案内されたガラス基板50は支持フレーム31、32又はフレーム10と最初は位置合わせされていないと仮定する。
A method for adjusting the alignment of the support frame in the sealant dispenser for the above-described structure will now be described in detail with reference to FIGS.
In the following description, it is assumed that the two support frames 31 and 32 are not parallel to each other, and the
第1に、ガラス基板50はステージ24に導かれ、その後測定ステップ(S′1)が行われる。測定ステップ(S′1)は、支持フレーム31上に取り付けられたレーザ変位センサ140を使用して、反対側の支持フレーム31、32の間の距離d1、d2を測定するステップである。
First, the
次に、決定ステップ(S′2)が行われる。決定ステップ(S′2)は、測定ステップ(S′1)で測定された、支持フレーム31と32の間の距離d1、d2の差を算出するステップである。距離d1が距離d2と等しい(即ち、距離d1とd2の間の差がない、つまり2つの支持フレーム31、32が互いに平行である)と判断された場合、基板アラインメントステップ(S′4)が行われる。しかし、決定ステップ(S′2)で、距離d1が距離d2に等しくない(即ち、距離d1とd2の間に差がある、つまり2つの支持フレーム31、32が互いに平行でない)と判断された場合、支持フレームアラインメントステップ(S′3)が行われる。 Next, a determination step (S′2) is performed. The determination step (S′2) is a step of calculating the difference between the distances d1 and d2 between the support frames 31 and 32 measured in the measurement step (S′1). If it is determined that the distance d1 is equal to the distance d2 (that is, there is no difference between the distances d1 and d2, that is, the two support frames 31 and 32 are parallel to each other), the substrate alignment step (S′4) is performed. Done. However, in the determination step (S′2), it is determined that the distance d1 is not equal to the distance d2 (that is, there is a difference between the distances d1 and d2, that is, the two support frames 31 and 32 are not parallel to each other). If this is the case, a support frame alignment step (S'3) is performed.
支持フレームアラインメントステップ(S′3)では、支持フレーム31、32のアラインメントが調整され、それによって距離d1、d2が、図6に示すように、決定ステップ(S′2)で算出された距離d1とd2の間の差に基づく同一の値を有する。次に、支持フレーム31、32は互いに平行になる。 In the support frame alignment step (S′3), the alignment of the support frames 31 and 32 is adjusted so that the distances d1 and d2 are the distance d1 calculated in the determination step (S′2) as shown in FIG. And have the same value based on the difference between d2. Next, the support frames 31 and 32 are parallel to each other.
支持フレーム31、32のアラインメントが完了した後、過程は距離d1、d2を測定する測定ステップ(S′1)に戻ることが好ましい。その後、距離d1、d2が同一の値を有するかどうかを算出及び決定する決定ステップ(S′2)が行われる。 After the alignment of the support frames 31, 32 is completed, the process preferably returns to the measuring step (S'1) for measuring the distances d1, d2. Thereafter, a determination step (S′2) for calculating and determining whether the distances d1 and d2 have the same value is performed.
支持フレーム31、32のアラインメントを調整する場合、支持フレーム31、32の一方(即ち、支持フレーム32)は固定又は静止されたままであり、もう一方の支持フレーム(即ち、支持フレーム31)は固定された支持フレーム(即ち、支持フレーム32)に関して必要な調整を行うことが好ましい。
調整を行う場合、支持フレーム31の一端部が対応するリニアモータガイド35に沿って移動して支持フレーム31の多端部は固定されるか、或いはリニアモータガイド35に沿って移動しないことが好ましい。
When adjusting the alignment of the support frames 31, 32, one of the support frames 31, 32 (ie, the support frame 32) remains fixed or stationary, and the other support frame (ie, the support frame 31) is fixed. It is preferable to make necessary adjustments with respect to the support frame (ie, support frame 32).
When adjustment is performed, it is preferable that one end portion of the
上記の例をより詳細に説明する。支持フレーム31、32の一方(即ち、支持フレーム32)が、アラインメント動作を行う際の基準として働くように固定されており、もう一方の支持フレーム31が、例えば基準支持フレームに対して支持フレームを位置合わせするようにリニアモータガイド35に沿ってその端部の1つを移動させることが好ましい。(S′1で測定した)d1とd2の間の距離がより短い支持フレーム31の端部が、支持フレーム31と32の間の平行状態を得るため、(S′2で測定した)距離の差に基づき、基準支持フレーム32から離れる方向に移動させる。別の方法では、d1とd2の間の距離がより長い支持フレーム31の端部が、支持フレーム31、32を互いに平行にするように、距離の差に基づき、支持フレーム32に向かう方向に移動させることができる。
The above example will be described in more detail. One of the support frames 31 and 32 (that is, the support frame 32) is fixed so as to serve as a reference when performing the alignment operation, and the
別の方法では、支持フレーム31、32の端部がそれぞれ、第1の支持フレーム(即ち、支持フレーム31)を第2の支持フレーム(即ち、支持フレーム32)に平行にするように、反対方向に移動させることができる、又は支持フレーム31、32が両方とも、平行状態を得るように各支持フレームの間の距離を調整するようにそれに応じて移動させることができる。 Alternatively, the ends of the support frames 31, 32 are each in opposite directions so that the first support frame (ie, the support frame 31) is parallel to the second support frame (ie, the support frame 32). Or both of the support frames 31, 32 can be moved accordingly to adjust the distance between each support frame to obtain a parallel state.
基板アラインメントステップ(S′4)では、ガラス基板50が特定の角度αで回転され、それによってガラス基板50の回路パターン53が支持フレーム31、32のS軸と平行になる。テーブル20はまた、特定の角度で回転させることができることが好ましく、従って、テーブル20はステージ24上に固定されたガラス基板50がそれに対応して回転するように回転すべきである。
In the substrate alignment step (S′4), the
ここで、2つの支持フレーム31、32は互いに平行であり、従って、ガラス基板50を支持フレーム31、32に平行になるようにガラス基板50が回転されると、2つの支持フレーム31、32とガラス基板50の間のアラインメントが達成される。図7に示すように、支持フレーム31、32が互いに平行である場合、シーラント52をガラス基板50上に正確にディスペンスすることができる。
Here, the two support frames 31 and 32 are parallel to each other. Therefore, when the
本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、様々な変更及び変形を本発明に加えることができることは当業者には自明のことであろう。従って、本発明は添付の特許請求の範囲及びその同等物の範囲内にある限り、本発明の変更形態及び変形形態を含むことを意図している。
本発明をさらに理解するために含まれ、本出願に組み込まれ、本出願の一部をなす添付の図面は、本発明の実施形態を示し、明細書と共に、本発明の原理を説明する役割を果たす。
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made to the present invention without departing from the spirit and scope of the invention. Thus, it is intended that the present invention include modifications and variations of this invention provided they come within the scope of the appended claims and their equivalents.
The accompanying drawings, which are included to further understand the invention and are incorporated into and form part of this application, illustrate embodiments of the invention and, together with the description, serve to explain the principles of the invention. Fulfill.
10 フレーム
20 テーブル
22 第1のリニアモータ
24 ステージ
31 第1の支持フレーム
32 第2の支持フレーム
33 第2のリニアモータ
34 第2のムーバ(mover)
35 リニアモータガイド
41 ヘッドユニット
42 ヘッドマウント
43 第3のムーバ
44 第3のリニアモータ、第3の磁石
45 アラインメントセンサ
50 ガラス基板
52 シーラント
53 回路パターン
55 修正マーク
140 変位センサ
150 X1−ライン
160 X2−ライン
10
35
Claims (24)
ガラス基板上に設けられた少なくとも2つの修正マークを識別し、支持フレームの長辺側に平行な方向である第1の方向にアラインメントセンサを移動させるステップと、
前記アラインメントセンサによって識別された少なくとも2つの修正マークを修正する想定直線が第1の方向と平行であるかどうかを判断するステップと、
前記想定直線が第1の方向に平行であるように、少なくとも1つの支持フレームのアラインメントを調整するステップと、を含むことを特徴とするシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。 A method for adjusting the alignment of at least one support frame in a sealant dispenser, comprising:
Identifying at least two correction marks provided on the glass substrate and moving the alignment sensor in a first direction which is a direction parallel to the long side of the support frame;
Determining whether an assumed straight line that corrects at least two correction marks identified by the alignment sensor is parallel to a first direction;
Adjusting the alignment of at least one support frame such that the assumed straight line is parallel to the first direction, and adjusting the alignment of the support frame of the sealant dispenser.
少なくとも2つの支持フレームの間の少なくとも2つの距離を測定するステップと、
もしあれば、測定した距離の差を算出するステップと、
測定した距離が異なる場合に、測定した距離を等しくする修正距離を利用することによって支持フレームのアラインメントを調整するステップであって、修正距離が測定した距離の差であるステップと、を含むことを特徴とするシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。 A method for adjusting the alignment of at least one support frame in a sealant dispenser, comprising:
Measuring at least two distances between at least two support frames;
If so, calculating a difference between the measured distances;
Adjusting the alignment of the support frame by utilizing a correction distance that equalizes the measured distances when the measured distances are different, the correction distance being a difference between the measured distances. A method for adjusting the alignment of a support frame of a sealant dispenser.
少なくとも2つの支持フレームの間の少なくとも2つの距離を測定するステップと、
測定した距離の差を算出するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項10に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。 After adjusting the support frame, checking whether at least two support frames are parallel to each other;
Measuring at least two distances between at least two support frames;
The method for adjusting the alignment of the support frame of the sealant dispenser according to claim 10, further comprising: calculating a difference between the measured distances.
装置の本体を表すフレームと、
前記フレームの上側表面に配置されたテーブルと、
上側表面に配置され、上にシーラントがディスペンスされるガラス基板を受けるように、前記テーブルに取り付けられたステージと、
前記テーブルの両側に配置されたリニアモータガイドと、
少なくとも2つの支持フレームが前記リニアモータガイドに沿って移動できるように、前記リニアモータガイドの間に配置され、前記リニアモータガイドに垂直に配置された少なくとも2つの支持フレームと、
修正マークを認識するように、第1の方向に移動するアラインメントセンサと、
前記アラインメントセンサを第1の方向に駆動する駆動ユニットと、を備える装置であって、
前記第1の方向は支持フレームの長辺側に平行な方向であることを特徴とするシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整装置。 A device that performs a dispensing operation,
A frame representing the body of the device;
A table disposed on the upper surface of the frame;
A stage mounted on the table to receive a glass substrate disposed on the upper surface and onto which a sealant is dispensed;
Linear motor guides arranged on both sides of the table;
At least two support frames disposed between the linear motor guides and disposed perpendicular to the linear motor guides, such that at least two support frames can move along the linear motor guides;
An alignment sensor that moves in a first direction to recognize the correction mark;
A drive unit for driving the alignment sensor in a first direction,
The alignment device for a support frame of a sealant dispenser, wherein the first direction is a direction parallel to a long side of the support frame.
装置の本体を表すフレームと、
前記フレームの上側表面に設けられたテーブルと、
上側表面に配置され、上にシーラントがディスペンスされる、ガラス基板を受けるように前記テーブルに取り付けられたステージと、
前記テーブルの両側に配置されたリニアモータガイドと、
少なくとも2つの支持フレームが前記リニアモータガイドに沿って移動することができるように、前記リニアモータガイドの間に配置され、前記リニアモータガイドに垂直に配置された少なくとも2つの支持フレームと、
少なくとも2つの支持フレームの間の少なくとも2つの距離を測定する距離測定ユニットと、を備えることを特徴とするシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整装置。 A device that performs a dispensing operation,
A frame representing the body of the device;
A table provided on the upper surface of the frame;
A stage mounted on the table to receive a glass substrate, disposed on the upper surface and having a sealant dispensed thereon;
Linear motor guides arranged on both sides of the table;
At least two support frames disposed between and perpendicular to the linear motor guide, such that at least two support frames can move along the linear motor guide;
A distance measuring unit for measuring at least two distances between the at least two support frames, and an alignment adjustment device for the support frame of the sealant dispenser.
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